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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-26
(45)【発行日】2024-01-10
(54)【発明の名称】追従型検査装置、及び、追従型検査方法
(51)【国際特許分類】
G01N 21/84 20060101AFI20231227BHJP
G01N 21/90 20060101ALI20231227BHJP
B65G 47/80 20060101ALI20231227BHJP
【ＦＩ】
G01N21/84 B
G01N21/90 B
B65G47/80 C
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2020086122
(22)【出願日】2020-05-15
(65)【公開番号】P2021179406
(43)【公開日】2021-11-18
【審査請求日】2023-03-27
(73)【特許権者】
【識別番号】511122075
【氏名又は名称】テクノダイナミックス株式会社
(73)【特許権者】
【識別番号】000141886
【氏名又は名称】株式会社京都製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110000176
【氏名又は名称】弁理士法人一色国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】加藤 平三郎
(72)【発明者】
【氏名】山下 学
【審査官】小野寺 麻美子
(56)【参考文献】
【文献】特開平９－２９４９６４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－１４２１１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－６９０９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－４４６８８（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国登録特許第１０－１０６７６４１（ＫＲ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ ２１／８４ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８
Ｇ０１Ｂ １１／００ － Ｇ０１Ｂ １１／３０
Ｂ６５Ｇ ４７／８０
Ｂ６５Ｇ ２９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置。
【請求項2】
請求項１に記載の追従型検査装置であって、前記内側テーブルには、前記内側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、内側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記内側テーブル用ギア歯と噛合する内側テーブル用駆動ギアと、
前記内側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記内側テーブル用駆動ギアが設けられた内側テーブル用入力軸と、を有することを特徴とする追従型検査装置。
【請求項3】
請求項１又は請求項２に記載の追従型検査装置であって、前記外側テーブルには、前記外側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、外側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記外側テーブル用ギア歯と噛合する外側テーブル用駆動ギアと、
前記外側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記外側テーブル用駆動ギアが設けられた外側テーブル用入力軸と、を有することを特徴とする追従型検査装置。
【請求項4】
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルを、回転させるための検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルを、回転させるための内側テーブル駆動モーター、及び、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブル、を回転させるための外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、
前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査工程と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更工程と、
を有することを特徴とする追従型検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、追従型検査装置、及び、追従型検査方法に関する。
【背景技術】
【0002】
