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特許7413343カーボンナノチューブデバイスの製造方法

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-04

(45)【発行日】2024-01-15

(54)【発明の名称】カーボンナノチューブデバイスの製造方法

(51)【国際特許分類】

H05B 3/14 20060101AFI20240105BHJP

H05B 3/03 20060101ALI20240105BHJP

C01B 32/168 20170101ALI20240105BHJP

【ＦＩ】

H05B3/14 F

H05B3/03

C01B32/168

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2021501959

(86)(22)【出願日】2020-02-14

(86)【国際出願番号】 JP2020005907

(87)【国際公開番号】W WO2020170991

(87)【国際公開日】2020-08-27

【審査請求日】2022-12-13

(31)【優先権主張番号】P 2019029258

(32)【優先日】2019-02-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005119

【氏名又は名称】日立造船株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110847

【弁理士】

【氏名又は名称】松阪正弘

(74)【代理人】

【識別番号】100136526

【弁理士】

【氏名又は名称】田中勉

(74)【代理人】

【識別番号】100136755

【弁理士】

【氏名又は名称】井田正道

(72)【発明者】

【氏名】井上鉄也

(72)【発明者】

【氏名】渡邊徹

(72)【発明者】

【氏名】増原直治

【審査官】根本徳子

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０１４６２１４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平０４－２５９７８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０１１６５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｂ３／１４

Ｈ０５Ｂ３／０３

Ｃ０１Ｂ３２／１６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一対の電極と、前記一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部と、を備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に延びる接続領域の両端に一対の電極を配置する工程と、
ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、
ｃ）周方向における前記接続領域の外側にて前記筒状中間体を切断し、前記筒状中間体のうち前記接続領域にて周方向に延びる部位である積層シート状のカーボンナノチューブ構造体により電気的に接続されている前記一対の電極間の抵抗を測定する工程と、
ｄ）前記ｃ）工程にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記カーボンナノチューブ構造体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、
ｅ）周方向における前記接続領域の外側にて前記カーボンナノチューブシートを切断することにより、前記接続領域にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部を形成する工程と、
ｆ）前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項2】

一対の電極と、前記一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部と、を備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置する工程と、
ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、
ｃ）前記一対の電極間の抵抗を測定する工程と、
ｄ）前記ｃ）工程にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記筒状中間体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、
ｅ）前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項3】

請求項２に記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ａ）工程において、前記一対の電極は周方向に１８０°離れた位置に配置され、
前記ｅ）工程は、
前記一対の電極のそれぞれの中央部にて前記カーボンナノチューブシート層および前記一対の電極を切断することにより、前記一対の電極間で周方向に延びる接続シート部を形成し、前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程、または、
前記一対の電極および筒状の前記カーボンナノチューブシート層を前記回転体から取り外し、前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定し、前記一対の電極間の前記カーボンナノチューブシート層を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、前記一対の電極間を接続する接続シート部を形成する工程、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項4】

請求項１ないし３のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ｄ）工程における前記カーボンナノチューブシートの巻回数が、
前記初期測定抵抗と、
前記カーボンナノチューブシートの積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報と、
に基づいて決定されることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項5】

一対の電極と、前記一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部と、を備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置する工程と、
ｂ）前記一対の電極間の抵抗を測定しつつ、前記回転体を回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回する工程と、
ｃ）前記ｂ）工程にて測定される抵抗が所定の抵抗に到達するまで前記ｂ）工程を継続することにより、前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を形成する工程と、
ｄ）前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項6】

請求項５に記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ａ）工程において、前記一対の電極は周方向に１８０°離れた位置に配置され、
前記ｄ）工程は、
前記一対の電極のそれぞれの中央部にて前記カーボンナノチューブシート層および前記一対の電極を切断することにより、前記一対の電極間で周方向に延びる接続シート部を形成し、前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程、または、
前記一対の電極および筒状の前記カーボンナノチューブシート層を前記回転体から取り外し、前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定し、前記一対の電極間の前記カーボンナノチューブシート層を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、前記一対の電極間を接続する接続シート部を形成する工程、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項7】

一対の電極と、前記一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部と、を備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に延びる接続領域の両端に一対の電極を配置するとともに、前記一対の電極の周方向外側にて前記接続領域および前記一対の電極を間に挟む位置に一対の測定用電極を配置する工程と、
ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上および前記一対の測定用電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、
ｃ）周方向における前記一対の測定用電極の外側にて前記筒状中間体を切断し、前記筒状中間体のうち前記一対の測定用電極の間にて周方向に延びる部位である積層シート状のカーボンナノチューブ構造体により電気的に接続されている前記一対の測定用電極間の抵抗を測定する工程と、
ｄ）前記ｃ）工程にて得られた測定値に基づいて求められる前記一対の電極間の抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記カーボンナノチューブ構造体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、
ｅ）周方向における前記接続領域の外側かつ前記一対の測定用電極の内側にて前記カーボンナノチューブシートを切断することにより、前記接続領域にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部を形成する工程と、
ｆ）前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項8】

一対の電極と、前記一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部と、を備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置するとともに、周方向に離れた位置に一対の測定用電極を配置する工程と、
ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上および前記一対の測定用電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、
ｃ）前記一対の測定用電極間の抵抗を測定する工程と、
ｄ）前記ｃ）工程にて得られた測定値に基づいて求められる前記一対の電極間の抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記筒状中間体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、
ｅ）前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項9】

請求項８に記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ａ）工程において、前記一対の電極は周方向に１８０°離れた位置に配置され、
前記ｅ）工程は、
前記一対の電極のそれぞれの中央部にて前記カーボンナノチューブシート層および前記一対の電極を切断することにより、前記一対の電極間で周方向に延びる接続シート部を形成し、前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程、または、
前記一対の電極および筒状の前記カーボンナノチューブシート層を前記回転体から取り外し、前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定し、前記一対の電極間の前記カーボンナノチューブシート層を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、前記一対の電極間を接続する接続シート部を形成する工程、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項10】

請求項７ないし９のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ｄ）工程における前記カーボンナノチューブシートの巻回数が、
前記初期測定抵抗と、
前記カーボンナノチューブシートの積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報と、
に基づいて決定されることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項11】

一対の電極と、前記一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部と、を備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置するとともに、周方向に離れた位置に一対の測定用電極を配置する工程と、
ｂ）前記一対の測定用電極間の抵抗を測定しつつ、前記回転体を回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上および一対の測定用電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回する工程と、
ｃ）前記ｂ）工程にて得られた測定値に基づいて求められる前記一対の電極間の抵抗が所定の抵抗に到達するまで前記ｂ）工程を継続することにより、前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を形成する工程と、
ｄ）前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項12】

請求項１１に記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ａ）工程において、前記一対の電極は周方向に１８０°離れた位置に配置され、
前記ｄ）工程は、
前記一対の電極のそれぞれの中央部にて前記カーボンナノチューブシート層および前記一対の電極を切断することにより、前記一対の電極間で周方向に延びる接続シート部を形成し、前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程、または、
前記一対の電極および筒状の前記カーボンナノチューブシート層を前記回転体から取り外し、前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定し、前記一対の電極間の前記カーボンナノチューブシート層を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、前記一対の電極間を接続する接続シート部を形成する工程、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項13】

請求項７ないし１２のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間において、前記一対の測定用電極上に粘着剤が付与されることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項14】

請求項１３に記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記粘着剤はペースト状のロジンであることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項15】

請求項１ないし４並びに請求項７ないし１０のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記ｂ）工程よりも前に、前記カーボンナノチューブシートの積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報に基づいて、前記目標抵抗に対応する目標巻回数が求められ、
前記初期巻回数は前記目標巻回数よりも少なく設定されることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項16】

請求項１ないし１５のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記回転体に巻回される前記カーボンナノチューブシートに対して接着剤が付与されることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【請求項17】

請求項１６に記載のカーボンナノチューブデバイスの製造方法であって、
前記接着剤は導電性添加材を含むことを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、カーボンナノチューブデバイスの製造方法に関する。

【0002】

［関連出願の参照］
本願は、２０１９年２月２１日に出願された日本国特許出願ＪＰ２０１９－０２９２５８からの優先権の利益を主張し、当該出願の全ての開示は、本願に組み込まれる。

【背景技術】

【0003】

近年、複数のカーボンナノチューブを様々な形状に成形し、ヒータやセンサ等の様々な製品に利用することが提案されている。例えば、特開２０１０－２５７９７１号公報（文献１）および特開２０１０－０３４０５６号公報（文献２）では、カーボンナノチューブを利用した面熱源が開示されている。文献１および文献２の面熱源は、所定数（例えば、１００層）のカーボンナノチューブフィルムを積層した加熱素子と、加熱素子の両端部に接続された２つの電極と、を備える。また、文献２の面熱源では、２つの電極がカーボンナノチューブフィルム積層体により形成され、加熱素子と２つの電極とが、カーボンナノチューブの接着性により互いに直接接着されることが開示されている。

【0004】

ところで、文献１および文献２の面熱源では、積層される各カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブの密度（いわゆる、繊維密度）のばらつきにより、同じ層数のカーボンナノチューブフィルムを積層した場合であっても、加熱素子の抵抗にばらつきが生じる。このため、所望の抵抗を有する面熱源を製造することは困難である。また、面熱源の大面積化も困難である。

【発明の概要】

【0005】

本発明は、一対の電極と、一対の電極間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部とを備えるカーボンナノチューブデバイスの製造方法に向けられており、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することを主な目的としている。

【0006】

本発明の好ましい一の形態に係るカーボンナノチューブデバイスの製造方法は、ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に延びる接続領域の両端に一対の電極を配置する工程と、ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、ｃ）周方向における前記接続領域の外側にて前記筒状中間体を切断し、前記筒状中間体のうち前記接続領域にて周方向に延びる部位である積層シート状のカーボンナノチューブ構造体により電気的に接続されている前記一対の電極間の抵抗を測定する工程と、ｄ）前記ｃ）工程にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記カーボンナノチューブ構造体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、ｅ）周方向における前記接続領域の外側にて前記カーボンナノチューブシートを切断することにより、前記接続領域にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部を形成する工程と、ｆ）前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程とを備える。本発明によれば、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。

【0007】

本発明の好ましい他の形態に係るカーボンナノチューブデバイスの製造方法は、ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置する工程と、ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、ｃ）前記一対の電極間の抵抗を測定する工程と、ｄ）前記ｃ）工程にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記筒状中間体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、ｅ）前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程とを備える。本発明によれば、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。

【0008】

好ましくは、前記ａ）工程において、前記一対の電極は周方向に１８０°離れた位置に配置される。前記ｅ）工程は、前記一対の電極のそれぞれの中央部にて前記カーボンナノチューブシート層および前記一対の電極を切断することにより、前記一対の電極間で周方向に延びる接続シート部を形成し、前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程、または、前記一対の電極および筒状の前記カーボンナノチューブシート層を前記回転体から取り外し、前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定し、前記一対の電極間の前記カーボンナノチューブシート層を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、前記一対の電極間を接続する接続シート部を形成する工程、を備える。

【0009】

好ましくは、前記ｄ）工程における前記カーボンナノチューブシートの巻回数が、前記初期測定抵抗と、前記カーボンナノチューブシートの積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報と、に基づいて決定される。

【0010】

本発明の好ましい他の形態に係るカーボンナノチューブデバイスの製造方法は、ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置する工程と、ｂ）前記一対の電極間の抵抗を測定しつつ、前記回転体を回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回する工程と、ｃ）前記ｂ）工程にて測定される抵抗が所定の抵抗に到達するまで前記ｂ）工程を継続することにより、前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を形成する工程と、ｄ）前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程とを備える。本発明によれば、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。

【0011】

好ましくは、前記ａ）工程において、前記一対の電極は周方向に１８０°離れた位置に配置される。前記ｄ）工程は、前記一対の電極のそれぞれの中央部にて前記カーボンナノチューブシート層および前記一対の電極を切断することにより、前記一対の電極間で周方向に延びる接続シート部を形成し、前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程、または、前記一対の電極および筒状の前記カーボンナノチューブシート層を前記回転体から取り外し、前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定し、前記一対の電極間の前記カーボンナノチューブシート層を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、前記一対の電極間を接続する接続シート部を形成する工程、を備える。

【0012】

本発明の好ましい他の形態に係るカーボンナノチューブデバイスの製造方法は、ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に延びる接続領域の両端に一対の電極を配置するとともに、前記一対の電極の周方向外側にて前記接続領域および前記一対の電極を間に挟む位置に一対の測定用電極を配置する工程と、ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上および前記一対の測定用電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、ｃ）周方向における前記一対の測定用電極の外側にて前記筒状中間体を切断し、前記筒状中間体のうち前記一対の測定用電極の間にて周方向に延びる部位である積層シート状のカーボンナノチューブ構造体により電気的に接続されている前記一対の測定用電極間の抵抗を測定する工程と、ｄ）前記ｃ）工程にて得られた測定値に基づいて求められる前記一対の電極間の抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記カーボンナノチューブ構造体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、ｅ）周方向における前記接続領域の外側かつ前記一対の測定用電極の内側にて前記カーボンナノチューブシートを切断することにより、前記接続領域にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部を形成する工程と、ｆ）前記接続シート部の両端部を前記一対の電極に固定する工程とを備える。本発明によれば、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。

【0013】

本発明の好ましい他の形態に係るカーボンナノチューブデバイスの製造方法は、ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置するとともに、周方向に離れた位置に一対の測定用電極を配置する工程と、ｂ）前記回転体を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上および前記一対の測定用電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記回転体の周囲において前記カーボンナノチューブシートが径方向に積層された筒状中間体を形成する工程と、ｃ）前記一対の測定用電極間の抵抗を測定する工程と、ｄ）前記ｃ）工程にて得られた測定値に基づいて求められる前記一対の電極間の抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、前記回転体を回転させることにより、前記カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回し、前記筒状中間体上に前記カーボンナノチューブシートを積層する工程と、ｅ）前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程とを備える。本発明によれば、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。

【0014】

【0015】

【0016】

本発明の好ましい他の形態に係るカーボンナノチューブデバイスの製造方法は、ａ）軸方向を向く回転軸を中心として回転可能な回転体の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極を配置するとともに、周方向に離れた位置に一対の測定用電極を配置する工程と、ｂ）前記一対の測定用電極間の抵抗を測定しつつ、前記回転体を回転させることにより、カーボンナノチューブシートを前記一対の電極上および一対の測定用電極上を通過させつつ前記外側面上に巻回する工程と、ｃ）前記ｂ）工程にて得られた測定値に基づいて求められる前記一対の電極間の抵抗が所定の抵抗に到達するまで前記ｂ）工程を継続することにより、前記一対の電極上に積層されたカーボンナノチューブシート層を形成する工程と、ｄ）前記カーボンナノチューブシート層を前記一対の電極に固定する工程とを備える。本発明によれば、所望の抵抗を有するカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。

【0017】

【0018】

好ましくは、前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間において、前記一対の測定用電極上に粘着剤が付与される。

【0019】

好ましくは、前記粘着剤はペースト状のロジンである。

【0020】

好ましくは、前記ｂ）工程よりも前に、前記カーボンナノチューブシートの積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報に基づいて、前記目標抵抗に対応する目標巻回数が求められ、前記初期巻回数は前記目標巻回数よりも少なく設定される。

【0021】

好ましくは、前記回転体に巻回される前記カーボンナノチューブシートに対して接着剤が付与される。

【0022】

好ましくは、前記接着剤は導電性添加材を含む。

【0029】

上述の目的および他の目的、特徴、態様および利点は、添付した図面を参照して以下に行うこの発明の詳細な説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】一の実施の形態に係るカーボンナノチューブヒータの側面図である。

【図2】カーボンナノチューブヒータの平面図である。

【図3】デバイス製造装置の側面図である。

【図4】デバイス製造装置の平面図である。

【図5】積層抵抗情報の一例を示す図である。

【図6】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの第１の例を示す図である。

【図7】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図8】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図9】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図10】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図11】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図12】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図13】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図14】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図15】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図16】接続シート部の電極への固定の流れを示す図である。

