特許 7428551 清掃部材及び清掃装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-29

(45)【発行日】2024-02-06

(54)【発明の名称】清掃部材及び清掃装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/10 20060101AFI20240130BHJP

   B05C 5/02 20060101ALI20240130BHJP

【ＦＩ】

B05C11/10

B05C5/02

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020041490

(22)【出願日】2020-03-11

(65)【公開番号】P2021142462

(43)【公開日】2021-09-24

【審査請求日】2022-11-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 俊文

(72)【発明者】

【氏名】堀内 展雄

(72)【発明者】

【氏名】西元 美紀

【審査官】河内 浩志

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－１７７８４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１６７５０８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｃ５／００－ ５／０４

７／００－２１／００

Ｂ０５Ｄ１／００－ ７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方向に延び塗布液が吐出されるスリットノズルを有する塗布器に沿って移動させることにより、前記塗布器に付着した付着液を除去する清掃部材であって、
前記スリットノズルが形成されるノズル面から連続して形成される側壁傾斜面に沿う形状に形成される側壁対向部と、
前記側壁対向部に開口して形成される第１開口部と、
前記側壁対向部以外の部位に形成される第２開口部と、
前記第１開口部と第２開口部とが連通して形成される開口連通部と、
を備え、
前記第２開口部に吸引力を作用させることにより、前記開口連通部を通じて前記第１開口部に吸引力が発生し、前記側壁傾斜面に付着した付着液が除去されており、
前記側壁対向部は、前記第１開口部よりスリットノズルに近い部位が前記側壁傾斜面に近接して形成される先端対向部と、スリットノズルより遠い部位が前記側壁傾斜面から離れて形成される反先端対向部とを有しており、前記先端対向部と前記側壁傾斜面とで形成される隙間より前記反先端対向部と前記側壁傾斜面とで形成される隙間の方が大きくなるように形成されていることを特徴とする清掃部材。

【請求項2】

前記ノズル面に対向するノズル面対向部を有しており、このノズル面対向部とノズル面とで形成される隙間が、前記先端対向部と前記側壁傾斜面とで形成される隙間より大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の清掃部材。

【請求項3】

前記請求項１又は２に記載の清掃部材を備え、
前記スリットノズルを有する塗布器を清掃する清掃装置であって、
前記清掃部材を移動させる移動装置を備えており、
前記移動装置により、前記清掃部材の前記側壁対向部が前記塗布器の前記側壁傾斜面に対向させた状態で、前記第１開口部に吸引力を発生させて前記清掃部材を移動させることにより、塗布器に付着した付着液を吸引して除去することを特徴とする清掃装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、塗布液を吐出する塗布器を清掃するための清掃部材、及び、この清掃部材を備える清掃装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

透明導電膜は、可視光透過性と電気導電性を兼ね備えた薄膜であり、液晶、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）、フラットパネルディスプレイ、太陽電池等の透明電極として用いられている。この透明導電膜（単に塗布膜ともいう。）は、ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳと称す）の導電性高分子材料が適用されており、塗布液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。この塗布装置は、基板を載置するステージと、一方向に延びるスリットノズルを有する塗布器とを有しており、塗布器と基板とを相対移動させることにより、基板上に均一厚さの塗布膜が形成されるようになっている。

【0003】

塗布器１００は、図９（ａ）に示すように、スリットノズル１００ａが形成されるノズル面１０１と、このノズル面１０１に連続して形成される側壁傾斜面１０２とを有しており、これらノズル面１０１、側壁傾斜面１０２に残留塗布液や異物を含む付着物が付着した状態では、その付着物により塗布液の吐出状態が不均一化され、塗布膜に筋ムラなどの乾燥ムラが形成される原因になる。また、付着物が塗布中に基板上に落下して付着する虞もある。そのため、塗布器１００は、洗浄装置により定期的に洗浄され初期化される（例えば特許文献１参照）。

