特許 7410745 原因判定装置および原因判定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-26

(45)【発行日】2024-01-10

(54)【発明の名称】原因判定装置および原因判定方法

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/68 20060101AFI20231227BHJP

   G01F 1/00 20220101ALI20231227BHJP

【ＦＩ】

G01F1/68 B

G01F1/00 T

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020031211

(22)【出願日】2020-02-27

(65)【公開番号】P2021135154

(43)【公開日】2021-09-13

【審査請求日】2022-12-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100064621

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 政樹

(72)【発明者】

【氏名】田中 雅人

(72)【発明者】

【氏名】原田 賢吾

【審査官】羽飼 知佳

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－１８０２２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１９６７２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１２８０６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１２８０６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１２８０６９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｆ １／００－９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

配管を流れる流体の流量を計測する熱式フローセンサから流量計測値を取得するように構成された第１の取得部と、
前記流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうように構成されたゼロ点ドリフト検出部と、
前記熱式フローセンサにゼロ点ドリフトが有ると判定された場合に、前記流体の供給圧力を変化させる指示信号を、前記配管に配設された圧力調整装置に対して出力するように構成された圧力操作指示部と、
前記供給圧力の変化の前後において前記ゼロ点ドリフト検出部によって検出されたゼロ点ドリフト量に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因を判定するように構成されたドリフト原因判定部とを備えることを特徴とする原因判定装置。

【請求項2】

請求項１記載の原因判定装置において、
前記ゼロ点ドリフト検出部は、
前記流体の流量をゼロにするための指示信号を、前記配管に配設された流量調整装置に対して出力するように構成されたゼロ操作指示部と、
前記流体の流量がゼロになったときの前記流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうように構成されたドリフト評価部とから構成されることを特徴とする原因判定装置。

【請求項3】

請求項１記載の原因判定装置において、
前記ゼロ点ドリフト検出部は、
前記配管に配設された校正用の流量計測機器から基準流量計測値を取得するように構成された第２の取得部と、
前記第１の取得部によって取得された流量計測値と前記第２の取得部によって取得された基準流量計測値とに基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうように構成されたドリフト評価部とから構成されることを特徴とする原因判定装置。

【請求項4】

請求項３記載の原因判定装置において、
前記ドリフト評価部は、前記流体の供給圧力が変化する前に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第１の値と前記基準流量計測値の第１の値との誤差と、前記流体の供給圧力が変化する前に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第２の値と前記基準流量計測値の第２の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行ない、さらに前記流体の供給圧力が変化した後に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第３の値と前記基準流量計測値の第３の値との誤差と、前記流体の供給圧力が変化した後に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第４の値と前記基準流量計測値の第４の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうことを特徴とする原因判定装置。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれか１項に記載の原因判定装置において、
前記ドリフト原因判定部は、前記圧力調整装置によって前記流体の供給圧力が減圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が減少した場合、あるいは前記流体の供給圧力が増圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が増加した場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定し、前記供給圧力の変化の前後において前記ゼロ点ドリフト量が変化していない場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因をセンサ特性変化系要因と判定することを特徴とする原因判定装置。

【請求項6】

請求項５記載の原因判定装置において、
前記非センサ特性変化系要因は、前記流体の対流またはリークであり、
前記センサ特性変化系要因は、前記流体に晒される前記熱式フローセンサのコア部分の汚れまたは前記流体によるアタック現象であることを特徴とする原因判定装置。

【請求項7】

配管を流れる流体の流量を計測する熱式フローセンサから流量計測値を取得する第１のステップと、
前記第１のステップで取得した流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なう第２のステップと、
前記熱式フローセンサにゼロ点ドリフトが有ると判定した場合に、前記流体の供給圧力を変化させる指示信号を、前記配管に配設された圧力調整装置に対して出力する第３のステップと、
前記圧力調整装置による圧力調整後に、前記熱式フローセンサから流量計測値を取得する第４のステップと、
前記第４のステップで取得した流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なう第５のステップと、
前記第２、第５のステップで検出したゼロ点ドリフト量に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因を判定する第６のステップとを含むことを特徴とする原因判定方法。

【請求項8】

請求項７記載の原因判定方法において、
前記第１のステップの前に、前記流体の流量をゼロにするための指示信号を、前記配管に配設された流量調整装置に対して出力する第７のステップをさらに含み、
前記第２、第５のステップは、前記流体の流量がゼロになったときの前記流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含むことを特徴とする原因判定方法。

【請求項9】

請求項７記載の原因判定方法において、
前記第１、第４のステップは、それぞれ前記配管に配設された校正用の流量計測機器から基準流量計測値を取得するステップを含み、
前記第２のステップは、前記第１のステップで取得した前記流量計測値と前記基準流量計測値とに基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含み、
前記第５のステップは、前記第４のステップで取得した前記流量計測値と前記基準流量計測値とに基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含むことを特徴とする原因判定方法。

