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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-01-11
(45)【発行日】2024-01-19
(54)【発明の名称】研磨プレート
(51)【国際特許分類】
B24B 37/12 20120101AFI20240112BHJP
B24B 37/16 20120101ALI20240112BHJP
B24D 3/00 20060101ALI20240112BHJP
B24D 7/00 20060101ALI20240112BHJP
B24D 7/08 20060101ALI20240112BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20240112BHJP
【ＦＩ】
B24B37/12 C
B24B37/16
B24D3/00 310F
B24D7/00 P
B24D7/08
H01L21/304 622F
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020117486
(22)【出願日】2020-07-08
(65)【公開番号】P2022014952
(43)【公開日】2022-01-21
【審査請求日】2022-11-28
(73)【特許権者】
【識別番号】398046921
【氏名又は名称】株式会社ナノテム
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100195648
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 悠太
(74)【代理人】
【識別番号】100175019
【弁理士】
【氏名又は名称】白井 健朗
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼田 篤
(72)【発明者】
【氏名】大橋 恭介
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼田 大地
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼田 大和
【審査官】須中 栄治
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－０１３２２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－０３９３３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１９／０６９８４７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０２０－０４９５７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０２０／１８９３６８（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｄ３／００－９９／００
Ｂ２４Ｂ３７／００－３７／３４
Ｈ０１Ｌ２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークを研磨する研磨面に沿って間隔を持って並べられ、前記研磨面に交わる方向に延びる複数の柱部と、前記複数の柱部と別部材で形成され、前記複数の柱部を保持する保持材と、を備え、
前記複数の柱部は、前記研磨面に沿って隙間なく並べられた仮想的な六角形の各角部に配置され、前記研磨面上に位置する先端面にて前記ワークを研磨し、
前記複数の柱部は、それぞれ、前記研磨面に交わる方向に延び、前記仮想的な六角形の角部を交点として互いに異なる方向であって前記仮想的な六角形の辺に沿う方向に延びる第１～第３板状部を備え、
前記複数の柱部の間の前記間隔は、前記仮想的な六角形の辺の中央部に前記第１～第３板状部が形成されないことにより、空けられている、
研磨プレート。
【請求項2】
ワークを研磨する研磨面に沿って並べられ、前記研磨面に交わる方向に延びる複数の柱部と、
前記複数の柱部と別部材で形成され、前記複数の柱部を保持する保持材と、を備え、
前記柱部は、
前記研磨面に交わる方向に延び、前記研磨面に交わる方向から見てそれぞれＶ字状をなし、それぞれ異なる方向に向けて開口するように配置される３つのＶ字板材と、
前記３つのＶ字板材の間のＹ字状の隙間に設けられ、前記３つのＶ字板材を接着する接着層と、
前記接着層内に設けられる複数の固定砥粒と、を備える、
研磨プレート。
【請求項3】
前記柱部は、前記研磨プレートが回転しているときに遊離砥粒を前記ワークとの間で転がす先端面を備える、請求項１又は２に記載の研磨プレート。
【請求項4】
前記柱部は、
前記研磨面に交わる方向に延び、前記研磨面に交わる方向から見てそれぞれＶ字状をなし、それぞれ異なる方向に向けて開口するように配置される３つのＶ字板材と、
前記３つのＶ字板材の間のＹ字状の隙間に設けられ、前記３つのＶ字板材を接着する接着層と、
前記接着層内に設けられる複数の固定砥粒と、を備え、
