特許 7411907 安全スイッチ及びドア付き装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-28

(45)【発行日】2024-01-12

(54)【発明の名称】安全スイッチ及びドア付き装置

(51)【国際特許分類】

   H01H 9/16 20060101AFI20240104BHJP

【ＦＩ】

H01H9/16 A

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2020010407

(22)【出願日】2020-01-24

(65)【公開番号】P2021118092

(43)【公開日】2021-08-10

【審査請求日】2022-11-24

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】干場 隆司

(72)【発明者】

【氏名】見波 彩乃

【審査官】関 信之

(56)【参考文献】

【文献】実開昭４７－００７７４１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１９－１３９８７７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｈ ９／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

センサ本体とアクチュエータとを備える安全スイッチであって、
前記センサ本体は、
前記アクチュエータが前記センサ本体に対して所定位置に配置された場合、前記アクチュエータを検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に応じて、投光する投光部と、を備え、
前記アクチュエータは、
前記投光部が投光した光を受けて、可視光を発光する発光部を備え、
前記投光部は、可視光を投光し、
前記発光部は、透光性部材で形成される、
安全スイッチ。

【請求項2】

前記投光部は、前記アクチュエータと対向する対向面を介して投光する、
請求項１に記載の安全スイッチ。

【請求項3】

前記発光部は、外周面と内周面とを有し、
前記外周面は、前記内周面よりも外側において、前記センサ本体とは反対側の非対向側のアクチュエータ外部に対面し、
前記内周面は、前記外周面よりも内側において、前記非対向側のアクチュエータ外部に対面し、
前記外周面は、前記センサ本体と対向する対向側から前記非対向側に向かって縮径する、
請求項１又は２に記載の安全スイッチ。

【請求項4】

前記発光部は、外周面と内周面とを有し、
前記外周面は、前記内周面よりも外側において、前記センサ本体とは反対側の非対向側のアクチュエータ外部に対面し、
前記内周面は、前記外周面よりも内側において、前記非対向側のアクチュエータ外部に対面し、
前記内周面は、前記センサ本体と対向する対向側から前記非対向側に向かって拡径する、
請求項１～３のいずれか１項に記載の安全スイッチ。

【請求項5】

前記アクチュエータは、
透光性部材で形成され、前記センサ本体からの光を前記発光部へ導光する導光部と、
前記導光部の外周を包囲する非透光性部材と、を備える、
請求項１～４のいずれか１項に記載の安全スイッチ。

【請求項6】

前記投光部は、複数の表示灯を含み、
前記アクチュエータは、前記センサ本体に対向して、所定の信号を送信する無線送信部を備え、
前記検出部は、前記無線送信部に対向して配置され、前記所定の信号を受信し、
前記センサ本体内には、複数の表示灯が前記検出部を基準に対称位置に配置される、
請求項１～５のいずれか１項に記載の安全スイッチ。

【請求項7】

前記発光部は、
前記投光部からの光を、前記センサ本体と前記アクチュエータとの配列方向と直交する方向に反射する反射面と、
前記反射面で反射した光を外方へ出射する出射面と、を有する、
請求項１～６のいずれか１項に記載の安全スイッチ。

【請求項8】

前記発光部における前記センサ本体とは反対側の端部は、前記非透光性部材における前記センサ本体とは反対側の端部よりも突出している、
請求項５に記載の安全スイッチ。

【請求項9】

前記アクチュエータに対して着脱可能な延長部材、を更に備え、
前記延長部材は、前記アクチュエータが発光する光を導光して出射する、
請求項１～８のいずれか１項に記載の安全スイッチ。

【請求項10】

安全スイッチと、ドアと、を備えるドア付き装置であって、
前記安全スイッチは、センサ本体とアクチュエータとを備え、
前記センサ本体は、
前記アクチュエータが前記センサ本体に対して所定位置に配置された場合、前記アクチュエータを検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に応じて、投光する投光部と、を備え、
前記アクチュエータは、
前記投光部が投光した光を受けて、可視光を発光する発光部を備え、
前記ドアは、固定フレームと、可動フレームと、ドア本体と、を備え、
前記安全スイッチの前記センサ本体は、前記固定フレームに設置され、
前記安全スイッチの前記アクチュエータは、前記可動フレームに設置される、
ドア付き装置。

【請求項11】

前記アクチュエータの前記発光部の少なくとも一部は、前記可動フレームにおける前記固定フレームとは反対側の端部よりも突出して配置される、
請求項１０に記載のドア付き装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、安全スイッチ及びドア付き装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、工作機械の正面扉や産業用ロボット周囲の安全柵の扉部分などに取り付けられ、扉の開閉検出を行う安全スイッチが知られている。この安全スイッチでは、ドア（可動側）に取り付けられた専用のアクチュエータが、扉を閉めることによってセンサ本体に接近し、本体内の検出素子が検出すると信号を伝える。従来、センサ本体とアクチュエータを備える安全スイッチにおいて、センサ本体が、ドアの開閉を検出し、ドアの開閉状態を表示する表示部を備えることが知られている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１３９８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の安全スイッチは、安全スイッチが検出した異常（例えばドアの開閉状態）の検出結果の表示について改善の余地がある。

【0005】

本開示は、安全スイッチが検出した異常の検出結果の表示の視認性を向上できる安全スイッチ及びドア付き装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様は、センサ本体とアクチュエータとを備える安全スイッチであって、前記センサ本体は、前記アクチュエータが前記センサ本体に対して所定位置に配置された場合、前記アクチュエータを検出する検出部と、前記検出部の検出結果に応じて、投光する投光部と、を備え、前記アクチュエータは、前記投光部が投光した光を受けて、可視光を発光する発光部を備え、前記投光部は、可視光を投光し、前記発光部は、透光性部材で形成される、安全スイッチである。