【請求項10】

請求項９記載の原因判定方法において、
前記第２のステップは、前記第１のステップで同時に取得した前記流量計測値の第１の値と前記基準流量計測値の第１の値との誤差と、前記第１のステップで同時に取得した前記流量計測値の第２の値と前記基準流量計測値の第２の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含み、
前記第５のステップは、前記第４のステップで同時に取得した前記流量計測値の第３の値と前記基準流量計測値の第３の値との誤差と、前記第４のステップで同時に取得した前記流量計測値の第４の値と前記基準流量計測値の第４の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含むことを特徴とする原因判定方法。

【請求項11】

請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の原因判定方法において、
前記第６のステップは、前記圧力調整装置によって前記流体の供給圧力が減圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が減少した場合、あるいは前記流体の供給圧力が増圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が増加した場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定し、前記供給圧力の変化の前後における前記ゼロ点ドリフト量が変化していない場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因をセンサ特性変化系要因と判定するステップを含むことを特徴とする原因判定方法。

【請求項12】

請求項１１記載の原因判定方法において、
前記非センサ特性変化系要因は、前記流体の対流またはリークであり、
前記センサ特性変化系要因は、前記流体に晒される前記熱式フローセンサのコア部分の汚れまたは前記流体によるアタック現象であることを特徴とする原因判定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因を推定することができる原因判定装置および原因判定方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

流体の流量を計測するための熱式フローセンサが実用されている（例えば特許文献１参照）。図９は特許文献１に開示された熱式フローセンサの模式的断面図である。熱式フローセンサは、筐体１と、筐体１内部に配置され、伸縮部材２Ａ、２Ｂを介して筐体１に固定された、筐体１と比較して熱伸縮性が低い計測配管部３と、計測配管部３内を流れる流体の流量を検出するセンサチップ８とを備える。

【0003】

チューブ６Ａを流れてきた流体は、チューブ６Ａに接続された継手５Ａのボディ部５１Ａの貫通孔を経て、継手５Ａのボディ部５１Ａに接続された計測配管部３を流れていき、計測配管部３に接続された継手５Ｂのボディ部５１Ｂの貫通孔を経て、継手５Ｂのボディ部５１Ｂに接続されたチューブ６Ｂを流れる。このような熱式フローセンサは、センサチップ８が流体に晒されるように計測配管部３に固定されている点に特徴がある。

【0004】

図９に示した熱式フローセンサを例えば半導体製造装置や熱処理炉（炉内雰囲気制御）などに用いる場合、建物で扱う空気や蒸気のような無害な気体とは異なる多種多様な気体や液体が流量測定対象になる。

【0005】

例えば半導体製造装置の超微細構造の製造プロセスを対象とする場合のように、正確な流量計測ができるように精度維持することは、言うまでもなく重要である。また言うまでもなく、精度維持の重要性は、半導体製造装置に限られるものではない。流量計測の精度維持のために、常に改善が求められている。

【0006】

例えば流量計測のゼロ点を管理することが、流量計測の精度が維持されていることを確認する方法の一つとして知られているが、ゼロ点のずれを確認することはできても、原因を特定するのは困難であり、改善の余地がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２０１７－００９３４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因特定の簡易化を実現することができ、流量計測の精度維持のための工程の効率を改善することができる原因判定装置および原因判定方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の原因判定装置は、配管を流れる流体の流量を計測する熱式フローセンサから流量計測値を取得するように構成された第１の取得部と、前記流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうように構成されたゼロ点ドリフト検出部と、前記熱式フローセンサにゼロ点ドリフトが有ると判定された場合に、前記流体の供給圧力を変化させる指示信号を、前記配管に配設された圧力調整装置に対して出力するように構成された圧力操作指示部と、前記供給圧力の変化の前後において前記ゼロ点ドリフト検出部によって検出されたゼロ点ドリフト量に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因を判定するように構成されたドリフト原因判定部とを備えることを特徴とするものである。

【0010】

また、本発明の原因判定装置の１構成例において、前記ゼロ点ドリフト検出部は、前記流体の流量をゼロにするための指示信号を、前記配管に配設された流量調整装置に対して出力するように構成されたゼロ操作指示部と、前記流体の流量がゼロになったときの前記流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうように構成されたドリフト評価部とから構成されることを特徴とするものである。
また、本発明の原因判定装置の１構成例において、前記ゼロ点ドリフト検出部は、前記配管に配設された校正用の流量計測機器から基準流量計測値を取得するように構成された第２の取得部と、前記第１の取得部によって取得された流量計測値と前記第２の取得部によって取得された基準流量計測値とに基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうように構成されたドリフト評価部とから構成されることを特徴とするものである。
また、本発明の原因判定装置の１構成例において、前記ドリフト評価部は、前記流体の供給圧力が変化する前に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第１の値と前記基準流量計測値の第１の値との誤差と、前記流体の供給圧力が変化する前に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第２の値と前記基準流量計測値の第２の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行ない、さらに前記流体の供給圧力が変化した後に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第３の値と前記基準流量計測値の第３の値との誤差と、前記流体の供給圧力が変化した後に前記第１、第２の取得部によって同時に取得された前記流量計測値の第４の値と前記基準流量計測値の第４の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうことを特徴とするものである。

