特許 7414959 平面フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-05

(45)【発行日】2024-01-16

(54)【発明の名称】平面フィルタ

(51)【国際特許分類】

   H01P 1/203 20060101AFI20240109BHJP

【ＦＩ】

H01P1/203

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022508365

(86)(22)【出願日】2021-03-16

(86)【国際出願番号】 JP2021010521

(87)【国際公開番号】W WO2021187457

(87)【国際公開日】2021-09-23

【審査請求日】2022-11-08

(31)【優先権主張番号】P 2020046515

(32)【優先日】2020-03-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(73)【特許権者】

【識別番号】598076591

【氏名又は名称】東芝インフラシステムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110004026

【氏名又は名称】弁理士法人ｉＸ

(72)【発明者】

【氏名】旭 保彰

【審査官】赤穂 美香

(56)【参考文献】

【文献】特開平０７－２１２１１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０６１２９６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｐ １／２０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

誘電体基板と、
前記誘電体基板上に設けられたフィルタ部と、
前記誘電体基板上に設けられた入出力線路と、
前記誘電体基板上に設けられ、前記フィルタ部と前記入出力線路とをつなぐ接続線路と、
を備え、
前記誘電体基板は、前記フィルタ部、前記入出力線路および前記接続線路が設けられた表面とは反対側の裏面から前記表面に向かう第１方向における第１厚を有する第１領域と、前記第１厚よりも厚い前記第１方向の第２厚を有する第２領域と、前記第１領域と前記第２領域との間に設けられた第３領域と、を含み、
前記第３領域は、前記第１領域との境界において前記第１厚を有し、前記第２領域との境界において前記第２厚を有し、
前記誘電体基板は、前記第３領域の前記裏面側に斜面を有することにより、前記第３領域の厚みは、前記第２領域から前記第１領域に近づくにつれて薄くなり、
前記フィルタ部は、前記第１領域に設けられ、前記入出力線路は、前記第２領域上に設けられ、前記接続線路は、前記第１領域と前記第３領域にまたがって設けられた、平面フィルタ。

【請求項2】

前記入出力線路は、前記誘電体基板の前記表面に沿った第２方向に延在し、
前記フィルタ部は、前記誘電体基板の前記表面に沿った第３方向であって、前記第２方向と交差する第３方向に延在し、前記第３方向に順に並んだ第１端および第２端を有する第１線路と、前記第３方向に延在し、前記第１線路に対向し、且つ、離間して配置され、前記第３方向に順に並んだ第１端および第２端を有する第２線路と、前記第２方向に延在し、前記第１線路の第２端および前記第２線路の第２端に接続された第３線路と、を有する第１共振器を含む、請求項１記載の平面フィルタ。

【請求項3】

前記フィルタ部は、前記第３方向に延在し、前記第３方向に順に並んだ第１端および第２端とを有する第４線路と、前記第３方向に延在し、前記第４線路に対向し、且つ、離間して配置され、前記第３方向に順に並んだ第１端および第２端を有する第５線路と、前記第２方向に延在し、前記第４線路の第１端および前記第５線路の第１端に接続された第６線路と、を有する第２共振器をさらに含み、
前記第１共振器および前記第２共振器は、前記第２方向に並び、相互に離間して配置され、前記第１共振器の前記第２線路は、前記第２共振器の前記第４線路に対向して配置され、
前記第２方向において、前記第２線路の第１端は、前記第４線路の第１端に対向し、前記第２線路の第２端は、前記第４線路の第２端に対向する請求項２記載の平面フィルタ。

【請求項4】

前記第１線路および前記第２線路は、それぞれ、前記第２方向の第１幅および第２幅を有し、
前記第１幅および前記第２幅は、前記入出力線路の前記第３方向の幅よりも狭い、請求項２記載の平面フィルタ。

【請求項5】

前記第３線路は、前記第３方向の第３幅を有し、
前記第３幅は、前記入出力線路の前記第３方向の幅よりも狭い、請求項４記載の平面フィルタ。

【請求項6】

前記第４線路および前記第５線路は、それぞれ、前記第２方向の第４幅および第５幅を有し、
前記第４幅および前記第５幅は、前記入出力線路の前記第３方向の幅よりも狭い、請求項３記載の平面フィルタ。