【0007】

本開示の一態様は、安全スイッチと、ドアと、を備えるドア付き装置であって、前記安全スイッチは、センサ本体とアクチュエータとを備え、前記センサ本体は、前記アクチュエータが前記センサ本体に対して所定位置に配置された場合、前記アクチュエータを検出する検出部と、前記検出部の検出結果に応じて、投光する投光部と、を備え、前記アクチュエータは、前記投光部が投光した光を受けて、可視光を発光する発光部を備え、前記ドアは、固定フレームと、可動フレームと、ドア本体と、を備え、前記安全スイッチの前記センサ本体は、前記固定フレームに設置され、前記安全スイッチの前記アクチュエータは、前記可動フレームに設置される、ドア付き装置である。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、安全スイッチが検出した異常の検出結果の表示の視認性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】ドア付き装置の構成例を示す図

【図2】ドアの構成例を示す斜視図

【図3】安全スイッチのセンサ本体の一例を示す正面斜視図

【図4】センサ本体の一例を示す背面斜視図

【図5】センサ本体において電子部品が実装された基板の一例を示す図

【図6】安全スイッチのアクチュエータの一例を示す正面斜視図

【図7】アクチュエータの一例を示す背面斜視図

【図8】アクチュエータの一例を示す分解斜視図

【図9】アクチュエータの透光性部材の一例を示す図

【図10】アクチュエータの透光性部材の発光部における光の反射例を示す図

【図11A】ドアの閉検出及び閉検出結果の表示を説明するための図

【図11B】ドアの開検出及び開検出結果の表示を説明するための図

【図12A】ドアに設置された安全スイッチによる閉検出結果の表示例を示す図

【図12B】ドアに設置された安全スイッチによる開検出結果の表示例を示す図

【図13】アクチュエータの延長オプションを説明するための図

【図14】安全スイッチの変形構成例を示す簡略図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、適宜図面を参照しながら、実施形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になることを避け、当業者の理解を容易にするためである。尚、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるものであり、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。

【0011】

（実施形態の内容に至る経緯）
安全スイッチのセンサ本体及びアクチュエータは、ドアの枠（例えばアルミフレーム）に取り付けられる。その際、ドアの枠の背面側にセンサ本体及びアクチュエータが取り付けられることが一般的である。表面側にセンサ本体及びアクチュエータが取り付けられると、物がセンサ本体及びアクチュエータにぶつかって破損したり、人がセンサ本体及びアクチュエータに接触して人が怪我したり、安全スイッチ周辺の見栄えが低下したりするためである。また、ドアの枠の背面側に取り付けられるセンサ本体の表示部は、ドアの外側からは確認し難く、視認性が不十分である。具体的には、ドアの正面から見ると、ドアの枠に遮れて表示部が確認し難く、ドアの正面以外から見ても、フレームに遮られる角度範囲からは視認が困難であり、視認可能な範囲が制限される。

【0012】

以下、異常の検出結果の表示の視認性を向上できる安全スイッチ及びドア付き装置について説明する。

【0013】

（実施形態）
図１は、実施形態におけるドア付き装置１０の構成例を示す図である。ドア付き装置１０は、１つ以上のドア１００と、１つ以上の安全スイッチ２００と、を備える。ドア１００は、扉、戸、等のドアに関連するものを広く含んでよく、窓を含んでもよい。ドア付き装置１０は、例えば製造装置であり、ドア付き装置１０の内部には、例えば製造装置本体が収容される。

【0014】

図２は、ドア１００の構成例を示す斜視図である。ドア１００は、それぞれ、固定フレーム１１１と、可動フレーム１１２と、ドア本体１１３と、を含む。

【0015】

固定フレーム１１１は、ドア付き装置１０の外周を覆う部材（筐体等）に接続される。固定フレーム１１１は、例えばアルミフレームであり、他の材料で形成されたフレームでもよい。固定フレーム１１１は、透光性を有しない。

【0016】

可動フレーム１１２は、固定フレーム１１１に対して移動自在である。この結果、ドア１００が開閉自在である。可動フレーム１１２は、例えばアルミフレームであり、他の材料で形成されたフレームでもよい。可動フレーム１１２は、透光性を有しない。

【0017】

ドア本体１１３は、ドア本体１１３の周囲が可動フレーム１１２により包囲される。ドア本体１１３は、例えば、透光性部材で形成される。透光性部材は、例えば透明なプラスチックやガラスで形成されてよく、以降の透光性部材の記載でも同様である。

【0018】

なお、ドア１００の開閉方式は、開き戸方式、引き戸方式、折れ戸方式、蛇腹方式、観音開き方式、ガルウィング方式、等を含んでよい。

【0019】

安全スイッチ２００は、ドア１００の開閉状態を検出するドアセンサとして機能する。安全スイッチ２００は、センサ本体２１０とアクチュエータ２５０とを備える。センサ本体２１０は、ドア付き装置１０の内部において固定フレーム１１１に設置される。アクチュエータ２５０は、ドア付き装置１０の内部において可動フレーム１１２に設置される。よって、ドア付き装置１０の外部から確認する確認者から見ると、安全スイッチ２００は、固定フレーム１１１及び可動フレーム１１２の背面側に位置している。

【0020】

センサ本体２１０は、ドアの状態（例えば開閉状態）を検出し、検出結果に基づいて投光する。センサ本体２１０は、例えば、検出結果をアクチュエータ２５０に投光する。アクチュエータ２５０は、投光された光を受けて、この光を基に可視光を発光する。アクチュエータ２５０から発光された光は、透光性部材で形成されたドア本体１１３を介して、ドア付き装置１０の外側から視認可能である。

【0021】

図３は、センサ本体２１０の一例を示す正面斜視図（ｚ方向正側から見た斜視図）である。図４は、センサ本体２１０の一例を示す背面斜視図（ｚ方向負側から見た斜視図）である。図５は、センサ本体２１０において電子部品が実装された基板の一例を示す図である。

【0022】

なお、各図では、必要に応じてｘ方向、ｙ方向、及びｚ方向を示している。本実施形態では、ｚ方向は、センサ本体２１０とアクチュエータ２５０の配列方向である。ｚ方向正側にセンサ本体２１０が位置し、ｚ方向負側にアクチュエータ２５０が位置する。ｙ方向は、固定フレーム１１１とセンサ本体２１０との配列方向、又は可動フレーム１１２とアクチュエータ２５０との配列方向である。ｘ方向は、例えば、センサ本体２１０が設置された固定フレーム１１１の延在方向、又はアクチュエータ２５０が設置された可動フレーム１１２の延在方向である。