【0004】

洗浄装置は、ディップ槽１０３（図９（ｂ）参照）と清掃装置１０４（図１０参照）を有しており、塗布器１００のスリットノズル１００ａ部分をディップ槽１０３に浸漬させて付着した付着物を溶解（半溶解含む）させた後、清掃装置１０４により拭き取りが行われる。具体的には、ディップ槽１０３内には塗布液の溶媒（洗浄液１０６ともいう）が貯留されており、この溶媒内に付着物が付着するノズル面１０１及び側壁傾斜面１０２を浸漬させる（図９（ｂ））。そして、清掃装置１０４には、ブレード状の清掃部材１０５が設けられており、図１０（ｂ）に示すように、この清掃部材１０５をノズル面１０１及び側壁傾斜面１０２に接触させた状態でスリットノズル１００ａの延びる方向に移動させることにより（図１０（ａ））、ノズル面１０１及び側壁傾斜面１０２に付着した洗浄液を含む付着液が拭き取られ、塗布器１００の洗浄が完了する（図１０（ｃ））。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開平９－１９２５６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、従来の清掃装置１０４では付着液を完全には拭き取ることができないという問題があった。すなわち、通常、ディップ槽１０３には、洗浄液１０６として溶媒が用いられるところ、アルコールベースのＰＥＤＯＴ／ＰＳＳでは、ディップ槽１０３に洗浄液１０６として水が用いられる。洗浄液１０６が水である場合、従来の清掃部材１０５のみでは十分な拭き取りができず、清掃部材１０５が通過した部分であっても、ディップ槽１０３の水を含む付着液が残留物１０６ａとして依然として残ってしまう。そのため、図１０（ｂ）に示すように、製品を生産する塗布動作の際、残った残留物１０６ａ（付着液）がノズル面１０１まで垂れ落ちてしまい、塗布膜の品質に影響を与えるという問題があった。

【0007】

また、洗浄液１０６が水である場合に清掃部材１０５と塗布器１００との接触角を変更することで付着液を残すことなく拭き取りを行えることも考えられるが、このような場合、清掃部材１０５を洗浄液１０６の成分毎に専用設計する必要があるため、清掃装置１０４の製造コストが非常に高くなってしまうという問題があった。

【0008】

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、塗布器を洗浄した際に、塗布器に洗浄液を含む付着液が付着して残留物として残ってしまうのを抑えることができる清掃部材及び清掃装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために本発明の清掃部材は、一方向に延び塗布液が吐出されるスリットノズルを有する塗布器に沿って移動させることにより、前記塗布器に付着した付着液を除去する清掃部材であって、前記スリットノズルが形成されるノズル面から連続して形成される側壁傾斜面に沿う形状に形成される側壁対向部と、前記側壁対向部に開口して形成される第１開口部と、前記側壁対向部以外の部位に形成される第２開口部と、前記第１開口部と第２開口部とが連通して形成される開口連通部と、を備え、前記第２開口部に吸引力を作用させることにより、前記開口連通部を通じて前記第１開口部に吸引力が発生し、前記側壁傾斜面に付着した付着液が除去されており、前記側壁対向部は、前記第１開口部よりスリットノズルに近い部位が前記側壁傾斜面に近接して形成される先端対向部と、スリットノズルより遠い部位が前記側壁傾斜面から離れて形成される反先端対向部とを有しており、前記先端対向部と前記側壁傾斜面とで形成される隙間より前記反先端対向部と前記側壁傾斜面とで形成される隙間の方が大きくなるように形成されていることを特徴としている。

【0010】

本発明によれば、第２開口部に吸引力を作用させることにより、開口連通部を通じて第１開口部に吸引力を発生させることができるため、第１開口部の吸引力により側壁傾斜面に残留した洗浄液を含む付着液を吸引し、残留物を除去することができる。したがって、従来の清掃部材についてディップ槽の洗浄液に応じて専用設計することなく、洗浄液を含む付着液が塗布器に残留物として残ってしまうのを抑えることができる。また、第１開口部に発生する吸引力により、先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間より反先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間に大きな気流が発生するように調整することができる。通常、第１開口部に吸引力を発生させると、それぞれの隙間に気流が発生する。ここで、先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間に大きな気流が発生すると、スリットノズル内に存在する塗布液が乾燥する、あるいは、気流により流れ出てノズル面から側壁傾斜面を伝って第１開口部に吸引されることにより、塗布液がノズル面及び側壁傾斜面に残ってしまう場合がある。また、塗布液が気流により流れ出ることでスリットノズル内にエアが混入してしまう虞がある。そこで、先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間より反先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間を大きくすることにより、反先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間に強い気流を発生させて側壁傾斜面に付着した付着液を積極的に除去し、先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間に弱い気流を発生させてスリットノズル内の塗布液を乾燥させず、また塗布液が流れ出ないようにしつつ、側壁傾斜面に付着した残留物（付着液）を除去することができる。

【0013】

また、前記ノズル面に対向するノズル面対向部を有しており、このノズル面対向部とノズル面とで形成される隙間が、前記先端対向部と前記側壁傾斜面とで形成される隙間より大きくなるように形成されている構成にしてもよい。

