特許 7433299 ３軸加速度計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-08

(45)【発行日】2024-02-19

(54)【発明の名称】３軸加速度計

(51)【国際特許分類】

   G01P 15/18 20130101AFI20240209BHJP

   G01P 15/08 20060101ALI20240209BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20240209BHJP

【ＦＩ】

G01P15/18

G01P15/08 101C

B81B3/00

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2021514386

(86)(22)【出願日】2019-09-18

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-04

(86)【国際出願番号】 US2019051623

(87)【国際公開番号】W WO2020061131

(87)【国際公開日】2020-03-26

【審査請求日】2022-09-02

(31)【優先権主張番号】16/138,091

(32)【優先日】2018-09-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】520490417

【氏名又は名称】アナログ ディヴァイスィズ インク

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】ジアンロン・ジャン

(72)【発明者】

【氏名】シン・ジャン

【審査官】岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１０／０１２２５７９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１０８５２９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｐ１５／００－１５／１８

Ｂ８１Ｂ １／００－ ７／０４

Ｂ８１Ｃ １／００－９９／００

Ｈ０１Ｌ２９／８４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

単一質量の一体型３軸加速度計であって、
４つのアンカーによって基板に結合された前記単一質量のｘ－ｙ加速度検出部と、
前記ｘ－ｙ加速度検出部内に埋め込まれ、テザーによって前記ｘ－ｙ加速度検出部に結合されている前記単一質量の４つのシーソーｚ軸加速度検出部と、を含み、
前記４つのアンカーが、前記４つのシーソーｚ軸加速度検出部よりも前記基板の中心に近い位置に配置された、単一質量の一体型３軸加速度計。

【請求項2】

前記ｚ軸加速度検出部が、前記基板または前記アンカーに直接結合されていない、請求項１に記載の単一質量の一体型３軸加速度計。

【請求項3】

前記テザーが、ねじりテザーである、請求項１に記載の単一質量の一体型３軸加速度計。

【請求項4】

前記単一質量の一体型３軸加速度計が、前記単一質量の一体型３軸加速度計のｘ軸およびｙ軸のうちの少なくとも１つについて対称である、請求項１に記載の単一質量の一体型３軸加速度計。

【請求項5】

一体型３軸加速度計であって、
基板に結合された４つのアンカーと、
組み合わせられたｘ－ｙ加速度検出錘であり、第１から第４のテザーによって前記アンカーに結合されている、組み合わせられたｘ－ｙ加速度検出錘と、
前記ｘ－ｙ加速度検出錘内に埋め込まれた第１から第４のシーソーｚ軸加速度検出錘であって、それぞれのシーソーｚ軸加速度検出錘が第５のテザーおよび第６のテザーによって前記ｘ－ｙ加速度検出錘にそれぞれ結合されている、第１から第４のシーソーｚ軸加速度検出錘と、を含み、
前記４つのアンカーが、前記第１から第４のシーソーｚ軸加速度検出錘よりも前記基板の中心に近い位置に配置される、一体型３軸加速度計。

【請求項6】

前記一体型３軸加速度計が、前記一体型３軸加速度計のｘ軸およびｙ軸のうちの少なくとも１つについて対称である、請求項５に記載の一体型３軸加速度計。

【請求項7】

前記一体型３軸加速度計が、前記一体型３軸加速度計の前記ｘ軸および前記ｙ軸の両方について対称である、請求項６に記載の一体型３軸加速度計。

【請求項8】

前記第１のテザーが、２軸ボックステザーである、請求項５に記載の一体型３軸加速度計。

【請求項9】

前記第５のテザーが、ねじりテザーである、請求項８に記載の一体型３軸加速度計。

【請求項10】

前記第１から第４のシーソーｚ軸加速度検出錘が、前記アンカーまたは前記基板のいずれにも直接結合されていない、請求項５に記載の一体型３軸加速度計。

【請求項11】

単一質量の一体型３軸加速度計であって、
４つのアンカーによって基板に結合された前記単一質量のｘ－ｙ加速度検出部と、
前記ｘ－ｙ加速度検出部内に埋め込まれた前記単一質量の４つのシーソーｚ軸加速度検出部と、を含み、前記加速度計が、前記加速度計のｘ軸およびｙ軸の両方について対称であり、
前記４つのアンカーが、前記４つのシーソーｚ軸加速度検出部よりも前記基板の中心に近い位置に配置される、単一質量の一体型３軸加速度計。

【請求項12】

前記４つのシーソーｚ軸加速度検出部の各々が、全体が、前記単一質量の一体型３軸加速度計の前記ｘ軸およびｙ軸によって画定される、前記加速度計の各々の象限に配置されている、請求項１１に記載の単一質量の一体型３軸加速度計。

【請求項13】

前記４つのシーソーｚ軸加速度検出部がテザーによって前記ｘ－ｙ検出部に結合されており、前記４つのシーソーｚ軸加速度検出部が前記基板または前記アンカーのいずれにも直接結合されていない、請求項１１に記載の単一質量の一体型３軸加速度計。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、２０１８年９月２１日に代理人整理番号Ｇ０７６６．７０２４９ＵＳ００の下に提出された、「３－ＡＸＩＳ ＡＣＣＥＬＥＲＯＭＥＴＥＲ」と題された、２０１８年９月２１日に提出された米国特許出願第１６／１３８，０９１号の米国特許第１２０条に基づく利益を主張する継続出願であり、該米国特許出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。

【0002】

本出願は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）慣性センサに関する。

【背景技術】

【0003】

いくつかの微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）慣性検知器は、１つ以上の方向での加速度を測定するために使用され、加速度計と称される。これらの加速度計は、一般に、加速度を経験することに応答して変位する基板にばね式に結合された錘を利用する。ばね式カップリングのため、加速度に応答しての錘（複数可）の発振がよくある。錘（複数可）の変位および／または発振周波数は、静電容量検知技術を使用して測定され、変位または発振を表すアナログ出力信号をもたらす。共振加速度計と呼ばれるいくつかの加速度計は、ドライバを使用して、所定の周波数で錘（複数可）を発振させる。加速度に応答して、錘（複数可）の発振周波数が変化する。所定の駆動周波数からの周波数偏差を測定し得、適用された加速度を決定する。

