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関連出願 本出願：（Ｉ）３５ Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１９（Ｅ）に基づき（１）２０１７年３月２９日に提出された米国仮出願番号６２／４７８，３８３の利益を主張し、（ＩＩ）３５ Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１９（Ｅ）に基づき（１）２０１７年８月１４日に提出された米国仮出願番号６２／５４５，３６７の利益を主張し、これらのそれぞれの開示全体を参照により本明細書に組み込まれるものとする。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

デバイス、装置、および機器用のＳiＣ電子部品の製造に使用するための高品質の単結晶ＳiＣブールを提供するために、費用効果の高い方法でＳiＣブールを製造する方法が長年望まれてきた。本発明は、とりわけ、本明細書で教示、開示および請求される配合物（depositions）、材料、製造品、デバイスおよびプロセスを提供することによりこのニーズを解決する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、バインダーを使用して、ポリマー由来ＳiＣを含むＳiＣの体積形状物（volumetric shape）を作製する方法が提供される。この場合、ポリマー由来ＳiＣ粒子（Polymer derivedＳiＣ）は、バインダー材料と混合され、バインダーおよびＳiＣ粒子は、好ましくはあらかじめ決められた形状とサイズ（したがって体積）を有する体積造に成形され硬化される。次いで、体積形状物およ・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 本発明の体積形状物の一実施形態の斜視図である（直径６インチ、平坦な上部および底部）。
【図1B】 図１Ａの実施形態の上面斜視図である。
【図1C】 図１Ａの実施形態の側面図である。
【図1D】 図１Ａの実施形態の上面図である。
【図2A】 本発明による体積形状物の実施形態の上面斜視図である（直径４1/2インチ、部分的な中央の円筒状開口上部）。
【図2B】 図２Ａの実施形態の側面斜視図である。
【図2C】 図２Ａの実施形態の上面図である。
【図2D】 図２Ａから２Ｃに示される一般的なタイプの実施形態の概略断面図である。
【図3A】 本発明による体積形状物の実施形態の斜視図である。
【図3B】 図３Ａの実施形態の側面斜視図である。
【図3C】 図３Ａの実施形態の上面図である。
【図3D】 図６は、図３Ａの実施形態の断面の斜視図である。
【図3E】 図６は、図３Ａの断面の側面図である。
【図3F】 図３Ａおよび３Ｅに示される一般的なタイプの実施形態の概略断面図である。
【図4A】 本発明による体積形状物の実施形態の斜視図である（上部に角度の付いた環状チャネルを備えたテーパー付きシリンダー）。
【図4B】 図４Ａの実施形態の側面斜視図である。
【図4C】 図４Ａの実施形態の側面斜視図である。
【図4D】 図４Ａの実施形態の上面図である。
【図4E】 図４Ａの実施形態の断面の側面斜視図である。
【図4F】 図４Ａ～４Ｅに示される一般的なタイプの実施形態の概略断面図である。
【図5A】 本発明による体積形状物の実施形態の上面図である（上部および底部が切り取られたテーパ付きシリンダー）。
【図5B】 図５Ａの実施形態の底面図である。
【図5C】 図５Ａの実施形態の断面の斜視図である。
【図5D】 図５Ａの実施形態の断面の側面図である。
【図5E】 図５Ａの実施形態の断面の側面図である。
【図5F】 図５Ａ～５Ｃに示される一般的なタイプの実施形態の概略断面図である。
【図6A】 本発明による体積形状物の一実施形態の底面斜視図である（テーパーシリンダー底部切欠き）。
【図6B】 図６Ａの実施形態の底面図である。
【図6C】 図６Ａの実施形態の側面斜視図である。
【図6D】 図５６～６Ｃに示される一般的なタイプの実施形態の概略断面図である。
【図7】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図8】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図9】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図10】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図11】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図12】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図13】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図14】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図15】 本発明による体積形状物の一実施形態の概略断面図である。
【図16】 本発明によるシステムおよび方法の実施形態のプロセスフロー図である。
【図17】 ＳｉＣ、Ｓｉ２Ｃ、およびＳｉＣ２の分圧曲線である。
【図18】 本発明による蒸着装置およびプロセスの概略断面図である。
【図19】 本発明によるブール成長速度の実施形態を示すチャートである。
【図20A】 本発明による体積形状物の上面斜視図である（テーパーシリンダー、切り欠きなし、平坦な底部および上部）。
【図20B】 図２０Ａの体積形状物の上面斜視図である。
【図20C】 図２０Ａの体積形状物の側面斜視図である
【図21】 ブール面の曲率半径の決定を示すブールの実施形態の概略図である。
定規が図に示される範囲で、その図の実施形態およびその実施形態の特徴の尺度を提供する。定規は、説明の目的で使用されており、実施形態を他のサイズ、形状、および比率にするのを制限するものではない。

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