【請求項7】

前記第６線路は、前記第３方向の第６幅を有し、
前記第６幅は、前記入出力線路の前記第３方向の幅よりも狭い、請求項６記載の平面フィルタ。

【請求項8】

前記第１共振器は、前記入出力線路と前記第２共振器との間に配置され、
前記フィルタ部は、前記第３方向に延在し、前記第３方向に順に並ぶ第１端および第２端を有する結合線路をさらに含み、
前記結合線路は、前記入出力線路と前記第１共振器との間に位置し、前記第１共振器の前記第１線路に対向し、且つ、離間して配置され、
前記結合線路の第１端は、前記入出力線路に接続され、前記第１線路の第１端に対向し、
前記結合線路の第２端は、前記第１線路の第２端に対向する請求項３記載の平面フィルタ。

【請求項9】

前記誘電体基板の前記表面に沿った方向であって、前記入出力線路から前記フィルタ部に向かう方向と交差する方向において、前記入出力線路は、第７幅を有し、前記第１領域における前記接続線路は、前記第７幅よりも狭い第８幅を有する請求項１記載の平面フィルタ。

【請求項10】

前記誘電体基板の前記表面に沿った方向であって、前記入出力線路から前記フィルタ部に向かう方向と交差する前記方向において、前記第３領域における前記接続線路の幅は、前記第２領域から前記第１領域に近づくにつれて前記第７幅から前記第８幅に向けて狭くなる請求項９記載の平面フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

実施形態は、平面フィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

誘電体基板上に設けられる平面フィルタは、数ＧＨｚ以上の高周波帯で使用され、例えば、分布定数線路を組み合わせて構成される。このため、平面フィルタの小型化には限界がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平９－２３２８０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

実施形態は、小型化された平面フィルタを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

実施形態に係る平面フィルタは、誘電体基板と、前記誘電体基板上に設けられたフィルタ部と、前記誘電体基板上において、前記フィルタ部に接続された入出力線路と、を備える。前記誘電体基板は、前記フィルタ部および入出力線路が設けられた表面とは反対側の裏面から前記表面に向かう第１方向における第１厚を有する第１領域と、前記第１厚よりも薄い前記第１方向の第２厚を有する第２領域と、を含み、前記裏面側に前記第１厚と前記第２厚との差に相当する段差を有する。前記フィルタ部は、前記第１領域に設けられ、前記入出力線路は、前記第２領域上に設けられる。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】実施形態に係る平面フィルタを示す模式図である。

【図2】実施形態に係る平面フィルタを模式的に示す部分平面図である。

【図3】実施形態に係る平面フィルタの特性を示すグラフである。

【図4】実施形態の第１変形例に係る平面フィルタを示す模式図である。

【図5】実施形態の第２変形例に係る平面フィルタを示す模式図である。

【図6】比較例に係る平面フィルタを示す模式図である。

【図7】比較例に係る平面フィルタの特性を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。図面中の同一部分には、同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。

【0008】

さらに、各図中に示すＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を用いて各部分の配置および構成を説明する。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、相互に直交し、それぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を表す。また、Ｚ方向を上方、その反対方向を下方として説明する場合がある。

【0009】

図１（ａ）および（ｂ）は、実施形態に係る平面フィルタ１を示す模式図である。
図１（ａ）は、誘電体基板ＤＳの表面を示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）中に示すＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【0010】

図１（ａ）に示すように、平面フィルタ１は、誘電体基板ＤＳと、フィルタ部ＦＬＰと、入出力線路ＩＯＬ１と、入出力線路ＩＯＬ２と、を含む。平面フィルタ１は、誘電体基板ＤＳの表面上に設けられた複数の分布定数線路により構成される。

【0011】

誘電体基板ＤＳは、第１領域ＴＲ１と、第２領域ＴＲ２と、を含む。フィルタ部ＦＬＰは、第１領域ＴＲ１上に設けられる。入出力線路ＩＯＬ１およびＩＯＬ２は、第２領域ＴＲ２上に設けられる。誘電体基板ＤＳは、例えば、ＰＰＥ樹脂基板である。

