特許 7410791 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-26

(45)【発行日】2024-01-10

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/04 20060101AFI20231227BHJP

   H02K 33/16 20060101ALI20231227BHJP

【ＦＩ】

B06B1/04 Z

H02K33/16 A

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020079167

(22)【出願日】2020-04-28

(65)【公開番号】P2021171735

(43)【公開日】2021-11-01

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】安藤 正明

(72)【発明者】

【氏名】森 亮

【審査官】服部 俊樹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１５３６８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／０６６６８８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２０－０５４１２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１３５１２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１４５０４５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０６Ｂ １／０４

Ｈ０２Ｋ ３３／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持体および可動体と、
前記支持体および前記可動体に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記可動体および前記支持体の一方は、前記可動体および前記支持体の他方の内周側で前記磁石および前記コイルのうちの一方を支持する支軸と、前記支軸を囲む内側環状部と、を備え、
前記可動体および前記支持体のうちの他方は、前記内側環状部と径方向で対向する外側環状部と、前記外側環状部の外周側を囲む筒状のケースと、前記ケースの端部を塞ぐ蓋部材と、を備え、
前記接続体は、前記内側環状部と前記外側環状部との径方向の隙間に配置され、
前記内側環状部、前記外側環状部、および前記接続体は、前記ケースの内部空間を前記支軸の軸線方向に仕切る仕切り部を構成し、
前記仕切り部を前記軸線方向に貫通する空気通路を備えることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記内側環状部は、前記支軸に固定される内枠部材であり、
前記外側環状部は、前記内枠部材を囲む外枠部材と、前記外枠部材を囲む外枠部材固定部を備え、
前記接続体は、前記外枠部材と前記内枠部材とを接続し、
空気通路は、前記外枠部材と前記外枠部材固定部との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記接続体は、前記外枠部材と前記内枠部材との間で成形されたゲル状部材であることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記接続体は、前記可動体の前記軸線方向の一端と前記支持体とを接続する第１接続体、および、前記可動体の前記軸線方向の他端と前記支持体とを接続する第２接続体を備え、
前記内側環状部は、前記第１接続体に接続される第１内側環状部、および、前記第２接続体に接続される第２内側環状部を備え、
前記外側環状部は、前記第１接続体に接続される第１外側環状部、および、前記第２接続体に接続される第２外側環状部を備え、
前記仕切り部は、
前記第１内側環状部、前記第１外側環状部、および前記第１接続体を備えた第１仕切り部と、
前記第２内側環状部、前記第２外側環状部、および前記第２接続体を備えた第２仕切り部と、を備え、
前記空気通路は、前記第１仕切り部に設けられた第１空気通路、および、前記第２仕切り部に設けられた第２空気通路を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記第１内側環状部は、前記支軸に固定される第１内枠部材であり、
前記第１外側環状部は、前記第１内枠部材を囲む第１外枠部材、および、前記第１外枠部材を囲む第１外枠部材固定部を備え、
前記第１外枠部材固定部は、前記ケースの内周側に配置されるコイルホルダに設けられていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記第１空気通路は、前記第１外枠部材と前記第１外枠部材固定部との間に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。

【請求項7】

前記第１外枠部材固定部の内周面に前記軸線方向に延びる溝部が設けられ、
前記第１空気通路は、前記溝部と前記第１外枠部材の外周面との隙間であることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。

【請求項8】

前記コイルホルダは、前記ケースの内周面に接着されていることを特徴とする請求項５から７の何れか一項に記載のアクチュエータ。

【請求項9】

前記蓋部材は、前記ケースの一端を塞ぐ第１蓋部材と、前記ケースの他端を塞ぐ第２蓋部材を備え、
前記ケースと前記第１蓋部材との隙間、および、前記ケースと前記第２蓋部材との隙間は、封止材で封止されることを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載のアクチュエータ。

【請求項10】

前記ケースは、前記コイルに給電する基板が配置される切欠き部を備え、
前記ケースと前記基板との隙間は、封止材で封止されることを特徴とする請求項１から９の何れか一項に記載のアクチュエータ。

【請求項11】

前記封止材は、接着剤であることを特徴とする請求項９または１０に記載のアクチュエータ。

【請求項12】

前記空気通路は、周方向に間隔を空けて複数設けられていることを特徴とする請求項１から１１の何れか一項に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を支持体に対して相対移動させるアクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

アクチュエータとして、支持体および可動体と、支持体に対して可動体を振動させる磁気駆動機構を備えるとともに、可動体と支持体とを弾性および粘弾性を備えた接続体によって接続したものがある。特許文献１には、直方体状のカバーの内部に可動体を配置し、可動体をカバーの長手方向に振動させるアクチュエータが開示される。特許文献１のアクチュエータでは、接続体は、シート状ゲルを矩形に切断したゲル状部材である。可動体は、磁石が固定されたヨークを備えており、ゲル状部材は、厚さ方向の一方の面がヨークに接着され、他方の面がカバー部材に接着されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１３０８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明者らは、筒状のケースの内側に可動体を収容し、可動体を軸線方向に振動させるアクチュエータを提案している。可動体は、ケースの中心において軸線方向に延びるシャフトを備えており、シャフトの軸線方向の両端が円筒状のゲル状部材を介してケースに接続される。ケースの両端は蓋部材によって塞がれている。ケースの側面には、切欠き部が形成されてコイル線を接続する基板が固定される。

【0005】

上記のような構造のアクチュエータでは、可動体を収容するケースと、ケースの両端を塞ぐ蓋部材との隙間、および、基板とケースとの隙間がケースの内外を連通する空気流動口になる。従って、空気流動口からコンタミが侵入するおそれがあり、コンタミが磁気駆動機構およびゲル状部材に付着して悪影響を及ぼすおそれがある。また、可動体が振動するときに発生する動作音が空気流動口からケースの外部に漏れるという問題がある。

【0006】

そこで、ケースと蓋部材との隙間、および、基板とケースとの隙間を接着剤等によって封止することにより、空気流動口ができない構造にすることが考えられる。しかしながら、上記のように、円筒状のゲル状部材によって可動体と支持体とを接続する構造では、ゲル状部材の内周部が可動体に全周で接続され、ゲル状部材の外周部が支持体に全周で接続されるので、空気を通さないゲル状部材により、ケースの内部を軸線方向に仕切る仕切り部が形成される。そのため、ケースの内部の空気流動性が低いので、ケース内外を連通する空気流動口を封止してしまうと、可動体が振動する際に空気抵抗が生じ、空気抵抗の影響によって振動特性がばらつくという問題がある。

