(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-07
(45)【発行日】2024-02-16
(54)【発明の名称】トランスデューサ及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H04R 31/00 20060101AFI20240208BHJP
H02N 1/00 20060101ALI20240208BHJP
H04R 19/02 20060101ALI20240208BHJP
H04R 19/04 20060101ALI20240208BHJP
【ＦＩ】
H04R31/00 C
H02N1/00
H04R19/02
H04R19/04
【請求項の数】
19
(21)【出願番号】P 2018170510
(22)【出願日】2018-09-12
(65)【公開番号】P2019068414
(43)【公開日】2019-04-25
【審査請求日】2021-06-07
【審判番号】
【審判請求日】2023-05-01
(31)【優先権主張番号】P 2017191447
(32)【優先日】2017-09-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000219602
【氏名又は名称】住友理工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000648
【氏名又は名称】弁理士法人あいち国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】中野 克彦
(72)【発明者】
【氏名】那須 将樹
(72)【発明者】
【氏名】長谷川 浩一
(72)【発明者】
【氏名】田原 新也
【合議体】
【審判長】千葉 輝久
【審判官】樫本 剛
【審判官】高橋 宣博
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１４－２７７５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平６－３２３９２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６３－３０３５２５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
H04R 1/00 - 31/00
G01H 1/00 - 17/00
G01L 1/00 - 1/26
G01L 25/00
H01L 29/84
H01L 49/00 - 49/02
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備えるシート状の第一電極シートと、熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置されるシート状の誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面の全面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とが対向する全範囲において前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔に位置し前記第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞する、トランスデューサ。
【請求項2】
第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置される誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記第一電極シートの前記第一外面の一部に融着することにより、前記第一外面の少なくとも一部を被覆する、トランスデューサ。
【請求項3】
前記第一電極シートは、面方向に伸縮可能であり、前記誘電体層は、エラストマーにより形成され、
前記第一電極シート及び前記誘電体層により構成される静電シートは、面方向に伸縮可能である、請求項１又は２の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項4】
前記第一電極シートは、さらに、前記第一貫通孔の開口長さよりも長く形成されると共に、広がり変形によって前記第一電極シートが主方向へ伸張することを許容するスリットを備え、前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分は、前記スリットの部分に充填されており、前記スリットの前記主方向への広がり変形に伴って前記主方向に伸張する、請求項３に記載のトランスデューサ。
【請求項5】
前記第一電極シートは、前記主方向に複数の前記スリットを備える、請求項４に記載のトランスデューサ。
【請求項6】
前記スリットは、前記主方向に対して角度を有する方向に延在する、請求項４又は５に記載のトランスデューサ。
【請求項7】
前記スリットは、前記主方向に直交する副方向において中央部に形成され、且つ、前記副方向において両端部に形成されていない、請求項４－６の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項8】
前記スリットは、前記主方向に直交する副方向において両端部に形成され、且つ、前記副方向において中央部に形成されていない、請求項４－６の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項9】
前記スリットは、前記第一電極シートの外縁における２つの位置を結ぶように形成されており、前記第一電極シートによる検出領域を複数に分割する、請求項４－６の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項10】
前記スリットは、前記第一電極シートが非伸張状態において領域を有して形成されている、請求項４－９の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項11】
前記スリットは、前記第一電極シートが非伸張状態において線状に形成されている、請求項４－９の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項12】
前記スリットは、前記主方向において前記第一貫通孔の開口長さよりも長く形成されると共に、前記主方向に直交する副方向への広がり変形によって前記第一電極シートが前記副方向へ伸張することを許容し、前記誘電体層は、前記スリットの部分に配置されており、前記スリットの前記副方向への広がり変形に伴って前記副方向に伸張する、請求項４－１１の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項13】
前記トランスデューサは、さらに、前記第一電極シートの前記第一内面と前記誘電体層の前記本体部分との間に挟まれており、且つ、前記第一電極シートの前記第一内面と前記誘電体層の前記本体部分との間から外部に延在する第一リード線を備える、請求項１－１２の何れか一項に記載のトランスデューサ。
【請求項14】
前記第一リード線の導通部は、前記第一貫通孔を介して前記第一電極シートに絡められている、請求項１３に記載のトランスデューサ。
【請求項15】
前記トランスデューサは、さらに、前記第一リード線の導通部と前記第一電極シートとを電気的に接続した状態で固着し、導電性接合材からなる第一固着層を備える、請求項１３又は１４に記載のトランスデューサ。
【請求項16】
前記トランスデューサは、さらに、第二内面及び第二外面を備え、前記第二内面から前記第二外面に亘って貫通する複数の第二貫通孔を備え、前記第二内面側が前記誘電体層における前記第一面とは反対側の第二面に対向して配置されるシート状の第二電極シートと、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第二融着層と、
を備え、
前記第二融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第二電極シートの前記第二内面の全面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートの前記第二内面とが対向する全範囲において前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートの前記第二内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第二貫通孔に位置し前記第二貫通孔の第二内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第二貫通孔の前記第二内周面とを接合すると共に、前記第二電極シートの前記複数の第二貫通孔を閉塞する、請求項１に記載のトランスデューサ。
【請求項17】
第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置される誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
第二内面及び第二外面を備え、前記第二内面から前記第二外面に亘って貫通する複数の第二貫通孔を備え、前記第二内面側が前記誘電体層における前記第一面とは反対側の第二面に対向して配置される第二電極シートと、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第二融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞し、
前記第二融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第二電極シートの前記第二内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートの前記第二内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第二貫通孔の第二内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第二貫通孔の前記第二内周面とを接合すると共に、前記第二電極シートの前記複数の第二貫通孔を閉塞し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記第二電極シートの前記第二外面の一部に融着することにより、前記第二外面の少なくとも一部を被覆する、トランスデューサ。
【請求項18】
請求項１又は２に記載のトランスデューサの製造方法であって、前記第一電極シートと前記誘電体素材とを積層することにより積層体を形成し、
前記積層体に対して前記第一電極シートの前記第一外面側から加圧及び加熱することにより、前記誘電体素材における前記第一電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを接合する前記第一融着層を形成し、前記第一電極シートを前記誘電体素材の前記第一面側に埋設する、トランスデューサの製造方法。
【請求項19】
請求項１６又は１７に記載のトランスデューサの製造方法であって、前記第一電極シートと前記誘電体素材と前記第二電極シートとを積層することにより積層体を形成し、
前記積層体に対して前記第一電極シートの前記第一外面側から加圧及び加熱することにより、前記誘電体素材における前記第一電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを接合する前記第一融着層を形成し、前記第一電極シートを前記誘電体素材の前記第一面側に埋設し、
前記積層体に対して前記第二電極シートの前記第二外面側から加熱することにより、前記誘電体素材における前記第二電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを接合する前記第二融着層を形成し、前記第二電極シートを前記誘電体素材の前記第二面側に埋設する、トランスデューサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、トランスデューサ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、ポリマー圧電体に多孔シート状の電極が埋設された圧電素子が開示されている。この圧電素子は、ポリマー圧電体フィルム又はシートの表面をアセトン等の有機溶媒で処理し、その後に処理表面に多孔シート状の電極を積層して圧着することにより製造される。
【0003】
特許文献２には、圧電フィルムと、当該圧電フィルムの両面に配置されるメッシュ状の２枚の電極と、各電極の両外側に板状の剛体からなる２枚の支持板とを備える圧電型振動センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特許第３１０５６４５号公報
【文献】特開平５－１７２８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
