特許 7424871 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-22

(45)【発行日】2024-01-30

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G09F 9/00 20060101AFI20240123BHJP

   G01R 31/00 20060101ALI20240123BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20240123BHJP

   G02F 1/1345 20060101ALI20240123BHJP

【ＦＩ】

G09F9/00 338

G01R31/00

G02F1/13 101

G02F1/1345

G09F9/00 348

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020043115

(22)【出願日】2020-03-12

(65)【公開番号】P2021144157

(43)【公開日】2021-09-24

【審査請求日】2023-02-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】赤羽 賢俊

(72)【発明者】

【氏名】吉田 昇悟

【審査官】石本 努

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２０３７１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２０１１６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０２９１７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１８６３９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ３１／００－３１／０１

３１／２４－３１／２５

３１／２８－３１／３１９３

Ｇ０２Ｆ１／１３

１／１３４３－１／１３４５

１／１３５

１／１３７－１／１４１

Ｇ０９Ｆ９／００

Ｈ０５Ｂ３３／００－３３／２８

４４／００

４５／６０

Ｈ１０Ｋ５０／００－９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、一端が前記基板に接続され、他端の一方面側に被給電部が設けられたフレキシブル配線基板と、を有する検査対象物を検査する検査装置において、
前記フレキシブル配線基板が垂れ下がった際に水平方向の一方側に前記一方面が向くように前記基板が載置される載置部と、
垂れ下がった前記フレキシブル配線基板を前記基板に下方から重なるように回動させて前記フレキシブル配線基板を吸着した後、逆方向に回転して前記フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態とする姿勢矯用吸着ヘッドと、
鉛直方向に垂れ下がった前記フレキシブル配線基板の他方面のうち、前記被給電部の裏面部分を吸着する吸着ヘッドと、
前記吸着ヘッドに前記フレキシブル配線基板が吸着された状態の前記被給電部に水平方向の一方側で対向する検査用給電部と、
前記姿勢矯用吸着ヘッドによる前記フレキシブル配線基板の吸着を停止した状態で、前記吸着ヘッドおよび前記載置部を前記水平方向の一方側に移動させて前記被給電部と前記検査用給電部とを電気的に接続させる搬送機構と、
を有することを特徴とする検査装置。

【請求項2】

請求項１に記載の検査装置において、
前記被給電部の位置を検出する監視装置を有し、
前記被給電部と前記検査用給電部とを電気的に接続させる際、前記監視装置の監視結果に基づいて、前記被給電部と前記検査用給電部との相対位置が調整されることを特徴とする検査装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の検査装置において、
前記被給電部はコネクタを備えることを特徴とする検査装置。

【請求項4】

請求項１から３までの何れか一項に記載の検査装置において、
前記姿勢矯用吸着ヘッドとして、第１姿勢矯用吸着ヘッドと第２姿勢矯用吸着ヘッドとが前記水平方向で離間する位置に配置されており、
前記検査対象物は、前記フレキシブル配線基板を前記基板に鉛直方向の下方側から重ねた際、前記一方面が前記基板の側を向く第１タイプの検査対象物と、前記一方面が前記基
板とは反対の側を向く第２タイプの検査対象物とがあり、
前記第１タイプの検査対象物である場合には、前記第１姿勢矯用吸着ヘッドによって前記フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態とし、
前記第２タイプの検査対象物である場合には、前記第２姿勢矯用吸着ヘッドによって前記フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態とすることを特徴とする検査装置。

【請求項5】

請求項４に記載の検査装置において、
前記載置部は、前記フレキシブル配線基板を下方に引き出すための開口部を備え、
前記検査対象物が前記第１タイプの検査対象物である場合、前記開口部は、前記載置部における水平方向の他方側寄りに位置し、かつ、前記フレキシブル配線基板が前記載置部における水平方向の前記他方側寄りの位置から垂れ下がり、
前記検査対象物が前記第２タイプの検査対象物である場合、前記開口部は、前記載置部における水平方向の一方側寄りに位置し、かつ、前記フレキシブル配線基板が前記載置部における水平方向の前記一方側寄りの位置から垂れ下がることを特徴とする検査装置。

【請求項6】

請求項１から５までの何れか一項に記載の検査装置において、
前記基板は、表示パネルを構成しており、
前記搬送機構が前記吸着ヘッドおよび前記載置部を前記水平方向の一方側に搬送した際に前記表示パネルの点灯状態を撮像装置で撮像することを特徴とする検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査対象物を検査する検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