前記第１～第３板状部は、前記３つのＶ字板材、前記接着層及び前記複数の固定砥粒から構成されている、
請求項１に記載の研磨プレート。
【請求項5】
前記複数の柱部は、前記研磨面に沿って隙間なく並べられた仮想的な六角形の各角部に配置され、前記複数の柱部は、それぞれ、前記研磨面に交わる方向に延び、前記仮想的な六角形の角部を交点として互いに異なる方向であって前記仮想的な六角形の辺に沿う方向に延びる第１～第３板状部を備え、
前記第１～第３板状部は、前記３つのＶ字板材、前記接着層及び前記複数の固定砥粒から構成されている、
請求項２に記載の研磨プレート。
【請求項6】
前記研磨面に沿う単位面積あたりの前記柱部の数は前記研磨プレートの径方向の内側に向かうにつれて多くなる、請求項１から５の何れか１項に記載の研磨プレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、研磨プレートに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、特許文献１に記載の研磨定盤は、断面Ｕ字状の溝が同心円に沿って形成される研磨平面を備える。研磨平面に溝が形成されることにより、加工圧を調整することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平８－２５２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献１に記載の構成においては、加工圧を調整するために研磨平面に溝を形成する加工を行う必要があり、研磨定盤の製造に手間がかかっていた。
【0005】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、加工圧を調整可能としつつ、より簡単に製造することができる研磨プレートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る研磨プレートは、ワークを研磨する研磨面に沿って間隔を持って並べられ、前記研磨面に交わる方向に延びる複数の柱部と、前記複数の柱部と別部材で形成され、前記複数の柱部を保持する保持材と、を備え、前記複数の柱部は、前記研磨面に沿って隙間なく並べられた仮想的な六角形の各角部に配置され、前記研磨面上に位置する先端面にて前記ワークを研磨し、前記複数の柱部は、それぞれ、前記研磨面に交わる方向に延び、前記仮想的な六角形の角部を交点として互いに異なる方向であって前記仮想的な六角形の辺に沿う方向に延びる第１～第３板状部を備え、前記複数の柱部の間の前記間隔は、前記仮想的な六角形の辺の中央部に前記第１～第３板状部が形成されないことにより、空けられている。
【0007】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る研磨プレートは、ワークを研磨する研磨面に沿って並べられ、前記研磨面に交わる方向に延びる複数の柱部と、前記複数の柱部と別部材で形成され、前記複数の柱部を保持する保持材と、を備え、前記柱部は、前記研磨面に交わる方向に延び、前記研磨面に交わる方向から見てそれぞれＶ字状をなし、それぞれ異なる方向に向けて開口するように配置される３つのＶ字板材と、前記３つのＶ字板材の間のＹ字状の隙間に設けられ、前記３つのＶ字板材を接着する接着層と、前記接着層内に設けられる複数の固定砥粒と、を備える。
【0008】
また、前記柱部は、前記研磨プレートが回転しているときに遊離砥粒を前記ワークとの間で転がす先端面を備える、ようにしてもよい。
【0009】
また、前記柱部は、前記研磨面に交わる方向に延び、前記研磨面に交わる方向から見てそれぞれＶ字状をなし、それぞれ異なる方向に向けて開口するように配置される３つのＶ字板材と、前記３つのＶ字板材の間のＹ字状の隙間に設けられ、前記３つのＶ字板材を接着する接着層と、前記接着層内に設けられる複数の固定砥粒と、を備え、前記第１～第３板状部は、前記３つのＶ字板材、前記接着層及び前記複数の固定砥粒から構成されている、ようにしてもよい。
【0010】
また、前記複数の柱部は、前記研磨面に沿って隙間なく並べられた仮想的な六角形の各角部に配置され、前記複数の柱部は、それぞれ、前記研磨面に交わる方向に延び、前記仮想的な六角形の角部を交点として互いに異なる方向であって前記仮想的な六角形の辺に沿う方向に延びる第１～第３板状部を備え、前記第１～第３板状部は、前記３つのＶ字板材、前記接着層及び前記複数の固定砥粒から構成されている、ようにしてもよい。
【0013】
また、前記研磨面に沿う単位面積あたりの前記柱部の数は前記研磨プレートの径方向の内側に向かうにつれて多くなる、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、研磨プレートにおいて、加工圧を調整可能としつつ、より簡単に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の第１の実施形態に係る研磨プレートの断面図である。
【図2】本発明の第１の実施形態に係る研磨プレートの上面図である。
【図6】本発明の第２の実施形態に係る研磨プレートの一部を拡大した上面図である。
【図8】本発明の変形例に係る（ａ）及び（ｂ）は研磨プレートの一部を拡大した上面図である。