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、これらのテーブルを駆動する駆動モーターを有する追従型検査装置は、既によく知られている。このような追従型装置では、検査テーブルの回転に応じて内側テーブル及び外側テーブルを回転させ、検査装置や照明装置を検査対象物の移動に追従させて移動させることにより、検査が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平９－２９４９６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近年、追従型検査装置の検査精度の要求が厳しくなってきている。そして、検査精度を向上させるためには、検査処理が実行される際に、追従型検査装置になるべく振動が生じないようにすることが要請される。
【0005】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検査処理が実行される際に追従型検査装置の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置の検査精度を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するための主たる発明は、
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置である。
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置である。
【0007】
本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】追従型検査装置１０の上面図である。
【図2】追従型検査装置１０の縦断面図である。
【図3】追従型検査装置１０の概略ブロック図である。
【図4】経過時間と内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）の回転角との関係を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。
【0010】
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置。
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置。
【0011】
かかる場合には、検査処理が実行される際に追従型検査装置の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置の検査精度を向上させることが可能となる。
【0012】
また、前記内側テーブルには、前記内側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、内側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記内側テーブル用ギア歯と噛合する内側テーブル用駆動ギアと、
前記内側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記内側テーブル用駆動ギアが設けられた内側テーブル用入力軸と、を有することとしてもよい。
前記検査テーブルには、内側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記内側テーブル用ギア歯と噛合する内側テーブル用駆動ギアと、
前記内側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記内側テーブル用駆動ギアが設けられた内側テーブル用入力軸と、を有することとしてもよい。
【0013】
かかる場合には、追従型検査装置の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置の検査精度をより向上させることが可能となる。
【0014】
また、前記外側テーブルには、前記外側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、外側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記外側テーブル用ギア歯と噛合する外側テーブル用駆動ギアと、
前記外側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記外側テーブル用駆動ギアが設けられた外側テーブル用入力軸と、を有することとしてもよい。
前記検査テーブルには、外側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記外側テーブル用ギア歯と噛合する外側テーブル用駆動ギアと、
前記外側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記外側テーブル用駆動ギアが設けられた外側テーブル用入力軸と、を有することとしてもよい。
【0015】
かかる場合には、追従型検査装置の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置の検査精度をより向上させることが可能となる。
【0016】