【0011】

また、本発明の原因判定装置の１構成例において、前記ドリフト原因判定部は、前記圧力調整装置によって前記流体の供給圧力が減圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が減少した場合、あるいは前記流体の供給圧力が増圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が増加した場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定し、前記供給圧力の変化の前後において前記ゼロ点ドリフト量が変化していない場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因をセンサ特性変化系要因と判定することを特徴とするものである。
また、本発明の原因判定装置の１構成例において、前記非センサ特性変化系要因は、前記流体の対流またはリークであり、前記センサ特性変化系要因は、前記流体に晒される前記熱式フローセンサのコア部分の汚れまたは前記流体によるアタック現象である。

【0012】

また、本発明の原因判定方法は、配管を流れる流体の流量を計測する熱式フローセンサから流量計測値を取得する第１のステップと、前記第１のステップで取得した流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なう第２のステップと、前記熱式フローセンサにゼロ点ドリフトが有ると判定した場合に、前記流体の供給圧力を変化させる指示信号を、前記配管に配設された圧力調整装置に対して出力する第３のステップと、前記圧力調整装置による圧力調整後に、前記熱式フローセンサから流量計測値を取得する第４のステップと、前記第４のステップで取得した流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なう第５のステップと、前記第２、第５のステップで検出したゼロ点ドリフト量に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因を判定する第６のステップとを含むことを特徴とするものである。

【0013】

また、本発明の原因判定方法の１構成例は、前記第１のステップの前に、前記流体の流量をゼロにするための指示信号を、前記配管に配設された流量調整装置に対して出力する第７のステップをさらに含み、前記第２、第５のステップは、前記流体の流量がゼロになったときの前記流量計測値に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の原因判定方法の１構成例において、前記第１、第４のステップは、それぞれ前記配管に配設された校正用の流量計測機器から基準流量計測値を取得するステップを含み、前記第２のステップは、前記第１のステップで取得した前記流量計測値と前記基準流量計測値とに基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含み、前記第５のステップは、前記第４のステップで取得した前記流量計測値と前記基準流量計測値とに基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の原因判定方法の１構成例において、前記第２のステップは、前記第１のステップで同時に取得した前記流量計測値の第１の値と前記基準流量計測値の第１の値との誤差と、前記第１のステップで同時に取得した前記流量計測値の第２の値と前記基準流量計測値の第２の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含み、前記第５のステップは、前記第４のステップで同時に取得した前記流量計測値の第３の値と前記基準流量計測値の第３の値との誤差と、前記第４のステップで同時に取得した前記流量計測値の第４の値と前記基準流量計測値の第４の値との誤差に基づいて、前記熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうステップを含むことを特徴とするものである。

【0014】

また、本発明の原因判定方法の１構成例において、前記第６のステップは、前記圧力調整装置によって前記流体の供給圧力が減圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が減少した場合、あるいは前記流体の供給圧力が増圧された後に前記ゼロ点ドリフト量が増加した場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定し、前記供給圧力の変化の前後における前記ゼロ点ドリフト量が変化していない場合は、前記ゼロ点ドリフトの原因をセンサ特性変化系要因と判定するステップを含むことを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、第１の取得部とゼロ点ドリフト検出部と圧力操作指示部とドリフト原因判定部とを設けることにより、熱式フローセンサが設置されている現場で熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因を簡易的に推定することができる。その結果、本発明では、流量計測の精度維持のための工程の効率を改善することができる。

【0016】

また、本発明では、ゼロ点ドリフト検出部として、ゼロ操作指示部とドリフト評価部とを設けることにより、流体の流量をゼロにして、熱式フローセンサのゼロ点ドリフト量を直接的に検出することができる。

【0017】

また、本発明では、ゼロ点ドリフト検出部として、第２の取得部とドリフト評価部とを設けることにより、校正用の流量計測機器によって得られた基準流量計測値を利用し、熱式フローセンサが使用されている半導体製造装置や熱処理炉などの運用を止めることなく、熱式フローセンサのゼロ点ドリフトがセンサ自体の特性変化によるものなのかセンサの他に原因があるものなのかを特定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本発明の第１の実施例に係る原因判定装置の構成を示すブロック図である。

【図2】図２は、熱式フローセンサのセンサチップの構造を示す平面図および断面図である。

【図3】図３は、本発明の第１の実施例に係る原因判定装置の動作を説明するフローチャートである。

【図4】図４は、本発明の第２の実施例に係る原因判定装置の構成を示すブロック図である。

【図5】図５は、本発明の第２の実施例に係る原因判定装置の動作を説明するフローチャートである。

【図6】図６は、本発明の第２の実施例に係るゼロ点ドリフト量の評価方法を説明するフローチャートである。

【図7】図７は、本発明の第２の実施例に係るゼロ点ドリフト量の評価方法を説明するフローチャートである。

【図8】図８は、本発明の第１、第２の実施例に係る原因判定装置を実現するコンピュータの構成例を示すブロック図である。

【図9】図９は、従来の熱式フローセンサの模式的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

［発明の原理］
発明者は、特に実流量がゼロであるにもかかわらず、流量表示がゼロにならないゼロ点ドリフトについて、大きく２通りの原因（センサ特性変化と非センサ特性変化）に分けられることに着眼した。

