特許 7429233 真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に関連する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-30

(45)【発行日】2024-02-07

(54)【発明の名称】真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に関連する方法

(51)【国際特許分類】

   H04L 67/00 20220101AFI20240131BHJP

【ＦＩ】

H04L67/00

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2021530116

(86)(22)【出願日】2019-11-12

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-19

(86)【国際出願番号】 GB2019053203

(87)【国際公開番号】W WO2020109752

(87)【国際公開日】2020-06-04

【審査請求日】2022-09-14

(31)【優先権主張番号】1819245.0

(32)【優先日】2018-11-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】GB

(73)【特許権者】

【識別番号】507261364

【氏名又は名称】エドワーズ リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(72)【発明者】

【氏名】クルンドウェル ピーター レジナルド

(72)【発明者】

【氏名】モラン リチャード ジョン

(72)【発明者】

【氏名】スタマーズ ピーター ジョージ

(72)【発明者】

【氏名】バーロウ スティーヴン グラハム

(72)【発明者】

【氏名】ハスレット ブレント

【審査官】木村 雅也

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－３４１０２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－３３４２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－３２２３８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１１－５１０６００（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０２４５３５２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／０２７１９２４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１５－０００６１９６（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０４Ｌ ６７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に対して識別子を割り当てる方法であって、
前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの第１の制御装置によって、第１の識別子が前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの第２の制御装置に割り当てられることを決定するステップであって、前記第２の制御装置は、前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュールに位置する、ステップと、
前記第１の制御装置によって、前記第１の識別子を示す第１の信号を前記第２の制御装置に送るステップと、
前記モジュールに結合したユーザー入力デバイスによってユーザー入力を受け取るステップと、
前記第２の制御装置によって、前記ユーザー入力に応答して、前記第１の識別子をその識別子として採用するステップと、を含む、
ことを特徴とする方法。

【請求項2】

前記第１の識別子が前記第２の制御装置に割り当てられるという前記決定に応答して、ユーザーインタフェースによって、前記第２の制御装置に前記第１の識別子が割り当てられるという指示を表示するステップをさらに含む、
請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記第２の制御装置によって前記第１の制御装置に対して、前記第２の制御装置がその識別子として前記第１の識別子を採用したという確認応答を送るステップをさらに含む、
請求項１又は２に記載の方法。

【請求項4】

前記第１の制御装置によって、接続を介して前記第２の制御装置に接続された第３の制御装置が存在することを決定するステップと、
前記第１の制御装置によって、第２の識別子を示す第２の信号を前記第２の制御装置及び前記第３の制御装置に送るステップであって、前記第２の信号が、前記第２の制御装置と前記第３の制御装置との間の前記接続も示す、ステップと、
前記第２の制御装置によって、前記第２の制御装置と前記第３の制御装置との間の前記接続を介して、信号を前記第３の制御装置に送るステップと、
前記接続によって送信された前記信号に応答して、前記第３の制御装置によって、前記第２の識別子をその識別子として採用するステップと、をさらに含む、
請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。

【請求項5】

前記第３の制御装置によって前記第１の制御装置に対して、前記第３の制御装置がその識別子として前記第２の識別子を採用したという確認応答を送るステップをさらに含む、
請求項４に記載の方法。

【請求項6】

前記第３の制御装置が、その識別子として前記第２の識別子を採用したという確認応答に応答して、前記第１の制御装置によって、前記第２の識別子とは異なるさらなる識別子を示す、さらなる信号を前記第２の制御装置及び前記第３の制御装置とは異なる、前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除外システムの前記モジュールに位置するさらなる制御装置に送るステップであって、前記さらなる信号が、前記第２の制御装置と前記さらなる制御装置との間の接続を示す、ステップと、
前記第２の制御装置によって、前記第２の制御装置と前記さらなる制御装置との間の接続を介して、さらなる信号を前記さらなる制御装置に送るステップと、
前記第２の制御装置と前記さらなる制御装置との間の接続を介して送られた前記さらなる信号に応答して、前記さらなる制御装置によって、前記さらなる識別子をその識別子として採用するステップと、をさらに含む、
請求項５に記載の方法。

【請求項7】

前記さらなる制御装置によって前記第１の制御装置に対して、前記さらなる制御装置が前記さらなる識別子をその識別子として採用したというさらなる確認応答を送るステップをさらに含む、
請求項６に記載の方法。

