特許 7419115 処理装置と切換バルブユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-12

(45)【発行日】2024-01-22

(54)【発明の名称】処理装置と切換バルブユニット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240115BHJP

   F16K 1/34 20060101ALI20240115BHJP

   F16K 1/44 20060101ALI20240115BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 648L

F16K1/34 A

F16K1/44 A

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2020040751

(22)【出願日】2020-03-10

(65)【公開番号】P2021144975

(43)【公開日】2021-09-24

【審査請求日】2023-02-02

(73)【特許権者】

【識別番号】501417929

【氏名又は名称】株式会社キッツエスシーティー

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100081293

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 哲男

(72)【発明者】

【氏名】星野 好文

(72)【発明者】

【氏名】樋口 英明

(72)【発明者】

【氏名】岸谷 京太郎

(72)【発明者】

【氏名】西出 基

【審査官】平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０９２１４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／１０３５２３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】実開昭５７－００８９６１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１１－０３３０８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２５７７４５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｆ１６Ｋ １／３４

Ｆ１６Ｋ １／４４

Ｆ１６Ｋ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数種の処理流体で被処理体を処理するチャンバと、前記チャンバに接続され、かつ前記チャンバから前記複数種の処理流体が排気される排気管と、前記排気管に接続され、かつ前記複数種の処理流体の種類ごとに対応する分岐ダクトと、前記分岐ダクトに接続され、かつ前記複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する複数の集合排気ダクトと、前記集合排気ダクト内に前記複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する切換バルブ機構と、を備え、前記切換バルブ機構は、前記チャンバからの処理流体を前記集合排気ダクト内へ排出する排出弁体と、前記集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造としたことを特徴とする処理装置。

【請求項2】

前記切換バルブ機構は、前記集合排気ダクトの内部に挿入した状態で前記集合排気ダクトの内部に取り付けられる請求項１に記載の処理装置。

【請求項3】

前記切換バルブ機構は、外気導入口と弁座口を有する保持板と、アクチュエータを介して前記保持板の略中央部を貫通して直動する直動ロッドと、前記直動ロッドの先端側に設けた排出弁体と、前記排出弁体と前記保持板との間の前記直動ロッド上に設けた導入弁体と、を備えており、前記切換バルブ機構は、少なくとも前記導入弁体および前記排出弁体が前記集合排気ダクトに内蔵され、前記導入弁体と前記排出弁体の双方を対向させ、前記直動ロッドにより直動式に開閉するようにした請求項２に記載の処理装置。

【請求項4】

前記排出弁体と前記導入弁体には、流量調整するためのニードル部をそれぞれ設けた請求項３に記載の処理装置。

【請求項5】

前記排出弁体には、前記集合排気ダクトの排出口を密封シールするためのシール部材を設け、かつ前記導入弁体には、前記弁座口を密封シールするためのシール部材を設けた請求項３又は４に記載の処理装置。

【請求項6】

複数の集合排気ダクトと、前記集合排気ダクト内に前記複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する切換バルブ機構と、を備えた切換バルブユニットにおいて、前記切換バルブ機構は、前記複数種扱われる処理流体の種類ごとに前記対応する集合排気ダクト内へ処理流体を排出する排出弁体と、前記集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造としたことを特徴とする切換バルブユニット。

【請求項7】

前記切換バルブ機構は、前記集合排気ダクトの内部に挿入した状態で前記集合排気ダクトの内部に取り付けられる請求項６に記載の切換バルブユニット。

【請求項8】

前記切換バルブ機構は、外気導入口と弁座口を有する保持板と、アクチュエータを介して前記保持板の略中央部を貫通して直動する直動ロッドと、前記直動ロッドの先端側に設けた排出弁体と、前記排出弁体と前記保持板との間の前記直動ロッド上に設けた導入弁体と、を備えており、少なくとも前記導入弁体および前記排出弁体を集合排気ダクトに内蔵し、前記導入弁体と前記排出弁体の双方を対向させ、前記直動ロッドにより直動式に開閉するようにした請求項６に記載の切換バルブユニット。

【請求項9】

前記排出弁体と前記導入弁体には、流量調整するためのニードル部をそれぞれ設けた請求項８に記載の切換バルブユニット。

【請求項10】

前記排出弁体には、前記集合排気ダクトの排出口を密封シールするためのシール部材を設け、かつ前記導入弁体には、前記弁座口を密封シールするためのシール部材を設けた請求項８又は９に記載の切換バルブユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば、半導体ウェハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、光ディスク基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板などの被処理体を、薬液や純水などの処理流体で処理する処理装置と切換バルブユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

一般的に、半導体などの製造工程において、基板などの被処理体は、各種の処理流体で処理される。この処理は、例えば、真空チャンバを有し、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の処理ユニットで行われる。この処理ユニットは、特許文献２に記載のように、チャンバ、基板保持機構、処理流体供給部と、回収カップ等が備えられ、処理においては、基板は、基板保持機構に水平状に保持されつつ回転状態とされた上で、この基板に対して処理流体供給部から処理流体が供給される。回収カップは、基板保持機構を中心として包囲するように設けられ、回転状態の基板から飛散する処理流体を捕集可能に構成される。この捕集された処理流体は、回収カップ下側に重力で収集されると共に、回収カップ下部に設けられた排出口から排水管、排気管を通って処理ユニット外部へ排出されるようになっている。

【0003】

上記のような処理に用いられる処理流体には、特性が大きく異なる複数種の処理流体を用いる必要がある場合が多く、例えば酸系の処理流体で処理した後、排気管内にこの処理流体の雰囲気が残存した状態で、次のアルカリ系の処理流体をチャンバ内に導入すれば、主として塩の発生によりパーティクル生成の大きな原因となる。ウェハを洗浄する工程に用いられる特性が大きく異なる複数種の処理流体として、例えば、３種の処理流体（酸系薬液としてＳＣ１（アンモニア、過酸化水素及び水の混合液）、アルカリ系薬液としてＨＦ（ふっ酸）、有機系溶剤としてＩＰＡ（イソプロピルアルコール））を用いた洗浄処理がある。

