特許 7426560 メッキ用パターン版及び配線基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-25

(45)【発行日】2024-02-02

(54)【発明の名称】メッキ用パターン版及び配線基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/20 20060101AFI20240126BHJP

   H05K 3/18 20060101ALI20240126BHJP

   C23C 18/32 20060101ALI20240126BHJP

【ＦＩ】

H05K3/20 B

H05K3/18 J

C23C18/32

【請求項の数】 27

(21)【出願番号】P 2020565613

(86)(22)【出願日】2019-11-27

(86)【国際出願番号】 JP2019046283

(87)【国際公開番号】W WO2020144960

(87)【国際公開日】2020-07-16

【審査請求日】2022-09-02

(31)【優先権主張番号】P 2019002739

(32)【優先日】2019-01-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106116

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 健司

(74)【代理人】

【識別番号】100131495

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 健児

(72)【発明者】

【氏名】二連木 隆佳

(72)【発明者】

【氏名】井口 秀郎

【審査官】黒田 久美子

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－１２７４０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２６６３２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１８３５１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－１５９７８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第４７９８４３９（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開平１１－２７４６９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ ３／２０

Ｈ０５Ｋ ３／１８

Ｃ２３Ｃ １８／３２

Ｃ２５Ｄ ７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

メッキによって形成された転写パターンを基板に転写するためのメッキ用パターン版であって、
基材と、
前記基材に設けられた複数の転写部と、
を備え、
前記複数の転写部のぞれぞれは、前記転写パターンがメッキにより形成されるように構成された転写面を有し、
前記複数の転写部は互いに電気的に独立するように前記基材に配置されている、メッキ用パターン版。

【請求項2】

前記基材は透光性である、請求項１に記載のメッキ用パターン版。

【請求項3】

前記複数の転写部の前記転写面は鉄とニッケルとを含有する、請求項１または２に記載のメッキ用パターン版。

【請求項4】

前記複数の転写部は電気メッキにより形成されている、請求項３に記載のメッキ用パターン版。

【請求項5】

前記複数の転写部は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率となる合金から形成されている、請求項３または４に記載のメッキ用パターン版。

【請求項6】

前記複数の転写部において、前記鉄と前記ニッケルとの合計に対する前記鉄の比率が２０％以上である、請求項５に記載のメッキ用パターン版。

【請求項7】

前記複数の転写部の厚みは０．１μｍ以上である、請求項１から６のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項8】

前記複数の転写部のそれぞれは、
前記転写面を有して鉄とニッケルとを含有する第一の金属層と、
前記第一の金属層を支持する１つ以上の層よりなる第二の金属層と、
を有する、請求項１から７のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項9】

平面視において前記複数の転写部以外の領域に配置された樹脂部をさらに備え、
前記樹脂部はフッ素を含む、請求項１から８のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項10】

請求項１から９のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版を準備するステップと、
前記メッキ用パターン版の前記複数の転写部の前記転写面にメッキによって前記転写パターンを形成するステップと、
前記転写パターンを前記基板に転写するステップと、
を含む、配線基板の製造方法。

【請求項11】

前記転写パターンを形成する前記ステップは、前記メッキ用パターン版の前記複数の転写部の前記転写面に無電解メッキによって前記転写パターンを形成するステップを含む、請求項１０に記載の配線基板の製造方法。

【請求項12】

前記転写パターンに無電解メッキによって導電パターンを形成するステップをさらに含む、請求項１０または１１に記載の配線基板の製造方法。

【請求項13】

前記転写パターンを形成する前記ステップの前に、前記メッキ用パターン版の前記複数の転写部の前記転写面に離型処理を施すステップをさらに含む、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。

【請求項14】

前記配線基板は、タッチパネル用の配線基板である、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。

【請求項15】

メッキによって形成された転写パターンを基板に転写するためのメッキ用パターン版であって、
透光性の基材と、
前記基材に設けられた転写部と、
平面視において前記転写部以外の領域に配置された樹脂部と、
を備え、
前記樹脂部は光硬化性樹脂により形成されており、
前記転写部は、前記転写パターンがメッキにより形成されるように構成された転写面を有する、メッキ用パターン版。

【請求項16】

前記転写部の前記転写面は鉄とニッケルとを含有する、請求項１５に記載のメッキ用パターン版。

【請求項17】

前記転写部は電気メッキにより形成されている、請求項１５または１６に記載のメッキ用パターン版。

【請求項18】

前記転写部は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率となる合金から形成されている、請求項１５から１７のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項19】

前記転写部において、前記鉄と前記ニッケルとの合計に対する前記鉄の比率が２０％以上である、請求項１８に記載のメッキ用パターン版。

【請求項20】

前記転写部の厚みは０．１μｍ以上である、請求項１５から１９のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項21】

前記転写部は、
前記転写面を有して鉄とニッケルとを含有する第一の金属層と、
前記第一の金属層を支持する１つ以上の層よりなる第二の金属層と、
を有する、請求項１５から２０のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項22】

前記樹脂部はフッ素を含む、請求項１５から２１のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版。

【請求項23】

請求項１５から２２のいずれか一項に記載のメッキ用パターン版を準備するステップと、
前記メッキ用パターン版の前記転写部の前記転写面にメッキによって前記転写パターンを形成するステップと、
前記転写パターンを前記基板に転写するステップと、
を含む、配線基板の製造方法。

【請求項24】

前記転写パターンを形成する前記ステップは、前記メッキ用パターン版の前記転写部の前記転写面に無電解メッキによって前記転写パターンを形成するステップを含む、請求項２３に記載の配線基板の製造方法。

【請求項25】

前記転写パターンに無電解メッキによって導電パターンを形成するステップをさらに含む、請求項２３または２４に記載の配線基板の製造方法。

【請求項26】

前記転写パターンを形成する前記ステップの前に、前記メッキ用パターン版の前記転写部の前記転写面に離型処理を施すステップをさらに含む、請求項２３から２５のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。

【請求項27】

前記配線基板は、タッチパネル用の配線基板である、請求項２３から２６のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、メッキ用パターン版及び配線基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば導体層パターン付き基板を製造する際には、基板に電解メッキを施すことにより導電パターンを形成する方法が知られている（例えば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第４７９８４３９号公報

【発明の概要】

【0004】

メッキ用パターン版は、メッキによって形成された転写パターンを基板に転写するように構成されている。このメッキ用パターン版は、基材と、基材に設けられた複数の転写部とを備える。複数の転写部のぞれぞれは、転写パターンがメッキにより形成されるように構成された転写面を有する。複数の転写部は互いに電気的に独立するように基材に配置されている。

【0005】

このメッキ用パターン版は、細線化された導電パターンの品質の安定化が可能である。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、実施の形態１に係るタッチパネルの平面図である。

【図2】図２は、実施の形態１に係るメッキ用パターン版の平面図である。

【図3】図３は、実施の形態１に係るメッキ用パターン版の部分断面図である。

【図4】図４は、実施の形態１に係るメッキ用パターン版の製造方法を示す図である。

【図5】図５は、実施の形態１に係る配線基板の製造方法を示す図である。

【図6A】図６Ａは、実施の形態１に係るメッキ用パターン版の実施例１～７と比較例との各条件及び評価結果を示す表を示す図である。

【図6B】図６Ｂは、実施の形態１に係る他のメッキ用パターン版の部分断面図である。

【図7】図７は、実施の形態２に係るメッキ用パターン版の部分断面図である。

【図8】図８は、実施の形態２に係るメッキ用パターン版の製造方法を示す図である。

【図9】図９は、実施の形態２に係る配線基板の製造方法を示す図である。

【図10】図１０は、実施の形態２に係る配線基板の他の製造方法を示す図である。

【図11】図１１は、実施の形態３に係るメッキ用パターン版の部分断面図である。

【図12】図１２は、実施の形態３に係るメッキ用パターン版の製造方法を示す図である。

【図13】図１３は、実施の形態４に係るメッキ用パターン版の部分断面図である。

【図14】図１４は、実施の形態４に係るメッキ用パターン版の製造方法を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、本開示の一態様に係るメッキ用パターン版について、図面を参照しながら具体的に説明する。

