特許 7410183 物品搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-25

(45)【発行日】2024-01-09

(54)【発明の名称】物品搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/02 20060101AFI20231226BHJP

【ＦＩ】

H05K13/02 Z

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2021571097

(86)(22)【出願日】2020-01-14

(86)【国際出願番号】 JP2020000933

(87)【国際公開番号】W WO2021144866

(87)【国際公開日】2021-07-22

【審査請求日】2022-04-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】野沢 瑞穂

(72)【発明者】

【氏名】藤井 真一

【審査官】大塚 多佳子

(56)【参考文献】

【文献】特許第５９６３８６３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開平０８－２３４８３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０１２９４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１０００２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１８４３２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００ － １３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機に使用される物品を受け渡し可能な複数のステーションが並んで設けられているステーション群と、
前記複数のステーションのうちの所定の前記ステーションとの間で前記物品を受け渡し可能な搬送車に設けられる第一通信部および前記複数のステーションの各々に設けられる第二通信部を有し、前記複数のステーションのうちの一の前記ステーションに前記搬送車が到着した際に、前記一のステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の第一無線通信は許容され、他の前記ステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の前記第一無線通信は規制される第一通信装置と、
前記第一通信装置を利用することにより前記ステーションを識別し、前記搬送車が前記物品を送出または受領すべき前記ステーションである目標ステーションに前記搬送車が到着しているか否かを判断する判断部と、
を備える物品搬送システム。

【請求項2】

前記判断部は、前記第一通信装置を利用することにより前記一のステーションに前記搬送車が到着したことを検出し、到着が検出された前記一のステーションが前記目標ステーションであるか否かを判断する請求項１に記載の物品搬送システム。

【請求項3】

前記判断部は、前記第一通信装置を利用することにより前記一のステーションの識別情報を取得して、取得した前記一のステーションの識別情報が前記目標ステーションの識別情報と一致するか否かに基づいて、前記一のステーションが前記目標ステーションであるか否かを判断する請求項１または請求項２に記載の物品搬送システム。

【請求項4】

前記第一無線通信は、前記一のステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の無線通信の通信可能範囲と、当該ステーションに隣接する前記ステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の無線通信の通信可能範囲とが重ならない請求項１～請求項３のいずれか一項に記載の物品搬送システム。

【請求項5】

前記第一無線通信は、光通信である請求項４に記載の物品搬送システム。

【請求項6】

前記搬送車は、無人搬送車であり、
前記搬送車を管理する管理装置と、
前記第一無線通信と比べて広範囲の無線通信が可能な第二無線通信を用いて、前記管理装置と前記搬送車との間の通信を行う第二通信装置と、
を備える請求項１～請求項５のいずれか一項に記載の物品搬送システム。

【請求項7】

前記搬送車は、前記物品若しくは前記物品を収容している収容ケースを前記目標ステーションに送出し前記目標ステーションから前記物品若しくは前記収容ケースを受領する第一移載装置を備え、
前記第一移載装置は、前記判断部によって前記搬送車が前記目標ステーションに到着していると判断され、且つ、前記第一無線通信によって前記目標ステーションが前記物品若しくは前記収容ケースを受領可能であることを確認したときに、前記物品若しくは前記収容ケースを前記目標ステーションに送出する請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の物品搬送システム。

【請求項8】

前記第一移載装置は、
前記物品若しくは前記収容ケースの有無を検出する第一搬送車側検出器と、
前記収容ケースに収容されていない前記物品、または、前記収容ケースに収容されている前記物品および前記収容ケースのうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したか否かを検出する第二搬送車側検出器と、
を備える請求項７に記載の物品搬送システム。

【請求項9】

前記目標ステーションは、前記物品若しくは前記物品を収容している収容ケースを前記搬送車に送出し前記搬送車から前記物品若しくは前記収容ケースを受領する第二移載装置を備え、
前記第二移載装置は、前記判断部によって前記搬送車が前記目標ステーションに到着していると判断され、且つ、前記第一無線通信によって前記搬送車が前記物品若しくは前記収容ケースを受領可能であることを確認したときに、前記物品若しくは前記収容ケースを前記搬送車に送出する請求項１～請求項８のいずれか一項に記載の物品搬送システム。

【請求項10】

基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機に使用される物品を受け渡し可能な複数のステーションが並んで設けられているステーション群と、
前記複数のステーションのうちの所定の前記ステーションとの間で前記物品を受け渡し可能な搬送車に設けられる第一通信部および前記複数のステーションの各々に設けられる第二通信部を有し、前記複数のステーションのうちの一の前記ステーションに前記搬送車が到着した際に、前記一のステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の第一無線通信は許容され、他の前記ステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の前記第一無線通信は規制される第一通信装置と、
前記第一通信装置を利用することにより前記搬送車が前記物品を送出または受領すべき前記ステーションである目標ステーションに前記搬送車が到着しているか否かを判断する判断部と、
を備え、
前記目標ステーションは、前記物品若しくは前記物品を収容している収容ケースを前記搬送車に送出し前記搬送車から前記物品若しくは前記収容ケースを受領する第二移載装置を備え、
前記第二移載装置は、前記判断部によって前記搬送車が前記目標ステーションに到着していると判断され、且つ、前記第一無線通信によって前記搬送車が前記物品若しくは前記収容ケースを受領可能であることを確認したときに、前記物品若しくは前記収容ケースを前記搬送車に送出し、
前記物品若しくは前記収容ケースは、前記第二移載装置とクランプされる被クランプ部材を備え、
前記第二移載装置は、
前記物品若しくは前記収容ケースの前記被クランプ部材をクランプするクランプ部材と、
前記クランプ部材が前記被クランプ部材をクランプしているクランプ状態を検出する第一ステーション側検出器と、
前記クランプ部材が前記被クランプ部材をクランプしていないアンクランプ状態を検出する第二ステーション側検出器と、
を備える物品搬送システム。

【請求項11】

前記物品若しくは前記収容ケースは、前記第二移載装置の所定位置に前記物品若しくは前記収容ケースが位置しているか否かを検出する際に用いられる被検出部材を備え、
前記第二移載装置は、前記被検出部材の検出の有無に基づいて、前記クランプ状態または前記アンクランプ状態を検出する第三ステーション側検出器を備える請求項１０に記載の物品搬送システム。

【請求項12】

前記第二移載装置は、
前記クランプ状態のときに前記物品若しくは前記収容ケースと接する支持部材と、
前記物品若しくは前記収容ケースと前記支持部材との間の密着状態を検出する第四ステーション側検出器と、
前記収容ケースに収容されていない前記物品、または、前記収容ケースに収容されている前記物品および前記収容ケースのうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したか否かを検出する第五ステーション側検出器と、
を備える請求項１０または請求項１１に記載の物品搬送システム。

【請求項13】

前記判断部によって前記搬送車が前記目標ステーションに到着していないと判断されたときに、前記搬送車の前記目標ステーションへの移動を再試行させる搬送車制御部を備える請求項１～請求項１２のいずれか一項に記載の物品搬送システム。