【0004】

上記のような問題に対応するため、処理室内と接続した排気管に排気切換ユニットを設け、この排気切換ユニットが、分配ボックスと切換弁ボックスと排気筒からなり、処理流体に対応した個数の切換弁ボックスを分配ボックスに並列状態に接続すると共に、切換弁ボックスの内部には、排気方向にスイングする切換弁をそれぞれ設ける処理装置がある（特許文献１）。また、同様の効果を得る発明として特許文献２がある。

【0005】

特許文献１の処理装置には、図１０にも示すように、処理室１００内と接続した排気管１０１に排気切換ユニット１０２が設けられている。この排気切換ユニット１０２は、分配ボックス１０３と、これに密封状に接続された図示していない切換弁ボックスと、これに密封状に接続された排気筒１０５から成っている。複数種の処理流体の種類に応じた個数の切換弁ボックスは、分配ボックス１０３に並列状態に接続されており、切換弁ボックスの内部には、排気方向にスウィングする切換弁１０６と、排気方向と交叉する方向に大気を導入する図示していないリリーフ弁がそれぞれ設けられている。この排気切換ユニット１０２は、切換弁ボックスの排気方向の端部に排気筒１０５を設けて構成されていると共に、排気切換ユニット１０２は図示しない保持体で積層状態に多段に構成されている。

【0006】

特許文献２の基板液処理装置には、排気切換ユニットが所定部位に備えられており、この排気切換ユニットは、排気管からの排気が導入される排気導入部と、個別排気管ごとに設けられ排気導入部に連通する排気取込口と、個別排気管に連通する流出口と、外気を取り込む外気取込口と、排気取込口、流出口および外気取込口の連通状態を排気取込口と流出口とが連通した状態または外気取込口と流出口とが連通した状態に切り替える弁体とを有する複数の切換機構を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特許第６２１９８４８号

【文献】特許第６２８９３４１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、何れの従来技術においても、排気用のダクトと排気管との間に何らかのバルブを備えた排気機構が設けられ、これらのバルブの開閉によりダクト内に排出される処理流体が切換えられるが、排気吸引によってダクト内は負圧状態となるので、流体切換のためのバルブの切換えに伴い、これに連通しているチャンバ内にも圧力変動が生じ、この圧力変動が大きいと、チャンバ内のパーティクルの舞い上がりや対流が大きくなり、チャンバ内の高清浄性が損なわれることになるから、この圧力変動をできるだけ抑制する必要がある。

【0009】

特許文献１、２では、対策として、排気機構には、外気導入のための何らかのバルブや配管も併設し、これらを介した外気導入により、圧力変動などの適切な緩和が図る必要があった。そのため、処理装置の大型化と複雑化の問題がある。

【0010】

そこで、本発明は、上記の問題点を解決するために開発したものであり、その目的とするところは、処理室から複数種の処理流体を排出する際に、処理室内の圧力変動の適切な抑制と、複数種の処理流体の確実な切り替えを確保しつつも、簡素かつコンパクトな処理装置と切換バルブユニットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、複数種の処理流体で被処理体を処理するチャンバと、チャンバに接続され、かつチャンバから複数種の処理流体が排気される排気管と、排気管に接続され、かつ複数種の処理流体の種類ごとに対応する分岐ダクトと、分岐ダクトに接続され、かつ複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する複数の集合排気ダクトと、集合排気ダクト内に複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する切換バルブ機構と、を備え、切換バルブ機構は、チャンバからの処理流体を集合排気ダクト内へ排出する排出弁体と、集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造とした処理装置である。

【0012】

請求項２に係る発明は、切換バルブ機構は、集合排気ダクトの内部に挿入した状態で集合排気ダクトの内部に取り付けられる処理装置である。

【0013】

請求項３に係る発明は、切換バルブ機構は、外気導入口と弁座口を有する保持板と、アクチュエータを介して保持板の略中央部を貫通して直動する直動ロッドと、直動ロッドの先端側に設けた排出弁体と、排出弁体と保持板との間の直動ロッド上に設けた導入弁体と、を備えており、切換バルブ機構は、少なくとも導入弁体および排出弁体が集合排気ダクトに内蔵され、導入弁体と排出弁体の双方を対向させ、直動ロッドにより直動式に開閉するようにした処理装置である。

【0014】

請求項４に係る発明は、排出弁体と導入弁体には、流量調整するためのニードル部をそれぞれ設けた処理装置である。

【0015】

請求項５に係る発明は、排出弁体には、集合排気ダクトの排出口を密封シールするためのシール部材を設け、かつ導入弁体には、弁座口を密封シールするためのシール部材を設けた処理装置である。

【0016】

請求項６に係る発明は、複数の集合排気ダクトと、集合排気ダクト内に複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する切換バルブ機構と、を備えた切換バルブユニットにおいて、切換バルブ機構は、複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する集合排気ダクト内へ処理流体を排出する排出弁体と、集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造とした切換バルブユニットである。

【0017】

請求項７に係る発明は、切換バルブ機構は、集合排気ダクトの内部に挿入した状態で集合排気ダクトの内部に取り付けられる切換バルブユニットである。

【0018】

請求項８に係る発明は、切換バルブ機構は、外気導入口と弁座口を有する保持板と、アクチュエータを介して保持板の略中央部を貫通して直動する直動ロッドと、直動ロッドの先端側に設けた排出弁体と、排出弁体と保持板との間の直動ロッド上に設けた導入弁体と、を備えており、少なくとも導入弁体および排出弁体を集合排気ダクトに内蔵され、導入弁体と排出弁体の双方を対向させ、直動ロッドにより直動式に開閉するようにした切換バルブユニットである。

【0019】

請求項９に係る発明は、排出弁体と導入弁体には、流量調整するためのニードル部をそれぞれ設けた切換バルブユニットである。

【0020】

請求項１０に係る発明は、排出弁体には、集合排気ダクトの排出口を密封シールするためのシール部材を設け、かつ導入弁体には、弁座口を密封シールするためのシール部材を設けた切換バルブユニットである。

