特許 7410297 はんだ印刷機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-25

(45)【発行日】2024-01-09

(54)【発明の名称】はんだ印刷機

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/08 20060101AFI20231226BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20231226BHJP

【ＦＩ】

B41F15/08 303E

H05K3/34 505C

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022531110

(86)(22)【出願日】2020-06-15

(86)【国際出願番号】 JP2020023380

(87)【国際公開番号】W WO2021255782

(87)【国際公開日】2021-12-23

【審査請求日】2022-10-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】深草 祥史

【審査官】加藤 昌伸

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／２１２５４１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－２４０２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６４９４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３０９７９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０１７９１８９８（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｆ １５／００ － １５／４６

Ｈ０５Ｋ ３／３２ － ３／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスク、および前記マスクの上面を前後方向に移動するスキージを用いてペースト状はんだを基板に印刷するはんだ印刷機であって、
ベッドと、
前記ベッドに固定して設けられ、前記マスクを保持する左右一対のマスクフレームと、
前記ベッドに固定して設けられ、かつ前記マスクフレームと別体に形成され、前記スキージを駆動する駆動機構を支持する左右一対のスキージフレームと、を備え、
左右一対の前記スキージフレームの各々は、前記スキージの移動方向に延在する前記駆動機構の両端をそれぞれ前記ベッドに固定する前後一対の固定部を有する門型形状をもち、
左右一対の前記マスクフレームの各々は、前記スキージフレームに並んで配置されるとともに、前記マスクを位置補正可能に保持する位置補正機構を前記スキージフレームの門型形状の内側に支持する、
はんだ印刷機。

【請求項2】

前記駆動機構は、前記スキージを支持して左右方向に延びる移動体と、前記移動体の前後方向の移動を案内する左右一対のガイド部と、を有し、
左右一対の前記スキージフレームの各々は、前記ガイド部を支持する、
請求項１に記載のはんだ印刷機。

【請求項3】

前記マスクフレームおよび前記スキージフレームは、前記スキージの移動方向の剛性が前記ベッドの剛性よりも低い、請求項１または２に記載のはんだ印刷機。

【請求項4】

前記位置補正機構は、前記マスクの水平方向の位置および水平面内での回転角を補正し、
前記スキージは、前記基板の搬送方向に対して常に一定の角度方向に移動する、
請求項１～３のいずれか一項に記載のはんだ印刷機。

【請求項5】

前記スキージは、前記基板の搬送方向に対して常に直交方向に移動する、請求項４に記載のはんだ印刷機。

【請求項6】

前記ベッドに固定して設けられ、かつ前記マスクフレームおよび前記スキージフレームと別体に形成され、機内を保護するカバーを開閉可能に支持するカバーフレームをさらに備える、請求項１～５のいずれか一項に記載のはんだ印刷機。

【請求項7】

マスク、および前記マスクの上面を前後方向に移動するスキージを用いてペースト状はんだを基板に印刷するはんだ印刷機であって、
ベッドと、
前記ベッドに固定して設けられ、前記マスクを保持する左右一対のマスクフレームと、
前記ベッドに固定して設けられ、かつ前記マスクフレームと別体に形成され、前記スキージを駆動する駆動機構を支持する左右一対のスキージフレームと、
を備えるはんだ印刷機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、マスクおよびスキージを用いてペースト状はんだを基板に印刷するはんだ印刷機に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント配線が施された基板に対基板作業を実施して、基板製品を量産する技術が普及している。さらに、対基板作業を実施するはんだ印刷機、部品装着機、リフロー機、および基板検査機などを並べて配置し、対基板作業ラインを構成することが一般的になっている。はんだ印刷機は、マスクおよびスキージを用いてペースト状はんだを基板に印刷する。はんだ印刷機の印刷品質を良好に保つためには、基板に対するマスクの位置を安定化させることが重要である。この種のはんだ印刷機に関する一技術例が特許文献１に開示されている。