検査対象物を自動的に検査するための検査装置は、特許文献１に記載されている。同文献の検査装置は、検査対象物が載置される載置部と、載置部の上方に配置されるカメラと、検査対象物に通電する検査用給電部を備えている。載置部に検査対象物が載置されると、検査用給電部は、移動機構により移動し、検査対象物の端子と電気的に接続する。次に、検査用給電部が検査対象物に通電すると、検査対象物に通電した様子がカメラを用いて検査される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－０５３１６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

検査対象物はフレキシブル配線基板を有した状態で検査されることがある。しかしながら、特許文献１の検査装置は、フレキシブル配線基板を有しない検査対象物を自動的に検査するものであり、フレキシブル配線基板を有した検査対象物を検査することができなかった。このため、従来では、フレキシブル配線基板を有する検査対象物を検査する場合は、検査対象物を載置部に載置した後、作業者の手作業によって、フレキシブル配線基板の被給電部と検査用給電部とを電気的に接続していた。この結果、検査装置は、検査対象物を自動的に検査することができないので、検査対象物の検査時間が長くなるという問題があった。

【0005】

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、フレキシブル配線基板を有する検査対象物であっても、自動的に検査することができる検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本発明に係る検査装置は、基板と、一端が前記基板に接続され、他端の一方面側に被給電部が設けられたフレキシブル配線基板と、を有する検査対象物を検査する検査装置において、前記フレキシブル配線基板が垂れ下がった際に水平方向の一方側に前記一方面が向くように前記基板が載置される載置部と、垂れ下がった前記フレキシブル配線基板を前記基板に下方から重なるように回動させて前記フレキシブル配線基板を吸着した後、逆方向に回転して前記フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態とする姿勢矯用吸着ヘッドと、鉛直方向に垂れ下がった前記フレキシブル配線基板の他方面のうち、前記被給電部の裏面部分を吸着する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドに前記フレキシブル配線基板が吸着された状態の前記被給電部に水平方向の一方側で対向する検査用給電部と、前記姿勢矯用吸着ヘッドによる前記フレキシブル配線基板の吸着を停止した状態で、前記吸着ヘッドおよび前記載置部を前記水平方向の一方側に移動させて前記被給電部と前記検査用給電部とを電気的に接続させる搬送機構と、を有することを特徴とする。

【0007】

本発明によれば、姿勢矯用吸着ヘッドは、自由姿勢のフレキシブル配線基板であっても、鉛直方向に垂れ下がった状態とすることができる。吸着ヘッドは、鉛直方向に垂れ下が
ったフレキシブル配線基板の他方面のうち、被給電部の裏面部分を吸着することができる。搬送機構は、吸着ヘッドおよび載置部を水平方向の一方側に移動させて被給電部と検査用給電部とを電気的に接続させることができる。この結果、本発明の検査装置は、フレキシブル配線基板を備えた検査対象物であっても、検査の自動化を行うことができる。

【0008】

本発明において、前記被給電部の位置を検出する監視装置を有し、前記被給電部と前記検査用給電部とを電気的に接続させる際、前記監視装置の監視結果に基づいて、前記被給電部と前記検査用給電部との相対位置が調整されることが好ましい。また、本発明において、前記被給電部はコネクタを備えることが好ましい。したがって、被給電部に対し検査用給電部の位置を調整することができるので、被給電部と検査用給電部とを確実に接続することができる。

【0009】

本発明において、前記姿勢矯用吸着ヘッドとして、第１姿勢矯用吸着ヘッドと第２姿勢矯用吸着ヘッドとが前記水平方向で離間する位置に配置されており、前記検査対象物は、前記フレキシブル配線基板を前記基板に鉛直方向の下方側から重ねた際、前記一方面が前
記基板の側を向く第１タイプの検査対象物と、前記一方面が前記基板とは反対の側を向く第２タイプの検査対象物とがあり、前記第１タイプの検査対象物である場合には、前記第１姿勢矯用吸着ヘッドによって前記フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態とし、前記第２タイプの検査対象物である場合には、前記第２姿勢矯用吸着ヘッドによって前記フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態とすることが好ましい。したがって、フレキシブル配線基板の一方面がいずれの方向を向くタイプの検査対象物、すなわち、第１タイプの検査対象物および第２タイプの検査対象物の何れかであっても、第１姿勢矯用吸着ヘッドおよび第２姿勢矯用吸着ヘッドによって、フレキシブル配線基板を鉛直方向に垂れ下がった状態にすることができる。