【0007】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体が振動する際の空気抵抗を少なくすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体および可動体と、前記支持体および前記可動体に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記可動体および前記支持体の一方は、前記可動体および前記支持
体の他方の内周側で前記磁石および前記コイルのうちの一方を支持する支軸と、前記支軸を囲む内側環状部と、を備え、前記可動体および前記支持体のうちの他方は、前記内側環状部と径方向で対向する外側環状部と、前記外側環状部の外周側を囲む筒状のケースと、前記ケースの端部を塞ぐ蓋部材と、を備え、前記接続体は、前記内側環状部と前記外側環状部との径方向の隙間に配置され、前記内側環状部、前記外側環状部、および前記接続体は、前記ケースの内部空間を前記支軸の軸線方向に仕切る仕切り部を構成し、前記仕切り部を前記軸線方向に貫通する空気通路を備えることを特徴とする。

【0009】

本発明では、可動体と支持体の一方が支軸を備え、他方が筒状のケースおよび蓋部材を備えている。可動体と支持体とを接続する接続体は、支軸を囲む内側環状部と、ケースの内周側に配置される外側環状部との隙間に配置されている。このため、ケースの内部空間は、接続体およびその内周部と外周部に接続される内側環状部と外側環状部によって構成される仕切り部が設けられているが、仕切り部は空気通路を備えている。従って、空気通路を通って空気が流動できるので、ケースと蓋部材との隙間を封止した場合でも、可動体が軸線方向に振動する際の空気抵抗を少なくすることができる。よって、空気抵抗による振動特性のばらつきを抑制できる。

【0010】

本発明において、前記内側環状部は、前記支軸に固定される内枠部材であり、前記外側環状部は、前記内枠部材を囲む外枠部材と、前記外枠部材を囲む外枠部材固定部を備え、前記接続体は、前記外枠部材と前記内枠部材とを接続し、空気通路は、前記外枠部材と前記外枠部材固定部との間に設けられていることが好ましい。このようにすると、外枠部材と外枠部材固定部とを組み立てることによって両部品の間に空気通路を形成できるので、部品単体には空気通路となる貫通部を形成する必要がない。従って、部品形状を単純化できる。

【0011】

本発明において、前記接続体は、前記外枠部材と前記内枠部材との間で成形されたゲル状部材である。このように、外枠部材と内枠部材との間に直接ゲル状部材を成形して部品化することにより、アクチュエータを組み立てる際のゲル状部材の取り扱いが容易である。従って、アクチュエータの製造を容易化できる。

【0012】

本発明において、前記接続体は、前記可動体の前記軸線方向の一端と前記支持体とを接続する第１接続体、および、前記可動体の前記軸線方向の他端と前記支持体とを接続する第２接続体を備え、前記内側環状部は、前記第１接続体に接続される第１内側環状部、および、前記第２接続体に接続される第２内側環状部を備え、前記外側環状部は、前記第１接続体に接続される第１外側環状部、および、前記第２接続体に接続される第２外側環状部を備え、前記仕切り部は、前記第１内側環状部、前記第１外側環状部、および前記第１接続体を備えた第１仕切り部と、前記第２内側環状部、前記第２外側環状部、および前記第２接続体を備えた第２仕切り部と、を備え、前記空気通路は、前記第１仕切り部に設けられた第１空気通路、および、前記第２仕切り部に設けられた第２空気通路を備える。このような構成では、可動体の両端を接続体によって支持できるので、可動体を安定して支持できる。また、仕切り部が２か所に形成されるが、いずれの仕切り部にも空気通路が設けられている。従って、可動体が軸線方向に振動する際の空気抵抗を少なくすることができる。

【0013】

本発明において、前記第１内側環状部は、前記支軸に固定される第１内枠部材であり、前記第１外側環状部は、前記第１内枠部材を囲む第１外枠部材、および、前記第１外枠部材を囲む第１外枠部材固定部を備え、前記第１外枠部材固定部は、前記ケースの内周側に配置されるコイルホルダに設けられている。このようにすると、コイルホルダを利用して接続体を支持できるので、コイルホルダとは別の部位に第１外枠部材固定部を設ける必要がない。従って、アクチュエータの構成を簡素化できる。また、コイルホルダの内周側に
接続体を配置できるので、アクチュエータの軸線方向の小型化を図ることができる。

【0014】

本発明において、前記第１空気通路は、前記第１外枠部材と前記第１外枠部材固定部との間に設けられていることが好ましい。このようにすると、第１外枠部材と第１外枠部材固定部とを組み立てることによって両部品の間に空気通路を形成できるので、部品単体には空気通路となる貫通部を形成する必要がない。従って、部品形状を単純化できる。

【0015】

例えば、前記第１外枠部材固定部の内周面に前記軸線方向に延びる溝部が設けられ、前記第１空気通路は、前記溝部と前記第１外枠部材の外周面との隙間である。従って、第１外枠部材固定部を備えたコイルホルダなどの部品を樹脂で製造する際、空気通路となる溝部を第１外枠部材が固定される面に成形しておけばよく、第１外枠部材と第１外枠部材固定部とを組み立てることによって両部品の間に空気通路を形成することができる。

【0016】

本発明において、前記コイルホルダは、前記ケースの内周面に接着されている。このように、ケースとコイルホルダとの隙間が接着剤によって封止された場合でも、本発明では、他の部位に空気通路が確保されている。従って、可動体が軸線方向に振動する際の空気抵抗を少なくすることができる。

【0017】

本発明において、前記蓋部材は、前記ケースの一端を塞ぐ第１蓋部材と、前記ケースの他端を塞ぐ第２蓋部材を備え、前記ケースと前記第１蓋部材との隙間、および、前記ケースと前記第２蓋部材との隙間は、封止材で封止されることが好ましい。このようにすると、コンタミの侵入を抑制できる。また、ケースの外部に漏れる動作音を小さくすることができる。