【0020】

例えば、半導体製造装置の多様な反応ガスを流量測定対象とする場合、熱式フローセンサのセンサチップ周辺（流量計測コア部分）の汚れや測定対象流体によるアタック現象などのセンサ特性変化系要因により、無視できないレベルでゼロ点ドリフトが発生することもある。
しかしながら、熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの場合、コア部分の汚れなどのセンサ特性変化系要因以外にも原因があるため、不具合対応のための作業効率が悪いという点に改善余地がある。

【0021】

そして、発明者は、熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの他の主な原因である「縦配管設置による流体の対流」および「流量計の下流側からの流体のリーク」という非センサ特性変化系要因と、センサ特性変化系要因とを簡易的に判別する方法として、流体の供給圧力を減圧または加圧することを見出した。

【0022】

具体的には、例えば流体の供給圧力を減圧したときに、流体の対流またはリークが原因の場合はゼロ点ドリフト量が減少するが、センサチップのコア部分の汚れが原因の場合はゼロ点ドリフト量が減少しない。同様に、流体の供給圧力を増圧したときに、流体の対流またはリークが原因の場合はゼロ点ドリフト量が増加するが、センサチップのコア部分の汚れが原因の場合はゼロ点ドリフト量が増加しない。このような原理を応用することにより、熱式フローセンサのゼロ点ドリフトの原因特定の簡易化を実現することができるので、流量計測の精度維持のための工程の効率を改善することができる。

【0023】

［第１の実施例］
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施例に係る原因判定装置の構成を示すブロック図である。
本実施例は、流体の流量を確実にゼロにすることができ、熱式フローセンサのゼロ点ドリフト量を直接的に確認できる構成を前提としている。具体的には、配管２００に熱式フローセンサ２０１の他に、配管２００を流れる流体の流量を調整可能な流量調整装置２０２と、流体の供給圧力を調整可能な圧力調整装置２０３とが配設されていることを前提としている。

【0024】

本実施例の原因判定装置は、原因判定の対象となる熱式フローセンサ２０１から流量計測値を取得する対象流量計測値取得部２０（第１の取得部）と、流体の流量をゼロにするための指示信号を、配管２００に配設された流量調整装置２０２に対して出力するゼロ操作指示部２１と、流体の流量がゼロになったときの流量計測値に基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうドリフト評価部２２と、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが有ると判定された場合に、流体の供給圧力を変化させる指示信号を、配管２００に配設された圧力調整装置２０３に対して出力する圧力操作指示部２３と、供給圧力の変化の前後においてドリフト評価部２２によって検出されたゼロ点ドリフト量に基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因を判定するドリフト原因判定部２４と、判定結果を提示する判定結果提示部２５とを備えている。
ゼロ操作指示部２１とドリフト評価部２２とは、ゼロ点ドリフト検出部２７を構成している。

【0025】

図２（Ａ）は熱式フローセンサ２０１のコア部分であるセンサチップ８の構造を示す平面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のセンサチップ８のＡ－Ａ線断面図である。図２（Ａ）、図２（Ｂ）において、１００は基台となるシリコンチップ、１０１はシリコンチップ１００の上面に空間１０２を設けて薄肉状に形成された例えば窒化シリコンからなるダイアフラム、１０３はダイアフラム１０１の上に形成された金属薄膜からなるヒータ、１０４はダイアフラム１０１上のヒータ１０３の上流側に形成された金属薄膜の感熱抵抗体からなる温度センサ、１０５はダイアフラム１０１上のヒータ１０３の下流側に形成された金属薄膜の感熱抵抗体からなる温度センサ、１０６は金属薄膜の感熱抵抗体からなる周囲温度センサ、１０７はダイアフラム１０１を貫通するスリットである。

【0026】

ヒータ１０３や温度センサ１０４～１０６は例えば窒化シリコンからなる薄膜の絶縁層１０８により覆われている。周囲温度センサ１０６は、ヒータ１０３からの熱の影響を受けずに、流体の温度を検出できるところに配置される。センサチップ８は、図２（Ａ）に示した面が計測流体に晒されるようにして、配管２００（図９の計測配管部３）に装着される。
ヒータ１０３は、その温度がその周囲温度よりも常に一定温度だけ高くなるように発熱する。

【0027】

配管２００中の流体が静止している場合、ヒータ１０３で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、温度センサ１０４および温度センサ１０５の温度は等しくなり、温度センサ１０４および温度センサ１０５の電気抵抗は等しくなる。これに対し、配管２００中の流体が上流から下流に流れている場合、ヒータ１０３で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、温度センサ１０４の温度よりも、温度センサ１０５の温度が高くなる。そのため、温度センサ１０４の電気抵抗と、温度センサ１０５の電気抵抗に差が生じる。

【0028】

温度センサ１０５の電気抵抗と温度センサ１０４の電気抵抗の差は、配管２００中の流体の流速と相関関係がある。そのため、温度センサ１０５の電気抵抗と温度センサ１０４の電気抵抗の差から、配管２００を流れる流体の流量を求めることができる。以上のような熱式フローセンサ２０１については、特許文献１に開示されている。

