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7416910感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び感光性転写材料用仮支持体
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-01-09
(45)【発行日】2024-01-17
(54)【発明の名称】感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び感光性転写材料用仮支持体
(51)【国際特許分類】
G03F 7/004 20060101AFI20240110BHJP
G03F 7/09 20060101ALI20240110BHJP
G06F 3/041 20060101ALI20240110BHJP
【ＦＩ】
G03F7/004 512
G03F7/09 501
G06F3/041 495
G06F3/041 660
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2022508262
(86)(22)【出願日】2021-03-10
(86)【国際出願番号】 JP2021009633
(87)【国際公開番号】W WO2021187279
(87)【国際公開日】2021-09-23
【審査請求日】2022-05-26
(31)【優先権主張番号】P 2020049950
(32)【優先日】2020-03-19
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2020172154
(32)【優先日】2020-10-12
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2020207811
(32)【優先日】2020-12-15
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】306037311
【氏名又は名称】富士フイルム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】有冨 隆志
(72)【発明者】
【氏名】両角 一真
(72)【発明者】
【氏名】海鉾 洋行
【審査官】川口 真隆
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１９／０６５３７３（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０３Ｆ ７／００４
Ｇ０３Ｆ ７／０９
Ｇ０６Ｆ ３／０４１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
仮支持体と、前記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有し、
前記仮支持体の平均厚さが、２０μｍ以下であり、
前記感光性樹脂層は、重合体Ａと、重合性化合物Ｂと、光重合開始剤と、を含み、
前記感光性樹脂層は、前記感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～９０質量％の前記重合体Ａ、５質量％～７０質量％の前記重合性化合物Ｂ、及び０．０１質量％～２０質量％の前記光重合開始剤を含むネガ型感光性樹脂層であり、
１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、前記仮支持体の前記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率が、０％～１０．０％である
感光性転写材料。
【請求項2】
１００℃で１５分間の加熱処理前において、前記仮支持体の前記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角が、９０度以下である請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項3】
１２０℃で５分間の加熱処理前の前記仮支持体のヘイズと１２０℃で５分間の加熱処理後の前記仮支持体のヘイズとの差の絶対値が、０％～０．４０％である請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項4】
前記仮支持体の剥離力が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上である請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
【請求項5】
前記感光性樹脂層の平均厚さが、３μｍ～１０μｍである請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
【請求項6】
前記仮支持体が、ワックスを含む請求項１～請求項５のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
【請求項7】
前記ワックスの含有率が、前記仮支持体の全質量に対して、０．０００１質量％～０．０５質量％である請求項６に記載の感光性転写材料。
【請求項8】
請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、前記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、前記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、
前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、
をこの順に含む樹脂パターンの製造方法。
【請求項9】
請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の感光性転写材料と導電層を有する基板とを貼り合わせて、前記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、前記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、
前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、
前記樹脂パターンが配置されていない領域にある前記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程と、
をこの順に含む回路配線の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び感光性転写材料用仮支持体に関する。
【背景技術】
【0002】
タッチパネル（例えば、静電容量型入力装置）を備えた表示装置（例えば、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、及び液晶表示装置）は、タッチパネル内部にパターン状の導電層を有する。パターン状の導電層としては、例えば、視認部のセンサーに相当する電極パターン、及び配線（例えば、周辺配線、及び取り出し配線）が挙げられる。
【0003】
パターン状の導電層の形成においては、必要とするパターン形状を得るための工程数が少ないことから、感光性転写材料を用いる方法が広く採用されている（例えば、特許文献１）。例えば、基板上に、感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を設け、次いで、上記感光性樹脂層に対して所望のパターンを有するマスクを介して露光した後、現像、及びエッチング処理することで、パターン状の導電層を形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１９－１２８４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
感光性転写材料を用いたパターン形成方法においては、高解像度なパターンを得るために薄い仮支持体が用いられている。薄い仮支持体を介して感光性樹脂層を露光する際に、感光性樹脂層とフォトマスクとの距離を短くすることができるためである。しかしながら、仮支持体の厚みを小さくすると、薄い仮支持体を有する感光性転写材料と被着体（感光性転写材料に貼り付けられる対象物（例えば、基板）をいう。以下同じ。）とを貼り合わせる工程で仮支持体にシワが発生することがある。仮支持体にシワが発生すると、例えば、ロールツーロール（Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ）方式による搬送性の低下、又は配線故障を引き起こす可能性がある。
【0006】
本開示は、上記の事情に鑑みてなされたものである。
本開示の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料に用いられる仮支持体を提供することを目的とする。
本開示の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料に用いられる仮支持体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示は、以下の態様を含む。
＜１＞ 仮支持体と、上記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有し、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、上記仮支持体の上記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率が、０％～１０．０％である感光性転写材料。
＜２＞ １００℃で１５分間の加熱処理前において、上記仮支持体の上記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角が、９０度以下である＜１＞に記載の感光性転写材料。
＜３＞ 上記仮支持体の平均厚さが、２０μｍ以下である＜１＞又は＜２＞に記載の感光性転写材料。
＜４＞ １２０℃で５分間の加熱処理前の上記仮支持体のヘイズと１２０℃で５分間の加熱処理後の上記仮支持体のヘイズとの差の絶対値が、０％～０．４０％である＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜５＞ 上記仮支持体の剥離力が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上である＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜６＞ 上記感光性樹脂層の平均厚さが、３μｍ～１０μｍである＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜７＞ 上記仮支持体が、ワックスを含む＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜８＞ 上記ワックスの含有率が、上記仮支持体の全質量に対して、０．０００１質量％～０．０５質量％である＜７＞に記載の感光性転写材料。
＜９＞ ＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、をこの順に含む樹脂パターンの製造方法。
＜１０＞ ＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料と導電層を有する基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、
上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程と、をこの順に含む回路配線の製造方法。
＜１１＞ １００℃で１５分間の加熱処理の前後において水の接触角の変化率が０％～１０．０％である面を有する感光性転写材料用仮支持体。
＜１２＞ １２０℃で５分間の加熱処理前のヘイズと１２０℃で５分間の加熱処理後のヘイズとの差の絶対値が０％～０．４０％である＜１１＞に記載の感光性転写材料用仮支持体。
＜１＞ 仮支持体と、上記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有し、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、上記仮支持体の上記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率が、０％～１０．０％である感光性転写材料。
＜２＞ １００℃で１５分間の加熱処理前において、上記仮支持体の上記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角が、９０度以下である＜１＞に記載の感光性転写材料。
＜３＞ 上記仮支持体の平均厚さが、２０μｍ以下である＜１＞又は＜２＞に記載の感光性転写材料。
＜４＞ １２０℃で５分間の加熱処理前の上記仮支持体のヘイズと１２０℃で５分間の加熱処理後の上記仮支持体のヘイズとの差の絶対値が、０％～０．４０％である＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜５＞ 上記仮支持体の剥離力が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上である＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜６＞ 上記感光性樹脂層の平均厚さが、３μｍ～１０μｍである＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜７＞ 上記仮支持体が、ワックスを含む＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜８＞ 上記ワックスの含有率が、上記仮支持体の全質量に対して、０．０００１質量％～０．０５質量％である＜７＞に記載の感光性転写材料。
＜９＞ ＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、をこの順に含む樹脂パターンの製造方法。
＜１０＞ ＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料と導電層を有する基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、
上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程と、をこの順に含む回路配線の製造方法。
＜１１＞ １００℃で１５分間の加熱処理の前後において水の接触角の変化率が０％～１０．０％である面を有する感光性転写材料用仮支持体。
＜１２＞ １２０℃で５分間の加熱処理前のヘイズと１２０℃で５分間の加熱処理後のヘイズとの差の絶対値が０％～０．４０％である＜１１＞に記載の感光性転写材料用仮支持体。
【発明の効果】
【0008】
本開示の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料が提供される。
本開示の他の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法が提供される。
本開示の他の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法が提供される。
本開示の他の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料に用いられる仮支持体が提供される。
本開示の他の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法が提供される。
本開示の他の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法が提供される。
本開示の他の一態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料に用いられる仮支持体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】感光性転写材料の構成の一例を示す概略側面図である。
【図2】タッチパネル製造用マスクのパターンの一例を示す概略平面図である。
【図3】タッチパネル製造用マスクのパターンの他の一例を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本開示の実施形態について詳細に説明する。本開示は、以下の実施形態に何ら制限されず、本開示の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
【0011】
本開示の実施形態について図面を参照して説明する場合、図面において重複する構成要素、及び符号については、説明を省略することがある。図面において同一の符号を用いて示す構成要素は、同一の構成要素であることを意味する。図面における寸法の比率は、必ずしも実際の寸法の比率を表すものではない。
【0012】
本開示において、「～」を用いて示された数値範囲は、「～」の前後に記載される数値をそれぞれ下限値及び上限値として含む範囲を示す。本開示に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
【0013】
本開示において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する複数の物質の合計量を意味する。
【0014】
本開示において、「工程」との用語には、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
【0015】
本開示において、「質量％」と「重量％」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
【0016】
本開示において、２以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
【0017】
本開示において、置換、及び無置換を記していない基（原子団）は、置換基を有しない基、及び置換基を有する基を包含する。例えば、「アルキル基」との表記は、置換基を有しないアルキル基（すなわち、無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（すなわち、置換アルキル基）を包含する。
【0018】
本開示において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸、メタクリル酸、又はアクリル酸及びメタクリル酸の両方を意味する。
【0019】
本開示において、「（メタ）アクリロイル基」とは、アクリロイル基、メタクリロイル基、又はアクリロイル基及びメタクリロイル基の両方を意味する。
【0020】
本開示において、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート、メタクリレート、又はアクリレート及びメタクリレートの両方を意味する。
【0021】
本開示において、「アルカリ可溶性」とは、２２℃の液温において、炭酸ナトリウムの水溶液（１００ｇ、炭酸ナトリウムの濃度：１質量％）への溶解度が０．１ｇ以上である性質を意味する。
【0022】
本開示において、化学構造式は、水素原子を省略した構造式で記載する場合がある。
【0023】
本開示において、「露光」とは、特に断りのない限り、光を用いた露光のみならず、粒子線（例えば、電子線、及びイオンビーム）を用いた描画を含む。露光に用いられる光としては、例えば、活性光線（活性エネルギー線ともいう。）が挙げられる。活性光線としては、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ（Extreme ultraviolet lithography）光）、及びＸ線が挙げられる。
【0024】
本開示において、重量平均分子量（Ｍｗ）、及び数平均分子量（Ｍｎ）は、特に断りのない限り、「ＴＳＫｇｅｌ ＧＭＨｘＬ」、「ＴＳＫｇｅｌ Ｇ４０００ＨｘＬ」、及び「ＴＳＫｇｅｌ Ｇ２０００ＨｘＬ」（いずれも東ソー株式会社製の商品名）のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ：Gel Permeation Chromatography）分析装置により、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）中の化合物を示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
【0025】
本開示において、「固形分」とは、対象物の全成分から溶剤を除いた成分を意味する。
【0026】
本開示において、序数詞（例えば、「第１」、及び「第２」）は、構成要素を区別するために使用する用語であり、構成要素の数、及び構成要素の優劣を制限するものではない。
【0027】
本開示において、名称に付記される記号（例えば、「Ａ」、及び「Ｂ」）は、構成要素を区別するために使用する記号であり、構成要素の種類、構成要素の数、及び構成要素の優劣を制限するものではない。
【0028】
本開示において、特段の断りがない限り、屈折率は、波長５５０ｎｍでエリプソメーターを用いて測定した値である。
【0029】
＜感光性転写材料＞
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体と、上記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有し、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、上記仮支持体の上記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率が、０％～１０．０％である。本開示に係る感光性転写材料によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体と、上記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有し、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、上記仮支持体の上記感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率が、０％～１０．０％である。本開示に係る感光性転写材料によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。
【0030】
本開示に係る感光性転写材料が上記効果を奏する理由は、以下のように推察される。感光性転写材料を用いたパターン形成方法において、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程は、加熱条件下で行われることがある。例えば、加熱された圧着部材（例えば、ロール）を仮支持体に接触させることで、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせている。上記のような方法では、加熱された仮支持体の表面にオリゴマーのような成分が析出することで、仮支持体表面の接着性が増大する。この結果、仮支持体の表面特性（例えば、滑り性）が変化し、仮支持体にシワが発生すると考えられる。一方、本開示に係る感光性転写材料では、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において仮支持体の感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率が０％～１０．０％であることで、加熱条件下で感光性転写材料と被着体とを貼り合わせても仮支持体の表面特性が変化することを抑制することができる。よって、本開示に係る感光性転写材料によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。
【0031】
＜＜構成要素＞＞
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体と、上記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有する。感光性樹脂層は、仮支持体の上に、直接、又は任意の層を介して積層されてもよい。本開示に係る感光性転写材料では、感光性樹脂層の上に任意の層が積層されてもよい。任意の層としては、例えば、後述する他の層が挙げられる。以下、本開示に係る感光性転写材料の構成要素について具体的に説明する。
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体と、上記仮支持体の上に感光性樹脂層と、を有する。感光性樹脂層は、仮支持体の上に、直接、又は任意の層を介して積層されてもよい。本開示に係る感光性転写材料では、感光性樹脂層の上に任意の層が積層されてもよい。任意の層としては、例えば、後述する他の層が挙げられる。以下、本開示に係る感光性転写材料の構成要素について具体的に説明する。
【0032】
［仮支持体］
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体を有する。仮支持体は、感光性転写材料から剥離可能な支持体である。仮支持体は、少なくとも感光性樹脂層を支持することができる。仮支持体の構造は、単層構造、又は多層構造であってもよい。多層構造を有する仮支持体の層構成は、制限されない。多層構造を有する仮支持体は、被覆層、又は機能層を有してもよい。多層構造を有する仮支持体としては、例えば、基材と、被覆層又は機能層と、を有する仮支持体が挙げられる。基材としては、例えば、下記「組成」の項において説明する材料（例えば、ガラス基板、樹脂フィルム、及び紙）が挙げられる。被覆層は、任意の層（例えば、基材）の表面の一部又は全部を覆う層である。機能層としては、例えば、接着層（密着層）、剥離層、滑り性付与層、帯電防止層、支持体からの成分の染み出しを防止する層、平滑性付与層、及びハードコート層が挙げられる。被覆層は、機能層であってもよい。また、多層構造を有する仮支持体は、塗布法、又は共押出により形成される。
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体を有する。仮支持体は、感光性転写材料から剥離可能な支持体である。仮支持体は、少なくとも感光性樹脂層を支持することができる。仮支持体の構造は、単層構造、又は多層構造であってもよい。多層構造を有する仮支持体の層構成は、制限されない。多層構造を有する仮支持体は、被覆層、又は機能層を有してもよい。多層構造を有する仮支持体としては、例えば、基材と、被覆層又は機能層と、を有する仮支持体が挙げられる。基材としては、例えば、下記「組成」の項において説明する材料（例えば、ガラス基板、樹脂フィルム、及び紙）が挙げられる。被覆層は、任意の層（例えば、基材）の表面の一部又は全部を覆う層である。機能層としては、例えば、接着層（密着層）、剥離層、滑り性付与層、帯電防止層、支持体からの成分の染み出しを防止する層、平滑性付与層、及びハードコート層が挙げられる。被覆層は、機能層であってもよい。また、多層構造を有する仮支持体は、塗布法、又は共押出により形成される。
【0033】
（接触角）
１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、仮支持体の感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率は、０％～１０．０％である。本開示において、「仮支持体の感光性樹脂層に対向する面」とは、仮支持体の表面のうち感光性樹脂層を向いている面をいう。例えば仮支持体が感光性樹脂層に隣接している場合、仮支持体の感光性樹脂層に対向する面は、仮支持体の表面のうち感光性樹脂層に接している面である。以下、「仮支持体の感光性樹脂層に対向する面」を「第１面」という場合がある。以下、「仮支持体の感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面」を「第２面」という場合がある。仮支持体の第２面に対する水の接触角の変化率が０％～１０．０％であることで、加熱条件下で仮支持体の表面特性が変化することを抑制することができるため、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。上記接触角の変化率は、９．０％以下であることが好ましい。また、ロールツーロールでの搬送性の点から、上記加熱処理後の仮支持体の第２面に対する水の接触角は、９０度以下であることが好ましく、８５度以下であることがより好ましく、８０度以下であることが更に好ましい。
１００℃で１５分間の加熱処理の前後において、仮支持体の感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面に対する水の接触角の変化率は、０％～１０．０％である。本開示において、「仮支持体の感光性樹脂層に対向する面」とは、仮支持体の表面のうち感光性樹脂層を向いている面をいう。例えば仮支持体が感光性樹脂層に隣接している場合、仮支持体の感光性樹脂層に対向する面は、仮支持体の表面のうち感光性樹脂層に接している面である。以下、「仮支持体の感光性樹脂層に対向する面」を「第１面」という場合がある。以下、「仮支持体の感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面」を「第２面」という場合がある。仮支持体の第２面に対する水の接触角の変化率が０％～１０．０％であることで、加熱条件下で仮支持体の表面特性が変化することを抑制することができるため、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。上記接触角の変化率は、９．０％以下であることが好ましい。また、ロールツーロールでの搬送性の点から、上記加熱処理後の仮支持体の第２面に対する水の接触角は、９０度以下であることが好ましく、８５度以下であることがより好ましく、８０度以下であることが更に好ましい。
【0034】
加熱処理前の水の接触角をＣ１とし、加熱処理後の水の接触角をＣ２とした場合、水の接触角の変化率は、下記式に従って求める。下記式において、「｜Ｃ２－Ｃ１｜」は、Ｃ２とＣ１との差の絶対値を表す。
式：水の接触角の変化率（％）＝（｜Ｃ２－Ｃ１｜）／Ｃ１×１００
式：水の接触角の変化率（％）＝（｜Ｃ２－Ｃ１｜）／Ｃ１×１００
【0035】
加熱処理前の水の接触角（Ｃ１）は、以下の方法によって測定する。
（１）室温が２５℃、相対湿度が５０％の雰囲気下で仮支持体を２４時間静置する。
（２）上記（１）に示す雰囲気下で仮支持体の第２面に滴下した１２μＬの純水の接触角を、接触角計ＣＡ－Ｄ型（協和界面科学株式会社）を用いて測定する。上記した測定を合計５回行う。
（３）５点の測定値の最大値と最小値を除いた３点の測定値の算術平均を、加熱処理前の水の接触角（Ｃ１）とする。
（１）室温が２５℃、相対湿度が５０％の雰囲気下で仮支持体を２４時間静置する。
（２）上記（１）に示す雰囲気下で仮支持体の第２面に滴下した１２μＬの純水の接触角を、接触角計ＣＡ－Ｄ型（協和界面科学株式会社）を用いて測定する。上記した測定を合計５回行う。
（３）５点の測定値の最大値と最小値を除いた３点の測定値の算術平均を、加熱処理前の水の接触角（Ｃ１）とする。
【0036】
加熱処理後の水の接触角（Ｃ２）は、以下の方法によって測定する。
（１）１００℃の雰囲気下で仮支持体を１５分間静置する。
（２）室温が２５℃、相対湿度が５０％の雰囲気下で仮支持体を２４時間静置する。
（３）上記（２）に示す雰囲気下で仮支持体の第２面に滴下した１２μＬの純水の接触角を、接触角計ＣＡ－Ｄ型（協和界面科学株式会社）を用いて測定する。上記した測定を合計５回行う。
（４）５点の測定値の最大値と最小値を除いた３点の測定値の算術平均を、加熱処理後の水の接触角（Ｃ２）とする。
（１）１００℃の雰囲気下で仮支持体を１５分間静置する。
（２）室温が２５℃、相対湿度が５０％の雰囲気下で仮支持体を２４時間静置する。
（３）上記（２）に示す雰囲気下で仮支持体の第２面に滴下した１２μＬの純水の接触角を、接触角計ＣＡ－Ｄ型（協和界面科学株式会社）を用いて測定する。上記した測定を合計５回行う。
（４）５点の測定値の最大値と最小値を除いた３点の測定値の算術平均を、加熱処理後の水の接触角（Ｃ２）とする。
【0037】
１００℃で１５分間の加熱処理前において、仮支持体の第２面に対する水の接触角は、実用的な観点から、９０度以下であることが好ましく、８０度以下であることがより好ましい。上記接触角の下限は、制限されない。上記接触角の下限を設定する場合、上記接触角は、５０度以上であることが好ましく、６０度以上であることがより好ましい。
【0038】
仮支持体の第２面に対する水の接触角（水の接触角の変化率を含む。以下、本段落において同じ。）を調整する方法としては、公知の方法を利用することができる。仮支持体の第２面に対する水の接触角は、例えば、仮支持体の組成、及び仮支持体の表面粗さに応じて変化する。例えば、後述するワックスを仮支持体の成分として用いることで、仮支持体の第２面に対する水の接触角を調整することができる。また、仮支持体の原料として用いられる樹脂の組成を変更すること、又は仮支持体の成分としてマット剤若しくは無機フィラーを添加することで、仮支持体の第２面に対する水の接触角を調整することができる。
【0039】
上記した接触角に関する性質は、少なくとも仮支持体の第２面で発現していればよい。仮支持体の第１面は、上記した仮支持体の第２面の性質と同様の性質を有してもよい。
【0040】
（ヘイズ）
仮支持体のヘイズは、加熱環境下で変化しにくいことが好ましい。具体的に、１２０℃で５分間の加熱処理前の仮支持体のヘイズ（以下、「Ｈ１」という場合がある。）と１２０℃で５分間の加熱処理後の仮支持体のヘイズ（以下、「Ｈ２」という場合ある。）との差の絶対値（すなわち、｜Ｈ２－Ｈ１｜）は、０％～０．４０％であることが好ましく、０％～０．３０％であることがより好ましく、０％～０．２０％であることが更に好ましく、０％～０．１０％であることが特に好ましい。１２０℃で５分間の加熱処理前の仮支持体のヘイズは、０％～０．４０％であることが好ましく、０％～０．３０％であることがより好ましく、０％～０．２０％であることが特に好ましい。
仮支持体のヘイズは、加熱環境下で変化しにくいことが好ましい。具体的に、１２０℃で５分間の加熱処理前の仮支持体のヘイズ（以下、「Ｈ１」という場合がある。）と１２０℃で５分間の加熱処理後の仮支持体のヘイズ（以下、「Ｈ２」という場合ある。）との差の絶対値（すなわち、｜Ｈ２－Ｈ１｜）は、０％～０．４０％であることが好ましく、０％～０．３０％であることがより好ましく、０％～０．２０％であることが更に好ましく、０％～０．１０％であることが特に好ましい。１２０℃で５分間の加熱処理前の仮支持体のヘイズは、０％～０．４０％であることが好ましく、０％～０．３０％であることがより好ましく、０％～０．２０％であることが特に好ましい。
【0041】
仮支持体のヘイズは、ヘイズメーター（例えば、ＮＤＨ－２０００、日本電色工業株式会社）を用いて「ＪＩＳ Ｋ ７１０５」に準ずる方法により測定する。ただし、「１２０℃で５分間の加熱処理後の仮支持体のヘイズ」は、１２０℃の雰囲気下で仮支持体を５分間静置し、次いで、室温２５℃、相対湿度が５０％の雰囲気下で仮支持体を１８０分間静置した後、上記方法によって測定した仮支持体のヘイズとする。
【0042】
（剥離力）
仮支持体の剥離力は、０．２ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、０．５ｇｆ／ｃｍ以上であることがより好ましく、０．８ｇｆ／ｃｍ以上であることが更に好ましく、１．０ｇｆ／ｃｍ以上であることが特に好ましい。仮支持体の剥離力が０．２ｇｆ／ｃｍ以上であることで、感光性転写材料において仮支持体に隣接する層（例えば、感光性樹脂層）と仮支持体との密着性を大きくすることができるため、仮支持体のシワの発生を更に抑制することができる。仮支持体の剥離力の上限は、制限されない。仮支持体の剥離力の上限を設定する場合、仮支持体の剥離力は、例えば、１０ｇｆ／ｃｍ以下の範囲で決定すればよい。本開示において規定される仮支持体の剥離力は、加熱処理前における仮支持体の剥離力である。
仮支持体の剥離力は、０．２ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、０．５ｇｆ／ｃｍ以上であることがより好ましく、０．８ｇｆ／ｃｍ以上であることが更に好ましく、１．０ｇｆ／ｃｍ以上であることが特に好ましい。仮支持体の剥離力が０．２ｇｆ／ｃｍ以上であることで、感光性転写材料において仮支持体に隣接する層（例えば、感光性樹脂層）と仮支持体との密着性を大きくすることができるため、仮支持体のシワの発生を更に抑制することができる。仮支持体の剥離力の上限は、制限されない。仮支持体の剥離力の上限を設定する場合、仮支持体の剥離力は、例えば、１０ｇｆ／ｃｍ以下の範囲で決定すればよい。本開示において規定される仮支持体の剥離力は、加熱処理前における仮支持体の剥離力である。
【0043】
仮支持体の剥離力は、以下の方法によって測定する。測定装置は、テンシロン引張試験機（株式会社オリエンテック、型式名：「ＲＴＭ５００」）を用いる。カッターを用いて、幅が２５ｍｍ、長さが８０ｍｍの矩形状に感光性転写材料を切断する。得られた試験片の長手方向を鉛直方向（重力方向）に沿って固定する。固定された試験片において仮支持体の下方先端部を剥がす。剥がした仮支持体の先端部をテンシロン引張試験機のチャック（試験片を挟むための治具をいう。）で挟む。仮支持体の先端部を挟んだチャックを１００ｍｍ／分の引張速度で上方向（すなわち、鉛直方向とは反対側の方向）に移動させ、仮支持体を１８０度剥離した際の力（粘着力）を測定する。ただし、測定開始後、最初の３０ｍｍの長さの測定値は無視する。仮支持体の剥離開始から剥離終了までの間に測定された力を平均して得られた値を、粘着力として採用する。粘着力を試験片の幅（２５ｍｍ＝２．５ｃｍ）で除することで、仮支持体の剥離力（ｇｆ／ｃｍ）を求める。
【0044】
（厚さ）
仮支持体の平均厚さは、仮支持体を介した感光性樹脂層の露光を経て形成されるパターンの解像性を向上させるという観点から、２０μｍ以下であることが好ましく、１８μｍ以下であることがより好ましく、１６μｍ以下であることが特に好ましい。本開示に係る感光性転写材料においては、上記したような薄い仮支持体を採用した場合であっても、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制することができる。仮支持体の厚さの下限は、制限されない。仮支持体の平均厚さは、取り扱い易さ、及び汎用性の観点から、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。
仮支持体の平均厚さは、仮支持体を介した感光性樹脂層の露光を経て形成されるパターンの解像性を向上させるという観点から、２０μｍ以下であることが好ましく、１８μｍ以下であることがより好ましく、１６μｍ以下であることが特に好ましい。本開示に係る感光性転写材料においては、上記したような薄い仮支持体を採用した場合であっても、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制することができる。仮支持体の厚さの下限は、制限されない。仮支持体の平均厚さは、取り扱い易さ、及び汎用性の観点から、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。
【0045】
仮支持体の平均厚さは、以下の方法によって測定する。走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、仮支持体の主面に対して垂直な方向（すなわち、厚さ方向）の断面を観察する。得られた観察画像に基づいて、仮支持体の厚さを１０点測定する。測定値を算術平均することで、仮支持体の平均厚さを求める。なお、上記した測定方法は、単層構造を有する仮支持体に限られず、多層構造を有する仮支持体にも適用するものとする。
【0046】
（光透過性）
仮支持体は、光透過性を有することが好ましい。仮支持体が光透過性を有することで、感光性樹脂層を露光する際に、仮支持体を介して感光性樹脂層を露光することができる。本開示において、「光透過性を有する」とは、パターン露光に使用する波長の光の透過率が５０％以上であることを意味する。仮支持体において、パターン露光に使用する波長（好ましくは波長３６５ｎｍ）の光の透過率は、感光性樹脂層の露光感度の向上の観点から、６０％以上であることが好ましく、７０％以上であることがより好ましい。本開示において、「透過率」とは、測定対象となる層の主面に垂直な方向（すなわち、厚さ方向）に光を入射させたときの入射光の強度に対する、測定対象となる層を通過して出射した出射光の強度の比率である。透過率は、大塚電子株式会社製のＭＣＰＤ Ｓｅｒｉｅｓを用いて測定する。
仮支持体は、光透過性を有することが好ましい。仮支持体が光透過性を有することで、感光性樹脂層を露光する際に、仮支持体を介して感光性樹脂層を露光することができる。本開示において、「光透過性を有する」とは、パターン露光に使用する波長の光の透過率が５０％以上であることを意味する。仮支持体において、パターン露光に使用する波長（好ましくは波長３６５ｎｍ）の光の透過率は、感光性樹脂層の露光感度の向上の観点から、６０％以上であることが好ましく、７０％以上であることがより好ましい。本開示において、「透過率」とは、測定対象となる層の主面に垂直な方向（すなわち、厚さ方向）に光を入射させたときの入射光の強度に対する、測定対象となる層を通過して出射した出射光の強度の比率である。透過率は、大塚電子株式会社製のＭＣＰＤ Ｓｅｒｉｅｓを用いて測定する。
【0047】
（組成）
仮支持体としては、例えば、ガラス基板、樹脂フィルム、及び紙が挙げられる。仮支持体は、強度、可撓性、及び光透過性の観点から、樹脂フィルムであることが好ましい。
仮支持体としては、例えば、ガラス基板、樹脂フィルム、及び紙が挙げられる。仮支持体は、強度、可撓性、及び光透過性の観点から、樹脂フィルムであることが好ましい。
【0048】
樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム（すなわち、ＰＥＴフィルム）、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。樹脂フィルムは、ＰＥＴフィルムであることが好ましく、２軸延伸ＰＥＴフィルムであることがより好ましい。
【0049】
仮支持体としては、例えば、膜厚１６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、膜厚１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び膜厚９μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが挙げられる。
【0050】
仮支持体は、ワックスを含むことが好ましい。仮支持体がワックスを含むことで、仮支持体の表面にオリゴマーのような成分が析出することを抑制することができるため、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を更に抑制することができる。上記と同様の観点から、仮支持体は、ワックスを含む層を有することが好ましく、ワックスを含む表層（被覆層）を有することがより好ましい。
【0051】
ワックスとしては、公知のワックスを利用することができる。ワックスとしては、例えば、天然ワックス、及び合成ワックスが挙げられる。
【0052】
天然ワックスとしては、例えば、植物系ワックス（例えば、カルナバワックス、キャンデリラワックス、及び木蝋）、石油系ワックス（例えば、パラフィンワックス、及びマイクロクリスタリンワックス）、鉱物系ワックス（例えば、モンタンワックス）、動物系ワックス（例えば、蜜蝋、及びラノリン）などが挙げられる。
【0053】
合成ワックスとしては、例えば、オレフィン系ワックス（例えば、ポリエチレンワックス、及びポリプロピレンワックス）、合成炭化水素系ワックス（例えば、フィッシャートロプシュワックス）、水素化ワックス（例えば、硬化ヒマシ油、硬化ヒマシ油誘導体）が挙げられる。合成ワックスとしては、例えば、ステアリン酸、オレイン酸、エルカ酸、ラウリン酸、ベヘン酸、パルミチン酸、若しくはアジピン酸のエステル、アミド、ビスアミド、ケトン、又は金属塩、及びこれらの誘導体も挙げられる。
【0054】
ワックスの分子量は、制限されない。ワックスの分子量は、耐摩耗性の観点から、１００以上であることが好ましく、３００以上であることがより好ましい。ワックスの分子量は、滑り性付与の観点から、５，０００以下であることが好ましく、３，０００以下であることがより好ましい。ワックスが分子量分布を有する場合において「ワックスの分子量」とは、ワックスの重量平均分子量を意味する。
【0055】
仮支持体は、１種単独、又は２種以上のワックスを含んでもよい。
【0056】
ワックスの含有率は、仮支持体の全質量に対して、０．０００１質量％以上であることが好ましく、０．０００５質量％以上であることがより好ましく、０．００１質量％以上であることが特に好ましい。ワックスの含有率は、仮支持体の全質量に対して、０．０５質量％以下であることが好ましく、０．０３質量％以下であることがより好ましく、０．０１質量％以下であることが特に好ましい。ワックスの含有率が上記範囲であることで、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を更に抑制することができる。
【0057】
（粗さ）
仮支持体の第１面及び仮支持体の第２面からなる群より選択される少なくとも１つの算術平均粗さＲａは、０．１μｍ以下であることが好ましく、０．０５μｍ以下であることがより好ましく、０．０２μｍ以下であることが特に好ましい。算術平均粗さＲａの下限は、制限されない。算術平均粗さＲａの下限を設定する場合、仮支持体の第１面及び仮支持体の第２面からなる群より選択される少なくとも１つの算術平均粗さＲａは、例えば、０μｍ以上の範囲で決定すればよい。仮支持体の第１面及び仮支持体の第２面のうち、少なくとも仮支持体の第２面の算術平均粗さＲａが上記範囲であることが好ましい。
仮支持体の第１面及び仮支持体の第２面からなる群より選択される少なくとも１つの算術平均粗さＲａは、０．１μｍ以下であることが好ましく、０．０５μｍ以下であることがより好ましく、０．０２μｍ以下であることが特に好ましい。算術平均粗さＲａの下限は、制限されない。算術平均粗さＲａの下限を設定する場合、仮支持体の第１面及び仮支持体の第２面からなる群より選択される少なくとも１つの算術平均粗さＲａは、例えば、０μｍ以上の範囲で決定すればよい。仮支持体の第１面及び仮支持体の第２面のうち、少なくとも仮支持体の第２面の算術平均粗さＲａが上記範囲であることが好ましい。
【0058】
算術平均粗さＲａは、以下の方法によって測定する。３次元光学プロファイラー（Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ７３００、Ｚｙｇｏ社）を用いて、以下の条件にて測定対象物の表面プロファイルを得る。測定及び解析ソフトウェアとしては、ＭｅｔｒｏＰｒｏ ｖｅｒ８．３．２のＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎを用いる。次に、上記ソフトウェアを用いてＳｕｒｆａｃｅ Ｍａｐ画面を表示し、Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍａｐ画面中でヒストグラムデータを得る。得られたヒストグラムデータから、測定対象物の表面の算術平均粗さＲａを得る。なお、測定対象物の表面が他の層の表面と接触している場合、測定対象物を他の層から剥離することで露出した測定対象物の表面の算術平均粗さＲａを測定すればよい。
【0059】
（他の性質）
仮支持体（特に樹脂フィルム）には、例えば、変形（例えば、シワ）、傷、及び欠陥がないことが好ましい。仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び仮支持体の透明性の観点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物、欠陥、及び析出物の数は少ないことが好ましい。仮支持体において、直径が１μｍ以上である、微粒子、異物、及び欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ２以下であることが好ましく、１０個／１０ｍｍ２以下であることがより好ましく、３個／１０ｍｍ２以下であることが更に好ましく、０個／１０ｍｍ２であることが特に好ましい。
仮支持体（特に樹脂フィルム）には、例えば、変形（例えば、シワ）、傷、及び欠陥がないことが好ましい。仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び仮支持体の透明性の観点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物、欠陥、及び析出物の数は少ないことが好ましい。仮支持体において、直径が１μｍ以上である、微粒子、異物、及び欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ２以下であることが好ましく、１０個／１０ｍｍ２以下であることがより好ましく、３個／１０ｍｍ２以下であることが更に好ましく、０個／１０ｍｍ２であることが特に好ましい。
【0060】
仮支持体の好ましい態様については、例えば、特開２０１４－８５６４３号公報の段落００１７～段落００１８、特開２０１６－２７３６３号公報の段落００１９～段落００２６、国際公開第２０１２／０８１６８０号の段落００４１～段落００５７、国際公開第２０１８／１７９３７０号の段落００２９～段落００４０、及び特開２０１９－１０１４０５号公報の段落００１２～段落００３２に記載がある。これらの公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0061】
［感光性樹脂層］
本開示に係る感光性転写材料は、感光性樹脂層を有する。感光性樹脂層は、露光により露光部の現像液に対する溶解性が低下し、非露光部が現像により除去されるネガ型感光性樹脂層であることが好ましい。しかしながら、感光性樹脂層は、ネガ型感光性樹脂層に限られず、露光により露光部の現像液に対する溶解性が向上し、露光部が現像により除去されるポジ型感光性樹脂層であってもよい。
本開示に係る感光性転写材料は、感光性樹脂層を有する。感光性樹脂層は、露光により露光部の現像液に対する溶解性が低下し、非露光部が現像により除去されるネガ型感光性樹脂層であることが好ましい。しかしながら、感光性樹脂層は、ネガ型感光性樹脂層に限られず、露光により露光部の現像液に対する溶解性が向上し、露光部が現像により除去されるポジ型感光性樹脂層であってもよい。
【0062】
ある実施形態において、感光性樹脂層は、重合体Ａと、重合性化合物Ｂと、光重合開始剤と、を含むことが好ましい。ある実施形態において、感光性樹脂層は、上記感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～９０質量％の重合体Ａ、５質量％～７０質量％の重合性化合物Ｂ、及び０．０１質量％～２０質量％の光重合開始剤を含むことが好ましい。重合体Ａ、重合性化合物Ｂ、及び光重合開始剤については、後述する。
【0063】
（重合体Ａ）
感光性樹脂層は、重合体Ａを含むことが好ましい。重合体Ａは、アルカリ可溶性高分子であることが好ましい。アルカリ可溶性高分子は、アルカリ物質に溶け易い高分子を包含する。
