特許 7409863 液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-25

(45)【発行日】2024-01-09

(54)【発明の名称】液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20231226BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/14 605

B41J2/14

B41J2/14 613

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2019229490

(22)【出願日】2019-12-19

(65)【公開番号】P2021094840

(43)【公開日】2021-06-24

【審査請求日】2022-10-04

(73)【特許権者】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001357

【氏名又は名称】弁理士法人つばさ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 研治

【審査官】中村 博之

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０８４７６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－１４１８４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－２１３５７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０５２５５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１８２７７５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力室を有するアクチュエータ部材と、
前記アクチュエータ部材に対する一側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材に結合された低剛性支持部と、
前記アクチュエータ部材に対して前記一側とは反対の他側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材に結合された高剛性支持部と、
前記アクチュエータ部材の前記一側に配置されるとともに、前記圧力室に供給される液体の流路が形成された流路部材と、
を備え、
前記高剛性支持部は、前記アクチュエータ部材よりも大きな線膨張係数およびヤング率を有する液体噴射ヘッドのヘッド構成部材を含み、液体噴射ヘッドへの熱の入出力に対する前記アクチュエータ部材の伸縮の方向における当該高剛性支持部の熱変形を、前記熱の入出力に対して前記ヘッド構成部材が単体で前記伸縮の方向に示す熱変形よりも低減させる高剛性部を有し、
前記低剛性支持部は、前記流路部材を含むとともに、前記伸縮の方向における剛性が、前記アクチュエータ部材よりも低くなっており、
前記流路部材は、前記アクチュエータ部材よりも線膨張係数が大きくかつヤング率が小さい材料からなる、
液体噴射ヘッド。

【請求項2】

前記流路部材は、前記アクチュエータ部材の変形に追従した当該流路部材の変形を促す低剛性部を有する、
請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項3】

前記アクチュエータ部材の前記他側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材が接合される支持面が形成されたベース部材をさらに備え、
前記高剛性支持部が、前記ヘッド構成部材として、前記ベース部材を含む、
請求項１または２に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項4】

前記流路部材は、
前記圧力室に供給される液体の流路が形成された本体と、
前記本体に対し、液体非透過性の封止膜を介して接合された蓋部と、を備え、
前記ベース部材は、前記アクチュエータ部材に対して第１接着剤により接着され、
前記蓋部は、前記封止膜に対して第２接着剤により接着され、
前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも硬化後の硬度が高い、
請求項３に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項5】

圧力室を有するアクチュエータ部材と、
前記アクチュエータ部材に対する一側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材に結合された低剛性支持部と、
前記アクチュエータ部材に対して前記一側とは反対の他側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材に結合された高剛性支持部と、
前記アクチュエータ部材の前記一側に配置された流路部材と、
前記アクチュエータ部材の前記他側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材が接合される支持面が形成されたベース部材と、
を備え、
前記高剛性支持部は、前記アクチュエータ部材よりも大きな線膨張係数およびヤング率を有する液体噴射ヘッドのヘッド構成部材を含み、液体噴射ヘッドへの熱の入出力に対する前記アクチュエータ部材の伸縮の方向における当該高剛性支持部の熱変形を、前記熱の入出力に対して前記ヘッド構成部材が単体で前記伸縮の方向に示す熱変形よりも低減させる高剛性部を有し、
前記低剛性支持部は、前記伸縮の方向における剛性が、前記アクチュエータ部材よりも低くなっており、
前記高剛性支持部が、前記ヘッド構成部材として、前記ベース部材を含み、
前記流路部材は、
前記圧力室に供給される液体の流路が形成された本体と、
前記本体に対し、液体非透過性の封止膜を介して接合された蓋部と、を備え、
前記ベース部材は、前記アクチュエータ部材に対して第１接着剤により接着され、
前記蓋部は、前記封止膜に対して第２接着剤により接着され、
前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも硬化後の硬度が高い、
液体噴射ヘッド。

【請求項6】

前記本体は、前記封止膜に対して第３接着剤により接着され、
前記第３接着剤は、前記第２接着剤よりも硬化後の硬度が高い、
請求項４または５に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項7】

前記蓋部は、前記熱の入出力による前記アクチュエータ部材の変形の方向に弾性を有する、
請求項４から６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項8】

前記アクチュエータ部材の前記他側に配置されるとともに、前記圧力室に連通しかつ外部に向けて開口する噴射孔が形成されたノズル部材をさらに備え、
前記高剛性支持部が、前記ヘッド構成部材として、前記ノズル部材を含む、
請求項１から７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられたキャリッジと、
前記キャリッジを被記録媒体に対して予め定められた相対位置に支持可能に構成された支持機構と、
を備える、液体噴射記録装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

【背景技術】

【0002】

インクジェット方式の液体噴射記録装置では、インクタンクから、インクジェットヘッドへインクを供給し、インクジェットヘッドに設けられた複数のノズル孔から、記録紙等の被記録媒体に向けてインクを噴射することで、画像または文字等の記録を行う。

【0003】

特許文献１には、インクジェットヘッドに備わるセラミック材料製のインクポンプ部材に、金属製のノズル部材との熱膨張特性の違いに起因して生じる圧縮または引っ張り応力を低減する技術が開示されている。具体的には、インクポンプ部材またはノズル部材との関係から適宜の熱膨張特性を持たせた熱膨張特性調整部材を、インクポンプ部材およびノズル部材と重ね合わせ、一体的に接合するものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平０６－１２２１９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

