特許 7426400 バルクフィーダおよび部品装着機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-24

(45)【発行日】2024-02-01

(54)【発明の名称】バルクフィーダおよび部品装着機

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/02 20060101AFI20240125BHJP

【ＦＩ】

H05K13/02 D

H05K13/02 Q

H05K13/02 R

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2021555735

(86)(22)【出願日】2019-11-14

(86)【国際出願番号】 JP2019044789

(87)【国際公開番号】W WO2021095218

(87)【国際公開日】2021-05-20

【審査請求日】2022-03-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】川崎 裕司

(72)【発明者】

【氏名】山▲崎▼ 祐輔

(72)【発明者】

【氏名】青木 真吾

(72)【発明者】

【氏名】大崎 聡士

【審査官】内田 茉李

(56)【参考文献】

【文献】特公昭５７－０４３４８８（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２００９－１０５３６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１１４０８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１０５５９１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００７－００７７６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２３６１９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０３４０１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／１３９７４２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－１２５３５７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品装着機に装備されて部品供給装置の一部として機能するバルクフィーダであって、
前記部品装着機は、機内にセットされた前記バルクフィーダの整列部材の位置を認識するキャリブレーション処理を実行し、前記キャリブレーション処理の結果および前記整列部材により整列して供給された部品の供給状態の認識処理の結果に基づいて前記バルクフィーダから複数の前記部品を採取する採取動作を実行し、
前記バルクフィーダは、
フィーダ本体と、
前記フィーダ本体に設けられ、複数の前記部品をバルク状態で収容する部品ケースから排出される前記部品を受容する受容領域、前記部品を供給する供給領域、前記受容領域から前記供給領域への前記部品の搬送路、および前記キャリブレーション処理において前記バルクフィーダの基準位置を示す基準マークを有する軌道部材と、
前記フィーダ本体に設けられ、前記搬送路上の前記部品が搬送されるように前記軌道部材に振動を付与する加振装置と、
前記軌道部材のうち前記供給領域に設けられ、前記軌道部材の振動に伴って搬送される複数の前記部品を前記フィーダ本体に対して整列させる前記整列部材と、
前記加振装置により前記軌道部材に付与された振動によって前記搬送路を搬送される前記部品の外部への飛散を防止するカバーと、
を備えるバルクフィーダ。

【請求項2】

前記整列部材は、複数の前記部品を個々に収容する複数のキャビティを有する、請求項１に記載のバルクフィーダ。

【請求項3】

複数の前記キャビティは、前記供給領域においてマトリックス状に配列される、請求項２に記載のバルクフィーダ。

【請求項4】

複数の前記キャビティのそれぞれは、前記搬送路の上面において開口し、前記部品の厚み方向が上下方向となる姿勢で前記部品を収容する、請求項２または３の何れか一項に記載のバルクフィーダ。

【請求項5】

複数の前記キャビティのそれぞれの深さは、前記部品の厚み以上に設定される、請求項４に記載のバルクフィーダ。

【請求項6】

複数の前記キャビティのそれぞれは、前記搬送路の上面において開口し、前記部品の長手方向が上下方向となる姿勢で前記部品を収容する、請求項２または３の何れか一項に記載のバルクフィーダ。

【請求項7】

前記部品装着機は、前記部品供給装置から複数の前記部品を採取する前記採取動作と、採取した複数の前記部品を基板に装着する装着動作とを含むＰＰサイクルを繰り返し実行し、
前記整列部材における前記キャビティの数は、１回の前記ＰＰサイクルにおける前記採取動作によって採取される前記部品の最大数よりも多く設定される、請求項２－６の何れか一項に記載のバルクフィーダ。

【請求項8】

前記整列部材は、前記キャビティに前記部品を磁力により誘導し、または前記キャビティに収容された前記部品を磁力により保持する磁石を有する、請求項２－７の何れか一項に記載のバルクフィーダ。

【請求項9】

前記整列部材は、前記軌道部材に対して交換可能に取り付けられ、
前記バルクフィーダは、供給する前記部品の種類に対応して互いの形状が異なる複数種類の前記整列部材から選択された１つを前記軌道部材に取り付けられる、請求項１－８の何れか一項に記載のバルクフィーダ。

【請求項10】

前記整列部材は、前記軌道部材に対して一体的に形成され、
前記軌道部材は、前記フィーダ本体に対して交換可能に取り付けられ、
前記バルクフィーダは、供給する前記部品の種類に対応して互いの形状が異なる複数種類の前記整列部材の一つを形成された複数種類の前記軌道部材から選択された１つを前記フィーダ本体に取り付けられる、請求項１－８の何れか一項に記載のバルクフィーダ。

【請求項11】

請求項１－１０の何れか一項に記載の前記バルクフィーダと、
水平方向に移動可能に設けられ、前記バルクフィーダにより供給される前記部品をそれぞれ保持する複数の保持部材を昇降可能に支持する装着ヘッドと、
前記バルクフィーダおよび前記装着ヘッドの動作を制御し、前記バルクフィーダから複数の前記部品を採取する前記採取動作と、採取した複数の前記部品を基板に装着する装着動作とを含むＰＰサイクルを繰り返し実行する制御装置と、
を備える部品装着機。

【請求項12】

前記部品装着機は、前記供給領域を撮像可能なカメラをさらに備え、
前記制御装置は、前記カメラの撮像により取得された画像データに基づいて、前記供給領域における前記部品の供給状態を認識する認識処理を実行し、前記供給状態の認識処理の結果に基づいて前記採取動作における前記装着ヘッドの動作を制御する、請求項１１に記載の部品装着機。

【請求項13】

前記整列部材は、複数の前記部品を個々に収容する複数のキャビティを有し、
前記制御装置は、前記供給状態の認識処理において、前記画像データに対する画像処理によって複数の前記キャビティに前記部品が採取可能に収容されているか否かを示す前記供給状態を認識する、請求項１２に記載の部品装着機。

【請求項14】

前記装着ヘッドは、負圧エアにより前記部品を吸着する吸着ノズルを支持し、
前記制御装置は、前記採取動作において、前記部品を採取可能に収容する前記キャビティの中心に前記吸着ノズルを位置決めするように前記装着ヘッドの動作を制御する、請求項１３に記載の部品装着機。

【請求項15】

前記制御装置は、今回の前記ＰＰサイクルの前記採取動作が終了してから次回の前記ＰＰサイクルの前記採取動作が開始するまでの期間において、前記バルクフィーダに前記供給領域において前記部品を整列させる整列処理を実行させる、請求項１２－１４の何れか一項に記載の部品装着機。