【請求項14】

作業者によって設定された前記目標ステーションに前記搬送車が到着していることが前記判断部によって判断され、且つ、前記搬送車および前記目標ステーションの両方に前記物品若しくは前記物品を収容している収容ケースが搭載されている状態を第一状態とし、前記作業者によって設定された前記目標ステーションに前記搬送車が到着していることが前記判断部によって判断され、且つ、前記搬送車および前記目標ステーションの両方に前記物品若しくは前記物品を収容している収容ケースが搭載されていない状態を第二状態とするとき、
前記第一状態または前記第二状態を前記第一無線通信によって確認したときに、前記目標ステーションの誤設定と判断して前記搬送車を所定位置に移動させる搬送車制御部を備える請求項１～請求項１２のいずれか一項に記載の物品搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、物品搬送システムに関する技術を開示する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の部品実装システムは、補給装置と、搬送手段と、非接触伝送装置と、照合部とを備えている。補給装置は、部品保管庫と複数の実装機モジュールとの間で走行可能であり、部品供給要素を支持して部品供給要素を複数の実装機モジュールに補給し、かつ、部品供給要素を複数の実装機モジュールより回収する。搬送手段は、補給装置を部品保管庫と複数の実装機モジュールとの間で搬送する。非接触伝送装置は、複数の実装機モジュールと補給装置との間で信号を非接触で伝送する。照合部は、実装機モジュールと補給装置との間で補給される部品供給要素のＩＤを読取って照合する。

【0003】

特許文献２に記載の部品実装ラインは、部品実装ラインに設けられているユニット保管庫と、ユニット保管庫に対して部材の搬送を行うＡＧＶとを備えている。また、特許文献２に記載の部品実装ラインは、ＡＧＶがフィーダ保管庫にのみフィーダを搬入出することで、ＡＧＶの移動と交換ロボットの移動との干渉を抑制し、ガイド設置範囲を限定しようとしている。

【0004】

特許文献３に記載の搬送システムの搬送車および装置の一方は、移載機構部と、通信手段と、制御手段とを備えている。移載機構部は、搭載している荷物を搬送車および装置の他方である相手側に差し出す、または、相手側から荷物を取り出すことによって荷物を移載する。通信手段は、相手側に対して移載許可を要求する移載要求信号を発し、当該要求に対する許可を示す移載許可信号を取得する。制御手段は、通信手段が移載許可信号を取得する前に、移載機構部が相手側に侵入しない範囲で移載動作を行うように移載機構部を制御する。

【0005】

また、特許文献３に記載の無人搬送車は、搬送車コントローラよりウェハカセットの移載指示を受けて処理装置ステーションの前で停止し、光通信を介して処理装置とインターロック通信をしながらウェハカセットの移載動作を開始する。インターロック通信は、移載相手を特定し、相手の状態を打診し相手からの返信を確認した上で移載作業を進める。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】国際公開第２０１４／０１００８３号

【文献】国際公開第２０１７／０３３２６８号

【文献】特開２００９－０１２９４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上記のいずれの文献においても、搬送車が物品を送出または受領すべきステーションである目標ステーションに搬送車が到着しているか否かを判断することについて、具体的に記載されていない。

【0008】

このような事情に鑑みて、本明細書は、搬送車が物品を送出または受領すべきステーションである目標ステーションに搬送車が到着しているか否かを判断することが可能な物品搬送システムを開示する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本明細書は、ステーション群と、第一通信装置と、判断部とを備える物品搬送システムを開示する。前記ステーション群は、基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機に使用される物品を受け渡し可能な複数のステーションが並んで設けられている。前記第一通信装置は、前記複数のステーションのうちの所定の前記ステーションとの間で前記物品を受け渡し可能な搬送車に設けられる第一通信部および前記複数のステーションの各々に設けられる第二通信部を有する。前記第一通信装置では、前記複数のステーションのうちの一の前記ステーションに前記搬送車が到着した際に、前記一のステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の第一無線通信は許容され、他の前記ステーションに設けられる前記第二通信部と前記第一通信部との間の前記第一無線通信は規制される。前記判断部は、前記第一通信装置を利用することにより前記搬送車が前記物品を送出または受領すべき前記ステーションである目標ステーションに前記搬送車が到着しているか否かを判断する。

【発明の効果】

【0010】

上記の物品搬送システムは、ステーション群と、第一通信装置と、判断部とを備える。よって、上記の物品搬送システムは、第一通信装置を利用することにより搬送車が物品を送出または受領すべきステーションである目標ステーションに搬送車が到着しているか否かを判断することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】基板生産ラインの構成例を示す平面図である。

【図2】ステーション群および搬送車の構成例を示す斜視図である。

【図3】物品搬送システムの制御ブロックの一例を示すブロック図である。

【図4】第一通信装置の構成例を示すステーション群および搬送車の斜視図である。

【図5】第一無線通信の通信可能範囲の一例を示す模式図である。

【図6】物品搬送システムによる物品等の搬送手順の一例を示すフローチャートである。

【図7】収容ケースを具備していないステーション群の拡大図である。

【図8】アンクランプ状態のときのクランプ部材を示す斜視図である。

【図9】収容ケースの構成例を示す透視図である。

【図10】クランプ状態のときのクランプ部材を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

１．実施形態
１－１．基板生産ライン１の構成例
図１に示すように、基板生産ライン１は、少なくとも一つ（同図では、４つ）の部品装着機１０と、交換システム３０と、物品移動装置４０と、ステーション群５０と、搬送車６０と、通信装置７０と、ライン制御装置ＬＣ０と、管理装置ＷＣ０とを備えている。以下の説明において、部品装着機１０の水平幅方向であり基板の搬送方向をＸ方向とし、部品装着機１０の水平奥行き方向をＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な鉛直方向をＺ方向とする。

【0013】

４つの部品装着機１０は、基板の搬送方向（Ｘ方向）に沿って設置されている。部品装着機１０は、基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機ＷＭ０に含まれる。部品装着機１０は、基板を搬入し所定位置に位置決めして、位置決めされた基板に複数の部品を装着して、部品が装着された基板を搬出する。つまり、部品装着機１０による対基板作業には、基板の搬入作業、位置決め作業および搬出作業が含まれる。また、部品装着機１０による対基板作業には、部品の供給作業、採取作業および装着作業が含まれる。

【0014】

例えば、部品装着機１０は、基板に装着される部品を供給する部品供給装置を備えている。部品供給装置には、複数のフィーダ２０が着脱可能に設けられる。フィーダ２０は、部品装着機１０による部品の供給作業に使用される物品ＡＲ０に含まれる。また、部品供給装置は、複数のフィーダ２０を装備可能な少なくとも一つのスロットを備えている。本実施形態の部品供給装置は、第一スロットおよび第二スロットの２つのスロットを備えている。

【0015】

第一スロットは、装備されたフィーダ２０を動作可能に保持する。第一スロットに装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による対基板作業において動作が制御され、フィーダ２０の所定位置に設けられている取り出し部において、部品が順に供給される。第二スロットは、第一スロットの下方に配置され、装備されたフィーダ２０をストックする。つまり、第二スロットは、生産に用いられるフィーダ２０を予備的に保持し、または、生産に用いられた使用済みのフィーダ２０を一時的に保持する。