【図17】接続シート部の電極への固定の様子を示す図である。

【図18】接続シート部の電極への固定の様子を示す図である。

【図19】接続シート部の電極への固定の様子を示す図である。

【図20】接続シート部の電極への固定の様子を示す図である。

【図21】接続シート部の電極への固定の様子を示す図である。

【図22】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの第２の例を示す図である。

【図23】デバイス製造装置の側面図である。

【図24】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図25】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図26】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図27】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの第３の例を示す図である。

【図28】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの一部を示す図である。

【図29】デバイス製造装置の平面図である。

【図30】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの第４の例を示す図である。

【図31】デバイス製造装置の側面図である。

【図32】デバイス製造装置の平面図である。

【図33】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図34】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図35】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図36】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図37】製造途上のカーボンナノチューブヒータを示す図である。

【図38】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの第５の例を示す図である。

【図39】デバイス製造装置の側面図である。

【図40】カーボンナノチューブヒータの製造の流れの第６の例を示す図である。

【図41】デバイス製造装置の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

図１は、本発明の一の実施の形態に係るカーボンナノチューブヒータ１を示す側面図である。図２は、カーボンナノチューブヒータ１を示す平面図である。カーボンナノチューブヒータ１は、例えば、対象物の加熱に利用される比較的薄型のシート状ヒータである。図２に示す例では、カーボンナノチューブヒータ１の平面視における形状は、略矩形の帯状である。以下の説明では、図１中の左右方向を「長手方向」とも呼び、図１中の上下方向を単に「上下方向」とも呼ぶ。また、図２中の上下方向（すなわち、長手方向に垂直な方向）を、「幅方向」とも呼ぶ。なお、上述の上下方向は、実際の重量方向と一致しなくてもよい。

【0032】

カーボンナノチューブヒータ１は、カーボンナノチューブデバイス２と、収容部３１と、放熱部３４とを備える。カーボンナノチューブデバイス２、収容部３１および放熱部３４の平面視における形状はそれぞれ、例えば、長手方向に延びる略矩形の帯状である。なお、カーボンナノチューブヒータ１、カーボンナノチューブデバイス２、収容部３１および放熱部３４の平面視におけるそれぞれの形状は、必ずしも長手方向に長い略矩形である必要はなく、長手方向と幅方向との長さが略同じである略正方形であってもよく、幅方向に長い略矩形であってもよい。

【0033】

カーボンナノチューブデバイス２は、電力を供給されることにより発熱する略シート状の発熱体である。本明細書におけるシート状とは、縦横の長さに対して厚さが薄い形状を意味し、可撓性を有していても有していなくてもよい。また、本明細書におけるシート状とは、フィルム状と呼ばれる形状も含む概念である。カーボンナノチューブデバイス２は、接続シート部２１と、一対の電極２２と、支持シート部２３とを備える。一対の電極２２は、長手方向に離間して配置される。接続シート部２１および支持シート部２３は、一方の電極２２から他方の電極２２へと長手方向に延び、一対の電極２２を接続する。

【0034】

接続シート部２１は、導電性のシート部材である。接続シート部２１は、多数のカーボンナノチューブにより形成された可撓性を有するシート状のカーボンナノチューブ成形体である。具体的には、接続シート部２１は、複数のカーボンナノチューブシートが厚さ方向に積層された積層シート状のカーボンナノチューブ成形体である。接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシートの積層数は、カーボンナノチューブデバイス２に求められる性能により様々に変化するが、例えば１０層～１００層であり、本実施の形態では約４０層である。

【0035】

接続シート部２１の平面視における形状は、例えば、長手方向に延びる略矩形の帯状である。接続シート部２１の長手方向の長さ（以下、単に「長さ」とも呼ぶ。）は、カーボンナノチューブデバイス２に求められる性能により様々に変化するが、例えば１０ｍｍ～１０００ｍｍである。接続シート部２１の幅方向の幅（以下、単に「幅」とも呼ぶ。）も、カーボンナノチューブデバイス２に求められる性能により様々に変化するが、例えば１０ｍｍ～１０００ｍｍである。接続シート部２１の長手方向の両端部は、一対の電極２２にそれぞれ固定されて電気的に接続されている。換言すれば、接続シート部２１は、一対の電極２２の間にて長手方向に延びるとともに幅方向に広がる。接続シート部２１の長さおよび幅は、例えば、２００ｍｍおよび６０ｍｍである。また、接続シート部２１の長さおよび幅は、例えば、９４ｍｍおよび１８０ｍｍである。好ましくは、接続シート部２１は、対角線の長さが２００ｍｍ以上である略矩形状である。

【0036】

一対の電極２２はそれぞれ、幅方向に延びる略矩形帯状の薄板状部材である。各電極２２は、例えば銅（Ｃｕ）等により形成された金属箔である。各電極２２の厚さは、例えば２０μｍ～３００μｍであり、好ましくは５０μｍ～１００μｍである。図１に示す例では、各電極２２は、間に接続シート部２１の端部を挟んで２つ折りに折り畳まれて押圧されることにより、接続シート部２１と接続される。カーボンナノチューブデバイス２では、接続シート部２１により、一対の電極２２が電気的に接続される。

【0037】

支持シート部２３は、絶縁体により形成された可撓性を有する絶縁性のシート部材である。支持シート部２３は、例えば、ポリエステル、フッ素樹脂等の樹脂繊維により形成されたメッシュシートである。支持シート部２３の長手方向両端部は、例えば、接着剤により一対の電極２２の上面に固定されている。なお、支持シート部２３の材料および構造は、様々に変更されてよい。

【0038】

カーボンナノチューブデバイス２では、接続シート部２１を形成する多数のカーボンナノチューブは、例えば、長手方向に略平行に延びる。当該多数のカーボンナノチューブは、長手方向に対して傾斜する方向に延びていてもよい。当該多数のカーボンナノチューブは、略同じ方向に延びていてもよく、異なる方向に延びていてもよい。

【0039】

図１に例示するカーボンナノチューブデバイス２では、当該多数のカーボンナノチューブが、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）水溶液等を主成分とする接着剤により互いに接着され、さらに、支持シート部２３の下面に接着されている。当該接着剤は、エポキシ系、アクリル系またはシリコンゴム系の接着剤であってもよい。当該接着剤は、好ましくは、導電性添加材を含む。当該導電性添加材は、例えば、銀（Ａｇ）等の金属微粒子、グラフェン（具体的には、シート状グラフェンを粉砕した粉体）、ミルドファイバー、または、カーボンナノチューブの粉体である。当該導電性添加材の直径は、好ましくは１０μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ未満である。なお、上記接着剤は、導電性添加材を含んでいなくてもよい。

【0040】

収容部３１は、カーボンナノチューブデバイス２の全体を内部に収容して（すなわち、被覆して）固定する外装部材である。収容部３１は、可撓性を有する絶縁性のシート状部材である。収容部３１は、例えば、樹脂または弾性高分子材料により形成される。

【0041】

図１および図２に示す例では、収容部３１は、下部材３２と、上部材３３とを備える。下部材３２は、カーボンナノチューブデバイス２を下側から支持して被覆する。上部材３３は、カーボンナノチューブデバイス２を間に挟んで下部材３２の上面上に固定されることにより、カーボンナノチューブデバイス２を上側から被覆する。換言すれば、カーボンナノチューブデバイス２は、下部材３２と上部材３３とにより封止される。下部材３２は、例えば、剥離紙上にシリコン樹脂を膜状に塗布して硬化させることにより形成される。上部材３３は、例えば、下部材３２上にシリコン樹脂を膜状に塗布して硬化させることにより形成される。あるいは、下部材３２および／または上部材３３は、樹脂フィルムの表面に接着剤層が設けられたラミネートフィルム、または、シリコンシート等であってもよい。

【0042】

カーボンナノチューブヒータ１は、さらに、図示省略の一対の端子を備える。当該一対の端子は、収容部３１の内部において、一対の電極２２とそれぞれ電気的に接続される。また、当該一対の端子は、一対の電極２２から収容部３１を貫通して収容部３１の外部へと延びる。カーボンナノチューブデバイス２への電力の供給は、当該一対の端子を介して行われる。これにより、カーボンナノチューブデバイス２が発熱する。

【0043】

カーボンナノチューブヒータ１では、収容部３１は、必ずしもカーボンナノチューブデバイス２の全体を内部に収容する必要はなく、少なくとも接続シート部２１の全体を内部に収容していればよい。換言すれば、カーボンナノチューブヒータ１では、各電極２２の一部または全体が、収容部３１から外部に露出していてもよい。この場合、上述の一対の端子は省略され、収容部３１から露出している一対の電極２２に電線が直接的に接続されてもよい。

【0044】

放熱部３４は、収容部３１の外面に設けられるシート状（すなわち、膜状または薄板状）の部材である。図１に示す例では、放熱部３４は、収容部３１の上面（すなわち、上側の主面）に設けられる。放熱部３４は、例えば、収容部３１の上面に接着剤等で固定された金属箔等の金属製のシート状の部材である。当該金属として、例えば、アルミニウム（Ａｌ）や銅が利用可能である。放熱部３４は、例えば、収容部３１の上面に蒸着等により形成された金属製の薄膜であってもよい。放熱部３４は、接続シート部２１の主面に沿って、当該主面に略平行に広がる。放熱部３４は、接続シート部２１の主面に垂直な方向において、接続シート部２１の略全体と重なる。換言すれば、放熱部３４は、平面視において、接続シート部２１の略全体を覆う。放熱部３４の上面（すなわち、収容部３１と反対側の主面）は、カーボンナノチューブデバイス２の接続シート部２１からの熱を均等化して放熱する放熱面である。

【0045】

カーボンナノチューブヒータ１では、放熱部３４の温度を測定する温度センサ３６が設けられる。図１および図２に示す例では、温度センサ３６は、放熱部３４の周縁部に設けられる。温度センサ３６の取り付け位置は、放熱部３４上において様々に変更されてよい。温度センサ３６としては、例えば、電気式の測温抵抗体、熱電対またはサーミスタが利用可能である。カーボンナノチューブヒータ１では、温度センサ３６からの出力（すなわち、温度測定値等）に基づいたカーボンナノチューブヒータ１の温度制御や過熱防止が行われる。また、カーボンナノチューブヒータ１では、サーモスタットを用いたカーボンナノチューブヒータ１の温度制御や過熱防止が行われてもよい。この場合、サーモスタットに内蔵される温度により変化する部位（例えば、バイメタル型サーモスタットの場合、バイメタル）が上記温度センサに相当する。

【0046】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造について説明する。図３は、カーボンナノチューブデバイス２を製造するデバイス製造装置４の構成を示す側面図である。図４は、デバイス製造装置４を示す平面図である。図３では、図の理解を容易にするために、カーボンナノチューブシート９４および各電極２２の厚さを実際よりも厚く描いている。また、各電極２２に平行斜線を付す。図４では、図の理解を容易にするために、デバイス製造装置４の一部の構成の図示を省略している。

【0047】

デバイス製造装置４は、基板保持部４１と、回転体４２と、回転機構４３と、接着剤付与部４４と、押圧ローラ４５と、制御部４６とを備える。図３中において、基板保持部４１は、回転体４２の回転軸Ｊ１の左上に位置する。接着剤付与部４４および押圧ローラ４５は、回転軸Ｊ１の右上に位置する。

【0048】

基板保持部４１は、多数のカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイ９１が立設した基板９２の下面に接触し、基板９２を下側から保持する。基板９２は、例えば、平板状の薄板状部材である。基板９２は、例えば、シリコン基板、または、表面に二酸化ケイ素膜が設けられたステンレス鋼製の基板である。なお、基板９２は、可撓性を有する長尺の薄板状部材であってもよい。この場合、デバイス製造装置４には、基板９２のうち、カーボンナノチューブアレイ９１が剥離された部分を巻き取る回収部（例えば、回収ローラおよびモータ）が設けられることが好ましい。

【0049】

カーボンナノチューブアレイ９１は、例えば、鉄（Ｆｅ）等の触媒を利用した化学気相成長法（すなわち、ＣＶＤ法）により、基板９２の表面に対して所定の配向方向（本実施の形態では、略垂直）に配向する多数のカーボンナノチューブを基板９２上に成長させることにより形成される。カーボンナノチューブアレイ９１の形成は、他の様々な方法により行われてもよい。

【0050】

カーボンナノチューブアレイ９１の厚さ（すなわち、カーボンナノチューブアレイ９１に含まれるカーボンナノチューブの上下方向における長さ）は、例えば、５０μｍ～１０００μｍである。本実施の形態では、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さは、５０μｍ～５００μｍである。カーボンナノチューブアレイ９１の厚さは、例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（日本電子株式会社製）または非接触膜厚計（株式会社キーエンス製）により測定される。

【0051】

カーボンナノチューブアレイ９１では、例えば、１ｃｍ^２当たりに１０^９本～１０^１１本のカーボンナノチューブが存在する。隣接するカーボンナノチューブ間の距離は、例えば、１００ｎｍ～２００ｎｍである。各カーボンナノチューブの外径は、例えば、１０ｎｍ～３０ｎｍである。各カーボンナノチューブは、例えば、５層～１０層の多層カーボンナノチューブである。各カーボンナノチューブは、４層以下または１１層以上の多層カーボンナノチューブであってもよく、単層カーボンナノチューブであってもよい。

【0052】

カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度は、例えば、１０ｍｇ／ｃｍ^３～６０ｍｇ／ｃｍ^３である。好ましくは、カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度は、２０ｍｇ／ｃｍ^３～５０ｍｇ／ｃｍ^３である。カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度は、単位面積当たりのカーボンナノチューブアレイ９１の質量（すなわち、目付量）を、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さで除算することにより求められる。

【0053】

回転体４２は、図３中の紙面に垂直な方向（以下、「軸方向」とも呼ぶ。）を向く回転軸Ｊ１を中心とする略円柱状または略円筒状の部材である。回転体４２の外側面は、軸方向に平行に延びる略円筒面である。当該軸方向は、カーボンナノチューブデバイス２の幅方向に対応する方向であるため、「幅方向」とも呼ぶ。回転体４２の外側面上には、カーボンナノチューブヒータ１の支持シート部２３となる予定の絶縁性シート部材２３０（例えば、ポリエステル繊維で形成されたメッシュシート）が着脱可能に取り付けられている。絶縁性シート部材２３０は、例えば、回転体４２の外周面を、回転軸Ｊ１を中心とする周方向（以下、単に「周方向」とも呼ぶ。）の全周に亘って覆う。

【0054】

回転体４２の外側面上には一対の電極が配置される。回転体４２の外側面上には、複数組の一対の電極が配置されてもよい。本実施の形態では、回転体４２の外側面上に三対の電極が配置され、絶縁性シート部材２３０を介して回転体４２の外側面に着脱可能に取り付けられる。以下の説明では、第１の電極対の２つの電極に符号２２ａを付し、第２の電極対の２つの電極に符号２２ｂを付し、第３の電極対の２つの電極に符号２２ｃを付す。また、電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃを区別しない場合は、上記と同様、電極２２と呼ぶ。デバイス製造装置４では、後述するように、三対の電極２２の間にそれぞれ接続シート部２１が形成され、３つのカーボンナノチューブデバイス２が形成される。

【0055】

以下の説明では、回転体４２の外側面において、第１の電極対の２つの電極２２ａの間にて周方向に延びる領域、第２の電極対の２つの電極２２ｂの間にて周方向に延びる領域、および、第３の電極対の２つの電極２２ｃの間にて周方向に延びる領域をそれぞれ、「接続領域４２１」と呼ぶ。３つの接続領域４２１のうち、図３中において回転軸Ｊ１の左側に位置する接続領域４２１の周方向の両端には、一対の電極２２ａが配置される。また、回転軸Ｊ１の右下に位置する接続領域４２１の周方向の両端には、一対の電極２２ｂが配置される。回転軸Ｊ１の右上に位置する接続領域４２１の周方向の両端には、一対の電極２２ｃが配置される。