【0014】

この構成によれば、先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間に連続して、この隙間よりノズル面対向部とノズル面とで形成される隙間を大きく形成することにより、先端対向部と側壁傾斜面とで形成される隙間に発生する気流よりもノズル面対向部とノズル面とで形成される隙間に発生する気流を小さくすることができる。これにより、第１開口部に吸引力を発生させた場合でも、スリットノズル内の塗布液が流れ出るのを効果的に抑えることができる。

【0015】

上記課題を解決するために本発明の清掃装置は、上記いずれかの清掃部材を備え、前記スリットノズルを有する塗布器を清掃する清掃装置であって、前記清掃部材を移動させる移動装置を備えており、前記移動装置により、前記清掃部材の前記側壁対向部が前記塗布器の前記側壁傾斜面に対向させた状態で、前記第１開口部に吸引力を発生させて前記清掃部材を移動させることにより、塗布器に付着した付着液を吸引して除去することを特徴としている。

【0016】

本発明によれば、第２開口部に吸引力を作用させることにより、開口連通部を通じて第１開口部に吸引力を発生させることができるため、第１開口部の吸引力により側壁傾斜面に残留した洗浄液を含む付着液が吸引されることにより、付着液を除去することができる。したがって、洗浄液が塗布器に残留物（付着液）として残ってしまう問題を抑えることができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、塗布器を洗浄した際に、塗布器に洗浄液を含む付着液が付着して残留物として残ってしまうのを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の清掃部材及び清掃装置を備える塗布装置を概略的に示す図である。

【図2】塗布器を概略的に示す図である。

【図3】ディップ槽を示す図であり、（ａ）はディップ槽上に塗布器が配置された状態を示す図、（ｂ）はディップ槽に塗布器が浸漬された状態を示す図である。

【図4】清掃装置を示す図であり、（ａ）は清掃装置上に塗布器が配置された状態を示す図、（ｂ）は清掃部材が塗布器に当接した状態を示す図である。

【図5】第１清掃部材が第１台座部に取り付けられた状態を示す図である。

【図6】第１清掃部材を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は塗布器に当接稜線が当接している状態を示す図、（ｃ）は塗布器と側壁対向部とで形成される隙間を示す図である。

【図7】第１清掃部材が取り付けられた第１清掃部の外観を示す図である。

【図8】第２清掃部を示す図であり、（ａ）は第２清掃部材が第２台座部に取り付けられた状態を示す図、（ｂ）は第２清掃部材を示す斜視図である。

【図9】従来技術を示す図であり、（ａ）は塗布器を示す図、（ｂ）はディップ槽を示す図である。

【図10】従来の清掃装置を示す図であり、（ａ）は清掃部材が塗布器に当接した状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部材で拭き取った後の状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

【0020】

図１は、本発明の清掃装置を備える塗布装置を概略的に示す斜視図、図２は、本発明の清掃装置を概略的に示す図、図３は、清掃装置を長手方向から見た図である。

【0021】

図１～図３に示すように、塗布装置１は、基板Ｗ上に薬液やレジスト液等の液状物（以下、塗布液と称す）の塗布膜を形成するものであり、基板Ｗを載置するためのステージ２１と、このステージ２１に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット３とを備えている。

【0022】

なお、以下の説明では、塗布ユニット３が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

【0023】

ステージ２１は、ロボットハンド等により搬入された基板Ｗを載置するものである。このステージ２１には、基板保持手段が設けられており、この基板保持手段により基板Ｗが保持されるようになっている。具体的には、ステージ２１の表面に形成された複数の吸引孔が形成されており、この吸引孔に吸引力を発生させることにより基板Ｗをステージ２１の表面に吸着させて保持できるようになっている。

【0024】

また、塗布ユニット３は、基板Ｗ上に塗布液を吐出して塗布膜を形成するものである。この塗布ユニット３は、図１、図２に示すように、塗布液を吐出する塗布器３０と、この塗布器３０を保持するガントリ部３５とを有しており、Ｘ軸方向に移動可能に形成されている。すなわち、塗布ユニット３を移動させる駆動ユニットが設けられており、この駆動ユニットを制御することによりガントリ部３５をＸ軸方向に移動させることができるようになっている。具体的には、駆動ユニットは、ステージ２１のＹ軸方向端部に設けられるＸ軸方向に延びるレールと、脚部３５ａに取り付けられたガントリ部３５を駆動させるリニアモータとを有しており、ガントリ部３５がレールにスライド自在に取り付けられている。そして、このリニアモータを駆動制御することにより、塗布ユニット３がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止することができる。本実施形態では、ステージ２１と、ステージ２１の外側に設置される洗浄装置５とに移動できるようになっている。