【0003】

特許文献１の印刷装置は、マスクを昇降させて基板に対する位置決めを行うマスク昇降機構部と、マスクの昇降動作とは独立するように設置されたフレーム構造体と、フレーム構造体に移動可能に設けられて印刷負荷ユニットを含む印刷機構部とを備える。これによれば、マスクが上下方向に傾斜する事態が抑制され、マスクの高さ位置精度が影響を受けることを抑制できる、とされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１２－２４０２２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、特許文献１の印刷装置は、マスクが上下方向に傾斜する事態を抑制できる点で好ましいが、マスクの水平方向の位置安定化に難がある。詳述すると、印刷機構部の印刷負荷ユニットは、水平位置決め機構によって駆動され、マスク昇降機構部と共に水平方向へ移動する。具体的には、水平方向に移動するフレーム構造体が矩形の枠形状に形成され、枠形状の内側にマスク昇降機構部が配置され、枠形状を構成する天板部の上に印刷機構部が配置されている。このため、印刷負荷ユニットの動作に伴う振動の影響は、フレーム構造体を経由してマスク昇降機構部に伝わる。その結果、基板に対するマスクの版合せ精度が低下したり、はんだの印刷品質が低下したりする。

【0006】

それゆえ、本明細書は、スキージの動作に伴う振動がマスクの位置に及ぼす影響を抑制して、版合せ精度および印刷品質を良好に保つことができるはんだ印刷機を提供することを解決すべき課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本明細書は、マスク、および前記マスクの上面を移動するスキージを用いてペースト状はんだを基板に印刷するはんだ印刷機であって、ベッドと、前記ベッドに固定して設けられ、前記マスクを保持するマスクフレームと、前記ベッドに固定して設けられ、かつ前記マスクフレームと別体に形成され、前記スキージを駆動する駆動機構を支持するスキージフレームと、を備えるはんだ印刷機を開示する。

【発明の効果】

【0008】

本明細書で開示するはんだ印刷機では、ベッド、マスクフレーム、およびスキージフレームの三者は、別々の部材で構成される。このため、スキージが動作するときに発生する振動は、スキージフレーム、ベッド、およびマスクフレームの順番に伝わり、大幅に減衰してマスクに到達する。したがって、スキージの動作に伴う振動がマスクの位置に及ぼす影響は大幅に抑制され、版合せ精度および印刷品質が良好に保たれる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態のはんだ印刷機の斜視図である。

【図2】はんだ印刷機のマスクフレームを示す右側面図である。

【図3】はんだ印刷機のスキージフレームを示す右側面図である。

【図4】はんだ印刷機のカバーフレームを示す右側面図である。

【図5】実施形態のはんだ印刷機における基板、マスク、およびスキージの位置関係を模式的に示す平面図である。

【図6】従来技術のはんだ印刷機における基板、マスク、およびスキージの位置関係を模式的に示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

１．実施形態のはんだ印刷機１の全体構成
実施形態のはんだ印刷機１の全体構成について、図１を参考にして説明する。はんだ印刷機１は、マスク６およびスキージ７を用いてペースト状はんだを基板Ｋに印刷する。図１において、基板Ｋは、便宜的に破線のハッチングで示されている。はんだ印刷機１は、マスク６およびスキージ７以外に、ベッド２、基板搬送装置３、クランプ機構４、昇降機構５、およびカバー８などで構成される。図１の左上の矢印に示されるように、はんだ印刷機１の前後左右を定める。前後方向は、スキージ７の移動方向となり、左から右に向かう方向は、基板Ｋの搬送方向となる。

【0011】

ベッド２は、基台やベースとも呼ばれる部位であり、床面に固定される不動体と見做すことができる。ベッド２は、後述する各種の装置や機構などが組み付けられる。ベッド２は、頑丈に形成されており、高い剛性を有する。ベッド２は、後述するように複数の部材で構成される。