【0056】

回転体４２は、回転機構４３により、回転軸Ｊ１を中心として回転可能である。図３に示す例では、回転体４２は、図中における時計回りに回転する。回転機構４３は、例えば、回転体４２に接続された電動モータである。回転機構４３により回転体４２が回転することにより、基板９２上のカーボンナノチューブアレイ９１が図３中の左側から右側へと向かう方向（以下、「引出方向」と呼ぶ。）に引き出され、引出方向に延びるカーボンナノチューブシート９４が形成される。カーボンナノチューブシート９４の幅方向の幅は、カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向の幅と略同じである。図４に示す例では、カーボンナノチューブシート９４は、略矩形状である。カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４は、三対の電極２２上を通過しつつ、回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の外側面上において、カーボンナノチューブシート９４が、回転軸Ｊ１を中心とする径方向（以下、単に「径方向」とも呼ぶ。）に積層される。

【0057】

カーボンナノチューブシート９４は、複数のカーボンナノチューブにより形成されたシート状のカーボンナノチューブ成形体である。詳細には、カーボンナノチューブシート９４は、カーボンナノチューブアレイ９１から引出方向に引き出された複数のカーボンナノチューブ単糸が、幅方向に配列されるとともに互いに連結されてシート状成形体（ウェブ状成形体とも捉えられる。）となったものである。カーボンナノチューブ単糸とは、ファンデンワールス力等により、複数のカーボンナノチューブが長手方向に連続して接続された線状のカーボンナノチューブ成形体である。

【0058】

接着剤付与部４４は、回転体４２の外側面と径方向に対向する位置に配置される。接着剤付与部４４は、回転体４２の外側面上に巻回されたカーボンナノチューブシート９４に、上述の接着剤（好ましくは、導電性添加材を含む接着剤）を付与する。接着剤付与部４４は、例えば、回転体４２上のカーボンナノチューブシート９４に向けて、接着剤を噴霧するスプレーノズルである。あるいは、接着剤付与部４４は、回転体４２上のカーボンナノチューブシート９４に接触または近接して、接着剤を塗布するコータであってもよい。

【0059】

押圧ローラ４５は、上述の軸方向（すなわち、幅方向）を向く回転軸Ｊ２を中心とする略円柱状または略円筒状の部材であり、回転軸Ｊ２を中心として回転可能である。押圧ローラ４５の幅方向の幅は、カーボンナノチューブシート９４の幅方向の幅よりも大きい。押圧ローラ４５は、接着剤付与部４４よりも回転体４２の回転方向前側（すなわち、カーボンナノチューブシート９４の巻回方向の下流側）に位置し、回転体４２の外側面と径方向に対向する。押圧ローラ４５は、図示省略の押圧機構（例えば、電動シリンダまたはエアシリンダ）によって回転体４２に向けて押圧されることにより、接着剤が付与されたカーボンナノチューブシート９４を回転体４２の外側面に向けて押圧する。これにより、カーボンナノチューブシート９４は、回転体４２の外側面上に取り付けられた絶縁性シート部材２３０上に圧密される。回転体４２の回転軸Ｊ１と押圧ローラ４５の回転軸Ｊ２との間の径方向の距離は、上述の押圧機構により調節可能であり、回転体４２の回転中においても調節することができる。

【0060】

制御部４６は、プロセッサ、メモリ、入出力部およびバス等を備える通常のコンピュータシステムである。バスは、プロセッサ、メモリおよび入出力部を接続する信号回路である。メモリは、プログラムおよび各種情報を記憶する。プロセッサは、メモリに記憶されるプログラム等に従って、メモリ等を利用しつつ様々な処理（例えば、数値演算等）を実行する。入出力部は、操作者からの入力等を受け付け、他の構成（例えば、回転機構４３）への信号を出力する。当該コンピュータシステムが所定のプログラムに基づいて処理を行うことにより、制御部４６の各機能（例えば、記憶部および演算部）が実現される。制御部４６は、例えば、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ：Programmable Logic Controller）であってもよく、回路基板等であってもよい。なお、図４では、制御部４６の図示を省略している。

【0061】

制御部４６の記憶部には、カーボンナノチューブシート９４が厚さ方向に積層された積層体について、カーボンナノチューブシート９４の積層数と、当該積層体の抵抗との関係を示す積層抵抗情報が、予め格納されている。積層抵抗情報は、カーボンナノチューブヒータ１の製造よりも前に、実験等により予め取得される。積層抵抗情報は、当該積層体の抵抗そのものを情報として有していてもよく、当該積層体の抵抗を決定する所定のパラメータを情報として有していてもよい。

【0062】

本実施の形態では、積層抵抗情報は、カーボンナノチューブシート９４の積層数と、当該積層体の長手方向の単位長さ当たりの抵抗との関係を示す。図５に示すように、上記積層体の単位長さ当たりの抵抗は、カーボンナノチューブシート９４の積層数が増加するに従って漸次減少する。なお、当該積層体の長手方向の長さが変化すると単位長さ当たりの抵抗も変化する場合（例えば、積層体の長手方向の長さが増大すると、単位長さ当たりの抵抗が漸次減少する場合）、積層体の各長さに対応する積層抵抗情報が、制御部４６の記憶部に格納される。

【0063】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造の流れの第１の例について、図６を参照しつつ説明する。図７ないし図１５は、製造途上のカーボンナノチューブヒータ１を示す図である。

【0064】

カーボンナノチューブヒータ１が製造される際には、まず、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗として予め設定されている目標抵抗が、作業者により制御部４６に入力される。当該目標抵抗は、例えば１Ω～１００Ωであり、本実施の形態では２０Ωである。続いて、制御部４６の演算部により、当該目標抵抗に対応するカーボンナノチューブシート９４の積層数（すなわち、回転体４２に対する巻回数であり、以下、「目標巻回数」と呼ぶ。）が、積層抵抗情報に基づいて求められる。具体的には、例えば、予め設定されている接続シート部２１の長さに対応する積層抵抗情報が選択される。そして、当該積層抵抗情報において、目標抵抗を接続シート部２１の長さにより除算した値と対応する単位長さ当たりの抵抗が求められ、当該単位長さ当たりの抵抗に対応する積層数が目標巻回数として求められる。単位長さ当たりの抵抗を求める際には、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗が考慮されることが好ましい。

【0065】

上述のように、カーボンナノチューブシート９４では、カーボンナノチューブの密度（いわゆる、繊維密度）にばらつきが生じている可能性があるため、目標巻回数だけカーボンナノチューブシート９４を巻回したとしても、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗は必ずしも目標抵抗に等しくなるとは限らない。そこで、図６に例示する製造方法では、当該目標巻回数に基づいて、目標巻回数よりも少ない初期巻回数が演算部により設定される（ステップＳ１１）。初期巻回数は、目標巻回数よりも所定の巻回数（例えば１回転～２０回転であり、好ましくは１回転～９回転）だけ少ない巻回数とされる。

【0066】

続いて、図３および図４に示すように、回転体４２の外側面に絶縁性シート部材２３０が取り付けられ、絶縁性シート部材２３０上に三対の電極２２が取り付けられる。各一対の電極２２は、回転体４２の外側面において、上述の接続領域４２１の両端に配置される（ステップＳ１２）。各電極２２の上側の主面（すなわち、回転体４２の外側面に対向する主面である下面とは反対側の上面）上には、導電性ペーストが付与される。当該導電性ペーストは、例えば、低融点ハンダ、金属ペーストまたは導電性接着剤である。導電性接着剤は、例えば、上述の導電性添加材を含む接着剤である。なお、ステップＳ１２は、ステップＳ１１と並行して行われてもよく、ステップＳ１１よりも前に行われてもよい。

【0067】

ステップＳ１１およびステップＳ１２が終了すると、制御部４６により回転機構４３が制御され、回転体４２が上述の初期巻回数だけ回転される。これにより、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。換言すれば、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃのそれぞれの間にて、カーボンナノチューブシート９４が積層される。

【0068】

このとき、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。接着剤は、例えば、０．１質量％～１０質量％（好ましくは、１質量％～５質量％）のＰＶＡを含むＰＶＡ水溶液である。カーボンナノチューブシート９４に接着剤が付与されることにより、カーボンナノチューブシート９４を構成するカーボンナノチューブが凝集する。すなわち、当該接着剤は、カーボンナノチューブを凝集させる凝集剤でもある。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、当該外側面上の絶縁性シート部材２３０上に圧密される。

【0069】

デバイス製造装置４では、図７に示すように、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が初期巻回数に等しい積層数だけ径方向に積層された筒状中間体５１が形成される（ステップＳ１３）。図７では、三対の電極２２のうち、第１の電極対の２つの電極２２ａのみを示す。以下では、一対の電極２２ａ、および、当該一対の電極２２ａを備えるカーボンナノチューブデバイス２に注目して、その製造方法について説明する。なお、一対の電極２２ｂ、および、一対の電極２２ｃをそれぞれ備えるカーボンナノチューブデバイス２の製造についても同様である。図７に示すカーボンナノチューブシート９４の積層数は、図示の都合上、実際の積層数よりも少なく描いている。

【0070】

図８は、図７中の上側の電極２２ａの左下の端部（すなわち、長手方向の両端部のうち、他の電極２２ａと周方向に対向する側の端部）を、当該電極２２ａが設けられている位置における回転体４２の外側面の接線方向から見た図である。電極２２ａは、図８に示す長手方向の一方の端部に、電極２２ａの上側の主面２２１から、上方に立設する複数の凸部２２２を備える。回転体４２の外側面上に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、電極２２ａの上記一方の端部において、複数の凸部２２２の上端に沿って電極２２ａに接触する。また、電極２２ａの当該一方の端部以外の部位では、カーボンナノチューブシート９４は、電極２２ａの上側の主面２２１に接触する。図７中の下側の電極２２ａにおいても同様である。

【0071】

カーボンナノチューブシート９４の初期巻回数の巻回が終了すると、回転機構４３が停止される。そして、図９に示すように、筒状中間体５１が、周方向における接続領域４２１の外側にて切断される。具体的には、筒状中間体５１は、一対の電極２２ａの外側（すなわち、各電極２２ａを挟んで接続領域４２１と反対側の２つの切断位置）にて切断される。本実施の形態では、具体的な切断位置は、周方向にて隣接する電極２２ａと電極２２ｂとの間、電極２２ａと電極２２ｃとの間、および、電極２２ｂと電極２２ｃとの間の位置である。筒状中間体５１の切断は、例えば、カッター等の切断刃４７により行われる。なお、筒状中間体５１の切断は、一対の電極２２ａ上にて行われてもよい。

【0072】

続いて、図１０に示すように、一対の電極２２ａ間の抵抗が測定される（ステップＳ１４）。一対の電極２２ａには、筒状中間体５１のうち、接続領域４２１にて周方向に延びる部位である積層シート状のカーボンナノチューブ構造体５２の長手方向両端部が接触している。カーボンナノチューブ構造体５２の端部は、上述の導電性ペースト、および、接着剤付与部４４から付与された接着剤により、電極２２ａに仮固定されている。これにより、一対の電極２２ａは、カーボンナノチューブ構造体５２により電気的に接続される。当該抵抗の測定は、例えば、作業者がテスター等の抵抗測定装置４８を使用して行う。あるいは、抵抗測定装置４８がデバイス製造装置４に設けられており、ステップＳ１３の終了後、ステップＳ１４の抵抗測定が自動的に行われてもよい。

【0073】

ステップＳ１４にて測定された抵抗（以下、「初期測定抵抗」と呼ぶ。）は、制御部４６（図３参照）へと送られる。初期測定抵抗は、上述の目標抵抗以上である。初期測定抵抗が目標抵抗に略等しい場合、カーボンナノチューブシート９４の巻回が終了する。

【0074】

初期測定抵抗が目標抵抗よりも大きい場合、制御部４６の演算部により、初期測定抵抗と上述の積層抵抗情報とに基づいて、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗が目標抵抗に略等しくなるために必要なカーボンナノチューブシート９４の追加すべき巻回数（以下、「追加巻回数」と呼ぶ。）が決定される（ステップＳ１５）。具体的には、初期測定抵抗を接続シート部２１の長さにより除算した値と対応する単位長さ当たりの抵抗が求められ、当該当該単位長さ当たりの抵抗に対応する積層数（初期巻回数と同じである場合も、異なる場合もある。）と目標巻回数との差が、追加巻回数として求められる。

【0075】

追加巻回数が決定されると、制御部４６により回転機構４３が駆動され、回転体４２が追加巻回数だけ回転される。これにより、ステップＳ１３と同様に、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。デバイス製造装置４では、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃのそれぞれの間にて、図１１に示すように、カーボンナノチューブ構造体５２上にカーボンナノチューブシート９４が積層される（ステップＳ１６）。

【0076】

ステップＳ１６においても、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、カーボンナノチューブ構造体５２上に圧密される。

【0077】

カーボンナノチューブシート９４の追加巻回数の巻回が終了すると、回転機構４３が停止される。そして、図１２に示すように、カーボンナノチューブ構造体５２上のカーボンナノチューブシート９４が、周方向における一対の電極２２ａの外側（すなわち、各電極２２ａを挟んで接続領域４２１と反対側の２つの切断位置）にて切断される。具体的な切断位置は、例えば、各電極２２ａの複数の凸部２２２（図８参照）が設けられる端部とは反対側の端部と径方向に重なる位置である。これにより、接続領域４２１にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部２１が形成される（ステップＳ１７）。ステップＳ１７では、カーボンナノチューブシート９４を切断する際に、絶縁性シート部材２３０も共に切断される。これにより、接続領域４２１にて周方向に延びる支持シート部２３が形成される。カーボンナノチューブシート９４および絶縁性シート部材２３０の切断は、例えば、ステップＳ１４と同様のカッター等の切断刃４７により行われる。

【0078】

ステップＳ１７が終了すると、一対の電極２２ａ、接続シート部２１および支持シート部２３が回転体４２から取り外され、接続シート部２１の長手方向の両端部が、一対の電極２２ａに固定されることにより、カーボンナノチューブデバイス２が形成される（ステップＳ１８）。具体的には、図１３に示すように、電極２２ａの上側の主面２２１上に接続シート部２１の端部が仮固定されている状態で、一対の電極２２ａ、接続シート部２１および支持シート部２３が、回転体４２から取り外される。図１３は、一方の電極２２ａ近傍の部位を拡大して示す側面図である（図１４についても同様）。図１３に示す状態で、各電極２２ａに対する加熱が行われる。これにより、電極２２ａの変形が容易とされる。電極２２ａの加熱は、例えば、電極２２ａに対するレーザの照射により行われる。

【0079】

その後、各電極２２ａが、図１４に示すように、長手方向に略垂直な折り畳み線２２３にて２つ折りにされる。これにより、接続シート部２１の長手方向の端部が、電極２２ａにより図中の上下両側から挟持される。電極２２ａの長手方向の一方の端部に設けられている複数の凸部２２２は、接続シート部２１の長手方向の端部を厚さ方向に貫通し、電極２２ａの長手方向の他方の端部に接触する。そして、複数の凸部２２２は、当該他方の端部により押圧されて、電極２２ａの上記一方の端部に近づくように折れ曲がり、接続シート部２１の端部を電極２２ａの当該一方の端部との間に固定する。

【0080】

電極２２ａでは、ステップＳ１２において付与された導電性ペーストが硬化することにより、接続シート部２１と電極２２ａとの固定が強化される。また、ステップＳ１２において、電極２２ａに低融点ハンダが付与されている場合、ステップＳ１８において電極２２ａが２つ折りに折り畳まれた際に、電極２２ａが加熱された後、降温することにより、低融点ハンダが硬化し、接続シート部２１と電極２２ａとの固定が強化される。なお、ステップＳ１８では、２つ折りにされた電極２２ａにおいて、折り畳み線２２３の両側の部位をステイプラー等で機械的に固定することにより、接続シート部２１と電極２２ａとの固定がさらに強化されてもよい。あるいは、２つ折りにされた電極２２ａがさらに折り畳まれる（例えば、渦巻き状に折り畳まれる）ことにより、接続シート部２１と電極２２ａとの固定がさらに強化されてもよい。

