特許 7432488 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-07

(45)【発行日】2024-02-16

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240208BHJP

   B65D 85/90 20060101ALI20240208BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/90

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020193676

(22)【出願日】2020-11-20

(65)【公開番号】P2022082232

(43)【公開日】2022-06-01

【審査請求日】2023-05-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002871

【氏名又は名称】弁理士法人坂本国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 晃裕

(72)【発明者】

【氏名】波賀野 賢

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 壮紀

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－２４５８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平５－６３０６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－２３０５１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２４６５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／９０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方面に開口を有し、基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体の前記開口を閉塞する蓋体と、
気体をろ過可能なフィルタ部材と、
前記フィルタ部材を前記容器本体又は前記蓋体の少なくとも一方に着脱可能に係合させる係合部と、を備える基板収納容器において、
前記係合部は、前記フィルタ部材を挿入する挿入孔と、
前記挿入孔の内部で前記フィルタ部材に接触し、前記基板収納容器の内外の連通を遮蔽するシール部と、
前記フィルタ部材を係止する係止爪と、を含み、
前記フィルタ部材は、前記係止爪に係止される第１姿勢と、前記係止爪に係止されない第２姿勢との間を前記挿入孔の内部で傾動可能である、
ことを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

前記フィルタ部材は、前記挿入孔に挿入されて前記第２姿勢となり、前記第２姿勢から前記第１姿勢に傾動されて前記係止爪に係止される、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記フィルタ部材は、前記挿入孔に挿入されて前記第２姿勢を経ることなく前記第１姿勢となり、前記係止爪に係止される、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記係合部は、前記係止爪との間で前記フィルタ部材を前記第１姿勢で係止する平面部と、前記平面部に連なり、前記平面部に対して傾斜する傾斜面部と、を前記挿入孔の周縁に含む、
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記挿入孔は、前記シール部が最も狭く、前記シール部から両端に向かって広がる形状である、
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項6】

前記シール部又は前記フィルタ部材の少なくとも一方は、シール性を向上させるためのシール部材を別部材として有する、
ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項7】

前記シール部材は、弾性部材である、
ことを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数枚の基板を収納する基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板収納容器は、半導体ウエハなどの基板を内部空間に収納し、倉庫での保管、半導体加工装置間での搬送、工場間での輸送などに使用されている。基板収納容器は、収納された基板が汚染されないように高い密封性を有するが、航空機での輸送時の気圧の変化などにより、基板収納容器の内外間に圧力差が生じることがあった。そのため、基板収納容器は、容器本体又は蓋体に内外の圧力差を調整する内圧調整機構（例えば、フィルタ部材）を備えることが提案されている（特許文献１及び２参照）。

【0003】

特許文献１にみられる基板収納容器では、フィルタ部材が、蓋体のドア本体に差し込まれ、ドア本体に係合するドアカバーに設けられた係止部（係止爪）によって、ドア本体とドアカバーとの間に挟持され、固定されている。

【0004】

また、特許文献２にみられる基板収納容器では、容器本体の側壁に連通管及び抜け落ち防止爪が形成されており、フィルタ部材が、連通管に差し込まれ、抜け落ち防止爪（係止爪）によって、係止固定されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－０２４５８５号公報

【文献】特開平１１－２３３６０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、フィルタ部材が汚染された場合や基板収納容器の洗浄時に、フィルタ部材を取り外して交換する必要がある。しかしながら、上述した構造では、専用治具又は作業者の手で係止爪を外側に変位させて、フィルタ部材を開放させる必要があり、片手で簡単に取り外すことができなかった。

【0007】

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、フィルタ部材を簡単に取り外し可能な基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