【0012】

フィルタ部ＦＬＰは、入出力線路ＩＯＬ１と入出力線路ＩＯＬ２との間に設けられる。入出力線路ＩＯＬ１、フィルタ部ＦＬＰおよび入出力線路ＩＯＬ２は、誘電体基板ＤＳの表面に沿った方向（例えば、Ｘ方向）に並べて配置される。入出力線路ＩＯＬ１および入出力線路ＩＯＬ２は、それぞれ、Ｘ方向に延在し、フィルタ部ＦＬＰに接続される。入出力線路ＩＯＬ１および入出力線路ＩＯＬ２は、それぞれ、誘電体基板ＤＳの表面に沿った方向（例えば、Ｙ方向）における線幅Ｗ_０を有する。

【0013】

マイクロ波信号は、例えば、ヘアピン型フィルタを想定すると、入出力線路ＩＯＬ１に入力され、フィルタ部ＦＬＰを介して、入出力線路ＩＯＬ２から出力される。また、マイクロ波信号は、入出力線路ＩＯＬ２に入力され、フィルタ部ＦＬＰを介して、入出力線路ＩＯＬ１から出力されても良い。

【0014】

フィルタ部ＦＬＰは、例えば、共振器ＨＲ１と、共振器ＨＲ２と、共振器ＨＲ３と、第１結合線路ＣＬ１と、第２結合線路ＣＬ２と、接続線路ＩＯＬＡと、接続線路ＩＯＬＢと、を含む。共振器ＨＲ１～ＨＲ３は、相互に離間し、例えば、Ｘ方向に並べて配置される。共振器ＨＲ２は、共振器ＨＲ１と共振器ＨＲ３との間に設けられる。

【0015】

第１結合線路ＣＬ１は、接続線路ＩＯＬＡと共振器ＨＲ１との間に設けられる。第１結合線路ＣＬ１は、接続線路ＩＯＬＡに接続される。また、第１結合線路ＣＬ１は、共振器ＨＲ１から離間して配置される。

【0016】

第２結合線路ＣＬ２は、接続線路ＩＯＬＢと共振器ＨＲ３との間に設けられる。第２結合線路ＣＬ２は、接続線路ＩＯＬＢに接続される。また、第２結合線路ＣＬ２は、共振器ＨＲ３から離間して配置される。

【0017】

入出力線路ＩＯＬＡは、第１結合線路ＣＬ１と入出力線路ＩＯＬ１との間に設けられる。入出力線路ＩＯＬＡは、第１領域ＴＲ１と第２領域ＴＲ２との境界において、入出力線路ＩＯＬ１に接続される。また、入出力線路ＩＯＬＡは、第１領域ＴＲ１上で、第１結合線路ＣＬ１に接続される。入出力線路ＩＯＬＡは、例えば、Ｙ方向の幅Ｗ_０Ａを有する。幅Ｗ_０Ａは、入出力線路ＩＯＬ１のＹ方向の幅Ｗ_０よりも狭い。

【0018】

入出力線路ＩＯＬＡを設けることにより、線路のインピーダンスの不連続が減り、入出力線路ＩＯＬ１と第１結合線路ＣＬ１との間のマイクロ波の反射を低減することができる。

【0019】

入出力線路ＩＯＬＢは、第２結合線路ＣＬ２と入出力線路ＩＯＬ２との間に設けられる。入出力線路ＩＯＬＢは、第１領域ＴＲ１と第２領域ＴＲ２との境界において、入出力線路ＩＯＬ２に接続される。また、入出力線路ＩＯＬＢは、第１領域ＴＲ１上で、第２結合線路ＣＬ２に接続される。入出力線路ＩＯＬＢは、例えば、Ｙ方向の幅Ｗ_０Ｂを有する。幅Ｗ_０Ｂは、入出力線路ＩＯＬ２のＹ方向の幅Ｗ_０よりも狭い。

【0020】

入出力線路ＩＯＬＢを設けることにより、線路のインピーダンスの不連続が減り、入出力線路ＩＯＬ２と第２結合線路ＣＬ２との間のマイクロ波の反射を低減することができる。

【0021】

入出力線路ＩＯＬ１、入出力線路ＩＯＬ２、共振器ＨＲ１～ＨＲ３、第１結合線路ＣＬ１および第２結合線路ＬＩ２は、それぞれ、誘電体基板ＤＳ上に設けられた金属層であり、例えば、銅（Ｃｕ）を含む。