【図9】本発明の変形例に係る研磨プレートの一部を拡大した上面図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る研磨プレートについて図面を参照して説明する。
図１に示すように、研磨装置５は、研磨プレート１と、回転軸Ｏを中心に研磨プレート１を回転させる駆動部６と、ワークＷを保持するワーク保持部７と、研磨プレート１に複数の遊離砥粒４０を含む液体研磨剤であるスラリー４１を供給するスラリー供給部４５と、を備える。研磨プレート１は、ワークＷを研磨する研磨面１０ａを有する研磨部１０と、研磨部１０を保持するホルダー２０と、を備える。
ワークＷは、例えば、シリコンウエハ、セラミックス、半導体基板、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）基板、放熱基板、シリコンカーバイド、アルミナ、サファイア又は金属等である。
本発明の第１の実施形態に係る研磨プレートについて図面を参照して説明する。
図１に示すように、研磨装置５は、研磨プレート１と、回転軸Ｏを中心に研磨プレート１を回転させる駆動部６と、ワークＷを保持するワーク保持部７と、研磨プレート１に複数の遊離砥粒４０を含む液体研磨剤であるスラリー４１を供給するスラリー供給部４５と、を備える。研磨プレート１は、ワークＷを研磨する研磨面１０ａを有する研磨部１０と、研磨部１０を保持するホルダー２０と、を備える。
ワークＷは、例えば、シリコンウエハ、セラミックス、半導体基板、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）基板、放熱基板、シリコンカーバイド、アルミナ、サファイア又は金属等である。
【0017】
図１に示すように、ホルダー２０は円板状に形成され、研磨部１０の裏面から研磨部１０を支持する。ホルダー２０は、接着剤又はビス等の固定手段により研磨部１０の裏面に固定される。ホルダー２０は、研磨部１０と一体で、駆動部６により回転軸Ｏを中心に回転させられる。
【0018】
図１及び図２に示すように、研磨部１０は、回転軸Ｏに直交する方向に延びる平板円環状をなす。研磨部１０の中心には研磨部１０の厚さ方向に沿う回転軸Ｏが通過する。研磨部１０は表裏対称に形成される。
図３に示すように、研磨部１０は、複数の柱部１１と、複数の柱部１１を保持する保持材１９と、を備える。複数の柱部１１は、それぞれ同一の形状及びサイズの板状に形成される。
各柱部１１は、研磨面１０ａに直交する回転軸Ｏに沿う方向から見てＹ字状に形成されている。各柱部１１は、銅、錫、鉛、鋳鉄等から選択された単独金属又は混合金属から構成されている。図５に示すように、研磨時には、柱部１１の先端面１１ｄには後述する遊離砥粒４０が引っ掛かる。柱部１１が回転軸Ｏに沿う板状をなすため、柱部１１の先端面１１ｄの面積が大きくなることが抑制される。これにより、研磨面１０ａが複数の遊離砥粒４０を介してワークＷを押す加工圧が大きくなり、研磨レートを増やすことができる。
図３に示すように、研磨部１０は、複数の柱部１１と、複数の柱部１１を保持する保持材１９と、を備える。複数の柱部１１は、それぞれ同一の形状及びサイズの板状に形成される。
各柱部１１は、研磨面１０ａに直交する回転軸Ｏに沿う方向から見てＹ字状に形成されている。各柱部１１は、銅、錫、鉛、鋳鉄等から選択された単独金属又は混合金属から構成されている。図５に示すように、研磨時には、柱部１１の先端面１１ｄには後述する遊離砥粒４０が引っ掛かる。柱部１１が回転軸Ｏに沿う板状をなすため、柱部１１の先端面１１ｄの面積が大きくなることが抑制される。これにより、研磨面１０ａが複数の遊離砥粒４０を介してワークＷを押す加工圧が大きくなり、研磨レートを増やすことができる。
【0019】
図３に示すように、複数の柱部１１は、隙間なく並べられた仮想六角形Ｈｘの各角部に配置される。複数の柱部１１は、仮想六角形Ｈｘの辺の中央部が省略された形状で形成される。
仮想六角形Ｈｘは研磨部１０の周方向Ｃ及び径方向Ｒに沿って並べられる。仮想六角形Ｈｘの面積は径方向Ｒの内側の列となるにつれて小さくなる。例えば、周方向Ｃに沿う第１列Ｌ１には仮想六角形Ｈｘ１が並び、周方向Ｃに沿う第２列Ｌ２には仮想六角形Ｈｘ２が並ぶ。第２列Ｌ２は、第１列Ｌ１に対して径方向Ｒの内側に隣接して位置する。第２列Ｌ２に並ぶ仮想六角形Ｈｘ２は、第１列Ｌ１に並ぶ仮想六角形Ｈｘ１よりも小さい面積を有する。また、第２列Ｌ２に並ぶ仮想六角形Ｈｘ２は、第１列Ｌ１に並ぶ仮想六角形Ｈｘ１に対して周方向Ｃに、仮想六角形Ｈｘ１又は仮想六角形Ｈｘ２のハニカム径の半分の距離だけずらされている。
また、研磨面１０ａの単位面積あたりの柱部１１の数は径方向Ｒの内側に向かうにつれて多くなる。言い換えると、複数の柱部１１の周方向Ｃの間隔は径方向Ｒの内側に向かうにつれて狭くなる。
仮想六角形Ｈｘは研磨部１０の周方向Ｃ及び径方向Ｒに沿って並べられる。仮想六角形Ｈｘの面積は径方向Ｒの内側の列となるにつれて小さくなる。例えば、周方向Ｃに沿う第１列Ｌ１には仮想六角形Ｈｘ１が並び、周方向Ｃに沿う第２列Ｌ２には仮想六角形Ｈｘ２が並ぶ。第２列Ｌ２は、第１列Ｌ１に対して径方向Ｒの内側に隣接して位置する。第２列Ｌ２に並ぶ仮想六角形Ｈｘ２は、第１列Ｌ１に並ぶ仮想六角形Ｈｘ１よりも小さい面積を有する。また、第２列Ｌ２に並ぶ仮想六角形Ｈｘ２は、第１列Ｌ１に並ぶ仮想六角形Ｈｘ１に対して周方向Ｃに、仮想六角形Ｈｘ１又は仮想六角形Ｈｘ２のハニカム径の半分の距離だけずらされている。
