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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-01-12
(45)【発行日】2024-01-22
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240115BHJP
B41J 2/18 20060101ALI20240115BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 605
B41J2/18
B41J2/14 607
【請求項の数】
17
(21)【出願番号】P 2019181239
(22)【出願日】2019-10-01
(65)【公開番号】P2021054008
(43)【公開日】2021-04-08
【審査請求日】2022-09-26
(73)【特許権者】
【識別番号】000001007
【氏名又は名称】キヤノン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100123788
【弁理士】
【氏名又は名称】宮崎 昭夫
(74)【代理人】
【識別番号】100127454
【弁理士】
【氏名又は名称】緒方 雅昭
(72)【発明者】
【氏名】永井 正隆
【審査官】高松 大治
(56)【参考文献】
【文献】特表２０１３－５４４６７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１４７３１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－１３７１２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２２９２６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－０１８６７５（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１５／００９１９８９（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２００４－０４２３９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－０７３１８３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１２４６１０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０７７７５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１４－５３１３４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０１－０６７３５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－０４５７７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国特許出願公開第１０４４１７０６９（ＣＮ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１７／１７０２５８（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈp＜Ｈdの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記循環エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する凸部を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項2】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈp＜Ｈdの関係を満たし、
前記基板は前記液体循環流路に面する凹部を有し、且つ前記吐出エネルギー発生素子は前記凹部に設けられていること、又は、前記基板は前記液体循環流路に面する凸部を有し、且つ前記循環エネルギー発生素子は前記凸部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項3】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈp＜Ｈdの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記吐出エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する第１の凹部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する第２の凹部を有し、前記吐出エネルギー発生素子は前記第２の凹部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項4】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈp＜Ｈdの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記循環エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する第１の凸部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する第２の凸部を有し、前記循環エネルギー発生素子は前記第２の凸部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項5】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈp＜Ｈdの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記吐出エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する凸部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する凹部を有し、前記吐出エネルギー発生素子は前記凹部に設けられ、前記凹部の深さは前記凸部の高さより大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記吐出口形成部材は、前記吐出エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する凹部を有する、請求項１又は４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記凹部の前記液体循環流路に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状である、請求項２、５、６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記凸部の片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状である、請求項１、２、５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項9】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記循環エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する凹部を有すること、又は、前記吐出口形成部材は、前記吐出エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する凸部を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項10】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たし、