【0022】

図１（ｂ）に示すように、誘電体基板ＤＳは、その裏面ＢＳから表面ＦＳに向かう方向（例えば、Ｚ方向）において、第１厚ＳＴ_１と、第２厚ＳＴ_２と、を有する。第１厚ＳＴ_１は、第２厚ＳＴ_２よりも薄い。誘電体基板ＤＳは、第１領域ＴＲ１において、第１厚ＳＴ_１を有し、第２領域ＴＲ２において、第２厚ＳＴ_２を有する。また、誘電体基板ＤＳは、例えば、その裏面ＢＳ側における第１領域ＴＲ１と第２領域ＴＲ２との境界において、第１厚ＳＴ_１と第２厚ＳＴ_２との差ΔＴに相当する段差を有する。

【0023】

誘電体基板ＤＳは、その裏面ＢＳを覆う金属層１０を含む。金属層１０は、例えば、銅（Ｃｕ）を含む。金属層１０は、誘電体基板ＤＳの裏面ＢＳ側の段差も覆うように設けられる。

【0024】

図２は、実施形態に係る平面フィルタ１を模式的に示す部分平面図である。図２は、フィルタ部ＦＬＰを示す模式図である。

【0025】

図２に示すように、第１共振器ＨＲ１は、第１線路１３と、第２線路１５と、第３線路１７と、を含む。第１線路１３および第２線路１５は、それぞれ、誘電体基板ＤＳの表面ＦＳに沿った方向（例えば、Ｙ方向）に延在する。第１線路１３および第２線路１５は対向し、且つ、相互に離間して配置される。

【0026】

第１線路１３は、Ｙ方向に順に並んだ第１端１３ａと第２端１３ｂとを含む。第２線路１５は、Ｙ方向に順に並んだ第１端１５ａと第２端１５ｂとを含む。第３線路１７は、例えば、Ｘ方向に延在し、第１線路１３の第２端１３ｂおよび第２線路１５の第２端１５ｂに接続される。

【0027】

第２共振器ＨＲ２は、第４線路２３と、第５線路２５と、第６線路２７と、を含む。第４線路２３および第５線路２５は、それぞれ、Ｙ方向に延在する。第４線路２３および第５線路２５は対向し、且つ、相互に離間して配置される。

【0028】

第４線路２３は、Ｙ方向に順に並んだ第１端２３ａと第２端２３ｂとを含む。第５線路２５は、Ｙ方向に順に並んだ第１端２５ａと第２端２５ｂとを含む。第６線路２７は、例えば、Ｘ方向に延在し、第４線路２３の第１端２３ａおよび第５線路２５の第１端２５ａに接続される。

【0029】

第３共振器ＨＲ３は、第７線路３３と、第８線路３５と、第９線路３７と、を含む。第７線路３３および第８線路３５は、それぞれ、Ｙ方向に延在する。第７線路３３および第８線路３５は対向し、且つ、相互に離間して配置される。

【0030】

第７線路３３は、Ｙ方向に順に並んだ第１端３３ａと第２端３３ｂとを含む。第８線路３５は、Ｙ方向に順に並んだ第１端３５ａと第２端３５ｂとを含む。第９線路２７は、例えば、Ｘ方向に延在し、第７線路３３の第２端３３ｂおよび第８線路３５の第２端２５ｂに接続される。

【0031】

第１共振器ＨＲ１および第２共振器ＨＲ２は相互に離間してＸ方向に並び、第１共振器ＨＲ１の第２線路１５は、第２共振器ＨＲ２の第４線路２３に対向する。また、第２線路１５の第１端１５ａは、第４線路２３の第１端２３ａと対向し、第２線路１５の第２端３５ｂは、第４線路２３の第２端２３ｂと対向する。

【0032】

第２共振器ＨＲ２および第３共振器ＨＲ３は相互に離間してＸ方向に並び、第２共振器ＨＲ２の第５線路２５は、第３共振器ＨＲ３の第７線路３３に対向する。また、第５線路２５の第１端２５ａは、第７線路３３の第１端３３ａと対向し、第５線路２５の第２端２５ｂは、第７線路３３の第２端３３ｂと対向する。

【0033】

第１結合線路ＣＬ１は、Ｙ方向に延在し、Ｘ方向において、第１共振器ＨＲ１の第１線路１３に対向する。第１結合線路ＣＬ１は、Ｙ方向に順に並んだ第１端ＣＬａと第２端ＣＬｂとを有し、第１端ＣＬａにおいて、接続線路ＩＯＬＡに接続される。また、第１結合線路ＣＬ１の第１端ＣＬａは、第１線路１３の第１端１３ａに対向し、第１結合線路ＣＬ１の第２端ＣＬｂは、第１線路１３の第２端１３ｂに対向する。