【請求項8】

前記第１の信号の伝達に応答してタイマーを起動するステップをさらに含み、ユーザー入力が前記タイマーの起動から所定の時間内に前記ユーザー入力デバイスで受け取られた場合に、前記第２の制御装置のみが前記第１の識別子をその識別子として採用する、
請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。

【請求項9】

前記ユーザー入力デバイスはボタンであり、前記ユーザー入力は、前記ボタンを押すことから成る、
請求項１から８のいずれか１項に記載の方法。

【請求項10】

前記ユーザー入力デバイスは、発光デバイスを備える、
請求項１から９のいずれか１項に記載の方法。

【請求項11】

前記第１の制御装置は、前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの全て又はその一部の動作を制御するように構成される、
請求項１から１０のいずれか１項に記載の方法。

【請求項12】

前記第２及び第３の制御装置は、前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュールのうちの１つのみの動作を制御するように構成されたモジュール制御システムの一部である、
請求項１から１１のいずれか１項に記載の方法。

【請求項13】

前記第１及び第２の制御装置は、通信ネットワークを介して相互に接続される、
請求項１から１２のいずれか１項に記載の方法。

【請求項14】

モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に対して識別子を割り当てるためのシステムであって、
第１の制御装置と、
前記モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュールに配置された第２の制御装置と、
前記モジュールに結合されたユーザー入力デバイスと、を備え、
前記システムは、請求項１に記載の方法を実行するように構成される、システム。

【請求項15】

請求項１４に記載のシステムで構成されるモジュール式真空ポンプ及び／又は除害システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプ及び／又は除害システムは、半導体製造などの様々な技術分野で用いられている。一般に、このシステムでは、真空ポンプ装置は、特定の場所からガスを（例えば、工業プロセスからガスを）排出するために使用され、除害装置は、生成された望ましくない物質（例えば、排気ガス）を除害する（例えば、破棄又は廃棄する）ために使用される。

【0003】

関連するプロセスに応じて、真空ポンピング及び除害に関する様々な基準があるはずである。例えば、一般に、様々なプロセスガス、様々なガス圧、様々なガス流を含む様々なプロセスに関して様々な真空ポンプ装置及び様々な除害装置を使用することが望ましい。また、一般に、様々な望ましくない物質を廃棄又は廃棄するために様々な除害装置を使用することが好ましい。

【0004】

一般に、真空ポンプ及び／又は除害システムは、使用されることなる特定のプロセスに応じて特注で設計される。しかしながら、このような特注システムの設計、製造、及び設置に費やされる時間は、一般に、様々なプロセスが様々な真空ポンプ及び除害システムの解決手法を必要とするので長期にわたる。

【0005】

真空ポンプ及び／又は除害装置に加えて、真空ポンプ及び／又は除害システムは、一般に、システム運用を制御するための電子制御装置も含む。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様によれば、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に対して識別子を割り当てる方法が提供され、本方法は、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの第１の制御装置によって、第１の識別子がモジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの第２の制御装置に割り当てられることを決定するステップであって、第２の制御装置は、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュールに位置する、ステップと；第１の制御装置によって、第１の識別子を示す第１の信号を第２の制御装置に送るステップと；モジュールに結合したユーザー入力デバイスによってユーザー入力を受け取るステップと；第２の制御装置によって、ユーザー入力に応答して、第１の識別子をその識別子として採用するステップと、を含む。

【0007】

本方法は、第１の識別子が第２の制御装置に割り当てられるという決定に応答して、ユーザーインタフェースによって、第２の制御装置に第１の識別子が割り当てられるという指示を表示するステップをさらに含むことができる。

【0008】

本方法は、第２の制御装置によって第１の制御装置に対して、第２の制御装置がその識別子として第１の識別子を採用したという確認応答を送るステップをさらに含むことができる。

【0009】

本方法は、第１の制御装置によって、接続を介して第２の制御装置に接続された第３の制御装置が存在することを決定するステップと；第１の制御装置によって、第２の識別子を示す第２の信号を第２の制御装置及び第３の制御装置に送るステップであって、第２の信号が、第２の制御装置と第３の制御装置との間の接続も示す、ステップと；第２の制御装置によって、第２の制御装置と第３の制御装置との間の接続を介して、信号を第３の制御装置に送るステップと；接続によって送信された信号に応答して、第３の制御装置によって、第２の識別子をその識別子として採用するステップと、をさらに含むことができる。

【0010】

本方法は、第３の制御装置によって第１の制御装置に対して、第３の制御装置がその識別子として第２の識別子を採用したという確認応答を送るステップをさらに含むことができる。