【0008】

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本開示の一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、工程、工程の順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0009】

（実施の形態１）
［１－１ タッチパネル］
図１は、実施の形態１に係るタッチパネル３００の概略構成を示す平面図である。図１では、タッチパネル３００の一辺に平行な方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交してタッチパネル３００の他の辺に平行な方向をＹ軸方向としている。

【0010】

図１に示すように、タッチパネル３００は、静電容量式のタッチパネルであり、配線基板３０１を有している。配線基板３０１は、基板３０２と、基板３０２の一方の主面に配置された導電パターン３１０と、基板３０２の他方の主面に配置された導電パターン３２０とを備えている。

【0011】

導電パターン３１０は、互いに平行に配置された複数の電極３１１と、複数の電極３１１のそれぞれから引き出された複数の引き出し配線３１２とを備えている。具体的には、複数の電極３１１のそれぞれは、Ｘ軸方向に沿って長尺であり、Ｙ軸方向に沿って配列されている。各電極３１１と、当該電極３１１に対応する引き出し配線３１２とは、他の電極３１１と他の引き出し配線３１２から電気的に独立するように基板３０２上に設けられている。つまり、一組の電極３１１と、引き出し配線３１２とは、他の組の電極３１１と引き出し配線３１２とに対して電気的に独立している。複数の引き出し配線３１２は、基板３０２における一端部に設けられたフレキシブル配線基板３３０に電気的に接続されている。

【0012】

導電パターン３２０は、互いに平行に配置された複数の電極３２１と、複数の電極３２１のそれぞれから引き出された複数の引き出し配線３２２とを備えている。具体的には、複数の電極３２１のそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って長尺であり、Ｘ軸方向に沿って配列されている。複数の電極３２１は、電極３１１と直交する方向に配置されている。各電極３２１と、当該電極３２１に対応する引き出し配線３２２とは、他の電極３２１と他の引き出し配線３２２から電気的に独立するように基板３０２上に設けられている。つまり、一組の電極３２１と、引き出し配線３２２とは、他の組の電極３２１と引き出し配線３２２とに対して電気的に独立している。複数の引き出し配線３２２は、基板３０２における一端部に設けられたフレキシブル配線基板３３０に電気的に接続されている。

【0013】

実施の形態１では、一枚の基板３０２の一方の主面に導電パターン３１０が形成され、他方の主面に導電パターン３２０が形成されたタッチパネル３００を例示したが、二枚の基板の一方の基板の主面に導電パターン３１０が形成され、他方の基板の主面に導電パターン３２０が形成されたタッチパネルであってもよい。また、基板３０２の一方の主面に導電パターン３１０が形成され、導電パターン３１０上に絶縁層を介して、導電パターン３２０が形成されたタッチパネルであってもよい。

【0014】

［１－２ メッキ用パターン版］
導電パターン３１０はメッキ用パターン版により形成される。次に、メッキ用パターン版について説明する。導電パターン３２０を形成するためのメッキ用パターン版は、導電パターン３１０を形成するためのメッキ用パターン版と基本的な構造が同様であるので、その説明を省略する。

【0015】

図２は、実施の形態１に係る導電パターン３１０を形成するためのメッキ用パターン版１０の概略構成を示す平面図である。タッチパネル３００の製造時においては、メッキ用パターン版１０は、基板３０２の一方の主面に重ねられる。図２では、基板３０２にメッキ用パターン版１０が展開された状態を図示している。このため、図２では、Ｘ軸方向の向きが図１とは逆である。

【0016】

図２に示すように、メッキ用パターン版１０は、基材２０と、複数の転写部３０と、樹脂部４０とを有している。

【0017】

基材２０は、互いに反対側の主面２０ａ、２０ｂを有する平板形状を有する。基材２０の一方の主面２０ａに複数の転写部３０が配置されている。複数の転写部３０のそれぞれは、導電パターン３１０をなす複数組の電極３１１及び引き出し配線３１２の各組に対応した形状を有する。複数の転写部３０は、基材２０の主面２０ａに互いに電気的に独立するように配置されている。換言すると、複数の転写部３０は、基材２０の主面２０ａ内において互いに電気的に接触していない。実施の形態１では、複数の転写部３０は、互いに物理的にも接触しておらず、島状に配置されている。樹脂部４０は、平面視において転写部３０以外の領域に配置されるように基材２０に重ねられている。

【0018】

以降、メッキ用パターン版１０についてより詳細に説明する。図３は、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０の部分的な概略構成を示す部分断面図である。具体的には、図３は、図２に示すメッキ用パターン版１０の線ＩＩＩ－ＩＩＩにおける断面を示す。

【0019】

図３に示すように、メッキ用パターン版１０は、基材２０と、下地金属３１と、樹脂部４０とを備えている。基材２０は、層２１と、層２２とを備えている。層２１は、パターン版を構成する材料を支える支持基材であり、例えば、金属板、ガラス板、フィルムなどから形成されている、さらに支持基材は透光性を有することが好ましく、その場合、ガラス板、透光性フィルムなどが用いられる。層２２は、層２１の主面２１ａに下地金属３１を固定するために積層されており、下地金属３１を固定できるものであればなんでもよいが絶縁性を有していることが好ましく、例えば、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂などから形成されている。また層２２はさらに透光性を有していることが好ましい。基材２０の主面２０ａを構成する層２２の主面２２ａには、下地金属３１の一部が埋設されている。

【0020】

下地金属３１は、転写部３０と、転写部３０の下部の両端縁から側方に突出した一対の突出部３２とを有している。転写部３０の天面は転写面３３であり、樹脂部４０から露出している。この転写部３０の転写面３３には、無電解メッキによって転写パターンが形成される。つまり、下地金属３１において、転写部３０のみが転写パターンの形成に寄与する。実施の形態１では、転写部３０の厚みｔ１は１μｍ以上であることが好ましい。これにより、転写パターンに対する剥離性を高めることができる。ただし、めっきで金属を析出させる転写面３３の機能は、０．１μｍ以上の転写部３０の厚みで十分に発現するので、転写部３０の厚みｔ１は０．１μｍ以上であってもよい。

【0021】

また、下地金属３１をなす材料は、無電解メッキによって転写パターンが形成可能な金属であれば如何様でもよいが、パターン状に下地金属３１を形成するためにはメッキ形成が可能な金属であることが好ましい。下地金属３１をなす材料としては、例えば、鉄とニッケルとの合金などが挙げられる。実施の形態１では、下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率となる合金により形成されている。下地金属３１を形成する合金は、２０％以下の不純物を含有していてもよい。下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が９５％以上の含有率となる合金により形成されていることがより好ましい。この場合、下地金属３１を形成する合金は、５％以下の不純物を含有していてもよい。