【0081】

カーボンナノチューブデバイス２が形成されると、図１５に示すように、剥離紙３５上にシリコン樹脂を膜状に塗布して硬化させた収容部３１の下部材３２上に、カーボンナノチューブデバイス２が載置される。そして、下部材３２およびカーボンナノチューブデバイス２上にシリコン樹脂が膜状に塗布されて硬化されることにより、収容部３１の上部材３３が形成される。これにより、図３に示すように、カーボンナノチューブデバイス２が収容部３１の内部に収容され、カーボンナノチューブヒータ１が形成される（ステップＳ１９）。

【0082】

当該製造方法にて製造したカーボンナノチューブヒータ１に４０Ｖの電圧を供給することにより、５分で室温（約２０℃）から２５℃～１００℃程度に昇温することを確認した。当該温度は、カーボンナノチューブヒータ１を厚さ３ｍｍのアルミニウムパネルで挟み、当該アルミニウムパネル表面の温度を温度計で測定することにより取得した。なお、供給電圧や昇温速度、到達温度等は、カーボンナノチューブデバイス２のワット密度（Ｗ／ｃｍ^２）を変更することにより、様々に変更可能である。

【0083】

上述のカーボンナノチューブヒータ１の製造では、所定の配向方向に立設されたカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイ９１から、カーボンナノチューブシート９４が引き出されて回転体４２の外側面上に巻回されるが、これには限定されない。例えば、カーボンナノチューブシート９４は、デバイス製造装置４とは異なるカーボンナノチューブシート製造装置により予め形成され、デバイス製造装置４に設けられる供給ロールに予め巻き付けられていてもよい。この場合、デバイス製造装置４の回転体４２が回転することにより、当該供給ロールも回転し、カーボンナノチューブシート９４が供給ロールから繰り出されて供給される。上記カーボンナノチューブシート製造装置におけるカーボンナノチューブシート９４の製造は、様々な方法により行われてよい。例えば、カーボンナノチューブシート９４は、上述のようにカーボンナノチューブアレイから引き出されて形成されてもよく、押圧具等によりカーボンナノチューブアレイが所定方向に傾倒されることにより形成されてもよい。あるいは、カーボンナノチューブシート９４は、湿式抄紙法や含浸法等によりシート状の繊維にカーボンナノチューブをネットワーク状に分散させることにより形成されてもよい。また、カーボンナノチューブシート９４は、カーボンナノチューブワイヤを編むことにより形成されてもよい。後述するカーボンナノチューブヒータ１の他の製造方法においても同様である。

【0084】

以上に説明したように、カーボンナノチューブデバイス２は、一対の電極２２と、一対の電極２２間を接続するシート状のカーボンナノチューブ成形体である接続シート部２１と、を備える。カーボンナノチューブデバイス２の第１の製造方法は、一対の電極２２を配置する工程（ステップＳ１２）と、筒状中間体５１を形成する工程（ステップＳ１３）と、一対の電極２２間の抵抗を測定する工程（ステップＳ１４）と、カーボンナノチューブシート９４を積層する工程（ステップＳ１６）と、接続シート部２１を形成する工程（ステップＳ１７）と、接続シート部２１の両端部を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ１８）と、を備える。

【0085】

ステップＳ１２では、軸方向を向く回転軸Ｊ１を中心として回転可能な回転体４２の外側面において、周方向に延びる接続領域４２１の両端に一対の電極２２が配置される。ステップＳ１３では、回転体４２を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が径方向に積層された筒状中間体５１が形成される。

【0086】

ステップＳ１４では、周方向における接続領域４２１の外側にて筒状中間体５１が切断される。そして、積層シート状のカーボンナノチューブ構造体５２により電気的に接続されている一対の電極２２間の抵抗が測定される。カーボンナノチューブ構造体５２は、筒状中間体５１のうち、接続領域４２１にて周方向に延びる部位である。ステップＳ１６では、ステップＳ１４にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、回転体４２を回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、カーボンナノチューブ構造体５２上にカーボンナノチューブシート９４が積層される。ステップＳ１７では、周方向における接続領域４２１の外側にてカーボンナノチューブシート９４が切断されることにより、接続領域４２１にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部２１が形成される。

【0087】

当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、カーボンナノチューブシート９４におけるカーボンナノチューブの密度のばらつき等による影響を抑制して、所望の抵抗（すなわち、目標抵抗に略等しい抵抗）を有するカーボンナノチューブデバイス２を提供することができる。また、上記製造方法により、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。

【0088】

上述のように、カーボンナノチューブデバイス２の第１の製造方法は、ステップＳ１３よりも前に初期巻回数を設定する工程（ステップＳ１１）をさらに備えることが好ましい。ステップＳ１１では、カーボンナノチューブシート９４の積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報に基づいて、目標抵抗に対応する目標巻回数が求められる。そして、初期巻回数は、目標巻回数よりも少なく設定される。これにより、ステップＳ１３において筒状中間体５１を形成する際に、カーボンナノチューブシート９４を過剰に積層することを防止または抑制することができる。その結果、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を、目標抵抗に精度良く近づけることができる。後述するカーボンナノチューブデバイス２の第４の製造方法においても同様である。

【0089】

好ましくは、ステップＳ１６におけるカーボンナノチューブシート９４の巻回数（すなわち、追加巻回数）は、初期測定抵抗と、カーボンナノチューブシート９４の積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報と、に基づいて決定される（ステップＳ１５）。これにより、ステップＳ１６において積層されるべきカーボンナノチューブシート９４の積層数を精度良く決定することができる。その結果、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を、目標抵抗に精度良く近づけることができる。カーボンナノチューブデバイス２の第４の製造方法においても同様である。

【0090】

上述のように、カーボンナノチューブデバイス２の第１の製造方法では、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して接着剤が付与されることが好ましい。これにより、接続シート部２１の強度を増大することができる。その結果、接続シート部２１の破損（例えば、接続シート部２１の幅方向への割れ、または、接続シート部２１からのカーボンナノチューブの脱落等）を抑制することができる。より好ましくは、上記接着剤は導電性添加材を含む。これにより、接続シート部２１の導電性を増大させることができる。その結果、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシート９４の積層数を低減しつつ、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を目標抵抗に近づけることができる。したがって、カーボンナノチューブヒータ１を軽量化することができる。

【0091】

上述のように、カーボンナノチューブヒータ１は、上記カーボンナノチューブデバイス２と、収容部３１と、放熱部３４とを備えることが好ましい。カーボンナノチューブデバイス２は、電力が供給されることにより発熱する発熱体である。収容部３１は、カーボンナノチューブデバイス２の接続シート部２１を内部に収容する。これにより、接続シート部２１の破損をより一層抑制することができる。また、収容部３１は可撓性を有するため、カーボンナノチューブヒータ１の設置場所の選択の自由度を向上することができる。放熱部３４は、収容部３１の外面に設けられて、カーボンナノチューブデバイス２からの熱を均等化して放熱面から放熱する。これにより、カーボンナノチューブヒータ１による加熱対象の各部位における加熱の均一性を向上することができる。

【0092】

好ましくは、収容部３１は、接続シート部２１の主面に沿って広がるシート状の部材であり、放熱部３４は、収容部３１上において接続シート部２１の主面に平行に広がり、接続シート部２１の主面に垂直な方向において接続シート部２１全体と重なる。これにより、接続シート部２１における温度不均一を好適に抑制することができる。具体的には、接続シート部２１の中央部は、接続シート部２１の周縁部に比べて熱が逃げにくいため、カーボンナノチューブヒータ１の中央部の温度が周縁部の温度よりも高くなる傾向にあるが、上記放熱部３４により、接続シート部２１の中央部からの熱が周縁部へと伝達されやすくなるため、カーボンナノチューブヒータ１および接続シート部２１の全体において、温度分布の均一性を向上することができる。

【0093】

上述のように、接続シート部２１は、一対の電極２２間にて広がる矩形状であり、接続シート部２１の対角線の長さは２００ｍｍ以上であることが好ましい。接続シート部２１の対角線の長さが２００ｍｍ以上の場合、接続シート部２１の中央部と周縁部との温度差が比較的大きくなる。具体的には、当該温度差は、例えば１０℃以上となる。したがって、上述のように、接続シート部２１の温度分布の均一性を向上することができるカーボンナノチューブヒータ１の構造は、上記温度差が比較的大きいカーボンナノチューブヒータに特に適している。

【0094】

なお、接続シート部２１の長さ、幅および対角線長さが２００ｍｍ、６０ｍｍおよび２０９ｍｍであり、接続シート部２１の中央部の温度を約９２℃まで昇温させた場合、接続シート部２１の中央部と周縁部との温度差は約１４℃であった。また、接続シート部２１の長さ、幅および対角線長さが９４ｍｍ、１８０ｍｍおよび２０３ｍｍであり、接続シート部２１の中央部の温度を約９２℃まで昇温させた場合、接続シート部２１の中央部と周縁部との温度差は約２３℃であった。一方、接続シート部２１の長さ、幅および対角線長さが６２ｍｍ、１４５ｍｍおよび１５８ｍｍであり、接続シート部２１の中央部の温度を約９２℃まで昇温させた場合、接続シート部２１の中央部と周縁部との温度差は約９℃であった。

【0095】

上述のように、カーボンナノチューブヒータ１は、放熱部３４の温度を測定する温度センサ３６をさらに備えることが好ましい。上述のように、放熱部３４によりカーボンナノチューブヒータ１の温度均一性が向上するため、温度センサ３６の取り付け位置による測定温度差が生じることを抑制することができる。その結果、温度センサ３６の取り付け位置の自由度が向上するとともに、カーボンナノチューブヒータ１の温度を精度良く測定することができる。また、温度センサ３６から離れた位置で過熱等の異常が生じた場合であっても、当該異常を精度良く検出することができる。

【0096】

カーボンナノチューブデバイス２の第１の製造方法は、上述のように、接続シート部２１を形成する工程（ステップＳ１７）と、接続シート部２１の両端部を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ１８）と、を備える。ステップＳ１７では、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２の間にて積層されることにより、一対の電極２２の間にて長手方向に延びる積層シート状の接続シート部２１が形成される。一対の電極２２の各電極２２は板状である。ステップＳ１８において、各電極２２は、接続シート部２１の端部を間に挟んで折り畳まれる。当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗を低減することができる。

【0097】

上述のように、第１の製造方法では、ステップＳ１８よりも前の状態において、各電極２２は、長手方向の一方の端部に、各電極２２の主面２２１から立設する複数の凸部２２２を備えることが好ましい。そして、ステップＳ１８において、各電極２２は、長手方向に垂直な折り畳み線２２３にて２つ折りにされて接続シート部２１の端部を挟持し、複数の凸部２２２は、接続シート部２１の端部を貫通して各電極２２の長手方向の他方の端部に接触することが好ましい。これにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗をさらに低減することができる。

【0098】

上述のように、第１の製造方法では、ステップＳ１８よりも前に、各電極２２の主面２２１上に導電性ペーストが付与されることが好ましい。これにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗をより一層低減することができる。

【0099】

上述のように、第１の製造方法では、ステップＳ１８において、各電極２２が加熱されることが好ましい。これにより、電極２２が接続シート部２１に沿って変形しやすくなるため、電極２２と接続シート部２１とのより好適な接触を実現することができる。その結果、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗をさらに低減することができる。

【0100】

カーボンナノチューブデバイス２の製造では、電極２２に対する接続シート部２１の固定（ステップＳ１８）は、必ずしも、上記のように電極２２を折り畳むことにより行われる必要はなく、例えば、電極２２上に位置する接続シート部２１の端部を金属箔により覆い、当該金属箔と電極２２とを接合することにより、接続シート部２１が電極２２に固定されてもよい。また、電極２２に対する接続シート部２１の固定は、上記以外の他の固定方法により行われてもよい。

【0101】

以下、当該他の固定方法の例として、導電性の接続補具を用いた接続シート部２１の電極２２への固定について、図１６ないし図２１を参照しつつ説明する。図１６では、接続シート部２１の電極２２への固定の流れを示す図である。図１７ないし図２１は、接続シート部２１の端部近傍を示す図である。

【0102】

当該接続補具は、電極２２に対する接合特性が接続シート部２１よりも良好な材質および形状を有する。接合特性が良好とは、例えば、低融点ハンダ等により電極２２に溶着した場合の接合強度が高く、電極２２との接触抵抗が低いこと等を意味する。当該接続補具は、例えば、銅等の金属により形成される。

【0103】

接続補具を利用する固定方法では、まず、図１７に示すように、各電極２２に対応する接続シート部２１の端部に、レーザ照射等により、長手方向に平行なスリット２１１が形成される。これにより、接続シート部２１の端部が、幅方向に並ぶ複数の端部要素２１２に分割される。端部要素２１２の幅は、例えば１０ｍｍ～５０ｍｍである。続いて、複数の端部要素２１２のそれぞれを束ねることにより、図１８に示すように、複数の線状端部２１３が形成される（ステップＳ１８１）。線状端部２１３は、例えば、端部要素２１２を指で捻って収束させることにより形成される。なお、複数の線状端部２１３を形成する際には、必ずしもレーザ照射等によるスリットの形成は行われる必要はない。例えば、スリットが形成されていない接続シート部２１の端部において、当該端部の幅方向の一部を指で摘まんで捻ることにより、線状端部２１３が形成されてもよい。

【0104】

次に、複数の線状端部２１３がそれぞれ、複数の接続補具により挟持される（ステップＳ１８２）。図１９に示す例では、接続補具２４ａは板状部材である。ステップＳ１８２において、接続補具２４ａは、長手方向に略平行な折り畳み線にて、矢印の向く方向に２つ折りに折り畳まれ、線状端部２１３を側方（すなわち、幅方向の一方側）から挟んで固定する。

【0105】

図２０に示す例では、接続補具２４ｂは、中央部に貫通孔２４１を有する板状部材である。ステップＳ１８２において、線状端部２１３は、接続補具２４の貫通孔２４１に挿入された後、長手方向に対して所定の角度（例えば、略９０°）折り曲げられる。これにより、線状端部２１３が貫通孔２４１から抜けることが抑制される。接続補具２４ｂは、幅方向に略平行かつ貫通孔２４１上を通る折り畳み線にて、矢印の向く方向に２つ折りに折り畳まれ、貫通孔２４１から突出する線状端部２１３を挟んで固定する。

【0106】

図２１に示す例では、接続補具２４ｃは、筒状部材（例えば、円筒状部材）である。ステップＳ１８２において、線状端部２１３は、接続補具２４ｃの径方向内側に挿入される。接続補具２４ｃは、径方向に圧縮されることにより、内側に位置する線状端部２１３を挟んで固定する。接続補具２４ｃは、角筒状部材であってもよい。なお、以下の説明では、接続補具２４ａ～２４ｃを区別する必要がない場合、まとめて接続補具２４と呼ぶ。

【0107】

ステップＳ１８２が終了すると、複数の接続補具２４が電極２２に接合される（ステップＳ１８３）。接続補具２４の電極２２への接合は、例えば、低融点ハンダにより行われる。当該接合は、他の方法により行われてもよい。また、接続シート部２１の幅が比較的小さい場合、ステップＳ１８１では、接続シート部２１の端部の分割は行われず、接続シート部２１の端部全体が１つに束ねられて、１つの線状端部２１３が形成されてもよい。

【0108】

以上に説明したように、図１６ないし図２１に示す例では、接続シート部２１の両端部を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ１８）は、一対の電極２２の各電極２２に対応する接続シート部２１の端部を束ねて線状端部２１３を形成する工程（ステップＳ１８１）と、接続シート部２１よりも一対の電極２２との接合特性が良好な導電性の接続補具２４にて線状端部２１３を挟持する工程（ステップＳ１８２）と、接続補具２４を各電極２２に接合する工程（ステップＳ１８３）と、を備える。これにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗を低減することができる。

【0109】

図１９に示す好ましい例では、接続補具２４ａは板状部材である。ステップＳ１８２において、接続補具２４ａが、線状端部２１３を側方から挟んで折り畳まれることにより、線状端部２１３が固定される。これにより、接続シート部２１の端部を接続補具２４ａに容易かつ強固に固定することができる。

