特許 7431460 電源装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-06

(45)【発行日】2024-02-15

(54)【発明の名称】電源装置

(51)【国際特許分類】

   G21K 5/04 20060101AFI20240207BHJP

   H05H 5/02 20060101ALI20240207BHJP

【ＦＩ】

G21K5/04 E

H05H5/02 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022005870

(22)【出願日】2022-01-18

(65)【公開番号】P2023104711

(43)【公開日】2023-07-28

【審査請求日】2023-12-08

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】503237806

【氏名又は名称】株式会社ＮＨＶコーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】今西 友晴

【審査官】鳥居 祐樹

(56)【参考文献】

【文献】特開平０９－０８４２６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０１１４７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国実用新案第２１５２４８８８６（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開昭５８－１５９６５７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ２１Ｋ ５／０４

Ｈ０５Ｈ ５／０２

Ｈ０２Ｍ ３／００

Ｈ０２Ｍ ７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電源装置本体と、
前記電源装置本体を収容するタンクと、
前記タンクの内部に設けられる冷却器と、
前記タンクの内部に設けられる電動ファンと、
前記電動ファンと前記電源装置本体との間に設けられる磁気シールド部材と、
を備える、
電源装置。

【請求項2】

前記冷却器は、冷却フィンを有し、
前記磁気シールド部材は、前記電源装置本体と前記電動ファンとの間に位置する第１シールド部と、前記電源装置本体と前記冷却フィンとの間に位置する第２シールド部と、を有している、
請求項１に記載の電源装置。

【請求項3】

前記電源装置本体と前記電動ファンの対向方向と直交する方向を直交方向として、
前記冷却フィンは、前記電動ファンに対し前記直交方向の側方に位置している、
請求項２に記載の電源装置。

【請求項4】

前記タンクは、両端が塞がれた円筒状をなし、
前記電源装置本体は、前記タンクの中心軸線と重なる位置に配置され、
前記タンクの径方向において、前記電源装置本体の外側に前記磁気シールド部材が配置され、前記磁気シールド部材の外側に前記電動ファンが配置されている、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電源装置。

【請求項5】

前記電動ファンは、前記径方向の内側から外側に送風するように配置され、
前記タンクの内部において、前記電動ファンの前記径方向の外側から、前記電源装置本体と前記電動ファンの対向方向と直交する直交方向における前記電動ファンの両側にかけて一対の送風流路がそれぞれ形成され、
前記冷却器は、複数の冷却フィンを有し、
前記冷却フィンは、前記一対の送風流路にそれぞれ設けられている、
請求項４に記載の電源装置。

【請求項6】

電子線照射装置が備える加速管に電力を供給する電源として用いられる、
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の電源装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば電子線照射装置などに用いられる電源装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば電子線照射装置などに用いられる電源装置は、高電圧を発生させるための電源装置本体と、当該電源装置本体を収容するタンクとを備える。例えば、特許文献１に記載の電源装置では、タンクは内部に密閉空間を形成している。タンク内には、例えば電気絶縁性ガスが充填されている。同電源装置は、例えば電子を加速させて電子線を生じさせる加速管に高電圧を供給する。また、同電源装置は、タンク内の温度を低下させるための冷却機構を備えている。冷却機構は、タンクの外部に冷却器を備えている。タンク内のガスは、配管を通じて冷却器に流入する。冷却器で冷やされたガスは、再びタンク内に流入する。冷却機構によってタンク内の温度が適正に保たれることで、電源装置が安定して動作する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平９－８４２６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献１のような電源装置は、タンクの外部に冷却器を備えるため、電源装置全体として大型化する問題がある。そこで、本発明者は、冷却器をタンクの内部に設ける構成を検討した。その場合、タンク内の限られたスペースに冷却器を設けることから、冷却器を小型にする必要がある。しかしながら、冷却器を小型にすると十分な冷却能力を得ることが難しくなるため、その点において改善の余地があった。

【0005】

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、小型化しつつも冷却能力の向上を可能とした電源装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する電源装置は、電源装置本体と、前記電源装置本体を収容するタンクと、前記タンクの内部に設けられる冷却器と、前記タンクの内部に設けられる電動ファンと、前記電動ファンと前記電源装置本体との間に設けられる磁気シールド部材と、を備える。

