特許 7422424 平面研削盤および研削方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-18

(45)【発行日】2024-01-26

(54)【発明の名称】平面研削盤および研削方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/02 20120101AFI20240119BHJP

   B24B 53/12 20060101ALI20240119BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20240119BHJP

   B24B 53/00 20060101ALI20240119BHJP

   B24B 49/16 20060101ALI20240119BHJP

【ＦＩ】

B24B53/02

B24B53/12 Z

B24B7/04 A

B24B53/00 A

B24B49/16

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2022110657

(22)【出願日】2022-07-08

(65)【公開番号】P2024008635

(43)【公開日】2024-01-19

【審査請求日】2022-09-05

(73)【特許権者】

【識別番号】594050670

【氏名又は名称】日清工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101351

【弁理士】

【氏名又は名称】辰巳 忠宏

(72)【発明者】

【氏名】尾崎 幸雄

【審査官】亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－０２０２５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６３－１８２８６０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００８－２７７６０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１８９４５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－１５４７７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－１８７２０３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ４９／００ － ５３／１４

Ｂ２４Ｂ ７／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを保持するワーク保持部と、
前記ワーク保持部を回転駆動させる第１駆動部と、
前記ワーク保持部に対向して設けられる研削砥石と、
前記研削砥石を回転駆動させる第２駆動部と、
前記ワークを研削するために前記ワーク保持部に対して前記研削砥石を進退させる砥石送り部と、
前記ワーク保持部に並置されかつ前記研削砥石に対向して設けられるドレッシング砥石と、
前記ドレッシング砥石を回転駆動させる第３駆動部と、
前記研削砥石の研削面をドレッシングするために前記研削砥石に対して前記ドレッシング砥石を進退させるドレッシング送り部と、
前記研削砥石の送込量と、前記研削砥石の送込速度と、前記ドレッシング送り部による前記ドレッシング砥石の移動速度とを設定するための設定部と、
前記送込量と前記送込速度とに基づいて前記砥石送り部の動作を制御しかつ前記移動速度に基づいて前記ドレッシング送り部の動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、ドレッシングの強弱を調整するために前記送込速度と前記移動速度との差に基づいて決定される前記研削砥石に対する前記ドレッシング砥石の相対速度を制御する、平面研削盤。

【請求項2】

前記研削砥石の切れ味に関する情報を検出する検出部をさらに含み、
前記設定部は、前記検出部の検出結果に基づいて前記移動速度を調整する、請求項１に記載の平面研削盤。

【請求項3】

前記検出部は、前記第２駆動部の電流値を検出する電流検出器を含み、
前記設定部は、前記電流検出器の検出結果に基づいて前記移動速度を調整する、請求項２に記載の平面研削盤。

【請求項4】

前記設定部は、ワーク単位で前記移動速度を調整する、請求項２に記載の平面研削盤。

【請求項5】

前記設定部は、前記ワークの研削中にリアルタイムで前記移動速度を調整する、請求項２に記載の平面研削盤。

【請求項6】

前記設定部は、前記ワークの粗研削および仕上研削のそれぞれにおいて個別に、前記送込量と、前記送込速度と、前記移動速度とを設定し、
前記制御部は、前記粗研削および前記仕上研削のそれぞれにおいて個別に、前記砥石送り部および前記ドレッシング送り部の動作を制御する、請求項１から５のいずれかに記載の平面研削盤。

【請求項7】

前記研削砥石は、外径と内径とを有する円環状の研削面を含み、
前記ワークの回転最大径が前記研削砥石の研削面の幅より大きく設定され、かつ軸方向視において前記ワークの回転軌跡の一部が前記研削砥石の外周および内周からはみ出るように前記ワークは前記ワーク保持部に保持される、請求項１から５のいずれかに記載の平面研削盤。

【請求項8】

前記研削砥石は、外径と内径とを有する円環状の研削面を含み、
前記ドレッシング砥石の外径が前記研削砥石の研削面の幅より大きく設定され、かつ軸方向視において前記ドレッシング砥石の一部が前記研削砥石の外周および内周からはみ出るように前記ドレッシング砥石が配置される、請求項１から５のいずれかに記載の平面研削盤。

【請求項9】

研削砥石でワークを研削するとともに前記研削砥石の研削面をドレッシング砥石でドレッシングする研削方法であって、
前記研削砥石の送込量と、前記研削砥石の送込速度と、前記ドレッシング砥石の前記研削砥石に対して進退させる方向への移動速度とを設定する第１工程と、
回転する前記ワークに対して回転する前記研削砥石を前記送込速度で前記送込量送り込んで前記ワークを研削するとともに、回転する前記ドレッシング砥石を前記研削砥石に対して進退させる方向へ前記移動速度で移動させて前記研削砥石が前記送込量送り込まれるまで前記ドレッシング砥石によって前記研削砥石の前記研削面をドレッシングする第２工程とを備え、
前記第２工程では、ドレッシングの強弱を調整するために前記送込速度と前記移動速度との差に基づいて決定される前記研削砥石に対する前記ドレッシング砥石の相対速度が制御される、研削方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は平面研削盤および研削方法に関し、より特定的には、研削砥石によってワークを研削するとともに研削砥石をドレッシングする平面研削盤および研削方法に関する。

【背景技術】

【0002】

この種の従来技術として、特許文献１および２において、研削砥石によるワークの研削中に研削を中断することなく研削砥石をドレッシングする装置が提案されている。

【0003】

特許文献１には、チャックに保持されたワークを、研削部の底面に放射状に取り付けられた複数の研削砥石によって研削し、かつ研削砥石をドレス部材によってドレッシングできる研削装置が開示されている。この研削装置では、加工中の研削砥石に対して、ドレス部材を圧力により押し付けてドレッシングを行う。

【0004】

特許文献２には、チャックに保持されたワークをカップ型の研削砥石で研削しかつ研削砥石をドレッシング工具によりドレッシングできる研削装置が開示されている。この研削装置では、ワーク仕上寸法位置より少し上方に位置決めされたドレッシング工具をワークとともに研削砥石によって研削することでドレッシングを行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１１－２１８５４５号公報

【文献】特開昭６１－１４６４７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１では、圧力が高すぎてドレス部材を研削砥石に強く押し付け過ぎたり、特許文献２では、ドレッシング工具に対する研削砥石の切込み量が過剰になることが考えられる。その場合、ドレッシングが過剰になり、ドレッシング砥石を必要以上に削り取り早く消耗させるおそれがある。このように、これらの先行技術では、ワークを能率よく加工するための研削砥石のドレッシングを優先し、ドレッシング砥石の消耗量は重視されていなかった。これではドレッシング砥石が過剰に研削されて消耗量が増え、極めて不経済である。

【0007】

それゆえに、この発明の主たる目的は、研削砥石の切れ味を保ち安定した加工を行いつつ過剰なドレッシングを抑制できる、平面研削盤および研削方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述の目的を達成するために、ワークを保持するワーク保持部と、ワーク保持部を回転駆動させる第１駆動部と、ワーク保持部に対向して設けられる研削砥石と、研削砥石を回転駆動させる第２駆動部と、ワークを研削するためにワーク保持部に対して研削砥石を進退させる砥石送り部と、ワーク保持部に並置されかつ研削砥石に対向して設けられるドレッシング砥石と、ドレッシング砥石を回転駆動させる第３駆動部と、研削砥石の研削面をドレッシングするために研削砥石に対してドレッシング砥石を進退させるドレッシング送り部と、研削砥石の送込量と、研削砥石の送込速度と、ドレッシング砥石の移動速度とを設定するための設定部と、送込量と送込速度とに基づいて砥石送り部の動作を制御しかつ送込量と送込速度と移動速度とに基づいてドレッシング送り部の動作を制御する制御部とを備える、平面研削盤が提供される。