【請求項16】

前記制御装置は、前記供給状態の認識処理の結果において採取可能な前記部品の数が、今回の前記ＰＰサイクルと次回の前記ＰＰサイクルとにおいて採取予定である前記部品の数の和以上である場合に、今回の前記ＰＰサイクルの前記採取動作が終了した後に予定されていた前記整列処理の実行を省略するとともに、前記供給状態の認識処理の結果に基づいて次回の前記ＰＰサイクルの前記採取動作における前記装着ヘッドの動作を制御する、請求項１５に記載の部品装着機。

【請求項17】

前記制御装置は、前記供給状態の認識処理の結果において採取可能な前記部品の数が、今回の前記ＰＰサイクルにおいて採取予定である前記部品の数未満である場合に、前記バルクフィーダに再度の前記整列処理を実行させる、請求項１５または１６に記載の部品装着機。

【請求項18】

前記整列部材は、前記供給領域において複数の前記部品を規定間隔で整列させ、
前記装着ヘッドは、２つの前記保持部材を前記規定間隔の整数倍の間隔で支持し、
前記制御装置は、前記採取動作において、前記装着ヘッドの水平方向位置を維持させた状態で、２つの前記保持部材の昇降の少なくとも一部が重複するように動作させることにより２つの前記部品を採取させる、請求項１１－１７の何れか一項に記載の部品装着機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バルクフィーダおよび部品装着機に関するものである。

【背景技術】

【0002】

バルクフィーダは、基板に部品を装着する部品装着機に装備され、バルク状態で収容された部品の供給に用いられる。バルクフィーダには、例えば搬送路上に設けられた整列機構によって複数の部品を一列に整列させた状態で部品を供給するタイプがある。また、バルクフィーダには、特許文献１に示すように、上記のような整列機構を省略し、吸着ノズルが部品を採取可能な供給領域において部品を散在させたバルク状態で供給するタイプがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１１－１１４０８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のように供給領域に複数の部品をバルク状態で供給するタイプのバルクフィーダの場合に、部品装着機は、供給領域を撮像して取得した画像データを用いて、部品の供給状態を認識する。このとき、画像処理では、複数の部品ごとに採取可能か否か判定するとともに、採取可能であれば部品の位置および角度を割り出す必要がある。そのため、画像処理の負荷が高くなることが懸念される。また、バルクフィーダには、特に幅方向の小型化が望まれる。

【0005】

本明細書は、幅方向の小型化を図りつつ好適に複数の部品を供給可能として供給領域における部品の供給状態の認識処理の負荷を軽減することが可能なバルクフィーダ、および上記バルクフィーダを備える部品装着機を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、フィーダ本体と、前記フィーダ本体に設けられ、複数の部品をバルク状態で収容する部品ケースから排出される前記部品を受容する受容領域、前記部品を供給する供給領域、および前記受容領域から前記供給領域への前記部品の搬送路を有する軌道部材と、前記フィーダ本体に設けられ、前記搬送路上の前記部品が搬送されるように前記軌道部材に振動を付与する加振装置と、前記軌道部材のうち前記供給領域に設けられ、前記軌道部材の振動に伴って搬送される複数の前記部品を前記フィーダ本体に対して整列させる整列部材と、を備えるバルクフィーダを開示する。

【発明の効果】

【0007】

このような構成によると、供給領域に効率的に部品を整列するので、バルクフィーダの幅方向の小型化を図りつつ好適に複数の部品を採取可能に供給することができる。また、供給領域において部品が整列された状態なので、バルク状態と比較して供給状態の認識処理の負荷を軽減できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】部品装着機の構成を示す模式図である。

【図2】バルクフィーダの外観を示す斜視図である。

【図3】バルクフィーダの要部を模式的に示す側面図である。

【図4】図３のＩＶ方向から見た平面図である。

【図5】供給領域における整列部材の第一態様を示す斜視図である。

【図6】図４のＶＩ－ＶＩ断面を拡大して示す模式図である。

【図7】供給領域における整列部材の第二態様を示す図６に対応する模式図である。

【図8】供給領域における整列部材の第三態様を示す図４に対応する平面図である。

【図9】供給領域における整列部材の第四態様を拡大して示す図４に対応する平面図である。

【図10】バルクフィーダに軌道部材または整列部材が選択的に取り付け可能な構成を示す概念図である。

【図11】部品装着機による装着処理を示すフローチャートである。

【図12】供給領域における部品の供給状態の認識処理に用いられる画像データを示す図である。

【図13】実施形態の変形態様における複数の吸着ノズルが同時期に部品の採取動作を実行する態様を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

１．部品装着機１０の構成
部品装着機１０は、例えば他の部品装着機１０を含む複数種類の対基板作業機とともに、基板製品を生産する生産ラインを構成する。上記の生産ラインを構成する対基板作業機には、印刷機や検査装置、リフロー炉などが含まれ得る。
１－１．基板搬送装置
部品装着機１０は、図１に示すように、基板搬送装置１１を備える。基板搬送装置１１は、基板９１を搬送方向へと順次搬送するとともに、基板９１を機内の所定位置に位置決めする。

【0010】

１－２．部品供給装置１２
部品装着機１０は、部品供給装置１２を備える。部品供給装置１２は、基板９１に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、複数のスロット１２１にフィーダ１２２をそれぞれ装備される。フィーダ１２２には、例えば多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、部品を採取可能に供給するテープフィーダが適用される。また、フィーダ１２２には、バルク状態（それぞれの姿勢が不規則なばら状態）で収容された部品を採取可能に供給するバルクフィーダ２０が適用される。バルクフィーダ２０の詳細については後述する。

【0011】

１－３．部品移載装置１３
部品装着機１０は、部品移載装置１３を備える。部品移載装置１３は、部品供給装置１２により供給された部品を基板９１上の所定の装着位置に移載する。部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１、移動台１３２、装着ヘッド１３３、および吸着ノズル１３４を備える。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させる。装着ヘッド１３３は、図示しないクランプ部材により移動台１３２に着脱可能に固定され、機内において水平方向に移動可能に設けられる。

【0012】

装着ヘッド１３３は、回転可能に且つ昇降可能に複数の吸着ノズル１３４を支持する。吸着ノズル１３４は、フィーダ１２２により供給される部品９２を採取して保持する保持部材である。吸着ノズル１３４は、供給される負圧エアにより、フィーダ１２２により供給される部品を吸着する。装着ヘッド１３３に取り付けられる保持部材としては、部品を把持することにより保持するチャックなどが採用され得る。

