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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-08
(45)【発行日】2024-02-19
(54)【発明の名称】インプリント装置
(51)【国際特許分類】
B29C 59/02 20060101AFI20240209BHJP
B29C 59/04 20060101ALI20240209BHJP
【ＦＩ】
B29C59/02 Z
B29C59/04 Z
【請求項の数】
13
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2022114957
(22)【出願日】2022-07-19
(65)【公開番号】P2023035858
(43)【公開日】2023-03-13
【審査請求日】2022-07-19
(31)【優先権主張番号】17/460,296
(32)【優先日】2021-08-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】506084058
【氏名又は名称】奇景光電股▲ふん▼有限公司
(74)【代理人】
【識別番号】100107423
【弁理士】
【氏名又は名称】城村 邦彦
(74)【代理人】
【識別番号】100120949
【弁理士】
【氏名又は名称】熊野 剛
(74)【代理人】
【識別番号】100093997
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 秀佳
(72)【発明者】
【氏名】翁 瑞優
(72)【発明者】
【氏名】郭 漢▲い▼
(72)【発明者】
【氏名】呂 引棟
(72)【発明者】
【氏名】蔡 瑞彬
【審査官】今井 拓也
(56)【参考文献】
【文献】特表２０１９－５３１９２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－０１９４５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－１１９２５４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１８３７８２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２９Ｃ
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
インプリント装置であって、インプリントプラットフォームと、
前記インプリントプラットフォームの上方に配置されたインプリントローラと、
転写フィルムを備える転写モジュールであって、前記転写フィルムが前記インプリントローラと前記インプリントプラットフォームとの間に位置している、転写モジュールと、
前記インプリントローラに連結され、前記インプリントローラを駆動して前記インプリントプラットフォームの法線方向に沿って移動させ、前記インプリントローラを選択的に加圧する昇降押圧機構と、を備え、
前記昇降押圧機構によって前記インプリントローラが第１の位置に移動されると、前記昇降押圧機構が、前記インプリントローラを加圧せず、前記インプリントローラが、前記インプリントプラットフォーム上に位置する前記転写フィルムに接触し、前記転写フィルムが、前記インプリントローラの重量によって押圧され、
前記昇降押圧機構によって前記インプリントローラが第２の位置に移動されると、前記昇降押圧機構が、前記インプリントローラを加圧し、前記インプリントローラが、前記転写フィルムに接触し、前記転写フィルムが、前記インプリントローラの重量と前記昇降押圧機構の圧力との組み合わせによって押圧され、
前記昇降押圧機構が、駆動源と、前記駆動源に接続されたベースと、前記インプリントローラの端部に配置され、前記ベース内に位置するホルダと、を備え、前記ベースが、下部と、上部と、前記下部と前記上部との間に位置し、前記下部と前記上部とに接続されたガイドポストと、を備え、前記ガイドポストが、前記法線方向に沿って延在し、前記ホルダが、前記ガイドポストに摺動可能に配置され、
前記昇降押圧機構が、前記ベースの前記上部に固定され、前記ベースの前記上部と前記ホルダとの間に位置する圧力センサをさらに備え、前記インプリントローラが前記第１の位置にあるとき、前記ホルダが、前記ベースの前記下部に接触し、前記ホルダと前記圧力センサとの間に隙間が形成され、前記インプリントローラが前記第２の位置にあるとき、前記ホルダが、前記圧力センサに接触して押圧する、インプリント装置。
【請求項2】
前記昇降押圧機構が、前記インプリントローラの両端部に位置する２つの水平度検出器を備える、請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項3】
フィルム分離モジュールおよび固定モジュールをさらに備え、前記転写モジュールがフレームを備え、前記転写フィルムが前記フレームに配置され、前記フレームが、前記固定モジュールによって前記フィルム分離モジュールに着脱可能に配置されている、請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項4】
前記固定モジュールが、前記フィルム分離モジュールに固定された第１の固定部材と、前記フレームに固定された第２の固定部材と、前記フィルム分離モジュールの第１の孔を通過し、前記第１の固定部材側に位置する第１の回転部材と、前記第１の固定部材を通過し、前記第１の回転部材と前記第２の固定部材との間に位置する第２の回転部材と、を備える、請求項３に記載のインプリント装置。
【請求項5】
前記第１の回転部材が、前記フィルム分離モジュールから露出したノブと、スロットを有する第１の本体と、前記第１の本体から前記ノブから離れる方向に延在する第１の阻止部材と、を備え、前記第１の本体が、前記フィルム分離モジュールの前記第１の孔を通過する、請求項４に記載のインプリント装置。
【請求項6】
前記第１の固定部材が、第２の本体と、前記第２の本体に形成され、前記第１の孔に対応する第２の孔と、前記第２の本体の表面から前記第１の回転部材に向かって突出する第２の阻止部材と、を備え、前記第１の回転部材が元の位置に位置するとき、前記第１の回転部材の前記第１の阻止部材が、前記第１の固定部材の前記第２の阻止部材と位置合わせされ、それにより、前記第１の固定部材に向かう前記第１の回転部材の移動が前記第２の阻止部材によって制限され、前記第１の回転部材が、前記第１の阻止部材が前記第２の阻止部材と互い違いになる位置まで回転されるとき、前記第１の回転部材が、前記第２の本体の前記表面に向かって移動するように適合される、請求項５に記載のインプリント装置。
【請求項7】
前記第２の回転部材が、前記第１の阻止部材の前記第２の孔を通過し、前記第１の回転部材に近い第１の側面および前記第２の固定部材に近い第２の側面を有する第３の本体と、前記第３の本体の外面の前記第１の側面の近くに位置し、前記第１の回転部材の前記スロットに挿入される突出部と、前記第２の側面に位置する係止部と、を備える、請求項６に記載のインプリント装置。
【請求項8】
前記第２の固定部材が、内部空間と、前記内部空間に連通する位置決め孔と、を備え、前記第１の回転部材が前記第２の本体の前記表面に向かって移動すると、前記第２の回転部材の前記係止部が前記位置決め孔を通過して前記第２の固定部材の前記内部空間に進入するように、前記第２の回転部材が前記第１の回転部材によって押圧され、その後、前記フレームがフィルム分離モジュールに係止されるように前記ノブを回転させることにより、前記第２の回転部材の前記係止部が、前記位置決め孔と互い違いの位置まで回転される、請求項７に記載のインプリント装置。