【0009】

また、研削砥石でワークを研削するとともに研削砥石の研削面をドレッシング砥石でドレッシングする研削方法であって、研削砥石の送込量と、研削砥石の送込速度と、ドレッシング砥石の移動速度とを設定する第１工程と、回転するワークに対して回転する研削砥石を送込速度で送込量送り込んでワークを研削するとともに、回転するドレッシング砥石を移動速度で移動させて研削砥石が送込量送り込まれるまでドレッシング砥石によって研削砥石の研削面をドレッシングする第２工程とを備える、研削方法が提供される。

【0010】

上述の発明では、回転するワークに対して、回転する研削砥石を設定された送込速度で設定された送込量送り込み、ワークを研削するとともに、回転するドレッシング砥石を移動速度で移動させて、研削砥石が送込量送り込まれるまでドレッシング砥石によって研削砥石をドレッシングする。このように、ワークが研削砥石によって研削されながら、研削砥石がドレッシング砥石によってドレッシングされる。ここで、研削砥石の送込速度とドレッシング砥石の移動速度との差に基づいて、研削砥石に対するドレッシング砥石の相対速度（ドレッシング砥石が研削砥石に向かう速度）が決定され、当該相対速度に基づいてドレッシング砥石の単位時間当たりの消耗量、言い換えればドレッシングの強弱が決定される。そして、（送込量÷送込速度）で求められる送込時間が経過し、ワークの研削が終了するまで、ドレッシングが継続される。これにより、研削砥石を良好にドレッシングでき、無駄が生じないようにドレッシング砥石が消費される。このようにして、ワークの加工中にドレッシング砥石の消耗量を抑えつつ研削砥石の研削面をドレッシングできる。その結果、研削砥石の切れ味を保ちワークの安定した加工を行いつつ過剰なドレッシングを抑制できる。

【0011】

好ましくは、研削砥石の切れ味に関する情報を検出する検出部をさらに含み、設定部は、検出部の検出結果に基づいて移動速度を調整する。この場合、ワークの研削中において、検出部によって研削砥石の切れ味に関する情報が検出される。その検出結果に基づいて、ドレッシング砥石の移動速度が調整され、調整された移動速度を用いてドレッシング送り部の動作が制御される。たとえば、研削砥石の切れ味が適切であることを検出結果が示すと、そのときのドレッシング砥石の移動速度は変更されない。ドレッシング過剰で研削砥石の切れ味が良すぎることを検出結果が示すと、研削砥石に対するドレッシング砥石の相対速度が小さくなるようにドレッシング砥石の移動速度が変更される。すると、研削砥石に対するドレッシング砥石からの押圧力が小さくなり、研削砥石のドレッシングが弱められ、ドレッシング消耗量が減る。ドレッシング不足で研削砥石の切れ味が良くないことを検出結果が示すと、研削砥石に対するドレッシング砥石の相対速度が大きくなるようにドレッシング砥石の移動速度が変更される。すると、研削砥石に対するドレッシング砥石からの押圧力が大きくなり、研削砥石のドレッシングが強められ、ドレッシング消耗量が増える。このようにして、研削砥石のドレッシングの強弱を調整することによって、研削砥石の切れ味を適切に保ちつつドレッシング砥石の消耗量を抑えることができる。

【0012】

また好ましくは、検出部は、第２駆動部の電流値を検出する電流検出器を含み、設定部は、電流検出器の検出結果に基づいて移動速度を調整する。この場合、第２駆動部の電流値を検出することによって、研削砥石の切れ味に関する情報を容易に検出でき、ドレッシング砥石の移動速度を適切に調整できる。

【0013】

さらに好ましくは、設定部は、ワーク単位で移動速度を調整する。この場合、或るワークの研削時の切れ味に関する情報の検出結果を、その次のワークの研削時のドレッシングに反映させることができ、ワークごとに適したワークの研削および研削砥石のドレッシングを行うことができる。

【0014】

好ましくは、設定部は、ワークの研削中にリアルタイムで移動速度を調整する。この場合、ワークの研削時の切れ味に関する情報の検出結果を、リアルタイムでドレッシングに反映させることができ、適切にワークの研削および研削砥石のドレッシングを行うことができる。

【0015】

また好ましくは、設定部は、ワークの粗研削および仕上研削のそれぞれにおいて個別に、送込量と、送込速度と、移動速度とを設定し、制御部は、粗研削および仕上研削のそれぞれにおいて個別に、砥石送り部およびドレッシング送り部の動作を制御する。この場合、粗研削および仕上研削のそれぞれの工程において個別に加工条件を設定できるので、研削工程ごとに、研削砥石を適切にドレッシングできるとともに、ドレッシング砥石の消耗量も適切に設定できる。

【0016】

さらに好ましくは、研削砥石は、外径と内径とを有する円環状の研削面を含み、ワークの回転最大径が研削砥石の研削面の幅より大きく設定され、かつ軸方向視においてワークの回転軌跡の一部が研削砥石の外周および内周からはみ出るようにワークはワーク保持部に保持される。この場合、ワークを研削砥石全面に接触させることができ、研削砥石全面を用いてワークを研削できる。

【0017】

好ましくは、研削砥石は、外径と内径とを有する円環状の研削面を含み、ドレッシング砥石の外径が研削砥石の研削面の幅より大きく設定され、かつ軸方向視においてドレッシング砥石の一部が研削砥石の外周および内周からはみ出るようにドレッシング砥石が配置される。この場合、ドレッシング砥石を研削砥石全面に接触させることができ、円滑に研削砥石をドレッシングできる。

【0018】

なお、ワークの回転最大径は、ワークの回転軌跡の外径に相当する。

【0019】

研削砥石が外径と内径とを有する円環状の研削面を含む場合、研削砥石の研削面の幅＝（外径－内径）／２となる。

【発明の効果】

【0020】

この発明によれば、研削砥石の切れ味を保ち安定した加工を行いつつ過剰なドレッシングを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】この発明の一実施形態に係る平面研削盤を示す側面図解図である。

【図2】図１に示す平面研削盤のＸ－Ｘ線断面図解図である。

【図3】チャックテーブルとワークと研削砥石とドレッシング砥石との位置関係の一例を示す平面図解図である。

【図4】平面研削盤の主要部の構成を示す側面図解図である。

【図5】平面研削盤の電気的構成を示すブロック図である。

【図6】平面研削盤の動作の一例を示すフロー図である。

【図7】ドレッシング処理の動作の一例を示すフロー図である。

【図8】平面研削盤の研削動作およびドレッシング動作を説明するためにタイミング図である。

【図9】ドレッシング処理の動作の他の例を示すフロー図である。

【図10】図９の続きを示すフロー図である。

【図11】（ａ）はチャックテーブルとワークと研削砥石とドレッシング砥石との位置関係の他の例を示す平面図解図であり、（ｂ）はチャックテーブルとワークと研削砥石とドレッシング砥石との位置関係のその他の例を示す平面図解図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面を参照してこの発明の実施の形態について説明する。