【0110】

図２０に示す好ましい例では、接続補具２４ｂは、貫通孔２４１を有する板状部材である。ステップＳ１８２において、線状端部２１３は接続補具２４ｂの貫通孔２４１に挿入される。また、接続補具２４ｂが、貫通孔２４１から突出する線状端部２１３を挟んで折り畳まれることにより、線状端部２１３が固定される。これにより、接続シート部２１の端部を接続補具２４ｂに容易かつ強固に固定することができる。

【0111】

図２１に示す好ましい例では、接続補具２４ｃは筒状部材である。ステップＳ１８２において、線状端部２１３は接続補具２４ｃの内側に挿入され、接続補具２４ｃが径方向に圧縮されることにより、線状端部２１３が固定される。これにより、接続シート部２１の端部を接続補具２４ｃに容易かつ強固に固定することができる。

【0112】

上述のように、ステップＳ１８１～Ｓ１８３の好ましい例では、ステップＳ１８１において、接続シート部２１の端部が幅方向に並ぶ複数の端部要素２１２に分割され、複数の端部要素２１２のそれぞれを束ねることにより複数の線状端部２１３が形成される。続いて、ステップＳ１８２において、複数の線状端部２１３が複数の接続補具２４によりそれぞれ挟持される。そして、ステップＳ１８３において、複数の接続補具２４が各電極２２に接合される。これにより、接続シート部２１の幅が広い場合であっても、接続シート部２１と電極２２とを好適に接合することができる。

【0113】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造の流れの第２の例について、図２２を参照しつつ説明する。図２２に例示する製造方法では、ステップＳ３２における一対の電極２２の配置が、図６のステップＳ１２における一対の電極２２の配置と異なる。また、ステップＳ３４における抵抗測定の際、および、ステップＳ３９における接続シート部２１の形成の際に、図６のステップＳ１４およびステップＳ１７とは異なり、カーボンナノチューブシート９４の切断が行われない。以下、図２２のステップＳ３１～Ｓ４０について具体的に説明する。なお、図２２のステップＳ３１，Ｓ３３，Ｓ３５～Ｓ３６，Ｓ４０は、図６のステップＳ１１，Ｓ１３，Ｓ１５～Ｓ１６，Ｓ１９と略同様であるため、説明を簡略化する。また、カーボンナノチューブヒータ１の収容部３１および放熱部３４の構造は、第１の例と略同様である。

【0114】

第２の例に係るカーボンナノチューブヒータ１の製造方法では、まず、ステップＳ１１と同様に、制御部４６の演算部において、カーボンナノチューブヒータ１の目標抵抗に対応する目標巻回数が積層抵抗情報に基づいて求められ、当該目標巻回数に基づいて、目標巻回数よりも少ない初期巻回数が設定される（ステップＳ３１）。

【0115】

続いて、回転体４２の外側面に絶縁性シート部材２３０が取り付けられ、絶縁性シート部材２３０上に一対の電極２２が取り付けられる。当該一対の電極２２は、図２３に示すように、周方向に１８０°離れた位置に配置される（ステップＳ３２）。各電極２２の上側の主面（すなわち、回転体４２の外側面に対向する主面である下面とは反対側の上面）上には、ステップＳ１２と同様に、上記導電性ペーストが付与される。なお、ステップＳ３２は、ステップＳ３１と並行して行われてもよく、ステップＳ３１よりも前に行われてもよい。

【0116】

ステップＳ３１およびステップＳ３２が終了すると、ステップＳ１３と同様に、回転体４２が上述の初期巻回数だけ回転され、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が初期巻回数に等しい積層数だけ径方向に積層された筒状中間体５１が形成される（ステップＳ３３）。

【0117】

ステップＳ３３では、上記と同様に、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、当該外側面上の絶縁性シート部材２３０上に圧密される。

【0118】

ステップＳ３３が終了すると、一対の電極２２間の抵抗が測定される（ステップＳ３４）。上述のように、ステップＳ３４では、筒状中間体５１の切断は行われない。ステップＳ３４にて測定された初期測定抵抗は、上述の目標抵抗以上である。初期測定抵抗が目標抵抗に略等しい場合、カーボンナノチューブシート９４の巻回が終了する。

【0119】

初期測定抵抗が目標抵抗よりも大きい場合、ステップＳ１５と同様に、初期測定抵抗と上述の積層抵抗情報とに基づいて、カーボンナノチューブシート９４の追加巻回数が、制御部４６の演算部により決定される（ステップＳ３５）。

【0120】

追加巻回数が決定されると、ステップＳ１６と同様に、回転体４２が追加巻回数だけ回転され、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、筒状中間体５１上にカーボンナノチューブシート９４が積層され、カーボンナノチューブシート層が形成される（ステップＳ３６）。ステップＳ３６においても、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、筒状中間体５１上に圧密される。

【0121】

ステップＳ３６が終了すると、図２４に示すように、一対の電極２２、および、一対の電極２２上に積層された筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に回転体４２から取り外される（ステップＳ３７）。

【0122】

ステップＳ３７が終了すると、カーボンナノチューブシート層５３が一対の電極２２に固定される（ステップＳ３８）。具体的には、電極２２上にカーボンナノチューブシート層５３が仮固定されている状態で電極２２が加熱され、図２５に示すように、長手方向に略垂直な折り畳み線２２３にて２つ折りにされる。これにより、カーボンナノチューブシート層５３の一部（すなわち、電極２２上に仮固定されている部位であり、接続シート部２１の長手方向の端部となる予定の部位）が、電極２２により図中の上下両側から挟持される。電極２２の長手方向の一方の端部に設けられている複数の凸部２２２は、カーボンナノチューブシート層５３を厚さ方向に貫通し、電極２２の長手方向の他方の端部に接触する。そして、複数の凸部２２２は、当該他方の端部により押圧されて、電極２２の上記一方の端部に近づくように折れ曲がり、カーボンナノチューブシート層５３を電極２２の当該一方の端部との間に固定する。

【0123】

電極２２では、ステップＳ３２において付与された導電性ペーストが硬化することにより、カーボンナノチューブシート層５３と電極２２との固定が強化される。また、ステップＳ３２において、電極２２に低融点ハンダが付与されている場合、ステップＳ３８において電極２２が２つ折りに折り畳まれた際に、電極２２が加熱された後、降温することにより、低融点ハンダが硬化し、カーボンナノチューブシート層５３と電極２２との固定が強化される。なお、ステップＳ３８では、２つ折りにされた電極２２において、折り畳み線２２３の両側の部位をステイプラー等で機械的に固定することにより、カーボンナノチューブシート層５３と電極２２との固定がさらに強化されてもよい。あるいは、２つ折りにされた電極２２がさらに折り畳まれる（例えば、渦巻き状に折り畳まれる）ことにより、カーボンナノチューブシート層５３と電極２２との固定がさらに強化されてもよい。

【0124】

ステップＳ３８が終了すると、一対の電極２２間の筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に厚さ方向に押圧されて平面状とされる。換言すれば、一対の電極２２間のカーボンナノチューブシート層５３が厚さ方向に押しつぶされる。これにより、図２６に示すように、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１および支持シート部２３が形成され、カーボンナノチューブデバイス２の形成が終了する（ステップＳ３９）。図２６に示す例では、接続シート部２１は、支持シート部２３の上下双方に支持シート部２３を挟んで設けられる。

【0125】

カーボンナノチューブデバイス２が形成されると、ステップＳ１９と同様に、カーボンナノチューブデバイス２が収容部３１の内部に収容される。これにより、カーボンナノチューブヒータ１（図１参照）が形成される（ステップＳ４０）。

【0126】

以上に説明したように、カーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法は、一対の電極２２を配置する工程（ステップＳ３２）と、筒状中間体５１を形成する工程（ステップＳ３３）と、一対の電極２２間の抵抗を測定する工程（ステップＳ３４）と、カーボンナノチューブシート９４を積層する工程（ステップＳ３６）と、一対の電極２２上に積層されたカーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ３８）と、を備える。

【0127】

ステップＳ３２では、軸方向を向く回転軸Ｊ１を中心として回転可能な回転体４２の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極２２が配置される。ステップＳ３３では、回転体４２を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が径方向に積層された筒状中間体５１が形成される。

【0128】

ステップＳ３６では、ステップＳ３４にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、回転体４２を回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、筒状中間体５１上にカーボンナノチューブシート９４が積層される。

【0129】

【0130】

好ましくは、ステップＳ３２において、一対の電極２２は周方向に１８０°離れた位置に配置される。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程は、一対の電極２２および筒状のカーボンナノチューブシート層５３を回転体４２から取り外し、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定し、一対の電極２２間のカーボンナノチューブシート層５３を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１を形成する工程（ステップＳ３７～Ｓ３９）を備える。これにより、カーボンナノチューブデバイス２を容易に形成することができる。また、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシートの積層数を容易に大きくすることができる。

【0131】

上述のように、カーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法は、第１の製造方法と同様に、ステップＳ３３よりも前に初期巻回数を設定する工程（ステップＳ３１）をさらに備えることが好ましい。ステップＳ３１では、カーボンナノチューブシート９４の積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報に基づいて、目標抵抗に対応する目標巻回数が求められる。そして、初期巻回数は、目標巻回数よりも少なく設定される。これにより、ステップＳ３３において筒状中間体５１を形成する際に、カーボンナノチューブシート９４を過剰に積層することを防止または抑制することができる。その結果、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を、目標抵抗に精度良く近づけることができる。後述するカーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法においても同様である。

【0132】

好ましくは、ステップＳ３６におけるカーボンナノチューブシート９４の巻回数は、第１の製造方法と同様に、初期測定抵抗と、カーボンナノチューブシート９４の積層数と抵抗との関係を示す積層抵抗情報と、に基づいて決定される（ステップＳ３５）。これにより、ステップＳ３６において積層されるべきカーボンナノチューブシート９４の積層数を精度良く決定することができる。その結果、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を、目標抵抗に精度良く近づけることができる。カーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法においても同様である。

【0133】

上述のように、カーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法では、第１の製造方法と同様に、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して接着剤が付与されることが好ましい。これにより、接続シート部２１の強度を増大することができる。その結果、接続シート部２１の破損（例えば、接続シート部２１の幅方向への割れ、または、接続シート部２１からのカーボンナノチューブの脱落等）を抑制することができる。より好ましくは、上記接着剤は導電性添加材を含む。これにより、接続シート部２１の導電性を増大させることができる。その結果、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシート９４の積層数を低減しつつ、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を目標抵抗に近づけることができる。したがって、カーボンナノチューブヒータ１を軽量化することができる。カーボンナノチューブデバイス２の第３ないし第６の製造方法においても同様である。

【0134】

上述のように、カーボンナノチューブヒータ１は、上述のカーボンナノチューブデバイス２と、収容部３１と、放熱部３４とを備えることが好ましい。カーボンナノチューブデバイス２は、電力が供給されることにより発熱する発熱体である。収容部３１は、カーボンナノチューブデバイス２の接続シート部２１を内部に収容する。これにより、接続シート部２１の破損をより一層抑制することができる。また、収容部３１は可撓性を有するため、カーボンナノチューブヒータ１の設置場所の選択の自由度を向上することができる。放熱部３４は、収容部３１の外面に設けられて、カーボンナノチューブデバイス２からの熱を均等化して放熱面から放熱する。これにより、カーボンナノチューブヒータ１による加熱対象の各部位における加熱の均一性を向上することができる。

【0135】

カーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法は、上述のように、接続シート部２１を形成する工程（ステップＳ３９）と、接続シート部２１の両端部を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ３８）と、を備える。ステップＳ３９では、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２の間にて積層されることにより、一対の電極２２の間にて長手方向に延びる積層シート状の接続シート部２１が形成される。一対の電極２２の各電極２２は板状である。ステップＳ３８において、各電極２２は、接続シート部２１の端部を間に挟んで折り畳まれる。当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗を低減することができる。

【0136】

上述のように、第２の製造方法では、第１の製造方法と同様に、ステップＳ３８よりも前の状態において、各電極２２は、長手方向の一方の端部に、各電極２２の主面２２１から立設する複数の凸部２２２を備えることが好ましい。そして、ステップＳ３８において、各電極２２は、長手方向に垂直な折り畳み線２２３にて２つ折りにされて接続シート部２１の端部を挟持し、複数の凸部２２２は、接続シート部２１の端部を貫通して各電極２２の長手方向の他方の端部に接触することが好ましい。当該接続シート部２１の端部とは、接続シート部２１となる予定のカーボンナノチューブシート層５３の一部である。これにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗をさらに低減することができる。

【0137】

上述のように、第２の製造方法では、第１の製造方法と同様に、ステップＳ３８よりも前に、各電極２２の主面２２１上に導電性ペーストが付与されることが好ましい。これにより、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗をより一層低減することができる。

【0138】

上述のように、第２の製造方法では、第１の製造方法と同様に、ステップＳ３８において、各電極２２が加熱されることが好ましい。これにより、電極２２が接続シート部２１となる予定のカーボンナノチューブシート層５３に沿って変形しやすくなるため、電極２２と接続シート部２１とのより好適な接触を実現することができる。その結果、接続シート部２１と電極２２との接触抵抗をさらに低減することができる。

【0139】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造の流れの第３の例について、図２７および図２８を参照しつつ説明する。図２７および図２８に例示する製造方法では、一対の電極２２間の抵抗が、カーボンナノチューブシート９４の巻回開始から継続的に測定される。このため、図２９に示すように、図２３に示すデバイス製造装置４に抵抗測定装置４８が設けられ、回転機構４３の回転軸に設けられたスリップリング４９を介して、各電極２２と電気的に接続される。なお、収容部３１および放熱部３４の構造は、第１および第２の製造方法と略同様である。

【0140】

第３の例に係るカーボンナノチューブヒータ１の製造方法では、まず、ステップＳ３２と同様に、回転体４２の外側面に絶縁性シート部材２３０が取り付けられ、絶縁性シート部材２３０上に一対の電極２２が取り付けられる。当該一対の電極２２は、図２９に示すように、周方向に１８０°離れた位置に配置される（ステップＳ５１）。各電極２２の上側の主面（すなわち、回転体４２の外側面に対向する主面である下面とは反対側の上面）上には、ステップＳ３２と同様に、上記導電性ペーストが付与される。

【0141】

続いて、回転体４２が回転されることにより、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される（ステップＳ５２）。ステップＳ５２では、ステップＳ３３と同様に、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４（図２３参照）から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５（図２３参照）により回転体４２の外側面に向けて押圧され、当該外側面上の絶縁性シート部材２３０上に圧密される。

【0142】

ステップＳ５２では、カーボンナノチューブシート９４の巻回は、抵抗測定装置４８による一対の電極２２間の抵抗の継続的な測定と並行して行われる。そして、抵抗測定装置４８により測定される抵抗が、所定の目標抵抗に到達するまでステップＳ５２が継続されることにより、一対の電極２２上に積層された筒状のカーボンナノチューブシート層５３が形成される（ステップＳ５３）。

【0143】

ステップＳ５２～Ｓ５３が終了すると、ステップＳ３７～Ｓ３９と同様に、一対の電極２２、および、一対の電極２２上に積層された筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に回転体４２から取り外され（ステップＳ５４）、カーボンナノチューブシート層５３が一対の電極２２に固定される（ステップＳ５５）。そして、一対の電極２２間の筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に厚さ方向に押圧されて平面状とされる。これにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１および支持シート部２３が形成され、カーボンナノチューブデバイス２の形成が終了する（ステップＳ５６）。

【0144】

第３の製造方法では、ステップＳ５４～Ｓ５６に代えて、ステップＳ６１～Ｓ６２が行われてもよい。この場合、一対の電極２２のそれぞれの長手方向略中央部にてカーボンナノチューブシート層５３、一対の電極２２および絶縁性シート部材２３０が切断される。これにより、一対の電極２２（をそれぞれ２分割したもの）間で周方向に延びる２つの接続シート部２１が形成される（ステップＳ６１）。そして、各接続シート部２１の両端部が、一対の電極２２（をそれぞれ２分割したもの）に固定されることにより、２つのカーボンナノチューブデバイス２が形成される（ステップＳ６２）。

