特許 7415607 センサユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-09

(45)【発行日】2024-01-17

(54)【発明の名称】センサユニット

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/00 20060101AFI20240110BHJP

【ＦＩ】

G01L19/00 Z

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020013741

(22)【出願日】2020-01-30

(65)【公開番号】P2021120632

(43)【公開日】2021-08-19

【審査請求日】2022-12-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000220505

【氏名又は名称】ニデックパワートレインシステムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179969

【弁理士】

【氏名又は名称】駒井 慎二

(74)【代理人】

【識別番号】100138689

【弁理士】

【氏名又は名称】梶原 慶

(74)【代理人】

【識別番号】100173532

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 彰文

(72)【発明者】

【氏名】宮城 勝

(72)【発明者】

【氏名】大原 健治

【審査官】松山 紗希

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－１７３９３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１７３２７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０１７５８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１１／０１３８９２１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００３－０５０１７５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｌ ７／００－２３／３２

Ｈ０１Ｈ １／０６－１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体が通過可能な流路を有するボディに設置して用いられるセンサユニットであって、
中空部を有するケースと、
前記中空部に収納され、端子を有し、前記流路を通過する前記流体の圧力を検出する圧力センサと、
前記圧力センサを前記ボディに対して押し付ける板状のブラケットと、
前記端子に電気接続されるバスバーとを備え、
前記バスバーは、前記中空部内で前記ブラケットの厚さ方向と交差する方向に延び、前記端子が接するとともに、前記バスバーの中心線が湾曲または屈曲して変形した変形部を有し、
前記変形部は、前記ケースに片持ち支持されることを特徴とするセンサユニット。

【請求項2】

前記変形部は、波形をなす請求項１に記載のセンサユニット。

【請求項3】

前記変形部は、固定端と自由端との間が折り返された折り返し部を有し、該折り返し部よりも前記自由端が前記固定端に近い請求項１に記載のセンサユニット。

【請求項4】

前記バスバーを複数備え、
前記複数のバスバーには、前記ブラケットの厚さ方向から見たときの前記変形部の形状が互いに異なるバスバーが含まれる請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサユニット。

【請求項5】

前記変形部は、前記端子が接する部分に、幅が拡大された拡幅部を有する請求項１～４のいずれか１項に記載のセンサユニット。

【請求項6】

前記拡幅部は、前記変形部の自由端に設けられる請求項５に記載のセンサユニット。

【請求項7】

前記変形部は、前記圧力センサが前記流体からの外力を受けた際、前記バスバーに生じる応力を緩和する機能を有する請求項１～６のいずれか１項に記載のセンサユニット。

【請求項8】

前記バスバーは、前記圧力センサに対して前記ボディと反対側に配置され、前記圧力センサに電気接続されて、該圧力センサへの電流供給に用いられる電流供給用バスバーと、
前記圧力センサに対して前記ボディと反対側に配置され、前記圧力センサに電気接続されて、該圧力センサの接地に用いられる接地用バスバーと、
前記圧力センサに対して前記ボディと反対側に配置され、前記圧力センサに電気接続されて、該圧力センサの出力に用いられる出力用バスバーとを含む請求項１～７のいずれか１項に記載のセンサユニット。

【請求項9】

前記電流供給用バスバーおよび前記出力用バスバーの前記変形部の全長は、それぞれ、前記接地用バスバーの前記変形部の全長よりも長い請求項８に記載のセンサユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば自動車等の車両に搭載され、油圧の制御を行う油圧制御装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の油圧制御装置は、オイルが流れる油路を有する油路ボディと、油路内を流れるオイルの圧力を計測する複数の圧力センサと、直線状をなし、各圧力センサと接続されるバスバーとを有する圧力センサ装置とを備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１８－１７３２７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の油圧制御装置では、オイルの圧力の大きさによっては、圧力センサが変位して、バスバーを過剰に押圧するおそれがある。この場合、バスバーは、撓んで応力（内部応力）を解消しようとするが、前記のように直線状をなすため、十分に変形することができず、結果、応力が解消するまでには至らないという問題があった。