【請求項9】
前記固定モジュールが、前記第２の本体にスリーブが付けられ、前記係止部と前記第１の本体との間に配置された弾性部材をさらに備える、請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項10】
前記転写フィルムの側面に配置された調整可能ロードセルをさらに備える、請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項11】
２つのロッドと２つの昇降機とを備える張力調整機構であって、前記２つのロッドの延在方向は、前記インプリントローラの延在方向と平行であり、前記２つのロッドは、前記転写フィルムに接触しており、前記転写モジュールの固定フレームと前記インプリントプラットフォームとの間、および前記転写モジュールの可動フレームと前記インプリントプラットフォームとの間にそれぞれ配置され、前記２つの昇降機は、前記２つのロッドの上昇した高さをそれぞれ調整し、前記転写フィルムは、前記２つのロッドによる上昇によって引っ張られて広がることで張力が発生する、張力調整機構をさらに備える、請求項１から１０のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項12】
前記ロッドの各々の長さは、前記転写フィルムの幅よりも長い、請求項１１に記載のインプリント装置。
【請求項13】
前記張力調整機構は、前記２つのロッドと前記２つの昇降機との間にそれぞれ配置されて前記転写フィルムのリアルタイム張力を検出する２つの張力センサをさらに備える、請求項１１に記載のインプリント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、インプリント装置に関し、特に、本開示は、製品の歩留まりが比較的高いインプリント装置に関する。
【背景技術】
【0002】
現在、ナノインプリント機でインプリントが完了した後、転写フィルムと製品との間の分離は、主に、インプリントプラットフォームの上方に位置する転写フィルムを持ち上げ、ゆっくりと引っ張って製品から分離することによって行われる。しかしながら、上記は、レジストおよび製品のパラメータ変化に適応できないため、インプリントされた製品構造は、フィルム分離プロセスに起因して損傷を受け、それによって製品のインプリント歩留まりを低下させる可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本開示は、インプリント歩留まりおよび操作の利便性を向上させるインプリント装置に関する。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本開示の実施形態によれば、インプリント装置は、インプリントプラットフォームと、インプリントローラと、転写モジュールと、昇降押圧機構とを含む。インプリントローラは、インプリントプラットフォームの上方に配置されている。転写モジュールは、転写フィルムを含み、転写フィルムは、インプリントローラとインプリントプラットフォームとの間に位置されている。昇降押圧機構は、インプリントローラと連結されており、昇降押圧機構は、インプリントローラをインプリントプラットフォームの法線方向に沿って移動させるように駆動し、インプリントローラを選択的に加圧する。昇降押圧機構によってインプリントローラが第１の位置まで移動すると、昇降押圧機構は、インプリントローラを加圧せず、インプリントローラは、インプリントプラットフォーム上に位置する転写フィルムに接触し、転写フィルムは、インプリントローラの重量によって押圧される。昇降押圧機構によってインプリントローラが第２の位置に移動すると、昇降押圧機構は、インプリントローラを加圧し、インプリントローラは、転写フィルムに接触し、転写フィルムは、インプリントローラの重量と昇降押圧機構の圧力との組み合わせによって押圧される。
【0005】
本開示の実施形態によれば、昇降押圧機構は、駆動源と、駆動源に接続されたベースと、インプリントローラの端部に配置され、ベース内に配置されたホルダと、を含み、ベースは、下部と、上部と、下部と上部との間に位置し、下部と上部とに接続されたガイドポストと、を含み、ガイドポストは、法線方向に沿って延在し、ホルダは、ガイドポストに摺動可能に配置されている。
【0006】
本開示の実施形態によれば、昇降押圧機構は、ベースの上部に固定され、ベースの上部とホルダとの間に位置する圧力センサをさらに含み、インプリントローラが第１の位置にあるとき、ホルダは、ベースの下部に接触し、ホルダと圧力センサとの間に隙間が形成され、インプリントローラが第２の位置にあるとき、ホルダは、圧力センサに接触して圧力センサを押圧する。
【0007】
本開示の実施形態によれば、昇降押圧機構は、インプリントローラの両端部に配置された２つの水平度検出器を含む。
【0008】
本開示の実施形態によれば、インプリント装置は、フィルム分離モジュールおよび固定モジュールをさらに含み、転写モジュールは、フレームを含み、転写フィルムは、フレームに配置され、フレームは、固定モジュールによってフィルム分離モジュールに着脱可能に配置されている。
【0009】
本開示の実施形態によれば、固定モジュールは、フィルム分離モジュールに固定された第１の固定部材と、フレームに固定された第２の固定部材と、フィルム分離モジュールの第１の孔を通過し、第１の固定部材側に位置する第１の回転部材と、第１の固定部材を通過し、第１の回転部材と第２の固定部材との間に位置する第２の回転部材と、を含む。
【0010】
本開示の実施形態によれば、第１の回転部材は、フィルム分離モジュールから露出したノブと、スロットを有する第１の本体と、第１の本体からノブから離れる方向に延在する第１の阻止部材と、を含み、第１の本体は、フィルム分離モジュールの第１の孔を通過する。
【0011】
本開示の実施形態によれば、第１の固定部材は、第２の本体と、第２の本体に形成され、第１の孔に対応する第２の孔と、第２の本体の表面から第１の回転部材に向かって突出する第２の阻止部材と、を含む。第１の回転部材が元の位置に位置するとき、第１の回転部材の第１の阻止部材は、第１の固定部材の第２の阻止部材と位置合わせされ、それにより、第１の固定部材に向かう第１の回転部材の移動が第２の阻止部材によって制限され、第１の回転部材が第２の阻止部材と互い違いになる位置まで第１の回転部材が回転されるとき、第１の回転部材は、第２の本体の表面に向かって移動するように適合される。
【0012】
本開示の実施形態によれば、第２の回転部材は、第１の阻止部材の第２の孔を通過し、第１の回転部材に近い第１の側面および第２の固定部材に近い第２の側面を有する第３の本体と、第３の本体の外面の第１の側面の近くに位置し、第１の回転部材のスロットに挿入される突出部と、第２の側面に位置する係止部と、を含む。
【0013】
本開示の実施形態によれば、第２の固定部材は、内部空間と、内部空間に連通する位置決め孔と、を含む。第１の回転部材が第２の本体の表面に向かって移動すると、第２の回転部材は、第２の回転部材の係止部が位置決め孔を通過して第２の固定部材の内部空間に進入するように第１の回転部材によって押圧され、次いで、フレームがフィルム分離モジュールに係止されるようにノブを回転させることによって、第２の回転部材の係止部が位置決め孔と互い違いの位置に回転される。