【0145】

ステップＳ６２における接続シート部２１の固定は、例えば、図１３および図１４に示すように、接続シート部２１の端部を間に挟んで電極２２を折り畳むことにより行われてもよい。この場合、電極２２の複数の凸部２２２は、切断前の電極２２の長手方向両端部に設けられることが好ましい。あるいは、ステップＳ６２における接続シート部２１の固定は、図１９ないし図２１に示すように、接続補具２４ａ～２４ｃを用いて行われてもよい。

【0146】

カーボンナノチューブデバイス２が形成されると、ステップＳ４０と同様に、カーボンナノチューブデバイス２が収容部３１の内部に収容される。これにより、カーボンナノチューブヒータ１（図１参照）が形成される（ステップＳ５７）。

【0147】

以上に説明したように、カーボンナノチューブデバイス２の第３の製造方法は、一対の電極２２を配置する工程（ステップＳ５１）と、一対の電極２２間の抵抗を測定しつつカーボンナノチューブシート９４を巻回する工程（ステップＳ５２）と、カーボンナノチューブシート層５３を形成する工程（ステップＳ５３）と、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ５５）と、を備える。

【0148】

ステップＳ５１では、軸方向を向く回転軸Ｊ１を中心として回転可能な回転体４２の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極２２が配置される。ステップＳ５２では、回転体４２を回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。ステップＳ５３では、ステップＳ５２にて測定される抵抗が所定の抵抗（すなわち、目標抵抗に略等しい抵抗）に到達するまでステップＳ５２を継続することにより、一対の電極２２上に積層されたカーボンナノチューブシート層５３を形成する。

【0149】

当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、カーボンナノチューブシート９４におけるカーボンナノチューブの密度のばらつき等による影響を抑制して、所望の抵抗（すなわち、目標抵抗に略等しい抵抗）を有するカーボンナノチューブデバイス２を提供することができる。

【0150】

好ましくは、ステップＳ５１において、一対の電極２２は周方向に１８０°離れた位置に配置される。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程は、ステップＳ５４～Ｓ５６またはステップＳ６１～Ｓ６２を実施する工程を備える。

【0151】

ステップＳ５４～Ｓ５６では、ステップＳ５３の終了後、一対の電極２２および筒状のカーボンナノチューブシート層５３が回転体４２から取り外され、カーボンナノチューブシート層５３が一対の電極２２に固定される。そして、一対の電極２２間のカーボンナノチューブシート層５３が厚さ方向に押圧されて平面状とされることにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１が形成される。これにより、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。また、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシートの積層数を容易に大きくすることができる。

【0152】

ステップＳ６１～Ｓ６２では、一対の電極２２のそれぞれの中央部にてカーボンナノチューブシート層５３および一対の電極２２を切断することにより、一対の電極２２間で周方向に延びる接続シート部２１が形成される。そして、接続シート部２１の両端部は、一対の電極２２に固定される。これにより、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。切断後の電極２２を電極片と呼ぶと、ステップＳ６１～６２では、一対の電極片の間で周方向に延びる接続シート部２１が２組形成され、各接続シート部２１の両端部が一対の電極片に固定されることにより、略同形状の２つのカーボンナノチューブデバイス２が製造される。なお、ステップＳ６１では、一対の電極２２が切断されることなく、１つのカーボンナノチューブデバイス２の製造に使用されてもよい。後述するカーボンナノチューブデバイス２の第６の製造方法においても同様である。

【0153】

上述のように、カーボンナノチューブデバイス２の第３の製造方法では、第１および第２の製造方法と同様に、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して接着剤が付与されることが好ましい。これにより、接続シート部２１の強度を増大することができる。その結果、接続シート部２１の破損（例えば、接続シート部２１の幅方向への割れ、または、接続シート部２１からのカーボンナノチューブの脱落等）を抑制することができる。より好ましくは、上記接着剤は導電性添加材を含む。これにより、接続シート部２１の導電性を増大させることができる。その結果、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシート９４の積層数を低減しつつ、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗を目標抵抗に近づけることができる。したがって、カーボンナノチューブヒータ１を軽量化することができる。

【0154】

【0155】

カーボンナノチューブデバイス２の第３の製造方法では、一対の電極２２は、必ずしも周方向に１８０°離れた位置に配置される必要はない。例えば、一対の電極２２間の周方向の角度は、一方が１２０°であり、他方が２４０°であってもよい。この場合、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程では、上述のステップＳ６１～Ｓ６２（図２８参照）が実施される。これにより、接続シート部２１の長さが異なる２つのカーボンナノチューブデバイス２を並行して形成することができる。

【0156】

一対の電極２２間の周方向の角度が１８０°ではない場合、ステップＳ５２における抵抗測定では、カーボンナノチューブシート層５３における一対の電極２２の一方側の部位と他方側の部位との並列回路の合成抵抗が、抵抗測定装置４８により測定される。そして、カーボンナノチューブシート層５３の上記一方側の部位および他方側の部位の長さの比（すなわち、抵抗の比）を用いて、上記合成抵抗から、当該一方側の部位の抵抗、および他方側の部位の抵抗（すなわち、一対の電極２２間のそれぞれの抵抗）が、公知の算出方法により求められる。

【0157】

カーボンナノチューブデバイス２の第３の製造方法では、ステップＳ５１において、複数組の一対の電極２２が、回転体４２の外側面に配置されてもよい。複数組の一対の電極２２間の角度は、同じであってもよく、異なっていてもよい。この場合、ステップＳ５２における抵抗測定では、複数組の一対の電極２２から選択された２つの電極２２について、当該２つの電極２２間の並列回路の合成抵抗が測定され、各組の一対の電極２２間におけるカーボンナノチューブシート層５３の長さの比を用いて、当該合成抵抗から各組の一対の電極２２間の抵抗が求められる。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程では、各組の一対の電極２２について、上述のステップＳ６１～Ｓ６２（図２８参照）が実施される。これにより、複数のカーボンナノチューブデバイス２を並行して形成することができる。

【0158】

上述のカーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法では、第３の製造方法と同様に、ステップＳ３７～Ｓ３９（図２２参照）に代えて、図２８に示すステップＳ６１～Ｓ６２が行われてもよい。換言すれば、第２の製造方法において、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程は、ステップＳ３７～Ｓ３９またはステップＳ６１～Ｓ６２を実施する工程を備える。ステップＳ６１～Ｓ６２では、上述のように、一対の電極２２のそれぞれの中央部にてカーボンナノチューブシート層５３および一対の電極２２を切断することにより、一対の電極２２間で周方向に延びる接続シート部２１が形成される。そして、接続シート部２１の両端部は、一対の電極２２に固定される。これにより、カーボンナノチューブデバイス２を容易に形成することができる。詳細には、一対の電極片の間で周方向に延びる接続シート部２１が２組形成され、各接続シート部２１の両端部が一対の電極片に固定されることにより、略同形状の２つのカーボンナノチューブデバイス２が製造される。後述するカーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法においても同様である。

【0159】

カーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法では、第３の製造方法と同様に、一対の電極２２は、必ずしも周方向に１８０°離れた位置に配置される必要はない。例えば、一対の電極２２間の周方向の角度は、一方が１２０°であり、他方が２４０°であってもよい。この場合、ステップＳ３４における抵抗測定では、上述の並列回路の合成抵抗が測定され、当該合成抵抗から一対の電極２２間の抵抗が求められる。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程では、上述のステップＳ６１～Ｓ６２（図２８参照）が実施される。これにより、接続シート部２１の長さが異なる２つのカーボンナノチューブデバイス２を並行して形成することができる。

【0160】

カーボンナノチューブデバイス２の第２の製造方法では、第３の製造方法と同様に、ステップＳ５１において、複数組の一対の電極２２が、回転体４２の外側面に配置されてもよい。複数組の一対の電極２２間の角度は、同じであってもよく、異なっていてもよい。この場合、ステップＳ５２における抵抗測定では、複数組の一対の電極２２から選択された２つの電極２２について、当該２つの電極２２間の並列回路の合成抵抗が測定され、当該合成抵抗から各組の一対の電極２２間の抵抗が求められる。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程では、各組の一対の電極２２について、上述のステップＳ６１～Ｓ６２（図２８参照）が実施される。これにより、複数のカーボンナノチューブデバイス２を並行して形成することができる。

【0161】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造の流れの第４の例について、図３０を参照しつつ説明する。第４の製造方法は、後述するように、電極２２とは別の測定用電極が使用される点を除き、上述の第１の製造方法に類似している。第４の製造方法によりカーボンナノチューブヒータ１が製造される際には、まず、ステップＳ１１（図６参照）と同様に、カーボンナノチューブデバイス２の目標抵抗が図３１に示す制御部４６に入力され、当該目標抵抗に対応するカーボンナノチューブシート９４の目標巻回数が、積層抵抗情報に基づいて求められる。そして、当該目標巻回数に基づいて、目標巻回数よりも所定の巻回数だけ少ない初期巻回数が設定される（ステップＳ７１）。

【0162】

続いて、図３１および図３２に示すデバイス製造装置４において、ステップＳ１２と同様に、回転体４２の外側面に絶縁性シート部材２３０が取り付けられる。そして、絶縁性シート部材２３０上に三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ、および、三対の測定用電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃが取り付けられる（ステップＳ７２）。電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃの形状は、上述のものと同じである。一対の電極２２ａ、一対の電極２２ｂおよび一対の電極２２ｃはそれぞれ、接続領域４２１の両端に配置される。測定用電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃは、例えば、回転体４２の回転軸Ｊ１に略平行に延びる略帯状である。

【0163】

一対の測定用電極２５ａは、周方向に離れた位置に配置される。一対の測定用電極２５ｂ、および、一対の測定用電極２５ｃについても同様である。図３１および図３２に示す例では、一対の測定用電極２５ａは、一対の電極２２ａの周方向外側にて、一対の電極２２ａ間の接続領域４２１、および、一対の電極２２ａを間に挟む位置に配置される。好ましくは、一対の測定用電極２５ａは一対の電極２２ａに近接して配置される。一対の測定用電極２５ｂは、一対の電極２２ｂの周方向外側にて、一対の電極２２ｂ間の接続領域４２１、および、一対の電極２２ｂを間に挟む位置に配置される。好ましくは、一対の測定用電極２５ｂは一対の電極２２ｂに近接して配置される。一対の測定用電極２５ｃは、一対の電極２２ｃの周方向外側にて、一対の電極２２ｃ間の接続領域４２１、および、一対の電極２２ｃを間に挟む位置に配置される。好ましくは、一対の測定用電極２５ｃは一対の電極２２ｃに近接して配置される。以下の説明では、上述のように、電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃをまとめて「電極２２」とも呼ぶ。また、測定用電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃをまとめて「測定用電極２５」とも呼ぶ。ステップＳ７２では、電極２２の配置、および、測定用電極２５の配置は、いずれが先に行われてもよく、並行して行われてもよい。

【0164】

各電極２２上には、上述のように、導電性ペースト（例えば、導電性添加材を含む接着剤）が付与される。各測定用電極２５上には、粘着剤が付与される。粘着剤は、好ましくは絶縁性ペーストである。当該絶縁性ペーストとして、好ましくは、ペースト状のロジン（例えば、粉末状のロジンをアルコール等の溶媒に溶かしたもの）が使用される。なお、ステップＳ７２は、ステップＳ７１と並行して行われてもよく、ステップＳ７１よりも前に行われてもよい。

【0165】

ステップＳ７１およびステップＳ７２が終了すると、ステップＳ１３と同様に、回転体４２が上述の初期巻回数だけ回転される。これにより、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃおよび三対の測定用電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃ上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。換言すれば、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃのそれぞれの間にて、カーボンナノチューブシート９４が積層される。

【0166】

回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４には、上述のように、導電性添加材を含む接着剤が、接着剤付与部４４により付与される。これにより、カーボンナノチューブシート９４を構成するカーボンナノチューブが凝集する。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、当該外側面上の絶縁性シート部材２３０上に圧密される。

【0167】

デバイス製造装置４では、図３３に示すように、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が初期巻回数に等しい積層数だけ径方向に積層された筒状中間体５１が形成される（ステップＳ７３）。図３３では、三対の電極２２および三対の測定用電極２５のうち、一対の電極２２ａおよび一対の測定用電極２５ａを示す。以下では、一対の電極２２ａを備えるカーボンナノチューブデバイス２に注目して、その製造方法について説明する。なお、一対の電極２２ｂ、および、一対の電極２２ｃをそれぞれ備えるカーボンナノチューブデバイス２の製造についても同様である。図３３に示すカーボンナノチューブシート９４の積層数は、図示の都合上、実際の積層数よりも少なく描いている。

【0168】

カーボンナノチューブシート９４の初期巻回数の巻回が終了すると、回転機構４３が停止される。そして、図３４に示すように、筒状中間体５１が、周方向における一対の測定用電極２５ａの外側の２つの切断位置にて切断される。具体的には、筒状中間体５１は、電極２２ａおよび測定用電極２５ａの接続領域４２１とは反対側の切断位置にて切断される。本実施の形態では、具体的な切断位置は、周方向にて隣接する測定用電極２５ａと測定用電極２５ｂとの間、測定用電極２５ａと測定用電極２５ｃとの間、および、測定用電極２５ｂと測定用電極２５ｃとの間の位置である。筒状中間体５１の切断は、例えば、カッター等の切断刃４７により行われる。

【0169】

続いて、図３５に示すように、一対の測定用電極２５ａ間の抵抗が測定される（ステップＳ７４）。一対の測定用電極２５ａには、筒状中間体５１のうち、一対の測定用電極２５ａの間にて周方向に延びる部位である積層シート状のカーボンナノチューブ構造体５２の長手方向両端部が接触している。カーボンナノチューブ構造体５２の端部は、上述の粘着剤（例えば、ペースト状のロジン）、および、接着剤付与部４４から付与された接着剤により、測定用電極２５ａに仮固定されている。これにより、一対の測定用電極２５ａは、カーボンナノチューブ構造体５２により電気的に接続される。また、粘着剤が、カーボンナノチューブ構造体５２を構成する多数のカーボンナノチューブの間隙に染み込み、カーボンナノチューブ構造体５２を測定用電極２５ａ上に引き寄せる等して、カーボンナノチューブ構造体５２と測定用電極２５ａとの間の接触抵抗を低減する。当該抵抗の測定は、例えば、作業者がテスター等の抵抗測定装置４８を使用して行う。あるいは、抵抗測定装置４８がデバイス製造装置４に設けられており、ステップＳ７３の終了後、ステップＳ７４の抵抗測定が自動的に行われてもよい。

【0170】

ステップＳ７４にて得られた測定値は、制御部４６（図３１参照）へと送られる。制御部４６では、当該測定値に基づいて、一対の電極２２ａ間の抵抗である初期測定抵抗が求められる。初期測定抵抗は、例えば、一対の測定用電極２５ａ間の周方向の距離に対する一対の電極２２ａ間の周方向の距離の割合を、上記測定値に対して乗算することにより求められる。また、電極２２ａと測定用電極２５ａとの間の距離が小さい場合等、上記測定値が初期測定抵抗とされてもよい。初期測定抵抗は、上述の目標抵抗以上である。初期測定抵抗が目標抵抗に略等しい場合、カーボンナノチューブシート９４の巻回が終了する。

【0171】

初期測定抵抗が目標抵抗よりも大きい場合、ステップＳ１５と同様に、制御部４６の演算部により、初期測定抵抗と上述の積層抵抗情報とに基づいて、カーボンナノチューブデバイス２の抵抗が目標抵抗に略等しくなるために必要なカーボンナノチューブシート９４の追加巻回数が決定される（ステップＳ７５）。