近年、環境対策として、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の排出の抑制が求められている。そのため、揮散型接着剤を用いないことが求められ、且つ、有機溶媒も用いないことが求められる。
【0006】
また、圧電効果を用いる構造とは異なり、電極間の静電容量を用いたトランスデューサが着目されている。静電型のトランスデューサは、誘電体の材料によって、静電容量が異なる。仮に、ポリマーの誘電体の表面を有機溶媒で処理して電極を圧着した場合には、圧着部位に有機溶媒の成分が残る。残存した有機溶媒の成分が、静電容量に影響を及ぼすおそれがある。その結果、残存した有機溶媒の成分の影響によって、設計どおりの静電容量を得ることができないおそれがある。
【0007】
また、静電型のトランスデューサは、様々な部位に取り付けることを可能とするために、柔軟性のみならず、伸縮性を有することが求められている。例えば、取付対象が自由曲面等のように様々な形状を有しており、平面状に製造されたトランスデューサを取付対象の面に沿って取り付ける場合に、トランスデューサにとって、柔軟性及び伸縮性は非常に重要な要素となる。柔軟性及び伸縮性を有しなければ、自由曲面の取付対象にトランスデューサを綺麗に取り付けることはできない。
【0008】
さらに、上記のように、揮散型接着剤や有機溶媒を用いる場合には、揮散型接着剤や有機溶媒の成分が、トランスデューサの柔軟性及び伸縮性に影響を及ぼすおそれがある。そのため、柔軟性及び伸縮性の観点からも、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いないようにすることが求められる。
【0009】
本発明の一つは、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造できるトランスデューサ及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明の他の一つは、柔軟性及び伸縮性を有するトランスデューサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
（１．トランスデューサ）
本発明の第一の態様は、第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備えるシート状の第一電極シートと、
熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置されるシート状の誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面の全面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とが対向する全範囲において前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔に位置し前記第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞する、トランスデューサにある。
本発明の第二の態様は、第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、
熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置される誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記第一電極シートの前記第一外面の一部に融着することにより、前記第一外面の少なくとも一部を被覆する、トランスデューサにある。
本発明の第三の態様は、第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、
熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置される誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
第二内面及び第二外面を備え、前記第二内面から前記第二外面に亘って貫通する複数の第二貫通孔を備え、前記第二内面側が前記誘電体層における前記第一面とは反対側の第二面に対向して配置される第二電極シートと、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第二融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞し、
前記第二融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第二電極シートの前記第二内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートの前記第二内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第二貫通孔の第二内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第二貫通孔の前記第二内周面とを接合すると共に、前記第二電極シートの前記複数の第二貫通孔を閉塞し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記第二電極シートの前記第二外面の一部に融着することにより、前記第二外面の少なくとも一部を被覆する、トランスデューサにある。
本発明の第一の態様は、第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備えるシート状の第一電極シートと、
熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置されるシート状の誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面の全面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とが対向する全範囲において前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔に位置し前記第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞する、トランスデューサにある。
本発明の第二の態様は、第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、
熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置される誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記第一電極シートの前記第一外面の一部に融着することにより、前記第一外面の少なくとも一部を被覆する、トランスデューサにある。
本発明の第三の態様は、第一内面及び第一外面を備え、前記第一内面から前記第一外面に亘って貫通する複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、
熱可塑性材料からなる誘電体素材により形成され、第一面が前記第一電極シートの前記第一内面に対向して配置される誘電体層と、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第一融着層と、
第二内面及び第二外面を備え、前記第二内面から前記第二外面に亘って貫通する複数の第二貫通孔を備え、前記第二内面側が前記誘電体層における前記第一面とは反対側の第二面に対向して配置される第二電極シートと、
融着材料として前記誘電体層を構成する前記誘電体素材の一部分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と同一材料成分により構成され、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを、前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分の融着により接合する第二融着層と、
を備え、
前記第一融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第一電極シートの前記第一内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートの前記第一内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第一貫通孔の第一内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第一貫通孔の前記第一内周面とを接合すると共に、前記第一電極シートの前記複数の第一貫通孔を閉塞し、
前記第二融着層は、
前記融着材料としての前記誘電体素材の一部分が前記第二電極シートの前記第二内面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートの前記第二内面とを接合し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記複数の第二貫通孔の第二内周面に融着することにより、前記誘電体層の前記本体部分と前記複数の第二貫通孔の前記第二内周面とを接合すると共に、前記第二電極シートの前記複数の第二貫通孔を閉塞し、
前記融着材料としての前記誘電体素材の他の一部分が前記第二電極シートの前記第二外面の一部に融着することにより、前記第二外面の少なくとも一部を被覆する、トランスデューサにある。
【0011】
上記態様によれば、融着材料の融着により、誘電体層の本体部分と第一電極シートとが接合されている。融着材料は、揮散型接着剤及び有機溶媒ではないため、第一のトランスデューサは、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造することができる。従って、第一のトランスデューサの製造において、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。ここで、第一融着層は、誘電体層の素材の一部分を融着材料として構成される場合、誘電体層とは別の融着材料を用いる場合を含む。
【0014】
（２．トランスデューサの製造方法）
本発明の第四の態様は、上述した第一の態様又は第二の態様に記載のトランスデューサの製造方法であって、
前記第一電極シートと前記誘電体素材とを積層することにより積層体を形成し、
前記積層体に対して前記第一電極シートの前記第一外面側から加圧及び加熱することにより、前記誘電体素材における前記第一電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを接合する前記第一融着層を形成し、前記第一電極シートを前記誘電体素材の前記第一面側に埋設する、トランスデューサの製造方法にある。
本発明の第五の態様は、上述した第三の態様に記載のトランスデューサの製造方法であって、
前記第一電極シートと前記誘電体素材と前記第二電極シートとを積層することにより積層体を形成し、
前記積層体に対して前記第一電極シートの前記第一外面側から加圧及び加熱することにより、前記誘電体素材における前記第一電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを接合する前記第一融着層を形成し、前記第一電極シートを前記誘電体素材の前記第一面側に埋設し、
前記積層体に対して前記第二電極シートの前記第二外面側から加熱することにより、前記誘電体素材における前記第二電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを接合する前記第二融着層を形成し、前記第二電極シートを前記誘電体素材の前記第二面側に埋設する、トランスデューサの製造方法にある。
本発明の第四の態様は、上述した第一の態様又は第二の態様に記載のトランスデューサの製造方法であって、
前記第一電極シートと前記誘電体素材とを積層することにより積層体を形成し、
前記積層体に対して前記第一電極シートの前記第一外面側から加圧及び加熱することにより、前記誘電体素材における前記第一電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを接合する前記第一融着層を形成し、前記第一電極シートを前記誘電体素材の前記第一面側に埋設する、トランスデューサの製造方法にある。
本発明の第五の態様は、上述した第三の態様に記載のトランスデューサの製造方法であって、
前記第一電極シートと前記誘電体素材と前記第二電極シートとを積層することにより積層体を形成し、
前記積層体に対して前記第一電極シートの前記第一外面側から加圧及び加熱することにより、前記誘電体素材における前記第一電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第一電極シートとを接合する前記第一融着層を形成し、前記第一電極シートを前記誘電体素材の前記第一面側に埋設し、