【0025】

また、ガントリ部３５には、塗布器３０を昇降させる昇降機構が設けられている。具体的には、昇降機構を作動させることにより、塗布器３０が基板Ｗに対して接離できるようになっている。これにより、塗布動作中には、ステージ２１上の基板Ｗに対して適切な高さ位置に位置することができる。また、後述の洗浄装置５に対しても昇降動作できるようになっており、昇降機構を作動させることにより、洗浄装置５に対して接離できるようになっている。

【0026】

また、塗布器３０は、塗布液を吐出して基板Ｗ上に塗布膜を形成するものである。この塗布器３０は、一方向に延びる形状を有する柱状部材であり、塗布ユニット３の走行方向（Ｘ軸方向）とほぼ直交するように設けられている。この塗布器３０は、基板Ｗと対向するノズル面３１と、基板Ｗに対して所定角度を有する側壁傾斜面３２とを有しており、ノズル面３１にスリットノズル３０ａが形成されている。具体的には、ノズル面３１は、基板Ｗに対向しＹ軸方向に延びる平坦面に形成されており、この平坦面のＸ軸方向端部から連続して側壁傾斜面３２が所定角度で形成されている。すなわち、塗布器３０は、側壁傾斜面３２、ノズル面３１と連続するように基板Ｗに向かって先細りの形状に形成されている。また、ノズル面３１には、僅かな隙間で形成されるスリットノズル３０ａがＹ軸方向に延びるように形成されている。そして、塗布器３０に塗布液が供給されると、塗布液がスリットノズル３０ａを通じて長手方向（Ｙ軸方向）に亘って一様に吐出されるようになっている。したがって、このスリットノズル３０ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３をＸ軸方向に走行させることにより、基板Ｗ上に一定厚さの塗布膜が形成されるようになっている。

【0027】

また、塗布装置１は、塗布器３０を保守、初期化するための洗浄装置５を備えている。この洗浄装置５は、ステージ２１のＸ軸方向端部側に設けられており、塗布器３０のスリットノズル３０ａ部分を洗浄液中に浸漬させることにより付着した付着物を溶解（半溶解含む）させた後、付着した洗浄液の拭き取りが行われることにより、塗布器３０が洗浄され、塗布器３０の保守、初期化が行われるようになっている。

【0028】

洗浄液中に塗布器３０を浸漬させることにより、塗布器３０に付着した塗布液を溶解（半溶解含む）するものである。

【0029】

洗浄装置５は、図３に示すディップ槽５０が設けられており、このディップ槽５０に塗布器３０を浸漬させることにより塗布器３０に付着した付着物等が洗浄される。ディップ槽５０は、一定量の洗浄液を溜める液体収容器であり、本実施形態では、洗浄液として水が貯留されている。このディップ槽５０は、一方向に延びる形状を有しており、一方向に延びる長手方向寸法がスリットノズル３０ａの長手方向寸法よりも大きくなるように形成されている。したがって、塗布ユニット３を洗浄装置５の位置で停止させ塗布器３０を下降させると、ディップ槽５０の洗浄液にスリットノズル３０ａを浸漬させることができるようになっている。また、ディップ槽５０の底面部には、振動子５１（超音波振動子）が設けられている。この振動子５１を作動させると、ディップ槽５０内の洗浄液に超音波振動が付与される。これにより、ディップ槽５０に浸漬されたスリットノズル３０ａに対して超音波洗浄を行うことができるようになっている。

【0030】

また、洗浄装置５には、清掃装置４（図４参照）が設けられている。清掃装置４は、ディップ槽５０で浸漬された後の塗布器３０の拭き取りを行うことにより、洗浄液を含む塗布液（合わせて付着物とも呼ぶ）を除去するためのものである。清掃装置４は、塗布器３０に対して拭き取りを行う清掃ユニット４０と、この清掃ユニット４０を塗布器３０の長手方向に移動させる移動装置と、除去した付着物を受けるトレイ部６とを有しており、清掃ユニット４０が塗布器３０に当接した状態で移動させられることにより、塗布器３０に付着した付着液を含む付着物が除去されるようになっている。

【0031】

清掃装置４は、保守、初期化動作時（清掃時という）には、トレイ部６上に塗布器３０が移動し、トレイ部６上で保守、初期化処理（清掃処理という）が行われるようになっている。トレイ部６は、一方向に延びる形状を有しており、Ｙ軸方向に沿う姿勢で配置されている。すなわち、トレイ部６は、塗布器３０を覆う程度に塗布器３０よりも大きく形成されており、トレイ部６上で清掃処理が行われた際に除去された付着液を含む付着物を受けることができる程度に形成されている。

