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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-01-23
(45)【発行日】2024-01-31
(54)【発明の名称】出力整合回路
(51)【国際特許分類】
H01P 5/02 20060101AFI20240124BHJP
H01P 1/18 20060101ALI20240124BHJP
H03H 7/20 20060101ALI20240124BHJP
【ＦＩ】
H01P5/02 603A
H01P1/18
H03H7/20 E
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2023137590
(22)【出願日】2023-08-25
【審査請求日】2023-10-20
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000005186
【氏名又は名称】株式会社フジクラ
(74)【代理人】
【識別番号】100141139
【弁理士】
【氏名又は名称】及川 周
(74)【代理人】
【識別番号】100169764
【弁理士】
【氏名又は名称】清水 雄一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100206081
【弁理士】
【氏名又は名称】片岡 央
(74)【代理人】
【識別番号】100188891
【弁理士】
【氏名又は名称】丹野 拓人
(72)【発明者】
【氏名】上道 雄介
【審査官】赤穂 美香
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０２３／１５７４０１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特許第７３３６０５０（ＪＰ，Ｂ１）
【文献】特許第７３２６６４５（ＪＰ，Ｂ１）
【文献】特許第７３６２９６４（ＪＰ，Ｂ１）
【文献】特許第７１６３５２４（ＪＰ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｐ ５／０２
Ｈ０１Ｐ １／１８
Ｈ０３Ｈ ７／２０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
回路側信号線路と、前記回路側信号線路と平行に延びる第１平行線路を含む第１線路と、前記回路側信号線路と平行に延びる第２平行線路、および、前記第２平行線路の一方の端部から前記第２平行線路の他方の端部付近まで延びるとともに前記回路側信号線路の長手方向と交差する交差方向において前記回路側信号線路から遠ざかる方向に凸状となるループ状のループ線路、を含む第２線路と、前記第１平行線路の一方の端部および前記第２平行線路の一方の端部に電気的に接続された第１接地導体と、前記第２線路の一方の端部に接続された第２接地導体と、前記第１平行線路の他方の端部と前記第２接地導体との間に設けられた第１電子スイッチと、前記第２平行線路の他方の端部と前記第２接地導体との間に設けられた第２電子スイッチと、を備え、前記第１平行線路と前記第２平行線路との間に前記回路側信号線路が位置するデジタル移相回路と、出力側信号線路と、出力側接地導体と、を備える出力伝送線路と、
を電気的に接続する出力整合回路であって、
前記回路側信号線路および前記出力側信号線路と接続される信号線路と、前記第２接地導体および前記出力側接地導体と電気的に接続されるリターン線路と、を備え、
前記リターン線路は、前記信号線路よりも長い、
出力整合回路。
【請求項2】
前記リターン線路は、前記ループ線路よりも断面積が小さい、請求項１に記載の出力整合回路。
【請求項3】
前記リターン線路は、前記交差方向において前記信号線路から遠ざかる方向に凸状となるループ状である、請求項１または２に記載の出力整合回路。
【請求項4】
前記リターン線路は、平面視において、前記信号線路の一方の端部付近から前記交差方向において前記信号線路から遠ざかるように延びる第１交差線路と、前記第１交差線路の一方の端部から前記信号線路と平行に延びる平行線路と、前記平行線路の一方の端部から前記交差方向において前記信号線路に近づくように延びる第２交差線路と、を含む、請求項３に記載の出力整合回路。
【請求項5】
前記リターン線路は、平面視において、前記信号線路の一方の端部付近から前記交差方向において前記信号線路から遠ざかるように延びる第１交差線路と、前記第１交差線路の一方の端部から前記信号線路と平行に延び、前記信号線路の長さよりも短い平行線路と、前記平行線路の一方の端部に接続され、前記交差方向において前記信号線路に近づくように前記第１交差線路の長さよりも短く延びてから前記第１交差線路から遠ざかるように前記信号線路と平行に延びる屈曲部が形成された屈曲線路と、を含む、請求項３に記載の出力整合回路。
【請求項6】
前記リターン線路の少なくとも一部の断面積は、前記信号線路の断面積よりも小さい、請求項３に記載の出力整合回路。
【請求項7】
前記リターン線路は、第１層に形成された第１リターン線路部と、ビアを介して前記第１リターン線路部と電気的に接続され、前記第１層とは異なる第２層に形成された第２リターン線路部と、を含み、前記第１リターン線路部および前記第２リターン線路部は、１つのループを構成し、平面視において端部のみが重なるように配置されており、前記端部が前記ビアを介して電気的に接続されている、
請求項３に記載の出力整合回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、出力整合回路に関する。
【背景技術】
【0002】
以下の特許文献１には、マイクロ波、準ミリ波あるいはミリ波を対象とするデジタル制御型のデジタル移相回路が開示されている。このデジタル移相回路は、特許文献１の図１に示されているように、信号線路、第１平行線路を含む第１線路、第２平行線路を含む第２線路、第１接地導体、第２接地導体、第１電子スイッチ、および第２電子スイッチ等を備える。第１平行線路および第２平行線路は、信号線路の両側に設けられる。第２線路は、第２平行線路の一端から第２平行線路の他端付近まで延びるループ線路を含む。ループ線路は、信号線路から遠ざかる方向に凸状となるループ状である。第１接地導体は、第１平行線路の一端および第２平行線路の一端に接続される。第２接地導体は、第２線路の一端に接続される。第１電子スイッチは、第１平行線路の他端と第２接地導体との間に設けられる。第２電子スイッチは、第２平行線路の他端と第２接地導体との間に設けられる。
【0003】
このようなデジタル移相回路は、信号線路における信号波の伝送に起因して一対の平行線路（第１平行線路および第２平行線路）あるいはループ線路に流れるリターン電流を、一対の電子スイッチ（第１電子スイッチおよび第２電子スイッチ）の開／閉に応じて切り替えることにより、動作モードを低遅延モードと高遅延モードとに切り替える。すなわち、デジタル移相回路は、一対の平行線路にリターン電流が流れる場合に動作モードが低遅延モードとなり、ループ線路にリターン電流が流れる場合に動作モードが高遅延モードとなる。
【0004】
また、このデジタル移相回路は、高遅延モード時にリターン電流がループ線路を流れる構成とすることで、デジタル移相回路のサイズを過度に大きくせずとも、高遅延モード時のインダクタンス値を高めることができ、低遅延モード時の位相と高遅延モード時の位相の差（移相量）を十分に拡大することができる。すなわち、このデジタル移相回路は、小型化と、低遅延モード時の位相と高遅延モード時の位相との差の拡大と、を両立できるという利点を有する。このデジタル移相回路は、複数の導体によって構成された出力伝送線路に接続されて用いられる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特許第７３１４３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ここで、上記のデジタル移相回路を小型化すると、導体間の間隔が小さくなることで寄生容量成分が増え、入出力インピーダンスを実数負荷に整合させることが困難になる場合があった。一般に、入出力インピーダンスを実数負荷に整合させる方法として、出力ユニットに誘導成分（インダクタ）を直列接続することが知られている。しかしながら、上記のデジタル移相回路（出力ユニット）は、複数の導体によって構成されている。このため、複数の導体によって構成されたデジタル移相回路と、複数の導体によって構成された出力伝送線路と、の間に、集中定数素子であるインダクタを直列接続することが難しい。
【0007】
本発明は、このような事情を考慮してなされ、デジタル移相回路および出力伝送線路が複数の導体によって構成されている場合であっても入出力インピーダンスを実数負荷に整合可能な出力整合回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本発明の態様１に係る出力整合回路は、回路側信号線路と、前記回路側信号線路と平行に延びる第１平行線路を含む第１線路と、前記回路側信号線路と平行に延びる第２平行線路、および、前記第２平行線路の一方の端部から前記第２平行線路の他方の端部付近まで延びるとともに前記回路側信号線路の長手方向と交差する交差方向において前記回路側信号線路から遠ざかる方向に凸状となるループ状のループ線路、を含む第２線路と、前記第１平行線路の一方の端部および前記第２平行線路の一方の端部に電気的に接続された第１接地導体と、前記第２線路の一方の端部に接続された第２接地導体と、前記第１平行線路の他方の端部と前記第２接地導体との間に設けられた第１電子スイッチと、前記第２平行線路の他方の端部と前記第２接地導体との間に設けられた第２電子スイッチと、を備え、前記第１平行線路と前記第２平行線路との間に前記回路側信号線路が位置するデジタル移相回路と、出力側信号線路と、出力側接地導体と、を備える出力伝送線路と、を電気的に接続する出力整合回路であって、前記回路側信号線路および前記出力側信号線路と接続される信号線路と、前記第２接地導体および前記出力側接地導体と電気的に接続されるリターン線路と、を備え、前記リターン線路は、前記信号線路よりも長い。
【0009】
本発明の態様１によれば、出力整合回路が、複数の導体線路によって構成される。これにより、デジタル移相回路および出力伝送線路が複数の導体によって構成されている場合であっても、それらの間にインダクタンス成分としての出力整合回路を容易に直列接続し、入出力インピーダンスを実数負荷に整合できる。
【0010】
また、本発明の態様２は、態様１の出力整合回路において、前記リターン線路は、前記ループ線路よりも断面積が小さい。
【0011】
また、本発明の態様３は、態様１または態様２の出力整合回路において、前記リターン線路は、前記交差方向において前記信号線路から遠ざかる方向に凸状となるループ状である。
【0012】
また、本発明の態様４は、態様３の出力整合回路において、前記リターン線路は、平面視において、前記信号線路の一方の端部付近から前記交差方向において前記信号線路から遠ざかるように延びる第１交差線路と、前記第１交差線路の一方の端部から前記信号線路と平行に延びる平行線路と、前記平行線路の一方の端部から前記交差方向において前記信号線路に近づくように延びる第２交差線路と、を含む。
【0013】
また、本発明の態様５は、態様３の出力整合回路において、前記リターン線路は、平面視において、前記信号線路の一方の端部付近から前記交差方向において前記信号線路から遠ざかるように延びる第１交差線路と、前記第１交差線路の一方の端部から前記信号線路と平行に延び、前記信号線路の長さよりも短い平行線路と、前記平行線路の一方の端部に接続され、前記交差方向において前記信号線路に近づくように前記第１交差線路の長さよりも短く延びてから前記第１交差線路から遠ざかるように前記信号線路と平行に延びる屈曲部が形成された屈曲線路と、を含む。
【0014】
また、本発明の態様６は、態様３から態様５のいずれか一つの出力整合回路において、前記リターン線路の少なくとも一部の断面積は、前記信号線路の断面積よりも小さい。
【0015】
また、本発明の態様７は、態様３から態様６のいずれか一つの出力整合回路において、前記リターン線路は、第１層に形成された第１リターン線路部と、ビアを介して前記第１リターン線路部と電気的に接続され、前記第１層とは異なる第２層に形成された第２リターン線路部と、を含むみ、前記第１リターン線路部および前記第２リターン線路部は、１つのループを構成し、平面視において端部のみが重なるように配置されており、前記端部が前記ビアを介して電気的に接続されている。
【発明の効果】
【0016】
本発明の上記態様によれば、デジタル移相回路および出力伝送線路が複数の導体によって構成されている場合であっても入出力インピーダンスを実数負荷に整合可能な出力整合回路を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の第１実施形態に係るデジタル移相回路、出力整合回路および出力伝送線路を示す平面図である。
【図6】本発明の第２実施形態に係るデジタル移相回路、出力整合回路、および出力伝送線路を示す平面図である。
【図7】本発明の第３実施形態に係るデジタル移相回路、出力整合回路、および出力伝送線路を示す平面図である。
【図8】本発明の第４実施形態に係るデジタル移相回路、出力整合回路、および出力伝送線路を示す平面図である。
【図9】本発明の第４実施形態に係るリターン線路の一部を示す斜視図である。
【図10】本発明の第５実施形態に係るデジタル移相回路、出力整合回路、および出力伝送線路を示す平面図である。
【図11】本発明の第４実施形態に係るリターン線路の一部を示す斜視図である。
【図12】本発明の第１変形例に係る出力整合回路の一部および出力伝送線路の一部を示す平面図である。
【図15】本発明の第２変形例に係る出力整合回路の一部および出力伝送線路の一部を示す平面図である。
【図16】本発明の第３変形例に係る出力整合回路の一部および出力伝送線路の一部を示す平面図である。
【図18】本発明の第４変形例に係る出力整合回路の一部および出力伝送線路の一部を示す平面図である。
【図20】本発明の第５変形例に係るデジタル移相回路の一部、出力整合回路および出力伝送線路を示す平面図である。
【図22】本発明の第６変形例に係る出力整合回路の一部および出力伝送線路の一部を示す平面図である。
【図24】本発明の第７変形例に係る出力整合回路の一部および出力伝送線路の一部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【0019】
＜第１実施形態＞
≪概要≫
図１は、本発明の第１実施形態に係るデジタル移相回路Ｂ、出力整合回路１００および出力伝送線路９０を示す平面図である。以下では、デジタル移相回路Ｂ、出力整合回路１００および出力伝送線路９０をまとめて、「接続構造Ａ」という場合がある。
≪概要≫
図１は、本発明の第１実施形態に係るデジタル移相回路Ｂ、出力整合回路１００および出力伝送線路９０を示す平面図である。以下では、デジタル移相回路Ｂ、出力整合回路１００および出力伝送線路９０をまとめて、「接続構造Ａ」という場合がある。
【0020】
デジタル移相回路Ｂは、マイクロ波、準ミリ波、あるいはミリ波等の高周波信号を入力とし、所定の移相量だけ位相シフトした高周波信号を外部に出力する高周波回路である。出力伝送線路９０は、デジタル移相回路Ｂにおいて位相シフトされた高周波信号を、接続構造Ａの外部へと伝送する役割を有する。
【0021】
出力整合回路１００は、デジタル移相回路Ｂと出力伝送線路９０とを電気的に接続する。出力整合回路１００は、デジタル移相回路Ｂから入力された高周波信号を出力伝送線路９０に伝送する役割を有する。詳細は後述するが、出力整合回路１００は、入出力インピーダンスを実数負荷に整合させる役割も有する。
【0022】
以下では、まず、出力整合回路１００の接続対象であるデジタル移相回路Ｂおよび出力伝送線路９０について詳細な説明を行う。その後、出力整合回路１００について詳細な説明を行う。
【0023】
【0024】
図１に示すように、デジタル移相回路Ｂは、信号線路（回路側信号線路）１０と、第１線路２１と、第２線路２２と、上側パッド２４と、上側パッド２５と、第１接地導体３１と、第２接地導体３２と、を備える。本実施形態に係る第１線路２１は、第１平行線路２１ｐ１と、一対の上側パッド２１ｄ１、２１ｄ２と、を含む。本実施形態に係る第２線路２２は、第２平行線路２２ｐ２と、第１交差線路２２ｃ１と、第３平行線路２２ｐ３と、屈曲線路２２ｂと、第２交差線路２２ｃ２と、一対の上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２と、を含む。また、本実施形態に係るデジタル移相回路Ｂは、４つの電子スイッチ４１～４４と、複数の接続導体５０と、コンデンサ６０と、複数の接続パッドＰ１～Ｐ４と、スイッチ制御部８０（制御回路）と、を備える（図２および図３も参照）。
【0025】
信号線路１０は、図１に示すように、一方向に延在する直線状の帯状導体である。すなわち、信号線路１０は、一定の幅、一定の厚さおよび所定の長さを有する長尺板状の導体である。信号線路１０には、図１における紙面左側から紙面右側に向かって、つまり紙面左側の端部（入力端）から紙面右側の端部（出力端）に向かって信号電流が流れる。この信号電流は、上述したマイクロ波、準ミリ波、あるいはミリ波の波長域を有する高周波信号である。