前記積層体に対して前記第二電極シートの前記第二外面側から加熱することにより、前記誘電体素材における前記第二電極シート側の面を溶融して、前記誘電体層の前記本体部分と前記第二電極シートとを接合する前記第二融着層を形成し、前記第二電極シートを前記誘電体素材の前記第二面側に埋設する、トランスデューサの製造方法にある。
【0016】
上記態様のトランスデューサの製造方法によれば、融着材料は、揮散型接着剤及び有機溶媒ではないため、揮散型接着剤及び有機溶媒を用いることなくトランスデューサを製造することができる。従って、トランスデューサの製造において、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】トランスデューサの構成の概要を示す図である。
【図2】第一例のトランスデューサの平面図である。
【図4】第一例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図5】第二例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図6】第三例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図7】第四例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図8】第五例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図9】第五例の変形態様のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図10】第六例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図11】第七例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図12】第八例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
【図13】第九例のトランスデューサの斜視図である。
【図14】第九例のトランスデューサの素材を示す斜視図である。
【図15】第九例の第一変形態様のトランスデューサの素材を示す斜視図である。
【図16】第九例の第二変形態様のトランスデューサを示す平面図である。
【図17】第九例の第三変形態様のトランスデューサを示す平面図である。
【図18】第九例の第四変形態様のトランスデューサを示す平面図である。
【図19】第十例のトランスデューサを示す斜視図である。
【図20】第十例のトランスデューサの素材を示す断面図である。
【図21】第十例のトランスデューサを示す断面図である。
【図22】第十例の第一変形態様のトランスデューサを示す断面図である。
【図23】第十例の第二変形態様のトランスデューサを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
（１．トランスデューサＴの基本構成）
トランスデューサＴは、静電型である。つまり、トランスデューサＴは、電極間の静電容量の変化を利用して、振動や音等を発生させるアクチュエータとして機能させることができる。また、トランスデューサＴは、電極間の静電容量の変化を利用して、外部からの押込力等を検出するセンサ、電位を有する導電体の接触又は接近を検出するセンサとして機能させることができる。
トランスデューサＴは、静電型である。つまり、トランスデューサＴは、電極間の静電容量の変化を利用して、振動や音等を発生させるアクチュエータとして機能させることができる。また、トランスデューサＴは、電極間の静電容量の変化を利用して、外部からの押込力等を検出するセンサ、電位を有する導電体の接触又は接近を検出するセンサとして機能させることができる。
【0019】
トランスデューサＴがアクチュエータとして機能する場合には、電極に電圧が印加されることにより、電極間の電位に応じて誘電体が変形し、誘電体の変形に伴って振動が発生する。トランスデューサＴが押込力検出センサとして機能する場合には、外部からの押込力や振動や音等の入力に起因して誘電体が変形することにより電極間の静電容量が変化し、電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、外部からの押込力等を検出する。また、トランスデューサＴが接触接近センサとして機能する場合には、電位を有する導電体の接触又は接近により、電極間の静電容量が変化し、変化した電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、当該導電体の接触又は接近を検出する。
【0020】
トランスデューサＴの構成について、以下に、第一例から第八例を例にあげる。まずは、各例のトランスデューサＴに共通する基本構成の概要を説明する。トランスデューサＴの構成の概要の説明において、図１を参照する。
【0021】
図１に示すように、トランスデューサＴは、上述したように、静電型である。従って、トランスデューサＴは、図１に示すように、第一電極層Ｔ１、第二電極層Ｔ２、第一電極層Ｔ１と第二電極層Ｔ２との間（第一電極層Ｔ１の第一内面と第二電極層Ｔ２の第二内面との間）に配置される誘電体層Ｔ３を備える。ただし、種類によっては、トランスデューサＴは、第一電極層Ｔ１の第一外面を被覆する第一保護層Ｔ４、及び、第二電極層Ｔ２の第二外面を被覆する第二保護層Ｔ５をさらに備える場合がある。
【0022】
ここで、第一電極層Ｔ１及び第二電極層Ｔ２が、共に、変形可能なシート状に形成されるようにしてもよい。この場合、第一電極層Ｔ１及び第二電極層Ｔ２を含む部分が、変形可能な静電シートを構成する。また、第一電極層Ｔ１は、変形可能なシート状に形成されているのに対して、第二電極層Ｔ２は、シート状に形成されておらず、変形不能な任意形状に形成された導電部材とすることもできる。変形不能な導電部材とは、剛性を有する金属等である。この場合、第二電極層Ｔ２を除き、第一電極層Ｔ１を含む部分が、変形可能な静電シートを構成する。
【0023】
以下の説明において、第一電極層Ｔ１及び第二電極層Ｔ２が、共に、変形可能なシート状に形成されている場合を例に挙げる。また、第一電極層Ｔ１と誘電体層Ｔ３との境界部位を第一境界部位Ｔ６と称し、第二電極層Ｔ２と誘電体層Ｔ３との境界部位を第二境界部位Ｔ７と称する。
【0024】
（２．各例の概要）
各例のトランスデューサＴの構成の概要は、表１，２に示すとおりである。何れの例においても、トランスデューサＴは、融着材料の融着により、何れかの構成部材が接合されている。そして、融着材料により形成された部位であって接合対象の部材を融着する部位を融着層と称する。ここで、融着材料は、融着材料が熱によって溶融してその後に固化することにより、他の部材との接合力を発揮する材料である。ただし、融着材料は、揮散型接着剤とは異なる材料であり、有機溶媒を用いることなく、熱によって溶融することができる材料である。つまり、融着材料は、熱可塑性材料である。特に、以下においては、融着材料には、熱可塑性エラストマーが好適に用いられる。
各例のトランスデューサＴの構成の概要は、表１，２に示すとおりである。何れの例においても、トランスデューサＴは、融着材料の融着により、何れかの構成部材が接合されている。そして、融着材料により形成された部位であって接合対象の部材を融着する部位を融着層と称する。ここで、融着材料は、融着材料が熱によって溶融してその後に固化することにより、他の部材との接合力を発揮する材料である。ただし、融着材料は、揮散型接着剤とは異なる材料であり、有機溶媒を用いることなく、熱によって溶融することができる材料である。つまり、融着材料は、熱可塑性材料である。特に、以下においては、融着材料には、熱可塑性エラストマーが好適に用いられる。
【0025】
表１，２に示すように、第一例から第四例のトランスデューサＴは、第一境界部位Ｔ６として第一融着層を有しており、第一電極層Ｔ１である第一電極シートと誘電体層Ｔ３とが融着により接合されている。第一例及び第二例のトランスデューサＴは、さらに、第二境界部位Ｔ７として第二融着層を有しており、第二電極層Ｔ２である第二電極シートと誘電体層Ｔ３とが融着により接合されている。
【0026】
第五例及び第六例のトランスデューサＴは、誘電体層Ｔ３の内部構成として、第一誘電体層と第二誘電体層を融着により接合する中間融着層を有する。また、第七例及び第八例のトランスデューサＴは、誘電体層Ｔ３の内部構成として、第一誘電体層と中間誘電体層とを融着により接合する第一中間融着層を有し、且つ、第二誘電体層と中間誘電体層とを融着により接合する第二中間融着層を有する。
【0027】
【表1】
【0028】
【表2】
【0029】
（３．第一例）
第一例のトランスデューサ１について、図２～図４を参照して説明する。図２及び図３に示すように、トランスデューサ１は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、誘電体層２３、第一保護層２４、及び、第二保護層２５により構成される静電シートを備える。なお、第一例のトランスデューサ１は、第二電極シート２２及び第二保護層２５を備えず、第一電極シート２１、誘電体層２３及び第一保護層２４により構成される静電シートを備えると共に、第二電極層Ｔ２（図１に示す）に相当する変形不能な導電部材（図示せず）を備える構成とすることもできる。
第一例のトランスデューサ１について、図２～図４を参照して説明する。図２及び図３に示すように、トランスデューサ１は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、誘電体層２３、第一保護層２４、及び、第二保護層２５により構成される静電シートを備える。なお、第一例のトランスデューサ１は、第二電極シート２２及び第二保護層２５を備えず、第一電極シート２１、誘電体層２３及び第一保護層２４により構成される静電シートを備えると共に、第二電極層Ｔ２（図１に示す）に相当する変形不能な導電部材（図示せず）を備える構成とすることもできる。
【0030】
第一電極シート２１及び第二電極シート２２は、導電性の布である。第一電極シート２１及び第二電極シート２２は、導電性を有しつつ、柔軟性及び面方向への伸縮性を有する。第一電極シート２１及び第二電極シート２２は、導電性繊維により形成された織物又は不織布である。ここで、導電性繊維は、柔軟性を有する繊維の表面を導電性材料により被覆することにより形成される。導電性繊維は、例えば、ポリエチレン等の樹脂繊維の表面に、銅やニッケル等をメッキすることにより形成される。
【0031】
第一電極シート２１は、繊維により布を形成されることで、複数の第一貫通孔２１ａ（図３に示す）を備えると共に、柔軟性を有し、面方向に伸縮可能変形である。第一電極シート２１と同様に、第二電極シート２２は、複数の第二貫通孔２２ａ（図３に示す）を備える。
【0032】
以下には、第一電極シート２１及び第二電極シート２２は、導電性織物である場合を例に挙げるが、導電性不織布を適用することもできる。第一電極シート２１は、例えば、図２に示すように、導電性織物の場合には、導電性繊維を縦糸と横糸として織ることにより形成されている。縦糸と横糸により囲まれる領域が、第一貫通孔２１ａとなる。第二貫通孔２２ａも同様である。
【0033】
なお、第一電極シート２１が導電性不織布である場合には、第一貫通孔２１ａが不規則に形成される。また、第一電極シート２１は、導電性布の他に、柔軟性を有し面方向に伸縮可能な薄膜のパンチングメタルを適用することもできる。この場合、第一貫通孔２１ａは、打ち抜かれた部位となる。また、第一電極シート２１は、導電性材料を含有し、複数の貫通孔を備えるエラストマーシート（ゴムシートを含む）を適用することもできる。なお、本例において、エラストマーとは、弾性を有する高分子材料であり、ゴム弾性体、及び、ゴム弾性体以外のゴム状を有する弾性体を含む意味で用いている。
【0034】
第一電極シート２１と第二電極シート２２は、同程度の大きさに形成されており、対向して配置されている。ここで、第一電極シート２１において、第二電極シート２２に対向する側の面を第一内面２１ｂとし、第二電極シート２２と反対側の面を第一外面２１ｃとする。また、第二電極シート２２において、第一電極シート２１に対向する側の面を第二内面２２ｂとし、第一電極シート２１と反対側の面を第二外面２２ｃとする。
【0035】
誘電体層２３は、弾性変形可能な誘電材料により形成される。詳細には、誘電体層２３は、熱可塑性エラストマーにより形成されている。誘電体層２３は、シート状で、第一電極シート２１の外形と同様の外形に形成されている。誘電体層２３は、厚み方向に伸縮すると共に、面方向に伸縮する構造を有する。誘電体層２３の第一面（図３の上面）側に、第一電極シート２１が配置されており、誘電体層２３の第二面（図３の下面）側に、第二電極シート２２が配置されている。誘電体層２３の本体部分（主要部分）は、第一電極シート２１の第一内面２１ｂと第二電極シート２２の第二内面２２ｂとの間に配置されている。