また、研磨面１０ａの単位面積あたりの柱部１１の数は径方向Ｒの内側に向かうにつれて多くなる。言い換えると、複数の柱部１１の周方向Ｃの間隔は径方向Ｒの内側に向かうにつれて狭くなる。
【0020】
図４に示すように、柱部１１は、第１板状部１１ａと、第２板状部１１ｂと、第３板状部１１ｃと、を備える。第１板状部１１ａは、径方向Ｒに沿って延びるとともに、第１板状部１１ａの厚さ方向が周方向Ｃに沿う向きに設けられる。各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃは回転軸Ｏ（図２参照）に沿って延びる矩形板状をなす。
各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、基端部が一点で連結され、基端部から先端部に向けて互いに異なる方向に、すなわち放射線状に延びる。各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、等角度間隔、すなわち、１２０°間隔で配置される。
各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、基端部が一点で連結され、基端部から先端部に向けて互いに異なる方向に、すなわち放射線状に延びる。各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、等角度間隔、すなわち、１２０°間隔で配置される。
【0021】
図５に示すように、各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの板厚Ｈ１は、例えば、遊離砥粒４０の平均粒径Ｄ１の１倍～３０倍、好ましくは、２倍～１０倍、より好ましくは、３倍～５倍に設定される。一例として、平均粒径Ｄ１が３０μｍである場合、各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの板厚Ｈ１は１００μｍ～３００μｍに設定される。例えば、平均粒径Ｄ１が３０μｍである場合に、各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの板厚Ｈ１を１００μｍに設定することにより、研磨時に、柱部１１の先端面１１ｄに３つの遊離砥粒４０を板厚Ｈ１の方向に並べることができる。このように、各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの板厚Ｈ１と平均粒径Ｄ１の大小関係により、柱部１１の先端面１１ｄに同時に保持可能な遊離砥粒４０の数を決めることができる。平均粒径Ｄ１は、例えば、レーザー回折散乱方式により測定される。
【0022】
図３に示すように、各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃは仮想六角形Ｈｘの各辺に沿って延びる。仮想六角形Ｈｘの６つの角部には、それぞれ向きの異なる６つの柱部１１が配置される。各板状部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの交点は仮想六角形Ｈｘの角部に一致する。
【0023】
保持材１９は、研磨部１０の全域にわたって形成され、複数の柱部１１を保持する。保持材１９は、複数の柱部１１と境界面を有するように別部材で形成される。保持材１９は各柱部１１の周囲に充填される。図５に示すように、各柱部１１の先端面１１ｄが露出した状態で各柱部１１が保持材１９に埋め込まれている。
図１に示すように、保持材１９における研磨面１０ａと反対側の裏面はホルダー２０に接着されている。保持材１９は、柱部１１よりも外力により変形しやすく、かつ研磨時に柱部１１よりも摩耗しやすい材質により形成される。保持材１９は、例えば、樹脂又はセラミックからなる。保持材１９は、流体が通過不能に形成されてもよいし、流体が通過可能な多孔質で形成されていてもよい。
図５に示すように、保持材１９のホルダー２０と反対側の先端面は、柱部１１の先端面１１ｄよりもホルダー２０の近くに位置する。このため、保持材１９とワークＷとの間には空間Ｓｐが形成される。空間Ｓｐには、複数の遊離砥粒４０を含むスラリー４１（図１参照）又は切粉が通過可能となる。
図１に示すように、保持材１９における研磨面１０ａと反対側の裏面はホルダー２０に接着されている。保持材１９は、柱部１１よりも外力により変形しやすく、かつ研磨時に柱部１１よりも摩耗しやすい材質により形成される。保持材１９は、例えば、樹脂又はセラミックからなる。保持材１９は、流体が通過不能に形成されてもよいし、流体が通過可能な多孔質で形成されていてもよい。
図５に示すように、保持材１９のホルダー２０と反対側の先端面は、柱部１１の先端面１１ｄよりもホルダー２０の近くに位置する。このため、保持材１９とワークＷとの間には空間Ｓｐが形成される。空間Ｓｐには、複数の遊離砥粒４０を含むスラリー４１（図１参照）又は切粉が通過可能となる。
【0024】