【0014】
本開示の実施形態によれば、固定モジュールは、第２の本体にスリーブが付けられ、係止部と第１の本体との間に配置された弾性部材をさらに含む。
【0015】
本開示の実施形態によれば、インプリント装置は、転写フィルムの側面に配置された調整可能ロードセルをさらに含む。
【0016】
また、本開示の一実施形態では、インプリント装置はまた、張力調整機構を含む。張力調整機構は、２つのロッドと、２つの昇降機とを含む。２つのロッドの延在方向は、インプリントローラの延在方向と平行である。２つのロッドは、転写フィルムに接触しており、転写モジュールの固定フレームとインプリントプラットフォームとの間、および転写モジュールの可動フレームとインプリントプラットフォームとの間にそれぞれ配置される。２つの昇降機は、２つのロッドの上昇した高さをそれぞれ調整し、転写フィルムは、２つのロッドによる上昇によって引っ張られて広がることで張力が発生する。
【0017】
本開示の一実施形態によれば、各ロッドの長さは、転写フィルムの幅よりも長い。
【0018】
本開示の一実施形態によれば、張力調整機構はまた、２つの張力センサを含む。２つの張力センサは、２つのロッドと２つの昇降機との間にそれぞれ配置され、転写フィルムのリアルタイム張力を検出する。
【発明の効果】
【0019】
以上のことから、本開示のインプリント装置では、昇降押圧機構は、インプリントローラを駆動してインプリントプラットフォームの法線方向に沿って移動させ、インプリントローラを選択的に加圧する。昇降押圧機構によってインプリントローラが第１の位置まで移動すると、昇降押圧機構は、インプリントローラを加圧せず、インプリントローラは、インプリントプラットフォーム上に位置する転写フィルムに接触し、転写フィルムは、インプリントローラの重量によって押圧される。昇降押圧機構によってインプリントローラが第２の位置に移動すると、昇降押圧機構は、インプリントローラを加圧し、インプリントローラは、転写フィルムに接触し、転写フィルムは、インプリントローラの重量と昇降押圧機構の圧力との組み合わせによって押圧される。したがって、インプリント装置のインプリントローラは、より汎用的で柔軟な圧力を使用して、昇降押圧機構を介して転写フィルムおよびインプリントプラットフォームにインプリントすることができる。
【0020】
上記をより理解しやすくするために、図面を伴ういくつかの実施形態を以下に詳細に説明する。
【0021】
添付の図面は、本開示のさらなる理解を提供するために含まれ、本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する。図面は、本開示の例示的な実施形態を示し、説明と共に、本開示の原理を説明するのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本開示の一実施形態によるインプリント装置の斜視図である。
【0023】
【0024】
【0025】
【0026】
【0027】
【0028】
【0029】
【0030】
【図5C】フィルム分離モジュールが可動フレームを駆動して回転させるときの転写フィルムとインプリントローラとの間の動作の概略図である。
【0031】
【図6A】本開示の別の実施形態によるインプリント装置の概略上面図である。
【0032】
【0033】
【図7A】本開示の別の実施形態に係るインプリント装置の部分図である。
【0034】
【0035】
【0036】
【0037】
【0038】
【0039】
【0040】
【0041】
【0042】
【0043】
【0044】
【0045】
【発明を実施するための形態】
【0046】
ここで、本開示の例示的な実施形態を詳細に参照し、その例を添付の図面に示す。可能な限り、同じまたは類似の部分を示すために、図面および説明において同じ要素記号が使用される。
【0047】
図１は、本開示の一実施形態によるインプリント装置の斜視図である。図２Ａは、図１のインプリント装置におけるインプリントプラットフォームおよび白色光干渉計の斜視図である。図２Ｂは、図２Ａの側面図である。図３は、図１のインプリント装置の部分上面図である。図４Ａは、図１のインプリント装置の別の視野角からの部分拡大斜視図である。図４Ｂは、図４Ａの側面図である。図５Ａは、図１のインプリント装置のさらに別の視野角からの部分拡大斜視図である。図５Ｂは、第２の位置にある図１のインプリント装置における転写モジュールの可動フレームを示す部分拡大斜視図である。図５Ｃは、フィルム分離モジュールが可動フレームを駆動して回転させるときの転写フィルムとインプリントローラとの間の動作の概略図である。なお、説明の便宜上、図１、図３、図５Ａおよび図５Ｂは一部斜視図であり、図２Ａ、図３、図４Ａ、図５Ａおよび図５Ｂでは一部の部材を省略している。
【0048】
図１、図２Ａ、および図３を併せて参照すると、この実施形態では、インプリント装置１００は、インプリントプラットフォーム１１０、インプリントローラ１２０、転写モジュール１３０、およびフィルム分離モジュール１４０を含む。インプリントプラットフォーム１１０は、互いに対向する第１の側１１２および第２の側１１４を有する。インプリントローラ１２０は、インプリントプラットフォーム１１０の上方に配置されている。転写モジュール１３０は、転写フィルム１３２と、転写フィルム１３２の両側をクランプする固定フレーム１３４および可動フレーム１３６とを含む。転写フィルム１３２は、インプリントローラ１２０とインプリントプラットフォーム１１０との間に位置する。固定フレーム１３４は、インプリントプラットフォーム１１０の第１の側１１２の横に固定されており、可動フレーム１３６は、インプリントプラットフォーム１１０の第２の側１１４の横に配置される。特に、可動フレーム１３６は、固定フレーム１３４に対して水平方向に移動し、転写フィルム１３２の平坦度を変化させるように適合されている。フィルム分離モジュール１４０は、転写モジュール１３０の可動フレーム１３６に接続され、可動フレーム１３６を駆動して第１の位置Ｐ１（図５Ａを参照）から第２の位置Ｐ２（図５Ｂを参照）に回転させ、それにより、転写フィルム１３２とインプリントローラ１２０（図５Ｃを参照）との間に丸みを帯びた角Ｒが形成されるように適合されている。すなわち、この実施形態では、可動フレーム１３６で固定された転写フィルム１３２をフィルム分離モジュール１４０によって回転させ、複数の角度で変化させることがあり、それにより、インプリントされた製品構造が不適切なフィルム分離によって損なわれず、それにより、インプリント歩留まりおよび操作の利便性が向上する。
【0049】
具体的には、図１、図２Ａおよび図２Ｂを参照すると、本実施形態のインプリントプラットフォーム１１０は、プラットフォーム１１１およびウエハ１１３から構成され、例えば、限定はしないが、精密６軸インプリントプラットフォームである。インプリントプラットフォーム１１０とインプリントローラ１２０との間の平坦度は、インプリント構造体の均一な深さに大きく影響し得るので、本実施形態のインプリント装置１００はまた、インプリントローラ１２０とインプリントプラットフォーム１１０との間の高さを検出するために、インプリントプラットフォーム１１０の第１の側１１２の横に別々に配置された２つの白色光干渉計１５０を含む。具体的には、本実施形態では、まず、インプリントプラットフォーム１１０上に載置された補正治具１０を介して、２つの白色光干渉計１５０によって放射された光の焦点Ｆが、線を画定する２つの点として、インプリントプラットフォーム１１０と共に水平線Ｐ上になるようにまず調整されてもよい。次に、異なる波長の光を投射するために、白色光干渉計１５０を用いて、インプリントローラ１２０とインプリントプラットフォーム１１０との間の平坦度を補正する。白色光干渉計１５０は、異なる波長の光を投射することに加えて、インプリントローラ１２０とインプリントプラットフォーム１１０との間の転写フィルム１３２を検出してもよいし、転写フィルム１３２を貫通して上方のインプリントローラ１２０を検出してもよい。高さデータにより、インプリントローラ１２０は、インプリントプラットフォーム１１０と水平になるように調整され得る。