【0010】

本発明において、前記載置部は、前記フレキシブル配線基板を下方に引き出すための開口部を備え、前記検査対象物が前記第１タイプの検査対象物である場合、前記開口部は、前記載置部における水平方向の他方側寄りに位置し、かつ、前記フレキシブル配線基板が前記載置部における水平方向の前記他方側寄りの位置から垂れ下がり、前記検査対象物が前記第２タイプの検査対象物である場合、前記開口部は、前記載置部における水平方向の一方側寄りに位置し、かつ、前記フレキシブル配線基板が前記載置部における水平方向の前記一方側寄りの位置から垂れ下がることが好ましい。したがって、検査対象物が異なるタイプであっても、検査対象物のフレキシブル配線基板の被給電部の向きを適正な方向とすることができる。

【0011】

本発明において、前記基板は、表示パネルを構成しており、前記搬送機構が前記吸着ヘッドおよび前記載置部を前記水平方向の一方側に搬送した際に前記表示パネルの点灯状態を撮像装置で撮像する態様とすることができる。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、フレキシブル配線基板を有する検査対象物であっても、自動的に検査することができる検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】表示パネルを説明する図である。

【図2】第１タイプの表示パネルおよび第２タイプの表示パネルを説明する図である。

【図3】本発明の実施形態に係る検査装置の概略の正面図である。

【図4】第１タイプの表示パネルを検査する検査装置を示す概略の斜視図である。

【図5】検査装置が第１タイプの表示パネルを検査する工程を説明する図である。

【図6】第２タイプの表示パネルを検査する検査装置を示す概略の斜視図である。

【図7】検査装置が第２タイプの表示パネルを検査する工程を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

【0015】

図１は、表示パネルを説明する図であり、図１（Ａ）は、表示パネルの斜視図であり、図１（Ｂ）は、表示パネルの基板の背面を沿って延在するフレキシブル配線基板を示す図である。図２は、第１の表示パネルおよび第２の表示パネルを説明する図である。

【0016】

（表示パネル）
本形態の検査装置１の検査対象物は、液晶パネルや有機ＥＬパネル等の表示パネル１００である。この表示パネル１００は、たとえば、携帯端末等に使用される比較的小型の表示パネルである。図１（Ａ）に示すように、表示パネル１００は、基板１０１と、基板１０１の一端と接続したフレキシブル配線基板１１１とを備える。基板１０１は、長方形の平板形状である。基板１０１は、画像を表示する表示部１０２を備える。表示パネル１００では、基板１０１に対して別の基板（図示せず）が貼り合わされることがあるが、各図面では、フレキシブル配線基板１１１が接続された基板１０１のみを示してある。フレキシブル配線基板１１１は、他端の一方面に被給電部１１５が設けられた先端部１１３と、基板１０１から先端部１１３まで延びる本体部１１４とを備える。被給電部１１５はコネクタ１１８を備える。フレキシブル配線基板１１１は、図１（Ｂ）に示すように、基板１０１の背面１０３に沿って延在する状態で電子機器に搭載される。フレキシブル配線基板１１１は、図１（Ｂ）に示すように、基板１０１の背面１０３に沿った状態とした場合に、背面１０３を向く第１側面１１６と、第１側面１１６とは反対側を向く第２側面１１７とを備える。

【0017】

表示パネル１００には、フレキシブル配線基板１１１を基板１０１の背面１０３に鉛直方向の下方側から重ねた際に、基板１０１の側の第１側面１１６に、被給電部１１５が設けられた一方面１１２が向く第１タイプの表示パネル１００Ａと、基板１０１の背面１０３とは反対側の第２側面１１７に一方面１１２が向く第２タイプの表示パネル１００Ｂとがある。具体的には、図２（Ａ）に示すように、第１タイプの表示パネル１００Ａにおいて、一方面１１２は第１側面１１６であり、他方面１１９は第２側面１１７である。被給電部１１５Ａは先端部１１３の第１側面１１６に設けられる。また、図２（Ｂ）に示すように、第２タイプの表示パネル１００Ｂにおいて、一方面１１２は第２側面１１７であり、他方面１１９は第１側面１１６である。被給電部１１５Ｂは先端部１１３の第２側面１１７に設けられる。