【0036】
ただし、誘電体層２３の素材２３ａ（誘電体素材と称する。図４に示す）の第一面側（図３の上側）に第一電極シート２１が埋設されている。つまり、第一電極シート２１における複数の第一貫通孔２１ａの第一内周面及び第一内面２１ｂに、誘電体素材２３ａの第一面側の一部分が、第一融着層２６として存在している。第一融着層２６は、誘電体素材２３ａの一部分を融着材料として適用しており、第一貫通孔２１ａの第一内周面と誘電体層２３の本体部分との境界部位、及び、第一内面２１ｂと誘電体層２３の本体部分との境界部位を、誘電体素材２３ａの一部分の融着によって接合している。ここで、誘電体層２３の本体部分とは、第一電極シート２１と第二電極シート２２との間に介在する部分を意味する。
【0037】
より詳細には、第一融着層２６は、第一内面２１ｂの全面に融着している。すなわち、第一融着層２６は、誘電体層２３の本体部分と第一内面２１ｂとの対向する全範囲にて融着している。さらに、第一融着層２６は、第一貫通孔２１ａの全体に充填されているため、第一貫通孔２１ａを閉塞している。つまり、第一融着層２６は、第一貫通孔２１ａの第一内周面の全面に融着している。従って、第一電極シート２１と誘電体層２３との接合力が非常に高い。
【0038】
さらに、第一電極シート２１における第一外面２１ｃに、誘電体素材２３ａ（図４に示す）第一面側の一部分が、第一保護層２４として存在している。第一保護層２４の存在により、第一電極シート２１が露出しないため、トランスデューサ１の取り扱い性が良好となる。さらに、誘電体素材２３ａの一部分が、第一電極シート２１の糸の全周を囲むように存在するため、第一電極シート２１と誘電体層２３との接合力は、非常に高い。
【0039】
第一電極シート２１と同様に、誘電体素材２３ａの第二面側（図３の下側）に第二電極シート２２が埋設されている。つまり、第二電極シート２２における複数の第二貫通孔２２ａの第二内周面及び第二内面２２ｂに、誘電体素材２３ａの第二面側の一部分が、第二融着層２７として存在している。第二融着層２７は、誘電体素材２３ａの一部分を融着材料として適用しており、第二貫通孔２２ａの第二内周面と誘電体層２３の本体部分との境界部位、及び、第二内面２２ｂと誘電体層２３の本体部分との境界部位を、誘電体素材２３ａの一部分の融着によって接合している。
【0040】
より詳細には、第二融着層２７は、第二内面２２ｂの全面に融着している。すなわち、第二融着層２７は、誘電体層２３の本体部分と第二内面２２ｂとの対向する全範囲にて融着している。さらに、第二融着層２７は、第二貫通孔２２ａの全体に充填されているため、第二貫通孔２２ａを閉塞している。つまり、第二融着層２７は、第二貫通孔２２ａの第二内周面の全面に融着している。従って、第二電極シート２２と誘電体層２３との接合力が非常に高い。
【0041】
さらに、第二電極シート２２における第二外面２２ｃに、誘電体素材２３ａの第二面側の一部分が、第二保護層２５として存在している。第二保護層２５の存在により、第二電極シート２２が露出しないため、トランスデューサ１の取り扱い性が良好となる。さらに、誘電体素材２３ａの一部分が、第二電極シート２２の糸の全周を囲むように存在するため、第二電極シート２２と誘電体層２３との接合力は、非常に高い。
【0042】
また、第一融着層２６及び第二融着層２７は、誘電体層２３と同一材料成分により構成されている。第一融着層２６及び第二融着層２７は、熱可塑性エラストマーにより形成されている誘電体素材２３ａの一部分に熱を加えることにより形成されている。つまり、誘電体素材２３ａの材料成分が実質的に変化することなく、第一融着層２６及び第二融着層２７が形成されている。このことは、第一融着層２６及び第二融着層２７に、揮散型接着剤や有機溶媒等が含まれていないことを意味する。
【0043】
次に、図４を参照して、トランスデューサ１の製造方法について説明する。トランスデューサ１の製造は、一対の加圧加熱用のローラ４１，４２（加圧加熱部材）を備える。素材１ａを搬送する際に、一対のローラ４１，４２により加圧しながら加熱することで、製品としてのトランスデューサ１が製造される。なお、一対のローラ４１，４２に代えて、一対のプレス板（図示せず）を用いて、加圧及び加熱を行うこともできる。仮に、トランスデューサ１が第二電極シート２２を備えない場合には、図４の下方のローラ４２は、加圧のみを行えばよく、加熱は不要となる。
【0044】
図４の左側に示すように、トランスデューサ１の素材１ａとして、（ａ）第一電極シート２１、（ｂ）第二電極シート２２、及び、（ｃ）誘電体素材２３ａを準備する。（ａ）第一電極シート２１、（ｃ）誘電体素材２３ａ、（ｂ）第二電極シート２２の順に積層することにより積層体を形成する。積層された素材１ａ（積層体）を図４の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。
【0045】
つまり、一対のローラ４１，４２は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をし、且つ、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、第一のローラ４１の熱が、誘電体素材２３ａの第一面（図４の上側）に伝達されて、熱が伝達された当該部位が溶融する。第一のローラ４１と同様に、第二のローラ４２の熱が、誘電体素材２３ａの第二面（図４の下側）に伝達されて、熱が伝達された当該部位が溶融する。
【0046】
そうすると、第一電極シート２１が、誘電体素材２３ａの第一面側に埋設され、且つ、第二電極シート２２が、誘電体素材２３ａの第二面側に埋設されている。そして、誘電体素材２３ａの第一面側の一部分が、溶融した誘電体素材２３ａが固化することに伴って、第一電極シート２１及び第二電極シート２２に融着する。
【0047】
このようにして、誘電体素材２３ａの第一面側の一部分が、第一融着層２６を形成し、第一電極シート２１の第一貫通孔２１ａの第一内周面と誘電体層２３との境界部位、及び、第一内面２１ｂと誘電体層２３との境界部位を接合する。さらに、誘電体素材２３ａの第一面側の一部分が、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆する第一保護層２４を形成する。誘電体素材２３ａの第一面側と同様に、誘電体素材２３ａの第二面側の一部分が、第二融着層２７を形成し、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａの第一内周面と誘電体層２３との境界部位、及び、第二内面２２ｂと誘電体層２３との境界部位を接合する。さらに、誘電体素材２３ａの第二面側の一部分が、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆する第二保護層２５を形成する。
【0048】
第一例のトランスデューサ１によれば、融着材料の融着により、誘電体層２３の本体部分と第一電極シート２１とが接合されている。融着材料は、接着剤及び有機溶媒ではないため、トランスデューサ１は、接着剤及び有機溶媒を用いることなく製造することができる。従って、トランスデューサ１の製造において、製造コストを低減でき、且つ、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。
【0049】
ここで、トランスデューサ１において、第一電極シート２１及び第二電極シート２２が柔軟性及び面方向への伸縮性を有する。さらには、誘電体層２３、第一融着層２６、第二融着層２７、第一保護層２４及び第二保護層２５は、エラストマーにより形成されている。従って、トランスデューサ１全体として、柔軟性を有し、面方向及び法線方向への伸縮性を有する。そのため、任意形状の取付対象にトランスデューサ１を綺麗に取り付けることができる。
【0050】
さらに、第一融着層２６及び第二融着層２７が、誘電体素材２３ａの一部分により構成されることで、誘電体層２３と材料成分が同一となる。従って、第一融着層２６及び第二融着層２７が、誘電体層２３の変形を阻害することもない。
【0051】
（４．第二例）
第二例のトランスデューサ２及びその製造方法について、図５を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第二例のトランスデューサ２及びその製造方法について、図５を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0052】
図５の左側に示すように、トランスデューサ２の素材２ａとして、（ａ）第一電極シート２１、（ｂ）第二電極シート２２、（ｃ）誘電体層５３、（ｄ）第一融着材料５６ａ、及び、（ｅ）第二融着材料５７ａを準備する。誘電体層５３は、非熱可塑性材料により形成されている。特に、本例においては、誘電体層５３は、非熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。さらに、誘電体層５３は、非熱可塑性材料のエラストマーの発泡材料が用いられている。つまり、誘電体層５３は、シートの法線方向、すなわち、トランスデューサ２の構成部材の積層体の積層方向に連通する孔を有する。
【0053】
つまり、誘電体層５３は、一対のローラ４１，４２から熱が伝達されたとしても溶融しない。なお、誘電体層５３には、エラストマーの他に、非熱可塑性材料の不織布等の通気性のよいものを適用することもできる。
【0054】
第一融着材料５６ａ及び第二融着材料５７ａは、熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、第一融着材料５６ａ及び第二融着材料５７ａは、誘電体層５３とは別材料である。ただし、第一融着材料５６ａ及び第二融着材料５７ａが固化した状態における弾性率は、誘電体層５３と同程度であるとよい。第一融着材料５６ａ及び第二融着材料５７ａは、例えば粒子状に形成されており、熱が加えられると溶融する。
【0055】
そして、（ａ）第一電極シート２１、（ｄ）第一融着材料５６ａ、（ｃ）誘電体層５３、（ｅ）第二融着材料５７ａ、（ｂ）第二電極シート２２の順に積層することにより、素材２ａからなる積層体を形成する。ただし、本例では、トランスデューサ２の両面同時製造を行う状態として説明するが、片面ずつ製造を行うようにしてもよい。この場合、（ａ）第一電極シート２１、（ｄ）第一融着材料５６ａ及び（ｃ）誘電体層５３の順に積層し、これらにより片面を製造し、その後に、（ｆ）片面製造体、（ｅ）第二融着材料５７ａ、（ｂ）第二電極シート２２の順に積層し、もう片面を製造することになる。
【0056】
図５に戻り説明を続ける。積層された素材２ａ（積層体）を図５の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、第一のローラ４１は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、第一のローラ４１の熱が、第一融着材料５６ａに伝達されて、第一融着材料５６ａが溶融する。そうすると、溶融された第一融着材料５６ａは、第一電極シート２１の第一貫通孔２１ａの少なくとも一部の第一内周面と誘電体層５３との境界部位を接合する第一融着層５６を形成する。
【0057】
第一融着層５６は、さらに、第一電極シート２１の第一内面２１ｂの少なくとも一部と誘電体層５３との境界部位を接合する。第一融着層５６は、誘電体層５３と第一内面２１ｂとの対向する全範囲に融着するようにしてもよい。この場合には、高い接合力を有する。一方、第一融着層５６は、当該対向する範囲において面方向の一部に隙間を有するようにして融着するようにしてもよい。この場合には、例えば、第一電極シート２１とリード線とを半田及び導電性樹脂等の導電性接合材により接合する場合に、導電性接合材が第一電極シート２１の広範囲に亘って接合される状態を形成できる。
【0058】
ここで、第一電極シート２１の第一外面２１ｃは、第一融着材料５６ａが存在しないため、露出している。ただし、第一融着材料５６ａの量を調整することによって、第一外面２１ｃを被覆する第一保護層を形成することもできる。
【0059】
第二のローラ４２は、第一のローラ４１と同様に、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、第二のローラ４２の熱が、第二融着材料５７ａに伝達されて、第二融着材料５７ａが溶融する。そうすると、溶融された第二融着材料５７ａは、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａの少なくとも一部の第二内周面と誘電体層５３との境界部位、及び、第二電極シート２２の第二内面２２ｂの少なくとも一部と誘電体層５３との境界部位を接合する第二融着層５７を形成する。ここで、第二電極シート２２の第二外面２２ｃは、第二融着材料５７ａが存在しないため、露出している。ただし、第二融着材料５７ａの量を調整することによって、第二外面２２ｃを被覆する第二保護層を形成することもできる。
【0060】