（１）本発明に係る１つの態様は、一方面に開口を有し、基板を収納可能な容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉塞する蓋体と、気体をろ過可能なフィルタ部材と、前記フィルタ部材を前記容器本体又は前記蓋体の少なくとも一方に着脱可能に係合させる係合部と、を備える基板収納容器において、前記係合部は、前記フィルタ部材を挿入する挿入孔と、前記挿入孔の内部で前記フィルタ部材に接触し、前記基板収納容器の内外の連通を遮蔽するシール部と、前記フィルタ部材を係止する係止爪と、を含み、前記フィルタ部材は、前記係止爪に係止される第１姿勢と、前記係止爪に係止されない第２姿勢との間を前記挿入孔の内部で傾動可能なものである。
（２）上記（１）の態様において、前記フィルタ部材は、前記挿入孔に挿入されて前記第２姿勢となり、前記第２姿勢から前記第１姿勢に傾動されて前記係止爪に係止されてもよい。
（３）上記（１）の態様において、前記フィルタ部材は、前記挿入孔に挿入されて前記第２姿勢を経ることなく前記第１姿勢となり、前記係止爪に係止されてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記係合部は、前記係止爪との間で前記フィルタ部材を前記第１姿勢で係止する平面部と、前記平面部に連なり、前記平面部に対して傾斜する傾斜面部と、を前記挿入孔の周縁に含んでもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記挿入孔は、前記シール部が最も狭く、前記シール部から両端に向かって広がる形状であってもよい。
（６）上記（１）から（５）までのいずれか１つの態様において、前記シール部又は前記フィルタ部材の少なくとも一方は、シール性を向上させるためのシール部材を別部材として有してもよい。
（７）上記（６）の態様において、前記シール部材は、弾性部材であってもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、フィルタ部材を簡単に取り外し可能な基板収納容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1A】本発明に係る第１実施形態の基板収納容器を示す平面図である。

【図1B】本発明に係る第１実施形態の基板収納容器を示す断面図である。

【図2A】第１実施形態の蓋体のドア本体を示す斜視図である。

【図2B】第１実施形態の蓋体のドアカバーを示す斜視図である。

【図3A】フィルタ部材を示す正面図である。

【図3B】フィルタ部材を示す断面図である。

【図4A】係合部を模式化して示す斜視図である。

【図4B】係合部を模式化して示す断面図である。

【図5A】係合部における第１姿勢のフィルタ部材を模式化して示す斜視図である。

【図5B】係合部における第１姿勢のフィルタ部材を模式化して示す断面図である。

【図5C】係合部における第２姿勢のフィルタ部材を模式化して示す断面図である。

【図6A】第１実施形態の係合部近傍を示す斜視図である。

【図6B】第１実施形態の係合部近傍を示す断面図である。

【図6C】第１実施形態の係合部における固定動作を示す斜視図である。

【図6D】第１実施形態の係合部における固定動作を示す断面図である。

【図6E】第１実施形態の係合部における第１姿勢のフィルタ部材を示す斜視図である。

【図6F】第１実施形態の係合部における第１姿勢のフィルタ部材を示す断面図である。

【図6G】第１実施形態の係合部における第２姿勢のフィルタ部材を示す斜視図である。

【図6H】第１実施形態の係合部における第２姿勢のフィルタ部材を示す断面図である。

【図7A】第２実施形態の係合部近傍を示す斜視図である。

【図7B】第２実施形態の係合部近傍を示す断面図である。

【図7C】第２実施形態のドア本体を示す斜視図である。

【図7D】第２実施形態のドアカバーを示す断面図である。

【図7E】第２実施形態の係合部における第２姿勢のフィルタ部材を示す斜視図である。

【図7F】第２実施形態の係合部における第２姿勢のフィルタ部材を示す断面図である。

【図8A】第３実施形態の係合部近傍を示す斜視図である。

【図8B】第３実施形態の係合部近傍を示す断面図である。

【図8C】第３実施形態のドア本体を示す斜視図である。

【図8D】第３実施形態のドアカバーを示す断面図である。

【図8E】第３実施形態の係合部における第２姿勢のフィルタ部材を示す斜視図である。

【図8F】第３実施形態の係合部における第２姿勢のフィルタ部材を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に係る第１実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

【0012】

基板収納容器１について説明する。
図１は、本発明に係る第１実施形態の基板収納容器１を示すもので、図１Ａは平面図であり、図１Ｂは断面図である。図２は、第１実施形態の蓋体２０を示すもので、図２Ａはドア本体２１の斜視図であり、図２Ｂはドアカバー２２の斜視図である。

【0013】

基板収納容器１は、複数の基板、例えば、直径３００ｍｍ又は４５０ｍｍのウエハなどを収納可能なものであり、一方面（例えば、前面）に開口を有する容器本体１０と、開口を閉塞する蓋体２０と、を備えている。ただし、基板収納容器１は、基板を直接収納するのではなく、基板を収納したキャリアを収納するものであってもよい。