【0172】

追加巻回数が決定されると、制御部４６により回転機構４３が制御され、回転体４２が追加巻回数だけ回転される。これにより、ステップＳ７３と同様に、カーボンナノチューブシート９４が、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ上および三対の測定用電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃ上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。デバイス製造装置４では、三対の電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃのそれぞれの間にて、図３６に示すように、カーボンナノチューブ構造体５２上にカーボンナノチューブシート９４が積層される（ステップＳ７６）。ステップＳ７６においても、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、カーボンナノチューブ構造体５２上に圧密される。なお、ステップＳ７５では、ステップＳ７４にて得られた測定値に基づいて、作業者により追加巻回数が求められてもよい。また、ステップＳ７６では、回転機構４３が作業者により操作され、回転体４２が追加巻回数だけ回転されてもよい。

【0173】

カーボンナノチューブシート９４の追加巻回数の巻回が終了すると、回転機構４３が停止される。そして、図３７に示すように、カーボンナノチューブ構造体５２上のカーボンナノチューブシート９４が、周方向に隣接する電極２２ａと測定用電極２５ａとの間の切断位置にて切断される。カーボンナノチューブシート９４は、電極２２ａ上にて切断されてもよい。換言すれば、カーボンナノチューブシート９４は、周方向における接続領域４２１の外側、かつ、一対の測定用電極２５ａの内側に位置する２つの切断位置にて切断される。これにより、接続領域４２１にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部２１が形成される（ステップＳ７７）。ステップＳ７７では、カーボンナノチューブシート９４を切断する際に、絶縁性シート部材２３０（図３１および図３２参照）も共に切断される。これにより、接続領域４２１にて周方向に延びる支持シート部２３が形成される。カーボンナノチューブシート９４および絶縁性シート部材２３０の切断は、例えば、ステップＳ７４と同様のカッター等の切断刃４７により行われる。

【0174】

ステップＳ７７が終了すると、ステップＳ１８と同様に、一対の電極２２ａ、接続シート部２１および支持シート部２３が回転体４２から取り外され、接続シート部２１の長手方向の両端部が、一対の電極２２ａに固定されることにより、カーボンナノチューブデバイス２が形成される（ステップＳ７８）。そして、ステップＳ１９と同様に、カーボンナノチューブデバイス２が収容部３１の内部に収容され、カーボンナノチューブヒータ１が形成される（ステップＳ７９）。

【0175】

なお、回転体４２の外側面に配置される電極２２および測定用電極２５の数は、三対には限定されず、一対または二対、あるいは、四対以上であってもよい。

【0176】

以上に説明したように、カーボンナノチューブデバイス２の第４の製造方法は、一対の電極２２を配置するとともに、一対の測定用電極２５を配置する工程（ステップＳ７２）と、筒状中間体５１を形成する工程（ステップＳ７３）と、一対の測定用電極２５間の抵抗を測定する工程（ステップＳ７４）と、カーボンナノチューブシート９４を積層する工程（ステップＳ７６）と、接続シート部２１を形成する工程（ステップＳ７７）と、接続シート部２１の両端部を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ７８）と、を備える。

【0177】

ステップＳ７２では、軸方向を向く回転軸Ｊ１を中心として回転可能な回転体４２の外側面において、周方向に延びる接続領域４２１の両端に一対の電極２２が配置される。また、一対の測定用電極２５は、一対の電極２２の周方向外側にて、接続領域４２１および一対の電極２２を間に挟む位置に配置される。ステップＳ７３では、回転体４２を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上および一対の測定用電極２５上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が径方向に積層された筒状中間体５１が形成される。

【0178】

ステップＳ７４では、周方向における一対の測定用電極２５の外側にて筒状中間体５１が切断される。そして、積層シート状のカーボンナノチューブ構造体５２により電気的に接続されている一対の測定用電極２５間の抵抗が測定される。カーボンナノチューブ構造体５２は、筒状中間体５１のうち、一対の測定用電極２５の間にて周方向に延びる部位である。ステップＳ７６では、ステップＳ７４にて得られた測定値に基づいて求められる一対の電極２２間の抵抗である初期測定抵抗が、所定の目標抵抗よりも大きい場合、回転体４２を回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、カーボンナノチューブ構造体５２上にカーボンナノチューブシート９４が積層される。ステップＳ７７では、周方向における接続領域４２１の外側かつ一対の測定用電極２５の内側にてカーボンナノチューブシート９４が切断されることにより、接続領域４２１にて周方向に延びる積層シート状の接続シート部２１が形成される。

【0179】

当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、上記第１の製造方法と同様に、カーボンナノチューブシート９４におけるカーボンナノチューブの密度のばらつき等による影響を抑制して、所望の抵抗（すなわち、目標抵抗に略等しい抵抗）を有するカーボンナノチューブデバイス２を提供することができる。また、上記製造方法により、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。上述のように、一対の測定用電極２５は一対の電極２２に近接して配置されることが好ましい。これにより、一対の電極２２間の抵抗を、さらに精度良く求めることができる。

【0180】

上述のように、第４の製造方法では、ステップＳ７２とステップＳ７３との間において、一対の測定用電極２５上に粘着剤が付与されることが好ましい。これにより、カーボンナノチューブ構造体５２と測定用電極２５とを好適に接触させ、カーボンナノチューブ構造体５２と測定用電極２５との間の接触抵抗を低減することができる。その結果、ステップＳ７４における抵抗測定の精度を向上することができる。また、上記粘着剤は、ペースト状のロジンであることがさらに好ましい。これにより、上記接触抵抗をさらに好適に低減することができる。なお、第４の製造方法では、粉末状のロジンが測定用電極２５に付与され、後工程においてアルコール等の溶媒が噴霧されることにより、ロジンが溶媒に溶けてペースト状となってもよい。後述するカーボンナノチューブデバイス２の第５および第６の製造方法においても同様である。

【0181】

上述のように、カーボンナノチューブデバイス２の第４の製造方法では、カーボンナノチューブデバイス２を構成する電極２２とは別の測定用電極２５を利用して抵抗測定が行われるため、抵抗測定に係る構成の設計自由度（例えば、測定用電極２５の形状や配置）を向上することができる。また、上述のように、測定用電極２５はカーボンナノチューブデバイス２には含まれないため、カーボンナノチューブデバイス２の品質や寿命等への影響を考慮することなく、測定用電極２５に上記ロジン等を付与して接触抵抗を低減することができる。カーボンナノチューブデバイス２の第５および第６の製造方法においても同様である。

【0182】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造の流れの第５の例について、図３８を参照しつつ説明する。第５の製造方法は、後述するように、電極２２とは別の測定用電極が使用される点を除き、上述の第２の製造方法に類似している。カーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法では、まず、ステップＳ３１（図２２参照）と同様に、カーボンナノチューブヒータ１の目標抵抗に対応する目標巻回数が積層抵抗情報に基づいて求められ、当該目標巻回数に基づいて、目標巻回数よりも少ない初期巻回数が設定される（ステップＳ８１）。

【0183】

続いて、図３９に示すように、デバイス製造装置４において、回転体４２の外側面に絶縁性シート部材２３０が取り付けられ、絶縁性シート部材２３０上に一対の電極２２、および、一対の測定用電極２５が取り付けられる（ステップＳ８２）。当該一対の電極２２は、周方向に１８０°離れた位置に配置される。一対の測定用電極２５も、周方向に１８０°離れた位置に配置される。なお、一対の測定用電極２５間の周方向の角度は、必ずしも１８０°である必要はない。図３９に例示するように、一対の測定用電極２５は、一対の電極２２に近接して配置されることが好ましい。ステップＳ３２と同様に、各電極２２上には上記導電性ペーストが付与される。また、ステップＳ７２と同様に、各測定用電極２５上には、上述の粘着剤（例えば、ペースト状のロジン）が付与される。なお、ステップＳ８２は、ステップＳ８１と並行して行われてもよく、ステップＳ８１よりも前に行われてもよい。

【0184】

ステップＳ８１およびステップＳ８２が終了すると、ステップＳ３３と同様に、回転体４２が上述の初期巻回数だけ回転され、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、一対の電極２２上および一対の測定用電極２５上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が初期巻回数に等しい積層数だけ径方向に積層された筒状中間体５１が形成される（ステップＳ８３）。

【0185】

ステップＳ８３では、上記と同様に、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、当該外側面上の絶縁性シート部材２３０上に圧密される。

【0186】

ステップＳ８３が終了すると、一対の測定用電極２５間の抵抗が測定される（ステップＳ８４）。ステップＳ８４では、筒状中間体５１の切断は行われない。ステップＳ８４にて得られた測定値は、制御部４６へと送られる。制御部４６では、当該測定値に基づいて、一対の電極２２間の抵抗である初期測定抵抗が求められる。上述のように、一対の電極２２間の周方向の角度、および、一対の測定用電極２５間の周方向の角度が共に１８０°である場合、上記測定値が初期測定抵抗とされる。また、一対の測定用電極２５間の周方向の角度が１８０°ではない場合、上述のステップＳ３４，Ｓ５２と略同様に、上述の並列回路の合成抵抗が測定され、当該合成抵抗から一対の測定用電極２５間の抵抗が求められる。そして、一対の測定用電極２５間の周方向の距離に対する一対の電極２２間の周方向の距離の割合を、上記一対の測定用電極２５間の抵抗に対して乗算することにより、初期測定抵抗が求められる。初期測定抵抗は、上述の目標抵抗以上である。初期測定抵抗が目標抵抗に略等しい場合、カーボンナノチューブシート９４の巻回が終了する。

【0187】

初期測定抵抗が目標抵抗よりも大きい場合、ステップＳ３５と同様に、初期測定抵抗と上述の積層抵抗情報とに基づいて、カーボンナノチューブシート９４の追加巻回数が決定される（ステップＳ８５）。

【0188】

追加巻回数が決定されると、ステップＳ３６と同様に、回転体４２が追加巻回数だけ回転され、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、一対の電極２２上および一対の測定用電極２５上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、筒状中間体５１上にカーボンナノチューブシート９４が積層され、カーボンナノチューブシート層が形成される（ステップＳ８６）。ステップＳ８６においても、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５により回転体４２の外側面に向けて押圧され、筒状中間体５１上に圧密される。

【0189】

ステップＳ８６が終了すると、一対の測定用電極２５が回転体４２から取り外される。そして、ステップＳ３７と同様に、一対の電極２２、および、一対の電極２２上に積層された筒状のカーボンナノチューブシート層５３（図２４参照）が、絶縁性シート部材２３０と共に回転体４２から取り外される（ステップＳ８７）。

【0190】

ステップＳ８７が終了すると、ステップＳ３８と同様に、カーボンナノチューブシート層５３が一対の電極２２に固定される（ステップＳ８８）。そして、ステップＳ３９と同様に、一対の電極２２間の筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に厚さ方向に押圧されて平面状とされる。換言すれば、一対の電極２２間のカーボンナノチューブシート層５３が厚さ方向に押しつぶされる。これにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１および支持シート部２３が形成され、カーボンナノチューブデバイス２の形成が終了する（ステップＳ８９）。その後、ステップＳ４０と同様に、カーボンナノチューブデバイス２が収容部３１の内部に収容される。これにより、カーボンナノチューブヒータ１（図１参照）が形成される（ステップＳ９０）。

【0191】

以上に説明したように、カーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法は、一対の電極２２を配置するとともに一対の測定用電極２５を配置する工程（ステップＳ８２）と、筒状中間体５１を形成する工程（ステップＳ８３）と、一対の測定用電極２５間の抵抗を測定する工程（ステップＳ８４）と、カーボンナノチューブシート９４を積層する工程（ステップＳ８６）と、一対の電極２２上に積層されたカーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ８８）と、を備える。

【0192】

ステップＳ８２では、軸方向を向く回転軸Ｊ１を中心として回転可能な回転体４２の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極２２が配置されるとともに、周方向に離れた位置に一対の測定用電極２５が配置される。ステップＳ８３では、回転体４２を初期巻回数だけ回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上および一対の測定用電極２５上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、回転体４２の周囲においてカーボンナノチューブシート９４が径方向に積層された筒状中間体５１が形成される。

【0193】

ステップＳ８６では、ステップＳ８４にて測定された抵抗である初期測定抵抗が所定の目標抵抗よりも大きい場合、回転体４２を回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。これにより、筒状中間体５１上にカーボンナノチューブシート９４が積層される。

【0194】

当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、上記第２の製造方法と同様に、カーボンナノチューブシート９４におけるカーボンナノチューブの密度のばらつき等による影響を抑制して、所望の抵抗（すなわち、目標抵抗に略等しい抵抗）を有するカーボンナノチューブデバイス２を提供することができる。また、上記製造方法により、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。一対の測定用電極２５は、上述のように、一対の電極２２に近接して配置されることが好ましい。これにより、一対の電極２２間の抵抗を、さらに精度良く求めることができる。

【0195】

好ましくは、ステップＳ８２において、一対の電極２２は周方向に１８０°離れた位置に配置される。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程は、一対の電極２２および筒状のカーボンナノチューブシート層５３を回転体４２から取り外し、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定し、一対の電極２２間のカーボンナノチューブシート層５３を厚さ方向に押圧して平面状とすることにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１を形成する工程（ステップＳ８７～Ｓ８９）を備える。これにより、カーボンナノチューブデバイス２を容易に形成することができる。また、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシートの積層数を容易に大きくすることができる。

【0196】

上述のカーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法では、第２の製造方法と同様に、ステップＳ８７～Ｓ８９（図３８参照）に代えて、図２８に示すステップＳ６１～Ｓ６２が行われてもよい。換言すれば、第５の製造方法において、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程は、ステップＳ８７～Ｓ８９またはステップＳ６１～Ｓ６２を実施する工程を備える。ステップＳ６１～Ｓ６２では、上述のように、一対の電極２２のそれぞれの中央部にてカーボンナノチューブシート層５３および一対の電極２２を切断することにより、一対の電極２２間で周方向に延びる接続シート部２１が形成される。そして、接続シート部２１の両端部は、一対の電極２２に固定される。これにより、カーボンナノチューブデバイス２を容易に形成することができる。

【0197】

カーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法では、第２の製造方法と同様に、一対の電極２２は、必ずしも周方向に１８０°離れた位置に配置される必要はない。この場合、ステップＳ８４における抵抗測定では、上述の一対の測定用電極２５間の抵抗の測定値に基づいて、一対の電極２２の一方側および他方側の抵抗がそれぞれ求められる。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程では、上述のステップＳ６１～Ｓ６２（図２８参照）が実施される。これにより、接続シート部２１の長さが異なる２つのカーボンナノチューブデバイス２を並行して形成することができる。後述するカーボンナノチューブデバイス２の第６の製造方法においても同様である。

【0198】

カーボンナノチューブデバイス２の第５の製造方法では、第２の製造方法と同様に、ステップＳ８１において、複数組の一対の電極２２が、回転体４２の外側面に配置されてもよい。複数組の一対の電極２２間の角度は、同じであってもよく、異なっていてもよい。この場合、ステップＳ８４における抵抗測定では、上述の一対の測定用電極２５間の抵抗の測定値に基づいて、各組の一対の電極２２間の抵抗が求められる。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程では、各組の一対の電極２２について、上述のステップＳ６１～Ｓ６２（図２８参照）が実施される。これにより、複数のカーボンナノチューブデバイス２を並行して形成することができる。カーボンナノチューブデバイス２の第６の製造方法においても同様である。

【0199】

次に、カーボンナノチューブヒータ１の製造の流れの第６の例について、図４０を参照しつつ説明する。第６の製造方法は、後述するように、電極２２とは別の測定用電極が使用される点を除き、上述の第３の製造方法に類似している。カーボンナノチューブデバイス２の第６の製造方法では、まず、図４１に示すデバイス製造装置４において、回転体４２の外側面に絶縁性シート部材２３０が取り付けられ、絶縁性シート部材２３０上に一対の電極２２および一対の測定用電極２５が取り付けられる（ステップＳ１０１）。当該一対の電極２２は、周方向に１８０°離れた位置に配置される。一対の測定用電極２５も、周方向に１８０°離れた位置に配置される。なお、一対の測定用電極２５間の周方向の角度は、必ずしも１８０°である必要はない。図４１に例示するように、一対の測定用電極２５は、一対の電極２２に近接して配置されることが好ましい。ステップＳ５１と同様に、各電極２２上には上記導電性ペーストが付与される。また、ステップＳ７２と同様に、各測定用電極２５上には、上述の粘着剤（例えば、ペースト状のロジン）が付与される。