【発明の効果】

【0021】

請求項１に係る発明によると、本発明の処理装置は、複数種の処理流体で被処理体を処理するチャンバと、チャンバに接続され、かつチャンバから複数種の処理流体が排気される排気管と、排気管に接続され、かつ複数種の処理流体の種類ごとに対応する分岐ダクトと、分岐ダクトに接続され、かつ複数種扱われる処理流体の種類ごとに対応する切換バルブ機構と、を備え、切換バルブ機構は、チャンバからの処理流体を集合排気ダクト内へ排出する排出弁体と、集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造とすることにより、処理流体を排気するための切換バルブ機構は、分岐ダクトに対応する処理流体に接続する複数の集合排気ダクトの内部に備えられる。よって、処理室内の圧力変動の適切な抑制と、複数種の処理流体の確実な切り替えを確保しつつも、前記分岐ダクトと集合排気ダクトとの間には排気機構による占有スペースをほぼ省略することができると共に、処理装置の大幅な簡素化も可能となる。特に、処理装置の占有スペースがコンパクトになるから、生産コストの大幅な向上も可能となる。

【0022】

また、本発明の処理装置において、切換バルブ機構は、チャンバからの処理流体を集合排気ダクト内へ排出する排出弁体と、集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造としたことで、前記排出弁体と前記導入弁体とを一体的な弁体として、その駆動を１つの駆動源（アクチュエータ）による簡易な直線動作で実現できるので、切換バルブ機構の簡素化と共に、排気シール性も良好となる。

【0023】

請求項２に係る発明によると、本発明の処理装置において、切換バルブ機構を集合排気ダクトの内部に挿入した状態で内部に取り付けられるから、切換バルブ機構を挿入方式で集合排気ダクト内に設けることができ、切換バルブ機構の着脱や交換、或はメンテナンスが極めて容易となる。

【0024】

請求項３に係る発明によると、本発明の処理装置において、切換バルブ機構は、外気導入口と弁座口を有する保持板と、アクチュエータを介して保持板の略中央部を貫通して直動する直動ロッドと、直動ロッドの先端側に設けた排出弁体と、導入弁体と保持板との間の直動ロッド上に設けた導入弁体と、を備えており、少なくとも導入弁体および排出弁体が集合排気ダクトに内蔵され、導入弁体と排出弁体の双方を対向させ、直動ロッドにより直動式に開閉するようにすることで、切換バルブ機構の占有スペース、より具体的には、チャンバと集合排気ダクトとの間には、従来技術のような排気機構による占有スペースをほぼ省略することができ、大幅に省スペース化が可能となると共に、処理装置の大幅な簡素化も可能となる。特に、処理装置の占有スペースがコンパクトになるから、処理装置の生産コストも低減される。

【0025】

また、切換バルブ機構が、外気導入口と弁座口を有する保持板と、アクチュエータを介して保持板の略中央部を貫通して直動する直動ロッドと、直動ロッドの先端側に設けた排出弁体と、導入弁体と保持板との間の直動ロッド上に設けた導入弁体と、を備えることで、導入弁体が外気導入口と弁座口を有する保持板の略中央部にアクチュエータを介して直動ロッドを直動させることでの一側に備えられるから、簡易な構成で導入弁体の開閉を行える。

【0026】

請求項４に係る発明によると、排出弁体と排出口とを流量調整するためのニードル部を設けたから、チャンバからの排気量を適切に抑制・制御することができ、よって、処理流体の排気に伴うチャンバ内の圧力変動を確実に防止できる。

【0027】

請求項５に係る発明によると、排出弁体と導入弁体にそれぞれ密封シール可能なシール部材を設けたから、切換バルブ機構において、弁座口と排出口の確実なシール性を確保できる。

【0028】

請求項６に係る発明によると、本発明の切換バルブユニットは、複数の集合排気ダクトからの複数種の処理流体の確実な切り換えを確保しつつも、簡素かつコンパクトな切換バルブユニットを提供できる。

【0029】

請求項７に係る発明によると、本発明の切換バルブユニットは、切換バルブ機構を集合排気ダクトの内部に挿入した状態で内部に取り付けられるから、切換バルブ機構を挿入方式で集合排気ダクト内に設けることができ、切換バルブ機構の着脱や交換、或はメンテナンスが極めて容易となる。

【0030】

請求項８に係る発明によると、本発明の切換バルブユニットは、直線動作をする１つの駆動源（アクチュエータ）につなげることにより導入弁体と排出弁体の双方を対向させ、直動ロッドにより直動式に開閉するから、切換バルブユニットの簡素化と共に、排気と外気導入とを一体的に連動させることができる。

【0031】

請求項９に係る発明によると、本発明の切換バルブユニットは、排出弁体と排出口とを流量調整するためのニードル部を設けたから、複数の集合排気ダクトからの複数種の処理流体の排気量を適切に抑制・制御することができ、よって、処理流体の排気に伴うチャンバ内の圧力変動を確実に防止できる。

【0032】

請求項１０に係る発明によると、本発明の切換バルブユニットは、排出弁体と導入弁体にそれぞれ密封シール可能なシール部材を設けたから、切換バルブ機構において、弁座口と排出口の確実なシール性を確保できる。

【図面の簡単な説明】

【0033】

【図1】本発明の実施形態の一例の処理装置（切換バルブユニット）を模式的に示した説明図である。

【図2】本発明の実施形態の一例の切換バルブ機構の断面図である。

【図3】本発明の実施形態の一例の切換バルブ機構を模式的に示した斜視図である。

【図4】（ａ）は、図３において、外気導入側から見た外観を示した模式図であり、（ｂ）は、シャッター部材を示した正面図である。

【図5】本発明の実施形態の一例の切換バルブ機構において、排出弁体を閉じた状態の断面図である。

【図6】本発明の実施形態の一例の切換バルブ機構において、中間開度状態の断面図である。

【図7】本発明の実施形態の一例の切換バルブ機構において、導入弁体を閉じた状態の断面図である。

【図8】本発明の実施形態の他の例の切換バルブ機構の断面図である。

【図9】本発明の実施形態の他の例の切換バルブ機構において、導入弁体を閉じた状態の断面図である。

【図10】従来技術（特許文献１）に係る処理装置を模式的に示した説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0034】