【0026】
（方向定義）
ここで、本実施形態では、信号線路１０の長手方向（信号線路１０が延在する方向）を、単に長手方向Ｘという。長手方向Ｘに沿って、信号線路１０の入力端から出力端に向かう向きを、＋Ｘの向きまたは右方という。右方とは反対の向きを、左方または－Ｘの向きという。信号線路１０に交差する（例えば、直交する）方向を、交差方向Ｙという。交差方向Ｙに沿う一つの向きを、奥側または＋Ｙの向きという。奥側とは反対の向きを、手前側または－Ｙの向きという。長手方向Ｘおよび交差方向Ｙの双方に交差する（例えば、直交する）方向を、上下方向Ｚという。上下方向Ｚに沿う一つの向きを、上方または＋Ｚの向きという。上方とは反対の向きを、下方または－Ｚの向きという。上下方向Ｚから見ることを、平面視という。
ここで、本実施形態では、信号線路１０の長手方向（信号線路１０が延在する方向）を、単に長手方向Ｘという。長手方向Ｘに沿って、信号線路１０の入力端から出力端に向かう向きを、＋Ｘの向きまたは右方という。右方とは反対の向きを、左方または－Ｘの向きという。信号線路１０に交差する（例えば、直交する）方向を、交差方向Ｙという。交差方向Ｙに沿う一つの向きを、奥側または＋Ｙの向きという。奥側とは反対の向きを、手前側または－Ｙの向きという。長手方向Ｘおよび交差方向Ｙの双方に交差する（例えば、直交する）方向を、上下方向Ｚという。上下方向Ｚに沿う一つの向きを、上方または＋Ｚの向きという。上方とは反対の向きを、下方または－Ｚの向きという。上下方向Ｚから見ることを、平面視という。
【0027】
信号線路１０は、電気的には集中定数回路素子としてのインダクタンスＬ１を有する。このインダクタンスＬ１は、信号線路１０の長さ等、信号線路１０の形状に応じた大きさを有する寄生インダクタンスである。また、信号線路１０は、電気的には集中定数回路素子としての静電容量Ｃ１をも有する。この静電容量Ｃ１は、信号線路１０と第１平行線路２１ｐ１（詳細は後述）との間、信号線路１０と第２平行線路２２ｐ２（詳細は後述）との間、信号線路１０と第３平行線路２２ｐ３（詳細は後述）との間、または信号線路１０とシリコン基板（不図示）との間等における寄生容量である。
【0028】
第１平行線路２１ｐ１は、信号線路１０の他方の側方（－Ｙ側）に設けられた直線状の帯状導体である。第１平行線路２１ｐ１は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第１平行線路２１ｐ１は、信号線路１０と平行（長手方向Ｘ）に延びている。第１平行線路２１ｐ１と信号線路１０とは、交差方向Ｙに間隔を空けて配されている。
【0029】
上側パッド２１ｄ１は、第１平行線路２１ｐ１の一端（－Ｘ側）に接続された長方形状の平板導体である。上側パッド２１ｄ１の長辺は交差方向Ｙに延びており、上側パッド２１ｄ１の短辺は長手方向Ｘに延びている。上側パッド２１ｄ１の一方の短辺（＋Ｙ側）は、第１平行線路２１ｐ１の一方の側縁（＋Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２１ｄ１の他方の短辺（－Ｙ側）は、第１平行線路２１ｐ１の他方の側縁（－Ｙ側）よりも手前側（－Ｙ側）に位置する。つまり、上側パッド２１ｄ１の交差方向Ｙにおける寸法は、第１平行線路２１ｐ１の幅（交差方向Ｙにおける寸法）よりも大きい。
【0030】
上側パッド２１ｄ２は、第１平行線路２１ｐ１の他端（＋Ｘ側）に接続された長方形状の平板導体である。上側パッド２１ｄ２の長辺は交差方向Ｙに延びており、上側パッド２１ｄ２の短辺は長手方向Ｘに延びている。上側パッド２１ｄ２の一方の短辺（＋Ｙ側）は、第１平行線路２１ｐ１の一方の側縁（＋Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２１ｄ２の他方の短辺（－Ｙ側）は、第１平行線路２１ｐ１の他方の側縁（－Ｙ側）よりも手前側（－Ｙ側）に位置する。つまり、上側パッド２１ｄ２の交差方向Ｙにおける寸法は、第１平行線路２１ｐ１の幅（交差方向Ｙにおける寸法）よりも大きい。
【0031】
第２平行線路２２ｐ２は、信号線路１０の一方の側方（＋Ｙ側）に設けられた直線状の帯状導体である。第２平行線路２２ｐ２は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第２平行線路２２ｐ２は、信号線路１０と平行（長手方向Ｘ）に延びている。第２平行線路２２ｐ２と信号線路１０とは、交差方向Ｙに間隔を空けて配されている。
【0032】
第２平行線路２２ｐ２は、信号線路１０に対して第１平行線路２１ｐ１とは逆側に設けられている。言い換えれば、第２平行線路２２ｐ２は、信号線路１０が交差方向Ｙにおいて第１平行線路２１ｐ１および第２平行線路２２ｐ２の間に位置するように、配置されている。
【0033】
上側パッド２２ｄ１は、第２平行線路２２ｐ２の一端（－Ｘ側）に接続された長方形状の平板導体である。上側パッド２２ｄ１の長辺は交差方向Ｙに延びており、上側パッド２２ｄ１の短辺は長手方向Ｘに延びている。上側パッド２２ｄ１の他方の短辺（－Ｙ側）は、第２平行線路２２ｐ２の他方の側縁（－Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２２ｄ１の一方の短辺（＋Ｙ側）は、第２平行線路２２ｐ２の一方の側縁（＋Ｙ側）よりも奥側（＋Ｙ側）に位置する。つまり、上側パッド２２ｄ１の交差方向Ｙにおける寸法は、第２平行線路２２ｐ２の幅（交差方向Ｙにおける寸法）よりも大きい。
【0034】
上側パッド２２ｄ２は、第２平行線路２２ｐ２の他端（＋Ｘ側）に接続された長方形状の平板導体である。上側パッド２２ｄ２の長辺は交差方向Ｙに延びており、上側パッド２２ｄ２の短辺は長手方向Ｘに延びている。上側パッド２２ｄ２の他方の短辺（－Ｙ側）は、第２平行線路２２ｐ２の他方の側縁（－Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２２ｄ２の一方の短辺（＋Ｙ側）は、第２平行線路２２ｐ２の一方の側縁（＋Ｙ側）よりも奥側（＋Ｙ側）に位置する。つまり、上側パッド２２ｄ２の交差方向Ｙにおける寸法は、第２平行線路２２ｐ２の幅（交差方向Ｙにおける寸法）よりも大きい。
【0035】
第１交差線路２２ｃ１は、第２平行線路２２ｐ２の一端（－Ｘ側）に電気的に接続された帯状導体である。この第１交差線路２２ｃ１には、屈曲部ＣＲ１が形成されており、第２平行線路２２ｐ２に近い側（例えば、Ｙ方向における第１交差線路２２ｃ１の中点の位置よりも第２平行線路２２ｐ２側）がクランク形状である。第１交差線路２２ｃ１は、平面視において、第２平行線路２２ｐ２の一端（－Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０から遠ざかるように延び、屈曲部ＣＲ１において右側（＋Ｘ側）に折り曲がった後に、再び交差方向Ｙにおいて信号線路１０から遠ざかるように延びている。
【0036】
第３平行線路２２ｐ３は、第１交差線路２２ｃ１の一端（＋Ｙ端）に接続された直線状の帯状導体である。第３平行線路２２ｐ３は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第３平行線路２２ｐ３は、第１交差線路２２ｃ１の一端（＋Ｙ側）から、信号線路１０と平行（長手方向Ｘ）に延びている。つまり、本実施形態における第３平行線路２２ｐ３は、第１交差線路２２ｃ１の一端（＋Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に向けて延びている。第３平行線路２２ｐ３の長さは第２平行線路２２ｐ２の長さより短い。
【0037】
第３平行線路２２ｐ３は、信号線路１０の一方側（＋Ｙ側）において、第２平行線路２２ｐ２よりも信号線路１０から遠い位置に設けられている。言い換えれば、第３平行線路２２ｐ３は、第２平行線路２２ｐ２が交差方向Ｙにおいて信号線路１０と第３平行線路２２ｐ３との間に位置するように、配置されている。
【0038】
図１に示すように、交差方向Ｙにおいて、第２平行線路２２ｐ２の中心線と第３平行線路２２ｐ３の中心線との間の距離Ｄ１は、第２平行線路２２ｐ２の中心線と第１接地導体３１（後述）の奥側の外縁（第３平行線路２２ｐ３側の外縁）との間の距離Ｄ２よりも大きい。
【0039】
屈曲線路２２ｂは、第３平行線路２２ｐ３の一端（＋Ｘ側）に接続され、屈曲部ＣＲが形成された帯状導体である。屈曲線路２２ｂは、第３平行線路２２ｐ３の一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０に近づくように延びる部分線路２２ｂ１と、この部分線路２２ｂ１の一端（－Ｙ側）から信号線路１０と平行に長手方向Ｘ（右側（＋Ｘ側））に延びる部分線路２２ｂ２とからなる。屈曲線路２２ｂをなす部分線路２２ｂ１、２２ｂ２はそれぞれ、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。部分線路２２ｂ１の長さは第１交差線路２２ｃ１の長さより短い。なお、屈曲線路２２ｂには、屈曲部ＣＲが複数形成されていてもよい。
【0040】
第２交差線路２２ｃ２は、屈曲線路２２ｂを構成する部分線路２２ｂ２の一端（＋Ｘ側）に接続された帯状導体である。この第２交差線路２２ｃ２には、屈曲部ＣＲ２が形成されており、第２平行線路２２ｐ２に近い側（例えば、Ｙ方向における第２交差線路２２ｃ２の中点の位置よりも第２平行線路２２ｐ２側）がクランク形状である。第２交差線路２２ｃ２は、平面視において、屈曲線路２２ｂを構成する部分線路２２ｂ２の一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０に近づくように延び、屈曲部ＣＲ２において右側（＋Ｘ側）に折り曲がった後に、再び交差方向Ｙにおいて信号線路１０に近づくように延びている。
【0041】
本実施形態における第２交差線路２２ｃ２の一端縁（－Ｙ側）は、上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２の他方の短辺（－Ｙ側）および第２平行線路２２ｐ２の他方の側縁（－Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２２ｄ２と第２交差線路２２ｃ２とは、長手方向Ｘにおいて間隔を空けて配されている。
【0042】
また、本実施形態における第２交差線路２２ｃ２の一端（－Ｙ側）は、不図示の導体によって、第２接地導体３２（後述）と常時電気的に接続されている。言い換えれば、ループ線路ＲＰ（後述）の一端は、不図示の導体によって、第２接地導体３２と常時電気的に接続されている。
【0043】
以上説明した第１交差線路２２ｃ１、第３平行線路２２ｐ３、屈曲線路２２ｂ、および第２交差線路２２ｃ２は、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路ＲＰを構成している。
【0044】
ループ線路ＲＰは、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２、２４、２５が形成された層、ならびに、第１接地導体３１および第２接地導体３２が形成された層とは異なる層に形成されている。例えば、ループ線路ＲＰは、図２および図３に示す第２中間パッド７１ｂ、７２ｂ、７３ｂ、７４ｂ（詳細は後述する）が形成された層に形成されている。なお、ループ線路ＲＰは、図２および図３に示す第３中間パッド７１ｃ、７２ｃ、７３ｃ、７４ｃ（詳細は後述する）が形成された層に形成されていてもよい。
【0045】
ループ線路ＲＰをこのような層に形成するのは、ループ線路ＲＰの厚み（断面積）を、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２の厚み（断面積）よりも小さくするためである。一般的に、多層構造の半導体では、表面よりも内層に行くほど配線の厚みが小さくなるように形成される。このため、本実施形態では、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２、２４、２５が形成された層よりもループ線路ＲＰを下の層（内層）に形成することで、ループ線路ＲＰの厚み（断面積）を、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２の厚み（断面積）よりも小さくしている。
【0046】
詳細は後述するが、ループ線路ＲＰの厚みを、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２の厚みよりも小さくするのは、ループ線路ＲＰを流れる電流（第３リターン電流）によって発生する磁界の強度を高めるとともに、ループ線路ＲＰの抵抗を大きくするためである。ループ線路ＲＰの厚みは、ループ線路ＲＰの断面積が、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２の断面積の１／５未満となるように設定するのが望ましい。
【0047】
上側パッド２４は、図１に示すように、第１線路２１の一部をなす上側パッド２１ｄ１、２１ｄ２と同様の長方形状の平板導体である。上側パッド２４の長辺は交差方向Ｙに延びており、上側パッド２４の短辺は長手方向Ｘに延びている。上側パッド２４の一方の短辺（＋Ｙ側）は、第１平行線路２１ｐ１の一方の側縁（＋Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２４の他方の短辺（－Ｙ側）は、第１平行線路２１ｐ１の他方の側縁（－Ｙ側）よりも手前側（－Ｙ側）に位置する。つまり、上側パッド２４の交差方向Ｙにおける寸法は、第１線路２１の一部をなす上側パッド２１ｄ１、２１ｄ２と同様に、第１平行線路２１ｐ１の幅（交差方向Ｙにおける寸法）よりも大きい。
【0048】
図４に示すように、上下方向Ｚにおける上側パッド２４と第２接地導体３２との間には、第１中間パッド２４ａと、第２中間パッド２４ｂと、が設けられている。上側パッド２４、第１中間パッド２４ａ、第２中間パッド２４ｂ、および第２接地導体３２は、平面視において互いに重なっている。また、上側パッド２４、第１中間パッド２４ａ、および第２中間パッド２４ｂは、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0049】
上側パッド２４と第１中間パッド２４ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド２４ａと第２中間パッド２４ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド２４ｂと第２接地導体３２とは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、上側パッド２４は、第２接地導体３２と常時電気的に接続されている。
【0050】
なお、本明細書において「接続導体５０」は、上下方向Ｚに延在する導体であり、接続導体５０の上端に接続される部材と接続導体５０の下端に接続される部材とを電気的かつ機械的に接続する部材である。接続導体５０は、例えば絶縁層（不図示）を上下方向Ｚに貫通するビアである。また、各図に示された接続導体５０の形状および個数は全て一例であり、接続導体５０の上端に接続される部材と接続導体５０の下端に接続される部材とを接続可能であれば適宜変更可能である。
【0051】
ただし、デジタル移相回路Ｂは、上側パッド２４、第１中間パッド２４ａ、および第２中間パッド２４ｂ、ならびに、それらを接続する接続導体５０を有していなくてもよい。
【0052】
上側パッド２５は、図１に示すように、第２線路２２の一部をなす上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２と同様の長方形状の平板導体である。上側パッド２５の長辺は交差方向Ｙに延びており、上側パッド２５の短辺は長手方向Ｘに延びている。上側パッド２５の他方の短辺（－Ｙ側）は、第２平行線路２２ｐ２の他方の側縁（－Ｙ側）と交差方向Ｙにおいて略同一の位置にある。また、上側パッド２５の一方の短辺（＋Ｙ側）は、第２平行線路２２ｐ２の一方の側縁（＋Ｙ側）よりも奥側（＋Ｙ側）に位置する。つまり、上側パッド２５の交差方向Ｙにおける寸法は、第２線路２２の一部をなす上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２と同様に、第２平行線路２２ｐ２の幅（交差方向Ｙにおける寸法）よりも大きい。
【0053】
図４に示すように、上下方向Ｚにおける上側パッド２５と第２接地導体３２との間には、第１中間パッド２５ａと、第２中間パッド２５ｂと、が設けられている。上側パッド２５、第１中間パッド２５ａ、第２中間パッド２５ｂ、および第２接地導体３２は、平面視において互いに重なっている。また、上側パッド２５、第１中間パッド２５ａ、および第２中間パッド２５ｂは、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0054】
上側パッド２５と第１中間パッド２５ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド２５ａと第２中間パッド２５ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド２５ｂと第２接地導体３２とは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、上側パッド２５は、第２接地導体３２と常時電気的に接続されている。