【0013】

ここで、上記の装着ヘッド１３３には、種々のタイプが採用され得る。具体的には、複数の保持部材を、鉛直軸（Ｚ軸）に平行なＲ軸周りに回転可能に設けられたロータリヘッドにより支持するタイプが装着ヘッド１３３にはある。本実施形態では、装着ヘッド１３３は、ロータリヘッドにより２４本の吸着ノズル１３４を支持する。その他に、直線状またはマトリックス状に配列された複数の保持部材を支持するタイプ、１つの保持部材を支持するタイプなどが装着ヘッド１３３にはある。これらの装着ヘッド１３３のタイプは、例えば生産する基板製品の種類などに応じて適宜選択され得る。

【0014】

１－４．部品カメラ１４、基板カメラ１５
部品装着機１０は、部品カメラ１４、および基板カメラ１５を備える。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、ＣＭＯＳなどの撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、制御信号に基づいて撮像を行い、当該撮像により取得した画像データを送出する。部品カメラ１４は、吸着ノズル１３４に保持された部品を下方から撮像可能に構成される。基板カメラ１５は、装着ヘッド１３３と一体的に水平方向に移動可能に移動台１３２に設けられる。基板カメラ１５は、基板９１を上方から撮像可能に構成される。

【0015】

また、基板カメラ１５は、基板９１の表面を撮像対象とする他に、移動台１３２の可動範囲であれば種々の機器などを撮像対象にできる。例えば、基板カメラ１５は、本実施形態において、バルクフィーダ２０が部品９２を供給する供給領域Ａｓ（図４を参照）を撮像することができる。このように、基板カメラ１５は、種々の画像処理に用いられる画像データを取得するために、異なる撮像対象の撮像に兼用され得る。

【0016】

１－５．制御装置１６
部品装着機１０は、制御装置１６を備える。制御装置１６は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。制御装置１６は、図略の記憶装置を備える。記憶装置は、ハードディスク装置などの光学ドライブ装置、またはフラッシュメモリなどにより構成される。制御装置１６の記憶装置には、装着処理の制御に用いられる制御プログラムなどの各種データが記憶される。制御プログラムは、装着処理において基板９１に装着される部品の装着位置および装着順序を示す。

【0017】

制御装置１６は、複数の保持部材（吸着ノズル１３４）のそれぞれに保持された部品の保持状態の認識処理を実行する。具体的には、制御装置１６は、部品カメラ１４の撮像により取得された画像データを画像処理し、装着ヘッド１３３の基準位置に対する各部品の位置および角度を認識する。なお、制御装置１６は、部品カメラ１４の他に、例えば装着ヘッド１３３に一体的に設けられるヘッドカメラユニットなどが部品を側方、下方、または上方から撮像して取得された画像データを画像処理するようにしてもよい。

【0018】

制御装置１６は、制御プログラムに基づいて、装着ヘッド１３３による部品の装着動作を制御して装着処理を実行する。ここで、装着処理には、採取動作と装着動作とが含まれるピックアンドプレースサイクル（以下、「ＰＰサイクル」と称する）を複数回に亘って繰り返す処理が含まれる。上記の「採取動作」とは、部品供給装置１２により供給された部品を吸着ノズル１３４により採取する動作である。

【0019】

本実施形態において、制御装置１６は、上記の採取動作の実行に際して、バルクフィーダ２０を含む部品供給装置１２の動作を制御するとともに、バルクフィーダ２０の供給領域Ａｓにおける部品９２の供給状態の認識処理を実行する。上記の「供給状態の認識処理」には、供給領域Ａｓに採取可能な部品９２があるか否かを認識し、ある場合には必要に応じて部品９２の位置を認識する処理が含まれる。そして、制御装置１６は、供給状態の認識処理の結果に基づいて、採取動作における装着ヘッド１３３の動作を制御する。

【0020】

また、上記の「装着動作」とは、採取した部品を基板９１における所定の装着位置に装着する動作である。制御装置１６は、装着処理において、各種センサから出力される情報や画像処理の結果、制御プログラムなどに基づき、装着ヘッド１３３の動作を制御する。これにより、装着ヘッド１３３に支持された複数の吸着ノズル１３４の位置および角度が制御される。

【0021】

２．バルクフィーダ２０の構成
バルクフィーダ２０は、部品装着機１０に装備されて部品供給装置１２の少なくとも一部として機能する。バルクフィーダ２０は、テープフィーダと異なりキャリアテープを用いないため、キャリアテープの装填や使用済みテープの回収などを省略できる点でメリットがある。一方で、バルクフィーダ２０は、キャリアテープのように整列されていないバルク状態で収容された部品９２を供給するため、部品９２の供給状態が吸着ノズル１３４などの保持部材による採取動作に影響し得る。

【0022】

詳細には、供給領域Ａｓにおいて部品９２同士が接触するほど接近していたり堆積（上下方向に重なり合っている状態）していたりすると、採取対象にすることができない。また、供給領域Ａｓに不規則な姿勢で部品９２が供給されると、供給状態（部品９２の採取可否、および採取可能な部品９２の姿勢）を認識するための画像処理が必要となる。そのため、バルクフィーダ２０には、供給領域Ａｓにおいて採取可能な複数の部品９２が必要数に不足することなく供給され、さらには適宜分散した状態にあることが望まれる。

【0023】

これに対して、バルクフィーダ２０には、供給領域Ａｓに部品９２が到達する前に、例えば搬送路上に設けられた整列機構によって複数の部品９２を一列に整列させる構成を採用することが想定される。しかしながら、上記のような構成では、搬送路上の整列機構を設ける必要があるとともに、さらに整列された状態を維持して部品９２を供給領域Ａｓまで搬送する必要がある。そこで、本実施形態のバルクフィーダ２０は、振動を用いた部品９２の搬送を行うとともに、供給領域Ａｓにおいて振動を用いて部品９２を整列する構成を採用する。

【0024】

２－１．フィーダ本体２１
バルクフィーダ２０は、図２に示すように、フィーダ本体２１を備える。フィーダ本体２１は、扁平な箱状に形成される。フィーダ本体２１は、部品供給装置１２のスロット１２１にセットされる。フィーダ本体２１の前部には、コネクタ２１１および２つのピン２１２が形成される。コネクタ２１１は、バルクフィーダ２０がスロット１２１にセットされると、部品装着機１０の本体側と通信可能に接続する。また、バルクフィーダ２０は、コネクタ２１１を介して給電される。２つのピン２１２は、フィーダ本体２１がスロット１２１にセットされる際の位置決めに用いられる。

【0025】

２－２．部品ケース２２、排出装置２３、カバー２４
本実施形態においてフィーダ本体２１には、複数の部品９２をバルク状態で収容する部品ケース２２が着脱可能に取り付けられる。部品ケース２２は、外部へ部品９２を排出可能に構成される。本実施形態において、部品ケース２２は、バルクフィーダ２０の外部装置であって、例えば種々のタイプのものから装着処理に適合する一つが選択されて、フィーダ本体２１に取り付けられる。

