特許 7410089 吸振式水晶振動子パッケージ構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-25

(45)【発行日】2024-01-09

(54)【発明の名称】吸振式水晶振動子パッケージ構造

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/09 20060101AFI20231226BHJP

   H03H 9/02 20060101ALI20231226BHJP

   H03H 9/19 20060101ALI20231226BHJP

【ＦＩ】

H03H9/09

H03H9/02 A

H03H9/19 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021128378

(22)【出願日】2021-08-04

(65)【公開番号】P2022155430

(43)【公開日】2022-10-13

【審査請求日】2021-08-04

(31)【優先権主張番号】110111483

(32)【優先日】2021-03-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】506413591

【氏名又は名称】台灣晶技股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110002262

【氏名又は名称】ＴＲＹ国際弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】彭 子修

(72)【発明者】

【氏名】羅 韋晨

(72)【発明者】

【氏名】林 宗徳

【審査官】工藤 一光

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－１５１６５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２２３９９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】実公昭６１－３０３３４（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】特開２００８－１７４０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５８－１５９０１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１３／１６１５９８（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｈ９／０２－９／１３５

Ｈ０３Ｈ９／１５－９／２１５

Ｈ０３Ｈ９／５４－９／６０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

頂部に凹部を有し、側壁が前記凹部を取り囲むパッケージベースと、
フレーム部、第１蛇行（ｓｅｒｐｅｎｔｉｎｅ）型接続部、第２蛇行型接続部及び共振部を備え、前記共振部は長方形であり、前記第１蛇行型接続部の一端は前記共振部の長辺又は短辺の一端に接続し、前記第１蛇行型接続部の他端は前記フレーム部に接続し、前記第２蛇行型接続部の一端は前記共振部の他の長辺又は他の短辺の一端に接続し、前記第２蛇行型接続部の他端は前記フレーム部に接続し、前記フレーム部は前記側壁上に設けられる共振水晶片と、
前記フレーム部上に設けられ、前記凹部、前記第１蛇行型接続部及び前記第２蛇行型接続部のうち、少なくとも１つの蛇行型接続部及び前記共振部を遮蔽するカバーと、
を含み、
前記第１蛇行型接続部と前記第２蛇行型接続部のそれぞれは、
第１端部及び第２端部を有し、前記第１端部は前記共振部の長辺又は短辺の一端に接続する第１接続腕と、
第３端部及び第４端部を有するとともに前記第１接続腕に垂直に接続し、前記第３端部は前記第２端部に接続する第２接続腕と、
第５端部及び第６端部を有するとともに前記第２接続腕に垂直に接続し、前記第５端部は前記第４端部に接続する第３接続腕と、
第７端部及び第８端部を有するとともに前記第３接続腕に垂直に接続し、前記第７端部は前記第６端部に接続する第４接続腕であって、前記第４接続腕及び前記第２接続腕は互いに対向して配置され平行に配置される第４接続腕と、
第９端部及び第１０端部を有するとともに前記第４接続腕に垂直に接続し、前記第９端部は前記第８端部に接続する第５接続腕と、
第１１端部及び第１２端部を有するとともに前記第５接続腕に垂直に接続し、前記第１１端部は前記第１０端部に接続する第６接続腕であって、前記第６接続腕及び前記第４接続腕は互いに対向して配置され平行に配置される第６接続腕と、
第１３端部及び第１４端部を有するとともに前記第６接続腕に垂直に接続し、前記第１３端部は前記第１２端部に接続し、前記第１４端部は前記フレーム部に接続する第７接続腕と、を含み、
前記第１接続腕の第１端部が前記共振部の短辺の一端に接続される場合、前記第２接続腕、前記第４接続腕、及び前記第６接続腕の各長さは、前記共振部の短辺の長さと等しく、前記第１接続腕の第１端部が前記共振部の長辺の一端に接続される場合、前記第２接続腕、前記第４接続腕、及び前記第６接続腕の各長さは、前記共振部の長辺の長さと等しい、吸振式水晶振動子パッケージ構造。