【0032】

また、トレイ部６内には、清掃ユニット４０と、移動装置とが設けられており、移動装置を駆動制御することにより、清掃ユニット４０がトレイ部６の長手方向に沿って移動できるように形成されている。移動装置は、本実施形態では、スライダ６１と、このスライダ６１を移動させるリニアモータ（不図示）を有しており、リニアモータが制御装置（不図示）で制御されるようになっている。すなわち、清掃時には、トレイ部６上に塗布器３０が配置された状態で、制御装置によりリニアモータが駆動制御されると、スライダ６１が塗布器３０の長手方向一方端部から他方端部に向かって移動するように構成されている。そして、このスライダ６１上には、清掃ユニット４０が設けられており、リニアモータが駆動制御されることにより、スライダ６１上の清掃ユニット４０が塗布器３０のスリットノズル３０ａに沿って移動できるようになっている。なお、本発明では、清掃ユニット４０の清掃時にスライダ６１を移動させる方向を特に清掃移動方向と呼ぶ。図４の例では清掃ユニット４０が左側に向かって走行して清掃を行うため、図４における左側が清掃移動方向である。

【0033】

清掃ユニット４０は、スライダ６１上に配置されており、第１清掃部４１と第２清掃部４２とを有している。これら第１清掃部４１と第２清掃部４２は、塗布器３０に当接させて付着物を除去するものであり、第１清掃部４１が第２清掃部４２よりも清掃移動方向前側に配置されている。そして、これら第１清掃部４１及び第２清掃部４２が塗布器３０に当接した状態で、スライダ６１を移動させることにより第１清掃部４１及び第２清掃部４２が当接した状態で移動し、塗布器３０に付着した付着物が掻き取られるとともに拭き取りが行われる。すなわち、第１清掃部４１により付着した洗浄液（水）が除去されるとともに付着物が掻き取られ、第２清掃部４２により残留した付着物が拭き取られることにより、塗布器３０から洗浄液を含む付着物が除去されるようになっている。

【0034】

第１清掃部４１は、図５に示すように、塗布器３０に当接する第１清掃部材７と、この第１清掃部材７を支持する第１台座部４３とを有しており、第１清掃部材７が第１台座部４３よりも上方に突出した状態で第１台座部４３に固定されている。第１台座部４３は、第１清掃部材７を取り付ける台座であり、スライダ６１上に取り付けられている。本実施形態では、第１台座部４３は、第１清掃部材７を取り付ける清掃取付部４４を有するブロック体に形成されており、バネ６２を介してスライダ６１に取り付けられている。すなわち、第１台座部４３は、このバネ６２により鉛直方向に付勢力を受けるように構成されている。また、第１台座部４３の清掃取付部４４は、傾斜した平面を有しており、この傾斜平面に第１清掃部材７を清掃部材固定部４７（本実施形態ではボルト４５）で固定できるようになっている。すなわち、第１清掃部材７が清掃取付部４４に取り付けられた状態では、第１清掃部材７の先端部分が清掃移動方向に向く傾斜姿勢に固定され、その先端部分が第１台座部４３よりも上方に突出した状態で固定されるようになっている。したがって、第１台座部４３に第１清掃部材７を取り付けた状態で、上方に配置される塗布器３０に第１清掃部材７を当接させると、第１清掃部材７が傾斜姿勢で塗布器３０に当接し、さらに当接させた状態から上方に変位させることによりバネ６２が収縮することにより、バネ６２の付勢力が第１清掃部材７に作用し、第１清掃部材７を所定の押圧力で塗布器３０に押し当てることができるようになっている。

【0035】

なお、第２清掃部４２の第２台座部４６も同様の構成を有しており、第２台座部４６に第２清掃部材９を取り付けた状態で、上方に配置される塗布器３０に第２清掃部材９を当接させると、第２清掃部材９が傾斜姿勢で塗布器３０に当接し、さらに当接させた状態から上方に変位させることによりバネ６２が収縮することにより、バネ６２の付勢力が第２清掃部材９に作用し、清掃部材を所定の押圧力で塗布器３０に押し当てることができるようになっている。

【0036】

このように、第１清掃部４１、第２清掃部４２で、それぞれ第１台座部４３、第２台座部４６をバネ６２を介してスライダ６１から独立させて設けているため、第１清掃部材７、第２清掃部材９が塗布器３０に塗布器３０に押し当てる力を独立して得ることができるため、第１清掃部材７、第２清掃部材９の拭き取り性能を安定させることができる。