【0007】

この構成によれば、冷却器をタンクの内部に設けることで、電源装置の小型化を図ることができる。そして、タンクの内部に電動ファンを設けることで、タンク内において電源装置本体が発する熱によって高温となったガスを電動ファンで冷却器に送ることが可能となる。すなわち、電動ファンの駆動による強制対流によって、タンク内の温度を冷却器にて効率的に低下させることが可能となる。また、本構成では、電源装置本体から発せられる磁気を、磁気シールド部材によって電源装置本体と電動ファンとの間で遮蔽することが可能となる。これにより、電源装置本体から発せられる磁気による電動ファンの動作不良を防ぐことが可能となる。したがって、電動ファンによる冷却能力の向上効果を安定して発揮させることが可能となる。このように、本構成によれば、電源装置を小型化しつつも冷却能力を向上させることが可能となる。

【0008】

上記電源装置において、前記冷却器は、冷却フィンを有し、前記磁気シールド部材は、前記電源装置本体と前記電動ファンとの間に位置する第１シールド部と、前記電源装置本体と前記冷却フィンとの間に位置する第２シールド部と、を有している。

【0009】

この構成によれば、電源装置本体の磁気に対して、電動ファンが第１シールド部によってシールドされるとともに、冷却フィンが第２シールド部によってシールドされる。冷却フィンが第２シールド部によってシールドされることによって、冷却フィンが磁気を受けて発熱することを抑制可能となる。したがって、冷却器の冷却能力の低下を抑制することが可能となる。

【0010】

上記電源装置において、前記電源装置本体と前記電動ファンの対向方向と直交する方向を直交方向として、前記冷却フィンは、前記電動ファンに対し前記直交方向の側方に位置している。

【0011】

この構成によれば、磁気シールド部材において、第１シールド部と第２シールド部とが前記直交方向に並ぶ構成とすることが可能となる。したがって、第１シールド部と第２シールド部とを有する磁気シールド部材の形状を簡素化することが可能となる。

【0012】

上記電源装置において、前記タンクは、両端が塞がれた円筒状をなし、前記電源装置本体は、前記タンクの中心軸線と重なる位置に配置され、前記タンクの径方向において、前記電源装置本体の外側に前記磁気シールド部材が配置され、前記磁気シールド部材の外側に前記電動ファンが配置されている。

【0013】

この構成によれば、タンクの中心寄りの位置に配置される電源装置本体に対し、電動ファンがタンクの内周面寄りの位置に配置される。これにより、電動ファンの配置をタンク内のスペースを有効利用した配置とできる。

【0014】

上記電源装置において、前記電動ファンは、前記径方向の内側から外側に送風するように配置され、前記タンクの内部において、前記電動ファンの前記径方向の外側から、前記電源装置本体と前記電動ファンの対向方向と直交する直交方向における前記電動ファンの両側にかけて一対の送風流路がそれぞれ形成され、前記冷却器は、複数の冷却フィンを有し、前記冷却フィンは、前記一対の送風流路にそれぞれ設けられている。

【0015】

この構成によれば、冷却フィンが電動ファンの送風が通る一対の送風流路にそれぞれ設けられる。このため、電動ファンによって電源装置本体側から吸気されたガスを好適に冷却フィンに送風することが可能となる。その結果、冷却器による冷却効率の向上に寄与できる。

【0016】

上記電源装置は、電子線照射装置が備える加速管に電力を供給する電源として用いられる。
この構成によれば、電子線照射装置に用いられる電源装置において、小型化しつつも冷却能力を向上させることが可能となる。

【発明の効果】

【0017】

本発明の電源装置は、小型化しつつも冷却能力を向上させる効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】実施形態における電子線照射装置の概略構成図である。

【図2】同形態の電源装置における圧力タンク内の構成を模式的に示す断面図である。

【図3】同形態の電源装置における圧力タンク内の構成を模式的に示す断面図である。

【図4】同形態の電源装置における圧力タンク内の構成を模式的に示す断面図である。

【図5】図４における一部分を拡大して示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、電源装置の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。また、本明細書における「直交」は、厳密に直交の場合のみでなく、本実施形態における作用ならびに効果を奏する範囲内で概ね直交の場合も含まれる。