複数の遊離砥粒４０は、例えば、ダイヤモンド又は立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）砥粒、若しくはダイヤモンドとＣＢＮの混合である。さらに、これに限らず、遊離砥粒４０は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、又は溶融アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、若しくはこれらを混合したものであってもよい。
【0025】
次に、研磨装置５によるワークＷの研磨方法について説明する。
図１に示すように、ワーク保持部７がワークＷを保持した状態で研磨面１０ａに接触させる。そして、スラリー供給部４５がスラリー４１を研磨面１０ａに供給しつつ、駆動部６が研磨プレート１を回転軸Ｏを中心に回転させる。これにより、図５に示すように、各柱部１１の先端面１１ｄが各遊離砥粒４０を一時的に保持した後に各遊離砥粒４０をワークＷとの間で転がす。これにより、ワークＷが研磨される。
なお、ワークＷを研磨する際、ワーク保持部７がワークＷを回転させてもよい。
図１に示すように、ワーク保持部７がワークＷを保持した状態で研磨面１０ａに接触させる。そして、スラリー供給部４５がスラリー４１を研磨面１０ａに供給しつつ、駆動部６が研磨プレート１を回転軸Ｏを中心に回転させる。これにより、図５に示すように、各柱部１１の先端面１１ｄが各遊離砥粒４０を一時的に保持した後に各遊離砥粒４０をワークＷとの間で転がす。これにより、ワークＷが研磨される。
なお、ワークＷを研磨する際、ワーク保持部７がワークＷを回転させてもよい。
【0026】
（効果）
以上、説明した第１の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）研磨プレート１は、ワークＷを研磨する研磨面１０ａに沿って並べられ、研磨面１０ａに交わる方向に延びる複数の柱部１１と、複数の柱部１１と別部材で形成され、複数の柱部１１を保持する保持材１９と、を備える。柱部１１は、研磨面１０ａに交わる方向に延びる第１板状部１１ａを備える。
この構成によれば、上記特許文献１に記載の構成と異なって、研磨面１０ａに溝を形成する加工を行うことなく、柱部１１の第１板状部１１ａの厚さを調整することにより加工圧が調整可能となる。研磨プレート１では、研磨面１０ａに溝を形成する加工を行う必要がないため、研磨プレート１をより簡単に製造することができる。
また、第１板状部１１ａが研磨面１０ａに交わる方向に延びる。よって、研磨により第１板状部１１ａが研磨面１０ａに交わる方向に減っていっても研磨プレート１の切れ味が維持される。研磨プレート１の寿命を延ばすことができる。
また、柱部１１は、柱部１１の先端面１１ｄが保持材１９の先端面よりも突出し、柱部１１の先端面１１ｄの反対側の後端面が保持材１９の後端面と一致するように形成される。
例えば、上記特許文献１に記載の構成では研磨平面が溝の底面に到達するまで摩耗すると有効に研磨することが困難となる。一方で、上記構成によれば、柱部１１及び保持材１９が摩耗しても研磨を行うことができる。
以上、説明した第１の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）研磨プレート１は、ワークＷを研磨する研磨面１０ａに沿って並べられ、研磨面１０ａに交わる方向に延びる複数の柱部１１と、複数の柱部１１と別部材で形成され、複数の柱部１１を保持する保持材１９と、を備える。柱部１１は、研磨面１０ａに交わる方向に延びる第１板状部１１ａを備える。
この構成によれば、上記特許文献１に記載の構成と異なって、研磨面１０ａに溝を形成する加工を行うことなく、柱部１１の第１板状部１１ａの厚さを調整することにより加工圧が調整可能となる。研磨プレート１では、研磨面１０ａに溝を形成する加工を行う必要がないため、研磨プレート１をより簡単に製造することができる。
また、第１板状部１１ａが研磨面１０ａに交わる方向に延びる。よって、研磨により第１板状部１１ａが研磨面１０ａに交わる方向に減っていっても研磨プレート１の切れ味が維持される。研磨プレート１の寿命を延ばすことができる。
また、柱部１１は、柱部１１の先端面１１ｄが保持材１９の先端面よりも突出し、柱部１１の先端面１１ｄの反対側の後端面が保持材１９の後端面と一致するように形成される。
例えば、上記特許文献１に記載の構成では研磨平面が溝の底面に到達するまで摩耗すると有効に研磨することが困難となる。一方で、上記構成によれば、柱部１１及び保持材１９が摩耗しても研磨を行うことができる。
【0027】
（２）第１板状部１１ａは、研磨プレート１が回転軸Ｏを中心に回転しているときにスラリー４１に含まれる遊離砥粒４０をワークＷとの間で転がす先端面１１ｄを備える。
この構成によれば、第１板状部１１ａの先端面１１ｄの面積を調整することにより、先端面１１ｄとワークＷの間に位置する遊離砥粒４０の数を調整することができる。これにより、加工圧を調整することができる。
この構成によれば、第１板状部１１ａの先端面１１ｄの面積を調整することにより、先端面１１ｄとワークＷの間に位置する遊離砥粒４０の数を調整することができる。これにより、加工圧を調整することができる。
【0028】