以上のようにして製造されるトランスデューサ２は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、誘電体層５３、誘電体層５３とは別材料により形成される第一融着層５６、及び、誘電体層５３とは別材料により形成される第二融着層５７を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。また、他の効果についても同様の効果を奏する。
【0061】
さらに、誘電体層５３は、発泡材料又は不織布等により形成されているため、トランスデューサ２の法線方向（積層方向）に連通する孔を有する。また、第一融着層５６は、第一電極シート２１の第一貫通孔２１ａが貫通した状態を維持したまま、第一内周面に融着している。さらには、第一融着層５６は、第一電極シート２１の第一内面２１ｂの一部に融着しており、他の一部と誘電体層５３との間において隙間を形成している。また、第二融着層５７は、第二電極シート２２の第二内面２２ｂの一部に融着しており、他の一部と誘電体層５３との間において隙間を形成している。
【0062】
従って、トランスデューサ２は、複数の第一貫通孔２１ａ、複数の第二貫通孔２２ａ、誘電体層５３の孔により、トランスデューサ２を構成する静電シートの両面間に亘って連通されている。つまり、静電シートは、静電シートの第一面から第二面に連通されている。これにより、トランスデューサ２を構成する静電シート全体として通気性を有するため、トランスデューサ２を構成する静電シートは、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0063】
（５．第三例）
第三例のトランスデューサ３及びその製造方法について、図６を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第三例のトランスデューサ３及びその製造方法について、図６を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0064】
図６の左側に示すように、トランスデューサ３の素材３ａとして、（ａ）第一電極シート２１、及び、（ｂ）第二電極シート２２及び誘電体素材６３ａが一体化された部材を準備する。ここで、誘電体素材６３ａは、第一例の誘電体素材２３ａと同様に、熱可塑性エラストマーにより形成されている。
【0065】
誘電体素材６３ａは、ディップ、スプレー、コーティング等により、第二電極シート２２の導電性繊維の全ての表面に付着されることによって、一体的に機械的係合されている。従って、誘電体素材６３ａは、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａの第二内周面、第二内面２２ｂ、及び、第二外面２２ｃの全てに付着している。ここで、誘電体素材６３ａが付着した状態において、第二貫通孔２２ａが貫通した状態を維持したまま、第二電極シート２２に一体的に機械的係合されている。そして、誘電体素材６３ａは、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａと同様の方向に（面法線方向及び積層方向）に孔を有すると言える。つまり、第二電極シート２２の表面に誘電体素材６３ａが付着した部材は、織物形状を維持している。
【0066】
続いて、図６の左側に示すように、（ａ）第一電極シート２１、（ｂ）第二電極シート２２及び誘電体素材６３ａが一体化された部材の順に積層することにより、素材３ａからなる積層体を形成する。積層された素材３ａ（積層体）を図６の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、一対のローラ４１，４２は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をし、且つ、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、主として、第一のローラ４１の熱が、誘電体素材６３ａの第一電極シート２１側の面（図６の上側）に伝達されて、熱が伝達された当該部位が溶融する。
【0067】
そうすると、第一電極シート２１の一部が、誘電体素材６３ａに入り込む。そして、誘電体素材６３ａの一部分が、溶融した誘電体素材６３ａが固化することに伴って、第一電極シート２１に融着する。このようにして、誘電体素材６３ａの一部分を融着材料として適用された第一融着層６６が形成される。つまり、第一融着層６６は、誘電体層６３の本体部分と同一材料成分により構成されている。第一融着層６６は、第一電極シート２１の第一貫通孔２１ａの第一内周面の少なくとも一部と誘電体層６３の本体部分との境界部位、及び、第一内面２１ｂと誘電体層６３の本体部分との境界部位を接合する。このとき、第一融着層６６を形成する誘電体素材６３ａの一部分は、第一貫通孔２１ａが貫通した状態を維持したまま、第一貫通孔２１ａの第一内周面を融着する。
【0068】
また、誘電体素材６３ａは、予め、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆している第二保護層６５を構成する。なお、第二のローラ４２は、加熱しなくてもよい。
【0069】
以上のようにして製造されるトランスデューサ３は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、誘電体層６３、誘電体素材６３ａの一部分により形成される第一融着層６６、誘電体素材６３ａにより形成されている第二保護層６５を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、製造コストを低減でき、且つ、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。また、他の効果についても同様の効果を奏する。
【0070】
さらに、誘電体素材６３ａは、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａが貫通した状態を維持している。また、第一融着層６６は、第一電極シート２１の第一貫通孔２１ａが貫通した状態を維持したまま、第一内周面に融着している。従って、トランスデューサ３は、複数の第一貫通孔２１ａ、複数の第二貫通孔２２ａにより、トランスデューサ３を構成する静電シートの両面間に亘って連通されている。これにより、トランスデューサ３を構成する静電シート全体として通気性を有するため、トランスデューサ３を構成する静電シートは、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0071】
（６．第三例の変形態様）
第三例において、誘電体素材６３ａは、ディップ、スプレー、コーティング等により、第二電極シート２２に付着させた。この他に、第二電極シート２２と誘電体素材６３ａとが一体化された部材を製造するためには、公知の共押し出しを適用することもできる。ただし、この場合には、誘電体素材６３ａが、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａを閉塞するため、トランスデューサ３は、通気性を有しない。
第三例において、誘電体素材６３ａは、ディップ、スプレー、コーティング等により、第二電極シート２２に付着させた。この他に、第二電極シート２２と誘電体素材６３ａとが一体化された部材を製造するためには、公知の共押し出しを適用することもできる。ただし、この場合には、誘電体素材６３ａが、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａを閉塞するため、トランスデューサ３は、通気性を有しない。
【0072】
（７．第四例）
第四例のトランスデューサ４及びその製造方法について、図７を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第四例のトランスデューサ４及びその製造方法について、図７を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0073】
図７の左側に示すように、トランスデューサ４の素材４ａとして、（ａ）第一電極シート２１、（ｂ）第二電極シート２２及び誘電体素材７３ａが一体化された部材、及び、（ｃ）第一融着材料７６ａを準備する。誘電体素材７３ａは、非熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、一対のローラ４１，４２から熱が伝達されたとしても溶融しない。
【0074】
誘電体素材７３ａは、第三例と同様に、ディップ、スプレー、コーティング等により、第二電極シート２２の導電性繊維の全ての表面に付着されることによって、一体的に機械的係合されている。ここで、誘電体素材７３ａが付着した状態において、第二貫通孔２２ａが貫通した状態を維持したまま、第二電極シート２２に一体的に機械的係合されている。そして、誘電体素材７３ａは、第二電極シート２２の第二貫通孔２２ａと同様の方向に（面法線方向及び積層方向）に孔を有すると言える。
【0075】
第一融着材料７６ａは、熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、第一融着材料７６ａは、誘電体素材７３ａとは別材料である。ただし、第一融着材料７６ａが固化した状態における弾性率は、誘電体素材７３ａと同程度であるとよい。第一融着材料７６ａは、粒子状に形成されており、熱が加えられると溶融する。
【0076】
そして、（ａ）第一電極シート２１、（ｃ）第一融着材料７６ａ、（ｂ）第二電極シート２２及び誘電体素材７３ａが一体化された部材の順に積層することにより、素材４ａからなる積層体を形成する。積層された素材４ａ（積層体）を図７の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、一対のローラ４１，４２は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をし、且つ、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、主として、第一のローラ４１の熱が、第一融着材料７６ａに伝達されて、第一融着材料７６ａが溶融する。
【0077】
そうすると、溶融された第一融着材料７６ａは、第一電極シート２１の第一貫通孔２１ａの少なくとも一部の第一内周面と誘電体層７３との境界部位、及び、第一電極シート２１の第一内面２１ｂの少なくとも一部と誘電体層７３との境界部位を接合する第一融着層７６を形成する。ここで、第一電極シート２１の第一外面２１ｃは、第一融着材料７６ａが存在しないため、露出している。ただし、第一融着材料７６ａの量を調整することによって、第一外面２１ｃを被覆する第一保護層を形成することもできる。
【0078】
また、誘電体素材７３ａは、予め、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆している第二保護層７５を構成する。なお、第二のローラ４２は、加熱しなくてもよい。
【0079】
以上のようにして製造されるトランスデューサ４は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、誘電体層７３、誘電体層７３とは別材料により形成される第一融着層７６、及び、誘電体素材７３ａにより形成される第二保護層７５を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。さらに、第三例と同様に、トランスデューサ４を構成する静電シート全体として通気性を有するため、トランスデューサ４を構成する静電シートは、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0080】
（８．第五例）
第五例のトランスデューサ５及びその製造方法について、図８を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第五例のトランスデューサ５及びその製造方法について、図８を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0081】
図８の左側に示すように、トランスデューサ５の素材５ａとして、（ａ）第一電極シート２１と第一誘電体素材８３ａが一体化された部材、及び、（ｂ）第二電極シート２２と第二誘電体素材８４ａが一体化された部材を準備する。ここで、第一誘電体素材８３ａ及び第二誘電体素材８４ａは、第一例の誘電体素材２３ａと同様に、熱可塑性エラストマーにより形成されている。また、第一誘電体素材８３ａ及び第二誘電体素材８４ａは、第三例と同様の方法により、第一電極シート２１及び第二電極シート２２に一体化されている。
【0082】