【0037】

第１清掃部材７は、塗布器３０に当接して洗浄液を含む付着物を除去するものである。第１清掃部材７は、本実施形態ではゴムで形成されており、例えば、ニトリルゴム、シリコーンゴム等、弾性変形しやすい材料が使用される。すなわち、第１清掃部材７が塗布器３０に当接した場合には、当接する塗布器３０の相手面に沿って弾性変形するようになっている。

【0038】

第１清掃部材７は、１枚の板状部材であり、その先端部分にはＶ字状の溝が形成されている。すなわち、Ｖ字溝７４が塗布器３０のスリットノズル３０ａに当接させると、塗布器３０の側壁傾斜面３２にＶ字溝７４が沿うように形成されている。

【0039】

具体的には、第１清掃部材は、長辺部分を有する長辺平面部７１と、長辺平面部７１に対向する短辺平面部７２と、これらを連結する傾斜面部７３とを有しており、傾斜面部７３にＶ字溝７４が形成されている。すなわち、傾斜面部７３と長辺平面部７１とで形成される稜線（当接稜線７５）が塗布器３０の側壁傾斜面３２に沿う形状に形成されている。すなわち、第１台座部４６には、短辺平面部７２が当接した状態で取り付けられるようになっており、第１清掃部材９が第１台座部４６に取り付けられた状態では、第１清掃部材９が清掃移動方向に傾斜する傾斜姿勢で第１清掃部材７のＶ字溝７４が第１台座部４６よりも上方に突出した状態で固定されるようになっている。したがって、第１台座部４６に第１清掃部材７を取り付けた状態で、上方に配置される塗布器３０に第１清掃部材を当接させると、第１清掃部材７の当接稜線７５が塗布器３０の側壁傾斜面３２に当接し、さらに当接させた状態から上方に変位させることによりバネ６２が収縮することにより、バネ６２の付勢力が当接稜線７５に作用し、当接稜線７５を所定の押圧力で塗布器３０の側壁傾斜面３２に押し当てることができるようになっている。そして、第１清掃部材７は、ゴムで形成されていることにより、当接稜線７５を所定の押圧力で側壁傾斜面３２に当接させると、Ｖ字溝７４が弾性変形し、当接稜線７５が側壁傾斜面３２に密着するようになっている。

【0040】

また、第１清掃部材７は、当接稜線７５から短辺平面部７２に向かってＶ字状を維持しつつ側壁傾斜面３２に対向する側壁対向部７７を有している。この側壁対向部７７は、側壁傾斜面３２に対向しつつ、側壁傾斜面３２から離間するように形成されている。すなわち、側壁対向部７７は、当接稜線７５が側壁傾斜面３２に当接する位置から短辺平面部７２に向かって拡幅するように形成されており、側壁対向部７７と側壁傾斜面３２との間には一定の隙間が形成されるように形成されている。すなわち、塗布器３０の側壁傾斜面３２と、側壁対向部７７との位置関係は、当接稜線７５では、図６（ｂ）に示すように、当接稜線７５が側壁傾斜面３２に当接し、当接稜線７５よりも短辺平面部７２側では、図６（ｃ）に示すように、側壁対向部７７と側壁傾斜面３２との間には一定の隙間が形成される。

【0041】

また、第１清掃部材７には、塗布器３０に付着した洗浄液を吸引する吸引機能を有している。すなわち、第１清掃部材７には、側壁対向部７７に開口する第１開口部８１が形成されており、この第１開口部８１から吸引力を発生させることができるようになっている。具体的には、第１清掃部材７は、その側面部７９に開口して形成される第２開口部８２を有している。そして、第１台座部４３には、図７に示すように、吸引源に接続される吸引配管８３が設けられており、第１清掃部材７が第１台座部４３に取り付けられた状態では、吸引配管８３と第２開口部８２とが接続されるようになっている。そして、第１清掃部材７は、第１開口部８１と第２開口部８２と連通接続される開口連通部８４（図６（ｃ）参照）を有しており、第２開口部８２に吸引力を作用させると、開口連通部８４を通じて第１開口部８１に吸引力が発生する。これにより、塗布器３０の側壁傾斜面３２に側壁対向部７７を対向させた状態で第１開口部８１に吸引力を発生させることにより、側壁傾斜面３２に付着した洗浄液が第１開口部８１に吸引されるようになっている。