【0022】

樹脂部４０は、転写部３０の転写面３３を露出させるように、基材２０の層２２上に積層されている。樹脂部４０の表面４０ａは、転写部３０の転写面３３よりも高い位置に配置されている。つまり、転写部３０の転写面３３は、樹脂部４０の表面４０ａに対して凹んでいる。転写面３３が樹脂部４０の表面４０ａに対して凹んでいることで、転写パターンを析出させる際の線幅の広がりを抑制することができ、より低抵抗で細い配線を形成することが可能となる。樹脂部４０は、離型性を有する光硬化性樹脂により形成されている。具体的には、樹脂部４０は、フッ素を含んだ光硬化性樹脂により形成されている。

【0023】

［１－３ メッキ用パターン版の製造方法］
次に、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０の製造方法について説明する。図４は、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０の製造方法の流れを示す説明図である。

【0024】

まず、図４に示すように、フォトリソグラフィ工程では、電鋳用基板４００に感光性物質を含んだパターニング材料４０１を積層する。積層後に、転写部３０の形状に対応した開口部４０２が形成されるように、パターニング材料４０１にフォトリソグラフィを実行する。ここで、電鋳用基板４００は、電解メッキができる程度の導電性を有する金属から形成されている。具体的には、銅、ステンレス鋼、ニッケルなどで電鋳用基板４００を形成してもよい。さらに、ガラスや樹脂基板上にＩＴＯ、銅、ニッケル、クロムなどの導電性の薄膜が形成されたものを電鋳用基板４００としてもよい。また、パターニング材料４０１は、フォトリソグラフィなどのパターニング加工が可能な材料であればよい。具体的には、繰り返し使用が可能なポリイミドなどが挙げられる。

【0025】

次いで、電解メッキ工程では、電鋳用基板４００及びパターニング材料４０１に電解メッキを施すことで、開口部４０２に下地金属３１を形成する。

【0026】

次いで、転写工程では、基材２０に下地金属３１を転写する。具体的には、下地金属３１の突出部３２が、層２２の主面２２ａすなわち基材２０の主面２０ａに対して面一となるように、下地金属３１が層２２に転写される。これにより、基材２０の層２２に下地金属３１の一部が埋設されるとともに、転写部３０の一部が層２２から突出する。

【0027】

次いで、樹脂部形成工程では、層２２及び下地金属３１を覆うように、樹脂部４０となる光硬化性樹脂４１０を基材２０に塗布する。

【0028】

次いで、照射工程では、基材２０を通して下地金属３１に向けて光（例えば紫外光：ＵＶ光）を照射する。これにより、光硬化性樹脂４１０の一部が硬化する。また、下地金属３１は光を遮る。光硬化性樹脂４１０における下地金属３１の突出部３２に重なる部分４１２では、その外方から光が進入する程度の厚さが確保されているので、部分４１２はその光により硬化することとなる。結果的に、光硬化性樹脂４１０における転写部３０に重なる領域４１１では、硬化させるほどの光が到達しないために、領域４１１は硬化せずに未硬化となる。

【0029】

次いで、除去工程では、光硬化性樹脂４１０を溶剤で洗浄することで、光硬化性樹脂４１０の未硬化の領域４１１を除去する。これにより、光硬化性樹脂４１０の残存した部分が樹脂部４０となる。これで、メッキ用パターン版１０が製造される。

【0030】

［１－４ 配線基板の製造方法］
次に、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０を用いた配線基板の製造方法について説明する。図５は、実施の形態１に係る配線基板３０１の製造方法の流れを示す説明図である。

【0031】

図５に示すように、離型処理工程では、転写部３０の転写面３３に離型処理を施す。ここで、離型処理とは、転写面３３に対する転写パターンの離型性を高める処理のことである。具体的には、離型処理としては、転写面３３に例えばチアゾール系の離型剤を塗布することで離型層３４を形成する。なお、離型処理は、離型剤を塗布するだけでなく、転写面３３を改質することで離型性を高める処理であってもよい。

【0032】

次いで、第一無電解メッキ工程では、ニッケルを含むメッキ液中に、離型層３４を有するメッキ用パターン版１０を浸漬して、無電解メッキを行うことで、離型層３４上に転写パターン３６を形成する。ただし、無電解メッキではなく、電解メッキを行うことで、離型層３４上に転写パターン３６を形成してもよく、この場合は第一無電解メッキ工程はメッキ工程となる。これにより、転写部３０の転写面３３の上方に転写パターン３６が形成される。すなわち、転写部３０の転写面３３に離型層３４を介して転写パターン３６が形成される。転写パターン３６は、ニッケルを含む薄膜層である無電解ニッケル膜となる。なお、無電解メッキ時にメッキ液に還元剤としてジメチルアミンボランを含有させておくことで、転写パターン３６がニッケルとボロンとを含んだ薄膜層である無電解ニッケル膜となる。また、無電解メッキ時にメッキ液に還元剤として次亜リン酸塩を含有させておけば、転写パターン３６がニッケルとリンとを含んだ薄膜層である無電解ニッケル膜となる。これらの無電解ニッケル膜を転写面３３に析出させるためには、下地金属３１が無電解メッキ液に対してメッキ活性である必要がある。具体的には下地金属３１に還元剤を酸化する触媒作用が必要であり、本開示ではそのメッキ析出作用と剥離性の両立に必要な下地金属３１の好ましい形態を見出したため後述の実施例にて説明する。

【0033】

次いで、第二無電解メッキ工程では、例えば銅を含むメッキ液中に、転写パターン３６を有するメッキ用パターン版１０を浸漬して、無電解メッキを行うことで、転写パターン３６上に導電パターン３７を形成する。導電パターン３７の材料は、無電解メッキで形成可能な、導電性を有した金属であれば銅以外でもよい。銅以外の導電パターン３７の材料としては、例えば金、銀などが挙げられる。銅、金、銀は、比較的導電性が高い金属のため導電パターン３７の材料として好ましい。

【0034】

次いで、第一黒化処理工程では、導電パターン３７上に黒化層３８を形成する。黒化層３８は、例えば、パラジウムの置換メッキにより形成されてもよいし、導電パターン３７の表層をエッチング処理などによって凹凸にすることで形成されてもよい。なお、導電パターン３７自体が黒い場合には、黒化層３８は不要である。

【0035】

次いで、転写工程では、離型層３４、転写パターン３６、導電パターン３７及び黒化層３８を有するメッキ用パターン版１０に、配線基板３０１となる基板３０２を圧着する。ここで、基板３０２は、平板状の基材３５１と、基材３５１の一方の主面３５１ａに積層された転写樹脂層３５２とを備えている。基材３５１は、樹脂、ガラス、金属などにより形成されている。転写樹脂層３５２は、転写された導電パターン３７を固定する性質を有する材料から形成されている。具体的には、転写樹脂層３５２は、エポキシなどの熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、ヒートシール材料などから形成されている。なお、製造のしやすさの観点から、転写樹脂層３５２は光硬化性樹脂から形成されているとよい。

【0036】

転写工程で、基板３０２がメッキ用パターン版１０に圧着されると、転写樹脂層３５２内に黒化層３８及び導電パターン３７が埋設される。

【0037】

次いで、離型工程では、メッキ用パターン版１０から基板３０２を剥がす。これにより、基板３０２には、黒化層３８、導電パターン３７及び転写パターン３６が一体化して固定されることになる。この離型時においては、転写パターン３６は下地金属３１の転写面３３から剥離可能に形成されている。このため、転写パターン３６を転写面３３から均等に剥がすことができる。さらに、メッキ用パターン版１０に離型層３４が形成されているので、転写パターン３６を転写面３３からより均等に剥がすことができる。つまり、転写面３３に転写パターン３６が部分的に残存することが抑制されている。また、樹脂部４０は、フッ素を含んでいるので、樹脂部４０を均等に基板３０２から剥がすことができる。