【0023】

センサ本体２１０は、プロセッサ２１１と、コイル２１２と、第１光源２１３と、第１投光口２１４と、第２光源２１５、第２投光口２１６、基板２１７と、筐体２１８と、ケーブル２１９と、を備える。筐体２１８は、カバー２１８ａ及びケース２１８ｂを有し、基板２１７を収容する。基板２１７は、センサ本体２１０が備える電子部品を実装する。電子部品は、プロセッサ２１１と、コイル２１２と、第１光源２１３と、第２光源２１５と、を含んでよい。

【0024】

プロセッサ２１１は、センサ本体２１０が備えるメモリと協働して、各種機能を実現する。プロセッサ２１１は、ＭＰＵ（Micro processing Unit）、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、等を含んでよい。プロセッサ２１１は、センサ本体２１０全体の動作を統括する。

【0025】

コイル２１２は、ケーブル２１９を介して外部から電力を受け、ワイヤレス電力伝送によって外部装置に電力を伝送する。ワイヤレス電力伝送は、例えば電磁誘導方式や磁界共鳴方式であってよい。コイル２１２は、外部装置から所定の信号を受けると、この所定の信号を受けた旨をプロセッサ２１１に通知する。外部装置は、例えばアクチュエータ２５０、より具体的にはアクチュエータ２５０のＲＦＩＤタグ２８０（後述）である。コイル２１２は、所定の信号を受信することで閉状態（異常無しの一例）を検出し、所定の信号を受信しないことで開状態（異常有りの一例）を検出する。

【0026】

第１光源２１３は、安全スイッチ２００により検出されるドア１００の異常の検出結果を表示する表示灯として動作する。第１光源２１３は、１つでも複数存在してよく、図５では３つ設けられている。第１光源２１３は、プロセッサ２１１の制御により、アクチュエータ２５０から所定の信号の受信の有無に応じて、投光（表示）する。第１光源２１３は、様々な表示態様で表示可能である。表示態様は、表示色、表示パターン、光強度、等でよい。

【0027】

複数の第１光源２１３は、コイル２１２の配置位置を基準に、対称位置に配置されてよい。例えば、図５では、３つの第１光源２１３が、ｚ方向に沿うコイル２１２の中心線ｃｃに対して線対称に配置されている。これにより、センサ本体２１０は、第１光源２１３からの光を、コイル２１２の位置を基準位置として対称（例えば線対称）に伝達可能である。よって、センサ本体２１０の光に基づくアクチュエータ２５０の光も、基準位置に対して対称性を有する光となる。また、複数の第１光源２１３は、アクチュエータと対向する対向面の長手方向に沿って配置されるので、アクチュエータ２５０に対して投光する投光元の光の領域を広げることができる。よって、安全スイッチ２００の視認性が向上する。

【0028】

第１投光口２１４は、第１光源２１３の光を、例えば透過することで投光する。第１投光口２１４は、透光性部材により形成される。第１投光口２１４の投光方向は、ドア１００が閉状態である場合にドア１００に取り付けられたアクチュエータ２５０が存在する方向である。なお、第１投光口２１４は、透光性部材の代わりに、鏡面体、反射筒、等で構成されてもよい。

【0029】

第２光源２１５は、安全スイッチ２００により検出されるドア１００の異常の検出結果を表示する表示灯として動作する。第２光源２１５は、１つでも複数存在してもよく、図５では１つ設けられている。第２光源２１５は、プロセッサ２１１の制御により、アクチュエータ２５０から所定の信号の受信の有無に応じて、投光（表示）する。第２光源２１５は、様々な表示態様で表示可能である。

【0030】

第２投光口２１６は、第２光源２１５の光を、例えば透過することで投光する。第２投光口２１６は、透光性部材により形成される。第２投光口２１６の投光方向は、ドア１００が閉状態である場合にドア１００に取り付けられたアクチュエータ２５０が存在する方向とは異なる方向であり、例えばこのアクチュエータ２５０が存在する方向とは逆方向である。なお、第２投光口２１６は、透光性部材の代わりに、鏡面体、反射筒、等で構成されてもよい。

【0031】

ケーブル２１９には、電源線、信号線、等の各種配線が格納される。信号線には、例えば、他の安全スイッチ２００による異常の検出結果を伝送する信号線が含まれてよい。ケーブル２１９は、基板２１７上の電子部品の少なくとも一部に電力を供給する。したがって、可動部に設置されるアクチュエータ２５０において、光を発生させるための電源が不要であり、可動部が可動し易い状態を維持できる。なお、ケーブル２１９から各電子部品への電気配線の図示は省略されている。

【0032】

図６は、アクチュエータ２５０の一例を示す正面斜視図（ｚ方向正側から見た斜視図）である。図７は、アクチュエータ２５０の一例を示す背面斜視図（ｚ方向負側から見た斜視図）である。図８は、アクチュエータ２５０の一例を示す分解斜視図である。図９は、アクチュエータ２５０の透光性部材２７０を導光部２７２側（ｙ方向正側）から見た図である。

【0033】

アクチュエータ２５０は、筐体２６０と、透光性部材２７０と、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identifier）タグ２８０を有する。透光性部材２７０は、受光部２７１と、導光部２７２と、発光部２７３と、を備える。透光性部材２７０は、例えば透明なプラスチックやガラスで形成されてよい。透光性部材２７０は、センサ本体２１０からの光を受けて、可視光を発光する。

【0034】

受光部２７１は、ドア１００が閉状態である場合、センサ本体２１０の第１投光口２１４に対向する。受光部２７１は、センサ本体２１０の第１投光口２１４からの光を受光し、アクチュエータ２５０内に光を導入する。受光部２７１は、筐体２６０におけるセンサ本体２１０と対向する面よりも、センサ本体２１０側に突出している。この場合、受光部２７１は、センサ本体２１０からの光を透光性部材２７０内へ取り込みやすくなる。