【0026】

バルクフィーダ２０は、排出装置２３を備える。排出装置２３は、部品ケース２２から排出させる部品９２の数量を調整する。排出装置２３は、部品ケース２２から排出された複数の部品９２を後述する軌道部材３０の受容領域Ａｒに供給する。バルクフィーダ２０は、カバー２４を備える。カバー２４は、フィーダ本体２１の前側上部に着脱可能に取り付けられる。カバー２４は、後述する軌道部材３０の搬送路Ｒを搬送される部品９２の外部への飛散を防止する。

【0027】

２－３．軌道部材３０
バルクフィーダ２０は、軌道部材３０を備える。軌道部材３０は、フィーダ本体２１の前側上部に設けられる。軌道部材３０は、図３および図４に示すように、フィーダ本体２１の前後方向（図３および図４の左右方向）に延伸するように形成される。軌道部材３０の幅方向（図４の上下方向）の両縁には、上方に突出する一対の側壁３１が形成される。一対の側壁３１は、軌道部材３０の先端部３２とともに搬送路Ｒの周縁を囲い、搬送路Ｒを搬送される部品９２の漏出を防止する。先端部３２の上面には、バルクフィーダ２０の基準位置を示す円形の基準マーク３３が付される。

【0028】

上記のような構成からなる軌道部材３０は、受容領域Ａｒ、供給領域Ａｓ、および搬送路Ｒを有する。ここで、「受容領域Ａｒ」とは、部品ケース２２から排出されるバルク状態の部品９２を受容する領域である。本実施形態の受容領域Ａｒは、部品ケース２２の排出口の下方に位置する。また、「供給領域Ａｓ」とは、部品９２を供給する領域である。換言すると、装着ヘッド１３３に支持された吸着ノズル１３４により部品９２を採取可能な領域であり、装着ヘッド１３３の可動範囲に含まれる。

【0029】

また、軌道部材３０の「搬送路Ｒ」とは、受容領域Ａｒから供給領域Ａｓへの部品９２の通り道である。本実施形態において、搬送路Ｒは、溝底面が水平となる溝形状に形成される。搬送路Ｒの溝側面は、一対の側壁３１により形成される。搬送路Ｒの上側の溝開口は、カバー２４により概ね閉塞される。軌道部材３０は、前後方向および上下方向により形成される仮想的な垂直面において、フィーダ本体２１に対して僅かに変位可能（即ち、振動可能）に支持される。

【0030】

２－４．加振装置４０
バルクフィーダ２０は、加振装置４０を備える。加振装置４０は、フィーダ本体２１に設けられる。加振装置４０は、搬送路Ｒ上の部品９２が搬送されるように軌道部材３０に振動を付与する。具体的には、加振装置４０は、複数の第一支持部４１、複数の第一圧電素子４２、複数の第二支持部４３、複数の第二圧電素子４４、および駆動部４５を有する。第一支持部４１および第二支持部４３は、フィーダ本体２１と軌道部材３０とを連結する連結部材である。

【0031】

第一支持部４１は、鉛直方向に対して前方に傾斜して延伸した形状に形成される。第二支持部４３は、鉛直方向に対して後方に傾斜して延伸した形状に形成される。第一圧電素子４２および第二圧電素子４４は、駆動部４５から給電される電力に応じた周波数で振動する。第一圧電素子４２は、第一支持部４１に貼付されている。第二圧電素子４４は、第二支持部４３に貼付されている。第一圧電素子４２が振動すると、第一支持部４１を介して軌道部材３０に振動が付与される。同様に、第二圧電素子４４が振動すると、第二支持部４３を介して軌道部材３０に振動が付与される。

【0032】

また、第一圧電素子４２または第二圧電素子４４に印加する電圧に応じて、軌道部材３０の振幅が変動する。加振装置４０は、前方に傾斜する第一支持部４１に貼付された第一圧電素子４２を振動させることによって軌道部材３０に振動を付与する。これにより、加振装置４０は、搬送路Ｒにおける部品９２の搬送方向に直交する水平方向（図３の前後方向）において軌道部材３０に時計回りの楕円運動をさせる。このとき、加振装置４０は、搬送路Ｒ上の部品９２に対して前方且つ上方に向かう外力が加えられるように軌道部材３０を振動させる。

【0033】

また、加振装置４０は、後方に傾斜する第二支持部４３に貼付された第二圧電素子４４を振動させることによって軌道部材３０に振動を付与する。これにより、加振装置４０は、搬送路Ｒにおける部品９２の搬送方向に直交する水平方向（図３の前後方向）において軌道部材３０に反時計回りの楕円運動をさせる。このとき、加振装置４０は、搬送路Ｒ上の部品９２に対して後方且つ上方に向かう外力が加えられるように軌道部材３０に振動させる。

【0034】

駆動部４５は、後述するフィーダ制御装置７０の指令に基づいて、第一圧電素子４２および第二圧電素子４４に供給する電力の周波数、および印加電圧を変動させる。これにより、軌道部材３０に付与される振動の周波数および振幅が調整され、軌道部材３０の楕円運動の回転方向が定まる。軌道部材３０の振動の周波数や振幅、振動による楕円運動の回転方向が変動すると、搬送される部品９２の搬送速度、部品９２の分散度合い、および搬送方向などが変動する。

【0035】

上記のような構成により、加振装置４０は、軌道部材３０に所定の振動を付与し、部品ケース２２から軌道部材３０の受容領域Ａｒに排出された複数の部品９２を、搬送路Ｒを介して供給領域Ａｓへと搬送可能とする。以下では、搬送路Ｒ上の部品９２を供給領域Ａｓへ向かう方向に搬送する加振装置４０の動作を「送り動作」とする。また、搬送路Ｒ上の部品９２を受容領域Ａｒへ向かう方向に搬送する加振装置４０の動作を「戻し動作」とする。なお、加振装置４０の送り動作および戻し動作の切り換えによって、軌道部材の楕円運動は、逆回転となる。

【0036】

２－５．整列部材５０
バルクフィーダ２０は、整列部材５０を備える。整列部材５０は、軌道部材３０のうち供給領域Ａｓに設けられる。整列部材５０は、軌道部材３０の振動に伴って搬送される複数の部品９２を案内してフィーダ本体２１に対して整列させる。部品９２を整列させる整列部材５０には、例えば以下の第一態様－第四態様を採用し得る。

【0037】

２－５－１．整列部材５０の第一態様
第一態様における整列部材５０Ａは、図５に示すように、複数の部品９２を個々に収容する複数のキャビティ５１を有する。詳細には、複数のキャビティ５１は、供給領域Ａｓにおいてマトリックス状に配列される。例えば、整列部材５０Ａは、規則的に搬送方向に１０個、搬送路Ｒの幅方向に１２個それぞれ配列された計１２０個のキャビティ５１を有する。