【0011】

本方法は、第３の制御装置が、その識別子として第２の識別子を採用したという確認応答に応答して、第１の制御装置によって、さらなる第２の識別子を示すさらなる第２の信号を第２の制御装置及びさらなる第３の制御装置に送るステップであって、さらなる第２の信号が、第２の制御装置とさらなる第３の制御装置との間の接続を示す、ステップと；第２の制御装置によって、第２の制御装置とさらなる第３の制御装置との間の接続を介して、さらなる信号をさらなる第３の制御装置に送るステップと；第２の制御装置とさらなる第３の制御装置との間の接続を介して送られたさらなる信号に応答して、さらなる第３の制御装置によって、さらなる第２の識別子をその識別子として採用するステップと、をさらに含むことができる。

【0012】

本方法は、さらなる第３の制御装置によって第１の制御装置に対して、さらなる第３の制御装置がさらなる第２の識別子をその識別子として採用したというさらなる確認応答を送るステップをさらに含むことができる。

【0013】

本方法は、第１の信号の伝達に応答してタイマーを起動するステップをさらに含むことができる。ユーザー入力がタイマーの起動から所定の時間内にユーザー入力デバイスで受け取られた場合に、第２の制御装置のみが第１の識別子をその識別子として採用することができる。

【0014】

ユーザー入力デバイスはボタンとすることができる。ユーザー入力は、ボタンを押すことから成ることができる。
ユーザー入力デバイスは、発光デバイスを備えることができる。

【0015】

第１の制御装置は、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの全て又はその一部の動作を制御するように構成することができる。

【0016】

第２及び第３の制御装置は、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュールのうちの１つのみの動作を制御するように構成されたモジュール制御システムの一部とすることができる。

【0017】

第１及び第２の制御装置は、通信ネットワークを介して相互に接続することができる。

【0018】

第１の信号は、同報通信信号とすることができる。
第２の信号は、同報通信信号とすることができる。

【0019】

本発明の第２の態様によれば、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置に対して識別子を割り当てるためのシステムが提供され、本システムは、第１の制御装置と；モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュールに配置された第２の制御装置と；モジュールに結合されたユーザー入力デバイスと、を備え、本システムは、第１の態様による方法を実行するように構成される。

【0020】

本発明の第２の態様によれば、第２の態様によるシステムを備えるモジュール式真空ポンプ及び／又は除害システムが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】真空ポンプ及び／又は除害システムを示す概略図（正確な縮尺ではない）である。

【図2】真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置の概略図（正確な縮尺ではない）である。

【図3】真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュール制御システムの制御装置に識別子を割り当てる方法を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１は、モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システム２を示す概略図（正確な縮尺ではない）である。システム２は、システム２とエンティティ４との間の１又は２以上の流体入力ライン６（一般に「フォアライン」と呼ばれる）によってエンティティ４に流体的に接続される。例えば、エンティティ４は、半導体製造などの工業プロセスで使用されるチャンバ又は空間とすることができる。また、システム２は、排気ライン８に流体的に接続される。

【0023】

作動時、システム２は、流体入力ライン６によってエンティティ４のガスを排出する、及び／又は排出されるガス内に存在する可能性があるエンティティ４によって生じる望ましくない物質を除害する（例えば、破棄又は廃棄する）。また、システム２は、システム２の排気ガス（すでに除害プロセスを受けているガスとすることができる）を排気ライン８に排出し、結果的に排気ガスをシステム２から除去する。

【0024】

システム２は、複数のモジュール１０を備え、これらは、「ユニット」又は「スライス」とも呼ぶことができる。各モジュール１０は、１又は２以上の装置１２を備える。各装置１２は、システム２の中でそれぞれの機能を果たすように構成される。例えば、装置１２は、エンティティ４からガスを排出する真空ポンプ、エンティティ４で生じた望ましくない物質を除害するための除害装置、又は特定の周波数のＡＣ電力を他の周波数のＡＣ電力に変換するためのインバーターとすることができる。しかしながら、１又は２以上の装置１２はこれらに限定されない。一般に、装置１２の各々は、真空ポンプ及び／又は除害システムで使用される何らかの装置とすることができる。一部の実施形態において、２又は３以上の装置１２は、実質的に同じである、及び／又は互いに実質的に同じ機能を果たす。