【0035】

導光部２７２は、受光部２７１から発光部２７３に向かってセンサ本体２１０からの光を導光する。導光部２７２は、図９に示すように直線的な導光路を有してもよいし、他の形状の導光路を有してもよい。導光部２７２は、複数存在してもよい。導光部２７２は、複数存在する場合、相互に所定の距離、離間されて設けられてよい。

【0036】

導光部２７２は、透光性部材２７０の一部により形成される第１部分２７２ａと、透光性部材２７０が不在である空間としての第２部分２７２ｂと、を有する。図９では、導光部２７２が２つ設けられ、各導光部２７２において、２つの第１部分２７２ａの間に第２部分２７２ｂが形成されている。第１部分２７２ａ及び第２部分２７２ｂはいずれも、受光部２７１から発光部２７３への導光に寄与する。

【0037】

発光部２７３は、導光部２７２を介して導光された光を基に、発光する。発光部２７３は、この発光により、ドア１００の異常の検出結果を表示する。例えば、発光部２７３は、導光部２７２を介して導光された光を外部に出射する。発光部２７３は、光を透過、反射、拡散、等を行うことが可能である。発光部２７３は、外周面２７３ａと内周面２７３ｂとを有する。外周面２７３ａは、内周面２７３ｂよりも外側に位置する。外周面２７３ａ及び内周面２７３ｂのいずれも、センサ本体２１０に対向しない非対向側（ｚ方向負側）においてアクチュエータ外部に対面する。

【0038】

外周面２７３ａは、センサ本体２１０と対向する対向側（ｚ方向正側）から、センサ本体２１０と対向しない非対向側（ｚ方向負側）に向かって、縮径する。これにより、外周面２７３ａは、導光部２７２を介して導光された光を、屈折等により光を拡げて拡散できる。よって、確認者は、様々な角度からアクチュエータ２５０の光を見やすくなる。

【0039】

内周面２７３ｂは、センサ本体２１０と対向する対向側（ｚ方向正側）から、センサ本体２１０と対向しない非対向側（ｚ方向負側）に向かって、拡径する。これにより、内周面２７３ｂは、導光部２７２を介して導光された光を、屈折等によりアクチュエータ２５０の中心線ｃ１の方向（図９参照）に拡散し易くなる。よって、集約された光の強度が向上し、アクチュエータ２５０の中心線方向に長く伝達可能である。したがって、確認者は、アクチュエータ２５０の光を見やすくなる。

【0040】

また、発光部２７３は、光透過性を有しても、光反射性を有しても、光透過性及び光反射性の双方を有してもよい。光透過性及び光反射性の双方を有する場合、光の一部を透過し、光の他部を反射してよい。図１０は、発光部２７３における光の反射例を示す図である。図１０では、導光部２７２を進行する光が内周面２７３ｂにおいて反射され、Ｌ１の方向に光の進行方向が変化している。なお、発光部２７３は、少なくとも光を外部に出射可能であればよく、外周面２７３ａ及び内周面２７３ｂの形状は上記に限られない。

【0041】

また、発光部２７３は、筐体２６０におけるセンサ本体２１０と対向する端面と反対側（ｚ方向負側）の端面よりも、外部に突出してよい。これにより、発光部２７３から出射した光が一層拡散し易くなっている。

【0042】

ＲＦＩＤタグ２８０は、ドア１００が閉状態である場合にセンサ本体２１０のコイル２１２と通信可能な範囲に、配置される。ＲＦＩＤタグ２８０は、例えば、透光性部材２７０における受光部２７１側に配置される。ＲＦＩＤタグ２８０は、透光性部材２７０における２つの導光部２７２の間に配置されてよい。ＲＦＩＤタグ２８０は、所定の信号を発信する。ＲＦＩＤタグ２８０は、例えばパッシブタグであり、外部から電力供給を受けて動作する。例えば、ＲＦＩＤタグ２８０は、センサ本体２１０からコイル２１２を介して電力供給を受け、所定の信号をセンサ本体２１０に発信する。なお、所定の信号は、少なくともＩＤ情報を含む。

【0043】

筐体２６０は、アクチュエータ２５０の内部を保護する。筐体２６０は、第１筐体２６１及び第２筐体２６２を有する。第１筐体２６１は、透光性部材２７０の上側（ｙ方向正側）を包囲し、透光性部材２７０の左側及び右側（ｘ方向両側）を第２筐体２６２とともに包囲する。第２筐体２６２は、透光性部材２７０の下側（ｙ方向負側）を包囲し、透光性部材２７０の左側及び右側（ｘ方向両側）を第１筐体２６１とともに包囲する。また、筐体２６０は、受光部２７１及び発光部２７３を包囲しておらず、受光部２７１及び発光部２７３を光が通過可能である。また、筐体２６０は、非透光性部材で形成されてもよい。非透光性部材は、例えば透光性を有しないプラスチックやゴム材であってよい。筐体２６０が非透光性部材で形成されることで、例えば導光部２７２から光が漏出して減衰することを抑制でき、発光部２７３から発光される光の光強度を維持できる。

【0044】

次に、製造装置について説明する。

【0045】

ドア付き装置１０としての製造装置は、各種製造物（例えば、電気的、機械的な物、化学的な物質）を製造する装置である。製造装置又は製造物は、任意であるが、例えば取り扱いを留意すべき製造装置又は製造物である。製造装置は、安全スイッチ２００の状態に応じて動作してよい。例えば、安全スイッチ２００により全てのドア１００の閉状態が検出された場合に、製造装置が動作可能となり、安全スイッチ２００により少なくとも１つのドア１００の開状態が検出された場合に、製造装置の動作不能なってよい。これにより、ドア付き装置１０は、製造装置又は製造物に対して安全な状態に維持できる。

【0046】

安全スイッチ２００の状態に応じた製造装置の動作の許否は、ＰＬＣ（programmable logic controller）により実施されてよい。ＰＬＣは、安全スイッチ２００と製造装置本体との間に接続される。ＰＬＣのプロセッサは、安全スイッチ２００により全てのドア１００の閉状態が検出された場合に、製造装置の動作を許可し、安全スイッチ２００により少なくとも１つのドア１００の開状態が検出された場合に、製造装置の動作を禁止してよい。