【0018】

（検査装置）
図３は、本発明の実施形態に係る検査装置１を示す概略の正面図である。図４は、第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する検査装置１を示す概略の斜視図である。図５は、検査装置１が第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する工程を説明する図である。図６は、第２タイプの表示パネル１００Ｂを検査する検査装置１を示す概略の斜視図である。図７は、検査装置１が第２タイプの表示パネル１００Ｂを検査する工程を説明する図である。

【0019】

本形態の検査装置１は、検査対象物として表示パネル１００を点灯検査するための装置である。検査装置１は、第１タイプの表示パネル１００Ａおよび第２タイプの表示パネル１００Ｂの何れのタイプの表示パネル１００であっても検査することができるように、以下に説明するように構成されている。したがって、図３には、検査すべき表示パネル１００が第１タイプの表示パネル１００Ａである場合のフレキシブル配線基板１１１を実線で示し、検査すべき表示パネル１００が第２タイプの表示パネル１００Ｂである場合のフレキシブル配線基板１１１を破線で示してある。図３に示すように、検査装置１は、フレキシブル配線基板１１１が垂れ下がった際に水平方向の一方側に一方面１１２が向くように
基板が載置される載置部２と、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から重なるように回動させてフレキシブル配線基板１１１を吸着した後、逆方向に回転してフレキシブル配線基板１１１を鉛直方向に垂れ下がった状態とする姿勢矯用吸着ヘッド３とを有する。また、検査装置１は、鉛直方向に垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１の他方面１１９のうち、被給電部１１５の裏面部分を吸着する吸着ヘッド４と、吸着ヘッド４にフレキシブル配線基板１１１が吸着された状態の被給電部１１５に水平方向の一方側で対向する検査用給電部５と、姿勢矯用吸着ヘッド３によるフレキシブル配線基板１１１の吸着を停止した状態で、吸着ヘッド４および載置部２を水平方向の一方側に移動させて被給電部１１５と検査用給電部５とを電気的に接続させる搬送機構６と、撮像装置７とを備える。本形態において、姿勢矯用吸着ヘッド３は、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１と第２姿勢矯用吸着ヘッド３６とを備える。第１姿勢矯用吸着ヘッド３１と第２姿勢矯用吸着ヘッド３６とが水平方向で離間する位置に配置されている。ここで、本明細書において、鉛直方向に沿った軸をＺ軸、Ｚ軸と直交し搬送機構６が吸着ヘッド４を搬送する方向に沿った軸をＸ軸、Ｘ軸およびＺ軸と直交する軸をＹ軸とする。Ｘ軸方向およびＹ軸方向は水平方向である。図１に示すように、Ｘ軸において、検査用給電部５がある方向を一方側Ｘ１、その反対を他方側Ｘ２とする。Ｚ軸において、上方をＺ１、下方をＺ２とする。

【0020】

（第１タイプの表示パネル１００Ａの検査）
まず、検査装置１が第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する場合について説明する。図４に示すように、載置部２Ａは、基板１０１の背面１０３が載置される載置面部２１と、フレキシブル配線基板１１１を引き出すための開口部２２とを備える。開口部２２は載置部２Ａにおける他方側Ｘ２寄りに位置し、載置部２Ａの他方側Ｘ２の端部２６から切りかかれている。開口部２２は、Ｚ軸方向から見たときに、長方形状となっている。

【0021】

図４に示すように、載置面部２１には、基板１０１の背面１０３を吸着するための複数の吸着孔２４が設けられている。載置面部２１に載置された基板１０１の背面１０３は、吸着孔２４に吸引されることで固定される。吸着孔２４による吸引は、不図示のポンプにより行われる。本形態では、載置部２Ａは、ベース部８を介して搬送機構６と連結している。したがって、載置部２Ａは、搬送機構６によって、一方側Ｘ１に搬送される。

【0022】

第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する場合、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１のみが使用される。この時、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、アクチュエータ３９によって、載置部２Ａより上方Ｚ１に位置する。図３、図４に示すように、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、載置部２Ａに対して他方側Ｘ２に位置する。第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、回動部３２によって、Ｙ軸に沿って延在する軸線回りに回転可能である。したがって、後述するように、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から重なるように回動し、フレキシブル配線基板１１１を吸着した後、逆方向に回転してフレキシブル配線基板１１１を鉛直方向に垂れ下がった状態とするように回動する。