次に、検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルを、回転させるための検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルを、回転させるための内側テーブル駆動モーター、及び、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブル、を回転させるための外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、
前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査工程と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更工程と、
を有することを特徴とする追従型検査方法。
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルを、回転させるための内側テーブル駆動モーター、及び、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブル、を回転させるための外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、
前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査工程と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更工程と、
を有することを特徴とする追従型検査方法。
【0017】
かかる場合には、検査処理が実行される際に追従型検査装置の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置の検査精度を向上させることが可能となる。
【0018】
＝＝＝本実施の形態に係る追従型検査装置１０及び追従型検査方法について＝＝＝
ここでは、追従型検査装置１０及び追従型検査方法の一例について、図１乃至図４を参照しながら説明する。図１は、追従型検査装置１０の上面図である。図２は、追従型検査装置１０の縦断面図である。図３は、追従型検査装置１０の概略ブロック図である。図４については、後述する。
ここでは、追従型検査装置１０及び追従型検査方法の一例について、図１乃至図４を参照しながら説明する。図１は、追従型検査装置１０の上面図である。図２は、追従型検査装置１０の縦断面図である。図３は、追従型検査装置１０の概略ブロック図である。図４については、後述する。
【0019】
＜＜＜追従型検査装置１０の構成例について＞＞＞
追従型検査装置１０は、検査対象物１（例えば、バイアル、アンプル、シリンジ等の液体充填装置）を検査する装置である。すなわち、追従型検査装置１０は、検査対象物１について品質上必要とされる項目、すなわち、外観上の傷、変形、割れ、欠け、液中の異物、液量の異常、液の変色等を検査する。
追従型検査装置１０は、検査対象物１（例えば、バイアル、アンプル、シリンジ等の液体充填装置）を検査する装置である。すなわち、追従型検査装置１０は、検査対象物１について品質上必要とされる項目、すなわち、外観上の傷、変形、割れ、欠け、液中の異物、液量の異常、液の変色等を検査する。
【0020】
追従型検査装置１０は、固定部１２と、検査テーブル２０と、キャップ設置テーブル２５と、メイン入力軸５０と、検査テーブル駆動モーター６０と、内側テーブル３０と、内側テーブル用入力軸５３と、内側テーブル駆動モーター６１と、外側テーブル４０と、外側テーブル用入力軸５５と、外側テーブル駆動モーター６２と、スピン駆動部７３と、供給部８０と、排出部８２と、制御部９０と、を備えている。
【0021】
固定部１２は、検査が実行される際に、検査対象物１を固定するためのもの（検査対象物１が固定された状態を維持するためのもの）である。この固定部１２は、設置部１３とキャップ部１５とを備えている。
【0022】
設置部１３は、検査対象物１が設置される部分である。この設置部１３は、後述する検査テーブル２０の上面に複数設けられている。そして、複数の設置部１３は、検査テーブル２０の周方向において並ぶように備えられている。
【0023】
キャップ部１５は、設置部１３に設置された検査対象物１を上方から押さえつけて、検査対象物１の固定をより適切にするためのものである。このキャップ部１５は、後述するキャップ設置テーブル２５に複数設置されている。そして、複数のキャップ部１５は、キャップ設置テーブル２５の周方向において並ぶように備えられている。
【0024】
検査テーブル２０は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、検査対象物１が前記固定部１２（設置部１３）を介して支持されるテーブルである。そして、当該検査テーブル２０は、連続的に回転することにより設置部１３に設置された検査対象物１を連続的に回転させるようになっている。この検査テーブル２０は、上面視において円形状を有しており、ベース部７０に取り付けられた固定軸１８に検査テーブル軸受２２を介して回転自在に取り付けられている。
【0025】