【0004】

従来の３軸加速度計には、各検知方向に個々の錘を利用するものもある。すなわち、３軸加速度計には、各方向に割り当てられた１つの錘を有する、３つの別個の、かつ機械的に独立した錘が使用される。通常、横方向の錘（例えば、ｘおよび／またはｙ軸錘）は、単一の平面において変位および／または発振する。垂直方向の錘（例えば、ｚ軸錘）は、一般に、単一の平面の中または外で変位および／または発振する。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0005】

３軸加速度計は、少なくとも１つの垂直方向に移動する（ｚ）質量と一体化された少なくとも１つの横方向に移動する（ｘ－ｙ）質量を含む単一の一体型質量を含む。垂直方向に移動する質量は、横方向に移動する質量内に位置するシーソー質量として配置される。垂直方向に移動する質量は、１つ以上のねじりばねにより、横方向に移動する質量に機械的に結合され、そして、横方向に移動する質量は、１つ以上の横方向に移動するばねにより、１つ以上のアンカーまたは支持体に機械的に結合される。少なくとも１つの垂直に移動する質量は、３軸加速度計の１つ以上の軸について対称的に配置され得るので、３軸加速度計が平面内対称を有する。３軸加速度計は、様々な有益点を提供し得、その例としては、代替の３軸加速度計構造よりも機械的クロストークまたはノイズによる影響が少なく、かつ代替の３軸加速度計構造よりも小さなチップ面積の小さな占有設置面積を有することが挙げられる。

【0006】

いくつかの実施形態において、単一質量の一体型３軸加速度計は、単一質量のｘ－ｙ加速度検出部、およびｘ－ｙ加速度検出部内に埋め込まれた単一質量のシーソーｚ軸加速度検出部を含む。

【0007】

いくつかの実施形態において、一体型３軸加速度計は、基板に結合されたアンカー、組み合わせられたｘ－ｙ加速度検出錘、ならびにｘ－ｙ加速度検出錘内に埋め込まれた第１および第２のシーソーｚ軸加速度検出錘を含む。組み合わせられたｘ－ｙ加速度検出錘は、第１のテザーによってアンカーに結合され、第１および第２のシーソーｚ軸加速度検出錘は、それぞれ、第２のテザーおよび第３のテザーによってｘ－ｙ加速度検出錘に結合される。

【0008】

いくつかの実施形態において、単一質量の一体型３軸加速度計は、単一質量のｘ－ｙ加速度検出部、およびｘ－ｙ加速度検出部内に埋め込まれた単一質量の少なくとも１つのシーソーｚ軸加速度検出部を含む。加速度計は、加速度計のｘ軸およびｙ軸の両方について対称である。

【0009】

本出願の様々な態様および実施形態は、以下の図面を参照して説明され得る。図面は必ずしも縮尺通りに描かれていないことを理解されたい。複数の図に見られるアイテムは、それらが見られるすべての図において同じ参照番号によって示される。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、ｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれたｚ軸錘を有する３軸加速度計の一実施形態の上面図である。

【図2】図２は、ｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれた２つのｚ軸錘を有する３軸加速度計の一実施形態の上面図である。

【図3】図３は、ｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれた２つのｚ軸錘を有する３軸加速度計を表す、図２の代替実施形態の上面図である。

【図4】図４は、ｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれた４つのｚ軸錘を有する３軸加速度計の一実施形態の上面図である。

【図5】図５は、ｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれた４つのｚ軸錘を有する３軸加速度計を表す、図４の代替実施形態の上面図である。

【図6】図６は、本出願の非限定的な実施形態による、少なくとも１つの３軸加速度計を含み得る自動車を例示する図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明者らは、各検知軸について複数の独立した錘を有する従来の３軸加速度計が、多くの用途には大きすぎる、および／または高価であることを認識してきた。かかる３軸加速度計は、各錘が異なる検知回路ならびにアンカーおよびばねを必要とするため、かなりの空間（チップの実領域）を占める。いくつかの３軸加速度計は、３方向全てで加速度を検知するために単一の固体錘のみを利用することによって、この問題に対処する。しかしながら、本発明者らは、単一の固体錘が３つの検知方向のいずれかで励起されることがあるため、かかる構造が、適用される加速度の方向にかかわらず、機械的応力および／または機械的クロストークに非常に影響を受けやすいことを認識してきた。この機械的応力および／または機械的クロストークは、加速度計の性能の低下につながるため、望ましくない。

【0012】

この問題に対処するために、いくつかの３軸加速度計は、別個のｚ軸錘によって囲まれたｘ－ｙ軸質量を有する一体型錘を利用する。しかしながら、本発明者らは、これらの加速度計が低精度および高ｚ軸オフセット誤差を含む欠点を被ることを認識してきた。単一の外側質量ｚ軸錘は、その旋回軸に関して非対称であり、３軸加速度計においてモーダルクロストークを引き起こす可能性がある。さらに、本発明者らは、かかる構成がｚ軸錘に対してより大きな信号オフセット誤差をもたらすことを認識してきた、なぜなら、ｚ軸錘は、ｘ－ｙ軸質量がその内部に配置されていない場合よりもその旋回軸からより遠くに必然的に位置決めされるからである。

【0013】

上記を鑑みて、本出願の態様は、ｚ軸加速度の検出のために埋め込まれた錘を有するｘ－ｙ軸錘を含む一体型３軸加速度計を提供する。かかる配置は、代替設計よりも小さな設置面積で実装され得、かつ低減された機械的クロストークおよびｚ軸オフセット誤差に起因して、従来の単一質量加速度計に比較して改善された精度を有し得る。

【0014】

本出願の態様によれば、単一質量の一体型３軸加速度計が提供される。加速度計は、平面内を横方向（例えば、ｘおよびｙ方向）に移動するように構成されたｘ－ｙ軸錘を含む。このｘ－ｙ軸錘は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に平面外に旋回するように構成された埋め込み質量を含む。いくつかの実施形態において、埋め込み質量は、ｘ－ｙ平面の中および外を回転するように構成されたシーソー質量である。埋め込みｚ軸錘がｘ－ｙ軸錘に組み込まれるため、ｘ－ｙ運動にも貢献する。したがって、加速度計は、単一質量３軸加速度計であると言われ得る。