【0047】

次に、ドア１００の開閉検出及び開閉検出結果の表示について説明する。

【0048】

図１１Ａ及び図１１Ｂは、ドア１００の開閉検出及び開閉検出結果の表示を説明するための図である。図１１Ａは、ドア１００の閉検出及び閉検出結果の表示を示す。図１１Ｂは、ドア１００の開検出及び開検出結果の表示を示す。

【0049】

センサ本体２１０は、アクチュエータ２５０がセンサ本体２１０に対して所定位置に配置された場合、アクチュエータ２５０を検出する。具体的には、アクチュエータ２５０のＲＦＩＤタグ２８０がセンサ本体２１０のコイル２１２からのワイヤレス電力伝送が可能な範囲に位置する場合に、センサ本体２１０がアクチュエータ２５０に電力を供給し、アクチュエータ２５０が所定の信号をセンサ本体２１０に送信する。コイル２１２は、アクチュエータ２５０からの所定の信号を受信したことを検出すると、アクチュエータ２５０を検出し、プロセッサ２１１に通知する。プロセッサ２１１は、この通知を受けることで、アクチュエータ２５０を認識する。

【0050】

センサ本体２１０がアクチュエータ２５０を検出した場合、プロセッサ２１１は、センサ本体２１０が設置された固定フレーム１１１にアクチュエータ２５０が設置された可動フレーム１１２が所定の状態で対向し、ドア１００が閉状態であると判定する。センサ本体２１０がアクチュエータ２５０を検出しなかった場合、センサ本体２１０が設置された固定フレーム１１１にアクチュエータ２５０が設置された可動フレーム１１２が所定の状態で対向しておらず、ドア１００が開状態であると判定する。

【0051】

また、センサ本体２１０がアクチュエータ２５０を検出した場合、つまりドア１００が閉状態である場合、第１光源２１３及び第２光源２１５は、プロセッサ２１１の制御により、第１の表示態様で表示する。センサ本体２１０がアクチュエータ２５０を検出しなかった場合、つまりドア１００が開状態である場合、第１光源２１３及び第２光源２１５は、プロセッサ２１１の制御により、第２の表示態様で表示する。第１の表示態様と第２の表示態様とは異なる。例えば、第１の表示態様は、緑色の投光や点滅による表示でよく、第２の表示態様は、赤色の投光や点灯による表示でよい。アクチュエータ２５０は、センサ本体２１０からの光を受けて、表示態様を維持して光を出射することで、ドア１００の開閉検出結果を表示する。

【0052】

なお、ドア１００の開閉検出は、安全スイッチ２００（自スイッチ）が設置されたドア１００（自ドア）の開閉状態の検出とともに、又は自ドアの開閉状態の検出の代わりに、自スイッチ以外の他の安全スイッチ（他スイッチ）が設置された他のドア１００（他ドア）の開閉状態の検出であってもよい。この場合、第１光源２１３及び第２光源２１５は、自ドアの開閉検出結果に基づいて表示するとともに、又は自ドアの開閉検出結果に基づいて表示する代わりに、他ドアの開閉検出結果に基づいて表示してもよい。

【0053】

次に、ドア１００に設置されたアクチュエータ２５０によるドア１００の開閉検出結果の表示例について説明する。

【0054】

図１２Ａ及び図１２Ｂは、ドア１００に設置されたアクチュエータ２５０によるドア１００の開閉検出結果の表示例を示す図である。図１２Ａは、閉検出結果の表示例を示す。図１２Ｂは、開検出結果の表示例を示す。ここでは、鉛直方向下向きを「下」とし、鉛直方向上向きを「上」とも記載する。

【0055】

図１２Ａ及び図１２Ｂでは、センサ本体２１０の第１投光口２１４が鉛直方向の下側（アクチュエータ２５０が配置されるｚ方向負側）となるように、センサ本体２１０が固定フレーム１１１に設置される。また、アクチュエータ２５０の受光部２７１が鉛直方向の上側（センサ本体２１０が配置されるｚ方向正側）となり、発光部２７３が鉛直方向の下側（センサ本体２１０が配置される側とは反対側であるｚ方向負側）となるように、アクチュエータ２５０が可動フレーム１１２に設置される。また、図１２Ａ及び図１２Ｂでは、可動フレーム１１２の下端部よりも下側に、少なくともとアクチュエータ２５０の透光性部材２７０の発光部２７３の一部が突出している。

【0056】

図１２Ａに示すように、ドア１００が閉状態である場合、固定フレーム１１１の近傍に可動フレーム１１２が存在する。そのため、固定フレーム１１１に取り付けられたセンサ本体２１０が投光する光は、可動フレーム１１２によって遮蔽される。したがって、センサ本体２１０が投光する光をドア付き装置１０の外部から確認不可能である。しかし、センサ本体２１０から投光された光をアクチュエータ２５０が導入可能であり、アクチュエータ２５０が発光する。可動フレーム１１２に取り付けられたアクチュエータ２５０が出射する光は、ドア本体１１３の方向を含んで拡散され、ドア本体１１３としての透光性部材を介してドア付き装置１０の外部から視認可能である。ドア１００が閉状態である場合の表示態様は、表示態様Ｄ１でよい。

【0057】

ドア１００が開状態である場合、固定フレーム１１１の近傍に可動フレーム１１２が不在である。そのため、固定フレーム１１１に取り付けられたセンサ本体２１０が投光する光は、可動フレーム１１２によって遮蔽されずに拡散可能である。したがって、アクチュエータ２５０の発光がなくても、センサ本体２１０が投光する光をドア付き装置１０の外部から視認可能であり得る。ドア１００が開状態である場合の表示態様は、表示態様Ｄ２でよい。

【0058】

実際には、ドア１００が、半ドア状態でなく大きく開いた状態で、センサ本体２１０とアクチュエータ２５０とが大きく離れており、センサ本体２１０から投光された光をアクチュエータ２５０が導入不能である場合には、アクチュエータ２５０は発光しない。この場合、センサ本体２１０が透光する光を視認可能である。