【0055】
第１接地導体３１は、信号線路１０の入力端側（－Ｘ側）に設けられる板状の導体である。第１接地導体３１は、電気的に接地されている。第１接地導体３１は、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状を有する。また、第１接地導体３１は、上側パッド２１ｄ１、２２ｄ１および第１交差線路２２ｃ１の手前側（－Ｙ側）端部と上下方向Ｚにおいて重なっている。第１接地導体３１は、図２に示すように、信号線路１０、第１線路２１（上側パッド２１ｄ１）、および第２線路２２（上側パッド２２ｄ１）よりも下方（－Ｚ側）に位置する。
【0056】
第２接地導体３２は、信号線路１０の出力端側（＋Ｘ側）に設けられる板状の導体である。第２接地導体３２は、電気的に接地されている。詳細な図示は省略するが、第２接地導体３２は、信号線路１０、第１線路２１、第２線路２２、および上側パッド２４、２５よりも下方（－Ｚ側）に位置する。
【0057】
第１接続パッドＰ１は、図２に示すように、上述した上側パッド２１ｄ１と、第１中間パッド７１ａと、第２中間パッド７１ｂと、第３中間パッド７１ｃと、第１接地導体３１と、を含む。上側パッド２１ｄ１、第１中間パッド７１ａ、第２中間パッド７１ｂ、第３中間パッド７１ｃ、および第１接地導体３１は、平面視において互いに重なっている。また、上側パッド２１ｄ１、第１中間パッド７１ａ、第２中間パッド７１ｂ、第３中間パッド７１ｃ、および第１接地導体３１は、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0058】
図２に示すように、上側パッド２１ｄ１と第１中間パッド７１ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド７１ａと第２中間パッド７１ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド７１ｂと第３中間パッド７１ｃとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第３中間パッド７１ｃと第１接地導体３１とは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、第１接続パッドＰ１は、第１平行線路２１ｐ１の一端（－Ｘ側）と第１接地導体３１とを、常時電気的に接続している。
【0059】
第２接続パッドＰ２は、図２に示すように、上側パッド２２ｄ１と、第１中間パッド７２ａと、第２中間パッド７２ｂと、第３中間パッド７２ｃと、第１接地導体３１と、を含む。上側パッド２２ｄ１、第１中間パッド７２ａ、第２中間パッド７２ｂ、第３中間パッド７２ｃ、および第１接地導体３１は、平面視において互いに重なっている。また、上側パッド２２ｄ１、第１中間パッド７２ａ、第２中間パッド７２ｂ、第３中間パッド７２ｃ、および第１接地導体３１は、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0060】
図２に示すように、上側パッド２２ｄ１と第１中間パッド７２ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド７２ａと第２中間パッド７２ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド７２ｂと第３中間パッド７２ｃとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第３中間パッド７２ｃと第１接地導体３１とは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、第２接続パッドＰ２は、第２平行線路２２ｐ２の一端（－Ｘ側）と第１接地導体３１とを、常時電気的に接続している。
【0061】
ここで、図２に示すように、第２接続パッドＰ２に含まれる第２中間パッド７２ｂには、第１交差線路２２ｃ１の手前側（－Ｙ側）端部が接続されている。これにより、第２接続パッドＰ２は、ループ線路ＲＰと第１接地導体３１とを、常時電気的に接続している。なお、第１交差線路２２ｃ１の手前側（－Ｙ側）端部は、第２接続パッドＰ２に含まれる第３中間パッド７２ｃに接続されていてもよい。
【0062】
第３接続パッドＰ３は、図３に示すように、上述した上側パッド２１ｄ２と、第１中間パッド７３ａと、第２中間パッド７３ｂと、第３中間パッド７３ｃと、下側パッド３３ａと、を含む。上側パッド２１ｄ２、第１中間パッド７３ａ、第２中間パッド７３ｂ、第３中間パッド７３ｃ、および下側パッド３３ａは、平面視において互いに重なっている。また、上側パッド２１ｄ２、第１中間パッド７３ａ、第２中間パッド７３ｂ、第３中間パッド７３ｃ、および下側パッド３３ａは、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0063】
ここで、下側パッド３３ａは、図１に示すように、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状の平板導体である。下側パッド３３ａは、第２接地導体３２とは別体に設けられる。下側パッド３３ａと第２接地導体３２とは、第１電子スイッチ４１（後述）の状態に応じて、電気的接続の有無が切り替わる。従って、下側パッド３３ａは、第１電子スイッチ４１の状態に応じて、電気的接地の有無が切り替わる。
【0064】
図３に示すように、上側パッド２１ｄ２と第１中間パッド７３ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド７３ａと第２中間パッド７３ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド７３ｂと第３中間パッド７３ｃとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第３中間パッド７３ｃと下側パッド３３ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、第３接続パッドＰ３は、第１平行線路２１ｐ１の他端（＋Ｘ側）と第１電子スイッチ４１とを、常時電気的に接続している。
【0065】
第４接続パッドＰ４は、図３に示すように、上述した上側パッド２２ｄ２と、第１中間パッド７４ａと、第２中間パッド７４ｂと、第３中間パッド７４ｃと、下側パッド３３ｂと、を含む。上側パッド２２ｄ２、第１中間パッド７４ａ、第２中間パッド７４ｂ、第３中間パッド７４ｃ、および下側パッド３３ｂは、平面視において互いに重なっている。また、上側パッド２２ｄ２、第１中間パッド７４ａ、第２中間パッド７４ｂ、第３中間パッド７４ｃ、および下側パッド３３ｂは、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0066】
ここで、下側パッド３３ｂは、図１に示すように、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状の平板導体である。下側パッド３３ｂは、第２接地導体３２および下側パッド３３ａとは別体に設けられる。下側パッド３３ｂと第２接地導体３２とは、第２電子スイッチ４２（後述）の状態に応じて、電気的接続の有無が切り替わる。従って、下側パッド３３ｂは、第２電子スイッチ４２の状態に応じて、電気的接地の有無が切り替わる。
【0067】
図３に示すように、上側パッド２２ｄ２と第１中間パッド７４ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド７４ａと第２中間パッド７４ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド７４ｂと第３中間パッド７４ｃとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第３中間パッド７４ｃと下側パッド３３ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、第４接続パッドＰ４は、第２平行線路２２ｐ２の他端（＋Ｘ側）と第２電子スイッチ４２とを、常時電気的に接続している。
【0068】
コンデンサ６０は、例えば、図２に示すように、上部電極が信号線路１０に接続され、下部電極が第３電子スイッチ４３を介して第１接地導体３１に接続される平行平板である。コンデンサ６０は、平行平板の対向面積に応じた静電容量Ｃａを有する。すなわち、この静電容量Ｃａは、信号線路１０と第１接地導体３１との間に設けられる回路定数である。但し、コンデンサ６０は櫛歯型コンデンサであってもよい。
【0069】
第１電子スイッチ４１は、図１に示すように、第３接続パッドＰ３の下側パッド３３ａと第２接地導体３２とを開閉自在に接続するトランジスタである。本実施形態における第１電子スイッチ４１は、図１に示すように、例えばＭＯＳ型ＦＥＴであり、ドレイン端子が第３接続パッドＰ３の下側パッド３３ａに接続され、ソース端子が第２接地導体３２に接続され、またゲート端子がスイッチ制御部８０に接続されている。
【0070】
第１電子スイッチ４１は、スイッチ制御部８０からゲート端子に入力されるゲート信号に基づいて、ドレイン端子とソース端子との導通状態を開状態あるいは閉状態に切り替える。すなわち、第１電子スイッチ４１は、スイッチ制御部８０によって、第１平行線路２１ｐ１の他端（＋Ｘ側）と第２接地導体３２との間を導通状態または遮断状態にする。
【0071】
第２電子スイッチ４２は、図１に示すように、第４接続パッドＰ４の下側パッド３３ｂと第２接地導体３２とを開閉自在に接続するトランジスタである。本実施形態における第２電子スイッチ４２は、図１に示すように、例えばＭＯＳ型ＦＥＴであり、ドレイン端子が第４接続パッドＰ４の下側パッド３３ｂに接続され、ソース端子が第２接地導体３２に接続され、またゲート端子がスイッチ制御部８０に接続されている。
【0072】
第２電子スイッチ４２は、スイッチ制御部８０からゲート端子に入力されるゲート信号に基づいて、ドレイン端子とソース端子との導通状態を開状態あるいは閉状態に切り替える。すなわち、第２電子スイッチ４２は、スイッチ制御部８０によって、第２平行線路２２ｐ２の他端（＋Ｘ側）と第２接地導体３２との間を導通状態または遮断状態にする。
【0073】
第３電子スイッチ４３は、図２に示すように、コンデンサ６０の下部電極と第１接地導体３１とを開閉自在に接続するトランジスタである。第３電子スイッチ４３は、例えばＭＯＳ型ＦＥＴであり、ドレイン端子がコンデンサ６０の下部電極に接続され、ソース端子が第１接地導体３１に接続され、またゲート端子がスイッチ制御部８０に接続されている。
【0074】
ここで、第３電子スイッチ４３は、図２に示すように、信号線路１０から奥側（＋Ｙ側）に離れた位置に配置されている。また、第１接地導体３１の一端（＋Ｙ側）は、交差方向Ｙにおいて、信号線路１０から遠ざかるように延びて第３電子スイッチ４３に接続されている。このような配置にするのは、特定の半導体製造工程において、コンデンサ６０の下部電極の接続には設計ルール上の制約があるためである。
【0075】
具体的には、コンデンサ６０の下部電極は、一旦、接続配線およびビアを介して上の配線層（例えば、信号線路１０が形成されている層）に接続し、その配線層からビアを介して下の配線層に接続しなければならないという制約である。なお、図２においては、コンデンサ６０の下部電極と第３電子スイッチ４３との接続経路を簡略化して図示している。この制約のために、第３電子スイッチ４３を、コンデンサ６０が形成されている位置（例えば、図１に示す信号線路１０の入力端側（－Ｘ側））の近傍に配置することはできず、信号線路１０から奥側（＋Ｙ側）に離れた位置に配置しなければならない。第１接地導体３１は、このような位置に配置された第３電子スイッチ４３のソース端子に接続されるために、交差方向Ｙにおいて、信号線路１０から遠ざかるように延びている。
【0076】
第３電子スイッチ４３は、スイッチ制御部８０からゲート端子に入力されるゲート信号に基づいて、ドレイン端子とソース端子との導通状態を開状態あるいは閉状態に切り替える。すなわち、第３電子スイッチ４３は、スイッチ制御部８０によって、コンデンサ６０の下部電極と第１接地導体３１との間を導通状態または遮断状態にする。
【0077】
第４電子スイッチ４４は、図２に示すように、信号線路１０の入力端側（－Ｘ側）と第１接地導体３１とを開閉自在に接続するトランジスタである。この第４電子スイッチ４４は、上述した第１電子スイッチ４１、第２電子スイッチ４２、および第３電子スイッチ４３と同様に、ＭＯＳ型ＦＥＴであり、ドレイン端子が信号線路１０の入力端側（－Ｘ側）に接続され、ソース端子が第１接地導体３１に接続され、またゲート端子がスイッチ制御部８０に接続されている。なお、第４電子スイッチ４４は、信号線路１０の入力端側（－Ｘ側）と第１接地導体３１との間ではなく、信号線路１０の出力端側（＋Ｘ側）と第２接地導体３２との間に設けてもよい。
【0078】
第４電子スイッチ４４は、スイッチ制御部８０からゲート端子に入力されるゲート信号に基づいて、ドレイン端子とソース端子との導通状態を開状態あるいは閉状態に切り替える。すなわち、第４電子スイッチ４４は、スイッチ制御部８０によって、信号線路１０の入力端側（－Ｘ側）と第１接地導体３１との間を導通状態または遮断状態にする。
【0079】
スイッチ制御部８０は、上述した第１電子スイッチ４１、第２電子スイッチ４２、第３電子スイッチ４３、および第４電子スイッチ４４を制御する制御回路である。スイッチ制御部８０は、４つの出力ポートを備えており、各出力ポートから第１電子スイッチ４１、第２電子スイッチ４２、第３電子スイッチ４３、および第４電子スイッチ４４の各ゲート端子にゲート信号を個別に出力する。すなわち、スイッチ制御部８０は、上記ゲート信号によって、第１電子スイッチ４１、第２電子スイッチ４２、第３電子スイッチ４３、および第４電子スイッチ４４を開状態または閉状態にする。
【0080】
次に、以上のように構成されたデジタル移相回路Ｂの作用について説明する。
【0081】
本実施形態におけるデジタル移相回路Ｂは、第１～第３電子スイッチ４１～４３の導通状態に応じて動作モードが切り替えられる。すなわち、デジタル移相回路Ｂの動作モードには、スイッチ制御部８０によって第１電子スイッチ４１および第２電子スイッチ４２が閉状態に設定され、第３電子スイッチ４３が開状態に設定される低遅延モードと、スイッチ制御部８０によって第１電子スイッチ４１および第２電子スイッチ４２が開状態に設定され、第３電子スイッチ４３が閉状態に設定される高遅延モードと、がある。
【0082】
低遅延モードにおいて、スイッチ制御部８０は、第１電子スイッチ４１および第２電子スイッチ４２を閉状態に設定し、第３電子スイッチ４３を開状態に設定する。すなわち、低遅延モードでは、高周波信号が信号線路１０の入力端（左端）から出力端（右端）まで伝播するまでの第１伝搬遅延時間ＴLによって、出力端（右端）における位相が、高遅延モードにおける第２の位相θHよりも小さな第１の位相θLとなる。以下、低遅延モードについて更に詳しく説明する。
【0083】
第１電子スイッチ４１が閉状態に設定されることにより、第１平行線路２１ｐ１の他端（＋Ｘ側）は、第３接続パッドＰ３を介して、第２接地導体３２と接続される（図１参照）。一方、第１平行線路２１ｐ１の一端（－Ｘ側）は、第１接続パッドＰ１を介して、第１接地導体３１と常時接続されている（図１および図２参照）。従って、第１平行線路２１ｐ１は、他端（＋Ｘ側）が第１電子スイッチ４１を介して第２接地導体３２に接続されることによって、一端（－Ｘ側）と他端（＋Ｘ側）との間に電流が流れ得る第１通電経路を形成する。
【0084】
また、第２電子スイッチ４２が閉状態に設定されることにより、第２平行線路２２ｐ２の他端（＋Ｘ側）は、第４接続パッドＰ４を介して、第２接地導体３２と接続される（図１参照）。一方、第２平行線路２２ｐ２の一端（－Ｘ側）は、第２接続パッドＰ２を介して、第１接地導体３１と常時接続されている（図１および図２参照）。従って、第２平行線路２２ｐ２は、他端（＋Ｘ側）が第２電子スイッチ４２を介して第２接地導体３２に接続されることによって、一端（－Ｘ側）と他端（＋Ｘ側）との間に電流が流れ得る第２通電経路を形成する。
【0085】
そして、第１平行線路２１ｐ１および第２平行線路２２ｐ２の両端接続状態において、信号線路１０に入力端から出力端に向けた信号電流が流れると、当該信号電流の伝播に起因して、第１平行線路２１ｐ１および第２平行線路２２ｐ２にリターン電流が生じる。当該リターン電流は、第１平行線路２１ｐ１および第２平行線路２２ｐ２を、他端（＋Ｘ側）から一端（－Ｘ側）に向かって流れる。
【0086】
すなわち、第１通電経路を形成する第１平行線路２１ｐ１には、信号線路１０における信号電流の通電によって、信号電流の通電の向きとは逆向きの第１リターン電流が流れる。また、第２通電経路を形成する第２平行線路２２ｐ２には、信号線路１０における信号電流の通電によって、信号電流の通電の向きとは逆向き、つまり第１リターン電流と同じ向きの第２リターン電流が流れる。
【0087】