【0034】

第２結合線路ＣＬ２は、Ｙ方向に延在し、Ｘ方向において、第３共振器ＨＲ３の第８線路３５に対向する。第２結合線路ＣＬ２は、Ｙ方向に順に並んだ第１端ＣＬａと第２端ＣＬｂとを有し、第１端ＣＬａにおいて、接続線路ＩＯＬＢに接続される。また、第２結合線路ＣＬ２の第１端ＣＬａは、第８線路３５の第１端３５ａに対向し、第２結合線路ＣＬ２の第２端ＣＬｂは、第８線路３５の第２端３５ｂに対向する。

【0035】

第１結合線路ＣＬ１は、接続線路ＩＯＬＡのＸ方向の端に接続される。第１結合線路ＣＬ１は、接続線路ＩＯＬＡの端の２つの角のうちの一方の角から第１端ＣＬａをΔＷだけＹ方向にシフトさせた位置において接続される。例えば、接続線路ＩＯＬＡのＹ方向の幅がＷ_０Ａである時、第１結合線路ＣＬ１は、Ｗ_０Ａ－ΔＷの接続幅を持って、接続線路ＩＯＬＡに接続される。

【0036】

第２結合線路ＣＬ２は、接続線路ＩＯＬＢのＸ方向の端に同様に接続される。すなわち、第２結合線路ＣＬ２は、接続線路ＩＯＬＢの端の２つの角のうちの一方の角から第１端ＣＬａをΔＷだけＹ方向にシフトさせた位置において接続される。例えば、接続線路ＩＯＬＢのＹ方向の幅がＷ_０Ｂである時、第２結合線路ＣＬ２は、Ｗ_０Ｂ－ΔＷの接続幅を持って、接続線路ＩＯＬＢに接続される。

【0037】

第１線路１３のＸ方向の幅Ｗ_１、第２線路１５のＸ方向の幅Ｗ_２、第４線路２３のＸ方向の幅Ｗ_４、第５線路２５のＸ方向の幅Ｗ_５、第７線路３３のＸ方向の幅Ｗ_７および第８線路のＸ方向の幅Ｗ_８は、例えば、接続線路ＩＯＬＡおよびＩＯＬＢのそれぞれのＹ方向の幅Ｗ_０ＡおよびＷ_０Ｂよりも狭い。例えば、幅Ｗ_１、Ｗ_２、Ｗ_４、Ｗ_５、Ｗ_７およびＷ_８は、略同一である。

【0038】

第３線路１７のＹ方向の幅Ｗ_３、第６線路２７のＹ方向の幅Ｗ_６および第９線路３７のＹ方向の幅Ｗ_９は、例えば、幅Ｗ_０よりも狭い。例えば、幅Ｗ_３、Ｗ_６およびＷ_９は、略同一である。

【0039】

実施形態では、第１線路１３～第９線路３７、第１結合線路ＣＬ１および第２結合線路ＣＬ２は、例えば、８５Ωの特性インピーダンスをそれぞれ有する。また、第１接続線路ＩＯＬＡ、第２接続線路ＩＯＬＢ、入出力線路ＩＯＬ１および入出力線路ＩＯＬ２は、例えば、５０Ωの特性インピーダンスをそれぞれ有する。このため、第１領域ＴＲ１上に設けられるフィルタ部ＦＬＰでは、第１線路１３～第９線路３７の幅Ｗ_１～Ｗ_９、第１結合線路ＣＬ１のＸ方向の幅Ｗ_Ｃ１および第２結合線路ＣＬ２のＸ方向の幅Ｗ_Ｃ２は、例えば、第１領域ＴＲ１を有しない誘電体基板上にフィルタ部ＦＬＰを設ける場合よりも狭い。さらに、Ｘ方向において隣り合う各線路間の距離を狭くすることができる。これにより、フィルタ部ＦＬＰのＸ方向の幅ＷＦ_１は、例えば、第１領域ＴＲ１を有しない誘電体基板上に設ける場合に比べて狭くなる。結果として、平面フィルタ１は、第１領域ＴＲ１を有しない誘電体基板上に設けられる場合に比べて小型化される。なお、フィルタ部ＦＬＰのＹ方向の幅ＷＦ_２は、例えば、λ／４（λ：マイクロ波の波長）と略同一である。