【0050】
簡単に言えば、本実施形態では、異なる波長の光を投射して透明物体（例えば、転写フィルム１３２）を透過する白色光干渉計１５０を用いて、インプリントプラットフォーム１１０およびインプリントローラ１２０の高さを検出することができる。白色光干渉計１５０は、２つの光源の焦点Ｆが直線を画定することにより、インプリントプラットフォーム１１０とインプリントローラ１２０との間の水平度を調整して確認する。白色光干渉計１５０は、一回水平度を調整すればよく、インプリントローラ１２０およびインプリントプラットフォーム１１０の高さは、インプリントの度に予め確認してもよい。また、白色光干渉計１５０の精度は±０．２μｍに達するため、レベルの誤差は比較的小さい。
【0051】
さらに、図３を参照すると、本実施形態の転写モジュール１３０の転写フィルム１３２は、固定フレーム１３４および可動フレーム１３６によってクランプされ、転写フィルム１３２は、その上に、インプリントローラ１２０を介してインプリントプラットフォーム１１０に転写されるように適合された複数のナノ構造を有する。固定フレーム１３４は、その名称が示すように、固定フレームであり、可動フレーム１３６は、固定フレーム１３４に対して移動可能なフレームである。具体的には、転写モジュール１３０の可動フレーム１３６は、第１の部分１３６ａと、第２の部分１３６ｂと、複数の弾性要素１３６ｃとを有する。弾性要素１３６ｃは、第１の部分１３６ａと第２の部分１３６ｂとの間に別々に接続されており、転写フィルム１３２の両側は、固定フレーム１３４と可動フレーム１３６の第１の部分１３６ａとの間にクランプされている。ここで、弾性要素１３６ｃは、例えば、ばねを含むが、これに限定されない。すなわち、本実施形態の可動フレーム１３６は、撓み自在な別個の可撓性フィルム取り付け具とみなすことができ、治具上の弾性要素１３６ｃの張力によって転写フィルム１３２の平坦度が維持される。
【0052】
図１および図３を併せて参照すると、本実施形態のインプリント装置１００は、弾性要素１３６ｃの張力を効果的かつ正確に検出するために、可動フレーム１３６の第２の部分１３６ｂの横に配置され、弾性要素１３６ｃの張力値を検出するように構成された少なくとも１つのセンサ１６０（例示的に示す２つのセンサ１６０）をさらに含む。センサ１６０は、例えば張力－圧縮センサであり、弾性材料（例えば、圧電材料）の変形に伴って物理信号を電気信号に変換して正確な測定を行う。ここで、センサ１６０は、可動フレーム１３６の弾性要素１３６ｃの張力値を効果的に検出するために、カバー１６５を介してフィルム分離モジュール１４０の載置部１４２に固定されてもよい。張力が要求値に達しているか否か、および左右の張力が一致するように調整されているか否かは、センサ１６０が検出して表示する張力値によって完全に判断される。すなわち、センサ１６０は、左右の転写フィルム１３２の張力が均一になるように検出および調整するのを容易にし、インプリント時に張力値が必要な力に維持されているか否かを検出するのを容易にし、また、可動フレーム１３６の第２の部分１３６ｂが第１の部分１３６ａに対して相対的に操作されたときの張力の変化を観測する。センサ１６０は、加えられた力を電気信号出力に変換する。センサ１６０の精度は±０．３％ＲＯに達しているため、検出される張力値の誤差は小さい。
【0053】
簡単に言えば、本実施形態では、転写モジュール１３０の可動フレーム１３６の弾性要素１３６ｃの張力が転写フィルム１３２の平坦度を維持し、張力が左側と右側とで同じであり、必要な張力値が達成され、それにより、優れた構造を有するインプリント製品がもたらされる。
【0054】
図４Ａを参照すると、本実施形態のインプリント装置１００はまた、移動プラットフォーム１７１と、第１の対のスライドレールＳ１と、移動モジュール１７０とを含む。第１の対のスライドレールＳ１は、移動プラットフォーム１７１上に配置される。移動モジュール１７０は、第１の対のスライドレールＳ１上にスライド可能に配置され、キャリア１７２と、キャリア１７２上に配置されたブラケット１７４とを含む。ブラケット１７４は、互いに対向する２つの第１のブラケット部分１７４ａと、２つの第１のブラケット部分１７４ａに接続される第２のブラケット部分１７４ｂとを有する。２つの第１のブラケット部分１７４ａの各々は、載置スロット１７５を有し、インプリントローラ１２０の両端１２２および１２４は、載置スロット１７５内にそれぞれ配置される。製品の構造的深さを効果的に制御するために、この実施形態のインプリント装置１００はまた、２つのセンサ１８０を含む。２つのセンサ１８０は、載置スロット１７５内にそれぞれ配置され、インプリントローラ１２０の両端１２２および１２４と載置スロット１７５との間に配置され、インプリントローラ１２０の圧力値を測定するように構成される。
【0055】
具体的には、移動モジュール１７０がインプリントローラ１２０を下方に駆動させてインプリントプラットフォーム１１０と嵌合させると、移動モジュール１７０を介してインプリントプラットフォーム１１０がインプリントローラ１２０に突き当たった状態が連続的に下方に形成される。しかしながら、インプリントローラ１２０の両側に取り付けられたセンサ１８０は、移動モジュール１７０が動作するにつれて下方に移動し続けるため、インプリントプラットフォーム１１０が当接するインプリントローラ１２０とセンサ１８０との間に反張力が形成され、反張力は、インプリントローラ１２０によってインプリントプラットフォーム１１０に加えられる下向きの圧力に等しい。ここで、センサ１８０は、例えば張力－圧縮センサであり、弾性材料（例えば、圧電材料）の変形に伴って物理信号を電気信号に変換して正確な測定を行う。すなわち、センサ１８０は、インプリントローラ１２０の作用力による変形を電気信号出力に変換することができ、インプリントローラ１２０の圧力値を効果的に検出し、製品の構造的深さを制御するためにインプリントローラ１２０の下向きの圧力の調整を容易にすることができる。
【0056】
簡単に言えば、インプリント時に、センサ１８０の構成により、インプリントローラ１２０の下向きの圧力値を検出し、インプリントローラ１２０が左右に及ぼす力が均一であるか否かを判定することが容易になる。さらに、センサ１８０を介して、インプリントローラ１２０の下向きの圧力を調整し、次いで製品のインプリント深さを制御することができる。また、センサ１８０は、作用した力を電気信号出力に変換し、センサ１８０の精度は±０．３％ＲＯに達しているため、検出された作用力値の誤差は小さい。
【0057】