ここで、第１平行線路２１ｐ１に流れる第１リターン電流および第２平行線路２２ｐ２に流れる第２リターン電流は、何れも、信号電流の通電の向きとは逆向きである。従って、第１リターン電流および第２リターン電流は、信号線路１０と第１平行線路２１ｐ１との電磁気的な結合（相互誘導）および信号線路１０と第２平行線路２２ｐ２との電磁気的な結合（相互誘導）に起因して、デジタル移相回路Ｂの全体のインダクタンスを減少させるように作用する。信号線路１０のインダクタンスをＬｓlow、リターン経路（第１平行線路２１ｐ１および第２平行線路２２ｐ２）のインダクタンスをＬｇlow、信号線路１０とリターン経路との相互インダクタンスをＭlowとする。低遅延モードにおけるデジタル移相回路Ｂの全体のインダクタンスＬlowは、Ｌｓlow＋Ｌｇlow－Ｍlowとなる。
【0088】
また、信号線路１０は、上述した通り寄生容量としての静電容量Ｃ１を有している。低遅延モードでは、第３電子スイッチ４３が開状態に設定されるので、コンデンサ６０は、信号線路１０と第１接地導体３１との間に接続されていない。すなわち、コンデンサ６０の静電容量Ｃａは、信号線路１０を伝播する高周波信号に影響を与えない。従って、信号線路１０を伝播する高周波信号には、（Ｌlow×Ｃ１）1/2に比例した第１伝搬遅延時間ＴLが作用する。
【0089】
そして、信号線路１０の出力端における高周波信号は、このような第１伝搬遅延時間ＴLに起因して、信号線路１０の入力端における高周波信号より位相が第１の位相θLだけ遅れたものとなる。すなわち、低遅延モードでは、第１リターン電流および第２リターン電流に起因してデジタル移相回路Ｂの全体のインダクタンスがインダクタンスＬlowになることによって、伝搬遅延時間が減少する。
【0090】
一方、高遅延モードにおいて、スイッチ制御部８０は、第１電子スイッチ４１および第２電子スイッチ４２を開状態に設定し、第３電子スイッチ４３を閉状態に設定する。なお、第４電子スイッチ４４は、閉状態に設定される。すなわち、高遅延モードでは、高周波信号が信号線路１０の入力端（左端）から出力端（右端）まで伝播するまでの第２伝搬遅延時間ＴHによって、出力端（右端）における位相が、低遅延モードにおける第１の位相θLよりも大きな第２の位相θHとなる。以下、高遅延モードについて更に詳しく説明する。
【0091】
上述した通り、高遅延モードでは、第１電子スイッチ４１および第２電子スイッチ４２が開状態に設定される。よって、第１平行線路２１ｐ１には上述した第１導電経路が形成されず、また、第２平行線路２２ｐ２には上述した第２導電経路が形成されない。従って、第１平行線路２１ｐ１に流れる第１リターン電流は極めて小さくなり、また、第２平行線路２２ｐ２に流れる第２リターン電流は極めて小さくなる。
【0092】
これに対して、ループ線路ＲＰの一部をなす第１交差線路２２ｃ１の手前側（－Ｙ側）端部は、第２接続パッドＰ２を介して、第１接地導体３１と常時接続されている（図２参照）。また、ループ線路ＲＰの一部をなす第２交差線路２２ｃ２の一端（－Ｙ側）は、上述した通り、第２接地導体３２と常時接続されている。従って、ループ線路ＲＰには、第２交差線路２２ｃ２の一端（－Ｙ側）と第１交差線路２２ｃ１の手前側（－Ｙ側）端部との間に電流が流れ得る第３通電経路が予め形成されている。このため、高遅延モードでは、信号線路１０における信号電流に起因して、第２交差線路２２ｃ２の一端（－Ｙ側）から屈曲線路２２ｂおよび第３平行線路２２ｐ３を経由して第１交差線路２２ｃ１の手前側（－Ｙ側）端部に向かう第３リターン電流が流れる。
【0093】
ここで、第３リターン電流は、信号線路１０と平行な第３平行線路２２ｐ３および屈曲線路２２ｂの部分線路２２ｂ２において、信号線路１０における信号電流の通電の向きとは逆向きに流れる。また、屈曲線路２２ｂの部分線路２２ｂ１、第３平行線路２２ｐ３、および第１交差線路２２ｃ１は、信号線路１０とは反対側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路ＲＰを構成している。従って、リターン経路（第３リターン電流が流れる経路）がループ線路ＲＰを構成していない従来の構成と比較してリターン経路のインダクタンスを増大させることができる。しかも、本実施形態では、ループ線路ＲＰの厚み（第１交差線路２２ｃ１、第３平行線路２２ｐ３、屈曲線路２２ｂ、および第２交差線路２２ｃ２の厚み）が、信号線路１０、第１線路２１、第２平行線路２２ｐ２、および上側パッド２２ｄ１、２２ｄ２の厚みよりも小さい。
【0094】
これにより、デジタル移相回路Ｂの全体のインダクタンスを格段に増加させることができ、移相量が小さくなる低周波においても所望の移相量を確保することができる。信号線路１０のインダクタンスをＬｓhigh、リターン経路（第２交差線路２２ｃ２、屈曲線路２２ｂ、第３平行線路２２ｐ３、第１交差線路２２ｃ１）のインダクタンスをＬｇhigh、信号線路１０とリターン経路との相互インダクタンスをＭhighとする。なお、Ｌｓhigh＝Ｌｓlowである。高遅延モードにおけるデジタル移相回路Ｂの全体のインダクタンスＬhighは、Ｌｓhigh＋Ｌｇhigh－Ｍhighとなる。ここで、明らかに、Ｌｇlow＜ＬｇhighおよびＭlow＞Ｍhighが成り立つから、Ｌhigh＞Ｌlowが成り立つ。
【0095】
なお、第３リターン電流がリターン経路のインダクタンスを増加させるように作用する原理は次のように説明できる。つまり、第３リターン電流が屈曲線路２２ｂの部分線路２２ｂ１を流れる際に発生させる磁界、第３リターン電流が第３平行線路２２ｐ３を流れる際に発生させる磁界、および第３リターン電流が第１交差線路２２ｃ１を流れる際に発生させる磁界は、何れも、上記ループ線路内において同一の向き（＋Ｚの向き）である。このため、これらの磁界は互いに強め合う。従って、第３リターン電流が流れる線路がループ線路を構成していない従来の構成と比較して、第３リターン電流が生じさせる磁界を大きくし、リターン経路のインダクタンスを増大させることができる。また、ループの高さ（すなわち、第３平行線路２２ｐ３の交差方向Ｙにおける位置、ならびに、第１交差線路２２ｃ１および屈曲線路２２ｂの部分線路２２ｂ１）を調整することにより、リターン経路のインダクタンスの値を大きく変化させることができる。
【0096】
一方、信号線路１０は寄生容量としての静電容量Ｃ１を有している。また、高遅延モードでは、第３電子スイッチ４３が閉状態に設定されるので、信号線路１０と第１接地導体３１との間には、コンデンサ６０が接続されている。すなわち、信号線路１０は、コンデンサ６０の静電容量Ｃａと静電容量Ｃ１（寄生容量）とを合算した静電容量Ｃｂを有する。従って、信号線路１０を伝播する高周波信号には、伝送系のインダクタンスの増加と、合算した静電容量Ｃｂと、に係る第２伝搬遅延時間ＴHが作用する。
【0097】
そして、信号線路１０の出力端における高周波信号は、このような第２伝搬遅延時間ＴHに起因して、信号線路１０の入力端における高周波信号より位相が第２の位相θHだけ遅れたものとなる。すなわち、高遅延モードでは、第３リターン電流に起因して伝送系のインダクタンスが増大されることによって、伝搬遅延時間が増大する。
【0098】
ここで、高遅延モードでは、第４電子スイッチ４４を閉状態に設定することにより、信号線路１０の損失を意図的に増加させてもよい。この損失付与は、高遅延モードにおける高周波信号の損失を、低遅延モードにおける高周波信号の損失と同程度にしようとするためのものである。
【0099】
≪出力伝送線路≫
図５は、図１に示すＶ－Ｖ線に沿う断面図である。図１および図５に示すように、本実施形態に係る出力伝送線路９０は、いわゆるマイクロストリップ線路を構成しており、信号線路（出力側信号線路）９１と、グランド層９２と、を有する。グランド層９２は、出力伝送線路９０の接地導体（出力側接地導体）として機能する。
図５は、図１に示すＶ－Ｖ線に沿う断面図である。図１および図５に示すように、本実施形態に係る出力伝送線路９０は、いわゆるマイクロストリップ線路を構成しており、信号線路（出力側信号線路）９１と、グランド層９２と、を有する。グランド層９２は、出力伝送線路９０の接地導体（出力側接地導体）として機能する。
【0100】
信号線路９１は、図１に示すように、長手方向Ｘに延在する直線状の帯状導体である。すなわち、信号線路９１は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。信号線路９１は、出力整合回路１００の信号線路１０１（詳細は後述）を介して、デジタル移相回路Ｂの信号線路１０と電気的に接続されている。信号線路９１は、信号線路１０が形成された層に形成されている。
【0101】
グランド層９２は、図１に示すように、長手方向Ｘおよび交差方向Ｙに延在する板状の導体である。グランド層９２は、出力整合回路１００のリターン線路１０２（詳細は後述）等を介して、デジタル移相回路Ｂの第２接地導体３２と電気的に接続されている。グランド層９２は、図５に示すように、信号線路９１から所定距離隔てた下方に配置されている。
【0102】
≪出力整合回路≫
図１に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００は、信号線路１０１と、リターン線路１０２と、を備える。本実施形態に係るリターン線路１０２は、シフト線路１０２ｓと、第１交差線路１０２ｃ１と、平行線路１０２ｐと、第２交差線路１０２ｃ２と、を含む。
図１に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００は、信号線路１０１と、リターン線路１０２と、を備える。本実施形態に係るリターン線路１０２は、シフト線路１０２ｓと、第１交差線路１０２ｃ１と、平行線路１０２ｐと、第２交差線路１０２ｃ２と、を含む。
【0103】
本実施形態に係る信号線路１０１は、デジタル移相回路Ｂの信号線路１０および出力伝送線路９０の信号線路９１が形成された層に形成されている。
【0104】
本実施形態に係るリターン線路１０２は、信号線路１０１が形成された層とは異なる層に形成されている。より具体的に、本実施形態に係るリターン線路１０２は、デジタル移相回路Ｂの中間パッド２４ｂ、２５ｂ（図４参照）および出力伝送線路９０のグランド層９２（図５参照）が形成された層に形成されている。つまり、リターン線路１０２は、信号線路１０１が形成された層よりも下の層（内層）に形成されている。これにより、リターン線路１０２の厚み（断面積）は、信号線路１０１の厚み（断面積）よりも小さくなっている。
【0105】
信号線路１０１は、長手方向Ｘに延在する直線状の帯状導体である。すなわち、信号線路１０１は、一定の幅、一定の厚さおよび所定の長さを有する長尺板状の導体である。信号線路１０１は、デジタル移相回路Ｂの信号線路１０および出力伝送線路９０の信号線路９１と接続される。本実施形態において、信号線路１０１の幅（断面積）は、デジタル移相回路Ｂの信号線路１０の幅（断面積）および出力伝送線路９０の信号線路９１の幅（断面積）のいずれよりも小さい。
【0106】
本実施形態に係るシフト線路１０２ｓは、第２中間パッド２５ｂ（図４も参照）から、長手方向Ｘにおいてデジタル移相回路Ｂから遠ざかるように、右方（＋Ｘ側）に向けて延びている。シフト線路１０２ｓの右側の端縁（＋Ｘ側）は、第２接地導体３２の右側の側縁（＋Ｘ側）よりも右側（＋Ｘ側）に位置する。
【0107】
シフト線路１０２ｓは、第２中間パッド２５ｂおよび接続導体５０を介して、第２接地導体３２に対して電気的に接続されている（図４参照）。したがって、シフト線路１０２ｓを含むリターン線路１０２は、第２中間パッド２５ｂおよび接続導体５０を介して、第２接地導体３２に対して電気的に接続されている。
【0108】
第１交差線路１０２ｃ１は、図１に示すように、シフト線路１０２ｓの一端（＋Ｘ側）に接続された直線状の帯状導体である。第１交差線路１０２ｃ１は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第１交差線路１０２ｃ１は、信号線路１０１の一端（－Ｘ側）付近から交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延びている。具体的に、本実施形態に係る第１交差線路１０２ｃ１は、シフト線路１０２ｓの一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延びている。つまり、本実施形態に係る第１交差線路１０２ｃ１は、シフト線路１０２ｓの一端（＋Ｘ側）から奥側（＋Ｙ側）に向けて延びている。
【0109】
出力整合回路１００の第１交差線路１０２ｃ１と、デジタル移相回路Ｂの第２交差線路２２ｃ２と、は平面視において重なっていない。すなわち、平面視において、出力整合回路１００の第１交差線路１０２ｃ１とデジタル移相回路Ｂの第２交差線路２２ｃ２とは、長手方向Ｘに離間している。
【0110】
平行線路１０２ｐは、第１交差線路１０２ｃ１の一端（＋Ｙ側）に接続された直線状の帯状導体である。平行線路１０２ｐは、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。平行線路１０２ｐは、第１交差線路１０２ｃ１の一端（＋Ｙ側）から、信号線路１０１と平行（長手方向Ｘ）に延びている。つまり、本実施形態に係る平行線路１０２ｐは、第１交差線路１０２ｃ１の一端（＋Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に向けて延びている。
【0111】
第２交差線路１０２ｃ２は、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ側）に接続された直線状の帯状導体である。第２交差線路１０２ｃ２は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第２交差線路１０２ｃ２は、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延びている。つまり、本実施形態に係る第２交差線路１０２ｃ２は、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ端）から手前側（－Ｙ側）に向けて延びている。
【0112】
図１および図５に示すように、第２交差線路１０２ｃ２の手前側の端縁（－Ｙ側）は、出力伝送線路９０が有するグランド層９２の奥側の側縁（＋Ｙ側）に接続されている。したがって、第２交差線路１０２ｃ２を含むリターン線路１０２は、出力伝送線路９０が有するグランド層９２（出力側接地導体）に対して電気的に接続されている。
【0113】
以上説明したリターン線路１０２は、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかる方向に凸状となるループ状である。つまり、本実施形態に係るリターン線路１０２は、奥側（＋Ｙ側）に凸となるＵ字状にループしたループ線路を構成している。リターン線路１０２がこのようにループ状であることで、リターン線路１０２は、信号線路１０１よりも長くなる。また、本実施形態に係るリターン線路１０２は、デジタル移相回路Ｂが有するループ線路ＲＰよりも幅（断面積）が小さい。
【0114】
≪作用≫
次に、以上のように構成された出力整合回路１００の作用について説明する。
次に、以上のように構成された出力整合回路１００の作用について説明する。
【0115】
上述したように、特許文献１のデジタル移相回路は、信号線路、第１平行線路を含む第１線路、第２平行線路を含む第２線路、第１接地導体、第２接地導体、第１電子スイッチ、および第２電子スイッチ等を備える。第２線路は、信号線路から遠ざかる方向に凸状となるループ状のループ線路を含む。特許文献１のデジタル移相回路は、高遅延モード時にリターン電流がループ線路を流れる構成とすることで、小型化と、低遅延モード時の位相と高遅延モード時の位相との差の拡大と、を両立できるという利点を有する。このデジタル移相回路は、複数の導体（本実施形態では、信号線路９１とグランド層９２の２つ）によって構成された出力伝送線路に接続されて用いられる場合がある。
【0116】
ここで、上記のデジタル移相回路を小型化すると、導体間の間隔が小さくなることで寄生容量成分が増え、入出力インピーダンスを実数負荷に整合させることが困難になる場合があった。一般に、入出力インピーダンスを実数負荷に整合させる方法として、出力ユニットに誘導成分（インダクタ）を直列接続することが知られている。しかしながら、上記のデジタル移相回路（出力ユニット）は、複数の導体によって構成されている。このため、複数の導体によって構成されたデジタル移相回路と、複数の導体によって構成された出力伝送線路と、の間に、集中定数素子であるインダクタを直列接続することが難しい。
【0117】
この課題を解決するために、本実施形態に係る出力整合回路１００は、複数の導体線路によって構成されている。すなわち、出力整合回路１００が、デジタル移相回路Ｂの信号線路１０および出力伝送線路９０の信号線路９１に接続される信号線路１０１と、デジタル移相回路Ｂの第２接地導体３２および出力伝送線路９０のグランド層９２（出力側接地導体）に接続されるリターン線路１０２と、を備える。これにより、複数の導体によって構成されたデジタル移相回路Ｂと、複数の導体によって構成された出力伝送線路９０と、の間に、インダクタンス成分としての出力整合回路１００を容易に直列接続することができる。これにより、デジタル移相回路Ｂおよび出力伝送線路９０が複数の導体によって構成されている場合であっても、入出力インピーダンスを実数負荷に整合できる。
【0118】