続いて、図８の左側に示すように、（ａ）第一電極シート２１及び第一誘電体素材８３ａが一体化された部材、（ｂ）第二電極シート２２及び第二誘電体素材８４ａが一体化された部材の順に積層する。積層された素材５ａ（積層体）を図８の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、一対のローラ４１，４２は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をし、且つ、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、一対のローラ４１，４２の熱が、第一誘電体素材８３ａにおける第二誘電体素材８４ａ側の部位、及び、第二誘電体素材８４ａにおける第一誘電体素材８３ａ側の部位に伝達されて、熱が伝達された当該部位が溶融する。
【0083】
そうすると、第一誘電体素材８３ａの一部と第二誘電体素材８４ａの一部とが、相互に融着する。このようにして、第一誘電体素材８３ａの一部と第二誘電体素材８４ａの一部とが融着材料として適用された中間融着層８５が形成される。つまり、中間融着層８５は、第一誘電体層８３及び第二誘電体層８４と同一材料成分により構成されている。中間融着層８５は、第一誘電体層８３と第二誘電体層８４とが直接的に接合される。
【0084】
また、第一誘電体素材８３ａは、予め、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆している第一保護層８６を構成する。また、第二誘電体素材８４ａは、予め、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆している第二保護層８７を構成する。
【0085】
以上のようにして製造されるトランスデューサ５は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、第一誘電体層８３、第二誘電体層８４、中間融着層８５、第一保護層８６、及び、第二保護層８７を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、製造コストを低減でき、且つ、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。さらに、トランスデューサ５全体として通気性を有するため、トランスデューサ５は、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0086】
（９．第五例の変形態様）
第五例の変形態様のトランスデューサ６及びその製造方法について、図９を参照して説明する。第五例との相違点について説明する。図９に示すように、第一誘電体素材８３ａは、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆していない。さらに、第二誘電体素材８４ａは、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆していない。そして、トランスデューサ６の素材６ａを準備して、第五例と同様に製造する。このようにして製造されたトランスデューサ６は、第五例のトランスデューサ５と概ね共通する。ただし、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ及び第二電極シート２２の第二外面２２ｃが露出している。電極の露出を許容することができれば、トランスデューサ６は、十分に効果を発揮する。
第五例の変形態様のトランスデューサ６及びその製造方法について、図９を参照して説明する。第五例との相違点について説明する。図９に示すように、第一誘電体素材８３ａは、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆していない。さらに、第二誘電体素材８４ａは、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆していない。そして、トランスデューサ６の素材６ａを準備して、第五例と同様に製造する。このようにして製造されたトランスデューサ６は、第五例のトランスデューサ５と概ね共通する。ただし、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ及び第二電極シート２２の第二外面２２ｃが露出している。電極の露出を許容することができれば、トランスデューサ６は、十分に効果を発揮する。
【0087】
（１０．第六例）
第六例のトランスデューサ７及びその製造方法について、図１０を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第六例のトランスデューサ７及びその製造方法について、図１０を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0088】
図１０の左側に示すように、トランスデューサ７の素材７ａとして、（ａ）第一電極シート２１と第一誘電体素材９３ａが一体化された部材、（ｂ）第二電極シート２２及び第二誘電体素材９４ａが一体化された部材、及び、（ｃ）中間融着材料９５ａを準備する。第一誘電体素材９３ａ及び第二誘電体素材９４ａは、非熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、一対のローラ４１，４２から熱が伝達されたとしても溶融しない。
【0089】
第一誘電体素材９３ａ及び第二誘電体素材９４ａは、第五例と同様に、ディップ、スプレー、コーティング等により、第一電極シート２１及び第二電極シート２２に付着されることによって、一体的に機械的係合されている。
【0090】
中間融着材料９５ａは、熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、中間融着材料９５ａは、第一誘電体素材９３ａ及び第二誘電体素材９４ａとは別材料である。ただし、中間融着材料９５ａが固化した状態における弾性率は、第一誘電体素材９３ａ及び第二誘電体素材９４ａと同程度であるとよい。中間融着材料９５ａは、粒子状に形成されており、熱が加えられると溶融する。
【0091】
そして、（ａ）第一電極シート２１及び第一誘電体素材９３ａが一体化された部材、（ｃ）中間融着材料９５ａ、（ｂ）第二電極シート２２及び第二誘電体素材９４ａが一体化された部材の順に積層することにより、積層体を形成する。積層された素材７ａ（積層体）を図１０の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、一対のローラ４１，４２は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をし、且つ、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、主として、一対のローラ４１，４２の熱が、中間融着材料９５ａに伝達されて、中間融着材料９５ａが溶融する。そうすると、溶融された中間融着材料９５ａは、第一誘電体素材９３ａと第二誘電体素材９４ａとを直接的に接合する中間融着層９５を形成する。
【0092】
また、第一誘電体素材９３ａは、予め、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆している第一保護層９６を構成する。また、第二誘電体素材９４ａは、予め、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆している第二保護層９７を構成する。
【0093】
以上のようにして製造されるトランスデューサ７は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、第一誘電体層９３、第二誘電体層９４、中間融着層９５、第一保護層９６、及び、第二保護層９７を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。さらに、トランスデューサ７を構成する静電シート全体として通気性を有するため、トランスデューサ７を構成する静電シートは、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0094】
（１１．第七例）
第七例のトランスデューサ８及びその製造方法について、図１１を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第七例のトランスデューサ８及びその製造方法について、図１１を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0095】
図１１の左側に示すように、トランスデューサ８の素材８ａとして、（ａ）第一電極シート２１と第一誘電体素材１０３ａが一体化された部材、及び、（ｂ）第二電極シート２２と第二誘電体素材１０４ａが一体化された部材、（ｃ）中間誘電体素材１０５ａを準備する。ここで、第一誘電体素材１０３ａ及び第二誘電体素材１０４ａは、非熱可塑性エラストマーにより形成されている。一方、中間誘電体素材１０５ａは、熱可塑性エラストマーにより形成されている。中間誘電体素材１０５ａは、熱可塑性材料のエラストマーの発泡材料が用いられている。つまり、中間誘電体素材１０５ａは、積層方向に連通する孔を有する。また、第一誘電体素材１０３ａ及び第二誘電体素材１０４ａは、第三例と同様の方法により、第一電極シート２１及び第二電極シート２２に一体化されている。
【0096】
続いて、図１１の左側に示すように、（ａ）第一電極シート２１及び第一誘電体素材１０３ａが一体化された部材、（ｃ）中間誘電体素材１０５ａ、（ｂ）第二電極シート２２及び第二誘電体素材１０４ａが一体化された部材の順に積層することにより、積層体を形成する。積層された素材８ａ（積層体）を図１１の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、一対のローラ４１，４２は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をし、且つ、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、一対のローラ４１，４２の熱が、中間誘電体素材１０５ａにおける第一誘電体素材１０３ａ側の部位、及び、中間誘電体素材１０５ａにおける第二誘電体素材１０４ａ側の部位に伝達されて、熱が伝達された当該部位が溶融する。
【0097】
そうすると、第一誘電体素材１０３ａの一部が、中間誘電体素材１０５ａに入り込む。そして、中間誘電体素材１０５ａの一部分が、溶融した中間誘電体素材１０５ａが固化することに伴って、第一誘電体素材１０３ａに融着する。このようにして、中間誘電体素材１０５ａの一部分を第一中間融着材料として適用された第一中間融着層１０６が形成される。つまり、第一中間融着層１０６は、中間誘電体層１０５の本体部分と同一材料成分により構成されている。
【0098】
第一誘電体素材１０３ａと同様に、第二誘電体素材１０４ａの一部が、中間誘電体素材１０５ａに入り込む。そして、中間誘電体素材１０５ａの一部分が、溶融した中間誘電体素材１０５ａが固化することに伴って、第二誘電体素材１０４ａに融着する。このようにして、中間誘電体素材１０５ａの一部分を第二中間融着材料として適用された第二中間融着層１０７が形成される。つまり、第二中間融着層１０７は、中間誘電体層１０５の本体部分と同一材料成分により構成されている。
【0099】
このようにして、第一誘電体素材１０３ａと第二誘電体素材１０４ａとは、中間誘電体層１０５、第一中間融着層１０６及び第二中間融着層１０７を介して、間接的に接合されている。
【0100】
また、第一誘電体素材１０３ａは、予め、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆している第一保護層１０８を構成する。また、第二誘電体素材１０４ａは、予め、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆している第二保護層１０９を構成する。
【0101】
以上のようにして製造されるトランスデューサ８は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、第一誘電体層１０３、第二誘電体層１０４、中間誘電体層１０５、第一中間融着層１０６、第二中間融着層１０７、第一保護層１０８、及び、第二保護層１０９を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。さらに、トランスデューサ８全体として通気性を有するため、トランスデューサ５は、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0102】
（１２．第八例）
第八例のトランスデューサ９及びその製造方法について、図１２を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第八例のトランスデューサ９及びその製造方法について、図１２を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【0103】