【0023】

第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、長方形状である。第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、回動部３２によって、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から重なるように回動したときに、開口部２２に収容される大きさである。第１姿勢矯用吸着ヘッド３１の吸着面３１１には、フレキシブル配線基板１１１の本体部１１４を吸着するための複数の吸着孔３１２が設けられている。

【0024】

図３、図４に示すように、吸着ヘッド４は、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１に対して、下方Ｚ２に位置する。吸着ヘッド４は、フレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の他方面１１９（第２側面１１７）を吸着する吸着部４１と、吸着部４１をＸ軸方向に移動させ
るアクチュエータ４２とを備える。吸着部４１の吸着面４３には、フレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の他方面１１９を吸着するための複数の吸着孔４４が設けられている。アクチュエータ４２は、例えば、電動シリンダやエアシリンダである。アクチュエータ４２は、吸着部４１がフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３を吸着する際に、Ｘ軸方向の位置を調整する。

【0025】

搬送機構６は、例えば、電動シリンダやエアシリンダである。搬送機構６は、吸着ヘッド４のアクチュエータ４２と連結しており、吸着ヘッド４をＸ軸方向に往復移動させることが可能である。したがって、後述するように、搬送機構６は、吸着ヘッド４を検査用給電部５が位置する一方側Ｘ１に搬送する。搬送機構６は、吸着ヘッド４を一方側Ｘ１に移動させて被給電部１１５と検査用給電部５とを電気的に接続させる。

【0026】

検査用給電部５は、フレキシブル配線基板１１１の被給電部１１５に電気的に接触する複数のプローブ部５１を備える。表示パネル１００の検査時には、プローブ部５１から表示パネル１００に通電される。また、検査用給電部５は、プローブ部５１を保持するプローブ保持部５２と、プローブ保持部５２に位置を調整する位置調整部５３と、被給電部１１５Ａの位置を検出する監視装置５４とを備える。監視装置５４は、ラインセンサやエリアセンサなどによって構成されている。位置調整部５３は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向およびＸ軸に沿って延在する軸線を中心とした回転方向に、監視装置５４で検出した被給電部１１５Ａの位置に基づいて、プローブ保持部５２の位置を調整する。より具体的には、位置調整部５３は、被給電部１１５Ａのコネクタ１１８とプローブ部５１が適正に接触するように、監視装置５４で検出した被給電部１１５Ａの位置に基づいて、被給電部１１５Ａのコネクタ１１８とプローブ部５１との相対位置を調整する。

【0027】

撮像装置７は、後述するように、表示パネル１００に通電された際に、表示パネル１００の点灯状態を撮像する。撮像装置７は、ラインセンサやエリアセンサなどによって構成されている。

【0028】

次に、図５を用いて、第１タイプの表示パネル１００Ａの検査工程について説明する。図５に示すように、工程ＳＴ１において、載置部２Ａに第１タイプの表示パネル１００Ａが載置されると、基板１０１の背面１０３は、吸着孔２４に吸引されることで固定される。この時、フレキシブル配線基板１１１は、Ｘ軸方向の他方側Ｘ２寄りの位置から垂れ下がる。

【0029】

工程ＳＴ２において、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、回動部３２によって、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１の背面１０３に下方Ｚ２から重なるように回動する。垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１が基板１０１の背面１０３と重なると、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、フレキシブル配線基板１１１の本体部１１４を吸着する。

【0030】

工程ＳＴ３において、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、回動部３２によって、逆方向に回転してフレキシブル配線基板１１１をＺ方向に垂れ下がった状態とする。そして、吸着ヘッド４は、アクチュエータ４２により、吸着部４１を一方側Ｘ１に移動させ、吸着面４３をフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の他方面１１９に当接させる。吸着孔４４は、フレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の他方面１１９（第２側面１１７）のうち、コネクタ１１８の裏面部分を吸着する。吸着ヘッド４がフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３を吸着した後に、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１は、フレキシブル配線基板１１１の本体部１１４の吸着を停止する。