前記基板は前記液体循環流路に面する凹部を有し、前記循環エネルギー発生素子は前記凹部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項11】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記循環エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する第１の凹部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する第２の凹部を有し、前記循環エネルギー発生素子は前記第２の凹部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項12】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記吐出エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する第１の凸部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する第２の凸部を有し、前記吐出エネルギー発生素子は前記第２の凸部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項13】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記循環エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する第１の凹部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する第２の凹部を有し、前記循環エネルギー発生素子は前記第２の凹部に設けられ、前記吐出口形成部材は、前記吐出エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する第１の凸部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する第２の凸部を有し、前記吐出エネルギー発生素子は前記第２の凸部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項14】
液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、
液体が流通する液体流通流路と、
前記吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、前記液体循環流路は前記吐出口と対向する発泡室を備え、前記液体循環流路は前記液体流通流路から分岐し前記発泡室を通って前記液体流通流路に合流する基板と、
前記基板に前記発泡室と対向して設けられ、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、
前記基板に前記発泡室と異なる位置で前記液体循環流路と対向して設けられ、前記液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有し、
前記吐出エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈdと、前記循環エネルギー発生素子と前記吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たし、
前記吐出口形成部材は、前記循環エネルギー発生素子と対向する位置に、前記液体循環流路に面する凸部を有し、前記基板は前記液体循環流路に面する凹部を有し、前記循環エネルギー発生素子は前記凹部に設けられ、前記凹部の深さは前記凸部の高さより大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項15】
前記基板は前記液体循環流路に面する凸部を有し、前記吐出エネルギー発生素子は前記凸部に設けられている、請求項１０又は１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項16】
前記凹部の前記液体循環流路に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状である、請求項９、１０、１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項17】
前記凸部の片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状である、請求項９又は１４に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
液体吐出装置には家庭用やビジネス用など、様々な用途に応じた製品があり、その用途によって重視される性能の優先順位は異なる。ビジネス用を主用途として提供される液体吐出装置の場合、印字速度や印字物の精細さに加え耐久性が重視される。耐久性が高いとは、長時間、もしくは長期間に渡って使用を続けても性能が大きく変わらないことを意味する。長期間に渡る安定的な印字が妨げられる要因の一つとして、吐出口近傍の液体の増粘が挙げられる。増粘した液体は液体の適切な吐出を妨げる可能性がある。特許文献１には、発熱抵抗素子で構成される補助マイクロバブルポンプを備えた液体吐出ヘッドが開示されている。マイクロバブルポンプは、増粘していないフレッシュな液体を液体循環流路に供給し、液体の増粘を抑制する循環エネルギー発生素子である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】米国特許第９０９００８４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に開示された液体吐出ヘッドでは、循環エネルギー発生素子を長期間駆動することが必要である。これによって、液体吐出ヘッドの信頼性が低下する可能性がある。
本発明は、液体循環流路に液体を循環させる循環エネルギー発生素子を備え、長期間駆動しても、高い信頼性を有する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
本発明は、液体循環流路に液体を循環させる循環エネルギー発生素子を備え、長期間駆動しても、高い信頼性を有する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、液体が流通する液体流通流路と、吐出口形成部材との間に液体が循環する液体循環流路を形成し、液体循環流路は吐出口と対向する発泡室を備え、液体循環流路は液体流通流路から分岐し発泡室を通って液体流通流路に合流する基板と、基板に発泡室と対向して設けられ、液体が吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、基板に発泡室と異なる位置で液体循環流路と対向して設けられ、液体循環流路の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる循環エネルギー発生素子と、を有している。吐出エネルギー発生素子と吐出口形成部材との間隔Ｈdと、循環エネルギー発生素子と吐出口形成部材との間隔Ｈpは、１．１×Ｈp＜Ｈdの関係を満たす。吐出口形成部材は、循環エネルギー発生素子と対向する位置に、液体循環流路に面する凸部を有する。