また、当該検査テーブル２０の径方向における最も外側には、ギア歯（便宜上、検査テーブル外ギア歯２０ａ（外側テーブル用ギア歯に相当）と呼ぶ）が設けられており、当該検査テーブル外ギア歯２０ａは、後述する検査テーブル用駆動ギア５１及び外側テーブル用駆動ギア５６と噛合している。また、検査テーブル外ギア歯２０ａよりも内側には、検査テーブル外ギア歯２０ａとは異なるギア歯（便宜上、検査テーブル内ギア歯２０ｂ（内側テーブル用ギア歯に相当）と呼ぶ）が設けられており、当該検査テーブル内ギア歯２０ｂは、後述する内側テーブル用駆動ギア５４と噛合している。
【0026】
キャップ設置テーブル２５は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、検査対象物１が前記固定部１２（キャップ部１５）を介して支持されるテーブルである。そして、当該キャップ設置テーブル２５は、検査テーブル２０に同期して（検査テーブル２０と同様の速度で）連続的に回転する。そして、このことにより、検査テーブル２０と協働して、設置部１３に設置された検査対象物１を連続的に回転させるようになっている。この検査テーブル２０は、上面視において円形状を有しており、固定軸１８に固定された固定部材７１にキャップ設置テーブル軸受２７を介して回転自在に取り付けられている。
【0027】
また、当該キャップ設置テーブル２５の径方向における最も外側には、ギア歯（便宜上、キャップ設置テーブルギア歯２５ａと呼ぶ）が設けられており、当該キャップ設置テーブルギア歯２５ａは、後述するキャップ設置テーブル用駆動ギア５２と噛合している。
【0028】
なお、本実施の形態において設けられている上述したキャップ部１５、固定部材７１、キャップ設置テーブル２５、及び、キャップ設置テーブル軸受２７は、検査対象物１の固定をより適切にするためのものであり、必ずしも必要な部材ではない。特に、検査対象物１の上下方向の長さ（高さ）が小さい場合には、容易に省略することが可能である。
【0029】
メイン入力軸５０は、後述する検査テーブル駆動モーター６０に連結され、かつ、検査テーブル外ギア歯２０ａと噛合する検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブルギア歯２５ａと噛合するキャップ設置テーブル用駆動ギア５２が設けられた（取り付けられた）軸である。このメイン入力軸５０は、固定軸１８に固定された固定アーム７２に、回転自在に取り付けられている。そして、メイン入力軸５０が回転すると、検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブル用駆動ギア５２も一体的に回転し、検査テーブル２０とキャップ設置テーブル２５を回転させることができるようになっている。
【0030】
検査テーブル駆動モーター６０は、検査テーブル２０を回転させるためのものである。また、検査テーブル駆動モーター６０は、本実施の形態のようにキャップ設置テーブル２５が設けられているときには、キャップ設置テーブル２５を回転させる役割も果たす。この検査テーブル駆動モーター６０は、サーボモーターであり、ベース部７０に設置されている。
【0031】
内側テーブル３０は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、検査装置の一例としてのカメラ６５及び照明装置６６のうちの一方の装置（本実施の形態においては、照明装置６６）が支持されるテーブルである。この内側テーブル３０は、検査テーブル２０の径方向における内側において検査テーブル２０に軸受（便宜上、内側テーブル軸受３２と呼ぶ）を介して取り付けられている。
【0032】
そして、当該内側テーブル３０は、回転することにより検査テーブル２０に対し周方向において相対移動する。このことにより、径方向において照明装置６６と正対する検査対象物１が変更される。つまり、照明装置６６で照らされる検査対象物１が別の検査対象物１に変わるようになっている。
【0033】
なお、内側テーブル３０は、上面視において円形状を有している。
【0034】
内側テーブル用入力軸５３は、内側テーブル駆動モーター６１に連結され、かつ、検査テーブル内ギア歯２０ｂと噛合する内側テーブル用駆動ギア５４が設けられた（取り付けられた）回転可能な軸である。
【0035】
内側テーブル駆動モーター６１は、内側テーブル３０を回転させるためのものである。この内側テーブル駆動モーター６１は、サーボモーターであり、内側テーブル３０に設けられている。
【0036】
そして、内側テーブル駆動モーター６１の駆動力により内側テーブル用入力軸５３が回転すると、内側テーブル用駆動ギア５４も一体的に回転する。そうすると、内側テーブル３０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動する。そして、このことにより、検査テーブル２０上の照明装置６６（及び内側テーブル駆動モーター６１）も周方向に相対移動する。
【0037】
外側テーブル４０は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、カメラ６５及び照明装置６６のうちの他方の装置（本実施の形態においては、カメラ６５）が支持されるテーブルである。この外側テーブル４０は、検査テーブル２０の径方向における外側において検査テーブル２０に軸受（便宜上、外側テーブル軸受４２と呼ぶ）を介して取り付けられている。
【0038】
そして、当該外側テーブル４０は、回転することにより検査テーブル２０に対し周方向において相対移動する。このことにより、径方向においてカメラ６５と正対する検査対象物１が変更される。つまり、カメラ６５によって撮影される検査対象物１が別の検査対象物１に変わるようになっている。