【0020】

［電子線照射装置の全体構成］
図１に示すように、本実施形態の電源装置１は、例えば電子線照射装置１０に用いられる。電子線照射装置１０は、例えば走査型の電子線照射装置である。電子線照射装置１０は、熱電子の放出を行う例えばタングステン製のフィラメント１１を備えている。フィラメント１１は、電源装置本体３１に含まれるフィラメント用電源１２からの電力供給に基づく自身の加熱により電子を放出する。フィラメント１１は、加速管１３の上端側に設けられている。

【0021】

加速管１３は、フィラメント１１が配置される上端側が閉塞された筒状をなしている。加速管１３は、自身の管軸方向に並設される複数の加速電極１４を有している。加速電極１４は、電源装置本体３１に含まれる加速電極用電源１５からの電力供給に基づき、フィラメント１１から放出された電子を収束させつつ下方に向けて加速させるような電界を生じさせる。つまり、加速管１３では、加速電極１４にて生じる電界にて、管軸方向の下方に向く電子流、すなわち電子線ｅが生じるようになっている。加速管１３は、下端部に走査管１６が接続されている。加速管１３と走査管１６とは互いに内部空間１７が連通し、その内部空間１７において電子線ｅが加速管１３から走査管１６側に進む。

【0022】

走査管１６は、上端側が幅狭で、下方に向かうほど拡開する形状をなしている。走査管１６は、その幅狭の上端部に走査コイル１８が設けられている。走査コイル１８は、自身への通電に基づき、加速管１３にて生成された電子線ｅの向きを偏向、すなわち電子線ｅの走査を行う。走査管１６の下端部には例えば略長方形状の開口窓部１９が設けられており、開口窓部１９には略長方形状の窓箔２０が取り付けられている。窓箔２０は、電子線ｅを透過させつつも、開口窓部１９を密閉させるものである。つまり、加速管１３と走査管１６とに跨がる内部空間１７は、密閉空間にて構成されている。内部空間１７は、例えば走査管１６に接続された真空ポンプ２１の駆動にて、少なくとも電子線ｅを生じさせる期間は真空状態とされる。

【0023】

上記したフィラメント用電源１２、加速電極用電源１５、走査コイル１８及び真空ポンプ２１は、制御装置２２にて制御される。制御装置２２は、フィラメント用電源１２及び加速電極用電源１５を通じた電子線ｅの出力調整、走査コイル１８を通じた電子線ｅの走査制御、及び真空ポンプ２１を通じた加速管１３及び走査管１６の内部空間１７の真空調整等を行う。

【0024】

そして、開口窓部１９に装着の窓箔２０を介して出射される電子線ｅは、例えば搬送装置２３により搬送方向ｘに搬送される被照射物２４に対して照射される。なおこの場合、電子線照射装置１０は、略長方形状の開口窓部１９の長手方向が搬送装置２３の搬送直交方向ｙに向くように配置される。搬送方向ｘ及び搬送直交方向ｙを含めた電子線ｅの所定走査が行われて、開口窓部１９に対応した略長方形状の照射エリアＡの照射が行われる。電子線ｅの被照射物２４への照射効果としては、例えば素材の性質改善や機能付加、殺菌・滅菌等が期待できる。

【0025】

［電源装置１の構成］
図２及び図４に示すように、電源装置１は、電源装置本体３１と、電源装置本体３１を収容する圧力タンク３２とを備えている。本実施形態の圧力タンク３２には、例えば、加速管１３が収容される。なお、圧力タンク３２内に加速管１３が設けられる場合、圧力タンク３２は、加速管１３から放出される電子線ｅを圧力タンク３２の外部に出射するための図示しない出射口を有する。圧力タンク３２の内部には、例えばＳＦ６ガスなどの電気絶縁性ガスが充填される。圧力タンク３２の内部の気圧は例えば０．５ＭＰａ程度の高気圧に設定される。圧力タンク３２は、例えば、金属などの導体からなる。なお、圧力タンク３２は、例えば、電気的に接地されている。

【0026】

なお、図２は、圧力タンク３２の内部構造を示す断面図であって、圧力タンク３２を中心軸線Ｌに沿って切断した状態を示す図である。また、図４は、圧力タンク３２の内部構造を示す断面図であって、中心軸線Ｌと直交する断面形状を示す図である。

