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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-13
(45)【発行日】2024-02-21
(54)【発明の名称】磁気シールドルーム
(51)【国際特許分類】
H05K 9/00 20060101AFI20240214BHJP
E04B 1/92 20060101ALI20240214BHJP
【ＦＩ】
H05K9/00 H
E04B1/92
【請求項の数】
14
(21)【出願番号】P 2018216532
(22)【出願日】2018-11-19
(65)【公開番号】P2020088033
(43)【公開日】2020-06-04
【審査請求日】2021-07-30
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】000003067
【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100136375
【弁理士】
【氏名又は名称】村井 弘実
(74)【代理人】
【識別番号】100079290
【弁理士】
【氏名又は名称】村井 隆
(72)【発明者】
【氏名】五木田 剛男
(72)【発明者】
【氏名】林 達也
【審査官】鹿野 博司
(56)【参考文献】
【文献】特開２００１－００７５８４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－２６７０５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０９３０６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１３１７３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０３－１２０７９６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－０４６０８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－１３３７７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０７－１３１１７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２１８７２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００３／００７０８２８（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０５Ｋ ９／００
Ｅ０４Ｂ １／９２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
磁気シールドされた内部空間を形成する上部シールド体、側周部シールド体、及び下部シールド体を備え、扉で開閉可能な開口を有する磁気シールドルームであって、前記内部空間に、磁気シールド部を有する追加シールド体を備え、
前記追加シールド体は、前記開口を介して出し入れ可能なサイズであり、
前記追加シールド体によるシールド対象領域であって測定対象物のためのシールド対象領域の位置が変更可能であり、
前記追加シールド体は、前記シールド対象領域の上方と、前記シールド対象領域の側方四方のうちの少なくとも一方と、の少なくともいずれかが開放となるよう配置される、磁気シールドルーム。
【請求項2】
前記磁気シールド部は、前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体と非接触である、請求項１に記載の磁気シールドルーム。
【請求項3】
前記磁気シールド部は、前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体と、磁気的に結合していない、又は磁気的に結合しない程度に離間している、請求項１又は２に記載の磁気シールドルーム。
【請求項4】
前記磁気シールド部は、前記追加シールド体の面の一部であって前記シールド対象領域をカバーするのに必要な範囲に限定して設けられる、請求項１から３のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項5】
前記追加シールド体は、少なくとも１枚の平板状ないし湾曲板状である、請求項１から４のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項6】
前記追加シールド体が複数設けられ、複数の追加シールド体の磁気シールド部が互いに接触し、又は互いに磁気的に結合している、請求項１から５のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項7】
前記磁気シールド部は、ノイズ磁場源と前記シールド対象領域との間に設けられる、請求項１から６のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項8】
前記磁気シールド部は、ノイズ磁場ないし環境磁場の方向に対して非垂直である、請求項１から７のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項9】