【0015】

本出願の別の態様によれば、単一質量の一体型３軸加速度計は、ｚ方向において平面の外に移動するように構成される２つ以上の埋め込み質量を有して、平面内をｘ方向およびｙ方向に移動するように構成された錘を含む。加速度計は、ｘ軸およびｙ軸について対称である（本明細書では「平面内対称性」と呼ばれる）ような、１つ以上の軸について対称であり得る。対称構造は、ｘ、ｙおよびｚ軸動作モード間の機械的クロストークの発生を減少させ得、かつより良いオフセット性能を提供し得る。

【0016】

本出願のさらに別の態様によれば、単一質量の一体型３軸加速度計は、ｘ－ｙ加速度検出部と、ｘ－ｙ加速度検出部内に埋め込まれたｚ加速度検出部とを有する単一の錘を含む。加速度計は、加速度計のｘ軸およびｙ軸の両方について対称であり得、したがって、平面内対称性を示す。

【0017】

本明細書で使用される「ｘ－ｙ軸錘」は、ｘ－ｙ平面において移動するように構成される質量である。「ｚ軸錘」は、例えば、ｘ－ｙ平面について回転することによって、ｚ方向において移動するように構成される質量である。

【0018】

図１は、本出願の非限定的な実施形態による３軸加速度計の一実施形態を示す。この非限定的な実施形態において、３軸加速度計１００は、埋め込みｚ軸錘を有するｘ－ｙ軸錘を含む。このｘ－ｙ軸錘は、基板などの固定された支持体に結合され、かつ埋め込みｚ軸錘は、ｘ－ｙ軸錘に結合される。図を参照すると、３軸加速度計１００は、ｘ－ｙ軸錘１１０、ならびに第１の部分１２２および第２の部分１２４（それぞれ正および負の部分と呼ばれることもある）を含む埋め込みｚ軸錘１２０を含む。３軸加速度計１００は、基板１０２、アンカー１０４、ｘ－ｙテザー１１２、およびｚ－テザー１２６も含む。

【0019】

基板１０２は、加速度計のベースとして機能する。すなわち、基板１０２は、錘を支持し得、さらに錘は、基板１０２に相対的に移動し得る。基板１０２は、半導体材料（例えば、シリコン）などの任意の好適な材料で形成され得る。基板は、駆動および／または検知回路、例えば、電極、ドライバ回路、フィルタ回路、または３軸加速度計の動作のための任意の他の回路を含んでもよい。いくつかの実施形態において、アンカー１０４は、基板の垂直ピラーなどの、基板１０２の拡張部を表す。しかしながら、代替は可能である。例えば、いくつかの実施形態において、アンカー１０４は、別個の材料から形成され得る。アンカーそれら自体は、ｘ－ｙテザー１１２に接続し得、基板１０２の上にｘ－ｙ軸錘（および間接的にｚ軸錘）を吊り下げる。

【0020】

このｘ－ｙ軸錘１１０は、ｘおよびｙ方向において加速度を検出するように構成されている。具体的には、ｘ－ｙ軸錘１１０は、これらの方向における加速度に応答して横方向（ｘおよびｙ方向）に移動するように配置される。このｘ－ｙ軸錘１１０の結果として生じる移動は、ｘおよびｙ方向のうちの少なくとも１つにおける加速度を計算するために測定され得、かつ使用され得る。このｘ－ｙテザー１１２は、ｘ－ｙ軸錘１１０をアンカー１０４に結合し、かつｘおよびｙ方向におけるｘ－ｙ軸錘１１０の移動を可能にするように配置される。加えて、ｘ－ｙテザー１１２は、ｚ方向に硬直しており、ｘ－ｙ軸錘１１０の機械的クロストークを低減または排除する。このｘ－ｙテザー１１２は、ｘ－ｙ軸錘１１０に復元力を提供する。この非限定的な例において、ｘ－ｙテザー１１２は、第１の方向（例えば、ｘ方向）において圧縮され、さらに第２の平面内方向（例えば、ｙ方向）において回転するボックスばねとして配置される。しかしながら、テザー１１２の他の構成が可能である。

【0021】

このｘ－ｙ軸錘１１０は、様々な好適な形状および寸法を有し得、さらに任意の好適な材料から形成され得る。図示される非限定的な例において、ｘ－ｙ軸錘１１０は、実質的に長方形の外周を有する、実質的に長方形である。このｘ－ｙ軸錘の寸法は、任意の好適な寸法であり得る。例えば、ｘ－ｙ軸錘の外周の側面は、各５０～５００ミクロン（その範囲を有する任意の値を含む）、または任意の他の好適な値であり得る。このｘ－ｙ軸錘は、シリコンなどの任意の好適な材料で形成され得る。いくつかの実施形態において、ｘ－ｙ軸錘１１０は、代替の製造プロセスが可能であるが、基板１０２からエッチングすることによって形成される。いくつかの実施形態において、ｘ－ｙテザー１１２は、同じ材料から形成される。例えば、ｘ－ｙ軸錘１１０およびｘ－ｙテザー１１２は、基板１０２の共通シリコン層からエッチングされ得る。

【0022】

いくつかの実施形態において、ｘ－ｙ軸錘１１０は、駆動／検知電極を含み得る。例えば、ｘ－ｙ軸錘１１０の移動は、ｘ－ｙ軸錘の任意の好適な位置に位置決めされ得るくし型指を使用して検出され得る。例えば、くし型指は、ボックス１１４によって区切られた領域に位置決めされ得、かつ任意の好適な構成を有し得る。基板１０２は、対応する駆動／検知電極を含み得る。電極は、ｘ－ｙ軸錘１１０の移動の静電容量感知を可能にし得る。複数のくし型ドライバを使用する場合、加速度計の改善された正確さおよび精度を提供し得る、差動検知を使用し得る。これらｘおよびｙ軸の各々について別個のくし型ドライバを使用し得る。いくつかの実施形態において、駆動電極は、静止位置の周りにて所定の周波数でｘ－ｙ軸錘およびｚ軸錘を発振させるために使用され得る。