ここで、出力整合回路１００全体としてのインダクタンス成分は、信号線路１０１のインダクタンス成分と、リターン線路１０２のインダクタンス成分と、の和に基づいて決定する。本実施形態においてはリターン線路１０２がループ形状を有するため、ループ線路ＲＰと同様の原理によりリターン線路１０２のインダクタンス成分を高め、これによって出力整合回路１００全体としてのインダクタンス成分を高めることができる。また、リターン線路１０２のループの設計を調整することにより、意図したインダクタンス成分を得ることができる。例えば、リターン線路１０２のループの高さ（すなわち、平行線路１０２ｐの交差方向Ｙにおける位置）を調整することにより、意図したインダクタンス成分を得ることができる。
【0119】
さらに、本実施形態においては、信号線路１０１に対するＧＮＤ経路がリターン線路１０２のみである。これにより、例えば信号線路１０１の下方に別途のグランド層等を設ける場合と比較して容量成分を少なくし、信号線路１０１においても高いインダクタンス成分を実現することができる。
【0120】
≪小括≫
以上説明したように、本実施形態に係る出力整合回路１００は、信号線路（回路側信号線路）１０と、信号線路１０と平行に延びる第１平行線路２１ｐ１を含む第１線路２１と、信号線路１０と平行に延びる第２平行線路２２ｐ２、および、第２平行線路２２ｐ２の一方の端部から第２平行線路２２ｐ２の他方の端部付近まで延びるとともに交差方向Ｙにおいて信号線路１０から遠ざかる方向に凸状となるループ状のループ線路ＲＰ、を含む第２線路２２と、第１平行線路２１ｐ１の一方の端部および第２平行線路２２ｐ２の一方の端部に電気的に接続された第１接地導体３１と、第２線路２２の一方の端部に接続された第２接地導体３２と、第１平行線路２１ｐ１の他方の端部と第２接地導体３２との間に設けられた第１電子スイッチ４１と、第２平行線路２２ｐ２の他方の端部と第２接地導体３２との間に設けられた第２電子スイッチ４２と、を備え、第１平行線路２１ｐ１と第２平行線路２２ｐ２との間に信号線路１０が位置するデジタル移相回路Ｂと、信号線路（出力側信号線路）９１と、出力側接地導体（グランド層９２）と、を備える出力伝送線路９０と、を電気的に接続する出力整合回路１００であって、信号線路１０および信号線路９１と接続される信号線路１０１と、第２接地導体３２および出力側接地導体（グランド層９２）と電気的に接続されるリターン線路１０２と、を備え、リターン線路１０２は、信号線路１０１よりも長い。
以上説明したように、本実施形態に係る出力整合回路１００は、信号線路（回路側信号線路）１０と、信号線路１０と平行に延びる第１平行線路２１ｐ１を含む第１線路２１と、信号線路１０と平行に延びる第２平行線路２２ｐ２、および、第２平行線路２２ｐ２の一方の端部から第２平行線路２２ｐ２の他方の端部付近まで延びるとともに交差方向Ｙにおいて信号線路１０から遠ざかる方向に凸状となるループ状のループ線路ＲＰ、を含む第２線路２２と、第１平行線路２１ｐ１の一方の端部および第２平行線路２２ｐ２の一方の端部に電気的に接続された第１接地導体３１と、第２線路２２の一方の端部に接続された第２接地導体３２と、第１平行線路２１ｐ１の他方の端部と第２接地導体３２との間に設けられた第１電子スイッチ４１と、第２平行線路２２ｐ２の他方の端部と第２接地導体３２との間に設けられた第２電子スイッチ４２と、を備え、第１平行線路２１ｐ１と第２平行線路２２ｐ２との間に信号線路１０が位置するデジタル移相回路Ｂと、信号線路（出力側信号線路）９１と、出力側接地導体（グランド層９２）と、を備える出力伝送線路９０と、を電気的に接続する出力整合回路１００であって、信号線路１０および信号線路９１と接続される信号線路１０１と、第２接地導体３２および出力側接地導体（グランド層９２）と電気的に接続されるリターン線路１０２と、を備え、リターン線路１０２は、信号線路１０１よりも長い。
【0121】
この構成により、出力整合回路１００が、複数の導体線路によって構成される。これにより、デジタル移相回路Ｂおよび出力伝送線路９０が複数の導体によって構成されている場合であっても、それらの間にインダクタンス成分としての出力整合回路１００を容易に直列接続し、入出力インピーダンスを実数負荷に整合できる。
【0122】
また、リターン線路１０２は、ループ線路ＲＰよりも断面積が小さい。この構成により、リターン線路１０２のインダクタンス成分を高めることができる。
【0123】
また、リターン線路１０２は、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかる方向に凸状となるループ状である。この構成により、リターン線路１０２のインダクタンス成分を高め、これによって出力整合回路１００全体としてのインダクタンス成分を高めることができる。
【0124】
また、リターン線路１０２は、平面視において、信号線路１０１の一方の端部付近から交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延びる第１交差線路１０２ｃ１と、第１交差線路１０２ｃ１の一方の端部から信号線路１０１と平行に延びる平行線路１０２ｐと、平行線路１０２ｐの一方の端部から交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延びる第２交差線路１０２ｃ２と、を含む。この構成により、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかる方向に凸状となるリターン線路１０２を容易に実現できる。
【0125】
また、リターン線路１０２の少なくとも一部の断面積は、信号線路１０１の断面積よりも小さい。この構成により、リターン線路１０２のインダクタンス成分を高めることができる。
【0126】
＜第２実施形態＞
≪概要≫
次に、第２実施形態について説明するが、第１実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第１実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
≪概要≫
次に、第２実施形態について説明するが、第１実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第１実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
【0127】
≪出力整合回路≫
図６に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ａは、第１実施形態に係る出力整合回路１００と比較し、リターン線路１０２Ａの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ａは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、平行線路１０２ｐ、屈曲線路１０２ｂ、および第２交差線路１０２ｃ２を含む。これらのうち、シフト線路１０２ｓおよび第１交差線路１０２ｃ１の形状は第１実施形態と同一であるため、説明を省略する。
図６に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ａは、第１実施形態に係る出力整合回路１００と比較し、リターン線路１０２Ａの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ａは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、平行線路１０２ｐ、屈曲線路１０２ｂ、および第２交差線路１０２ｃ２を含む。これらのうち、シフト線路１０２ｓおよび第１交差線路１０２ｃ１の形状は第１実施形態と同一であるため、説明を省略する。
【0128】
本実施形態に係る平行線路１０２ｐは、第１実施形態と同様に、第１交差線路１０２ｃ１の一端（＋Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に向けて延びている。ただし、本実施形態に係る平行線路１０２ｐの長さは第１実施形態に係る平行線路１０２ｐの長さよりも短い。平行線路１０２ｐの長さは信号線路１０１の長さよりも短い。
【0129】
屈曲線路１０２ｂは、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ側）に接続され、屈曲部ＣＲが形成された帯状導体である。屈曲線路１０２ｂは、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延びる部分線路１０２ｂ１と、この部分線路１０２ｂ１の一端（－Ｙ側）から信号線路１０１と平行（長手方向Ｘ）に延びる部分線路１０２ｂ２とからなる。つまり、本実施形態に係る部分線路１０２ｂ１は、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ側）から、手前側（－Ｙ側）に延びている。本実施形態に係る部分線路１０２ｂ２は、部分線路１０２ｂ１の一端（－Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に延びている。屈曲線路１０２ｂをなす部分線路１０２ｂ１、１０２ｂ２はそれぞれ、一定の幅、一定の厚さ、及び所定の長さを有する長尺板状の導体である。部分線路１０２ｂ１の長さは第１交差線路１０２ｃ１の長さより短い。なお、屈曲線路１０２ｂには、屈曲部ＣＲが複数形成されていてもよい。
【0130】
本実施形態に係る第２交差線路１０２ｃ２は、屈曲線路１０２ｂを構成する部分線路１０２ｂ２の一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延びている。つまり、本実施形態における第２交差線路１０２ｃ２は、屈曲線路１０２ｂを構成する部分線路１０２ｂ２の一端（＋Ｘ端）から手前側（－Ｙ側）に向けて延びている。第２交差線路１０２ｃ２の手前側の端縁（－Ｙ側）は、第１実施形態と同様に、出力伝送線路９０が有するグランド層９２の奥側の側縁（＋Ｙ側）に接続されている。
【0131】
≪作用≫
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ａは、第１実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ａは、第１実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【0132】
ところで、第１実施形態における出力整合回路１００および第２実施形態における出力整合回路１００Ａの各々は、２本の線路からなる伝送路としての性質も有する。第１実施形態における出力整合回路１００（図１参照）においては、線路１０１、１０２ｐ間の交差方向Ｙにおける距離を変化させることで、伝送路の特性インピーダンスを制御できる。より具体的には、交差線路１０２ｃ１、１０２ｃ２の長さを変化させることでインダクタンスを調整し、伝送路の特性インピーダンスを大きく変化させることができる。一方、第２実施形態における出力整合回路１００Ａ（図６参照）においては、線路１０１、１０２ｐ間の交差方向Ｙにおける距離と、線路１０１、１０２ｂ２間の交差方向Ｙにおける距離と、の２つの距離を変化させることで、伝送路の特性インピーダンスを制御できる。
【0133】
ここで、第２実施形態において線路１０１、１０２ｐが並走する区間（第１区間）、および線路１０１、１０２ｂ２が並走する区間（第２区間）の各々の長さ（長手方向Ｘにおける寸法）は、第１実施形態において線路１０１、１０２ｐが並走する区間の長さよりも短い（図１および図６参照）。したがって、第２実施形態においては、第１実施形態と比較して、伝送路として機能する各区間（第１区間、第２区間）の長さを、高周波信号の波長に対して十分に短くしやすくなる。したがって、第２実施形態においては、第１実施形態と比較して、集中定数のような効果（例えばインダクタンス）をより期待することができる。
【0134】
なお、第１実施形態に係る出力整合回路１００においても、線路１０１、１０２ｐの長さを十分に短くすることで上記と同様の効果が期待される。しかしながら、例えば周辺回路の配置に関する制約等に起因して、第１実施形態における線路１０１、１０２ｐの長さを十分に短くすることが困難となる場合がある。このような場合、第２実施形態の構成、すなわち、リターン線路１０２Ａが屈曲線路１０２ｂを含む構成が好適である。
【0135】
≪小括≫
以上説明したように、本実施形態に係るリターン線路１０２Ａは、平面視において、信号線路１０１の一方の端部付近から交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延びる第１交差線路１０２ｃ１と、第１交差線路１０２ｃ１の一方の端部から信号線路１０１と平行に延び、信号線路１０１の長さよりも短い平行線路１０２ｐと、平行線路１０２ｐの一方の端部に接続され、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように第１交差線路１０２ｃ１の長さよりも短く延びてから第１交差線路１０２ｃ１から遠ざかるように信号線路１０１と平行に延びる屈曲部ＣＲが形成された屈曲線路１０２ｂと、を含む。この構成によっても、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかる方向に凸状となるリターン線路１０２Ａを実現できる。
以上説明したように、本実施形態に係るリターン線路１０２Ａは、平面視において、信号線路１０１の一方の端部付近から交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延びる第１交差線路１０２ｃ１と、第１交差線路１０２ｃ１の一方の端部から信号線路１０１と平行に延び、信号線路１０１の長さよりも短い平行線路１０２ｐと、平行線路１０２ｐの一方の端部に接続され、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように第１交差線路１０２ｃ１の長さよりも短く延びてから第１交差線路１０２ｃ１から遠ざかるように信号線路１０１と平行に延びる屈曲部ＣＲが形成された屈曲線路１０２ｂと、を含む。この構成によっても、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかる方向に凸状となるリターン線路１０２Ａを実現できる。
【0136】
＜第３実施形態＞
≪概要≫
次に、第３実施形態について説明するが、第２実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第２実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
≪概要≫
次に、第３実施形態について説明するが、第２実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第２実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
【0137】
≪出力整合回路≫
図７に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ｂは、第２実施形態に係る出力整合回路１００Ａと比較して、リターン線路１０２Ｂの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ｂは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、平行線路１０２ｐ、屈曲線路１０２ｂ、および第２交差線路１０２ｃ２を含む。これらのうち、シフト線路１０２ｓの形状は第２実施形態と同一であるため、説明を省略する。
図７に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ｂは、第２実施形態に係る出力整合回路１００Ａと比較して、リターン線路１０２Ｂの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ｂは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、平行線路１０２ｐ、屈曲線路１０２ｂ、および第２交差線路１０２ｃ２を含む。これらのうち、シフト線路１０２ｓの形状は第２実施形態と同一であるため、説明を省略する。
【0138】
本実施形態に係る第１交差線路１０２ｃ１は、第２実施形態と同様に、シフト線路１０２ｓの一端（＋Ｘ側）に接続された帯状導体である。本実施形態に係る第１交差線路１０２ｃ１には、第２実施形態とは異なり、屈曲部ＣＲ１が形成されており、信号線路１０１に近い側（例えば、Ｙ方向における第１交差線路１０２ｃ１の中点の位置よりも信号線路１０１側）がクランク形状である。第１交差線路１０２ｃ１は、平面視において、シフト線路１０２ｓの一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延び、屈曲部ＣＲ１において右側（＋Ｘ側）に折り曲がった後に、再び交差方向Ｙにおいて信号線路１０１から遠ざかるように延びている。第１交差線路１０２ｃ１の一端（＋Ｙ側）には、第２実施形態と同様に、平行線路１０２ｐが接続されている。
【0139】