液体噴射ヘッドないし液体噴射記録装置では、液体噴射ヘッドの更なる小型化および精細化等の傾向を背景に、アクチュエータ部材に生じる応力の低減を通じてアクチュエータ部材の強度の低下を補い、アクチュエータ部材の損傷を抑制することが望まれる。液体噴射ヘッドに熱の入出力があると、これに応じた熱変形がアクチュエータ部材に生じることがある。このアクチュエータ部材の熱変形による損傷も、抑制が望まれる対象として位置付けられる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一形態では、圧力室を有するアクチュエータ部材と、アクチュエータ部材に対する一側に配置されるとともに、アクチュエータ部材に結合された低剛性支持部と、アクチュエータ部材に対して一側とは反対の他側に配置されるとともに、アクチュエータ部材に結合された高剛性支持部と、を備える液体噴射ヘッド（第１および第２の液体噴射ヘッド）が提供される。本形態に係る液体噴射ヘッドにおいて、高剛性支持部は、アクチュエータ部材よりも大きな線膨張係数およびヤング率を有する液体噴射ヘッドのヘッド構成部材を含み、液体噴射ヘッドへの熱の入出力に対するアクチュエータ部材の伸縮の方向における当該高剛性支持部の熱変形を、熱の入出力に対してヘッド構成部材が単体で伸縮の方向に示す熱変形よりも低減させる高剛性部を有し、低剛性支持部は、伸縮の方向における剛性が、アクチュエータ部材よりも低く設定される。
ここで、特に、本形態に係る第１の液体噴射ヘッドは、アクチュエータ部材の一側に配置されるとともに、圧力室に供給される液体の流路が形成された流路部材をさらに備え、低剛性支持部が流路部材を含み、この流路部材は、アクチュエータ部材よりも線膨張係数が大きくかつヤング率が小さい材料からなる。
また、本形態に係る第２の液体噴射ヘッドは、アクチュエータ部材の一側に配置された流路部材と、アクチュエータ部材の他側に配置されるとともに、アクチュエータ部材が接合される支持面が形成されたベース部材とを、さらに備え、高剛性支持部が、ヘッド構成部材としてベース部材を含み、流路部材は、圧力室に供給される液体の流路が形成された本体と、この本体に対し、液体非透過性の封止膜を介して接合された蓋部と、を備え、ベース部材は、アクチュエータ部材に対して第１接着剤により接着され、蓋部は、封止膜に対して第２接着剤により接着され、第１接着剤は、第２接着剤よりも硬化後の硬度が高い。

【0007】

他の形態では、上記形態に係る液体噴射ヘッド（第１または第２の液体噴射ヘッド）と、液体噴射ヘッドが取り付けられたキャリッジと、キャリッジを被記録媒体に対して予め定められた相対位置に支持可能に構成された支持機構と、を備える液体噴射記録装置が提供される。

【発明の効果】

【0008】

本開示では、液体噴射ヘッドへの熱の入出力に対してアクチュエータ部材に生じる局所的な応力の集中を抑制することが可能である。よって、アクチュエータ部材の熱変形による損傷を抑制することができ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置の製品寿命の確保ないし延長に資する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本開示の一実施形態に係るプリンタの内部構造を概略的に示す斜視図である。

【図2】図２は、同上実施形態に係るプリンタに備わるインクジェットヘッドの平面図であり、インクジェットヘッドの構成を、ヘッドカバーを取り外した状態で示す。

【図3】図３は、同上実施形態に係るインクジェットヘッド（ヘッドカバーを含む）の分解斜視図である。

【図4】図４は、図２に示したＡ－Ａ線による断面図であり、インクジェットヘッドの具体的な構成を示す。

【図5】図５は、本開示の一実施形態により得られる効果の一例を説明する模式図である。

【図6】図６は、同上実施形態により得られる効果の他の例を説明する模式図である。

【図7】図７は、同上実施形態に係るインクジェットヘッドの変形例の構成を、図４と同様の断面により示す。

【図8】図８は、同上実施形態に係るインクジェットヘッドの他の変形例の構成を、図４と同様の断面により示す。

【発明を実施するための形態】

【0010】

本開示の実施の形態について、以下に図面を参照して詳細に説明する。

【0011】

［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施形態に係るプリンタ１の内部構造を、斜視図により概略的に示す。プリンタ１は、本実施形態に係る「被記録媒体」である記録紙Ｍに対し、インクにより画像または文字等の記録（印刷）を行うインクジェット方式のプリンタである。ここに、インクは、本実施形態に係る「液体」に相当する。

【0012】

プリンタ１は、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、供給チューブ５と、走査機構６と、を備える。これらの部品または部材は、図１に点線によりその外形を模式的に示す筺体１０に収容されている。ここで、以下に参照される各図では、部品または部材の大きさを図示の便宜上適宜変更しており、それらの部品等の相互またはプリンタ１全体に対する比率は、実際の縮尺を正確に示すものではない。

【0013】

プリンタ１は、本実施形態に係る「液体噴射記録装置」に相当し、インクジェットヘッド４は、本実施形態に係る「液体噴射ヘッド」に相当する。

【0014】

（搬送機構２ａ，２ｂ）
搬送機構２ａ，２ｂは、記録紙Ｍを搬送方向ｄ（本実施形態では、図１に示すＸ方向）に沿って搬送する。搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２を備えるとともに、図示しない駆動機構を備える。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２は、いずれもその回転軸が互いに平行にかつＹ方向（記録紙Ｍをその幅方向に横断する方向であり、記録紙Ｍの搬送方向ｄに対して垂直な方向）に沿うように配設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を駆動し、これを軸周りに、つまり、Ｚ－Ｘ面内で回転させる機構であり、動力源として、例えば、電気モータを備える。ピンチローラ２２は、グリッドローラ２１に対して径方向に押し付けられ、グリッドローラ２１との間に、記録紙Ｍを挟持する。本実施形態では、電気モータとグリッドローラ２１とが、プーリ等の適宜の動力伝達媒体を介して接続されている。

【0015】

（インクタンク３）
インクタンク３は、インクを色別に収容する。本実施形態では、インクタンク３として、複数の色、例えば、イエロー（Ｙ）、マゼンダ（Ｍ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）の４色のインクを個別に収容する、４種類のインクタンク３Ｙ、３Ｍ、３Ｃ、３Ｋが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０の内部において、Ｘ方向に並べて配置されている。インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、いずれも収容するインクの色以外については同一の構成である。よって、以下の説明では、色による区別をせず、インクタンク３と総称する。