【0018】

本発明において、前記ケースは、前記コイルに給電する基板が配置される切欠き部を備え、前記ケースと前記基板との隙間は、封止材で封止されることが好ましい。このようにすると、給電用の配線を引き出した隙間からのコンタミの侵入を抑制できる。また、ケースの外部に漏れる動作音を小さくすることができる。

【0019】

本発明において、前記封止材は、接着剤であることが好ましい。このようにすると、部品同士を固定する接着剤を利用して隙間を封止できるので、隙間を封止しやすい。また、別途封止材を取り付ける工程を行う必要がない。

【0020】

本発明において、前記空気通路は、周方向に間隔を空けて複数設けられていることが好ましい。このようにすると、空気を均等に流動させることができる。また、空気の流動量が増大するので、空気抵抗をより少なくすることができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、可動体と支持体の一方が支軸を備え、他方が筒状のケースおよび蓋部材を備えている。ケースの内部空間は、可動体と支持体とを接続する接続体およびその内周部と外周部に接続される内側環状部と外側環状部によって構成される仕切り部が設けられているが、仕切り部は空気通路を備えている。従って、空気通路を通って空気が流動できるので、ケースと蓋部材との隙間を封止した場合でも、可動体が軸線方向に振動する際の空気抵抗を少なくすることができる。よって、空気抵抗による振動特性のばらつきを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。

【図2】図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。

【図3】図１に示すアクチュエータの断面図（図１のＡ－Ａ断面図）である。

【図4】図１に示すアクチュエータを図３と直交する方向で切断した断面図（図１のＢ－Ｂ断面図）である。

【図5】第１蓋部材を取り外したアクチュエータを軸線方向の一方側から見た平面図である。

【図6】第２蓋部材を取り外したアクチュエータを軸線方向の他方側から見た平面図である。

【図7】第１仕切り部を構成する部材の分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、可動体３の中心軸線が延在する方向を軸線Ｌ方向とし、軸線Ｌ方向の一方側をＬ１とし、軸線Ｌ方向の他方側をＬ２とする。本発明を適用したアクチュエータ１は、可動体３が支持体２に対して軸線Ｌ方向に振動する。

【0024】

以下に説明する実施形態では、可動体３は、支持体２の内周側に配置されるが、本発明では、可動体３が支持体２の外周側に配置される態様を採用してもよい。また、以下に説明する実施形態では、可動体３は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１、および他方側Ｌ２の２箇所において、接続体１０によって支持体２と接続されるが、本発明では、接続体１０が１箇所もしくは３箇所以上に配置される態様を採用してもよい。また、以下に説明する実施形態では、可動体３を支持体２に対して振動させる磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、支持体２に配置されるコイル６２とを備えているが、本発明では、磁石６１とコイル６２の配置を逆にした構成を採用してもよい。すなわち、磁気駆動機構６は、可動体３に配置されるコイル６２と、支持体２に配置される磁石６１とを備えている態様であってもよい。

【0025】

（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図３、図４は、図１に示すアクチュエータ１の断面図である。図３は、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した断面図であり、図３と直交する方向で切断した断面図である。図５は、第１蓋部材２１を取り外したアクチュエータ１を軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１から見た平面図であり、図６は、第２蓋部材２２を取り外したアクチュエータ１を軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２から見た平面図である。図７は、第１仕切り部９１を構成する部材の分解斜視図である。

【0026】

図１～図４に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２および可動体３に接続された接続体１０と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６とを備える。接続体１０は、弾性および粘弾性のうちの少なくとも一方を備える。磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、支持体２に配置されるコイル６２とを備えており、支持体２に対して可動体３を軸線Ｌ方向に相対移動させる。図３、図４に示すように、可動体３は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部、および軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部の各位置において、接続体１０を介して支持体２と接続される。

【0027】

（支持体）
図２～図４に示すように、支持体２は、筒状のケース２０と、ケース２０の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２蓋部材２２と、ケース２０の内周側で第１蓋部材２１と第２蓋部材２２との間に配置されるコイルホルダ４を有する。本形態では、ケース２０、第１蓋部材２１、第２蓋部材２２、およびコイルホルダ４は樹脂製である。また、支持体２は、コイルホルダ４の内周側に嵌まる第１外枠部材５１と、第１外枠部材５１に対して軸線Ｌ方向の他方側
Ｌ２に離間した位置でケース２０の内周側に嵌まる第２外枠部材５２を有する。第１外枠部材５１と第２外枠部材５２とは同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。

【0028】

（接続体）
接続体１０は、第１外枠部材５１の内周面に接合された環状の第１接続体１１と、第２外枠部材５２の内周面に接合された環状の第２接続体１２を備える。可動体３の軸線Ｌ方向の一端側に第１接続体１１が配置され、可動体３の軸線Ｌ方向の一端側に第２接続体１２が配置される。後述するように、第１接続体１１および第２接続体１２はゲル材料を成形したゲル状部材であり、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１外枠部材５１および第２外枠部材５２に接合される。本形態では、第１外枠部材５１をコイルホルダ４に圧入して固定することにより、第１接続体１１が支持体２に接続される。また、第２外枠部材５２をケース２０に圧入して固定することにより、第２接続体１２が支持体２に接続される。

【0029】

（コイルホルダ）
図２に示すように、コイルホルダ４は、環状の第１外枠部材固定部４１と、第１外枠部材固定部４１から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２へ突出する胴部４２とを備えており、胴部４２の周りにコイル６２が配置される。コイル６２から引き出されたコイル線６３の端部は、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１から径方向外側へ突出する２本の端子ピン６４に絡げられている。図１に示すように、端子ピン６４はケース２０の外部へ突出しており、配線基板７に接続される。

【0030】

図４に示すように、コイルホルダ４は、第１外枠部材５１を軸線Ｌ方向に位置決めする第１段部４４を備える。第１外枠部材固定部４１は第１外枠部材５１の外周側を囲んでいる。第１外枠部材固定部４１の内周面には、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に凹む第１凹部４３が設けられ、第１外枠部材５１は、第１凹部４３に圧入される。第１段部４４は、第１凹部４３の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に設けられている。本形態では、第１外枠部材５１の外周面に形成された環状段部５１１が第１段部４４に対して軸線Ｌ方向に当接する。