【0031】

工程ＳＴ４において、搬送機構６は、フレキシブル配線基板１１１の先端部１１３を保
持した状態の吸着ヘッド４と、載置部２Ａとを、一方側Ｘ１に搬送する。より具体的には、搬送機構６は、吸着ヘッド４を検査用給電部５まで搬送し、載置部２Ａを撮像装置７の下方Ｚ２に位置する位置まで搬送する。この時、位置調整部５３は、被給電部１１５Ａのコネクタ１１８とプローブ部５１が適切に接続するように、監視装置５４で検出した被給電部１１５Ａのコネクタ１１８の位置に基づいて、被給電部１１５Ａのコネクタ１１８とプローブ部５１との相対位置を調整する。搬送機構６は、被給電部１１５Ａのコネクタ１１８とプローブ部５１とを電気的に接続させる。プローブ部５１と被給電部１１５Ａのコネクタ１１８とが接続すると、検査用給電部５から電力が供給され、第１タイプの表示パネル１００Ａの表示部１０２に検査画像が表示される。なお、この際、載置部２Ａの下方Ｚ２に配置された光源（不図示）により、第１タイプの表示パネル１００Ａが点灯する。検査装置１は、撮像装置７が第１タイプの表示パネル１００Ａの表示部１０２の点灯状態を撮像することで、第１タイプの表示パネル１００Ａの表示部１０２に欠陥がないか検査する。検査が終わると、搬送機構６は、載置部２Ａおよび吸着ヘッド４を検査前の位置（他方側Ｘ２）に搬送する。その後、基板１０１の背面１０３およびフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の吸着が停止される。

【0032】

（第２タイプの表示パネル１００Ｂの検査）
次に、検査装置１が第２タイプの表示パネル１００Ｂを検査する場合について説明する。なお、第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する場合と構成が同じ部分については、説明を省略する。

【0033】

図６に示すように、載置部２Ｂは、基板１０１の背面１０３が載置される載置面部２１と、フレキシブル配線基板１１１を引き出すための開口部２２とを備える。開口部２２は載置部２Ｂにおける一方側Ｚ１寄りに位置し、載置部２Ｂの一方側Ｘ１の端部２７から切りかかれている。すなわち、検査装置１が、第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する場合と第２タイプの表示パネル１００Ｂを検査する場合とでは、開口部２２が位置する方向が相違する。本形態の検査装置１は、検査する表示パネル１００のタイプに応じて、載置部２Ａおよび載置部２Ｂが選択的にベース部８に配置される。

【0034】

第２タイプの表示パネル１００Ｂを検査する場合、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６のみが使用される。図６、図７に示すように、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、載置部２Ｂに対して一方側Ｘ１に位置する。第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、回動部３７によって、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から重なるように回動し、フレキシブル配線基板１１１を吸着した後、逆方向に回転してフレキシブル配線基板１１１を鉛直方向に垂れ下がった状態とするように回動する。

【0035】

第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、長方形状である。第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、回動部３７によって、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から重なるように回動したときに、開口部２２に収容される大きさである。第２姿勢矯用吸着ヘッド３６の吸着面３６１には、フレキシブル配線基板１１１の本体部１１４を吸着するための複数の吸着孔３６２が設けられている。

【0036】

また、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、回動部３７を介してアクチュエータ３９によりＺ軸方向に移動する。第１タイプの表示パネル１００Ａを検査する場合には、アクチュエータ３９は、回動部３７を介して第２姿勢矯用吸着ヘッド３６を上方Ｚ１に移動させる。第２タイプの表示パネル１００Ｂを検査する場合には、アクチュエータ３９は、回動部３７を介して第２姿勢矯用吸着ヘッド３６を下方Ｚ２に移動させる。また、載置部２が搬送機構６によって一方側Ｘ１に搬送される際に、アクチュエータ３９は、回動部３７を介して第２姿勢矯用吸着ヘッド３６を上方Ｚ１に移動させる。

【0037】

次に、図７を用いて、第２タイプの表示パネル１００Ｂの検査工程について説明する。図７に示すように、工程ＳＴ１において、載置部２Ｂに第２タイプの表示パネル１００Ｂが載置されると、基板１０１の背面１０３は、吸着孔２４に吸引されることで固定される。この時、フレキシブル配線基板１１１は、Ｘ軸方向の一方側Ｘ１寄りの位置から垂れ下がる。開口部２２から下方に垂れ下がる。また、アクチュエータ３９は、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６を下方Ｚ２に移動させる。