（３）柱部１１は、第１板状部１１ａと、第１板状部１１ａと異なる方向に延び、第１板状部１１ａに連結される第２板状部１１ｂと、を備える。
この構成によれば、第１板状部１１ａ及び第２板状部１１ｂが異なる方向に延びつつ連結される。このため、柱部１１がワークＷから受ける力により撓みづらい。よって、単位時間あたりの除去される量である研磨レートを増やすことができる。
この構成によれば、第１板状部１１ａ及び第２板状部１１ｂが異なる方向に延びつつ連結される。このため、柱部１１がワークＷから受ける力により撓みづらい。よって、単位時間あたりの除去される量である研磨レートを増やすことができる。
【0029】
（４）柱部１１は、第１板状部１１ａ及び第２板状部１１ｂと異なる方向に延び、第１板状部１１ａ及び第２板状部１１ｂに連結される第３板状部１１ｃを備える。
この構成によれば、柱部１１はワークＷから受ける力により撓みづらい。よって、研磨レートを増やすことができる。
この構成によれば、柱部１１はワークＷから受ける力により撓みづらい。よって、研磨レートを増やすことができる。
【0030】
（５）複数の柱部１１は、研磨面１０ａに沿って隙間なく並べられた仮想六角形Ｈｘの各角部に配置される。第１板状部１１ａ、第２板状部１１ｂ及び第３板状部１１ｃは仮想六角形Ｈｘの辺に沿う方向に延びる。
この構成によれば、仮想六角形Ｈｘの各角部に位置する６つの柱部１１の向きが異なるように設置される。よって、柱部１１は、ワークＷから受ける力の方向に関わらず、撓みづらくすることができる。
この構成によれば、仮想六角形Ｈｘの各角部に位置する６つの柱部１１の向きが異なるように設置される。よって、柱部１１は、ワークＷから受ける力の方向に関わらず、撓みづらくすることができる。
【0031】
（６）研磨面１０ａに沿う単位面積あたりの柱部１１の数は研磨プレート１の径方向の内側に向かうにつれて多くなる。
研磨部１０が回転軸Ｏを中心に回転すると、研磨部１０の径方向Ｒの外側の部位は、研磨部１０の径方向Ｒの内側の部位よりも高速で回転する。上記構成によれば、単位面積あたりの柱部１１の数は研磨部１０の径方向の内側に向かうにつれて多くなる。これにより、研磨部１０の径方向Ｒにおける周速差に関わらず、ワークＷを均一の研磨レートにて加工することができる。
研磨部１０が回転軸Ｏを中心に回転すると、研磨部１０の径方向Ｒの外側の部位は、研磨部１０の径方向Ｒの内側の部位よりも高速で回転する。上記構成によれば、単位面積あたりの柱部１１の数は研磨部１０の径方向の内側に向かうにつれて多くなる。これにより、研磨部１０の径方向Ｒにおける周速差に関わらず、ワークＷを均一の研磨レートにて加工することができる。
【0032】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る研磨プレートについて図面を参照して説明する。第２の実施形態では、複数の研磨用の固定砥粒が柱部に埋め込まれている点が上記第１の実施形態と異なる。以下、上記第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
本発明の第２の実施形態に係る研磨プレートについて図面を参照して説明する。第２の実施形態では、複数の研磨用の固定砥粒が柱部に埋め込まれている点が上記第１の実施形態と異なる。以下、上記第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【0033】
図６に示すように、柱部５１は、３つのＶ字状の板状部５２，５３，５４と、３つの板状部５２，５３，５４の間のＹ字状の隙間に形成される接着層５６と、接着層５６内に位置する複数の固定砥粒５７と、を備える。板状部５２，５３，５４は、銅、錫、鉛、鋳鉄等から選択された単独金属又は混合金属から構成される。
板状部５２は、互いに異なる角度で連結される第１壁部５２ａ及び第２壁部５２ｂにより構成される。板状部５３は、互いに異なる角度で連結される第１壁部５３ａ及び第２壁部５３ｂにより構成される。板状部５４は、互いに異なる角度で連結される第１壁部５４ａ及び第２壁部５４ｂにより構成される。
第１壁部５２ａ，５４ａは、互いに対面し、接着層５６の第１部分５６ａを介して互いに接着されている。第２壁部５３ｂ，５４ｂは、互いに対面し、接着層５６の第２部分５６ｂを介して互いに接着されている。第１壁部５３ａ及び第２壁部５２ｂは、互いに対面し、接着層５６の第３部分５６ｃを介して互いに接着されている。
板状部５２は、互いに異なる角度で連結される第１壁部５２ａ及び第２壁部５２ｂにより構成される。板状部５３は、互いに異なる角度で連結される第１壁部５３ａ及び第２壁部５３ｂにより構成される。板状部５４は、互いに異なる角度で連結される第１壁部５４ａ及び第２壁部５４ｂにより構成される。
第１壁部５２ａ，５４ａは、互いに対面し、接着層５６の第１部分５６ａを介して互いに接着されている。第２壁部５３ｂ，５４ｂは、互いに対面し、接着層５６の第２部分５６ｂを介して互いに接着されている。第１壁部５３ａ及び第２壁部５２ｂは、互いに対面し、接着層５６の第３部分５６ｃを介して互いに接着されている。
【0034】