【0038】

次いで、第二黒化処理工程では、転写パターン３６上に黒化層３９を形成する。黒化層３９は、例えば、パラジウムの置換メッキにより形成されてもよいし、転写パターン３６の表層をエッチング処理などによって凹凸にすることで形成されてもよい。なお、転写パターン３６自体が黒い場合には、黒化層３９は不要である。以上の工程によって配線基板３０１が製造される。

【0039】

［１－５ 実施例］
次に、実施の形態に係る下地金属３１と転写金属（転写パターン３６）の剥離性に関して説明する。ここで、転写金属とは、転写パターン３６に相当するパターン化されていないベタ膜である。パターン状の下地金属３１上にパターンメッキを析出させるためには無電解ニッケルメッキを用いることが有用である。一方で、無電解ニッケル膜を析出させるためには、下地金属３１が無電解メッキ液に対してメッキ活性である必要がある。具体的には下地金属３１に還元剤を酸化する触媒作用が必要である。また、同時に析出したメッキ膜が剥離可能であることが必要である。以下にそのメッキ析出作用と剥離性の両立に必要な下地金属３１の好ましい形態、具体的には、実施例１～７と、比較例とについて説明する。図６Ａは、実施例１～７と比較例との各条件及び評価結果を示す表である。なお、実施例１～７ではハルセル板上にＦｅ－Ｎｉ電解メッキ膜を所定の比率で析出させたものを下地金属３１として用いた。また、比較例ではＳＵＳ３０４のステンレス箔を下地金属３１として用いた。

【0040】

実施例１に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が２０／８０である合金から形成されている。実施例１に係る下地金属３１に離型層３４を形成せずに、ニッケル及びリンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとリンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は７０℃である。これにより形成された転写金属の析出状態を評価した。図６Ａにおいて、析出状態の評価として、「ＮＧ」は無電解Ｎｉ膜が均一な膜として析出しないレベルを示し、「Ｇ」は無電解Ｎｉ膜が均一な膜として析出したレベルを示す。

【0041】

また、転写金属の形成後に、転写工程、離型工程を実行し、転写金属の離型性を評価した。離型性の評価として、「ＮＧ」は、離型工程後の転写金属が基板３０２に部分的にも転写されていない状態を示す。また、「Ｆ」は、離型工程後の転写金属が基板３０２に不均一ながらも全体的に転写されている状態を示す。「Ｇ」は、離型工程後の転写金属が基板３０２に全体的に概ね均一に転写されている状態を示す。「ＶＧ」は、離型工程後の転写金属が基板３０２に全体的に均一に転写されている状態を示す。なお、析出状態が「ＮＧ」である場合、転写金属はそもそも析出しないため、離型性評価は「ＮＧ」で示す。

【0042】

実施例２に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が２０／８０である合金から形成されている。実施例２に係る下地金属３１に離型層３４を形成し、その後、ニッケル及びリンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとリンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は８０℃である。実施例２の評価結果は、析出状態が「Ｇ」で示すレベルであり、離型性が「Ｇ」で示すレベルである。

【0043】

実施例３に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が４０／６０である合金から形成されている。実施例３に係る下地金属３１に離型層３４を形成し、その後、ニッケル及びリンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとリンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は８０℃である。実施例３の評価結果は、析出状態が「Ｇ」で示すレベルであり、離型性が「ＶＧ」で示すレベルである。

【0044】

実施例４に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が６０／４０である合金から形成されている。実施例４に係る下地金属３１に離型層３４を形成せずに、ニッケル及びリンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとリンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は８０℃である。実施例４の評価結果は、析出状態が「Ｇ」で示すレベルであり、離型性が「ＶＧ」で示すレベルである。

【0045】

実施例５に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が６０／４０である合金から形成されている。実施例５に係る下地金属３１に離型層３４を形成し、その後、ニッケル及びリンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとリンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は８０℃である。実施例５の評価結果は、析出状態が「Ｇ」で示すレベルであり、離型性が「ＶＧ」で示すレベルである。

【0046】

実施例６に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が６０／４０である合金から形成されている。実施例６に係る下地金属３１に離型層３４を形成せずに、ニッケル及びボロンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとボロンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は７５℃である。実施例６の評価結果は、析出状態が「Ｇ」で示すレベルであり、離型性が「ＶＧ」で示すレベルである。

【0047】

実施例７に係る下地金属３１は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率であり、鉄のニッケルに対する比率が２０／８０である合金から形成されている。実施例７に係るメッキ用パターン版１０に離型層３４を形成し、その後、ニッケル及びボロンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。これにより、転写金属はニッケルとボロンと含んだ薄膜層となる。このときのメッキ液の温度は７５℃である。実施例７の評価結果は、析出状態が「Ｇ」で示すレベルであり、離型性が「Ｇ」で示すレベルである。

【0048】

比較例は、下地金属３１がステンレス鋼から形成されている点で各実施例とは異なっている。比較例に係る下地金属３１に離型層３４を形成せずに、ニッケル及びリンを含んだメッキ液で第一無電解メッキ工程を施した。このときのメッキ液の温度は７０℃である。比較例の評価結果は、析出状態が「ＮＧ」で示すレベルであり、離型性が「ＮＧ」で示すレベルである。

【0049】

このように、実施例１～７においては、転写金属にニッケルが含まれるが、剥離可能な転写金属が析出していない。Ｆｅ－Ｎｉ合金等の下地金属３１上に薄い酸化被膜が形成されることで、無電解Ｎｉ膜の密着性が落ちている。しかし、Ｆｅ－Ｎｉ合金の還元剤に対する高い触媒作用のために、自己酸化還元作用による無電解Ｎｉ膜が析出される。結果として析出した無電解Ｎｉ膜はあまり下地金属３１に密着しておらず、剥離しやすくなっていると考えられる。ＳＵＳの場合は表面に酸化被膜がつきすぎているか、Ｆｅ－Ｎｉ合金に比較し、メッキに不活性な金属を多く含むため触媒作用が低く、結果としてＮｉ－Ｐメッキ膜が析出しづらいと考えられる。特に、下地金属３１で鉄が２０％以上の含有率であれば、離型層３４がなくとも一定の離型性を発揮することがわかる。

【0050】

［１－６ 効果など］
以上のように、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０は、メッキによって形成された転写パターン３６を、配線基板３０１となる基板３０２に転写するためのメッキ用パターン版１０であって、基材２０と、基材２０に設けられた複数の転写部３０であって、形成された転写パターン３６を転写するための複数の転写部３０と、を備え、複数の転写部３０は、互いに電気的に独立するように基材２０に配置されている。

【0051】

これによれば、基材２０に、複数の転写部３０が互いに電気的に独立するように配置されているので、メッキ用パターン版１０の製造時に断線や短絡等の欠陥が発生した場合でも、導通検査等の電気的な検査によってその欠陥の箇所を容易に発見することが可能となる。一方で複数の転写部３０が互いに電気的に接続されている場合、転写部３０の断線や短絡の評価ができず、メッキ用パターン版１０の欠陥を検知するのが困難となる。

【0052】

また、メッキ用パターン版１０は、メッキによって形成された転写パターン３６を、配線基板３０１となる基板３０２に転写するためのメッキ用パターン版１０であって、透光性の基材２０に、複数の転写部３０が配置されている。