【0016】

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、供給チューブ５を介してインクタンク３と接続されている。本実施形態において、インクジェットヘッド４は、複数の噴射孔（例えば、図４に符号４５ｈにより模式的に示す）を有し、インクタンク３から供給チューブ５を介して受容したインクを、これら複数の噴射孔４５ｈから、記録紙Ｍに向けて液滴の状態で噴射する。噴射されたインクが記録紙Ｍの表面に付着して、画像または文字等の記録が行われる。本実施形態では、複数のインクジェットヘッド４が設けられ、これら複数のインクジェットヘッド４が、後に述べる１つのキャリッジ３３に固定されている。インクジェットヘッド４のそれぞれに対し、イエロー、マゼンダ、シアンおよびブラックのうち１色のインクが供給される。これに限らず、１つのインクジェットヘッド４に対し、２色またはそれ以上の色のインクを供給する構成とすることも可能である。

【0017】

（走査機構６）
走査機構６は、インクジェットヘッド４を、記録紙Ｍの幅方向（つまり、Ｙ方向）に移動、つまり、走査させる。走査機構６は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、ガイドレール３１，３２上を移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備える。駆動機構３４は、動力源として電気モータ３４１を備えるとともに、図示しない一対のプーリに掛け渡された無端ベルト３４２と、を備える。キャリッジ３３が無端ベルト３４２に取り付けられており、電気モータ３４１の動力が無端ベルト３４２を介してキャリッジ３３に伝達されることで、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２上をＹ方向に移動する。

【0018】

キャリッジ３３は、本実施形態に係る「キャリッジ」に相当し、走査機構６は、本実施形態に係る「支持機構」を構成する。

【0019】

本実施形態では、走査機構６によりキャリッジ３３をＹ方向に移動させることで、キャリッジ３３およびインクジェットヘッド４を記録紙Ｍに対して相対的に（具体的には、Ｙ方向に）移動可能とする。このような形式は、シャトル式と呼ばれる。本実施形態に係る「支持機構」は、これに限らず、キャリッジおよびインクジェットヘッドを予め定められた位置に固定するものであってもよい。つまり、本実施形態に係るプリンタは、シャトル式に限らず、キャリッジおよびインクジェットヘッドの位置が固定され、被記録媒体のみが移動可能に構成された、いわゆるワンパス式またはシングルパス式のプリンタであってもよい。

【0020】

［インクジェットヘッド４の概略構成］
図２および図３を参照して、インクジェットヘッド４の構成についてさらに説明する。図２は、インクジェットヘッド４の構成を、噴射孔４５ｈを介するインクの吐出方向にみた平面図により、図３は、インクジェットヘッド４の構成を、分解斜視図により、夫々示す。図２は、インクジェットヘッド４の構成を、後に述べるヘッドカバー４１および上ベースプレート４２を取り外した状態で示す。図２および図３において、Ｚ軸に沿って上下または鉛直方向が定められ、Ｚ軸に沿う正の向きに上方が、負の向きに下方が、夫々定められるものとする。つまり、同図におけるインクの吐出方向は、下向き、換言すれば、Ｚ軸に沿って負の方向である。

【0021】

インクジェットヘッド４は、図３に示すように、概して、ヘッドカバー４１と、上ベースプレート４２と、流路部材４３と、ヘッドチップ４４と、ノズルプレート４５と、下ベースプレート４６と、を備える。

【0022】

（ヘッドチップ４４）
ヘッドチップ４４は、アクチュエータプレート４４１と、アクチュエータプレート４４１に対する一側に配置され、アクチュエータプレート４４１に接合されたカバープレート４４２と、を備える。本実施形態では、アクチュエータプレート４４１とカバープレート４４２との接合は、接着剤による。

【0023】

アクチュエータプレート４４１は、チタン酸ジルコン酸塩（ＰＺＴ）等のセラミック材料からなる圧電基板により構成されている。アクチュエータプレート４４１は、ノズルプレート４５の噴射孔４５ｈに連通する複数の溝（噴射チャネルないし吐出チャネルと呼ばれる）を有し、記録紙Ｍへの記録（印刷）に際し、インクが導入された噴射チャネル内の圧力を、噴射チャネルを形成するアクチュエータプレート４４１の壁部（以下、特に「駆動壁」という場合がある）の圧電効果により電気的に変化させる。これにより、圧力を変化させた噴射チャネル内のインクが噴射孔４５ｈに向けて噴射チャネルから押し出され、噴射孔４５ｈを介して外部に噴射される。本実施形態では、アクチュエータプレート４４１の溝として、噴射孔４５ｈに連通する噴射チャネル以外に、噴射孔４５ｈとは連通しない非噴射チャネルないしダミーチャネルが形成されている。噴射チャネルと非噴射チャネルとは、溝が延びる方向に対して垂直な方向に交互に設けられるとともに、アクチュエータプレート４４１の壁部により互いに隔てられている。

【0024】

アクチュエータプレート４４１は、本実施形態に係る「アクチュエータ部材」に相当し、アクチュエータプレート４４１に形成される「溝」（具体的には、噴射チャネルとして機能する溝）は、本実施形態に係る「圧力室」に相当する。

【0025】

カバープレート４４２は、アクチュエータプレート４４１と同じ材料、つまり、ＰＺＴ等のセラミック材料からなる。カバープレート４４２は、アクチュエータプレート４４１と、流路部材４３と、の間に介在して、流路部材４３を介して供給されるインクを、アクチュエータプレート４４１の噴射チャネルと非噴射チャネルとのうち、噴射チャネルに選択的に流入させるためのものである。カバープレート４４２に適用可能な材料は、アクチュエータプレート４４１と同じものに限らず、アクチュエータプレート４４２とは異なる材料であってもよい。そのような材料として、セラミック材料以外に、インクに対する非透過性を有する材料（例えば、樹脂）を例示することができる。