【0023】

図１および図２を参照して、この発明の一実施形態に係る平面研削盤１０は、立型研削盤であり、凹部１２ａを有するコラム１２を含む。凹部１２ａは、前方に向かって開口するようにコラム１２の中央よりやや下方寄りに形成される。

【0024】

コラム１２の凹部１２ａには、ワークＷの移動手段として旋回テーブル１４が設けられる。旋回テーブル１４上には、２つのチャックスピンドル１６が設けられる。２つのチャックスピンドル１６は、研削位置Ａと着脱位置Ｂとに配置される。研削位置ＡはワークＷが研削される位置であり、着脱位置ＢはワークＷが着脱される位置である。

【0025】

２つのチャックスピンドル１６上にはそれぞれ、ワークＷを図示しない吸引装置で吸着し保持するためのチャックテーブル１８が設けられる。各チャックテーブル１８は、図示しないボルトによって対応するチャックスピンドル１６に固定される。各チャックテーブル１８上のワークＷは個別に、吸引装置によって吸引制御される。

【0026】

旋回テーブル１４の下方には駆動モータ２０が設けられる。旋回テーブル１４は、矢印Ｒで示す方向に駆動モータ２０によって１８０度旋回可能であり、研削位置Ａと着脱位置Ｂとの間を交互に旋回できる。たとえば、研削位置Ａに旋回されたチャックテーブル１８上のワークＷを加工中に、着脱位置Ｂではチャックテーブル１８に対するワークＷの着脱やチャックテーブル１８の洗浄が可能となる。研削位置Ａのチャックスピンドル１６には、図示しない連結部材を介して駆動モータ７０（図５参照）が接続される。駆動モータ７０によって、研削位置Ａのチャックスピンドル１６およびチャックテーブル１８が回転駆動され、ワークＷが回転される。

【0027】

コラム１２の凹部１２ａには、チャックテーブル１８と軸方向（矢印Ｚ方向：この実施形態では上下方向）に対向するようにワークＷを研削するための研削砥石２２が設けられる。この実施形態では、研削砥石２２は、外径と内径とを有する円環状の研削面２２ａを含む。研削砥石２２は、研削面２２ａの一方側（図１でいえば向かって左側）が研削位置Ａのチャックテーブル１８に対向するようにチャックテーブル１８の上方に配置され、研削砥石２２の回転軸Ｐは上下方向（鉛直方向）に延びる。研削砥石２２の研削面２２ａは、たとえばレジンボンドやメタルボンドでダイヤモンド砥粒が固着されたダイヤモンド砥石などによって形成される。

【0028】

図３を参照して、チャックテーブル１８に吸着されたワークＷの全面を研削砥石２２によって研削し、かつワークＷが研削砥石２２の研削面２２ａの全面に接触するように、研削砥石２２の研削面２２ａの幅Ｐ、すなわち研削面２２ａの（外径－内径）／２と、対象となるワークＷの回転最大径Ｍとを設定することが好ましい。ここでは、ワークＷの回転最大径Ｍが幅Ｐより大きく設定され、かつ軸方向視においてワークＷの回転軌跡ＲＴの一部が研削砥石２２の外周および内周からはみ出るように、ワークＷはチャックテーブル１８に保持される。これにより、研削砥石２２の外径がワークＷの回転最大径Ｍより大き過ぎる場合のように、ワークＷが研削面２２ａの全面に接触しなくなる弊害を回避できる。好ましくは、ワークＷの回転最大径Ｍは幅Ｐより少し大きく設定される。また、ワークＷのはみ出し量は、ワークＷのサイズや加工精度に合わせて決定されればよいが、好ましくは研削砥石２２の外周側および内周側ともに５～１０ｍｍである。

【0029】

図４をも参照して、研削砥石２２は、複数のボルト２４によって砥石軸２６の端部に取り付けられる。砥石軸２６は、円筒状の支持部２８を上下方向に貫通し、図示しないベアリングを介して支持部２８によって回転自在かつ上下移動可能に支持されるとともに、図示しない連結部材を介して駆動モータ３０に連結される。したがって、駆動モータ３０によって砥石軸２６が駆動され、これによって研削砥石２２が回転駆動される。砥石軸２６は送込装置３２によって上下方向に移動可能である。送込装置３２は、駆動モータ３２ａを含む。砥石軸２６が送込装置３２によって上下方向に移動されることによって、研削砥石２２が上下方向に移動される。したがって、ワークＷを研削するために、送込装置３２によって、研削砥石２２は研削位置Ａのチャックテーブル１８に対して進退可能となる。

【0030】

また、コラム１２の凹部１２ａには、研削砥石２２をドレッシングするためのドレス装置３４が設けられる。ドレス装置３４は、旋回テーブル１４に並置され、研削砥石２２の研削面２２ａの他方側（図１でいえば向かって右側）、すなわち研削面２２ａのうちワークＷを研削する箇所とは反対側の箇所と対向するように配置される。

【0031】

ドレス装置３４は、凹部１２ａに設けられる円筒状の支持部３６を含む。支持部３６にはスリーブ３８が挿通され、スリーブ３８は、上下方向に移動可能に支持部３６によって支持される。スリーブ３８は、図示しないベアリングを介してドレス軸４０を回転自在に支持する。ドレス軸４０の上端部には、取り付け円板４２が複数のボルト４４によって取り付けられる。取り付け円板４２上には、リング形状のドレッシング砥石４６が図示しないボルトや接着剤等によって固定される。ドレッシング砥石４６は、チャックテーブル１８に並置され、研削砥石２２の研削面２２ａのうちワークＷを研削する箇所とは反対側の箇所と対向する。ドレッシング砥石４６としては、たとえばＷＡ、ＧＣなどの砥粒をビトリファイドボンドによって固着したものが用いられる。ドレッシング砥石４６の外径Ｄは、研削面２２ａの幅Ｐ（＝研削面２２ａの（外径－内径）／２）より大きく設定され、かつ軸方向視においてドレッシング砥石４６の一部が研削砥石２２の外周および内周からはみ出るようにドレッシング砥石４６が配置され、研削砥石２２の全面をドレッシング可能にする。

【0032】

ドレス軸４０には、図示しない連結部材を介して駆動モータ４８が連結される。したがって、駆動モータ４８によってドレス軸４０が駆動され、これによってドレッシング砥石４６が回転駆動される。駆動モータ４８は、ＣＮＣ装置５２（後述）によってドレッシング中も変速可能である。また、スリーブ３８には送込装置５０が接続される。送込装置５０は、駆動モータ５０ａを含む。スリーブ３８およびドレス軸４０は、送込装置５０によって上下方向に移動可能である。ドレス軸４０が送込装置５０により上下方向に移動されることによって、ドレッシング砥石４６が上下方向に移動する。したがって、研削砥石２２の研削面２２ａをドレッシングするために、送込装置５０によって研削砥石２２に対してドレッシング砥石４６が進退可能となる。

【0033】

なお、図面が煩雑になることを避けるために、図１では、砥石軸２６近傍を簡略化して示す。図４では、理解を容易にするために、研削砥石２２、ワークＷおよびドレッシング砥石４６を断面で示す。