【0038】

また、複数のキャビティ５１のそれぞれは、図６に示すように、搬送路Ｒの上面において開口し、部品９２の厚み方向が上下方向となる姿勢で部品９２を収容する。キャビティ５１の開口は、上方視における部品９２の外形状よりも僅かに大きくなる寸法に設定される。キャビティ５１の深さＤｃは、部品９２の種類（形状、質量など）に応じて適宜設定することが可能である。キャビティ５１の深さＤｃを浅く設定し、部品９２が搬送路Ｒの上面より突出する状態では、採取動作における吸着ノズル１３４と整列部材５０Ａの干渉を確実に防止できる。

【0039】

一方で、キャビティ５１の深さＤｃを深く設定し、部品９２が搬送路Ｒの上面より低い状態では、キャビティ５１に一旦収容された部品９２が再び抜け出すことが低減される。そこで、第一態様の整列部材５０Ａにおける複数のキャビティ５１のそれぞれの深さＤｃは、部品９２の厚みＴｐ以上に設定される。但し、キャビティ５１の深さＤｃが深すぎると、部品９２を収容した状態のキャビティ５１の上側を別の部品９２が搬送方向に移動することを妨げるおそれがある。

【0040】

そのため、キャビティ５１の深さＤｃは、キャビティ５１に収容された状態の部品９２の上端が搬送路Ｒの上面より僅かに低くなるように設定されると好適である。上記のように、キャビティ５１の形状（開口、深さなど）は、適宜設定される。第一態様の整列部材５０Ａのキャビティ５１の形状は、当該部品９２がキャリアテープに収納されてテープフィーダにより供給されると仮定したときに、そのキャリアテープに形成されるキャビティの形状に類似する。

【0041】

２－５－２．整列部材５０の第二態様
第二態様における整列部材５０Ｂは、第一態様と比較して、部品９２の収納方向が異なる。具体的には、複数のキャビティ５１のそれぞれは、図７に示すように、搬送路Ｒの上面において開口し、部品９２の長手方向が上下方向となる姿勢で部品９２を収容する。このような構成によると、部品９２を上記のような姿勢で供給することが可能となる。また、キャビティ５１の開口寸法を小さくできるので、限りのある供給領域Ａｓにおいてキャビティ５１を比較的多く配列することが可能となる。

【0042】

第二態様の整列部材５０Ｂのキャビティ５１の深さＤｃは、適宜設定することが可能である。例えば、キャビティ５１の深さは、部品９２の長手方向の長さＬｐよりも僅かに大きく設定され、収納された部品９２の上端が搬送路Ｒの上面より低くなるように設定される。また、このような姿勢で部品９２を収容する態様では、一旦収容された部品９２が比較的安定しているので、部品９２の上端が搬送路Ｒの上面よりも高くなるようにキャビティ５１の深さＤｃが設定されてもよい。

【0043】

２－５－３．整列部材５０の第三態様
第三態様における整列部材５０Ｃは、第一態様と比較して、キャビティ５１の形状、および数が異なる。具体的には、整列部材５０Ｃは、規則的に搬送方向に６個、搬送路Ｒの幅方向に８個それぞれ配列された計４８個のキャビティ５１を有する。第三態様の整列部材５０Ｃは、第一態様と比較して、バルクフィーダ２０が供給する部品９２の寸法が大きなものに対応するために、上記のような形状および数からなるキャビティ５１を有する。

【0044】

なお、第一態様および第三態様に示すように、キャビティ５１の形状は、部品９２の形状および収容する姿勢によって適宜設定される。そして、キャビティ５１の形状が設定されると、供給領域Ａｓにおける１個辺りのキャビティ５１の占有面積が定まる。さらに、キャビティ５１の形状、必要数、搬送性に影響し得る密集度を加味して、整列部材５０におけるキャビティ５１の数が適宜設定される。

【0045】

第一態様－第三態様の整列部材５０Ａ－５０Ｃにおけるキャビティ５１の数は、１回のＰＰサイクルにおける採取動作によって採取される部品９２の最大数よりも多く設定される。なお、上記の「最大数」は、装着ヘッド１３３が支持する吸着ノズル１３４の数に相当する。本実施形態において、装着ヘッド１３３は、２４本の吸着ノズル１３４を支持することから、キャビティ５１の数は、少なくとも２４個より多くなるように設定されている。

【0046】

その他に、第一態様－第三態様を含む整列部材５０は、上部に位置する部品９２またはキャビティ５１に収容された部品９２に作用する磁石（図示しない）を有する構成としてもよい。具体的には、磁石は、キャビティ５１の底部よりも深い部位に埋め込まれる。磁石の磁力が整列部材５０の上部まで作用する大きさの場合には、磁石は、キャビティ５１に部品９２を磁力により誘導する。これにより、複数のキャビティ５１に部品９２が効率的に収容される。

【0047】

また、磁石の磁力が整列部材５０の上部まで作用せずキャビティ５１に収容された部品９２に作用する大きさの場合には、磁石は、キャビティ５１に収容された部品９２を磁力により保持する。これにより、一旦収容された部品９２の飛び出しを防止できる。なお、上記の磁石は、永久磁石でもよいし、電磁石であってもよい。また、磁石は、複数のキャビティ５１の底部に配置された素材を磁化したものでもよい。さらに、磁石は、複数のキャビティ５１ごとに配置されてもよいし、一部または全部に作用するように配置されてもよい。

【0048】

２－５－４．整列部材５０の第四態様
第四態様における整列部材５０Ｄは、キャビティ５１に換えて複数の整列溝５５および複数の案内部５６を有する。複数の整列溝５５のそれぞれは、図９に示すように、搬送方向に延伸するように形成される。整列溝５５の溝幅は、部品９２の幅Ｗｐよりも僅かに広く、部品９２の長さＬｐよりも短い溝幅に形成される。

【0049】

複数の案内部５６のそれぞれは、整列溝５５の搬送方向の後側に連通し、搬送方向の後側に向かうに従って開口幅が大きくなる漏斗形状に形成される。このような第四態様の整列部材５０Ｄの構成によると、送り動作により搬送される部品９２は、搬送方向の前側に搬送されるに従って整列溝５５に案内される。部品９２は、さらに搬送方向の前側に搬送されると長手方向が搬送方向に向くように整列される。

【0050】

複数の部品９２は、それぞれの整列溝５５に収容された状態で、整列溝５５の前端に到達するまで順次搬送される。このような構成によると、整列された複数の部品９２が整列溝５５に沿って順次供給することができる。また、整列部材５０Ｄには、部品９２同士が堆積していた場合に、上側の部品９２の搬送を規制する規制部材をさらに有してもよい。これにより、複数の部品９２を整列させることができる。