以下、本発明の各実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態の一例（以下、「本例」という。）の処理装置１を模式的に示した説明図であり、図２は、本例の切換バルブ機構２の分解断面図である。また図３は、本例の切換バルブ機構２を、集合排気ダクト７内に内蔵した状態を示した模式斜視図であり、図４（ａ）は、図３において、導入弁体９（外気導入口１０）を正面側として模式的に示した正面外観図であり、図４（ｂ）は、シャッター部材１６を示した正面外観図である。

【0035】

図１において、本例の処理装置１は、複数種の処理流体で、図示しない被処理体を処理するチャンバ４と、このチャンバ４に接続され、かつチャンバ４から前記複数の処理流体が排気される排気管５と、この排気管５に接続され、かつ前記複数種の処理流体の少なくとも１つに対応する分岐ダクト６と、この分岐ダクト６に接続され、かつ分岐ダクト６に対応する処理流体を集合排気ダクト７に排気するための切換バルブ機構２と、を備えている。

【0036】

図１において、模式的に示したチャンバ４は、図示しない被処理体を処理する処理室であり、この処理としては例えば、半導体ウェハの洗浄処理がある。このウェハ洗浄処理の場合、例えば、チャンバ４に枚葉式ウェハ洗浄装置が設置されると、ウェハ１枚毎にウェハが搬出入可能となっており、このウェハは、図示していない回転プレート上に水平面内で回転可能に保持される。チャンバ４内には、図示していない酸性処理液（例えば、ＳＰＭ）、アルカリ処理液（例えば、ＳＣ１）、リンス処理液（例えば、純水）と、乾燥処理用として有機性処理液（例えば、ＩＰＡ）をそれぞれ吐出可能なノズルが備えられ、前記洗浄処理においては、回転プレートに回転状態で保持されたウェハに上方から各処理液が、例えば酸処理、リンス処理、アルカリ処理、リンス処理、有機処理、リンス処理の順で吐出されて液処理が行われる。

【0037】

このような各液による液処理の後は、チャンバ４内は、液処理に用いられた液体の雰囲気がミスト状に残存しているので、このミスト状の残存雰囲気を、本発明の処理装置１によって外部に確実に排気処理し、各液同士がチャンバ４内、排気管５内などにおいて混合することが無いようにするものである。このように、本発明における処理流体の種類の意味としては、少なくとも、同一の集合排気ダクト７（配管）でなく、別の集合排気ダクト７に分けて排気処理を行う必要性の有無で同一種か別種かを区別しており、同一の集合排気ダクト７で処理できる場合は同一種、別の集合排気ダクト７で処理する必要がある場合は別種の流体を意味する。よって、上記のような酸性処理液、アルカリ性処理液、有機性処理液を、それぞれ別種の処理流体として扱う場合のほか、異なる特性を有していても同一の集合排気ダクト７で排気処理可能な流体は、同一種として扱ってもよい。さらに、流体とは、一般的な文言通りの意味であって、例えば、液体状のほか、これがミスト状ないし気化した状態も含む意味である。

【0038】

また、図１は模式的に示しているが、本例の処理装置１の具体的な構成としては、例えば、３つの集合排気ダクト７は並列に配置される。３つの集合排気ダクト７が集積した集合排気ダクト７の側面に、交差する垂直方向に向けて分岐ダクト６が構成される。なお、３本の集合排気ダクト７の配置順としては、分岐ダクト６が３又状に構成され、チャンバ４からの排気流路（排気管５と分岐ダクト６を通る集合排気ダクト７までの排気流路）上の距離が３本の集合排気ダクト７の何れとも等しく構成される場合や、排気流路上、チャンバ４に近い順にアルカリ性流体用、有機性流体用、酸性流体用に配管される場合など、実施（洗浄処理の順番など）に応じて任意に選択可能であることは勿論である。

【0039】

また、図１、図２において、切換バルブ機構２は、チャンバ４からの処理流体を集合排気ダクト７内へ排出する排出弁体８と集合排気ダクト７内へ外気を導入する導入弁体９とを連結して直動式構造としている。本例では、この切換バルブ機構２の具体的な構成は、少なくとも導入弁体９と排出弁体８が集合排気ダクト７に内蔵され、導入弁体９と排出弁体８の双方を主面で対向させ、直動するロッド１４により対向した主面に垂直な方向に移動し、導入弁体９が弁座口１１を開閉する又は排出弁体８がチャンバ４からの処理流体を集合排気ダクト７内へ排出するように直動式に開閉するように構成している。さらに、この切換バルブ機構２は、後述の図３、４に示すようにして、対応する処理流体の集合排気ダクト７の内部に直動ロッド１４を挿入した状態で集合排気ダクト７の内部に取り付けられる。図３、４における切換バルブ機構２は、このように挿入した状態を模式的に示している。

【0040】

上記のように処理装置１を構成することによって、チャンバ４から集合排気ダクト７までの排気切換構造を、コンパクトに収めた処理装置１を実現できる。

【0041】

特に、特許文献１（従来技術）と比較すると、占有スペースとしては、同文献における切換弁ボックスの構造をほぼ省略することができながら、確実な排気切り替え機能が確保された処理装置１を構成できる。また、特許文献２と比較しても、少なくとも同文献に開示された排気切換ユニットのような複雑な構成を採る必要が無い。また、切換バルブ機構２は導入弁体９および排出弁体８が集合排気ダクト７に内蔵され導入弁体９と排出弁体８の双方を主面で対向させ、直動するロッド１４により対向した主面に垂直な方向に移動し、導入弁体９が弁座口１１を開閉する又は排出弁体８がチャンバ４からの処理流体を集合排気ダクト７内へ排出するようにしたから、駆動源（アクチュエータ）も１つで済ませることが可能となる。

【0042】

図２は、本発明の切換バルブ機構２の構造を示した分解断面図である。切換バルブ機構２は、外気導入口１０と弁座口１１を有する保持板１２と、アクチュエータ１３を介して保持板１２の略中央部を貫通して直動する直動ロッド１４と、直動ロッドの先端側に設けた排出弁体８と、排出弁体８と保持板１２との間の直動ロッド１４上に設けた導入弁体９と、を備えている。アクチュエータ１３を介して保持板１２の略中央部を貫通して直動する直動ロッド１４と、直動ロッド１４の先端側に設けた排出弁体８と、排出弁体８と保持板１２との間の直動ロッド１４上に設けた導入弁体９は、対応する処理流体の集合排気ダクト７に内蔵されている。直動ロッド１４がアクチュエータ１３により往復移動することにより、導入弁体９が弁座口１１を開閉し、排出弁体８がチャンバ４からの処理流体を集合排気ダクト７内へ排出する排出口１７を直動式に開閉する。