図１２の左側に示すように、トランスデューサ９の素材９ａとして、（ａ）第一電極シート２１と第一誘電体素材１１３ａが一体化された部材、及び、（ｂ）第二電極シート２２と第二誘電体素材１１４ａが一体化された部材、（ｃ）中間誘電体層１１５、（ｄ）第一中間融着材料１１６ａ、及び、（ｅ）第二中間融着材料１１７ａを準備する。
【0104】
第一誘電体素材１１３ａ、第二誘電体素材１１４ａ及び中間誘電体層１１５は、非熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、一対のローラ４１，４２から熱が伝達されたとしても溶融しない。
【0105】
第一誘電体素材１１３ａ及び第二誘電体素材１１４ａは、第五例と同様に、ディップ、スプレー、コーティング等により、第一電極シート２１及び第二電極シート２２に付着されることによって、一体的に機械的係合されている。
【0106】
第一中間融着材料１１６ａ及び第二中間融着材料１１７ａは、熱可塑性材料のエラストマーにより形成されている。つまり、第一中間融着材料１１６ａ及び第二中間融着材料１１７ａは、第一誘電体素材１１３ａ、第二誘電体素材１１４ａ及び中間誘電体層１１５とは別材料である。ただし、第一中間融着材料１１６ａ及び第二中間融着材料１１７ａが固化した状態における弾性率は、第一誘電体素材１１３ａ、第二誘電体素材１１４ａ及び中間誘電体層１１５と同程度であるとよい。中間融着材料９５ａは、粒子状に形成されており、熱が加えられると溶融する。
【0107】
そして、（ａ）第一電極シート２１及び第一誘電体素材１１３ａが一体化された部材、（ｄ）第一中間融着材料１１６ａ、（ｃ）中間誘電体層１１５、（ｅ）第二中間融着材料１１７ａ、（ｂ）第二電極シート２２及び第二誘電体素材１１４ａが一体化された部材の順に積層することにより、積層体を形成する。ただし、本例では、トランスデューサ９の両面同時製造を行う状態として説明するが、片面ずつ製造を行うようにしてもよい。この場合、（ａ）第一電極シート２１及び第一誘電体素材１１３ａが一体化された部材、（ｄ）第一中間融着材料１１６ａ、（ｃ）中間誘電体層１１５の順に積層し、これらにより片面を製造し、その後に、（ｆ）片面製造体、（ｅ）第二中間融着材料１１７ａ、（ｂ）第二電極シート２２及び第二誘電体素材１１４ａが一体化された部材の順に積層し、もう片面を製造することになる。
【0108】
図１２に戻り説明を続ける。積層された素材９ａ（積層体）を図１２の右側へ搬送して、一対のローラ４１，４２の間に進入させる。つまり、第一のローラ４１は、第一電極シート２１の第一外面２１ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、第一のローラ４１の熱が、第一中間融着材料１１６ａに伝達されて、第一中間融着材料１１６ａが溶融する。そうすると、溶融された第一中間融着材料１１６ａは、第一誘電体素材１１３ａと中間誘電体層１１５とを接合する第一中間融着層１１６を形成する。
【0109】
第一のローラ４１と同様に、第二のローラ４２は、第二電極シート２２の第二外面２２ｃ側から加圧及び加熱をする。これにより、第二のローラ４２の熱が、第二中間融着材料１１７ａに伝達されて、第二中間融着材料１１７ａが溶融する。そうすると、溶融された第二中間融着材料１１７ａは、第二誘電体素材１１４ａと中間誘電体層１１５とを接合する第二中間融着層１１７を形成する。
【0110】
また、第一誘電体素材１１３ａは、予め、第一電極シート２１の第一外面２１ｃを被覆している第一保護層１１８を構成する。また、第二誘電体素材１１４ａは、予め、第二電極シート２２の第二外面２２ｃを被覆している第二保護層１１９を構成する。
【0111】
以上のようにして製造されるトランスデューサ９は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、第一誘電体層１１３、第二誘電体層１１４、中間誘電体層１１５、第一中間融着層１１６、第二中間融着層１１７、第一保護層１１８、及び、第二保護層１１９を備える。この製造方法においても、第一例と同様に、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。さらに、トランスデューサ９全体として通気性を有するため、トランスデューサ９は、通気性を必要とする場所に設置することが可能となる。
【0112】
（１３．第九例）
第九例のトランスデューサ１０を構成する静電シート及びその製造方法について、図１３及び図１４を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。ここで、第九例のトランスデューサ１０は、第一例のトランスデューサ２の変形態様として説明する。ただし、第九例のトランスデューサ１０の特有の構成、すなわち第一電極シート１２１及び第二電極シート１２２を、他の例における第一電極シート２１及び第二電極シート２２に置換することもできる。
第九例のトランスデューサ１０を構成する静電シート及びその製造方法について、図１３及び図１４を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。ここで、第九例のトランスデューサ１０は、第一例のトランスデューサ２の変形態様として説明する。ただし、第九例のトランスデューサ１０の特有の構成、すなわち第一電極シート１２１及び第二電極シート１２２を、他の例における第一電極シート２１及び第二電極シート２２に置換することもできる。
【0113】
図１３に示すように、トランスデューサ１０は、第一電極シート１２１、第二電極シート１２２、誘電体層２３、第一保護層２４、及び、第二保護層２５により構成される静電シートを備える。図１４に示すように、第一例と同様に、（ａ）第一電極シート１２１、（ｂ）誘電体素材２３ａ、（ｃ）第二電極シート１２２の順に積層することにより、積層体を形成する。続いて、一対のローラ４１，４２（図４に示す）により加圧及び加熱を行うことにより、図１３に示すように、第一電極シート１２１及び第二電極シート１２２が、誘電体素材２３ａに埋設されている。このようにして、トランスデューサ１０を構成する静電シートが製造される。
【0114】
ここで、第一電極シート１２１は、第一例における第一電極シート２１と実質的に同様の導電性の布である。ただし、第一電極シート１２１は、図１３及び図１４に示すように、複数の第一スリット１２１ｄを備える点において、第一例における第一電極シート２１と相違する。
【0115】
第一電極シート１２１は、主方向に配列された複数の第一スリット１２１ｄを備える。ここで、主方向とは、第一電極シート１２１の所定方向を意味する。図１３においては、主方向は、第一電極シート１２１の長手方向である場合を例にあげる。つまり、主方向は、図１３に示すＡ方向である。また、副方向は、主方向に対して角度を有する方向、例えば、主方向に直交する方向等である。例えば、図１３においては、副方向は、第一電極シート１２１の短手方向、すなわち、図１３に示すＢ方向とする。
【0116】
第一スリット１２１ｄは、図１３及び図１４に示すように、第一電極シート１２１が非伸張状態において領域を有して形成されてもよい。当該領域の形状は、円、楕円、正方形、長方形、平行四辺形、台形、三角形、その他の多角形、任意の線により囲まれた形状等、種々の形状とすることができる。また、第一スリット１２１ｄは、第一電極シート１２１が非伸張状態において、線状に形成されてもよい。
【0117】
図１３及び図１４においては、第一スリット１２１ｄは、副方向に延在する楕円形状に形成されている。つまり、第一スリット１２１ｄは、副方向において、第一貫通孔２１ａの開口長さよりも長く形成されている。さらに、第一スリット１２１ｄは、第一電極シート１２１において、副方向において中央部に形成されている。つまり、第一スリット１２１ｄは、第一電極シート１２１の副方向の両端部に形成されておらず、副方向の両端部から距離を有する。そして、第一スリット１２１ｄは、第一スリット１２１ｄの主方向への広がり変形によって、少なくとも第一電極シート１２１が主方向へ伸張することを許容する。
【0118】
ここで、第一スリット１２１ｄは、主方向においても、第一貫通孔２１ａの開口長さよりも長く形成されている。従って、第一スリット１２１ｄは、第一スリット１２１ｄの副方向への広がり変形によって、第一電極シート１２１が副方向へ伸張することも許容する。
【0119】
第二電極シート１２２は、第一電極シート１２１と同様である。つまり、第二電極シート１２２は、図１４に示すように、複数の第二スリット１２２ｄを備える点において、第一例における第二電極シート２２と相違する。そして、第二スリット１２２ｄは、第一スリット１２１ｄと同様である。
【0120】
そして、エラストマーにより形成されている誘電体層２３は、第一スリット１２１ｄに対応する部分及び第二スリット１２２ｄに対応する部分に充填されている。第一スリット１２１ｄに対応する部分とは、第一スリット１２１ｄの内部、第一スリット１２１ｄに対して法線方向の領域を含む。
【0121】
従って、トランスデューサ１０を構成する静電シートが主方向に伸張される場合に、第一スリット１２１ｄが広がり変形し、且つ、第一スリット１２１ｄに対応する部分の誘電体層２３が伸張する。さらに、第二スリット１２２ｄが広がり変形し、且つ、第二スリット１２２ｄに対応する部分の誘電体層２３が伸張する。このようにして、トランスデューサ１０を構成する静電シートは、主方向に大きく伸張可能となる。さらに、当該静電シートは、副方向にも伸張可能となる。ただし、副方向への伸長量は、主方向への伸張量よりも小さい。
【0122】
本例におけるトランスデューサ１０を構成する静電シートは、三次元形状の物体の表面を被覆する場合に有用である。つまり、当該静電シートを伸張させながら当該物体の表面に配置することで、当該静電シートが当該物体の表面に沿って配置される。つまり、静電シートを綺麗に且つ容易に配置することができるため、静電シートにより被覆した状態において、当該物体の意匠性を良好とすることができる。当該トランスデューサ１０は、例えば、ポインティングデバイスであるマウスの表面、車両のステアリングホイールの表面、車両のドアノブ、車両のシフトレバー等に適用できる。
【0123】
（１４．第九例の第一変形形態）
第九例の第一変形態様のトランスデューサ１１を構成する静電シートについて、図１５を参照して説明する。上記の第九例のトランスデューサ１０を構成する静電シートにおいては、第一電極シート１２１が第一スリット１２１ｄを備え、第二電極シート１２２が第二スリット１２２ｄを備えることとした。この他に、図１５に示すように、トランスデューサ１１を構成する静電シートにおいては、第一電極シート１２１は第一スリット１２１ｄを備え、第二電極シート２２は第二スリットを備えないようにしてもよい。
第九例の第一変形態様のトランスデューサ１１を構成する静電シートについて、図１５を参照して説明する。上記の第九例のトランスデューサ１０を構成する静電シートにおいては、第一電極シート１２１が第一スリット１２１ｄを備え、第二電極シート１２２が第二スリット１２２ｄを備えることとした。この他に、図１５に示すように、トランスデューサ１１を構成する静電シートにおいては、第一電極シート１２１は第一スリット１２１ｄを備え、第二電極シート２２は第二スリットを備えないようにしてもよい。
【0124】
この場合、当該静電シートにおいて、第一面側の剛性と第二面側の剛性とに差をつけることができる。例えば、三次元形状の物体の表面に当該静電シートを配置する場合において、当該物体の表面が、凸形状である場合とする。この場合、第一スリット１２１ｄを有する第一電極シート１２１が物体の表面側に位置するようにし、第二スリットを有しない第二電極シート２２が物体の内部側に位置するようにする。このようにすることで、静電シートを綺麗に且つ容易に配置することができる。
【0125】
（１５．第九例の第二変形態様）
第九例の第二変形態様のトランスデューサ１２を構成する静電シートについて、図１６を参照して説明する。上記の第九例のトランスデューサ１０を構成する静電シートにおいては、第一スリット１２１ｄ及び第二スリット１２２ｄが、副方向の中央部に形成されている。これに対して、トランスデューサ１２を構成する静電シートにおいては、図１６に示すように、第一電極シート２２１の第一スリット２２１ｄ及び第二電極シート２２２の第二スリット２２２ｄが、副方向の両端部に形成されており、副方向の中央部に形成されていない。この場合も、第九例のトランスデューサ１０と同様の効果を奏する。
第九例の第二変形態様のトランスデューサ１２を構成する静電シートについて、図１６を参照して説明する。上記の第九例のトランスデューサ１０を構成する静電シートにおいては、第一スリット１２１ｄ及び第二スリット１２２ｄが、副方向の中央部に形成されている。これに対して、トランスデューサ１２を構成する静電シートにおいては、図１６に示すように、第一電極シート２２１の第一スリット２２１ｄ及び第二電極シート２２２の第二スリット２２２ｄが、副方向の両端部に形成されており、副方向の中央部に形成されていない。この場合も、第九例のトランスデューサ１０と同様の効果を奏する。
【0126】
（１６．第九例の第三変形態様）