【0029】

図３は本実施例の原因判定装置の動作を説明するフローチャートである。ゼロ操作指示部２１は、配管２００に配設された流量調整装置２０２（本実施例ではバルブ）に対して、流量をゼロにするための指示信号を出力することにより、配管２００を流れる流体の流量をゼロにする（図３ステップＳ１００）。本実施例では、例えば熱式フローセンサ２０１の下流側に配設されたバルブの開度を全閉にする。

【0030】

対象流量計測値取得部２０は、流量調整装置２０２による流量調整後に、熱式フローセンサ２０１から流量計測値Ｑを取得する（図３ステップＳ１０１）。

【0031】

ドリフト評価部２２は、ステップＳ１０１の処理によって取得された流量計測値Ｑに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフト量Ｄ１を評価する（図３ステップＳ１０２）。

【0032】

具体的には、ドリフト評価部２２は、計測信号ノイズレベルに基づいて予め定められた閾値ＴＨと流量計測値Ｑの整定値とを比較して、流量計測値Ｑの整定値が閾値ＴＨ以下の場合には、流量計測値Ｑがゼロであり、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが無いと判定して、ゼロ点ドリフト量Ｄ１をゼロとする。また、ドリフト評価部２２は、流量計測値Ｑの整定値が閾値ＴＨを超えている場合には、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトがあると判定して、流量計測値Ｑの整定値をゼロ点ドリフト量Ｄ１とする。

【0033】

次に、圧力操作指示部２３は、ドリフト評価部２２によって熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが有ると確認された場合に（図３ステップＳ１０３においてＹＥＳ）、圧力調整装置２０３に対して圧力を変化させる指示信号を出力することにより、流体の供給圧力を変化させる（図３ステップＳ１０４）。

【0034】

圧力調整装置２０３は、例えば圧力操作指示部２３からの指示信号を受信する電空レギュレータと、電空レギュレータから供給される空気圧によって操作されるバルブとからなる。熱式フローセンサ２０１の計測対象の流体が気体の場合には、電空レギュレータ単体を圧力調整装置２０３として用いることもある。

【0035】

なお、圧力調整装置２０３がレギュレータやガバナなどの手動の圧力調整装置の場合は、圧力調整作業を行なうオペレータに対して圧力操作指示部２３が圧力指示値を提示し、この圧力指示値に従ってオペレータがレギュレータやガバナを操作することになる。
流体の供給圧力の変化は、原理的には減圧でも増圧でもよいが、一般的な安全面の配慮などからは減圧が好ましい。

【0036】

対象流量計測値取得部２０は、圧力調整装置２０３による圧力調整後に、熱式フローセンサ２０１から流量計測値Ｑを取得する（図３ステップＳ１０５）。

【0037】

ドリフト評価部２２は、ステップＳ１０５の処理によって取得された流量計測値Ｑに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフト量Ｄ２を評価する（図３ステップＳ１０６）。ゼロ点ドリフト量Ｄ２の評価方法は、ステップＳ１０２のゼロ点ドリフト量Ｄ１の評価方法と同じである。

【0038】

ドリフト原因判定部２４は、ステップＳ１０２で評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ１とステップＳ１０６で評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ２とに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因を判定する（図３ステップＳ１０７）。

【0039】

ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対してゼロ点ドリフト量Ｄ２が変化していない場合、ゼロ点ドリフトの原因をセンサ特性変化系要因（例えばセンサチップの汚れまたは流体によるアタック現象）と判定する。ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１とＤ２が略一致している場合、ゼロ点ドリフト量が変化していないと判定する。ゼロ点ドリフト量Ｄ１とＤ２の略一致とは、ゼロ点ドリフト量Ｄ２がゼロ点ドリフト量Ｄ１を中心とする所定の範囲（Ｄ１±α）内であることを言う。αは閾値であり、計測信号ノイズレベルに基づいて定められる。

【0040】

また、ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対して、圧力調整装置２０３によって流体の供給圧力が減圧された後に評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ２が減少した場合、ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因（例えば流体の対流または流体のリーク）と判定する。同様に、ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対して、流体の供給圧力が増圧された後に評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ２が増加した場合、ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定する。上記の説明のとおり、ゼロ点ドリフト量Ｄ２が所定の範囲（Ｄ１±α）内の場合には、減少または増加とは判定されず、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対してゼロ点ドリフト量Ｄ２が変化していないと判定される。

【0041】

判定結果提示部２５は、ドリフト原因判定部２４の判定結果を提示する（図３ステップＳ１０８）。本実施例では、流量をゼロにするオフライン的な処理を行なうので、判定結果提示部２５は、例えばオペレータが確認可能なモニタに判定結果を表示する。なお、ドリフト評価部２２によって熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが無いと確認された場合（ステップＳ１０３においてＮＯ）、判定結果提示部２５はゼロ点ドリフト無しという判定結果を表示する。