【0034】

図５を参照して、平面研削盤１０は、さらにＣＮＣ装置５２を含む。ＣＮＣ装置５２は、ＮＣ制御ユニット５４と、表示操作ユニット５６と、駆動回路５８，６０，６２，６４，６６および６８とを含む。ＮＣ制御ユニット５４は、平面研削盤１０の各部の動作を制御するＣＰＵ５４ａと、平面研削盤１０を動作させる制御プログラム等が記憶されるメモリ５４ｂとを有する。ＮＣ制御ユニット５４には、表示操作ユニット５６と、駆動回路５８～６８とが電気的に接続される。

【0035】

駆動回路５８には、研削砥石回転用の駆動モータ３０が電気的に接続される。駆動回路６０には、ドレッシング砥石回転用の駆動モータ４８が電気的に接続される。駆動回路６２には、研削砥石送込用の駆動モータ３２ａが電気的に接続される。駆動回路６４には、ドレッシング砥石送込用の駆動モータ５０ａが電気的に接続される。駆動回路６６には、旋回テーブル旋回用の駆動モータ２０が電気的に接続される。駆動回路６８には、ワーク回転用の駆動モータ７０が電気的に接続される。また、ＮＣ制御ユニット５４には、ワーク搬送供給装置７２および電流検出器７４が電気的に接続される。ワーク搬送供給装置７２は、ワークＷを着脱位置Ｂへ搬送しかつ供給するために用いられる。電流検出器７４は、研削砥石２２の切れ味に関する情報として、砥石軸２６ひいては研削砥石２２を駆動する駆動モータ３０の電流値を検出し、その検出結果がＮＣ制御ユニット５４に与えられる。ＮＣ制御ユニット５４からの指示に応じて、駆動モータ２０，３０，３２ａ，４８，５０ａおよび７０ならびにワーク搬送供給装置７２の動作が制御される。たとえば、ＮＣ制御ユニット５４は、研削砥石２２の送込量Ｌ１（Ｌ２）と送込速度Ｖ１（Ｖ２）とに基づいて駆動モータ３２ａひいては送込装置３２の動作を制御し、かつ送込量Ｌ１（Ｌ２）と送込速度Ｖ１（Ｖ２）とドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）とに基づいて駆動モータ５０ａひいては送込装置５０の動作を制御する。ＮＣ制御ユニット５４は、電流検出器７４の検出結果に基づいてドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）を調整する。さらに、ＮＣ制御ユニット５４には、研削されたワークＷの厚み測定する定寸装置７６が電気的に接続されてもよい。定寸装置７６による測定結果もＮＣ制御ユニット５４に与えられる。

【0036】

この実施形態では、チャックテーブル１８がワーク保持部に対応する。駆動モータ７０および連結部材が第１駆動部に対応する。駆動モータ３０および連結部材が第２駆動部に対応する。駆動モータ４８および連結部材が第３駆動部に対応する。送込装置３２が砥石送り部に対応する。送込装置５０がドレッシング送り部に対応する。ＮＣ制御ユニット５４が制御部に対応する。ＮＣ制御ユニット５４および表示操作ユニット５６が設定部に対応する。電流検出器７４が検出部に対応する。

【0037】

図６～図８を参照して、平面研削盤１０の主要動作の一例について説明する。この動作例では、粗研削および仕上研削におけるドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２は、１枚のワークＷごとに調整される。

【0038】

まず、粗研削時の研削砥石２２の送込量Ｌ１、送込速度Ｖ１およびドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１、ならびに仕上研削時の研削砥石２２の送込量Ｌ２、送込速度Ｖ２およびドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２が設定される（ステップＳ１）。これらの値は、表示操作ユニット５６によって入力されてもよいが、予めＮＣ制御ユニット５４のメモリ５４ｂに記憶されていてもよい。送込速度Ｖ１，Ｖ２および移動速度Ｕ１，Ｕ２は、研削砥石２２およびドレッシング砥石４６それぞれの砥粒、粒度および結合度等を考慮して設定されることが好ましい。

【0039】

ついで、原位置で待機している研削砥石２２および研削準備位置で待機しているドレッシング砥石４６がそれぞれ、所定の回転数で回転される（ステップＳ３）。つぎに、ワークＷが、ワーク搬送供給装置７２によって着脱位置Ｂのチャックテーブル１８上に供給され（ステップＳ５）、図示しない真空装置によって吸着される（ステップＳ７）。そして、旋回テーブル１４が駆動モータ２０によって１８０度旋回され（ステップＳ９）、ワークＷが研削位置Ａへ移動される（ステップＳ１１）。

【0040】

ワークＷが研削位置Ａに移動されると同時に、駆動モータ７０によってチャックテーブル１８およびワークＷが回転し始める（ステップＳ１３）と、送込装置３２によって原位置に停止している研削砥石２２の送り込みが開始され、研削砥石２２は設定されたアプローチ速度でワークＷに向かって下降する（ステップＳ１５）。

【0041】

研削砥石２２が、加工前のワークＷの上面より十数μｍ上方に設定された研削準備位置に達すると、アプローチ速度から送込速度Ｖ１に切り替わり、その後研削開始位置にてワークＷに接触して粗研削が開始される（ステップＳ１７）。そして、研削砥石２２が送込量Ｌ１分送り込まれて粗研削代分が研削加工されると、すなわち研削砥石２２が粗研削終了位置に達すると、送込速度が送込速度Ｖ２に切り替えられ、仕上研削が開始される（ステップＳ１９）。そして、研削砥石２２が送込量Ｌ２分送り込まれて仕上研削代分が研削加工される。すなわち、研削砥石２２が仕上研削終了位置に達し、ワークＷが所定厚みまで加工される。すると、送り込みが停止されて、スパークアウトされ（ステップＳ２１）、研削砥石２２は元の原位置に上昇して戻り（ステップＳ２３）、次のワーク研削のために待機する。

【0042】

一方、ドレッシング砥石４６は、そのドレッシング面を研削準備位置に合わせて待機し、下降する研削砥石２２が研削準備位置に達すると研削砥石２２の研削面２２ａに接触し、ドレッシング処理が行われる（ステップＳ１７ａ）。

【0043】

図７を参照して、ドレッシング処理について説明する。

【0044】

まず、ドレッシング砥石４６が研削砥石２２の研削面２２ａに接触すると同時に、ドレッシング砥石４６は、送込装置５０によって移動速度Ｕ１（＜送込速度Ｖ１）で下降し始め、その速度で粗研削終了位置まで下降する（ステップＳ５１）。この間、送込速度Ｖ１と移動速度Ｕ１との相対速度（Ｖ１－Ｕ１）にて研削砥石２２の粗研削ドレッシングが連続して行われ、ドレッシング砥石４６は粗研削消耗量Ｓ１分消耗される。すなわち、研削砥石２２が送込量Ｌ１分送り込まれるまでドレッシング砥石４６によって研削砥石２２の研削面２２ａがドレッシングされる。そして、電流検出器７４によって検出された駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内か否かが、ＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ５３）。検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内であれば、次のワーク研削用のドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１は変更されずそのまま維持される。一方、検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内になければ、次のワーク研削用のドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１がＮＣ制御ユニット５４によって変更される（ステップＳ５５）。たとえば、当該電流値が所定範囲未満であれば、ドレッシング過剰で切れ味が良すぎドレッシング消耗量も大きいと判定して、移動速度Ｕ１が大きくされる。これにより、次のワークＷの粗研削時には、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）が小さくなり、ドレッシング消耗量が減るように制御される。一方、当該電流値が所定範囲を超えれば、ドレッシング不足と判定して、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１が小さくされる。これにより、次回のワークＷの粗研削時には、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）が大きくなり、ドレッシング消耗量が増えてドレッシング効果が大きくなるように制御される。