【0023】

このｚ軸錘１２０は、ｚ－テザー１２６の旋回軸の別個の側面上のｚ軸錘１２０の部分を表す第１の部分１２２および第２の部分１２４を有するシーソー質量として配置される。したがって、ｚ軸錘は、ｘ－ｙ平面の中または外に回転するように配置される。第１の部分１２２は、第２の部分１２４よりも大きな質量を有する。この質量アンバランスは、適用されたｚ方向加速度に応答してｚ軸錘１２０を回転させる。このｚ－テザー１２６は、ｘ－ｙ軸錘の回転に抵抗し、かつｚ軸錘を静止位置に復元するねじりばねとして配置される。このｚ－テザー１２６は、ｚ軸錘をｘ－ｙ軸錘に結合する。このｚ軸錘１２０は、ｘ－ｙ軸錘１１０のみに結合され、かつ基板１０２に直接結合されないため、ｚ軸錘１２０は、ｘ－ｙ軸錘１１０と共にｘ－ｙ平面内で移動し、したがってｘ－ｙ軸錘１１０の一部とみなされ得る。このｚ軸錘１２０は、ｘ軸錘１１０と共に移動するため、ｘ軸錘１１０内に埋め込まれる。このｚ軸錘がｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれると、ｚ軸錘はｘ－ｙ検知方向に寄与する。しかしながら、ｚ軸錘は、ｘ－ｙ軸錘がｚ方向検知に寄与しないように、ｚ－テザーによってｚ方向におけるｘ－ｙ軸錘から分離される。このｚ軸錘がｘ－ｙ軸錘内に埋め込まれているため、それらは、ｘ－ｙ軸錘が単一の錘の１つの部分を表し、かつｚ軸錘が錘の第２の部分を表すことで、単一の錘を形成すると考えられ得る。したがって、本出願の態様の少なくともいくつかは、３方向における加速度を検知するための単一の一体型錘を提供すると考えられ得、さらに単一の一体型錘は、ｘ－ｙ加速度検出部およびｚ加速度検出部を含み得ることが理解されるべきである。

【0024】

このｚ軸錘１２０は、その移動の検知／駆動を可能にする電極を含み得る。例えば、第１および第２の部分１２２および１２４は、導電性であるようにドーピングされ得るか、または導電層（例えば、金属層）を含み得、さらにはｚ軸錘の下にある基板１０２上の構造（例えば、電極）を有する静電容量を形成してもよい。静電容量は、ｚ軸錘の静電検知および／または駆動を可能にし得る。

【0025】

図１に示すように、３軸加速度計１００は、ｘ軸について対称である。すなわち、ｘ軸と平行な長手方向中心線Ａ－Ａ’の両側で、加速度計は、ｘ－ｙ軸錘１１０およびｚ軸錘１２０の両方を含む等しい質量分布を有する。図１の実施形態によれば、加速度計１００は、ｙ軸について対称ではない。ｚ軸錘がシーソー質量であるため、ｚ軸錘は、ｙ軸の周りの不均等な重量分布を有する。したがって、加速度計は、部分的な平面内対称性、つまり、ｘおよびｙ軸のうちの一つについての対称性を有するが、総平面内対称性（ｘおよびｙ軸の両方についての対称性）ではない。いくつかの実施形態において、本開示はそれほど限定されていないため、基板、アンカー、ならびに駆動および／または検知電極は、部分的または総平面内対称性、または任意の他の好適な配置を有し得る。

【0026】

数、位置、向き、形状、および材料を含む、テザー１１２上の変形が可能である。いくつかの実施形態において、ｘ－ｙテザー１１２は、別個のｘ－テザーおよびｙ－テザーとして配置され得る。すなわち、加速度計１００は、ｘ方向におけるｘ－ｙ軸錘１１０の変位を可能にするように配置されたｘ－テザーと、ならびにｙ方向についてのｘ－ｙ軸錘の変位を可能にするように配置されたｙ－テザーとを含み得る。別個のｘおよびｙ－テザーは、ｘ－ｙ軸錘に復元力を提供するように配置された任意の好適なばねであってもよい。例えば、可能なｘおよびｙテザーには、圧縮ばね、張力ばね、およびボックスばねが含まれるが、これらに限定されるわけではない。このｘ－ｙテザー１１２は、所定の方向におけるｘ－ｙ軸錘の変位を容易にし、かつその所定の方向における復元力を提供するために、任意の好適な位置および任意の好適な配向で位置付けられ得る。このｘ－ｙ軸錘の所望の移動を可能にするために、任意の好適な数のｘ－ｙテザー、またはｘテザーおよびｙ－テザーを提供し得る。このように、図１における４つのｘ－ｙテザーの例示は、非限定的である。

【0027】

このｚテザー１２６上の変形も可能である。図１に示す実施形態によれば、ｚ軸錘がｘ－ｙ平面の外に回転した場合に、このｚ軸錘１２０を静止位置に戻す復元力を提供するねじりばねとしてｚ－テザーを配置し得る。本開示はそれほど限定されないため、ｚテザーは、任意の好適なねじりばねであってもよい。２つのｚ－テザー１２６を図１に示すが、それに代わる数を提供してもよい。いくつかの実施形態において、ｘ－ｙテザーおよびｚ－テザーは、ばねとして配置され得なくてもよく、むしろ、ｘ－ｙ軸錘およびｚ軸錘を基板の上に吊り下げ、そして質量の各々が移動することを可能にする任意の好適な支持体であり得る。