【0043】

図１、２には、切換バルブユニット３を示している。本例の切換バルブユニット３は、複数種の集合排気ダクト７と、これらの集合排気ダクト７内において、それぞれ扱われる処理流体の種類ごとに対応する切換バルブ機構２と、を備えている。

【0044】

また、図３は本例の切換バルブ機構２を模式的に示した斜視図である。図４（ａ）は、図３に示した状態において、アクチュエータ１３が備えられた外気導入側から正面視した外観模式図であり、同図（ｂ）は、この外気導入側に備えられたシャッター部材１６単体を示した正面図である。

【0045】

図２～４において、切換バルブ機構２は、アクチュエータ１３が備えられた保持板１２（着脱機構）を介して、集合排気ダクト７に対して着脱自在に装着可能に構成されている。切換バルブ機構２は、このように所定の着脱機構を介して、適宜の配管内に装着可能に構成されていれば、その構成は、実施に応じて任意に選択可能である。

【0046】

図２～４において、本例の保持板１２は、略円盤状に構成されており、円形フランジ状の固定部１２ａと、この固定部１２ａの外径より小径で短尺筒状の嵌合挿入部１２ｂとを有している。固定部１２ａの略中央位置には、アクチュエータ１３が備えられていると共に、外気導入口１０が形成されて固定部１２ａを貫通している。外気導入口１０の形状や位置は実施に応じて任意に選択可能であるが、本例では、後述の図４（ｂ）に示すシャッター部材１６に形成されている開口部１６ａの形状・位置にほぼ一致するように形成されているため、アクチュエータ１３が固着された略中央位置から略扇状の外気導入口１０が放射状に形成される。

【0047】

図２～４において、固定部１２ａは、ボルト３３を介して集合排気ダクト７に設けられた略同形状の保持体１８に着脱自在に固定可能となっている。この固定部１２ａと同心状に、嵌合挿入部１２ｂが設けられており、この嵌合挿入部１２ｂの外径は、保持体１８の内径と略同径であり、この保持体１８の筒状の内周面に挿入・嵌合される。また、本例では、嵌合挿入部１２ｂの内径は、保持板１２と同心状に開口している外気導入口１０を完全に内径側に包囲できる大きさが確保され、外気導入口１０は、保持板１２の外側と嵌合挿入部１２ｂの内径側とを連通させている。なお、固定部１２ａと保持体１８との間にはシール部材としてＯリングが設けられて集合排気ダクト７の内外がシールされる。

【0048】

嵌合挿入部１２ｂの集合排気ダクト７内へ挿入・嵌合される端面側は、平面状に形成されており、この端面側には、導入弁体９のシール面１９が環状に形成される。このシール面１９の内径側が、集合排気ダクト７内に向けて開口した弁座口１１となる。

【0049】

図２～４において、集合排気ダクト７は、本例では断面略矩形状に形成されており、上記のような複数種扱われる処理流体の一つの種類ごとに一つ配管され、分岐ダクト６と密封状に連通している。分岐ダクト６は、集合排気ダクト７内に、排出口１７を介して開口し、チャンバ４からの処理流体を排出可能となっている。

【0050】

また、半導体製造プロセスで扱われる処理流体の場合、腐食性が高い場合が多いため、その排気が直接接触する配管部材などには、なるべく非金属製材料を用いることが好ましいため、本例の集合排気ダクト７は、所定の透明な樹脂製で設けられている。さらに、後述のように、排気される処理流体に直接曝される直動ロッド１４、排出弁体８、導入弁体９なども、適宜樹脂製で設けられており、稼働中に排気が浸入して曝される虞のある金属製部材には可能な限りシール部材を設けて排気を遮断するように構成されれば好適である。

【0051】

ここで、本例では、上記のように保持板１２の略中央位置を貫通して直動ロッド１４を直動するアクチュエータ１３が備えられ、このアクチュエータ１３は外気導入側を遮るように保持板１２に挿し込むタイプであるから、少なくとも外気導入側の中央が遮られることになる。これに対し、後述する作用により、チャンバ４からの排気と、外部からの外気を、共通する１本の集合排気ダクト７へ流入させるにあたっては、図２において、なるべく外気導入の開口面積（外気導入口１０の総面積）と、排気導入の開口面積（排出口１７の面積）とが、等しいほど好適である。

【0052】

このため、アクチュエータ１３が存在することで外気導入が減少する分を補うため、本例では、予め、排出口１７の内径を、外気導入側の内径、すなわち、嵌合挿入部１２ｂの内径より小さく設けた上で、外気導入口１０の面積などにより、外気導入量と排気導入量とが略等しくなるように調整している。具体的には、弁座口１１の内径側に、弁座口１１の開口側に向けて縮径する内周テーパ面１１ａ（テーパ部）を形成することにより、外気導入の開口面積を調整するようにしている。

【0053】

図２～４において、アクチュエータ１３は、導入弁体９と排出弁体８の双方を主面で対向させ、対向した主面に垂直な方向に直動ロッド１４を適切に駆動させることができれば実施に応じて任意に選択できるが、本例では圧縮エアの給排気により駆動するエアシリンダ機構１３を用いている。このエアシリンダ機構のアクチュエータ１３は、ピストン２０と、これに連結されたピストンロッド２１と、ハウジング３７と、シリンダ２２とを有しており、切換バルブ機構２が集合排気ダクト７に内蔵された状態においては、固定部１２ａと同心状に、長尺筒状のハウジング３７が外方に向けて突設固定されると共に、長尺筒状のシリンダ２２が内方に向けて突設固定される。ピストンロッド２１は、固定部１２ａを挿通してハウジング３７とシリンダ２２との内部を同心状に駆動される。なお、本例のピストンロッド２１は金属製なので、集合排気ダクト７内で処理流体をシールするため、シリンダ２２の内周面にはＯリング２３が設けられている。