【0026】

インクジェットヘッド４は、さらに、図示しない電子制御盤を備えており、アクチュエータプレート４４１の駆動壁に圧電効果を生じさせる電圧を、この電子制御盤により制御可能に構成されている。電子制御盤とアクチュエータプレート４４１の駆動壁（具体的には、駆動壁上に形成された電極）とがフレキシブル基板４４３を介して接続され、電子制御盤により制御される電圧を、フレキシブル基板４４を介して駆動壁上の電極に印可することが可能である。

【0027】

（ノズルプレート４５）
ノズルプレート４５は、インクの吐出時に噴射孔４５ｈとして機能する複数の連通孔を有する。本実施形態において、これら複数の連通孔は、流路部材４３の内部をインクが流れる方向、換言すれば、流路部材４３の導入ポート４３ｉｎｔから排出ポート４３ｅｘｔに向かう方向（図２に示すＸ方向）に並んで配置されている。ノズルプレート４５は、下ベースプレート４６に取り付けられた状態で、噴射孔４５ｈを有する面が下ベースプレート４６の開口を介して下ベースプレート４６の表面Ｓｆ側、つまり、下方に臨み、インクを下方に（換言すれば、Ｚ軸に沿って負の方向に）噴射可能である。本実施形態では、ノズルプレート４５は、ヘッドチップ４４および下ベースプレート４６のいずれに対しても接着剤により接合されている。

【0028】

ノズルプレート４５は、本実施形態に係る「ノズル部材」に相当する。

【0029】

（流路部材４３）
流路部材４３は、内部に複数の流路（インク供給路ｐ１、インク排出路ｐ２）が形成されており、ヘッドチップ４４ないしアクチュエータプレート４４１（具体的には、噴射チャネルである溝）に対し、これら複数の流路を介してインクを導入させる。流路部材４３は、導入ポート４３ｉｎｔと、排出ポート４３ｅｘｔと、を備え、インクタンク３から供給されたインクを、導入ポート４３ｉｎｔを介してインク供給路ｐ１に受容するとともに、供給されたインクの一部を、インク排出路ｐ２から排出ポート４３ｅｘｈを介して排出させる。本実施形態は、流路部材４３は、ヘッドチップ４４に対して接着剤により接合されている。

【0030】

流路部材４３は、本実施形態に係る「流路部材」に相当し、流路（特にインク供給路ｐ１）は、本実施形態に係る「液体の流路」に相当する。

【0031】

（下ベースプレート４６）
下ベースプレート４６は、ヘッドカバー４１と結合され、ヘッドカバー４１との間に、ヘッドチップ４４、流路部材４３およびノズルプレート４５の接合体（以下「ヘッドチップ接合体」という場合がある）が収められる収容室Ｈを形成する。本実施形態では、下ベースプレート４６は、底部４６１と、その周囲を全周に亘って包囲する側部４６２と、を有し、底部４６１および側部４６２により下ベースプレート４６の中央に凹部４６ｒが形成され、この凹部４６ｒに、ヘッドチップ接合体が収容される。つまり、本実施形態では、下ベースプレート４６の凹部４６ｒにより、ヘッドチップ接合体の収容室Ｈが形成される。下ベースプレート４６は、底部４６１をその厚み方向に貫通する孔（以下「貫通孔」という）またはスリットを有し、ノズルプレート４５の噴射孔４５ｈから噴射されたインクは、この貫通孔を介してインクジェットヘッド４の外部へ出る。先に述べたように、下ベースプレート４６は、ノズルプレート４５ないしヘッドチップ接合体に対して接着剤により接合される。インクジェットヘッド４の組立時において、下ベースプレート４６接合用の接着剤は、噴射時にインクを通過させる貫通孔をその全周に亘って包囲するように塗布される。

【0032】

下ベースプレート４６は、本実施形態に係る「ベース部材」に相当する。さらに、下ベースプレートの底部４６１は、本実施形態に係る「支持面」を形成するものであり、底部４６１の内面が「支持面」に相当する。

【0033】

（上ベースプレート４２）
上ベースプレート４２は、下ベースプレート４６とヘッドカバー４１との間に介装され、ヘッドチップ接合体が収容された収容室Ｈの開口を塞ぐとともに、ヘッドチップ接合体を収容室Ｈに封止する。上ベースプレート４２は、その両端部がヘッドカバー４１および下ベースプレート４６の短辺の側面よりも外側にまで延出する。インクジェットヘッド４は、ヘッドカバー４１および下ベースプレート４６から延出する上ベースプレート４２の両端部がキャリッジ３３に固定されることで、上ベースプレート４２を媒介としてキャリッジ３３に対して支持される。

【0034】

（ヘッドカバー４１）
ヘッドカバー４１は、先に述べた電子制御盤を収めた状態で、下ベースプレート４６と結合される。

【0035】

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
図４は、図２に示したＡ－Ａ線による断面図であり、インクジェットヘッド４の具体的な構成を示す。本実施形態では、図２に示すように、１つのインクジェットヘッド４の内部でインクを流通させる経路を、導入ポート４３ｉｎｔおよび排出ポート４３ｅｘｔを互いに異にする２つの系統に分けて構成するが、図４は、図示の便宜上、これらのうち、一方の系統のみの構成を示す。図示しない他方の系統の構成は、同図中一点鎖線により示す中心線を基準とした線対称の関係にある以外は、図示のものと同様である。

【0036】

先に述べたように、インクジェットヘッド４は、インクの噴射孔４５ｈから遠い側から順に、流路部材４３と、ヘッドチップ４４（アクチュエータプレート４４１およびカバープレート４４２）と、ノズルプレート４５と、下ベースプレート４６と、を備える。流路部材４３とヘッドチップ４４（具体的には、カバープレート４４２）、ヘッドチップ４４（具体的には、アクチュエータプレート４４１）とノズルプレート４５は、いずれも接着剤により接合され、一体の接合体（ヘッドチップ接合体）４ａを形成する。さらに、このようにして形成されたヘッドチップ接合体４ａは、下ベースプレート４６に対して接着剤により接合されている。図６は、ヘッドチップ４４と流路部材４３とを接合する接着剤を、符号ａ１により、ヘッドチップ４４と下ベースプレート４６とを接合する接着剤、つまり、ヘッドチップ接合体４ａと下ベースプレート４６とを接合する接着剤を、符号ａ２により、夫々示す。