【請求項2】

前記カバーは、前記パッケージベースに対向する面の外周に突起が形成されており、
前記第１蛇行型接続部及び前記共振部の底面に設けられ、前記共振部に電気的に接続する第１電極層と、
前記第２蛇行型接続部及び前記共振部の頂面に設けられ、前記共振部に電気的に接続する第２電極層と
前記パッケージベースの前記側壁と前記フレーム部の間に設けられる第１シールリングと、
前記フレーム部と前記カバーの前記突起との間に設けられる第２シールリングと、
前記パッケージベースの底面に設けられる複数の導電パッドと、
をさらに含む、請求項１に記載の吸振式水晶振動子パッケージ構造。

【請求項3】

前記共振水晶片は第３蛇行型接続部及び第４蛇行型接続部をさらに含み、前記第３蛇行型接続部は、前記第１蛇行型接続部の接続する前記共振部の前記長辺又は前記短辺に隣接する短辺又は長辺と前記フレーム部の間に接続し、前記第４蛇行型接続部は、前記第３蛇行型接続部の接続する前記共振部の前記短辺又は長辺に隣接する短辺又は長辺と前記フレーム部の間に接続し、かつ前記第１蛇行型接続部、第２蛇行型接続部、第３蛇行型接続部及び第４蛇行型接続部はいずれも前記共振部の周囲を接続する、請求項１に記載の吸振式水晶振動子パッケージ構造。

【請求項4】

前記第１蛇行型接続部と前記第２蛇行型接続部のいずれか１つの対応接続部が前記長方形の長辺に接続するとき、前記対応接続部と前記フレーム部の接続位置と、前記対応接続部と前記共振部の接続位置の間の距離はＤ１となり、前記長方形の幅はＷとなり、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる、請求項１に記載の吸振式水晶振動子パッケージ構造。

【請求項5】

前記第１蛇行型接続部と前記第２蛇行型接続部のいずれか１つの対応接続部が前記長方形の短辺に接続するとき、前記対応接続部と前記フレーム部の接続位置と、前記対応接続部と前記共振部の接続位置の間の距離はＤ２となり、前記長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となる、請求項１に記載の吸振式水晶振動子パッケージ構造。

【請求項6】

前記フレーム部、前記第１蛇行型接続部、前記第２蛇行型接続部及び前記共振部は一体成形である請求項１に記載の吸振式水晶振動子パッケージ構造。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はパッケージ構造に関し、特に、吸振式水晶振動子のパッケージ構造に関する。

【背景技術】

【0002】

水晶素子は、安定した圧電特性を有し、精確かつ幅広い基準周波数、クロック制御、時間設定及びノイズのフィルタリング等の機能を提供でき、また、振動及び圧力等のセンサーにもなり、重要な光学素子にもなる。したがって、電子製品にとって、水晶素子は一挙手一投足が全体に影響を及ぼすような存在になっている。

【0003】

水晶振動子１は水晶振動子素子１０並びに水晶振動子素子１０を覆う第１ケース１１及び第２ケース１２により構成される。水晶振動子素子１０は水晶基板により構成される。水晶振動子素子１０の上下表面には激振電極１３、１４が形成され、かつ水晶振動子素子１０は主振動部及び主振動部を包囲する支持部を有する。第１ケース１１及び第２ケース１２は青板ガラスのような汎用ガラスでできている。第１ケース１１及び第２ケース１２の外周にはそれぞれ突起が形成される。第１ケース１１及び第２ケース１２は突出する部分が支持部に結合しており、水晶振動子素子１０はその間に挟まれている。支持部の水晶振動子素子１０に占める面積は大きいため、外界の機械的な振動又は瞬間的な衝撃が主振動部に伝わってしまい、水晶振動子１の振動周波数が不安定になる。