本実施形態に係る平行線路１０２ｐは、第２実施形態と同様に、第１交差線路１０２ｃ１の一端（＋Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に向けて延びている。ただし、本実施形態に係る平行線路１０２ｐの長さは第２実施形態に係る平行線路１０２ｐの長さよりも短い。
【0140】
本実施形態に係る屈曲線路１０２ｂは、第２実施形態と同様に、平行線路１０２ｐの一端（＋Ｘ側）から手前側（－Ｙ側）に延びる部分線路１０２ｂ１と、部分線路１０２ｂ１の一端（－Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に延びる部分線路１０２ｂ２と、からなる。ただし、本実施形態に係る部分線路１０２ｂ２の長さは第２実施形態に係る部分線路１０２ｂ２の長さよりも短い。
【0141】
本実施形態に係る第２交差線路１０２ｃ２は、第２実施形態と同様に、屈曲線路１０２ｂを構成する部分線路１０２ｂ２の一端（＋Ｘ側）に接続された帯状導体である。本実施形態に係る第２交差線路１０２ｃ２には、第２実施形態とは異なり、屈曲部ＣＲ２が形成されており、信号線路１０１に近い側（例えば、Ｙ方向における第２交差線路１０２ｃ２の中点の位置よりも信号線路１０１側）がクランク形状である。第２交差線路１０２ｃ２は、平面視において、屈曲線路１０２ｂを構成する部分線路１０２ｂ２の一端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延び、屈曲部ＣＲ２において右側（＋Ｘ側）に折り曲がった後に、再び交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延びている。第２交差線路１０２ｃ２の手前側の端縁（－Ｙ側）は、第２実施形態と同様に、出力伝送線路９０が有するグランド層９２の奥側の側縁（＋Ｙ側）に接続されている。
【0142】
≪作用≫
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ｂは、第１実施形態および第２実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態および第２実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ｂは、第１実施形態および第２実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態および第２実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【0143】
また、第３実施形態に係る出力整合回路１００Ｂは、第１、第２実施形態における出力整合回路１００、１００Ａと同様に、２本の線路からなる伝送路としての性質も有する。第３実施形態に係る出力整合回路１００Ｂ（図７参照）においては、線路１０１、１０２ｐ間の交差方向Ｙにおける距離と、線路１０１、１０２ｂ２間の交差方向Ｙにおける距離と、第２交差線路１０２ｃ２のうち長手方向Ｘに延びる部分と信号線路１０１との間の交差方向Ｙにおける距離と、の３つの距離を変化させることで、伝送路の特性インピーダンスを制御できる。
【0144】
ここで、第３実施形態において線路１０１、１０２ｐが並走する区間（第１区間）、および線路１０１、１０２ｂ２が並走する区間（第２区間）の各々の長さ（長手方向Ｘにおける寸法）は、第１、第２実施形態における各区間の長さよりも短い（図１、図６、および図７参照）。したがって、第３実施形態においては、第１、第２実施形態と比較して、集中定数のような効果（例えばインダクタンス）をさらに期待することができる。
【0145】
＜第４実施形態＞
≪概要≫
次に、第４実施形態について説明するが、第３実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第３実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
≪概要≫
次に、第４実施形態について説明するが、第３実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第３実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
【0146】
≪出力整合回路≫
図８に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ｃは、第３実施形態に係る出力整合回路１００Ｂと比較して、リターン線路１０２Ｃの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、平行線路１０２ｐ、第３交差線路１０２ｃ３、第２交差線路１０２ｃ２、およびビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２を含む（図９も参照）。
図８に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ｃは、第３実施形態に係る出力整合回路１００Ｂと比較して、リターン線路１０２Ｃの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、平行線路１０２ｐ、第３交差線路１０２ｃ３、第２交差線路１０２ｃ２、およびビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２を含む（図９も参照）。
【0147】
図９は、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃの一部を示す斜視図である。図８および図９に示すように、リターン線路１０２Ｃは、第１リターン線路部１０２Ｌ１と、第２リターン線路部１０２Ｌ２と、を含む。図８および図９に示すように、第１リターン線路部１０２Ｌ１は、シフト線路１０２ｓと、第１交差線路１０２ｃ１と、第２交差線路１０２ｃ２と、ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２と、を含む。第２リターン線路部１０２Ｌ２は、平行線路１０２ｐと、第３交差線路１０２ｃ３と、ビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２と、を含む。
【0148】
第１リターン線路部１０２Ｌ１は、デジタル移相回路Ｂの第２中間パッド２５ｂ（図４参照）が形成された層（第１層）に形成されている。第２リターン線路部１０２Ｌ２は、第１リターン線路部１０２Ｌ１が形成された層とは異なる層（第２層）に形成されている。本実施形態において、第２リターン線路部１０２Ｌ２は、第１リターン線路部１０２Ｌ１よりも外層（＋Ｚ側の層）に形成されている。図９に示すように、第１リターン線路部１０２Ｌ１と第２リターン線路部１０２Ｌ２とは、複数のビア１０３を介して電気的に接続されている。
【0149】
つまり、リターン線路１０２Ｃは、互いに異なる層に形成された第１リターン線路部１０２Ｌ１と第２リターン線路部１０２Ｌ２とがビア１０３によって接続された三次元の構造である。詳細は後述するが、リターン線路１０２Ｃを三次元の構造とするのは、リターン線路１０２Ｃにおけるインダクタンスを大きくするためである。
【0150】
第１交差線路１０２ｃ１の手前側の端部（－Ｙ側）は、第３実施形態と同様に、シフト線路１０２ｓの一端（＋Ｘ側）に接続されている。この第１交差線路１０２ｃ１には、第３実施形態と同様に、屈曲部ＣＲ１が形成されている。第１交差線路１０２ｃ１の奥側の端部（＋Ｙ側）は、ビア１０３が接続されるビアパッドＶＰ１１とされている（図９参照）。ビアパッドＶＰ１１は、平面視において、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ１１は、複数のビア１０３を介して第２リターン線路部１０２Ｌ２の一端におけるビアパッドＶＰ２１（詳細は後述する）と電気的に接続されている。
【0151】
第２交差線路１０２ｃ２は、第２リターン線路部１０２Ｌ２の他端と電気的に接続された帯状導体である。この第２交差線路１０２ｃ２には、第３実施形態と同様に、屈曲部ＣＲ２が形成されている。第２交差線路１０２ｃ２は、平面視において、第２リターン線路部１０２Ｌ２の他端と重なる部分が右側（＋Ｘ側）に延び、該重なる部分の他端（＋Ｘ端）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延び、屈曲部ＣＲ２において右側（＋Ｘ側）に折り曲がった後に、再び交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延びている。
【0152】
第２交差線路１０２ｃ２の奥側の端部（＋Ｙ側）は、ビア１０３が接続されるビアパッドＶＰ１２とされている（図９参照）。ビアパッドＶＰ１２は、平面視において、長辺が長手方向Ｘに延び、短辺が交差方向Ｙに延びる長方形状である。第２交差線路１０２ｃ２のビアパッドＶＰ１２は、複数のビア１０３を介して第２リターン線路部１０２Ｌ２の他端におけるビアパッドＶＰ２２（詳細は後述する）と電気的に接続されている。
【0153】
第２リターン線路部１０２Ｌ２は、平行線路１０２ｐ（幅狭線路部）と第３交差線路１０２ｃ３（幅狭線路部）とを有し、一端がビアパッドＶＰ２１とされ、他端がビアパッドＶＰ２２とされた帯状導体である。平行線路１０２ｐは、ビアパッドＶＰ２１の一端（＋Ｙ側）に接続された直線状の帯状導体である。平行線路１０２ｐは、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する導体である。平行線路１０２ｐは、ビアパッドＶＰ２１の一端（＋Ｙ側）から、信号線路１０１と平行（長手方向Ｘ）に延びている。つまり、本実施形態における平行線路１０２ｐは、ビアパッドＶＰ２１の一端（＋Ｙ側）から右側（＋Ｘ側）に向けて延びている。平行線路１０２ｐの長さは信号線路１０１の長さより短い。
【0154】
第３交差線路１０２ｃ３は、平行線路１０２ｐの他端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延び、ビアパッドＶＰ２２の一端（－Ｘ側）に接続された直線状の帯状導体である。第３交差線路１０２ｃ３は、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する導体である。第３交差線路１０２ｃ３の長さは第１交差線路１０２ｃ１の長さより短い。第３交差線路１０２ｃ３とビアパッドＶＰ２２とによって屈曲部ＣＲが形成されている。
【0155】
平行線路１０２ｐおよび第３交差線路１０２ｃ３の幅は、ビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２の幅（短辺の長さ）よりも狭い。つまり、第２リターン線路部１０２Ｌ２は、幅が他の部分よりも小さい幅狭線路部である平行線路１０２ｐおよび第３交差線路１０２ｃ３を備える。言い換えると、第２リターン線路部１０２Ｌ２のビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２以外の部分（平行線路１０２ｐおよび第３交差線路１０２ｃ３）は、幅がビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２の幅よりも小さい幅狭線路部とされている。
【0156】
ビアパッドＶＰ２１は、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ２１は、上下方向ＺにおいてビアパッドＶＰ１１と重なるように配置されている。ビアパッドＶＰ２１と、ビアパッドＶＰ１１とは、複数のビア１０３によって電気的に接続されている。ビアパッドＶＰ２２は、長辺が長手方向Ｘに延び、短辺が交差方向Ｙに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ２２は、上下方向ＺにおいてビアパッドＶＰ１２と重なるように配置されている。ビアパッドＶＰ２２と、ビアパッドＶＰ１２とは、複数のビア１０３によって電気的に接続されている。
【0157】
ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２において、ビア１０３は、ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２の長辺に沿ってそれぞれ配列されている。具体的に、ビア１０３は、ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ２１において、交差方向Ｙに沿うように配列されており、ビアパッドＶＰ１２、ＶＰ２２において、長手方向Ｘに沿うように配列されている。つまり、第２リターン線路部１０２Ｌ２の両端におけるビア１０３は、配列方向が互いに直交するように配列されている。
【0158】
≪作用≫
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃは、第１実施形態～第３実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態～第３実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃは、第１実施形態～第３実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態～第３実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【0159】
さらに、本実施形態において、リターン線路１０２Ｃは、互いに異なる層に形成された第１リターン線路部１０２Ｌ１と第２リターン線路部１０２Ｌ２とがビア１０３によって接続された三次元構造である（図９参照）。ビア１０３自体がインダクタンスを有するため、リターン線路１０２Ｃを上記の三次元構造とすることで、リターン線路１０２Ｃのインダクタンスをさらに増大させることができる。また、第２リターン線路部１０２Ｌ２のビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２以外の部分（平行線路１０２ｐおよび第３交差線路１０２ｃ３）は、幅がビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２の幅よりも小さい幅狭線路部とされている。これによっても、リターン線路１０２Ｃのインダクタンスを増大させることができる。
【0160】
≪小括≫
以上説明したように、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃは、第１層に形成された第１リターン線路部１０２Ｌ１と、ビア１０３を介して第１リターン線路部１０２Ｌ１と電気的に接続され、第１層とは異なる第２層に形成された第２リターン線路部１０２Ｌ２と、を含み、第１リターン線路部１０２Ｌ１および第２リターン線路部１０２Ｌ２は、１つのループを構成し、平面視において端部（ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２）のみが重なるように配置されており、当該端部（ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２）がビア１０３を介して電気的に接続されている。この構成により、リターン線路１０２Ｃのインダクタンスをさらに増大させることができる。
以上説明したように、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｃは、第１層に形成された第１リターン線路部１０２Ｌ１と、ビア１０３を介して第１リターン線路部１０２Ｌ１と電気的に接続され、第１層とは異なる第２層に形成された第２リターン線路部１０２Ｌ２と、を含み、第１リターン線路部１０２Ｌ１および第２リターン線路部１０２Ｌ２は、１つのループを構成し、平面視において端部（ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２）のみが重なるように配置されており、当該端部（ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２）がビア１０３を介して電気的に接続されている。この構成により、リターン線路１０２Ｃのインダクタンスをさらに増大させることができる。
【0161】
＜第５実施形態＞
≪概要≫
次に、第５実施形態について説明するが、第４実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第４実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
≪概要≫
次に、第５実施形態について説明するが、第４実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、デジタル移相回路Ｂの構成および出力伝送線路９０の構成は第４実施形態と同様であるため、これらについては説明を省略する。
【0162】
≪出力整合回路≫
図１０に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ｄは、第４実施形態に係る出力整合回路１００Ｃと比較して、リターン線路１０２Ｄの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、第４交差線路１０２ｃ４、平行線路１０２ｐ、第５交差線路１０２ｃ５、第２交差線路１０２ｃ２、およびビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２を含む（図１１も参照）。
