特許 7413317 モジュール化した大型キャリア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-04

(45)【発行日】2024-01-15

(54)【発明の名称】モジュール化した大型キャリア

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240105BHJP

   B65D 6/28 20060101ALI20240105BHJP

   B65D 88/10 20060101ALI20240105BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

B65D6/28 B

B65D88/10 B

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021101573

(22)【出願日】2021-06-18

(65)【公開番号】P2022051673

(43)【公開日】2022-04-01

【審査請求日】2021-06-18

(31)【優先権主張番号】63/081,902

(32)【優先日】2020-09-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】100112656

【弁理士】

【氏名又は名称】宮田 英毅

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】邱銘乾

(72)【発明者】

【氏名】沈恩年

(72)【発明者】

【氏名】潘詠晉

(72)【発明者】

【氏名】鍾承恩

(72)【発明者】

【氏名】李柏廷

(72)【発明者】

【氏名】劉維虔

(72)【発明者】

【氏名】黄姿維

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－０７７１６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０２２６９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０２９４３２９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０２７３５３０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ６／２８

Ｂ６５Ｄ ８８／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

周縁部が互いに連結されると共に深さ方向に沿って配列されている少なくとも２つの本体モジュールであって、前記本体モジュールの両外側には２つの平行な第１のリブをそれぞれ有し、前記２つの平行な第１のリブは前記深さ方向に対し垂直になる高さ方向に沿って延伸し、前記本体モジュールの両外側には前記深さ方向に沿って延伸している２つの平行な第２のリブをそれぞれ有する、２つの本体モジュールと、
各前記本体モジュールの連結箇所を囲繞するように設置されている少なくとも１つのシール部材と、
最後端の前記本体モジュールの後側に設置されているバックパネルと、
を備え、
前記本体モジュールを掴んで回転させるためのグリッパーとして、前記２つの平行な第１のリブと前記２つの平行な第２のリブとは十字状になるように互いに垂直である、ことを特徴とするモジュール化した大型キャリア。

【請求項2】

前記バックパネル及び前記本体モジュールは一体に連結されていることを特徴とする請求項１に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項3】

前記バックパネルは透光性、部分的な透光性、または完全な非透光性のうちの１つを有していることを特徴とする請求項１に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項4】

これら前記本体モジュールはねじで螺合されるか互いに係合されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項5】

前記２つの平行な第２のリブには位置決め凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項6】

外向きの部分及び内向きの部分を有し、前記内向きの部分はこれら前記本体モジュールの底面に向けられている外底板と、
前記外向きの部分に取り外し可能に設けられ、凹部を各々有している複数の第１の補強部材と、
長い形状を呈し、前記外底板と前記本体モジュールの底面との間に互いに一定の距離を空けるように配列され、底部及び上部が前記外底板及び前記本体モジュールの底面にそれぞれ当接している複数の第２の補強部材と、をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項7】

前記第２の補強部材、前記外底板、及び前記本体モジュールの底面にはＨ形構造が形成されていることを特徴とする請求項６に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項8】

前記第１の補強部材は金属材料であることを特徴とする請求項６に記載のモジュール化した大型キャリア。

【請求項9】

前記第２の補強部材は金属材料または炭素繊維複合材料であることを特徴とする請求項６に記載のモジュール化した大型キャリア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、キャリアに関し、より詳しくは、モジュール化した大型キャリアに関する。

【背景技術】

【0002】

市場にある従来の大型キャリア（例えば、１２インチのウェハーキャリア）の材料はプラスチック射出成形されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

しかしながら、前述した従来の技術では、射出成形機にはサイズの制限があるため、500～800mmの大型キャリアは一体に射出成形できなかった。換言すれば、キャリアのサイズは製造レベルの制限を受け、さらなる大容量化は不可能であった。

【0004】

また、キャリアのサイズを大きくすると、本体の重量に被載置体の重量を加えたものがすぐに100kgを超えてしまい、キャリアのベースが支持力及び強度不足によりベースの平面が湾曲変形し、交換しなければならなくなった。これらの要因により大型キャリアのサイズが制限されている。

【0005】

そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に至った。

【0006】

本発明は、上記問題点に鑑みて本発明者の鋭意研究により成されたものであり、その目的は、モジュール化した大型キャリアを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明のある態様のモジュール化した大型キャリアは、
周縁部が互いに連結されると共に深さ方向に沿って配列されている少なくとも２つの本体モジュールと、
各前記本体モジュールの連結箇所を囲繞するように設置されている少なくとも１つのシール部材と、
最後端の前記本体モジュールの後側に設置されているバックパネルと、を備えている。

【0008】

本発明の好適例において、前記バックパネル及び前記本体モジュールは一体に連結されている。

【0009】

本発明の好適例において、前記バックパネルは透光性、部分的な透光性、または完全な非透光性のうちの１つを有している。

【0010】

本発明の好適例において、これら前記本体モジュールはねじで螺合されるか互いに係合される。

【0011】

本発明の好適例において、これら前記本体モジュールの両外側には前記深さ方向に沿って延伸している輸送通路をそれぞれ有している。

【0012】

本発明の好適例において、前記輸送通路には位置決め凹部が設けられている。

【0013】

本発明の好適例において、これら前記本体モジュールの両外側には縦方向の係合溝をそれぞれ有し、前記縦方向の係合溝は前記深さ方向に対し垂直になる高さ方向に沿って延伸している。