【0027】

図２に示すように、圧力タンク３２は、中心軸線Ｌを中心とする筒状をなす周壁３３と、中心軸線Ｌに沿う方向における周壁３３の両端部にそれぞれ設けられる底壁３４と、を備えている。すなわち、圧力タンク３２は、筒状をなす周壁３３の両端が一対の底壁３４によって塞がれた形状をなしている。圧力タンク３２は、例えば、周壁３３を構成する部位と、一方の底壁３４を有する部位と、他方の底壁３４を有する部位の少なくとも３つの分割体から構成されている。

【0028】

図４に示すように、周壁３３は、中心軸線Ｌを中心とする例えば円筒状をなしている。すなわち、中心軸線Ｌに直交する周壁３３の断面形状が円形をなすため、圧力タンク３２の内部の圧力に耐えるのに適している。電源装置本体３１は、周壁３３の内側に配置されている。また、電源装置本体３１は、圧力タンク３２の中心軸線Ｌと重なる位置に配置されている。

【0029】

［冷却ユニット４０の構成］
電子線照射装置１０は、冷却ユニット４０を圧力タンク３２の内部に備えている。冷却ユニット４０は、冷却器４１と、電動ファン４２と、磁気シールド部材４３とを有している。すなわち、冷却ユニット４０が有する冷却器４１、電動ファン４２及び磁気シールド部材４３は、圧力タンク３２の内部に設けられている。また、圧力タンク３２の中心軸線Ｌ寄りの位置に配置される電源装置本体３１に対して、冷却ユニット４０は、圧力タンク３２の周壁３３の内周面寄りの位置に配置される。

【0030】

図４に示すように、冷却器４１は、複数の冷却フィン４４と、冷却フィン４４同士を連結する連結パイプ４５とを有している。冷却フィン４４は、例えばエロフィンチューブである。エロフィンチューブは、チューブの外周に帯状の放熱板が螺旋状に設けられた構成をなす。また、冷却フィン４４は、例えば金属製である。冷却フィン４４に用いる金属材料としては、例えばステンレスなどが挙げられる。

【0031】

冷却フィン４４は、その長さ方向が中心軸線Ｌに沿うように設けられている。また、複数の冷却フィン４４は、連結パイプ４５によって直列的に接続されている。複数の冷却フィン４４のうちの１つは、圧力タンク３２の外部に延びる流入側パイプ４６に接続されている。また、複数の冷却フィン４４のうちの１つは、圧力タンク３２の外部に延びる流出側パイプ４７に接続されている。

【0032】

本実施形態の冷却器４１は例えば水冷式である。流入側パイプ４６から冷却フィン４４に流入した水は、冷却フィン４４で熱を受け取り、その後、流出側パイプ４７から排出される。なお、冷却器４１における冷却媒体は水に限定されるものではなく、他の流体に変更可能である。

【0033】

なお、連結パイプ４５、流入側パイプ４６及び流出側パイプ４７は、例えばステンレスにて形成されている。連結パイプ４５、流入側パイプ４６及び流出側パイプ４７を、ろう付が必要である銅で形成した場合、水漏れのおそれがある。その点、連結パイプ４５、流入側パイプ４６及び流出側パイプ４７を、ろう付ではなく溶接が可能なステンレスとすることで水漏れのおそれを軽減することが可能となる。

【0034】

磁気シールド部材４３は、電動ファン４２と電源装置本体３１との間に設けられている。磁気シールド部材４３は、金属材料などの導電性材料にて形成されている。磁気シールド部材４３を形成する金属材料としては、熱伝導率の高い例えば銅などを用いる。また、磁気シールド部材４３は、例えば薄板状をなしている。

【0035】

磁気シールド部材４３は、圧力タンク３２の径方向において、電源装置本体３１と対向している。なお、以下の説明では、圧力タンク３２の径方向を単に「径方向」と称する場合がある。また、径方向において、電源装置本体３１と磁気シールド部材４３とが対向する方向を、対向方向Ｄ１と称する場合がある。

【0036】

圧力タンク３２の径方向において、電源装置本体３１、磁気シールド部材４３及び電動ファン４２は並んでいる。すなわち、電動ファン４２は、磁気シールド部材４３の径方向外側に配置されている。また、電動ファン４２は、径方向において、電源装置本体３１と冷却器４１との間に設けられている。