【0016】

第一スロットと第二スロットとの間におけるフィーダ２０の交換作業、フィーダ２０の補給作業および回収作業は、交換システム３０および物品移動装置４０を用いて行われる。具体的には、図１に示すように、交換システム３０は、第一レール３１と、第二レール３２とを備えている。第一レール３１および第二レール３２は、物品移動装置４０の走行路を形成する。第一レール３１および第二レール３２は、４つの部品装着機１０の配置方向（基板の搬送方向（Ｘ方向））に沿って設けられている。第一レール３１および第二レール３２は、基板生産ライン１において、基板の搬送方向（Ｘ方向）の概ね全域に亘って延伸されている。

【0017】

物品移動装置４０は、第一レール３１および第二レール３２によって形成される走行路に沿って走行可能に設けられている。物品移動装置４０は、例えば、第一レール３１に設けられる送電部と対向して設けられる受電部を介して、非接触給電によって送電部から電力の供給を受ける。受電部が受け取った電力は、受電回路を介して物品移動装置４０の走行、所定作業などに用いられる。なお、物品移動装置４０は、例えば、位置検出装置によって走行路上の位置（現在位置）を検出する。位置検出装置は、例えば、光学的な位置検出、電磁誘導を用いた位置検出などによって、物品移動装置４０の走行路上の位置（現在位置）を検出することができる。

【0018】

また、上記の所定作業には、部品装着機１０などの対基板作業機ＷＭ０に着脱可能に設けられる機器を、対基板作業機ＷＭ０との間で交換する交換作業などが含まれる。本実施形態では、物品移動装置４０は、基板に装着される部品を供給するフィーダ２０を機器として、対基板作業機ＷＭ０である部品装着機１０との間でフィーダ２０の交換作業などを行う。また、物品移動装置４０は、ステーション群５０との間でフィーダ２０の交換作業などを行うこともできる。

【0019】

具体的には、物品移動装置４０は、部品装着機１０の部品供給装置の第一スロットと第二スロットとの間で、フィーダ２０の交換作業を行う。また、物品移動装置４０は、ステーション群５０から部品供給装置の第一スロットまたは第二スロットにフィーダ２０を搬送して、フィーダ２０の補給作業を行う。さらに、物品移動装置４０は、部品装着機１０で不要になったフィーダ２０を部品供給装置からステーション群５０に搬送して、フィーダ２０の回収作業を行う。

【0020】

ステーション群５０は、基板生産ライン１の基板搬入側（図１の紙面左側）に設けられている。図２に示すように、ステーション群５０には、フィーダ２０などの対基板作業機ＷＭ０に使用される物品ＡＲ０を受け渡し可能な複数（同図では、２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓが並んで設けられている。また、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓの各々は、物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０を具備することもできる。

【0021】

収容ケース９０は、例えば、複数（同図では、３０個）のスロットＳＬＴ１～スロットＳＬＴ３０を備えており、各スロットにフィーダ２０を装備することができる。収容ケース９０のスロットに装備されたフィーダ２０は、収容ケース９０を介して収容ケース９０を具備するステーション５０ｓから電力が供給され、ライン制御装置ＬＣ０と通信可能な状態になる。これにより、収容ケース９０のスロットと当該スロットに装備されたフィーダ２０の識別符号が関連付けられて、ライン制御装置ＬＣ０に記録される。

【0022】

搬送車６０は、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓのうちの所定のステーション５０ｓとの間で、フィーダ２０などの物品ＡＲ０を受け渡しすることができる。また、搬送車６０は、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓのうちの所定のステーション５０ｓとの間で、物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０を受け渡しすることもできる。搬送車６０は、作業者によって牽引される有人搬送車であっても良く、作業者による牽引が不要な自動走行可能な無人搬送車（ＡＧＶ：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）であっても良い。本実施形態の搬送車６０は、無人搬送車である。

【0023】

ライン制御装置ＬＣ０は、ネットワークを介して、基板生産ライン１を構成する各装置と種々のデータを入出力可能に構成されている。ライン制御装置ＬＣ０は、基板生産ライン１の動作状況を監視し、部品装着機１０などの対基板作業機ＷＭ０、交換システム３０、物品移動装置４０およびステーション群５０を統括制御する。ライン制御装置ＬＣ０には、対基板作業機ＷＭ０、交換システム３０、物品移動装置４０およびステーション群５０を制御するための各種データが記憶されている。

【0024】

管理装置ＷＣ０は、複数の基板生産ライン１の各々のライン制御装置ＬＣ０と通信可能に設けられており、複数の基板生産ライン１による基板製品の生産を管理することができる。また、管理装置ＷＣ０は、搬送車６０と通信可能に設けられており、搬送車６０を管理することもできる。

【0025】

通信装置７０は、第一通信装置７０ａを備えている。通信装置７０は、第二通信装置７０ｂを備えることもできる。本実施形態の通信装置７０は、第一通信装置７０ａと、第二通信装置７０ｂとを備えている。第一通信装置７０ａは、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓのうちの一のステーション５０ｓと搬送車６０との間で、第一無線通信を行う。第二通信装置７０ｂは、管理装置ＷＣ０と搬送車６０との間で、第二無線通信を行う。ステーション群５０、搬送車６０および通信装置７０については、次節以降において詳細に説明されている。

【0026】

１－２．物品搬送システム１００の構成例
物品搬送システム１００は、ステーション群５０と、第一通信装置７０ａと、判断部８１とを備えている。また、物品搬送システム１００は、管理装置ＷＣ０と、第二通信装置７０ｂとを備えることもできる。さらに、物品搬送システム１００は、搬送車制御部８２を備えることもできる。また、物品搬送システム１００は、搬送車６０を備えることができる。搬送車６０は、物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０（以下、単に「物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０」ともいう。）をステーション群５０との間で受け渡しすることができる。図１および図３に示すように、本実施形態の物品搬送システム１００は、上記の装置および制御部をすべて備えている。

【0027】

１－２－１．物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の搬送
ステーション群５０には、基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機ＷＭ０に使用される物品ＡＲ０を受け渡し可能な複数（図１および図２では、２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓが並んで設けられている。複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓの各々は、物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０を受け渡しすることもできる。また、図３に示すように、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓの各々は、第二移載装置５１を備えている。第二移載装置５１は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を搬送車６０に送出する。また、第二移載装置５１は、搬送車６０から物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領する。

【0028】

なお、ステーション群５０は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受け渡し可能な複数のステーション５０ｓが並んで設けられていれば良く、ステーション５０ｓの数は、２つに限定されない。また、対基板作業機ＷＭ０は、部品装着機１０に限定されない。基板生産ライン１は、種々の対基板作業機ＷＭ０を備えることができる。例えば、基板生産ライン１は、はんだ印刷機、はんだ検査機、リフロー炉、外観検査機などの対基板作業機ＷＭ０を備えることができる。

【0029】

同様に、物品ＡＲ０は、フィーダ２０に限定されない。基板に装着される部品を収容する部品テープが巻回されているリールは、物品ＡＲ０に含まれる。また、基板に装着される部品が配列されている部品トレイは、物品ＡＲ０に含まれる。さらに、基板に装着される部品が不規則に収容されている部品容器は、物品ＡＲ０に含まれる。また、複数のフィーダ２０を一括交換可能な台車は、物品ＡＲ０に含まれる。