【発明の効果】
【0006】
本発明によれば、液体循環流路に液体を循環させる循環エネルギー発生素子を備え、長期間駆動しても、高い信頼性を有する液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図2】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図3】第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図4】第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図5】第５～８の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図6】第９の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図7】第１０の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図8】第１１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図9】第１２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図10】第１３～１５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図11】第１６の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【図12】比較例に係る液体吐出ヘッドの概念図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、図面を参照して本発明のいくつかの実施形態について説明する。各実施形態における構成要素の相対配置、形状等は例示であり、本発明をこれらの実施形態に限定するものではない。以下の実施形態はインクを吐出するインクジェットヘッドを対象とするが、吐出される液体はインクに限定されない。
【0009】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示しており、図１（ａ）は液体吐出ヘッドの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。液体吐出ヘッド１は、液体が流通する液体流通流路５を備えた基板６と、液体を吐出する吐出口３を備えた平板状の吐出口形成部材７と、吐出口形成部材７と基板６との間に位置する流路壁９と、を有している。基板６はＳｉからなり、吐出口形成部材７と流路壁９は感光性樹脂からなる。液体流通流路５は基板６に設けられた開口である。基板６と吐出口形成部材７との間には液体循環流路１０が形成されている。液体循環流路１０は吐出口形成部材７と流路壁９と基板６とによって画定されている。液体循環流路１０は吐出口３と対向する発泡室８を備えている。液体循環流路１０は液体流通流路５から分岐し、略Ｕ字状の経路を辿り、発泡室８を通って液体流通流路５に合流する。
図１は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示しており、図１（ａ）は液体吐出ヘッドの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。液体吐出ヘッド１は、液体が流通する液体流通流路５を備えた基板６と、液体を吐出する吐出口３を備えた平板状の吐出口形成部材７と、吐出口形成部材７と基板６との間に位置する流路壁９と、を有している。基板６はＳｉからなり、吐出口形成部材７と流路壁９は感光性樹脂からなる。液体流通流路５は基板６に設けられた開口である。基板６と吐出口形成部材７との間には液体循環流路１０が形成されている。液体循環流路１０は吐出口形成部材７と流路壁９と基板６とによって画定されている。液体循環流路１０は吐出口３と対向する発泡室８を備えている。液体循環流路１０は液体流通流路５から分岐し、略Ｕ字状の経路を辿り、発泡室８を通って液体流通流路５に合流する。
【0010】
基板６には、吐出エネルギー発生素子２が形成されている。吐出エネルギー発生素子２は発泡室８と対向して、すなわち発泡室８を介して吐出口３と対向して設けられている。吐出エネルギー発生素子２はヒーター（発熱抵抗素子）で形成され、液体が吐出口３から吐出するためのエネルギーを発生させる。吐出エネルギー発生素子２を配置するため、発泡室８の流路幅は液体循環流路１０の他の部位の流路幅より大きい。この結果、流路壁９の厚さは発泡室８に隣接する部位で減少している。換言すれば、流路壁９は発泡室８に隣接する部位に切欠きを有している。液体流通流路５から液体循環流路１０に流入した液体は吐出エネルギー発生素子２で加熱され、吐出エネルギーを付与されて吐出口３から吐出する。吐出口３から吐出しなかった液体は、液体循環流路１０を流通し、液体流通流路５に戻される。このようにして、液体循環流路１０は液体が循環する流路を形成する。
【0011】
基板６にはさらに、循環エネルギー発生素子４が形成されている。循環エネルギー発生素子４は、発泡室８と異なる位置、本実施形態では液体の循環方向に関し吐出エネルギー発生素子２の上流側に、液体循環流路１０と対向して設けられている。図示は省略するが、循環エネルギー発生素子４は、吐出エネルギー発生素子２の下流側に、液体循環流路１０と対向して設けられてもよい。循環エネルギー発生素子４はヒーター（発熱抵抗素子）で形成され、吐出エネルギー発生素子２が駆動されていないときも液体循環流路１０の液体を循環させるためのエネルギーを発生させる。循環エネルギー発生素子４が発生するエネルギーは吐出エネルギー発生素子２が発生するエネルギーより小さいため、循環エネルギー発生素子４の平面寸法は、吐出エネルギー発生素子２の平面寸法より小さい。このため、循環エネルギー発生素子４の配置される部位で、液体循環流路１０は拡幅されていない。循環エネルギー発生素子４の発生するエネルギーによって、液体は液体循環流路１０を矢印Ｆで示す一定の方向に循環する。このため、液体が吐出口３から長期間吐出されないときも、液体循環流路１０内の液体の増粘を抑制することができる。
【0012】
以下の説明で、吐出エネルギー発生素子２から吐出口形成部材７までの吐出口形成部材７と直交する方向の間隔（長さ）をＨd、循環エネルギー発生素子４から吐出口形成部材７までの吐出口形成部材７と直交する方向の間隔（長さ）をＨpとする。吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４は耐キャビテーション膜で覆われることがあるが、耐キャビテーション膜の膜厚は間隔Ｈd、間隔Ｈpに対して非常に薄く、無視できる。このため、耐キャビテーション膜は図示していない。Ｈdを吐出エネルギー発生素子２と対向する液体循環流路１０の壁面から吐出口形成部材７までの間隔（長さ）、Ｈpを循環エネルギー発生素子４と対向する液体循環流路１０の壁面から吐出口形成部材７までの間隔（長さ）と定義してもよい。このように定義されたＨdとＨpは、上記の通り定義されたＨdとＨpと実質的に差異はない。