【0037】

冷却ユニット４０は、例えば、複数の電動ファン４２を有している。複数の電動ファン４２は、中心軸線Ｌに沿う方向に並んで設けられている。図５に示すように、電動ファン４２は、羽根部５１を有するファン本体５２と、ファン本体５２を回転させる駆動源としてのモータ５３とを備えている。電動ファン４２の送風は、モータ５３の駆動によるファン本体５２の回転によりなされる。電動ファン４２は、径方向の内側から外側に送風するように配置されている。すなわち、電動ファン４２は、電源装置本体３１側から吸気して、冷却器４１側に送風する。

【0038】

図５に示すように、冷却ユニット４０は、一対の送風流路６１を有している。送風流路６１は、電動ファン４２の径方向の外側から、電源装置本体３１と電動ファン４２の対向方向Ｄ１と直交する直交方向Ｄ２における電動ファン４２の両側にかけて形成されている。詳述すると、冷却ユニット４０は、外壁部６２と内壁部６３とを有している。外壁部６２及び内壁部６３は、例えば金属からなる薄板状をなす。外壁部６２と内壁部６３との間に、送風流路６１が構成される。また、内壁部６３の径方向内側には、電動ファン４２が配置される。内壁部６３において、電動ファン４２と径方向に対向する箇所には、開口６４が形成されている。電動ファン４２からの送風は、開口６４を通じて送風流路６１に流入する。

【0039】

外壁部６２は、圧力タンク３２に支持されている。詳しくは、外壁部６２には連結片６５が設けられている。連結片６５は、周壁３３の内周面から延びる第１固定部３３ａにねじ等によって固定される。これにより、外壁部６２が圧力タンク３２に固定される。

【0040】

中心軸線Ｌに沿う方向における外壁部６２の両端には、側壁部６６がそれぞれ設けられている。側壁部６６は、中心軸線Ｌに沿う方向において、送風流路６１及び電動ファン４２が収容される空間を閉塞する。内壁部６３及び電動ファン４２は、側壁部６６に支持されている。

【0041】

一対の送風流路６１の内部には、複数の冷却フィン４４が配置されている。各冷却フィン４４は、例えば、側壁部６６に支持されている。各送風流路６１において、複数の冷却フィン４４は、送風流路６１に沿って並ぶよう配置されている。また、一対の送風流路６１の各々に配置された各冷却フィン４４は、電動ファン４２に対し直交方向Ｄ２の側方に位置している。

【0042】

磁気シールド部材４３は、第１シールド部７１と第２シールド部７２とを有している。第１シールド部７１は、対向方向Ｄ１において電源装置本体３１と電動ファン４２との間に位置する。第２シールド部７２は、対向方向Ｄ１において電源装置本体３１と冷却フィン４４との間に位置する。第１シールド部７１及び第２シールド部７２は、板状の磁気シールド部材４３に含まれる。すなわち、磁気シールド部材４３において、第１シールド部７１と第２シールド部７２とは直交方向Ｄ２に並んでいる。冷却フィン４４が第２シールド部７２によって磁気的にシールドされることによって、冷却フィン４４が磁気を受けて発熱することが抑制される。

【0043】

図３は、圧力タンク３２の内部構造を示す断面図であって、電源装置本体３１と電動ファン４２の対向方向Ｄ１から冷却ユニット４０を見た図である。
図３に示すように、第１シールド部７１は、複数の電動ファン４２にそれぞれ対応する複数の吸気孔群７３を有している。各吸気孔群７３は、対向方向Ｄ１において各電動ファン４２と対向するように設けられている。各吸気孔群７３は、複数の吸気孔７４からなる。各吸気孔７４は、電源装置本体３１側から電動ファン４２側にかけて貫通する。また、各吸気孔７４は、第１シールド部７１を対向方向Ｄ１に貫通する。

【0044】

吸気孔７４は、対向方向Ｄ１において電動ファン４２の羽根部５１と対向するように設けられている。また、吸気孔７４は、電動ファン４２の中心部に配置されるモータ５３と対向方向Ｄ１に対向する位置には設けられていない。すなわち、第１シールド部７１は、モータ５３と対向方向Ｄ１に対向する位置において、吸気孔７４を有しないモータシールド部７５を有している。