【0028】

いくつかの実施形態において、テザーの厚さは、１つ以上の検知方向間の望ましくない機械的クロストークに対するそのテザーの感度に影響を及ぼし得る。より具体的には、十分に剛性であるテザーは、望ましくないモードを防止し得る。すなわち、テザーが十分に剛性である場合、機械的クロストークモードは、通常の動作条件によって励起され得ないように十分な高さの周波数である。いくつかの実施形態において、テザー（例えば、ｘ－ｙテザーおよびｚ－テザー）は、機械的クロストークを減少させるための好適な材料厚さを有し得る。例えば、テザーの厚さは（図１のｚ方向において測定されるように）、２μｍより大きく、５μｍ、８μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、２～３５μｍの間、または任意の他の好適な厚さであり得る。対応して、テザーの厚さは、３５μｍ未満、２８μｍ、２３μｍ、１８μｍ、１３μｍ、９μｍ、７μｍ、４μｍ、および／または任意の他の好適な厚さで有り得る。上述の範囲の組み合わせは、２５～３５μｍの間、１０～２３μｍの間、ならびに５～１３μｍの間の厚さを含んで考慮されるが、これらに限定されない。もちろん、本開示はそれほど限定されないため、テザーの任意の好適な厚さを使用し得る。

【0029】

いくつかの場合において、テザーの厚さは、テザーが機械的クロストークを減少させるために望ましい剛性を有し得るように、テザーの特定の幅に対応し得る（図１のｘ－ｙ平面で測定されるように）。例えば、テザーの厚さと幅との間の比は、０．５より大きく、２、４、６、８、１０、１５、２０、および／または任意の他の好適な比であり得る。対応して、テザーの厚さと幅との間の比は、２５未満であり、２０、１５、１０、８、６、４、１、および／または任意の他の好適な比であり得る。上述の範囲の組み合わせは、比０．５および４、１０および２５、ならびに６および１５を含んで考慮されるが、これらに限定されない。もちろん、本開示はそれほど限定されないため、テザーの厚さと幅との間の任意の好適な比が採用されてもよい。

【0030】

図２は、ｘ－ｙ軸錘２１０および各々が第１の部分２２２ａ、２２２ｂおよび第２の部分２２４ａ、２２４ｂを含む２つのｚ軸錘２２０ａ、２２０ｂを含む差動ｚ方向加速度検知が可能な３軸加速度計２００の別の実施形態を示す。加速度計は、基板２０２、アンカー２０４、ｘ－ｙテザー２１２、およびｚ－テザー２２６も含む。図１の非限定的な実施形態における基板１０２と同様に、基板２０２は加速度計に対するベースとして機能し、かつアンカー２０４に直接接続される。基板はまた、ｘ－ｙ質量およびｚ軸錘の移動および／または測定を行うことができるドライバまたは検知素子を含み得る静止プラットフォームとして機能する。アンカー２０４は、ｘ－ｙテザー２１２に接続し、かつ基板２０２の上にｘ－ｙ軸錘（および間接的にｚ軸錘）を吊り下げるように配置される。このｘ－ｙ軸錘は、横方向（ｘおよびｙ方向）に移動するように配置され、この移動は測定され、かつｘおよびｙ方向のうちの少なくとも１つにおける加速度を計算するために使用される。このｘ－ｙテザー２１２は、ｘ－ｙ軸錘をアンカー２０４に結合し、かつｘ－ｙ軸錘に復元力を提供するように配置される。詳細に、ｘ－ｙテザーは、第１の方向（例えば、ｙ方向）において圧縮され、かつ第２の平面内方向（例えば、ｘ方向）において回転するボックスばねとして配置される。図２の実施形態は、図示されるように、ｘ－ｙテザーが２つの実施形態において異なって配向される点で、図１の実施形態とは異なる。このｚ軸錘２２０ａ、２２０ｂは、第１の部分２２２ａ、２２２ｂ、および第２の部分２２４ａ、２２４ｂを有するシーソー質量として配置される。したがって、ｚ軸錘は、ｘ－ｙ平面の中または外に回転し、したがってｚ方向において移動するように配置される。第１の部分２２２ａ、２２２ｂは、第２の部分２２４ａ、２２４ｂよりも大きな質量を有する。これらの質量アンバランスは、適用されたｚ方向加速度に応答してｚ軸錘の回転を引き起こす。このｚ－テザー２２６は、ｘ－ｙ軸錘の回転に抵抗し、かつｚ軸錘を静止位置に復元するねじりばねとして配置される。このｚ－テザーは、ｚ軸錘をｘ－ｙ軸錘に結合する。

【0031】

図２に示すように、２つのｚ軸錘２２０ａ、２２０ｂは、ｘ－ｙ軸錘２１０内に埋め込まれる。２つのｚ軸錘は、加速度計２００のｙ軸に対して反対方向に配向される。すなわち、第１の部分２２２ａ、２２２ｂはｙ軸から等距離であり、さらに第２の部分２２４ａ、２２４ｂはｙ軸から同様に等距離である。図２の実施形態によれば、２つのｚ軸錘はまた、加速度計のｘ軸について対称的に配置される。したがって、２つのｚ軸錘は、ｘおよびｙ軸の両方について等しい質量分布を有する総平面内対称性を示す。すなわち、２つのｚ軸錘は、長手方向中心線Ｂ－Ｂ’および横方向中心線Ｃ－Ｃ’の両側で等しい質量分布を有して対称である。かかる配置は、機械的クロストークを低減し得、加速度計の精度を向上し得る。図２の実施形態によれば、２つのｚ軸錘２２０ａ、２２０ｂの出力を組み合わせ得、ｚ方向における加速度を示す単一の出力信号を作成する。例えば、２つのｚ軸錘出力の差を取り得（すなわち、差動検出）、単一のｚ軸錘信号に関連付けられたノイズおよびオフセット誤差を低減する。かかる配置は、単一のｚ軸錘を有する加速度計と比較して精度を向上させ得る。もちろん、本開示はそれほど限定されないため、２つのｚ軸錘信号の任意の好適な組み合わせまたは処理が使用され得る。