【0037】

接着剤ａ２は、本実施形態に係る「第１接着剤」に相当する。

【0038】

ヘッドチップ４４のアクチュエータプレート４４１は、噴射に際してインクに圧力を付与する圧力室を有する。アクチュエータプレート４４１において、ノズルプレート４５の方向に向く面に、図４のＹ方向に延びる複数の噴射チャネルＣｅ（Ｃｅ１，Ｃｅ２）が形成され（同図中、二点鎖線により概略的に示す）、これら複数の噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２のそれぞれが、圧力室として機能する。本実施形態では、噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２は、Ｙ方向に２列に分けて設けられ、各列において、複数の噴射チャネルＣｅ（例えば、図６の紙面に向かって左側の列に並ぶ噴射チャネルＣｅ１）がＸ方向に並べて設けられるとともに、各列の噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２のそれぞれは、Ｙ方向に延設されている。

【0039】

流路部材４３は、各列の噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２が並ぶ方向、つまり、図４に示すＸ方向に延びるインク供給路ｐ１およびインク排出路ｐ２を有する。本実施形態において、インク供給路ｐ１およびインク排出路ｐ２は、いずれも流路部材４３にスリットの形態で備わり、インク供給路ｐ１およびインク排出路ｐ２が延びる方向は、互いに平行である。噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２が延びる図４のＹ方向において、中央のスリットがインク供給路ｐ１を形成し、その両側のスリットがインク排出路ｐ２を形成する。インク供給路ｐ１は、導入ポート４３ｉｎｔと連通して、インクを各列の噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２に供給し、インク排出路ｐ２は、排出ポート４３ｅｘｔと連通して、噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２から出たインクをそれぞれの列毎に回収し、排出ポート４３ｅｘｔに導出する。

【0040】

さらに、本実施形態において、流路部材４３は、インクの流路であるインク供給路ｐ１およびインク排出路ｐ２を形成する本体４３１と、インク供給路ｐ１およびインク排出路ｐ２を塞ぐ蓋部４３２と、に分割され、本体４３１と蓋部４３２とは、インクに対して非透過性の膜（以下「封止膜」という）ｆを介して互いに接合されている。本体４３１と封止膜ｆとの接合、蓋部４３２と封止膜ｆとの接合は、いずれも接着剤による。図４は、本体４３１と封止膜ｆとを接合する接着剤を、符号ａ３１により、蓋部４３２と封止膜ｆとを接合する接着剤を、符号ａ３２により、夫々示す。

【0041】

接着剤ａ３１は、本実施形態に係る「第３接着剤」に相当し、接着剤ａ３２は、「第２接着剤」に相当する。

【0042】

ノズルプレート４５は、ノズルプレート４５をその厚み方向（図４に示すＺ方向）に貫通する複数の連通孔を有する。これら複数の連通孔のそれぞれが、アクチュエータプレート４４１の噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２と連通し、インクの噴射孔４５ｈとして機能する。本実施形態では、１つのノズルプレート４５において、噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２が並ぶそれぞれの列に対応させて、合計２列の噴射孔４５ｈが設けられている。

【0043】

ここで、インクジェットヘッド４を構成する要素（つまり、流路部材４３、ヘッドチップ４４、下ベースプレート４６）は、互いに異なる材料からなり、インクジェットヘッド４は、これらの異なる材料からなる構成要素を、主に接着剤（接着剤ａ１，ａ２，ａ３）により互いに接合することで構成される。そして、これらの構成要素が、材料の違いにより互いに異なる線膨張係数およびヤング率を有することに起因して、インクジェットヘッド４に対する熱の入出力があった場合に、構成要素毎に異なる熱変形を示すこととなる。インクジェットヘッド４に対する熱の入出力が生じる原因として、プリンタ１の設置場所または輸送途中における環境の変化、具体的には、気温の変化等が挙げられる。

【0044】

インクジェットヘッド４の構成要素が互いに異なる熱変形を示す結果、その変形の方向または大きさ等に応じて、アクチュエータプレート４４１（本実施形態では、アクチュエータプレート４４１とカバープレート４４２とが互いに同じ材料からなるため、ヘッドチップ４４）に応力の集中が生じる場合がある。本実施形態に係るアクチュエータプレート４４１を構成するＰＺＴ等のセラミック材料は、変形、特に引っ張り変形による応力に対して脆弱な性質を有する。よって、アクチュエータプレート４４１において、特にこの引っ張り方向に過度に大きな応力が生じることが抑制されることが望ましい。

【0045】

本実施形態に係るインクジェットヘッド４の構成要素に適用可能な材料として、次の一例を掲げる。流路部材４３に適用可能な材料は、下記に限らず、インクに対する耐性を有するものであれば、いかなる樹脂材料も適用することが可能である。
下ベースプレート４６：ステンレス鋼
ノズルプレート４５：ステンレス鋼
ヘッドチップ４４（アクチュエータプレート４４１、カバープレート４４２）：ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸塩）
流路部材４３（本体４３１、蓋部４３２）：ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂）

【0046】

図５および図６は、インクジェットヘッド４に対する熱の入出力があった場合に、アクチュエータプレート４４１（本実施形態では、ヘッドチップ４４）が示す熱変形の幾つかの例を示す。図５（ａ）は、流路部材４３に対し、アクチュエータプレート４４１が内向きに凹となる熱変形を示した場合であり、図６（ａ）は、アクチュエータプレート４４１が外向きに凸となる熱変形を示した場合である。

【0047】

図５（ａ）および図６（ａ）の熱変形が生じる場合の例として、プリンタ１が置かれる環境での温度上昇時を掲げることができる。そして、このような熱変形は、図５（ａ）に示す例では、アクチュエータプレート４４１に接合されるノズルプレート４５の線膨張係数が、アクチュエータプレート４４１よりも大きいことにより助長される傾向にある。他方で、図６（ａ）に示す例では、ノズルプレート４５の線膨張係数が、アクチュエータプレート４４１よりも小さいことにより助長される傾向にある。アクチュエータプレート４４１の熱変形は、熱の入力時（つまり、加熱時）に限らず、熱の出力時（つまり、冷却時）においても生じる場合がある。