【0014】

前記本発明のモジュール化した大型キャリアにおいては、
外向きの部分及び内向きの部分を有し、前記内向きの部分はこれら前記本体モジュールの底面に向けられている外底板と、
前記外向きの部分に取り外し可能に設けられ、シュートを各々有している複数の補強スロットと、
長い形状を呈し、前記外底板と前記本体モジュールの底面との間に互いに一定の距離を空けるように配列され、底部及び上部が前記外底板及び前記本体モジュールの底面にそれぞれ当接している複数の補強部材と、をさらに備えている。

【0015】

本発明の好適例において、前記補強部材、前記外底板、及び前記本体モジュールの底面にはＨ形構造が形成されている。

【0016】

本発明の好適例において、前記補強スロットは金属材料である。

【0017】

本発明の好適例において、前記補強部材は金属材料または炭素繊維複合材料である。

【発明の効果】

【0018】

このように、本発明のモジュール化した大型キャリアによれば、従来のものでは射出成形機によりキャリアのサイズが制限されるという問題を克服し、深さ方向に継続的に拡張して被載置体の気密保存空間を広げている。モジュール化した大型キャリアのベースの強度をさらに強化し、長時間載置することで湾曲変形するのを回避し、部材交換にかかる時間を節約し、コストを効果的に削減し、且つモジュール化した大型キャリア全体の寿命を延ばす。

【0019】

本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係るモジュール化した大型キャリアを示す概略組立図である。

【図2】図１のＡ－Ａ線に沿う縦断面図である。

【図3】図１のB－B線に沿う横断面図である。

【図4】本発明の一実施形態に係るモジュール化した大型キャリアを示す概略外観図である。

【図5】本発明の一実施形態に係るモジュール化した大型キャリアの外底板が内向きの概略傾斜図である。

【図6】本発明の一実施形態に係るモジュール化した大型キャリアの外底板が外向きの概略傾斜図である。

【図7】本発明の一実施形態に係るモジュール化した大型キャリアの外底板を示す概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。

【0022】

まず、図１～３を参照しながら、本発明の実施形態に係るモジュール化した大型キャリア１００を詳しく説明する。
本発明の実施例に係るモジュール化した大型キャリア１００は、少なくとも２つの本体モジュール１と、少なくとも１つのシール部材２と、バックパネル３と、を備えている。

【0023】

本実施例では、少なくとも２つの本体モジュール１は第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２を備えている。第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２の周縁部は互いに固定されるように連結されていると共に深さ方向ｄに沿って配列されている。連結方式はねじによる螺合または係合部を設けて互いに係合するようにする。他の実施例では、モジュール化した大型キャリア１００はさらに多くの本体モジュール１を有し、例えば、第三本体モジュール及び第四本体モジュールが深さ方向ｄに沿って継続して組み合わせられ、この方式により大型キャリアの気密保存空間を形成している。

【0024】

シール部材２は各本体モジュール１（第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２参照）の連結箇所を囲繞するように設置され、第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２の結合箇所を気密に密封している。第三本体モジュール及び第四本体モジュール等のさらに多くの本体モジュール１を有している場合、シール部材２は各本体モジュール１の隣接箇所に設置される。シール部材２は例えば気密な粘着テープであるが、本発明はこれに限られない。

【0025】

バックパネル３は最後端の本体モジュール１の後側に設置されている。本実施例では、最後端の本体モジュール１は第二本体モジュール１２であり、よって、バックパネル３は第二本体モジュール１２に設置されている。本実施例では、バックパネル３及び第二本体モジュール１２は分離する２つの部材であり、よって、バックパネル３と第二本体モジュール１２との間にはそれらの結合箇所を気密に密封するためのシール部材２が設置されている。しかしながら、他の実施例では、バックパネル３は最後端の本体モジュール１の後側に一体成形され、即ち、バックパネル３及び最後端の本体モジュール１は射出成形方式で一体に連結される（例えば、第二本体モジュール１２及びバックパネル３は同じ射出部材である）。

【0026】

本発明に係るモジュール化した大型キャリア１００は、第一本体モジュール１１の前側（バックパネル３に対し）に設置されている前ドア（図示省略）をさらに有している。前ドア、各本体モジュール１、及びバックパネル３は射出されるプラスチック部材であるが、本発明はこれに限られない。

【0027】

本発明に係るモジュール化した大型キャリア１００は複数の本体モジュール１及びシール部材２の結合により、従来のものでは射出成形機によりキャリアのサイズが制限されるという問題を克服し、深さ方向に継続して拡張することで被載置体の気密保存空間を広げている。