【0005】

本発明の目的は、バスバーに無理な力が作用するのを防止することができるセンサユニットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のセンサユニットの一つの態様によれば、流体が通過可能な流路を有するボディに設置して用いられるセンサユニットであって、中空部を有するケースと、前記中空部に収納され、端子を有し、前記流路を通過する前記流体の圧力を検出する圧力センサと、前記圧力センサを前記ボディに対して押し付ける板状のブラケットと、前記端子に電気接続されるバスバーとを備え、前記バスバーは、前記中空部内で前記ブラケットの厚さ方向と交差する方向に延び、前記端子が接するとともに、前記バスバーの中心線が湾曲または屈曲して変形した変形部を有し、前記変形部は、前記ケースに片持ち支持されることを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明のセンサユニットの一つの態様によれば、バスバーに無理な力が作用するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明のセンサユニット（第１実施形態）の使用状態を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示すセンサユニットの分解斜視図である。

【図3】図３は、図１に示すセンサユニットの分解斜視図（圧力センサとバスバーとの位置関係を示す分解斜視図）である。

【図4】図４は、図１中のＡ－Ａ線断面図である。

【図5】図５は、図１中のＢ－Ｂ線断面図である。

【図6】図６は、図２中の矢印Ｃ方向から見た図である。

【図7】図７は、本発明のセンサユニット（第２実施形態）の使用状態を示す斜視図である。

【図8】図８は、図７に示すセンサユニットの分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明のセンサユニットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
以下、図１～図６を参照して、本発明のセンサユニットの第１実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を設定する。一例として、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。本明細書中において、上下方向、水平方向、上側および下側とは、単に各部の相対位置関係を説明するための名称であり、実際の配置関係等は、これらの名称で示される配置関係等以外の配置関係等であってもよい。

【0010】

図１に示すように、圧力制御装置１００は、ボディ２０と、ボディ２０に設置されたセンサユニット１とを備える。圧力制御装置１００は、例えば自動車等の車両に搭載され、油圧の制御を行う油圧制御装置として用いられる。
図４に示すように、ボディ２０は、流体Ｑが通過可能な流路２０１を内部に有する。ボディ２０は、例えば、複数枚の板状の部材が重なって組み立てられた組立体で構成される。なお、流体Ｑとしては、特に限定されず、例えば、圧力制御装置１００が自動車用の油圧制御装置として用いられる場合、トランスミッションオイルとすることができる。

【0011】

センサユニット１は、ボディ２０の上部に設置して用いられる。センサユニット１は、圧力センサ２と、バスバー６と、ケース５と、キャップ８と、ブラケット３と、位置決め部４とを備える。以下、各部の構成について説明する。
圧力センサ２は、流路２０１を通過する流体Ｑの圧力を検出する。圧力センサ２は、回路基板（図示せず）が内蔵されたセンサ本体２３と、センサ本体２３の上部に突出した３本の端子２１と、センサ本体２３の下部に設置された圧力検出素子２４とを有する。

【0012】

センサ本体２３は、外形形状が円柱状または円盤状をなす部分である。センサ本体２３の外周部には、周方向に沿ったリング状のフランジ部２２が設けられている。本実施形態では、フランジ部２２は、端子２１の軸と直交する方向、すなわち、ＸＹ平面と平行な方向に突出した状態となる。
各端子２１は、Ｚ軸方向に向かって突出しており、センサ本体２３の内部で前記回路基板と電気接続されている。