【0030】

さらに、部品を採取し保持する保持部材（例えば、吸着ノズル、チャックなど）は、物品ＡＲ０に含まれる。また、保持部材を用いて部品を基板に装着する装着ヘッドは、物品ＡＲ０に含まれる。さらに、保持部材を収容可能な保持部材収容装置は、物品ＡＲ０に含まれる。また、はんだを収容するはんだ容器は、物品ＡＲ０に含まれる。さらに、スキージによって、はんだをマスクに沿って移動させて基板にはんだを印刷する印刷機の場合、スキージおよびマスクは、物品ＡＲ０に含まれる。また、印刷ヘッドによって、基板の複数の印刷位置の各々に、はんだを塗布する印刷機の場合、印刷ヘッドおよびディスペンスヘッドは、物品ＡＲ０に含まれる。

【0031】

搬送車６０は、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓのうちの所定のステーション５０ｓとの間で物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受け渡しする。具体的には、図２および図３に示すように、搬送車６０は、第一移載装置６１と、走行装置６５とを備えている。第一移載装置６１は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を目標ステーション５０ｇに送出する。また、第一移載装置６１は、目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領する。目標ステーション５０ｇは、搬送車６０が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出または受領すべきステーション５０ｓをいう。

【0032】

走行装置６５は、搬送車６０を走行させる。搬送車６０は、走行装置６５によって目標ステーション５０ｇに移動して、第一移載装置６１によって目標ステーション５０ｇに物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出する。搬送車６０は、第一移載装置６１によって目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領することもできる。本実施形態の搬送車６０は、無人搬送車であり、自動走行が可能である。また、図１に示すように、基板生産ライン１には、搬送車６０の走行路を示す案内部材Ｍ０と、搬送車６０が走行する際の指標となる指標部材Ｓ０とが形成されている。案内部材Ｍ０および指標部材Ｓ０は、搬送車６０の走行精度を向上させる。

【0033】

案内部材Ｍ０および指標部材Ｓ０は、種々の形態をとり得る。本実施形態では、案内部材Ｍ０および指標部材Ｓ０は、マグネットテープで形成されている。搬送車６０の走行装置６５は、案内部材Ｍ０を検知しつつ搬送車６０を走行させることにより、搬送車６０が走行すべき走行路から離脱することを抑制することができる。また、搬送車６０の走行装置６５は、指標部材Ｓ０を検知することにより、搬送車６０の走行位置を確認することができる。

【0034】

例えば、指標部材Ｓ０は、基準位置を示す基準部材Ｓ１と、第一の経由位置を示す第一経由部材Ｓ２１と、第二の経由位置を示す第二経由部材Ｓ２２と、第一の目標位置を示す第一目標部材Ｓ３１と、第二の目標位置を示す第二目標部材Ｓ３２とを備えている。例えば、搬送車６０の走行装置６５は、基準部材Ｓ１を検知することにより、搬送車６０が基準位置を走行していることを確認する。

【0035】

走行装置６５は、予めプログラムされている走行経路または管理装置ＷＣ０から指示される走行経路で、目標ステーション５０ｇに向かって搬送車６０を走行させる。このとき、走行装置６５は、搬送車６０の位置情報、搬送車６０の周辺の障害物の検出情報などを知得しつつ、搬送車６０を走行させる。具体的には、走行装置６５は、例えば、イメージセンサなどを用いて、搬送車６０の周辺の景色の三次元形状を生成し、生成した景色の三次元形状と予め作成されている三次元地図とを比較して、搬送車６０の位置情報を知得する。また、走行装置６５は、例えば、イメージセンサなどによって取得された取得画像に基づいて、搬送車６０の周辺の障害物の検出情報を知得する。

【0036】

例えば、図１に示す紙面左側のステーション５０ｓ（以下、第一ステーションという。）が目標ステーション５０ｇであり、搬送車６０が基準位置から第一の目標位置に移動する場合を想定する。この場合、走行装置６５は、第一経由部材Ｓ２１を検知すると、搬送車６０を右方に９０度、回転させて、搬送車６０を直進させる。そして、走行装置６５は、第一目標部材Ｓ３１を検知すると、搬送車６０を停車させる。

【0037】

図１に示す紙面右側のステーション５０ｓ（以下、第二ステーションという。）が目標ステーション５０ｇであり、搬送車６０が基準位置から第二の目標位置に移動する場合も同様である。この場合、走行装置６５は、第二経由部材Ｓ２２を検知すると、搬送車６０を右方に９０度、回転させて、搬送車６０を直進させる。そして、走行装置６５は、第二目標部材Ｓ３２を検知すると、搬送車６０を停車させる。なお、走行装置６５は、搬送車６０とステーション群５０との間の距離が所定距離以下になると、ステーション群５０（搬送車６０の周辺の障害物）を検知して、第一目標部材Ｓ３１または第二目標部材Ｓ３２を検知していない場合であっても、搬送車６０を停車させることができる。

【0038】

搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着すると、搬送車６０の第一移載装置６１は、目標ステーション５０ｇに物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出し、目標ステーション５０ｇの第二移載装置５１は、搬送車６０から物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領する。また、目標ステーション５０ｇの第二移載装置５１は、搬送車６０に物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出し、搬送車６０の第一移載装置６１は、目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領することもできる。

【0039】

さらに、搬送車６０は、第一の目標ステーション５０ｇに物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出し、第二の目標ステーション５０ｇに移動して、第二の目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領することもできる。また、搬送車６０は、第一の目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領し、第二の目標ステーション５０ｇに移動して、第一の目標ステーション５０ｇから受領した物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を第二の目標ステーション５０ｇに送出することもできる。

【0040】

例えば、第二ステーションが目標ステーション５０ｇの場合に、走行装置６５は、第二経由部材Ｓ２２を検知できずに、第一経由部材Ｓ２１を第二経由部材Ｓ２２として誤検知する可能性がある。この場合、搬送車６０は、目標ステーション５０ｇである第二ステーションと異なる第一ステーションに到着する可能性がある。そのため、目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着しているか否かを無線通信によって判断することが想定される。しかしながら、隣接する複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓの離間距離が短くなるほど、搬送車６０は、到着したステーション５０ｓに隣接するステーション５０ｓとの間で無線通信を行う可能性が高くなる。そこで、物品搬送システム１００は、第一通信装置７０ａおよび判断部８１を備えている。

【0041】

第一通信装置７０ａは、搬送車６０に設けられる第一通信部７１および複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓの各々に設けられる第二通信部７２を有する。具体的には、図４および図５に示すように、搬送車６０は、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓのうちの一のステーション５０ｓと対向する部位に第一通信部７１が設けられている。また、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓの各々は、搬送車６０が到着した際に搬送車６０と対向する部位に第二通信部７２が設けられている。

【0042】

また、複数（２つ）のステーション５０ｓ，５０ｓのうちの一のステーション５０ｓに搬送車６０が到着した際に、一のステーション５０ｓに設けられる第二通信部７２と第一通信部７１との間の第一無線通信は許容され、他のステーション５０ｓに設けられる第二通信部７２と第一通信部７１との間の第一無線通信は規制される。