【0025】

上述のように、システム２は、システム２の動作を制御するための複数の電子制御装置を含む。これらの制御装置は、図２を参照して詳細に説明する。
図２は、真空ポンプ及び／又は除害システム２の複数の制御装置を示す概略図（正確な縮尺ではない）である。

【0026】

この実施形態において、システム２は、中央制御装置２２、ユーザーインタフェース２３、及び複数のモジュール制御システム２４を備える。理解を容易にして明瞭化のために、図２には１つのモジュール制御システム２４だけが詳細に示されている。

【0027】

中央制御装置２２は、真空ポンプ及び／又は除害システム２の全て又は一部の動作を制御するように構成される。例えば、中央制御装置２２は、真空ポンプ及び／又は除害システム２の複数の異なるモジュール１０の装置１２を制御するように構成することができる。この実施形態において、中央制御装置２２は、システム２のモジュール１０のうちの１つに（例えば、その中に又は上に）位置する。ユーザーインタフェース２３は、ユーザーインタフェースリンク２５によって中央制御装置２２に接続する。ユーザーインタフェースリンク２５は、有線又は無線リンクとすることができる。ユーザーインタフェース２３は、ユーザーから１又は２以上のユーザー入力を受け取り、受け取った１又は２以上のユーザー入力に基づいて、ユーザーインタフェースリンク２５を介して、１又は２以上の信号を中央制御装置２２に送ることができる。中央制御装置２２は、ユーザーインタフェース２３から受け取った１又は２以上の信号に応答しかつそれに依存して１又は２以上のアクションを行うように構成される。このように、ユーザーは、ユーザーインタフェース２３を用いて中央制御装置２２に対して１又は２以上のアクションを行うように命令することができる。ユーザーインタフェース２３は、何らかの適切なユーザーインタフェース（例えば、タッチスクリーン又はキーボード及びモニター）とすることができる。

【0028】

この実施形態において、各モジュール制御システム２４は、真空ポンプ及び／又は除害システム２のモジュール１０のうちの１つだけの動作を制御するように構成される。作動時、各モジュール制御システム２４は、真空ポンプ及び／又は除害システム２の異なるそれぞれのモジュール１０を制御するように構成される。より詳細には、各モジュール制御システム２４は、モジュール制御システム２４が制御するように構成されるモジュール１０の１又は２以上の装置１２の各々を制御するように構成される。各モジュール制御システム２４は、これが制御するように構成されるモジュール１０に（その中に又は上に）位置する。この実施形態において、各モジュール制御システム２４は、中央制御装置２２から遠く離れて位置する（すなわち、中央制御装置２２が位置するモジュール１０に対して異なるモジュール１０に）。

【0029】

各モジュール制御システム２４は、モジュールマスター制御装置２８、複数のモジュールスレーブ制御装置３０、及びユーザー入力デバイス３２を備える。
モジュールマスター制御装置２８は、モジュール制御システム２４が制御するように構成されるモジュール１０の１又は２以上の装置１２を制御するように構成される。各モジュールスレーブ制御装置３０は、モジュール制御システム２４が制御するように構成されるモジュール１０の異なるさまざまな装置１２を制御するように構成される。モジュールスレーブ制御装置３０によって制御される装置１２は、モジュールマスター制御装置２８によって制御されず、逆も同様である。

【0030】

中央制御装置２２及び複数のモジュール制御システム２４は、通信ネットワーク２６を介して互いに接続される。より詳細には、中央制御装置２２、モジュール制御システム２４のモジュールマスター制御装置２８、及びモジュール制御システム２４のモジュールスレーブ制御装置３０は、通信ネットワーク２６を介して相互接続される。中央制御装置２２、モジュール制御システム２４のモジュールマスター制御装置２８、及びモジュール制御システム２４のモジュールスレーブ制御装置３０は、通信ネットワーク２６を介して、１又は２以上の信号を互いに送るように構成される。また、中央制御装置２２、モジュール制御システム２４のモジュールマスター制御装置２８、及びモジュール制御システム２４のモジュールスレーブ制御装置３０は、通信ネットワーク２６を介して互いから１又は２以上の信号を受け取るように構成される。換言すると、中央制御装置２２、モジュール制御システム２４のモジュールマスター制御装置２８、及びモジュール制御システム２４のモジュールスレーブ制御装置３０は、通信ネットワーク２６を介して、双方向通信の状態にある。この実施形態において、通信ネットワーク２６は、有線通信ネットワーク（例えば、イーサネットワーク(登録商標)）である。