【0013】

圧力検出素子２４は、例えば歪ゲージを有し、流体Ｑから作用する力によって、歪ゲージの抵抗値が変化するよう構成される。そして、前記回路基板は、圧力検出素子２４での抵抗値を、流体Ｑの圧力値として変換することができる。図４に示すように、本実施形態では、ボディ２０は、ＸＹ平面と平行な流路２０１につながる側孔２０２がＺ軸方向に沿って設けられている。流路２０１を通過した流体Ｑは、側孔２０２に入り込んで、圧力検出素子２４を押圧することができる。このとき、圧力検出素子２４は、流体Ｑから力を受けて、前記のように流体Ｑの圧力値が検出される。

【0014】

また、圧力センサ２とボディ２０との間には、リング状のパッキン２０３が側孔２０２と同心状に配置されている。これにより、流体Ｑが圧力センサ２とボディ２０との間から漏出するのを防止することができる。パッキン２０３は、弾性を有し、圧力センサ２とボディ２０との間で圧縮状態となっているのが好ましい。これにより、圧力センサ２とボディ２０との間の液密性が高まり、流体Ｑの漏出防止に寄与する。

【0015】

圧力センサ２に対してボディ２０と反対側、すなわち、圧力センサ２の上側には、バスバー６が配置される。バスバー６は、線状をなし、導電性を有する金属材料で構成される。バスバー６は、圧力センサ２の各端子２１に電気接続されており、図２に示すように、電流供給用バスバー６Ａと、接地用バスバー６Ｂと、出力用バスバー６Ｃとを含む。電流供給用バスバー６Ａは、圧力センサ２への電流供給に用いられる。接地用バスバー６Ｂは、圧力センサ２の接地に用いられる。出力用バスバー６Ｃは、圧力センサ２の出力に用いられる。電流供給用バスバー６Ａと、接地用バスバー６Ｂと、出力用バスバー６Ｃとは、ＸＹ平面と平行に間隔を置いて配置されている。

【0016】

また、バスバー６には、外部コネクタ（図示せず）が電気接続される。そして、バスバー６と外部コネクタとが電気接続された状態では、電流供給用バスバー６Ａを介して、外部からの電流が圧力センサ２に供給される。また、接地用バスバー６Ｂを介して、圧力センサ２が外部に接地される。また、出力用バスバー６Ｃを介して、圧力センサ２の出力が外部に送信される。

【0017】

バスバー６は、長さ方向（長手方向）の途中で屈曲または湾曲しており、一端部６４および他端部６５のうちの他端部６５がＸ軸方向に沿う。このように、バスバー６は、その長さ方向の一端側をブラケット３の短手方向とし、他端側をブラケット３の長手方向として屈曲または湾曲する形状をなしている。これにより、センサユニット１を、少なくとも面方向において、小型化することができる。

【0018】

バスバー６は、ケース５の内側で、支持、固定されている。これにより、バスバー６の不本意な変形を防止するとともに、バスバー６を圧力センサ２の各端子２１に対して、より正確に電気接続することができる。
図１、図２に示すように、ケース５は、長尺状をなすブラケット３の長手方向の途中に配置されている。なお、後述するように、ブラケット３は、圧力センサ２をボディ２０に対して押し付ける部材である。また、ケース５は、ブラケット３に固定される固定部５０を有する。これにより、ケース５がブラケット３から離脱するのを防止することができ、よって、バスバー６と圧力センサ２との位置関係を維持する、すなわち、バスバー６と圧力センサ２との電気接続を維持することができる。

【0019】

固定部５０は、当該固定部５０をＺ軸方向に貫通する中空部５１を有する。中空部５１内では、バスバー６の長さ方向の一端部６４が露出する。中空部５１の下方には、圧力センサ２の一部が収納され、すなわち、各端子２１が露出する。これにより、圧力センサ２の各端子２１と、当該各端子２１に電気接続されるバスバー６とを保護することができ、バスバー６と圧力センサ２とのより確実な電気接続が可能となる。