感光性樹脂層は、重合体Ａを含むことが好ましい。重合体Ａは、アルカリ可溶性高分子であることが好ましい。アルカリ可溶性高分子は、アルカリ物質に溶け易い高分子を包含する。
【0064】
重合体Ａの酸価は、現像液による感光性樹脂層の膨潤を抑制することで解像性がより優れる観点から、２２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であることがより好ましく、１９０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であることが特に好ましい。酸価の下限は、制限されない。重合体Ａの酸価は、現像性がより優れる観点から、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが更に好ましく、１７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが特に好ましい。重合体Ａの酸価は、例えば、重合体Ａを構成する構成単位の種類、及び酸基を含有する構成単位の含有量によって調整することができる。
【0065】
本開示において、酸価は、試料１ｇを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量（ｍｇ）である。本開示においては、酸価の単位をｍｇＫＯＨ／ｇと記載する。酸価は、例えば、化合物中における酸基の平均含有量から算出できる。
【0066】
重合体Ａの重量平均分子量（Ｍｗ）は、５，０００～５００，０００であることが好ましい。重量平均分子量を５００，０００以下にすることは、解像性、及び現像性を向上させる観点から好ましい。重合体Ａの重量平均分子量は、１００，０００以下であることがより好ましく、６０，０００以下であることが更に好ましく、５０，０００以下であることが特に好ましい。一方、重量平均分子量を５，０００以上にすることは、現像凝集物の性状、エッジフューズ性、及びカットチップ性を制御する観点から好ましい。重合体Ａの重量平均分子量は、１０，０００以上であることがより好ましく、２０，０００以上であることが更に好ましく、３０，０００以上であることが特に好ましい。エッジフューズ性とは、感光性転写材料をロール状に巻き取った場合に、ロールの端面からの、感光性樹脂層のはみ出し易さの程度をいう。カットチップ性とは、未露光膜をカッターで切断した場合に、チップの飛び易さの程度をいう。例えば、チップが感光性転写材料の表面に付着すると、露光工程でチップがマスクに転写して、不良品の原因となる。
【0067】
重合体Ａの分散度は、１．０～６．０であることが好ましく、１．０～５．０であることがより好ましく、１．０～４．０であることが更に好ましく、１．０～３．０であることが特に好ましい。本開示において、分散度は、数平均分子量に対する重量平均分子量の比（重量平均分子量／数平均分子量）である。
【0068】
重合体Ａは、露光時の焦点位置がずれたときの線幅太り、及び解像度の悪化を抑制する観点から、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有することが好ましい。
【0069】
芳香族炭化水素基としては、例えば、置換又は非置換のフェニル基、及び置換又は非置換のアラルキル基が挙げられる。
【0070】
重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位の含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましく、４０質量％以上であることが更に好ましく、４５質量％以上であることが特に好ましく、５０質量％以上であることが最も好ましい。芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位の含有割合の上限は、制限されない。重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位の含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、９５質量％以下であることが好ましく、８５質量％以下であることがより好ましい。なお、感光性樹脂層が複数種の重合体Ａを含む場合、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位の含有割合は、重量平均値として求める。
【0071】
芳香族炭化水素基を有する単量体としては、例えば、アラルキル基を有する単量体、スチレン、及び重合可能なスチレン誘導体（例えば、メチルスチレン、ビニルトルエン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、４－ビニル安息香酸、スチレンダイマー、及びスチレントリマー）が挙げられる。芳香族炭化水素基を有する単量体は、アラルキル基を有する単量体、又はスチレンであることが好ましい。
【0072】
アラルキル基としては、置換又は非置換のフェニルアルキル基（ベンジル基を除く）、及び置換又は非置換のベンジル基が挙げられ、置換又は非置換のベンジル基が好ましい。
【0073】
フェニルアルキル基を有する単量体としては、例えば、フェニルエチル（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0074】
ベンジル基を有する単量体としては、ベンジル基を有する（メタ）アクリレート（例えば、ベンジル（メタ）アクリレート、及びクロロベンジル（メタ）アクリレート）、ベンジル基を有するビニルモノマー（例えば、ビニルベンジルクロライド、及びビニルベンジルアルコール）が挙げられる。ベンジル基を有する単量体は、ベンジル（メタ）アクリレートであることが好ましい。
【0075】
ある実施形態において、重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位がベンジル（メタ）アクリレートに由来する構成単位である場合、重合体Ａにおけるベンジル（メタ）アクリレート単量体に由来する構成単位の含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、５０質量％～９５質量％であることが好ましく、６０質量％～９０質量％であることがより好ましく、７０質量％～９０質量％であることが更に好ましく、７５質量％～９０質量％であることが特に好ましい。
【0076】
ある実施形態において、重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位がスチレンに由来する構成単位である場合、重合体Ａにおけるスチレンに由来する構成単位の含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、２０質量％～６０質量％であることが好ましく、２５～５５質量％であることがより好ましく、３０質量％～５０質量％であることが更に好ましい。なお、感光性樹脂層が複数の種類の重合体Ａを含む場合、芳香族炭化水素基を有する構成単位の含有率は、重量平均値として求められる。
【0077】
ある実施形態において、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有する重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体と、後述する第一の単量体、及び後述する第二の単量体からなる群より選択される少なくとも１種と、を重合することで得られる共重合体であることが好ましい。上記共重合体は、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位と、第一の単量体に由来する構成単位、及び第二の単量体に由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種と、を有する。
【0078】
重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有しない重合体であってもよい。芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有しない重合体Ａは、後述する第一の単量体（芳香族炭化水素基を有する単量体を除く。）の少なくとも１種を重合することで得られる重合体であることが好ましく、後述する第一の単量体（芳香族炭化水素基を有する単量体を除く。）の少なくとも１種と、後述する第二の単量体（芳香族炭化水素基を有する単量体を除く。）の少なくとも１種と、を重合することにより得られる共重合体であることがより好ましい。
【0079】
ある実施形態において、重合体Ａは、後述する第一の単量体の少なくとも１種を重合することで得られる重合体であることが好ましく、後述する第一の単量体の少なくとも１種と、後述する第二の単量体の少なくとも１種と、を重合することにより得られる共重合体であることがより好ましい。上記共重合体は、第一の単量体に由来する構成単位と、第二の単量体に由来する構成単位と、を有する。
【0080】
第一の単量体は、分子中にカルボキシ基と重合性不飽和基とを有する単量体である。第一の単量体は、分子中に芳香族炭化水素基を有しない単量体であってもよい。第一の単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、４－ビニル安息香酸、マレイン酸無水物、及びマレイン酸半エステルが挙げられる。第一の単量体は、（メタ）アクリル酸であることが好ましい。
【0081】
重合体Ａにおける第一の単量体に由来する構成単位の含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、５質量％～５０質量％であることが好ましく、１０質量％～４０質量％であることがより好ましく、１５質量％～３０質量％であることが特に好ましい。
【0082】
第二の単量体は、非酸性であり、かつ、分子中に少なくとも１つの重合性不飽和基を有する単量体である。第二の単量体は、分子中に芳香族炭化水素基を有しない単量体であってもよい。第二の単量体としては、例えば、（メタ）アクリレート化合物、ビニルアルコールのエステル化合物、及び（メタ）アクリロニトリルが挙げられる。本開示において、「（メタ）アクリロニトリル」は、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、又はアクリロニトリル及びメタクリロニトリルの両方を包含する。
【0083】
（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び２－エチルヘキシル（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0084】
ビニルアルコールのエステル化合物としては、例えば、酢酸ビニルが挙げられる。
【0085】
第二の単量体は、メチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、及びｎ－ブチル（メタ）アクリレートからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましく、メチル（メタ）アクリレートであることがより好ましい。
【0086】
重合体Ａにおける第二の単量体に由来する構成単位の含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、５質量％～６０質量％であることが好ましく、１５質量％～５０質量％であることがより好ましく、２０質量％～４５質量％であることが特に好ましい。
【0087】
重合体Ａは、露光時の焦点位置がずれたときの線幅太り、及び解像度の悪化を抑制する観点から、アラルキル基を有する単量体に由来する構成単位、及びスチレンに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。例えば、重合体Ａは、メタクリル酸に由来する構成単位と、ベンジルメタクリレートに由来する構成単位と、スチレンに由来する構成単位と、を含む共重合体、及びメタクリル酸に由来する構成単位と、メチルメタクリレートに由来する構成単位と、ベンジルメタクリレートに由来する構成単位と、スチレンに由来する構成単位と、を含む共重合体からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【0088】
ある実施形態において、重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を２５質量％～６０質量％、第一の単量体に由来する構成単位を２０質量％～５５質量％、及び第二の単量体に由来する構成単位を１５質量％～５５質量％含む重合体であることが好ましい。重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を２５質量％～４０質量％、第一の単量体に由来する構成単位を２０質量％～３５質量％、及び第二の単量体に由来する構成単位を１５質量％～４５質量％含む重合体であることがより好ましい。
【0089】
ある実施形態において、重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を７０質量％～９０質量％、及び第一の単量体に由来する構成単位を１０質量％～２５質量％含む重合体であることが好ましい。
【0090】
重合体Ａのガラス転移温度（Ｔｇ）は、３０℃～１３５℃であることが好ましい。感光性樹脂層において、重合体ＡのＴｇが１３５℃以下であることで、露光時の焦点位置がずれたときの線幅太り、及び解像度の悪化を抑制することができる。上記の観点から、重合体ＡのＴｇは、１３０℃以下であることがより好ましく、１２０℃以下であることが更に好ましく、１１０℃以下であることが特に好ましい。また、重合体ＡのＴｇが３０℃以上であることは、耐エッジフューズ性を向上させる観点から好ましい。上記の観点から、重合体ＡのＴｇは、４０℃以上であることがより好ましく、５０℃以上であることが更に好ましく、６０℃以上であることが特に好ましく、７０℃以上であることが最も好ましい。
【0091】
重合体Ａは、市販品、又は合成品であってもよい。重合体Ａの合成は、例えば、上記した少なくとも１種の単量体を溶剤（例えば、アセトン、メチルエチルケトン、又はイソプロパノール）で希釈した溶液に、ラジカル重合開始剤（例えば、過酸化ベンゾイル、又はアゾイソブチロニトリル）を適量添加し、次いで、加熱撹拌することによって行われることが好ましい。また、混合物の一部を反応液に滴下しながら合成を行う場合もある。反応終了後、さらに溶剤を加えて、所望の濃度に調整する場合もある。合成手段としては、溶液重合以外に、塊状重合、懸濁重合、又は乳化重合を用いてもよい。
【0092】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の重合体Ａを含んでもよい。感光性樹脂層が２種以上の重合体Ａを含む場合、感光性樹脂層は、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有する２種以上の重合体Ａを含むこと、又は芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有する重合体Ａと、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有しない重合体Ａと、を含むことが好ましい。後者の場合、芳香族炭化水素基を有する単量体に由来する構成単位を有する重合体Ａの含有割合は、重合体Ａの全質量に対して、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。
【0093】
重合体Ａの含有割合は、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～９０質量％であることが好ましく、３０質量％～７０質量％であることがより好ましく、４０質量％～６０質量％であることが特に好ましい。感光性樹脂層に対する重合体Ａの含有割合を９０質量％以下にすることは、現像時間を制御する観点から好ましい。一方で、感光性樹脂層に対する重合体Ａの含有割合を１０質量％以上にすることは、耐エッジフューズ性を向上させる観点から好ましい。
【0094】
（重合性化合物Ｂ）
感光性樹脂層は、重合性基を有する重合性化合物Ｂを含むことが好ましい。本開示において、「重合性化合物」とは、重合開始剤の作用を受けて重合する化合物を意味する。なお、重合性化合物Ｂは、上記重合体Ａとは異なる化合物である。
感光性樹脂層は、重合性基を有する重合性化合物Ｂを含むことが好ましい。本開示において、「重合性化合物」とは、重合開始剤の作用を受けて重合する化合物を意味する。なお、重合性化合物Ｂは、上記重合体Ａとは異なる化合物である。
【0095】
重合性化合物Ｂにおける重合性基は、重合反応に関与する基であれば制限されない。重合性化合物Ｂにおける重合性基としては、例えば、エチレン性不飽和結合を含む基（例えば、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、スチリル基、及びマレイミド基）、及びカチオン性重合性基（例えば、エポキシ基、及びオキセタン基）が挙げられる。重合性基は、エチレン性不飽和結合を含む基（以下、「エチレン性不飽和基」という場合がある。）であることが好ましく、アクリロイル基、又はメタアクリロイル基であることがより好ましい。
【0096】
重合性化合物Ｂは、感光性樹脂層の感光性がより優れる点で、一分子中に１つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物（すなわち、エチレン性不飽和化合物）であることが好ましく、一分子中に２つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物（すなわち、多官能エチレン性不飽和化合物）であることがより好ましい。また、解像性、及び剥離性により優れる点で、一分子のエチレン性不飽和化合物に含まれるエチレン性不飽和基の数は、６つ以下であることが好ましく、３つ以下であることがより好ましく、２つ以下であることが特に好ましい。
【0097】
エチレン性不飽和化合物は、一分子中に１つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレート化合物であることが好ましい。
【0098】
重合性化合物Ｂは、感光性樹脂層における感光性、解像性、及び剥離性のバランスがより優れる観点から、一分子中に２つのエチレン性不飽和基を有する化合物（すなわち、２官能エチレン性不飽和化合物）、及び一分子中に３つのエチレン性不飽和基を有する化合物（すなわち、３官能エチレン性不飽和化合物）からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましく、一分子中に２つのエチレン性不飽和基を有する化合物であることがより好ましい。
【0099】
感光性樹脂層において、重合性化合物Ｂの含有量に対する２官能エチレン性不飽和化合物の含有量の割合は、感光性樹脂層の剥離性が優れる観点から、６０質量％以上であることが好ましく、７０質量％超であることがより好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。重合性化合物Ｂの含有量に対する２官能エチレン性不飽和化合物の含有割合の上限は、制限されず、１００質量％であってもよい。すなわち、感光性樹脂層に含まれる重合性化合物Ｂが全て２官能エチレン性不飽和化合物であってもよい。
【0100】
－重合性化合物Ｂ１－
感光性樹脂層は、一分子中に、１つ以上の芳香環、及び２つのエチレン性不飽和基を有する重合性化合物Ｂ１を含むことが好ましい。重合性化合物Ｂ１は、上記した重合性化合物Ｂのうち、一分子中に１つ以上の芳香環を有する２官能エチレン性不飽和化合物である。
感光性樹脂層は、一分子中に、１つ以上の芳香環、及び２つのエチレン性不飽和基を有する重合性化合物Ｂ１を含むことが好ましい。重合性化合物Ｂ１は、上記した重合性化合物Ｂのうち、一分子中に１つ以上の芳香環を有する２官能エチレン性不飽和化合物である。
【0101】
感光性樹脂層において、重合性化合物Ｂの含有量に対する重合性化合物Ｂ１の含有量の割合は、解像性がより優れる観点から、４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましい。重合性化合物Ｂの含有量に対する重合性化合物Ｂ１の含有量の割合の上限は、制限されない。重合性化合物Ｂの含有量に対する重合性化合物Ｂ１の含有量の割合は、剥離性の点から、９９質量％以下であることが好ましく、９５質量％以下であることがより好ましく、９０質量％以下であることが更に好ましく、８５質量％以下であることが特に好ましい。
【0102】
重合性化合物Ｂ１における芳香環としては、例えば、芳香族炭化水素環（例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環）、芳香族複素環（例えば、チオフェン環、フラン環、ピロール環、イミダゾール環、トリアゾール環、及びピリジン環）、及びこれらの縮合環が挙げられる。芳香環は、芳香族炭化水素環であることが好ましく、ベンゼン環であることがより好ましい。なお、芳香環は、置換基を有してもよい。
【0103】
重合性化合物Ｂ１は、現像液による感光性樹脂層の膨潤を抑制することにより、解像性が向上する点から、ビスフェノール構造を有することが好ましい。ビスフェノール構造としては、例えば、ビスフェノールＡ（すなわち、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）プロパン）に由来するビスフェノールＡ構造、ビスフェノールＦ（すなわち、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）メタン）に由来するビスフェノールＦ構造、及びビスフェノールＢ（すなわち、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ブタン）に由来するビスフェノールＢ構造が挙げられる。ビスフェノール構造は、ビスフェノールＡ構造であることが好ましい。
【0104】
ビスフェノール構造を有する重合性化合物Ｂ１としては、例えば、ビスフェノール構造と、上記ビスフェノール構造の両端に結合した２つの重合性基（好ましくは（メタ）アクリロイル基）と、を有する化合物が挙げられる。各重合性基は、ビスフェノール構造に直接結合してもよい。各重合性基は、１つ以上のアルキレンオキシ基を介してビスフェノール構造に結合してもよい。ビスフェノール構造の両端に付加するアルキレンオキシ基は、エチレンオキシ基、又はプロピレンオキシ基であることが好ましく、エチレンオキシ基であることがより好ましい。ビスフェノール構造に付加するアルキレンオキシ基の付加数は、制限されないが、一分子あたり４個～１６個であることが好ましく、６個～１４個であることがより好ましい。
【0105】
ビスフェノール構造を有する重合性化合物Ｂ１については、特開２０１６－２２４１６２号公報の段落００７２～段落００８０に記載されている。上記公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0106】
重合性化合物Ｂ１は、ビスフェノールＡ構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物であることが好ましく、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリアルコキシ）フェニル）プロパンであることがより好ましい。
【0107】
２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリアルコキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２－ビス（４－（メタクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン（ＦＡ－３２４Ｍ、日立化成株式会社）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシエトキシプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（ＢＰＥ－５００、新中村化学工業株式会社）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシドデカエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン（ＦＡ－３２００ＭＹ、日立化成株式会社）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン（ＢＰＥ－１３００、新中村化学工業株式会社）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン（ＢＰＥ－２００、新中村化学工業株式会社）、及びエトキシ化（１０）ビスフェノールＡジアクリレート（ＮＫエステルＡ－ＢＰＥ－１０、新中村化学工業株式会社）が挙げられる。
【0108】
重合性化合物Ｂ１としては、下記一般式（Ｉ）で表される化合物も挙げられる。
【0109】
【化1】
【0110】
一般式（Ｉ）中、Ｒ１、及びＲ２は、それぞれ独立して、水素原子、又はメチル基を表し、Ａは、Ｃ２Ｈ４を表し、Ｂは、Ｃ３Ｈ６を表し、ｎ１、及びｎ３は、それぞれ独立して、１～３９の整数であり、ｎ１＋ｎ３は、２～４０の整数であり、ｎ２、及びｎ４は、それぞれ独立して、０～２９の整数であり、ｎ２＋ｎ４は、０～３０の整数であり、－（Ａ－Ｏ）－、及び－（Ｂ－Ｏ）－の繰り返し単位の配列は、ランダム、又はブロックであってもよい。ブロックの場合、－（Ａ－Ｏ）－、及び－（Ｂ－Ｏ）－のいずれかがビスフェニル基側でもよい。ｎ２＋ｎ４は、０～１０の整数であることが好ましく、０～４の整数であることがより好ましく、０～２の整数であることが更に好ましく、０であることが特に好ましい。ｎ１＋ｎ２＋ｎ３＋ｎ４は、２～２０の整数であることが好ましく、２～１６の整数であることがより好ましく、４～１２の整数であることが特に好ましい。
【0111】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の重合性化合物Ｂ１を含んでもよい。
【0112】
感光性樹脂層における重合性化合物Ｂ１の含有割合は、解像性がより優れる観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。重合性化合物Ｂ１の含有割合の上限は、制限されない。感光性樹脂層における重合性化合物Ｂ１の含有割合は、転写性、及び耐エッジフューズ性の観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、７０質量％以下であることが好ましく、６０質量％以下であることがより好ましい。
【0113】
感光性樹脂層は、重合性化合物Ｂ１、及び重合性化合物Ｂ１以外の重合性化合物Ｂを含んでもよい。重合性化合物Ｂ１以外の重合性化合物Ｂとしては、例えば、単官能エチレン性不飽和化合物（すなわち、一分子中に１つのエチレン性不飽和基を有する化合物）、芳香環を有しない２官能エチレン性不飽和化合物（すなわち、一分子中に芳香環を有しておらず、かつ、２つのエチレン性不飽和基を有する化合物）、及び３官能以上のエチレン性不飽和化合物（すなわち、一分子中に３つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物）が挙げられる。
【0114】
単官能エチレン性不飽和化合物としては、例えば、エチル（メタ）アクリレート、エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルサクシネート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、及びフェノキシエチル（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0115】
芳香環を有しない２官能エチレン性不飽和化合物としては、例えば、アルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、ウレタンジ（メタ）アクリレート、及びトリメチロールプロパンジアクリレートが挙げられる。
【0116】
アルキレングリコールジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業株式会社）、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート（ＤＣＰ、新中村化学工業株式会社）、１，９－ノナンジオールジアクリレート（Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（Ａ－ＨＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社）、エチレングリコールジメタクリレート、１，１０－デカンジオールジアクリレート、及びネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0117】
ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、及びポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0118】
ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、プロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、並びに、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。市販品としては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル株式会社）、ＵＡ－３２Ｐ（新中村化学工業株式会社）、及びＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業株式会社）が挙げられる。
【0119】
３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、例えば、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート（例えば、新中村化学工業株式会社製のＡ－ＴＭＰＴ）、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性物が挙げられる。本開示において、「（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレート、及びヘキサ（メタ）アクリレートを包含する概念である。本開示において、「（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート、及びテトラ（メタ）アクリレートを包含する概念である。
【0120】
３官能以上のエチレン性不飽和化合物のアルキレンオキサイド変性物としては、カプロラクトン変性（メタ）アクリレート化合物（例えば、日本化薬株式会社製のＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）ＤＰＣＡ－２０、及び新中村化学工業株式会社製のＡ－９３００－１ＣＬ）、アルキレンオキサイド変性（メタ）アクリレート化合物（例えば、日本化薬株式会社製のＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ－１０４０、新中村化学工業株式会社製のＡＴＭ－３５Ｅ、新中村化学工業株式会社製のＡ－９３００、及びダイセル・オルネクス社製のＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標） １３５）、エトキシル化グリセリントリアクリレート（例えば、新中村化学工業株式会社製のＡ－ＧＬＹ－９Ｅ）、アロニックス（登録商標）ＴＯ－２３４９（東亞合成株式会社）、アロニックスＭ－５２０（東亞合成株式会社）、アロニックスＭ－５１０（東亞合成株式会社）、及びＳＲ４５４（アルケマ社）が挙げられる。
【0121】
重合性化合物Ｂ１以外の重合性化合物Ｂとしては、特開２００４－２３９９４２号公報の段落００２５～段落００３０に記載の酸基を有する重合性化合物も挙げられる。
【0122】
ある実施形態において、感光性樹脂層は、重合性化合物Ｂ１、及び３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、重合性化合物Ｂ１、及び２種以上の３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましい。上記実施形態において、重合性化合物Ｂ１と３官能以上のエチレン性不飽和化合物との質量比（［重合性化合物Ｂ１の合計質量］：［３官能以上のエチレン性不飽和化合物の合計質量］は、１：１～５：１であることが好ましく、１．２：１～４：１であることがより好ましく、１．５：１～３：１であることが特に好ましい。ある実施形態において、感光性樹脂層は、重合性化合物Ｂ１及び２種以上の３官能のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。
【0123】
重合性化合物Ｂの分子量（重合性化合物Ｂが分子量分布を有する場合には重量平均分子量（Ｍｗ）をいう。）は、２００～３，０００であることが好ましく、２８０～２，２００であることがより好ましく、３００～２，２００であることが特に好ましい。
【0124】
感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物の含有量Ｍｍと重合体Ａの含有量Ｍｂとの比Ｍｍ／Ｍｂの値は、解像性及び直線性の観点から、１．０以下であることが好ましく、０．９以下であることがより好ましく、０．５以上０．９以下であることが特に好ましい。
また、感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物は、硬化性、及び、解像性の観点から、（メタ）アクリル化合物を含むことが好ましく、（メタ）アクリレート化合物を含むことがより好ましい。
さらに、感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物は、硬化性、解像性及び直線性の観点から、（メタ）アクリル化合物を含み、かつ、感光性樹脂層に含まれる上記（メタ）アクリル化合物の全質量に対するアクリル化合物の含有量は、６０質量％以下であることがより好ましい。
また、感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物は、硬化性、及び、解像性の観点から、（メタ）アクリル化合物を含むことが好ましく、（メタ）アクリレート化合物を含むことがより好ましい。
さらに、感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物は、硬化性、解像性及び直線性の観点から、（メタ）アクリル化合物を含み、かつ、感光性樹脂層に含まれる上記（メタ）アクリル化合物の全質量に対するアクリル化合物の含有量は、６０質量％以下であることがより好ましい。
【0125】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の重合性化合物Ｂを含んでもよい。
【0126】
感光性樹脂層における重合性化合物Ｂの含有割合は、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～７０質量％であることが好ましく、２０質量％～６０質量％であることがより好ましく、２０質量％～５０質量％であることが特に好ましい。
【0127】
（任意成分）
感光性樹脂層は、上記した成分以外の成分（以下、「任意成分」という場合がある。）を含んでもよい。任意成分としては、光重合開始剤、色素、界面活性剤、及び上記成分以外の添加剤が挙げられる。
感光性樹脂層は、上記した成分以外の成分（以下、「任意成分」という場合がある。）を含んでもよい。任意成分としては、光重合開始剤、色素、界面活性剤、及び上記成分以外の添加剤が挙げられる。
【0128】
－光重合開始剤－
感光性樹脂層は、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤は、活性光線（例えば、紫外線、可視光線、及びＸ線）を受けて、重合性化合物（例えば、重合性化合物Ｂ）の重合を開始する化合物である。
感光性樹脂層は、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤は、活性光線（例えば、紫外線、可視光線、及びＸ線）を受けて、重合性化合物（例えば、重合性化合物Ｂ）の重合を開始する化合物である。
【0129】
光重合開始剤としては、制限されず、公知の光重合開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、光ラジカル重合開始剤、及び光カチオン重合開始剤が挙げられ、光ラジカル重合開始剤が好ましい。
【0130】
光ラジカル重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル構造を有する光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤、α－ヒドロキシアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド構造を有する光重合開始剤、及びＮ－フェニルグリシン構造を有する光重合開始剤が挙げられる。
【0131】
感光性樹脂層は、感光性、露光部の視認性、非露光部の視認性、及び解像性の観点から、光ラジカル重合開始剤として、２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体、及び２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体の誘導体からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。なお、２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体、及びその誘導体における２つの２，４，５－トリアリールイミダゾール構造は、同一であっても異なっていてもよい。
【0132】
２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体の誘導体としては、例えば、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２－（ｏ－フルオロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体、２－（ｏ－メトキシフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体、及び２－（ｐ－メトキシフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体が挙げられる。
【0133】
光ラジカル重合開始剤としては、例えば、特開２０１１－９５７１６号公報の段落００３１～段落００４２、及び特開２０１５－１４７８３号公報の段落００６４～段落００８１に記載された重合開始剤も挙げられる。
【0134】
光ラジカル重合開始剤としては、例えば、ジメチルアミノ安息香酸エチル（ＤＢＥ、ＣＡＳ Ｎｏ．１０２８７－５３－３）、ベンゾインメチルエーテル、アニシル（ｐ，ｐ’－ジメトキシベンジル）、及びベンゾフェノンが挙げられる。
【0135】
光ラジカル重合開始剤の市販品としては、例えば、ＴＡＺ－１１０（みどり化学株式会社）、ＴＡＺ－１１１（みどり化学株式会社）、２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール（東京化成工業株式会社、及びＨａｍｐｆｏｒｄ社）、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－１，２－オクタンジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標） ＯＸＥ－０１、ＢＡＳＦ社）、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）（商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０２、ＢＡＳＦ社）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０３（ＢＡＳＦ社）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０４（ＢＡＳＦ社）、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルフォリニル）フェニル］－１－ブタノン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ ３７９ＥＧ、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ ９０７、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル］フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ １２７、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）ブタノン－１（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ １１７３、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ １８４、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ ６５１、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ Ｈ、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ ８１９、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社）、及びオキシムエステル系の光重合開始剤（商品名：Ｌｕｎａｒ ６、ＤＫＳＨジャパン株式会社）が挙げられる。
【0136】
光カチオン重合開始剤（すなわち、光酸発生剤）は、活性光線を受けて酸を発生する化合物である。光カチオン重合開始剤としては、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００ｎｍ～４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましい。ただし、光カチオン重合開始剤の化学構造は、制限されない。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光カチオン重合開始剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。
【0137】
光カチオン重合開始剤は、ｐＫａが４以下の酸を発生する光カチオン重合開始剤であることが好ましく、ｐＫａが３以下の酸を発生する光カチオン重合開始剤であることがより好ましく、ｐＫａが２以下の酸を発生する光カチオン重合開始剤であることが特に好ましい。ｐＫａの下限は、制限されない。光カチオン重合開始剤から生じる酸のｐＫａは、例えば、－１０．０以上であることが好ましい。
【0138】
光カチオン重合開始剤としては、イオン性光カチオン重合開始剤、及び非イオン性光カチオン重合開始剤が挙げられる。
【0139】
イオン性光カチオン重合開始剤として、例えば、オニウム塩化合物（例えば、ジアリールヨードニウム塩化合物、及びトリアリールスルホニウム塩化合物）、及び第４級アンモニウム塩化合物が挙げられる。
【0140】
イオン性光カチオン重合開始剤としては、特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１１４～段落０１３３に記載のイオン性光カチオン重合開始剤も挙げられる。
【0141】
非イオン性光カチオン重合開始剤としては、例えば、トリクロロメチル－ｓ－トリアジン化合物、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及びオキシムスルホネート化合物が挙げられる。トリクロロメチル－ｓ－トリアジン化合物、ジアゾメタン化合物、及びイミドスルホネート化合物としては、例えば、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落００８３～段落００８８に記載の化合物が挙げられる。また、オキシムスルホネート化合物としては、例えば、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落００８４～段落００８８に記載された化合物が挙げられる。
【0142】
感光性樹脂層は、光ラジカル重合開始剤を含むことが好ましく、２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体、及び２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体の誘導体からなる群より選択される少なくとも１種を含むことがより好ましい。
【0143】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の光重合開始剤を含んでもよい。
【0144】
感光性樹脂層における光重合開始剤の含有割合は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％以上であることが好ましく、０．５質量％以上であることがより好ましく、１．０質量％以上であることが特に好ましい。光重合開始剤の含有割合の上限は、制限されない。光重合開始剤の含有割合は、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％以下であることが好ましく、７質量％以下であることがより好ましい。
【0145】
－色素－
感光性樹脂層は、露光部の視認性、非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び解像性の観点から、発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける最大吸収波長が４５０ｎｍ以上であり、かつ、酸、塩基、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素（以下、「色素Ｎ」という場合がある。）を含むことが好ましい。詳細なメカニズムは不明であるが、感光性樹脂層が色素Ｎを含むことで、感光性樹脂層に隣接する層（例えば、仮支持体、及び中間層）との密着性が向上し、解像性により優れる。
感光性樹脂層は、露光部の視認性、非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び解像性の観点から、発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける最大吸収波長が４５０ｎｍ以上であり、かつ、酸、塩基、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素（以下、「色素Ｎ」という場合がある。）を含むことが好ましい。詳細なメカニズムは不明であるが、感光性樹脂層が色素Ｎを含むことで、感光性樹脂層に隣接する層（例えば、仮支持体、及び中間層）との密着性が向上し、解像性により優れる。
【0146】
本開示において、色素に関して使用される用語「酸、塩基、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する」とは、発色状態にある色素が、酸、塩基、又はラジカルにより消色する態様、消色状態にある色素が、酸、塩基又はラジカルにより発色する態様、及び発色状態にある色素が、他の色相の発色状態に変化する態様のいずれの態様を意味してもよい。
【0147】
具体的に、色素Ｎは、露光により消色状態から変化して発色する化合物であってもよく、又は露光により発色状態から変化して消色する化合物であってもよい。上記態様において、色素Ｎは、露光により発生する、酸、塩基、又はラジカルの作用によって、発色、又は消色の状態が変化する色素であってもよい。また、色素Ｎは、露光により発生する、酸、塩基、又はラジカルにより感光性樹脂層内の状態（例えばｐＨ）が変化することで、発色、又は消色の状態が変化する色素であってもよい。一方、色素Ｎは、露光を介さずに、酸、塩基、又はラジカルを刺激として直接受けて、発色、又は消色の状態が変化する色素であってもよい。
【0148】
色素Ｎは、露光部の視認性、非露光部の視認性、及び解像性の観点から、酸、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素であることが好ましく、ラジカルにより最大吸収波長が変化する色素であることがより好ましい。
【0149】
感光性樹脂層は、露光部の視認性、非露光部の視認性、及び解像性の観点から、色素Ｎとして、ラジカルにより最大吸収波長が変化する色素、及び光ラジカル重合開始剤の両方を含むことが好ましい。
【0150】
色素Ｎは、露光部の視認性、非露光部の視認性の観点から、酸、塩基、又はラジカルにより発色する色素であることが好ましい。
【0151】
色素Ｎの発色機構の例としては、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤（すなわち、光酸発生剤）、又は光塩基発生剤を含む感光性樹脂層を露光することで、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤、又は光塩基発生剤から発生する、ラジカル、酸、又は塩基によって、ラジカル反応性色素、酸反応性色素、又は塩基反応性色素（例えばロイコ色素）が発色する態様が挙げられる。
【0152】
色素Ｎにおいて、発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける極大吸収波長は、露光部の視認性、及び非露光部の視認性の観点から、５５０ｎｍ以上であることが好ましく、５５０ｎｍ～７００ｎｍであることがより好ましく、５５０～６５０ｎｍであることが特に好ましい。
【0153】
また、色素Ｎは、発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける極大吸収波長を１つ、又は２つ以上有してもよい。色素Ｎが発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける極大吸収波長を２つ以上有する場合は、２つ以上の極大吸収波長のうち吸光度が最も高い極大吸収波長が４５０ｎｍ以上であればよい。
【0154】
色素Ｎの極大吸収波長は、大気雰囲気下で、分光光度計（ＵＶ３１００、株式会社島津製作所）を用いて、４００ｎｍ～７８０ｎｍの範囲で色素Ｎを含む溶液（液温２５℃）の透過スペクトルを測定し、そして、光の強度が極小となる波長（極大吸収波長）を検出することによって測定する。
【0155】
露光により、発色、又は消色する色素としては、例えば、ロイコ化合物が挙げられる。露光により消色する色素としては、例えば、ロイコ化合物、ジアリールメタン系色素、オキザジン系色素、キサンテン系色素、イミノナフトキノン系色素、アゾメチン系色素、及びアントラキノン系色素が挙げられる。色素Ｎは、露光部の視認性、及び非露光部の視認性の観点から、ロイコ化合物であることが好ましい。
【0156】