【0031】

各モジュール制御システム２４のモジュールマスター制御装置２８及びモジュールスレーブ制御装置３０は、複数の第１の接続３４を介して相互に接続される。例えば、第１の接続３４の各々は、個別のデジタル接続とすることができる。より詳細には、各モジュールスレーブ制御装置３０は、それぞれの第１の接続３４を介してモジュールマスター制御装置２８に接続される。モジュールマスター制御装置２８は、それぞれの第１の接続３４を介して、１又は２以上の信号を各モジュールスレーブ制御装置３０の送るように構成される。この実施形態において、第１の接続３４は、有線接続（例えば、電気ケーブル）である。各第１の接続３４は、モジュールマスター制御装置２８のそれぞれの出力（例えば、デジタル出力）をモジュールスレーブ制御装置３０のうちの１つのそれぞれの入力（例えば、デジタル入力）に接続する。第１の接続３４の使用方法は、図３を参照して以下に詳細に説明する。

【0032】

ユーザー入力デバイス３２は、第２の接続３５を介してモジュールマスター制御装置２８に接続される。例えば、第２の接続３５は、個別のデジタル接続とすることができる。ユーザー入力デバイス３２は、ユーザーからのユーザー入力を受け取るように構成される。また、ユーザー入力デバイス３２は、受け取ったユーザー入力に応答して、第２の接続３５を介して信号をモジュールマスター制御装置２８に送るように構成される。また、ユーザー入力デバイス３２は、モジュール制御システム２４が制御するように構成されるモジュール１０に結合する（例えば、機械的に結合する）。また、ユーザー入力デバイス３２は、モジュール制御システム２４が制御するように構成されるモジュール１０に（例えば、その中に又は上に）位置する。ユーザー入力デバイス３２及び第２の接続３５の使用方法は、図３を参照して以下に詳細に説明する。

【0033】

この実施形態において、ユーザー入力デバイス３２は、ユーザー入力デバイス３２から光を発して、ユーザーがユーザー入力デバイス３２をはっきり見ることができるように構成される発光デバイス（図示せず）を備える。この実施形態において、ユーザー入力デバイス３２は、ユーザーがユーザー入力を提供するために操作可能なボタンを備える（すなわち、ボタンを押すことで）。

【0034】

上述の制御装置の各々は、コンピューターメモリ、コンピューターディスク、ＲＯＭ、ＰＲＯＭなど、又はこれらの組み合わせ又は他の記憶媒体である機械可読記憶媒体の中に又はその上に記憶された、コンピュータープログラム又は複数のコンピュータープログラムの形態の命令及び／又はデータを含む、命令を実行してデータを使用するための１又は２以上のプロセッサを備える。また、各制御装置は、命令及び／又はデータを記憶するためのコンピューター可読記憶媒体を備える。真空ポンプ及び／又は除害システム２の設置時、識別子（例えば、ユニークネーム又はアドレス）は、各モジュール制御システム２４のモジュールマスター制御装置２８に割り当てられるので、モジュールマスター制御装置２８は、通信時にシステム２の他の制御装置によって識別され得る。また、それぞれの識別子は、各モジュール制御システム２４のモジュールスレーブ制御装置３０の各々に割り当てられるので、モジュールスレーブ制御装置３０は、通信時にシステム２の他の制御装置によって識別され得る。各識別子は、真空ポンプ及び／又は除害システム２内の特定の物理的な位置（例えば、特定のモジュール）に関連付けることができるので、識別子が割り当てられると、各制御装置は、同様に特定の物理的な位置に関連付けされる。この識別子を制御装置に割り当てるプロセスは、制御装置の「コミッショニング」呼ぶこともできる。

【0035】

コミッショニングの目的で、中央制御システム２２は、中央制御システム２２が真空ポンプ及び／又は除害システム２内の制御装置の全てが配列される方法を決定するのを可能にする事前に記憶された情報を備える。より詳細には、事前に記憶された情報は、真空ポンプ及び／又は除害システム２内のモジュール１０のリスト、真空ポンプ及び／又は除害システム内のマスター制御装置２８及びこれに関連するモジュール１０のリスト、真空ポンプ及び／又は除害システム２内のスレーブ制御装置３０及びこれに関連するマスター制御装置２８のリスト、及びマスター制御装置２８の各々の出力のリストを備える。また、事前に記憶された情報は、真空ポンプ及び／又は除害システム２内の制御装置に割り当てられることになる複数の識別子を備える。モジュール制御システム２４のうちの１つの制御装置に対して識別子を割り当てる方法は、図３を参照して以下に説明する。この方法は、真空ポンプ及び／又は除害システム２の他のモジュール制御システム２４の各々でも実行することができるが（例えば、連続して繰り返して）、理解を容易にして明瞭化するために、図３を参照して唯一のモジュール制御システム２４のコミッショニングを説明することを理解されたい。