【0042】

また、図６（ｃ）に示すように、側壁対向部７７は、第１開口部８１を基準に下側（スリットノズル３０ａに近い部位）に位置する先端対向部７７ａと、上側（スリットノズル３０ａから遠い部位）に位置する反先端対向部７７ｂとを有している。そして、塗布器３０の側壁傾斜面３２に対向した状態では、図７に示すように、先端対向部７７ａと側壁傾斜面３２とで形成される隙間αより反先端対向部７７ｂと前記側壁傾斜面３２とで形成される隙間βの方が大きくなるように形成されている。これにより、第１開口部８１に発生させた吸引力がスリットノズル３０ａに作用し、スリットノズル３０ａに滞留する塗布液が乾燥するのを抑え、また吸引力で引き出されるのを抑えることができるようになっている。すなわち、第１開口部８１に吸引力を発生させると、先端対向部７７ａ、反先端対向部７７ｂで形成されるそれぞれの隙間α、隙間βに第１開口部８１に向かう気流が発生する。ところが、側壁傾斜面３２と先端対向部７７ａとで形成される隙間αよりも、側壁傾斜面３２と反先端対向部７７ｂとで形成される隙間βの方が大きく形成されているため、圧損の関係により側壁傾斜面３２と反先端対向部７７ｂとで形成される隙間βの方に大きな気流が発生し、側壁傾斜面３２と先端対向部７７ａとで形成される隙間αに発生する気流を小さくすることができる。これにより、先端対向部７７ａ、反先端対向部７７ｂ、それぞれで形成される隙間α、隙間βが同じ場合に比べて、スリットノズル３０ａに滞留する塗布液が乾燥するのを抑え、塗布液が引き出される問題を抑えることができる。

【0043】

また、第１清掃部材７は、ノズル面３１に対向するノズル面対向部７８を有しており、このノズル面対向部７８は、ノズル面３１とで形成される隙間γが先端対向部７７ａと側壁傾斜面３２とで形成される隙間αより大きくなるように形成されている。図６（ａ）～図６（ｃ）の例では、断面が矩形状でありノズル面３１から離間するように形成されている。これよりスリットノズル３０ａ内の塗布液が乾燥したり、塗布液が流れ出る問題をさらに抑えることができる。すなわち、上述の通り、先端対向部７７ａと側壁傾斜面３２とで形成される隙間αに発生する気流は有効に抑えられ、さらに、ノズル面３１とノズル面対向部７８とで形成される隙間γが、先端対向部７７ａと側壁傾斜面３２とで形成される隙間αに連続して形成され、先端対向部７７ａと側壁傾斜面３２とで形成される隙間αより大きく形成されているため、ノズル面３１とノズル面対向部７８とで形成される隙間γに発生する吸引力がさらに弱められる。したがって、スリットノズル３０ａ内の塗布液が乾燥したり、塗布液が流れ出る問題をさらに抑えることができる。

【0044】

このように第１清掃部材７は、清掃移動方向に移動させることにより、塗布器３０の側壁傾斜面３２に付着した洗浄液を第１開口部８１により吸引して除去しつつ、当接稜線７５により付着物を掻き取ることにより塗布器３０を清掃することができる。

【0045】

また、第２清掃部４２は、図８（ａ）、図８（ｂ）に示すように、塗布器３０に当接する第２清掃部材９と、この第２清掃部材９を支持する第２台座部４６とを有しており、清掃部材が第２台座部４６よりも上方に突出した状態で第２台座部４６に固定されている。この第２台座部４６は、上述の通り、第１台座部４３と同様の構成を有しているので、その説明を省略する。

【0046】

第２清掃部材９は、塗布器３０に当接して付着物を除去するものであり、板状部材で形成されている。第１清掃部材７は、本実施形態ではゴムで形成されており、例えば、ニトリルゴム、シリコーンゴム等、弾性変形しやすい材料が使用される。すなわち、第２清掃部材９が塗布器３０に当接した場合には、当接する塗布器３０の相手面に沿って弾性変形するようになっている。