【0013】
ここで、比較例の液体吐出ヘッド１について説明する。図１２は、比較例に係る液体吐出ヘッド１０１の構成を示しており、図１２（ａ）～１２（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。比較例の液体吐出ヘッド１０１では、ＨdとＨpは実質的に等しい。すなわち、吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４は基板６の同一レベルに形成され、吐出口形成部材７の液体循環流路１０と対向する壁面はフラットである。この点を除き、比較例の液体吐出ヘッド１０１は本実施形態の液体吐出ヘッド１と同一である。
【0014】
これに対して、本実施形態では、ＨdとＨpはＨd＞１．１×Ｈpの関係を満たしている。ＨdとＨpの差を１０％超とすることで、製造時のバラつきが生じても本発明の所望の効果を得ることができる。１．１×Ｈpの関係を満たすため、吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凹部１１を有している。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１１は吐出エネルギー発生素子２を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）発泡室８の流路断面を高さ方向に調整可能であるため、設計自由度を向上させることができる。特に本実施形態では、発泡室８の高さが比較例よりも増加するため、流路壁９を薄くすることなく発泡室８の流路断面積を大きくすることができる。このため、長期間使用時の流路壁９の基板６からの剥離を抑制することができる。また、流路壁９を厚くすることによって、流路壁９の基板６からの剥離を一層抑制することができる。
（２）吐出口３の流路長さが低減しているため、吐出効率が向上し、液体を吐出口３から吐出するのに必要なエネルギーが小さくて済む。比較例よりも吐出エネルギー発生素子２を小さくすることができるため、吐出エネルギー発生素子２の発熱量が低減する。吐出エネルギー発生素子２の周辺の発熱を抑えることができるため、蓄熱による印字品位の低下を抑制することができる。
（１）発泡室８の流路断面を高さ方向に調整可能であるため、設計自由度を向上させることができる。特に本実施形態では、発泡室８の高さが比較例よりも増加するため、流路壁９を薄くすることなく発泡室８の流路断面積を大きくすることができる。このため、長期間使用時の流路壁９の基板６からの剥離を抑制することができる。また、流路壁９を厚くすることによって、流路壁９の基板６からの剥離を一層抑制することができる。
（２）吐出口３の流路長さが低減しているため、吐出効率が向上し、液体を吐出口３から吐出するのに必要なエネルギーが小さくて済む。比較例よりも吐出エネルギー発生素子２を小さくすることができるため、吐出エネルギー発生素子２の発熱量が低減する。吐出エネルギー発生素子２の周辺の発熱を抑えることができるため、蓄熱による印字品位の低下を抑制することができる。
【0015】
本実施形態の液体吐出ヘッド１の製造方法を実施例に即して説明する。まず、吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４とが予め形成されたＳｉの基板６を用意した。次に、基板６の表面に、流路壁９となる第１のネガ型感光性材料（膜厚１５μｍ）を、一般的なスピンコーターやラミネーターを用いて成膜した。その後、一般的な露光装置を用いて第１のネガ型感光性材料を露光し（露光量１００００Ｊ／ｍ2）、流路壁９のパターンを形成した。次に、第１のネガ型感光性材料の上に吐出口形成部材７の下層となる第２のネガ型感光性材料（膜厚３μｍ）を、一般的なスピンコーターやラミネーターを用いて成膜した。その後、一般的な露光装置を用いて第２のネガ型感光性材料を露光し（露光量５０００Ｊ／ｍ2）、凹部１１のパターンを形成した。次に、第２のネガ型感光性材料の上に吐出口形成部材７の上層となる第３のネガ型感光性材料（膜厚３μｍ）を、一般的なスピンコーターやラミネーターを用いて成膜した。その後、一般的な露光装置を用いて第３のネガ型感光性材料を露光し（露光量１０００Ｊ／ｍ2）、吐出口３のパターンを形成した。次に、露光した第１～第３のネガ型感光性材料を一括現像し、吐出口形成部材７に凹部１１が形成された液体吐出ヘッド１を得た。第１～第３の感光性材料は同一の材料を用いてもよく、異なる材料を用いてもよい。第１～第３の感光性材料の現像は感光性材料毎に行ってもよい。
【0016】
図１（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図１（ｃ）と同様の図である。凹部１１の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされている。液体をよりスムーズに循環させることができるため、液体の淀みによる泡の発生を低減することができる。
【0017】
次に、他の実施形態について説明する。第２～第８の実施形態（図２～５）はＨdとＨpがＨd＞１．１×Ｈpの関係を満たす実施形態であり、第９～第１６の実施形態（図６～１１）はＨdとＨpが１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たす実施形態である。
【0018】
（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図２（ａ）～２（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１２を有している。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１２は循環エネルギー発生素子４を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）循環エネルギー発生素子４の周辺の液体循環流路１０の幅を変えることなく、液体循環流路１０の流路断面積を小さくすることができるため、小さなエネルギーで液体の循環を行うことができる。このため、比較例よりも循環エネルギー発生素子４を小さくすることができ、発生した気泡による流路壁９への衝撃力が緩和される。循環エネルギー発生素子４の周辺の発熱を抑えることができるため、蓄熱による印字品位低下を抑制することもできる。
図２（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図２（ｃ）と同様の図である。凸部１２の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされている。液体をよりスムーズに循環させることができるため、液体の淀みによる泡の発生を低減することができる。
図２は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図２（ａ）～２（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１２を有している。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１２は循環エネルギー発生素子４を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）循環エネルギー発生素子４の周辺の液体循環流路１０の幅を変えることなく、液体循環流路１０の流路断面積を小さくすることができるため、小さなエネルギーで液体の循環を行うことができる。このため、比較例よりも循環エネルギー発生素子４を小さくすることができ、発生した気泡による流路壁９への衝撃力が緩和される。循環エネルギー発生素子４の周辺の発熱を抑えることができるため、蓄熱による印字品位低下を抑制することもできる。