【0043】

図５の破線で示す紙面左側の搬送車６０は、第一ステーションに到着した搬送車６０を示している。通信可能範囲Ｒ１は、第一ステーションに設けられる第二通信部７２と、搬送車６０に設けられる第一通信部７１との間の無線通信の通信可能範囲を示している。破線で示される帯状部Ｒ１１は、第一無線通信が指向性をもつ場合の通信可能範囲Ｒ１を示し、破線で示される円弧部Ｒ１２は、第一無線通信が指向性をもたない場合の通信可能範囲Ｒ１を示している。

【0044】

図５の破線で示す紙面右側の搬送車６０は、第一ステーションに隣接する第二ステーションに到着した搬送車６０を示している。通信可能範囲Ｒ２は、第二ステーションに設けられる第二通信部７２と、搬送車６０に設けられる第一通信部７１との間の無線通信の通信可能範囲を示している。破線で示される帯状部Ｒ２１は、第一無線通信が指向性をもつ場合の通信可能範囲Ｒ２を示し、破線で示される円弧部Ｒ２２は、第一無線通信が指向性をもたない場合の通信可能範囲Ｒ２を示している。

【0045】

このように、第一無線通信の通信可能範囲は、隣接するステーション５０ｓの通信可能範囲Ｒ１および通信可能範囲Ｒ２が重ならないように設定されている。そのため、第一無線通信は、一のステーション５０ｓに設けられる第二通信部７２と第一通信部７１との間の無線通信の通信可能範囲Ｒ１と、当該ステーション５０ｓに隣接するステーション５０ｓに設けられる第二通信部７２と第一通信部７１との間の無線通信の通信可能範囲Ｒ２とが重ならない。よって、搬送車６０は、到着した一のステーション５０ｓとの間で第一無線通信を行うことができ、搬送車６０と他のステーション５０ｓとの間の第一無線通信が容易に規制される。

【0046】

また、本実施形態の第一無線通信は、光通信である。光通信は、指向性をもつ無線通信であり、指向性をもたない無線通信と比べて送信効率が向上し、受信時に雑音の影響を受け難く受信感度が向上する。また、光通信は、搬送車６０が一のステーション５０ｓに到着する前から当該ステーション５０ｓとの間で第一無線通信を開始することもできる。なお、第一無線通信は、例えば、赤外線通信、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ＩＤｅｎｔｉｆｉｅｒ）に用いられる無線通信などの指向性をもたない無線通信であっても良い。

【0047】

判断部８１は、第一通信装置７０ａを利用することにより目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着しているか否かを判断する。判断部８１は、例えば、搬送車６０またはステーション群５０に設けることができる。また、判断部８１は、ライン制御装置ＬＣ０または管理装置ＷＣ０に設けることもできる。さらに、判断部８１は、クラウド上に形成することもできる。本実施形態では、判断部８１は、搬送車６０の走行装置６５に設けられている。

【0048】

例えば、目標ステーション５０ｇは、搬送車６０との間で物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しを行う準備が完了すると、第二通信部７２が準備完了信号を搬送車６０に送信する。これに対して、目標ステーション５０ｇ以外のステーション５０ｓでは、搬送車６０との間で物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しが行われないので、目標ステーション５０ｇ以外のステーション５０ｓの第二通信部７２は、準備完了信号を搬送車６０に送信しない。よって、判断部８１は、準備完了信号などの所定の制御信号の受信の有無に基づいて、目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着しているか否かを判断することができる。

【0049】

判断部８１は、第一通信装置７０ａを利用することにより一のステーション５０ｓに搬送車６０が到着したことを検出し、到着が検出された一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであるか否かを判断することができる。具体的には、判断部８１は、第一無線通信により一のステーション５０ｓに設けられる第二通信部７２と搬送車６０の第一通信部７１との間で所定の制御信号を受信できたときに、一のステーション５０ｓに搬送車６０が到着したことを検出する。そして、判断部８１は、到着が検出された一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであると判断する。

【0050】

なお、複数の搬送車６０が同時にステーション群５０において、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しを行う場合、複数のステーション５０ｓの複数の第二通信部７２が準備完了信号などの所定の制御信号を搬送車６０に送信する可能性がある。この場合、搬送車６０ごとに目標ステーション５０ｇが設定され、判断部８１は、目標ステーション５０ｇを識別して、到着が検出された一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであるか否かを判断する必要がある。

【0051】

そこで、判断部８１は、第一通信装置７０ａを利用することにより一のステーション５０ｓの識別情報を取得して、取得した一のステーション５０ｓの識別情報が目標ステーション５０ｇの識別情報と一致するか否かに基づいて、一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであるか否かを判断することができる。具体的には、判断部８１は、取得した一のステーション５０ｓの識別情報が目標ステーション５０ｇの識別情報と一致するときに、一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであると判断する。逆に、判断部８１は、取得した一のステーション５０ｓの識別情報が目標ステーション５０ｇの識別情報と一致しないときに、一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇでないと判断する。

【0052】

なお、一つの搬送車６０がステーション群５０において、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しを行う場合であっても、判断部８１は、ステーション５０ｓの識別情報に基づいて、一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであるか否かを判断することができる。また、目標ステーション５０ｇは、準備完了信号などの所定の制御信号ともにステーション５０ｓの識別情報を搬送車６０に送信することができる。この場合、判断部８１は、所定の制御信号の受信の有無およびステーション５０ｓの識別情報に基づいて、一のステーション５０ｓが目標ステーション５０ｇであるか否かを判断することもできる。

【0053】

搬送車制御部８２は、判断部８１によって搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着していないと判断されたときに、搬送車６０の目標ステーション５０ｇへの移動を再試行させる。搬送車制御部８２は、例えば、搬送車６０に設けることができる。また、搬送車制御部８２は、管理装置ＷＣ０に設けることもできる。さらに、搬送車制御部８２は、クラウド上に形成することもできる。本実施形態では、搬送車制御部８２は、搬送車６０の走行装置６５に設けられている。

【0054】

例えば、第一ステーションが目標ステーション５０ｇのときに、搬送車６０が第二ステーションに到着した場合を想定する。この場合、判断部８１は、搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着していないと判断する。よって、搬送車制御部８２は、走行装置６５に対して、搬送車６０の目標ステーション５０ｇへの移動を再試行させる。具体的には、搬送車制御部８２は、走行装置６５に対して、例えば、図１に示す基準部材Ｓ１が設けられている基準位置まで搬送車６０を走行させる。そして、搬送車制御部８２は、走行装置６５に対して、基準位置から第一ステーションに搬送車６０を走行させる。また、搬送車制御部８２は、走行装置６５に対して、第二ステーションから第一ステーションに直接、搬送車６０を走行させることもできる。

【0055】

なお、搬送車制御部８２は、再試行の回数に応じて、搬送車６０の走行状態（例えば、走行速度など）を変更させても良い。例えば、搬送車制御部８２は、再試行の回数が増加するほど、搬送車６０の走行速度を低下させることができる。また、搬送車６０の走行経路が複数存在する場合、搬送車制御部８２は、再試行時に搬送車６０の走行経路を変更することもできる。さらに、搬送車制御部８２は、再試行の回数が所定回数に達したときに、再試行を中止して、搬送車６０を所定位置（例えば、搬送車６０の待機位置など）に移動させることもできる。