【0039】
なお、外側テーブル４０は、上面視において略半円形状を有している。円形状としなかったのは、後述する供給部８０及び排出部８２との物理的干渉を回避するためである。
【0040】
外側テーブル用入力軸５５は、外側テーブル駆動モーター６２に連結され、かつ、検査テーブル外ギア歯２０ａと噛合する外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた（取り付けられた）回転可能な軸である。
【0041】
外側テーブル駆動モーター６２は、外側テーブル４０を回転させるためのものである。この外側テーブル駆動モーター６２は、サーボモーターであり、外側テーブル４０に設けられている。
【0042】
そして、外側テーブル駆動モーター６２の駆動力により外側テーブル用入力軸５５が回転すると、外側テーブル用駆動ギア５６も一体的に回転する。そうすると、外側テーブル４０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動する。そして、このことにより、検査テーブル２０上のカメラ６５（及び外側テーブル駆動モーター６２）も周方向に相対移動する。
【0043】
スピン駆動部７３は、検査が実行される際に、設置部１３に設置された検査対象物１をスピンさせるためのものである。このスピン駆動部７３は、スピンモーター７３ａと、スピンモーター７３ａに連結されたスピン軸７３ｂと、スピン軸７３ｂに架けられ、設置部１３と接触するベルト７３ｃと、を備えている。そして、スピンモーター７３ａの駆動力によりスピン軸７３ｂが回転するとベルト７３ｃも回転し、回転するベルト７３ｃが設置部１３（検査対象物１）をスピンさせるようになっている。なお、本実施の形態においては、図から明らかなように、３つの設置部１３（検査対象物１）を同時にスピンさせるようになっている。
【0044】
供給部８０は、検査対象物１を検査テーブル２０に供給するためのものである。この供給部８０は、供給部駆動モーター８３（図３）の駆動力により回転して、検査対象物１を検査テーブル２０に送り込むようになっている。
【0045】
排出部８２は、検査テーブル２０から受け取った検査対象物１を追従型検査装置１０外へ排出するためのものである。この排出部８２は、排出部駆動モーター８４（図３）の駆動力により回転して、検査対象物１を追従型検査装置１０外へ送り出すようになっている。
【0046】
制御部９０は、追従型検査装置１０の動作を制御するためのもの（換言すれば、追従型検査方法を実現するためのもの）である。つまり、制御部９０は、各種モーター（すなわち、検査テーブル駆動モーター６０、内側テーブル駆動モーター６１、外側テーブル駆動モーター６２、スピンモーター７３ａ、供給部駆動モーター８３、排出部駆動モーター８４）を制御して、検査対象物１の検査を実行する。
【0047】
＜＜＜追従型検査装置１０の動作例について＞＞＞
次に、追従型検査装置１０の動作例について説明する。なお、以下に説明する追従型検査装置１０の各種動作は、主として制御部９０により実現される。
次に、追従型検査装置１０の動作例について説明する。なお、以下に説明する追従型検査装置１０の各種動作は、主として制御部９０により実現される。
【0048】
追従型検査装置１０（制御部９０）は、以下で説明する処理（工程）、すなわち、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理（検査工程）とカメラ６５で検査する検査対象物１を変更する変更処理（変更工程）とを繰り返す。
【0049】
検査処理の実行の際に、制御部９０は検査テーブル駆動モーター６０を駆動させる（駆動を継続する）。すると、メイン入力軸５０が回転し、メイン入力軸５０に取り付けられた検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブル用駆動ギア５２も回転する。そして、これらの駆動ギアの回転により、検査テーブル２０が回転する。
【0050】
一方で、検査処理の実行の際に、制御部９０は内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を停止させる（なお、駆動モーターへの通電は行っている）。そのため、内側テーブル３０や外側テーブル４０は、検査テーブル２０に対して相対移動を行わない。つまり、内側テーブル３０及び外側テーブル４０は、検査テーブル２０と一体的に回転することとなる。
【0051】
例えば、図１において、符号Ａで示した検査対象物１には、カメラ６５と照明装置６６が正対（対向）している（換言すれば、カメラ６５、検査対象物１、照明装置６６が一直線上に配置されている）。そして、かかる状態で、内側テーブル３０、外側テーブル４０、検査テーブル２０が一体的に回転すると、カメラ６５と照明装置６６が検査対象物１に正対（対向）した状態（カメラ６５、検査対象物１、照明装置６６が一直線上に配置された状態）を維持しつつ、カメラ６５、照明装置６６、及び、検査対象物１が移動する（回転する）。すなわち、カメラ６５と照明装置６６が検査対象物１の移動に追従して移動する。そして、検査対象物１が符号Ｂで示した位置に、また、カメラ６５及び照明装置６６が点線で示された位置に移動するまで、内側テーブル３０、外側テーブル４０、検査テーブル２０が一体的に回転する。そして、この一体的な回転が行われている間に（つまり、検査対象物１が位置Ａから位置Ｂまで移動する間に）、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理が行われる。