【0012】

基板搬送装置３は、ベッド２の概ね中間高さに配置される。基板搬送装置３は、基板Ｋを印刷実施位置の真下まで搬入するとともに、印刷済みの基板Ｋを搬出する。基板搬送装置３は、一対のガイドレール３１、一対のコンベアベルト、およびベルト駆動部などで構成される。一対のガイドレール３１は、互いに離隔しつつ平行して、左右方向に延在する。ガイドレール３１の左右方向の中央辺りに印刷実施位置が設定されている。一対のコンベアベルトは、一対のガイドレール３１の向かい合う内側の上部にそれぞれ配置される。一対のコンベアベルトは、コンベア搬送面に基板Ｋを載置した状態で輪転して、基板Ｋを搬送する。ベルト駆動部は、コンベアベルトの輪転を駆動する。

【0013】

クランプ機構４は、基板Ｋをクランプして位置決めする。クランプ機構４は、一対のクランクプレート、バックアップテーブル、複数のバックアップピン、クランプ用モータ、および昇降用モータなどで構成される。一対のクランクプレートは、一対のガイドレール３１の上方に配置され、一方が移動可能とされる。なお、クランププレートのみが移動してもよいし、クランププレートおよびガイドレール３１がともに移動してもよい。クランクプレートは、基板Ｋの上面を押さえる鍔部を有してもよい。

【0014】

バックアップテーブルは、一対のガイドレール３１の間に配置される。複数のバックアップピンは、バックアップテーブルの上面に立てて配置され、基板Ｋの下面の押し上げを可能とする。クランプ用モータは、一対のクランププレートの離間距離を狭めて、その間に水平方向に基板Ｋをクランプする。昇降用モータは、バックアップテーブルおよびバックアップピンを上昇駆動し、クランププレートの鍔部とバックアップピンの間に垂直方向に基板Ｋをクランプする。

【0015】

昇降機構５は、基板搬送装置３およびクランプ機構４と一緒に基板Ｋを上昇させて、印刷実施位置の高さに位置決めする。昇降機構５は、昇降台および昇降用モータなどで構成される。昇降台は、基板搬送装置３およびクランプ機構４を支持する。昇降用モータは、ベッド２に固定されており、ボールねじ送り機構を介して昇降台を昇降駆動する。昇降台の上昇により、基板Ｋの上面がマスク６の下面に接する。なお、本願出願人は、クランプ機構４および昇降機構５の詳細な構成例を国際公開第２０１７／１４５２８０号に開示している。

【0016】

マスク６は、基板Ｋの上面に形成されたランド（電極）にクリーム状はんだを印刷するときの版型である。したがって、マスク６は、基板Ｋの種類ごとに相違する。マスク６は、基板Ｋよりも一回り大きな矩形シートの形状をもち、ランドの配置に対応する印刷孔をもつ。マスク６は、矩形枠状のマスク枠６１に保持され、水平方向に延在する。

【0017】

マスク枠６１は、複数種類のマスク６を交換可能に保持する。マスク枠６１は、基板搬送装置３およびクランプ機構４の上側に配置される。マスク枠６１は、位置補正機構６２によって、水平二方向の位置および水平面内での回転角が補正される。これにより、基板Ｋを基準とするマスク６の位置合わせ（版合せ）が行われる。位置補正機構６２は、左右一対のマスクフレーム６Ａによって支持される。マスクフレーム６Ａは、ベッド２に固定して設けられる。

【0018】

スキージ７は、概ね前後対称形状の一対で構成され、マスク６の上側に配置される。一対のスキージ７は、スキージヘッド７１の下側に昇降可能に支持される。スキージヘッド７１の移動方向に応じて、一方のスキージ７が下降する。下降したスキージ７は、マスク６の上面を移動することによりクリーム状はんだを移動させ、印刷動作を行う。スキージヘッド７１は、駆動機構７２によって前後方向に駆動される。