【0020】

また、ケース５は、固定部５０から連続して延びるコネクタ部５２を有する。コネクタ部５２には、前記外部コネクタがＸ軸方向負側から挿入される凹部５２１を含む。凹部５２１内では、バスバー６の長さ方向の他端部６５が露出する。これにより、簡単な構成で、前記外部コネクタとの電気接続が可能となる。
ケース５は、樹脂製であるのが好ましい。これにより、センサユニット１全体の軽量化を図ることができる。なお、ケース５を構成する樹脂材料としては、特に限定されず、例えば、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステルを用いることができる。

【0021】

図１、図２に示すように、ケース５の固定部５０には、キャップ８が装着される。キャップ８は、円板状をなす。また、図５に示すように、キャップ８の中央部分は、周縁部分よりもＺ軸方向正側に向かって隆起する。
図５に示すように、キャップ８をケース５の固定部５０に装着するには、固定部５０の内周部（内壁部）５０４の上部に設けられた段差部５０２にキャップ８を載置する。また、固定部５０の内周部には、段差部５０２よりも上側にリブ５０３が突出して設けられる。リブ５０３は、固定部５０の内周部５０４の周方向に沿ったリング状をなす。そして、段差部５０２にキャップ８を載置した状態で、例えばリブ５０３を固定部５０の中心に向かって倒して塑性変形させることにより、キャップ８は、カシメにより固定されることとなる。これにより、キャップ８がケース５の固定部５０に装着された状態（以下「装着状態」と言う）となる。

【0022】

また、装着状態のキャップ８は、固定部５０の中空部５１を上側から覆うことができる。これにより、中空部５１内に、例えば塵や埃の異物等が入り込むことによる、端子２１同士間のショートや、圧力センサ２の誤作動を防止することができる。
また、中空部５１内において、キャップ８と、バスバー６の一端部６４とは離間している、すなわち、非接触状態となっている。これにより、例えば、流路２０１を通過する流体Ｑの圧力変動により圧力センサ２がＺ軸方向に若干移動しても、これに追従して、バスバー６の一端部６４が変形することができる。その際、キャップ８は、一端部６４から離間しているため、一端部６４の変形を許容することができる。これにより、バスバー６と各端子２１との電気接続の状態を好適に維持することができる。

【0023】

キャップ８も、ケース５と同様に、樹脂製であるのが好ましい。これにより、ケース５とともに、センサユニット１全体の軽量化を図ることができる。なお、キャップ８を構成する樹脂材料としては、特に限定されず、例えば、ケース５と同じ樹脂材料を用いることができる。

【0024】

図１、図２に示すように、圧力センサ２の上側には、ブラケット３が配置されている。ブラケット３は、Ｘ軸方向に沿った長尺状な板部材で構成されている。ブラケット３は、厚さ方向がＺ軸方向と平行となる姿勢で、圧力センサ２を下側に向かって、すなわち、ボディ２０に対して押し付けることができる。
ブラケット３は、センサ用孔３１（図５参照）と、２つのボルト用孔３２と有する。

【0025】

センサ用孔３１は、Ｚ軸方向に貫通し、圧力センサ２が下側から挿入されて取り付けられる円形の孔である。また、センサ用孔３１の縁部には、圧力センサ２のフランジ部２２が当接する。そして、図４に示すように、ブラケット３は、ボルト３０を介して、ボディ２０に固定されれば、圧力センサ２をボディ２０に対して押し付けることができる。これにより、圧力センサ２の圧力検出素子２４が流体Ｑから力を受けることができる。

【0026】

また、図５に示すように、センサ用孔３１には、バスバー６の一端部６４が臨んだ状態となる。これにより、バスバー６を圧力センサ２の各端子２１を電気接続する際、上側から中空部５１を介して、バスバー６および各端子２１を一括して視認することができ、よって、電気接続作業をより簡単に行うことができる。