【0045】

第２シールド部７２は、冷却フィン４４側から電源装置本体３１側にかけて貫通する排気孔７６を有している。排気孔７６は、第２シールド部７２を対向方向Ｄ１に貫通する。排気孔７６は、例えば、中心軸線Ｌに沿って複数設けられている。なお、各吸気孔７４及び各排気孔７６のサイズは、磁気の周波数に基づいて算出される電磁場が浸透しないサイズに設定される。

【0046】

図３及び図５に示すように、冷却ユニット４０は、側方シールド部８１を備えている。側方シールド部８１は、直交方向Ｄ２における磁気シールド部材４３の両側にそれぞれ設けられている。側方シールド部８１は、例えば、磁気シールド部材４３に対してねじ等によって固定されるとともに、圧力タンク３２の周壁３３の内周面から延びる第２固定部３３ｂに固定されている。側方シールド部８１は、磁気シールド部材４３に対して直交方向Ｄ２の側方から回り込んで外壁部６２に作用する磁気を遮蔽する。なお、側方シールド部８１は、金属材料などの導電性材料にて形成されている。側方シールド部８１を形成する金属材料としては、熱伝導率の高い例えば銅などを用いる。また、側方シールド部８１は、例えば薄板状をなしている。

【0047】

側方シールド部８１は、例えば、中心軸線Ｌに沿った方向において複数に分割されている。そして、中心軸線Ｌに沿った方向に分割された２つの側方シールド部８１の間には、例えば、圧力タンク３２の周壁３３の内周面から延びる支持部３３ｃが配置される。支持部３３ｃは、例えば、電源装置本体３１を支持するためのものである。

【0048】

次に、本実施形態の作用について説明する。
電動ファン４２は、電源装置本体３１の周囲のガスを第１シールド部７１の吸気孔７４から取り込んで一対の送風流路６１に送風する。一対の送風流路６１に送風されたガスは、各冷却フィン４４によって冷却されて、第２シールド部７２の排気孔７６から電源装置本体３１側に排出される。このようにして、磁気シールド部材４３が第１シールド部７１及び第２シールド部７２を有する構成において、電源装置本体３１の周囲のガスを好適に冷却することが可能となる。

【0049】

本実施形態の効果について説明する。
（１）冷却器４１が圧力タンク３２の内部に設けられることで、電子線照射装置１０全体として小型化を図ることができる。また、電動ファン４２が圧力タンク３２の内部に設けられることで、圧力タンク３２内において電源装置本体３１が発する熱によって高温となったガスを電動ファン４２で冷却器４１に送ることが可能となる。すなわち、電動ファン４２の駆動による強制対流によって、圧力タンク３２内の温度を冷却器４１にて効率的に低下させることが可能となる。また、本実施形態では、電源装置本体３１から発せられる磁気を、磁気シールド部材４３によって電源装置本体３１と電動ファン４２との間で遮蔽することが可能となる。これにより、電源装置本体３１から発せられる磁気による電動ファン４２の動作不良を防ぐことが可能となる。したがって、電動ファン４２による冷却能力の向上効果を安定して発揮させることが可能となる。このように、本実施形態によれば、電子線照射装置１０を小型化しつつも冷却能力を向上させることが可能となる。

【0050】

（２）磁気シールド部材４３は、電源装置本体３１と電動ファン４２との間に位置する第１シールド部７１と、電源装置本体３１と冷却フィン４４との間に位置する第２シールド部７２と、を有している。この構成によれば、電源装置本体３１の磁気に対して、電動ファン４２が第１シールド部７１によってシールドされるとともに、冷却フィン４４が第２シールド部７２によってシールドされる。冷却フィン４４が第２シールド部７２によってシールドされることによって、冷却フィン４４が磁気を受けて発熱することを抑制可能となる。したがって、冷却器４１の冷却能力の低下を抑制することが可能となる。

【0051】

（３）冷却フィン４４は、電動ファン４２に対し直交方向Ｄ２の側方に位置している。この構成によれば、磁気シールド部材４３において、第１シールド部７１と第２シールド部７２とが直交方向Ｄ２に並ぶ構成とすることが可能となる。したがって、第１シールド部７１と第２シールド部７２とを有する磁気シールド部材４３の形状を簡素化することが可能となる。