【0054】

図２において、エア室２４には、エアポート２４ａが連通しており、エア室２５には、エアポート２５ａが連通し、エア室２４、２５は互いにピストン２０を介して密封されている。後述のように、図示していない駆動エア供給源からエアポート２４ａを介してエア室２４に圧縮エアが供給されると、ピストン２０がシリンダ２２の筒状の内周面をスライド移動し、この移動に伴いピストンロッド２１と直動ロッド１４、およびこれらに固定された２つの弁体（排出弁体８、導入弁体９）が一体的に排出口１７側に駆動される。

【0055】

図２～４において、切換バルブ機構２では、アクチュエータ１３により、排出弁体８、導入弁体９の双方を主面で対向させ、対向した主面に垂直な方向に直動ロッド１４により駆動される。本例では、ピストンロッド２１に直動ロッド１４が直線状に連結されており、この直動ロッド１４の一端側には、直動ロッド１４と同心状に排出弁体８が固着されている。

【0056】

導入弁体９は、本例では排出弁体８と同径の略円盤状に設けられ、軸対称位置に設けられた３本の連結ロッド２８を介して、排出弁体８に対して直動ロッド１４の他端側（先端側）に同心状に固着されている。導入弁体９の中心位置には円形状の開口部が設けられ、この開口部にシリンダ２２が摺動可能に挿通しており、このシリンダ２２の筒状の外周面との摺動部位となる開口部内周面には、Ｏリング２９が設けられている。導入弁体９は直動ロッド１４のもう一方の端側に同心状に固着されている。本発明の例では、排出弁体８と導入弁体９は間隔が保たれている。

【0057】

なお、弁体のシールに用いられるＯリング２６、３０は、少なくとも、平面状のシール面に対して面接触により排出口１７、弁座口１１をそれぞれ密封シール可能なシール部材であればよく、例えば、Ｏリングのほか、高い耐食性・耐久性に加え、密着・離間性の良い樹脂製や金属製の環状シール部材を用いてもよい。

【0058】

導入弁体９と排出弁体８の双方を主面で対向させ、対向した主面に垂直な方向に直動ロッド１４により直動式に開閉するようにした排出弁体８、導入弁体９は、同一軸上をストロークする。本例の構造においては、直動ロッド１４の長さ（或は排出弁体８と導入弁体９との距離）と、弁座口１１と排出口１７との距離との関係で定まり、本例では、４７ｍｍ程度に設けられる。また、本例では、排出弁体８、導入弁体９の何れも、バルブ開口面積、すなわち外気導入口１０の総面積と排出口１７の面積よりも、ストロークによる投影面積が大きくなるようにストロークが確保される。本例における弁体のストロークによる投影面積とは、円盤状を呈した弁体の外周側が、全ストローク範囲で掃く円筒状の面積領域を意味する。導入弁体９と排出弁体８との距離は、弁座口１１と排出口１７との距離より短く設定される。

【0059】

図３、４において、シャッター部材１６は、外気導入口１０の開口面積を適宜調整可能な手段の一例であって、このようなシャッター構造以外にも、実施に応じて任意に選択できるが、本例では、略円形プレート状に形成されたシャッター部材１６を用いており、所定の樹脂で一体的に形成されている。このシャッター部材１６の外径は、外気導入口１０の外周囲の外径よりも大きく設けられ、対称位置に設けられた４つの蝶ネジ３１により、外気導入口１０を被覆するようにして、固定部１２ａの外側に同心状に着脱自在に固定される。この固定した状態を正面視した図が、図４（ａ）である。また、図４（ｂ）は、単体のシャッター部材１６を示した外観図である。

【0060】

具体的には、シャッター部材１６の外周縁部を、蝶ネジ３１のディスク状のワッシャーで締め付けて固定しており、この固定状態は、少なくとも対称な４箇所の蝶ネジ３１で固定すれば、蝶ネジ３１を緩めても、シャッター部材１６が固定部１２ａから完全に外れることなく、周方向にずらすことができる。また前述のように、この固定状態において、外気導入口１０の形状・位置に略一致するように、シャッター部材１６にも開口部１６ａが形成されているので、本例では、外気導入口１０とほぼ同一形状の開口部１６ａが、同じ位置に同じ数だけ形成されている。

【0061】

図４（ｂ）に示すように、シャッター部材１６の一部には、把持部１６ｂが突出形成されており、固定部１２ａに蝶ネジ３１で固定した際には、図４（ａ）に示すように、把持部１６ｂが外周側に突出した状態となる。外気導入量を調整する場合、締め付けていた蝶ネジ３１を緩めてシャッター部材１６の固定を解除した後、この把持部１６ｂを把持して、円形状のシャッター部材１６の周方向に移動させれば、この移動に伴い、開口部１６ａと外気導入口１０との重複領域（外気連通領域）の面積を増減させることができるので、この増減に伴い、外気の導入量も調整可能となる。具体的には、ボルト３３の間に把持部１６ｂが突出しており、この間の把持部１６ｂの周方向の移動によって、開口部１６ａと外気導入口１０との重複度を、０～１００％まで調整することができる。よって、開口部１６ａが外気導入口１０と完全に重複しない位置では、シャッター部材１６によって外気導入口１０を完全に閉塞することができる。

【0062】

なお、排出弁体８と導入弁体９は、直動式なので、後述のようにアクチュエータ１３を駆動させるだけでは、同時にそれぞれの排出口１７と弁座口１１とを閉塞することはできない。同時に閉塞する場合は、例えば、後述のように排出弁体８を全閉状態としておいた上で（導入弁体９を全開状態としておいた上で）、シャッター部材１６を調整して開口部１６ａを全閉状態にすれば、外気と切換バルブ機構２内とを完全に遮断できる。

【0063】

次いで、上述の本例の作用を説明する。図５～７は、本発明の実施形態の一例である切換バルブ機構２の作用を示した断面図である。なお、これら図５～７、及び後述の本発明の実施形態の他の例（以下、「他例」という。）である図８、９は、何れも、図４（ａ）におけるＡ－Ａ線断面に対応している。なお、外気導入側である図５から図９の下側から見た視点を基準として、同図上側をプッシュ側、同図下側をプル側と称し、プッシュ側は排出弁体８を集合排気ダクト７に向けて押し込むように閉じる方向、プル側は排出弁体８を集合排気ダクト７から引き出すように開く方向となる。