板状部５２，５３，５４は、それぞれの角部が柱部５１の中心点Ｃｐに近い位置となり、かつ、異なる方向に向けて開口する向きで設置される。板状部５２は第１方向Ｆ１に向けて開口するＶ字状をなす。板状部５３は第２方向Ｆ２に向けて開口するＶ字状をなす。板状部５４は第３方向Ｆ３に向けて開口するＶ字状をなす。第１方向Ｆ１、第２方向Ｆ２及び第３方向Ｆ３は、中心点Ｃｐを中心として互いに１２０°間隔で互いに異なる角度に設定される。
【0035】
接着層５６は、研磨面１０ａに直交する方向から見てＹ字状に形成され、板状部５２，５３，５４の間の隙間に形成され、板状部５２，５３，５４を互いに接着する。接着層５６内には複数の固定砥粒５７が分布する。接着層５６は、例えば、エポキシ樹脂又は銀ロウである。
図７に示すように、複数の固定砥粒５７は、接着層５６内に埋め込まれて、接着層５６に沿って１列に並べられている。複数の固定砥粒５７は、例えば、ダイヤモンド砥粒、ＣＢＮ砥粒、ＳｉＣ、又はＡｌ２Ｏ３から選択された単独砥粒又は混合砥粒から構成される。
図７に示すように、複数の固定砥粒５７は、接着層５６内に埋め込まれて、接着層５６に沿って１列に並べられている。複数の固定砥粒５７は、例えば、ダイヤモンド砥粒、ＣＢＮ砥粒、ＳｉＣ、又はＡｌ２Ｏ３から選択された単独砥粒又は混合砥粒から構成される。
【0036】
本実施形態では、研磨プレートが回転すると、柱部５１の先端に露出する固定砥粒５７がワークＷに接触することによりワークＷが研磨される。研磨時に、板状部５２，５３，５４と接着層５６が削れることにより摩耗した固定砥粒５７が脱落して新たな固定砥粒５７が柱部５１の先端に露出する。これにより、研磨プレートの切れ味が維持される。
本実施形態の研磨プレートでは、研磨時にスラリーが供給されなくてもよいし、研磨時にスラリーが供給されてもよい。研磨時にスラリーが供給される場合、図７に示すように、スラリーに含まれる複数の遊離砥粒９７が板状部５２，５３，５４の先端面とワークＷの間で転がることにより、ワークＷが研磨される。この場合、スラリーの遊離砥粒９７と柱部５１の固定砥粒５７の両方によりワークＷが研磨される。
本実施形態の研磨プレートでは、研磨時にスラリーが供給されなくてもよいし、研磨時にスラリーが供給されてもよい。研磨時にスラリーが供給される場合、図７に示すように、スラリーに含まれる複数の遊離砥粒９７が板状部５２，５３，５４の先端面とワークＷの間で転がることにより、ワークＷが研磨される。この場合、スラリーの遊離砥粒９７と柱部５１の固定砥粒５７の両方によりワークＷが研磨される。
【0037】
（効果）
以上、説明した第２の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）柱部５１は、複数の板状部５２，５３，５４の間に設けられる接着層５６と、接着層５６内に設けられ、ワークＷの研磨に利用される複数の固定砥粒５７と、を備える。
この構成によれば、柱部５１がその厚さ方向において３層構造となる。図７の例では、この３層構造は、接着層５６と第２壁部５３ｂ，５４ｂからなる。このため、ワークＷから受ける力の方向に関わらず、柱部１１を撓みづらくすることができる。
研磨時にスラリーが供給されると、板状部５２，５３，５４の先端面とワークＷの間で遊離砥粒９７が転がることによる研磨と固定砥粒５７による研磨が同時に行われる。遊離砥粒９７による研磨は、固定砥粒５７による研磨よりも、ワークＷを平滑な面とすることができるものの、研磨レートが小さくなる。一方で、固定砥粒５７による研磨は、遊離砥粒９７による研磨よりも、研磨レートを大きくできるものの、ワークＷを平滑な面とすることが難しい。この点、上記構成によれば、固定砥粒５７によって深く研磨された部分が遊離砥粒９７により平滑化される。よって、研磨レートを大きくしつつ、ワークＷを平滑化することができる。
以上、説明した第２の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）柱部５１は、複数の板状部５２，５３，５４の間に設けられる接着層５６と、接着層５６内に設けられ、ワークＷの研磨に利用される複数の固定砥粒５７と、を備える。
この構成によれば、柱部５１がその厚さ方向において３層構造となる。図７の例では、この３層構造は、接着層５６と第２壁部５３ｂ，５４ｂからなる。このため、ワークＷから受ける力の方向に関わらず、柱部１１を撓みづらくすることができる。
研磨時にスラリーが供給されると、板状部５２，５３，５４の先端面とワークＷの間で遊離砥粒９７が転がることによる研磨と固定砥粒５７による研磨が同時に行われる。遊離砥粒９７による研磨は、固定砥粒５７による研磨よりも、ワークＷを平滑な面とすることができるものの、研磨レートが小さくなる。一方で、固定砥粒５７による研磨は、遊離砥粒９７による研磨よりも、研磨レートを大きくできるものの、ワークＷを平滑な面とすることが難しい。この点、上記構成によれば、固定砥粒５７によって深く研磨された部分が遊離砥粒９７により平滑化される。よって、研磨レートを大きくしつつ、ワークＷを平滑化することができる。
【0038】
（２）柱部５１の３つの板状部５２，５３，５４は、研磨面１０ａに交わる方向から見てそれぞれＶ字状をなす。３つの板状部５２，５３，５４は、それぞれ異なる方向に向けてＶ字が開口するように配置される。接着層５６は、３つの板状部５２，５３，５４の間のＹ字状の隙間に設けられ、３つの板状部５２，５３，５４を接着する。