図２（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図２（ｃ）と同様の図である。凸部１２の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされている。液体をよりスムーズに循環させることができるため、液体の淀みによる泡の発生を低減することができる。
【0019】
（第３の実施形態）
図３は、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図３（ａ）～３（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は凹部１３の底面に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１３は吐出エネルギー発生素子２を内包していることが好ましい。凹部１３は、例えば基板６のドライエッチングによって形成することができる。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第１の実施形態の（１）と同様の効果
（２）比較例と比べて吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４の直線距離を離すことができる。このため、循環エネルギー発生素子４の長期連続使用時にも、基板６の吐出エネルギー発生素子２の近傍での蓄熱が生じにくくなる。これにより、吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４のオン・オフによる熱のコントラストが付きやすくなり、印字品質の向上が可能となる。
図３（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図３（ｃ）と同様の図である。凹部１３の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
図３は、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図３（ａ）～３（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は凹部１３の底面に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１３は吐出エネルギー発生素子２を内包していることが好ましい。凹部１３は、例えば基板６のドライエッチングによって形成することができる。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第１の実施形態の（１）と同様の効果
（２）比較例と比べて吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４の直線距離を離すことができる。このため、循環エネルギー発生素子４の長期連続使用時にも、基板６の吐出エネルギー発生素子２の近傍での蓄熱が生じにくくなる。これにより、吐出エネルギー発生素子２と循環エネルギー発生素子４のオン・オフによる熱のコントラストが付きやすくなり、印字品質の向上が可能となる。
図３（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図３（ｃ）と同様の図である。凹部１３の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
【0020】
（第４の実施形態）
図４は、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図４（ａ）～４（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０に面する凸部１４を有し、循環エネルギー発生素子４は凸部１４に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１４は循環エネルギー発生素子４を内包していることが好ましい。凸部１４は例えば基板６へのスパッタリングによって形成することができる。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第２の実施形態の（１）と同様の効果
（２）第３の実施形態の（２）と同様の効果
図４（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図４（ｃ）と同様の図である。凸部１４の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。さらに、破線で示すように、端部領域のテーパー形状をより緩やかにすることで、液体をよりスムーズに循環させることができる。この際、発泡室８側のテーパー角θ１を液体流通流路５側のテーパー角θ２より小さくすることで液体をさらにスムーズに循環させることができる。
図４は、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図４（ａ）～４（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０に面する凸部１４を有し、循環エネルギー発生素子４は凸部１４に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１４は循環エネルギー発生素子４を内包していることが好ましい。凸部１４は例えば基板６へのスパッタリングによって形成することができる。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第２の実施形態の（１）と同様の効果
（２）第３の実施形態の（２）と同様の効果
図４（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図４（ｃ）と同様の図である。凸部１４の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。さらに、破線で示すように、端部領域のテーパー形状をより緩やかにすることで、液体をよりスムーズに循環させることができる。この際、発泡室８側のテーパー角θ１を液体流通流路５側のテーパー角θ２より小さくすることで液体をさらにスムーズに循環させることができる。
【0021】
（第５の実施形態）
図５（ａ）は、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１１を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する第２の凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凹部１３に設けられている。本実施形態は第１の実施形態と第３の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