【0059】

一方、図１２Ｂに示すように、ドア１００が開状態であるが半ドア状態のようにあまり開いていない状態であり、センサ本体２１０から投光された光の一部をアクチュエータ２５０が導入可能である場合には、アクチュエータ２５０は発光する。この場合、少なくともアクチュエータ２５０が発光する光を視認可能であり、センサ本体２１０が投光する光も視認可能であり得る。

【0060】

なお、ここでは、ドア１００の鉛直方向の上端部に安全スイッチ２００が設置されることを例示したが、これに限られない。つまり、固定フレーム１１１の上部の枠体にセンサ本体２１０が設置され、可動フレーム１１２の上部の枠体にアクチュエータ２５０が設置されることを例示したが、これに限られない。

【0061】

例えば、ドア１００の側端部に安全スイッチ２００が設置されてもよい。つまり、固定フレーム１１１の側部の枠体にセンサ本体２１０が設置され、可動フレーム１１２の側部の枠体にアクチュエータ２５０が設置されてもよい。この場合、センサ本体２１０の第１投光口２１４がアクチュエータ２５０と対向するように、センサ本体２１０が固定フレーム１１１に設置される。また、アクチュエータ２５０の受光部２７１がセンサ本体２１０と対向するように、アクチュエータ２５０が可動フレーム１１２に設置される。

【0062】

次に、アクチュエータ２５０の延長オプションについて説明する。
図１３は、アクチュエータ２５０の延長オプションを説明するための図である。

【0063】

例えば固定フレーム１１１や可動フレーム１１２の太さ（例えば鉛直方向の長さ）が太い（例えば長い）場合、アクチュエータ２５０の透光性部材２７０の発光部２７３や出射された光を確認し難いことがある。これに対し、アクチュエータ２５０の導光距離が長くなるように、アクチュエータ２５０を実質的に延長してよい。具体的には、アクチュエータ２５０に着脱可能な延長部材２９０を、アクチュエータ２５０に取り付けてよい。延長部材２９０は、アクチュエータ２５０が発光する光を導光して出射する。

【0064】

延長部材２９０は、少なくとも透光性部材を有する。延長部材２９０は、アクチュエータ２５０と同様の構成部を有してよく、筐体及び透光性部材を有してよい。延長部材２９０の筐体と透光性部材とは、アクチュエータ２５０の筐体２６０及び透光性部材２７０と同じ形状を有してよい。この場合、延長部材２９０が形成し易い。また、延長部材２９０の透光性部材における導光部は、アクチュエータ２５０の透光性部材２７０における導光部２７２よりも長くてもよい。この場合、延長部材２９０による導光距離を長くできる。また、延長部材２９０の透光性部材における受光部は、アクチュエータ２５０の透光性部材２７０の発光部２７３の出射方向先端（ｚ方向負側の先端）の形状に係合するように形成されてよい。この場合、アクチュエータ２５０と延長部材２９０とを着脱し易くなり、一体化し易くなる。図１３では、延長部材２９０の透光性部材の発光部２９３から、アクチュエータ２５０及び延長部材２９０を介して導光された光が出射される様子を示している。

【0065】

このようにして、延長部材２９０は、アクチュエータ２５０から出射された光を、延長部材２９０に効率良く受光、導光、出射できる。よって、ドア付き装置１０の外部から確認する確認者は、アクチュエータ２５０の光を確認し難い場合でも、延長部材２９０の光を確認し易くなる。よって、固定フレーム１１１や可動フレーム１１２の太さによらずに、アクチュエータの光に基づく光を確認し易くなる。

【0066】

（変形例）
図１４は、安全スイッチ２００の変形構成例を示す簡略図である。

【0067】

安全スイッチ２００では、センサ本体２１０の筐体２１８の内部に第１光源２１３を設けずに、筐体２１８の外部に第１光源２１３Ａを設けてもよい。この場合、アクチュエータ２５０の筐体２６０の内部に透光性部材２７０を有さずに、筐体２６０の外部からセンサ本体２１０と反対側に向かって光を導き、発光部２７３Ａが光を出射することで発光してもよい。この場合でも、アクチュエータ２５０をセンサ本体２１０からの光に従って発光させることができる。なお、発光部２７３Ａは、センサ本体２１０からの光を受けて発光できれば、必ずしも透光性部材でなくてよい。

【0068】

なお、先に説明したように、センサ本体２１０の筐体２１８の内部に第１光源２１３を設け、アクチュエータ２５０の筐体２６０の内部に透光性部材２７０を設けてセンサ本体２１０からの光を発光部２７３から出射する場合、アクチュエータ２５０の内部において光を透過させることができる。よって、アクチュエータ２５０の筐体２６０の外部を通るように、センサ本体２１０の筐体２１８の外部に第１光源２１３Ａを設けることが不要である。よって、センサ本体２１０が小型化され、したがって安全スイッチ２００の全体が小型化される。また、センサ本体２１０の筐体２１８の外部に第１光源２１３Ａを設けるための十分なスペースがない場合にも有効である。

【0069】

このように、安全スイッチ２００によれば、センサ本体２１０は、投光部から第１投光口２１４を介してアクチュエータ２５０に向かって光を投光できる。アクチュエータ２５０は、センサ本体２１０からの光を基に、さらに安全スイッチ２００の外部に向かって光を発光できる。よって、確認者から見て、安全スイッチ２００が固定フレーム１１１及び可動フレーム１１２の背面に配置され、センサ本体２１０の光が見えなくても、ドア付き装置１０の外部から、アクチュエータ２５０を介して検出結果の表示を視認できる。例えば、アクチュエータ２５０がセンサ本体２１０よりも鉛直方向の下側に配置され、フレームの背面から突出し易いためである。また、例えば、ドア１００が多数存在する場合でも、アクチュエータ２５０の光を確認することで、どのドア１００に異常が発生している（例えばドア１００が開いている）のか、容易に把握できる。