【0031】

（ケース）
ケース２０は、円筒状のケース本体２４と、ケース本体２４の内周側に配置される第２外枠部材固定部２５を備える。図２に示すように、第２外枠部材固定部２５は、ケース本体２４の内周面から内周側に突出しており、ケース本体２４と一体に成形される。図３、図４に示すように、第２外枠部材固定部２５は、コイルホルダ４に対して軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に離間した位置に配置される。

【0032】

ケース２０は、第２外枠部材５２を軸線Ｌ方向に位置決めする第２段部４５を備える。図３、図４に示すように、第２外枠部材固定部２５の内周面には、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に凹む第２凹部４６が設けられ、第２外枠部材５２は、第２凹部４６に圧入される。第２段部４５は、第２凹部４６の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に設けられている。本形態では、第２外枠部材５２の外周面に形成された環状段部５２１が第２段部４５に対して軸線Ｌ方向に当接する。

【0033】

また、ケース２０は、コイルホルダ４を軸線Ｌ方向に位置決めする第３段部４７を備える。図４に示すように、第３段部４７は、ケース本体２４の内周面に形成される。図５に示すように、コイルホルダ４が嵌まるケース本体２４の内周面には、軸線Ｌ方向に延びる複数の溝部２９が形成され、各溝部２９の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に第３段部４７が形成されている（図４参照）。一方、図２、図４、図５に示すように、コイルホルダ４は、第１外枠部材固定部４１の外周面から突出する複数の凸部４９を備える。支持体２を組み立てる際、コイルホルダ４の各凸部４９は、ケース本体２４の各溝部２９に軸線Ｌ方
向の一方側Ｌ１から嵌め込まれ、第３段部４７に対して軸線Ｌ方向に当接する。これにより、コイルホルダ４がケース本体２４に圧入されて固定されるとともに、コイルホルダ４が軸線Ｌ方向に位置決めされる。

【0034】

（蓋部材）
図３、図４に示すように、第１蓋部材２１は、コイルホルダ４に設けられた第１外枠部材固定部４１の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１からケース本体２４に固定されている。また、第２蓋部材２２は、第２外枠部材固定部２５の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２からケース本体２４に固定されている。図２に示すように、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、軸線Ｌ方向から見て円形の蓋部２６と、蓋部２６の外周縁に等間隔で配置された複数の係止部２７を備える。本形態では、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、３個所の係止部２７を備える。係止部２７は、蓋部２６から外周側へ拡がる方向に傾斜して延びる爪部である。

【0035】

係止部２７は、径方向に弾性変形して蓋部２６と共にケース本体２４の内周側に押し込まれる。ケース２０は、係止部２７がケース２０の内側から外れることを規制する規制部２８を備える。規制部２８は、ケース本体２４の端部から内周側に突出する凸部である。図１、図２に示すように、規制部２８は、ケース本体２４の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１および他方側Ｌ２の端部に、それぞれ、３個所ずつ等間隔で配置される。規制部２８は、係止部２７の先端に対して軸線Ｌ方向に当接する。

【0036】

第１蓋部材２１は、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と、溶着とを併用してケース２０に固定される。接着剤は、硬化後にケース２０の一方側Ｌ１の端部と第１蓋部材２１との隙間を封止する封止材となるように塗布される。従って、組立後の支持体２では、第１蓋部材２１とケース２０との隙間は、接着剤（図示せず）によって封止される。

【0037】

第１蓋部材２１は、溶着によってコイルホルダ４に固定され、コイルホルダ４を介してケース２０に固定される。図２、図４に示すように、第１蓋部材２１は、蓋部２６から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に突出する複数の溶着用凸部２１０を備える。本形態では、３個所の溶着用凸部２１０が周方向に等間隔で配置される。一方、図４、図５に示すように、コイルホルダ４は、蓋部２６と軸線Ｌ方向に対向する３個所の溶着用凹部４１０を備える。第１蓋部材２１をケース２０に固定する際には、図４に示すように、各溶着用凸部２１０がコイルホルダの溶着用凹部４１０に溶着される。

【0038】

第２蓋部材２２は、第１蓋部材２１と同様に、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と、溶着とを併用してケース２０に固定される。接着剤は、硬化後にケース２０の他方側Ｌ２の端部と第２蓋部材２２との隙間を封止する封止材となるように塗布される。従って、組立後の支持体２では、第２蓋部材２２とケース２０との隙間は、接着剤（図示せず）によって封止される。

【0039】

第２蓋部材２２は、溶着によってケース２０の第２外枠部材固定部２５に固定される。図２、図４に示すように、第２蓋部材２２は、蓋部２６から軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に突出する複数の溶着用凸部２２０を備える。本形態では、３個所の溶着用凸部２２０が周方向に等間隔で配置される。一方、図２、図４、図６に示すように、第２外枠部材固定部２５は、蓋部２６と軸線Ｌ方向に対向する３個所の溶着穴２５０を備える。第２蓋部材２２をケース２０に固定する際には、図４に示すように、各溶着用凸部２２０が第２外枠部材固定部２５の溶着穴２５０に溶着される。

【0040】

図２、図５に示すように、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１は、ケース本体２
４に設けられた３個所の規制部２８と軸線Ｌ方向で重なる部分を内周側に切り欠いた溝部４８を備える。従って、コイルホルダ４をケース本体２４の内部に挿入する際に、第１外枠部材固定部４１と規制部２８とが干渉することが回避される。

【0041】

（配線引き出し部）
図１、図３に示すように、支持体２は、磁気駆動機構６のコイル６２から引き出したコイル線６３を絡げた端子ピン６４を外部に引き出すための配線引き出し部６０を備える。配線引き出し部６０は、ケース２０の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の縁を軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に切り欠いた切欠き部６５と、第１蓋部材２１の外周縁の周方向の一部から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に延びるカバー６６との間に設けられた隙間である。

【0042】

図５に示すように、切欠き部６５の内周側には、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１が配置される。本形態では、第１外枠部材固定部４１から外周側に延びる２本の端子ピン６４が配線引き出し部６０に配置される。各端子ピン６４の根本には、コイル６２から引き出されたコイル線６３が絡げられている。