【0042】

以上のように、本実施例では、熱式フローセンサ２０１が設置されている現場で熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因を推定することができる。本実施例では、熱式フローセンサ２０１をメーカや校正事業者に送らずとも、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトがセンサ自体の特性変化によるものなのかセンサの他に原因があるものなのかを特定することができる。その結果、本実施例では、流量計測の精度維持のための工程の効率を改善することができる。

【0043】

［第２の実施例］
次に、本発明の第２の実施例について説明する。図４は本発明の第２の実施例に係る原因判定装置の構成を示すブロック図である。
本実施例は、流体の流量をゼロにすることができない状況（例えば熱式フローセンサ２０１を使用する製造装置の連続稼働時）で、熱式フローセンサ２０１が配設されている配管２００に、校正用の流量計測機器２０５が直列に挿入されている構成を前提としている。具体的には、図４に示すように、熱式フローセンサ２０１よりも前方の部分で配管２００から分岐して熱式フローセンサ２０１の前方で配管２００に合流する副配管２０４と、副配管２０４に設置され、副配管２０４を流れる流体の流量を計測する流量計測機器２０５と、配管切替部２０６とが設けられている。流量計測機器２０５としては、例えばマスフローメータがある。

【0044】

本実施例の原因判定装置は、原因判定の対象となる熱式フローセンサ２０１から流量計測値を取得する対象流量計測値取得部２０（第１の取得部）と、校正用の流量計測機器２０５から基準流量計測値を取得する基準流量計測値取得部２６（第２の取得部）と、対象流量計測値取得部２０によって取得された流量計測値と基準流量計測値取得部２６によって取得された基準流量計測値とに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの有無の判定とゼロ点ドリフト量の検出とを行なうドリフト評価部２２ａと、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが有ると判定された場合に、流体の供給圧力を変化させる指示信号を、配管２００に配設された圧力調整装置２０３に対して出力する圧力操作指示部２３と、供給圧力の変化の前後においてドリフト評価部２２によって検出されたゼロ点ドリフト量に基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因を判定するドリフト原因判定部２４と、判定結果を出力する判定結果出力部２５ａとを備えている。
基準流量計測値取得部２６とドリフト評価部２２ａとは、ゼロ点ドリフト検出部２７ａを構成している。

【0045】

図５は本実施例の原因判定装置の動作を説明するフローチャートである。まず、配管切替部２０６は、流体が熱式フローセンサ２０１に流入する前に全て副配管２０４に流入した後に配管２００に戻って熱式フローセンサ２０１に流入するように配管を切り替える（図５ステップＳ２００）。図４から明らかなとおり、副配管２０４は配管２００から分岐して流量計測機器２０５を通過した後に配管２００に合流するように配設されており、配管切替部２０６は配管２００と副配管２０４の分岐部に配設されている。このような構造により、上記の配管切り替えを実現することができる。

【0046】

なお、配管切替部２０６は、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因判定を指示するオペレータからの指示信号の受信に対応して、配管を自動的に切り替えるようにしてもよい。

【0047】

対象流量計測値取得部２０は、熱式フローセンサ２０１から流量計測値Ｑを取得する（図５ステップＳ２０１）。
基準流量計測値取得部２６は、流量計測機器２０５から流量計測値（基準流量計測値）Ｑｒｅｆを取得する（図５ステップＳ２０２）。

【0048】

ドリフト評価部２２ａは、対象流量計測値取得部２０によって取得された流量計測値Ｑと基準流量計測値取得部２６によって取得された基準流量計測値Ｑｒｅｆとに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフト量Ｄ１を評価する（図５ステップＳ２０３）。図６はゼロ点ドリフト量Ｄ１の評価方法を説明するフローチャートである。

【0049】

まず、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑの整定値（Ｑ１とする）と、この流量計測値Ｑ１が得られたときの基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値（Ｑｒｅｆ１とする）との誤差Ｅ１を評価する（図６ステップＳ３００）。

【0050】

具体的には、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑの整定値Ｑ１と基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値Ｑｒｅｆ１とが得られたときに、整定値Ｑ１が整定値Ｑｒｅｆ１を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ１±ＴＨ）内の場合には、誤差Ｅ１をゼロとする。また、ドリフト評価部２２ａは、整定値Ｑ１が整定値Ｑｒｅｆ１を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ１±ＴＨ）を超えている場合には、整定値Ｑ１と整定値Ｑｒｅｆ１との差Ｑ１－Ｑｒｅｆ１を誤差Ｅ１とする。上記のとおり、閾値ＴＨは計測信号ノイズレベルに基づいて予め定められる。

【0051】

次に、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑ１と異なる流量計測値Ｑの整定値（Ｑ２とする）と、この流量計測値Ｑ２が得られたときの基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値（Ｑｒｅｆ２とする）との誤差Ｅ２を評価する（図６ステップＳ３０１）。

【0052】

具体的には、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑの整定値Ｑ２と基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値Ｑｒｅｆ２とが得られたときに、整定値Ｑ２が整定値Ｑｒｅｆ２を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ２±ＴＨ）内の場合には、誤差Ｅ２をゼロとする。また、ドリフト評価部２２ａは、整定値Ｑ２が整定値Ｑｒｅｆ２を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ２±ＴＨ）を超えている場合には、整定値Ｑ２と整定値Ｑｒｅｆ２との差Ｑ２－Ｑｒｅｆ２を誤差Ｅ２とする。