【0027】

２つのボルト用孔３２は、センサ用孔３１を介して、Ｘ軸方向両側に配置されている。各ボルト用孔３２は、Ｚ軸方向に貫通し、ボルト３０が上側から挿入される円形の孔である。図４に示すように、各ボルト用孔３２に挿入されたボルト３０は、雄ねじ３０１が、ボディ２０に設けられた雌ねじ２０４に締結される。これにより、ブラケット３をボディ２０に固定することができる。なお、ボルト用孔３２の配置数は、本実施形態では２つであるが、これに限定されず、例えば、３つ以上であってもよい。また、ボルト３０は、ねじの呼びがＭ５以上Ｍ１０以下であるのが好ましく、Ｍ６以上Ｍ８以下であるのがより好ましい。

【0028】

なお、ブラケット３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、ケース５と同じ樹脂材料等を用いることができる。
また、センサユニット１では、ブラケット３、バスバー６およびケース５は、インサート成形による一体成形品であるのが好ましい。これにより、センサユニット１を簡便に製造することができる。

【0029】

位置決め部４は、ブラケット３をボディ２０に対して、ＸＹ平面方向、Ｘ軸回り、Ｙ軸回りおよび圧力センサ２回り（Ｚ軸回り）の方向とに位置決めする部分である。
例えば位置決め部４が省略されている場合、センサユニット１を組み立てる組立作業者等の技量によって、ボディ２０に対するブラケット３の位置や姿勢が変わってしまうおそれがある。ボディ２０に対するブラケット３の位置や姿勢が組立作業者によって変わってしまうと、ブラケット３が正確に位置決めされず、ブラケット３で圧力センサ２をボディ２０に対して均一に押し付けることができないおそれがある。均一に押し付けられていない圧力センサ２では、計測される圧力が不正確となるおそれがある。

【0030】

これに対し、センサユニット１では、位置決め部４により、ブラケット３がボディ２０に対して正確に位置決めされることで、センサ用孔３１の縁部が圧力センサ２のフランジ部２２に対して位置ずれすることなく当接できるため、圧力センサ２をボディ２０に対して均一に押し付けることができる。これにより、圧力センサ２で正確な計測を行うことができる。

【0031】

図１、図２に示すように、本実施形態では、位置決め部４は、ブラケット３のＺ軸方向に貫通する２つの位置決め孔３３と、各位置決め孔３３に圧入された位置決めピン５４とを有する。これにより、位置決め部４を簡単な構成とすることができる。

【0032】

２つの位置決め孔３３は、センサ用孔３１を介して、Ｘ軸方向両側に配置される。すなわち、２つの位置決め孔３３の間に、センサ用孔３１が配置される。これにより、２つの位置決め孔３３をできる限り離間させることができ、よって、ボディ２０に対するブラケット３の位置決め精度が向上する。

【0033】

なお、位置決め部４は、２つの位置決め孔３３を有するが、位置決め孔３３の配置数については、２つに限定されず、例えば、１つまたは３つ以上であってもよい。
また、各位置決め孔３３の直径は、例えば、３ｍｍ以上８ｍｍ以下であるのが好ましく、５ｍｍ以上６ｍｍ以下であるのがより好ましい。

【0034】

ケース５は、固定部５０からＸ軸方向両側に突出する２つの腕部５３を有し、各腕部５３の固定部５０と反対側の端部において、位置決めピン５４が支持されている。
位置決めピン５４は、各位置決め孔３３に圧入されている。これにより、各位置決めピン５４は、下側に向かって突出した状態となる。そして、図１に示すように、各位置決めピン５４は、ボディ２０に設けられた位置決め孔２０５に挿入され、はめ合わされる。これにより、ブラケット３をボディ２０に対して、ＸＹ平面方向、Ｘ軸回り、Ｙ軸回りおよび圧力センサ２回りの方向とに正確に位置決めすることができる。なお、位置決めピン５４と位置決め孔２０５とのはめ合いは、「すきまばめ」が好ましい。