【0043】

図２に示すように、切欠き部６５の周方向の両側の縁には、それぞれ、径方向外側に開口する溝部６７が形成されている。カバー６６は、ケース本体２４の外周面と略同一面上に位置する湾曲形状をしており、カバー６６の周方向の両側の縁には、径方向内側に突出する係止部６８が設けられている。切欠き部６５に対して軸線Ｌ方向の一方側からカバー６６が挿入される際、切欠き部６５の周方向の両側の縁に設けられた２本の溝部６７にそれぞれカバー６６の係止部６８が挿入される。これにより、切欠き部６５の縁がカバー６６によって係止されるので、切欠き部６５の幅が拡がってケース２０が変形することが抑制される。

【0044】

ケース２０は、切欠き部６５の他方側Ｌ２に形成された基板固定部６９を備える。配線引き出し部６０には、基板固定部６９に固定される配線基板７の端部が配置される。端子ピン６４は、配線基板７の縁に設けられた保持溝７１に位置決めされ、保持溝７１の縁に形成されたランドと電気的に接続される。配線基板７には、コイル６２に対する給電用のリード線８が接続される。基板固定部６９は、配線基板７に対して周方向に隣接する位置でリード線８を保持するリード線保持部６９０を備える。

【0045】

基板固定部６９は、切欠き部６５に配置された配線基板７の縁を係止する爪部６９１を備える。配線基板７は、爪部６９１による係止構造と、接着剤による固定とを併用して基板固定部６９に固定される。配線基板７を固定する接着剤は、配線基板７とケース２０との隙間、および、カバー６６の先端と配線基板７との隙間を封止する封止材となるように塗布される。従って、組立後の支持体２では、配線基板７とケース２０との隙間、および、配線基板７と第１蓋部材２１との隙間は、接着剤（図示せず）によって完全に封止されている。また、第１蓋部材２１をケース２０に固定する際、カバー６６と切欠き部６５との隙間にも接着材が塗布される。従って、カバー６６と切欠き部６５との隙間も、接着剤（図示せず）によって封止される。

【0046】

（可動体３）
図２～図４に示すように、可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びる支軸３０を有する。支軸３０には、筒状の第１内枠部材３６、および筒状の第２内枠部材３７によって、磁石６１およびヨーク３５が固定される。支軸３０は金属製の丸棒である。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７は、金属製の円筒体であり、第１内枠部材３６および第２内枠部材３７には円形の貫通穴が設けられている。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７は同一形状であり、軸線Ｌ方向に逆向きに配置される。

【0047】

図３、図４に示すように、第１内枠部材３６の内周面には、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に径方向内側に突出した環状突部３６１が形成されている。従って、第１内枠部材３６を支軸３０に圧入した際、支軸３０は環状突部３６１に圧入される。また、第２内枠部材３７の内周面には、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に径方向内側に突出した環状突部３７１が形成されている。従って、第２内枠部材３７を支軸３０に圧入した際、支軸３０は環状突部３７１に圧入される。

【0048】

磁石６１は、支軸３０が貫通する軸穴６１０が設けられており、支軸３０の軸線Ｌ方向の略中央に固定される。ヨーク３５は、磁石６１に軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１で重なる第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２で重なる第２ヨーク３２を備える。第１ヨーク３１は、支軸３０が貫通する軸穴３１０が設けられた円板状であり、磁石６１と第１ヨーク３１とは外径が等しい。第２ヨーク３２は、カップ状の第１磁性部材３３と、円板状の第２磁性部材３４の２つの部材からなる。第１磁性部材３３は、支軸３０が貫通する軸穴３３０が設けられた円形の端板部３３１と、端板部３３１の外縁から軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に延びる円筒部３３２とを有する。本形態では、第１磁性部材３３の端板部３３１が磁石６１の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端面に固定される。第２磁性部材３４は、支軸３０が貫通する軸穴３４０を備えており、第１磁性部材３３の端板部３３１に対して磁石６１とは反対側から固定される。

【0049】

可動体３は、磁石６１およびヨーク３５を構成する各部材の軸穴３１０、６１０、３３０、３４０に支軸３０を貫通させた状態で、磁石６１およびヨーク３５の軸線Ｌ方向の両側で第１内枠部材３６および第２内枠部材３７を支軸３０に固定する。その結果、第１内枠部材３６が軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１から磁石６１およびヨーク３５を支持し、第２内枠部材３７が軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２から磁石６１およびヨーク３５を支持する結果、磁石６１およびヨーク３５は、支軸３０に固定される。

【0050】

第２ヨーク３２は、第１磁性部材３３の円筒部３３２の内径が、磁石６１および第１ヨーク３１の外径より大きい。従って、磁石６１および第１ヨーク３１を円筒部３３２の底部である円形の端板部３３１に重ねると、円筒部３３２は、磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面から径方向外側に離間した位置で磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面に対向する。本形態では、円筒部３３２と磁石６１の外周面との間にコイル６２の一部が配置される。また、円筒部３３２と第１ヨーク３１の外周面との間にコイル６２の一部が配置される。

【0051】

（接続体の製造方法）
本形態では、第１接続体１１および第２接続体１２は、ゲル材料を成形したゲル状部材である。第１接続体１１を成形するときは、治具によって第１外枠部材５１および第１内枠部材３６を同軸に位置決めして第１外枠部材５１と第１内枠部材３６との間に環状の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させる。これにより、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１接続体１１が第１外枠部材５１の内周面、および、第１内枠部材３６の外周面に接合される。なお、ゲル材料を充填する前に、第１外枠部材５１の内周面、および第１内枠部材３６の外周面にプライマー等の接合促進剤を塗布することによって接合強度を高めることができる。第２接続体１２についても、同様に、第２外枠部材５２と第２内枠部材３７との間に環状の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させることにより成形される。

【0052】

このように、本形態では、第１接続体１１は、成形時に第１外枠部材５１および第１内枠部材３６が接合されて部品化されている。また、第２接続体１２も同様に、成形時に第２外枠部材５２および第２内枠部材３７が接合されて部品化されている。従って、アクチュエータ１を組み立てる際には、ゲル状部材を接着する工程を行わずに、支持体２と可動
体３とを接続することができる。

【0053】

第１接続体１１および第２接続体１２は粘弾性部材である。例えば、第１接続体１１および第２接続体１２として、シリコーンゲル等からなるゲル状部材、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いることができる。本形態では、第１接続体１１および第２接続体１２は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。