【0070】

また、ドア１００は本来、開状態を異常として表示することに利点があるが、ドア１００が閉状態（安全状態）であることの表示についても、以下のような利点がある。

【0071】

ドア１００が閉じているときに、例えばドア１００の閉状態を示す表示が行われない（消灯している）場合、確認者は、ドア１００が閉じているから表示していないのか、安全スイッチ２００が故障しているために表示していないのか、把握できない。仮に故障して表示していない場合、故障による非表示であることが確認者に直ちに知られていないと、確認者により安全スイッチ２００の故障であると認識され、安全スイッチの機能が果たされない。このため、ドア１００が閉状態であっても、ドア１００が閉状態であることを示す表示が行われ、確認者にこの表示が視認されることで、安全スイッチの機能が果たされていることが確認可能な状態を維持可能である。このように、安全スイッチ２００は、ドア１００が閉状態である場合でも、その表示がより広範囲から視認可能であることで、故障と区別して閉状態であることを確認者に通知可能である。

【0072】

以上、図面を参照しながら各種の実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

【0073】

上記実施形態では、ドア付き装置１０が、ドア１００により製造装置本体を包囲することを例示したが、これに限られない。例えば、製造装置本体の代わりに、ロッカー（例えば宅配ロッカー）、が配置されてもよい。また、ドア１００が単に所定空間を包囲するだけでもよい。つまり、ドア付き装置１０が単に空間を仕切るものであってもよい。

【0074】

上記実施形態では、図１では、製造装置本体を囲むように複数のドア１００が設けられ、ドア付き装置１０が平面視で矩形に形成されているが、これに限られない。例えば、ドア１００が一方向に複数配列され、ドア付き装置１０が直線状に形成されてもよい。

【0075】

上記実施形態では、発光部２７３，２９３の形状は、例えば、プリズム形状、波形状、球面形状、又は平面形状を有してよい。発光部２７３，２９３は、すりガラスなどで形成されてもよい。

【0076】

また、上記実施形態では、プロセッサは、物理的にどのように構成してもよい。また、プログラム可能なプロセッサを用いれば、プログラムの変更により処理内容を変更できるので、プロセッサの設計の自由度を高めることができる。プロセッサは、１つの半導体チップで構成してもよいし、物理的に複数の半導体チップで構成してもよい。複数の半導体チップで構成する場合、上記実施形態の各制御をそれぞれ別の半導体チップで実現してもよい。この場合、それらの複数の半導体チップで１つのプロセッサを構成すると考えることができる。また、プロセッサは、半導体チップと別の機能を有する部材（コンデンサ等）で構成してもよい。また、プロセッサが有する機能とそれ以外の機能とを実現するように、１つの半導体チップを構成してもよい。また、複数のプロセッサが１つのプロセッサで構成されてもよい。

【0077】

以上のように、上記実施形態では、安全スイッチ２００は、センサ本体２１０とアクチュエータ２５０とを備える。センサ本体２１０は、アクチュエータ２５０がセンサ本体２１０に対して所定位置に配置された場合、アクチュエータ２５０を検出する検出部（例えばコイル２１２）と、検出部の検出結果に応じて、投光する投光部（例えば第１光源２１３）と、を備える。アクチュエータ２５０は、投光部が投光した光を受けて、可視光を発光する発光部２７３，２７３Ａを備える。

【0078】

これにより、安全スイッチ２００では、センサ本体２１０は、投光部からアクチュエータ２５０に向かって光を投光できる。アクチュエータ２５０は、センサ本体２１０からの光を基に、さらに安全スイッチ２００の外部に向かって光を発光できる。よって、確認者から見て、安全スイッチ２００が固定フレーム１１１及び可動フレーム１１２の背面に配置されても、アクチュエータ２５０を介して安全スイッチ２００による検出結果の表示を、ドア１００の正面（ドア付き装置１０の外部）から視認可能である。したがって、安全スイッチ２００は、安全スイッチ２００が検出した異常の検出結果の表示の視認性を向上できる。

【0079】

また、アクチュエータ２５０がセンサ本体２１０からの光を基に発光することで、アクチュエータ２５０側に光源が不要であるので、アクチュエータ２５０に電源線を接続することが不要である。よって、可動フレーム１１２にアクチュエータ２５０を取り付ける場合でも、容易にアクチュエータ２５０を設置が可能である。

【0080】

また、投光部は、アクチュエータ２５０と対向する対向面（例えば第１投光口２１４の面）を介して投光してよい。

【0081】

これにより、安全スイッチ２００は、投光部がアクチュエータに対する対向面を介して投光することで、投光元の光の領域を広げることができる。例えば、センサ本体２１０の筐体２１８の外側に光源を設けるのではなく、複数の第１光源２１３を対向面に対応して複数配列することで、投光元の光の領域を広げることができる。また、投光部がアクチュエータの対向面を介して投光することで、アクチュエータ２５０にセンサ本体２１０からの光が高効率で伝達でき、表示効率が向上する。よって、安全スイッチ２００の視認性が向上する。

【0082】

また、投光部は、可視光を投光してよい。発光部２７３は、透光性部材２７０で形成されてよい。

【0083】

これにより、アクチュエータ２５０は、簡易な構成で光を発光できる。また、アクチュエータ２５０は、透光性部材２７０により透過することで、例えばセンサ本体２１０からの光を導光するための構成をアクチュエータ２５０の筐体２６０外に設けることが不要となり、アクチュエータ２５０の小型化に繋がる。

【0084】

また、発光部２７３は、外周面２７３ａと内周面２７３ｂとを有してよい。外周面２７３ａは、内周面２７３ｂよりも外側において、センサ本体２１０とは反対側の非対向側のアクチュエータ外部に対面してよい。内周面２７３ｂは、外周面２７３ａよりも内側において、非対向側のアクチュエータ外部に対面してよい。外周面２７３ａは、センサ本体２１０と対向する対向側から非対向側に向かって縮径してよい。

【0085】

これにより、アクチュエータ２５０は、センサ本体２１０からの光を受けてセンサ本体２１０と反対側に向かって発光する際、外周面２７３ａにおける屈折等により光が進行する方向の範囲を拡げて拡散できる。よって、アクチュエータ２５０から発した光を視認可能な範囲が広がり、確認者は、様々な角度からアクチュエータ２５０の光を見やすくなる。