【0014】

容器本体１０は、前面の開口と、天面と、背面と、左右の側面と、底面とを有する略直方体のもので、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものである。この前面の開口は、次に説明する蓋体２０により覆われ、閉塞される。なお、以下の説明において、図１Ａに示すように、容器本体１０の天面と底面を結ぶ方向を、天面を「上」とする上下方向といい、左右の側面を結ぶ方向を左右方向という。

【0015】

蓋体２０は、容器本体１０の開口をシール可能な外形形状及び寸法で形成されるもので、ドア本体２１と、ドア本体２１の一部を覆うドアカバー２２と、を有している。なお、以下の説明において、蓋体２０のドア本体２１とドアカバー２２とを結ぶ方向（容器本体１０の前面開口と背面とを結ぶ方向に一致する）を、ドアカバー２２を「表」又は「前」とする表裏方向（又は前後方向）という（図１Ａ参照）。

【0016】

ドア本体２１は、一方面が開放され、他方面が容器本体１０の開口と対向する略直方体の箱状のものである。なお、ドア本体２１の側壁には、容器本体１０の開口を閉塞した際、容器本体１０の開口周縁壁との間に挟み込まれるガスケット５０が取り付けられている（図１Ｂ参照）。

【0017】

ドアカバー２２は、ドア本体２１に係合し、係止用の爪やネジなどでドア本体２１に固定される。このドアカバー２２とドア本体２１とにより、施錠機構（図示なし）を収納する空間が形成され、施錠機構は半密封状態で蓋体２０に収納されることになる。なお、蓋体２０で容器本体１０の開口を閉塞した場合、施錠機構を収納した空間と、容器本体１０の内部空間（基板収納空間）とは、施錠部材よりも容器本体１０側に存在するガスケット５０により、切り離されている。

【0018】

施錠機構は、施錠部材がドア本体２１の外周面よりも外側に出没することで、蓋体２０を容器本体１０に係止可能とするものである。施錠部材は、ドア本体２１の上辺及び下辺の各２か所から出没するように配置されている。なお、施錠機構については、基板収納容器１において一般的なものであるから、より詳細な構造の説明及び図示を省略する。

【0019】

ここで、ドア本体２１には、基板収納容器１（容器本体１０）の内部空間と外部空間とを連通する連通孔としての挿入孔４１が形成されている。この挿入孔４１は、図２Ａでは右下の１か所に形成されているが、２か所以上であってもよい。なお、挿入孔４１は、後述する係合部１４０の一部を構成するため、係合部４０（１４０，２４０，３４０）とともに説明する。

【0020】

上述した容器本体１０及び蓋体２０（ドア本体２１及びドアカバー２２）は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与することもできる。

【0021】

つづいて、フィルタ部材６０について説明する。
図３は、フィルタ部材６０を示すもので、図３Ａは正面図であり、図３Ｂは断面図である。

【0022】

フィルタ部材６０は、基板収納容器１の内部空間と外部空間との圧力差を調整する内圧調整機構として作用するもので、挿入孔４１に挿入され、蓋体２０に係止固定されるものである。

【0023】

フィルタ部材６０は、一般的に「シリンジフィルタ」と称される構造と同様なもので、気体をろ過するフィルタ６１と、フィルタ６１を保持するフィルタ保持部材６２と、で形成されている。

【0024】

フィルタ６１は、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、多孔質フッ素膜又はガラス繊維などからなる分子ろ過フィルタ、あるいは活性炭素繊維などのろ材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタが使用される。また、フィルタ６１の表面又は裏面は、ポリプロピレンやポリエチレンなどで形成される格子状の保護部材が設けられていてもよい。

【0025】

なお、フィルタ６１として、例えば、分子ろ過フィルタとケミカルフィルタとを組合せたものを使用することで、基板をパーティクル汚染のみならず有機ガス汚染からも防止することができる。

【0026】

一方、フィルタ保持部材６２は、図３Ｂに示すように、第１開口６２１ａが形成された第１筒部６２１と、フィルタ６１を収容する収容空間が形成されたボス部６２３と、第２開口６２２ａが形成された第２筒部６２２と、から構成されている。