【0028】

さらに、本実施例では、バックパネル３は透光性、部分的透光性、或いは完全な非透光性のうちの１つを有している。図１を参照すれば、バックパネル３は光透過領域３１を有している。光透過領域３１は透明または半透明であり、且つ透明の定義は検出用電磁放射によって定められている。換言すれば、光透過領域３１が電磁波を透過または半透過させることを透明または半透明と定義している。即ち、可視光に対して透明であることに限らず、赤外線や紫外線等の電磁放射に対し透明であってもよい。バックパネル３を透明または半透明材料で製造し、全体を光透過領域３１としてもよい。バックパネル３を他の非透光性材料で製造する場合、中空領域を残し、透明または半透明材料をはめ込んで光透過領域３１を形成してもよい。他の実施例では、バックパネル３は完全に非透光性であり、バックパネル３及び第二本体モジュール１２は同じ射出部材である。

【0029】

さらに、本実施例では、これら本体モジュール１の両外側には深さ方向ｄに沿って延伸している輸送通路７をそれぞれ有している。図４には第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２の一側にある輸送通路７のみ図示し、第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２は線対称であり、第一本体モジュール１１及び第二本体モジュール１２の他側にも同じ輸送通路７を有しているため、ここでは、重複する図示は省略する。輸送通路７は平行する２つのリブ７１を少なくとも備え、リブ７１は位置決め凹部７１１を有している。運搬用マシンアーム（図示省略）がモジュール化した大型キャリア１００を直立させて運搬する場合、運搬用マシンアームは輸送通路７により平行にスライドし、位置決め凹部７１１の箇所を接合して固定した後に運搬する。この際、輸送通路７のリブ７１は全体の重量を受ける面となる。

【0030】

本実施例では、これら本体モジュール１の両外側には縦方向の係合溝８をさらにそれぞれ有し、縦方向の係合溝８は深さ方向ｄに対し垂直になる高さ方向ｈに沿って延伸している。縦方向の係合溝８は平行する２つのリブ８１を少なくとも備えている。本発明に係るモジュール化した大型キャリアが90度回転すると、輸送通路７のリブ７１が重量を支えられなくなり（その延伸方向が重力方向に平行する）、このため運搬用マシンアームが縦方向の係合溝８を掴むように改変され、縦方向の係合溝８のリブ８１を反転させた後に重量を受ける面とする。

【0031】

さらに、本実施例では、モジュール化した大型キャリア１００は外底板４と、複数の補強スロット５と、複数の補強部材６と、をさらに備えている（図５乃至図７参照）。

【0032】

外底板４は外向きの部分４１及び内向きの部分４２を有している。外向きの部分４１はモジュール化した大型キャリア１００が外界及び機体と接触する外面である。相対的に、内向きの部分４２は各本体モジュール１の底面に向けられている。

【0033】

なお、図６に示すように、補強スロット５は外向きの部分４１に取り外し可能に設置され、これら補強スロット５はシュート５１を各々有している。シュート５１はモジュール化した大型キャリア１００と他の機体や装置との間の位置決めスライドレール機構とする。補強スロット５は交換可能であり、ロックや係合等の方式で外底板４の外向きの部分４１に固定されている。本実施例では、補強スロット５の数量は３つであるが、本発明はこれに限られない。

【0034】

図５と図７に示すように、補強部材６は長い形状を呈し、これら補強部材６は外底板４と各本体モジュール１の底面１１１、１２１との間に互いに一定の距離を空けるように配列され、各補強部材６の間の距離は等距離または不等距離であり、好ましくは平行するように配列されている。これら補強部材６の底部６１及び上部６２は外底板４及び各本体モジュール１の底面１１１、１２１にそれぞれ当接して（緊密に接触）Ｈ形構造（Ｈ形鋼）を形成している。この構造は剛軟度が高く、着脱が便利であり、モジュール化した大型キャリア１００のベースの強度を高め、長時間載置されても湾曲変形しにくい。また、補強スロット５により磨耗が減少し、摩損しても単独で交換可能であり、モジュール化した大型キャリア１００を全て交換する必要がなく、交換にかかる時間を節約し、コストを削減し、モジュール化した大型キャリア１００全体の寿命を延長する。

【0035】

さらに、本実施例では、補強スロット５は金属材料であるが、本発明はこれに限られず、補強スロット５は強度及び耐摩耗性が高い他の種類の材料でもよい。

【0036】

さらに、本実施例では、補強部材６は金属材料であるが、本発明はこれに限られず、補強部材６が強度が高く、質量が軽い他の種類の材料でもよく、例えば、炭素繊維複合材料でもよい。

【0037】

上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0038】

１００ モジュール化した大型キャリア
１ 本体モジュール
１１ 第一本体モジュール
１１１ 底面
１２ 第二本体モジュール
１２１ 底面
２ シール部材
３ バックパネル
３１ 光透過領域
４ 外底板
４１ 外向きの部分
４２ 内向きの部分
５ 補強スロット
５１ シュート
６ 補強部材
６１ 底部
６２ 上部
７ 輸送通路
７１ リブ
７１１ 位置決め凹部
８ 縦方向の係合溝
８１ リブ
Ａ-Ａ 線分
Ｂ-Ｂ 線分
ｄ 深さ方向
ｈ 高さ方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】