【0052】
次に、変更処理が実行される。本実施の形態においては、当該変更処理の際に、制御部９０が検査テーブル駆動モーター６０の駆動を維持する。したがって、変更処理の際にも、メイン入力軸５０が回転し、メイン入力軸５０に取り付けられた検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブル用駆動ギア５２も回転する。そして、これらの駆動ギアの回転により、検査テーブル２０が回転する（検査テーブル２０の回転が、検査処理に引き続いて維持される）。
【0053】
また、変更処理の実行の際には、制御部９０は内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を駆動させる。すると、内側テーブル用入力軸５３及び外側テーブル用入力軸５５が回転し、内側テーブル用入力軸５３及び外側テーブル用入力軸５５に取り付けられた内側テーブル用駆動ギア５４及び外側テーブル用駆動ギア５６も回転する。そして、これらの駆動ギアの回転により、内側テーブル３０及び外側テーブル４０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動する。
【0054】
例えば、図１において、検査対象物１が符号Ｂで示した位置に、また、カメラ６５及び照明装置６６が点線で示された位置に移動すると、変更処理が開始される。すなわち、内側テーブル３０及び外側テーブル４０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動される。そのため、検査対象物１に対しカメラ６５及び照明装置６６が周方向に相対移動する。そして、当該相対移動が暫く行われると、やがて、カメラ６５及び照明装置６６は、次の検査対象となる検査対象物１（図１において、符号Ｘで示す）に正対（対向）した状態（カメラ６５、次の検査対象となる検査対象物１、照明装置６６が一直線上に配置された状態）となる。このように、カメラ６５で検査する検査対象物１が変更されることとなる。
【0055】
なお、本実施の形態においては、上述した通り、当該変更処理の際に、検査テーブル２０が回転する。より具体的には、変更処理の際に、（検査済みの）検査対象物１が符号Ｂで示した位置に位置する状態から次の検査対象物Ｘが符号Ａで示した位置に位置する状態となるまで検査テーブル２０が回転する。そして、この検査テーブル２０の回転の間に、カメラ６５及び照明装置６６が、位置Ａの次の検査対象物Ｘに正対（対向）する位置（図２において実線で示された位置）まで戻るようになっている。つまり、内側テーブル３０及び外側テーブル４０は、検査テーブル２０の回転方向とは逆方向に回転して、図１の点線位置から実線位置へ戻ることとなる。
【0056】
そして、上述した検査処理及び変更処理が繰り返されることにより、周方向に並んだ複数の検査対象物１の各々を順次検査することができるようになっている。なお、図４に、経過時間と内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）の回転角との関係を示している。図４に示されているように、検査処理が行われる毎にモーターが停止され、変更処理が行われる毎にモーターが駆動される。
【0057】
なお、検査対象物１は、供給部駆動モーター８３が駆動され供給部８０が回転することにより、検査テーブル２０に順次送り込まれる（セットされる）。また、検査済みの検査対象物１は、排出部駆動モーター８４が駆動され排出部８２が回転することにより、追従型検査装置１０外へ送り出される（排出される）。また、検査対象物１のスピン動作は、少なくとも検査処理が行われる際に、スピンモーター７３ａが駆動されベルト７３ｃが回転することにより実行される。
【0058】
＝＝＝本実施の形態に係る追従型検査装置１０等の有効性について＝＝＝
上述した通り、本実施の形態に係る追従型検査装置１０は、検査対象物１が支持され、中心軸Ｃを中心として回転可能な検査テーブル２０と、検査テーブル２０を回転させるための検査テーブル駆動モーター６０と、検査装置（カメラ６５）及び照明装置６６のうちの一方の装置が支持され、かつ、検査テーブル２０の径方向における内側において検査テーブル２０に内側テーブル軸受３２を介して取り付けられ、中心軸Ｃを中心として回転可能な内側テーブル３０と、内側テーブル３０を回転させるための内側テーブル駆動モーター６１と、カメラ６５及び照明装置６６のうちの他方の装置が支持され、かつ、検査テーブル２０の径方向における外側において検査テーブル２０に外側テーブル軸受４２を介して取り付けられ、中心軸Ｃを中心として回転可能な外側テーブル４０と、外側テーブル４０を回転させるための外側テーブル駆動モーター６２と、検査テーブル駆動モーター６０を駆動させ、かつ、内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を停止させることにより、検査テーブル２０と外側テーブル４０と内側テーブル３０とを一体的に回転させ、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理と、内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を駆動させて、検査テーブル２０に対し内側テーブル３０及び外側テーブル４０を相対移動させてカメラ６５で検査する検査対象物１を変更する変更処理と、を繰り返す制御部９０と、を有することとした。そのため、検査処理が実行される際に追従型検査装置１０の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置１０の検査精度を向上させることが可能となる。