【0054】

（仕切り部）
アクチュエータ１は、円筒状の接続体１０を可動体３と支持体２との径方向の隙間に配置して、全周で可動体３と支持体２とを接続する構造である。このため、アクチュエータ１は、ケース２０の内部空間が接続体１０を含む仕切り部９によって軸線Ｌ方向に仕切られている。本形態では、可動体３の軸線Ｌ方向の両端を接続体１０によって支持体２に接続している。そのため、軸線Ｌ方向に離間した２か所に仕切り部９が設けられている。以下、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に配置される仕切り部９を第１仕切り部９１とし、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に配置される仕切り部９を第２仕切り部９２とする。第１仕切り部９１は、第１接続体１１を備える。また、第２仕切り部９２は、第２接続体１２を備える。

【0055】

ここで、可動体３は、支軸３０を囲む内側環状部を備えており、支持体２は、内側環状部と径方向で対向する外側環状部を備える。接続体１０は、内側環状部と外側環状部を接続する。本形態では、内側環状部は、支軸３０に固定される内枠部材（第１内枠部材３６および第２内枠部材３７）である。一方、外側環状部は、内枠部材を囲む外枠部材（第１外枠部材５１および第２外枠部材５２）と、外枠部材が固定される外枠部材固定部（第１外枠部材固定部４１および第２外枠部材固定部２５）を備える。

【0056】

仕切り部９は、内側環状部、接続体１０、および、外側環状部によって構成される。本形態では、第１仕切り部９１は、第１内枠部材３６（第１内側環状部）、第１接続体１１、第１外枠部材５１、および第１外枠部材固定部４１によって構成される。第１外枠部材５１および第１外枠部材固定部４１は、第１外側環状部を構成している。第１内枠部材３６は支軸３０の一方側Ｌ１の端部に固定され、第１外枠部材固定部４１はケース２０の内周面に固定されたコイルホルダ４に設けられている。従って、第１仕切り部９１は、ケース２０の内部空間を軸線Ｌ方向に仕切っている。同様に、第２仕切り部９２は、第２内枠部材３７（第２内側環状部）、第２接続体１２、第２外枠部材５２、および第２外枠部材固定部２５によって構成される。第２外枠部材５２および第２外枠部材固定部２５は、第２外側環状部を構成している。第２内枠部材３７は支軸３０の他方側Ｌ２の端部に固定され、第２外枠部材固定部２５はケース２０と一体に形成されている。従って、第２仕切り部９２は、ケース２０の内部空間を軸線Ｌ方向に仕切っている。

【0057】

（空気通路）
仕切り部９には、アクチュエータ１の内部空間における空気の流動性を高めるための空気通路Ｐが設けられている。空気通路Ｐは、仕切り部９を軸線Ｌ方向に貫通する貫通部である。空気通路Ｐは、第１仕切り部９１および第２仕切り部９２のそれぞれに設けられている。以下、第１仕切り部９１に設けられた空気通路Ｐを第１空気通路Ｐ１とし、第２仕切り部９２に設けられた空気通路Ｐを第２空気通路Ｐ２とする。

【0058】

図３に示すように、第１空気通路Ｐ１は、第１外枠部材５１と第１外枠部材固定部４１の間に設けられており、第１仕切り部９１の一方側Ｌ１および他方側Ｌ２に連通する。図
７に示すように、第１外枠部材固定部４１の内周面には、軸線Ｌ方向に延びる溝部９３が形成されている。図５に示すように、第１外枠部材固定部４１の内周側に第１外枠部材５１を圧入すると、第１外枠部材５１の外周面と溝部９３によって第１空気通路Ｐ１が形成される。本形態では、６本の溝部９３が周方向に等間隔で設けられているため、第１空気通路Ｐ１は、周方向に等間隔で６箇所に設けられている。

【0059】

図３、図７に示すように、溝部９３の上端は、第１外枠部材固定部４１の上端面に開口する。従って、第１空気通路Ｐ１は、第１仕切り部９１の一方側Ｌ１に連通する。一方、図７に示すように、溝部９３の下端は、第１外枠部材５１を軸線方向に位置決めする第１段部４４よりも他方側Ｌ２まで延びており、第１外枠部材５１の他方側Ｌ２の端面よりも他方側Ｌ２まで延びている（図３参照）。従って、第１空気通路Ｐ１は、第１仕切り部９１の他方側Ｌ２に連通する。

【0060】

第１仕切り部９１の他方側Ｌ２には、可動体３を構成する第１ヨーク３１および磁石６１が配置されている。コイルホルダ４は、第１外枠部材固定部４１の他方側Ｌ２に設けられた胴部４２を備えているが、胴部４２の内周面と、第１ヨーク３１および磁石６１の外周面との間には、空気通路となる隙間Ｓ１が設けられている。従って、第１空気通路Ｐ１および隙間Ｓ１を通って、コイルホルダ４の一方側Ｌ１から他方側Ｌ２まで空気が流通する。

【0061】

また、胴部４２およびコイル６２の外周面と、第１磁性部材３３の円筒部３３２との間にも空気通路となる隙間Ｓ２があり、円筒部３３２の外周面とケース本体２４の内周面との間には空気通路となる隙間Ｓ３がある。従って、コイルホルダ４の他方側Ｌ２へ通り抜けた空気は、隙間Ｓ２、Ｓ３を通って第１磁性部材３３および第２磁性部材３４の他方側Ｌ２へ流通する。

【0062】

次に、第２仕切り部９２には、第２外枠部材固定部２５を貫通する第２空気通路Ｐ２が設けられている。図３、図６に示すように、第２外枠部材固定部２５には、６箇所の貫通部９４が周方向に等間隔で設けられている。各貫通部９４は、第２外枠部材固定部２５の外周側の部分を軸線Ｌ方向に貫通する第２空気通路Ｐ２である。従って、第２空気通路Ｐ２を通って、第２仕切り部９２の一方側Ｌ１から他方側Ｌ２まで空気が流通する。