【0053】

これによれば、透光性の基材２０に、複数の転写部３０が配置されているので、メッキ用パターン版１０の製造時に基材２０を通して光を照射すると、複数の転写部３０自体が光を遮ることとなる。

【0054】

例えば、基材２０における複数の転写部３０の側に転写部３０を覆うように光反応性樹脂（光硬化性樹脂４１０）が積層されている場合には、各転写部３０自体が光を遮るために、各転写部３０上の光硬化性樹脂４１０は反応しない。これにより、未硬化の光硬化性樹脂４１０をその後の工程で除去しやすくすることができる。したがって、各転写部３０における転写に寄与する転写面３３を光硬化性樹脂４１０から確実に露出させることができる。露出した各転写面３３には、無電解メッキによって転写パターン３６が形成され、さらにその上に導電パターン３７が形成される。各転写面３３が確実に露出されていれば、転写パターン３６及び導電パターン３７を精度良く形成することができるので、細線化された導電パターン３７であっても、品質を安定化することが可能である。

【0055】

実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０は、メッキによって形成された転写パターン３６を、配線基板３０１となる基板３０２に転写するためのメッキ用パターン版１０であって、透光性の基材２０と、基材２０に設けられた転写部３０であって、形成された転写パターン３６を転写するための転写部３０を有する。

【0056】

これによれば、透光性の基材２０に転写部３０が設けられているので、メッキ用パターン版１０の製造時に基材２０を通して光を照射すると、転写部３０自体が光を遮ることとなる。例えば、基材２０における転写部３０側に当該転写部３０を覆うように光反応性樹脂（光硬化性樹脂４１０）が積層されている場合には、転写部３０自体が光を遮るために、転写部３０上の光硬化性樹脂４１０は反応しない。これにより、未硬化の光硬化性樹脂４１０をその後の工程で除去しやすくすることができる。したがって、転写部３０における転写に寄与する転写面３３を光硬化性樹脂４１０から確実に露出させることができる。露出した転写面３３には、無電解メッキによって転写パターン３６が形成され、さらにその上に導電パターン３７が形成される。転写面３３が確実に露出されていれば、転写パターン３６及び導電パターン３７を精度良く形成することができるので、細線化された導電パターン３７であっても、品質を安定化することが可能である。

【0057】

導電パターンの細線化が望まれているが、単に電解メッキで導電パターンを形成するには、品質にばらつきが生じてしまうのが実状である。

【0058】

実施の形態１におけるメッキ用パターン版１０を用いることにより、前述のように、細線化された導電パターン３７の品質を安定化することが可能である。

【0059】

転写部３０は、鉄とニッケルとの合金から形成されている。

【0060】

これによれば、転写部３０上に無電解メッキで形成された転写パターン３６に対する剥離性を高めることができる。したがって、転写パターン３６を転写部３０から均一に剥がすことができるので、転写パターン３６の品質を高めることができる。これにより、その後に転写パターン３６上に形成される、細線化された導電パターン３７の品質を安定化することが可能である。

【0061】

また、転写部３０は、電気メッキにより形成されている。

【0062】

これによれば、電気メッキにより形成された転写部３０であっても、転写部３０上にメッキで形成された転写パターン３６に対する離型性を高めることができる。

【0063】

また、転写部３０は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率となる合金から形成されている。

【0064】

これによれば、転写部３０上に無電解メッキで形成された転写パターン３６に対する剥離性をより高めることができる。

【0065】

また、転写部３０は、鉄とニッケルとの合計の含有量に対して、鉄の比率が２０％以上となる合金から形成されている。

【0066】

これによれば、転写部３０において、転写部３０上にメッキで形成された転写パターン３６に対する剥離性をより高めることができる。

【0067】

また、転写部は、厚みが１μｍ以上である。ただし、前述のように、転写部３０の厚みは０．１μｍ以上であってもよい。

【0068】

これによれば、転写部３０上に無電解メッキで形成された転写パターン３６に対する剥離性をより高めることができる。

【0069】

また、メッキ用パターン版１０は、平面視において転写部３０以外の領域に配置された樹脂部４０を備え、樹脂部４０はフッ素を含む。

【0070】

これによれば、転写パターン３６の転写時に、樹脂部４０に重なる基板３０２との剥離性を高めることができる。これにより、転写後における転写パターン３６の品質を維持することができる。

【0071】

また、実施の形態１に係る配線基板３０１の製造方法は、メッキ用パターン版１０の転写部３０に、無電解メッキによって転写パターン３６を形成する第一無電解メッキ工程と、転写パターン３６を基板３０２に転写する転写工程と、転写パターン３６に無電解メッキによって導電パターン３７を形成する第二無電解メッキ工程とを含む。

【0072】

これによれば、上述したように、転写面３３が確実に露出されたメッキ用パターン版１０の転写部３０に、メッキによって転写パターン３６が形成されるので、細線化された転写パターン３６を精度良く形成することができる。また、転写パターン３６に、無電解メッキによって導電パターン３７が形成されるので、導電パターン３７の精度も高めることができる。したがって、細線化された導電パターン３７であっても、品質を安定化することが可能である。

【0073】

また、第一無電解メッキ工程前に、転写部３０に離型処理を施す離型処理工程を含む。

【0074】

これによれば、離型層３４によって転写パターン３６を転写部３０から確実に剥離させることができる。したがって、転写パターン３６を転写部３０から均一に剥がすことができ、転写パターン３６の品質をより高めることができる。

【0075】

また、配線基板３０１は、タッチパネル用の配線基板である。

【0076】

これによれば、タッチパネル用の配線基板であっても、細線化された導電パターン３７の品質を安定化することができる。

【0077】

図６Ｂは、実施の形態１に係る他のメッキ用パターン版１０Ｆの部分断面図である。図６Ｂにおいて、図３に示すメッキ用パターン版１０と同じ部分には同じ参照番号を付す。メッキ用パターン版１０Ｆは図２から図５に示すメッキ用パターン版１０の転写部３０の代わりに転写部９０を備える。転写部の厚みが１μｍ以上である場合には、積層された複数の金属層で転写部を形成することができる。図６Ｂに示すメッキ用パターン版１０Ｆの転写部９０は、金属層９１と、金属層９１に積層されて金属層９１を支持する金属層９２とを有する。金属層９１は転写面３３を有して、鉄とニッケルとを含有する。金属層９２は１つ以上の層よりなり、メッキ用パターン版１０Ｆでは、金属層９２は、互いに積層された２つの層９２１、９２２よりなる。例えば、転写部３０の厚さが３μｍである場合、金属層９１は転写面３３を構成する鉄とニッケルの合金により形成されて０．２μｍの厚みを有し、金属層９２はニッケルにより形成されて２．８μｍの厚みを有する。

【0078】

（実施の形態２）
［２－１ メッキ用パターン版］
図７は、実施の形態２に係るメッキ用パターン版１０Ａの部分的な概略構成を示す部分断面図である。具体的には、図７は、図３に対応する図である。なお、以降の説明において、実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。

【0079】

図７に示すように、メッキ用パターン版１０Ａは、基材２０と、下地金属３１と、無機膜５０とを備えている。無機膜５０は、下地金属３１の転写面３３を露出させるように、下地金属３１の転写部３０の側面と、一対の突出部３２の上面と、基材２０の上面（主面２０ａ）とを覆っている。無機膜５０は、導電性を有していない無機材料によって形成されている。無機膜５０としては、例えばＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）膜、スパッタ膜等が挙げられる。