【0051】

２－６．フィーダ制御装置７０
バルクフィーダ２０は、フィーダ制御装置７０を備える。フィーダ制御装置７０は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。フィーダ制御装置７０は、バルクフィーダ２０がスロット１２１にセットされた状態において、コネクタ２１１を介して給電され、また部品装着機１０の制御装置１６と通信可能な状態となる。

【0052】

フィーダ制御装置７０は、図３に示すように、記憶部７１を有する。記憶部７１は、フラッシュメモリなどにより構成される。記憶部７１には、部品供給処理の制御に用いられるプログラムや搬送パラメータＦ１などの各種データが記憶される。上記の「搬送パラメータＦ１」は、部品供給処理において部品９２を搬送する際に、軌道部材３０に付与する振動が適正となるように加振装置４０の動作を制御するためのパラメータであり、例えば部品９２の種類ごとに関連付けて予め設定される。

【0053】

フィーダ制御装置７０は、搬送制御部７２を有する。搬送制御部７２は、加振装置４０の動作を制御して、上記の送り動作、および戻し動作を実行する。詳細には、搬送制御部７２は、送り動作を実行する場合に、加振装置４０の駆動部４５に対して指令を送出する。これにより、駆動部４５が第一圧電素子４２に所定の電力を供給することにより、第一支持部４１を介して軌道部材３０に振動が付与される。結果として、搬送路Ｒ上の部品９２が搬送方向の前側に移動するように外力を受けて搬送される。

【0054】

また、搬送制御部７２は、加振装置４０の送り動作および戻し動作の実行時間などを組み合わせることにより種々の搬送態様を実現する。例えば、整列部材５０が複数のキャビティ５１を有する場合に、搬送制御部７２は、以下のような収容工程および退避工程を実行してもよい。上記の「収容工程」とは、搬送路Ｒ上の複数の部品９２の少なくとも一部が供給領域Ａｓに到達するまで送り動作を実行して、複数のキャビティ５１の少なくとも一部に部品９２を収容させる工程である。

【0055】

このとき、搬送制御部７２は、収容工程において、搬送路Ｒ上の複数の部品９２の少なくとも一部が供給領域Ａｓに到達した後に、送り動作および戻し動作を繰り返し実行して、軌道部材３０が振動した状態で供給領域Ａｓに複数の部品９２を滞留させるようにしてもよい。また、上記の「退避工程」とは、収容工程を実行した後に、搬送路Ｒ上の複数の部品９２の少なくとも一部が複数のキャビティ５１に収容された状態で戻し動作を実行して、残りの部品９２を供給領域Ａｓから受容領域Ａｒ側に退避させる工程である。

【0056】

搬送制御部７２は、各工程における送り動作や戻し動作の実行時間、収容工程における滞留の動作の時間や繰り返し動作の実行回数を適宜設定することができる。また、搬送路Ｒ上の部品９２の残数によっては、収容工程における滞留の動作や、退避工程を省略してもよい。さらに、搬送制御部７２は、部品ケース２２に収容された部品９２の種類に応じて、加振装置４０により軌道部材３０に付与される振動の周波数、および振幅の少なくとも一方を調整してもよい。

【0057】

詳細には、バルクフィーダ２０に部品ケース２２が取り付けられる際に、部品ケース２２に補充された部品９２の種類と、バルクフィーダ２０の識別情報とが照合される。そして、バルクフィーダ２０がスロット１２１にセットされると、搬送制御部７２は、搬送パラメータＦ１から部品９２の種類に応じたパラメータを取得する。これにより、搬送制御部７２は、加振装置４０の駆動部４５に送出する指令を調整する。

【0058】

結果として、加振装置４０により軌道部材３０に付与される振動の周波数などが部品の種類に応じて調整される。上記の搬送パラメータＦ１は、部品９２の種類に加えて、整列部材５０に採用される各種態様によっても適宜切り換えられる構成としてもよい。これにより、収容工程や滞留の動作、退避工程が好適に実行される。さらに、搬送パラメータＦ１は、過去に実行された部品供給処理の結果（成功率などを含む）に基づいて、管理者によりアップデートされてもよい。

【0059】

３．整列部材５０、軌道部材３０の交換性
ここで、バルクフィーダ２０の整列部材５０は、軌道部材３０に対して交換可能に取り付けられる構成としてもよい。具体的には、バルクフィーダ２０のセットアップに際して、図１０に示すように、例えば第一態様－第四態様に対応した複数種類の整列部材５０Ａ－５０Ｄが交換可能に準備される。そして、バルクフィーダ２０は、供給する部品９２の種類に対応して互いの形状が異なる複数種類の整列部材５０Ａ－５０Ｄから選択された１つを軌道部材３０に取り付けられる。

【0060】

このような構成によると、バルクフィーダ２０は、フィーダ本体２１や軌道部材３０、加振装置４０を共通にし、整列部材５０の交換によって部品９２の種類や供給態様に対応することが可能となる。これにより、バルクフィーダ２０の利用範囲を拡大することができ、基板製品の生産コストを低減できる。

【0061】

さらに、バルクフィーダ２０の軌道部材３０は、フィーダ本体２１に対して交換可能に取り付けられる構成としてもよい。このとき、整列部材５０は、軌道部材３０に対して一体的に形成されるようにしてもよいし、交換可能としてもよい。具体的には、バルクフィーダ２０のセットアップに際して、図１０に示すように、例えば第一態様－第四態様に対応した複数種類の整列部材５０Ａ－５０Ｄが形成された複数種類の軌道部材３０Ａ－３０Ｄが交換可能に準備される。

【0062】

そして、バルクフィーダ２０は、供給する部品９２の種類に対応して互いの形状が異なる複数種類の整列部材５０Ａ－５０Ｄの一つを形成された複数種類の軌道部材３０Ａ－３０Ｄから選択された１つをフィーダ本体２１に取り付けられる。このような構成によると、バルクフィーダ２０は、フィーダ本体２１や加振装置４０を共通にし、軌道部材３０の交換によって部品９２の種類や供給態様に対応することが可能となる。これにより、バルクフィーダ２０の利用範囲を拡大することができ、基板製品の生産コストを低減できる。

【0063】

４．部品装着機１０による装着処理
部品装着機１０による装着処理について図１１および図１２を参照して説明する。ここで、バルクフィーダ２０は、複数のキャビティ５１がマトリックス状に形成された整列部材５０を備える構成とする。また、上記のバルクフィーダ２０がスロット１２１にセットされた後に、制御装置１６は、キャリブレーション処理を実行し、機内における整列部材５０の位置を認識する。