【0032】

図２の実施形態によれば、ｘ－ｙ軸錘２１０は、２つのｚ軸錘２２０ａ、２２０ｂを取り囲み、かつ総平面内対称性を有する。すなわち、ｘ－ｙ軸錘は、長手方向中心線Ｂ－Ｂ’および横方向中心線Ｃ－Ｃ’に対して等しい質量分布を有する。したがって、加速度計２００は、機械的クロストークの影響を受けにくくなり得る。図２に示すように、ｘ－ｙ軸錘は、基板に固定されたアンカー２０４に結合されるボックスばねとして配置されたｘ－ｙテザー２１２によって基板２０２に結合される。これらｘ－ｙテザーおよびアンカーは、加速度計が総平面内対称性を有するようにｘおよびｙ軸の両方について対称的に配置される。

【0033】

図３は、ｘ－ｙ軸錘３１０および各々が第１の部分３２２ａ、３２２ｂおよび第２の部分３２４ａ、３２４ｂを含む２つのｚ軸錘３２０ａ、３２０ｂを備える３軸加速度計３００を表す、図２の代替実施形態を示す。加速度計３００はまた、基板３０２、アンカー３０４、ｘ－ｙテザー３１２、およびｚ－テザー３２６も含む。図１の非限定的な実施形態における基板１０２と同様に、基板３０２は加速度計に対するベースとして機能し、かつアンカー３０４に直接接続される。基板はまた、ｘ－ｙ軸錘およびｚ軸錘を移動し、および／またはその移動を測定し得るドライバまたは検知素子を含み得る静止プラットフォームとして機能する。アンカー３０４は、ｘ－ｙテザー３１２に接続し、かつ基板３０２の上にｘ－ｙ軸錘（および間接的にｚ軸錘）を吊り下げるように配置される。このｘ－ｙ軸錘は、横方向（ｘおよびｙ方向）に移動するように配置され、この移動は測定され、かつｘおよびｙ方向のうちの少なくとも１つにおける加速度を計算するために使用される。このｘ－ｙテザー３１２は、ｘ－ｙ軸錘をアンカー３０４に結合し、かつｘ－ｙ軸錘に復元力を提供するように配置される。詳細に、ｘ－ｙテザーは、第１の方向（例えば、ｘ方向）において圧縮され、かつ第２の平面内方向（例えば、ｙ方向）において回転するボックスばねとして配置される。図３の実施形態は、図示されるように、ｘ－ｙテザーが２つの実施形態において異なって配向される点で、図２の実施形態とは異なる。このｚ軸錘３２０ａ、３２０ｂは、第１の部分３２２ａ、３２２ｂ、および第２の部分３２４ａ、３２４ｂを有するシーソー質量として配置される。したがって、ｚ軸錘は、ｘ－ｙ平面の中または外に回転し、したがってｚ方向において移動するように配置される。第１の部分３２２ａ、３２２ｂは、第２の部分３２４ａ、３２４ｂよりも大きな質量を有する。これらの質量アンバランスは、適用されたｚ方向加速度に応答してｚ軸錘の回転を引き起こす。このｚ－テザー３２６は、ｘ－ｙ軸錘の回転に抵抗し、かつｚ軸錘を静止位置に復元するねじりばねとして配置される。このｚ－テザーは、ｚ軸錘をｘ－ｙ軸錘に結合する。

【0034】

図３に示すように、２つのｚ軸錘３２０ａ、３２０ｂは、図２と同様の態様でｘ－ｙ軸錘３１０内に埋め込まれる。２つのｚ軸錘は、加速度計３００のｙ軸に対して反対方向に配向される。すなわち、第１の部分３２２ａ、３２２ｂはｙ軸から等距離であり、第２の部分３２４ａ、３２４ｂはｙ軸から同様に等距離である。図２の実施形態によれば、２つのｚ軸錘はまた、加速度計のｘ軸について対称的に配置される。したがって、２つのｚ軸錘は、長手方向中心線Ｄ－Ｄ’および横方向中心線Ｅ－Ｅ’の両側に等しい質量分布を有する総平面内対称性を示す。図３の実施形態によれば、かつ図２の実施形態と同様に、２つのｚ軸錘３２０ａ、３２０ｂの出力を組み合わせ得、ｚ方向において加速度を示す単一の出力信号を作成する。

【0035】

図３の実施形態によれば、ｘ－ｙ軸錘３１０は、２つのｚ軸錘３２０ａ、３２０ｂを取り囲み、図２の実施形態と同様の総平面内対称性を有する。すなわち、ｘ－ｙ軸錘は、長手方向中心線Ｄ－Ｄ’および横方向中心線Ｅ－Ｅ’に対して等しい質量分布を有する。したがって、加速度計３００は、機械的クロストークの影響を受けにくくなり得る。図３に示すように、ｘ－ｙ軸錘は、基板に固定されたアンカー３０４に結合されるボックスばねとして配置されたｘ－ｙテザー３１２によって基板３０２に結合される。これらｘ－ｙテザーおよびアンカーは、加速度計が総平面内対称性を有するようにｘおよびｙ軸の両方について対称的に配置される。図２の実施形態とは対照的に、ｘ－ｙテザー３１２およびアンカー３０４は、図２のｘ－ｙテザー２１２に対して直交して配向される。したがって、アンカーは、加速度計の中心からさらに離れて配置され、かつ２つのｚ軸錘は、ｘ－ｙ軸錘のより大きな相対面積を占め得、結果としてより多くの質量を有する。より大きな質量を有するｚ軸錘は、前述したように望ましくないモードの影響を軽減することによって機械的クロストークを低減し得る、より厚いテザーを利用することができる場合がある。

【0036】

図４は、ｘ－ｙ軸錘４１０および各々が第１の部分４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄ、ならびに第２の部分４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃ、４２４ｄを含む４つのｚ軸錘４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄを備えて、総平面内対称性を示す３軸加速度計４００の別の実施形態を示す。加速度計はまた、基板４０２、アンカー４０４、ｘ－ｙテザー４１２、ｚ－テザー４２６、指４１４、正極４１６ａ、および負極４１６ｂを含む。このｘ－ｙ軸錘４１０は、横方向（ｘおよびｙ方向）に並進するように配置される。このｚ軸錘４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄの各々は、ｘ－ｙ軸錘に対して平面の外に回転するように配置される。第１の部分４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄの各々は、第２の部分４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃ、４２４ｄの各々よりも大きい質量を有し、その結果、ｚ方向において加速度に供される場合にｚ軸錘が回転する。