【0036】

図３は、モジュール制御システム２４のうちの１つ（これは、以下、「現在の」モジュール制御システム２４と呼ぶ）の制御装置２８、３０に識別子を割り当てる方法の一実施形態を示すフローチャートである。

【0037】

ステップｓ２において、中央制御装置２２は、現在のモジュール制御システム２４の制御装置２８、３０の各々がそれぞれの識別子に割り当てられていることを決定する。より詳細には、中央制御装置２２は、上述の事前に記憶された情報内のリストからモジュール１０のうちの１つを選択して、選択されたモジュール１０のモジュール制御システム２４が、コミッショニングが実行されることになる現在のモジュール制御システム２４であると決定する。

【0038】

ステップｓ４において、ステップｓ２の決定に応答して、ユーザーインタフェース２３は、現在のモジュール制御システム２４の制御装置２８、３０に識別子が割り当てられることになる指示を表示する。例えば、ユーザーインタフェース２３は、真空ポンプ及び／又は除害システム２のモジュール１０のリストを表示して、現在のモジュール制御システム２４が制御するように構成されたモジュール１０を強調する。

【0039】

ステップｓ６において、中央制御装置２２は、通信ネットワーク２６を介して、真空ポンプ及び／又は除害システム２内の制御装置の全てに第１の同報通信信号を送る。従って、モジュールマスター制御装置２８は、通信ネットワーク２６を介して第１の同報通信信号を受け取る。第１の同報通信信号は、第１の識別子を示す。加えて、第１の同報通信信号は、識別子が割り当てられていないモジュール制御システム２４の全てのユーザー入力デバイス３２の発光デバイスがＯＦＦ状態からＯＮ状態に切り替えられて発光するようにする（現在のモジュール制御システム２４のユーザー入力デバイス３２の発光デバイスを含む）。

【0040】

ステップｓ８において、ユーザーは、ユーザーインタフェース２３上に表示された指示を観察して、現在のモジュール制御システム２４のユーザー入力デバイス３２の位置を見つける。ステップｓ６でオンに切り替わったユーザー入力デバイス３２の発光デバイスから放出された光は、ユーザーが現在のモジュール制御システム２４のユーザー入力デバイス３２を見つけるのを助ける。次に、ユーザーは、現在のモジュール制御システム２４のユーザー入力デバイス３２でユーザー入力を提供する。ユーザー入力デバイス３２は、ユーザー入力を受け取り、第２の接続３５を介して、ユーザー入力を示す信号をモジュールマスター制御装置２８に送る。この実施形態において、ユーザー入力デバイス３２はボタンを備え、ユーザーは、このボタンを押すことでユーザー入力を提供する。

【0041】

ステップｓ１０において、モジュールマスター制御装置２８（第１の同報通信信号を受け取っている）は、ユーザー入力を示す信号を受け取ることに応答して、第１の識別子をその識別子として採用する。例えば、モジュールマスター制御装置２８は、第１の識別子をそのメモリに記憶し、第１の識別子にアドレス指定された命令又は要求に応答して自身を構成することができる。また、モジュールマスター制御装置２８は、自身のステータスを、「任命されていない（ｕｎ－ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｅｄ）」から「任命された（ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｅｄ）」に変更し（すなわち、そのメモリに識別子が割り当てられたことを示す情報を記憶することで）、そのユーザー入力デバイス３２の発光デバイスをオフに切り替える。加えて、現在のモジュール制御システムのユーザー入力デバイス３２は、その発光デバイスが他のモジュール１０の制御装置の後続のコミッショニングの間に再度オンに切り替わらないように、マスター制御装置２８によって無効にされる。換言すると、発光デバイスは他のモジュール１０の制御装置の後続のコミッショニングの間にＯＦＦ状態のままであり、これにより、ユーザーに対して現在のモジュール制御システム２４がすでに任命されていることを示すようになっている。