【0048】

ここで、図５（ａ）および図６（ａ）に示すように、アクチュエータプレート４４１の熱変形による膨張が流路部材４３により部分的に抑止される状況にあると、アクチュエータプレート４４１に応力、つまり、引っ張り応力の集中が生じる。具体的には、アクチュエータプレート４４１のうち、流路部材４３との接合部（特にその隅部分）Ｒ１，Ｒ２に集中が生じる。図５（ａ）に示す例（接合部Ｒ１）では、ノズルプレート４５側で引っ張り応力の集中が生じ、図６（ａ）に示す例（接合部Ｒ２）では、流路部材４３側で引っ張り応力の集中が生じる。

【0049】

これに加え、本実施形態では、アクチュエータプレート４４１（ＰＺＴ）が、線膨張係数およびヤング率がいずれも大きい下ベースプレート４６（ステンレス鋼）と接合されていることから、インクジェットヘッド４に対する熱の入出力により、下ベースプレート４６にアクチュエータプレート４４１よりも大きな熱変形が生じる。この場合に、アクチュエータプレート４４１が、下ベースプレート４６により強制的に引っ張られたり、圧縮されたりする。このことも、アクチュエータプレート４４１に過度に大きな応力が生じることの原因となり得る。

【0050】

これに対し、本実施形態では、アクチュエータプレート４４１の自然な熱変形を促すことにより、アクチュエータプレート４４１に無理な変形が生じることを回避して、応力の集中を抑制し、過度に大きな応力がかかることを防止する。

【0051】

具体的には、インクジェットヘッド４を、アクチュエータプレート４４１の一側の低剛性支持部と、他側の高剛性支持部と、に区分し、これらの支持部をアクチュエータプレート４４１に結合する。本実施形態では、アクチュエータプレート４４１に対し、下ベースプレート４６が配置されるのと同じ側で高剛性支持部を構成し、これとは反対側で低剛性支持部を構成する。

【0052】

高剛性支持部は、アクチュエータプレート４４１よりも大きな線膨張係数およびヤング率を有するインクジェットヘッド４の構成部材（つまり、ヘッド構成部材）を含む構造として特徴付けられ、本実施形態では、このヘッド構成部材として、下ベースプレート４６を含む。さらに、高剛性支持部は、高剛性部を備え、この高剛性部により、インクジェットヘッド４への熱の入出力に対するアクチュエータプレート４４１の伸縮の方向における高剛性支持部の熱変形を、同じ熱の入出力に対して下ベースプレート４６がそれ単体でアクチュエータプレート４４１の伸縮の方向に示す熱変形よりも低減させる。

【0053】

本実施形態では、ヘッドチップ接合体４ａを下ベースプレート４６と接合させる接着剤ａ２により、高剛性部を構成する。接着剤ａ２は、硬化後の硬度が比較的に高い性質を有する接着剤（以下「硬質接着剤」という場合がある）であり、本実施形態では、流路部材４３の蓋部４３２を封止膜ｆと接合させる接着剤（以下「軟質接着剤」という場合がある）ａ３２よりも硬化後の硬度が高い。これにより、インクジェットヘッド４への熱の入出力に対する下ベースプレート４６自体の熱変形を抑制する。本実施形態では、硬質接着剤ａ２により高剛性部を構成するが、これに限らず、下ベースプレート４６自体の熱変形を抑制可能な程度に高い剛性またはヤング率を有する部材を追加し、下ベースプレート４６と重ね合わせ、互いに接合させるようにしてもよい。この追加の部材は、下ベースプレート４６よりも低い線膨張係数を有するのが好ましい。

【0054】

ここで、硬質接着剤ａ２は、下ベースプレート４６と比較して、線膨張係数が同程度であるものの、ヤング率が小さい。例えば、下ベースプレート４６の材料であるステンレス鋼の線膨張係数が、１．７０Ｅ－０５であるのに対し、硬質接着剤ａ２の線膨張係数は、５．００Ｅ－０５であり、下ベースプレート４６の材料であるステンレス鋼のヤング率が、１．９０Ｅ＋０５であるのに対し、硬質接着剤ａ２のヤング率は、５．３８Ｅ＋０３である。しかし、接着剤ａ２が限られた範囲でかつ薄く塗布されることから、線膨張係数よりも硬度の高さが顕著に働くことで、下ベースプレート４６の熱変形を抑制することができる。

【0055】

他方で、低剛性支持部は、アクチュエータプレート４４１の伸縮の方向における剛性を、アクチュエータプレート４４１自体よりも低減させる構成を有する。そのような構成として、本実施形態では、流路部材４３の蓋部４３２を封止膜ｆと接合させる接着剤（つまり、軟質接着剤）ａ３２を採用する。ここで、軟質接着剤ａ３２は、硬質接着剤ａ２よりも硬度が低いばかりでなく、流路部材４３の本体４３１を封止膜ｆと接合させる接着剤ａ３１よりも硬化後の硬度が低い。これにより、インクジェットヘッド４に対する熱の入出力があった場合に、アクチュエータプレート４４１と流路部材４３との間の変形量の違いを、軟質接着剤ａ３１により吸収し、アクチュエータプレート４４１の自然な熱変形を促すことが可能である。

【0056】

図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す熱変形をアクチュエータプレート４４１に生じさせる熱の入出力があった場合に、本実施形態に係る低剛性支持部がなす作用を模式的に示す。本実施形態では、アクチュエータプレート４４１とその熱変形の抑止要因となる流路部材４３（具体的には、抑止効果のより大きな蓋部４３２）との接合に、比較的低硬度の軟質接着剤ａ３２を採用することで、低剛性支持部をアクチュエータプレート４４１の熱変形に対して追従可能とし、熱の入出力に対するアクチュエータプレート４４１の自然な熱変形を促す。