【0200】

続いて、ステップＳ５２と同様に、回転体４２が回転されることにより、カーボンナノチューブアレイ９１から引き出されたカーボンナノチューブシート９４が、一対の電極２２上および一対の測定用電極２５上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される（ステップＳ１０２）。ステップＳ１０２では、ステップＳ５２と同様に、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４に対して、接着剤付与部４４（図３９参照）から、上述の導電性添加材を含む接着剤が付与される。また、回転体４２に巻回されるカーボンナノチューブシート９４は、押圧ローラ４５（図３９参照）により回転体４２の外側面に向けて押圧され、当該外側面上の絶縁性シート部材２３０上に圧密される。

【0201】

ステップＳ１０２では、カーボンナノチューブシート９４の巻回は、抵抗測定装置４８による一対の測定用電極２５間の抵抗の継続的な測定と並行して行われる。そして、抵抗測定装置４８により得られた測定値に基づいて、一対の電極２２間の抵抗が継続的に求められる。一対の測定用電極２５間の抵抗の測定値から一対の電極２２間の抵抗を求める方法は、上述のステップＳ８４と同様である。そして、一対の電極２２間の抵抗が所定の目標抵抗に到達するまでステップＳ１０２が継続されることにより、一対の電極２２上に積層された筒状のカーボンナノチューブシート層５３が形成される（ステップＳ１０３）。

【0202】

ステップＳ１０２～Ｓ１０３が終了すると、ステップＳ８７～Ｓ８９と同様に、一対の測定用電極２５が回転体４２から取り外される。また、一対の電極２２、および、一対の電極２２上に積層された筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に回転体４２から取り外され（ステップＳ１０４）、カーボンナノチューブシート層５３が一対の電極２２に固定される（ステップＳ１０５）。そして、一対の電極２２間の筒状のカーボンナノチューブシート層５３が、絶縁性シート部材２３０と共に厚さ方向に押圧されて平面状とされる。これにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１および支持シート部２３が形成され、カーボンナノチューブデバイス２の形成が終了する（ステップＳ１０６）。

【0203】

第６の製造方法では、ステップＳ１０４～Ｓ１０６に代えて、図２８に示すステップＳ６１～Ｓ６２が行われてもよい。この場合、上述のように、一対の電極２２のそれぞれの長手方向略中央部にてカーボンナノチューブシート層５３、一対の電極２２および絶縁性シート部材２３０が切断される。これにより、一対の電極２２間で周方向に延びる２つの接続シート部２１が形成される（ステップＳ６１）。そして、各接続シート部２１の両端部が、一対の電極２２に固定されることにより、２つのカーボンナノチューブデバイス２が形成される（ステップＳ６２）。

【0204】

カーボンナノチューブデバイス２が形成されると、ステップＳ５７と同様に、カーボンナノチューブデバイス２が収容部３１の内部に収容される。これにより、カーボンナノチューブヒータ１（図１参照）が形成される（ステップＳ１０７）。

【0205】

以上に説明したように、カーボンナノチューブデバイス２の第６の製造方法は、一対の電極２２を配置するとともに一対の測定用電極２５を配置する工程（ステップＳ１０１）と、一対の測定用電極２５間の抵抗を測定しつつカーボンナノチューブシート９４を巻回する工程（ステップＳ１０２）と、カーボンナノチューブシート層５３を形成する工程（ステップＳ１０３）と、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程（ステップＳ１０５）と、を備える。

【0206】

ステップＳ１０１では、軸方向を向く回転軸Ｊ１を中心として回転可能な回転体４２の外側面において、周方向に離れた位置に一対の電極２２が配置され、周方向に離れた位置に一対の測定用電極２５が配置される。ステップＳ１０２では、回転体４２を回転させることにより、カーボンナノチューブシート９４が一対の電極２２上および一対の測定用電極２５上を通過しつつ回転体４２の外側面上に巻回される。ステップＳ１０３では、ステップＳ１０２にて得られた測定値に基づいて求められる一対の電極２２間の抵抗が所定の抵抗に到達するまでステップＳ１０２を継続することにより、一対の電極２２上に積層されたカーボンナノチューブシート層５３が形成される。

【0207】

当該製造方法にてカーボンナノチューブデバイス２を製造することにより、上記第３の製造方法と同様に、カーボンナノチューブシート９４におけるカーボンナノチューブの密度のばらつき等による影響を抑制して、所望の抵抗（すなわち、目標抵抗に略等しい抵抗）を有するカーボンナノチューブデバイス２を提供することができる。また、上記製造方法により、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。一対の測定用電極２５は、上述のように、一対の電極２２に近接して配置されることが好ましい。これにより、一対の電極２２間の抵抗を、さらに精度良く求めることができる。

【0208】

好ましくは、ステップＳ１０１において、一対の電極２２は周方向に１８０°離れた位置に配置される。また、カーボンナノチューブシート層５３を一対の電極２２に固定する工程は、ステップＳ１０４～Ｓ１０６またはステップＳ６１～Ｓ６２を実施する工程を備える。

【0209】

ステップＳ１０４～Ｓ１０６では、ステップＳ１０３の終了後、一対の電極２２および筒状のカーボンナノチューブシート層５３が回転体４２から取り外され、カーボンナノチューブシート層５３が一対の電極２２に固定される。そして、一対の電極２２間のカーボンナノチューブシート層５３が厚さ方向に押圧されて平面状とされることにより、一対の電極２２間を接続する接続シート部２１が形成される。これにより、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。また、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブシートの積層数を容易に大きくすることができる。

【0210】

ステップＳ６１～Ｓ６２では、上述のように、一対の電極２２のそれぞれの中央部にてカーボンナノチューブシート層５３および一対の電極２２を切断することにより、一対の電極２２間で周方向に延びる接続シート部２１が形成される。そして、接続シート部２１の両端部は、一対の電極２２に固定される。これにより、当該カーボンナノチューブデバイス２を容易に製造することができる。

【0211】

上述のカーボンナノチューブデバイス２およびカーボンナノチューブヒータ１、ならびに、これらの製造方法では、様々な変更が可能である。

【0212】

例えば、デバイス製造装置４では、回転体４２の形状は、必ずしも略円柱状または略円筒状である必要はなく、様々な形状であってよい。回転体４２は、例えば、矩形や多角形の断面を有する柱状または筒状であってもよく、平板状であってもよい。また、例えば、平板状の回転体４２上に配置された電極２２、および、当該回転体４２に巻回されたカーボンナノチューブシート９４が、当該回転体４２から取り外されることなく、当該回転体４２と共にカーボンナノチューブデバイス２として利用されてもよい。

【0213】

第１、第２、第４および第５の製造方法では、カーボンナノチューブシート９４の初期巻回数の設定、および、追加巻回数の決定等は、必ずしも制御部４６により行われる必要はなく、作業者の手作業等により行われてもよい。

【0214】

第１、第２、第４および第５の製造方法では、必ずしも積層抵抗情報が取得される必要はない。この場合、ステップＳ１１，Ｓ３１，Ｓ７１，Ｓ８１の初期巻回数の設定は、例えば、事前の実験等に基づいて予め行われていてもよい。また、第１の製造方法では、筒状中間体５１の切断および一対の電極２２間の抵抗測定（ステップＳ１４）、並びに、カーボンナノチューブシート９４の積層（ステップＳ１６）が繰り返され、ステップＳ１４における一対の電極２２間の抵抗が目標抵抗に略等しくなった時点で、ステップＳ１７～Ｓ１９が行われる。第４の製造方法においても略同様である。第２の製造方法では、一対の電極２２間の抵抗測定（ステップＳ３４）、および、カーボンナノチューブシート９４の積層（ステップＳ３６）が繰り返され、ステップＳ３４における一対の電極２２間の抵抗が目標抵抗に略等しくなった時点で、ステップＳ３７～Ｓ４０が行われる。第５の製造方法においても略同様である。

【0215】

第１の製造方法における電極２２への導電性ペーストの付与は、ステップＳ１８において電極２２が折り曲げられるよりも前に行われるのであれば、ステップＳ１３におけるカーボンナノチューブシート９４の巻回よりも後に行われてもよく、ステップＳ１３と並行して行われてもよい。あるいは、電極２２への導電性ペーストの付与は省略されてもよい。また、電極２２の加熱も省略されてもよい。第２ないし第６の製造方法においても同様である。

【0216】

第４の製造方法において測定用電極２５に付与される粘着剤は、上述のように、ペースト状のロジン以外の絶縁性ペーストであってもよく、あるいは、導電性接着剤のような導電性ペーストであってもよい。あるいは、測定用電極２５への粘着剤の付与は省略されてもよい。第５および第６の製造方法においても同様である。

【0217】

第１の製造方法では、回転体４２の外側面上に３つ以上の電極２２が配置されている場合、当該３つ以上の電極２２のうち、いずれか２つの電極２２が一対の電極２２として選択され、当該一対の電極２２を接続する接続シート部２１が形成されてもよい。これにより、接続シート部２１の長さの変更を容易とすることができる。

【0218】

デバイス製造装置４の構造は、図３、図４、図２３、図２９、図３１、図３２、図３９および図４１に例示するものには限定されず、様々に変更されてよい。例えば、接着剤付与部４４および／または押圧ローラ４５は、省略されてもよい。あるいは、押圧ローラ４５に代えて、回転体４２の外側面に、カーボンナノチューブシート９４を吸着するための吸引口群が設けられてもよい。当該吸引口群は、押圧ローラ４５と共に設けられてもよい。

【0219】

デバイス製造装置４では、基板保持部４１を軸方向に揺動させる揺動機構が設けられ、軸方向に揺動する基板９２上のカーボンナノチューブアレイ９１からカーボンナノチューブシート９４が引き出され、幅方向の幅が大きい比較的大面積の接続シート部２１が製造されてもよい。これにより、カーボンナノチューブアレイ９１においてカーボンナノチューブの密度が周囲よりも低い領域（以下、「低密度領域」と呼ぶ。）が存在する場合であっても、低密度領域のカーボンナノチューブの残存（すなわち、基板９２から引き出されずに基板９２上に残る現象）によるカーボンナノチューブシート９４の密度不均一等の不具合を抑制することができる。これは、カーボンナノチューブアレイ９１に対するカーボンナノチューブシート９４の相対的揺動が、複数のカーボンナノチューブ単糸を介してカーボンナノチューブアレイ９１における引出位置（すなわち、カーボンナノチューブシート９４が引き出されるポイント）に作用することにより、当該引出位置近傍において低密度領域のカーボンナノチューブが、周囲の（特に、軸方向に隣接する）カーボンナノチューブと接触して共に引き出されるからである。

【0220】

上述の例では、カーボンナノチューブシート９４は、基板９２上に立設した状態のカーボンナノチューブアレイ９１から引き出されるものとして説明したが、基板９２上から剥離された後のカーボンナノチューブアレイ９１から引き出されてもよい。

【0221】

カーボンナノチューブデバイス２では、支持シート部２３は省略されてもよい。また、電極２２の複数の凸部２２２も省略されてよい。カーボンナノチューブデバイス２では、接続補具２４が使用される場合、接続補具２４の形状は、図１９ないし図２１に示す接続補具２４ａ～２４ｃには限定されず、様々に変更されてよい。

【0222】

カーボンナノチューブデバイス２では、接続シート部２１と電極２２との固定は、必ずしも折り畳まれた電極２２により接続シート部２１の端部が挟まれる必要はなく、また、接続補具２４が用いられる必要もない。

【0223】

カーボンナノチューブデバイス２の接続シート部２１の大きさおよび形状は、用途に合わせて様々に変更されてよい。例えば、接続シート部２１の対角線の長さは、必ずしも２００ｍｍ以上である必要はなく、２００ｍｍ未満であってもよい。また、接続シート部２１の平面視における形状は、略矩形以外の形状（例えば、台形等）であってもよい。

【0224】

カーボンナノチューブヒータ１では、放熱部３４は、上下方向において必ずしも接続シート部２１全体と重なる必要はなく、例えば、接続シート部２１の一部のみと重なっていてもよい。カーボンナノチューブヒータ１では、収容部３１の放熱部３４とは反対側の主面、および、側面に、カーボンナノチューブデバイス２からの熱を反射する反射部が設けられてもよい。当該反射部は、例えば、断熱シートの内面に金属箔を設けたシート状部材である。これにより、カーボンナノチューブデバイス２からの熱を効率良く放熱部３４に集めることができる。あるいは、収容部３１の放熱部３４とは反対側の主面、および、側面にも、放熱部３４と同様の膜状または薄板状の部材が設けられてもよい。なお、カーボンナノチューブヒータ１では、放熱部３４が省略されてもよい。また、温度センサ３６も省略されてもよい。

【0225】

カーボンナノチューブヒータ１の収容部３１は、必ずしも可撓性を有する必要はなく、硬質部材であってもよい。

【0226】

カーボンナノチューブヒータ１では、収容部３１に収容されるカーボンナノチューブデバイス２は、２つ以上であってもよい。例えば、カーボンナノチューブヒータ１は、上記カーボンナノチューブデバイス２に加えて、上記カーボンナノチューブデバイス２と同様の構造を有するとともに収容部３１の内部に収容される他のカーボンナノチューブデバイスをさらに備えていてもよい。この場合、好ましくは、当該他のカーボンナノチューブデバイスは、上記カーボンナノチューブデバイス２の側方に隣接して配置され、放熱部３４は、カーボンナノチューブデバイス２の接続シート部２１の主面に垂直な方向において、カーボンナノチューブデバイス２の接続シート部２１全体、および、当該他のカーボンナノチューブデバイスの接続シート部全体と重なる。これにより、複数のカーボンナノチューブデバイスの接続シート部における温度均一性を向上させることができる。なお、カーボンナノチューブヒータ１では、カーボンナノチューブデバイス２および他のカーボンナノチューブデバイスのそれぞれと重なる２つの放熱部３４が設けられてもよい。また、複数のカーボンナノチューブデバイス２を備えるカーボンナノチューブヒータ１では、当該複数のカーボンナノチューブデバイス２の一対の電極２２が共通化され、一対の共通電極により複数の接続シート部２１に電力が供給されてもよい。

【0227】

カーボンナノチューブヒータ１の形状は用途に合わせて様々に変更されてよい。例えば、カーボンナノチューブヒータ１の平面視における形状は、略矩形以外の形状であってもよい。また、カーボンナノチューブヒータ１は、必ずしも薄型のシート状ヒータである必要はなく、比較的厚い部材であってもよい。

【0228】

カーボンナノチューブデバイス２は、必ずしもカーボンナノチューブヒータ１の発熱源として利用される必要はなく、様々な用途に利用可能である。例えば、カーボンナノチューブデバイス２は、サーモスタットや様々なセンサとして利用されてもよい。

【0229】

上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。

【0230】

発明を詳細に描写して説明したが、既述の説明は例示的であって限定的なものではない。したがって、本発明の範囲を逸脱しない限り、多数の変形や態様が可能であるといえる。

【符号の説明】

【0231】

１カーボンナノチューブヒータ
２カーボンナノチューブデバイス
２１接続シート部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ電極
２４，２４ａ～２４ｃ接続補具
２５，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ測定用電極
３１収容部
３４放熱部
４２回転体
５１筒状中間体
５２カーボンナノチューブ構造体
５３カーボンナノチューブシート層
９２基板
９４カーボンナノチューブシート
２１２端部要素
２１３線状端部
２２１（電極の）主面
２２２凸部
２２３折り畳み線
２４１（接続補具の）貫通孔
４２１接続領域
Ｊ１回転軸
Ｓ１１～Ｓ１９，Ｓ３１～Ｓ４０，Ｓ５１～Ｓ５７，Ｓ６１～Ｓ６２，Ｓ７１～Ｓ７９，Ｓ８１～Ｓ９０，Ｓ１０１～Ｓ１０７，Ｓ１８１～Ｓ１８３ステップ

【図1】