【0042】

ステップｓ１２において、モジュールマスター制御装置２８は、通信ネットワーク２６を介して、中央制御装置２２に対してモジュールマスター制御装置２８がその識別子として第１の識別子を採用したという確認応答を送る。確認応答は、中央制御装置２２のアドレスを用いて中央制御装置２２に送られ、これは第１の同報通信信号の中に示される。このように、中央制御装置２２は、モジュールマスター制御装置２８からモジュールマスター制御装置２８に対する第１の識別子の割り当てが成功裏に完了したことが知らされる。

【0043】

ステップｓ１４において、中央制御装置２２は、現在のモジュール制御システム２４が何らかのモジュールスレーブ制御装置３０を備えるか否かを決定する。換言すると、中央制御装置２２は、１又は２以上の第１の接続３４を介してモジュールマスター制御装置２８に接続された何らかのモジュールスレーブ制御装置３０が存在するか否かを決定する。この実施形態において、この決定は、現在のモジュール制御システム２４が何らかのモジュールスレーブ制御装置３０を備えるか否かを示す中央制御装置２２に事前に記憶された情報に基づいて行われる。

【0044】

中央制御装置２２が、モジュールスレーブ制御装置３０が存在しないと決定すると、中央制御装置２２は、現在のモジュール制御システム２４に対する識別子の割り当てが完了したと決定し、本方法は終了する。他方で、中央制御装置２２が、１又は２以上のモジュールスレーブ制御装置３０が存在すると決定すると、本方法はステップｓ１６に進む。

【0045】

ステップｓ１６において、中央制御装置２２は、通信ネットワーク２６を介して、真空ポンプ及び／又は除害システム２内の制御装置の全てに第２の同報通信信号を送る。従って、モジュールマスター制御装置２８及びモジュールスレーブ制御装置３０は、通信ネットワーク２６を介して、第２の同報通信信号を受け取る。第２の同報通信信号は、第２の識別子を示す。また、第２の同報通信信号は、上述の事前に記憶された情報内のマスター制御装置２８の出力のリストから、マスター制御装置２８の出力のうちの１つを示す。示された出力は第１の接続３４のうちの１つに対応するので、同様に、第２の同報通信信号は、モジュールマスター制御装置２８とモジュールスレーブ制御装置３０との間の第１の接続３４を示す。

【0046】

ステップｓ１８において、第２の同報通信信号に応答して、モジュールマスター制御装置２８は、示された第１の接続３４を介して、モジュールマスター制御装置２８に示された第１の接続３４を介して接続されたモジュールスレーブ制御装置３０に信号を送る。より詳細には、第２の同報通信信号に応答して、モジュールマスター制御装置２８は、示された第１の接続３４に対応する示された出力を有効にし、それによって信号を示された第１の接続３４を介して、モジュールマスター制御装置２８に示された第１の接続３４を介して接続されたモジュールスレーブ制御装置３０の入力に送る。

【0047】

ステップｓ２０において、示された第１の接続３４を介して送られた信号に応答して、示された第１の接続３４を介してモジュールマスター制御装置２８に接続されたモジュールスレーブ制御装置３０は、第２の識別子をその識別子として採用する。例えば、モジュールスレーブ制御装置３０は、第２の識別子をメモリに記憶し、第２の識別子にアドレス指定された命令又は要求に応答して自身を構成することができる。また、モジュールスレーブ制御装置３０は、自身のステータスを、「任命されていない」から「任命された」に変更する。

【0048】

ステップｓ２２は、モジュールスレーブ制御装置３０は、通信ネットワーク２６を介して、中央制御装置２２に対して第２の識別子をその識別子として採用したという確認応答を送る。確認応答は、中央制御装置２２のアドレスを用いて中央制御装置２２に送られ、これは第２の同報通信信号の中に示される。このように、中央制御装置２２は、モジュールスレーブ制御装置３０からモジュールスレーブ制御装置３０に対する第２の識別子の割り当てが成功裏に完了したことが知らされる。

【0049】

ステップｓ２４において、中央制御装置２２は、現在のモジュール制御システム２４が何らかの他のモジュールスレーブ制御装置３０を備えるか否かを決定する。中央制御装置２２が、現在のモジュール制御システム２４内に１又は２以上の他のモジュールスレーブ制御装置３０が存在すると決定すると、本方法は他のモジュールスレーブ制御装置３０のためにステップｓ１６に戻る。中央制御装置２２が現在のモジュール制御システム２４内にそれ以上のモジュールスレーブ制御装置３０がないと決定すると、中央制御装置２２は、現在のモジュール制御システム２４に対する識別子の割り当てが成功裏に完了したと決定し、本方法は終了する。

