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特許7423792ウェハ検査装置、データ処理方法及び記憶媒体
発明の名称 ウェハ検査装置、データ処理方法及び記憶媒体
出願人 上海集成電路研発中心有限公司 （識別番号 522261477）
特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 上海先綜検測有限公司 （識別番号 522261488）
特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7423792
公報発行日 2024年1月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7423792
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