図４Ａおよび図４Ｂを併せて参照すると、インプリントローラ１２０の下向きの圧力をさらに調整するために、本実施形態のインプリント装置１００はまた、第２の対のスライドレールＳ２および調整可能なリードスクリュ－１８５を含む。移動モジュール１７０はまた、キャリア１７２上に配置された支持プレート１７６を含む。第２の対のスライドレールＳ２は、支持プレート１７６上に配置され、第２のブラケット部分１７４ｂは、第２の対のスライドレールＳ２上にスライド可能に配置されている。第１の対のスライドレールＳ１の延在方向は、第２の対のスライドレールＳ２の延在方向に対して垂直である。調整可能なリードスクリュ－１８５は、第２のブラケット部分１７４ｂに接続され、ブラケット１７４とキャリア１７２との高低差を調整する。また、インプリント装置１００は、ブラケット１７４の２つの第１のブラケット部分１７４ａとキャリア１７２との間にそれぞれ配置された複数の弾性要素１８７を備えている。ここで、インプリントプラットフォーム１１０と移動プラットフォーム１７１との間に間隔Ｄが存在し、また弾性要素１８７は例えば圧縮ばねを含むが、圧縮ばねには限定されない。
【0058】
具体的には、ナノインプリント中、インプリントローラ１２０の下向きの圧力は、製品の微細構造に影響を及ぼすパラメータであり得る。本実施形態の移動モジュール１７０は、調整可能なリードスクリュ－１８５を介したインプリントローラ１２０の上昇または下降を制御し、次いで、インプリントローラ１２０によってインプリントプラットフォーム１１０に及ぼされる力を調整することができる。加えて、インプリント力は、製品の微細構造の深さを決定し、十分な下向きの圧力は、レジスト内の気泡を製品から追い出すので、インプリントされた微細構造は気泡の影響を受けず、それによって製品の歩留まりを高める。すなわち、この実施形態では、調整可能なリードスクリュ－１８５の上昇または下降に伴って、インプリントローラ１２０によってインプリントプラットフォーム１１０に下方に及ぼされる力が調整され、移動モジュール１７０が第１の対のスライドレールＳ１を通って移動して、インプリントを完了する。ここで、調整可能なリードスクリュ－１８５は、上下に１０μｍの微調整を達成するため、インプリントローラ１２０の下向きの圧力を精密に制御することができる。また、弾性要素１８７は、インプリントローラ１２０の片持ち変形の支持体となり、調整可能なリードスクリュ－１８５の昇降の減衰力を調整するように配置されている。簡単に言えば、インプリントローラ１２０は、調整可能なリードスクリュ－１８５の上昇または下降によってインプリントローラ１２０の下向きの圧力を調整し、それによって、気泡残留物を解消するのに十分な下向きの圧力でインプリントの力を制御する。
【0059】
さらに、図５Ａを参照すると、本実施形態のインプリント装置１００は、インプリントプラットフォーム１１０の互いに対向する第３の側１１６および第４の側１１８の横に配置された１対のスライドレールＳをさらに備え、フィルム分離モジュール１４０は、１対のスライドレールＳ上にスライド可能に配置されている。本実施形態のフィルム分離モジュール１４０は、載置部１４２および回転機構１４４を含む。転写モジュール１３０の可動フレーム１３６は、載置部１４２に組み付けられる。回転機構１４４は、２つの調整可能な本体部分１４４ａと、２つの調整可能な本体部分１４４ａにそれぞれ接続された２つのヒンジ部分１４４ｂとを有する。２つのヒンジ部分１４４ｂは、載置部１４２の両側にそれぞれ接続され、２つの調整可能な本体部分１４４ａは、１対のスライドレールＳに沿って第１の方向Ｄ１にスライドするように適合され、転写フィルム１３２とインプリントプラットフォーム１１０との間の間隔を調整するために、第１の方向に垂直な第２の方向Ｄ２に沿って移動するように適合される。
【0060】
具体的には、インプリント後の転写フィルム１３２にフィルム分離が必要な場合、再び図５Ａを参照すると、このとき、フィルム分離モジュール１４０の載置部１４２に接続された可動フレーム１３６は、第１の位置Ｐ１に位置する。次に、図５Ｂおよび図５Ｃを併せて参照して、フィルム分離モジュール１４０の回転機構１４４は、可動フレーム１３６と、可動フレーム１３６に固定された転写フィルム１３２とを、転写フィルム１３２とインプリントローラ１２０との間に角Ｒが形成されるように回転駆動し、可動フレーム１３６を第２の位置Ｐ２に位置させる。このとき、インプリントローラ１２０と回転機構１４４とが概ね同じ速度で左方向（すなわち、インプリントプラットフォーム１１０の第１の側１１２に対して）に移動し、転写フィルム１３２が製品２０から離れる際の引張力を、丸みを帯びた角Ｒによって相殺することができ、転写フィルム１３２と製品２０との構造をスムーズに分離することができる。すなわち、本実施形態のインプリント装置１００は、自由に湾曲可能な可動フレーム１３６と、転写フィルム１３２を回転および湾曲させるとともに、角度／高さを調整して転写フィルム１３２と製品２０との間を離間させるフィルム分離モジュール１４０と、インプリントローラ１２０と、を備え、インプリントローラの丸みを帯びた角Ｒが連続的に剥がれることで、激しい引張による分離によるインプリントされた製品２０の損傷を防止し、インプリント歩留まりを向上させることができる。言い換えれば、この実施形態では、フィルム分離モジュール１４０の機械的設計により、大きな変動を伴うフィルム分離を実行することができ、最適なフィルム分離角度への調整を達成することができ、転写フィルム１３２による製品の微細構造への不適切な損傷を防止し、製品の歩留まりを向上させる。さらに、この実施形態では、転写フィルム１３２を回転させ、それを複数の角度で変化させることに加えて、フィルム分離モジュール１４０はまた、転写フィルム１３２とインプリントプラットフォーム１１０との間の間隔、すなわち回転機構１４４が上昇し得る高さを微調整するために第２の方向Ｄ２に移動する回転機構１４４と組み合わせて、様々なフィルム分離を調整してもよい。したがって、インプリントされた製品構造は、不適切なフィルム分離に起因して損傷されることはなく、それによってインプリント歩留まりが向上する。
【0061】
簡単に言えば、本実施形態のフィルム分離モジュール１４０は、可動フレーム１３６で固定された転写フィルム１３２を回転させ、転写フィルム１３２を複数の角度で変化させることができ、インプリントされた製品構造が不適切なフィルム分離によって損傷を受けないように、最適なフィルム分離角度への調整を達成し、それによってインプリント歩留まりおよび操作の利便性を高める。さらに、この実施形態では、白色光干渉計１５０を介して、インプリントプラットフォーム１１０とインプリントローラ１２０との間のレベルが正確に達成され、センサ１６０を介して、転写モジュール１３０の可動フレーム１３６の弾性要素１３６ｃの張力を正確に検出することができ、センサ１８０を介して、インプリントローラ１２０の圧力値が効果的に検出され、インプリントローラ１２０の下向きの圧力が調整され、それによって製品の構造的深さが制御される。さらに、インプリントローラ１２０の下向きの圧力はまた、調整可能なリードスクリュ－１８５の上昇または下降によって調整され、それにより、気泡残留物を解決するのに十分な下向きの圧力でインプリントの力を制御することができる。すなわち、本実施形態では、インプリント装置１００のインプリントおよびフィルム分離を最適化することにより、インプリント歩留まりを向上させ、インプリント装置１００の操作の利便性を向上させることができる。また、本実施形態のインプリント装置１００は、上記のような機械設計により、高い自由度でフィルム分離を調整し、製品２０および転写フィルム１３２に対して最適な剥離方式を見出すことができる。さらに、多軸構造は、詳細な試験および微調整を容易にし、単一の方法での不適切なフィルム分離によるインプリント製品２０への損傷を防止し、製品の歩留まりを高める。