【0057】

図６（ｂ）に示す熱変形を生じさせる熱の入出力に対しても同様であり、アクチュエータプレート４４１と流路部材４３との接合に軟質接着剤ａ３２を採用することで、低剛性支持部をアクチュエータプレート４４１の熱変形に対して追従可能とする。

【0058】

そして、ヘッドチップ接合体４ａと下ベースプレート４６との接合に、比較的高硬度の硬質接着剤ａ２を採用することで、熱の入出力に対する下ベースプレート４６自体の熱変形を抑制可能とし、変形が抑制された下ベースプレート４６を支えとして、アクチュエータプレート４４１に過度な応力の集中を生じさせる熱変形が生じることを抑制する。

【0059】

［動作］
（プリンタ１の動作）
本実施形態では、プリンタ１により、記録紙Ｍに対する画像および文字等の印刷を行う。初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３には、対応する色（４色）のインクが充分に封入される。さらに、インクジェットヘッド４には、対応する色のインクが充填される。

【0060】

初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂのグリッドローラ２１が回転し、記録紙Ｍがグリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に挟持され、搬送方向ｄ（Ｘ方向）に搬送される。このような搬送動作と同時に、駆動機構３４の電気モータ３４１が駆動し、図示しないプーリを回転させることにより、無端ベルト３４２を介してキャリッジ３３を移動させる。キャリッジ３３は、ガイドレール３１，３２により案内されて、記録紙Ｍの幅方向（Ｙ方向）に往復移動する。このように、記録紙Ｍとキャリッジ３３との相対的な位置関係が変化するなかで、インクジェットヘッド４から記録紙Ｍにインクを適宜吐出させることで、記録紙Ｍに対する画像および文字等の印刷が達成される。

【0061】

（インクジェットヘッド４の動作）
インクジェットヘッド４において、導入ポート４３ｉｎｔから排出ポート４３ｅｘｔに向かうインクの流路（インク供給路ｐ１）が形成され、その流路から分岐する溝（噴射チャネルＣｅ１，Ｃｅ２）を介して、複数の噴射孔４５ｈのそれぞれにインクが供給される。ここで、導入ポート４３ｉｎｔを介してこの流路に導入されたインクのうち、一部は、排出ポート４３ｅｘｔに向けて流路（インク排出路ｐ２）を流れ、他の一部は、記録時に噴射孔４５ｈに導入されて、記録紙Ｍに向けて噴射される。

【0062】

［作用および効果］
本実施形態に係る液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド４）は、以上の構成を有し、以下に、本実施形態により得られる効果について説明する。

【0063】

第１に、アクチュエータプレート４４１、本実施形態では、ヘッドチップ４４の一側（流路部材４３が配置される側）に低剛性支持部を配置するとともに、他側（下ベースプレート４６が配置される側）に高剛性支持部を配置し、これらの支持部をアクチュエータプレート４４１と結合したことで、アクチュエータプレート４４１またはこれを含むヘッドチップ接合体４ａを支持する構造の剛性バランスの適正化を図り、インクジェットヘッド４に対する熱の入出力によりアクチュエータプレート４４１に生じる応力を抑制または低減することが可能となる。これにより、アクチュエータプレート４４１の熱変形による損傷（例えば、アクチュエータプレート４４１がセラミック材料からなる場合に、その破壊）を抑制し、もって、インクジェットヘッド４およびプリンタ１の製品寿命の確保ないし延長を図ることが可能となる。

【0064】

第２に、ヘッドチップ接合体４ａと下ベースプレート４６との接合に、比較的高硬度の硬質接着剤ａ２を採用するとともに、流路部材４３の蓋部４３２と封止膜ｆとの接合に、比較的低硬度の軟質接着剤ａ３２を採用したことで、高剛性支持部および低剛性支持部のそれぞれに対し、容易に所要の剛性を持たせることが可能となる。そして、本実施形態によれば、接着剤ａ２，ａ３２の種類または特性の選択により、新たな部品の追加を要することなく、容易に剛性バランスの適正化を図ることが可能となる。

【0065】

さらに、流路部材４３の本体４３１と封止膜ｆとの接合に、比較的高硬度の接着剤ａ３１を採用したことで、他の接着剤（硬質接着剤ａ２，軟質接着剤ａ３２）の選択により剛性バランスの適正化を図りながら、流路（インク導入路ｐ１、インク排出路ｐ２）の液密性を確保することが可能である。

【0066】

［変形例の説明］
（第１変形例）
先の例では、低剛性支持部に、アクチュエータプレート４４１よりも低い剛性を持たせるため、流路部材４３自体とは異なる要素を採用し、流路部材４３の蓋部４３２と封止膜ｆとを、比較的低硬度の軟質接着剤ａ３２により接合した。低剛性支持部に持たせる剛性の低下は、これに限らず、低剛性支持部に含まれる流路部材４３自体の剛性を低減させことによっても可能である。

【0067】

図７は、本実施形態に係るインクジェットヘッド４の変形例の構成を、図４と同様の断面により示す。

【0068】

流路部材４３の剛性は、流路部材４３を構成する材料の選択によっても低減可能であるし、流路部材４３の形状の適正化によっても低減可能である。後者の例として、例えば、流路部材４３の一部、具体的には、アクチュエータプレート４４１の熱変形に追従する流路部材４３の変形の妨げとなる構造要素に、他の箇所よりも薄肉に形成された薄肉部を設け、当該妨げとなる構造要素に、弾性を持たせる。本実施形態では、アクチュエータプレート４４１の熱変形による伸縮の方向に対して平行な方向に延びる構造要素に、上方薄肉部ｃ１を設ける。これにより、流路部材４３（具体的には、蓋部４３２）の薄肉化を通じて流路部材４３の剛性を低減させ、アクチュエータプレート４４１の熱変形に対して追従可能とする。