【0086】

また、発光部２７３は、外周面２７３ａと内周面２７３ｂとを有してよい。外周面２７３ａは、内周面２７３ｂよりも外側において、センサ本体２１０とは反対側の非対向側のアクチュエータ外部に対面してよい。内周面２７３ｂは、外周面２７３ａよりも内側において、非対向側のアクチュエータ外部に対面してよい。内周面２７３ｂは、センサ本体２１０と対向する対向側から非対向側に向かって拡径してよい。

【0087】

これにより、アクチュエータ２５０は、センサ本体２１０からの光を受けてセンサ本体２１０と反対側に向かって発光する際、内周面２７３ｂにおける屈折等により光をアクチュエータ２５０の中心線ｃ１の方向に拡散し易くなる。よって、拡散された光の強度が向上し、アクチュエータ２５０の中心線ｃ１の方向に長く伝達可能である。したがって、確認者は、アクチュエータ２５０の光を見やすくなる。

【0088】

また、アクチュエータ２５０は、透光性部材２７０で形成され、センサ本体２１０からの光を発光部２７３へ導光する導光部２７２と、導光部２７２の外周を包囲する非透光性部材（例えば筐体２６０）と、を備えてよい。

【0089】

これにより、アクチュエータ２５０は、アクチュエータ内部において、投光部からの光が透光性部材２７０を介してアクチュエータ外部へ漏出することを抑制できる。よって、アクチュエータ２５０は、発光部２７３で発光される光の減衰を抑制でき、アクチュエータの光の視認性を向上できる。

【0090】

また、投光部は、複数の表示灯を含んでよい。アクチュエータ２５０は、センサ本体２１０に対向して、所定の信号を送信する無線送信部（例えばＲＦＩＤタグ２８０）を備えてよい。検出部は、無線送信部に対向して配置され、所定の信号を受信してよい。センサ本体２１０内には、複数の表示灯が検出部を基準に対称位置に配置されてよい。

【0091】

これにより、センサ本体２１０は、複数の表示灯が検出部を基準に対称位置に配置されることで、投光部により投光される光がアクチュエータ２５０に均一に伝達可能である。よって、アクチュエータ２５０は、均一に発光可能であり、アクチュエータ外部に対称に発光できる。したがって、確認者がアクチュエータ２５０から発光された光を見やすくなる。

【0092】

また、発光部２７３は、投光部からの光を、センサ本体２１０とアクチュエータ２５０との配列方向（例えばｚ方向）と直交する方向（例えばｘ方向）に反射する反射面（例えば内周面２７３ｂ）と、反射面で反射した光をアクチュエータ外部へ出射する出射面（例えば外周面２７３ａ）と、を有してよい。

【0093】

これにより、アクチュエータ２５０は、反射を利用してセンサ本体２１０からの光の進行方向を変更でき、より広範囲に光を拡散できる。よって、確認者は、より広範囲から視認可能となる。

【0094】

また、発光部２７３におけるセンサ本体２１０とは反対側の端部は、非透光性部材におけるセンサ本体２１０とは反対側の端部よりも突出してよい。

【0095】

これにより、非透光性部材（例えば筐体２６０）よりも突出して発光部２７３が存在するので、例えば可動フレーム１１２の背面にアクチュエータが配置されても、確認者は、ドア１００の表側から見易くなる。

【0096】

また、安全スイッチ２００は、アクチュエータ２５０に対して着脱可能な延長部材２９０、を更に備えてよい。延長部材２９０は、アクチュエータ２５０が発光する光を導光して出射してよい。

【0097】

これにより、延長部材２９０は、アクチュエータ２５０により出射された光の伝達距離を延長できる。したがって、例えばアクチュエータ２５０とセンサ本体２１０との配列方向（ｚ方向）に沿って長い可動フレーム１１２にアクチュエータ２５０が設置されたり、この方向に長い固定フレーム１１１にセンサ本体２１０が設置されたりする場合でも、確認者が、アクチュエータ２５０が発光する光を視認し易くなる。

【0098】

また、上記実施形態のドア付き装置１０は、ドア１００と、上記の安全スイッチ２００と、を備える。ドア１００は、固定フレーム１１１と、可動フレーム１１２と、ドア本体１１３と、を備える。安全スイッチ２００のセンサ本体２１０は、固定フレーム１１１に設置される。安全スイッチ２００のアクチュエータ２５０は、可動フレーム１１２に設置される。

【0099】

これにより、ドア付き装置１０は、センサ本体２１０及びアクチュエータ２５０が固定フレーム１１１及び可動フレーム１１２の背面に配置されても、アクチュエータ２５０を介して安全スイッチ２００による検出結果の表示を、ドア１００の正面（ドア付き装置１０の外部）から視認させることができる。したがって、ドア付き装置１０は、安全スイッチ２００が検出した異常の検出結果の表示の視認性を向上できる。

【0100】

また、アクチュエータ２５０の発光部２７３の少なくとも一部は、可動フレーム１１２における固定フレーム１１１とは反対側の端部よりも突出して配置されてよい。

【0101】

これにより、ドア付き装置１０は、可動フレーム１１２の背面にアクチュエータ２５０が配置されても、アクチュエータ２５０内の発光位置をドア付き装置１０の正面側から確実に確認可能となる。

【産業上の利用可能性】

【0102】

本開示は、安全スイッチが検出した異常の検出結果の表示の視認性を向上できる安全スイッチ及びドア付き装置等に有用である。

【符号の説明】

【0103】

１０ ドア付き装置
１００ ドア
１１１ 固定フレーム
１１２ 可動フレーム
１１３ ドア本体
２００ 安全スイッチ
２１０ センサ本体
２１１ プロセッサ
２１２ コイル
２１３ 第１光源
２１４ 第１投光口
２１５ 第２光源
２１６ 第２投光口
２１７ 基板
２１８ 筐体
２１９ ケーブル
２５０ アクチュエータ
２６０ 筐体
２６１ 第１筐体
２６２ 第２筐体
２７０ 透光性部材
２７１ 受光部
２７２ 導光部
２７３ 発光部
２７３ａ 外周面
２７３ｂ 内周面
２８０ ＲＦＩＤタグ
２９０ 延長部材
２９３ 発光部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12A】

【図12B】

【図13】

【図14】