前記磁気シールド部は、前記シールド対象領域の側方を全周に渡って囲む、請求項１から８のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項10】
前記追加シールド体は、前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体のいずれかに対して固定される、請求項１から９のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項11】
前記追加シールド体は、非シールド体からなるパネルと、前記パネルの面の一部に限定して設けられた磁気シールド部と、を有する、請求項１から１０のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項12】
前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体の外面に対して設けられた別の追加シールド体を備える、請求項１から１１のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項13】
可搬型である請求項１から１２のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【請求項14】
前記追加シールド体が複数設けられ、各々の前記追加シールド体が前記開口を介して出し入れ可能なサイズである、請求項１から１３のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、各種磁気計測に用いられる磁気シールドルームに関する。
【背景技術】
【0002】
微弱な磁気信号をセンサで読み出す環境として、地磁気などの影響を取り除く磁気シールドルームは必須である。測定対象物が体積的に大きな場合もあり、磁気シールドルームにはある一定のスペースが必要なことが多い。下記特許文献１は、可搬型の磁気シールドルームを開示する。可搬型に限らず、磁気シールドルームは、一般に、高透磁率の物質を使用して作られることが多く、一度出来上がるとその性能（磁気減衰率）は固定となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開2018-93060号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
移動先や設置先の環境磁場やノイズ磁場の状況によっては、ある一方向、あるいは、全方向の磁気減衰性能をさらに向上させたい状況も発生しうる。しかしながら、いったん出来上がった磁気シールドルームの磁気減衰性能を向上させるのは極めて困難である。あらかじめ磁気シールドルームの磁気減衰性能を非常に高く設定しておけばよいが、非常にコストがかかり、さらに非常に重くなる。
【0005】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、容易にかつ低コストでシールド性能を高めることの可能な磁気シールドルームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のある態様は、磁気シールドルームである。この磁気シールドルームは、
磁気シールドされた内部空間を形成する上部シールド体、側周部シールド体、及び下部シールド体を備え、扉で開閉可能な開口を有する磁気シールドルームであって、
前記内部空間に、磁気シールド部を有する追加シールド体を備え、
前記追加シールド体は、前記開口を介して出し入れ可能なサイズであり、
前記追加シールド体によるシールド対象領域であって測定対象物のためのシールド対象領域の位置が変更可能であり、
前記追加シールド体は、前記シールド対象領域の上方と、前記シールド対象領域の側方四方のうちの少なくとも一方と、の少なくともいずれかが開放となるよう配置される。
磁気シールドされた内部空間を形成する上部シールド体、側周部シールド体、及び下部シールド体を備え、扉で開閉可能な開口を有する磁気シールドルームであって、
前記内部空間に、磁気シールド部を有する追加シールド体を備え、
前記追加シールド体は、前記開口を介して出し入れ可能なサイズであり、
前記追加シールド体によるシールド対象領域であって測定対象物のためのシールド対象領域の位置が変更可能であり、
前記追加シールド体は、前記シールド対象領域の上方と、前記シールド対象領域の側方四方のうちの少なくとも一方と、の少なくともいずれかが開放となるよう配置される。
【0007】
前記磁気シールド部は、前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体と非接触であってもよい。
【0008】
前記磁気シールド部は、前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体と、磁気的に結合していない、又は磁気的に結合しない程度に離間していてもよい。
【0009】
前記磁気シールド部は、前記追加シールド体の面の一部であって前記シールド対象領域をカバーするのに必要な範囲に限定して設けられてもよい。
【0010】
前記追加シールド体は、少なくとも１枚の平板状ないし湾曲板状であってもよい。
【0011】
前記追加シールド体が複数設けられ、複数の追加シールド体の磁気シールド部が互いに接触し、又は互いに磁気的に結合してもよい。
【0012】
前記磁気シールド部は、ノイズ磁場源とシールド対象領域との間に設けられてもよい。
【0013】