【0080】

［２－２ メッキ用パターン版の製造方法］
次に、実施の形態２に係るメッキ用パターン版１０Ａの製造方法について説明する。図８は、実施の形態２に係るメッキ用パターン版１０Ａの製造方法の流れを示す説明図である。

【0081】

図８に示すように、フォトリソグラフィ工程では、電鋳用基板４００に、感光性物質を含んだパターニング材料４０１を積層する。積層後に、転写部３０の形状に対応した開口部４０２が形成されるように、パターニング材料４０１にフォトリソグラフィを実行する。ここで、電鋳用基板４００は、電解メッキができる程度の導電性を有する金属から形成されている。具体的には、銅、ステンレス鋼、ニッケルなどである。また、パターニング材料４０１は、フォトリソグラフィなどのパターニング加工が可能な材料であればよい。具体的には、繰り返し使用が可能なポリイミドなどが挙げられる。

【0082】

次いで、電解メッキ工程では、電鋳用基板４００及びパターニング材料４０１に電解メッキを施すことで、開口部４０２に下地金属３１を形成する。

【0083】

次いで、転写工程では、基材２０に下地金属３１を転写する。具体的には、下地金属３１の突出部３２が、層２２の主面２２ａすなわち基材の主面２０ａに対して面一となるように、下地金属３１が層２２に転写される。これにより、基材２０の層２２に下地金属３１の一部が埋設されるとともに、転写部３０の一部が層２２から突出する。

【0084】

次いで、ポジレジスト塗布工程では、層２２及び下地金属３１を覆うように、ポジレジスト５９を基材２０に塗布する。ポジレジスト５９は、ポジ型感光材料であり、リフトオフ性を有していれば好ましい。

【0085】

次いで、照射工程では、基材２０を通して下地金属３１に向けて光（例えば紫外光：ＵＶ光）を照射する。この際、下地金属３１が光を遮るため、ポジレジスト５９の光を受ける部分では溶解性が増大する。つまり、ポジレジスト５９における転写部３０に重ならない領域５９１では、溶解性が高まり、転写部３０に重なる部分５９２は未反応となる。

【0086】

次いで、現像工程では、ポジレジスト５９における溶解性が高まった領域５９１を現像液によって除去する。これにより、転写部３０上にのみ未反応のポジレジスト５９の部分５９２が残存する。

【0087】

次いで、無機膜形成工程では、基材２０の上面、下地金属３１の側面及びポジレジスト５９の露出する上面に無機膜５０を形成する。

【0088】

次いで、除去工程では、ポジレジスト５９を剥離または研磨することで除去して、転写部３０の転写面３３を露出させる。これで、メッキ用パターン版１０Ａが製造される。実施の形態２に係るメッキ用パターン版１０Ａにおいても、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０と同等の作用効果を得ることができる。

【0089】

［２－３ 配線基板の製造方法１］
次に、実施の形態２に係るメッキ用パターン版１０Ａを用いた配線基板の製造方法１について説明する。図９は、実施の形態２に係る配線基板３０１の製造方法１の流れを示す説明図である。

【0090】

図９に示すように、離型処理工程では、転写部３０の転写面３３に離型処理を施し、転写面３３に離型層３４を形成する。

【0091】

次いで、第一無電解メッキ工程では、ニッケルを含むメッキ液中に、離型層３４を有するメッキ用パターン版１０Ａを浸漬して、無電解メッキを行うことで、離型層３４上に転写パターン３６を形成する。ただし、無電解メッキではなく、電解メッキを行うことで、離型層３４上に転写パターン３６を形成してもよく、この場合は第一無電解メッキ工程はメッキ工程となる。これにより、転写部３０の転写面３３の上方に転写パターン３６が形成される。すなわち、転写部３０の転写面３３に離型層３４を介して転写パターン３６が形成される。

【0092】

次いで、第二無電解メッキ工程では、例えば銅を含むメッキ液中に、転写パターン３６を有するメッキ用パターン版１０Ａを浸漬して、無電解メッキを行うことで、転写パターン３６上に導電パターン３７を形成する。

【0093】

次いで、第一黒化処理工程では、導電パターン３７上に黒化層３８を形成する。

【0094】

次いで、転写工程では、離型層３４、転写パターン３６、導電パターン３７及び黒化層３８を有するメッキ用パターン版１０Ａに配線基板３０１となる基板３０２を圧着する。転写工程で、基板３０２がメッキ用パターン版１０Ａに圧着されると、転写樹脂層３５２内に黒化層３８及び導電パターン３７が埋設される。

【0095】

次いで、離型工程では、メッキ用パターン版１０Ａから基板３０２を剥がす。これにより、基板３０２には、黒化層３８、導電パターン３７及び転写パターン３６が一体化して固定されることになる。この離型時においては、転写パターン３６がニッケルを含む薄膜層であるので、転写パターン３６単体で高い離型性を有している。このため、転写パターン３６を転写面３３から均等に剥がすことができる。さらに、メッキ用パターン版１０Ａに離型層３４が形成されているので、転写パターン３６を転写面３３からより均等に剥がすことができる。つまり、転写面３３に転写パターン３６が部分的に残存することが抑制されている。

【0096】

次いで、第二黒化処理工程では、転写パターン３６上に黒化層３９を形成する。以上の工程によって配線基板３０１が製造される。この実施の形態２に係る配線基板の製造方法１においても、実施の形態１の配線基板の製造方法と同等の作用効果を得ることができる。

【0097】

［２－４ 配線基板の製造方法２］
次に、実施の形態２に係るメッキ用パターン版１０Ａを用いた配線基板の他の製造方法２について説明する。図１０は、実施の形態２に係る配線基板３０１の製造方法２の流れを示す説明図である。

【0098】

図１０に示すように、離型処理工程では、転写部３０の転写面３３に離型処理を施し、転写面３３に離型層３４を形成する。

【0099】

次いで、第一無電解メッキ工程では、ニッケルを含むメッキ液中に、離型層３４を有するメッキ用パターン版１０Ａを浸漬して、無電解メッキを行うことで、離型層３４上に転写パターン３６を形成する。ただし、無電解メッキではなく、電解メッキを行うことで、離型層３４上に転写パターン３６を形成してもよく、この場合は第一無電解メッキ工程はメッキ工程となる。これにより、転写部３０の転写面３３の上方に転写パターン３６ａが形成される。すなわち、転写部３０の転写面３３に離型層３４を介して転写パターン３６ａが形成される。

【0100】

次いで、第一黒化処理工程では、転写パターン３６ａ上に黒化層３８ａを形成する。

【0101】

次いで、転写工程では、離型層３４、転写パターン３６ａ及び黒化層３８ａを有するメッキ用パターン版１０Ａに、配線基板３０１となる基板３０２を圧着する。転写工程で、基板３０２がメッキ用パターン版１０Ａに圧着されると、転写樹脂層３５２内に黒化層３８ａ及び転写パターン３６ａが埋設される。

【0102】

次いで、離型工程では、メッキ用パターン版１０Ａから基板３０２を剥がす。これにより、基板３０２には、黒化層３８ａ及び転写パターン３６ａが一体化することになる。この離型時においては、転写パターン３６ａがニッケルを含む薄膜層であるので、転写パターン３６ａ単体で高い離型性を有している。このため、転写パターン３６ａを転写面３３から均等に剥がすことができる。さらに、メッキ用パターン版１０Ａに離型層３４が形成されているので、転写パターン３６ａを転写面３３からより均等に剥がすことができる。つまり、転写面３３に転写パターン３６ａが部分的に残存することが抑制されている。