【0019】

駆動機構７２は、移動体７３、左右一対のガイド部７４、ねじ軸７５、駆動モータ７６、およびボールナット７７などで構成される。移動体７３は、左右方向に延びる細長い部材である。移動体７３の概ね中央に、スキージヘッド７１が固定されている。移動体７３は、左右方向にそれぞれ張り出す棒形状の一対の支持部材７８を前面側にもつ。一対の支持部材７８の張り出した先端下部は、それぞれガイド部７４に移動可能に装架される。

【0020】

左右一対のガイド部７４は、前後方向に延在する。左右一対のガイド部７４は、移動体７３の前後方向の移動を案内する。左側のガイド部７４の上方に離隔しつつ平行して、ねじ軸７５が配置される。ねじ軸７５の後方に、駆動モータ７６が固定配置される。駆動モータ７６は、ねじ軸７５を軸周りに回転駆動する。

【0021】

さらに、移動体７３の左側の支持部材７８の先端上部に、ボールナット７７が設けられる。ボールナット７７は、ねじ軸７５に螺合して、ボールねじ送り機構を構成する。駆動モータ７６がねじ軸７５を回転駆動すると、ボールナット７７は、ねじ軸７５に対して進退する。これにより、移動体７３およびスキージヘッド７１は前後方向に移動する。駆動機構７２は、左右一対のスキージフレーム７Ａによって支持される。スキージフレーム７Ａは、ベッド２に固定して設けられる。

【0022】

カバー８は、はんだ印刷機１の機内を保護するとともに、作業者の安全を確保するために設けられる。カバー８は、上面部８１および前面部８２が連なって形成され、側面視でＬ字形状となっている。上面部８１は、はんだ印刷機１の上面の前寄りの半分程度を覆う。前面部８２は、はんだ印刷機１の前面の上部寄りの一部分を覆う。上面部８１の後縁には、二つの蝶番８３が左右に離隔して設けられる。カバー８は、蝶番８３を中心とする回動動作によって開閉し、作業者によって開閉操作される。

【0023】

はんだ印刷機１の機内を視認できるように、上面部８１および前面部８２の一部分は、透明な樹脂やガラスで形成される。カバー８が開いた状態で基板搬送装置３やスキージ７などの可動部が動作すると、安全性が低下する。この対策として、図略の安全装置が設けられ、カバー８が開いた状態での可動部の動作が規制される。カバー８は、その蝶番８３がカバーフレーム８Ａによって支持される。カバーフレーム８Ａは、ベッド２に固定して設けられる。

【0024】

２．ベッド２および三種類のフレームの詳細構造
次に、ベッド２および三種類のフレームの詳細な構造について、図１に加え図２～図４を参考にして説明する。本実施形態において、マスクフレーム６Ａ、スキージフレーム７Ａ、およびカバーフレーム８Ａは、互いに異なる部材で構成される。さらに、これら三種類のフレームは、ベッド２と別体に形成される。

【0025】

ベッド２は、ベッド本体２１、４個の内側支柱２２、および４個の外側支柱２３を含んで構成される。ベッド本体２１は、概ね直方体の箱形状または枠形状に形成されており、ベッド２の下部を構成する。ベッド本体２１は、型鋼や鋼板などを用いて頑丈に形成される。したがって、ベッド２は、高い剛性を有し、かつ振動しにくい。

【0026】

内側支柱２２は、ベッド本体２１の上面の四隅にそれぞれ起立して配置される。内側支柱２２は、型鋼や厚い鋼板の組み合わせで形成される。図２および図３に示されるように、内側支柱２２は、底部２２１、垂直部２２２、および頂部２２３からなる。底部２２１は、概ね矩形板状に形成されて水平に配置される。底部２２１は、ボルトを用いてベッド本体２１の上面に固定される。垂直部２２２は、底部２２１に固定され、垂直上方に延在する。頂部２２３は、垂直部２２２の上面に固定され、概ね矩形板状に形成されて水平に配置される。頂部２２３の上面に、マスクフレーム６Ａおよびスキージフレーム７Ａが固定取り付けされる。