【0035】

図５、図６に示すように、ケース５の中空部５１内に位置するバスバー６の各一端部６４には、変形部６１が設けられている。各変形部６１は、ブラケット３の厚さ方向（Ｚ軸方向）と交差する方向、すなわち、ＸＹ平面に平行な方向に延び、バスバー６の中心線Ｏ６が湾曲または屈曲して変形した部分である。また、各変形部６１は、中空部５１内で端子２１が接することができる。

【0036】

各変形部６１は、電流供給用バスバー６Ａ、接地用バスバー６Ｂおよび出力用バスバー６Ｃに設けられており、いずれも、中空部５１内での支持状態は、同じであるため、１つの変形部６１の支持状態について代表的に説明する。

【0037】

図６に示すように、変形部６１は、ケース５（固定部５０）の内側で片持ち支持される。本明細書でいう「ケース５（固定部５０）の内側で片持ち支持」とは、変形部６１が、固定部５０の中空部５１に接する内周部５０４の１箇所で固定され、当該内周部５０４側の固定端６１１と、固定端６１１と反対側の自由端６１２とを有する状態のことを言う。また、本明細書において、変形部６１と一端部６４とは、同じ部分を示し、変形部６１を一端部６４と称することがある。

【0038】

圧力センサ２は、流体Ｑからの外力を受けた際、当該外力の大きさによっては、Ｚ軸方向に振動して（移動して）、一端部６４をＺ軸方向正側に過剰に押圧するおそれがある。一端部６４は、Ｚ軸方向に過剰に押圧されると、撓んで（変形して）、応力（内部応力）を解消しようとするが、例えば、変形部６１が省略され、すなわち、直線状をなし、かつ、両持ち支持されている場合、十分に撓むことができず、結果、応力が解消するまでには至らない。そして、このような現象が繰り返されていくと、一端部６４に金属疲労が蓄積していき、遂には、破損や破断が生じるおそれがある。一端部６４に破損や破断が生じると、バスバー６を介した信号のやり取りが困難となる。

【0039】

これに対し、センサユニット１では、電流供給用バスバー６Ａ、接地用バスバー６Ｂおよび出力用バスバー６Ｃのそれぞれに変形部６１が設けられており、当該変形部６１が片持ち支持されている。これにより、電流供給用バスバー６Ａ、接地用バスバー６Ｂおよび出力用バスバー６Ｃのいずれでも、変形部６１は、中心線Ｏ６が湾曲または屈曲して変形した変形形状をなす分、圧力センサ２からの押圧力が作用した際に、容易に変形することができる。また、変形部６１は、片持ち支持されており、両持ち支持された場合に比べて、自由度、すなわち、Ｚ軸方向（上下方向）への可動域が増す。

【0040】

そして、前述した変形形状と片持ち支持との相乗効果により、変形部６１は、Ｚ軸方向に十分に撓むことができる。これにより、変形部６１は、圧力センサ２が流体Ｑからの外力を受けた際、一端部６４（バスバー６）に生じる応力を緩和する機能を発揮することができる。そして、変形部６１の応力緩和機能により、一端部６４に無理な力が作用するのを防止することができる。これにより、各バスバー６では、金属疲労の蓄積による破損や破断が防止される。

【0041】

図６に示すように、３つのバスバー６には、ブラケット３の厚さ方向、すなわち、Ｚ軸方向から見たときの変形部６１の形状（変形形状）が互いに異なるバスバー６が含まれる。本実施形態では、電流供給用バスバー６Ａ、接地用バスバー６Ｂおよび出力用バスバー６Ｃのうち、電流供給用バスバー６Ａの変形部６１と出力用バスバー６Ｃの変形部６１との形状が線対称で同じである（以下この変形部６１を「変形部６１α」と言う）。また、接地用バスバー６Ｂの変形部６１（以下この変形部６１を「変形部６１β」と言う）の形状は、変形部６１αと異なる。