【0004】

本発明は、上述の欠点に対し、従来技術の問題を解決する吸振式水晶振動子パッケージ構造を提案する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、外界の機械的な振動又は瞬間的な衝撃が共振水晶片に伝わるのを回避するとともに、共振周波数を安定させる吸振式水晶振動子パッケージ構造を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一実施形態において提供される吸振式水晶振動子パッケージ構造はパッケージベース、共振水晶片及びカバーを含む。パッケージベースは頂部に凹部を有し、パッケージベースの側壁が凹部を取り囲む。共振水晶片はフレーム部、少なくとも１つの蛇行（ｓｅｒｐｅｎｔｉｎｅ）型接続部及び共振部を備え、蛇行型接続部は共振部の辺縁とフレーム部の間を接続し、フレーム部は側壁上に設けられる。カバーはフレーム部上に設けられ、凹部、蛇行型接続部及び共振部を遮蔽する。

【0007】

本発明の一実施形態において、吸振式水晶振動子パッケージ構造は第１電極層、第２電極層、第１シールリング、第２シールリング及び複数の導電パッドをさらに含む。第１電極層は蛇行型接続部及び共振部の底面に設けられ、共振部に電気的に接続する。第２電極層は蛇行型接続部及び共振部の頂面に設けられ、共振部に電気的に接続する。第１シールリングはパッケージベースの側壁とフレーム部の間に設けられ、第２シールリングはフレーム部とカバーの間に設けられる。全ての導電パッドはパッケージベースの底面に設けられる。

【0008】

本発明の一実施形態において、蛇行型接続部は第１接続腕、第２接続腕及び第３接続腕を含む。第１接続腕は第１端部及び第２端部を有し、第１端部は共振部の辺縁に接続する。第２接続腕は、第３端部及び第４端部を有するとともに第１接続腕に垂直に接続し、第３端部は第２端部に接続する。第３接続腕は、第５端部及び第６端部を有するとともに第２接続腕に垂直に接続し、第５端部は第４端部に接続し、第６端部はフレーム部に接続する。

【0009】

本発明の一実施形態において、蛇行型接続部は第４接続腕及び第５接続腕をさらに含む。第４接続腕は、第７端部及び第８端部を有するとともに第３接続腕に垂直に接続し、第７端部は第６端部に接続する。第５接続腕は、第９端部及び第１０端部を有するとともに第４接続腕に垂直に接続し、第９端部は第８端部に接続し、第１０端部はフレーム部に接続する。

【0010】

本発明の一実施形態において、蛇行型接続部は第６接続腕及び第７接続腕をさらに含む。第６接続腕は、第１１端部及び第１２端部を有するとともに第５接続腕に垂直に接続し、第１１端部は第１０端部に接続する。第７接続腕は、第１３端部及び第１４端部を有するとともに第６接続腕に垂直に接続し、第１３端部は第１２端部に接続し、第１４端部はフレーム部に接続する。

【0011】

本発明の一実施形態において、蛇行型接続部は複数の蛇行型接続部を含み、全ての蛇行型接続部はいずれも共振部の辺縁とフレーム部の間を接続する。

【0012】

本発明の一実施形態において、共振部は長方形である。

【0013】

本発明の一実施形態において、蛇行型接続部が長方形の長辺に接続するとき、蛇行型接続部とフレーム部の接続位置と、蛇行型接続部と共振部の辺縁の接続位置の間の距離はＤ１となり、長方形の幅はＷとなり、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0014】

本発明の一実施形態において、蛇行型接続部が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部とフレーム部の接続位置と、蛇行型接続部と共振部の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となる。

【0015】

本発明の一実施形態において、フレーム部、少なくとも１つの蛇行型接続部及び共振部は一体成形である。

【発明の効果】

【0016】

上述によれば、吸振式水晶振動子パッケージ構造は、蛇行型接続部がフレーム部と共振部の間に形成されることにより、外界の機械的な振動又は瞬間的な衝撃が共振水晶片に伝わるのを回避するとともに、共振周波数を安定させることができる。

【0017】

本発明の構造的特徴および達成される効果のさらなる理解と認識のため、添付の図面と併せて好ましい実施例について以下に詳細に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】先行技術の水晶振動子を示す図である。