図５（ａ）は、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１１を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する第２の凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凹部１３に設けられている。本実施形態は第１の実施形態と第３の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
【0022】
（第６の実施形態）
図５（ｂ）は、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凸部１２を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凸部１４を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凸部１４に設けられている。本実施形態は第２の実施形態と第４の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
図５（ｂ）は、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凸部１２を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凸部１４を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凸部１４に設けられている。本実施形態は第２の実施形態と第４の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
【0023】
（第７の実施形態）
図５（ｃ）は、第７の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１１を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する第２の凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凹部１３に設けられている。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凸部１２を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凸部１４を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凸部１４に設けられている。本実施形態ではＨpに対してＨdが最大となる。本実施形態は第１～第４の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
図５（ｃ）は、第７の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１１を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する第２の凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凹部１３に設けられている。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凸部１２を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凸部１４を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凸部１４に設けられている。本実施形態ではＨpに対してＨdが最大となる。本実施形態は第１～第４の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
【0024】
（第８の実施形態）
図５（ｄ）は、第８の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１５を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は凹部１３に設けられている。凹部１３の深さは凸部１５の高さ（突出し長さ）より大きい。比較例と比べて発泡室８が全体的に基板６側に移動している。このため、発泡室８の流路断面積を比較例から大幅に変更することなく、第１の実施形態の（１）及び第３の実施形態の（２）と同様の効果が得られる。
図５（ｄ）は、第８の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１５を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する凹部１３を有し、吐出エネルギー発生素子２は凹部１３に設けられている。凹部１３の深さは凸部１５の高さ（突出し長さ）より大きい。比較例と比べて発泡室８が全体的に基板６側に移動している。このため、発泡室８の流路断面積を比較例から大幅に変更することなく、第１の実施形態の（１）及び第３の実施形態の（２）と同様の効果が得られる。
【0025】
（第９の実施形態）
図６は、第９の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図６（ａ）～８（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凹部１６を有する。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１６は循環エネルギー発生素子４を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）循環エネルギー発生素子４と吐出口形成部材７との距離が増加するため、発生した気泡による吐出口形成部材７への衝撃力が緩和される。吐出口形成部材７へのダメージが抑えられ、吐出口形成部材７の耐久性を向上させることができる。
図６（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図６（ｃ）と同様の図である。凹部１６の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
図６は、第９の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図６（ａ）～８（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凹部１６を有する。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１６は循環エネルギー発生素子４を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）循環エネルギー発生素子４と吐出口形成部材７との距離が増加するため、発生した気泡による吐出口形成部材７への衝撃力が緩和される。吐出口形成部材７へのダメージが抑えられ、吐出口形成部材７の耐久性を向上させることができる。
図６（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図６（ｃ）と同様の図である。凹部１６の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
【0026】
（第１０の実施形態）