【0042】

各変形部６１αは、Ｚ軸方向から見たとき（平面視で）、固定端６１１と自由端６１２との間が１回折り返された折り返し部６１３を有する。これにより、自由端６１２が折り返し部６１３よりも固定端６１１に近くなり、変形部６１αの全長を可能な限り長く確保することができる。変形部６１αのＺ軸方向への可動域（変位量）は、変形部６１αの全長に比例して、増加するため、変形部６１αの全長が長いのが好ましい。
なお、固定端６１１と折り返し部６１３との間の部分６１４は、固定部５０の内周部５０４の周方向に沿って円弧状（アーチ状）に湾曲した形状をなす。円弧状は、変形部６１αの全長を長くするのに寄与する。

【0043】

変形部６１βは、Ｚ軸方向から見たとき、波形をなし、当該波形の「山」または「谷」に相当する複数のピーク６１５を有する。これにより、変形部６１βは、波形をなす分、全長を可能な限り長く確保することができる。変形部６１βも、変形部６１αと同様に、Ｚ軸方向への可動域は、変形部６１βの全長に比例して、増加するため、変形部６１βの全長が長いのが好ましい。また、変形部６１βは、波形をなす分、長手方向に伸長することができ、Ｚ軸方向への可動域の増加が可能となる。なお、ピーク６１５の形成数は、２つ以上であれば、特に限定されず、任意である。また、変形部６１は、Ｚ軸方向から見たとき、波形をなすが、これに限定されず、例えば、ＸＹ平面方向の一方向から見たとき（側面視で）波形をなしていてもよい。

【0044】

以上のように、センサユニット１では、変形部６１の形状に関わらず、変形部６１がＺ軸方向に十分に撓むことができる。これにより、圧力センサ２が流体Ｑからの外力を受けた際、各バスバー６に生じる応力を緩和することができる。
また、変形部６１αの全長と変形部６１βの全長とは、同じであってもよいが、変形部６１αの全長が変形部６１βの全長よりも長いのが好ましい。これにより、Ｚ軸方向から見たとき、圧力センサ２の各端子２１の配置位置に合わせて、接地用バスバー６Ｂを中心に配置し、接地用バスバー６Ｂの両側に電流供給用バスバー６Ａおよび出力用バスバー６Ｃを配置することができる。
３本のバスバー６の長さ、すなわち、電流供給用バスバー６Ａ、接地用バスバー６Ｂおよび出力用バスバー６Ｃの全長は、各々が異なる長さでもよい。

【0045】

図３に示すように、各バスバー６の長手方向の途中には、バスバー６の幅方向に突出した突出部６７が設けられる。突出部６７は、固定部５０内に噛み込んで（引掛り）、変形部６１の位置を規制するアンカー効果を発揮する。これにより、各バスバー６と圧力センサ２との位置関係が維持され、よって、各バスバー６と圧力センサ２との接続状態が安定する。

【0046】

また、バスバー６には、ケース５の中空部５１内に位置する部分に、貫通孔６６（図３参照）が形成されている。貫通孔６６は、ブラケット３、バスバー６およびケース５をインサート成形で一体成形する際に用いられるが、変形部６１と同様に、応力緩和にも寄与する。なお、一部の図面では、貫通孔６６が省略されて描かれている。

【0047】

図３に示すように、変形部６１は、端子２１が接する部分に、幅が拡大され、端子２１の直径よりも大となる拡幅部６２を有する。これにより、圧力センサ２が流体Ｑからの外力を受けて、変形部６１が撓んだ場合でも、圧力センサ２とバスバー６との電気接続を安定して維持することができる。

【0048】

図６に示すように、拡幅部６２は、変形部６１の自由端６１２に設けられる。自由端６１２は、変形部６１の中で可動域が最大となる。従って、端子２１に接して、圧力センサ２からの力を直接受ける拡幅部６２は、可動域が最大となる自由端６１２に設けられるのが好ましい。これにより、圧力センサ２が前述したようにＺ軸方向に振動した際、拡幅部６２が圧力センサ２の振動に十分に追従することができ、拡幅部６２（バスバー６）と圧力センサ２との電気接続がより安定して維持される。