【0027】

外側支柱２３は、ベッド本体２１の四隅から上方に延在する。外側支柱２３は、平面視で略Ｌ字形状に形成され、屈折箇所に若干の丸みが付けられている。外側支柱２３は、固定ねじによってベッド本体２１の隣り合う二つの側面に固定される。外側支柱２３は、内側支柱２２の外側に位置するとともに、内側支柱２２よりも上方まで延在する。図４に示されるように、外側支柱２３の上部寄りに、カバーフレーム８Ａが固定取り付けされる。

【0028】

マスクフレーム６Ａは、前後方向に延在する板材を主材にして形成される。マスクフレーム６Ａは、直接的に位置補正機構６２を支持し、間接的にマスク枠６１およびマスク６を支持する。図２に示されるように、マスクフレーム６Ａは、その上縁６Ｂが側面視で山型形状に形成され、中央に切り欠き窓６Ｃが形成される。左右一対のマスクフレーム６Ａの各々は、向かい合う内側に位置補正機構６２を支持している。マスクフレーム６Ａの各々は、前後の内側支柱２２の頂部２２３に架け渡されて固定される。マスクフレーム６Ａは、少なくとも前後方向（スキージ７の移動方向）の剛性がベッド２の剛性よりも低い。

【0029】

スキージフレーム７Ａは、前後方向に延在する部材を主材にして形成される。スキージフレーム７Ａは、スキージ７を駆動する駆動機構７２を支持する。詳述すると、左右一対のスキージフレーム７Ａは、その上面にそれぞれガイド部７４を支持する。図１および図３に示されるように、左側のスキージフレーム７Ａの上面の前端に前金具７Ｅが設けられ、上面の後端寄りに後金具７Ｆが設けられる。前金具７Ｅおよび後金具７Ｆは、ねじ軸７５の両端を回転可能に支持する。さらに、後金具７Ｆは、その後側に駆動モータ７６を支持する。

【0030】

スキージフレーム７Ａの各々は、前後両端から下方に延びる固定部７Ｂを有し、側面視で門型形状に形成されている。固定部７Ｂは、駆動機構７２の両端をそれぞれベッド２に固定する部位である。スキージフレーム７Ａの固定部７Ｂを除いた下縁７Ｃは、位置補正機構６２よりも高い位置に配置される。

【0031】

左右一対のスキージフレーム７Ａは、左右一対のマスクフレーム６Ａの内側に並んで配置される。スキージフレーム７Ａの各々は、前後の内側支柱２２の頂部２２３に架け渡され、固定部７Ｂの下端が頂部２２３に固定される。さらに、スキージフレーム７Ａの後部は、添え板７Ｄを用いて内側支柱２２に固定される。スキージフレーム７Ａは、少なくとも前後方向（スキージ７の移動方向）の剛性がベッド２の剛性よりも低い。

【0032】

ここで、マスクフレーム６Ａは、スキージフレーム７Ａの門型形状の内側に位置補正機構６２を保持する。あるいは、左右一対のマスクフレーム６Ａは、スキージフレーム７Ａの門型形状の内側を通り抜けた中央位置に位置補正機構６２を保持する。このような入れ子構造を採用することにより、はんだ印刷機１の左右方向の幅寸法をコンパクト化することができる。ただし、製造工程に制約が生じ、ベッド２に対して先にマスクフレーム６Ａが組み付けられ、後からスキージフレーム７Ａが組み付けられる。

【0033】

カバーフレーム８Ａは、カバー８を開閉可能に支持する。カバーフレーム８Ａは、左右一対のサイドフレーム８Ｂ、横ステー８Ｃ、および縦ステー８Ｄ、ならびに一つの天井フレーム８Ｅで構成される。サイドフレーム８Ｂは、前後方向に延在する細長い板材で形成される。サイドフレーム８Ｂの各々は、前後の外側支柱２３の頂部に架け渡され、水平配置で固定される。