図１０に示すように、本実施形態に係る出力整合回路１００Ｄは、第４実施形態に係る出力整合回路１００Ｃと比較して、リターン線路１０２Ｄの形状が異なる。本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、シフト線路１０２ｓ、第１交差線路１０２ｃ１、第４交差線路１０２ｃ４、平行線路１０２ｐ、第５交差線路１０２ｃ５、第２交差線路１０２ｃ２、およびビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２を含む（図１１も参照）。
【0163】
また、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄのうちシフト線路１０２ｓ以外の部分は、Ｘ方向に関してほぼ線対称の形状（あるいは、概ね線対称の形状）とされている。なお、リターン線路１０２Ｄは、Ｘ方向に関して厳密に線対称の形状である必要は必ずしもなく、形状が多少異なっていてもよい。
【0164】
図１１は、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄの一部を示す斜視図である。図１０および図１１に示すように、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、（シフト線路１０２ｓを除き）Ｘ方向に関してほぼ線対称の形状とされた第１リターン線路部１０２Ｌ１と、Ｘ方向に関して線対称の形状とされた第２リターン線路部１０２Ｌ２と、を含む。本実施形態に係る第１リターン線路部１０２Ｌ１は、シフト線路１０２ｓと、第１交差線路１０２ｃ１と、第２交差線路１０２ｃ２と、ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２と、を含む。本実施形態に係る第２リターン線路部１０２Ｌ２は、第４交差線路１０２ｃ４と、平行線路１０２ｐと、第５交差線路１０２ｃ５と、ビアパッドＶＰ２１、ＶＰ２２と、を含む。
【0165】
第１リターン線路部１０２Ｌ１の第１交差線路１０２ｃ１は、第４実施形態における第１交差線路１０２ｃ１と同様に、屈曲部ＣＲ１が形成された帯状導体である。本実施形態における第１交差線路１０２ｃ１は、一定の幅である。
【0166】
第１交差線路１０２ｃ１の奥側の端部（＋Ｙ側）は、ビア１０３が接続されるビアパッドＶＰ１１とされている（図１１参照）。ビアパッドＶＰ１１は、平面視において、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ１１は、複数のビア１０３を介して第２リターン線路部１０２Ｌ２の一端におけるビアパッドＶＰ２１（詳細は後述する）と電気的に接続されている。
【0167】
第１リターン線路部１０２Ｌ１の第２交差線路１０２ｃ２は、Ｘ方向に関して第１交差線路１０２ｃ１とほぼ線対称の形状の帯状導体である。本実施形態における第２交差線路１０２ｃ２は、一定の幅である。
【0168】
第２交差線路１０２ｃ２の奥側の端部（＋Ｙ側）は、ビア１０３が接続されるビアパッドＶＰ１２とされている（図１１参照）。ビアパッドＶＰ１２は、平面視において、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ１２は、複数のビア１０３を介して第２リターン線路部１０２Ｌ２の他端におけるビアパッドＶＰ２２（詳細は後述する）と電気的に接続されている。
【0169】
第２リターン線路部１０２Ｌ２は、平行線路１０２ｐ、第４交差線路１０２ｃ４、および第５交差線路１０２ｃ５を有し、一端がビアパッドＶＰ２１とされ、他端がビアパッドＶＰ２２とされた帯状導体である。平行線路１０２ｐは、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する導体である。本実施形態における平行線路１０２ｐは、平面視において、第１交差線路１０２ｃ１の奥側における端部の左側の側縁（－Ｘ側）から第２交差線路１０２ｃ２の奥側における端部の右側の側縁（＋Ｘ側）まで延びている。
【0170】
第４交差線路１０２ｃ４は、平行線路１０２ｐの一端（－Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延び、手前側（－Ｙ側）の端部がビアパッドＶＰ２１（図１１参照）とされた直線状の帯状導体である。第５交差線路１０２ｃ５は、平行線路１０２ｐの他端（＋Ｘ側）から、交差方向Ｙにおいて信号線路１０１に近づくように延び、手前側（－Ｙ側）の端部がビアパッドＶＰ２２（図１１参照）とされた直線状の帯状導体である。なお、平行線路１０２ｐは、第４交差線路１０２ｃ４および第５交差線路１０２ｃ５よりも幅が狭く、第４交差線路１０２ｃ４および第５交差線路１０２ｃ５は、長さが同じである。平行線路１０２ｐの幅が、第４交差線路１０２ｃ４および第５交差線路１０２ｃ５の幅よりも狭いのは、リターン線路１０２Ｄのインダクタンスを増大させるためである。
【0171】
ビアパッドＶＰ２１は、平面視において、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ２１は、上下方向ＺにおいてビアパッドＶＰ１１と重なるように配置されている。ビアパッドＶＰ２１と、ビアパッドＶＰ１１とは、複数のビア１０３によって電気的接続されている。ビアパッドＶＰ２２は、平面視において、長辺が交差方向Ｙに延び、短辺が長手方向Ｘに延びる長方形状である。ビアパッドＶＰ２２は、上下方向ＺにおいてビアパッドＶＰ１２と重なるように配置されている。ビアパッドＶＰ２２と、ビアパッドＶＰ１２とは、複数のビア１０３によって電気的に接続されている。
【0172】
ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２において、ビア１０３は、ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ１２、ＶＰ２１、ＶＰ２２の長辺に沿ってそれぞれ配列されている。具体的に、ビア１０３は、ビアパッドＶＰ１１、ＶＰ２１およびビアパッドＶＰ１２、ＶＰ２２において、交差方向Ｙに沿うように配列されている。つまり、第２リターン線路部１０２Ｌ２の両端におけるビア１０３は、配列方向が互いに平行になるように配列されている。
【0173】
≪作用≫
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、第１実施形態～第４実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態～第４実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、第４実施形態と同様に、互いに異なる層に形成された第１リターン線路部１０２Ｌ１と第２リターン線路部１０２Ｌ２とがビア１０３によって接続された三次元構造である。したがって、第４実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
以上説明した本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、第１実施形態～第４実施形態と同様に、奥側（＋Ｙ側）に凸となるループ線路を構成している。したがって、第１実施形態～第４実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、本実施形態に係るリターン線路１０２Ｄは、第４実施形態と同様に、互いに異なる層に形成された第１リターン線路部１０２Ｌ１と第２リターン線路部１０２Ｌ２とがビア１０３によって接続された三次元構造である。したがって、第４実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【0174】
さらに、本実施形態では、図１０および図１１に示す通り、ビアパッドＶＰ１１とビアパッドＶＰ１２とを、いわばＵ字形状の第２リターン線路部１０２Ｌ２で接続するようにしている。また、平行線路１０２ｐの幅が、第４交差線路１０２ｃ４および第５交差線路１０２ｃ５の幅よりも狭い。これにより、リターン線路１０２Ｄのインダクタンスをさらに増大させることができる。
【0175】
なお、本発明の技術的範囲は上記第１実施形態～第５実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【0176】
＜第１変形例～第４変形例＞
≪概要≫
例えば、上記第１実施形態～第５実施形態においては、出力整合回路１００～１００Ｄが有する第２交差線路１０２ｃ２の手前側の端縁（－Ｙ側）と出力伝送線路９０が有するグランド層９２の奥側の側縁（＋Ｙ側）とが接続されることで、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体（上記第１実施形態～第５実施形態においてはグランド層９２）との電気的接続が実現されていた。しかしながら、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体との電気的接続の具体的態様はこれに限られず、適宜変更可能である。また、上記第１実施形態～第５実施形態においては、出力伝送線路９０がマイクロストリップ線路を構成していたが、出力伝送線路９０の構成はこれに限られず、適宜変更可能である。
≪概要≫
例えば、上記第１実施形態～第５実施形態においては、出力整合回路１００～１００Ｄが有する第２交差線路１０２ｃ２の手前側の端縁（－Ｙ側）と出力伝送線路９０が有するグランド層９２の奥側の側縁（＋Ｙ側）とが接続されることで、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体（上記第１実施形態～第５実施形態においてはグランド層９２）との電気的接続が実現されていた。しかしながら、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体との電気的接続の具体的態様はこれに限られず、適宜変更可能である。また、上記第１実施形態～第５実施形態においては、出力伝送線路９０がマイクロストリップ線路を構成していたが、出力伝送線路９０の構成はこれに限られず、適宜変更可能である。
【0177】
以下に詳述する第１変形例～第４変形例は、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体との電気的接続の具体的態様と、出力伝送線路９０の構成と、に関する変形例である。なお、第１変形例～第４変形例に関し、以下、第１実施形態に係る出力整合回路１００を前提とした説明を行う。すなわち、リターン線路１０２が、シフト線路１０２ｓと、第１交差線路１０２ｃ１と、平行線路１０２ｐと、第２交差線路１０２ｃ２と、を含む場合（図１参照）について説明を行う。ただし、第１変形例～第４変形例を第２実施形態～第５実施形態に係る出力整合回路１００Ａ～１００Ｄに適用してもよい。
【0178】
≪第１変形例≫
図１２は、本発明の第１変形例に係る出力整合回路１００の一部および出力伝送線路９０の一部を示す平面図である。図１３は、図１２に示すＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に沿う断面図である。図１４は、図１２に示すＸＩＶ－ＸＩＶ線に沿う断面図である。
図１２は、本発明の第１変形例に係る出力整合回路１００の一部および出力伝送線路９０の一部を示す平面図である。図１３は、図１２に示すＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に沿う断面図である。図１４は、図１２に示すＸＩＶ－ＸＩＶ線に沿う断面図である。
【0179】
図１２に示すように、第１変形例に係る出力整合回路１００は、上述した各線路（第２交差線路１０２ｃ２等）に加えて、接地導体１０４と、一対のパッド１０５ａ、１０５ｂと、をさらに有する。
【0180】
一対のパッド１０５ａ、１０５ｂのうち、第１パッド１０５ａは、図１２に示すように、第２交差線路１０２ｃ２の手前側の端縁（－Ｙ側）に接続された長方形状の平板導体である。第１パッド１０５ａの長辺は交差方向Ｙに延びており、第１パッド１０５ａの短辺は長手方向Ｘに延びている。図１３に示すように、第１パッド１０５ａは、第２交差線路１０２ｃ２が形成された層に形成されている。
【0181】
一対のパッド１０５ａ、１０５ｂのうち、第２パッド１０５ｂは、図１２に示すように、信号線路９１から見て第１パッド１０５ａとはＹ方向における反対側に設けられた長方形状の平板導体である。第２パッド１０５ｂの長辺は交差方向Ｙに延びており、第２パッド１０５ｂの短辺は長手方向Ｘに延びている。図１３に示すように、第２パッド１０５ｂは、第２交差線路１０２ｃ２および第１パッド１０５ａが形成された層に形成されている。
【0182】
接地導体１０４は、図１２に示すように、長手方向Ｘおよび交差方向Ｙに延在する板状の導体である。接地導体１０４は、図１３および図１４に示すように、一対のパッド１０５ａ、１０５ｂおよびグランド層９２から所定距離隔てた下方に配置されている。
【0183】
図１２に示すように、接地導体１０４は、平面視において、一対のパッド１０５ａ、１０５ｂと重なっている。図１２および図１３に示すように、接地導体１０４は、一対のパッド１０５ａ、１０５ｂと、複数の接続導体５０を介して接続されている。また、図１２に示すように、接地導体１０４は、平面視において、グランド層９２の左側（－Ｘ側）端部と重なっている。図１２および図１４に示すように、接地導体１０４は、グランド層９２の左側（－Ｘ側）端部に対して、複数の接続導体５０を介して電気的に接続されている。
【0184】
つまり、第１変形例においては、出力整合回路１００のリターン線路１０２と出力伝送線路９０の出力側接地導体（グランド層９２）とが、第１パッド１０５ａ、接地導体１０４、および複数の接続導体５０を介して電気的に接続されている。接続導体５０はインダクタンスを有するため、このような接続態様とすることで、接続導体５０が有するインダクタンスの分だけリターン線路１０２を短くすることができる。これにより、出力整合回路１００の小型化を図ることができる。
【0185】
≪第２変形例≫
図１５は、本発明の第２変形例に係る出力整合回路１００の一部および出力伝送線路９０の一部を示す平面図である。
図１５は、本発明の第２変形例に係る出力整合回路１００の一部および出力伝送線路９０の一部を示す平面図である。
【0186】
第２変形例に係る出力整合回路１００は、第１変形例に係る接地導体１０４および一対のパッド１０５ａ、１０５ｂに加えて、接続部１０６をさらに有する。
【0187】
接続部１０６は、第１パッド１０５ａおよびグランド層９２が形成された層に形成された導体である。接続部１０６は、長手方向Ｘにおける第１パッド１０５ａとグランド層９２との間に設けられ、第１パッド１０５ａとグランド層９２とを機械的かつ電気的に接続している。このような接続部１０６を導入することで、第１変形例と比較して、第２交差線路１０２ｃ２とグランド層９２との間で生じる損失を低減することができる。
【0188】
【0189】
図１６に示すように、第３変形例に係る出力整合回路１００は、第１変形例に係る出力整合回路１００と同一の形状を有する（図１２参照）。第３変形例においても、第１変形例と同様に、出力整合回路１００のリターン線路１０２と出力伝送線路９０の出力側接地導体（グランド層９２）とが、第１パッド１０５ａ、接地導体１０４、および複数の接続導体５０を介して電気的に接続されている。
【0190】
第３変形例に係る出力伝送線路９０は、第１変形例とは異なり、いわゆるグランド付きコプレナ線路を構成している。具体的には、図１６および図１７に示すように、第３変形例に係る出力伝送線路９０は、第１変形例における信号線路９１およびグランド層９２に加えて、一対の接地線９３ａ、９３ｂと、一対の中間導体層９４ａ、９４ｂと、をさらに有する。一対の接地線９３ａ、９３ｂは、信号線路９１の両側に間隔を空けて配されている。
【0191】
一対の接地線９３ａ、９３ｂのうち、第１接地線９３ａは、図１６および図１７に示すように、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第１接地線９３ａは、信号線路９１と平行に長手方向Ｘに延び、信号線路９１の奥側（＋Ｙ側）に位置する。
【0192】
一対の接地線９３ａ、９３ｂのうち、第２接地線９３ｂは、図１６および図１７に示すように、一定の幅、一定の厚さ、および所定の長さを有する長尺板状の導体である。第１接地線９３ａは、信号線路９１と平行に長手方向Ｘに延び、信号線路９１の手前側（－Ｙ側）に位置する。
【0193】
一対の中間導体層９４ａ、９４ｂのうち、第１中間導体層９４ａは、図１７に示すように、上下方向Ｚにおいて第１接地線９３ａとグランド層９２との間に位置する。また、第１中間導体層９４ａは、第１接地線９３ａおよびグランド層９２の双方から所定距離隔てた位置に配置されている。
【0194】
第１接地線９３ａと第１中間導体層９４ａとは、接続導体５０によって接続されている。また、第１中間導体層９４ａとグランド層９２とは、接続導体５０によって接続されている。これにより、グランド層９２は、接続導体５０および第１中間導体層９４ａを介して、第１接地線９３ａに対して接続されている。
【0195】