【0045】

そして、研削砥石２２の送込速度が送込速度Ｖ２に切り替えられ仕上研削に移ると、ドレッシング砥石４６の移動速度が移動速度Ｕ２（＜送込速度Ｖ２）に切り替えられ、ドレッシング砥石４６は仕上研削終了位置まで下降して停止する（ステップＳ５７）。この間、送込速度Ｖ２と移動速度Ｕ２との相対速度（Ｖ２－Ｕ２）にて研削砥石２２の仕上研削ドレッシングが連続して行われ、ドレッシング砥石４６は仕上研削消耗量Ｓ２分消耗される。すなわち、研削砥石２２が送込量Ｌ２分送り込まれるまでドレッシング砥石４６によって研削砥石２２の研削面２２ａがドレッシングされる。そして、電流検出器７４によって検出された駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内か否かが、ＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ５９）。検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内であれば、次のワーク研削用のドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２は変更されずそのまま維持される。一方、検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内になければ、次のワーク研削用のドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２がＮＣ制御ユニット５４によって変更される（ステップＳ６１）。たとえば、当該電流値が所定範囲未満であれば、ドレッシング過剰で切れ味が良すぎドレッシング消耗量も大きいと判定して、移動速度Ｕ２が大きくされる。これにより、次のワークＷの仕上研削時には、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）が小さくなり、ドレッシング消耗量が減るように制御される。一方、当該電流値が所定範囲を超えれば、ドレッシング不足と判定して、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２が小さくされる。これにより、次回のワークＷの仕上研削時には、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）が大きくなり、ドレッシング消耗量が増えてドレッシング効果が大きくなるように制御される。

【0046】

このように、粗研削および仕上研削において、研削砥石２２の送込速度Ｖ１（Ｖ２）より小さい移動速度Ｕ１（Ｕ２）でドレッシング砥石４６を移動させることによって、研削砥石２２によってワークＷを加工しながら、同時にドレッシング砥石４６によって研削砥石２２をドレッシングできる。このとき、ドレッシング砥石４６も、研削砥石２２によって研削され、その研削量がドレッシング砥石４６の消耗量となる。また、１枚のワークＷの加工時において、粗研削するごとに、電流検出器７４によって検出された駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内か否かが判断され、その判断結果に基づいて、次のワーク研削用のドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１が決定され、かつ仕上研削するごとに、電流検出器７４によって検出された駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内か否かが判断され、その判断結果に基づいて、次のワーク研削用のドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２が決定されるように、フィードバック制御される。

【0047】

図６に戻って、仕上研削終了位置で研削砥石２２がスパークアウトに入ると同時に、ドレッシング砥石４６も送込装置５０による下降を停止し、スパークアウトに入る（ステップＳ２１ａ）。スパークアウトが終了して、研削砥石２２が送込装置３２によって元の原位置まで上昇するとき、ドレッシング砥石４６も送込装置５０によって元の研削準備位置に上昇して戻る（ステップＳ２３ａ）。このとき、ドレッシング砥石４６の消耗量Ｓ１，Ｓ２が演算され、消耗量Ｓ１，Ｓ２に基づいて、送込装置５０によるドレッシング砥石４６の移動量が補正される。

【0048】

そして、研削砥石２２が原位置に戻ると、旋回テーブル１４が駆動モータ２０によって１８０度旋回され（ステップＳ２５）、ワークＷが着脱位置Ｂへ移動され（ステップＳ２７）、ワークＷが排出され（ステップＳ２９）、終了する。

【0049】

このように動作する平面研削盤１０におけるドレッシング砥石４６の消耗量について説明する。ここでは、ドレッシング砥石４６の消耗量は消耗深さ（μｍ）であり、研削砥石２２の摩耗はないとの前提で説明する。

【0050】

ドレッシング砥石４６の単位時間当りの粗研削消耗量Ｈ１は、粗研削時の研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）に相当する（Ｈ１＝Ｖ１－Ｕ１（μｍ／ｓ））。研削砥石２２とドレッシング砥石４６とが同一方向に移動（この実施形態では、ともに下降）する場合には、Ｈ１＝｜Ｖ１｜－｜Ｕ１｜となり、研削砥石２２に対してドレッシング砥石４６が反対方向に移動（この実施形態では、研削砥石２２が下降、ドレッシング砥石４６が上昇）する場合には、Ｈ１＝｜Ｖ１｜＋｜Ｕ１｜となる。

【0051】

同様に、ドレッシング砥石４６の単位時間当りの仕上研削消耗量Ｈ２は、仕上研削時の研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）に相当する（Ｈ２＝Ｖ２－Ｕ２（μｍ／ｓ））。研削砥石２２とドレッシング砥石４６とが同一方向に移動（この実施形態では、ともに下降）する場合には、Ｈ２＝｜Ｖ２｜－｜Ｕ２｜となり、研削砥石２２に対してドレッシング砥石４６が反対方向に移動（この実施形態では、研削砥石２２が下降、ドレッシング砥石４６が上昇）する場合には、Ｈ２＝｜Ｖ２｜＋｜Ｕ２｜となる。

【0052】

研削砥石２２とドレッシング砥石４６とが接触してからの粗研削送込時間Ｔ１および仕上研削送込時間Ｔ２はそれぞれ、Ｔ１＝Ｌ１／Ｖ１、Ｔ２＝Ｌ２／Ｖ２となる。

【0053】

ドレッシング砥石４６のワーク１枚当たりの総消耗量Ｓは、次のように表される。

【0054】

Ｓ＝Ｓ１＋Ｓ２
＝Ｔ１×Ｈ１＋Ｔ２×Ｈ２
＝Ｔ１×（Ｖ１－Ｕ１）＋Ｔ２×（Ｖ２－Ｕ２）
＝（Ｌ１／Ｖ１）×（Ｖ１－Ｕ１）＋（Ｌ２／Ｖ２）×（Ｖ２－Ｕ２）

【0055】

この式より、相対速度（Ｖ１－Ｕ１），（Ｖ２－Ｕ２）に応じて、ドレッシング砥石４６の総消耗量Ｓが変化し、ドレッシングの強弱が変化することがわかる。

【0056】

研削砥石２２の或る送込速度Ｖ１，Ｖ２に対して、ドレッシングを強めたい場合には、相対速度（Ｖ１－Ｕ１），（Ｖ２－Ｕ２）の値が大きくなるように、たとえば、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２を小さくするかゼロにする。移動速度Ｕ１，Ｕ２をゼロにすると、砥石送込量＝ドレッシング消耗量となる。