【0103】

次いで、第二無電解メッキ工程では、例えば銅を含むメッキ液中に、転写パターン３６ａを有する基板３０２を浸漬して、無電解メッキを行うことで、転写パターン３６ａ上に導電パターン３７ａを形成する。このように、第二無電解メッキ工程は、転写工程の後に行われてもよい。

【0104】

次いで、第二黒化処理工程では、導電パターン３７ａ上に黒化層３９ａを形成する。以上の工程によって配線基板３０１Ａが製造される。この実施の形態２に係る配線基板の製造方法２においても、実施の形態１に係る配線基板の製造方法と同等の作用効果を得ることができる。

【0105】

（実施の形態３）
［３－１ メッキ用パターン版］
図１１は、実施の形態３に係るメッキ用パターン版１０Ｂの部分的な概略構成を示す部分断面図である。具体的には、図１１は、図３に対応する図である。なお、以降の説明において、実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。

【0106】

図１１に示すように、メッキ用パターン版１０Ｂは、基材２０と、下地金属３１ｂと、導電膜４７ｂと、樹脂部４０ｂとを備えている。

【0107】

下地金属３１ｂは、実施の形態１、２とは異なり、突出部３２を有しておらず、全体として転写部３０ｂとなっている。下地金属３１ｂと、基材２０の層２２との間には、導電膜４７ｂが介在している。導電膜４７ｂは、下地金属３１ｂの下面及び側面の全体を覆っている。また、下地金属３１ｂすなわち転写部３０ｂの転写面３３ｂは露出している。導電膜４７ｂは、電解メッキができる程度の導電性を有する金属から形成されていればよい。例えば、導電膜４７ｂを形成する金属としては、銅、ステンレス鋼、ニッケルなどが挙げられる。導電膜４７ｂと、層２２との間に、導電膜４７ｂと層２２とを密着する密着層を介在させてもよい。

【0108】

樹脂部４０ｂは、転写部３０ｂの転写面３３ｂを露出させるように、基材２０の層２２上に積層されている。樹脂部４０ｂの表面４０ｂａは、転写部３０ｂの転写面３３ｂよりも高い位置に配置されている。つまり、転写部３０ｂの転写面３３ｂは、樹脂部４０ｂの表面４０ｂａに対して凹んでいる。

【0109】

［３－２ メッキ用パターン版の製造方法］
次に、実施の形態３に係るメッキ用パターン版１０Ｂの製造方法について説明する。図１２は、実施の形態３に係るメッキ用パターン版１０Ｂの製造方法の流れを示す説明図である。

【0110】

図１２に示すように、インプリント工程では、下地金属３１ｂが埋設される凹部２２１を、基材２０の層２２に刻印することで形成する。

【0111】

次いで、成膜工程では、基材２０の層２２に、スパッタリングまたは無電解メッキを施すことで、導電膜４７ｂを成膜する。これにより、層２２の上面及び凹部２２１の内面が導電膜４７ｂによって覆われる。

【0112】

次いで、電解メッキ工程では、導電膜４７ｂを有する基材２０に電解メッキを施すことで、層２２に、下地金属３１ｂとなる金属層３３１ｂを積層する。

【0113】

次いで、研磨工程では、基材２０の層２２が露出するように、金属層３３１ｂ及び導電膜４７ｂを研磨する。これにより、金属層３３１ｂが下地金属３１ｂとなる。

【0114】

次いで、樹脂部形成工程では、層２２及び下地金属３１ｂを覆うように、樹脂部４０ｂとなる光硬化性樹脂４１０ｂを基材２０に塗布する。

【0115】

次いで、照射工程では、基材２０を通して下地金属３１ｂに向けて光（例えば紫外光：ＵＶ光）を照射する。これにより、光硬化性樹脂４１０ｂの一部が硬化する。また、下地金属３１ｂは光を遮る。光硬化性樹脂４１０ｂにおける下地金属３１ｂに重なる領域４１１ｂでは、光硬化性樹脂４１０ｂを硬化させるほどの光が到達しないために、領域４１１ｂは未硬化となる。

【0116】

次いで、除去工程では、光硬化性樹脂４１０ｂを溶剤で洗浄することで、光硬化性樹脂４１０ｂの未硬化の領域４１１ｂを除去する。これにより、光硬化性樹脂４１０ｂの残存した部分が樹脂部４０ｂとなる。これで、メッキ用パターン版１０Ｂが製造される。実施の形態３に係るメッキ用パターン版１０Ｂにおいても、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０と同等の作用効果を得ることができる。

【0117】

無電解めっきで転写パターンを析出させる転写面３３ｂの機能は転写部３０ｂの転写面３３ｂを含む部分の厚みが０．１μｍ以上の場合に十分である。したがって、転写部３０ｂの厚みは好ましくは０．１μｍ以上である。

【0118】

（実施の形態４）
［４－１ メッキ用パターン版］
図１３は、実施の形態４に係るメッキ用パターン版１０Ｃの部分的な概略構成を示す部分断面図である。具体的には、図１３は、図３に対応する図である。なお、以降の説明において、実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。

【0119】

図１３に示すように、メッキ用パターン版１０Ｃは、基材２０ｃと、下地金属３１ｃと、導電膜４７ｃと、樹脂部４０ｃとを備えている。

【0120】

基材２０ｃは、透光性を有した板材であり、例えば、ガラス、透光性樹脂などから形成されている。基材２０ｃの一方の主面２０ｃａ上に樹脂部４０ｃが積層されている。

【0121】

下地金属３１ｃは、実施の形態１、２とは異なり、突出部３２を有しておらず、全体として転写部３０ｃとなっている。下地金属３１ｃと、樹脂部４０ｃとの間には、導電膜４７ｃが介在している。導電膜４７ｃは、下地金属３１ｃの下面及び側面の全体を覆っている。また、下地金属３１ｃの転写面３３ｃは露出している。導電膜４７ｃは、電解メッキができる程度の導電性を有する金属から形成されていればよい。例えば、導電膜４７ｃを形成する金属としては、銅、ステンレス鋼、ニッケルなどが挙げられる。導電膜４７ｃと、樹脂部４０ｃとの間に、当該導電膜４７ｃと樹脂部４０ｃを密着する密着層を介在させてもよい。

【0122】

樹脂部４０ｃは、転写部３０ｃの転写面３３ｃを露出させるように、基材２０ｃ上に積層されている。樹脂部４０ｃの表面４０ｃａは、転写部３０ｃの転写面３３ｃと面一となるように配置されている。

【0123】

［４－２ メッキ用パターン版の製造方法］
次に、実施の形態４に係るメッキ用パターン版１０Ｃの製造方法について説明する。図１４は、実施の形態４に係るメッキ用パターン版１０Ｃの製造方法の流れを示す説明図である。

【0124】

図１４に示すように、インプリント工程では、基材２０ｃの一方の主面２０ｃａに積層された樹脂部４０ｃに、下地金属３１ｃが埋設される凹部４０１ｃを刻印することで形成する。

【0125】

次いで、成膜工程では、樹脂部４０ｃに、スパッタリングまたは無電解メッキを施すことで、導電膜４７ｃを成膜する。これにより、樹脂部４０ｃの上面（表面４０ｃａ）及び凹部４０１ｃの内面４０１ｃａが導電膜４７ｃによって覆われるように、樹脂部４０ｃの上面（表面４０ｃａ）及び凹部４０１ｃの内面４０１ｃａ上に導電膜４７ｃが形成される。