【0047】

第２清掃部材９は、１枚の板状部材であり、その先端部分にはＶ字状の溝が形成されている。すなわち、Ｖ字溝９１が塗布器３０のスリットノズル３０ａに当接させると、塗布器３０の基板対向面３１、傾斜側面３２にＶ字溝９１が沿うように形成されている。そして、第２清掃部材９は、第１台座部４３と同様に、第２台座部４６の清掃部材固定部４７に取り付けられるようになっており、第２台座部４６の清掃取付部４４にボルト４５で固定できるようになっている。すなわち、第２清掃部材９が第２台座部４６に取り付けられた状態では、清掃移動方向に傾斜する傾斜姿勢を維持し、第２清掃部材９のＶ字溝９１が第２台座部４６よりも上方に突出した状態で固定されるようになっている。したがって、第２台座部４６に第２清掃部材９を取り付けた状態で、上方に配置される塗布器３０に第２部材を当接させると、第２清掃部材９のＶ字溝９１が傾斜姿勢で塗布器３０のスリットノズル３０ａに当接し、さらに当接させた状態から上方に変位させることによりバネ６２が収縮することにより、バネ６２の付勢力が第２清掃部材９に作用し、第２清掃部材９を所定の押圧力で塗布器３０に押し当てることができるようになっている。そして、第２清掃部材９は、ゴムで形成されているため、Ｖ字溝７４にスリットノズル３０ａが当接すると、Ｖ字溝７４が弾性変形し、基板対向面３１、傾斜側面３２に密着するように変形することができる。このように、第１清掃部材７で塗布器３０に付着した洗浄液を除去しつつ、付着物を掻き取った後、塗布器３０に残留した付着物を仕上げるように第２清掃部材９で拭き取りすることができる。これにより、第２清掃部材９は、第１清掃部材７により洗浄液が除去された後に拭き取りを行えるため、すなわち、従来の拭き取り環境と同様に塗布器３０に水分が付着していない環境で拭き取りを行えるため、従来の第２清掃部材９をそのまま使用することができ、拭き取り環境に応じた専用の清掃部材に作り替えることなく塗布器３０の清掃を行うことができる。

【0048】

このように、上記実施形態よれば、第２開口部８２に吸引力を作用させることにより、開口連通部８４を通じて第１開口部８１に吸引力を発生させることができるため、第１開口部８１の吸引力により側壁傾斜面３２に残留した洗浄液を含む付着液を吸引し、除去することができる。したがって、従来の清掃部材についてディップ槽５０の洗浄液に応じて専用設計することなく、洗浄液が塗布器３０に付着液が残留物として残ってしまうのを抑えることができる。

【0049】

また、上記実施形態では、第１清掃部材７、第２清掃部材９が同じ清掃ユニット４０内で、それぞれ別の台座部４６に取り付けられる例について説明したが、共通の１つの台座部にそれぞれ取り付けられるものであってもよい。１つの台座部に設ける方が、第１清掃部材７、第２清掃部材９の高さ方向の位置決めの調節を容易にすることができる。

【0050】

また、上記実施形態では、ノズル面対向部７８を設ける例について説明したが、スリットノズル３０ａ内の塗布液に影響がない場合は、ノズル面対向部７８を省略してもよい。

【0051】

また、上記実施形態では、先端対向部７７ａと反先端対向部７７ｂとで、側壁傾斜面３２に対する隙間α、隙間βを異なるように設定する例について説明したが、スリットノズル３０ａ内の塗布液に影響がない場合は、それぞれの隙間α、隙間βを同じ寸法に設定してもよい。

【0052】

また、上記実施形態では、第２開口部８２を側面部７９に形成される例について説明したが、側壁対向部７７以外の面であれば、どの位置に形成してもよい。側壁対向部７７に対向する位置の側面部７９に形成した方が開口連通部８４を形成しやすく、第１清掃部材の製造コストを抑えることができる。

【0053】

また、上記実施形態では、清掃ユニット４０に第１清掃部材７及び第２清掃部材９がそれぞれ設けられる例について説明せいたが、第１清掃部材７のみで付着液を含む付着物の拭き取りが十分に行われる場合には、第１清掃部材７のみ搭載された清掃装置４であってもよい。また、上記実施形態では、清掃ユニット４０に第１清掃部材７及び第２清掃部材９がそれぞれ１枚ずつ設けられる例について説明したが、第１清掃部材７及び第２清掃部材９がそれぞれ複数枚用いられるものであってもよく、それぞれの枚数については特に限定しない。

【符号の説明】

【0054】

１ 塗布装置
３ 塗布ユニット
４ 清掃装置
５ 洗浄装置
７ 第１清掃部材
９ 第２清掃部材
３０ 塗布器
３０ａ スリットノズル
３１ ノズル面
３２ 側壁傾斜面
４０ 清掃ユニット
４１ 第１清掃部
４２ 第２清掃部
５０ ディップ槽
７７ 側壁対向部
７７ａ 先端対向部
７７ｂ 反先端対向部
７８ ノズル面対向部
８１ 第１開口部
８２ 第２開口部
８４ 開口連通部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】