技術分野
半導体素子等が搭載されることによりパワーモジュール等として用いることができる絶縁回路基板
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ところで、特許文献2~4に記載の絶縁回路基板のように、半導体素子が搭載される領域のみが他の面より突出すると、フィンや冷却器への接着又は接合時にこれらを加圧する際に、突出した半導体素子が搭載される領域以外の領域に十分に圧力を加えることができない。つまり、回路層全面に均等に圧力を加えることができず、フィンや冷却器への接着性及び接合性が低下する。また、半導体素子が搭載される領域と、搭載されない領域との間に段差が生じることから、ワイヤーボンディング等の実装にあたり、各種工程が増加することから、製造コストが増加する。特に、特許文献5に記載の絶縁回路基板のように、回路層が二層構造の場合、絶縁回路基板全体の高さがさらに拡大するため、パワーモジュールを小型化できない。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の絶縁回路基板は、セラミックス基板の一方の面に二層構造の回路層が形成された絶縁回路基板であって、前記回路層は、前記セラミックス基板の一方の面に形成され、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる第1回路層と、前記第1回路層の前記セラミックス基板とは反対側の面に形成され、銅又は銅合金からなる第2回路層と、を備え、前記第2回路層は、半導体素子が搭載される搭載予定領域側の面が平坦面からなるとと・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、回路層が二層構造からなる絶縁回路基板の放熱性を高め、かつ、絶縁回路基板の高さの拡大を抑制できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一絶縁回路基板を用いたパワーモジュールを示す断面図である。
【図2】
図1に示すパワーモジュールの上面図である。ある。
【図3】
図1に示す絶縁回路基板の製造工程における凹凸形成工程を示す断面図である。
【図4】
図1に示す絶縁回路基板の製造工程における第1接合工程を示す断面図である。
【図5】
図1に示す絶縁回路基板の製造工程における第2接合工程を示す断面図である。
【図6】
実施形態の変形例に係る絶縁回路基板を示す上面図である。
10,10B 絶縁回路基板
11 セラミックス基板
12 回路層
13 放熱層
14 第1回路層
14a 第1回路層用金属板
141,141a 凹部
15,15B 第2回路層
15a 第2回路層用金属板
150a 第1面
150b 第2面
151,151a,151B 厚肉部
152,152a 薄肉部
16 第1放熱層
16a 第1放熱層用金属板
17 第2放熱層
17a 第2放熱層用金属板
30 半導体素子
40 冷却器
50 ろう材箔
Ar1 搭載予定領域(搭載領域)
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