【0038】

工程ＳＴ２において、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、回動部３７によって、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１の背面１０３に下方Ｚ２から重なるように回動する。垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１が基板１０１の背面１０３と重なると、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、フレキシブル配線基板１１１の本体部１１４を吸着する。

【0039】

工程ＳＴ３において、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、回動部３７によって、逆方向に回転してフレキシブル配線基板１１１をＺ方向に垂れ下がった状態とする。そして、吸着ヘッド４は、アクチュエータ４２により、吸着部４１を一方側Ｘ１に移動させ、吸着面４３をフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の他方面１１９（第１側面１１６）のうち、コネクタ１１８の裏面部分に当接させる。吸着孔４４は、フレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の他方面１１９を吸着する。吸着ヘッド４がフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３を吸着した後に、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、フレキシブル配線基板１１１の本体部１１４の吸着を停止する。

【0040】

工程ＳＴ４において、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６は、アクチュエータ３９によって上方Ｚ１に移動する。その後、搬送機構６は、フレキシブル配線基板１１１の先端部１１３を保持した状態の吸着ヘッド４と、載置部２Ｂとを、一方側Ｘ１に搬送する。より具体的には、搬送機構６は、吸着ヘッド４を検査用給電部５の近傍まで搬送し、載置部２Ｂを撮像装置７の下方Ｚ２に位置する位置まで搬送する。この時、位置調整部５３は、被給電部１１５Ｂのコネクタ１１８とプローブ部５１が適切に接続するように、監視装置５４で検出した被給電部１１５Ｂのコネクタ１１８の位置に基づいて、被給電部１１５Ｂのコネクタ１１８とプローブ部５１との相対位置を調整する。搬送機構６は、被給電部１１５Ｂのコネクタ１１８とプローブ部５１とを電気的に接続させる。プローブ部５１と被給電部１１５Ｂのコネクタ１１８とが接続すると、検査用給電部５から電力が供給され、第２タイプの表示パネル１００Ｂの表示部１０２に検査画像が表示される。なお、この際、載置部２Ｂの下方Ｚ２に配置された光源（不図示）により、第２タイプの表示パネル１００Ｂが点灯する。検査装置１は、撮像装置７が第２タイプの表示パネル１００Ｂの表示部１０２の点灯状態を撮像することで、第２タイプの表示パネル１００Ｂの表示部１０２に欠陥がないか検査する。検査が終わると、搬送機構６は、載置部２Ｂおよび吸着ヘッド４を検査前の位置（他方側Ｘ２）に搬送する。その後、基板１０１の背面１０３およびフレキシブル配線基板１１１の先端部１１３の吸着が停止される。

【0041】

（本形態の主な作用効果）
本形態の検査装置１において、フレキシブル配線基板１１１が垂れ下がった際に水平方向の一方側（Ｘ軸方向の一方側Ｘ１）に、被給電部１１５が設けられた一方面１１２が向くように基板１０１が載置される載置部２と、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方Ｚ２から重なるように回動させてフレキシブル配線基板１１１を吸着した後、逆方向に回転してフレキシブル配線を鉛直方向に垂れ下がった状態とする姿勢矯用吸着ヘッド３と、鉛直方向に垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１の他方面１１９のうち、被給電部１１５の裏面部分を吸着する吸着ヘッド４とを有する。したがって、姿勢矯用吸着ヘッド３は、自由姿勢のフレキシブル配線基板１１１であっても、鉛直方向に垂れ下がった状態とすることができ、吸着ヘッド４は、鉛直方向に垂れ下がったフレキシ
ブル配線基板１１１の他方面１１９のうち、被給電部１１５の裏面部分を吸着することができる。また、検査装置１は、吸着ヘッド４にフレキシブル配線基板１１１が吸着された状態の被給電部１１５に水平方向の一方側Ｘ１で対向する検査用給電部５と、姿勢矯用吸着ヘッド３によるフレキシブル配線基板１１１の吸着を停止した状態で、吸着ヘッド４および載置部２を水平方向の一方側Ｘ１に移動させて被給電部１１５と検査用給電部５とを電気的に接続させる搬送機構６とを有する。したがって、搬送機構６は、吸着ヘッド４および載置部２を水平方向の一方側Ｘ１に移動させて被給電部１１５と検査用給電部５とを電気的に接続させることができる。この結果、本形態の検査装置１は、フレキシブル配線基板１１１を備えた表示パネル１００であっても、検査の自動化を行うことができる。