【0027】

第１筒部６２１は、先端に向かって縮径する略円筒状のものであり、ボス部６２３の一方の面に突設して形成されている。

【0028】

また、第２筒部６２２は、略円筒状のものであり、ボス部６２３の他方の面に突設して形成されている。第２筒部６２２は、図３Ａに示すように、先端にルアーロック用のリブ６２４が突出して形成されている。ただし、リブ６２４に替えて、フランジが形成されたものでもよく、その他の係合手段であってもよい。

【0029】

ボス部６２３は、略円板状のもので、１又は複数枚のフィルタ６１を保持するように、内部が収容空間として中空に形成されている。前述した第１開口６２１ａ及び第２開口６２２ａは、ボス部６２３の収容空間にそれぞれ連通している。

【0030】

上述してきたように、フィルタ部材６０は、フィルタ６１を挟んで非対称形状であるものの、第１筒部６２１を挿入孔４１に挿入して取り付けられることで、基板収納容器１の外部空間から内部空間に流出入する気体を、フィルタ６１を介して、ろ過することができる。

【0031】

なお、フィルタ部材６０は、ボス部６２３の中央付近で分割された２つの部材をあらかじめ形成しておき、相対するボス部６２３同士の間にフィルタ６１を収納し、周縁部を溶着して形成されたものが好ましい。

【0032】

つづいて、第１実施形態の係合部１４０（後述する第２実施形態の係合部２４０及び第３実施形態の係合部３４０）を模式化した係合部４０について説明する。
図４は、係合部４０を模式化して示すもので、図４Ａは斜視図であり、図４Ｂは断面図である。

【0033】

係合部４０は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、蓋体２０に形成されており、フィルタ部材６０を挿入する挿入孔４１を有している。この挿入孔４１は、フィルタ部材６０（の第１筒部６２１）に接触することで、基板収納容器１の内外の連通を遮蔽するシール部４２を内部に含んでいる。

【0034】

また、挿入孔４１は、中間付近のシール部４２が最も狭く、シール部４２から両端に向かって広がる形状であり、蓋体２０の表裏方向（挿入孔４１の貫通方向）からの断面視で長円形状（場合によっては円形形状）に形成されている。つまり、この挿入孔４１は、例えば、ドリルで蓋体２０の表裏方向に孔を穿設した後、ドリルの中心軸をある角度（１０°～３０°程度）傾けて、孔を拡大したような形状をしている。このような挿入孔４１の形状により、フィルタ部材６０が挿入孔４１内で後述するように姿勢変更可能になっている。

【0035】

シール部４２は、フィルタ部材６０との間のシール性を向上させるためのシール部材を別部材（図示なし）として有していてもよい。例えば、シール部材は、弾性材料から形成される弾性部材であり、Ｏリングなどであってもよい。

【0036】

ただし、シール部４２に弾性材料から形成されるシール部材が一体化されていてもよく、シール部４２を含む挿入孔４１全体が弾性材料から形成されてもよく、逆にフィルタ部材６０がシール部材を有するものとしてもよい。

【0037】

さらに、挿入孔４１のフィルタ部材６０の挿入側の周縁には、平坦な平面を有する平面部４３と、平面部４３に連なり、平面部４３に対して挿入孔４１側に傾斜する傾斜面を有する傾斜面部４４とが形成されている。これら平面部４３と傾斜面部４４との境界は、挿入孔４１に位置している。

【0038】

そして、挿入孔４１を挟んだ傾斜面部４４の反対側には、フィルタ部材６０（のボス部６２３）を平面部４３との間に挟持して係止する係止爪４５が設けられている。この係止爪４５は、挿入孔４１から離れる方向に弾性変形可能に形成されるとともに、平面部４３に対向する側が平面であり、反対側が斜面のクサビ状に形成されている。

【0039】

このような係合部４０により、フィルタ部材６０を係止固定又は固定解除した状態について説明する。
図５Ａは係合部４０における第１姿勢のフィルタ部材６０を模式化して示す斜視図であり、図５Ｂは係合部４０における第１姿勢のフィルタ部材６０を模式化して示す断面図であり、図５Ｃは係合部４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を模式化して示す断面図である。