ロイコ化合物としては、例えば、トリアリールメタン骨格を有するロイコ化合物（トリアリールメタン系色素）、スピロピラン骨格を有するロイコ化合物（スピロピラン系色素）、フルオラン骨格を有するロイコ化合物（フルオラン系色素）、ジアリールメタン骨格を有するロイコ化合物（ジアリールメタン系色素）、ローダミンラクタム骨格を有するロイコ化合物（ローダミンラクタム系色素）、インドリルフタリド骨格を有するロイコ化合物（インドリルフタリド系色素）、及びロイコオーラミン骨格を有するロイコ化合物（ロイコオーラミン系色素）が挙げられる。ロイコ化合物は、トリアリールメタン系色素、又はフルオラン系色素であることが好ましく、トリフェニルメタン骨格を有するロイコ化合物（トリフェニルメタン系色素）、又はフルオラン系色素であることがより好ましい。
【0157】
ロイコ化合物は、露光部の視認性、及び非露光部の視認性の観点から、ラクトン環、スルチン環、又はスルトン環を有することが好ましい。ロイコ化合物に含まれるラクトン環、スルチン環、又はスルトン環を、光ラジカル重合開始剤から発生するラジカル、又は光カチオン重合開始剤から発生する酸と反応させることで、ロイコ化合物を閉環状態に変化させて消色させること、又はロイコ化合物を開環状態に変化させて発色させることができる。ロイコ化合物は、ラクトン環、スルチン環、又はスルトン環を有し、かつ、ラジカル、又は酸によりラクトン環、スルチン環、又はスルトン環が開環して発色する化合物であることが好ましく、ラクトン環を有し、かつ、ラジカル、又は酸によりラクトン環が開環して発色する化合物であることがより好ましい。
【0158】
ロイコ化合物の具体例としては、ｐ，ｐ’，ｐ”－ヘキサメチルトリアミノトリフェニルメタン（ロイコクリスタルバイオレット）、Ｐｅｒｇａｓｃｒｉｐｔ Ｂｌｕｅ ＳＲＢ（チバガイギー社）、クリスタルバイオレットラクトン、マラカイトグリーンラクトン、ベンゾイルロイコメチレンブルー、２－（Ｎ－フェニル－Ｎ－メチルアミノ）－６－（Ｎ－ｐ－トリル－Ｎ－エチル）アミノフルオラン、２－アニリノ－３－メチル－６－（Ｎ－エチル－ｐ－トルイジノ）フルオラン、３，６－ジメトキシフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－５－メチル－７－（Ｎ，Ｎ－ジベンジルアミノ）フルオラン、３－（Ｎ－シクロヘキシル－Ｎ－メチルアミノ）－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メチル－７－キシリジノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メチル－７－クロロフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メトキシ－７－アミノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７－（４－クロロアニリノ）フルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７－クロロフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７－ベンジルアミノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７，８－ベンゾフロオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジブチルアミノ）－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジブチルアミノ）－６－メチル－７－キシリジノフルオラン、３－ピペリジノ－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－ピロリジノ－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３，３－ビス（１－エチル－２－メチルインドール－３－イル）フタリド、３，３－ビス（１－ｎ－ブチル－２－メチルインドール－３－イル）フタリド、３，３－ビス（ｐ－ジメチルアミノフェニル）－６－ジメチルアミノフタリド、３－（４－ジエチルアミノ－２－エトキシフェニル）－３－（１－エチル－２－メチルインドール－３－イル）－４－アザフタリド、３－（４－ジエチルアミノフェニル）－３－（１－エチル－２－メチルインドール－３－イル）フタリド、及び３’，６’－ビス（ジフェニルアミノ）スピロイソベンゾフラン－１（３Ｈ），９’－［９Ｈ］キサンテン－３－オンが挙げられる。
【0159】
色素Ｎとしては、例えば、染料も挙げられる。染料の具体例としては、ブリリアントグリーン、エチルバイオレット、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、メチルバイオレット２Ｂ、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニルイエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレンジ、パラメチルレッド、コンゴーフレッド、ベンゾプルプリン４Ｂ、α－ナフチルレッド、ナイルブルー２Ｂ、ナイルブルーＡ、メチルバイオレット、マラカイトグリーン、パラフクシン、ビクトリアピュアブルー－ナフタレンスルホン酸塩、ビクトリアピュアブルーＢＯＨ（保土谷化学工業株式会社）、オイルブルー＃６０３（オリヱント化学工業株式会社）、オイルピンク＃３１２（オリヱント化学工業株式会社）、オイルレッド５Ｂ（オリヱント化学工業株式会社）、オイルスカーレット＃３０８（オリヱント化学工業株式会社）、オイルレッドＯＧ（オリヱント化学工業株式会社）、オイルレッドＲＲ（オリヱント化学工業株式会社）、オイルグリーン＃５０２（オリヱント化学工業株式会社）、スピロンレッドＢＥＨスペシャル（保土谷化学工業株式会社）、ｍ－クレゾールパープル、クレゾールレッド、ローダミンＢ、ローダミン６Ｇ、スルホローダミンＢ、オーラミン、４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノナフトキノン、２－カルボキシアニリノ－４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノナフトキノン、２－カルボキシステアリルアミノ－４－ｐ－Ｎ，Ｎ－ビス（ヒドロキシエチル）アミノ－フェニルイミノナフトキノン、１－フェニル－３－メチル－４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノ－５－ピラゾロン、及び１－β－ナフチル－４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノ－５－ピラゾロンが挙げられる。
【0160】
色素Ｎは、露光部の視認性、非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び解像性の観点から、ラジカルにより最大吸収波長が変化する色素であることが好ましく、ラジカルにより発色する色素であることがより好ましい。
【0161】
色素Ｎは、ロイコクリスタルバイオレット、クリスタルバイオレットラクトン、ブリリアントグリーン、又はビクトリアピュアブルー－ナフタレンスルホン酸塩であることが好ましい。
【0162】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の色素Ｎを含んでもよい。
【0163】
色素Ｎの含有割合は、露光部の視認性、非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び解像性の観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％以上であることが好ましく、０．１質量％～１０質量％であることがより好ましく、０．１質量％～５質量％であることが更に好ましく、０．１質量％～１質量％であることが特に好ましい。
【0164】
色素Ｎの含有割合は、感光性樹脂層に含まれる色素Ｎの全てを発色状態にした場合の色素の含有割合を意味する。以下、ラジカルにより発色する色素を例として、色素Ｎの含有割合の定量方法を説明する。メチルエチルケトン（１００ｍＬ）に、色素（０．００１ｇ）、及び色素（０．０１ｇ）をそれぞれ溶かした２つの溶液を調製する。得られた各溶液に、光ラジカル重合開始剤としてＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０１（ＢＡＳＦ社）を加えた後、３６５ｎｍの光を照射することによりラジカルを発生させ、全ての色素を発色状態にする。次に、大気雰囲気下で、分光光度計（ＵＶ３１００、株式会社島津製作所）を用いて、液温が２５℃である各溶液の吸光度を測定し、検量線を作成する。次に、色素に代えて感光性樹脂層（３ｇ）をメチルエチルケトンに溶かすこと以外は上記と同様の方法で、色素を全て発色させた溶液の吸光度を測定する。得られた感光性樹脂層を含む溶液の吸光度から、検量線に基づいて感光性樹脂層に含まれる色素の含有量を算出する。
【0165】
－界面活性剤－
感光性樹脂層は、厚さの均一性の観点から、界面活性剤を含むことが好ましい。界面活性剤としては、例えば、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、ノニオン性（非イオン性）界面活性剤、及び両性界面活性剤が挙げられ、ノニオン性界面活性剤が好ましい。
感光性樹脂層は、厚さの均一性の観点から、界面活性剤を含むことが好ましい。界面活性剤としては、例えば、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、ノニオン性（非イオン性）界面活性剤、及び両性界面活性剤が挙げられ、ノニオン性界面活性剤が好ましい。
【0166】
ノニオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレン高級アルキルエーテル化合物、ポリオキシエチレン高級アルキルフェニルエーテル化合物、ポリオキシエチレングリコールの高級脂肪酸ジエステル化合物、シリコーン系ノニオン性界面活性剤、及びフッ素系ノニオン性界面活性剤が挙げられる。
【0167】
感光性樹脂層は、解像性がより優れる点から、フッ素系ノニオン性界面活性剤を含むことが好ましい。感光性樹脂層がフッ素系ノニオン性界面活性剤を含むことで、エッチング液の感光性樹脂層への浸透を抑制してサイドエッチングを低減するためと考えられる。フッ素系ノニオン性界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック（登録商標）Ｆ－５５１、Ｆ－５５２（ＤＩＣ株式会社）、及びメガファックＦ－５５４（ＤＩＣ株式会社）が挙げられる。
【0168】
界面活性剤としては、例えば、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落０１２０～段落０１２５に記載の界面活性剤、特許第４５０２７８４号公報の段落００１７に記載の界面活性剤、及び特開２００９－２３７３６２号公報の段落００６０～段落００７１に記載の界面活性剤も挙げられる。
【0169】
また、界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤又はシリコーン系界面活性剤が好ましい。
【0170】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニック（商品名）Ｌ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（以上、ＢＡＳＦ社製）、テトロニック（商品名）３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（以上、ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース（商品名）２００００（以上、日本ルーブリゾール株式会社製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（以上、富士フイルム和光純薬株式会社製）、パイオニン（商品名）Ｄ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（以上、竹本油脂株式会社製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（以上、日信化学工業株式会社製）などが挙げられる。
【0171】
フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック（商品名）Ｆ－１７１、Ｆ－１７２、Ｆ－１７３、Ｆ－１７６、Ｆ－１７７、Ｆ－１４１、Ｆ－１４２、Ｆ－１４３、Ｆ－１４４、Ｆ－４３７、Ｆ－４４４、Ｆ－４７５、Ｆ－４７７、Ｆ－４７９、Ｆ－４８２、Ｆ－５５１－Ａ、Ｆ－５５２、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５－Ａ、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６０、Ｆ－５６１、Ｆ－５６５、Ｆ－５６３、Ｆ－５６８、Ｆ－５７５、Ｆ－７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０、ＭＦＳ－５７８、ＭＦＳ－５７９、ＭＦＳ－５８６、ＭＦＳ－５８７、Ｒ－４１、Ｒ－４１－ＬＭ、Ｒ－０１、Ｒ－４０、Ｒ－４０－ＬＭ、ＲＳ－４３、ＴＦ－１９５６、ＲＳ－９０、Ｒ－９４、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１（以上、ＤＩＣ株式会社製）、フロラード（商品名）ＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム株式会社製）、サーフロン（商品名）Ｓ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ株式会社製）、ＰｏｌｙＦｏｘ（商品名）ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）、フタージェント（商品名）７１０ＦＬ、７１０ＦＭ、６１０ＦＭ、６０１ＡＤ、６０１ＡＤＨ２、６０２Ａ、２１５Ｍ、２４５Ｆ、２５１、２１２Ｍ、２５０、２０９Ｆ、２２２Ｆ、２０８Ｇ、７１０ＬＡ、７１０ＦＳ、７３０ＬＭ、６５０ＡＣ、６８１、６８３（以上、株式会社ネオス製）等が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ株式会社製のメガファック（商品名）ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えばメガファック（商品名）ＤＳ－２１が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ株式会社製のメガファック（商品名）ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えばメガファック（商品名）ＤＳ－２１が挙げられる。
【0172】
また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素化アルキル基又はフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーを用いることもできる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。
フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。メガファック（商品名）ＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤として、例えば、炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物が使用されてもよい。ただし、環境適性向上の観点から、フッ素系界面活性剤として、ペルフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）又はペルフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）の代替材料が使用されることが好ましい。
フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーを用いることもできる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。
フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。メガファック（商品名）ＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤として、例えば、炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物が使用されてもよい。ただし、環境適性向上の観点から、フッ素系界面活性剤として、ペルフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）又はペルフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）の代替材料が使用されることが好ましい。
【0173】
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマー、及び、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。
シリコーン系界面活性剤の具体例としては、ＤＯＷＳＩＬ（商品名）８０３２ ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング株式会社製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越化学工業株式会社製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤の具体例としては、ＤＯＷＳＩＬ（商品名）８０３２ ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング株式会社製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越化学工業株式会社製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
【0174】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の界面活性剤を含んでもよい。
【0175】
界面活性剤の含有割合は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．００１質量％～１０質量％であることが好ましく、０．０１質量％～３質量％であることがより好ましい。
【0176】
－添加剤－
感光性樹脂層は、上記成分以外に、必要に応じて公知の添加剤を含んでもよい。添加剤としては、例えば、熱架橋性化合物、ラジカル重合禁止剤、増感剤、可塑剤、ヘテロ環状化合物、ベンゾトリアゾール化合物、カルボキシベンゾトリアゾール化合物、重合体Ａ以外の樹脂、及び溶剤が挙げられる。感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の添加剤を含んでもよい。
感光性樹脂層は、上記成分以外に、必要に応じて公知の添加剤を含んでもよい。添加剤としては、例えば、熱架橋性化合物、ラジカル重合禁止剤、増感剤、可塑剤、ヘテロ環状化合物、ベンゾトリアゾール化合物、カルボキシベンゾトリアゾール化合物、重合体Ａ以外の樹脂、及び溶剤が挙げられる。感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の添加剤を含んでもよい。
【0177】
感光性樹脂層は、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、熱架橋性化合物を含むことが好ましい。なお、本明細書においては、後述するエチレン性不飽和基を有する熱架橋性化合物は、エチレン性不飽和化合物としては扱わず、熱架橋性化合物として扱うものとする。
熱架橋性化合物としては、メチロール化合物、及びブロックイソシアネート化合物が挙げられる。中でも、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、ブロックイソシアネート化合物が好ましい。
ブロックイソシアネート化合物は、ヒドロキシ基及びカルボキシ基と反応するため、例えば、重合体Ａ及び／又はエチレン性不飽和化合物が、ヒドロキシ基及びカルボキシ基の少なくとも一方を有する場合には、形成される膜の親水性が下がり、感光性樹脂層を硬化した膜を保護膜として使用する場合の機能が強化される傾向がある。
なお、ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護（いわゆる、マスク）した構造を有する化合物」を指す。
熱架橋性化合物としては、メチロール化合物、及びブロックイソシアネート化合物が挙げられる。中でも、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、ブロックイソシアネート化合物が好ましい。
ブロックイソシアネート化合物は、ヒドロキシ基及びカルボキシ基と反応するため、例えば、重合体Ａ及び／又はエチレン性不飽和化合物が、ヒドロキシ基及びカルボキシ基の少なくとも一方を有する場合には、形成される膜の親水性が下がり、感光性樹脂層を硬化した膜を保護膜として使用する場合の機能が強化される傾向がある。
なお、ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護（いわゆる、マスク）した構造を有する化合物」を指す。
【0178】
ブロックイソシアネート化合物の解離温度は、特に制限されないが、１００℃～１６０℃が好ましく、１３０℃～１５０℃がより好ましい。
ブロックイソシアネートの解離温度とは、「示差走査熱量計を用いて、ＤＳＣ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）分析にて測定した場合における、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」を意味する。
示差走査熱量計としては、例えば、セイコーインスツルメンツ株式会社製の示差走査熱量計（型式：ＤＳＣ６２００）を好適に使用できる。但し、示差走査熱量計は、これに限定されない。
ブロックイソシアネートの解離温度とは、「示差走査熱量計を用いて、ＤＳＣ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）分析にて測定した場合における、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」を意味する。
示差走査熱量計としては、例えば、セイコーインスツルメンツ株式会社製の示差走査熱量計（型式：ＤＳＣ６２００）を好適に使用できる。但し、示差走査熱量計は、これに限定されない。
【0179】
解離温度が１００℃～１６０℃であるブロック剤としては、活性メチレン化合物〔マロン酸ジエステル（マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、マロン酸ジｎ－ブチル、マロン酸ジ２－エチルヘキシル等）〕、オキシム化合物（ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、及びシクロヘキサノンオキシム等の分子内に－Ｃ（＝Ｎ－ＯＨ）－で表される構造を有する化合物）が挙げられる。
これらの中でも、解離温度が１００℃～１６０℃であるブロック剤としては、例えば、保存安定性の観点から、オキシム化合物を含むことが好ましい。
これらの中でも、解離温度が１００℃～１６０℃であるブロック剤としては、例えば、保存安定性の観点から、オキシム化合物を含むことが好ましい。
【0180】
ブロックイソシアネート化合物は、例えば、膜の脆性改良、被転写体との密着力向上等の観点から、イソシアヌレート構造を有することが好ましい。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより得られる。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物の中でも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、且つ、現像残渣を少なくしやすいという観点から好ましい。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより得られる。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物の中でも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、且つ、現像残渣を少なくしやすいという観点から好ましい。
【0181】
ブロックイソシアネート化合物は、重合性基を有していてもよい。
重合性基としては、特に制限はなく、公知の重合性基を用いることができ、ラジカル重合性基が好ましい。
重合性基としては、（メタ）アクリロキシ基、（メタ）アクリルアミド基、スチリル基等のエチレン性不飽和基、並びに、グリシジル基等のエポキシ基を有する基が挙げられる。
中でも、重合性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましく、アクリロキシ基が更に好ましい。
重合性基としては、特に制限はなく、公知の重合性基を用いることができ、ラジカル重合性基が好ましい。
重合性基としては、（メタ）アクリロキシ基、（メタ）アクリルアミド基、スチリル基等のエチレン性不飽和基、並びに、グリシジル基等のエポキシ基を有する基が挙げられる。
中でも、重合性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましく、アクリロキシ基が更に好ましい。
【0182】
ブロックイソシアネート化合物としては、市販品を使用できる。
ブロックイソシアネート化合物の市販品の例としては、カレンズ（登録商標） ＡＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標） ＭＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標） ＭＯＩ－ＢＰ等（以上、昭和電工株式会社製）、ブロック型のデュラネートシリーズ（例えば、デュラネート（登録商標） ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、デュラネート（登録商標） ＷＴ３２－Ｂ７５Ｐ等、旭化成ケミカルズ株式会社製）が挙げられる。
また、ブロックイソシアネート化合物として、下記の構造の化合物を用いることもできる。
ブロックイソシアネート化合物の市販品の例としては、カレンズ（登録商標） ＡＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標） ＭＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標） ＭＯＩ－ＢＰ等（以上、昭和電工株式会社製）、ブロック型のデュラネートシリーズ（例えば、デュラネート（登録商標） ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、デュラネート（登録商標） ＷＴ３２－Ｂ７５Ｐ等、旭化成ケミカルズ株式会社製）が挙げられる。
また、ブロックイソシアネート化合物として、下記の構造の化合物を用いることもできる。
【0183】
【化2】
【0184】
熱架橋性化合物は、１種単独で使用してもよく、２種以上使用してもよい。
感光性樹脂層が熱架橋性化合物を含む場合、熱架橋性化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％～５０質量％が好ましく、５質量％～３０質量％がより好ましい。
感光性樹脂層が熱架橋性化合物を含む場合、熱架橋性化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％～５０質量％が好ましく、５質量％～３０質量％がより好ましい。
【0185】
感光性樹脂層は、ラジカル重合禁止剤を含んでもよい。ラジカル重合禁止剤としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落００１８に記載された熱重合防止剤が挙げられる。ラジカル重合禁止剤は、フェノチアジン、フェノキサジン、又は４－メトキシフェノールであることが好ましい。上記以外のラジカル重合禁止剤としては、例えば、ナフチルアミン、塩化第一銅、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、及びジフェニルニトロソアミンが挙げられる。感光性樹脂層の感度を損なわないために、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩をラジカル重合禁止剤として使用することが好ましい。
【0186】
感光性樹脂層は、ベンゾトリアゾール化合物を含んでもよい。ベンゾトリアゾール化合物としては、例えば、１，２，３－ベンゾトリアゾール、１－クロロ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、ビス（Ｎ－２－エチルヘキシル）アミノメチレン－１，２，３－ベンゾトリアゾール、ビス（Ｎ－２－エチルヘキシル）アミノメチレン－１，２，３－トリルトリアゾール、及びビス（Ｎ－２－ヒドロキシエチル）アミノメチレン－１，２，３－ベンゾトリアゾールが挙げられる。
【0187】
感光性樹脂層は、カルボキシベンゾトリアゾール化合物を含んでもよい。カルボキシベンゾトリアゾール化合物としては、例えば、４－カルボキシ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、５－カルボキシ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、Ｎ－（Ｎ，Ｎ－ジ－２－エチルヘキシル）アミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾール、Ｎ－（Ｎ，Ｎ－ジ－２－ヒドロキシエチル）アミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾール、及びＮ－（Ｎ，Ｎ－ジ－２－エチルヘキシル）アミノエチレンカルボキシベンゾトリアゾールが挙げられる。カルボキシベンゾトリアゾール化合物の市販品としては、例えば、ＣＢＴ－１（城北化学工業株式会社）が挙げられる。
【0188】
ラジカル重合禁止剤、ベンゾトリアゾ－ル化合物、及びカルボキシベンゾトリアゾ－ル化合物の合計含有量の割合は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～３質量％であることが好ましく、０．０５質量％～１質量％であることがより好ましい。上記した各成分の合計含有量の割合を０．０１質量％以上にすることは、感光性樹脂層に保存安定性を付与する観点から好ましい。一方で、上記した各成分の合計含有量の割合を３質量％以下にすることは、感度を維持し、染料の脱色を抑える観点から好ましい。
【0189】
感光性樹脂層は、増感剤を含んでもよい。増感剤としては、制限されず、公知の増感剤を用いることができる。また、増感剤として、染料、及び顔料を用いることもできる。増感剤としては、例えば、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、クマリン化合物、キサントン化合物、チオキサントン化合物、アクリドン化合物、オキサゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、トリアゾール化合物（例えば、１，２，４－トリアゾール）、スチルベン化合物、トリアジン化合物、チオフェン化合物、ナフタルイミド化合物、トリアリールアミン化合物、及びアミノアクリジン化合物が挙げられる。
【0190】
感光性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の増感剤を含んでもよい。
【0191】
感光性樹脂層が増感剤を含む場合、増感剤の含有割合は、目的により適宜選択できるが、光源に対する感度の向上、及び重合速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～５質量％であることが好ましく、０．０５質量％～１質量％であることがより好ましい。
【0192】
感光性樹脂層は、可塑剤、及びヘテロ環状化合物からなる群より選択される少なくとも１種を含んでもよい。可塑剤、及びヘテロ環状化合物としては、例えば、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落００９７～段落０１０３、及び段落０１１１～段落０１１８に記載された化合物が挙げられる。
【0193】
感光性樹脂層は、重合体Ａ以外の樹脂を含んでもよい。重合体Ａ以外の樹脂としては、アクリル樹脂、スチレン－アクリル共重合体（ただし、スチレン含有率が４０質量％以下の共重合体に限る。）、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマール、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、及びポリアルキレングリコールが挙げられる。
【0194】
感光性樹脂層は、溶剤を含んでもよい。溶剤を含む感光性樹脂組成物により感光性樹脂層を形成した場合、感光性樹脂層に溶剤が残留することがある。溶剤については後述する。
【0195】
感光性樹脂層は、添加剤として、例えば、金属酸化物粒子、酸化防止剤、分散剤、酸増殖剤、現像促進剤、導電性繊維、熱ラジカル重合開始剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、架橋剤、有機沈殿防止剤、及び無機沈殿防止剤からなる群より選択される少なくとも１種を含んでもよい。添加剤については、例えば、特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１６５～段落０１８４に記載されている。上記公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0196】
（不純物等）
感光性樹脂層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。不純物の具体例としては、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、鉄、マンガン、銅、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、亜鉛、スズ、ハロゲン、及びこれらのイオンが挙げられる。上記の中でも、ハロゲン化物イオン、ナトリウムイオン、及びカリウムイオンは不純物として混入し易いため、下記の含有量にすることが好ましい。
感光性樹脂層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。不純物の具体例としては、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、鉄、マンガン、銅、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、亜鉛、スズ、ハロゲン、及びこれらのイオンが挙げられる。上記の中でも、ハロゲン化物イオン、ナトリウムイオン、及びカリウムイオンは不純物として混入し易いため、下記の含有量にすることが好ましい。
【0197】
感光性樹脂層における不純物の含有量は、質量基準で、８０ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、２ｐｐｍ以下であることが更に好ましい。感光性樹脂層における不純物の含有量は、質量基準で、１ｐｐｂ以上、又は０．１ｐｐｍ以上とすることができる。
【0198】
不純物を上記範囲にする方法としては、感光性樹脂層の原料として不純物の含有量が少ない原料を選択すること、感光性樹脂層の形成時に不純物の混入を防ぐこと、及び製造設備を洗浄して不純物を除去することが挙げられる。このような方法により、不純物量を上記範囲内とすることができる。
【0199】
不純物は、公知の方法、例えば、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析法、原子吸光分光法、又はイオンクロマトグラフィー法で定量できる。
【0200】
感光性樹脂層における、ベンゼン、ホルムアルデヒド、トリクロロエチレン、１，３－ブタジエン、四塩化炭素、クロロホルム、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、及びヘキサンの含有量は、少ないことが好ましい。上記した化合物の感光性樹脂層中における含有量としては、質量基準で、１００ｐｐｍ以下が好ましく、２０ｐｐｍ以下がより好ましく、４ｐｐｍ以下が更に好ましい。上記した化合物の感光性樹脂層中における含有量は、質量基準で、１０ｐｐｂ以上、又は１００ｐｐｂ以上とすることができる。上記した化合物は、上記の金属の不純物と同様の方法で含有量を抑制できる。また、公知の測定法により定量できる。
【0201】
感光性樹脂層における水の含有量は、信頼性及びラミネート性を向上させる点から、０．０１質量％～１．０質量％であることが好ましく、０．０５質量％～０．５質量％であることがより好ましい。
【0202】
（残存モノマー）
感光性樹脂層は、上述した重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーを含む場合がある。
残存モノマーの含有量は、パターニング性、及び、信頼性の点から、重合体Ａの全質量に対して、５，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、２，０００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、５００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１０質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
重合体Ａの各構成単位の残存モノマーは、パターニング性、及び、信頼性の点から、感光性樹脂層の全質量に対して、３，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、６００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０．１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
感光性樹脂層は、上述した重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーを含む場合がある。
残存モノマーの含有量は、パターニング性、及び、信頼性の点から、重合体Ａの全質量に対して、５，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、２，０００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、５００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１０質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
重合体Ａの各構成単位の残存モノマーは、パターニング性、及び、信頼性の点から、感光性樹脂層の全質量に対して、３，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、６００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０．１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
【0203】
高分子反応で重合体Ａを合成する際のモノマーの残存モノマー量も、上記範囲とすることが好ましい。例えば、カルボン酸側鎖にアクリル酸グリシジルを反応させて重合体Ａを合成する場合には、アクリル酸グリシジルの含有量を上記範囲にすることが好ましい。
残存モノマーの量は、液体クロマトグラフィー、及び、ガスクロマトグラフィー等の公知の方法で測定できる。
残存モノマーの量は、液体クロマトグラフィー、及び、ガスクロマトグラフィー等の公知の方法で測定できる。
【0204】
（厚さ）
感光性樹脂層の平均厚さは、一般的には０．１μｍ～３００μｍである。感光性樹脂層の平均厚さは、０．５μｍ以上であることが好ましく、１μｍ以上であることがより好ましく、３μｍ以上であることが更に好ましい。仮支持体に隣接する層が感光性樹脂層である場合、感光性樹脂層の平均厚さが上記範囲であることで、感光性樹脂層と仮支持体との密着力が大きくなるため、仮支持体のシワの発生を更に抑制することができる。感光性樹脂層の平均厚さは、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、１５μｍ以下であることが更に好ましく、１０μｍ以下であることが特に好ましい。感光性樹脂層の平均厚さが上記範囲であることで、感光性樹脂層の現像性が向上し、解像性を向上させることができる。感光性樹脂層の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
感光性樹脂層の平均厚さは、一般的には０．１μｍ～３００μｍである。感光性樹脂層の平均厚さは、０．５μｍ以上であることが好ましく、１μｍ以上であることがより好ましく、３μｍ以上であることが更に好ましい。仮支持体に隣接する層が感光性樹脂層である場合、感光性樹脂層の平均厚さが上記範囲であることで、感光性樹脂層と仮支持体との密着力が大きくなるため、仮支持体のシワの発生を更に抑制することができる。感光性樹脂層の平均厚さは、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、１５μｍ以下であることが更に好ましく、１０μｍ以下であることが特に好ましい。感光性樹脂層の平均厚さが上記範囲であることで、感光性樹脂層の現像性が向上し、解像性を向上させることができる。感光性樹脂層の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0205】
（透過率）
感光性樹脂層において、波長３６５ｎｍの光の透過率は、密着性により優れる点から、１０％以上であることが好ましく、３０％以上であることがより好ましく、５０％以上であることが特に好ましい。透過率の上限は、制限されない。感光性樹脂層において、波長３６５ｎｍの光の透過率は、９９．９％以下であることが好ましい。
感光性樹脂層において、波長３６５ｎｍの光の透過率は、密着性により優れる点から、１０％以上であることが好ましく、３０％以上であることがより好ましく、５０％以上であることが特に好ましい。透過率の上限は、制限されない。感光性樹脂層において、波長３６５ｎｍの光の透過率は、９９．９％以下であることが好ましい。
【0206】
（形成方法）
感光性樹脂層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば制限されない。感光性樹脂層の形成方法としては、例えば、仮支持体の表面に、感光性樹脂組成物を塗布し、次いで、感光性樹脂組成物の塗膜を乾燥する方法が挙げられる。
感光性樹脂層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば制限されない。感光性樹脂層の形成方法としては、例えば、仮支持体の表面に、感光性樹脂組成物を塗布し、次いで、感光性樹脂組成物の塗膜を乾燥する方法が挙げられる。
【0207】
感光性樹脂組成物としては、例えば、重合体Ａ、重合性化合物Ｂ、任意成分、及び溶剤を含む組成物が挙げられる。感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の粘度を調節し、感光性樹脂層の形成を容易にするため、溶剤を含むことが好ましい。
【0208】
溶剤としては、重合体Ａ、重合性化合物Ｂ、及び任意成分を、溶解、又は分散可能な溶剤であれば制限されず、公知の溶剤を使用できる。溶剤としては、例えば、アルキレングリコールエーテル溶剤、アルキレングリコールエーテルアセテート溶剤、アルコール溶剤（例えば、メタノール、及びエタノール）、ケトン溶剤（例えば、アセトン、及びメチルエチルケトン）、芳香族炭化水素溶剤（例えば、トルエン）、非プロトン性極性溶剤（例えば、Ｎ，Ｎ-ジメチルホルムアミド）、環状エーテル溶剤（例えば、テトラヒドロフラン）、エステル溶剤、アミド溶剤、及びラクトン溶剤が挙げられる。
【0209】
感光性樹脂組成物は、アルキレングリコールエーテル溶剤、及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。感光性樹脂組成物は、アルキレングリコールエーテル溶剤、及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤からなる群より選択される少なくとも１種と、ケトン溶剤、及び環状エーテル溶剤からなる群より選択される少なくとも１種と、を含むことがより好ましい。感光性樹脂組成物は、アルキレングリコールエーテル溶剤、及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤からなる群より選択される少なくとも１種と、ケトン溶剤と、環状エーテル溶剤と、を含むことが特に好ましい。
【0210】
アルキレングリコールエーテル溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテル、エチレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールジアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル、及びジプロピレングリコールジアルキルエーテルが挙げられる。
【0211】
アルキレングリコールエーテルアセテート溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートが挙げられる。
【0212】
溶剤としては、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落００９２～段落００９４に記載された溶剤、及び特開２０１８－１７７８８９号公報の段落００１４に記載された溶剤を用いてもよい。これらの内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0213】
感光性樹脂組成物は、１種単独、又は２種以上の溶剤を含んでもよい。
【0214】
感光性樹脂組成物における溶剤の含有割合は、感光性樹脂組成物中の全固形分１００質量部に対して、５０質量部～１，９００質量部であることが好ましく、１００質量部～９００質量部であることがより好ましい。
【0215】
感光性樹脂組成物の調製方法は、制限されない。感光性樹脂組成物の調製方法としては、例えば、各成分を溶剤に溶解した溶液を予め調製し、得られた各溶液を所定の割合で混合することにより、感光性樹脂組成物を調製する方法が挙げられる。感光性樹脂組成物は、感光性樹脂層を形成する前に、孔径が０．２μｍ～３０μｍのフィルターを用いてろ過することが好ましい。
【0216】
感光性樹脂組成物の塗布方法としては、制限されず、公知の方法を用いることができる。塗布方法としては、例えば、スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布、及びインクジェット塗布が挙げられる。
【0217】
また、感光性樹脂層は、感光性樹脂組成物を後述するカバーフィルム上に塗布し、乾燥することにより形成してもよい。
【0218】
［他の層］
本開示に係る感光性転写材料は、上記した層以外の層（以下、「他の層」という。）を有してもよい。他の層としては、カバーフィルム、熱可塑性樹脂、中間層、及びコントラストエンハンスメント層（屈折率調整層ともいう。）が挙げられる。
本開示に係る感光性転写材料は、上記した層以外の層（以下、「他の層」という。）を有してもよい。他の層としては、カバーフィルム、熱可塑性樹脂、中間層、及びコントラストエンハンスメント層（屈折率調整層ともいう。）が挙げられる。
【0219】
（カバーフィルム）
本開示に係る感光性転写材料は、カバーフィルム（保護フィルムともいう。）を有してもよい。カバーフィルムによれば、カバーフィルムに接触する層（例えば、感光性樹脂層）の表面を保護することができる。
本開示に係る感光性転写材料は、カバーフィルム（保護フィルムともいう。）を有してもよい。カバーフィルムによれば、カバーフィルムに接触する層（例えば、感光性樹脂層）の表面を保護することができる。
【0220】
ある実施形態において、感光性転写材料は、仮支持体と、感光性樹脂層と、カバーフィルムと、をこの順で含むことが好ましい。上記感光性転写材料において、感光性樹脂層は、仮支持体の上に、直接、又は任意の層を介して積層されてもよい。上記感光性転写材料において、カバーフィルムは、感光性樹脂層の上に、直接、又は任意の層を介して積層されてもよい。上記感光性転写材料における任意の層としては、例えば、後述する他の層が挙げられる。
【0221】
ある実施形態において、感光性転写材料は、感光性樹脂層の仮支持体に対向する面とは反対側の面に接するカバーフィルムを有することが好ましい。
【0222】
カバーフィルムとしては、例えば、樹脂フィルム、及び紙が挙げられる。カバーフィルムは、強度、及び可撓性の観点から、樹脂フィルムであることが好ましい。
【0223】
樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。樹脂フィルムは、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、又はポリエチレンテレフタレートフィルムであることが好ましい。
【0224】
カバーフィルムの厚さは、制限されない。カバーフィルムの平均厚さは、５μｍ～１００μｍであることが好ましく、１０μｍ～５０μｍであることがより好ましく、１０μｍ～２０μｍであることが特に好ましい。カバーフィルムの平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0225】
カバーフィルムの感光性樹脂層が配置された側の面の算術平均粗さＲａは、解像性により優れる点から、０．３μｍ以下であることが好ましく、０．１μｍ以下であることがより好ましく、０．０５μｍ以下であることが特に好ましい。カバーフィルムの感光性樹脂層が配置された側の面の算術平均粗さが上記範囲であることで、感光性樹脂層、及び形成される樹脂パターンの厚さの均一性が向上する。算術平均粗さＲａの下限は、制限されない。カバーフィルムの感光性樹脂層が配置された側の面の算術平均粗さＲａは、０．００１μｍ以上であることが好ましい。カバーフィルムの感光性樹脂層が配置された側の面の算術平均粗さＲａは、上記「仮支持体」の項において説明した算術平均粗さＲａの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0226】
（熱可塑性樹脂層）