【0056】

本実施形態の物品搬送システム１００は、例えば、図６に示すフローチャートに従って、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を搬送する。同図に示す搬送手順では、搬送車６０は、まず、第一の目標ステーション５０ｇである第一ステーションに移動して、第一ステーションに物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出する。そして、搬送車６０は、第二の目標ステーション５０ｇである第二ステーションに移動して、第二ステーションから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領する。

【0057】

具体的には、まず、搬送車制御部８２は、物品移動装置４０が退避位置に退避したか否かを判断する（ステップＳＰ１１）。退避位置は、図１に示す物品移動装置４０と搬送車６０とが干渉しない位置に設定される。物品移動装置４０が退避位置に退避した場合（ステップＳＰ１１でＹｅｓの場合）、搬送車制御部８２は、搬送車６０を第一ステーションへ移動させる（ステップＳＰ１２）。物品移動装置４０が退避位置に退避していない場合（ステップＳＰ１１でＮｏの場合）、搬送車制御部８２は、物品移動装置４０が退避位置に退避するまで待機する。

【0058】

次に、判断部８１は、既述したように、第一ステーションに搬送車６０が到着しているか否かを判断する（ステップＳＰ１３）。第一ステーションに搬送車６０が到着している場合（ステップＳＰ１３でＹｅｓの場合）、後述する第一移載制御部６３は、第一ステーションが物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能であるか否かを確認する（ステップＳＰ１４）。第一ステーションに搬送車６０が到着していない場合（ステップＳＰ１３でＮｏの場合）、搬送車制御部８２は、既述したように、搬送車６０の第一ステーションへの移動を再試行させる（ステップＳＰ１５）。そして、制御は、ステップＳＰ１３に戻る。

【0059】

第一ステーションが物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能である場合（ステップＳＰ１４でＹｅｓの場合）、第一移載装置６１は、既述したように、第一ステーションに物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出する（ステップＳＰ１６）。第一ステーションが物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能でない場合（ステップＳＰ１４でＮｏの場合）、第一移載装置６１は、第一ステーションが物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能になるまで待機する。

【0060】

第一移載装置６１が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の送出を確認し、第二移載装置５１が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受領を確認すると、搬送車制御部８２は、搬送車６０を第二ステーションへ移動させる（ステップＳＰ１７）。そして、判断部８１は、同様にして、第二ステーションに搬送車６０が到着しているか否かを判断する（ステップＳＰ１８）。第二ステーションに搬送車６０が到着している場合（ステップＳＰ１８でＹｅｓの場合）、後述する第二移載制御部５３は、搬送車６０が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能であるか否かを確認する（ステップＳＰ１９）。第二ステーションに搬送車６０が到着していない場合（ステップＳＰ１８でＮｏの場合）、搬送車制御部８２は、既述したように、搬送車６０の第二ステーションへの移動を再試行させる（ステップＳＰ２０）。そして、制御は、ステップＳＰ１８に戻る。

【0061】

搬送車６０が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能である場合（ステップＳＰ１９でＹｅｓの場合）、第二移載装置５１は、既述したように、搬送車６０に物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を送出する（ステップＳＰ２１）。搬送車６０が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能でない場合（ステップＳＰ１９でＮｏの場合）、第二移載装置５１は、搬送車６０が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能になるまで待機する。第二移載装置５１が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の送出を確認し、第一移載装置６１が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受領を確認すると、搬送車制御部８２は、搬送車６０を所定位置に移動させて、制御は、一旦、終了する。

【0062】

ここで、作業者によって設定された目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着していることが判断部８１によって判断され、且つ、搬送車６０および目標ステーション５０ｇの両方に物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０が搭載されている状態を第一状態とする。また、作業者によって設定された目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着していることが判断部８１によって判断され、且つ、搬送車６０および目標ステーション５０ｇの両方に物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０が搭載されていない状態を第二状態とする。

【0063】

第一状態または第二状態は、搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着しているが、搬送車６０と目標ステーション５０ｇとの間で、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しを行うことができない状態である。これは、例えば、作業者によって目標ステーション５０ｇが設定される形態において、作業者が目標ステーション５０ｇを誤って設定したことに起因する。

【0064】

そこで、搬送車制御部８２は、第一状態または第二状態を第一無線通信によって確認したときに、目標ステーション５０ｇの誤設定と判断して搬送車６０を所定位置に移動させることができる。所定位置は限定されないが、搬送車制御部８２は、例えば、搬送車６０の待機位置などに搬送車６０を移動させることができる。なお、後述するように、搬送車６０において物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０が搭載されているか否かは、第一移載装置６１によって検出することができる。目標ステーション５０ｇにおいて物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０が搭載されているか否かは、第二移載装置５１によって検出することができる。

【0065】

また、目標ステーション５０ｇは、管理装置ＷＣ０によって設定することもできる。管理装置ＷＣ０は、搬送車６０が無人搬送車のときに、搬送車６０を管理する。例えば、管理装置ＷＣ０は、搬送車６０の走行を管理することができる。具体的には、管理装置ＷＣ０は、目標ステーション５０ｇの設定、搬送車６０の走行経路の設定、搬送車６０への走行指令などを行うことができる。

【0066】

管理装置ＷＣ０が搬送車６０と無線通信を行うためには、第一無線通信と比べて広範囲の無線通信が必要になる。そこで、物品搬送システム１００は、第二通信装置７０ｂを備えている。第二通信装置７０ｂは、第一無線通信と比べて広範囲の無線通信が可能な第二無線通信を用いて、管理装置ＷＣ０と搬送車６０との間の通信を行う。

【0067】

図１に示すように、第二通信装置７０ｂは、搬送車６０に設けられる第三通信部７３と、管理装置ＷＣ０に設けられる第四通信部７４とを有する。第三通信部７３と第四通信部７４との間で第二無線通信が可能であれば良く、第三通信部７３および第四通信部７４の設置部位は、限定されない。また、第三通信部７３と第四通信部７４との間の第二無線通信の通信可能範囲は、搬送車６０が走行する可能性がある走行可能範囲を含むように設定される。例えば、第二無線通信は、無線ＬＡＮなどの指向性をもたない無線通信を用いることができる。

【0068】

１－２－２．搬送車６０および目標ステーション５０ｇの構成例
図２～図４に示すように、搬送車６０は、第一移載装置６１と、走行装置６５とを備えている。第一移載装置６１は、第一駆動装置６２と、第一移載制御部６３と、第一検出装置６４とを備えている。第一検出装置６４は、第一搬送車側検出器６４ａと、第二搬送車側検出器６４ｂとを備えている。既述したように、走行装置６５は、判断部８１と、搬送車制御部８２とを備えている。

【0069】

第一移載装置６１は、物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０を目標ステーション５０ｇに送出し、目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領する。具体的には、第一移載装置６１は、第一駆動装置６２および第一移載制御部６３によって、物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０の送出および受領を行う。