第九例の第三変形態様のトランスデューサ１３を構成する静電シートについて、図１７を参照して説明する。トランスデューサ１３を構成する静電シートにおいて、誘電体層３２３には、副方向の両端に切欠３２３ａ，３２３ｂが形成されている。
第九例の第三変形態様のトランスデューサ１３を構成する静電シートについて、図１７を参照して説明する。トランスデューサ１３を構成する静電シートにおいて、誘電体層３２３には、副方向の両端に切欠３２３ａ，３２３ｂが形成されている。
【0127】
第一電極シート３２１において、第一スリット３２１ｄは、線状に形成されている。第二電極シート３２２において、第二スリット３２２ｄも、線状に形成されている。切欠３２３ａ，３２３ｂから離れた位置においては、第一スリット３２１ｄ及び第二スリット３２２ｄが、副方向に延びる線状に形成されている。一方、切欠３２３ａ，３２３ｂに近接する位置においては、第一スリット３２１ｄ及び第二スリット３２２ｄは、主方向及び副方向に角度を有する方向（主方向に対して傾斜方向）に延びるように形成されている。
【0128】
副方向に延びる第一スリット３２１ｄ及び第二スリット３２２ｄは、第九例における第一スリット１２１ｄ及び第二スリット１２２ｄとほぼ同様に作用する。一方、傾斜方向に延びる第一スリット３２１ｄ及び第二スリット３２２ｄは、切欠３２３ａ，３２３ｂにおける応力集中を抑制するように作用する。従って、誘電体層３２３の形状に応じて、第一スリット３２１ｄ及び第二スリット３２２ｄの位置及び延在方向を設定すると良い。
【0129】
（１７．第九例の第四変形態様）
第九例の第四変形態様のトランスデューサ１４を構成する静電シートについて、図１８を参照して説明する。トランスデューサ１４を構成する静電シートにおいて、第一電極シート４２１は、複数種の第一スリット４２１ｄ１，４２１ｄ２，４２１ｄ３を備える。第一スリット４２１ｄ１は、副方向において、第一電極シート４２１の外縁における２つの位置（両端位置）を結ぶように形成されている。第一スリット４２１ｄ２は、主方向において、第一電極シート４２１の外縁における２つの位置（両端位置）を結ぶように形成されている。つまり、２種の第一スリット４２１ｄ１，４２１ｄ２は、第一電極シート４２１による検出領域を複数（４つ）に分割している。ここで、２種の第一スリット４２１ｄ１，４２１ｄ２は、直線状を例示したが、曲線、折れ曲がり線等、任意の線を採用することができる。
第九例の第四変形態様のトランスデューサ１４を構成する静電シートについて、図１８を参照して説明する。トランスデューサ１４を構成する静電シートにおいて、第一電極シート４２１は、複数種の第一スリット４２１ｄ１，４２１ｄ２，４２１ｄ３を備える。第一スリット４２１ｄ１は、副方向において、第一電極シート４２１の外縁における２つの位置（両端位置）を結ぶように形成されている。第一スリット４２１ｄ２は、主方向において、第一電極シート４２１の外縁における２つの位置（両端位置）を結ぶように形成されている。つまり、２種の第一スリット４２１ｄ１，４２１ｄ２は、第一電極シート４２１による検出領域を複数（４つ）に分割している。ここで、２種の第一スリット４２１ｄ１，４２１ｄ２は、直線状を例示したが、曲線、折れ曲がり線等、任意の線を採用することができる。
【0130】
さらに、第一スリット４２１ｄ３は、分割された各領域において、副方向に延在する楕円形状に形成されている。ただし、第一スリット４２１ｄ３は、第九例にて説明したように、任意の形状とすることができる。そして、第二電極シート４２２は、第一電極シート４２１と同様に形成されている。
【0131】
本例によれば、検出領域を複数に分割する場合に有効である。このように検出領域を分割したとしても、トランスデューサ１４を構成する静電シートは、１つであるため、１部品化による種々の効果を奏する。
【0132】
（１８．第十例）
第十例のトランスデューサ１５について、図１９を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。ここで、第十例のトランスデューサ１５は、第一例のトランスデューサ２の変形態様として説明する。ただし、第十例のトランスデューサ１５の特有の構成、すなわち第一リード線５２６及び第二リード線５２７を追加する構成、他の例に適用することもできる。
第十例のトランスデューサ１５について、図１９を参照して説明する。第一例と同一構成には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。ここで、第十例のトランスデューサ１５は、第一例のトランスデューサ２の変形態様として説明する。ただし、第十例のトランスデューサ１５の特有の構成、すなわち第一リード線５２６及び第二リード線５２７を追加する構成、他の例に適用することもできる。
【0133】
図１９に示すように、トランスデューサ１５は、第一電極シート２１、第二電極シート２２、誘電体層２３、第一保護層２４、第二保護層２５、第一リード線５２６、及び、第二リード線５２７により構成される静電シートを備える。
【0134】
第一リード線５２６は、導線を絶縁材により被覆する本体部５２６ａと、導線が露出する導通部５２６ｂとを備える。第一リード線５２６の本体部５２６ａの先端側は、第一電極シート２１の第一内面２１ｂ側に配置されている。第一リード線５２６の導通部５２６ｂも、第一電極シート２１の第一内面２１ｂ側に配置されている。つまり、第一リード線５２６の本体部５２６ａの先端側及び導通部５２６ｂのどちらもが、第一電極シート２１と誘電体層２３の本体部分との間に挟まれている。第一リード線５２６の本体部５２６ａが、第一電極シート２１と誘電体層２３の本体部分との間から外部へ延在している。そして、第一リード線５２６の導通部５２６ｂが、第一電極シート２１に電気的に接続されている。
【0135】
第二リード線５２７は、導線を絶縁材により被覆する本体部５２７ａと、導線が露出する導通部５２７ｂとを備える。第二リード線５２７の本体部５２７ａの先端側は、第二電極シート２２の第二内面２２ｂ側に配置されている。第二リード線５２７の導通部５２７ｂも、第二電極シート２２の第二内面２２ｂ側に配置されている。つまり、第二リード線５２７の本体部５２７ａの先端側及び導通部５２７ｂのどちらもが、第二電極シート２２と誘電体層２３の本体部分との間に挟まれている。第二リード線５２７の本体部５２７ａが、第二電極シート２２と誘電体層２３の本体部分との間から外部へ延在している。そして、第二リード線５２７の導通部５２７ｂが、第二電極シート２２に電気的に接続されている。
【0136】
トランスデューサ１５を構成する静電シートの製造方法について、図２０及び図２１を参照して説明する。図２０に示すように、（ａ）第一電極シート２１、（ｂ）第一リード線５２６、（ｃ）誘電体素材２３ａ、（ｄ）第二リード線５２７、（ｅ）第二電極シート２２の順に積層することにより、積層体を形成する。続いて、一対のローラ４１，４２（図４に示す）により加圧及び加熱を行うことにより、図２１に示すように、第一電極シート２１及び第一リード線５２６が、誘電体素材２３ａの第一面側に埋設されている。また、第二電極シート２２及び第二リード線５２７が、誘電体素材２３ａの第二面側に埋設されている。このようにして、トランスデューサ１５を構成する静電シートが製造される。
【0137】
図２１に示すように、第一リード線５２６及び第二リード線５２７が存在する部位においても、トランスデューサ１５を構成する静電シートの厚みが他の部位に比べて極端に厚くなることを抑制できる。従って、静電シートの意匠性を良好とすることができる。さらに、第一電極シート２１と第一リード線５２６との電気的に接続するための半田や導電性樹脂等の導電性接合材が不要となる。その結果、低コスト化を図ることができる。
【0138】
（１９．第十例の第一変形態様）
第十例の第一変形態様のトランスデューサ１６を構成する静電シートについて、図２２を参照して説明する。トランスデューサ１６において、第一リード線５２６の導通部５２６ｂが、第一貫通孔２１ａを介して第一電極シート２１に絡められている。このようにして、両者の電気的な接続状態を確実なものとすることができる。製造時には、予め導通部５２６ｂと第一電極シート２１が絡められた状態にし、その後に、一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱によって、誘電体層２３の本体部分に融着される。
第十例の第一変形態様のトランスデューサ１６を構成する静電シートについて、図２２を参照して説明する。トランスデューサ１６において、第一リード線５２６の導通部５２６ｂが、第一貫通孔２１ａを介して第一電極シート２１に絡められている。このようにして、両者の電気的な接続状態を確実なものとすることができる。製造時には、予め導通部５２６ｂと第一電極シート２１が絡められた状態にし、その後に、一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱によって、誘電体層２３の本体部分に融着される。
【0139】
また、第二リード線５２７の導通部５２７ｂも、第二貫通孔２２ａを介して第二電極シート２２に絡められている。このようにして、両者の電気的な接続状態を確実なものとすることができる。また、製造時には、予め導通部５２７ｂと第二電極シート２２が絡められた状態にし、その後に、一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱によって、誘電体層２３の本体部分に融着される。
【0140】
（２０．第十例の第二変形態様）
第十例の第二変形態様のトランスデューサ１７を構成する静電シートについて、図２３を参照して説明する。トランスデューサ１７は、さらに、第一リード線５２６の導通部５２６ｂと第一電極シート２１を電気的に接続した状態で固着する第一固着層７２８を備える。第一固着層７２８は、半田又は導電性樹脂等の導電性接合材からなる。一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱の前に、予め、第一固着層７２８により、第一リード線５２６の導通部５２６ｂと第一電極シート２１とを固着してもよい。また、一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱の後に、第一固着層７２８により、第一リード線５２６の導通部５２６ｂと第一電極シート２１とを固着してもよい。これにより、第一電極シート２１と第一リード線５２６の導通部５２６ｂとの電気的な接続が確実となる。
第十例の第二変形態様のトランスデューサ１７を構成する静電シートについて、図２３を参照して説明する。トランスデューサ１７は、さらに、第一リード線５２６の導通部５２６ｂと第一電極シート２１を電気的に接続した状態で固着する第一固着層７２８を備える。第一固着層７２８は、半田又は導電性樹脂等の導電性接合材からなる。一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱の前に、予め、第一固着層７２８により、第一リード線５２６の導通部５２６ｂと第一電極シート２１とを固着してもよい。また、一対のローラ４１，４２による加圧及び加熱の後に、第一固着層７２８により、第一リード線５２６の導通部５２６ｂと第一電極シート２１とを固着してもよい。これにより、第一電極シート２１と第一リード線５２６の導通部５２６ｂとの電気的な接続が確実となる。
【0141】
トランスデューサ１７は、さらに、第二リード線５２７の導通部５２７ｂと第二電極シート２２を電気的に接続した状態で固着する第二固着層７２９を備える。第二固着層７２９については、第一固着層７２８と同様である。
【符号の説明】
【0142】
１－１７：トランスデューサ、２１，１２１，２２１，３２１，４２１：第一電極シート、２１ａ：第一貫通孔、２１ｂ：第一内面、２１ｃ：第一外面、２２，１２２，２２２，３２２，４２２：第二電極シート、２２ａ：第二貫通孔、２２ｂ：第二内面、２２ｃ：第二外面、２３，５３，６３，７３，３２３：誘電体層、２３ａ，６３ａ，７３ａ：誘電体素材、２４，８６，９６，１０８，１１８：第一保護層、２５，６５，７５，８７，９７，１０９，１１９：第二保護層、２６，５６，６６，７６：第一融着層、２７，５７：第二融着層、５６ａ，７６ａ：第一融着材料、５７ａ：第二融着材料、８３，９３，１０３，１１３：第一誘電体層、８３ａ，９３ａ，１０３ａ，１１３ａ：第一誘電体素材、８４，９４，１０４，１１４：第二誘電体層、８４ａ，９４ａ，１０４ａ，１１４ａ：第二誘電体素材、８５，９５：中間融着層、９５ａ：中間融着材料、１０５，１１５：中間誘電体層、１０５ａ：中間誘電体素材、１０６，１１６：第一中間融着層、１０７，１１７：第二中間融着層、１１６ａ：第一中間融着材料、１１７ａ：第二中間融着材料、１２１ｄ，２２１ｄ，３２１ｄ，４２１ｄ１，４２１ｄ２，４２１ｄ３：第一スリット、１２２ｄ，２２２ｄ，３２２ｄ：第二スリット、５２６：第一リード線、５２７：第二リード線、７２８：第一固着層、７２９：第二固着層
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】