【0064】

図５は、排出弁体８の閉状態であり、導入弁体９は開状態である。この状態では、Ｏリング２６がシール面２７に密着して排出口１７を密封しており、分岐ダクト６からの排気流体は集合排気ダクト７内へ流入できない。この状況は、例えば、図５の分岐ダクト６に連通する図示しないチャンバ内において、同図の集合排気ダクト７に対応した種類とは別種の処理流体によって、被処理体の処理が行われている状況に対応する。

【0065】

ここで、図１に示したように、１つの集合排気ダクト７には、複数のチャンバ４が、チャンバ４に接続し処理流体が排気される排気管５と、各チャンバ４、各排気管５に連通している分岐ダクト６と、切換バルブ機構２とを介して接続されており、チャンバ４ごとに処理が適宜制御されている。また、各集合排気ダクト７には、図示しない排気ポンプなどの負圧源が設けられて集合排気ダクト７内の排気流体を排気方向へ吸引している。なお、図１では、各集合排気ダクト７から上方向へ延びた矢印が示すＸ方向が排気方向であることを模式的に示しており、この場合、矢印が向いているＸ方向が排気の下流となり、図示していない負圧源は、この下流側に適宜設けられている。

【0066】

処理装置１は、このように構成された上で、処理の効率化のため、基本的に、１つの集合排気ダクト７は、これに対応した種類の処理流体による処理が行われているチャンバ４に連通した状態にある切換バルブ機構２を、常に有しており、このため、何れかの排出弁体８は常に開いた状態となっている。一方で、別種の処理流体による処理が行われているチャンバ４に接続されている切換バルブ機構２においては、排出弁体８は閉じているが、導入弁体９が開いて外気と連通している。よって、集合排気ダクト７には、このように開いている排出弁体８や導入弁体９を介して、何れかの排気処理中のチャンバ内や外気側を上流として、負圧源の方向に向けて定常的な排気流が形成されている。そして、本発明の処理装置１では、このような集合排気ダクト７内に常時形成されている排気流に対する、排気切換に伴う弁体の開閉動作の影響を、適切に抑制可能となっている。

【0067】

このため、図５においては、導入弁体９が全開なので、外気導入口１０、弁座口１１を介して、集合排気ダクト７内へ外気が導入される。図５では、外気の導入方向を、矢印Ｙで模式的に示しており、本例において具体的には、弁座口１１から集合排気ダクト７内に導入された後、図５の紙面貫通方向（白抜き矢印の示す方向であり、図１の矢印が示すＸ方向に相当）へと導入されることになる。

【0068】

また、本例では、直動ロッド１４の駆動源に、１つのエアシリンダ機構のアクチュエータ１３を用いており、排出弁体８をプッシュ側に閉じる際は、エア室２４にエアポート２４ａを介して圧縮エアを供給してピストン２０をプッシュ側に駆動させると共に、プル側のエア室２５からはエアポート２５ａを介してエアが排出される。逆に、導入弁体９をプル側に閉じる際は、プル側（同図上側）のエア室２５にエアポート２５ａを介して圧縮エアを供給してピストン２０をプル側に駆動させると共に、プッシュ側のエア室２４からはエアポート２４ａを介してエアが排出される。

【0069】

なお、エアシリンダ機構のアクチュエータ１３の駆動は、図示しない適宜の制御機構を介して、所定の自動制御が可能となるように構成されていれば好適であり、特に、弁体（排出弁体８、導入弁体９）の位置検知機能が備えられていれば、好適である。具体的には、導入弁体９の全閉位置を原点として、何れかの駆動部位（排出弁体８、導入弁体９、直動ロッド１４など）の位置を検知できるセンサーなどが備えられていれば、チャンバ４からの雰囲気漏れを適切に検出し易くなるため、好適である。

【0070】

次に、図６は、排出弁体８を開く途中を示しており、よって、排出弁体８と導入弁体９とは、何れも開となっている。この状況は、例えば、図６の分岐ダクト６に連通している図１のチャンバ４内において、同図の集合排気ダクト７に対応した種類の処理流体による処理が行われた後、その処理流体を排気管５、分岐ダクト６を経由して同図の集合排気ダクト７に排気する状況に対応する。

【0071】

次いで、図７は、導入弁体９の全閉状態であり、よって、排出弁体８は全開状態である。この状態では、図２に示すＯリング３０がシール面１９に密着して弁座口１１を密封しており、外気導入口１０からの外気は集合排気ダクト７内へ流入できない。この状態で、同図の分岐ダクト６に連通している図示しないチャンバ内から、排気管５、分岐ダクト６を経由して同図の集合排気ダクト７に対応した種類の処理流体を排気することができる。同図でも、排気された処理流体の導入方向を、矢印Ｚで模式的に示しており、排出口１７から集合排気ダクト７内に導入された後、同図に示すように、同図の紙面貫通方向（白抜き矢印の示す方向であり、図１の矢印が示すＸ方向に相当）へと排気されることになる。

【0072】

ここで、チャンバ４内の処理流体を排気する際、すなわちチャンバ４の密封状態の開放又は閉塞の際に、チャンバ４内部空間の圧力変動を抑制するためには、少なくとも、チャンバ４内と直接連通している集合排気ダクト７内に形成されている定常的な排気流の状態を乱さないようにすることが有効である。この排気流には、上述の処理装置１の構成により、各切換バルブ機構２において、排出弁体８を介したチャンバ４内から排気された処理流体、又は導入弁体９を介した外気が、常に流入している。このため、これらの弁体を開閉する排気処理の際に、これらの流入量の変動を抑制することにより、集合排気ダクト７内の圧力変動を効果的に抑制することができ、よって、チャンバ４内の圧力変動の抑制にも大きく寄与する。