前記磁気シールド部は、ノイズ磁場ないし環境磁場の方向に対して非垂直であってもよい。
【0014】
前記磁気シールド部は、シールド対象領域の側方を全周に渡って囲んでもよい。
【0015】
前記追加シールド体は、前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体のいずれかに対して固定されてもよい。
【0016】
前記追加シールド体は、非シールド体からなるパネルと、前記パネルの面の一部に限定して設けられた磁気シールド部と、を有してもよい。
【0017】
前記上部シールド体、前記側周部シールド体、及び前記下部シールド体の外面に対して設けられた別の追加シールド体を備えてもよい。
【0018】
前記磁気シールドルームは、可搬型であってもよい。
前記追加シールド体が複数設けられ、各々の前記追加シールド体が前記開口を介して出し入れ可能なサイズであってもよい。
前記追加シールド体が複数設けられ、各々の前記追加シールド体が前記開口を介して出し入れ可能なサイズであってもよい。
【0019】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【0020】
本発明によれば、容易にかつ低コストでシールド性能を高めることの可能な磁気シールドルームを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の実施の形態１に係る磁気シールドルーム１Ａを正面右上方向から見た斜視図。
【図2】本発明の実施の形態２に係る磁気シールドルーム１Ｂを正面右上方向から見た斜視図。
【図3】実施の形態２に関し、左部追加シールド体２１の上部に限定して磁気シールド部２１ｂを設けた構成の概略断面図。
【図4】左部追加シールド体２１の下部に限定して磁気シールド部２１ｂを設けた構成の概略断面図。
【図5】パネル２１ａと磁気シールド部２１ｂとの間にアルミニウム板２１ｃを設けた構成の概略断面図。
【図6】本発明の実施の形態３に係る磁気シールドルーム１Ｃを正面右上方向から見た斜視図。
【図7】図６の変形例であり、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３を互いに機械的に連結した場合の左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３の平断面図。
【図8】左部追加シールド体２１及び後部追加シールド体２２の組合せ形態の変形例を示す平断面図。
【図9】本発明の実施の形態４に係る磁気シールドルーム１Ｄを正面右上方向から見た斜視図。
【図10】本発明の実施の形態５に係る磁気シールドルーム１Ｅを正面右上方向から見た斜視図。
【図11】本発明の実施の形態６に係る磁気シールドルーム１Ｆを正面右上方向から見た斜視図。
【図12】磁気シールド部２４ｂを磁場方向に対して非垂直とした３つの例を示す概念図。
【図13】本発明の実施の形態７に係る磁気シールドルーム１Ｇを正面右上方向から見た斜視図。
【図14】本発明の実施の形態８に係る磁気シールドルーム１Ｈを正面右上方向から見た斜視図。
【図15】本発明の実施の形態９に係る磁気シールドルーム１Ｊを正面右上方向から見た斜視図。
【図16】本発明の実施の形態１０に係る磁気シールドルーム１Ｋを正面右上方向から見た斜視図。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【0023】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気シールドルーム１Ａを正面右上方向から見た斜視図である。図１により、磁気シールドルーム１Ａの前後、上下、左右の各方向を定義する。各方向の定義は、図２、図６、図９～図１１、図１３～図１６においても同様とする。
図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気シールドルーム１Ａを正面右上方向から見た斜視図である。図１により、磁気シールドルーム１Ａの前後、上下、左右の各方向を定義する。各方向の定義は、図２、図６、図９～図１１、図１３～図１６においても同様とする。
【0024】
磁気シールドルーム１Ａは、上部シールド体１１、側周部シールド体１２、及び下部シールド体１３を備える。図示は省略したが、磁気シールドルーム１Ａは、前部開口を開閉する扉を有する。扉は、一枚の扉でもよいし、左扉と右扉とからなる観音開きの扉であってもよい。上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び前述の図示しない扉（以下、それぞれを単に「シールド体」とも表記）は、磁場ノイズ及び電磁波ノイズを遮蔽できる磁気シールド体であって、磁気シールドされた内部空間Ｓ１を形成する。
【0025】
各シールド体は、好ましくは、磁性材料層及び高導電率材料層からなる磁気シールド層を２つ有し、かつ当該２つの磁気シールド層の間に、木材層あるいは空気層等の非高導電率かつ非磁性の層を有する。磁性材料層は、例えば高透磁率磁性体かつ導体としてのパーマロイ板である。高導電率材料層は、例えば導体としてのアルミニウム板である。パーマロイ板は、磁場ノイズの遮蔽に有効である。アルミニウム板は、高周波の電磁波ノイズの遮蔽に有効である。上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び前述の図示しない扉は、それらを構成する磁気シールド体の導体同士が相互に電気的に接続されることが好ましい。