【0064】

上記のキャリブレーション処理において、制御装置１６は、先ず基板カメラ１５をバルクフィーダ２０の基準マーク３３の上方に移動させて、基板カメラ１５の撮像により画像データを取得する。そして、制御装置１６は、画像処理により画像データに含まれる基準マーク３３の位置、および撮像した際の基板カメラ１５の位置に基づいて、機内における整列部材５０の位置を認識する。

【0065】

また、制御装置１６は、バルクフィーダ２０が備える整列部材５０の形状、即ち複数のキャビティ５１の位置関係を示す配列情報を備える。制御装置１６は、上記の配列情報を、バルクフィーダ２０のフィーダ制御装置７０から取得してもよいし、基準マーク３３を撮像して取得された画像データに基づいて識別した整列部材５０の種類に対応して上位装置などから取得してもよい。制御装置１６は、キャリブレーション処理によって、整列部材５０の位置、詳細には個々のキャビティ５１の位置を認識する。

【0066】

装着処理において、先ず、部品装着機１０の基板搬送装置１１は、基板９１の搬入処理を実行する（Ｓ１１）。これにより、機内に基板９１が搬入されるとともに、機内の所定位置に位置決めされる。制御装置１６は、Ｓ１１の後に、またはＳ１１に並行して、バルクフィーダ２０による第一部品供給処理を実行する。具体的には、先ずバルクフィーダ２０に供給領域Ａｓにおいて部品９２を整列させる整列処理を実行させる（Ｓ２１）。これにより、バルクフィーダ２０の搬送制御部７２は、上記の収容工程や退避工程を実行する。

【0067】

次に、制御装置１６は、供給領域Ａｓにおける部品９２の供給状態の認識処理を実行する（Ｓ２２）。具体的には、制御装置１６は、先ず基板カメラ１５をバルクフィーダ２０の供給領域Ａｓにおける整列部材５０の上方に移動させて、基板カメラ１５の撮像により画像データＭを取得する。そして、制御装置１６は、図１２に示すように、画像データＭに所定の画像処理を実行し、複数のキャビティ５１にそれぞれ収容された部品９２を認識する。

【0068】

詳細には、制御装置１６は、画像処理された画像データＭにおいて、キャリブレーション処理により認識した複数のキャビティ５１の位置、および部品９２の姿勢に基づいて、採取可能か否かを判定する。具体的には、制御装置１６は、キャビティ５１に適正に収容されている部品９２について採取可能と判定する（図１２の「ＯＫ」）。制御装置１６は、キャビティ５１に傾斜するなど不適正な姿勢で収容されている部品９２や、互いに堆積した状態の複数の部品９２について採取不可と判定する（図１２の「ＮＧ」）。

【0069】

上記のように、制御装置１６は、供給状態の認識処理（Ｓ２２）において、画像データＭに対する画像処理によって複数のキャビティ５１に部品９２が採取可能に収容されているか否かを示す供給状態を認識する。なお、制御装置１６は、これに加えて、採取可能な部品９２を対象として、当該部品９２の位置を認識してもよい。即ち、制御装置１６は、基準位置の座標値を割り出す。

【0070】

上記の採取可能部品の「基準位置」とは、部品９２の上面のうち任意に設定される位置であり、採取動作に吸着ノズル１３４が用いられる場合に、例えば吸着ノズル１３４による吸着に適した部品９２の中心や重心、平坦領域などに設定される。制御装置１６は、画像処理において、採取可能部品について例えば外形や中心位置などを認識することによって、採取可能部品における基準位置の座標値を割り出す。

【0071】

続いて、制御装置１６は、供給状態の認識処理（Ｓ２２）の結果において採取可能な部品９２の数（供給数）が、今回のＰＰサイクルにおいて採取予定である部品９２の数未満である場合に（Ｓ２３：Ｎｏ）、バルクフィーダ２０に再度の整列処理（Ｓ２１）を実行させる。例えば、今回のＰＰサイクルの採取動作において２４本の吸着ノズル１３４のうち２０本でバルクフィーダ２０により供給される部品９２を採取する場合には、採取予定である部品９２の数（必要数）は、２０個となる。

【0072】

このように、制御装置１６は、現在の供給領域Ａｓにおける部品９２の供給状態で、今回のＰＰサイクルにおける必要数の部品９２が採取可能でないと、整列処理（Ｓ２１）および供給状態の認識処理（Ｓ２２）を繰り返し実行する。なお、必要数が多数の場合には、必要数のうち現在の供給数だけ先に採取し、その後に整列処理（Ｓ２１）および供給状態の認識処理（Ｓ２２）を実行して再度の採取を試行するようにしてもよい。

【0073】

一方で、現在の供給数が今回のＰＰサイクルの必要数以上である場合に（Ｓ２３：Ｙｅｓ）、制御装置１６は、ＰＰサイクルを実行する。ＰＰサイクルにおいて、制御装置１６は、複数の吸着ノズル１３４を用いて部品を採取する採取動作を繰り返し実行する（Ｓ１２）。このとき、制御装置１６は、供給状態の認識処理（Ｓ２２）の結果に基づいて、採取可能な部品９２の位置に応じて装着ヘッド１３３を順次位置決めするように、採取動作における装着ヘッド１３３の動作を制御する。

【0074】

ここで、供給状態の認識処理（Ｓ２２）の結果は、複数のキャビティ５１ごとに採取可能な部品９２があるか否かであるものとする。この場合に、制御装置１６は、採取動作において、部品９２を採取可能に収容するキャビティ５１の中心に吸着ノズル１３４を位置決めするように装着ヘッド１３３の動作を制御する。また、供給状態の認識処理（Ｓ２２）の結果に、採取可能部品における基準位置の座標値が含まれる場合に、制御装置１６は、キャビティ５１の中心ではなく、上記の基準位置の座標値に吸着ノズル１３４を位置決めするように装着ヘッド１３３の動作を制御してもよい。

【0075】

続いて、制御装置１６は、複数の吸着ノズル１３４にそれぞれ保持された部品９２の保持状態の認識処理を実行する（Ｓ１３）。詳細には、制御装置１６は、装着ヘッド１３３を部品カメラ１４の上方に移動させ、部品カメラ１４に撮像指令を送出する。制御装置１６は、部品カメラ１４の撮像により取得された画像データを画像処理して、複数の吸着ノズル１３４のそれぞれに保持された部品９２の姿勢（位置および角度）を認識する。