【0073】

そして、流入量変動の抑制のためには、流入流路断面積を、排出弁体８、導入弁体９の弁体開閉の前後で略一定に保つことが、少なくとも構造的に集合排気ダクト７内の排気流体の定常性を確保するにあたって有効である。この流入流路断面積は、切換バルブ機構２においては、排出弁体８と導入弁体９との流入流路面積の和であって、具体的には、集合排気ダクト７内から見た排出弁体８とシール面２７とが形成する投影面積と、導入弁体９とシール面１９とが形成する投影面積との和となる。

【0074】

本発明では、排出弁体８と導入弁体９を主面で対向させ、対向した主面に垂直な方向にアクチュエータ１３により直動ロッド１４を直動する。さらに、好ましくは、図５から図７に示すように排出口１７及び弁座口１１の開口面積を略同一となるように構成すると、図５～７に示すように、直動ロッド１４が駆動する間、常に排出口１７側と弁座口１１側との流入流路断面積は、互いにトレードオフの関係に確実に保たれ、これらから流入する流体の流量も、略一定に保つことができる。

【0075】

このように、本発明の切換バルブ機構では、集合排気ダクトへ通じる流路断面積の総和を一定に保ち、これにより流入量の総和を略一定に保つことで、集合排気ダクト内の排気流体の圧力変動の効果的な抑制を実現するようにしている。しかも、導入弁体９および排出弁体８が集合排気ダクト７に内蔵され、導入弁体９が排出弁体８と同径の円盤状に設けられ、軸対称位置に設けられた３本の連結ロッド２８を介して、排出弁体８に対して直動ロッド１４の他端側に同心状に固着されているので、導入弁体９と排出弁体８の双方を対向させ、ロッドにより直動式に開閉されるから、切換バルブとして動作性も良好である。

【0076】

なお、集合排気ダクト７内に形成されている排気流へ、排出弁体８や導入弁体９から、処理流体又は外気が流入していく際には、さらに、処理流体又は外気の流れがなるべく乱れることなく、なるべくスムーズに流れに合流できるように構成されていれば、より好適である。特に弁体が開く際に、急激に集合排気ダクト７内へ流体が流入することがなく、この際の流入を適切に抑制できる構造が好適である。このため、後述するニードル部３５のほか、所定構造・位置に設けたミストトラップや案内板など、流入流体を案内する構造的な改良を施すようにしても良い。

【0077】

続いて、本発明の切換バルブ機構の他例の構造を説明する。図８、９は、この他例の切換バルブ機構２を示した断面図であり、この切換バルブ機構２の排出弁体８には、この排出弁体８と排出口１７とを流量調整するためのニードル部３５が、それぞれ排出口１７または弁座口１１と面する主面に設けられている。なお、同図において、前述した本例（図２～７）の切換バルブ機構２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。また、アクチュエータ１３による直動ロッド１４の駆動作用や、排出弁体８や導入弁体９の開閉作用は、上述した本例と同様である。

【0078】

図８、９において、ニードル部３５は、略円盤状に一体形成され、先端部が排出口１７の内径よりも小さい外径を有し、排出弁体８に面する側が排出弁体８のＯリング２６側に同心状に固定されており、具体的には、中空カップ状の形態を呈している。具体的には、この他例では、中央位置のボルトで、直動ロッド１４の先端部に同心状に挿通させて固着している。また、ニードル部３５には、この固定状態において、排出口１７側に向けて縮径する外周テーパ面３６（テーパ部）が形成されている。ニードル部３５にテーパがあることで、排出弁体８（外周テーパ面３６）とシール面２７との密閉度がより高まる。テーパの形成により、シール面２７と排出弁体８との間に排気ガスが残留し、集合排気ダクト７内に排気ガスが結晶化してしまうことを抑えることができる。それにより、長時間のメンテナンスが不要となる。また、テーパがあることで、直動ロッドを片方のみで軸を支持する構造であっても、シール面２７の排出弁体８への挿入において位置ズレが起こりにくくなる。なお、ニードル部３５は、同図においては排出弁体８と別体に構成されているが、このような構成の他、排出弁体８と一体的に構成するなど、その構成は実施に応じて任意に選択可能である。

【0079】

図８、９に示すように、この外周テーパ面３６により、排出弁体８を開く際、又は閉じる際には、外周テーパ面３６とシール面２７との間の流路断面積の変化を緩和させることができるから、シール面２７に対する排出弁体８の移動による排出口１７の開閉の際に、分岐ダクト６から集合排気ダクト７へ排気が流入する流入量の変動を、さらに適切に緩和させることができ、集合排気ダクト７内の圧力変動を抑制できる。このニードル部３５を有さない場合には、開閉の際の流入量変動は、さらに急激な変化となり得る。

【0080】

また、図６に示すような中間開度においても、排出口１７からの流入流体の勢いによって、集合排気ダクト７内の圧力変動が大きい場合がであっても、図８、９に矢印で示したように、この流入流体はニードル部３５（外周テーパ面３６）に当たってスムーズに集合排気ダクト７内へと案内されるので、集合排気ダクト７内が乱されることなく圧力変動も抑制できる。なお、図示していないが、このニードル部３５と同様に構成されたニードル部材を導入弁体９に固定してもよい。

【0081】

すなわち、導入弁体９と同心状に固定可能であり、この固定状態で、弁座口１１側へ向けて縮径する外周テーパ面を有するニードル部材を、導入弁体９のＯリング３０側へ固定すれば、外気導入口１０を介した外気流入を、上記の排気流入と同様に、スムーズな流れに緩和でき、圧力変動も抑制できる。さらに、圧力変動の抑制により、導入弁体９の開閉に伴う外気導入口１０を介した流体の急激な流出入も抑制できるから、例えば、集合排気ダクト７内の処理流体の雰囲気が、導入弁体９を開いた際に外部へ漏出する現象も適切に抑制することも可能となる。

【0082】

更に、本発明は、前記実施の形態の記載に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。

【符号の説明】

【0083】

１ 処理装置
２ 切換バルブ機構
３ 切換バルブユニット
４ チャンバ
５ 排気管
６ 分岐ダクト
７ 集合排気ダクト
８ 排出弁体
９ 導入弁体
１０ 外気導入口
１１ 弁座口
１２ 保持板
１３ アクチュエータ
１４ 直動ロッド
１７ 排出口
２６ ３０ Ｏリング（シール部材）
３５ ニードル部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】