図７は、第１０の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図７（ａ）～７（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１５を有する。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１５は循環エネルギー発生素子４を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）発泡室８の流路断面を高さ方向に調整可能であるため、設計自由度を向上させることができる。特に本実施形態では、発泡室８の高さが比較例よりも減少するため、吐出エネルギー発生素子２の幅による制約を受けることなく発泡室８の流路断面積を小さくすることができる。液体循環流路１０の発泡室８と発泡室８以外の部分の流路断面積の差を小さくすることができるため、液体循環流路１０を循環する液体の淀みを抑制することができる。
図７（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図７（ｃ）と同様の図である。凸部１５の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
図７は、第１０の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図７（ａ）～７（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１５を有する。すなわち、吐出口形成部材７は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１５は循環エネルギー発生素子４を全体的に覆っていることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）発泡室８の流路断面を高さ方向に調整可能であるため、設計自由度を向上させることができる。特に本実施形態では、発泡室８の高さが比較例よりも減少するため、吐出エネルギー発生素子２の幅による制約を受けることなく発泡室８の流路断面積を小さくすることができる。液体循環流路１０の発泡室８と発泡室８以外の部分の流路断面積の差を小さくすることができるため、液体循環流路１０を循環する液体の淀みを抑制することができる。
図７（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図７（ｃ）と同様の図である。凸部１５の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
【0027】
（第１１の実施形態）
図８は、第１１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図８（ａ）～８（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０に面する凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は凹部１８に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１８は循環エネルギー発生素子４を内包していることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第９の実施形態の（１）と同様の効果
（２）第３の実施形態の（２）と同様の効果
図８（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図８（ｃ）と同様の図である。凹部１８の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
図８は、第１１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図８（ａ）～８（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０に面する凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は凹部１８に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて循環エネルギー発生素子４と同心の矩形領域がその周囲と比べて薄くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凹部１８は循環エネルギー発生素子４を内包していることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第９の実施形態の（１）と同様の効果
（２）第３の実施形態の（２）と同様の効果
図８（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図８（ｃ）と同様の図である。凹部１８の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
【0028】
（第１２の実施形態）
図９は、第１２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図９（ａ）～９（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する凸部１７を有し、吐出エネルギー発生素子２は凸部１７に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１７は循環エネルギー発生素子４を内包していることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第１０の実施形態の（１）と同様の効果
（２）第３の実施形態の（２）と同様の効果
図９（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図９（ｃ）と同様の図である。凸部１７の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
図９は、第１２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図９（ａ）～９（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する凸部１７を有し、吐出エネルギー発生素子２は凸部１７に設けられている。すなわち、基板６は、吐出口形成部材７と直交する方向からみて吐出口３及び吐出エネルギー発生素子２と同心の矩形領域がその周囲と比べて厚くされている。吐出口形成部材７と直交する方向からみて、凸部１７は循環エネルギー発生素子４を内包していることが好ましい。本実施形態では以下の効果が得られる。
（１）第１０の実施形態の（１）と同様の効果
（２）第３の実施形態の（２）と同様の効果
図９（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図９（ｃ）と同様の図である。凸部１７の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。
【0029】
（第１３の実施形態）
図１０（ａ）は第１３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１６を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凹部１８に設けられている。本実施形態は第９の実施形態と第１１の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