【0057】

また、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２により多く押し付けドレッシング量を大きく増やし素早くドレッシング効果を得たい場合や、研削砥石２２のドレッシング性が著しく悪い場合などでは、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２に向かって移動させて送り込み、相対速度（Ｖ１－Ｕ１）＝｜Ｖ１｜＋｜Ｕ１｜，（Ｖ２－Ｕ２）＝｜Ｖ２｜＋｜Ｕ２｜となるように、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２を制御すれば、ドレッシング砥石４６の消耗量を多くすることができる。

【0058】

一方、ドレッシング消耗量を少なくしてドレッシングを弱めたい場合には、相対速度（Ｖ１－Ｕ１），（Ｖ２－Ｕ２）の値が小さくなるように、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２を大きくすればよい。Ｖ１＝Ｕ１，Ｖ２＝Ｕ２となれば、研削砥石２２とドレッシング砥石４６とは同方向に同速度で同時移動するため、ドレッシング砥石４６は消耗されず、研削砥石２２をドレッシングできない。

【0059】

このように状況に応じてドレッシングの強弱を調整し、ドレッシング砥石４６の消耗量を調整することができる。

【0060】

たとえば、送込量Ｌ１＝３００μｍ、送込速度Ｖ１＝２０μｍ／ｓ、移動速度Ｕ１＝８μｍ／ｓ、送込量Ｌ２＝５０μｍ、送込速度Ｖ２＝５μｍ／ｓ、移動速度Ｕ２＝４μｍ／ｓとすると、ドレッシング砥石４６の総消耗量Ｓは、以下のように試算できる。

【0061】

Ｓ＝Ｓ１+Ｓ２
＝（Ｌ１／Ｖ１）×（Ｖ１－Ｕ１）＋（Ｌ２／Ｖ２）×（Ｖ２－Ｕ２）
＝（３００／２０）×（２０－８）＋（５０／５）×（５－４）
＝１８０＋１０＝１９０μｍ

【0062】

したがって、粗研削におけるドレッシング砥石４６の消耗量Ｓ１は１８０μｍ、仕上研削におけるドレッシング砥石４６の消耗量Ｓ２は１０μｍとなり、ドレッシング砥石４６のワーク１枚当たりの総消耗量Ｓは１９０μｍとなる。

【0063】

このような平面研削盤１０によれば、回転するワークＷに対して、回転する研削砥石２２を設定された送込速度Ｖ１（Ｖ２）で設定された送込量Ｌ１（Ｌ２）分送り込み、ワークＷを研削するとともに、回転するドレッシング砥石４６を移動速度Ｕ１（Ｕ２）で移動させて、研削砥石２２が送込量Ｌ１（Ｌ２）分送り込まれるまでドレッシング砥石４６によって研削砥石２２をドレッシングする。このように、ワークＷが研削砥石２２によって研削されながら、研削砥石２２がドレッシング砥石４６によってドレッシングされる。ここで、研削砥石２２の送込速度Ｖ１（Ｖ２）とドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）との差に基づいて、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（粗研削時（Ｖ１－Ｕ１）、仕上研削時（Ｖ２－Ｕ２））が決定され、当該相対速度に基づいてドレッシング砥石４６の単位時間当たりの消耗量、言い換えればドレッシングの強弱が決定される。そして、（送込量÷送込速度）で求められる送込時間が経過し、ワークＷの研削が終了するまで、ドレッシングが継続される。これにより、研削砥石２２を良好にドレッシングでき、無駄が生じないようにドレッシング砥石４６が消費される。このようにして、ワークＷの加工中にドレッシング砥石４６の消耗量を抑えつつ研削砥石２２の研削面２２ａをドレッシングできる。その結果、研削砥石２２の切れ味を保ちワークＷの安定した加工を行いつつ過剰なドレッシングを抑制できる。また、これにより、ドレッシング砥石４６のコストを削減できるとともに、研削砥石２２の過剰ドレッシングを抑制でき、ドレッシングによる研削砥石２２の摩耗量を抑制でき、研削砥石２２のコストも削減できる。

【0064】

ワークＷを加工しながら加工箇所とは別の箇所で研削砥石２２がドレッシングされるので、ワーク加工中以外に別途ドレッシング時間を設ける必要はなく、ワークＷを効率よく加工できる。特に、ドレッシング頻度が多く総ドレッシング時間が長くなる難削材からなる薄板ワークを研削するときに効果的である。また、研削砥石２２として、結合度の高いレジンボンド砥石やメタルボンド砥石を使用することができ、砥石寿命が延びて経済的である。

【0065】

ワークＷの研削中において、電流検出器７４によって研削砥石２２の切れ味に関する情報として駆動モータ３０の電流値が検出される。その検出結果に基づいて、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）が調整され、調整された移動速度Ｕ１（Ｕ２）を用いて送込装置５０の動作が制御される。たとえば、研削砥石２２の切れ味が適切であることを検出結果が示すと、そのときのドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）は変更されない。ドレッシング過剰で研削砥石２２の切れ味が良すぎることを検出結果が示すと、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度が小さくなるようにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）が変更される。すると、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６からの押圧力が小さくなり、研削砥石２２のドレッシングが弱められ、ドレッシング消耗量が減る。ドレッシング不足で研削砥石２２の切れ味が良くないことを検出結果が示すと、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度が大きくなるようにドレッシング砥石２２の移動速度Ｕ１（Ｕ２）が変更される。すると、研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６からの押圧力が大きくなり、研削砥石２２のドレッシングが強められ、ドレッシング消耗量が増える。このようにして、研削砥石２２のドレッシングの強弱を調整することによって、研削砥石２２の切れ味を適切に保ちつつドレッシング砥石４６の消耗量を抑えることができる。

【0066】

駆動モータ３０の電流値を検出することによって、研削砥石２２の切れ味に関する情報を容易に検出でき、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１（Ｕ２）を適切に調整できる。

【0067】

設定された研削砥石２２の送込速度Ｖ１（Ｖ２）で研削砥石２２を加工する際に、電流モータ３０の電流値が所定範囲内に収まるように研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度を制御してドレッシングすることによって、ドレッシング消耗量を削減できる。

【0068】

ワーク単位で移動速度Ｕ１，Ｕ２を調整することによって、或るワークＷの研削時の切れ味に関する情報の検出結果を、その次のワークＷの研削時のドレッシングに反映させることができ、ワークＷごとに適したワークＷの研削および研削砥石２２のドレッシングを行うことができる。

【0069】

粗研削および仕上研削のそれぞれの工程において個別に加工条件（送込量、送込速度、移動速度）を設定できるので、研削工程ごとに、研削砥石２２を適切にドレッシングできるとともに、ドレッシング砥石４６の消耗量も適切に設定できる。

【0070】

ワークＷの回転最大径Ｍが研削砥石２２の研削面２２ａの幅Ｐより大きく設定され、かつ軸方向視においてワークＷの回転軌跡ＲＴの一部が研削砥石２２の外周および内周からはみ出るようにワークＷがチャックテーブル１８に保持される。したがって、ワークＷを研削砥石２２の全面に接触させることができ、研削砥石２２の全面を用いてワークＷを研削できる。

【0071】

ドレッシング砥石４６の外径Ｄが研削砥石２２の研削面２２ａの幅Ｐより大きく設定され、かつ軸方向視においてドレッシング砥石４６の一部が研削砥石２２の外周および内周からはみ出るようにドレッシング砥石４６が配置される。したがって、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２の全面に接触させることができ、円滑に研削砥石２２をドレッシングできる。