【0040】

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、フィルタ部材６０が係合部４０に係止固定された状態では、フィルタ部材６０のボス部６２３は平面部４３と係止爪４５との間で挟持されており、フィルタ部材６０の軸方向が蓋体２０の表裏方向に一致する第１姿勢で固定されている。つまり、第１姿勢のフィルタ部材６０の軸方向と平面部４３を形成する平面とが略直交している。

【0041】

このとき、フィルタ部材６０は挿入孔４１のシール部４２に接触しているため、シール部４２以外にフィルタ部材６０と挿入孔４１との間に空隙があっても、蓋体２０の表面及び裏面（基板収納容器１の内外）の連通は遮蔽されている。

【0042】

一方、図５Ｃに示すように、フィルタ部材６０が係合部４０からの係止固定が解除された状態では、フィルタ部材６０のボス部６２３は傾斜面部４４に沿って傾いていることで、係止爪４５の係止から外れた状態になっており、フィルタ部材６０の軸方向が蓋体２０の表裏方向に対して傾斜する第２姿勢をとっている。なお、傾斜面部４４は、第２姿勢のフィルタ部材６０の軸方向と略直交する平面と平行であるか、大きく傾斜していればよい。

【0043】

このときも、フィルタ部材６０は挿入孔４１のシール部４２に接触しているため、シール部４２以外にフィルタ部材６０と挿入孔４１との間に空隙があっても、蓋体２０の表面及び裏面（基板収納容器１の内外）の連通は遮蔽されている。

【0044】

ここで、第１実施形態の基板収納容器１に戻って、係合部１４０の構成について説明する。なお、係合部１４０は、係合部４０を具体化したものであるため、係合部１４０の各構成についての説明を省略することがある。
図６Ａは第１実施形態の係合部１４０近傍を示す斜視図であり、図６Ｂは第１実施形態の係合部１４０近傍を示す断面図である。図６Ｃは第１実施形態の係合部１４０における固定動作を示す斜視図であり、図６Ｄは第１実施形態の係合部１４０における固定動作を示す断面図である。図６Ｅは第１実施形態の係合部１４０における第１姿勢のフィルタ部材６０を示す斜視図であり、図６Ｆは第１実施形態の係合部１４０における第１姿勢のフィルタ部材６０を示す断面図である。図６Ｇは第１実施形態の係合部１４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を示す斜視図であり、図６Ｈは第１実施形態の係合部１４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を示す断面図である。なお、図６Ａから図６Ｈでは、ドアカバー２２を取り外した状態で蓋体２０を図示している。また、図６Ｂ，Ｄ，Ｆ，Ｈの断面図は、図１ＡのＡ－Ａ線で切断したものである。

【0045】

図６Ａ及び図６Ｂに示すように、係合部１４０は、挿入孔１４１と、シール部１４２と、平面部１４３と、傾斜面部１４４と、係止爪１４５と、を含み、さらに、ガイド部１４６を含んでおり、これらは蓋体２０のドア本体２１に形成されている。

【0046】

ガイド部１４６は、フィルタ部材６０が挿入孔１４１内で姿勢変更する際に、一方向に傾斜（回動）するように案内するもので、傾斜面部１４４と係止爪１４５とを結ぶ上下方向に対して略直交する左右方向の挿入孔１４１の両側に形成されている。

【0047】

なお、第１実施形態では、平面部１４３と傾斜面部１４４とが、挿入孔１４１の周縁とガイド部１４６の内側とにそれぞれ分離して形成されているが、一体化されていてもよい。

【0048】

また、係合部１４０は、フィルタ部材６０を固定及び解除を行えるように、ドアカバー２２に形成された長円状の開口部２３からアクセス可能になっている（図１Ａ及び図１Ｂ参照）。係合部１４０が開口部２３の内側に位置することで、作業者が意図的に指を差し込まない限り、フィルタ部材６０に触れることができないため、不用意なフィルタ部材６０の脱落を防止することができる。

【0049】

ここで、第１実施形態におけるフィルタ部材６０の固定及び解除方法について説明する。
フィルタ部材６０を装着する場合、まず、フィルタ部材６０の軸方向が、図６Ｃ及び図６Ｄに示すように、蓋体２０の表裏方向に一致し、挿入孔１４１に対向するように配置して準備する。