図１０（ａ）は第１３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１６を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凹部１８に設けられている。本実施形態は第９の実施形態と第１１の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
【0030】
（第１４の実施形態）
図１０（ｂ）は第１４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０（発泡室８）に面する第１の凸部１５を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凸部１７を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凸部１７に設けられている。本実施形態は第８の実施形態と第１０の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
図１０（ｂ）は第１４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０（発泡室８）に面する第１の凸部１５を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凸部１７を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凸部１７に設けられている。本実施形態は第８の実施形態と第１０の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
【0031】
（第１５の実施形態）
図１０（ｃ）は第１５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１６を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凹部１８に設けられている。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凸部１５を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する第２の凸部１７を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凸部１７に設けられている。本実施形態ではＨpに対してＨdが最小となる。本実施形態は第９～第１２の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
図１０（ｃ）は第１５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す図１（ｂ）と同様の図である。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凹部１６を有している。基板６は液体循環流路１０に面する第２の凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は第２の凹部１８に設けられている。吐出口形成部材７は、吐出エネルギー発生素子２（発泡室８）と対向する位置に、液体循環流路１０に面する第１の凸部１５を有している。基板６は液体循環流路１０（発泡室８）に面する第２の凸部１７を有し、吐出エネルギー発生素子２は第２の凸部１７に設けられている。本実施形態ではＨpに対してＨdが最小となる。本実施形態は第９～第１２の実施形態を組み合わせたものであるため、これらの実施形態の効果が同時に得られる。
【0032】
（第１６の実施形態）
図１１は、第１６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図１１（ａ）～１１（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１２を有している。基板６は液体循環流路１０に面する凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は凹部１８に設けられている。凹部１８の深さは凸部１２の高さより大きい。比較例と比べて液体循環流路１０の循環エネルギー発生素子４のある部位が全体的に基板６側に移動している。このため、液体循環流路１０の循環エネルギー発生素子４が設けられた部位の流路断面積を比較例から大幅に変更することなく、第９の実施形態の（１）及び第３の実施形態の（２）と同様の効果が得られる。
図１１（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図１１（ｃ）と同様の図である。凸部１２の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。また、凹部１８の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。凹部１８は液体流通流路５まで連続的に形成されているため、より多くの液体を液体循環流路１０に取り込むことができる。
図１１は、第１６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示しており、図１１（ａ）～１１（ｃ）は図１（ａ）～１（ｃ）に対応している。吐出口形成部材７は、循環エネルギー発生素子４と対向する位置に、液体循環流路１０に面する凸部１２を有している。基板６は液体循環流路１０に面する凹部１８を有し、循環エネルギー発生素子４は凹部１８に設けられている。凹部１８の深さは凸部１２の高さより大きい。比較例と比べて液体循環流路１０の循環エネルギー発生素子４のある部位が全体的に基板６側に移動している。このため、液体循環流路１０の循環エネルギー発生素子４が設けられた部位の流路断面積を比較例から大幅に変更することなく、第９の実施形態の（１）及び第３の実施形態の（２）と同様の効果が得られる。
図１１（ｄ）は本実施形態の変形例を示す図１１（ｃ）と同様の図である。凸部１２の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第１の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。また、凹部１８の液体循環流路１０に沿った片側もしくは両側の端部領域はテーパー形状とされているため、第２の実施形態の変形例と同様の効果が得られる。凹部１８は液体流通流路５まで連続的に形成されているため、より多くの液体を液体循環流路１０に取り込むことができる。
【0033】
以上、本発明をいくつかの実施形態によって説明したが、本発明はこれらの実施形態によって限定されない。吐出エネルギー発生素子２と対向する基板６及び吐出口形成部材７、循環エネルギー発生素子４と対向する基板６及び吐出口形成部材７について、それぞれ比較例に対して持ち上げる場合、比較例と同じレベル、比較例より下げる場合の３パターンがあり得る。これらは任意に組み合わせることが可能であり、Ｈd＞１．１×Ｈpまたは１．１×Ｈd＜Ｈpの関係を満たす限り、これらのいずれの組み合わせも本発明に含まれる。
【符号の説明】
【0034】
１ 液体吐出ヘッド
２ 吐出エネルギー発生素子
３ 吐出口
４ 循環エネルギー発生素子
５ 液体流通流路
６ 基板
７ 吐出口形成部材
８ 発泡室
１０ 液体循環流路
２ 吐出エネルギー発生素子
３ 吐出口
４ 循環エネルギー発生素子
５ 液体流通流路
６ 基板
７ 吐出口形成部材
８ 発泡室
１０ 液体循環流路
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】