【0063】

（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、接続体１０の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線Ｌ方向で振動する。また、コイル６２に印加する交流波形を調整することで、可動体３が軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に移動する加速度と、可動体３が軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に移動する加速度を異なるものとすることができる。それ故、アクチュエータ１を触覚デバイスとして取り付けた機器を手にした者は、軸線Ｌ方向において方向性を有する振動を体感することができる。また、アクチュエータ１を利用してスピーカを構成することもできる。

【0064】

可動体３が支持体２に対して軸線Ｌ方向に振動する際、第１接続体１１および第２接続体１２は、可動体３の振動に追従してせん断方向に変形する。シリコーンゲル等のゲル状部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。ゲル状部材がせん断方向に変形する際は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。従って、可動体３が支持体２に対して軸線Ｌ方向に振動する際、第１接続体１１および第２接続体１２は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。

【0065】

なお、可動体３が径方向に移動する場合には、第１接続体１１および第２接続体１２が潰れる方向に変形する。ここで、ゲル状部材が潰れる方向に変形する場合のバネ定数は、ゲル状部材がせん断方向に変形する場合のバネ定数の３倍程度である。このため、可動体３が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動することを抑制でき、可動体３と支持体２との衝突を抑制できる。

【0066】

本形態では、第１接続体１１の外周側に第１空気通路Ｐ１が設けられ、第２接続体１２の外周側に第２空気通路Ｐ２が設けられている。従って、ケース２０の内部空間の空気流動性が良いので、可動体３が振動する際の空気抵抗が少ない。よって、空気抵抗が振動特性に悪影響を及ぼす恐れが少ない。

【0067】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、支持体２および可動体３に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体１０と、磁石６１およびコイル６２を備え、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６と、を有する。可動体３は、支持体２の内周側で磁石６１を支持する支軸３０と、支軸３０を囲む内側環状部（第１内枠部材３６、第２内枠部材３７）と、を備える。支持体２は、内側環状部（第１内枠部材３６、第２内枠部材３７）と径方向で対向する外側環状部（第１外枠部材５１および第１外枠部材固定部４１、第２外枠部材５２および第２外枠部材固定部２５）と、外側環状部の外周側を囲む筒状のケース２０と、ケース２０の端部を塞ぐ第１蓋部材２１および第２蓋部材２２と、を備える。接続体１０は、内側環状部と外側環状部との径方向の隙間に配置されている。内側環状部、外側環状部、および接続体１０は、ケース２０の内部空間を支軸３０の軸線Ｌ方向に仕切る仕切り部９を構成し、仕切り部９を軸線Ｌ方向に貫通する空気通路Ｐを備える。

【0068】

本形態のアクチュエータ１は、ケース２０の端部が第１蓋部材２１と第２蓋部材２２によって塞がれている。ケース２０の内部空間には、接続体１０、内側環状部、および外側環状部によって構成される仕切り部９が設けられているが、仕切り部９は空気通路Ｐを備えている。従って、空気通路Ｐを通って仕切り部９の一方側Ｌ１と他方側Ｌ２との間で空気が流動できるので、ケース２０の内外を連通させる空気流動口ができないようにした場合でも、可動体３が軸線Ｌ方向に振動する際の空気抵抗を少なくすることができる。よって、空気抵抗による振動特性のばらつきを抑制できる。例えば、音漏れ防止やコンタミ侵入防止のために、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２とケース２０との隙間を封止した場合でも、空気抵抗による振動特性のばらつきを抑制できる。

【0069】

本形態では、内側環状部は、支軸３０に固定される内枠部材（第１内枠部材３６、第２内枠部材３７）であり、外側環状部は、内枠部材を囲む外枠部材（第１外枠部材５１、第２外枠部材５２）と、外枠部材を囲む外枠部材固定部（第１外枠部材固定部４１、第２外枠部材固定部２５）を備える。接続体１０は、外枠部材と内枠部材とを接続しており、空気通路Ｐは、外枠部材と外枠部材固定部との間（第１外枠部材５１と第１外枠部材固定部４１との間）に設けられている。従って、外枠部材と外枠部材固定部とを組み立てることによって両部品の間に空気通路Ｐを形成できるので、部品単体には空気通路Ｐとなる貫通部を形成する必要がない。よって、部品形状を単純化できる。

【0070】

本形態の接続体１０は、外枠部材と内枠部材との間で成形されたゲル状部材である。すなわち、第１接続体１１は、第１外枠部材５１と第１内枠部材３６との間に直接成形されており、第２接続体１２は、第２外枠部材５２と第２内枠部材３７との間に直接成形されている。このように、外枠部材と内枠部材との間に直接ゲル状部材を成形して部品化することにより、アクチュエータ１を組み立てる際のゲル状部材の取り扱いが容易である。従
って、アクチュエータ１の製造を容易化できる。

【0071】

本形態では、接続体１０を備えた仕切り部９が可動体３の両端に配置されているので、可動体３の両端を接続体１０によって支持できる。従って、可動体３を安定して支持できる。すなわち、接続体１０は、可動体３の軸線Ｌ方向の一端と支持体２とを接続する第１接続体１１、および、可動体３の軸線Ｌ方向の他端と支持体２とを接続する第２接続体１２を備える。内側環状部は、第１接続体１１に接続される第１内側環状部（第１内枠部材３６）、および、第２接続体１２に接続される第２内側環状部（第２内枠部材３７）を備える。外側環状部は、第１接続体１１に接続される第１外側環状部（第１外枠部材５１および第１外枠部材固定部４１）、および、第２接続体１２に接続される第２外側環状部（第２外枠部材５２および第２外枠部材固定部２５）を備える。仕切り部９は、第１内側環状部（第１内枠部材３６）、第１外側環状部（第１外枠部材５１および第１外枠部材固定部４１）、および第１接続体１１を備えた第１仕切り部９１と、第２内側環状部（第２内枠部材３７）、第２外側環状部（第２外枠部材５２および第２外枠部材固定部２５）、および第２接続体１２を備えた第２仕切り部９２と、を備える。空気通路Ｐは、第１仕切り部９１に設けられた第１空気通路Ｐ１、および、第２仕切り部９２に設けられた第２空気通路Ｐ２を備える。従って、本形態では、２か所の仕切り部９のいずれにも空気通路Ｐが設けられているので、可動体３が軸線Ｌ方向に振動する際の空気抵抗を少なくすることができる。