【0040】

例えば、誘電体基板を薄くすることにより、平面フィルタを小型することは可能である。しかしながら、誘電体基板を薄くすると、基板が反り易くなり、その機械的強度は低下する。実施形態では、第１領域ＴＲ１および第２領域ＴＲ２を設けることにより、誘電体基板ＤＳの機械的強度を維持しながら、平面フィルタ１を小型することができる。

【0041】

図３は、実施形態に係る平面フィルタ１の特性を示すグラフである。横軸は、マイクロ波の周波数（ＧＨｚ）であり、縦軸は、マイクロ波の透過係数（ｄＢ）および反射係数（ｄＢ）である。

【0042】

図３に示すように、平面フィルタ１は、２０ＧＨｚの中心周波数を有するバンドパスフィルタである。通過特性は、約マイナス２．８ｄＢ、通過帯域幅は、約１．５ＧＨｚである。

【0043】

この例では、誘電体基板ＤＳは、ＰＰＥ樹脂基板である。第１領域ＴＲ１の第１厚ＳＴ_１は、０．２ｍｍであり、第２領域ＴＲ２の第２厚ＳＴ_２は、０．４ｍｍである。フィルタ部ＦＬＰのＸ方向の幅ＷＦ_１は、２．９５ｍｍであり、Ｙ方向の幅ＷＦ_２は、２．２５ｍｍである。

【0044】

例えば、図６に示す平面フィルタ４は、Ｚ方向の厚さが０．４ｍｍの誘電体基板上に設けられる。平面フィルタ４は、均一な厚さの誘電体基板上に設けられ、第１領域ＴＲ１を有しない。平面フィルタ４は、図７に示すように、平面フィルタ１と同等の通過特性を有し、平面フィルタ４におけるフィルタ部ＦＬＰのＸ方向の幅は、４．３ｍｍである。すなわち、実施形態に係る平面フィルタ１では、通過特性を変化させないで、誘電体基板の表面積を約３５％縮小することが可能である。

【0045】

図４は、実施形態の第１変形例に係る平面フィルタ２を示す模式図である。平面フィルタ２は、誘電体基板ＤＳの表面上に設けられたフィルタ部ＦＬＰと、入出力線路ＩＯＬ１と、入出力線路ＩＯＬ２と、を有する。フィルタ部ＦＬＰは、第１領域ＴＲ１上に設けられる。入出力線路ＩＯＬ１およびＩＯＬ２は、第２領域ＴＲ２上に設けられる。

【0046】

この例では、フィルタ部ＦＬＰは、共振器ＨＲ１と、共振器ＨＲ２と、第１結合線路ＣＬ１と、第２結合線路ＣＬ２と、接続線路ＩＯＬＡと、接続線路ＩＯＬＢと、を含む。入出力線路ＩＯＬ１、接続線路ＩＯＬＡ、第１結合線路ＣＬ１および共振器ＨＲ１の配置は、平面フィルタ１と同じである。

【0047】

第２結合線路ＣＬ２は、共振器ＨＲ２と接続線路ＩＯＬＢとの間に設けられ、共振器ＨＲ２の第５線路２５と対向するように配置される。第５線路２５の第１端２５ａは、第２結合線路ＣＬ２の第１端ＣＬａと対向する。第５線路２５の第２端２５ｂは、第２結合線路ＣＬ２の第２端ＣＬｂと対向する。接続線路ＩＯＬＢは、第２結合線路ＣＬ２の第２端ＣＬｂに接続される。

【0048】

接続線路ＩＯＬＢは、第１領域ＴＲ１と第２領域ＴＲ２との境界において、入出力線路ＩＯＬ２に接続される。入出力線路ＩＯＬ２は、誘電体基板ＤＳの表面に沿ってＸ方向に延在する。

【0049】

このように、共振器ＨＲ１～ＨＲ２は、所望のフィルタ特性を得るために、第１結合線路ＣＬ１と第２結合線路ＣＬ２との間に適宜配置される。共振器の数は、これらの例に限定される訳ではなく、例えば、第１結合線路ＣＬ１と第２結合線路ＣＬ２との間に３つ以上の共振器が配置されても良い。

【0050】

図５（ａ）および（ｂ）は、実施形態の第３変形例に係る平面フィルタ３を示す模式図である。図５（ａ）は、誘電体基板ＤＳの表面を示す平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）中に示すＢ－Ｂ線に沿った断面図である。