上述した通り、本実施の形態に係る追従型検査装置１０は、検査対象物１が支持され、中心軸Ｃを中心として回転可能な検査テーブル２０と、検査テーブル２０を回転させるための検査テーブル駆動モーター６０と、検査装置（カメラ６５）及び照明装置６６のうちの一方の装置が支持され、かつ、検査テーブル２０の径方向における内側において検査テーブル２０に内側テーブル軸受３２を介して取り付けられ、中心軸Ｃを中心として回転可能な内側テーブル３０と、内側テーブル３０を回転させるための内側テーブル駆動モーター６１と、カメラ６５及び照明装置６６のうちの他方の装置が支持され、かつ、検査テーブル２０の径方向における外側において検査テーブル２０に外側テーブル軸受４２を介して取り付けられ、中心軸Ｃを中心として回転可能な外側テーブル４０と、外側テーブル４０を回転させるための外側テーブル駆動モーター６２と、検査テーブル駆動モーター６０を駆動させ、かつ、内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を停止させることにより、検査テーブル２０と外側テーブル４０と内側テーブル３０とを一体的に回転させ、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理と、内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を駆動させて、検査テーブル２０に対し内側テーブル３０及び外側テーブル４０を相対移動させてカメラ６５で検査する検査対象物１を変更する変更処理と、を繰り返す制御部９０と、を有することとした。そのため、検査処理が実行される際に追従型検査装置１０の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置１０の検査精度を向上させることが可能となる。
【0059】
すなわち、従来においても、検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、これらのテーブルを駆動する駆動モーターを有する追従型検査装置はあったが、以下の点で、本実施の形態に係る追従型検査装置１０とは異なっていた。
【0060】
従来例においては、検査を実行する際に、検査テーブル（検査対象物）を検査テーブル用駆動モーターで駆動することにより移動（回転）させ、内側テーブル及び外側テーブル（検査装置及び照明装置）を検査テーブル用駆動モーターとは別の駆動モーターで駆動することにより検査テーブルの移動に応じて移動（揺動）させていた。そして、このような従来例においては、検査を実行する際に、検査テーブル用駆動モーターだけではなく、前記別の駆動モーターも駆動しなければならず、追従型検査装置の振動が顕著となり、追従型検査装置の検査精度が良好とは言えなかった。
【0061】
これに対し、本実施の形態においては、検査テーブル２０を回転させるための検査テーブル駆動モーター６０とは別に、内側テーブル３０（外側テーブル４０）を回転させるための内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）が用意されるものの、内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）が駆動されるのは変更処理のときのみであり、検査処理の際には内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）は停止される。そのため、検査を実行する際に、内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）の駆動がない分、追従型検査装置１０の振動が、従来例に比べて抑えられることとなる。つまり、本実施の形態に係る追従型検査装置１０によれば、検査処理が実行される際に追従型検査装置１０の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置１０の検査精度を向上させることが可能となる。
【0062】
また、本実施の形態に係る追従型検査装置１０においては、内側テーブル３０には、内側テーブル駆動モーター６１が設けられており、検査テーブル２０には、検査テーブル内ギア歯２０ｂが備えられており、検査テーブル内ギア歯２０ｂと噛合する内側テーブル用駆動ギア５４と、内側テーブル駆動モーター６１に連結され、かつ、内側テーブル用駆動ギア５４が設けられた内側テーブル用入力軸５３と、を有することとした。
【0063】