【0126】

次いで、電解メッキ工程では、導電膜４７ｃ、樹脂部４０ｃを有する基材２０ｃに電解メッキを施すことで、下地金属３１ｃとなる金属層３３１ｃを導電膜４７ｃに積層する。

【0127】

次いで、研磨工程では、樹脂部４０ｃが露出するように、金属層３３１ｃ及び導電膜４７ｃを研磨する。これにより、金属層３３１ｃが下地金属３１ｃとなる。これで、メッキ用パターン版１０Ｃが製造される。実施の形態４に係るメッキ用パターン版１０Ｃにおいても、実施の形態１に係るメッキ用パターン版１０と同等の作用効果を得ることができる。

【0128】

［その他］
以上、本開示に係るメッキ用パターン版及び配線基板の製造方法について、上記各実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記の各実施の形態に限定されるものではない。

【0129】

その他、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で実施の形態及び各変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

【0130】

本開示の一態様に係るメッキ用パターン版は、メッキによって形成された転写パターンを、配線基板となる基板に転写するためのメッキ用パターン版であって、基材と、基材に設けられた複数の転写部であって、形成された転写パターンを転写するための複数の転写部と、を備え、複数の転写部は、互いに電気的に独立するように基材に配置されている。

【0131】

これによれば、基材２０に、複数の転写部３０が互いに電気的に独立するように配置されているので、メッキ用パターン版１０の製造時に断線や短絡が発生した場合でも、電気的な検査によって欠陥の箇所を容易に発見することが可能となる。一方で複数の転写部３０が互いに電気的に接続されている場合、転写部の断線や短絡の評価ができず、メッキ用パターン版１０の欠陥を検知するのが困難となる。

【0132】

また、メッキ用パターン版は透光性の基材と複数の転写部を有する。

【0133】

これによれば、メッキ用パターン版の製造時に基材側から光を照射すると、複数の転写部自体が光を遮ることとなる。例えば、基材における複数の転写部側に各転写部を覆うように光反応性樹脂が積層されている場合には、各転写部自体が光を遮るために、各転写部上の光反応性樹脂は反応しない。これにより、未反応の光反応性樹脂をその後の工程で除去しやすくすることができる。したがって、各転写部における転写に寄与する転写面を確実に露出させることができる。露出した各転写面には、メッキによって転写パターンが形成され、さらにその上に導電パターンが形成される。各転写面が確実に露出されていれば、転写パターン及び導電パターンを精度良く形成することができるので、細線化された導電パターンであっても、品質を安定化することが可能である。

【0134】

本開示の一態様に係るメッキ用パターン版は、メッキによって形成された転写パターンを、配線基板となる基板に転写するためのメッキ用パターン版であって、透光性の基材と、基材に設けられた転写部であって、形成された転写パターンを転写するための転写部を有する。

【0135】

これによれば、透光性の基材に転写部が設けられているので、メッキ用パターン版の製造時に基材側から光を照射すると、転写部自体が光を遮ることとなる。例えば、基材における転写部側に当該転写部を覆うように光反応性樹脂が積層されている場合には、転写部自体が光を遮るために、転写部上の光反応性樹脂は反応しない。これにより、未反応の光反応性樹脂をその後の工程で除去しやすくすることができる。したがって、転写部における転写に寄与する転写面を確実に露出させることができる。露出した転写面には、メッキによって転写パターンが形成され、さらにその上に導電パターンが形成される。転写面が確実に露出されていれば、転写パターン及び導電パターンを精度良く形成することができるので、細線化された導電パターンであっても、品質を安定化することが可能である。

【0136】

また、転写部は、鉄とニッケルとの合金から形成されている。

【0137】

これによれば、転写部上にメッキで形成された転写パターンに対する剥離性を高めることができる。したがって、転写パターンを転写部から均一に剥がすことができるので、転写パターンの品質を高めることができる。これにより、その後に転写パターン上に形成される、細線化された導電パターンの品質を安定化することが可能である。

【0138】

また、転写部は、電気メッキにより形成されている。

【0139】

これによれば、当該転写部上にメッキで形成された転写パターンに対する離型性を高めることができる。

【0140】

また、転写部は、鉄とニッケルとの合計が８０％以上の含有率となる合金から形成されている。

【0141】

これによれば、転写部上にメッキで形成された転写パターンに対する剥離性をより高めることができる。

【0142】

また、転写部は、鉄とニッケルとの合計の含有量に対して、鉄の比率が２０％以上である。

【0143】

これによれば、転写部上にメッキで形成された転写パターンに対する剥離性をより高めることができる。

【0144】

また、転写部は、厚みが０．１μｍ以上である。

【0145】

これによれば、転写部上にメッキで形成された転写パターンに対する剥離性をより高めることができる。

【0146】

また、メッキ用パターン版は、平面視において転写部以外の領域に配置された樹脂部を備え、樹脂部はフッ素を含む。

【0147】

これによれば、転写パターンの転写時に、樹脂部に重なる部材との剥離性を高めることができる。これにより、転写後における転写パターンの品質を維持することができる。

【0148】

また、本開示の一態様に係る配線基板の製造方法は、上記メッキ用パターン版の転写部に、メッキによって転写パターンを形成するメッキ工程と、転写パターンを基板に転写する転写工程とを含む。

【0149】

これによれば、上述したように、転写面が確実に露出されたメッキ用パターン版の転写部に、メッキによって転写パターンが形成されるので、細線化された転写パターンを精度良く形成することができる。また、この転写パターンには、導電パターンを形成されると、導電パターンの精度も高めることができる。したがって、細線化された導電パターンであっても、品質を安定化することが可能である。

【0150】

また、配線基板の製造方法は、メッキ工程前に、転写部に離型処理を施す離型処理工程を含む。

【0151】

これによれば、離型層によって転写パターンを転写部から確実に剥離させることができる。したがって、転写パターンを転写部から均一に剥がすことができ、転写パターンの品質をより高めることができる。

【0152】

また、配線基板は、タッチパネル用の配線基板である。

【0153】

これによれば、配線基板がタッチパネル用の配線基板の細線化された導電パターンの品質を安定化することができる。

【産業上の利用可能性】

【0154】

本開示は、例えばタッチパネルなどに用いられる配線基板の製造時において有用である。

【符号の説明】

【0155】

１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｆ メッキ用パターン版
２０，２０ｃ 基材
２１ 層
２２ 層
３０，３０ｂ，３０ｃ 転写部
３１，３１ｂ，３１ｃ 下地金属
３２ 突出部
３３，３３ｂ，３３ｃ 転写面
３４ 離型層
３６，３６ａ 転写パターン
３７，３７ａ 導電パターン
３８，３８ａ，３９，３９ａ 黒化層
４０，４０ｂ，４０ｃ 樹脂部
４７ｂ，４７ｃ 導電膜
５０ 無機膜
５９ ポジレジスト
２２１ 凹部
３００ タッチパネル
３０１，３０１Ａ 配線基板
３０２ 基板
３１０ 導電パターン
３１１ 電極
３１２ 引き出し配線
３２０ 導電パターン
３２１ 電極
３２２ 引き出し配線
３３０ フレキシブル配線基板
３３１ｂ，３３１ｃ 金属層
３５１ 基材
３５２ 転写樹脂層
４００ 電鋳用基板
４０１ パターニング材料
４０１ｃ 凹部
４０２ 開口部
４１０，４１０ｂ 光硬化性樹脂
４１１，４１１ｂ 領域
５９１ 領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】