本開示に係る感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層を有してもよい。ある実施形態において、感光性転写材料は、仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有することが好ましい。感光性転写材料が仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有することで、基板に貼り合わされる工程における基板への追従性が向上して、基板と感光性転写材料との間の気泡の混入が抑制される結果、層間の密着性が向上するためである。
本開示に係る感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層を有してもよい。ある実施形態において、感光性転写材料は、仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有することが好ましい。感光性転写材料が仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有することで、基板に貼り合わされる工程における基板への追従性が向上して、基板と感光性転写材料との間の気泡の混入が抑制される結果、層間の密着性が向上するためである。
【0227】
－アルカリ可溶性樹脂－
熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂として、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。
熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂として、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。
【0228】
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレン－アクリル共重合体、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマール、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、及びポリアルキレングリコールが挙げられる。
【0229】
アルカリ可溶性樹脂は、現像性、及び熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、アクリル樹脂であることが好ましい。ここで、「アクリル樹脂」とは、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位、及び（メタ）アクリル酸アミドに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種を有する樹脂を意味する。
【0230】
アクリル樹脂において、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位、及び（メタ）アクリル酸アミドに由来する構成単位の合計含有量の割合は、アクリル樹脂の全質量に対して、５０質量％以上であることが好ましい。アクリル樹脂において、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、及び（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位の合計含有量の割合は、アクリル樹脂の全質量に対して、３０質量％～１００質量％であることが好ましく、５０質量％～１００質量％であることがより好ましい。
【0231】
また、アルカリ可溶性樹脂は、酸基を有する重合体であることが好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、及びホスホン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
【0232】
アルカリ可溶性樹脂は、現像性の観点から、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるアルカリ可溶性樹脂であることが好ましく、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるカルボキシ基含有アクリル樹脂であることがより好ましい。酸価の上限は、制限されない。アルカリ可溶性樹脂の酸価は、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。
【0233】
酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるカルボキシ基含有アクリル樹脂としては、制限されず、公知の樹脂から適宜選択して用いることができる。酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるカルボキシ基含有アクリル樹脂としては、例えば、特開２０１１－９５７１６号公報の段落００２５に記載のポリマーのうち酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるカルボキシ基含有アクリル樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落００３３～段落００５２に記載のポリマーのうち酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるカルボキシ基含有アクリル樹脂、及び特開２０１６－２２４１６２号公報の段落００５３～段落００６８に記載のバインダーポリマーのうち酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるカルボキシ基含有アクリル樹脂が挙げられる。
【0234】
カルボキシ基含有アクリル樹脂におけるカルボキシ基を有する構成単位の含有割合は、カルボキシ基含有アクリル樹脂の全質量に対して、５質量％～５０質量％であることが好ましく、１０質量％～４０質量％であることがより好ましく、１２質量％～３０質量％であることが特に好ましい。
【0235】
アルカリ可溶性樹脂は、現像性、及び熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有するアクリル樹脂であることが特に好ましい。
【0236】
アルカリ可溶性樹脂は、反応性基を有してもよい。反応性基は、例えば、付加重合可能な基であればよい。反応性基としては、例えば、エチレン性不飽和基、重縮合性基（例えば、ヒドロキシ基、及びカルボキシ基）、及び重付加反応性基（例えば、エポキシ基、及び（ブロック）イソシアネート基）が挙げられる。
【0237】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００以上であることが好ましく、１万～１０万であることがより好ましく、２万～５万であることが特に好ましい。
【0238】
熱可塑性樹脂層は、１種単独、又は２種以上のアルカリ可溶性樹脂を含んでもよい。
【0239】
アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、現像性、及び熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～９９質量％であることが好ましく、２０質量％～９０質量％であることがより好ましく、４０質量％～８０質量％であることが更に好ましく、５０質量％～７０質量％であることが特に好ましい。
【0240】
－色素－
熱可塑性樹脂層は、発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける最大吸収波長が４５０ｎｍ以上であり、かつ、酸、塩基、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素（以下、「色素Ｂ」という場合がある。）を含むことが好ましい。色素Ｂの好ましい態様は、後述する点以外は、上記した色素Ｎの好ましい態様と同様である。
熱可塑性樹脂層は、発色時の波長範囲である４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける最大吸収波長が４５０ｎｍ以上であり、かつ、酸、塩基、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素（以下、「色素Ｂ」という場合がある。）を含むことが好ましい。色素Ｂの好ましい態様は、後述する点以外は、上記した色素Ｎの好ましい態様と同様である。
【0241】
色素Ｂは、露光部の視認性、非露光部の視認性、及び解像性の観点から、酸、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素であることが好ましく、酸により最大吸収波長が変化する色素であることがより好ましい。
【0242】
熱可塑性層は、露光部の視認性、非露光部の視認性、及び解像性の観点から、色素Ｂとして酸により最大吸収波長が変化する色素と、後述する光により酸を発生する化合物と、を含むことが好ましい。
【0243】
熱可塑性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の色素Ｂを含んでもよい。
【0244】
色素Ｂの含有割合は、露光部の視認性、非露光部の視認性の観点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．２質量％以上であることが好ましく、０．２質量％～６質量％であることがより好ましく、０．２質量％～５質量％であることが更に好ましく、０．２５質量％～３．０質量％であることが特に好ましい。
【0245】
ここで、色素Ｂの含有割合は、熱可塑性樹脂層に含まれる色素Ｂの全てを発色状態にした場合の色素の含有割合を意味する。以下、ラジカルにより発色する色素を例として、色素Ｂの含有割合の定量方法を説明する。メチルエチルケトン（１００ｍＬ）に、色素（０．００１ｇ）、及び色素（０．０１ｇ）をそれぞれ溶かした２つの溶液を調製する。得られた各溶液に、光ラジカル重合開始剤としてＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０１（ＢＡＳＦ社）を加えた後、３６５ｎｍの光を照射することによりラジカルを発生させ、全ての色素を発色状態にする。次に、大気雰囲気下で、分光光度計（ＵＶ３１００、株式会社島津製作所）を用いて、液温が２５℃である各溶液の吸光度を測定し、検量線を作成する。次に、色素に代えて熱可塑性樹脂層（０．１ｇ）をメチルエチルケトンに溶かすこと以外は上記と同様の方法で、色素を全て発色させた溶液の吸光度を測定する。得られた熱可塑性樹脂層を含有する溶液の吸光度から、検量線に基づいて熱可塑性樹脂層に含まれる色素の量を算出する。
【0246】
－光により酸、塩基、又はラジカルを発生する化合物－
熱可塑性樹脂層は、光により酸、塩基、又はラジカルを発生する化合物（以下、「化合物Ｃ」という場合がある。）を含んでもよい。化合物Ｃは、活性光線（例えば、紫外線、及び可視光線）を受けて、酸、塩基、又はラジカルを発生する化合物であることが好ましい。化合物Ｃとしては、公知の、光酸発生剤、光塩基発生剤、及び光ラジカル重合開始剤（光ラジカル発生剤）が挙げられる。化合物Ｃは、光酸発生剤であることが好ましい。
熱可塑性樹脂層は、光により酸、塩基、又はラジカルを発生する化合物（以下、「化合物Ｃ」という場合がある。）を含んでもよい。化合物Ｃは、活性光線（例えば、紫外線、及び可視光線）を受けて、酸、塩基、又はラジカルを発生する化合物であることが好ましい。化合物Ｃとしては、公知の、光酸発生剤、光塩基発生剤、及び光ラジカル重合開始剤（光ラジカル発生剤）が挙げられる。化合物Ｃは、光酸発生剤であることが好ましい。
【0247】
〔光酸発生剤〕
熱可塑性樹脂層は、解像性の観点から、光酸発生剤を含むことが好ましい。光酸発生剤としては、上述した感光性樹脂層に含まれてもよい光カチオン重合開始剤が挙げられ、後述する点以外は好ましい態様も同じである。
熱可塑性樹脂層は、解像性の観点から、光酸発生剤を含むことが好ましい。光酸発生剤としては、上述した感光性樹脂層に含まれてもよい光カチオン重合開始剤が挙げられ、後述する点以外は好ましい態様も同じである。
【0248】
光酸発生剤は、感度、及び解像性の観点から、オニウム塩化合物、及びオキシムスルホネート化合物からなる群より選択された少なくとも１種を含むことが好ましく、感度、解像性、及び密着性の観点から、オキシムスルホネート化合物を含むことがより好ましい。
【0249】
また、光酸発生剤は、以下の構造を有する光酸発生剤であることも好ましい。
【0250】
【化3】
【0251】
〔光塩基発生剤〕
熱可塑性樹脂層は、光塩基発生剤を含んでもよい。光塩基発生剤としては、例えば、２－ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、Ｏ－カルバモイルヒドロキシルアミド、Ｏ－カルバモイルオキシム、［［（２，６－ジニトロベンジル）オキシ］カルボニル］シクロヘキシルアミン、ビス［［（２－ニトロベンジル）オキシ］カルボニル］ヘキサン１，６－ジアミン、４－（メチルチオベンゾイル）－１－メチル－１－モルホリノエタン、（４－モルホリノベンゾイル）－１－ベンジル－１－ジメチルアミノプロパン、Ｎ－（２－ニトロベンジルオキシカルボニル）ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト（ＩＩＩ）トリス（トリフェニルメチルボレート）、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン、２，６－ジメチル－３，５－ジアセチル－４－（２－ニトロフェニル）－１，４－ジヒドロピリジン、及び２，６－ジメチル－３，５－ジアセチル－４－（２，４－ジニトロフェニル）－１，４－ジヒドロピリジンが挙げられる。
熱可塑性樹脂層は、光塩基発生剤を含んでもよい。光塩基発生剤としては、例えば、２－ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、Ｏ－カルバモイルヒドロキシルアミド、Ｏ－カルバモイルオキシム、［［（２，６－ジニトロベンジル）オキシ］カルボニル］シクロヘキシルアミン、ビス［［（２－ニトロベンジル）オキシ］カルボニル］ヘキサン１，６－ジアミン、４－（メチルチオベンゾイル）－１－メチル－１－モルホリノエタン、（４－モルホリノベンゾイル）－１－ベンジル－１－ジメチルアミノプロパン、Ｎ－（２－ニトロベンジルオキシカルボニル）ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト（ＩＩＩ）トリス（トリフェニルメチルボレート）、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン、２，６－ジメチル－３，５－ジアセチル－４－（２－ニトロフェニル）－１，４－ジヒドロピリジン、及び２，６－ジメチル－３，５－ジアセチル－４－（２，４－ジニトロフェニル）－１，４－ジヒドロピリジンが挙げられる。
【0252】
〔光ラジカル重合開始剤〕
熱可塑性樹脂層は、光ラジカル重合開始剤を含んでもよい。光ラジカル重合開始剤としては、例えば、上述した感光性樹脂層が含んでもよい光ラジカル重合開始剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。
熱可塑性樹脂層は、光ラジカル重合開始剤を含んでもよい。光ラジカル重合開始剤としては、例えば、上述した感光性樹脂層が含んでもよい光ラジカル重合開始剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。
【0253】
熱可塑性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の化合物Ｃを含んでもよい。
【0254】
化合物Ｃの含有割合は、露光部の視認性、非露光部の視認性、及び解像性の観点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％～１０質量％であることが好ましく、０．５質量％～５質量％であることがより好ましい。
【0255】
－可塑剤－
熱可塑性樹脂層は、解像性、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性、及び現像性の観点から、可塑剤を含むことが好ましい。
熱可塑性樹脂層は、解像性、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性、及び現像性の観点から、可塑剤を含むことが好ましい。
【0256】
可塑剤の分子量（オリゴマー又はポリマーの分子量については重量平均分子量（Ｍｗ）をいう。以下、本段落において同じ。）は、アルカリ可溶性樹脂の分子量よりも小さいことが好ましい。可塑剤の分子量は、２００～２，０００であることが好ましい。
【0257】
可塑剤は、アルカリ可溶性樹脂と相溶して可塑性を発現する化合物であれば制限されない。可塑剤は、可塑性付与の観点から、分子中にアルキレンオキシ基を有する化合物であることが好ましく、ポリアルキレングリコール化合物であることがより好ましい。可塑剤に含まれるアルキレンオキシ基は、ポリエチレンオキシ構造、又はポリプロピレンオキシ構造を有することが好ましい。
【0258】
可塑剤は、解像性、及び保存安定性の観点から、（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましい。相溶性、解像性、及び熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂がアクリル樹脂であり、かつ、可塑剤が（メタ）アクリレート化合物を含むことがより好ましい。
【0259】
可塑剤として用いられる（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、上記「重合性化合物Ｂ」の項に記載した（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。感光性転写材料において、熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層とが直接接触して配置される場合、熱可塑性樹脂層、及び感光性樹脂層は、それぞれ、同じ（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましい。熱可塑性樹脂層、及び感光性樹脂層が、それぞれ、同じ（メタ）アクリレート化合物を含むことで、層間の成分拡散が抑制され、保存安定性が向上するためである。
【0260】
熱可塑性樹脂層が可塑剤として（メタ）アクリレート化合物を含む場合、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、露光後の露光部においても（メタ）アクリレート化合物は重合しないことが好ましい。
【0261】
ある実施形態において、可塑剤として用いられる（メタ）アクリレート化合物は、解像性、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性、及び現像性の観点から、一分子中に２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレート化合物であることが好ましい。
【0262】
ある実施形態において、可塑剤として用いられる（メタ）アクリレート化合物は、酸基を有する（メタ）アクリレート化合物、又はウレタン（メタ）アクリレート化合物であることが好ましい。
【0263】
熱可塑性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の可塑剤を含んでもよい。
【0264】
可塑剤の含有割合は、解像性、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性、及び現像性の観点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、１質量％～７０質量％であることが好ましく、１０質量％～６０質量％であることがより好ましく、２０質量％～５０質量％であることが特に好ましい。
【0265】
－界面活性剤－
熱可塑性樹脂層は、厚さの均一性の観点から、界面活性剤を含むことが好ましい。界面活性剤としては、例えば、上述した感光性樹脂層が含んでもよい界面活性剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。
熱可塑性樹脂層は、厚さの均一性の観点から、界面活性剤を含むことが好ましい。界面活性剤としては、例えば、上述した感光性樹脂層が含んでもよい界面活性剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。
【0266】
熱可塑性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の界面活性剤を含んでもよい。
【0267】
界面活性剤の含有割合は、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．００１質量％～１０質量％であることが好ましく、０．０１質量％～３質量％であることがより好ましい。
【0268】
－増感剤－
熱可塑性樹脂層は、増感剤を含んでもよい。増感剤としては、例えば、上述した感光性樹脂層が含んでもよい増感剤が挙げられる。
熱可塑性樹脂層は、増感剤を含んでもよい。増感剤としては、例えば、上述した感光性樹脂層が含んでもよい増感剤が挙げられる。
【0269】
熱可塑性樹脂層は、１種単独、又は２種以上の増感剤を含んでもよい。
【0270】
増感剤の含有割合は、光源に対する感度の向上、露光部の視認性、及び非露光部の視認性の観点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～５質量％であることが好ましく、０．０５質量％～１質量％であることがより好ましい。
【0271】
－添加剤－
熱可塑性樹脂層は、上記成分以外に、必要に応じて公知の添加剤を含んでもよい。
熱可塑性樹脂層は、上記成分以外に、必要に応じて公知の添加剤を含んでもよい。
【0272】
また、熱可塑性樹脂層については、特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１８９～段落０１９３に記載されている。上記公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0273】
－厚さ－
熱可塑性樹脂層の厚さは、制限されない。熱可塑性樹脂層の平均厚さは、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがより好ましい。熱可塑性樹脂層の平均厚さの上限は、制限されない。熱可塑性樹脂層の平均厚さは、現像性、及び解像性の観点から、２０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以下であることが特に好ましい。熱可塑性樹脂層の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
熱可塑性樹脂層の厚さは、制限されない。熱可塑性樹脂層の平均厚さは、熱可塑性樹脂層に隣接する層との密着性の観点から、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがより好ましい。熱可塑性樹脂層の平均厚さの上限は、制限されない。熱可塑性樹脂層の平均厚さは、現像性、及び解像性の観点から、２０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以下であることが特に好ましい。熱可塑性樹脂層の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0274】
－形成方法－
熱可塑性樹脂層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば制限されない。熱可塑性樹脂層の形成方法としては、例えば、仮支持体の表面に、熱可塑性樹脂組成物を塗布し、熱可塑性樹脂組成物の塗膜を乾燥する方法が挙げられる。
熱可塑性樹脂層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば制限されない。熱可塑性樹脂層の形成方法としては、例えば、仮支持体の表面に、熱可塑性樹脂組成物を塗布し、熱可塑性樹脂組成物の塗膜を乾燥する方法が挙げられる。
【0275】
熱可塑性樹脂組成物としては、例えば、上記の成分を含む組成物が挙げられる。熱可塑性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂組成物の粘度を調節し、熱可塑性樹脂層の形成を容易にするため、溶剤を含むことが好ましい。
【0276】
熱可塑性樹脂組成物に含まれる溶剤としては、熱可塑性樹脂層に含まれる成分を溶解、又は分散可能な溶剤であれば制限されない。溶剤としては、上述した感光性樹脂組成物が含んでもよい溶剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。
【0277】
熱可塑性樹脂組成物は、１種単独、又は２種以上の溶剤を含んでもよい。
【0278】
熱可塑性樹脂組成物における溶剤の含有割合は、熱可塑性樹脂組成物中の全固形分１００質量部に対して、５０質量部～１，９００質量部であることが好ましく、１００質量部～９００質量部であることがより好ましい。
【0279】
熱可塑性樹脂組成物の調製、及び熱可塑性樹脂層の形成は、上述した感光性樹脂組成物の調製方法、及び感光性樹脂層の形成方法に準じて行えばよい。例えば、熱可塑性樹脂層に含まれる各成分を溶剤に溶解した溶液を予め調製し、得られた各溶液を所定の割合で混合することにより、熱可塑性樹脂組成物を調製した後、得られた熱可塑性樹脂組成物を仮支持体の表面に塗布し、熱可塑性樹脂組成物の塗膜を乾燥させることにより、熱可塑性樹脂層を形成することができる。また、後述するカバーフィルム上に、感光性樹脂層を形成した後、感光性樹脂層の表面に熱可塑性樹脂層を形成してもよい。
【0280】
（中間層）
本開示に係る感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との間に、中間層を有することが好ましい。中間層によれば、複数の層を形成する際、及び保存の際における成分の混合を抑制できる。
本開示に係る感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との間に、中間層を有することが好ましい。中間層によれば、複数の層を形成する際、及び保存の際における成分の混合を抑制できる。
【0281】
中間層は、現像性、並びに、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を抑制する観点から、水溶性の層であることが好ましい。本開示において、「水溶性」とは、液温が２２℃であるｐＨ７．０の水１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。
【0282】
中間層としては、例えば、特開平５－７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断層が挙げられる。中間層が酸素遮断層であることで、露光時の感度が向上し、露光機の時間負荷が低減する結果、生産性が向上する。中間層として用いられる酸素遮断層は、公知の層から適宜選択すればよい。中間層として用いられる酸素遮断層は、低い酸素透過性を示し、水、若しくはアルカリ水溶液（２２℃の炭酸ナトリウムの１質量％水溶液）に分散、又は溶解する酸素遮断層であることが好ましい。
【0283】
中間層は、樹脂を含むことが好ましい。中間層に含まれる樹脂としては、例えば、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルピロリドン系樹脂、セルロース系樹脂、アクリルアミド系樹脂、ポリエチレンオキサイド系樹脂、ゼラチン、ビニルエーテル系樹脂、ポリアミド樹脂、及びこれらの共重合体が挙げられる。中間層に含まれる樹脂は、水溶性樹脂であることが好ましい。
【0284】
中間層に含まれる樹脂は、複数の層間の成分の混合を抑制する観点から、感光性樹脂層に含まれる重合体Ａ、及び熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性樹脂（アルカリ可溶性樹脂）のいずれとも異なる樹脂であることが好ましい。
【0285】
中間層は、酸素遮断性、並びに、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を抑制する観点から、ポリビニルアルコールを含むことが好ましく、ポリビニルアルコール、及びポリビニルピロリドンを含むことがより好ましい。
【0286】
中間層は、１種単独、又は２種以上の樹脂を含んでもよい。
【0287】
中間層における樹脂の含有割合は、酸素遮断性、並びに、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を抑制する観点から、中間層の全質量に対して、５０質量％～１００質量％であることが好ましく、７０質量％～１００質量％であることがより好ましく、８０質量％～１００質量％であることが更に好ましく、９０質量％～１００質量％であることが特に好ましい。
【0288】
また、中間層は、必要に応じて添加剤を含んでもよい。添加剤としては、例えば、界面活性剤が挙げられる。
【0289】
中間層の厚さは、制限されない。中間層の平均厚さは、０．１μｍ～５μｍであることが好ましく、０．５μｍ～３μｍであることがより好ましい。中間層の厚さが上記範囲であることで、酸素遮断性を低下させることがなく、複数の層を形成する際、及び保存の際における成分の混合を抑制でき、また、現像時の中間層の除去時間の増大を抑制できる。中間層の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0290】
中間層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば制限されない。中間層の形成方法としては、例えば、熱可塑性樹脂層、又は感光性樹脂層の表面に、中間層用組成物を塗布した後、中間層用組成物の塗膜を乾燥する方法が挙げられる。
【0291】
中間層用組成物としては、例えば、樹脂、及び任意の添加剤を含む組成物が挙げられる。中間層用組成物は、中間層用組成物の粘度を調節し、中間層の形成を容易にするため、溶剤を含むことが好ましい。溶剤としては、樹脂を溶解、又は分散可能な溶剤であれば制限されない。溶剤は、水、及び水混和性の有機溶剤からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましく、水、又は水と水混和性の有機溶剤との混合溶剤であることがより好ましい。
【0292】
水混和性の有機溶剤としては、例えば、炭素数が１～３であるアルコール、アセトン、エチレングリコール、及びグリセリンが挙げられる。水混和性の有機溶剤は、炭素数が１～３であるアルコールであることが好ましく、メタノール、又はエタノールであることがより好ましい。
【0293】
（コントラストエンハンスメント層）
本開示に係る感光性転写材料は、コントラストエンハンスメント層を有してもよい。コントラストエンハンスメント層については、例えば、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落０１３４、及び特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１９４～段落０１９６に記載されている。これらの公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
本開示に係る感光性転写材料は、コントラストエンハンスメント層を有してもよい。コントラストエンハンスメント層については、例えば、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落０１３４、及び特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１９４～段落０１９６に記載されている。これらの公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0294】
［仮支持体、感光性樹脂層及びカバーフィルムの関係］
本開示に係る感光性転写材料は、感光性樹脂層を硬化した硬化膜の１２０℃における破断伸びが１５％以上であり、仮支持体の感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａが５０ｎｍ以下であり、カバーフィルムの感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａが１５０ｎｍ以下であることが好ましい。
本開示に係る感光性転写材料は、感光性樹脂層を硬化した硬化膜の１２０℃における破断伸びが１５％以上であり、仮支持体の感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａが５０ｎｍ以下であり、カバーフィルムの感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａが１５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【0295】
また、本開示に係る感光性転写材料は、下記式（Ｒ１）を満たすことが好ましい。
Ｘ×Ｙ＜１，５００：式（Ｒ１）
ここで、上記式（Ｒ１）中、Ｘは、感光性樹脂層を硬化した硬化膜の１２０℃における破断伸びの値（％）を表し、Ｙは、仮支持体の感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表す。
Ｘ×Ｙは、７５０以下がより好ましい。
Ｘ×Ｙ＜１，５００：式（Ｒ１）
ここで、上記式（Ｒ１）中、Ｘは、感光性樹脂層を硬化した硬化膜の１２０℃における破断伸びの値（％）を表し、Ｙは、仮支持体の感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表す。
Ｘ×Ｙは、７５０以下がより好ましい。
【0296】
感光性樹脂層を硬化した硬化膜の２３℃での破断伸びに対し、１２０℃での破断伸びが２倍以上大きいことが好ましい。
破断伸びは、厚み２０μｍの感光性樹脂層を超高圧水銀ランプにより１２０ｍＪ／ｃｍ２で露光して硬化した後、高圧水銀ランプで４００ｍＪ／ｃｍ２で更に追加露光し、１４５℃で３０分間加熱した後の硬化膜を用い、引っ張り試験によって測定する。
破断伸びは、厚み２０μｍの感光性樹脂層を超高圧水銀ランプにより１２０ｍＪ／ｃｍ２で露光して硬化した後、高圧水銀ランプで４００ｍＪ／ｃｍ２で更に追加露光し、１４５℃で３０分間加熱した後の硬化膜を用い、引っ張り試験によって測定する。
【0297】
また、本開示に係る感光性転写材料は、下記式（Ｒ２）を満たすことが好ましい。
Ｙ≦Ｚ：式（Ｒ２）
ここで、上記式（Ｒ２）中、Ｙは、仮支持体の感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表し、Ｚは、カバーフィルムの感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表す。
Ｙ≦Ｚ：式（Ｒ２）
ここで、上記式（Ｒ２）中、Ｙは、仮支持体の感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表し、Ｚは、カバーフィルムの感光性樹脂層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表す。
【0298】
＜＜平均厚さ＞＞
感光性転写材料の平均厚さは、５μｍ～５５μｍであることが好ましく、１０μｍ～５０μｍであることがより好ましく、２０μｍ～４０μｍであることが特に好ましい。感光性転写材料の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
感光性転写材料の平均厚さは、５μｍ～５５μｍであることが好ましく、１０μｍ～５０μｍであることがより好ましく、２０μｍ～４０μｍであることが特に好ましい。感光性転写材料の平均厚さは、仮支持体の平均厚さの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0299】
＜＜形状＞＞
本開示に係る感光性転写材料の形状は、制限されない。本開示に係る感光性転写材料の形状は、汎用性、及び運搬性の観点から、ロール状であることが好ましい。感光性転写材料を巻き取ることで、感光性転写材料の形状をロール状にすることができる。
本開示に係る感光性転写材料の形状は、制限されない。本開示に係る感光性転写材料の形状は、汎用性、及び運搬性の観点から、ロール状であることが好ましい。感光性転写材料を巻き取ることで、感光性転写材料の形状をロール状にすることができる。
【0300】
＜＜製造方法＞＞
本開示に係る感光性転写材料の製造方法においては、例えば、上記「構成要素」の項において説明した各層の形成方法を用いることができる。以下、感光性転写材料の製造方法の好ましい一例について、図１を参照して説明する。ただし、感光性転写材料の製造方法は、以下に説明する方法に制限されるものではない。
本開示に係る感光性転写材料の製造方法においては、例えば、上記「構成要素」の項において説明した各層の形成方法を用いることができる。以下、感光性転写材料の製造方法の好ましい一例について、図１を参照して説明する。ただし、感光性転写材料の製造方法は、以下に説明する方法に制限されるものではない。
【0301】
図１は、感光性転写材料の構成の一例を示す概略側面図である。図１に示される感光性転写材料１００の製造方法としては、例えば、仮支持体１０の上に、感光性樹脂組成物を塗布することによって感光性樹脂層１２を形成する工程と、上記感光性樹脂層１２の上に、カバーフィルム１４を配置する工程と、を含む方法が挙げられる。上記方法においては、必要に応じて、仮支持体１０の上に塗布された感光性樹脂組成物を乾燥してもよい。乾燥方法としては、制限されず、公知の乾燥方法を利用することができる。
【0302】
感光性樹脂層１２の上に、カバーフィルム１４を配置する方法としては、例えば、感光性樹脂層１２にカバーフィルム１４を圧着させる方法が挙げられる。
【0303】
以上の工程を経ることで、仮支持体１０と、感光性樹脂層１２と、カバーフィルム１４と、を有する感光性転写材料１００を製造することができる。製造された感光性転写材料１００は、ロール状に巻き取られてもよい。ロール状の感光性転写材料１００は、例えば、ロールツーロール方式による基板との貼り合わせ工程に用いることができる。
【0304】
＜＜用途＞＞
本開示に係る感光性転写材料は、例えば、樹脂パターンの形成、及び回路配線の形成に用いることができる。ただし、本開示に係る感光性転写材料の用途は、上記した用途に制限されるものではない。
本開示に係る感光性転写材料は、例えば、樹脂パターンの形成、及び回路配線の形成に用いることができる。ただし、本開示に係る感光性転写材料の用途は、上記した用途に制限されるものではない。
【0305】
本開示に係る感光性転写材料は、例えば、配線保護膜用感光性転写材料として用いられてもよい。配線保護膜用感光性転写材料として好ましく用いられる感光性転写材料の層構成としては、例えば、以下の（１）及び（２）が挙げられる。
（１）仮支持体／感光性樹脂層／屈折率調整層／カバーフィルム
（２）仮支持体／感光性樹脂層／カバーフィルム
（１）仮支持体／感光性樹脂層／屈折率調整層／カバーフィルム
（２）仮支持体／感光性樹脂層／カバーフィルム
【0306】
以下、配線保護膜用感光性転写材料として好ましく用いられる感光性転写材料の構成要素について説明する。ただし、配線保護膜用感光性転写材料として好ましく用いられる感光性転写材料の構成要素は、以下に示す構成要素に制限されるものではない。
【0307】
［仮支持体］
仮支持体としては、例えば、上記「構成要素」の項において説明した仮支持体が挙げられる。仮支持体の好ましい態様は、上記「構成要素」の項において説明した仮支持体の好ましい態様と同じである。
仮支持体としては、例えば、上記「構成要素」の項において説明した仮支持体が挙げられる。仮支持体の好ましい態様は、上記「構成要素」の項において説明した仮支持体の好ましい態様と同じである。
【0308】
［カバーフィルム］
仮支持体としては、例えば、上記「構成要素」の項において説明したカバーフィルムが挙げられる。カバーフィルムの好ましい態様は、上記「構成要素」の項において説明したカバーフィルムの好ましい態様と同じである。
仮支持体としては、例えば、上記「構成要素」の項において説明したカバーフィルムが挙げられる。カバーフィルムの好ましい態様は、上記「構成要素」の項において説明したカバーフィルムの好ましい態様と同じである。
【0309】
［感光性樹脂層］
（アルカリ可溶性樹脂）
感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、及び、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物との反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂が挙げられる。
（アルカリ可溶性樹脂）
感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、及び、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物との反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂が挙げられる。
【0310】
アルカリ可溶性樹脂の好適態様の一つとして、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂が挙げられる。
なお、本明細書において、（メタ）アクリル樹脂とは、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位を有する樹脂を意味する。（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が更に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位のみで構成されていてもよく、（メタ）アクリル化合物以外の重合性単量体に由来する構成単位を有していてもよい。すなわち、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量の上限は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１００質量％以下である。
なお、本明細書において、（メタ）アクリル樹脂とは、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位を有する樹脂を意味する。（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が更に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位のみで構成されていてもよく、（メタ）アクリル化合物以外の重合性単量体に由来する構成単位を有していてもよい。すなわち、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量の上限は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１００質量％以下である。
【0311】
（メタ）アクリル化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリルアミド、及び、（メタ）アクリロニトリルが挙げられる。
（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、及び、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートが挙げられ、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミドが挙げられる。
（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、及び、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートが挙げられ、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミドが挙げられる。
【0312】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、及び、（メタ）アクリル酸ドデシル等の炭素数が１～１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。
（メタ）アクリル酸エステルとしては、炭素数１～４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルがより好ましい。
（メタ）アクリル酸エステルとしては、炭素数１～４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルがより好ましい。
【0313】
（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位以外の構成単位を有していてもよい。
上記構成単位を形成する重合性単量体としては、（メタ）アクリル化合物と共重合可能な（メタ）アクリル化合物以外の化合物であれば特に制限されず、例えば、スチレン、ビニルトルエン、及び、α－メチルスチレン等のα位又は芳香族環に置換基を有してもよいスチレン化合物、アクリロニトリル及びビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールエステル、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、及び、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマル酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、並びに、クロトン酸が挙げられる。
これらの重合性単量体は、１種又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記構成単位を形成する重合性単量体としては、（メタ）アクリル化合物と共重合可能な（メタ）アクリル化合物以外の化合物であれば特に制限されず、例えば、スチレン、ビニルトルエン、及び、α－メチルスチレン等のα位又は芳香族環に置換基を有してもよいスチレン化合物、アクリロニトリル及びビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールエステル、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、及び、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマル酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、並びに、クロトン酸が挙げられる。
これらの重合性単量体は、１種又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0314】
また、（メタ）アクリル樹脂は、アルカリ現像性をより良好にする点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、及び、ホスホン酸基が挙げられる。
中でも、（メタ）アクリル樹脂は、カルボキシ基を有する構成単位を有することがより好ましく、上記の（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有することが更に好ましい。
中でも、（メタ）アクリル樹脂は、カルボキシ基を有する構成単位を有することがより好ましく、上記の（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有することが更に好ましい。
【0315】
（メタ）アクリル樹脂における酸基を有する構成単位（好ましくは（メタ）アクリル酸に由来する構成単位）の含有量は、現像性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂の全質量に対して、１０質量％以上が好ましい。また、上限値は特に制限されないが、アルカリ耐性に優れる点で、５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましい。
【0316】
また、（メタ）アクリル樹脂は、上述した（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有することがより好ましい。
（メタ）アクリル樹脂における（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％～９０質量％が好ましく、６０質量％～９０質量％がより好ましく、６５質量％～９０質量％が更に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂における（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％～９０質量％が好ましく、６０質量％～９０質量％がより好ましく、６５質量％～９０質量％が更に好ましい。
【0317】
（メタ）アクリル樹脂としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有する樹脂が好ましく、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位のみで構成されている樹脂がより好ましい。
また、（メタ）アクリル樹脂としては、メタクリル酸に由来する構成単位、メタクリル酸メチルに由来する構成単位、及び、アクリル酸エチルに由来する構成単位を有するアクリル樹脂も好ましい。
また、（メタ）アクリル樹脂としては、メタクリル酸に由来する構成単位、メタクリル酸メチルに由来する構成単位、及び、アクリル酸エチルに由来する構成単位を有するアクリル樹脂も好ましい。
【0318】
また、（メタ）アクリル樹脂は、解像性の観点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位よりなる群から選択される少なくとも１種を有することが好ましく、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有することが好ましい。
（メタ）アクリル樹脂におけるメタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、解像性の観点から、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、４０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されず、１００質量％以下であってもよく、８０質量％以下が好ましい。
（メタ）アクリル樹脂におけるメタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、解像性の観点から、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、４０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されず、１００質量％以下であってもよく、８０質量％以下が好ましい。