【0076】

その後に、制御装置１６は、複数の吸着ノズル１３４を用いて部品を装着する装着動作を繰り返し実行する（Ｓ１４）。なお、この装着動作（Ｓ１４）では、制御装置１６は、制御プログラムにて指定される装着位置に、部品９２をそれぞれ装着するように装着ヘッド１３３の動作を制御する。さらに、装着ヘッド１３３は、装着位置に対して、認識処理（Ｓ１３）の結果に基づいて、吸着ノズル１３４が位置決めおよび角度決めされるように装着ヘッド１３３の動作を制御する。

【0077】

また、制御装置１６は、上記のような今回のＰＰサイクルの採取動作（Ｓ１２）が終了してから次回のＰＰサイクルの採取動作（Ｓ１２）が開始するまでの期間において、バルクフィーダ２０に供給領域Ａｓにおいて部品９２を整列させる整列処理を実行させる（第二部品供給処理）。具体的には、制御装置１６は、今回のＰＰサイクルの採取動作（Ｓ１２）が終了した後に、現在の供給数が次回のＰＰサイクルの必要数未満である場合に（Ｓ３１：Ｎｏ）、バルクフィーダ２０に先行の整列処理（Ｓ３２）を実行させる。この先行の整列処理（Ｓ３２）は、整列処理（Ｓ２１）と同様であるため詳細な説明を省略する。

【0078】

一方で、制御装置１６は、現在の供給数が次回のＰＰサイクルの必要数以上である場合に（Ｓ３１：Ｙｅｓ）、または整列処理（Ｓ３２）の実行後に、今回のＰＰサイクルと並列に実行した第二部品供給処理を終了する。制御装置１６は、制御プログラムに基づいて、全てのＰＰサイクルが終了したか否かを判定する（Ｓ１５）。全てのＰＰサイクルが終了していない場合には（Ｓ１５：Ｎｏ）、直前のＰＰサイクルの実行中に先行の整列処理（Ｓ３２）が実行されたか否かを判定する（Ｓ１６）。

【0079】

先行の整列処理（Ｓ３２）が実行された場合には（Ｓ１６：Ｙｅｓ）、現在の供給領域Ａｓの状態が不明であるため、制御装置１６は、第一部品供給処理における供給状態の認識処理（Ｓ２２）から再度実行し、次回のＰＰサイクル（Ｓ１２－Ｓ１４）を実行する。一方で、先行の整列処理（Ｓ３２）が実行されなかった場合には（Ｓ１６：Ｎｏ）、第一部品供給処理を省略して、次回のＰＰサイクル（Ｓ１２－Ｓ１４）を実行する。

【0080】

このように、キャビティ５１の数によっては、第一部品供給処理における供給状態の認識処理（Ｓ２２）の結果において採取可能な部品９２の数（供給数）が、今回のＰＰサイクルと次回のＰＰサイクルとにおいて採取予定である部品９２の数の和以上であることがある。このような場合に、制御装置１６は、今回のＰＰサイクルの採取動作が終了した後に予定されていた次回のＰＰサイクル用の整列処理（Ｓ２１）の実行を省略する。さらに、制御装置１６は、先に実行された供給状態の認識処理（Ｓ２２）の結果に基づいて次回のＰＰサイクルの採取動作（Ｓ１２）における装着ヘッド１３３の動作を制御する。

【0081】

全てのＰＰサイクルが終了した場合に（Ｓ１５：Ｙｅｓ）、制御装置１６は、基板９１の搬出処理を実行する（Ｓ１７）。基板９１の搬出処理において、基板搬送装置１１は、位置決めされていた基板９１をアンクランプするとともに、部品装着機１０の機外に基板９１を搬出する。

【0082】

上記のような構成によると、バルクフィーダ２０は、整列部材５０を用いて供給領域Ａｓに複数の部品９２を整列させる。これにより、採取可能な供給数を確保するために供給領域Ａｓを拡大することなく、効率的に供給領域Ａｓにおいて部品９２を供給することが可能となる。結果として、バルクフィーダ２０の幅方向の小型化を図りつつ好適に複数の部品９２を採取可能に供給することができる。また、供給領域Ａｓにおいて部品が整列された状態なので、バルク状態で供給される構成と比較して供給領域Ａｓにおける部品９２の供給状態の認識処理（Ｓ２２）の負荷を軽減できる。

【0083】

５．実施形態の変形態様
実施形態において、装着ヘッド１３３は、複数の吸着ノズル１３４を昇降可能に支持するロータリヘッドを備える構成とした。これに対して、装着ヘッド１３３は、図１３に示すように、２つの吸着ノズル１３４を独立して昇降可能に、且つ所定の間隔（ノズルピッチＰｎ）で支持してもよい。また、バルクフィーダ２０の整列部材５０は、供給領域Ａｓにおいて複数の部品９２を規定間隔Ｐｓで整列させる。

【0084】

上記のような構成において、装着ヘッド１３３は、ノズルピッチＰｎが規定間隔Ｐｓの整数（Ｎ）倍の間隔となるように２つの吸着ノズル１３４を支持する。そして、制御装置１６は、採取動作（Ｓ１２）において、装着ヘッド１３３の水平方向位置を維持させた状態で、２つの吸着ノズル１３４の昇降の少なくとも一部が重複するように動作させることにより２つの部品９２を採取させる。

【0085】

このような構成によると、部品装着機１０は、ＰＰサイクルの採取動作において、例えば複数の吸着ノズル１３４の昇降動作を同時に実行することができるので、採取動作の所要時間を短縮することができる。また、装着ヘッド１３３がロータリヘッドを備える構成において、２つの吸着ノズル１３４を昇降させる昇降装置を複数備える構成であれば、上記と同様の採取動作を実行することができる。

【符号の説明】

【0086】

１０：部品装着機、 １２：部品供給装置、 １３：部品移載装置、 １３３：装着ヘッド、 １３４：吸着ノズル（保持部材）、 １４：部品カメラ、 １５：基板カメラ、 １６：制御装置、 ２０：バルクフィーダ、 ２１：フィーダ本体、 ２２：部品ケース、 ３０，３０Ａ－３０Ｄ：軌道部材、 ４０：加振装置、 ５０，５０Ａ－５０Ｄ：整列部材、 ５１：キャビティ、 ５５：整列溝、 ５６：案内部、 ７０：フィーダ制御装置、 ７２：搬送制御部、 ９１：基板、 ９２：部品、 Ａｒ：受容領域、 Ａｓ：供給領域、 Ｒ：搬送路、 Ｄｃ：（キャビティの）深さ、 Ｐｓ：（キャビティの）規定間隔、 Ｐｎ：ノズルピッチ（吸着ノズル（保持部材）の間隔）、 Ｆ１：搬送パラメータ、 Ｍ：画像データ、 Ｔｐ：（部品の）厚み、 Ｗｐ：（部品の）幅、 Ｌｐ：（部品の）長さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】