【0034】

カバーフレーム８Ａの剛性を高める目的で、横ステー８Ｃおよび縦ステー８Ｄが追加で設けられる。横ステー８Ｃは、サイドフレーム８Ｂの下方位置に、サイドフレーム８Ｂと平行して配置される。横ステー８Ｃは、前後の外側支柱２３に固定される。縦ステー８Ｄは、上下方向に延在し、サイドフレーム８Ｂと横ステー８Ｃの概ね中央位置同士を機械的に結合する。

【0035】

天井フレーム８Ｅは、左右のサイドフレーム８Ｂの後寄りの半分程度の範囲に架け渡されて固定される。天井フレーム８Ｅは、水平配置される板材によって形成され、または、軽量化のために格子形状の部材によって形成される。天井フレーム８Ｅの前縁に、カバー８の蝶番８３が結合される。カバーフレーム８Ａの剛性は、ベッド２の剛性よりも低い。

【0036】

３．実施形態のはんだ印刷機１の作用および効果
次に、実施形態のはんだ印刷機１の作用および効果について説明する。駆動機構７２に駆動されてスキージ７が印刷動作を行うとき、スキージフレーム７Ａに振動が発生する。この振動は、スキージ７の移動に伴う反力などに起因するため、主に前後方向の振動成分をもつ。スキージフレーム７Ａの前後方向の振動は、ベッド２およびマスクフレーム６Ａの順番に伝わり、マスク６に到達する。ここで、ベッド２は、少なくとも前後方向の剛性が高く、したがって振動を伝えにくい。このため、前後方向の振動は、大幅に減衰してマスク６に到達し、あるいは、殆どマスク６にまで到達しない。

【0037】

したがって、スキージ７の印刷動作の途中に、マスク６の位置が基板Ｋに対して微妙に変化する版合せの精度低下が発生しない。また、ペースト状はんだの抜け性を始めとする印刷品質が低下しない。仮に、版合せの精度低下が発生していると、印刷動作の終了時に基板Ｋを下降させたときに、ペースト状はんだがマスク６の印刷孔からきれいに抜けない場合（抜け性の低下）が生じる。この場合、印刷されたペースト状はんだの周囲が滲んだり、ペースト状はんだの位置がランドの中央から外れたりして印刷品質が低下する。

【0038】

実施形態のはんだ印刷機１では、ベッド２、マスクフレーム６Ａ、およびスキージフレーム７Ａの三者は、別々の部材で構成される。このため、スキージ７が動作するときに発生する振動は、スキージフレーム７Ａ、ベッド２、およびマスクフレーム６Ａの順番に伝わり、大幅に減衰してマスク６に到達する。したがって、スキージ７の動作に伴う振動がマスク６の位置に及ぼす影響は大幅に抑制され、版合せ精度および印刷品質が良好に保たれる。

【0039】

ところで、従来構成において、マスクフレーム６Ａ、スキージフレーム７Ａ、およびカバーフレーム８Ａの三者は、共通の部材で構成されていた。そして、カバー８の多数回の開閉操作のたびに、カバーフレーム８Ａの振動がマスク６やスキージ７にまで伝わり、振動の影響が蓄積されて不具合に至るおそれがあった。不具合として、例えば、マスク６やスキージ７の取り付け位置の誤差が徐々に増加したり、取り付けに緩みが生じたりすることが皆無でなかった。

【0040】

これに対して、本実施形態では、カバー８の開閉操作で発生する振動は、カバーフレーム８Ａからベッド２およびマスクフレーム６Ａを経由してマスク６に到達し、または、ベッド２およびスキージフレーム７Ａを経由してスキージ７に到達する。ここで、ベッド２は、剛性が高く、したがって振動を伝えにくい。このため、マスク６やスキージ７において、振動の影響が蓄積されることは発生し難く、不具合に至るおそれは低減される。