【0053】

ドリフト評価部２２ａは、誤差Ｅ１とＥ２が略一致している場合（図６ステップＳ３０２においてＹＥＳ）、誤差Ｅ１または誤差Ｅ２をゼロ点ドリフト量Ｄ１とする（図６ステップＳ３０３）。誤差Ｅ１，Ｅ２のどちらを採用するかは予め定められている。誤差Ｅ１とＥ２の略一致とは、誤差Ｅ２が誤差Ｅ１を中心とする所定の範囲（Ｅ１±β）内であることを言う。βは閾値であり、計測信号ノイズレベルに基づいて定められる。ドリフト評価部２２ａは、誤差Ｅ１，Ｅ２が共にゼロである場合には、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが無いと判定して、ゼロ点ドリフト量Ｄ１をゼロとする。

【0054】

ドリフト評価部２２ａは、誤差Ｅ１とＥ２が一致していない場合（ステップＳ３０２においてＮＯ）、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフト以外の不具合があると判定する（図６ステップＳ３０４）。
以上のようにして、ドリフト評価部２２ａは、ゼロ点ドリフト量Ｄ１を評価することができる。

【0055】

第１の実施例と同様に、圧力操作指示部２３は、ドリフト評価部２２ａによって熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが有ると確認された場合に（図５ステップＳ２０４においてＹＥＳ）、圧力調整装置２０３に対して圧力を変化させる指示信号を出力することにより、流体の供給圧力を変化させる（図５ステップＳ２０５）。
供給圧力の変化は、原理的には減圧でも増圧でもよいが、一般的な安全面の配慮などからは減圧が好ましい。

【0056】

対象流量計測値取得部２０は、圧力調整装置２０３による圧力調整後に、熱式フローセンサ２０１から流量計測値Ｑを取得する（図５ステップＳ２０６）。
基準流量計測値取得部２６は、圧力調整装置２０３による圧力調整後に、流量計測機器２０５から基準流量計測値Ｑｒｅｆを取得する（図５ステップＳ２０７）。

【0057】

ドリフト評価部２２ａは、対象流量計測値取得部２０によって取得された流量計測値Ｑと基準流量計測値取得部２６によって取得された基準流量計測値Ｑｒｅｆとに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフト量Ｄ２を評価する（図５ステップＳ２０８）。図７はゼロ点ドリフト量Ｄ２の評価方法を説明するフローチャートである。

【0058】

まず、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑの整定値（Ｑ３とする）と、この流量計測値Ｑ３が得られたときの基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値（Ｑｒｅｆ３とする）との誤差Ｅ３を評価する（図７ステップＳ４００）。

【0059】

具体的には、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑの整定値Ｑ３と基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値Ｑｒｅｆ３とが得られたときに、整定値Ｑ３が整定値Ｑｒｅｆ３を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ３±ＴＨ）内の場合には、誤差Ｅ３をゼロとする。また、ドリフト評価部２２ａは、整定値Ｑ３が整定値Ｑｒｅｆ３を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ３±ＴＨ）を超えている場合には、整定値Ｑ３と整定値Ｑｒｅｆ３との差Ｑ３－Ｑｒｅｆ３を誤差Ｅ３とする。

【0060】

次に、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑ３と異なる流量計測値Ｑの整定値（Ｑ４とする）と、この流量計測値Ｑ４が得られたときの基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値（Ｑｒｅｆ４とする）との誤差Ｅ４を評価する（図７ステップＳ４０１）。

【0061】

具体的には、ドリフト評価部２２ａは、流量計測値Ｑの整定値Ｑ４と基準流量計測値Ｑｒｅｆの整定値Ｑｒｅｆ４とが得られたときに、整定値Ｑ４が整定値Ｑｒｅｆ４を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ４±ＴＨ）内の場合には、誤差Ｅ４をゼロとする。また、ドリフト評価部２２ａは、整定値Ｑ４が整定値Ｑｒｅｆ４を中心とする所定の範囲（Ｑｒｅｆ４±ＴＨ）を超えている場合には、整定値Ｑ４と整定値Ｑｒｅｆ４との差Ｑ４－Ｑｒｅｆ４を誤差Ｅ４とする。

【0062】

ドリフト評価部２２ａは、誤差Ｅ３とＥ４が略一致している場合（図７ステップＳ４０２においてＹＥＳ）、誤差Ｅ３または誤差Ｅ４をゼロ点ドリフト量Ｄ２とする（図７ステップＳ４０３）。誤差Ｅ３，Ｅ４のどちらを採用するかは予め定められている。誤差Ｅ３とＥ４の略一致とは、誤差Ｅ４が誤差Ｅ３を中心とする所定の範囲（Ｅ３±β）内であることを言う。ドリフト評価部２２ａは、誤差Ｅ３，Ｅ４が共にゼロである場合、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトが無いと判定して、ゼロ点ドリフト量Ｄ２をゼロとする。