詳細な図示は省略するが、第１中間導体層９４ａは、第１接地線９３ａに沿って長手方向Ｘに延びている。また、第１接地線９３ａと第１中間導体層９４ａとを接続する接続導体５０は複数設けられており、第１接地線９３ａに沿って配列されている。同様に、第１中間導体層９４ａとグランド層９２とを接続する接続導体５０は複数設けられており、第１中間導体層９４ａに沿って配列されている。
【0196】
一対の中間導体層９４ａ、９４ｂのうち、第２中間導体層９４ｂは、図１７に示すように、上下方向Ｚにおいて第２接地線９３ｂとグランド層９２との間に位置する。また、第２中間導体層９４ｂは、第２接地線９３ｂおよびグランド層９２の双方から所定距離隔てた位置に配置されている。
【0197】
第２接地線９３ｂと第２中間導体層９４ｂとは、接続導体５０によって接続されている。また、第２中間導体層９４ｂとグランド層９２とは、接続導体５０によって接続されている。これにより、グランド層９２は、接続導体５０および第２中間導体層９４ｂを介して、第２接地線９３ｂに対して接続されている。
【0198】
詳細な図示は省略するが、第２中間導体層９４ｂは、第２接地線９３ｂに沿って長手方向Ｘに延びている。また、第２接地線９３ｂと第２中間導体層９４ｂとを接続する接続導体５０は複数設けられており、第２接地線９３ｂに沿って配列されている。同様に、第２中間導体層９４ｂとグランド層９２とを接続する接続導体５０は複数設けられており、第２中間導体層９４ｂに沿って配列されている。
【0199】
【0200】
図１８に示すように、第４変形例に係る出力伝送線路９０は、第３変形例に係る出力伝送線路９０と同一の形状を有する（図１６参照）。第４変形例においても、第３変形例と同様に、出力整合回路１００のリターン線路１０２と出力伝送線路９０の出力側接地導体（グランド層９２）とが、第１パッド１０５ａ、接地導体１０４、および複数の接続導体５０を介して電気的に接続されている。
【0201】
第４変形例に係る出力整合回路１００は、図１８および図１９に示すように、第３変形例に係る接地導体１０４および一対のパッド１０５ａ、１０５ｂに加えて、一対の上側パッド１０７ａ、１０７ｂ（第１上側パッド１０７ａ、第２上側パッド１０７ｂ）、および一対の中間パッド１０８ａ、１０８ｂ（第１中間パッド１０８ａ、第２中間パッド１０８ｂ）をさらに有する。
【0202】
図１９に示すように、第１上側パッド１０７ａおよび第１中間パッド１０８ａは、第１パッド１０５ａの上方に配されている。第１上側パッド１０７ａ、第１中間パッド１０８ａ、および第１パッド１０５ａは、平面視において互いに重なっている。また、第１上側パッド１０７ａ、第１中間パッド１０８ａ、第１パッド１０５ａは、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0203】
第１上側パッド１０７ａと第１中間パッド１０８ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド１０８ａと第１パッド１０５ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、図１８に示すように、第１上側パッド１０７ａは、第１接地線９３ａが形成された層に形成されており、第１接地線９３ａの左側の端縁（－Ｘ側）に対して電気的かつ機械的に接続されている。これにより、第１接地線９３ａと第２交差線路１０２ｃ２とが、第１上側パッド１０７ａ、第１中間パッド１０８ａ、第１パッド１０５ａおよび接続導体５０を介して電気的に接続されている（図１９も参照）。
【0204】
図１９に示すように、第２上側パッド１０７ｂおよび第２中間パッド１０８ｂは、第２パッド１０５ｂの上方に配されている。第２上側パッド１０７ｂ、第２中間パッド１０８ｂ、および第２パッド１０５ｂは、平面視において互いに重なっている。また、第２上側パッド１０７ｂ、第２中間パッド１０８ｂ、第２パッド１０５ｂは、上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0205】
第２上側パッド１０７ｂと第２中間パッド１０８ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド１０８ｂと第２パッド１０５ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、図１８に示すように、第２上側パッド１０７ｂは、第２接地線９３ｂが形成された層に形成されており、第２接地線９３ｂの左側の端縁（－Ｘ側）に対して電気的かつ機械的に接続されている。
【0206】
＜第５変形例～第７変形例＞
≪概要≫
以下に詳述する第５変形例～第７変形例は、第１変形例～第４変形例と同様に、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体との電気的接続の具体的態様と、出力伝送線路９０の構成と、に関する変形例である。ただし、第５変形例～第７変形例に係るリターン線路１０２´（例えば、シフト線路１０２ｓ´、第１交差線路１０２ｃ１´、平行線路１０２ｐ´、および第２交差線路１０２ｃ２´）は、第１変形例～第４変形例に係るリターン線路１０２とは異なり、信号線路１０、１０１、９１が形成された層に形成されている（図２０参照）。シフト線路１０２ｓ´は、デジタル移相回路Ｂの上側パッド２５に接続されている。なお、第５変形例～第７変形例に関しても、以下、第１実施形態に係る出力整合回路１００を前提とした説明を行う。ただし、第５変形例～第７変形例を第２実施形態～第５実施形態に係る出力整合回路１００Ａ～１００Ｄに適用してもよい。
≪概要≫
以下に詳述する第５変形例～第７変形例は、第１変形例～第４変形例と同様に、リターン線路１０２～１０２Ｄと出力側接地導体との電気的接続の具体的態様と、出力伝送線路９０の構成と、に関する変形例である。ただし、第５変形例～第７変形例に係るリターン線路１０２´（例えば、シフト線路１０２ｓ´、第１交差線路１０２ｃ１´、平行線路１０２ｐ´、および第２交差線路１０２ｃ２´）は、第１変形例～第４変形例に係るリターン線路１０２とは異なり、信号線路１０、１０１、９１が形成された層に形成されている（図２０参照）。シフト線路１０２ｓ´は、デジタル移相回路Ｂの上側パッド２５に接続されている。なお、第５変形例～第７変形例に関しても、以下、第１実施形態に係る出力整合回路１００を前提とした説明を行う。ただし、第５変形例～第７変形例を第２実施形態～第５実施形態に係る出力整合回路１００Ａ～１００Ｄに適用してもよい。
【0207】
≪第５変形例≫
図２０は、第５変形例に係るデジタル移相回路Ｂの一部、出力整合回路１００´、および出力伝送線路９０を示す平面図である。図２１は、図２０に示すＸＸＩ－ＸＸＩ線に沿う断面図である。なお、図２０においては、デジタル移相回路Ｂのうち、信号線路１０、上側パッド２４、２５、および第２接地導体３２以外の構成の図示を省略している。
図２０は、第５変形例に係るデジタル移相回路Ｂの一部、出力整合回路１００´、および出力伝送線路９０を示す平面図である。図２１は、図２０に示すＸＸＩ－ＸＸＩ線に沿う断面図である。なお、図２０においては、デジタル移相回路Ｂのうち、信号線路１０、上側パッド２４、２５、および第２接地導体３２以外の構成の図示を省略している。
【0208】
【0209】
図２０および図２１に示すように、第５変形例に係る出力整合回路１００´は、上述した各線路（第２交差線路１０２ｃ２´等）に加えて、一対のパッド１０５ａ´、１０５ｂ´と、一対の中間パッド１０９ａ、１０９ｂと、複数の接続導体５０と、をさらに有する。
【0210】
一対のパッド１０５ａ´、１０５ｂ´のうち、第１パッド１０５ａ´は、図２０に示すように、第２交差線路１０２ｃ２´の手前側の端縁（－Ｙ側）に接続された長方形状の平板導体である。第１パッド１０５ａ´の長辺は交差方向Ｙに延びており、第１パッド１０５ａ´の短辺は長手方向Ｘに延びている。図２１に示すように、第１パッド１０５ａ´は、第２交差線路１０２ｃ２´および信号線路９１が形成された層に形成されている。
【0211】
一対のパッド１０５ａ´、１０５ｂ´のうち、第２パッド１０５ｂ´は、図２０に示すように、信号線路９１から見て第１パッド１０５ａ´とはＹ方向における反対側に設けられた長方形状の平板導体である。第２パッド１０５ｂ´の長辺は交差方向Ｙに延びており、第２パッド１０５ｂ´の短辺は長手方向Ｘに延びている。図２１に示すように、第２パッド１０５ｂ´は、第２交差線路１０２ｃ２´、第１パッド１０５ａ´、および信号線路９１が形成された層に形成されている。
【0212】
一対の中間パッド１０９ａ、１０９ｂのうち、第１中間パッド１０９ａは、図２１に示すように、第１パッド１０５ａ´の下方に配されている。第１パッド１０５ａ´および第１中間パッド１０９ａは、平面視において互いに重なっている。また、第５変形例に係るグランド層９２には、図２０および図２１に示すように、グランド層９２の左側（－Ｘ側）端部において奥側（＋Ｙ側）に向けて突出し、平面視において第１パッド１０５ａ´および第１中間パッド１０９ａの少なくとも一部と重なる第１突出部９２ａが設けられている。図２１に示すように、第１パッド１０５ａ´、第１中間パッド１０９ａ、およびグランド層９２は上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0213】
第１パッド１０５ａ´と第１中間パッド１０９ａとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第１中間パッド１０９ａとグランド層９２（第１突出部９２ａ）とは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。これにより、第２交差線路１０２ｃ２´と、出力伝送線路９０の接地導体（出力側接地導体）であるグランド層９２とが、第１パッド１０５ａ´、第１中間パッド１０９ａ、および接続導体５０を介して電気的に接続されている。
【0214】
一対の中間パッド１０９ａ、１０９ｂのうち、第２中間パッド１０９ｂは、図２１に示すように、第２パッド１０５ｂ´の下方に配されている。第２パッド１０５ｂ´および第２中間パッド１０９ｂは、平面視において互いに重なっている。また、第５変形例に係るグランド層９２には、図２０および図２１に示すように、グランド層９２の左側（－Ｘ側）端部において手前側（－Ｙ側）に向けて突出し、平面視において第２パッド１０５ｂ´および第２中間パッド１０９ｂの少なくとも一部と重なる第２突出部９２ｂが設けられている。図２１に示すように、第２パッド１０５ｂ´、第２中間パッド１０９ｂ、およびグランド層９２は上側（＋Ｚ側）から下側（－Ｚ側）に向けてこの順に並んでおり、上下方向Ｚにおいて間隔を空けて配されている。
【0215】
第２パッド１０５ｂ´と第２中間パッド１０９ｂとは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。また、第２中間パッド１０９ｂとグランド層９２（第２突出部９２ｂ）とは、複数の接続導体５０によって電気的かつ機械的に接続されている。
【0216】
ただし、出力整合回路１００´は、第２パッド１０５ｂ´および第２中間パッド１０９ｂ、ならびに、それらを接続する接続導体５０を有していなくてもよい。この場合、グランド層９２に第２突出部９２ｂが設けられていなくてもよい。
【0217】
【0218】
図２２および図２３に示すように、第６変形例に係る出力伝送線路９０は、第３変形例と同様に、グランド付きコプレナ線路を構成している（図１６参照）。つまり、第６変形例に係る出力伝送線路９０は、信号線路９１と、グランド層９２と、一対の接地線９３ａ、９３ｂと、一対の中間導体層９４ａ、９４ｂと、複数の接続導体５０と、を有する。図２３に示すように、複数の接続導体５０は、グランド層９２と、第１接地線９３ａと、第１中間導体層９４ａと、を電気的に接続し、グランド層９２と、第２接地線９３ｂと第２中間導体層９４ｂと、を電気的に接続する。
【0219】
図２２および図２３に示すように、第６変形例においては、第２交差線路１０２ｃ２´の手前側の端縁（－Ｙ側）が、出力伝送線路９０が有する第１接地線９３ａの奥側の側縁（＋Ｙ側）に接続されている。したがって、第２交差線路１０２ｃ２´を含むリターン線路１０２´は、出力伝送線路９０が有するグランド層９２（出力側接地導体）と、第１接地線９３ａ、第１中間導体層９４ａ、および複数の接続導体５０を介して電気的に接続されている。
【0220】
【0221】
図２４に示すように、第７変形例は、第６変形例においてグランド層９２および中間導体層９４ａ、９４ｂ（図２４において図示略）の形状のみを変更したものである（図２２参照）。具体的に、第７変形例に係るグランド層９２および中間導体層９４ａ、９４ｂは、出力伝送線路９０の左側（－Ｘ側）の端部のみに位置しており、信号線路９１および接地線９３ａ、９３ｂに沿って長手方向Ｘに延在していない（中間導体層９４ａ、９４ｂについては図示略）。
【0222】
したがって、グランド層９２および中間導体層９４ａ、９４ｂが配置された左側（－Ｘ側）の端部を除き、出力伝送線路９０は、コプレナ線路を構成している（図２５参照）。第７変形例において、第２交差線路１０２ｃ２´を含むリターン線路１０２´は、出力伝送線路９０の出力側接地導体（第７変形例においては接地線９３ａ、９３ｂ）と、グランド層９２、中間導体層９４ａ、９４ｂ、および接続導体５０を介して電気的に接続されている。
【0223】
＜その他の変形例＞
以下、その他の変形例について説明する。
以下、その他の変形例について説明する。
【0224】
例えば、デジタル移相回路Ｂが有するループ線路ＲＰの形状は、交差方向Ｙにおいて信号線路１０から遠ざかる方向に凸状となるループ状であれば適宜変更可能である。また、図１等において図示されたデジタル移相回路Ｂの入力端（左側（－Ｘ側）端部）に、１つ以上のデジタル移相回路Ｂが縦続接続されていてもよい。すなわち、接続構造Ａは、複数のデジタル移相回路Ｂが長手方向Ｘに縦続接続された接続列を有していてもよい。そして、当該接続列の出力端（右側（＋Ｘ側）端部）に、出力整合回路１００が接続されていてもよい。
【0225】
また、例えば第３変形例に係る出力伝送線路９０（図１６および図１７参照）は、上述したグランド層９２（下側グランド層）に加えて、信号線路９１および一対の接地線９３ａ、９３ｂから所定距離隔てた上方に配置された上側グランド層を有していてもよい。すなわち、出力伝送線路９０は、信号線路９１が２つのグランド層で挟まれたトリプレート線路構造を形成していてもよい。あるいは、出力伝送線路９０は、上側グランド層および下側グランド層のうち一方のみを有していてもよい。すなわち、信号線路９１および一対の接地線９３ａ、９３ｂの上方および下方の少なくとも一方にグランド層が配置されていればよい。そして、配置されたグランド層（出力側接地導体）に対して、リターン線路１０２が電気的に接続されていればよい。
【0226】
また、図示の例において、出力伝送線路９０は長手方向Ｘに直線状に延在していたが、出力伝送線路９０は平面視において屈曲していてもよい。
【0227】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0228】
Ｂ…デジタル移相回路 １０…信号線路（回路側信号線路） ２１…第１線路 ２１ｐ１…第１平行線路 ２２…第２線路 ２２ｐ２…第２平行線路 ＲＰ…ループ線路 ３1…第１接地導体 ３２…第２接地導体 ４１…第１電子スイッチ ４２…第２電子スイッチ ９０…出力伝送線路 ９１…信号線路（出力側信号線路） ９２…グランド層（出力側接地導体） ９３ａ、９３ｂ…接地線（出力側接地導体） １００、１００´、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ…出力整合回路 １０１…信号線路 １０２…リターン線路 １０２ｃ１…第１交差線路 １０２ｐ…平行線路 １０２ｃ２…第２交差線路 １０２ｂ…屈曲線路 １０２Ｌ１…第１リターン線路部 １０２Ｌ２…第２リターン線路部 １０３…ビア Ｘ…長手方向 Ｙ…交差方向
【要約】
【課題】デジタル移相回路および出力伝送線路が複数の導体によって構成されている場合であっても入出力インピーダンスを実数負荷に整合可能な出力整合回路を提供する。
【解決手段】出力整合回路は、回路側信号線路と第１線路、ループ線路を含む第２線路、第１接地導体、第２接地導体、第１電子スイッチ、および第２電子スイッチを備えるデジタル移相回路と、出力側信号線路および出力側接地導体を備える出力伝送線路と、を電気的に接続する出力整合回路であって、前記回路側信号線路および前記出力側信号線路と接続される信号線路と、前記第２接地導体および前記出力側接地導体と電気的に接続されるリターン線路と、を備え、前記リターン線路は、前記信号線路よりも長い。
【選択図】図１
【解決手段】出力整合回路は、回路側信号線路と第１線路、ループ線路を含む第２線路、第１接地導体、第２接地導体、第１電子スイッチ、および第２電子スイッチを備えるデジタル移相回路と、出力側信号線路および出力側接地導体を備える出力伝送線路と、を電気的に接続する出力整合回路であって、前記回路側信号線路および前記出力側信号線路と接続される信号線路と、前記第２接地導体および前記出力側接地導体と電気的に接続されるリターン線路と、を備え、前記リターン線路は、前記信号線路よりも長い。
【選択図】図１
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】