【0042】

本形態において、被給電部１１５の位置を検出する監視装置５４を有し、被給電部１１５と検査用給電部５とを電気的に接続させる際、監視装置５４の監視結果に基づいて、被給電部１１５と検査用給電部５のプローブ部５１との相対位置が調整される。また、被給電部１１５はコネクタ１１８を備える。したがって、被給電部１１５のコネクタ１１８に対し検査用給電部５のプローブ部５１の位置を調整することができるので、被給電部１１５のコネクタ１１８と検査用給電部５のプローブ部５１とを確実に接続することができる。

【0043】

本形態において、姿勢矯用吸着ヘッド３として、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１と第２姿勢矯用吸着ヘッド３６とが水平方向で離間する位置に配置されており、表示パネル１００は、フレキシブル配線基板１１１を基板１０１に鉛直方向の下方Ｚ２から重ねた際、基板１０１の第１側面１１６に一方面１１２が向く第１タイプの表示パネル１００Ａと、基板１０１とは反対の側の第２側面１１７に一方面１１２が向く第２タイプの表示パネル１００Ｂと備え、第１タイプの表示パネル１００Ａである場合には、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１によってフレキシブル配線基板１１１を鉛直方向に垂れ下がった状態とし、第２タイプの表示パネル１００Ｂである場合には、第２姿勢矯用吸着ヘッド３６によってフレキシブル配線基板１１１を鉛直方向に垂れ下がった状態とする。したがって、フレキシブル配線基板１１１の被給電部１１５がいずれの方向を向くタイプの表示パネル１００、すなわち、第１タイプの表示パネル１００Ａおよび第２タイプの表示パネル１００Ｂの何れかであっても、第１姿勢矯用吸着ヘッド３１および第２姿勢矯用吸着ヘッド３６によって、フレキシブル配線基板１１１を鉛直方向に垂れ下がった状態にすることができる。

【0044】

本形態において、載置部２は、フレキシブル配線基板１１１を引き出すための開口部２２を備え、載置部２は、表示パネル１００が第１タイプの表示パネル１００Ａである場合、開口部２２が載置部２における水平方向の他方側Ｘ２寄りの位置とされる。したがって、フレキシブル配線基板１１１がＸ軸方向の他方側Ｘ２寄りの位置から垂れ下がった状態とすることができる。これに対して、表示パネル１００が第２タイプの表示パネル１００Ｂである場合、載置部２は、開口部２２が載置部２における水平方向の一方側Ｘ１寄りの位置とされる。したがって、フレキシブル配線基板１１１がＸ軸方向の一方側Ｘ１寄りの位置から垂れ下がった状態とすることができる。それ故、表示パネル１００が異なるタイプであっても、フレキシブル配線基板１１１の被給電部１１５の向きを適正な方向とすることができる。

【0045】

（変形例）
上記の形態では、姿勢矯用吸着ヘッド３は、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から、基板１０１と直接重なるように回動させる構成であったが、姿勢矯用吸着ヘッド３は、垂れ下がったフレキシブル配線基板１１１を基板１０１に下方から、載置部２を介して基板１０１と重なるように回動させる構成であってもよい。

【符号の説明】

【0046】

１…検査装置、２，２Ａ，２Ｂ…載置部、３…姿勢矯用吸着ヘッド、４…吸着ヘッド、５…検査用給電部、５…被給電部、６…搬送機構、７…撮像装置、８…ベース部、２１…載置面部、２２…開口部、２４…吸着孔、２６…端部、２７…端部、３１…第１姿勢矯用吸着ヘッド、３２…回動部、３６…第２姿勢矯用吸着ヘッド、３７…回動部、３９…アクチュエータ、４１…吸着部、４２…アクチュエータ、４３…吸着面、４４…吸着孔、５１…プローブ部、５２…プローブ保持部、５３…位置調整部、５４…監視装置、１００…表示パネル、１００Ａ…第１タイプの表示パネル、１００Ｂ…第２タイプの表示パネル、１０１…基板、１０２…表示部、１０３…背面、１１１…フレキシブル配線基板、１１２…一方面、１１３…先端部、１１４…本体部、１１５，１１５Ａ，１１５Ｂ…被給電部、１１６…第１側面、１１７…第２側面、１１８…コネクタ、１１９…他方面、３１１…吸着面、３１２…吸着孔、３６１…吸着面、３６２…吸着孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】