特許7426898洗浄体、洗浄装置および洗浄方法

発明の名称　洗浄体、洗浄装置および洗浄方法

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7426898

公報発行日　2024年2月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7426898

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