【0050】

この状態のまま、フィルタ部材６０を挿入孔１４１の方向に移動し続けると、第１筒部６２１が挿入孔１４１に挿入され始めるとともに、ボス部６２３が係止爪１４５の斜面に当接し、係止爪１４５を下方に撓ませながら、係止爪１４５を乗り越えて、図６Ｅ及び図６Ｆに示すように、ボス部６２３が平面部１４３と係止爪１４５との間に挟持され、フィルタ部材６０が第１姿勢で係合部１４０に係止固定される。このように、フィルタ部材６０は、挿入孔１４１に挿入されて第２姿勢を経ることなく、直接第１姿勢をとって、係合部１４０に係止固定される。

【0051】

一方、フィルタ部材６０を取り外す場合、ボス部６２３における係止爪１４５と反対側（図６Ｆにおける上側）をドア本体２１に向けて押圧することで、ボス部６２３が傾斜面部１４４に沿うように傾き始めながら、シール部１４２を支点とするテコの原理により係止爪１４５を若干下側に撓ませて、図６Ｇ及び図６Ｈに示すように、係止爪１４５による係止固定を解除し、フィルタ部材６０は第２姿勢となることができる。

【0052】

ただし、第１実施形態の係合部１４０では、フィルタ部材６０を第２姿勢で挿入孔１４１に挿入し、その後、指で係止爪１４５を下方に撓ませながら、フィルタ部材６０を第１姿勢に変更させて、蓋体２０に係止固定することも可能である。つまり、フィルタ部材６０は、第２姿勢から第１姿勢に傾動されて、係合部１４０に係止固定されることもある。

【0053】

つぎに、第２実施形態の係合部２４０について説明する。上記第１実施形態の係合部１４０では、係止爪１４５はドア本体２１に形成されていたが、係合部２４０では、係止爪２４５がドアカバー２２２に形成されている点が異なっている。なお、係合部２４０は、係合部４０を具体化したものであるため、係合部２４０の各構成についての説明を省略することがある。

【0054】

図７Ａは第２実施形態の係合部２４０近傍を示す斜視図であり、図７Ｂは第２実施形態の係合部２４０近傍を示す断面図である。図７Ｃは第２実施形態のドア本体２２１を示す斜視図であり、図７Ｄは第２実施形態のドアカバー２２２を示す断面図である。図７Ｅは第２実施形態の係合部２４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を示す斜視図であり、図７Ｆは第２実施形態の係合部２４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を示す断面図である。なお、図７Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆの斜視図及び断面図は、図１ＡのＡ－Ａ線に相当する位置で切断したものである。

【0055】

図７Ａ及び図７Ｂに示すように、係合部２４０は、挿入孔２４１と、シール部２４２と、平面部２４３と、傾斜面部２４４、係止爪２４５と、を含んでおり、これらは係止爪２４５を除いてドア本体２２１に形成されている（図７Ｃ参照）。

【0056】

一方、係止爪２４５は、上述したようにドアカバー２２２に形成されている。具体的には、係止爪２４５は、ドアカバー２２２の表面側からドア本体２２１に向かって延び、途中で上方に湾曲した形態で形成されている（図７Ｄ参照）。なお、ドアカバー２２２には、係合部２４０にアクセスするための開口部２２３も形成されている。

【0057】

ここで、第２実施形態におけるフィルタ部材６０の固定及び解除方法については、第１実施形態の方法と同じであるため、図７Ｅ及び図７Ｆに固定解除状態を図示するが、説明は省略する。

【0058】

最後に、第３実施形態の係合部３４０について説明する。上記第２実施形態の係合部２４０では、係止爪２４５が蓋体２０の上下方向に弾性変形する（撓む）ことで、固定状態を解除するように形成されていたが、係合部３４０では、係止爪３４５が上下方向に直交する左右方向に弾性変形する（撓む）ことで、固定状態を解除するように形成されている点が異なっている。なお、係合部３４０は、係合部４０を具体化したものであるため、係合部３４０の各構成についての説明を省略することがある。

【0059】

図８Ａは第３実施形態の係合部３４０近傍を示す斜視図であり、図８Ｂは第３実施形態の係合部３４０近傍を示す断面図である。図８Ｃは第３実施形態のドア本体３２１を示す斜視図であり、図８Ｄは第３実施形態のドアカバー３２２を示す断面図である。図８Ｅは第３実施形態の係合部３４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を示す斜視図である。図８Ｆは第３実施形態の係合部３４０における第２姿勢のフィルタ部材６０を示す断面図である。なお、図８Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆの斜視図及び断面図は、図１ＡのＡ－Ａ線に相当する位置で切断したものである。