【0051】

平面フィルタ３は、誘電体基板ＤＳの表面上に設けられたフィルタ部ＦＬＰと、入出力線路ＩＯＬ１と、入出力線路ＩＯＬ２と、を有する。フィルタ部ＦＬＰは、第１領域ＴＲ１上に設けられる。入出力線路ＩＯＬ１およびＩＯＬ２は、第２領域ＴＲ２上に設けられる。

【0052】

図５（ａ）に示すように、誘電体基板ＤＳは、第３領域ＴＲ３をさらに含む。第３領域ＴＲ３は、第１領域ＴＲ１と第２領域ＴＲ２との間に設けられる。平面フィルタ３は、第１領域ＴＲ１上および第３領域ＴＲ３上にまたがって設けられた接続線路ＩＯＬＡおよび接続線路ＩＯＬＢをさらに含む。

【0053】

接続線路ＩＯＬＡは、第１結合線路ＣＬ１と入出力線路ＩＯＬ１との間に設けられる。接続線路ＩＯＬＡは、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界において、入出力線路ＩＯＬ１に接続される。また、接続線路ＩＯＬＡは、第１領域ＴＲ１において、第１結合線路ＣＬ１に接続される。

【0054】

接続線路ＩＯＬＡは、例えば、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界において、Ｙ方向の幅Ｗ_０を有する。また、接続線路ＩＯＬＡは、第１領域ＴＲ上において、Ｙ方向の幅Ｗ_０Ａを有する。また、第１領域ＴＲ１と第３領域ＴＲ３との境界において、Ｙ方向の幅Ｗ_０Ａを有する。幅Ｗ_０Ａは、幅Ｗ_０よりも狭い。接続線路ＩＯＬＡのＹ方向の幅は、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界から第１領域ＴＲ１と第３領域ＴＲ３との境界に近づくにつれて狭くなる。

【0055】

接続線路ＩＯＬＢは、第２結合線路ＣＬ２と入出力線路ＩＯＬ２との間に設けられる。接続線路ＩＯＬＢは、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界において、入出力線路ＩＯＬ２に接続される。また、接続線路ＩＯＬＡは、第１領域ＴＲ１において、第２結合線路ＣＬ１に接続される。

【0056】

接続線路ＩＯＬＢは、例えば、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界において、Ｙ方向の幅Ｗ_０を有する。また、接続線路ＩＯＬＢは、第１領域ＴＲ１上において、Ｙ方向の幅Ｗ_０Ｂを有する。また、第１領域ＴＲ１と第３領域ＴＲ３との境界において、Ｙ方向の幅Ｗ_０Ｂを有する。幅Ｗ_０Ｂは、幅Ｗ_０よりも狭い。接続線路ＩＯＬＢのＹ方向の幅は、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界から第１領域ＴＲ１と第３領域ＴＲ３との境界近づくにつれて狭くなる。

【0057】

図５（ｂ）に示すように、誘電体基板ＤＳは、例えば、第２領域ＴＲ２と第３領域ＴＲ３との境界において、第２厚ＳＴ_２を有する。また、誘電体基板ＤＳは、第１領域ＴＲ１と第３領域ＴＲ３との境界において、第１厚ＳＴ_１を有する。すなわち、第３領域ＴＲ３の第３厚ＳＴ_３は、第１領域ＴＲ１に近づくにつれて薄くなる。

【0058】

例えば、誘電体基板ＤＳは、第３領域ＴＲ３中の第１位置Ｐ_１において、第３厚ＳＴ_３Ａを有し、第２位置Ｐ_２において第３厚ＳＴ_３Ｂを有する。第１位置Ｐ_１は、第１領域ＴＲ１と第２位置Ｐ_２との間に位置し、第３厚ＳＴ_３Ａは、第３厚ＳＴ_３Ｂよりも薄い。

【0059】

上記の構成により、接続線路ＩＯＬＡおよび接続線路ＩＯＬＢは、例えば、特性インピーダンス５０Ωをそれぞれ有するように設けられる。

【0060】

この例では、入出力線路ＩＯＬ１と第１結合線路ＣＬ１との間、および、入出力線路ＩＯＬ２と第２結合線路ＣＬ２との間のマイクロ波の反射をさらに低減することができる。

【0061】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】