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特許7426620ウエハ基板の洗浄方法
発明の名称 ウエハ基板の洗浄方法
出願人 国立大学法人東北大学 （識別番号 504157024）
特許公開件数ランキング 318 位（60件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 172 位（96件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ダン・タクマ （識別番号 500343773）
特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7426620
公報発行日 2024年2月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7426620
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