鉄製の試料室２０の内部表面にニッケルメッキが施された構造を有する場合、試料Ｓを透過したＸ線が試料ベース２１や上部チャンバ２２に当たった際、ニッケルの蛍光Ｘ線（Ｎｉ－Ｋ：７４７８ｅＶ）を発生させることになる。係るニッケルの蛍光Ｘ線は試料Ｓの分析面で発生する蛍光Ｘ線と共に検出器３０にて検出され得る。そのため、蛍光Ｘ線分析結果に悪影響を及ぼす懸念がある。また、仮に鉄製の試料室２０の内部表面にニッケルメッキを施さない場合においても、試料Ｓを透過したＸ線が試料室２０の試料ベース２１や上部チャンバ２２に当たった際、鉄の蛍光Ｘ線（ＦＥ－Ｋ：６４０３ｅＶ）を発生させることになる。係る鉄の蛍光Ｘ線もまた、試料Ｓの分析面で発生する蛍光Ｘ線と共に検出器３０にて検出され得る。そのため、蛍光Ｘ線分析結果に悪影響を及ぼす懸念がある。

本発明は、以下に示す蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 ［１］ 試料にＸ線を照射するためのＸ線源と、Ｘ線の照射により試料から放出される蛍光Ｘ線を検出するための検出器と、試料を収納するための鉄製の試料室とを含み、試料室は、その内部表面の少なくとも一部が溶融アルミニウム由来のアルミニウムからなる層により被覆されている、蛍光Ｘ線分析装置。これによりニッケル由来の不純線および鉄由来の不純線による蛍光・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る