【0319】
また、（メタ）アクリル樹脂は、解像性の観点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位よりなる群から選択される少なくとも１種と、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位よりなる群から選択される少なくとも１種とを有することも好ましい。
解像性の観点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量に対して、質量比で６０／４０～８０／２０が好ましい。
解像性の観点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量に対して、質量比で６０／４０～８０／２０が好ましい。
【0320】
（メタ）アクリル樹脂は、転写後の感光性樹脂層の現像性に優れる点で、末端にエステル基を有することが好ましい。
なお、（メタ）アクリル樹脂の末端部は、合成に用いた重合開始剤に由来する部位により構成される。末端にエステル基を有する（メタ）アクリル樹脂は、エステル基を有するラジカルを発生する重合開始剤を用いることにより合成できる。
なお、（メタ）アクリル樹脂の末端部は、合成に用いた重合開始剤に由来する部位により構成される。末端にエステル基を有する（メタ）アクリル樹脂は、エステル基を有するラジカルを発生する重合開始剤を用いることにより合成できる。
【0321】
また、アルカリ可溶性樹脂は、例えば、現像性の点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂は、例えば、加熱により架橋成分と熱架橋し、強固な膜を形成しやすいという点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有樹脂）であることがより好ましく、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂）であることが更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂がカルボキシ基を有する樹脂であると、例えば、ブロックイソシアネート化合物等の熱架橋性化合物を添加して熱架橋することで、３次元架橋密度を高めることができる。また、カルボキシ基を有する樹脂のカルボキシ基が無水化され、疎水化すると、湿熱耐性が改善し得る。
また、アルカリ可溶性樹脂は、例えば、加熱により架橋成分と熱架橋し、強固な膜を形成しやすいという点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有樹脂）であることがより好ましく、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂）であることが更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂がカルボキシ基を有する樹脂であると、例えば、ブロックイソシアネート化合物等の熱架橋性化合物を添加して熱架橋することで、３次元架橋密度を高めることができる。また、カルボキシ基を有する樹脂のカルボキシ基が無水化され、疎水化すると、湿熱耐性が改善し得る。
【0322】
酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂としては、上記酸価の条件を満たす限りにおいて、特に制限はなく、公知の（メタ）アクリル樹脂から適宜選択できる。
例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落００２５に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落００３３～００５２に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂等を好ましく使用できる。
例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落００２５に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落００３３～００５２に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂等を好ましく使用できる。
【0323】
アルカリ可溶性樹脂の他の好適態様としては、スチレン－アクリル共重合体が挙げられる。なお、本明細書において、スチレン－アクリル共重合体とは、スチレン化合物に由来する構成単位と、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位とを有する樹脂を指し、上記スチレン化合物に由来する構成単位、及び、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の合計含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。
また、スチレン化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、５質量％～８０質量％が更に好ましい。
また、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、２０質量％～９５質量％が更に好ましい。
また、スチレン化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、５質量％～８０質量％が更に好ましい。
また、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、２０質量％～９５質量％が更に好ましい。
【0324】
アルカリ可溶性樹脂は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、芳香環構造を有することが好ましく、芳香環構造を有する構成単位を有することがより好ましい。
芳香環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、スチレン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、メチルスチレン、及び、α－メチルスチレン等のスチレン化合物、並びに、ベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
中でも、スチレン化合物が好ましく、スチレンがより好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、下記式（Ｓ）で表される構成単位（スチレンに由来する構成単位）を有することがより好ましい。
芳香環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、スチレン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、メチルスチレン、及び、α－メチルスチレン等のスチレン化合物、並びに、ベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
中でも、スチレン化合物が好ましく、スチレンがより好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、下記式（Ｓ）で表される構成単位（スチレンに由来する構成単位）を有することがより好ましい。
【0325】
【化4】
【0326】
アルカリ可溶性樹脂が芳香環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位の含有量は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～９０質量％が好ましく、１０質量％～７０質量％より好ましく、２０質量％～６０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における芳香環構造を有する構成単位の含有量は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～６０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｓ）で表される構成単位の含有量は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～６０モル％が更に好ましく、２０モル％～５０モル％が特に好ましい。
なお、本明細書において、「構成単位」の含有量をモル比で規定する場合、上記「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本明細書において、上記「モノマー単位」は、高分子反応等により重合後に修飾されていてもよい。以下においても同様である。
また、アルカリ可溶性樹脂における芳香環構造を有する構成単位の含有量は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～６０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｓ）で表される構成単位の含有量は、得られる硬化膜の透湿度及び強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～６０モル％が更に好ましく、２０モル％～５０モル％が特に好ましい。
なお、本明細書において、「構成単位」の含有量をモル比で規定する場合、上記「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本明細書において、上記「モノマー単位」は、高分子反応等により重合後に修飾されていてもよい。以下においても同様である。
【0327】
アルカリ可溶性樹脂は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、脂肪族炭化水素環構造を有することが好ましい。つまり、アルカリ可溶性樹脂は、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有することが好ましい。中でも、アルカリ可溶性樹脂は、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有することがより好ましい。
【0328】
脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位における脂肪族炭化水素環構造を構成する環としては、トリシクロデカン環、シクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボルナン環、及び、イソボロン環が挙げられる。
中でも、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環が好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環（トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン環）がより好ましい。
脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び、イソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。
また、アルカリ可溶性樹脂は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましく、上記式（Ｓ）で表される構成単位、及び、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましい。
中でも、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環が好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環（トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン環）がより好ましい。
脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び、イソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。
また、アルカリ可溶性樹脂は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましく、上記式（Ｓ）で表される構成単位、及び、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましい。
【0329】
【化5】
【0330】
式（Ｃｙ）中、ＲＭは水素原子又はメチル基を表し、ＲＣｙは脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基を表す。
【0331】
式（Ｃｙ）におけるＲＭは、メチル基であることが好ましい。
式（Ｃｙ）におけるＲＣｙは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、炭素数５～２０の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが好ましく、炭素数６～１６の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることがより好ましく、炭素数８～１４の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが更に好ましい。
式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、単環構造であっても、多環構造であってもよい。
また、式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、シクロペンタン環構造、シクロヘキサン環構造、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造、ノルボルナン環構造、又は、イソボロン環構造であることが好ましく、シクロヘキサン環構造、又は、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることがより好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることが更に好ましい。
更に、式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造であることが好ましく、２～４環の脂肪族炭化水素環が縮環した環であることがより好ましい。
更に、式（Ｃｙ）におけるＲＣｙは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、式（Ｃｙ）における－Ｃ（＝Ｏ）Ｏ－の酸素原子と脂肪族炭化水素環構造とが直接結合する基、すなわち、脂肪族炭化水素環基であることが好ましく、シクロヘキシル基、又は、ジシクロペンタニル基であることがより好ましく、ジシクロペンタニル基であることが更に好ましい。
式（Ｃｙ）におけるＲＣｙは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、炭素数５～２０の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが好ましく、炭素数６～１６の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることがより好ましく、炭素数８～１４の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが更に好ましい。
式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、単環構造であっても、多環構造であってもよい。
また、式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、シクロペンタン環構造、シクロヘキサン環構造、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造、ノルボルナン環構造、又は、イソボロン環構造であることが好ましく、シクロヘキサン環構造、又は、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることがより好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることが更に好ましい。
更に、式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造であることが好ましく、２～４環の脂肪族炭化水素環が縮環した環であることがより好ましい。
更に、式（Ｃｙ）におけるＲＣｙは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、式（Ｃｙ）における－Ｃ（＝Ｏ）Ｏ－の酸素原子と脂肪族炭化水素環構造とが直接結合する基、すなわち、脂肪族炭化水素環基であることが好ましく、シクロヘキシル基、又は、ジシクロペンタニル基であることがより好ましく、ジシクロペンタニル基であることが更に好ましい。
【0332】
アルカリ可溶性樹脂は、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
アルカリ可溶性樹脂が脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～９０質量％が好ましく、１０質量％～８０質量％がより好ましく、２０質量％～７０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～５０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～５０モル％が更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂が脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～９０質量％が好ましく、１０質量％～８０質量％がより好ましく、２０質量％～７０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～５０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～５０モル％が更に好ましい。
【0333】
アルカリ可溶性樹脂が芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、１０質量％～９０質量％が好ましく、２０質量％～８０質量％がより好ましく、４０質量％～７５質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、１０モル％～８０モル％が好ましく、２０モル％～７０モル％がより好ましく、４０モル％～６０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｓ）で表される構成単位及び上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の総含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、１０モル％～８０モル％が好ましく、２０モル％～７０モル％がより好ましく、４０モル％～６０モル％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｓ）で表される構成単位のモル量ｎＳと上記式（Ｃｙ）で表される構成単位のモル量ｎＣｙは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、下記式（ＳＣｙ）に示す関係を満たすことが好ましく、下記式（ＳＣｙ－１）を満たすことがより好ましく、下記式（ＳＣｙ－２）を満たすことが更に好ましい。
０．２≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．８：式（ＳＣｙ）
０．３０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７５：式（ＳＣｙ－１）
０．４０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７０：式（ＳＣｙ－２）
また、アルカリ可溶性樹脂における芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、１０モル％～８０モル％が好ましく、２０モル％～７０モル％がより好ましく、４０モル％～６０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｓ）で表される構成単位及び上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の総含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、１０モル％～８０モル％が好ましく、２０モル％～７０モル％がより好ましく、４０モル％～６０モル％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における上記式（Ｓ）で表される構成単位のモル量ｎＳと上記式（Ｃｙ）で表される構成単位のモル量ｎＣｙは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、下記式（ＳＣｙ）に示す関係を満たすことが好ましく、下記式（ＳＣｙ－１）を満たすことがより好ましく、下記式（ＳＣｙ－２）を満たすことが更に好ましい。
０．２≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．８：式（ＳＣｙ）
０．３０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７５：式（ＳＣｙ－１）
０．４０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７０：式（ＳＣｙ－２）
【0334】
アルカリ可溶性樹脂は、現像性、及び、基板との密着性の観点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。
上記酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、ホスホン酸基、及び、リン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
上記酸基を有する構成単位としては、下記に示す、（メタ）アクリル酸由来の構成単位が好ましく、メタクリル酸由来の構成単位がより好ましい。
上記酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、ホスホン酸基、及び、リン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
上記酸基を有する構成単位としては、下記に示す、（メタ）アクリル酸由来の構成単位が好ましく、メタクリル酸由来の構成単位がより好ましい。
【0335】
【化6】
【0336】
アルカリ可溶性樹脂は、酸基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
アルカリ可溶性樹脂が酸基を有する構成単位を有する場合、酸基を有する構成単位の含有量は、現像性、及び、基板との密着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～５０質量％が好ましく、５質量％～４０質量％がより好ましく、１０質量％～３０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における酸基を有する構成単位の含有量は、現像性、及び、基板との密着性の観点、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～５０モル％がより好ましく、２０モル％～４０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における（メタ）アクリル酸由来の構成単位の含有量は、現像性、及び、基板との密着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～５０モル％がより好ましく、２０モル％～４０モル％が更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂が酸基を有する構成単位を有する場合、酸基を有する構成単位の含有量は、現像性、及び、基板との密着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～５０質量％が好ましく、５質量％～４０質量％がより好ましく、１０質量％～３０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における酸基を有する構成単位の含有量は、現像性、及び、基板との密着性の観点、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～５０モル％がより好ましく、２０モル％～４０モル％が更に好ましい。
更に、アルカリ可溶性樹脂における（メタ）アクリル酸由来の構成単位の含有量は、現像性、及び、基板との密着性の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～５０モル％がより好ましく、２０モル％～４０モル％が更に好ましい。
【0337】
アルカリ可溶性樹脂は、硬化性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、反応性基を有することが好ましく、反応性基を有する構成単位を有することがより好ましい。
反応性基としては、ラジカル重合性基が好ましく、エチレン性不飽和基がより好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂がエチレン性不飽和基を有している場合、アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましい。
本明細書において、「主鎖」とは、樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは、主鎖から枝分かれしている原子団を表す。
エチレン性不飽和基としては、アリル基又は（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。
反応性基を有する構成単位の一例としては、下記に示すものが挙げられるが、これらに限定されない。
反応性基としては、ラジカル重合性基が好ましく、エチレン性不飽和基がより好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂がエチレン性不飽和基を有している場合、アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましい。
本明細書において、「主鎖」とは、樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは、主鎖から枝分かれしている原子団を表す。
エチレン性不飽和基としては、アリル基又は（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。
反応性基を有する構成単位の一例としては、下記に示すものが挙げられるが、これらに限定されない。
【0338】
【化7】
【0339】
アルカリ可溶性樹脂は、反応性基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
アルカリ可溶性樹脂が反応性基を有する構成単位を有する場合、反応性基を有する構成単位の含有量は、硬化性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～７０質量％が好ましく、１０質量％～５０質量％がより好ましく、２０質量％～４０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における反応性基を有する構成単位の含有量は、硬化性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～５０モル％が更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂が反応性基を有する構成単位を有する場合、反応性基を有する構成単位の含有量は、硬化性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５質量％～７０質量％が好ましく、１０質量％～５０質量％がより好ましく、２０質量％～４０質量％が更に好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂における反応性基を有する構成単位の含有量は、硬化性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、アルカリ可溶性樹脂の全構成単位に対して、５モル％～７０モル％が好ましく、１０モル％～６０モル％がより好ましく、２０モル％～５０モル％が更に好ましい。
【0340】
反応性基をアルカリ可溶性樹脂に導入する手段としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、第一級アミノ基、第二級アミノ基、アセトアセチル基、及び、スルホ基等の官能基に、エポキシ化合物、ブロックイソシアネート化合物、イソシアネート化合物、ビニルスルホン化合物、アルデヒド化合物、メチロール化合物、及び、カルボン酸無水物等の化合物を反応させる方法が挙げられる。
反応性基をアルカリ可溶性樹脂に導入する手段の好ましい例としては、カルボキシ基を有するポリマーを重合反応により合成した後、高分子反応により、得られた樹脂のカルボキシ基の一部にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させて、（メタ）アクリロキシ基をポリマーに導入する手段が挙げられる。この手段により、側鎖に（メタ）アクリロキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂を得ることができる。
上記重合反応は、７０℃～１００℃の温度条件で行うことが好ましく、８０℃～９０℃の温度条件で行うことがより好ましい。上記重合反応に用いる重合開始剤としては、アゾ系開始剤が好ましく、例えば、富士フイルム和光純薬株式会社製のＶ－６０１（商品名）又はＶ－６５（商品名）がより好ましい。上記高分子反応は、８０℃～１１０℃の温度条件で行うことが好ましい。上記高分子反応においては、アンモニウム塩等の触媒を用いることが好ましい。
反応性基をアルカリ可溶性樹脂に導入する手段の好ましい例としては、カルボキシ基を有するポリマーを重合反応により合成した後、高分子反応により、得られた樹脂のカルボキシ基の一部にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させて、（メタ）アクリロキシ基をポリマーに導入する手段が挙げられる。この手段により、側鎖に（メタ）アクリロキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂を得ることができる。
上記重合反応は、７０℃～１００℃の温度条件で行うことが好ましく、８０℃～９０℃の温度条件で行うことがより好ましい。上記重合反応に用いる重合開始剤としては、アゾ系開始剤が好ましく、例えば、富士フイルム和光純薬株式会社製のＶ－６０１（商品名）又はＶ－６５（商品名）がより好ましい。上記高分子反応は、８０℃～１１０℃の温度条件で行うことが好ましい。上記高分子反応においては、アンモニウム塩等の触媒を用いることが好ましい。
【0341】
アルカリ可溶性樹脂としては、本開示における効果がより優れる点から、以下に示す樹脂が好ましい。なお、以下に示す各構成単位の含有比率（ａ～ｄ）及び重量平均分子量Ｍｗ等は目的に応じて適宜変更できる。
【0342】
【化8】
【0343】
上記樹脂において、ａは２０質量％～６０質量％、ｂは１０質量％～５０質量％、ｃは５．０質量％～２５質量％、ｄは１０質量％～５０質量％であることが好ましい。
【0344】
【化9】
【0345】
上記樹脂において、ａは２０質量％～６０質量％、ｂは１０質量％～５０質量％、ｃは５．０質量％～２５質量％、ｄは１０質量％～５０質量％であることが好ましい。
【0346】
【化10】
【0347】
上記樹脂において、ａは３０質量％～６５質量％、ｂは１．０質量％～２０質量％、ｃは５．０質量％～２５質量％、ｄは１０質量％～５０質量％であることが好ましい。
【0348】
【化11】
【0349】
上記樹脂において、ａは１．０質量％～２０質量％、ｂは２０質量％～６０質量％、ｃは５．０質量％～２５質量％、ｄは１０質量％～５０質量％であることが好ましい。
【0350】
また、アルカリ可溶性樹脂は、カルボン酸無水物構造を有する構成単位を有する重合体（以下、「重合体Ｘ」ともいう。）を含んでいてもよい。
カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造、及び、環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造であることが好ましい。
環状カルボン酸無水物構造の環としては、５員環～７員環が好ましく、５員環又は６員環がより好ましく、５員環が更に好ましい。
カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造、及び、環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造であることが好ましい。
環状カルボン酸無水物構造の環としては、５員環～７員環が好ましく、５員環又は６員環がより好ましく、５員環が更に好ましい。
【0351】
カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を２つ除いた２価の基を主鎖中に含む構成単位、又は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を１つ除いた１価の基が主鎖に対して直接又は２価の連結基を介して結合している構成単位であることが好ましい。
【0352】
【化12】
【0353】
式Ｐ－１中、ＲＡ１ａは、置換基を表し、ｎ１ａ個のＲＡ１ａは、同一でも異なっていてもよく、Ｚ１ａは、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－を含む環を形成する２価の基を表し、ｎ１ａは、０以上の整数を表す。
【0354】
ＲＡ１ａで表される置換基としては、例えば、アルキル基が挙げられる。
Ｚ１ａとしては、炭素数２～４のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましく、炭素数２のアルキレン基が更に好ましい。
ｎ１ａは、０以上の整数を表す。Ｚ１ａが炭素数２～４のアルキレン基を表す場合、ｎ１ａは、０～４の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましく、０であることが更に好ましい。
ｎ１ａが２以上の整数を表す場合、複数存在するＲＡ１ａは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するＲＡ１ａは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。
Ｚ１ａとしては、炭素数２～４のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましく、炭素数２のアルキレン基が更に好ましい。
ｎ１ａは、０以上の整数を表す。Ｚ１ａが炭素数２～４のアルキレン基を表す場合、ｎ１ａは、０～４の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましく、０であることが更に好ましい。
ｎ１ａが２以上の整数を表す場合、複数存在するＲＡ１ａは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するＲＡ１ａは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。
【0355】
カルボン酸無水物構造を有する構成単位としては、不飽和カルボン酸無水物に由来する構成単位が好ましく、不飽和環式カルボン酸無水物に由来する構成単位がより好ましく、不飽和脂肪族環式カルボン酸無水物に由来する構成単位が更に好ましく、無水マレイン酸又は無水イタコン酸に由来する構成単位が特に好ましく、無水マレイン酸に由来する構成単位が最も好ましい。
【0356】
以下、カルボン酸無水物構造を有する構成単位の具体例を挙げるが、カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、これらの具体例に限定されるものではない。下記の構成単位中、Ｒｘは、水素原子、メチル基、ＣＨ２ＯＨ基、又は、ＣＦ３基を表し、Ｍｅは、メチル基を表す。
【0357】
【化13】
【0358】
【化14】
【0359】
重合体Ｘにおけるカルボン酸無水物構造を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。
【0360】
カルボン酸無水物構造を有する構成単位の総含有量は、重合体Ｘの全構成単位に対して、０モル％～６０モル％が好ましく、５モル％～４０モル％がより好ましく、１０モル％～３５モル％が更に好ましい。
【0361】
感光性樹脂層は、重合体Ｘを１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
感光性樹脂層が重合体Ｘを含む場合、解像性及び現像性の観点から、重合体Ｘの含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％～３０質量％が好ましく、０．２質量％～２０質量％がより好ましく、０．５質量％～２０質量％が更に好ましく、１質量％～２０質量％が更に好ましい。
感光性樹脂層が重合体Ｘを含む場合、解像性及び現像性の観点から、重合体Ｘの含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％～３０質量％が好ましく、０．２質量％～２０質量％がより好ましく、０．５質量％～２０質量％が更に好ましく、１質量％～２０質量％が更に好ましい。
【0362】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、解像性及び現像性を向上させる観点から５，０００以上が好ましく、１０，０００以上がより好ましく、１０，０００～５０，０００が更に好ましく、２０，０００～３０，０００が特に好ましい。
【0363】
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ～２００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ～１１０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。
なお、アルカリ可溶性樹脂の酸価は、ＪＩＳ Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って、測定される値である。
アルカリ可溶性樹脂の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は、現像性の観点から、１．０～６．０が好ましく、１．０～５．０がより好ましく、１．０～４．０が更に好ましく、１．０～３．０が特に好ましい。
なお、アルカリ可溶性樹脂の酸価は、ＪＩＳ Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って、測定される値である。
アルカリ可溶性樹脂の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は、現像性の観点から、１．０～６．０が好ましく、１．０～５．０がより好ましく、１．０～４．０が更に好ましく、１．０～３．０が特に好ましい。
【0364】
感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
アルカリ可溶性樹脂の含有量は、感光性、解像性及び現像性の観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～９０質量％が好ましく、２０質量％～８０質量％がより好ましく、３０質量％～７０質量％が更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の含有量は、感光性、解像性及び現像性の観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％～９０質量％が好ましく、２０質量％～８０質量％がより好ましく、３０質量％～７０質量％が更に好ましい。
【0365】
（重合性化合物）
感光性樹脂層は、重合性化合物を含んでいてもよい。
重合性化合物は、重合性基を有する化合物である。重合性基としては、例えば、ラジカル重合性基、及び、カチオン重合性基が挙げられ、ラジカル重合性基が好ましい。
感光性樹脂層は、重合性化合物を含んでいてもよい。
重合性化合物は、重合性基を有する化合物である。重合性基としては、例えば、ラジカル重合性基、及び、カチオン重合性基が挙げられ、ラジカル重合性基が好ましい。
【0366】
重合性化合物は、エチレン性不飽和基を有する重合性化合物（以下、単に「エチレン性不飽和化合物」ともいう。）を含むことが好ましい。
エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロキシ基が好ましい。
なお、本明細書におけるエチレン性不飽和化合物は、上記バインダーポリマー以外の化合物であり、分子量５，０００未満であることが好ましい。
エチレン性不飽和化合物の好ましい態様は、上記「感光性樹脂層」の項において説明したエチレン性不飽和化合物の好ましい態様と同じである。
エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロキシ基が好ましい。
なお、本明細書におけるエチレン性不飽和化合物は、上記バインダーポリマー以外の化合物であり、分子量５，０００未満であることが好ましい。
エチレン性不飽和化合物の好ましい態様は、上記「感光性樹脂層」の項において説明したエチレン性不飽和化合物の好ましい態様と同じである。
【0367】
エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとして、下記式（Ｍ）で表される化合物（単に、「化合物Ｍ」ともいう。）が挙げられる。
Ｑ２－Ｒ１－Ｑ１：式（Ｍ）
式（Ｍ）中、Ｑ１及びＱ２はそれぞれ独立に、（メタ）アクリロイルオキシ基を表し、Ｒ１は鎖状構造を有する二価の連結基を表す。
Ｑ２－Ｒ１－Ｑ１：式（Ｍ）
式（Ｍ）中、Ｑ１及びＱ２はそれぞれ独立に、（メタ）アクリロイルオキシ基を表し、Ｒ１は鎖状構造を有する二価の連結基を表す。
【0368】
式（Ｍ）におけるＱ１及びＱ２は、合成容易性の点から、Ｑ１及びＱ２は同じ基であることが好ましい。
また、式（Ｍ）におけるＱ１及びＱ２は、反応性の点から、アクリロイルオキシ基であることが好ましい。
式（Ｍ）におけるＲ１としては、現像残渣抑制性、防錆性、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、アルキレン基、アルキレンオキシアルキレン基（－Ｌ１－Ｏ－Ｌ１－）、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基（－（Ｌ１－Ｏ）ｐ－Ｌ１－）が好ましく、炭素数２～２０の炭化水素基、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基がより好ましく、炭素数４～２０のアルキレン基が更に好ましく、炭素数６～１８の直鎖アルキレン基が特に好ましい。
上記炭化水素基は、少なくとも一部に鎖状構造を有していればよく、上記鎖状構造以外の部分としては、特に制限はなく、例えば、分岐鎖状、環状、又は、炭素数１～５の直鎖状アルキレン基、アリーレン基、エーテル結合、及び、それらの組み合わせのいずれであってもよく、アルキレン基、又は、２以上のアルキレン基と１以上のアリーレン基とを組み合わせた基が好ましく、アルキレン基がより好ましく、直鎖アルキレン基が更に好ましい。
なお、上記Ｌ１はそれぞれ独立に、アルキレン基を表し、エチレン基、プロピレン基、又は、ブチレン基が好ましく、エチレン基又は１，２－プロピレン基がより好ましい。
ｐは２以上の整数を表し、２～１０の整数であることが好ましい。
また、式（Ｍ）におけるＱ１及びＱ２は、反応性の点から、アクリロイルオキシ基であることが好ましい。
式（Ｍ）におけるＲ１としては、現像残渣抑制性、防錆性、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、アルキレン基、アルキレンオキシアルキレン基（－Ｌ１－Ｏ－Ｌ１－）、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基（－（Ｌ１－Ｏ）ｐ－Ｌ１－）が好ましく、炭素数２～２０の炭化水素基、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基がより好ましく、炭素数４～２０のアルキレン基が更に好ましく、炭素数６～１８の直鎖アルキレン基が特に好ましい。
上記炭化水素基は、少なくとも一部に鎖状構造を有していればよく、上記鎖状構造以外の部分としては、特に制限はなく、例えば、分岐鎖状、環状、又は、炭素数１～５の直鎖状アルキレン基、アリーレン基、エーテル結合、及び、それらの組み合わせのいずれであってもよく、アルキレン基、又は、２以上のアルキレン基と１以上のアリーレン基とを組み合わせた基が好ましく、アルキレン基がより好ましく、直鎖アルキレン基が更に好ましい。
なお、上記Ｌ１はそれぞれ独立に、アルキレン基を表し、エチレン基、プロピレン基、又は、ブチレン基が好ましく、エチレン基又は１，２－プロピレン基がより好ましい。
ｐは２以上の整数を表し、２～１０の整数であることが好ましい。
【0369】
また、化合物ＭにおけるＱ１とＱ２との間を連結する最短の連結鎖の原子数は、現像残渣抑制性、防錆性、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、３個～５０個が好ましく、４個～４０個がより好ましく、６個～２０個が更に好ましく、８個～１２個が特に好ましい。
本明細書において、「Ｑ１とＱ２の間を連結する最短の連結鎖の原子数」とは、Ｑ１に連結するＲ１における原子からＱ２に連結するＲ１における原子までを連結する最短の原子数である。
本明細書において、「Ｑ１とＱ２の間を連結する最短の連結鎖の原子数」とは、Ｑ１に連結するＲ１における原子からＱ２に連結するＲ１における原子までを連結する最短の原子数である。
【0370】
化合物Ｍの具体例としては、１，３－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，７－ヘプタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，８－オクタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＡのジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦのジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール／プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、及び、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。上記エステルモノマーは混合物としても使用できる。
上記化合物の中でも、現像残渣抑制性、防錆性、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートよりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが好ましく、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートよりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることがより好ましく、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートよりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが更に好ましい。
上記化合物の中でも、現像残渣抑制性、防錆性、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートよりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが好ましく、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートよりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることがより好ましく、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートよりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが更に好ましい。
【0371】
また、エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとして、２官能以上のエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
本明細書において、「２官能以上のエチレン性不飽和化合物」とは、一分子中にエチレン性不飽和基を２つ以上有する化合物を意味する。
エチレン性不飽和化合物におけるエチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物が好ましい。
本明細書において、「２官能以上のエチレン性不飽和化合物」とは、一分子中にエチレン性不飽和基を２つ以上有する化合物を意味する。
エチレン性不飽和化合物におけるエチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物が好ましい。
【0372】
２官能のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知の化合物の中から適宜選択できる。
上記化合物Ｍ以外の２官能のエチレン性不飽和化合物としては、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、及び、１，４－シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
上記化合物Ｍ以外の２官能のエチレン性不飽和化合物としては、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、及び、１，４－シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0373】