【0069】

この変形例では、上方薄肉部ｃ１が、本実施形態に係る「低剛性部」を構成する。

【0070】

（第２変形例）
図８は、本実施形態に係るインクジェットヘッド４の他の変形例を、図４と同様の断面により示す。

【0071】

図８に示す例では、図７に示す例と同様に、流路部材４３の一部、具体的には、アクチュエータプレート４４１の熱変形による伸縮の方向に対して垂直な方向に延びる構造要素に、他の箇所よりも薄肉に形成された薄肉部（以下「側方薄肉部」という）ｃ２を設け、流路部材４３を、アクチュエータプレート４４１に生じる熱変形の方向に柔軟な形状とする。これにより、流路部材４３の剛性を低減させ、アクチュエータプレート４４１の熱変形に対して追従可能とする。

【0072】

この変形例では、側方薄肉部ｃ２が、本実施形態に係る「低剛性部」を構成する。

【0073】

以上の説明では、アクチュエータプレート４４１よりも線膨張係数およびヤング率がいずれも大きいヘッド構成部材として、ステンレス鋼を材料とする下ベースプレート４６を採用した。さらに、先に述べたように、本実施形態では、下ベースプレート４６だけでなく、ノズルプレート４５も、ステンレス鋼を材料とし、アクチュエータプレート４４１よりも大きな線膨張係数およびヤング率を有することから、下ベースプレート４６に併せてノズルプレート４５も、高剛性支持部のヘッド構成部材に該当するものとみることが可能である。つまり、ノズルプレート４５と下ベースプレート４６とを硬質接着剤で固めたり、他の高剛性部と重ね合わせて、接合させたりするなどして、アクチュエータプレート４４１の熱変形を抑止する支えとすることが可能である。

【0074】

そして、これに限らず、ノズルプレート４５と下ベースプレート４６とのうち、一方をヤング率がより小さい材料からなるものとして、他方のみをヘッド構成部材とすることも可能である。この場合の例として、下ベースプレート４６をステンレス鋼から作製する一方、ノズルプレート４５を、ステンレス鋼よりもヤング率が小さい材料（例えば、ポリイミド）から作製する。

【0075】

以上の記載から導出可能な概念の幾つかを、以下に列挙する。
（１）圧力室を有するアクチュエータ部材と、
前記アクチュエータ部材に対する一側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材に結合された低剛性支持部と、
前記アクチュエータ部材に対して前記一側とは反対の他側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材に結合された高剛性支持部と、
を備え、
前記高剛性支持部は、前記アクチュエータ部材よりも大きな線膨張係数およびヤング率を有する液体噴射ヘッドのヘッド構成部材を含み、液体噴射ヘッドへの熱の入出力に対する前記アクチュエータ部材の伸縮の方向における当該高剛性支持部の熱変形を、前記熱の入出力に対して前記ヘッド構成部材が単体で前記伸縮の方向に示す熱変形よりも低減させる高剛性部を有し、
前記低剛性支持部は、前記伸縮の方向における剛性が、前記アクチュエータ部材よりも低い、
液体噴射ヘッドである。
（２）前記アクチュエータ部材の前記一側に配置されるとともに、前記圧力室に供給される液体の流路が形成された流路部材をさらに備え、
前記低剛性支持部が、前記流路部材を含む、
上記（１）の液体噴射ヘッドである。
（３）前記流路部材は、前記アクチュエータ部材よりも線膨張係数が大きくかつヤング率が小さい材料からなる、
上記（２）の液体噴射ヘッドである。
（４）前記流路部材は、前記アクチュエータ部材の変形に追従した当該流路部材の変形を促す低剛性部を有する、
上記（２）または（３）の液体噴射ヘッドである。
（５）前記アクチュエータ部材の前記他側に配置されるとともに、前記圧力室に連通しかつ外部に向けて開口する噴射孔が形成されたノズルプレートをさらに備え、
前記高剛性支持部が、前記ヘッド構成部材として、前記ノズルプレートを含む、
上記（１）から（４）のいずれかの液体噴射ヘッドである。
（６）前記アクチュエータ部材の前記他側に配置されるとともに、前記アクチュエータ部材が接合される支持面が形成されたベース部材をさらに備え、
前記高剛性支持部が、前記ヘッド構成部材として、前記ベース部材を含む、
上記（１）から（５）のいずれかの液体噴射ヘッドである。
（７）前記アクチュエータ部材の前記一側に配置された流路部材をさらに備え、
前記流路部材は、
前記圧力室に供給される液体の流路が形成された本体と、
前記本体に対し、液体非透過性の封止膜を介して接合された蓋部と、を備え、
前記ベース部材は、前記アクチュエータ部材に対して第１接着剤により接着され、
前記蓋部は、前記封止膜に対して第２接着剤により接着され、
前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも硬化後の硬度が高い、
上記（６）の液体噴射ヘッドである。
（８）前記本体は、前記封止膜に対して第３接着剤により接着され、
前記第３接着剤は、前記第２接着剤よりも硬化後の硬度が高い、
上記（７）の液体噴射ヘッドである。
（９）前記蓋部は、前記熱の入出力による前記アクチュエータ部材の変形の方向に弾性を有する、
上記（７）または（８）の液体噴射ヘッドである。
（１０）上記（１）から（９）のいずれかの液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられたキャリッジと、
前記キャリッジを被記録媒体に対して予め定められた相対位置に支持可能に構成された支持機構と、
を備える、液体噴射記録装置である。

【符号の説明】

【0076】

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３…インクタンク、３３…キャリッジ、４…インクジェットヘッド、４１…ヘッドカバー、４２…上ベースプレート、４３…流路部材、４３ｉｎｔ…導入ポート、４３ｅｘｔ…排出ポート、４４…ヘッドチップ、４４１…アクチュエータプレート、４４２…カバープレート、４６…下ベースプレート、Ｍ…記録紙、ｄ…搬送方向、ｐ１…インク供給路、ｐ２…インク排出路、ａ１，ａ２，ａ３１，ａ３２…接着剤、Ｃｅ１，Ｃｅ２…噴射チャネル、ｆ…封止膜。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】