【図2】本発明の吸振式水晶振動子パッケージ構造の一実施形態における構造分解図である。

【図3】本発明の吸振式水晶振動子パッケージ構造の一実施形態における構造断面図である。

【図4】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図5】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図6】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図7】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図8】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図9】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図10】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図11】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図12】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図13】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図14】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図15】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図16】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図17】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【図18】本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明の実施形態について、関連する図を合わせて以下にさらなる説明を加える。図面及び明細書においては、可能な限り、同じ符号で同一又は同様の部材を示す。図面においては、簡潔性及び利便性のため、形状及び厚さが拡大表示されることがある。特に図中で表示されていない、或いは明細書に記載されていない素子は、当業者が知る形態であると解釈できる。当業者は本発明の内容に基づいて様々な変更や修正を行うことができる。

【0020】

１つの素子が「・・・上にある」と記述されている場合、一般的には当該素子が直接その他の素子上にあることを指し、その他の素子が両者の中間に存在するという場合もある。それに反し、１つの素子が「直接」別の素子にあるという記述の場合、その他の素子は両者の中間に存在することはできない。本文で用いられる「及び／又は」は、列挙された関連項目中の１つ又は複数のいかなる組み合わせをも含むことを意味する。

【0021】

以下の文中における「一つの実施形態」又は「一実施形態」という記述は少なくとも１つの実施形態内において関連する特定の素子、構造又は特徴のことを指す。したがって、以下の文中において多くの箇所にある「一つの実施形態」又は「一実施形態」といった複数の記述は同一実施形態に対するものではない。さらに、１つ又は複数の実施形態における特定の部材、構造及び特徴は適切な方式に基づいて組み合わせることができる。

【0022】

以下に具体例を挙げて説明を加えるが、これらの例は説明のために用いられるに過ぎない。当業者であれば、本開示内容の精神と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や潤色を加えることができる。本開示内容の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。本明細書及び特許請求の範囲において、明確な指定がない限り、「１つ」及び「前記」という用語は、「１つまたは少なくとも１つ」の意味を含む。また、本開示にもあるように、特定の文脈から複数であることが明らかである以外に、単数表記は複数の意味も含む。さらに、本明細書及び特許請求の範囲における内容に明確な指定がない限り、「その中」という用語は、「その中」及び「その上」という意味を含むことがある。本明細書及び特許請求の範囲で使用される用語（ｔｅｒｍｓ）は、明確な説明がない限り、その用語が当該分野、本開示の内容及び特殊な内容において通常用いられるのと同じ意味を有する。本開示を説明するための用語については、以下の段落または明細書で別途説明し、当業者（ｐｒａｃｔｉｔｉｏｎｅｒ）が本開示の説明をより明確に理解できるようにする。本明細書のいかなる部分の例示も、ここに述べる用語の例示の使用に含まれ、これらの例示は説明のために用いられるに過ぎず、本開示又は例示されるいかなる用語の範囲及び意味を限定するものではない。同様に、本開示は本明細書で提案される各種実施形態に限定されない。

【0023】

また、「電気的に結合（電気結合）」又は「電気的に接続（電気接続）」という語句を使用する場合は、いかなる直接的及び間接的な電気接続手段も含まれる。例えば、文中で第１装置が第２装置に電気的に結合するという記載がある場合、当該第１装置は当該第２装置に直接的に接続できる、或いはその他の装置又は接続手段により当該第２装置に間接的に接続できることを示す。さらに、電気信号の伝送、提供についての記載がある場合は、電気信号の伝送過程において減衰又はその他非理想的な変化が伴う可能性はあるが、電気信号の伝送又は提供の供給源及び受信端について特に説明がない場合は、実質上同一信号であると見なされることを、当業者は理解できるはずである。例えば、電子回路の端点Ａから電気信号Ｓを電子回路の端点Ｂに伝送（又は提供）する場合、トランジスタースイッチのソース、ドレイン両端及び／又は可能な寄生容量により電圧を低下させる可能性があるが、この設計の目的によれば、意図せずに伝送（又は提供）時に生じる減衰又はその他の非理想的な変化を利用してある特定の技術効果を達成する場合、電気信号Ｓは電子回路の端点Ａと端点Ｂにおいて実質的な同一信号と見なすことができるはずである。