２官能のエチレン性不飽和化合物の市販品としては、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業株式会社製）、トリシクロデカンジメナノールジメタクリレート（商品名：ＮＫエステル ＤＣＰ、新中村化学工業株式会社製）、１，９－ノナンジオールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社製）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル Ａ－ＨＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社製）が挙げられる。
【0374】
３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知の化合物の中から適宜選択できる。
３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸（メタ）アクリレート、及び、グリセリントリ（メタ）アクリレート骨格の（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸（メタ）アクリレート、及び、グリセリントリ（メタ）アクリレート骨格の（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
【0375】
エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物のカプロラクトン変性化合物（日本化薬株式会社製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標） ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業株式会社製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、（メタ）アクリレート化合物のアルキレンオキサイド変性化合物（日本化薬株式会社製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標） ＲＰ－１０４０、新中村化学工業株式会社製ＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社のＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標） １３５等）、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業株式会社製ＮＫエステル Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）も挙げられる。
【0376】
エチレン性不飽和化合物としては、ウレタン（メタ）アクリレート化合物も挙げられる。
ウレタン（メタ）アクリレートとしては、ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられ、例えば、プロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、並びに、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
また、ウレタン（メタ）アクリレートとしては、３官能以上のウレタン（メタ）アクリレートも挙げられる。官能基数の下限としては、６官能以上がより好ましく、８官能以上が更に好ましい。なお、官能基数の上限としては、２０官能以下が好ましい。３官能以上のウレタン（メタ）アクリレートとしては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル株式会社製）、ＵＡ－３２Ｐ（新中村化学工業株式会社製）、Ｕ－１５ＨＡ（新中村化学工業株式会社製）、ＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業株式会社製）、共栄社化学株式会社製のＡＨ－６００（商品名）、並びに、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＵＡ－５１０Ｈ、及びＵＸ－５０００（いずれも日本化薬株式会社製）等が挙げられる。
ウレタン（メタ）アクリレートとしては、ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられ、例えば、プロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、並びに、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
また、ウレタン（メタ）アクリレートとしては、３官能以上のウレタン（メタ）アクリレートも挙げられる。官能基数の下限としては、６官能以上がより好ましく、８官能以上が更に好ましい。なお、官能基数の上限としては、２０官能以下が好ましい。３官能以上のウレタン（メタ）アクリレートとしては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル株式会社製）、ＵＡ－３２Ｐ（新中村化学工業株式会社製）、Ｕ－１５ＨＡ（新中村化学工業株式会社製）、ＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業株式会社製）、共栄社化学株式会社製のＡＨ－６００（商品名）、並びに、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＵＡ－５１０Ｈ、及びＵＸ－５０００（いずれも日本化薬株式会社製）等が挙げられる。
【0377】
エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとして、酸基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
酸基としては、リン酸基、スルホ基、及び、カルボキシ基が挙げられる。
これらの中でも、酸基としては、カルボキシ基が好ましい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、酸基を有する３官能～４官能のエチレン性不飽和化合物〔ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート（ＰＥＴＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの（酸価：８０ｍｇＫＯＨ／ｇ～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕、酸基を有する５官能～６官能のエチレン性不飽和化合物（ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの〔酸価：２５ｍｇＫＯＨ／ｇ～７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕等が挙げられる。
これら酸基を有する３官能以上のエチレン性不飽和化合物は、必要に応じ、酸基を有する２官能のエチレン性不飽和化合物と併用してもよい。
酸基としては、リン酸基、スルホ基、及び、カルボキシ基が挙げられる。
これらの中でも、酸基としては、カルボキシ基が好ましい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、酸基を有する３官能～４官能のエチレン性不飽和化合物〔ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート（ＰＥＴＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの（酸価：８０ｍｇＫＯＨ／ｇ～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕、酸基を有する５官能～６官能のエチレン性不飽和化合物（ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの〔酸価：２５ｍｇＫＯＨ／ｇ～７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕等が挙げられる。
これら酸基を有する３官能以上のエチレン性不飽和化合物は、必要に応じ、酸基を有する２官能のエチレン性不飽和化合物と併用してもよい。
【0378】
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物が、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種であると、現像性及び膜強度がより高まる。
カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物は、特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。
カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、アロニックス（登録商標）ＴＯ－２３４９（東亞合成株式会社製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５２０（東亞合成株式会社製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５１０（東亞合成株式会社製）が挙げられる。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物が、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種であると、現像性及び膜強度がより高まる。
カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物は、特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。
カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、アロニックス（登録商標）ＴＯ－２３４９（東亞合成株式会社製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５２０（東亞合成株式会社製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５１０（東亞合成株式会社製）が挙げられる。
【0379】
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、特開２００４－２３９９４２号公報の段落００２５～００３０に記載の酸基を有する重合性化合物が好ましく、この公報に記載の内容は、本明細書に組み込まれる。
【0380】
エチレン性不飽和化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ－クロロ－β－ヒドロキシプロピル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート、β－ヒドロキシエチル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート、及び、β－ヒドロキシプロピル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート等のフタル酸系化合物、並びに、（メタ）アクリル酸アルキルエステルも挙げられる。
これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【0381】
多価アルコールにα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、及び、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、エチレンオキサイド基の数が２～１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド基の数が２～１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド基の数が２～１４であり、かつ、プロピレンオキサイド基の数が２～１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、並びに、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが挙げられる。
中でも、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
中でも、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
【0382】
エチレン性不飽和化合物としては、エチレン性不飽和化合物のカプロラクトン変性化合物（例えば、日本化薬株式会社製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業株式会社製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、エチレン性不飽和化合物のアルキレンオキサイド変性化合物（例えば、日本化薬株式会社製ＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ－１０４０、新中村化学工業株式会社製ＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社製ＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標）１３５等）、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業株式会社製Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）等も挙げられる。
【0383】
エチレン性不飽和化合物としては、現像性に優れる観点から、エステル結合を含むものも好ましい。
エステル結合を含むエチレン性不飽和化合物としては、分子内にエステル結合を含むものであれば特に制限されないが、硬化性及び現像性に優れる観点から、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
信頼性付与の点からは、エチレン性不飽和化合物としては、炭素数６～２０の脂肪族基を有するエチレン性不飽和化合物と、上記のテトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物と、を含むことが好ましい。
炭素数６以上の脂肪族構造を有するエチレン性不飽和化合物としては、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
エステル結合を含むエチレン性不飽和化合物としては、分子内にエステル結合を含むものであれば特に制限されないが、硬化性及び現像性に優れる観点から、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
信頼性付与の点からは、エチレン性不飽和化合物としては、炭素数６～２０の脂肪族基を有するエチレン性不飽和化合物と、上記のテトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物と、を含むことが好ましい。
炭素数６以上の脂肪族構造を有するエチレン性不飽和化合物としては、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0384】
エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとしては、脂肪族炭化水素環構造を有するエチレン性不飽和化合物（好ましくは、２官能エチレン性不飽和化合物）が挙げられる。
上記エチレン性不飽和化合物としては、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造（好ましくは、トリシクロデカン構造及びトリシクロデセン構造よりなる群から選択される構造）を有するエチレン性不飽和化合物が好ましく、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物がより好ましく、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが更に好ましい。
上記脂肪族炭化水素環構造としては、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性、並びに、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、シクロペンタン構造、シクロヘキサン構造、トリシクロデカン構造、トリシクロデセン構造、ノルボルナン構造、又は、イソボロン構造が好ましい。
上記エチレン性不飽和化合物としては、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造（好ましくは、トリシクロデカン構造及びトリシクロデセン構造よりなる群から選択される構造）を有するエチレン性不飽和化合物が好ましく、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物がより好ましく、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが更に好ましい。
上記脂肪族炭化水素環構造としては、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性、並びに、得られる未硬化膜の粘着性の観点から、シクロペンタン構造、シクロヘキサン構造、トリシクロデカン構造、トリシクロデセン構造、ノルボルナン構造、又は、イソボロン構造が好ましい。
【0385】
エチレン性不飽和化合物の分子量は、２００～３，０００が好ましく、２５０～２，６００がより好ましく、２８０～２，２００が更に好ましく、３００～２，２００が特に好ましい。
感光性樹脂層に含まれるエチレン性不飽和化合物のうち、分子量３００以下のエチレン性不飽和化合物の含有量の割合は、感光性樹脂層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の含有量に対して、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。
感光性樹脂層に含まれるエチレン性不飽和化合物のうち、分子量３００以下のエチレン性不飽和化合物の含有量の割合は、感光性樹脂層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の含有量に対して、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。
【0386】
感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、３官能又は４官能のエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましい。
【0387】
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物と、脂肪族炭化水素環を有する構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂とを含むことが好ましい。
【0388】
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物とを含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレートと、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートと、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物とを含むことがより好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレートと、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートと、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのコハク酸変性体とを含むことが更に好ましい。
【0389】
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物と、後述する熱架橋性化合物とを含むことが好ましく、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物と、後述するブロックイソシアネート化合物とを含むことがより好ましい。
【0390】
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、２官能のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、２官能の（メタ）アクリレート化合物）と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物）と、を含むことが好ましい。
２官能のエチレン性不飽和化合物と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量の質量比は１０：９０～９０：１０が好ましく、３０：７０～７０：３０がより好ましい。
全てのエチレン性不飽和化合物の合計量に対する、２官能のエチレン性不飽和化合物の含有量は、２０質量％～８０質量％が好ましく、３０質量％～７０質量％がより好ましい。
感光性樹脂層における２官能のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対し、１０質量％～６０質量％が好ましく、１５質量％～４０質量％がより好ましい。
２官能のエチレン性不飽和化合物と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量の質量比は１０：９０～９０：１０が好ましく、３０：７０～７０：３０がより好ましい。
全てのエチレン性不飽和化合物の合計量に対する、２官能のエチレン性不飽和化合物の含有量は、２０質量％～８０質量％が好ましく、３０質量％～７０質量％がより好ましい。
感光性樹脂層における２官能のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対し、１０質量％～６０質量％が好ましく、１５質量％～４０質量％がより好ましい。
【0391】
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、基板密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタン（メタ）アクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、基板密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、１，９－ノナンジオールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、及び、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタンアクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、基板密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタン（メタ）アクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
また、感光性樹脂層の好適態様の一つとして、感光性樹脂層は、基板密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、１，９－ノナンジオールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、及び、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタンアクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
【0392】
感光性樹脂層は、エチレン性不飽和化合物として、単官能エチレン性不飽和化合物を含んでいてもよい。
上記エチレン性不飽和化合物における２官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の総含有量に対し、６０質量％～１００質量％が好ましく、８０質量％～１００質量％がより好ましく、９０質量％～１００質量％が更に好ましい。
上記エチレン性不飽和化合物における２官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の総含有量に対し、６０質量％～１００質量％が好ましく、８０質量％～１００質量％がより好ましく、９０質量％～１００質量％が更に好ましい。
【0393】
エチレン性不飽和化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％～７０質量％が好ましく、５質量％～７０質量％がより好ましく、５質量％～６０質量％が更に好ましく、５質量％～５０質量％が特に好ましい。
感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％～７０質量％が好ましく、５質量％～７０質量％がより好ましく、５質量％～６０質量％が更に好ましく、５質量％～５０質量％が特に好ましい。
【0394】
（重合開始剤）
感光性樹脂層は、重合開始剤を含んでいてもよい。
重合開始剤としては、光重合開始剤が好ましい。
光重合開始剤の好ましい態様は、上記「感光性樹脂層」の項において説明した光重合開始剤の好ましい態様と同じである。
重合開始剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
重合開始剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％以上であることが好ましく、０．５質量％以上であることがより好ましく、１．０質量％以上であることが更に好ましい。また、その上限値としては、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であることより好ましい。
感光性樹脂層は、重合開始剤を含んでいてもよい。
重合開始剤としては、光重合開始剤が好ましい。
光重合開始剤の好ましい態様は、上記「感光性樹脂層」の項において説明した光重合開始剤の好ましい態様と同じである。
重合開始剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
重合開始剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．１質量％以上であることが好ましく、０．５質量％以上であることがより好ましく、１．０質量％以上であることが更に好ましい。また、その上限値としては、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であることより好ましい。
【0395】
（複素環化合物）
感光性樹脂層は、複素環化合物を含んでいてもよい。
複素環化合物が有する複素環は、単環及び多環のいずれの複素環でもよい。
複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子及び硫黄原子が挙げられる。複素環化合物は、窒素原子、酸素原子及び硫黄原子よりなる群から選ばれる少なくとも１種の原子を有することが好ましく、窒素原子を有することがより好ましい。
感光性樹脂層は、複素環化合物を含んでいてもよい。
複素環化合物が有する複素環は、単環及び多環のいずれの複素環でもよい。
複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子及び硫黄原子が挙げられる。複素環化合物は、窒素原子、酸素原子及び硫黄原子よりなる群から選ばれる少なくとも１種の原子を有することが好ましく、窒素原子を有することがより好ましい。
【0396】
複素環化合物としては、例えば、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、及び、ピリミジン化合物が挙げられる。
上記の中でも、複素環化合物としては、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物がより好ましい。
上記の中でも、複素環化合物としては、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物がより好ましい。
【0397】
複素環化合物の好ましい具体例を以下に示す。トリアゾール化合物及びベンゾトリアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0398】
【化15】
【0399】
【化16】
【0400】
テトラゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0401】
【化17】
【0402】
【化18】
【0403】
チアジアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0404】
【化19】
【0405】
トリアジン化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0406】
【化20】
【0407】
ローダニン化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0408】
【化21】
【0409】
チアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0410】
【化22】
【0411】
ベンゾチアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0412】
【化23】
【0413】
ベンゾイミダゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0414】
【化24】
【0415】
【化25】
【0416】
ベンゾオキサゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
【0417】
【化26】
【0418】
複素環化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～２０．０質量％が好ましく、０．１０質量％～１０．０質量％がより好ましく、０．３０質量％～８．０質量％が更に好ましく、０．５０質量％～５．０質量％が特に好ましい。
感光性樹脂層が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～２０．０質量％が好ましく、０．１０質量％～１０．０質量％がより好ましく、０．３０質量％～８．０質量％が更に好ましく、０．５０質量％～５．０質量％が特に好ましい。
【0419】
（脂肪族チオール化合物）
感光性樹脂層は、脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
感光性樹脂層が脂肪族チオール化合物を含むことで、脂肪族チオール化合物がエチレン性不飽和化合物との間でエン－チオール反応することで、形成される膜の硬化収縮が抑えられ、応力が緩和される。
感光性樹脂層は、脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
感光性樹脂層が脂肪族チオール化合物を含むことで、脂肪族チオール化合物がエチレン性不飽和化合物との間でエン－チオール反応することで、形成される膜の硬化収縮が抑えられ、応力が緩和される。
【0420】
脂肪族チオール化合物としては、単官能の脂肪族チオール化合物、又は、多官能の脂肪族チオール化合物（すなわち、２官能以上の脂肪族チオール化合物）が好ましい。
上記の中でも、脂肪族チオール化合物としては、形成されるパターンの密着性（特に、露光後における密着性）の点から、多官能の脂肪族チオール化合物がより好ましい。
本明細書において、「多官能の脂肪族チオール化合物」とは、チオール基（「メルカプト基」ともいう。）を分子内に２個以上有する脂肪族化合物を意味する。
上記の中でも、脂肪族チオール化合物としては、形成されるパターンの密着性（特に、露光後における密着性）の点から、多官能の脂肪族チオール化合物がより好ましい。
本明細書において、「多官能の脂肪族チオール化合物」とは、チオール基（「メルカプト基」ともいう。）を分子内に２個以上有する脂肪族化合物を意味する。
【0421】
多官能の脂肪族チオール化合物としては、分子量が１００以上の低分子化合物が好ましい。具体的には、多官能の脂肪族チオール化合物の分子量は、１００～１，５００がより好ましく、１５０～１，０００が更に好ましい。
【0422】
多官能の脂肪族チオール化合物の官能基数としては、例えば、形成されるパターンの密着性の点から、２官能～１０官能が好ましく、２官能～８官能がより好ましく、２官能～６官能が更に好ましい。
【0423】
多官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、トリス［（３－メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、エチレングリコールビスチオプロピオネート、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、１，２－エタンジチオール、１，３－プロパンジチオール、１，６－ヘキサメチレンジチオール、２，２’－（エチレンジチオ）ジエタンチオール、ｍｅｓｏ－２，３－ジメルカプトコハク酸、及び、ジ（メルカプトエチル）エーテルが挙げられる。
【0424】
上記の中でも、多官能の脂肪族チオール化合物としては、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、及び、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオンよりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。
【0425】
単官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、１－オクタンチオール、１－ドデカンチオール、β－メルカプトプロピオン酸、メチル－３－メルカプトプロピオネート、２－エチルヘキシル－３－メルカプトプロピオネート、ｎ－オクチル－３－メルカプトプロピオネート、メトキシブチル－３－メルカプトプロピオネート、及び、ステアリル－３－メルカプトプロピオネートが挙げられる。
【0426】
感光性樹脂層は、１種単独の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよく、２種以上の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
感光性樹脂層が脂肪族チオール化合物を含む場合、脂肪族チオール化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、５質量％以上が好ましく、５質量％～５０質量％がより好ましく、５質量％～３０質量％が更に好ましく、８質量％～２０質量％が特に好ましい。
感光性樹脂層が脂肪族チオール化合物を含む場合、脂肪族チオール化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、５質量％以上が好ましく、５質量％～５０質量％がより好ましく、５質量％～３０質量％が更に好ましく、８質量％～２０質量％が特に好ましい。
【0427】
（熱架橋性化合物）
感光性樹脂層は、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の点から、熱架橋性化合物を含むことが好ましい。
熱架橋性化合物としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した熱架橋性化合物が挙げられる。
熱架橋性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層が熱架橋性化合物を含む場合、熱架橋性化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％～５０質量％が好ましく、５質量％～３０質量％がより好ましい。
感光性樹脂層は、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の点から、熱架橋性化合物を含むことが好ましい。
熱架橋性化合物としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した熱架橋性化合物が挙げられる。
熱架橋性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層が熱架橋性化合物を含む場合、熱架橋性化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％～５０質量％が好ましく、５質量％～３０質量％がより好ましい。
【0428】
（界面活性剤）
感光性樹脂層は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した界面活性剤が挙げられる。
界面活性剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～３．０質量％が好ましく、０．０１質量％～１．０質量％がより好ましく、０．０５質量％～０．８０質量％が更に好ましい。
感光性樹脂層は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した界面活性剤が挙げられる。
界面活性剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～３．０質量％が好ましく、０．０１質量％～１．０質量％がより好ましく、０．０５質量％～０．８０質量％が更に好ましい。
【0429】
（ラジカル重合禁止剤）
感光性樹脂層は、ラジカル重合禁止剤を含んでいてもよい。
ラジカル重合禁止剤としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明したラジカル重合禁止剤が挙げられる。
ラジカル重合禁止剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層がラジカル重合禁止剤を含む場合、ラジカル重合禁止剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～３質量％が好ましく、０．０５質量％～１質量％がより好ましい。含有量が０．０１質量％以上の場合、感光性樹脂層の保存安定性がより優れる。一方、含有量が３質量％以下である場合、感度の維持及び染料の脱色を抑制がより優れる。
感光性樹脂層は、ラジカル重合禁止剤を含んでいてもよい。
ラジカル重合禁止剤としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明したラジカル重合禁止剤が挙げられる。
ラジカル重合禁止剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層がラジカル重合禁止剤を含む場合、ラジカル重合禁止剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～３質量％が好ましく、０．０５質量％～１質量％がより好ましい。含有量が０．０１質量％以上の場合、感光性樹脂層の保存安定性がより優れる。一方、含有量が３質量％以下である場合、感度の維持及び染料の脱色を抑制がより優れる。
【0430】
（水素供与性化合物）
感光性樹脂層は、水素供与性化合物を含んでいてもよい。
水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、及び、酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
水素供与性化合物としては、例えば、アミン類、及び、アミノ酸化合物が挙げられる。
感光性樹脂層は、水素供与性化合物を含んでいてもよい。
水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、及び、酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
水素供与性化合物としては、例えば、アミン類、及び、アミノ酸化合物が挙げられる。
【0431】
アミン類としては、例えば、Ｍ．Ｒ．Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４－０２０１８９号公報、特開昭５１－０８２１０２号公報、特開昭５２－１３４６９２号公報、特開昭５９－１３８２０５号公報、特開昭６０－０８４３０５号公報、特開昭６２－０１８５３７号公報、特開昭６４－０３３１０４号公報、及び、Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ ３３８２５号等に記載の化合物が挙げられる。より具体的には、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタン（別名：ロイコクリスタルバイオレット）、トリエタノールアミン、ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ－ホルミルジメチルアニリン、及び、ｐ－メチルチオジメチルアニリンが挙げられる。
中でも、感度、硬化速度、及び、硬化性の観点から、アミン類としては、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、及び、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタンよりなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
中でも、感度、硬化速度、及び、硬化性の観点から、アミン類としては、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、及び、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタンよりなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【0432】
アミノ酸化合物としては、例えば、Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－メチル－Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－エチル－Ｎ－フェニルグリシンが挙げられる。
中でも、感度、硬化速度、及び、硬化性の観点から、アミノ酸化合物としては、Ｎ－フェニルグリシンが好ましい。
中でも、感度、硬化速度、及び、硬化性の観点から、アミノ酸化合物としては、Ｎ－フェニルグリシンが好ましい。
【0433】
また、水素供与性化合物としては、例えば、特公昭４８－０４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５－０３４４１４号公報に記載の水素供与体、及び、特開平６－３０８７２７号公報に記載のイオウ化合物（トリチアン等）も挙げられる。
【0434】
水素供与性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性樹脂層が水素供与性化合物を含む場合、水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスとによる硬化速度の向上の点から、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～１０．０質量％が好ましく、０．０１質量％～８．０質量％がより好ましく、０．０３質量％～５．０質量％が更に好ましい。
感光性樹脂層が水素供与性化合物を含む場合、水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスとによる硬化速度の向上の点から、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～１０．０質量％が好ましく、０．０１質量％～８．０質量％がより好ましく、０．０３質量％～５．０質量％が更に好ましい。
【0435】
（不純物）
感光性樹脂層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。
不純物としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した不純物が挙げられる。
感光性樹脂層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。
不純物としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した不純物が挙げられる。
【0436】
（残存モノマー）
感光性樹脂層は、上述した重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーを含む場合がある。
感光性樹脂層における重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーとしては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーが挙げられる。
感光性樹脂層は、上述した重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーを含む場合がある。
感光性樹脂層における重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーとしては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明した重合体Ａの各構成単位に対応する残存モノマーが挙げられる。
【0437】
（他の成分）
感光性樹脂層は、既述の成分以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、着色剤、酸化防止剤、及び、粒子（例えば、金属酸化物粒子）が挙げられる。また、他の成分としては、特開２０００－３１０７０６号公報の段落００５８～００７１に記載のその他の添加剤も挙げられる。
感光性樹脂層は、既述の成分以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、着色剤、酸化防止剤、及び、粒子（例えば、金属酸化物粒子）が挙げられる。また、他の成分としては、特開２０００－３１０７０６号公報の段落００５８～００７１に記載のその他の添加剤も挙げられる。
【0438】
－粒子－
粒子としては、金属酸化物粒子が好ましい。
金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
粒子の平均一次粒子径は、例えば、硬化膜の透明性の点から、１ｎｍ～２００ｎｍが好ましく、３ｎｍ～８０ｎｍがより好ましい。
粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
粒子としては、金属酸化物粒子が好ましい。
金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
粒子の平均一次粒子径は、例えば、硬化膜の透明性の点から、１ｎｍ～２００ｎｍが好ましく、３ｎｍ～８０ｎｍがより好ましい。
粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
【0439】
感光性樹脂層が粒子を含む場合、金属種、及び、大きさ等の異なる粒子を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
感光性樹脂層は、粒子を含まないか、あるいは、感光性樹脂層が粒子を含む場合には、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して、０質量％超３５質量％以下が好ましく、粒子を含まないか、あるいは、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して、０質量％超１０質量％以下がより好ましく、粒子を含まないか、あるいは、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して０質量％超５質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないか、あるいは、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して０質量％超１質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないことが特に好ましい。
感光性樹脂層は、粒子を含まないか、あるいは、感光性樹脂層が粒子を含む場合には、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して、０質量％超３５質量％以下が好ましく、粒子を含まないか、あるいは、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して、０質量％超１０質量％以下がより好ましく、粒子を含まないか、あるいは、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して０質量％超５質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないか、あるいは、粒子の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して０質量％超１質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないことが特に好ましい。
【0440】
－着色剤－
感光性樹脂層は、着色剤（顔料、染料等）を含んでいてもよいが、例えば、透明性の点からは、着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
感光性樹脂層が着色剤を含む場合、着色剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％未満が好ましく、０．１質量％未満がより好ましい。
感光性樹脂層は、着色剤（顔料、染料等）を含んでいてもよいが、例えば、透明性の点からは、着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
感光性樹脂層が着色剤を含む場合、着色剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、１質量％未満が好ましく、０．１質量％未満がより好ましい。
【0441】
－酸化防止剤－