【0072】

予め、研削砥石２２の送込量Ｌ１，Ｌ２、送込速度Ｖ１，Ｖ２およびドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２を設定しておくことによって、ドレッシング砥石４６の消耗量を数値化し可視化できる。

【0073】

上述の実施形態では、１枚のワークＷを加工するごとにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２を調整するドレッシング処理について説明したが、これに限定されない。研削砥石２２によるワークＷの研削中、駆動モータ３０の電流値を短い時間間隔でサンプリングし、駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内に収まるように、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２をそれぞれ短い時間間隔でフィードバック制御するドレッシング処理でもよい。

【0074】

図９および図１０を参照して、このドレッシング処理について説明する。この場合、駆動モータ３０の電流値の適正な所定範囲に加えて、異常を示す閾値（＞所定範囲）が予め設定される。

【0075】

まず、ドレッシング砥石４６が研削砥石２２の研削面２２ａに接触すると同時に、ドレッシング砥石４６は、送込装置５０によって移動速度Ｕ１（＜送込速度Ｖ１）で下降し始め、送込速度Ｖ１と移動速度Ｕ１との相対速度（Ｖ１－Ｕ１）にて研削砥石２２の粗研削ドレッシングが開始される（ステップＳ１０１）。そして、電流検出器７４によって検出された駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内か否かが、ＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１０３）。検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内であれば、適正なドレッシング状態であると判定し、そのときの移動速度Ｕ１を変更することなくドレッシングが継続される。

【0076】

一方、検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内になければ、当該電流値が所定範囲未満か否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１０５）。当該電流値が所定範囲未満であれば、その状態が設定時間以上継続したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１０７）。当該電流値が所定範囲未満の状態が設定時間以上継続しなければステップＳ１０３に戻り、一方、その状態が設定時間以上継続する場合には、ドレッシング過剰で切れ味が良すぎドレッシング消耗量も大きいと判定して、ＮＣ制御ユニット５４によって、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１を大きくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）を小さくし、ドレッシング消耗量が減るように制御される（ステップＳ１０９）。すなわち、当該電流値が所定範囲内に上がる方向にドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１が制御される。そして、粗研削が終了したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断され（ステップＳ１１１）、粗研削が終了していなければ、ステップＳ１０３に戻る。その後も、駆動モータ３０の電流値が所定範囲未満の状態が設定時間以上継続したままであれば、依然として過剰ドレッシングであると判定して、さらにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１を大きくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）を小さくし、ドレッシング消耗量が減るように制御される。この処理を駆動モータ３０の電流値が所定範囲内に収まるまで繰り返す。

【0077】

ステップＳ１０５において、駆動モータ３０の電流値が所定範囲を超えれば（ステップＳ１０５がＮＯ）、その状態が設定時間以上継続したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１１３）。当該電流値が所定範囲を超える状態が設定時間以上継続しなければステップＳ１０３に戻り、一方、その状態が設定時間以上継続する場合には、ドレッシング不足と判定して、さらに当該電流値が閾値以上か否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１１５）。当該電流値が閾値未満であれば、ＮＣ制御ユニット５４によって、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１を小さくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）を大きくし、ドレッシング消耗量が増えてドレッシング効果が大きくなるように制御される（ステップＳ１１７）。すなわち、当該電流値が所定範囲内に下がる方向にドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１が制御される。そして、粗研削が終了したか否かが判断され（ステップＳ１１１）、粗研削が終了していなければ、ステップＳ１０３に戻る。その後も、駆動モータ３０の電流値が所定範囲を超える状態が設定時間以上継続したままであれば、依然としてドレッシング不足であると判定して、さらにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１を小さくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ１－Ｕ１）を大きくし、ドレッシング消耗量が増えるように制御される。この処理を駆動モータ３０の電流値が所定範囲内に収まるまで繰り返す。

【0078】

このようにして、駆動モータ３０の電流値が所定範囲内に収まった状態でワークＷを加工できるように、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１を制御して研削砥石２２がドレッシングされる。

【0079】

ステップＳ１１５において、当該電流値が異常を示す閾値以上であれば、切れ味不良である異常が発生していると判定して、ＮＣ制御ユニット５４によって、ドレッシング砥石４６の移動方向が反転するように移動速度Ｕ１を予め設定された速度に変更し、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２に向かって移動移動させる（ステップＳ１１９）。これにより、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２により多く押し付けてドレッシング消耗量を大きく増やし、素早くドレッシングして当該電流値を下げる。その状態で所定時間経過したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１２１）。所定時間経過していなければ、ステップＳ１１１に戻り、一方、所定時間経過すれば、その状態でドレッシングしても当該電流値が閾値を下回らずドレッシング効果がないので、加工が中断される（ステップＳ１２３）。

【0080】

そして、ステップＳ１１１において、粗研削が終了すれば、図１０に示す仕上研削ドレッシングが行われる。

【0081】

まず、ドレッシング砥石４６は、送込装置５０によって移動速度Ｕ２（＜送込速度Ｖ２）で下降し始め、送込速度Ｖ２と移動速度Ｕ２との相対速度（Ｖ２－Ｕ２）にて研削砥石２２の仕上研削ドレッシングが開始される（ステップＳ１２５）。そして、電流検出器７４によって検出された駆動モータ３０の電流値が適正な所定範囲内か否かが、ＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１２７）。検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内であれば、適正なドレッシング状態であると判定し、そのときの移動速度Ｕ２を変更することなくドレッシングが継続される。

【0082】

一方、検出された駆動モータ３０の電流値が所定範囲内になければ、当該電流値が所定範囲未満か否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１２９）。当該電流値が所定範囲未満であれば、その状態が設定時間以上継続したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１３１）。当該電流値が所定範囲未満の状態が設定時間以上継続しなければステップＳ１２７に戻り、一方、その状態が設定時間以上継続する場合には、ドレッシング過剰で切れ味が良すぎドレッシング消耗量も大きいと判定して、ＮＣ制御ユニット５４によって、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２を大きくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）を小さくし、ドレッシング消耗量が減るように制御される（ステップＳ１３３）。すなわち、当該電流値が所定範囲内に上がる方向にドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１が制御される。そして、仕上研削が終了したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断され（ステップＳ１３５）、仕上研削が終了していなければ、ステップＳ１２７に戻る。その後も、駆動モータ３０の電流値が所定範囲未満の状態が設定時間以上継続したままであれば、依然として過剰ドレッシングであると判定して、さらにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２を大きくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）を小さくし、ドレッシング消耗量が減るように制御される。この処理を駆動モータ３０の電流値が所定範囲内に収まるまで繰り返す。

【0083】

ステップＳ１２９において、駆動モータ３０の電流値が所定範囲を超えれば（ステップＳ１２９がＮＯ）、その状態が設定時間以上継続したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１３７）。当該電流値が所定範囲を超える状態が設定時間以上継続しなければステップＳ１２７に戻り、一方、その状態が設定時間以上継続する場合には、ドレッシング不足と判定して、さらに当該電流値が閾値以上か否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１３９）。当該電流値が閾値未満であれば、ＮＣ制御ユニット５４によって、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２を小さくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）を大きくし、ドレッシング消耗量が増えてドレッシング効果が大きくなるように制御される（ステップＳ１４１）。すなわち、当該電流値が所定範囲内に下がる方向にドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２が制御される。そして、仕上研削が終了したか否かが判断され（ステップＳ１３５）、仕上研削が終了していなければ、ステップＳ１２７に戻る。その後も、駆動モータ３０の電流値が所定範囲を超える状態が設定時間以上継続したままであれば、依然としてドレッシング不足であると判定して、さらにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２を小さくして研削砥石２２に対するドレッシング砥石４６の相対速度（Ｖ２－Ｕ２）を大きくし、ドレッシング消耗量が増えるように制御される。この処理を駆動モータ３０の電流値が所定範囲内に収まるまで繰り返す。

