発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

光源から放射された光を波面変調素子に照射し、波面変調素子によって位相、又は振幅が変調された光を、ホログラフィック回折光学素子に照射し、ホログラフィック回折光学素子によって、複数の色毎に所定の角度で、且つ色毎に平行光に変換された光を検査対象物に照射し、検査対象物の表面からの反射光を検出部で検出するので、第１に、光源から放射された光は、波面変調素子によって位相、又は振幅が変換され、ホログラフィック回折光学素子上に照射される光の領域、パターン、又は強度等が制御されるので、ホログラフィック回折光学素子から放射される光には、制御結果に基づく位置に関する情報が、例えば、座標として付与される。

第２に、ホログラフィック回折光学素子によって、複数の色毎に所定の角度で、且つ色毎に平行光に変換されて検査対象物に照射され、その反射光が検出部で検出されるので、照射光と反射光において、その光路と光路長が明確になる。

その結果、ホログラフィック回折光学素子、検査対象物の検査範囲中心と検出部の位置関係が、距離や角度など、数値的に明確になる。

したがって、検査対象物が光沢表面を有する検査対象物においても、その検査範囲中心においてピントを合わせることができるので、反射光における検査対象物の表面の凹凸の部分と、凹凸以外の表面との色の変化によって検査対象物の表面の微小な凹凸を確実に発見することができる。

又、ホログラフィック回折光学素子、検査対象物の検査範囲中心と検出部との間の位置関係を一定に維持（均一化）することができるので、例え、検査対象物の検査範囲中心と検出部間の距離が大きく変化する場合であっても、検査範囲に存在する微小な凹凸等を確実に発見することができる。