酸化防止剤としては、例えば、１－フェニル－３－ピラゾリドン（別名：フェニドン）、１－フェニル－４，４－ジメチル－３－ピラゾリドン、及び、１－フェニル－４－メチル－４－ヒドロキシメチル－３－ピラゾリドン等の３－ピラゾリドン類；ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、及び、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類；パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、及び、パラフェニレンジアミンが挙げられる。
中でも、保存安定性、及び、硬化性の観点から、酸化防止剤としては、３－ピラゾリドン類が好ましく、１－フェニル－３－ピラゾリドンがより好ましい。
酸化防止剤としては、例えば、１－フェニル－３－ピラゾリドン（別名：フェニドン）、１－フェニル－４，４－ジメチル－３－ピラゾリドン、及び、１－フェニル－４－メチル－４－ヒドロキシメチル－３－ピラゾリドン等の３－ピラゾリドン類；ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、及び、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類；パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、及び、パラフェニレンジアミンが挙げられる。
中でも、保存安定性、及び、硬化性の観点から、酸化防止剤としては、３－ピラゾリドン類が好ましく、１－フェニル－３－ピラゾリドンがより好ましい。
【0442】
感光性樹脂層が酸化防止剤を含む場合、酸化防止剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対して、０．００１質量％以上が好ましく、０．００５質量％以上がより好ましく、０．０１質量％以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、１質量％以下が好ましい。
【0443】
（感光性樹脂層の厚み）
感光性樹脂層の厚み（層厚）は、特に制限されないが、現像性及び解像性の観点から、３０μｍ以下が好ましく、２０μｍ以下がより好ましく、１５μｍ以下が更に好ましく、１０μｍ以下が特に好ましく、５．０μｍ以下が最も好ましい。下限としては、感光性樹脂層を硬化して得られる膜の強度が優れる点で、０．６０μｍ以上が好ましく、１．５μｍ以上がより好ましい。
感光性樹脂層の厚み（層厚）は、特に制限されないが、現像性及び解像性の観点から、３０μｍ以下が好ましく、２０μｍ以下がより好ましく、１５μｍ以下が更に好ましく、１０μｍ以下が特に好ましく、５．０μｍ以下が最も好ましい。下限としては、感光性樹脂層を硬化して得られる膜の強度が優れる点で、０．６０μｍ以上が好ましく、１．５μｍ以上がより好ましい。
【0444】
（感光性樹脂層の屈折率）
感光性樹脂層の屈折率は、１．４７～１．５６が好ましく、１．４９～１．５４がより好ましい。
感光性樹脂層の屈折率は、１．４７～１．５６が好ましく、１．４９～１．５４がより好ましい。
【0445】
（感光性樹脂層の色）
感光性樹脂層は無彩色であることが好ましい。具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、Ｌ＊値は１０～９０であることが好ましく、ａ＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、ｂ＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。
感光性樹脂層は無彩色であることが好ましい。具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、Ｌ＊値は１０～９０であることが好ましく、ａ＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、ｂ＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。
【0446】
なお、感光性樹脂層を硬化して得られるパターン（感光性樹脂層の硬化膜）は、無彩色であることが好ましい。
具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、パターンのＬ＊値は１０～９０であることが好ましく、パターンのａ＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、パターンのｂ＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。
具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、パターンのＬ＊値は１０～９０であることが好ましく、パターンのａ＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、パターンのｂ＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。
【0447】
（感光性樹脂層の透湿度）
感光性樹脂層を硬化して得られるパターン（感光性樹脂層の硬化膜）の層厚４０μｍでの透湿度は、防錆性の観点から、５００ｇ／（ｍ２・２４ｈｒ）以下であることが好ましく、３００ｇ／（ｍ２・２４ｈｒ）以下であることがより好ましく、１００ｇ／（ｍ２・２４ｈｒ）以下であることが更に好ましい。
なお、透湿度は、感光性樹脂層を、ｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ２にて露光した後、１４５℃、３０分間のポストベークを行うことにより、感光性樹脂層を硬化させた硬化膜で測定する。
感光性樹脂層を硬化して得られるパターン（感光性樹脂層の硬化膜）の層厚４０μｍでの透湿度は、防錆性の観点から、５００ｇ／（ｍ２・２４ｈｒ）以下であることが好ましく、３００ｇ／（ｍ２・２４ｈｒ）以下であることがより好ましく、１００ｇ／（ｍ２・２４ｈｒ）以下であることが更に好ましい。
なお、透湿度は、感光性樹脂層を、ｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ２にて露光した後、１４５℃、３０分間のポストベークを行うことにより、感光性樹脂層を硬化させた硬化膜で測定する。
【0448】
［屈折率調整層］
感光性転写材料は、屈折率調整層を有していることが好ましい。
屈折率調整層としては、公知の屈折率調整層を適用できる。屈折率調整層に含まれる材料としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、金属塩、及び、粒子が挙げられる。
屈折率調整層の屈折率を制御する方法は、特に制限されず、例えば、所定の屈折率の樹脂を単独で用いる方法、樹脂と粒子とを用いる方法、及び、金属塩と樹脂との複合体を用いる方法が挙げられる。
感光性転写材料は、屈折率調整層を有していることが好ましい。
屈折率調整層としては、公知の屈折率調整層を適用できる。屈折率調整層に含まれる材料としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、金属塩、及び、粒子が挙げられる。
屈折率調整層の屈折率を制御する方法は、特に制限されず、例えば、所定の屈折率の樹脂を単独で用いる方法、樹脂と粒子とを用いる方法、及び、金属塩と樹脂との複合体を用いる方法が挙げられる。
【0449】
アルカリ可溶性樹脂及びエチレン性不飽和化合物としては、例えば、上記「感光性樹脂層」の項において説明したアルカリ可溶性樹脂及びエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
【0450】
粒子としては、例えば、金属酸化物粒子、及び、金属粒子が挙げられる。
金属酸化物粒子の種類は特に制限はなく、公知の金属酸化物粒子が挙げられる。金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
金属酸化物粒子の種類は特に制限はなく、公知の金属酸化物粒子が挙げられる。金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
【0451】
粒子の平均一次粒子径は、例えば、硬化膜の透明性の点から、１ｎｍ～２００ｎｍが好ましく、３ｎｍ～８０ｎｍがより好ましい。
粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
【0452】
金属酸化物粒子としては、具体的には、酸化ジルコニウム粒子（ＺｒＯ２粒子）、Ｎｂ２Ｏ５粒子、酸化チタン粒子（ＴｉＯ２粒子）、二酸化珪素粒子（ＳｉＯ２粒子）、及び、これらの複合粒子よりなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
これらの中でも、金属酸化物粒子としては、例えば、屈折率を調整しやすいという点から、酸化ジルコニウム粒子及び酸化チタン粒子よりなる群から選ばれる少なくとも１種がより好ましい。
これらの中でも、金属酸化物粒子としては、例えば、屈折率を調整しやすいという点から、酸化ジルコニウム粒子及び酸化チタン粒子よりなる群から選ばれる少なくとも１種がより好ましい。
【0453】
金属酸化物粒子の市販品としては、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ０４）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７４）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７５）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７６）、酸化ジルコニウム粒子（ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｍ、日産化学工業株式会社製）、及び、酸化ジルコニウム粒子（ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｋ、日産化学工業株式会社製）が挙げられる。
【0454】
粒子は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
屈折率調整層における粒子の含有量は、屈折率調整層の全質量に対し、１質量％～９５質量％が好ましく、２０質量％～９０質量％がより好ましく、４０質量％～８５質量％が更に好ましい。
金属酸化物粒子として酸化チタンを用いる場合、酸化チタン粒子の含有量は、屈折率調整層の全質量に対して、１質量％～９５質量％が好ましく、２０質量％～９０質量％がより好ましく、４０質量％～８５質量％が更に好ましい。
屈折率調整層における粒子の含有量は、屈折率調整層の全質量に対し、１質量％～９５質量％が好ましく、２０質量％～９０質量％がより好ましく、４０質量％～８５質量％が更に好ましい。
金属酸化物粒子として酸化チタンを用いる場合、酸化チタン粒子の含有量は、屈折率調整層の全質量に対して、１質量％～９５質量％が好ましく、２０質量％～９０質量％がより好ましく、４０質量％～８５質量％が更に好ましい。
【0455】
屈折率調整層の屈折率は、感光性樹脂層の屈折率よりも高いことが好ましい。
屈折率調整層の屈折率は、１．５０以上が好ましく、１．５５以上がより好ましく、１．６０以上が更に好ましく、１．６５以上が特に好ましい。屈折率調整層の屈折率の上限は、２．１０以下が好ましく、１．８５以下がより好ましく、１．７８以下が特に好ましい。
屈折率調整層の屈折率は、１．５０以上が好ましく、１．５５以上がより好ましく、１．６０以上が更に好ましく、１．６５以上が特に好ましい。屈折率調整層の屈折率の上限は、２．１０以下が好ましく、１．８５以下がより好ましく、１．７８以下が特に好ましい。
【0456】
屈折率調整層の厚みは、５０ｎｍ～５００ｎｍが好ましく、５５ｎｍ～１１０ｎｍがより好ましく、６０ｎｍ～１００ｎｍが更に好ましい。
【0457】
屈折率調整層は、例えば、屈折率調整層を用いて形成される。屈折率調整層形成用組成物としては、上述した屈折率調整層を形成する各種成分と溶剤とを含むことが好ましい。なお、屈折率調整層形成用組成物において、組成物の全固形分に対する各成分の含有量の好適範囲は、上述した屈折率調整層の全質量に対する各成分の含有量の好適範囲と同じである。
溶剤としては、屈折率調整層に含まれる成分を溶解又は分散可能であれば特に制限されず、水及び水混和性の有機溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、水又は水と水混和性の有機溶剤との混合溶剤がより好ましい。
水混和性の有機溶剤としては、例えば、炭素数１～３のアルコール、アセトン、エチレングリコール、及びグリセリンが挙げられ、炭素数１～３のアルコールが好ましく、メタノール又はエタノールがより好ましい。
溶剤は、１種単独で使用してもよく、２種以上使用してもよい。
溶剤の含有量は、組成物の全固形分１００質量部に対して、５０質量部～２，５００質量部が好ましく、５０質量部～１，９００質量部がより好ましく、１００質量部～９００質量部が更に好ましい。
溶剤としては、屈折率調整層に含まれる成分を溶解又は分散可能であれば特に制限されず、水及び水混和性の有機溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、水又は水と水混和性の有機溶剤との混合溶剤がより好ましい。
水混和性の有機溶剤としては、例えば、炭素数１～３のアルコール、アセトン、エチレングリコール、及びグリセリンが挙げられ、炭素数１～３のアルコールが好ましく、メタノール又はエタノールがより好ましい。
溶剤は、１種単独で使用してもよく、２種以上使用してもよい。
溶剤の含有量は、組成物の全固形分１００質量部に対して、５０質量部～２，５００質量部が好ましく、５０質量部～１，９００質量部がより好ましく、１００質量部～９００質量部が更に好ましい。
【0458】
屈折率調整層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば特に制限されず、例えば、公知の塗布方法（スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布及びインクジェット塗布等）が挙げられる。
【0459】
［仮支持体、感光性樹脂層及びカバーフィルムの関係］
配線保護膜用感光性転写材料として好ましく用いられる感光性転写材料においても、既述した仮支持体、感光性樹脂層及びカバーフィルムの関係を満たすことが好ましい。
配線保護膜用感光性転写材料として好ましく用いられる感光性転写材料においても、既述した仮支持体、感光性樹脂層及びカバーフィルムの関係を満たすことが好ましい。
【0460】
＜樹脂パターンの製造方法＞
本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法であれば制限されない。本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程（以下、「貼り合わせ工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程（以下、「露光工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程（以下、「現像工程」という場合がある。）と、をこの順に含むことが好ましい。上記態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法が提供される。
本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法であれば制限されない。本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程（以下、「貼り合わせ工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程（以下、「露光工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程（以下、「現像工程」という場合がある。）と、をこの順に含むことが好ましい。上記態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる樹脂パターンの製造方法が提供される。
【0461】
本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、ロールツーロール方式により行われることが好ましい。ロールツーロール方式とは、基板として、巻き取り及び巻き出しが可能な基板を用い、樹脂パターンの製造方法に含まれるいずれかの工程の前に、基板又は基板を含む構造体を巻き出す工程（「巻き出し工程」ともいう。）と、いずれかの工程の後に、基板又は基板を含む構造体を巻き取る工程（「巻き取り工程」ともいう。）と、を含み、少なくともいずれかの工程（好ましくは、全ての工程、又は加熱工程以外の全ての工程）を、基板又は基板を含む構造体を搬送しながら行う方式をいう。巻き出し工程における巻き出し方法、及び巻き取り工程における巻取り方法としては、制限されず、ロールツーロール方式を適用する製造方法において、公知の方法を用いればよい。
【0462】
以下、本開示に係る樹脂パターンの製造方法に含まれる各工程について説明する。
【0463】
＜＜貼り合わせ工程＞＞
貼り合わせ工程では、本開示に係る感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する。基板の上に配置される感光性樹脂層は、感光性転写材料に含まれる感光性樹脂層である。仮支持体及び感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いる貼り合わせ工程では、通常、基板の上に、感光性樹脂層、及び仮支持体がこの順で配置される。
貼り合わせ工程では、本開示に係る感光性転写材料と基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する。基板の上に配置される感光性樹脂層は、感光性転写材料に含まれる感光性樹脂層である。仮支持体及び感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いる貼り合わせ工程では、通常、基板の上に、感光性樹脂層、及び仮支持体がこの順で配置される。
【0464】
貼り合わせ工程においては、感光性樹脂層（具体的には感光性樹脂層の仮支持体に対向する面とは反対側の面）と基板とを接触させ、感光性転写材料と基板とを圧着させることが好ましい。上記態様によれば、感光性樹脂層と基板との密着性が向上するため、形成される樹脂パターンをエッチングレジストとして好適に用いることができる。基板の表面に導電層が設けられている場合、感光性樹脂層と導電層とを接触させることが好ましい。
【0465】
感光性転写材料がカバーフィルムを有する場合は、感光性転写材料からカバーフィルムを除去した後、感光性転写材料と基板とを貼り合わせればよい。
【0466】
感光性転写材料において感光性樹脂層の仮支持体に対向する面とは反対側の面にカバーフィルム以外の層（例えば、高屈折率層、及び／又は低屈折率層）が配置されている場合、上記カバーフィルム以外の層を介して感光性樹脂層と基板とを貼り合わせてもよい。
【0467】
感光性転写材料と基板とを圧着する方法としては、制限されず、公知の転写方法、及び、ラミネート方法を用いることができる。感光性転写材料と基板との貼り合わせは、感光性樹脂層と基板とを重ね合わせ、ロール等の手段を用いて加圧及び加熱を施すことによって行われることが好ましい。また、貼り合わせには、ラミネーター、真空ラミネーター、及び、より生産性を高めることができるオートカットラミネーターを用いることができる。
【0468】
［基板］
基板としては、制限されず、公知の基板を用いることができる。基板は、導電層を有する基板であることが好ましく、基材と、上記基材の表面の一部又は全面に導電層と、を有する基板であることがより好ましい。基板は、必要に応じて導電層以外の任意の層を有してもよい。
基板としては、制限されず、公知の基板を用いることができる。基板は、導電層を有する基板であることが好ましく、基材と、上記基材の表面の一部又は全面に導電層と、を有する基板であることがより好ましい。基板は、必要に応じて導電層以外の任意の層を有してもよい。
【0469】
基材としては、例えば、ガラス、シリコン、及びフィルムが挙げられる。
【0470】
基材は透明であることが好ましい。本開示において、「透明である」とは、波長が４００～７００ｎｍである光の透過率が８０％以上であることを意味する。
【0471】
基材の屈折率は、１．５０～１．５２であることが好ましい。
【0472】
透明なガラス基材としては、例えば、コーニング社のゴリラガラスに代表される強化ガラスが挙げられる。また、透明なガラス基材としては、例えば、特開２０１０－８６６８４号公報、特開２０１０－１５２８０９号公報、及び特開２０１０－２５７４９２号公報に用いられている材料を用いることができる。
【0473】
基材としてフィルム基材を用いる場合は、光学的に歪みが小さく、及び／又は透明度が高いフィルム基材を用いることが好ましい。上記のようなフィルム基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、及びシクロオレフィンポリマーが挙げられる。
【0474】
ロールツーロール方式において用いられる基板を構成する基材は、フィルム基材であることが好ましい。また、ロールツーロール方式によりタッチパネル用の回路配線を製造する場合、基材は、シート状樹脂組成物であることが好ましい。
【0475】
導電層としては、一般的な回路配線、又はタッチパネル配線に用いられる導電層が挙げられる。導電層は、導電性、及び細線形成性の観点から、金属層、導電性金属酸化物層、グラフェン層、カーボンナノチューブ層、及び導電ポリマー層からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましく、金属層であることがより好ましく、銅層、又は銀層であることが特に好ましい。
【0476】
基板は、１層単独、又は２層以上の導電層を有してもよい。２層以上の導電層を有する基板は、異なる材質の複数の導電層を有することが好ましい。
【0477】
導電層の材料としては、例えば、金属、及び導電性金属酸化物が挙げられる。金属としては、例えば、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ａｇ、及びＡｕが挙げられる。導電性金属酸化物としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、及びＳｉＯ２が挙げられる。本開示において「導電性」とは、体積抵抗率が１×１０６Ωｃｍ未満であることをいう。導電性金属酸化物の体積抵抗率は、１×１０４Ωｃｍ未満であることが好ましい。
【0478】
複数の導電層を有する基板を用いて樹脂パターンを製造する場合、複数の導電層のうち少なくとも一つの導電層は、導電性金属酸化物を含むことが好ましい。
【0479】
導電層としては、静電容量型タッチパネルに用いられる視認部のセンサーに相当する電極パターン又は周辺取り出し部の配線が好ましい。
【0480】
導電層の好ましい態様は、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落０１４１に記載されており、この内容は参照により本明細書に組み込まれる。
【0481】
導電層を有する基板としては、透明電極及び引き回し配線の少なくとも一方を有する基板が好ましい。上記のような基板は、タッチパネル用基板として好適に使用できる。
透明電極は、タッチパネル用電極として好適に機能し得る。透明電極は、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、及び、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）等の金属酸化膜、並びに、金属メッシュ、及び、金属ナノワイヤー等の金属細線により構成されることが好ましい。
金属細線としては、銀、銅等の細線が挙げられる。中でも、銀メッシュ、銀ナノワイヤー等の銀導電性材料が好ましい。
透明電極は、タッチパネル用電極として好適に機能し得る。透明電極は、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、及び、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）等の金属酸化膜、並びに、金属メッシュ、及び、金属ナノワイヤー等の金属細線により構成されることが好ましい。
金属細線としては、銀、銅等の細線が挙げられる。中でも、銀メッシュ、銀ナノワイヤー等の銀導電性材料が好ましい。
【0482】
引き回し配線の材質としては、金属が好ましい。
引き回し配線の材質である金属としては、金、銀、銅、モリブデン、アルミニウム、チタン、クロム、亜鉛、及び、マンガン、並びに、これらの金属元素の２種以上からなる合金が挙げられる。引き回し配線の材質としては、銅、モリブデン、アルミニウム、又は、チタンが好ましく、銅が特に好ましい。
引き回し配線の材質である金属としては、金、銀、銅、モリブデン、アルミニウム、チタン、クロム、亜鉛、及び、マンガン、並びに、これらの金属元素の２種以上からなる合金が挙げられる。引き回し配線の材質としては、銅、モリブデン、アルミニウム、又は、チタンが好ましく、銅が特に好ましい。
【0483】
＜＜露光工程＞＞
露光工程では、感光性樹脂層をパターン露光する。
露光工程では、感光性樹脂層をパターン露光する。
【0484】
パターン露光におけるパターンの詳細な配置、及び具体的サイズは、制限されない。例えば、回路配線を有する入力装置を備えた表示装置（例えばタッチパネル）の表示品質を高め、また、取り出し配線の占める面積が小さくなるように、パターンの少なくとも一部（好ましくはタッチパネルの電極パターン及び／又は取り出し配線の部分）は、幅が２０μｍ以下である細線を含むことが好ましく、幅が１０μｍ以下の細線を含むことがより好ましい。
【0485】
露光に使用する光源は、感光性樹脂層を露光可能な波長の光（例えば、３６５ｎｍ、又は４０５ｎｍ）を照射する光源であればよい。具体的な光源としては、例えば、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、及びＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）が挙げられる。
【0486】
露光量は、５ｍＪ／ｃｍ２～２００ｍＪ／ｃｍ２であることが好ましく、１０ｍＪ／ｃｍ２～１００ｍＪ／ｃｍ２であることがより好ましい。
【0487】
露光工程においては、感光性樹脂層から仮支持体を剥離した後にパターン露光してもよく、又は仮支持体を介してパターン露光した後に仮支持体を剥離してもよい。露光前に仮支持体を剥離した場合には、マスクを感光性樹脂層と接触させて露光してもよく、又はマスクを感光性樹脂層と接触させずに近接させて露光してもよい。仮支持体を剥離せずに露光する場合には、マスクを仮支持体と接触させて露光してもよく、又はマスクを感光性樹脂層と接触させずに近接させて露光してもよい。感光性樹脂層とマスクとの接触によるマスク汚染の防止、及びマスクに付着した異物による露光への影響を避けるためには、仮支持体を剥離せずにパターン露光することが好ましい。なお、露光方式としては、接触露光の場合は、コンタクト露光方式、非接触露光方式の場合は、プロキシミティ露光方式、レンズ系若しくはミラー系のプロジェクション露光方式、露光レーザー等を用いたダイレクト露光方式を適宜選択して用いることができる。レンズ系のミラーのプロジェクション露光の場合、必要な解像力、及び焦点深度に応じて、適当なレンズの開口数（ＮＡ）を有する露光機を用いることができる。ダイレクト露光方式の場合は、直接感光性樹脂層に描画を行ってもよく、又はレンズを介して感光性樹脂層に縮小投影露光をしてもよい。また、露光は大気下で行うだけでなく、減圧、又は真空下で行ってもよい。光源と感光性樹脂層との間に水等の液体を介在させて露光してもよい。
【0488】
＜＜現像工程＞＞
現像工程では、感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する。
現像工程では、感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する。
【0489】
感光性樹脂層の現像は、現像液を用いて行うことができる。現像液の種類は、感光性樹脂層の画像部（露光部）、又は非画像部（非露光部）を除去することができれば制限されない。現像液としては、公知の現像液（例えば、特開平５－７２７２４号公報に記載の現像液）を用いることができる。
【0490】
現像液は、ｐＫａが７～１３である化合物を０．０５ｍｏｌ／Ｌ～５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むアルカリ水溶液系の現像液であることが好ましい。現像液は、水溶性の有機溶剤及び／又は界面活性剤を含んでもよい。現像液としては、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落０１９４に記載の現像液も好ましい。
【0491】
現像方式としては、特に制限されず、パドル現像、シャワー現像、シャワー及びスピン現像、並びに、ディップ現像のいずれであってもよい。シャワー現像とは、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、露光部、又は非露光部を除去する現像処理である。
【0492】
現像工程の後に、洗浄剤をシャワーにより吹き付け、ブラシで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
【0493】
現像液の液温は、制限されない。現像液の液温は、２０℃～４０℃であることが好ましい。
【0494】
例えば、感光性転写材料が、熱可塑性樹脂、及び中間層を含む場合、現像工程において、感光性樹脂層の画像部（露光部）、又は非画像部（非露光部）とともに、熱可塑性樹脂、及び中間層も除去される。また、現像工程において、熱可塑性樹脂層、及び中間層は、現像液への溶解、又は分散によって除去されてもよい。
【0495】
本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、上記した工程以外の任意の工程を含んでもよい。上記した工程以外の工程としては、例えば、下記「他の工程」において説明する工程が挙げられる。
【0496】
＜回路配線の製造方法＞
本開示に係る回路配線の製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法であれば制限されない。本開示に係る回路配線の製造方法は、基材と、導電層と、本開示に係る感光性転写材料を用いて形成された樹脂パターンと、をこの順で有する積層体を準備する工程と、上記積層体において、上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程（以下、「エッチング工程」という場合がある。）と、を含むことが好ましい。上記積層体は、例えば、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した樹脂パターンの製造方法によって製造することができる。本開示に係る回路配線の製造方法は、本開示に係る感光性転写材料と導電層を有する基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程（以下、「貼り合わせ工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程（以下、「露光工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程（以下、「現像工程」という場合がある。）と、上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程と、をこの順に含むことがより好ましい。上記態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法が提供される。
本開示に係る回路配線の製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法であれば制限されない。本開示に係る回路配線の製造方法は、基材と、導電層と、本開示に係る感光性転写材料を用いて形成された樹脂パターンと、をこの順で有する積層体を準備する工程と、上記積層体において、上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程（以下、「エッチング工程」という場合がある。）と、を含むことが好ましい。上記積層体は、例えば、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した樹脂パターンの製造方法によって製造することができる。本開示に係る回路配線の製造方法は、本開示に係る感光性転写材料と導電層を有する基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程（以下、「貼り合わせ工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程（以下、「露光工程」という場合がある。）と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程（以下、「現像工程」という場合がある。）と、上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理して回路配線を形成する工程と、をこの順に含むことがより好ましい。上記態様によれば、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制する感光性転写材料を用いる回路配線の製造方法が提供される。
【0497】
本開示に係る回路配線の製造方法は、ロールツーロール方式により行われることが好ましい。ロールツーロール方式については、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明したとおりである。
【0498】
＜＜貼り合わせ工程＞＞
本開示に係る回路配線の製造方法における貼り合わせ工程は、基板として導電層を有する基板を用いること以外は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した貼り合わせ工程と同様である。本開示に係る回路配線の製造方法における貼り合わせ工程の好ましい態様は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した貼り合わせ工程の好ましい態様と同様である。
本開示に係る回路配線の製造方法における貼り合わせ工程は、基板として導電層を有する基板を用いること以外は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した貼り合わせ工程と同様である。本開示に係る回路配線の製造方法における貼り合わせ工程の好ましい態様は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した貼り合わせ工程の好ましい態様と同様である。
【0499】
＜＜露光工程＞＞
本開示に係る回路配線の製造方法における露光工程は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した露光工程と同様である。本開示に係る回路配線の製造方法における露光工程の好ましい態様は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した露光工程の好ましい態様と同様である。
本開示に係る回路配線の製造方法における露光工程は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した露光工程と同様である。本開示に係る回路配線の製造方法における露光工程の好ましい態様は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した露光工程の好ましい態様と同様である。
【0500】
＜＜現像工程＞＞
本開示に係る回路配線の製造方法における現像工程は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した現像工程と同様である。本開示に係る回路配線の製造方法における現像工程の好ましい態様は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した現像工程の好ましい態様と同様である。
本開示に係る回路配線の製造方法における現像工程は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した現像工程と同様である。本開示に係る回路配線の製造方法における現像工程の好ましい態様は、上記「樹脂パターンの製造方法」の項において説明した現像工程の好ましい態様と同様である。
【0501】
＜＜エッチング工程＞＞
エッチング工程では、樹脂パターンが配置されていない領域にある導電層をエッチング処理して回路配線を形成する。「樹脂パターンが配置されていない領域にある導電層」とは、樹脂パターンによって覆われていない導電層（すなわち、露出した導電層）をいう。
エッチング工程では、樹脂パターンが配置されていない領域にある導電層をエッチング処理して回路配線を形成する。「樹脂パターンが配置されていない領域にある導電層」とは、樹脂パターンによって覆われていない導電層（すなわち、露出した導電層）をいう。
【0502】
エッチング工程では、樹脂パターンをエッチングレジストとして使用することで、導電層のエッチング処理を行う。エッチング処理の方法としては、公知の方法を適用できる。エッチング処理の方法としては、例えば、特開２０１７－１２０４３５号公報の段落０２０９～段落０２１０に記載の方法、特開２０１０－１５２１５５号公報の段落００４８～段落００５４に記載の方法、エッチング液に浸漬するウェットエッチング法、及びドライエッチング（例えば、プラズマエッチング）による方法が挙げられる。
【0503】
ウェットエッチング法に用いられるエッチング液は、エッチングの対象に合わせて、酸性、又はアルカリ性のエッチング液を適宜選択すればよい。
【0504】
酸性のエッチング液としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、酢酸、フッ酸、シュウ酸、及びリン酸からなる群より選択される酸性成分単独の水溶液、並びに、酸性成分と、塩化第２鉄、フッ化アンモニウム、及び過マンガン酸カリウムからなる群より選択される塩との混合水溶液が挙げられる。酸性成分は、複数の酸性成分を組み合わせた成分であってもよい。
【0505】
アルカリ性のエッチング液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、有機アミン、及び有機アミンの塩（例えば、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）からなる群より選択されるアルカリ成分単独の水溶液、並びに、アルカリ成分と塩（例えば、過マンガン酸カリウム）との混合水溶液が挙げられる。アルカリ成分は、複数のアルカリ成分を組み合わせた成分であってもよい。
【0506】
＜＜除去工程＞＞
本開示に係る回路配線の製造方法は、残存する樹脂パターンを除去する工程（以下、「除去工程」という場合がある。）を含むことが好ましい。除去工程は、エッチング工程の後に行うことが好ましい。
本開示に係る回路配線の製造方法は、残存する樹脂パターンを除去する工程（以下、「除去工程」という場合がある。）を含むことが好ましい。除去工程は、エッチング工程の後に行うことが好ましい。
【0507】
残存する樹脂パターンを除去する方法としては、例えば、薬品処理により残存する樹脂パターンを除去する方法が挙げられる。残存する樹脂パターンを除去する方法は、除去液を用いて残存する樹脂パターンを除去する方法であることが好ましい。除去液を用いる方法としては、例えば、液温が好ましくは３０℃～８０℃、より好ましくは５０℃～８０℃である撹拌中の除去液に、残存する樹脂パターンを有する基板を１分間～３０分間浸漬する方法が挙げられる。
【0508】
除去液としては、例えば、無機アルカリ成分、又は有機アルカリ成分を、水、ジメチルスルホキシド、Ｎ－メチルピロリドン、又はこれらの混合溶液に溶解した除去液が挙げられる。無機アルカリ成分としては、例えば、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムが挙げられる。有機アルカリ成分としては、例えば、第１級アミン化合物、第２級アミン化合物、第３級アミン化合物、及び第４級アンモニウム塩化合物が挙げられる。
【0509】
除去液を用いて残存する樹脂パターンを除去する方法は、浸漬法に限られず、浸漬法以外の公知の方法（例えば、スプレー法、シャワー法、及びパドル法）であってもよい。
【0510】
＜＜他の工程＞＞
本開示に係る回路配線の製造方法は、上記した工程以外の任意の工程（以下、「他の工程」という場合がある。）を含んでもよい。本開示に係る回路配線の製造方法に適用可能な露光工程、現像工程、及び他の工程としては、特開２００６－２３６９６号公報の段落００３５～段落００５１に記載の工程が挙げられる。また、他の工程としては、以下に示す工程が挙げられる。ただし、他の工程は、以下に示す工程に制限されない。
本開示に係る回路配線の製造方法は、上記した工程以外の任意の工程（以下、「他の工程」という場合がある。）を含んでもよい。本開示に係る回路配線の製造方法に適用可能な露光工程、現像工程、及び他の工程としては、特開２００６－２３６９６号公報の段落００３５～段落００５１に記載の工程が挙げられる。また、他の工程としては、以下に示す工程が挙げられる。ただし、他の工程は、以下に示す工程に制限されない。
【0511】
［可視光線反射率を低下させる工程］
本開示に係る回路配線の製造方法は、基板における導電層の一部又は全ての可視光線反射率を低下させる処理を行う工程を含んでもよい。
本開示に係る回路配線の製造方法は、基板における導電層の一部又は全ての可視光線反射率を低下させる処理を行う工程を含んでもよい。
【0512】
導電層の可視光線反射率を低下させる処理としては、例えば、酸化処理が挙げられる。導電層が銅を含む場合、銅を酸化処理によって酸化銅とし、導電層を黒化することにより、導電層の可視光線反射率を低下させることができる。
【0513】
導電層の可視光線反射率を低下させる処理については、特開２０１４－１５０１１８号公報の段落００１７～段落００２５、並びに特開２０１３－２０６３１５号公報の段落００４１、段落００４２、段落００４８、及び段落００５８に記載されている。これらの公報の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0514】
［絶縁膜を形成する工程、及び絶縁膜の表面に新たな導電層を形成する工程］
本開示に係る回路配線の製造方法は、回路配線の表面に絶縁膜を形成する工程と、上記絶縁膜の表面に新たな導電層を形成する工程と、を含むことも好ましい。上記の工程により、絶縁膜を介して絶縁された２つの電極パターンを形成することができる。
本開示に係る回路配線の製造方法は、回路配線の表面に絶縁膜を形成する工程と、上記絶縁膜の表面に新たな導電層を形成する工程と、を含むことも好ましい。上記の工程により、絶縁膜を介して絶縁された２つの電極パターンを形成することができる。
【0515】
絶縁膜を形成する方法は、制限されない。絶縁膜を形成する工程においては、例えば、公知の永久膜を形成する方法によって絶縁膜を形成してもよい。また、絶縁性を有する感光性材料を用いて、フォトリソグラフィにより所望のパターンの絶縁膜を形成してもよい。
【0516】
絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程においては、例えば、導電性を有する感光性材料を用いて、フォトリソグラフィにより所望のパターンの新たな導電層を形成してもよい。
【0517】
本開示に係る回路配線の製造方法においては、基材の両方の表面にそれぞれ導電層を有する基板を用い、上記導電層のそれぞれに対して、逐次、又は同時に回路を形成することも好ましい。上記の方法によれば、例えば、基材の一方の表面に第一の導電パターン、基材の他方の表面に第二の導電パターンを形成したタッチパネル用回路配線を形成できる。また、本開示に係る回路配線の製造方法によって、上記タッチパネル用回路配線を、ロールツーロールで基材の両面で形成することも好ましい。
【0518】
＜＜回路配線の用途＞＞
本開示に係る回路配線の製造方法により製造される回路配線は、種々の装置に適用することができる。本開示に係る回路配線の製造方法により製造される回路配線を備えた装置としては、例えば、入力装置が挙げられ、タッチパネルが好ましく、静電容量型タッチパネルがより好ましい。また、上記入力装置は、種々の表示装置（例えば、有機ＥＬ表示装置、及び液晶表示装置）に適用できる。
本開示に係る回路配線の製造方法により製造される回路配線は、種々の装置に適用することができる。本開示に係る回路配線の製造方法により製造される回路配線を備えた装置としては、例えば、入力装置が挙げられ、タッチパネルが好ましく、静電容量型タッチパネルがより好ましい。また、上記入力装置は、種々の表示装置（例えば、有機ＥＬ表示装置、及び液晶表示装置）に適用できる。
【0519】
＜タッチパネルの製造方法＞
本開示に係るタッチパネルの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いるタッチパネルの製造方法であれば制限されない。
本開示に係るタッチパネルの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いるタッチパネルの製造方法であれば制限されない。
【0520】
本開示に係るタッチパネルの製造方法は、基材と、導電層と、本開示に係る感光性転写材料を用いて形成された樹脂パターンと、をこの順で有する積層体を準備する工程と、上記積層体において、上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理してタッチパネル用配線を形成する工程と、を含むことが好ましい。本開示に係るタッチパネルの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料と導電層を有する基板とを貼り合わせて、上記基板の上に感光性樹脂層を配置する工程と、上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程と、上記樹脂パターンが配置されていない領域にある上記導電層をエッチング処理してタッチパネル用配線を形成する工程と、をこの順に含むことがより好ましい。
【0521】
本開示に係るタッチパネルの製造方法における各工程の態様については、上記「樹脂パターンの製造方法」の項、及び上記「回路配線の製造方法」の項において説明したとおりであり、好ましい態様も同様である。本開示に係るタッチパネルの製造方法については、上記の方法によりタッチパネル用配線を形成すること以外は、公知のタッチパネルの製造方法を参照すればよい。また、本開示に係るタッチパネルの製造方法は、上記した工程以外の任意の工程を含んでもよい。
【0522】
タッチパネルの製造に用いられるマスクのパターンについて、図２、及び図３を参照して説明する。図２は、タッチパネル製造用マスクのパターンの一例を示す概略平面図である。図３は、タッチパネル製造用マスクのパターンの他の一例を示す概略平面図である。図２、及び図３において、ＤＬは、アライメント合わせの枠を仮想的に示し、Ｇは、非画像部（遮光部）を示す。図２において、ＳＬは、非画像部（遮光部）を示す。本開示に係るタッチパネルの製造方法において、例えば、図２に示されるパターンを有するマスクを介して感光性樹脂層を露光することで、ＳＬ、及びＧに対応するパターンを有する回路配線が形成されたタッチパネルを製造できる。具体的には、国際公開第２０１６／１９０４０５号の図１に記載の方法によってタッチパネルを製造できる。製造されたタッチパネルの一例においては、Ｇは、透明電極（すなわち、タッチパネル用電極）が形成される部分であり、ＳＬは、周辺取出し部の配線が形成される部分である。
【0523】
本開示に係るタッチパネルの製造方法によれば、タッチパネル用配線を少なくとも有するタッチパネルが製造される。タッチパネルは、透明基板と、電極と、絶縁層又は保護層と、を有することが好ましい。
【0524】
タッチパネルにおける検出方法としては、例えば、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、電磁誘導方式、及び光学方式が挙げられる。検出方式は、静電容量方式であることが好ましい。
【0525】
タッチパネル型としては、いわゆるインセル型（例えば、特表２０１２－５１７０５１号公報の図５、図６、図７及び図８に記載の構成）、いわゆるオンセル型（例えば、特開２０１３－１６８１２５号公報の図１９に記載の構成、並びに、特開２０１２－８９１０２号公報の図１及び図５に記載の構成）、ＯＧＳ（Ｏｎｅ Ｇｌａｓｓ Ｓｏｌｕｔｉｏｎ）型、ＴＯＬ（Ｔｏｕｃｈ－ｏｎ－Ｌｅｎｓ）型（例えば、特開２０１３－５４７２７号公報の図２に記載の構成）、各種アウトセル型（例えば、ＧＧ、Ｇ１・Ｇ２、ＧＦＦ、ＧＦ２、ＧＦ１、及びＧ１Ｆ）、及びその他構成（例えば、特開２０１３－１６４８７１号公報の図６に記載の構成）が挙げられる。
【0526】
＜感光性転写材料用仮支持体＞
本開示に係る感光性転写材料用仮支持体は、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において水の接触角の変化率が０％～１０．０％である。本開示に係る感光性転写材料用仮支持体を感光性転写材料に適用することで、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。
本開示に係る感光性転写材料用仮支持体は、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において水の接触角の変化率が０％～１０．０％である。本開示に係る感光性転写材料用仮支持体を感光性転写材料に適用することで、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生が抑制される。
【0527】
本開示に係る感光性転写材料用仮支持体は、１００℃で１５分間の加熱処理の前後において水の接触角の変化率が０％～１０．０％である面を少なくとも１つ有していればよい。本開示に係る感光性転写材料用仮支持体を感光性転写材料に適用する際、感光性転写材料用仮支持体の表面のうち水の接触角の変化率が０％～１０．０％である面を感光性樹脂層に対向する面とは反対側の面（すなわち、第２面）として配置することで、上記「感光性転写材料」の項において説明したように、感光性転写材料と被着体とを貼り合わせる工程において仮支持体のシワの発生を抑制することができる。
【0528】
本開示に係る感光性転写材料用仮支持体において上記接触角の変化率の好ましい範囲は、上記「感光性転写材料」の項において説明した範囲と同様である。上記接触角の変化率の測定方法は、上記「感光性転写材料」の項において説明した方法と同様である。
【0529】
本開示に係る感光性転写材料用仮支持体において、１２０℃で５分間の加熱処理前のヘイズと１２０℃で５分間の加熱処理後のヘイズとの差の絶対値は、０％～０．４０％であることが好ましく、０％～０．３０％であることがより好ましく、０％～０．２０％であることが更に好ましく、０％～０．１０％であることが特に好ましい。感光性転写材料用仮支持体のヘイズの測定方法は、上記「感光性転写材料」の項において説明した仮支持体のヘイズの測定方法に準ずる方法によって測定する。