【0060】

図８Ａ及び図８Ｂに示すように、係合部３４０は、挿入孔３４１と、シール部３４２と、平面部３４３と、傾斜面部３４４、係止爪３４５と、を含んでおり、これらは係止爪３４５を除いてドア本体３２１に形成されている（図８Ｃ参照）。

【0061】

一方、係止爪３４５は、図８Ｄ（図８Ａ参照）に示すように、ドアカバー３２２の上下方向に対して略直交する左右方向の挿入孔３４１の両側（図８Ａでは左側の係止爪３４５のみ図示）に形成されている。なお、ドアカバー３２２には、係合部３４０にアクセスするための開口部３２３も形成されている。

【0062】

２つの係止爪３４５は、開口部３２３の内周面から内側に突出して形成されたリブ部から円弧状の係止片としてそれぞれ形成されており、先端が挿入孔３４１の中心（フィルタ部材６０が第１姿勢にある場合の軸心位置）よりも若干上方に位置している。これら２つの係止爪３４５が外側に弾性変形することで、係止爪３４５同士の間が広がるようになっている。

【0063】

また、２つの係止爪３４５が形成されたリブ部には、係止爪３４５に係止されたフィルタ部材６０がフィルタ部材６０の軸方向（蓋部材の表裏方向）へ抜け落ちるのを防止する抜け止め爪３４７が形成されている。この抜け止め爪３４７は係止爪３４５とともにフィルタ部材６０を蓋体２０に係止するため、抜け止め爪３４７は係合部３４０（又は係止爪３４５）の一部ということもできる。

【0064】

つづいて、第３実施形態の係合部３４０におけるフィルタ部材６０の固定及び解除方法について説明する。
フィルタ部材６０を装着する場合、図８Ｅ及び図８Ｆに示すように、フィルタ部材６０を第２姿勢で挿入孔３４１に挿入した状態では、フィルタ部材６０は、２つの係止爪３４５に接触した状態であり、抜け止め爪３４７には接触していない。

【0065】

その後、フィルタ部材６０を第２姿勢から第１姿勢に回動していくと、ボス部６２３は２つの係止爪３４５間を押し広げながら、ボス部６２３が係止爪３４５を乗り越えて、左右両側の係止爪３４５に係止されるとともに、下方の抜け止め爪３４７に係止され、フィルタ部材６０が第１姿勢で係合部３４０に係止固定される。

【0066】

一方、フィルタ部材６０を取り外す場合、第１実施形態のときと同様に、ボス部６２３における抜け止め爪３４７と反対側（図８Ｆにおける上側）をドア本体３２１に向けて押圧することで、係止爪３４５及び抜け止め爪３４７による係止固定を解除し、フィルタ部材６０は第２姿勢となることができる。

【0067】

以上説明したとおり、本発明に係る各実施形態の基板収納容器１は、一方面に開口を有し、基板を収納可能な容器本体１０と、容器本体１０の開口を閉塞する蓋体２０と、気体をろ過可能なフィルタ部材６０と、フィルタ部材６０を蓋体２０に着脱可能に係合させる係合部４０（１４０，２４０，３４０）と、を備える基板収納容器１において、係合部４０（１４０，２４０，３４０）は、フィルタ部材６０を挿入する挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）と、挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）の内部でフィルタ部材６０に接触し、基板収納容器１の内外の連通を遮蔽するシール部４２（１４２，２４２，３４２）と、フィルタ部材６０を係止する係止爪４５（１４５，２４５，３４５）と、を含み、フィルタ部材６０は、係止爪４５（１４５，２４５，３４５）に係止される第１姿勢と、係止爪４５（１４５，２４５，３４５）に係止されない第２姿勢との間を挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）の内部で傾動可能なものである。

【0068】

これにより、フィルタ部材６０の姿勢を変更することで、フィルタ部材６０を係止固定又は係止の解除を簡単に行うことができる。そのため、専用治具を用いる必要がなく、作業者は、両手はもちろん片手でもフィルタ部材６０の着脱作業を行うことができ、作業性を向上させることができる。