【0072】

本形態では、第１内側環状部は、支軸３０に固定される第１内枠部材３６である。また、第１外側環状部は、第１内枠部材３６を囲む第１外枠部材５１、および、第１外枠部材５１を囲む第１外枠部材固定部４１を備える。第１外枠部材固定部４１は、ケース２０の内周側に配置されるコイルホルダ４に設けられている。このように、本形態では、コイルホルダ４を介して接続体１０を支持体２に接続する。従って、コイルホルダ４とは別に外枠部材固定部を設ける必要がないので、アクチュエータ１の構成を簡素化できる。また、コイルホルダ４の内周側に第１接続体１１を配置できるので、アクチュエータの軸線Ｌ方向の小型化を図ることができる。

【0073】

本形態では、第１空気通路Ｐ１は、第１外枠部材５１と第１外枠部材固定部４１との間に設けられている。従って、第１外枠部材５１と第１外枠部材固定部４１とを組み立てることによって両部品の間に空気通路Ｐを形成できるので、部品単体には空気通路Ｐとなる貫通部を形成する必要がない。従って、部品形状を単純化できる。

【0074】

本形態では、第１外枠部材固定部４１の内周面に軸線Ｌ方向に延びる溝部９３が設けられ、溝部９３と第１外枠部材５１の外周面との隙間が第１空気通路Ｐ１になっている。従って、第１空気通路Ｐ１を設けるためには、第１外枠部材固定部４１を備えたコイルホルダ４を樹脂で製造する際、第１空気通路Ｐ１となる溝部９３を第１外枠部材固定部４１の内周面に成形しておけばよく、第１外枠部材５１と第１外枠部材固定部４１とを組み立てることによって両部品の間に第１空気通路Ｐ１を形成することができる。

【0075】

本形態では、コイルホルダ４は、ケース２０の内周面に接着されている。このように、ケース２０とコイルホルダ４との隙間が接着剤によって封止された場合でも、本形態では、他の部位に空気通路Ｐが確保されている。従って、可動体３が軸線Ｌ方向に振動する際の空気抵抗が少ない。

【0076】

本形態では、ケース２０の一端を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の他端を塞ぐ第２第２蓋部材２２を備えており、ケース２０と第１蓋部材２１との隙間、および、ケース２０と第２蓋部材２２との隙間は接着剤などの封止材によって封止される。従って、ケース２０の内外を連通する空気流動口を減少させるもしくは空気流動口をなくすことができる
ので、ケース２０の内部へのコンタミの侵入を抑制できる。よって、コンタミが磁気駆動機構６および接続体１０に悪影響を及ぼす恐れが少ない。また、ケース２０の外部に漏れる動作音を小さくすることができる。

【0077】

本形態では、ケース２０は、コイル６２に給電する配線基板７が配置される切欠き部６５を備え、ケース２０と配線基板７との隙間は、接着剤などの封止材によって封止される。従って、給電用の配線を引き出した隙間からのコンタミの侵入を抑制できる。また、ケース２０の外部に漏れる動作音を小さくすることができる。

【0078】

本形態では、封止材として接着剤を用いており、部品同士を固定する接着剤を利用して隙間を封止する。よって、隙間を封止しやすい。また、別途封止材を取り付ける工程を行う必要がない。

【0079】

本形態では、第１空気通路Ｐ１および第２空気通路Ｐ２は、周方向に間隔を空けて複数設けられている。従って、空気を均等に流動させることができる。また、空気の流動量が増大するので、空気抵抗をより少なくすることができる。

【0080】

（変形例）
上記形態では、第１外枠部材固定部４１と第１外枠部材５１との間に第１空気通路Ｐ１が設けられているが、第１空気通路Ｐ１は、第１仕切り部９１のどの部位に設けられていてもよい。例えば、第１外枠部材５１の内部もしくは第１内枠部材３６に貫通部を形成し、貫通部を空気通路としてもよい。あるいは、第１外枠部材固定部４１に貫通部を形成し、貫通部を空気通路としてもよい。また、第１内枠部材３６と第１接続体１１の内周面との間、もしくは、第１外枠部材５１と第１接続体１１の外周面との間に空気通路を形成してもよい、同様に、第２空気通路Ｐ２は、第２仕切り部９２のどの部位に設けられていてもよい。

【0081】

上記形態では、複数の第１空気通路Ｐ１を周方向に等間隔に設けているが、第１空気通路Ｐ１の数およびその配置は、上記形態に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。同様に、第２空気通路Ｐ２の数およびその配置は、上記形態に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。

【符号の説明】

【0082】

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…コイルホルダ、６…磁気駆動機構、７…配線基板、８…リード線、９…仕切り部、１０…接続体、１１…第１接続体、１２…第２接続体、２０…ケース、２１…第１蓋部材、２２…第２蓋部材、２４…ケース本体、２５…第２外枠部材固定部、２６…蓋部、２７…係止部、２８…規制部、２９…溝部、３０…支軸、３１…第１ヨーク、３２…第２ヨーク、３３…第１磁性部材、３４…第２磁性部材、３５…ヨーク、３６…第１内枠部材、３７…第２内枠部材、４１…第１外枠部材固定部、４２…胴部、４３…第１凹部、４４…第１段部、４５…第２段部、４６…第２凹部、４７…第３段部、４８…溝部、４９…凸部、５１…第１外枠部材、５２…第２外枠部材、６０…配線引き出し部、６１…磁石、６２…コイル、６３…コイル線、６４…端子ピン、６５…切欠き部、６６…カバー、６７…溝部、６８…係止部、６９…基板固定部、７１…保持溝、９１…第１仕切り部、９２…第２仕切り部、９３…溝部、９４…貫通部、２１０…溶着用凸部、２２０…溶着用凸部、２５０…溶着穴、３１０、３３０、３４０…軸穴、３３１…端板部、３３２…円筒部、３６１…環状突部、３７１…環状突部、４１０…溶着用凹部、５１１、５２１…環状段部、６１０…軸穴、６９０…リード線保持部、６９１…爪部、Ｌ…軸線、Ｌ１…軸線方向の一方側、Ｌ２…軸線方向の他方側、Ｐ…空気通路、Ｐ１…第１空気通路、Ｐ２…第２空気通路、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３…隙間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】