【0037】

図４に示すように、アンカー４０４は基板４０２に固定され、ｘ－ｙテザー４１２に接続されるように配置される。このｘ－ｙテザーは、ボックスばねとして配置され、ｘ－ｙ軸錘を基板の上に吊り下げ、かつｘ－ｙ軸錘４１０がｘおよびｙ方向に移動することを可能にしながら、ｘ－ｙ軸錘を静止位置に戻す復元力を提供する。このｚ－テザー４２６は、ねじりばねとして配置され、ｚ軸錘を基板の上に吊り下げ、かつｘ－ｙ軸錘をｚ軸錘４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄに機械的に連結する。このｚ－テザーはまた、ｚ軸錘がｘ－ｙ平面の外に回転した場合に、ｚ軸錘の各々を静止位置に戻す復元力も提供する。指４１４は、ｘ－ｙ軸錘に結合され、またはいくつかの実施形態において、ｘ－ｙ軸錘の一部を表し、ｘ－ｙ軸錘が移動する場合に、ｘ－ｙ軸錘と共に移動する。指は、基板４０２に固定されてかつ指４１４と電極との間の距離を測定するために使用され得る正極４１６ａと負極４１６ｂとの間に配置される。例えば、それらの電極は、指とｘ－ｙ軸錘の特定の位置に対応し得るそれらの電極との間の静電容量を測定するために使用し得る。電極４１６ａ、４１６ｂはまた、加速度を検出するために、特定の周波数でｘ－ｙ軸錘を駆動し、かつその周波数の変化を測定するように使用され得る。もちろん、本開示はそれほど限定されないため、加速度を測定するための任意の好適な機能のために電極および指を使用してもよい。

【0038】

図４の実施形態によれば、４つのｚ軸錘４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄの各々は、基板上に配置された対応する電極（例えば、正極および負極と呼ばれることもある第１および第２の電極）を有し得る。正極は、ｚ軸錘の第１の部分４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄの近くに位置決めされ得、負極は、第２の部分４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃ、４２４ｄの近くに位置決めされ得、さらに逆もまた同様である。電極は、基板とｚ軸錘とによって形成された静電容量を検出し得る。いくつかの実施形態において、正および負極は、所定の周波数でｚ軸錘を駆動し、適用された加速度に応答して周波数の変化を測定するために使用され得る。いくつかの実施形態において、ｚ軸錘の各々からの信号は、加速度計の精度を向上させるために、差動信号またはいくつかの他の組み合わせとして組み合わせられ得る。例えば、平面内回転の場合、対向する側のｚ軸錘の各々は、別個のｚ軸錘間の差動信号を使用することによってキャンセルされ得る回転に応答して反対方向に移動し得る。この例によれば、共通モード信号またはノイズは、差動信号の組み合わせの使用によってキャンセルされ得る。

【0039】

図４に示すように、加速度計４００は、形状において正方形である。すなわち、基板４０２は正方形であり、すべての構成要素が基板上に配置され、基板の境界内に収まる。かかる配置は、ｘ、ｙ、およびｚ方向間のノイズおよび機械的クロストークの低減をさらに促進し得る。図４の実施形態によれば、構成要素の各々は、加速度計が総平面内対称性を有するように、ｘおよびｙ軸の各々について対称的に配向される。すなわち、構成要素は、長手方向中心線Ｆ－Ｆ’および横方向線Ｇ－Ｇ’の両側で等しい質量分布を有して対称である。この場合、加速度計はまた、機械的クロストークに対する影響されやすさをさらに低減し得る正方形として対称性を有する。例えば、前述したように、ｚ軸錘は、質量の各々が加速度計の対向する側面またはコーナーで、平面内回転などの外乱に対して反対に応答し得るため、共通モードノイズをキャンセルし得る。

【0040】

図４に示す実施形態によれば、アンカー４０４が中心の近くに配置され得るように、ｚ軸錘４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄが配置され得る。基板の中心に近いアンカーは、基板上の熱または機械的応力によって引き起こされ得るオフセット誤差の傾向を少なくし得る。すなわち、基板が任意の歪みを受ける場合、中心は基板の端部よりも著しく歪む可能性が低い。したがって、中心に対してｚ軸錘の内側に配置されたアンカーでは、オフセット誤差を低減または排除し得る。

【0041】

図５は、ｘ－ｙ軸錘４１０および各々が第１の部分５２２ａ、５２２ｂ、５２２ｃ、５２２ｄ、ならびに第２の部分５２４ａ、５２４ｂ、５２４ｃ、５２４ｄを含む、４つのｚ軸錘５２０ａ、５２０ｂ、５２０ｃ、５２０ｄを備える３軸加速度計５００を表す、図４の代替の実施形態を示す。加速度計は、基板５０２、アンカー５０４、ｘ－ｙテザー５１２、およびｚ－テザー５２６も含む。このｘ－ｙ軸錘５１０は、横方向（ｘおよびｙ方向）に並進するように配置される。このｚ軸錘５２０ａ、５２０ｂ、５２０ｃ、５２０ｄの各々は、ｘ－ｙ軸錘に対して平面外に回転するように配置される。第１の部分５２２ａ、５２２ｂ、５２２ｃ、５２２ｄの各々は、第２の部分５２４ａ、５２４ｂ、５２４ｃ、５２４ｄの各々よりも大きい質量を有しており、その結果、ｚ方向の加速度に供される場合にｚ軸錘が回転する。アンカー５０４は、基板５０２に固定され、ｘ－ｙテザー５１２に接続されるように配置される。このｘ－ｙテザーは、ボックスばねとして配置され、ｘ－ｙ軸錘を基板の上に吊り下げ、かつｘ－ｙ軸錘を静止位置に戻す復元力を提供しながら、ｘ－ｙ軸錘５１０がｘおよびｙ方向に移動することを可能にする。このｚ－テザー５２６は、ねじりばねとして配置され、ｚ軸錘を基板の上に吊り下げ、ｘ－ｙ軸錘をｚ軸錘５２０ａ、５２０ｂ、５２０ｃ、５２０ｄに機械的に結合し、ｚ軸錘がｘ－ｙ平面の外に回転される場合に静止位置に戻る復元力も提供する。