【0050】

このように、ステップｓ１６からｓ２２は、現在のモジュール制御システム２４のジュールスレーブ制御装置３０の全てに異なるさまざまな第２の識別子が割り当てられるまで、現在のモジュール制御システム２４のモジュールスレーブ制御装置３０の各々に関して連続的に繰り返される。

【0051】

図３のフローチャートに示されて上記に説明される処理ステップの一部は、省略すること又は上記の図３に示されたものとは異なる順番で実行することができることを理解されたい。さらに、便宜上理解を容易にするために、処理ステップは、個別の時間的に連続するステップとして示されているが、一部の処理ステップは、実際には、同時に又は少なくとも時間的にある程度重複して実行することができる。

【0052】

上述のように、上記の方法の完了後、同じ方法が次のモジュール制御システムのために繰り返され、その後、真空ポンプ及び／又は除害システム２のモジュール制御システムの全ての制御装置に識別子が割り当てられるまで、次のモジュール制御システムが続く。
従って、真空ポンプ及び／又は除害システム２の制御装置に対して識別子を割り当てる方法が提供される。

【0053】

好都合には、上述の方法は、各モジュールの制御装置が各モジュールにおいて単一のユーザー入力を用いて識別子を割り当てることができるので、真空ポンプ及び／又は除害システムの制御装置のコミッショニングを有効な方法で実行するのを可能にするのに役立つ。

【0054】

好都合には、上述の方法は、各モジュールの制御装置が他のモジュールの制御装置とは別に識別子を割り当てることができるので、真空ポンプ及び／又は除害システムのモジュール性を助長するのに役立つ。

【0055】

好都合には、上述の方法は、モジュールマスター制御装置及びモジュールスレーブ制御装置がそれらの位置及び／又は識別情報に関する何らかの最初から組み込まれた情報をもたないことを可能にするのに役立つので、これらの制御装置に汎用の制御装置を用いることができる。

【0056】

上記の実施形態において、通信ネットワークは有線式通信ネットワークである。しかしながら、他の実施形態において、通信ネットワークは、その代わりに無線式通信ネットワークである。

【0057】

上記の実施形態において、ユーザー入力デバイスはボタンである。しかしながら、他の実施形態において、ユーザー入力デバイスは、その代わりに他の種類のユーザー入力デバイスである（例えば、音声制御式ユーザー入力デバイス）。

【0058】

上記の実施形態において、モジュールスレーブ制御装置は、第１の接続を介してモジュールマスター制御装置から受け取った信号に応答して、第２の識別子を採用する。しかしながら、他の実施形態において、第１の接続は省略され、モジュールスレーブ制御装置は、その代わりに、それぞれの追加のユーザー入力デバイスで提供されたユーザー入力に応答して第２の識別子を採用する（モジュールマスター制御装置が第１の識別子を採用する方法と同じやり方で）。これらの実施形態において、モジュールスレーブ制御装置は、モジュールマスター制御装置に関与することなく第２の識別子が割り当てられる。

【0059】

一部の実施形態において、ユーザー入力デバイスでユーザー入力を提供するためのタイムアウト時間が存在する。これらの実施形態において、上述のステップｓ６に応答して、タイマーが起動する（例えば、中央制御装置２２によって）。ユーザーが、タイマー起動から所定の時間内にユーザー入力デバイスでユーザー入力を提供しない場合、本方法は終了する。他方で、ユーザーが、タイマー起動から所定の時間内にユーザー入力デバイスでユーザー入力を提供する場合、本方法は、上述のステップｓ１０から継続する。換言すると、これらの実施形態において、タイマー起動から所定の時間内にユーザー入力デバイスでユーザー入力が受け取られた場合、モジュールマスター制御装置のみが第１の識別子をその識別子として採用する。
一部の実施形態において、モジュールスレーブ制御装置は省略され、モジュールマスター制御装置のみに識別子が割り当てられる。

【符号の説明】

【0060】

２ モジュール式真空ポンプ及び／又は除害システム
４ エンティティ
６ 流体入力ライン
８ 排気ライン
１０ モジュール
１２ 装置
２２ 中央制御装置
２３ ユーザーインタフェース
２４ モジュール制御システム
２５ ユーザーインタフェースリンク
２６ 通信ネットワーク
２８ モジュールマスター制御装置
３０ モジュールスレーブ制御装置
３２ ユーザー入力デバイス
３４ 第１の接続
３５ 第２の接続

【図1】

【図2】

【図3】