【0062】
なお、上記実施形態における符号および内容の一部は、以下の実施形態で使用されることに変わりはなく、同一または類似の要素を指すために同一の符号が採用され、同一の技術的内容の説明は省略される。省略された部分の説明については、上記の実施形態を参照することができ、以下の実施形態では繰り返し説明しない。
【0063】
図６Ａは、本開示の別の実施形態によるインプリント装置の概略上面図である。図６Ｂは、図６Ａのインプリント装置の概略側面図である。説明を容易にするために、図６Ａおよび図６Ｂには、部材の一部のみが概略的に示されており、省略された部分について上記の実施形態に対する関連図面を参照することができる。図３、図６Ａおよび図６Ｂを併せて参照すると、本実施形態のインプリント装置１００ａはインプリント装置１００と同様であり、本実施形態のインプリント装置１００ａはまた、２つのロッド１９２および２つの昇降機１９４を含む張力調整機構１９０を含む点で、異なる。２つのロッド１９２の延在方向は、インプリントローラ１２０の延在方向と平行である。２つのロッド１９２は、転写フィルム１３２に接触しており、転写モジュール１３０の固定フレーム１３４とインプリントプラットフォーム１１０との間、および、転写モジュール１３０の可動フレーム１３６の第１の部分１３６ａとインプリントプラットフォーム１１０との間にそれぞれ配置されている。２つの昇降機１９４は、２つのロッド１９２の上昇した高さをそれぞれ調整し、転写フィルム１３２は、２つのロッド１９２による上昇によって引っ張られて広がることで張力が発生する。すなわち、長手方向前後のロッド１９２を昇降機１９４（例えば、電動シリンダ）を用いて上昇させ、転写フィルム１３２を締め付けて張力を発生させてもよい。また、ロッド１９２の上昇高さに応じて、前後の転写フィルム１３２の張力の強さが独立して調整されてもよい。
【0064】
また、本実施形態の張力調整機構１９０はまた、２つの張力センサ１９６を含む。２つの張力センサ１９６は、２つのロッド１９２と２つの昇降機１９４との間にそれぞれ配置され、転写フィルム１３２のリアルタイムの張力を検出するように構成されてもよい。本実施形態において、ロッド１９２の長さＬは、転写フィルム１３２の幅Ｗよりも長いことが好ましい。本実施形態では、ロッド１９２の長さＬが転写フィルム１３２の幅よりも長く、ロッド１９２が転写フィルム１３２に接触して直線に沿って均一な張力を形成するため、張力は転写フィルム１３２の両側方（すなわち、図６Ａの矢印の方向に沿って）に均等に伝達され得る。
【0065】
簡単に言えば、本実施形態の張力調整機構１９０の機構では、転写フィルム１３２の長手方向前後に２つのロッド１９２を取り付け、ロッド１９２による持ち上げを利用して転写フィルムを引張して広げ、張力を発生させる。ロッド１９２の下方に、転写フィルム１３２のリアルタイム張力を検出するために張力センサ１９６をさらに取り付けることができ、締め付け（すなわち、張力）は、ロッド１９２の持ち上げ振幅で調整される。また、各ロッド１９２が一つの昇降機１９４に対応して配置されているため、転写フィルム１３２の長手方向前後を独立して調整することができる。また、ロッド１９２の長さＬが転写フィルム１３２の幅Ｗよりも長いため、ロッド１９が転写フィルム１３２を直線状に引っ張って広げることで、張力が直線に沿って形成されると共に、転写フィルム１３２の両側方に均等に分布する。
【0066】
【0067】
図７Ａ～図７Ｃを参照すると、本実施形態では、インプリント装置１００ｂは、インプリントプラットフォーム１１０（図７Ｂ）と、インプリントローラ１２０と、転写モジュール１３０（図７Ｂ）と、少なくとも１つの昇降押圧機構２００と、を含む。図７Ｂに示すように、インプリントローラ１２０は、インプリントプラットフォーム１１０の上方に配置されている。転写モジュール１３０は、転写フィルム１３２を含み、転写フィルム１３２は、インプリントローラ１２０とインプリントプラットフォーム１１０との間に位置している。
【0068】
本実施形態では、少なくとも１つの昇降押圧機構２００の数は２つであり、２つの昇降押圧機構２００は、インプリントローラ１２０と連結されるように、インプリントローラ１２０の両端部１２２、１２４に位置している。すなわち、昇降押圧機構２００は、インプリントローラ１２０をインプリントプラットフォーム１１０の法線方向Ｄ３に沿って移動させるように駆動し、インプリントローラ１２０を選択的に加圧する。なお、本実施形態では、２つの昇降押圧機構２００は同一であるため、以下の説明では、いずれか一方の昇降押圧機構２００にのみ言及する。
【0069】
具体的には、図７Ｃに示すように、本実施形態では、昇降押圧機構２００は、駆動源２０１と、駆動源２０１に接続されたベース２０２と、インプリントローラ１２０の端部１２２（図８Ｃ）に配置され、ベース２０２内に位置するホルダ２０６と、を含む。ベース２０２は、下部２０３と、上部２０４と、下部２０３と上部２０４との間に位置し、それらに接続されたガイドポスト２０５と、を含み、ガイドポスト２０５は、法線方向Ｄ３に沿って延在し、ホルダ２０６は、ガイドポスト２０５に摺動可能に配置されている。ばね２１０は、ガイドポスト２０５上にスリーブが付けられ、ホルダ２０６の動きを安定させるようにホルダ２０６を押圧する。
【0070】
図８Ａは、図７Ａの昇降押圧機構の部分側面図である。図８Ａを参照すると、インプリントローラ１２０（点線）は、インプリントプラットフォーム１１０（図７Ｂ）上に位置する転写フィルム１３２の上方に位置しており、まだ転写フィルム１３２に接触していない。
【0071】
図８Ｂは、第１の位置Ｐ１’に位置する図８Ａの昇降押圧機構の概略図である。図８Ｃは、図８Ｂの断面図である。図８Ｂ～図８Ｃを参照すると、昇降押圧機構２００によってインプリントローラ１２０が第１の位置Ｐ１’まで下方に移動されると、インプリントローラ１２０は、インプリントプラットフォーム１１０上に位置する転写フィルム１３２に接触する。
【0072】
図８Ｃに示すように、昇降押圧機構２００は、ベース２０２の上部２０４に固定され、ベース２０２の上部２０４とホルダ２０６との間に位置する圧力センサ２０７をさらに含む。インプリントローラ１２０が第１の位置Ｐ１’にあるとき、ホルダ２０６は、ベース２０２の下部２０３に接触し、ホルダ２０６と圧力センサ２０７との間に隙間Ｇ１が形成される。すなわち、第１の位置Ｐ１’では、インプリントローラ１２０は、圧力センサ２０７を介して昇降押圧機構２００のベース２０２の上部２０４によって加圧されておらず、インプリントローラ１２０は、自然に転写フィルム１３２およびインプリントプラットフォーム１１０上に配置され、転写フィルム１３２およびインプリントプラットフォーム１１０は、インプリントローラ１２０の自重のみまたは主に自重によって押圧される。圧力センサ２０７は、押圧されていないため、圧力センサ２０７の検出値はほぼ０である。
【0073】
本実施形態では、ホルダ２０６と圧力センサ２０７との間の隙間Ｇ１は、インプリントローラ１２０が上方に移動するための空間を提供する。したがって、インプリントプラットフォーム１１０のトポグラフィに応じて、法線方向Ｄ３に沿ったインプリントローラ１２０の位置が調整可能であり、その結果、転写フィルム１３２およびインプリントプラットフォーム１１０は、インプリントローラ１２０によって均等に押圧されることができる。