【0084】

このようにして、駆動モータ３０の電流値が所定範囲内に収まった状態でワークＷを加工できるように、ドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ２を制御して研削砥石２２がドレッシングされる。

【0085】

ステップＳ１３９において、当該電流値が異常を示す閾値以上であれば、切れ味不良である異常が発生している判定して、ＮＣ制御ユニット５４によって、ドレッシング砥石４６の移動方向が反転するように移動速度Ｕ２を予め設定された速度に変更し、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２に向かって移動させる（ステップＳ１４３）。これにより、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２により多く押し付けてドレッシング消耗量を大きく増やし、素早くドレッシングして当該電流値を下げる。その状態で所定時間経過したか否かがＮＣ制御ユニット５４によって判断される（ステップＳ１４５）。所定時間経過していなければ、ステップＳ１３５に戻り、一方、所定時間経過すれば、その状態でドレッシングしても当該電流値が閾値を下回らずドレッシング効果がないので、加工が中断される（ステップＳ１４７）。

【0086】

このように、駆動モータ３０の電流値が目標とする所定範囲に収まるように、駆動モータ３０の電流値を短い時間間隔でサンプリングして、そのサンプリングごとにドレッシング砥石４６の移動速度Ｕ１，Ｕ２を制御することによって、均一な加工品質を確保しつつドレッシング消耗量も削減することができる。特に、研削代が多く加工時間が長い場合や、超難削材などの加工の場合であっても、ワーク１枚加工する間に研削砥石２２の切れ味が急低下することを抑制でき、効果的である。

【0087】

ワークＷの研削中にリアルタイムで移動速度Ｕ１，Ｕ２を調整することによって、ワークＷの研削時の切れ味に関する情報の検出結果を、リアルタイムでドレッシングに反映させることができ、適切にワークＷの研削および研削砥石２２のドレッシングを行うことができる。

【0088】

上述の実施形態では、１枚のワークＷを加工したときの研削砥石２２の消耗量は小さいので、平面研削盤１０の動作において研削砥石２２の消耗量は考慮されていないが、当該消耗量を考慮する場合には、平面研削盤１０は以下のように構成されてもよい。

【0089】

図８を参照して、ワークＷの仕上厚みを一定に管理するため、研削砥石２２に干渉しないチャックテーブル１８付近にさらに定寸装置７６が設けられる。そして、定寸装置７６のテーブル高さ測定子Ｐとワーク仕上厚み測定子Ｑとを用いて、ワーク厚み（＝Ｑ－Ｐ）が測定されながら、目標の仕上厚みに達するまで送込速度Ｖ２にて研削砥石２２の送り込みが続けられる。ワーク厚みが目標値に達すると、研削砥石２２の送り込みが停止されてスパークアウトに移行される。そして、スパークアウト位置から研削砥石２２の原位置までの距離が演算され、研削砥石２２が常に次のワーク加工のために原位置に戻れるようにフィードバックされる。このようにすれば、研削砥石２２が消耗してもワークＷの仕上厚みを一定にできる。

【0090】

図１１を参照して、ワークＷの回転最大径Ｍ（ワークＷの回転軌跡ＲＴの外径）が研削砥石２２の研削面２２ａの幅Ｐより大きく設定され、かつワークＷの回転軌跡ＲＴの一部が研削砥石２２の外周および内周からはみ出るようにワークＷがチャックテーブル１８に保持される限りにおいて、ワークＷを何枚でも自由にレイアウトしてよい。たとえば、図１１（ａ）に示すように１枚のワークＷをレイアウトしてもよく、図１１（ｂ）に示すように２枚のワークＷを対称的にレイアウトしてもよい。この場合、複数枚のワークＷをどのようにレイアウトしてもすべてのワークＷの全面を研削でき、かつ研削砥石２２の研削面２２ａの全面にワークＷを接触できる。

【0091】

図１１に示すように研削面２２ａの幅Ｐが大きい研削砥石２２を用いることによって、１枚のワークＷを加工する場合だけではなく複数枚のワークＷを同時に加工する場合においても、すべてのワークＷの被加工面の全体または大部分を同時に研削砥石２２に接触させてワークＷを加工することができ、生産性を向上できる。たとえばアルミナや炭化ケイ素などのセラミックスやガラスなどの難削材からなる薄板ワークを研削するときに効果的である。また、このように幅Ｐが大きい研削砥石２２を用いる場合、ワークＷに接触する研削砥石２２の砥粒数が多くなり、加工負荷も大きくなるおそれがあるが、平面研削盤１０を用いることによってそのような弊害を抑制できる。

【0092】

上述の実施形態では、ドレッシング砥石４６の外径Ｄが研削砥石２２の研削面２２ａの幅Ｐより大きく設定されたが、これに限定されない。ドレッシング砥石４６の外径Ｄは研削砥石２２の幅Ｐより小さくてもよい。この場合、ドレッシング砥石４６を研削砥石２２の内外径方向に研削面２２ａと平行に往復動させて、研削面２２ａの全面をドレッシングできるようにドレス装置が構成されてもよい。

【0093】

ドレッシング砥石として、取り付け円板４２の主面の外周寄りに周方向に等間隔に設けられる複数のセグメント砥石が用いられてもよい。

【0094】

上述の実施形態では、研削砥石２２の切れ味に関する情報として駆動モータ３０の電流値が用いられたが、これに限定されない。研削砥石２２の切れ味に関する情報として、駆動モータ３０のトルクや負荷率などのパラメーターが用いられてもよい。

【0095】

上述の実施形態では、この発明を立型の平面研削盤に適用した場合について説明したが、この発明は横型の平面研削盤にも適用できる。

【0096】

上述の実施形態では、正方形状のワークＷを研削する場合について説明したが、これに限定されない。この発明に係る平面研削盤は、種々の形状及び材質のワークを研削できる。

【符号の説明】

【0097】

１０ 平面研削盤
１８ チャックテーブル
２０，３０，３２ａ，４８，５０ａ，７０ 駆動モータ
２２ 研削砥石
２２ａ 研削面
３２，５０ 送込装置
３４ ドレス装置
４６ ドレッシング砥石
５２ ＣＮＣ装置
５４ ＮＣ制御ユニット
５４ａ ＣＰＵ
５４ｂ メモリ
５６ 表示操作ユニット
７４ 電流検出器
７６ 定寸装置
Ｄ ドレッシング砥石の外径
Ｌ１，Ｌ２ 研削砥石の送込量
Ｍ ワークの回転最大径
Ｐ 研削面の幅
ＲＴ ワークの回転軌跡
Ｕ１，Ｕ２ ドレッシング砥石の移動速度
Ｖ１，Ｖ２ 研削砥石の送込速度
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】