この構成によれば、ワークＷから受ける力の方向に関わらず、柱部１１を撓みづらくすることができる。
この構成によれば、ワークＷから受ける力の方向に関わらず、柱部１１を撓みづらくすることができる。
【0039】
なお、本発明は以上の実施形態及び図面によって限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で、適宜、変更（構成要素の削除も含む）を加えることが可能である。以下に、変形の一例を説明する。
【0040】
（変形例）
上記各実施形態においては、複数の柱部１１，５１は、隙間なく並べられた仮想六角形Ｈｘの各角部に配置されていたが、配置態様はこれに限らず、隙間なく並べられた仮想的な三角形、四角形又は八角形等の多角形の各角部に配置されてもよい。
上記各実施形態においては、複数の柱部１１，５１は、隙間なく並べられた仮想六角形Ｈｘの各角部に配置されていたが、配置態様はこれに限らず、隙間なく並べられた仮想的な三角形、四角形又は八角形等の多角形の各角部に配置されてもよい。
【0041】
上記各実施形態においては、単位面積あたりの柱部１１，５１の数は研磨部１０の径方向Ｒの内側に向かうにつれて多く設定されていた。しかしながら、これに限らず、単位面積あたりの柱部１１，５１の数は径方向Ｒの内側に向かうにつれて少なく設定されてもよいし、径方向Ｒに沿って同数に設定されてもよい。
【0042】
上記各実施形態においては、複数の柱部１１，５１はそれぞれ同一の形状及びサイズで形成されていたが、それぞれ異なる形状又はサイズで形成されてもよい。
上記各実施形態においては、柱部１１，５１は回転軸に沿って延びていたが、回転軸に対して傾斜して延びていてもよい。
また、研磨面１０ａは、上記各実施形態の位置に限らず、研磨プレート１の外周面に形成されてもよい。この場合、柱部１１，５１は研磨プレート１の外周面に配置され、この外周面に交わる方向に延びるように形成されてもよい。
上記各実施形態においては、柱部１１，５１は回転軸に沿って延びていたが、回転軸に対して傾斜して延びていてもよい。
また、研磨面１０ａは、上記各実施形態の位置に限らず、研磨プレート１の外周面に形成されてもよい。この場合、柱部１１，５１は研磨プレート１の外周面に配置され、この外周面に交わる方向に延びるように形成されてもよい。
【0043】
上記各実施形態においては、柱部１１，５１は研磨面１０ａに交わる方向から見てＹ字状に形成されていたが、柱部の形状は研磨面１０ａに交わる方向に延びる板状部を含んでいればこれに限らない。
例えば、図８（ａ）に示すように、柱部６１は、研磨面１０ａに交わる方向から見てＸ字状に形成されていてもよい。柱部６１は、第１板状部６１ａと、第１板状部６１ａに交差する第２板状部６１ｂと、を備える。第１板状部６１ａの中心位置と第２板状部６１ｂの中心位置が交わる。
また、例えば、図８（ｂ）に示すように、柱部７１は、研磨面１０ａに交わる方向から見てＶ字状に形成されていてもよい。柱部７１は、第１板状部７１ａと、第１板状部７１ａに対して角度をなす第２板状部７１ｂと、を備える。第１板状部７１ａの端部と第２板状部７１ｂの端部が連結される。
さらに、柱部は、研磨面１０ａに交わる方向から見てＮ字状、Ｌ字状、Ｔ字状、Ｚ字状又は十字状に形成されてもよい。
また、図９に示すように、柱部は、径方向Ｒに沿って延びる平板状の板状部８２から構成されてもよい。各板状部８２は、板状部８２の厚さ方向が周方向Ｃに沿うように設けられる。
例えば、図８（ａ）に示すように、柱部６１は、研磨面１０ａに交わる方向から見てＸ字状に形成されていてもよい。柱部６１は、第１板状部６１ａと、第１板状部６１ａに交差する第２板状部６１ｂと、を備える。第１板状部６１ａの中心位置と第２板状部６１ｂの中心位置が交わる。
また、例えば、図８（ｂ）に示すように、柱部７１は、研磨面１０ａに交わる方向から見てＶ字状に形成されていてもよい。柱部７１は、第１板状部７１ａと、第１板状部７１ａに対して角度をなす第２板状部７１ｂと、を備える。第１板状部７１ａの端部と第２板状部７１ｂの端部が連結される。
さらに、柱部は、研磨面１０ａに交わる方向から見てＮ字状、Ｌ字状、Ｔ字状、Ｚ字状又は十字状に形成されてもよい。
また、図９に示すように、柱部は、径方向Ｒに沿って延びる平板状の板状部８２から構成されてもよい。各板状部８２は、板状部８２の厚さ方向が周方向Ｃに沿うように設けられる。
【符号の説明】
【0044】
１…研磨プレート、５…研磨装置、６…駆動部、７…ワーク保持部、１０…研磨部、１０ａ…研磨面、１１，５１，６１，７１…柱部、１１ａ，６１ａ，７１ａ…第１板状部、１１ｂ，６１ｂ，７１ｂ…第２板状部、１１ｃ…第３板状部、１１ｄ…先端面、１９…保持材、２０…ホルダー、４０，９７…遊離砥粒、４１…スラリー、４５…スラリー供給部、５２，５３，５４，８２…板状部、５２ａ，５３ａ，５４ａ…第１壁部、５２ｂ，５３ｂ，５４ｂ…第２壁部、５６…接着層、５７…固定砥粒、Ｃ…周方向、Ｄ１…平均粒径、Ｆ１…第１方向、Ｆ２…第２方向、Ｆ３…第３方向、Ｈ１…板厚、Ｌ１…第１列、Ｌ２…第２列、Ｏ…回転軸、Ｒ…径方向、Ｗ…ワーク、Ｃｐ…中心点、Ｈｘ，Ｈｘ１，Ｈｘ２…仮想六角形、Ｓｐ…空間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