【0024】

本明細書で使用する「含む、備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ、ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ、ｉｎｖｏｌｖｉｎｇ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、「含有する（ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ）」などの用語は、オープンエンド形式（ｏｐｅｎ－ｅｎｄｅｄ）であり、つまり、挙げられたものに限定されないことを意図している。また、本発明のいずれの実施形態或いは特許請求の範囲は、本発明が開示した目的、長所或いは特徴の全てを達成する必要はない。また、要約と発明の名称は、特許文献を検索するのに用いられるものであり、本発明の特許請求の範囲を限定するものではない。

【0025】

図２は本発明の吸振式水晶振動子パッケージ構造の一実施形態における構造分解図である。図３は本発明の吸振式水晶振動子パッケージ構造の一実施形態における構造断面図である。以下に本発明の吸振式水晶振動子パッケージ構造２を紹介するので、図２及び図３を参照されたい。吸振式水晶振動子パッケージ構造２はパッケージベース２０、共振水晶片２１及びカバー２２を含む。パッケージベース２０の頂部には凹部２００を有し、パッケージベース２０の側壁は凹部２００を取り囲む。共振水晶片２１はフレーム部２１０、少なくとも１つの蛇行（ｓｅｒｐｅｎｔｉｎｅ）型接続部２１１及び共振部２１２を備える水晶板であってよく、蛇行型接続部２１１は湾曲形状及び振動吸収機能を有する。蛇行型接続部２１１は共振部２１２の辺縁とフレーム部２１０の間を接続し、フレーム部２１０はパッケージベース２０の側壁上に設けられる。フレーム部２１０、蛇行型接続部２１１及び共振部２１２は一体成型であってよい。カバー２２はフレーム部２１０上に設けられ、凹部２００、蛇行型接続部２１１及び共振部２１２を遮蔽する。蛇行型接続部２１１がフレーム部２１０と共振部２１２の間に形成されることにより、外界の機械的な振動又は瞬間的な衝撃が共振部２１２に伝わるのが回避され、共振周波数が安定する。

【0026】

本発明の実施形態の中には、吸振式水晶振動子パッケージ構造２が第１電極層２３、第２電極層２４、第１シールリング２５、第２シールリング２６及び複数の導電パッド２７をさらに含むものがある。第１電極層２３は蛇行型接続部２１１及び共振部２１２の底面に設けられ、第１電極層２３は共振部２１２に電気的に接続する。第２電極層２４は蛇行型接続部２１１及び共振部２１２の頂面に設けられ、第２電極層２４は共振部２１２に電気的に接続する。第１シールリング２５はパッケージベース２０の側壁とフレーム部２１０の間に設けられ、第２シールリング２６はフレーム部２１０とカバー２２の間に設けられる。全ての導電パッド２７はパッケージベース２０の底面に設けられる。

【0027】

図４から図1８は本発明の共振水晶片及び第１電極層の各種実施形態における構造の平面図である。図２及び図４が示すように蛇行型接続部２１１の数量は１つであり、蛇行型接続部２１１は第１接続腕２１１１、第２接続腕２１１２及び第３接続腕２１１３を含む。第１接続腕２１１１は第１端部及び第２端部を有し、第１端部は共振部２１２の辺縁に接続する。第２接続腕２１１２は、第３端部及び第４端部を有し、第１接続腕２１１１に垂直に接続し、第３端部は第２端部に接続する。第３接続腕２１１３は、第５端部及び第６端部を有するとともに第２接続腕２１１２に垂直に接続し、第５端部は第４端部に接続し、第６端部はフレーム部２１０に接続する。共振部２１２は長方形を例とする。蛇行型接続部２１１が長方形の長辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ１となり、かつ長方形の幅はＷとなり、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0028】

図２及び図５が示すように、図４の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１は第４接続腕２１１４及び第５接続腕２１１５をさらに含む。第４接続腕２１１４は、第７端部及び第８端部を有するとともに第３接続腕２１１３に垂直に接続し、第７端部は第６端部に接続する。第５接続腕２１１５は、第９端部及び第１０端部を有するとともに第４接続腕２１１４に垂直に接続し、第９端部は第８端部に接続し、第１０端部はフレーム部２１０に接続し、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0029】