【0063】

ドリフト評価部２２ａは、誤差Ｅ３とＥ４が一致していない場合（ステップＳ４０２においてＮＯ）、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフト以外の不具合があると判定する（図７ステップＳ４０４）。
以上のようにして、ドリフト評価部２２ａは、ゼロ点ドリフト量Ｄ２を評価することができる。

【0064】

なお、流量計測値Ｑ３は、流量計測値Ｑ１，Ｑ２と異なる値でもよいし、流量計測値Ｑ１およびＱ２のどちらかと同じ値でもよい。また、流量計測値Ｑ４は、流量計測値Ｑ３と異なる値であるが、流量計測値Ｑ１，Ｑ２と異なる値でもよいし、流量計測値Ｑ１およびＱ２のどちらかと同じ値でもよい。

【0065】

第１の実施例と同様に、ドリフト原因判定部２４は、ステップＳ２０３で評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ１とステップＳ２０８で評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ２とに基づいて、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因を判定する（図５ステップＳ２０９）。

【0066】

具体的には、ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対してゼロ点ドリフト量Ｄ２が変化していない場合、ゼロ点ドリフトの原因をセンサ特性変化系要因と判定する。また、ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対して、圧力調整装置２０３によって流体の供給圧力が減圧された後に評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ２が減少した場合、ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定する。同様に、ドリフト原因判定部２４は、ゼロ点ドリフト量Ｄ１に対して、流体の供給圧力が増圧された後に評価されたゼロ点ドリフト量Ｄ２が増加した場合、ゼロ点ドリフトの原因を非センサ特性変化系要因と判定する。

【0067】

判定結果出力部２５ａは、ドリフト原因判定部２４の判定結果を出力する（図５ステップＳ２１０）。第１の実施例と同様にモニタに判定結果を表示する形態でもよいが、本実施例では、流量をゼロにしないオンライン的な処理を行なうので、判定結果出力部２５ａは、熱式フローセンサ２０１にゼロ点ドリフトの可能性があることを示す情報（例えばゼロ点ドリフトの原因とゼロ点ドリフト量Ｄ１，Ｄ２）を流量計測値Ｑ１，Ｑｒｅｆ１，Ｑ２，Ｑｒｅｆ２，Ｑ３，Ｑｒｅｆ３，Ｑ４，Ｑｒｅｆ４のデータに付加して、上位側のデータストレージ機器などに送信する。これにより、上位側では機械学習に利用するのに好適なデータと不適なデータの選別が行ない易くなる。

【0068】

次に、配管切替部２０６は、ゼロ点ドリフトの原因判定処理終了後に、ステップＳ２００の配管の切り替えを解除して、流体の全てが副配管２０４に流入することなく熱式フローセンサ２０１に流入するように配管を判定処理前の状態に戻す（図５ステップＳ２１１）。

【0069】

なお、配管切替部２０６は、ゼロ点ドリフトの原因判定処理の終了を指示するオペレータからの終了指示信号の受信に対応して、配管を自動的に切り替えるようにしてもよい。

【0070】

以上のように、本実施例では、熱式フローセンサ２０１が設置されている現場で、流体の流量をゼロにすることなく熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトの原因を推定することができる。したがって、熱式フローセンサ２０１が使用されている半導体製造装置や熱処理炉などの運用を止めることなく、熱式フローセンサ２０１のゼロ点ドリフトがセンサ自体の特性変化によるものなのかセンサの他に原因があるものなのかを特定することができる。

【0071】

また、本実施例では、熱式フローセンサ２０１を使用する流量計測システムの運用中に流量計測機器２０５を取り外すことができるので、熱式フローセンサ２０１が使用されている半導体製造装置や熱処理炉などの運用を止めることなく、流量計測機器２０５の校正作業を行なうことができる。

【0072】

第１、第２の実施例で説明した原因判定装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このコンピュータの構成例を図８に示す。

【0073】

コンピュータは、ＣＰＵ３００と、記憶装置３０１と、インタフェース装置（Ｉ／Ｆ）３０２とを備えている。Ｉ／Ｆ３０２には、例えば熱式フローセンサ２０１と流量調整装置２０２と圧力調整装置２０３と流量計測機器２０５などが接続される。このようなコンピュータにおいて、第１、第２の実施例の原因判定方法を実現させるためのプログラムは記憶装置３０１に格納される。ＣＰＵ３００は、記憶装置３０１に格納されたプログラムに従って第１、第２の実施例で説明した処理を実行する。

【産業上の利用可能性】

【0074】

本発明は、熱式フローセンサを用いる流量計測システムに適用することができる。

【符号の説明】

【0075】

２０…対象流量計測値取得部、２１…ゼロ操作指示部、２２，２２ａ…ドリフト評価部、２３…圧力操作指示部、２４…ドリフト原因判定部、２５…判定結果提示部、２５ａ…判定結果出力部、２６…基準流量計測値取得部、２７，２７ａ…ゼロ点ドリフト検出部、２００…配管、２０１…熱式フローセンサ、２０２…流量調整装置、２０３…圧力調整装置、２０４…副配管、２０５…流量計測機器、２０６…配管切替部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】