そのため、検査処理が実行される際に、内側テーブル駆動モーター６１のみならず、内側テーブル用駆動ギア５４が設けられた内側テーブル用入力軸５３も停止されることとなる。したがって、追従型検査装置１０の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置１０の検査精度をより向上させることが可能となる。
【0064】
また、本実施の形態に係る追従型検査装置１０においては、外側テーブル４０には、外側テーブル駆動モーター６２が設けられており、検査テーブル２０には、検査テーブル外ギア歯２０ａが備えられており、検査テーブル外ギア歯２０ａと噛合する外側テーブル用駆動ギア５６と、外側テーブル駆動モーター６２に連結され、かつ、外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた外側テーブル用入力軸５５と、を有することとした
そのため、検査処理が実行される際に、外側テーブル駆動モーター６２のみならず、外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた外側テーブル用入力軸５５も停止されることとなる。したがって、追従型検査装置１０の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置１０の検査精度をより向上させることが可能となる。
そのため、検査処理が実行される際に、外側テーブル駆動モーター６２のみならず、外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた外側テーブル用入力軸５５も停止されることとなる。したがって、追従型検査装置１０の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置１０の検査精度をより向上させることが可能となる。
【0065】
＝＝＝その他の実施の形態＝＝＝
以上、上記実施の形態に基づき本発明に係る追従型検査装置等を説明したが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
以上、上記実施の形態に基づき本発明に係る追従型検査装置等を説明したが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【0066】
上記実施の形態においては、変更処理の際に、カメラ６５及び照明装置６６を、次の検査対象となる検査対象物１に正対（対向）した状態とすることとしたが、当該次の検査対象は、一つ先の検査対象物であることとした（一本送り）。
【0067】
しかしながら、これに限定されるものではなく、以下の例であってもよい。すなわち、カメラ６５や照明装置６６を、複数置いたり広範囲をカバーできるものとしたりすることにより、二つの検査対象物を同時に検査するようにしてもよい。そして、この場合には、変更処理の際に、カメラ６５及び照明装置６６を、次の検査対象となる検査対象物１に正対（対向）した状態とするが、この場合に、当該次の検査対象を、二つ先の二つの検査対象物とすることとしてもよい（二本送り）。
【0068】
なお、同様にして、三本送りや四本送り以上としてもよい。
【符号の説明】
【0069】
１ 検査対象物
１０ 追従型検査装置
１２ 固定部
１３ 設置部
１５ キャップ部
１８ 固定軸
２０ 検査テーブル
２０ａ 検査テーブル外ギア歯
２０ｂ 検査テーブル内ギア歯
２２ 検査テーブル軸受
２５ キャップ設置テーブル
２５ａ キャップ設置テーブルギア歯
２７ キャップ設置テーブル軸受
３０ 内側テーブル
３２ 内側テーブル軸受
４０ 外側テーブル
４２ 外側テーブル軸受
５０ メイン入力軸
５１ 検査テーブル用駆動ギア
５２ キャップ設置テーブル用駆動ギア
５３ 内側テーブル用入力軸
５４ 内側テーブル用駆動ギア
５５ 外側テーブル用入力軸
５６ 外側テーブル用駆動ギア
６０ 検査テーブル駆動モーター
６１ 内側テーブル駆動モーター
６２ 外側テーブル駆動モーター
６５ カメラ
６６ 照明装置
７０ ベース部
７１ 固定部材
７２ 固定アーム
７３ スピン駆動部
７３ａ スピンモーター
７３ｂ スピン軸
７３ｃ ベルト
８０ 供給部
８２ 排出部
８３ 供給部駆動モーター
８４ 排出部駆動モーター
９０ 制御部
１０ 追従型検査装置
１２ 固定部
１３ 設置部
１５ キャップ部
１８ 固定軸
２０ 検査テーブル
２０ａ 検査テーブル外ギア歯
２０ｂ 検査テーブル内ギア歯
２２ 検査テーブル軸受
２５ キャップ設置テーブル
２５ａ キャップ設置テーブルギア歯
２７ キャップ設置テーブル軸受
３０ 内側テーブル
３２ 内側テーブル軸受
４０ 外側テーブル
４２ 外側テーブル軸受
５０ メイン入力軸
５１ 検査テーブル用駆動ギア
５２ キャップ設置テーブル用駆動ギア
５３ 内側テーブル用入力軸
５４ 内側テーブル用駆動ギア
５５ 外側テーブル用入力軸
５６ 外側テーブル用駆動ギア
６０ 検査テーブル駆動モーター
６１ 内側テーブル駆動モーター
６２ 外側テーブル駆動モーター
６５ カメラ
６６ 照明装置
７０ ベース部
７１ 固定部材
７２ 固定アーム
７３ スピン駆動部
７３ａ スピンモーター
７３ｂ スピン軸
７３ｃ ベルト
８０ 供給部
８２ 排出部
８３ 供給部駆動モーター
８４ 排出部駆動モーター
９０ 制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】