【0042】

図５に示す実施形態によれば、加速度計５００は、ｘ－ｙ軸錘５１０の外縁部の近くに配置され、かつｘ－ｙ軸錘と一緒に移動するようにｘ－ｙ軸錘に結合された指を含み得る。このｘ－ｙ軸錘指および電極の位置および／または周波数を測定するために、正極および負極を使用し得る。同様に、加速度計は、ｚ軸錘５２０ａ、５２０ｂ、５２０ｃ、５２０ｄの下の基板上に配置されて、ｚ軸錘の位置および／または周波数を検出する電極を含み得る。

【0043】

図５に示すように、加速度計５００は正方形であり、かつ総平面内対称性を有する。すなわち、構成要素は、長手方向中心線Ｈ－Ｈ’および横方向中心線Ｉ－Ｉ’の両側で等しい質量分布を有して対称である。したがって、加速度計は、特定の加速度（例えば、平面内回転）に応答して共通モードノイズを拒絶し得、前述のように加速度計の精度を向上させ得る減少された機械的クロストークを受け得る。

【0044】

図５の実施形態によれば、ｚ軸錘は、周囲に向かうよりも加速度計の中心に近い大きい質量を有してよく、場合によっては著しく大きい質量を有し得る。例えば、前述のように、第１の部分５２２ａ、５２２ｂ、５２２ｃ、５２２ｄは、第２の部分５２４ａ、５２４ｂ、５２４ｃ、５２４ｄの各々よりも大きい質量を有し得る。かかる構成は、ｚ軸錘５２０ａ、５２０ｂ、５２０ｃ、５２０ｄと共に、より厚いばねの使用を容易にし得、その使用は、機械的クロストークをさらに減少させ得る。

【0045】

本出願のいくつかの実施形態のいくつかのアプリケーションは、限定されるものではないが、自動車、装着型装置、および機械の健全性監視を含む、低または高加速環境を備える。図６は、本明細書に記載のタイプの３軸加速度計が車に採用される非限定的な例を示す。図６の例において、自動車６００は、有線または無線接続によって車の車載コンピュータ６０４に接続される制御ユニット６０１を含む。制御ユニット６０１は、本明細書に記載されるタイプの少なくとも１つの３軸加速度計を含み得る。非限定的な例として、少なくとも１つの３軸加速度計は、駆動方向および／または駆動方向に直交する加速度を検知し得る。少なくとも１つの３軸加速度計は、例えば、自動車６００のサスペンションの状態を監視するのに有用であり得る垂直加速度を検知するように構成されてもよい。制御部６０１は、車載コンピュータ６０４から電力および制御信号を受信し得、さらに本明細書で説明した種類の出力信号を車載コンピュータ６０４に供給し得る。

【0046】

単一質量加速度計における機械的クロストークの減少は、特定の用途において望ましい場合がある従来の製品よりもはるかに小さいパッケージで達成され得る。いくつかの実施形態において、加速度計は、０．５ｍｍ^２より大きなダイ面積を有し得、０．７５ｍｍ^２、１ｍｍ^２、１．２５ｍｍ^２、１．５ｍｍ^２、１．７５ｍｍ^２、２ｍｍ^２、２．５ｍｍ^２、３ｍｍ^２であり得、および任意の他の好適な面積を有し得る。対応して、加速度計は、３．５ｍｍ^２未満であり得、２．７５ｍｍ^２、２．２５ｍｍ^２、２ｍｍ^２、１．７５ｍｍ^２、１．５ｍｍ^２、１．２５ｍｍ^２、１ｍｍ^２、０．７５ｍｍ^２であり得、および／または任意の他の好適な面積で有り得る。上述の範囲の組み合わせは、０．５および１．７５ｍｍ^２、１および２．２５ｍｍ^２、ならびに１．５および３．５ｍｍ^２を含んで考慮されるが、これらに限定されない。もちろん、本開示はそれほど限定されないため、任意の好適なダイ面積が使用され得る。

【0047】

本教示は、様々な実施形態および実施例と併せて説明されているが、本教示がかかる実施形態または実施例に限定されることは意図されない。逆に、本教示は、当業者であれば理解されるように、様々な代替、修正、および等価物を包含する。したがって、前述の説明および図面は例としてのみである。

【0048】

「およそ」および「約」という用語は、いくつかの実施形態では目標値の±２０％以内、いくつかの実施形態では目標値の±１０％以内、いくつかの実施形態では目標値の±５％以内、なおもいくつかの実施形態では目標値の±２％以内を意味するために使用され得る。「およそ」および「約」という用語は、目標値を含み得る。

【符号の説明】

【0049】

１００、２００、３００、４００、５００ ３軸加速度計
１０２、２０２、３０２、４０２、５０２ 基板
１０４、２０４、３０４、４０４、５０４ アンカー
１１０、２１０、３１０、４１０、５１０ ｘ－ｙ軸錘
１１２、２１２、３１２、４１２、５１２ ｘ－ｙテザー
１１４ ボックス
４１４ 指
４１６ａ 正極
４１６ｂ 負極
１２０、２２０ａ、２２０ｂ、３２０ａ、３２０ｂ、４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、５２０ａ、５２０ｂ、５２０ｃ、５２０ｄ 埋め込みｚ軸錘
１２２、２２２ａ、２２２ｂ、３２２ａ、３２２ｂ、４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄ、５２２ａ、５２２ｂ、５２２ｃ、５２２ｄ 第１の部分
１２４、２２４ａ、２２４ｂ、３２４ａ、３２４ｂ、４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃ、４２４ｄ、５２４ａ、５２４ｂ、５２４ｃ、５２４ｄ 第２の部分
１２６、２２６、３２６、４２６、５２６ ｚ－テザー
６００ 自動車
６０１ 制御ユニット
６０４ 車載コンピュータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】