【0069】

各実施形態のフィルタ部材６０は、挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）に挿入されて第２姿勢となり、第２姿勢から第１姿勢に傾動されて係止爪４５（１４５，２４５）に係止される。また、第１及び第２実施形態のフィルタ部材６０は、挿入孔４１（１４１，２４１）に挿入されて第２姿勢を経ることなく第１姿勢となり、係止爪４５（１４５，２４５）に係止される。これにより、作業者の作業性に応じて、いずれかの係止方法を選択設定することができる。

【0070】

各実施形態の係合部４０（１４０，２４０，３４０）は、係止爪４５（１４５，２４５，３４５）との間でフィルタ部材６０を第１姿勢で係止する平面部４３（１４３，２４３，３４３）と、平面部４３（１４３，２４３，３４３）に連なり、平面部４３（１４３，２４３，３４３）に対して傾斜する傾斜面部４４（１４４，２４４，３４４）と、を挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）の周縁に含んでいる、これにより、フィルタ部材６０は、傾斜面部４４（１４４，２４４，３４４）に向かって押圧されることで、第２姿勢をとることができる。

【0071】

各実施形態の挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）は、シール部４２（１４２，２４２，３４２）が最も狭く、シール部４２から両端に向かって広がる形状である。これにより、フィルタ部材６０は、挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）内で姿勢を変更することができる。

【0072】

各実施形態のシール部４２（１４２，２４２，３４２）又はフィルタ部材６０の少なくとも一方は、シール部材を別部材として有しており、シール部材は、弾性部材である。これにより、基板収納容器１のシール性及びフィルタ部材６０と挿入孔４１（１４１，２４１，３４１）の密着性を向上させることができ、基板収納容器１の内外間の空気の供給又は排出はフィルタ部材６０を介することになる。また、シール部４２が劣化した場合に、簡単に交換することができる。

【0073】

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

【0074】

（変形例）
上記各実施形態では、係合部４０（１４０，２４０，３４０）は蓋体２０に形成されていたが、容器本体１０の底面などに形成されてもよい。なお、係合部２４０，３４０を容器本体１０に形成する場合は、ドアカバー２２２，３２２のような別部材を容器本体１０の外側に設けて、当該別部材に係止爪２４５，３４５を形成するとよい。

【0075】

上記第１実施形態及び第２実施形態では、係止爪１４５，２４５が下方に形成され、傾斜面部１４４，２４４が上方に形成されていたが、例えば互いに逆側に形成するように、挿入孔１４１，２４１を中心にある角度回転させたようなものであってもよく、さらに、互いに左右方向に形成されてもよい。同様に、第３実施形態では、係止爪３４５が左右に形成され、傾斜面部３４４が上方に形成され、抜け止め爪３４７が下方に形成されていたが、例えば上下を逆に形成してもよく、挿入孔３４１を中心にある角度回転させたようなものであってもよい。

【符号の説明】

【0076】

１ 基板収納容器
１０ 容器本体
２０ 蓋体、２１，２２１，３２１ ドア本体、２２，２２２，３２２ ドアカバー、２３，２２３，３２３ 開口部
４０ 係合部、４１ 挿入孔、４２ シール部、４３ 平面部、４４ 傾斜面部、４５ 係止爪
１４０ 係合部、１４１ 挿入孔、１４２ シール部、１４３ 平面部、１４４ 傾斜面部、１４５ 係止爪、１４６ ガイド部
２４０ 係合部、２４１ 挿入孔、２４２ シール部、２４３ 平面部、２４４ 傾斜面部、２４５ 係止爪、２４６ ガイド部
３４０ 係合部、３４１ 挿入孔、３４２ シール部、３４３ 平面部、３４４ 傾斜面部、３４５ 係止爪、３４７ 抜け止め爪
５０ ガスケット
６０ フィルタ部材、６１ フィルタ、６２ フィルタ保持部材、６２１ 第１筒部、６２１ａ 第１開口、６２２ 第２筒部、６２２ａ 第２開口、６２３ ボス部、６２４ リブ

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図6E】

【図6F】

【図6G】

【図6H】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図7D】

【図7E】

【図7F】

【図8A】

【図8B】

【図8C】

【図8D】

【図8E】

【図8F】