【0070】

第一駆動装置６２は、例えば、ローラコンベア、ベルトコンベア、ロボットアーム、クレーンなどの公知の移載装置を用いることができる。図２および図４に示すように、本実施形態の第一駆動装置６２は、ローラコンベアで構成されている。第一移載制御部６３は、第一移載装置６１の制御装置に設けられている。第一移載制御部６３は、第一駆動装置６２に対して、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を目標ステーション５０ｇに送出させ、目標ステーション５０ｇから物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領させる。

【0071】

また、第一移載装置６１は、判断部８１によって搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着していると判断され、且つ、第一無線通信によって目標ステーション５０ｇが物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能であることを確認したときに、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を目標ステーション５０ｇに送出する。具体的には、第一移載制御部６３は、目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着しているか否かの判断結果を判断部８１から取得する。また、第一移載制御部６３は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しを行う準備が完了した準備完了信号を、目標ステーション５０ｇから受信しているか否かを確認する。

【0072】

第一移載制御部６３は、判断部８１によって搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着していると判断されており、且つ、目標ステーション５０ｇから準備完了信号を受信していることを確認したときに、第一駆動装置６２に対して、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を目標ステーション５０ｇに送出させる。これにより、第一駆動装置６２は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を目標ステーション５０ｇに送出する。

【0073】

また、第一移載装置６１は、第一検出装置６４を備えている。第一検出装置６４は、第一搬送車側検出器６４ａと、第二搬送車側検出器６４ｂとを備えている。第一搬送車側検出器６４ａは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の有無を検出する。第二搬送車側検出器６４ｂは、収容ケース９０に収容されていない物品ＡＲ０が所定の搭載範囲を超えて移動したか否かを検出する。また、第二搬送車側検出器６４ｂは、収容ケース９０に収容されている物品ＡＲ０および収容ケース９０のうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したか否かを検出することもできる。

【0074】

図２および図４に示すように、本実施形態では、第一搬送車側検出器６４ａは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の搭載範囲の基端側に設けられている。第二搬送車側検出器６４ｂは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の搭載範囲の先端側に設けられている。第一搬送車側検出器６４ａおよび第二搬送車側検出器６４ｂは、公知の検出器を用いることができる。本実施形態では、第一搬送車側検出器６４ａおよび第二搬送車側検出器６４ｂは、遮光センサが用いられている。

【0075】

第一搬送車側検出器６４ａは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０が第一移載装置６１に搭載されているときに遮光されて、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０が第一移載装置６１に搭載されていることを検出する。第二搬送車側検出器６４ｂは、収容ケース９０に収容されていない物品ＡＲ０が所定の搭載範囲を超えて移動したときに遮光されて、当該物品ＡＲ０が所定の搭載範囲を超えて移動したことを検出する。また、第二搬送車側検出器６４ｂは、収容ケース９０に収容されている物品ＡＲ０および収容ケース９０のうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したときに遮光されて、収容ケース９０に収容されている物品ＡＲ０および収容ケース９０のうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したことを検出することもできる。

【0076】

図３、図４、図７および図８に示すように、目標ステーション５０ｇは、第二移載装置５１を備えている。第二移載装置５１は、第二駆動装置５２と、第二移載制御部５３と、クランプ部材５４と、第二検出装置５５とを備えている。第二検出装置５５は、第一ステーション側検出器５５ａと、第二ステーション側検出器５５ｂと、第三ステーション側検出器５５ｃと、第四ステーション側検出器５５ｄと、第五ステーション側検出器５５ｅとを備えている。

【0077】

第二移載装置５１は、物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０を搬送車６０に送出し、搬送車６０から物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領する。具体的には、第二移載装置５１は、第二駆動装置５２および第二移載制御部５３によって、物品ＡＲ０若しくは物品ＡＲ０を収容している収容ケース９０の送出および受領を行う。

【0078】

第二駆動装置５２は、例えば、ローラコンベア、ベルトコンベア、ロボットアーム、クレーンなどの公知の移載装置を用いることができる。図４および図７に示すように、本実施形態の第二駆動装置５２は、ローラコンベアで構成されている。第二移載制御部５３は、第二移載装置５１の制御装置に設けられている。第二移載制御部５３は、第二駆動装置５２に対して、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を搬送車６０に送出させ、搬送車６０から物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領させる。

【0079】

また、第二移載装置５１は、判断部８１によって搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着していると判断され、且つ、第一無線通信によって搬送車６０が物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を受領可能であることを確認したときに、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を搬送車６０に送出する。具体的には、第二移載制御部５３は、目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着しているか否かの判断結果を判断部８１から取得する。また、第二移載制御部５３は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の受け渡しを行う準備が完了した準備完了信号を、搬送車６０から受信しているか否かを確認する。

【0080】

第二移載制御部５３は、判断部８１によって搬送車６０が目標ステーション５０ｇに到着していると判断されており、且つ、搬送車６０から準備完了信号を受信していることを確認したときに、第二駆動装置５２に対して、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を搬送車６０に送出させる。これにより、第二駆動装置５２は、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を搬送車６０に送出する。

【0081】

図９に示すように、収容ケース９０は、第二移載装置５１とクランプされる被クランプ部材９１を備えている。被クランプ部材９１は、収容ケース９０が第二駆動装置５２に搭載されたときに第二駆動装置５２と接する底面に設けられている。被クランプ部材９１は、例えば、直方体形状に形成されており、収容ケース９０の底面より突出している。なお、図９は、被クランプ部材９１および後述する被検出部材９２を示すために、図示の便宜上、収容ケース９０の側面および底面が透視されて図示されている。

【0082】

図７、図８および図１０に示すように、第二移載装置５１は、収容ケース９０の被クランプ部材９１をクランプするクランプ部材５４を備えている。図８は、クランプ部材５４が被クランプ部材９１をクランプしていないアンクランプ状態を示している。図１０は、クランプ部材５４が被クランプ部材９１をクランプしているクランプ状態を示している。

【0083】

クランプ部材５４は、爪部５４ａと、軸部５４ｂと、案内部５４ｃと、移動装置５４ｄとを備えている。軸部５４ｂは、爪部５４ａを貫通しており、爪部５４ａは、軸部５４ｂを軸心に回転可能になっている。案内部５４ｃは、収容ケース９０の搭載範囲の先端側の位置ＰＸ１から基端側の位置ＰＸ２まで一対の溝状に形成されており、爪部５４ａおよび軸部５４ｂは、軸部５４ｂの両端部が案内部５４ｃと嵌合した状態で、位置ＰＸ１と位置ＰＸ２との間で移動することができる。また、案内部５４ｃは、軸部５４ｂが位置ＰＸ１から位置ＰＸ３に移動するときに、爪部５４ａが徐々に被クランプ部材９１に近づくように傾斜し、位置ＰＸ３から位置ＰＸ２までの区間は水平方向に延伸している。

【0084】

移動装置５４ｄは、被クランプ部材９１をクランプするときに、爪部５４ａとの間で被クランプ部材９１を保持して、収容ケース９０の搭載範囲の先端側から基端側に向かって移動することができる。また、移動装置５４ｄは、被クランプ部材９１をアンクランプするときに、爪部５４ａとの間で被クランプ部材９１を保持して、収容ケース９０の搭載範囲の基端側から先端側に向かって移動することもできる。移動装置５４ｄは、例えば、公知のシリンダを用いることができる。