【0074】
図８Ｄは、第２の位置Ｐ２’に位置する図８Ａの昇降押圧機構の概略図である。図８Ｅは、図８Ｄの断面図である。図８Ｄ～図８Ｅを参照すると、転写フィルム１３２上およびインプリントプラットフォーム１１０上に適用されたインプリントローラ１２０の重量が十分でない場合、インプリントローラ１２０は、昇降押圧機構２００によって第２の位置Ｐ２’まで下方に選択的に移動される。第２の位置Ｐ２’では、インプリントローラ１２０は、圧力センサ２０７を介して昇降押圧機構２００のベース２０２の上部２０４によって加圧される。図８Ｅに示すように、圧力センサ２０７がホルダ２０６に接触して押圧するため、圧力センサ２０７の検出値はゼロではない。ベース２０２の下部２０３の間には、隙間Ｇ２が形成されている。
【0075】
すなわち、インプリントローラ１２０が第２の位置Ｐ２’にあるとき、昇降押圧機構２００のベース２０２の上部２０４がインプリントローラ１２０を加圧し、その結果、転写フィルム１３２およびインプリントプラットフォーム１１０は、インプリントローラ１２０の重量と昇降押圧機構２００の圧力との組み合わせによって押圧される。
【0076】
したがって、本実施形態では、インプリントローラ１２０は、昇降押圧機構２００を介して、転写フィルム１３２およびインプリントプラットフォーム１１０に対してより汎用的かつ柔軟なインプリント圧力を付与することができる。
【0077】
図７Ａに戻ると、本実施形態では、昇降押圧機構２００は、インプリントローラ１２０の両端部１２２、１２４に位置する２つの水平度検出器２０８をさらに含む。２つの水平度検出器２０８は、インプリントローラ１２０の水平度を測定するために使用される。図７Ｃに示すように、ネジ２０９は、水平度検出器２０８およびベース２０２の上部２０４に対して傾斜しており、その結果、ネジ２０９の水平度検出器２０８に接触する表面は、水平度検出器２０８の基準面を形成する。さらに、水平度検出器２０８は、インプリントローラ１２０の端部１２２、１２４の高さ情報を取得するように、インプリントローラ１２０の端部１２２、１２４に接触し、その結果、インプリントローラ１２０の水平度が取得されることができる。
【0078】
図９Ａは、異なる視野角を有する図７Ａのインプリント装置の部分図である。図９Ｂは、図９Ａの固定モジュールの部分拡大図である。図９Ａおよび図９Ｂを参照すると、インプリント装置１００ｂは、フィルム分離モジュール１４０ｂおよび固定モジュール２２０をさらに含み、転写モジュール１３０は、フレーム１３８を含み、転写フィルム１３２は、フレーム１３８に配置されている。フレーム１３８は、転写モジュール１３０の第２の部分１３６ｂとすることができるが、フレーム１３８の種類はこれに限定されない。フレーム１３８は、固定モジュール２２０によってフィルム分離モジュール１４０ｂに着脱可能に配置されている。本実施形態では、固定モジュール２２０は、迅速な組み立ておよび迅速な解放機能を有するツールレスモジュールであり、詳細な説明は後述する。
【0079】
図９Ｃは、図９Ｂの固定モジュールの分解図である。図９Ｃを参照すると、固定モジュール２２０は、フィルム分離モジュール１４０ｂに固定された第１の固定部材２２１と、フレーム１３８に固定された第２の固定部材２３０と、フィルム分離モジュール１４０ｂの第１の孔１４６を通過し、第１の固定部材２２１側に位置する第１の回転部材２４０と、第１の固定部材２２１を通過し、第１の回転部材２４０と第２の固定部材２３０との間に位置する第２の回転部材２５０と、を含む。
【0080】
本実施形態では、第１の回転部材２４０は、フィルム分離モジュール１４０ｂから露出したノブ２４２と、スロット２４６を有する第１の本体２４４と、第１の本体２４４からノブ２４２から離れる方向に延在する第１の阻止部材２４８と、を含む。第１の本体２４４は、フィルム分離モジュール１４０ｂの第１の孔１４６を通過している。
【0081】
第１の固定部材２２１は、第２の本体２２２と、第２の本体２２２に形成され、第１の孔１４６に対応する第２の孔２２４と、第２の本体２２２の表面２２３から第１の回転部材２４０に向かって突出する第２の阻止部材２２５と、を含む。
【0082】
第２の回転部材２５０は、第３の本体２５１と、突出部２５４と、係止部２５５と、を含む。第３の本体２５１は、第１の阻止部材２４８の第２の孔２２４を通過し、第１の回転部材２４０に近い第１の側面２５２と、第２の固定部材２３０に近い第２の側面２５３と、を有する。突出部２５４は、第３の本体２５１の外面２２３の第１の側面２５２寄りに位置し、第１の回転部材２４０のスロット２４６に挿入される。このため、スロット２４６と突出部２５４との係合により、第２の回転部材２５０は、第１の回転部材２４０とともに回転されることができる。さらに、係止部２５５は、第３の本体２５１の第２の側面２５３に位置している。
【0083】
第２の固定部材２３０は、内部空間２３２と、内部空間２３２に連通する位置決め孔２３４と、を含む。
【0084】
図１０Ａ～図１０Ｄは、図９Ｂの固定モジュールのロックプロセスの概略図である。まず、図１０Ａを参照すると、第１の回転部材２４０が元の位置にあるとき、第１の回転部材２４０の第１の阻止部材２４８は、第１の固定部材２２１の第２の阻止部材２２５と位置合わせされ、その結果、第１の回転部材２４０の第１の固定部材２２１に向かう移動は、第２の阻止部材２２５によって制限される。したがって、第１の回転部材２４０は、第１の固定部材２２１に向けて押圧されることができない。
【0085】
さらに、図１０Ａでは、第２の回転部材２５０の係止部２５５は、垂直方向に沿って延在し、第２の固定部材２３０の位置決め孔２３４は、水平方向に沿って延在している。すなわち、第２の回転部材２５０の係止部２５５は、まだ第２の固定部材２３０の位置決め孔２３４に位置合わせされていない。
【0086】
図１０Ｂを参照すると、第１の回転部材２４０が、第１の阻止部材２４８が第２の阻止部材２２５と互い違いになる位置まで回転されるとき、第１の回転部材２４０は、第２の本体２２２の表面２２３に向かって移動するように適合される。図１０Ｂでは、第２の回転部材２５０の係止部２５５が水平方向に沿って延在するように、第２の回転部材２５０が回転される。第２の回転部材２５０の係止部２５５は、第２の固定部材２３０の位置決め孔２３４に位置合わせされている。
【0087】
図１０Ｃを参照すると、第１の回転部材２４０が第２の本体２２２の表面２２３に向かって移動すると、第２の回転部材２５０の係止部２５５が位置決め孔２３４を通過して第２の固定部材２３０の内部空間２３２に進入するように、第２の回転部材２５０が第１の回転部材２４０によって押圧される。
【0088】
図１０Ｄを参照すると、ノブ２４２を回転させることにより、第２の回転部材２５０の係止部２５５は、位置決め孔２３４と互い違いの位置まで回転され、その結果、フレーム１３８は、フィルム分離モジュール１４０ｂに係止される。したがって、フレーム１３８は、固定モジュール２２０によってフィルム分離モジュール１４０ｂに迅速かつ容易に着脱可能に配置されることができる。
【0089】
さらに、図９Ｃに示すように、固定モジュール２２０は、第２の本体２２２にスリーブが付けられ、係止部２５５と第１の本体２４４との間に配置された弾性部材２６０をさらに含む。弾性部材２６０は、第１の回転部材２４０および第２の回転部材２５０の位置を図１０Ｃから図１０Ｂに戻すために使用される。したがって、フレーム１３８をフィルム分離モジュール１４０ｂから取り外したい場合、ユーザは、第１の回転部材２４０を図１０Ｄの位置から図１０Ｃの位置まで回転させればよく、図１０Ｃの第１の回転部材２４０および第２の回転部材２５０の位置は、自動的に図１０Ｂの位置に戻されることができ、その結果、フレーム１３８は、フィルム分離モジュール１４０ｂから係止解除される。