【0049】

＜第２実施形態＞
以下、図７、図８を参照して本発明のセンサユニットの第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、キャップの構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。

【0050】

図７、図８に示すように、本実施形態では、キャップ８がケース５の固定部５０に着脱自在に装着される。キャップ８は、板部８１と、板部８１から厚さ方向下側、すなわち、Ｚ軸方向負側に突出する突出部８２と、板部８１の縁部に沿って厚さ方向に突出する側壁部８３とを有する。

【0051】

突出部８２は、弾性変形可能な弾性片で構成されている。そして、装着状態で、突出部８２が固定部５０の外壁部に接触することにより、キャップ８が固定部５０に固定される。これにより、キャップ８の固定部５０からの離脱をより確実に防止することができ、よって、中空部５１内が不本意に露出するのを防止して、中空部５１内を確実に保護することができる。

【0052】

また、弾性片で構成された突出部８２には、厚さ方向に貫通する貫通孔８２１が設けられている。貫通孔８２１は、固定部５０の外壁部に突出して設けられた爪５０１に引っ掛かることができる。貫通孔８２１の爪５０１との引っ掛かりと、突出部８２の固定部５０との接触との相乗効果により、キャップ８の固定部５０からの離脱をさらに確実に防止することができる。なお、爪５０１は、突出量が下方に向かって漸増し、Ｘ軸方向から見たときの形状が楔状をなすのが好ましい。

【0053】

側壁部８３は、装着状態で固定部５０の外壁部（外周側）に接触する。これにより、側壁部８３の分、キャップ８の固定部５０に対する固定力がより大きくなり、よって、キャップ８の固定部５０からの離脱をさらに確実に防止することができる。
また、側壁部８３により、キャップ８の固定部５０を覆う面積が増大して、中空部５１内への異物の侵入をより確実に防止することができる。
なお、側壁部８３の下方への突出量は、本実施形態では突出部８２の下方への突出量よりも小さいが、これに限定されず、例えば、突出部８２の下方への突出量と同じであってもよいし、突出部８２の下方への突出量よりも大きくてもよい。

【0054】

以上、本発明のセンサユニットを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、センサユニットを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

【0055】

また、本発明のセンサユニットは、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、センサユニット１が備えるバスバー６の配置数は、前記各実施形態では３つであるが、これに限定されず、例えば、２つまたは４つ以上であってもよい。
また、圧力センサ２の端子２１と、バスバー６とは、例えば、レーザ溶接等により接合されていてもよい。

【符号の説明】

【0056】

１００…圧力制御装置、１…センサユニット、２…圧力センサ、２１…端子、２２…フランジ部、２３…センサ本体、２４…圧力検出素子、３…ブラケット、３１…センサ用孔、３２…ボルト用孔、３３…位置決め孔、４…位置決め部、５…ケース、５０…固定部、５０１…爪、５０２…段差部、５０３…リブ、５０４…内周部（内壁部）、５１…中空部、５２…コネクタ部、５２１…凹部、５３…腕部、５４…位置決めピン、６…バスバー、６Ａ…電流供給用バスバー、６Ｂ…接地用バスバー、６Ｃ…出力用バスバー、６１…変形部、６１α…変形部、６１β…変形部、６１１…固定端、６１２…自由端、６１３…折り返し部、６１４…部分、６１５…ピーク、６２…拡幅部、６４…一端部、６５…他端部、６６…貫通孔、６７…突出部、８…キャップ、８１…板部、８２…突出部、８２１…貫通孔、８３…側壁部、２０…ボディ、２０１…流路、２０２…側孔、２０３…パッキン、２０４…雌ねじ、２０５…位置決め孔、３０…ボルト、３０１…雄ねじ、Ｏ６…中心線、Ｑ…流体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】