【0530】
上記した事項以外の感光性転写材料用仮支持体の好ましい態様は、上記「感光性転写材料」の項において説明した仮支持体の好ましい態様と同様である。本開示に係る感光性転写材料用仮支持体の態様については、上記「感光性転写材料」の項において説明した仮支持体の態様を参照することができる。
【実施例】
【0531】
以下、実施例により本開示を詳細に説明する。ただし、本開示は、以下の実施例に制限されるものではない。
【0532】
＜重合体Ａ－１の合成＞
３つ口フラスコにプロピレングリコール１－モノメチルエーテル（７５．０ｇ）を入れ、窒素雰囲気下で液温を９０℃に昇温した。スチレン（５２．０ｇ）、メタクリル酸（２９．０ｇ）、メタクリル酸メチル（１９．０ｇ）、及びプロピレングリコール１－モノメチルエーテル（７５．０ｇ）を含む溶液を、９０℃±２℃に維持した３つ口フラスコ内の液に２時間かけて滴下した。滴下終了後、９０℃±２℃で混合液を２時間撹拌することで、重合体Ａ－１を含む溶液（固形分濃度：４０．０質量％）を得た。重合体Ａ－１の重量平均分子量（Ｍｗ）は、６０，０００であった。
３つ口フラスコにプロピレングリコール１－モノメチルエーテル（７５．０ｇ）を入れ、窒素雰囲気下で液温を９０℃に昇温した。スチレン（５２．０ｇ）、メタクリル酸（２９．０ｇ）、メタクリル酸メチル（１９．０ｇ）、及びプロピレングリコール１－モノメチルエーテル（７５．０ｇ）を含む溶液を、９０℃±２℃に維持した３つ口フラスコ内の液に２時間かけて滴下した。滴下終了後、９０℃±２℃で混合液を２時間撹拌することで、重合体Ａ－１を含む溶液（固形分濃度：４０．０質量％）を得た。重合体Ａ－１の重量平均分子量（Ｍｗ）は、６０，０００であった。
【0533】
＜ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均１５モルのエチレンオキサイドと平均２モルのプロピレンオキサイドとが付加したポリエチレングリコールのジメタクリレートの合成＞
内容量が５００ｍＬである耐圧反応容器に、ビスフェノールＡ（２２.８３ｇ、０．１ｍｏｌ)、溶剤としてトルエン（３０ｇ）、及び触媒としてトリエチルアミン（０．３ｇ）を加えた。耐圧反応容器内を窒素ガスで置換した後、窒素ガス圧を０．２ｋｇ／ｃｍ２に調節して、混合物を撹拌しながら８０℃に昇温した。エチレンオキサイド（１３２．１５ｇ、３．０ｍｏｌ）、及びプロピレンオキサイド（２３．２４ｇ、０．４ｍｏｌ）を約２ｋｇ／ｃｍ２の圧力に保つように遂次導入しながら１５０℃まで昇温した。混合物を１５０℃で１時間保持した後、冷却した。混合物をシュウ酸で中和し、次いで、混合物にイオン交換水（５０ｇ）を加えて撹拌した後、混合物を静置することで分離した有機層を抽出した。得られた有機層を、イオン交換水（５０ｇ）を用いて３回洗浄した後、５０℃で、３０Ｔｏｒｒまで減圧して溶剤を除去することで、２価アルコール（１０５．１ｇ）を得た。内容量が１Ｌである３つ口フラスコに、２価アルコール（１００．０ｇ、０．０４４ｍｏｌ)、メタクリル酸（１１．５ｇ）、７０質量％メタンスルホン酸水溶液（０．９ｇ）、ハイドロキノン（０．２ｇ）、及びトルエン（２００ｍＬ）を加え、次いで、トルエン還流下で８時間エステル化を行なった。反応中に生成した水は、ディーンシュタークトラップにより除去した。反応終了後、混合物の温度を室温まで冷却し、得られた有機層を、５％水酸化ナトリウム水溶液（５０ｇ）を用いて１回、次いで、イオン交換水（５０ｇ）を用いて３回洗浄した。有機層にヒドロキノンモノメチルエーテル（０．０９ｇ）を加え、５０℃で、３０Ｔｏｒｒまで減圧して溶剤を除去することで、ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均１５モルのエチレンオキサイドと平均２モルのプロピレンオキサイドとが付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート（９０．０ｇ）を得た。
内容量が５００ｍＬである耐圧反応容器に、ビスフェノールＡ（２２.８３ｇ、０．１ｍｏｌ)、溶剤としてトルエン（３０ｇ）、及び触媒としてトリエチルアミン（０．３ｇ）を加えた。耐圧反応容器内を窒素ガスで置換した後、窒素ガス圧を０．２ｋｇ／ｃｍ２に調節して、混合物を撹拌しながら８０℃に昇温した。エチレンオキサイド（１３２．１５ｇ、３．０ｍｏｌ）、及びプロピレンオキサイド（２３．２４ｇ、０．４ｍｏｌ）を約２ｋｇ／ｃｍ２の圧力に保つように遂次導入しながら１５０℃まで昇温した。混合物を１５０℃で１時間保持した後、冷却した。混合物をシュウ酸で中和し、次いで、混合物にイオン交換水（５０ｇ）を加えて撹拌した後、混合物を静置することで分離した有機層を抽出した。得られた有機層を、イオン交換水（５０ｇ）を用いて３回洗浄した後、５０℃で、３０Ｔｏｒｒまで減圧して溶剤を除去することで、２価アルコール（１０５．１ｇ）を得た。内容量が１Ｌである３つ口フラスコに、２価アルコール（１００．０ｇ、０．０４４ｍｏｌ)、メタクリル酸（１１．５ｇ）、７０質量％メタンスルホン酸水溶液（０．９ｇ）、ハイドロキノン（０．２ｇ）、及びトルエン（２００ｍＬ）を加え、次いで、トルエン還流下で８時間エステル化を行なった。反応中に生成した水は、ディーンシュタークトラップにより除去した。反応終了後、混合物の温度を室温まで冷却し、得られた有機層を、５％水酸化ナトリウム水溶液（５０ｇ）を用いて１回、次いで、イオン交換水（５０ｇ）を用いて３回洗浄した。有機層にヒドロキノンモノメチルエーテル（０．０９ｇ）を加え、５０℃で、３０Ｔｏｒｒまで減圧して溶剤を除去することで、ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均１５モルのエチレンオキサイドと平均２モルのプロピレンオキサイドとが付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート（９０．０ｇ）を得た。
【0534】
＜仮支持体１の製造＞
以下の方法に従って、基材として用いるポリエステルフィルムの片面に被覆層形成用の塗布液を塗布し、次いで、延伸することによって仮支持体１を得た。
以下の方法に従って、基材として用いるポリエステルフィルムの片面に被覆層形成用の塗布液を塗布し、次いで、延伸することによって仮支持体１を得た。
【0535】
［被覆層形成用の塗布液の調製］
下記に示す成分を混合することで、被覆層形成用の塗布液を得た。得られた塗布液を、２．５μｍの孔径を有するフィルター（２５０ＰＧ、スリーエム ジャパン株式会社）を用いてろ過した後、脱気（ＳＥＰＡＲＥＬ ＥＦ－Ｇ５、ＤＩＣ株式会社）した。
・アクリルポリマー（ＡＳ－５６３Ａ、ダイセルファインケム株式会社、固形分：２７．５質量％）：１２５．３質量部
・ノニオン系界面活性剤（ナロアクティーＣＬ９５、三洋化成工業株式会社製、固形分：１００質量％）：０．７質量部
・アニオン系界面活性剤（ラピゾールＡ－９０、日油株式会社、固形分が１質量％の水希釈液）：１１１．４質量部
・カルナバワックス分散物（セロゾール５２４、中京油脂株式会社、固形分：３０質量％）：２６．５質量部
・カルボジイミド化合物（カルボジライトＶ－０２－Ｌ２、日清紡ケミカル株式会社、固形分が１０質量％の水希釈液）：１５．７質量部
・マット剤（スノーテックスＸＬ、日産化学株式会社、固形分：４０．５質量％）：２．８質量部
・水：７３９質量部
下記に示す成分を混合することで、被覆層形成用の塗布液を得た。得られた塗布液を、２．５μｍの孔径を有するフィルター（２５０ＰＧ、スリーエム ジャパン株式会社）を用いてろ過した後、脱気（ＳＥＰＡＲＥＬ ＥＦ－Ｇ５、ＤＩＣ株式会社）した。
・アクリルポリマー（ＡＳ－５６３Ａ、ダイセルファインケム株式会社、固形分：２７．５質量％）：１２５．３質量部
・ノニオン系界面活性剤（ナロアクティーＣＬ９５、三洋化成工業株式会社製、固形分：１００質量％）：０．７質量部
・アニオン系界面活性剤（ラピゾールＡ－９０、日油株式会社、固形分が１質量％の水希釈液）：１１１．４質量部
・カルナバワックス分散物（セロゾール５２４、中京油脂株式会社、固形分：３０質量％）：２６．５質量部
・カルボジイミド化合物（カルボジライトＶ－０２－Ｌ２、日清紡ケミカル株式会社、固形分が１０質量％の水希釈液）：１５．７質量部
・マット剤（スノーテックスＸＬ、日産化学株式会社、固形分：４０．５質量％）：２．８質量部
・水：７３９質量部
【0536】
［押出成形］
特許第５５７５６７１号公報に記載のチタン化合物を重合触媒として用いて合成したポリエチレンテレフタレートのペレットを、含水率が５０ｐｐｍ以下となるまで乾燥させた。乾燥後、ペレットを直径が３０ｍｍの２軸混練押出機のホッパーに投入し、２８０℃で溶融した。溶融体を、濾過器（孔径：２μｍ）に通した後、ダイから２５℃の冷却ロールに押し出すことで、未延伸フィルムを得た。ダイから押し出された溶融体は、静電印加法を用いて冷却ロールに密着させた。
特許第５５７５６７１号公報に記載のチタン化合物を重合触媒として用いて合成したポリエチレンテレフタレートのペレットを、含水率が５０ｐｐｍ以下となるまで乾燥させた。乾燥後、ペレットを直径が３０ｍｍの２軸混練押出機のホッパーに投入し、２８０℃で溶融した。溶融体を、濾過器（孔径：２μｍ）に通した後、ダイから２５℃の冷却ロールに押し出すことで、未延伸フィルムを得た。ダイから押し出された溶融体は、静電印加法を用いて冷却ロールに密着させた。
【0537】
［延伸及び塗布］
未延伸フィルムに対して、以下の方法によって逐次２軸延伸を施した。
未延伸フィルムに対して、以下の方法によって逐次２軸延伸を施した。
【0538】
（ａ）縦延伸
未延伸フィルムを周速の異なる２対のニップロールの間に通し、縦方向（搬送方向）に延伸した。具体的に、予熱温度を７７℃、延伸温度を１１０℃、延伸倍率を３．４倍、延伸速度を１，３００％／秒とする条件で、未延伸フィルムを延伸した。
未延伸フィルムを周速の異なる２対のニップロールの間に通し、縦方向（搬送方向）に延伸した。具体的に、予熱温度を７７℃、延伸温度を１１０℃、延伸倍率を３．４倍、延伸速度を１，３００％／秒とする条件で、未延伸フィルムを延伸した。
【0539】
（ｂ）塗布
縦延伸したフィルムの上に、被覆層形成用の塗布液をバーコーターで塗布した。被覆層形成用の塗布液の塗布量は、５．６ｇ／ｍ２とした。
縦延伸したフィルムの上に、被覆層形成用の塗布液をバーコーターで塗布した。被覆層形成用の塗布液の塗布量は、５．６ｇ／ｍ２とした。
【0540】
（ｃ）横延伸
被覆層形成用の塗布液を塗布したフィルムに対し、テンターを用いて下記条件にて横延伸した。
被覆層形成用の塗布液を塗布したフィルムに対し、テンターを用いて下記条件にて横延伸した。
【0541】
－横延伸の条件－
予熱温度：１１０℃
延伸温度：１２０℃
延伸倍率：４．２倍
延伸速度：５０％／秒
予熱温度：１１０℃
延伸温度：１２０℃
延伸倍率：４．２倍
延伸速度：５０％／秒
【0542】
［熱固定及び熱緩和］
横延伸したフィルムを下記条件で熱固定した。熱固定した後、テンター幅を縮め、下記条件で熱緩和した。
横延伸したフィルムを下記条件で熱固定した。熱固定した後、テンター幅を縮め、下記条件で熱緩和した。
【0543】
－熱工程条件－
熱固定温度：２２６℃
熱固定時間：５秒
熱固定温度：２２６℃
熱固定時間：５秒
【0544】
－熱緩和条件－
熱緩和温度：２１４℃
熱緩和率：４％
熱緩和温度：２１４℃
熱緩和率：４％
【0545】
［巻き取り］
熱緩和後、フィルムの両端をトリミングし、次いで、フィルムの両端部に１０ｍｍの幅で押出し加工（すなわち、ナーリング）を行なった後、４０ｋｇ／ｍの張力で巻き取った。得られたフィルムロールの幅は、１．５ｍであった。得られたフィルムロールの巻長は、６，３００ｍであった。得られたフィルムロールを実施例１の仮支持体（仮支持体１）とした。仮支持体１は、厚さが１６μｍの基材（ポリエステルフィルム）と、厚さが４０ｎｍの被覆層と、を有する。カルナバワックスの含有率は、仮支持体１の全質量に対して、０．００８質量％であった。１５０℃、３０分間の加熱による、仮支持体の基材の熱収縮率は、ＭＤ（ｍａｃｈｉｎｅ ｄｉｒｒｅｃｔｉｏｎ）において１．４％、ＴＤ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｄｉｒｒｅｃｔｉｏｎ）において０．８％であった。
熱緩和後、フィルムの両端をトリミングし、次いで、フィルムの両端部に１０ｍｍの幅で押出し加工（すなわち、ナーリング）を行なった後、４０ｋｇ／ｍの張力で巻き取った。得られたフィルムロールの幅は、１．５ｍであった。得られたフィルムロールの巻長は、６，３００ｍであった。得られたフィルムロールを実施例１の仮支持体（仮支持体１）とした。仮支持体１は、厚さが１６μｍの基材（ポリエステルフィルム）と、厚さが４０ｎｍの被覆層と、を有する。カルナバワックスの含有率は、仮支持体１の全質量に対して、０．００８質量％であった。１５０℃、３０分間の加熱による、仮支持体の基材の熱収縮率は、ＭＤ（ｍａｃｈｉｎｅ ｄｉｒｒｅｃｔｉｏｎ）において１．４％、ＴＤ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｄｉｒｒｅｃｔｉｏｎ）において０．８％であった。
【0546】
＜仮支持体２の製造＞
カルナバワックス分散物の添加量を１０．６質量部に変更したこと以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体２を製造した。仮支持体２におけるカルナバワックスの含有率は、０．００３質量％であった。
カルナバワックス分散物の添加量を１０．６質量部に変更したこと以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体２を製造した。仮支持体２におけるカルナバワックスの含有率は、０．００３質量％であった。
【0547】
＜仮支持体３の製造＞
カルナバワックス分散物の添加量を５．３質量部に変更した以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体３を製造した。仮支持体３におけるカルナバワックスの含有率は、０．００２質量％であった。
カルナバワックス分散物の添加量を５．３質量部に変更した以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体３を製造した。仮支持体３におけるカルナバワックスの含有率は、０．００２質量％であった。
【0548】
＜仮支持体４の製造＞
カルナバワックス分散物の添加量を２．７質量部に変更した以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体４を製造した。仮支持体４におけるカルナバワックスの含有率は、０．００１質量％であった。
カルナバワックス分散物の添加量を２．７質量部に変更した以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体４を製造した。仮支持体４におけるカルナバワックスの含有率は、０．００１質量％であった。
【0549】
＜仮支持体５の製造＞
カルナバワックス分散物の添加量を５３．０質量部に変更した以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体５を製造した。仮支持体５におけるカルナバワックスの含有率は、０．０１６質量％であった。
カルナバワックス分散物の添加量を５３．０質量部に変更した以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体５を製造した。仮支持体５におけるカルナバワックスの含有率は、０．０１６質量％であった。
【0550】
＜仮支持体６の製造＞
カルナバワックス分散物を添加しなかったこと以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体６を製造した。
カルナバワックス分散物を添加しなかったこと以外は、仮支持体１と同様の手順によって、仮支持体６を製造した。
【0551】
＜感光性樹脂組成物の調製＞
表１の記載の成分を混合した後、メチルエチルケトン、１－メトキシ－２－プロパノール、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合溶媒（５０／２５／２５、単位：質量％）を加えることによって、感光性樹脂組成物（固形分濃度：２５質量％）を調製した。
表１の記載の成分を混合した後、メチルエチルケトン、１－メトキシ－２－プロパノール、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合溶媒（５０／２５／２５、単位：質量％）を加えることによって、感光性樹脂組成物（固形分濃度：２５質量％）を調製した。
【0552】
【表1】
【0553】
表１において、「Ｂ－ＣＩＭ」は、２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾールを表す。
【0554】
＜実施例１＞
仮支持体１の基材（ポリエステルフィルム）の表面に、スリット状ノズルを用いて乾燥後の厚さが６μｍとなるように感光性樹脂組成物を塗布した。形成された感光性樹脂組成物の塗膜を９５℃で１００秒間かけて乾燥することで、感光性樹脂層を形成した。形成された感光性樹脂層の表面に、カバーフィルムとしてポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社、ＧＦ－８１８、厚さ：１９μｍ）を圧着することで、感光性転写材料を作製した。得られた感光性転写材料を巻き取ることで、ロール形態の感光性転写材料を作製した。
仮支持体１の基材（ポリエステルフィルム）の表面に、スリット状ノズルを用いて乾燥後の厚さが６μｍとなるように感光性樹脂組成物を塗布した。形成された感光性樹脂組成物の塗膜を９５℃で１００秒間かけて乾燥することで、感光性樹脂層を形成した。形成された感光性樹脂層の表面に、カバーフィルムとしてポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社、ＧＦ－８１８、厚さ：１９μｍ）を圧着することで、感光性転写材料を作製した。得られた感光性転写材料を巻き取ることで、ロール形態の感光性転写材料を作製した。
【0555】
＜実施例２～８、及び比較例１＞
仮支持体の種類、及び感光性樹脂層の厚さを表２の記載に従って適宜変更したこと以外は、実施例１の感光性転写材料と同様の手順によって、感光性転写材料を作製した。
仮支持体の種類、及び感光性樹脂層の厚さを表２の記載に従って適宜変更したこと以外は、実施例１の感光性転写材料と同様の手順によって、感光性転写材料を作製した。
【0556】
＜評価＞
［貼り合わせ工程におけるシワ］
厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの上に、スパッタリングによって厚さが２００ｎｍの銅層を形成することで、銅層付きＰＥＴ基板を作製した。ロール形態の感光性転写材料から送り出した感光性転写材料と銅層付きＰＥＴ基板とを、ロールツーロール方式によって真空ラミネーター(株式会社ＭＣＫ、ロール温度：１２０℃、線圧：１．０ＭＰａ、線速度：０．５ｍ／分)を用いて貼り合わせた。得られた積層体の層構成は、ＰＥＴフィルム／銅層／感光性樹脂層／仮支持体である。感光性転写材料と銅層付きＰＥＴ基板とを貼り合わせた後の仮支持体を目視で観察し、以下の基準に従って、シワの発生に関して評価した。以下の基準のうち、Ａ、Ｂ、又はＣを合格とする。評価結果を表２に示す。
Ａ：シワが全く見られない
Ｂ：数１００μｍ幅の弱いシワが１０ｃｍ幅あたり数本視認できる。
Ｃ：数１００μｍ幅の弱いシワが１０ｃｍ幅あたり１０本以上視認できる。
Ｄ：１ｍｍ幅以上の強いシワが視認できる。
［貼り合わせ工程におけるシワ］
厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの上に、スパッタリングによって厚さが２００ｎｍの銅層を形成することで、銅層付きＰＥＴ基板を作製した。ロール形態の感光性転写材料から送り出した感光性転写材料と銅層付きＰＥＴ基板とを、ロールツーロール方式によって真空ラミネーター(株式会社ＭＣＫ、ロール温度：１２０℃、線圧：１．０ＭＰａ、線速度：０．５ｍ／分)を用いて貼り合わせた。得られた積層体の層構成は、ＰＥＴフィルム／銅層／感光性樹脂層／仮支持体である。感光性転写材料と銅層付きＰＥＴ基板とを貼り合わせた後の仮支持体を目視で観察し、以下の基準に従って、シワの発生に関して評価した。以下の基準のうち、Ａ、Ｂ、又はＣを合格とする。評価結果を表２に示す。
Ａ：シワが全く見られない
Ｂ：数１００μｍ幅の弱いシワが１０ｃｍ幅あたり数本視認できる。
Ｃ：数１００μｍ幅の弱いシワが１０ｃｍ幅あたり１０本以上視認できる。
Ｄ：１ｍｍ幅以上の強いシワが視認できる。
【0557】
【表2】
【0558】
表２において「仮支持体」の欄に記載された性質及び平均厚さは、既述の方法によって測定した。表２に記載された「加熱処理前の水接触角」及び「加熱処理後の水接触角」における「加熱処理」とは、上記「仮支持体」の項で説明した１００℃で１５分間の加熱処理をいう。表２に記載された「加熱処理前のヘイズ」及び「加熱処理後のヘイズ」における「加熱処理」とは、上記「仮支持体」の項で説明した１２０℃で５分間の加熱処理をいう。表２において感光性樹脂層の平均厚さは、既述の方法によって測定した。
【0559】
表２は、比較例１に比べて、実施例１～８において仮支持体のシワの発生が抑制されていることを示す。
【0560】
＜回路配線の形成＞
実施例１～８の各感光性転写材料を用い、以下の手順によって回路配線を形成した。
実施例１～８の各感光性転写材料を用い、以下の手順によって回路配線を形成した。
【0561】
（ラミネート）
ＰＥＴフィルムに銅をスパッタし厚さ２００μｍの銅層を形成した銅基板上に、感光性転写材料のカバーフィルムを剥離し、感光性転写材料の剥離面を銅基板に接触させ、以下のラミネート条件でラミネートして積層体を得た。
－ラミネート条件－
銅基板の温度：４０℃
ゴムローラーの温度：１１０℃
線圧：３Ｎ／ｃｍ
搬送速度：２ｍ／分
ＰＥＴフィルムに銅をスパッタし厚さ２００μｍの銅層を形成した銅基板上に、感光性転写材料のカバーフィルムを剥離し、感光性転写材料の剥離面を銅基板に接触させ、以下のラミネート条件でラミネートして積層体を得た。
－ラミネート条件－
銅基板の温度：４０℃
ゴムローラーの温度：１１０℃
線圧：３Ｎ／ｃｍ
搬送速度：２ｍ／分
【0562】
（露光）
次いで、複数の幅のライン＆スペースを有する露光マスクを、積層体の感光性転写材料をラミネートした側における仮支持体に真空密着させ、露光マスクを介して、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）を用いて、レジストパターンの基板側とは逆側の最上部の幅がマスクの露光部の幅と同じになる露光量で露光した。
次いで、複数の幅のライン＆スペースを有する露光マスクを、積層体の感光性転写材料をラミネートした側における仮支持体に真空密着させ、露光マスクを介して、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）を用いて、レジストパターンの基板側とは逆側の最上部の幅がマスクの露光部の幅と同じになる露光量で露光した。
【0563】
（現像）
その後、露光した積層体から仮支持体を剥離し、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて２６℃、３０秒間での現像条件で現像処理した。次いで、純水を用いて、２６℃、溶解時間の１．５倍の時間で現像処理を行った。次いで、表面にエアを吹きかけて水分を除去し、樹脂パターンを有する基板を作製した。現像処理、及び、洗浄処理は、シャワー型の現像機を用い、スプレー圧は０．０８ＭＰａだった。
その後、露光した積層体から仮支持体を剥離し、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて２６℃、３０秒間での現像条件で現像処理した。次いで、純水を用いて、２６℃、溶解時間の１．５倍の時間で現像処理を行った。次いで、表面にエアを吹きかけて水分を除去し、樹脂パターンを有する基板を作製した。現像処理、及び、洗浄処理は、シャワー型の現像機を用い、スプレー圧は０．０８ＭＰａだった。
【0564】
（エッチング、及び、剥離）
樹脂パターンを有する基板に対し、２５℃の銅エッチング液（関東化学株式会社製、Ｃｕ－０２）を用いて６０秒間、銅層をシャワーエッチングした。その後、６０℃の剥離液（関東化学株式会社製ＫＰ－３０１）を用いて、２分間シャワー剥離を行うことで、樹脂パターンを除去し、回路配線を得た。
樹脂パターンを有する基板に対し、２５℃の銅エッチング液（関東化学株式会社製、Ｃｕ－０２）を用いて６０秒間、銅層をシャワーエッチングした。その後、６０℃の剥離液（関東化学株式会社製ＫＰ－３０１）を用いて、２分間シャワー剥離を行うことで、樹脂パターンを除去し、回路配線を得た。
【0565】
実施例１～８の各感光性転写材料を用いて得られた回路配線を光学顕微鏡で観察し、配線に欠け等見られないことを確認した。
【0566】
＜感光性樹脂組成物の調製＞
以下の表に示す組成を有する感光性樹脂組成物Ａ－１～Ａ－１０をそれぞれ調製した。
以下の表に示す組成を有する感光性樹脂組成物Ａ－１～Ａ－１０をそれぞれ調製した。
【0567】
【表3】
【0568】
（化合物Ｂ）
化合物Ｂの構造を以下に示す。
化合物Ｂの構造を以下に示す。
【0569】
【化27】
【0570】
（化合物Ｃ）
化合物Ｃの構造を以下に示す。
化合物Ｃの構造を以下に示す。
【0571】
【化28】
【0572】
（Ｐ－１溶液の準備）
Ｐ－１溶液として、下記の構造を有する重合体Ｐ－１の固形分３６．３質量％溶液（溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を用いた。重合体Ｐ－１は、アルカリ可溶性樹脂である。重合体Ｐ－１において、各構成単位の右下の数値は、各構成単位の含有比率（モル％）を示す。Ｐ－１溶液は、下記に示す重合工程及び付加工程により準備した。
Ｐ－１溶液として、下記の構造を有する重合体Ｐ－１の固形分３６．３質量％溶液（溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を用いた。重合体Ｐ－１は、アルカリ可溶性樹脂である。重合体Ｐ－１において、各構成単位の右下の数値は、各構成単位の含有比率（モル％）を示す。Ｐ－１溶液は、下記に示す重合工程及び付加工程により準備した。
【0573】
－重合工程－
２０００ｍＬのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（三和化学産業株式会社製、商品名ＰＧＭ－Ａｃ）（６０ｇ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（三和化学産業株式会社製、商品名ＰＧＭ）（２４０ｇ）を導入した。得られた液体を、撹拌速度２５０ｒｐｍ（round per minute；以下同じ。）で撹拌しつつ９０℃に昇温した。
滴下液（１）の調製として、メタクリル酸（三菱レイヨン株式会社製、商品名アクリエステルＭ）（１０７．１ｇ）、メタクリル酸メチル（三菱ガス化学株式会社製、商品名ＭＭＡ）（５．４６ｇ）、及び、シクロヘキシルメタクリレート（三菱ガス化学株式会社製、商品名ＣＨＭＡ）（２３１．４２ｇ）を混合し、ＰＧＭ－Ａｃ（６０ｇ）で希釈することにより、滴下液（１）を得た。
滴下液（２）の調製として、ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）（富士フイルム和光純薬株式会社製、商品名Ｖ－６０１）（９．６３７ｇ）をＰＧＭ－Ａｃ（１３６．５６ｇ）で溶解させることにより、滴下液（２）を得た。
滴下液（１）と滴下液（２）とを同時に３時間かけて、上述した２０００ｍＬのフラスコ（詳細には、９０℃に昇温された液体が入った２０００ｍＬのフラスコ）に滴下した。
次に、滴下液（１）の容器をＰＧＭ－Ａｃ（１２ｇ）で洗浄し、洗浄液を上記２０００ｍＬのフラスコに滴下した。次に、滴下液（２）の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を上記２０００ｍＬのフラスコに滴下した。これらの滴下中、上記２０００ｍＬのフラスコ内の反応液を９０℃に保ち、撹拌速度２５０ｒｐｍで撹拌した。更に、後反応として、９０℃で１時間撹拌した。
後反応後の反応液に、開始剤の追加添加１回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を添加した。更に、Ｖ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後、９０℃で１時間撹拌した。
次に、開始剤の追加添加２回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を反応液に添加した。更にＶ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後９０℃で１時間撹拌した。
次に、開始剤の追加添加３回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を反応液に添加した。更に、Ｖ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後９０℃で３時間撹拌した。
２０００ｍＬのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（三和化学産業株式会社製、商品名ＰＧＭ－Ａｃ）（６０ｇ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（三和化学産業株式会社製、商品名ＰＧＭ）（２４０ｇ）を導入した。得られた液体を、撹拌速度２５０ｒｐｍ（round per minute；以下同じ。）で撹拌しつつ９０℃に昇温した。
滴下液（１）の調製として、メタクリル酸（三菱レイヨン株式会社製、商品名アクリエステルＭ）（１０７．１ｇ）、メタクリル酸メチル（三菱ガス化学株式会社製、商品名ＭＭＡ）（５．４６ｇ）、及び、シクロヘキシルメタクリレート（三菱ガス化学株式会社製、商品名ＣＨＭＡ）（２３１．４２ｇ）を混合し、ＰＧＭ－Ａｃ（６０ｇ）で希釈することにより、滴下液（１）を得た。
滴下液（２）の調製として、ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）（富士フイルム和光純薬株式会社製、商品名Ｖ－６０１）（９．６３７ｇ）をＰＧＭ－Ａｃ（１３６．５６ｇ）で溶解させることにより、滴下液（２）を得た。
滴下液（１）と滴下液（２）とを同時に３時間かけて、上述した２０００ｍＬのフラスコ（詳細には、９０℃に昇温された液体が入った２０００ｍＬのフラスコ）に滴下した。
次に、滴下液（１）の容器をＰＧＭ－Ａｃ（１２ｇ）で洗浄し、洗浄液を上記２０００ｍＬのフラスコに滴下した。次に、滴下液（２）の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を上記２０００ｍＬのフラスコに滴下した。これらの滴下中、上記２０００ｍＬのフラスコ内の反応液を９０℃に保ち、撹拌速度２５０ｒｐｍで撹拌した。更に、後反応として、９０℃で１時間撹拌した。
後反応後の反応液に、開始剤の追加添加１回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を添加した。更に、Ｖ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後、９０℃で１時間撹拌した。
次に、開始剤の追加添加２回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を反応液に添加した。更にＶ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後９０℃で１時間撹拌した。
次に、開始剤の追加添加３回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を反応液に添加した。更に、Ｖ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後９０℃で３時間撹拌した。
【0574】
－付加工程－
９０℃で３時間撹拌後、ＰＧＭ－Ａｃ（１７８．６６ｇ）を反応液へ導入した。次に、テトラエチルアンモニウムブロミド（富士フイルム和光純薬株式会社製）（１．８ｇ）とハイドロキノンモノメチルエーテル（富士フイルム和光純薬株式会社製）（０．８ｇ）とを反応液に添加した。更にそれぞれの容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液へ導入した。その後、反応液の温度を１００℃まで昇温させた。
次に、グリシジルメタクリレート（日油株式会社製、商品名ブレンマーＧ）（７６．０３ｇ）を１時間かけて反応液に滴下した。ブレンマーＧの容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。この後、付加反応として、１００℃で６時間撹拌した。
次に、反応液を冷却し、ゴミ取り用のメッシュフィルター（１００メッシュ）でろ過し、重合体Ｐ－１の溶液（１１５８ｇ）を得た（固形分濃度３６．３質量％）。得られた重合体Ｐ－１の重量平均分子量は２７０００、数平均分子量は１５０００、酸価は９５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。重合体Ｐ－１の構造を以下に示す。式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、５１．５：２：２６．５：２０であった。
９０℃で３時間撹拌後、ＰＧＭ－Ａｃ（１７８．６６ｇ）を反応液へ導入した。次に、テトラエチルアンモニウムブロミド（富士フイルム和光純薬株式会社製）（１．８ｇ）とハイドロキノンモノメチルエーテル（富士フイルム和光純薬株式会社製）（０．８ｇ）とを反応液に添加した。更にそれぞれの容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液へ導入した。その後、反応液の温度を１００℃まで昇温させた。
次に、グリシジルメタクリレート（日油株式会社製、商品名ブレンマーＧ）（７６．０３ｇ）を１時間かけて反応液に滴下した。ブレンマーＧの容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。この後、付加反応として、１００℃で６時間撹拌した。
次に、反応液を冷却し、ゴミ取り用のメッシュフィルター（１００メッシュ）でろ過し、重合体Ｐ－１の溶液（１１５８ｇ）を得た（固形分濃度３６．３質量％）。得られた重合体Ｐ－１の重量平均分子量は２７０００、数平均分子量は１５０００、酸価は９５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。重合体Ｐ－１の構造を以下に示す。式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、５１．５：２：２６．５：２０であった。
【0575】
【化29】
【0576】
（Ｐ－２溶液の準備）
以下の方法に従って、Ｐ－２溶液として、重合体Ｐ－２の固形分３６．５質量％溶液を準備した。重合体Ｐ－２は、アルカリ可溶性樹脂である。プロピレングリコールモノメチルエーテル８２．４ｇをフラスコに仕込み窒素気流下９０℃に加熱した。この液にスチレン３８．４ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート３０．１ｇ、メタクリル酸３４．０ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル２０ｇに溶解させた溶液、及び、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）５．４ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４３．６ｇに溶解させた溶液を同時に３時間かけて滴下した。滴下終了後、１時間おきに３回Ｖ－６０１を０．７５ｇ添加した。その後更に３時間反応させた。その後プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５８．４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１１．７ｇで希釈した。空気気流下、反応液を１００℃に昇温し、テトラエチルアンモニウムブロミド０．５３ｇ、ｐ－メトキシフェノール０．２６ｇを添加した。これにグリシジルメタクリレート（日油株式会社製ブレンマーＧＨ）２５．５ｇを２０分かけて滴下した。これを１００℃で７時間反応させ、重合体Ｐ－２の溶液を得た。得られた溶液の固形分濃度は３６．５質量％であった。重合体Ｐ－２に関して、ＧＰＣにおける標準ポリスチレン換算の重量平均分子量は１７０００、分散度は２．４、酸価は９５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量はいずれのモノマーにおいても重合体Ｐ－２の固形分に対し０．１質量％未満であった。重合体Ｐ－２の構造を以下に示す。式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、４１．０：１５．２：２３．９：１９．９であった。
以下の方法に従って、Ｐ－２溶液として、重合体Ｐ－２の固形分３６．５質量％溶液を準備した。重合体Ｐ－２は、アルカリ可溶性樹脂である。プロピレングリコールモノメチルエーテル８２．４ｇをフラスコに仕込み窒素気流下９０℃に加熱した。この液にスチレン３８．４ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート３０．１ｇ、メタクリル酸３４．０ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル２０ｇに溶解させた溶液、及び、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）５．４ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４３．６ｇに溶解させた溶液を同時に３時間かけて滴下した。滴下終了後、１時間おきに３回Ｖ－６０１を０．７５ｇ添加した。その後更に３時間反応させた。その後プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５８．４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１１．７ｇで希釈した。空気気流下、反応液を１００℃に昇温し、テトラエチルアンモニウムブロミド０．５３ｇ、ｐ－メトキシフェノール０．２６ｇを添加した。これにグリシジルメタクリレート（日油株式会社製ブレンマーＧＨ）２５．５ｇを２０分かけて滴下した。これを１００℃で７時間反応させ、重合体Ｐ－２の溶液を得た。得られた溶液の固形分濃度は３６．５質量％であった。重合体Ｐ－２に関して、ＧＰＣにおける標準ポリスチレン換算の重量平均分子量は１７０００、分散度は２．４、酸価は９５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量はいずれのモノマーにおいても重合体Ｐ－２の固形分に対し０．１質量％未満であった。重合体Ｐ－２の構造を以下に示す。式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、４１．０：１５．２：２３．９：１９．９であった。
【0577】
【化30】
【0578】
（Ｐ－３溶液の準備）
以下の方法に従って、Ｐ－３溶液として、重合体Ｐ－３の固形分３６．２質量％溶液を準備した。重合体Ｐ－３は、アルカリ可溶性樹脂である。プロピレングリコールモノメチルエーテル１１３．５ｇをフラスコに仕込み窒素気流下９０℃に加熱した。この液にスチレン１７２ｇ、メタクリル酸メチル４．７ｇ、メタクリル酸１１２．１ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル３０ｇに溶解させた溶液、及び、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）２７．６ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル５７．７ｇに溶解させた溶液を同時に３時間かけて滴下した。滴下終了後、１時間おきに３回Ｖ－６０１を２．５ｇ添加した。その後更に３時間反応させた。その後プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１６０．７ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル２３３．３ｇで希釈した。空気気流下、反応液を１００℃に昇温し、テトラエチルアンモニウムブロミド１．８ｇ、ｐ－メトキシフェノール０．８６ｇを添加した。これにグリシジルメタクリレート（日油株式会社製ブレンマーＧ）７１．９ｇを２０分かけて滴下した。これを１００℃で７時間反応させ、重合体Ｐ－３の溶液を得た。得られた溶液の固形分濃度は３６．２％であった。重合体Ｐ－３に関して、ＧＰＣにおける標準ポリスチレン換算の重量平均分子量は１８０００、分散度は２．３、酸価は１２４ｍｇＫＯＨ／ｇであった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量はいずれのモノマーにおいても重合体Ｐ－３の固形分に対し０．１質量％未満であった。重合体Ｐ－３の構造を以下に示す。式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、５５．１：２６．５：１．６：１６．８であった。
以下の方法に従って、Ｐ－３溶液として、重合体Ｐ－３の固形分３６．２質量％溶液を準備した。重合体Ｐ－３は、アルカリ可溶性樹脂である。プロピレングリコールモノメチルエーテル１１３．５ｇをフラスコに仕込み窒素気流下９０℃に加熱した。この液にスチレン１７２ｇ、メタクリル酸メチル４．７ｇ、メタクリル酸１１２．１ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル３０ｇに溶解させた溶液、及び、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）２７．６ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル５７．７ｇに溶解させた溶液を同時に３時間かけて滴下した。滴下終了後、１時間おきに３回Ｖ－６０１を２．５ｇ添加した。その後更に３時間反応させた。その後プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１６０．７ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル２３３．３ｇで希釈した。空気気流下、反応液を１００℃に昇温し、テトラエチルアンモニウムブロミド１．８ｇ、ｐ－メトキシフェノール０．８６ｇを添加した。これにグリシジルメタクリレート（日油株式会社製ブレンマーＧ）７１．９ｇを２０分かけて滴下した。これを１００℃で７時間反応させ、重合体Ｐ－３の溶液を得た。得られた溶液の固形分濃度は３６．２％であった。重合体Ｐ－３に関して、ＧＰＣにおける標準ポリスチレン換算の重量平均分子量は１８０００、分散度は２．３、酸価は１２４ｍｇＫＯＨ／ｇであった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量はいずれのモノマーにおいても重合体Ｐ－３の固形分に対し０．１質量％未満であった。重合体Ｐ－３の構造を以下に示す。式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、５５．１：２６．５：１．６：１６．８であった。
【0579】
【化31】
【0580】
（Ｐ－４溶液の準備）
重合体Ｐ－３の合成において、モノマーの種類と量を変更することにより、Ｐ－４溶液として、重合体Ｐ－４の固形分３６．２質量％溶液（溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を準備した。重合体Ｐ－４は、アルカリ可溶性樹脂である。得られた重合体Ｐ－４の重量平均分子量は１８０００、分散度は２．３、酸価は１２４ｍｇＫＯＨ／ｇであった。重合体Ｐ－４の構造を以下に示す。以下、式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、５５．１：２４．６：１．６：１７．０：１．７であった。
重合体Ｐ－３の合成において、モノマーの種類と量を変更することにより、Ｐ－４溶液として、重合体Ｐ－４の固形分３６．２質量％溶液（溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を準備した。重合体Ｐ－４は、アルカリ可溶性樹脂である。得られた重合体Ｐ－４の重量平均分子量は１８０００、分散度は２．３、酸価は１２４ｍｇＫＯＨ／ｇであった。重合体Ｐ－４の構造を以下に示す。以下、式中の繰り返し単位のモル比は、左側の繰り返し単位から順に、５５．１：２４．６：１．６：１７．０：１．７であった。
【0581】
【化32】
【0582】
＜屈折率調整層形成用組成物の調製＞
次に、以下の表に記載の組成を有する屈折率調整層形成用組成物Ｂ－１～Ｂ－４をそれぞれ調製した。以下の表中の数値は、「質量部」を表す。
次に、以下の表に記載の組成を有する屈折率調整層形成用組成物Ｂ－１～Ｂ－４をそれぞれ調製した。以下の表中の数値は、「質量部」を表す。
【0583】
【表4】
【0584】
（ポリマーＡ）
上記表中のポリマーＡは以下のとおり合成を行った。
１Ｌの三口フラスコに１－メトキシプロパノール（東京化成工業株式会社製）（２７０．０ｇ）を導入し、撹拌しつつ窒素気流下で７０℃に昇温させた。一方、アリルメタクリレート（４５．６ｇ）(富士フイルム和光純薬株式会社製)、および、メタクリル酸（１４．４ｇ）(富士フイルム和光純薬株式会社製)を１－メトキシプロパノール（東京化成工業株式会社製）（２７０．０ｇ）に溶解させ、更にＶ－６５（富士フイルム和光純薬株式会社製）を３．９４ｇ溶解させることで滴下液を作製し、フラスコ中へ２．５時間かけて滴下液の滴下を行った。そのまま２．０時間、撹拌状態を保持し反応を行った。
その後、温度を室温まで戻し、撹拌状態のイオン交換水（２．７Ｌ）へ滴下し、再沈殿を実施し、研濁液を得た。ろ紙を引いたヌッチェにて研濁液を導入することでろ過を行い、濾過物をさらにイオン交換水で洗浄し、湿潤状態の粉体を得た。４５℃の送風乾燥にかけ、恒量になったことを確認し、粉体として収率７０％でポリマーＡを得た。
得られたポリマーＡのメタクリル酸／メタクリル酸アリルの比率は７６質量％／２４質量％であった。重量平均分子量Ｍｗは３８０００であった。
上記表中のポリマーＡは以下のとおり合成を行った。
１Ｌの三口フラスコに１－メトキシプロパノール（東京化成工業株式会社製）（２７０．０ｇ）を導入し、撹拌しつつ窒素気流下で７０℃に昇温させた。一方、アリルメタクリレート（４５．６ｇ）(富士フイルム和光純薬株式会社製)、および、メタクリル酸（１４．４ｇ）(富士フイルム和光純薬株式会社製)を１－メトキシプロパノール（東京化成工業株式会社製）（２７０．０ｇ）に溶解させ、更にＶ－６５（富士フイルム和光純薬株式会社製）を３．９４ｇ溶解させることで滴下液を作製し、フラスコ中へ２．５時間かけて滴下液の滴下を行った。そのまま２．０時間、撹拌状態を保持し反応を行った。
その後、温度を室温まで戻し、撹拌状態のイオン交換水（２．７Ｌ）へ滴下し、再沈殿を実施し、研濁液を得た。ろ紙を引いたヌッチェにて研濁液を導入することでろ過を行い、濾過物をさらにイオン交換水で洗浄し、湿潤状態の粉体を得た。４５℃の送風乾燥にかけ、恒量になったことを確認し、粉体として収率７０％でポリマーＡを得た。
得られたポリマーＡのメタクリル酸／メタクリル酸アリルの比率は７６質量％／２４質量％であった。重量平均分子量Ｍｗは３８０００であった。
【0585】
＜実施例９～２４＞
仮支持体１の上に、スリット状ノズルを用いて、塗布量を、乾燥後の膜厚が以下の表に記載の厚みになる塗布量に調整し、以下の表に記載の感光性樹脂組成物Ａ－１～Ａ－１０のいずれか１種を塗布し、感光性樹脂層を形成した。１００℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させた後、スリット状ノズルを用いて、以下の表の組み合わせにて、屈折率調整層形成用組成物Ｂ－１～Ｂ－４のいずれか１種を用いて、塗布量を、乾燥後の膜厚が以下の表に記載の膜厚になる量に調整して感光性樹脂層の上に塗布した後、８０℃の乾燥温度で乾燥させ、屈折率調整層を形成した。屈折率調整層の上に保護フィルム（ルミラー１６ＫＳ４０、東レ（株）製）を圧着し、感光性転写材料１～１６を作製した。
仮支持体１の上に、スリット状ノズルを用いて、塗布量を、乾燥後の膜厚が以下の表に記載の厚みになる塗布量に調整し、以下の表に記載の感光性樹脂組成物Ａ－１～Ａ－１０のいずれか１種を塗布し、感光性樹脂層を形成した。１００℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させた後、スリット状ノズルを用いて、以下の表の組み合わせにて、屈折率調整層形成用組成物Ｂ－１～Ｂ－４のいずれか１種を用いて、塗布量を、乾燥後の膜厚が以下の表に記載の膜厚になる量に調整して感光性樹脂層の上に塗布した後、８０℃の乾燥温度で乾燥させ、屈折率調整層を形成した。屈折率調整層の上に保護フィルム（ルミラー１６ＫＳ４０、東レ（株）製）を圧着し、感光性転写材料１～１６を作製した。
【0586】
【表5】
【0587】
＜評価＞
［貼り合わせ工程におけるシワ］
既述した実施例１の評価方法と同じ方法によって、感光性転写材料と銅層付きＰＥＴ基板とを貼り合わせた後の仮支持体を目視で観察し、シワの発生に関して評価した。評価結果を表６に示す
［貼り合わせ工程におけるシワ］
既述した実施例１の評価方法と同じ方法によって、感光性転写材料と銅層付きＰＥＴ基板とを貼り合わせた後の仮支持体を目視で観察し、シワの発生に関して評価した。評価結果を表６に示す
【0588】
【表6】
【0589】
本開示に係る感光性転写材料は、フォトリソグラフィーによる精密微細加工が必要な各種用途に好適に用いることができる。感光性樹脂層をパターニングした後に、感光樹脂層を被膜としてエッチングをしてもよく、又は電気めっきを主体とするエレクトロフォーミングを行ってもよい。また、パターニングによって得られた硬化膜は、永久膜として使用してもよい。硬化膜は、例えば、層間絶縁膜、配線保護膜、又はインデックスマッチング層を有する配線保護膜として用いてもよい。また、本開示に係る感光性転写材料は、例えば、半導体パッケージ、プリント基板、センサー基板の各種配線形成用途、タッチパネル、電磁波シールド材、フィルムヒーターのような導電性フィルム、液晶シール材、マイクロマシンやマイクロエレクトロニクス分野における構造物の形成等の用途に好適に使用し得る。
【0590】
２０２０年３月１９日に出願された日本国特許出願２０２０－０４９９５０号、２０２０年１０月１２日に出願された日本国特許出願２０２０－１７２１５４号及び２０２０年１２月１５日に出願された日本国特許出願２０２０－２０７８１１号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記載された場合と同程度に、本明細書に参照により取り込まれる。
【符号の説明】
【0591】
１０：仮支持体
１２：感光性樹脂層
１４：カバーフィルム
１００：感光性転写材料
ＤＬ：アライメント合せの枠
Ｇ：非画像部（遮光部）
ＳＬ：非画像部（遮光部）
１２：感光性樹脂層
１４：カバーフィルム
１００：感光性転写材料
ＤＬ：アライメント合せの枠
Ｇ：非画像部（遮光部）
ＳＬ：非画像部（遮光部）
【図1】
【図2】
【図3】