【0052】

（４）圧力タンク３２は、両端が塞がれた円筒状をなしている。電源装置本体３１は、圧力タンク３２の中心軸線Ｌと重なる位置に配置されている。圧力タンク３２の径方向において、電源装置本体３１の外側に磁気シールド部材４３が配置されている。そして、磁気シールド部材４３の外側に電動ファン４２が配置されている。この構成によれば、圧力タンク３２の中心寄りの位置に配置される電源装置本体３１に対し、電動ファン４２が圧力タンク３２の内周面寄りの位置に配置される。これにより、電動ファン４２の配置を圧力タンク３２内のスペースを有効利用した配置とできる。

【0053】

（５）電動ファン４２は、径方向の内側から外側に送風するように配置されている。電子線照射装置１０には、圧力タンク３２の内部において、電動ファン４２の径方向の外側から、電源装置本体３１と電動ファン４２の対向方向Ｄ１と直交する直交方向Ｄ２における電動ファン４２の両側にかけて一対の送風流路６１がそれぞれ形成されている。冷却器４１は、複数の冷却フィン４４を有している。そして、冷却フィン４４は、一対の送風流路６１にそれぞれ設けられている。この構成によれば、冷却フィン４４が電動ファン４２の送風が通る一対の送風流路６１にそれぞれ設けられる。このため、電動ファン４２によって電源装置本体３１側から吸気されたガスを好適に冷却フィン４４に送風することが可能となる。その結果、冷却器４１による冷却効率の向上に寄与できる。

【0054】

（６）第１シールド部７１は、モータ５３と対向方向Ｄ１に対向する位置において、吸気孔７４を有しないモータシールド部７５を有している。これにより、電動ファン４２におけるモータ５３をモータシールド部７５によって好適にシールドすることが可能となる。

【0055】

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・上記実施形態の磁気シールド部材４３は、金属板などの板状の素材から形成されるが、これに特に限定されるものではない。例えば、磁気シールド部材４３を、例えば金属素線が編み込まれてなるメッシュ部材としてもよい。

【0056】

・上記実施形態の側方シールド部８１は、金属板などの板状の素材から形成されるが、これに特に限定されるものではない。例えば、側方シールド部８１を、例えば金属素線が編み込まれてなるメッシュ部材としてもよい。

【0057】

・冷却器４１における冷却フィン４４の数は上記実施形態に限定されるものではなく、電子線照射装置１０の構成に応じて適宜変更可能である。
・冷却ユニット４０における電動ファン４２の数は図面を含む上記実施形態に限定されるものではなく、電子線照射装置１０の構成に応じて適宜変更可能である。

【0058】

・上記実施形態の磁気シールド部材４３は、冷却フィン４４をシールドする第２シールド部７２を有するが、これに特に限定されるものではない。例えば、上記実施形態の磁気シールド部材４３から第２シールド部７２を省略して、磁気シールド部材４３が電動ファン４２のみをシールドする構成としてもよい。

【0059】

・電源装置本体３１、電動ファン４２及び冷却フィン４４の位置関係は上記実施形態に限定されるものではなく、電子線照射装置１０の構成に応じて適宜変更可能である。
・上記実施形態の加速管１３は圧力タンク３２に収容されるが、これに特に限らず、加速管１３が圧力タンク３２とは別の収容体に収容される構成としてもよい。

【0060】

・上記実施形態では、電源装置本体３１及び冷却ユニット４０が内部に収容されるタンクとして、内部の気圧を標準大気圧よりも大きな気圧にできる圧力タンク３２を用いている。しかしながら、特にこれに限定されるものではなく、内部の気圧を標準大気圧よりも大きな気圧にすることができる機能を備えないタンクであってもよい。

【0061】

・上記実施形態では、電子線照射装置１０に用いられる電源装置１に具体化しているが、電子線照射装置１０以外の装置に用いられる電源装置に適用してもよい。
・今回開示された実施形態及び変更例はすべての点で例示であって、本発明はこれらの例示に限定されるものではない。すなわち、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0062】

１…電源装置
１０…電子線照射装置
１３…加速管
３１…電源装置本体
３２…圧力タンク（タンク）
４１…冷却器
４２…電動ファン
４３…磁気シールド部材
４４…冷却フィン
６１…送風流路
７１…第１シールド部
７２…第２シールド部
Ｄ１…対向方向
Ｄ２…直交方向
Ｌ…中心軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】