【0041】

４．実施形態における別の作用および効果
また、実施形態および従来技術を問わず、マスク枠（６１、６Ｘ）に対してマスク６の四辺が傾いた状態（マスク６が水平面内で回転して角度誤差をもつ状態）で取り付けられる場合が生じ得る。この場合、実施形態では図５に示される位置関係に調整され、従来技術では図６に示される位置関係に調整される。なお、図５および図６は、模式的に誇張した説明図である。実際には、マスク６の周縁は、マスク枠（６１、６Ｘ）から大きくはみ出さない。

【0042】

図５の実施形態において、基板Ｋは、搬送方向Ｍ１に搬入および搬出される。また、スキージフレーム７Ａはベッド２に固定されているため、スキージ７は、基板Ｋの搬送方向Ｍ１に対して常に直交方向に移動する。一方、位置補正機構６２は、基板Ｋに対してマスク６を版合せするために、マスク枠６１を回転して補正する。この結果、基板Ｋに対して、マスク枠６１は平行せず、マスク６が平行した位置状態に補正される。このとき、スキージ７は、基板Ｋと平行する方向Ｍ２に移動して、良好な印刷動作を行うことができる。

【0043】

一方、図６の従来技術において、例えば特許文献１に開示されるように、フレーム構造体にマスク昇降機構部および印刷機構部が配置される。そして、基板の水平方向の位置および水平面内での回転角に対して、フレーム構造体の位置が補正される。つまり、マスク枠６Ｘおよびスキージ７Ｘが共通フレームに配置され、基板Ｋに対して共通フレームの位置が補正される。

【0044】

従来技術では、基板Ｋに対してマスク６を版合せするためにマスク枠６Ｘを回転すると、スキージ７Ｘも一緒に回転する。この結果、スキージ７Ｘは、基板Ｋと平行しない方向Ｍ３に移動することになって、良好な印刷動作を行うことができない。図６の例では、基板Ｋの一部の領域がスキージ７Ｘの移動範囲から外れるため、良好な印刷動作が行われない。これに対して、本実施形態では、マスク６およびマスク枠６１の回転角に関係なく、常にスキージ７を基板Ｋと平行する方向Ｍ２に移動させて、良好な印刷動作を行うことができる。

【0045】

５．実施形態の応用および変形
なお、実施形態において、ベッド２の少なくとも前後方向の剛性は、マスクフレーム６Ａやスキージフレーム７Ａよりも高い、とされている。一般的に、構造物の三方向の剛性は相互に関連しあうものである。したがって、ベッド２の三方向の剛性がマスクフレーム６Ａやスキージフレーム７Ａよりも高い構成としても差し支えなく、むしろその方が効果顕著であり、かつ構造的な設計も容易である。

【0046】

また、実施形態において、ベッド２に固定されたマスクフレーム６Ａ上の位置補正機構６２が、マスク枠６１の位置および回転角を補正するが、別法を採用することができる。例えば、マスク枠６１を支持するマスクフレーム６Ａがベッド２に対して可動とされ、ベッド２に固定された位置補正機構６２がマスクフレーム６Ａの位置を補正してもよい。この構成でも、ベッド２、マスクフレーム６Ａ、およびスキージフレーム７Ａを別々の部材で構成することができ、実施形態と同様の効果が発生する。実施形態は、その他にも様々な応用や変形が可能である。

【符号の説明】

【0047】

１：はんだ印刷機 ２：ベッド ２１：ベッド本体 ２２：内側支柱 ２３：外側支柱 ３：基板搬送装置 ４：クランプ機構 ５：昇降機構 ６：マスク ６１、６Ｘ：マスク枠 ６２：位置補正機構 ６Ａ：マスクフレーム ７、７Ｘ：スキージ ７１：スキージヘッド ７２：駆動機構 ７３：移動体 ７４：ガイド部 ７５：ねじ軸 ７６：駆動モータ ７７：ボールナット ７Ａ：スキージフレーム ７Ｂ：固定部 ８：カバー ８Ａ：カバーフレーム Ｋ：基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】