図２及び図６が示すように、図５の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となる。

【0030】

図２及び図７が示すように、図６の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は２つであり、かつこの２つの蛇行型接続部２１１は対称的に位置し、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となる。

【0031】

図２及び図８が示すように、図５の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は２つであり、かつこの２つの蛇行型接続部２１１は対称的に位置し、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0032】

図２及び図９が示すように、図５の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は３つであり、かつ２つの蛇行型接続部２１１は対称的に位置する。蛇行型接続部２１１が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２、かつＤ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0033】

図２及び図１０が示すように、図５の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は２つであり、長方形の短辺及び長辺にそれぞれ接続する。蛇行型接続部２１１が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0034】

図２及び図１１が示すように、図９の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は複数であり、４つを例とした場合、全ての蛇行型接続部２１１はいずれも共振部２１２の辺縁とフレーム部２１０の間を接続し、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0035】

図２及び図１２が示すように、図５の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１は第６接続腕２１１６及び第７接続腕２１１７をさらに含む。第６接続腕２１１６は、第１１端部及び第１２端部を有するとともに第５接続腕２１１５に垂直に接続し、第１１端部は第１０端部に接続する。第７接続腕２１１７は、第１３端部及び第１４端部を有するとともに第６接続腕２１１６に垂直に接続し、第１３端部は第１２端部に接続し、第１４端部はフレーム部２１０に接続し、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0036】

図２及び図１３が示すように、図１２の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となる。

【0037】

図２及び図１４が示すように、図１３の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は２つであり、かつこの２つの蛇行型接続部２１１は対称的に位置し、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となる。

【0038】

図２及び図１５が示すように、図１２の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は２つであり、かつこの２つの蛇行型接続部２１１は対称的に位置し、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ２＝０.８～１.２となる。

【0039】

図２及び図１６が示すように、図１２の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は３つであり、かつ２つの蛇行型接続部２１１は対称的に位置する。蛇行型接続部２１１が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となり、Ｄ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0040】

図２及び図１７が示すように、図１２の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は２つであり、かつ長方形の短辺及び長辺にそれぞれ接続する。蛇行型接続部２１１が長方形の短辺に接続するとき、蛇行型接続部２１１とフレーム部２１０の接続位置と、蛇行型接続部２１１と共振部２１２の辺縁の接続位置の間の距離はＤ２となり、長方形の長さはＬとなり、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２となり、かつＤ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0041】

図２及び図１８が示すように、図１６の実施形態と比較すると、蛇行型接続部２１１の数量は複数であり、４つを例とした場合、全ての蛇行型接続部２１１はいずれも共振部２１２の辺縁とフレーム部２１０の間を接続し、Ｄ２＝Ｃ２×Ｌ、Ｃ２＝０.８～１.２、かつＤ１＝Ｃ１×Ｗ、Ｃ１＝０.８～１.２となる。

【0042】

上述の実施形態によれば、吸振式水晶振動子パッケージ構造は、蛇行型接続部がフレーム部と共振部の間に形成されることにより、外界の機械的な振動又は瞬間的な衝撃が共振部に伝わるのが回避され、共振周波数が安定する。

【0043】

上述の記載は本発明の好ましい実施例の説明に過ぎず、本発明の実施範囲を限定するものではない。したがって、本発明の特許請求の範囲に記載された形状、構造、特徴及び精神に基づく均等な変更や潤色は全て、本発明の特許請求の範囲内に含まれる。

【符号の説明】

【0044】

１ 水晶振動子
１０ 水晶振動子素子
１１ 第１ケース
１２ 第２ケース
１３ 激振電極
１４ 激振電極
２ 吸振式水晶振動子パッケージ構造
２０ パッケージベース
２００ 凹部
２１ 共振水晶片
２１０ フレーム部
２１１ 蛇行型接続部
２１１１ 第１接続腕
２１１２ 第２接続腕
２１１３ 第３接続腕
２１１４ 第４接続腕
２１１５ 第５接続腕
２１１６ 第６接続腕
２１１７ 第７接続腕
２１２ 共振部
２２ カバー
２３ 第１電極層
２４ 第２電極層
２５ 第１シールリング
２６ 第２シールリング
２７ 導電パッド

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】