【0090】
図１１は、図９Ａの調整可能ロードセルの部分拡大図である。図９Ａおよび図１１を参照すると、本実施形態では、インプリント装置１００ｂは、転写フィルム１３２側に配置された調整可能ロードセル２７０をさらに含む。本実施形態では、調整可能ロードセル２７０の数は２つであるが、これに限定されない。調整可能ロードセル２７０は、転写フィルム１３２の張力を検出するために使用され、調整可能ロードセル２７０によって測定された値は、工具、例えば六角レンチ２７４（図１１）を使用することによって手動で較正されることができる。
【0091】
具体的には、六角レンチ２７４により、調整可能ロードセル２７０と可動プレート２７２との隙間Ｇ３の大きさが調整されることができる。したがって、調整可能ロードセル２７０によって測定された値が較正され、互いに同様にすることができる。転写フィルム１３２の全体的な張力は、調整可能ロードセル２７０によって測定された値をより一貫したものにするために後で調整されることができる。
【0092】
以上をまとめると、本開示のインプリント装置では、昇降押圧機構は、インプリントローラを駆動してインプリントプラットフォームの法線方向に沿って移動させ、インプリントローラを選択的に加圧する。昇降押圧機構によってインプリントローラが第１の位置まで移動すると、昇降押圧機構は、インプリントローラを加圧せず、インプリントローラは、インプリントプラットフォーム上に位置する転写フィルムに接触し、転写フィルムは、インプリントローラの重量によって押圧される。昇降押圧機構によってインプリントローラが第２の位置に移動すると、昇降押圧機構は、インプリントローラを加圧し、インプリントローラは、転写フィルムに接触し、転写フィルムは、インプリントローラの重量と昇降押圧機構の圧力との組み合わせによって押圧される。したがって、インプリント装置のインプリントローラは、より汎用的で柔軟な圧力を使用して、昇降押圧機構を介して転写フィルムおよびインプリントプラットフォームにインプリントすることができる。
【0093】
本開示の範囲または趣旨から逸脱することなく、開示された実施形態に対して様々な修正および変形を行うことができることは、当業者には明らかであろう。上記を考慮して、本開示は、以下の特許請求の範囲およびそれらの均等物の範囲内に入るという条件で、修正および変形を包含することが意図されている。
【産業上の利用可能性】
【0094】
本開示のインプリント装置は、種々の形態のインプリント機またはナノインプリント機に適用することができる。
【符号の説明】
【0095】
１０ 補正治具
２０ 製品
１００，１００ａ，１００ｂ インプリント装置
１１０ インプリントプラットフォーム
１１１ プラットフォーム
１１２ 第１の側
１１３ ウエハ
１１４ 第２の側
１１６ 第３の側
１１８ 第４の側
１２０ インプリントローラ
１２２，１２４ 端部
１３０ 転写モジュール
１３２ 転写フィルム
１３４ 固定フレーム
１３６ 可動フレーム
１３６ａ 第１の部分
１３６ｂ 第２の部分
１３６ｃ 弾性要素
１３８ フレーム
１４０，１４０ｂ フィルム分離モジュール
１４２ 載置部
１４４ 回転機構
１４４ａ 調整可能な本体部分
１４４ｂ ヒンジ部分
１４６ 第１の孔
１５０ 白色光干渉計
１６０，１８０ センサ
１６５ カバー
１７０ 移動モジュール
１７１ 移動プラットフォーム
１７２ キャリア
１７４ ブラケット
１７４ａ 第１のブラケット部分
１７４ｂ 第２のブラケット部分
１７５ 載置スロット
１７６ 支持プレート
１８５ 調整可能なリードスクリュ－
１８７ 弾性要素
１９０ 張力調整機構
１９２ ロッド
１９４ 昇降機
１９６ 張力センサ
２００ 昇降押圧機構
２０１ 駆動源
２０２ ベース
２０３ 下部
２０４ 上部
２０５ ガイドポスト
２０６ ホルダ
２０７ 圧力センサ
２０８ 水平度検出器
２０９ ネジ
２２０ 固定モジュール
２２１ 第１の固定部材
２２２ 第２の本体
２２３ 表面
２２４ 第２の孔
２２５ 第２の阻止部材
２３０ 第２の固定部材
２３２ 内部空間
２３４ 位置決め孔
２４０ 第１の回転部材
２４２ ノブ
２４４ 第１の本体
２４６ スロット
２４８ 第１の阻止部材
２５０ 第２の回転部材
２５１ 第３の本体
２５２ 第１の側面
２５３ 第２の側面
２５４ 突出部
２５５ 係止部
２６０ 弾性部材
２７０ 調整可能ロードセル
２７２ 可動プレート
２７４ 六角レンチ
Ｄ 間隔
Ｄ１ 第１の方向
Ｄ２ 第２の方向
Ｄ３ 法線方向
Ｌ 長さ
Ｆ 焦点
Ｇ１ 隙間
Ｐ 水平線
Ｐ１，Ｐ１’ 第１の位置
Ｐ２，Ｐ２’ 第２の位置
Ｒ 丸みを帯びた角
Ｓ スライドレール
Ｓ１ 第１の対のスライドレール
Ｓ２ 第２の対のスライドレール
Ｗ 幅
２０ 製品
１００，１００ａ，１００ｂ インプリント装置
１１０ インプリントプラットフォーム
１１１ プラットフォーム
１１２ 第１の側
１１３ ウエハ
１１４ 第２の側
１１６ 第３の側
１１８ 第４の側
１２０ インプリントローラ
１２２，１２４ 端部
１３０ 転写モジュール
１３２ 転写フィルム
１３４ 固定フレーム
１３６ 可動フレーム
１３６ａ 第１の部分
１３６ｂ 第２の部分
１３６ｃ 弾性要素
１３８ フレーム
１４０，１４０ｂ フィルム分離モジュール
１４２ 載置部
１４４ 回転機構
１４４ａ 調整可能な本体部分
１４４ｂ ヒンジ部分
１４６ 第１の孔
１５０ 白色光干渉計
１６０，１８０ センサ
１６５ カバー
１７０ 移動モジュール
１７１ 移動プラットフォーム
１７２ キャリア
１７４ ブラケット
１７４ａ 第１のブラケット部分
１７４ｂ 第２のブラケット部分
１７５ 載置スロット
１７６ 支持プレート
１８５ 調整可能なリードスクリュ－
１８７ 弾性要素
１９０ 張力調整機構
１９２ ロッド
１９４ 昇降機
１９６ 張力センサ
２００ 昇降押圧機構
２０１ 駆動源
２０２ ベース
２０３ 下部
２０４ 上部
２０５ ガイドポスト
２０６ ホルダ
２０７ 圧力センサ
２０８ 水平度検出器
２０９ ネジ
２２０ 固定モジュール
２２１ 第１の固定部材
２２２ 第２の本体
２２３ 表面
２２４ 第２の孔
２２５ 第２の阻止部材
２３０ 第２の固定部材
２３２ 内部空間
２３４ 位置決め孔
２４０ 第１の回転部材
２４２ ノブ
２４４ 第１の本体
２４６ スロット
２４８ 第１の阻止部材
２５０ 第２の回転部材
２５１ 第３の本体
２５２ 第１の側面
２５３ 第２の側面
２５４ 突出部
２５５ 係止部
２６０ 弾性部材
２７０ 調整可能ロードセル
２７２ 可動プレート
２７４ 六角レンチ
Ｄ 間隔
Ｄ１ 第１の方向
Ｄ２ 第２の方向
Ｄ３ 法線方向
Ｌ 長さ
Ｆ 焦点
Ｇ１ 隙間
Ｐ 水平線
Ｐ１，Ｐ１’ 第１の位置
Ｐ２，Ｐ２’ 第２の位置
Ｒ 丸みを帯びた角
Ｓ スライドレール
Ｓ１ 第１の対のスライドレール
Ｓ２ 第２の対のスライドレール
Ｗ 幅
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図8E】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図10D】
【図11】