【0085】

搬送車６０から収容ケース９０が送出されると、図８に示す状態で収容ケース９０の被クランプ部材９１が、移動装置５４ｄに当接する。案内部５４ｃの上記形状により、爪部５４ａは、軸部５４ｂを軸心に回転しながら、被クランプ部材９１を引き込むように被クランプ部材９１に当接する。このとき、移動装置５４ｄは、爪部５４ａとの間で被クランプ部材９１を保持して、収容ケース９０の搭載範囲の先端側から基端側に向かって移動して、図１０に示すクランプ状態になる。

【0086】

逆に、第二移載装置５１から収容ケース９０を送出する場合、図１０に示す移動装置５４ｄは、収容ケース９０の搭載範囲の基端側から先端側に移動する。軸部５４ｂが位置ＰＸ２から位置ＰＸ３に移動するときには、移動装置５４ｄは、爪部５４ａとの間で被クランプ部材９１を保持している。軸部５４ｂが位置ＰＸ３から位置ＰＸ１に移動するときには、案内部５４ｃの上記形状により、爪部５４ａは、被クランプ部材９１を押し出すように、軸部５４ｂを軸心に回転して、図８に示すアンクランプ状態になる。

【0087】

また、第二移載装置５１は、第二検出装置５５を備えている。第二検出装置５５は、第一ステーション側検出器５５ａと、第二ステーション側検出器５５ｂと、第三ステーション側検出器５５ｃと、第四ステーション側検出器５５ｄと、第五ステーション側検出器５５ｅとを備えている。

【0088】

第一ステーション側検出器５５ａは、クランプ部材５４が被クランプ部材９１をクランプしているクランプ状態を検出する。第二ステーション側検出器５５ｂは、クランプ部材５４が被クランプ部材９１をクランプしていないアンクランプ状態を検出する。図１０に示すように、移動装置５４ｄは、クランプ状態のときに、収容ケース９０の搭載範囲の基端側に移動している。逆に、図８に示すように、移動装置５４ｄは、アンクランプ状態のときに、収容ケース９０の搭載範囲の先端側に移動している。よって、第一ステーション側検出器５５ａおよび第二ステーション側検出器５５ｂは、移動装置５４ｄの位置（例えば、シリンダ位置）を検出することにより、クランプ状態およびアンクランプ状態を検出することができる。

【0089】

また、図９に示すように、収容ケース９０は、第二移載装置５１の所定位置に物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０が位置しているか否かを検出する際に用いられる被検出部材９２を備えている。被検出部材９２は、収容ケース９０が第二駆動装置５２に搭載されたときに第二駆動装置５２と接する底面に設けられている。被検出部材９２は、例えば、Ｌ字形状に形成されており、収容ケース９０の底面より突出している。

【0090】

第三ステーション側検出器５５ｃは、被検出部材９２の検出の有無に基づいて、クランプ状態またはアンクランプ状態を検出する。図８および図１０に示すように、第三ステーション側検出器５５ｃは、クランプ部材５４の近傍に設けられており、遮光センサが用いられている。第三ステーション側検出器５５ｃは、被検出部材９２が遮光することにより被検出部材９２を検出して、クランプ状態を検出することができる。換言すれば、第三ステーション側検出器５５ｃは、遮光されていないことにより被検出部材９２を検出しないで、アンクランプ状態を検出することができる。

【0091】

なお、被クランプ部材９１および被検出部材９２は、収容ケース９０に収容されていない物品ＡＲ０に設けることもできる。例えば、被クランプ部材９１および被検出部材９２は、複数のフィーダ２０を一括交換可能な台車などに設けることもできる。既述されていることは、収容ケース９０に収容されていない物品ＡＲ０に、被クランプ部材９１および被検出部材９２が設けられる場合についても、同様に言える。

【0092】

図７に示すように、第二移載装置５１は、クランプ状態のときに物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０と接する支持部材５１ａを備えている。第四ステーション側検出器５５ｄは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０と支持部材５１ａとの間の密着状態を検出する。第五ステーション側検出器５５ｅは、収容ケース９０に収容されていない物品ＡＲ０が所定の搭載範囲を超えて移動したか否かを検出する。また、第五ステーション側検出器５５ｅは、収容ケース９０に収容されている物品ＡＲ０および収容ケース９０のうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したか否かを検出することもできる。

【0093】

図４および図７に示すように、本実施形態では、第四ステーション側検出器５５ｄは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の搭載範囲の基端側に設けられている。第五ステーション側検出器５５ｅは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０の搭載範囲の先端側に設けられている。第四ステーション側検出器５５ｄおよび第五ステーション側検出器５５ｅは、公知の検出器を用いることができる。本実施形態では、第四ステーション側検出器５５ｄは、近接センサが用いられている。第五ステーション側検出器５５ｅは、遮光センサが用いられている。

【0094】

第四ステーション側検出器５５ｄは、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０と支持部材５１ａとの間が所定距離以下になると、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０を検出して、物品ＡＲ０若しくは収容ケース９０と支持部材５１ａとの間が密着状態にあることを検出する。第五ステーション側検出器５５ｅは、収容ケース９０に収容されていない物品ＡＲ０が所定の搭載範囲を超えて移動したときに遮光されて、当該物品ＡＲ０が所定の搭載範囲を超えて移動したことを検出する。また、第五ステーション側検出器５５ｅは、収容ケース９０に収容されている物品ＡＲ０および収容ケース９０のうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したときに遮光されて、収容ケース９０に収容されている物品ＡＲ０および収容ケース９０のうちの少なくとも一方が所定の搭載範囲を超えて移動したことを検出することもできる。

【0095】

２．その他
本実施形態では、ステーション群５０は、基板生産ライン１に設けられているが、ステーション群５０は、種々の基板生産設備に設けることができる。例えば、ステーション群５０は、対基板作業機ＷＭ０に使用される物品ＡＲ０を保管する保管庫に設けることができる。

【0096】

３．実施形態の効果の一例
物品搬送システム１００は、ステーション群５０と、第一通信装置７０ａと、判断部８１とを備える。よって、物品搬送システム１００は、第一通信装置７０ａを利用することにより搬送車６０が物品ＡＲ０を送出または受領すべきステーション５０ｓである目標ステーション５０ｇに搬送車６０が到着しているか否かを判断することができる。

【符号の説明】

【0097】

５０：ステーション群、５０ｓ：ステーション、
５０ｇ：目標ステーション、５１：第二移載装置、５１ａ：支持部材、
５４：クランプ部材、５５ａ：第一ステーション側検出器、
５５ｂ：第二ステーション側検出器、５５ｃ：第三ステーション側検出器、
５５ｄ：第四ステーション側検出器、５５ｅ：第五ステーション側検出器、
６０：搬送車、６１：第一移載装置、６４ａ：第一搬送車側検出器、
６４ｂ：第二搬送車側検出器、７０ａ：第一通信装置、
７０ｂ：第二通信装置、７１：第一通信部、７２：第二通信部、
８１：判断部、８２：搬送車制御部、９０：収容ケース、
９１：被クランプ部材、９２：被検出部材、１００：物品搬送システム、
ＡＲ０：物品、Ｒ１，Ｒ２：通信可能範囲、ＷＣ０：管理装置、
ＷＭ０：対基板作業機。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】