【0026】
下部シールド体１３の下側（下面）には、床面上を移動させるための移動手段としてのストッパ付きキャスター７５が少なくとも３個以上取り付けられる。磁気シールドルーム１Ａは、ここでは可搬型であり、キャスター７５を設けたことで移動の際に便利である。図示は省略したが、下部シールド体１３の下面に、下部シールド体１３よりも高剛性で下部シールド体１３の底面と同寸法の例えばステンレス鋼からなる台座を設け、この台座上に下部シールド体１３を載置固定し、当該台座の底面にキャスター７５を設けてもよい。
【0027】
磁気シールドルーム１Ａは、磁気シールドされた内部空間Ｓ１に、シールド対象領域Ｓ２を囲むように、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３（以下、それぞれを単に「追加シールド体」とも表記）を備える。シールド対象領域Ｓ２の位置及びサイズは、測定対象物によって異なり、図示は一例である。各追加シールド体は、磁場ノイズ及び電磁波ノイズを遮蔽できる平板状の磁気シールド体であって、下部シールド体１３上に立設される。各追加シールド体は、アルミ等の非磁性体からなる図示しない支柱に支持され、下部シールド体１３に対して浮いていてもよい。各追加シールド体は、上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び前述の図示しない扉と、非接触であり、磁気的に結合していない、又は磁気的に結合しない程度に離間していることが望ましい。
【0028】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【0029】
(1) 磁気シールドルーム１Ａは、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３を備えるため、追加シールド体を設けずに、上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び図示しない扉だけで非常に高いシールド性能を確保する場合と比較して、必要に応じてシールド対象領域Ｓ２に対するシールド性能（磁気減衰性能）を容易にかつ低コストで高めることができる。
【0030】
(2) 追加シールド体を上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び図示しない扉と磁気的に結合させず、又は磁気的に結合しない程度に離間させることで、上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び図示しない扉に流れる磁気が追加シールド体に入り込むことを抑制し、追加シールド体の磁気飽和のリスクを低減できる。また、上部シールド体１１、側周部シールド体１２、下部シールド体１３、及び図示しない扉で１回減衰させて小さくなった磁気をさらに追加シールド体で減衰させるという２段階での減衰が行われるため、シールド性能が高められる。
【0031】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２に係る磁気シールドルーム１Ｂを正面右上方向から見た斜視図である。実施の形態１では、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３がそれぞれ全面的に磁気シールド体であったが、本実施の形態では、各追加シールド体の面の一部が磁気シールド体であり、他の部分は非磁気シールド体である。以下、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
図２は、本発明の実施の形態２に係る磁気シールドルーム１Ｂを正面右上方向から見た斜視図である。実施の形態１では、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３がそれぞれ全面的に磁気シールド体であったが、本実施の形態では、各追加シールド体の面の一部が磁気シールド体であり、他の部分は非磁気シールド体である。以下、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
【0032】
左部追加シールド体２１は、非シールド体からなるパネル２１ａと、パネル２１ａの面の一部に限定して設けられた磁気シールド部２１ｂと、を有する積層構造である。同様に、後部追加シールド体２２は、非シールド体からなるパネル２２ａと、パネル２２ａの面の一部に限定して設けられた磁気シールド部２２ｂと、を有する積層構造である。同様に、右部追加シールド体２３は、非シールド体からなるパネル２３ａと、パネル２３ａの面の一部に限定して設けられた磁気シールド部２３ｂと、を有する積層構造である。
【0033】
パネル２１ａ～２３ａは、非磁性体としての例えば木材である。磁気シールド部２１ｂ～２３ｂは、高透磁率磁性体かつ導体としての例えばパーマロイ板である。磁気シールド部２１ｂ～２３ｂは、パネル２１ａ～２３ａの、シールド対象領域Ｓ２とは反対側の面の上部に設けられる。磁気シールド部２１ｂ～２３ｂは、パネル２１ａ～２３ａの、シールド対象領域Ｓ２とは反対側の面に替えて又はそれに加えて、シールド対象領域Ｓ２側の面の上部に設けられてもよい。磁気シールド部２１ｂ～２３ｂの存在する高さ範囲、左右方向範囲、及び前後方向範囲は、好ましくはシールド対象領域Ｓ２の存在する高さ範囲、左右方向範囲、及び前後方向範囲を包含する。
【0034】
左部追加シールド体２１において、磁気シールド部２１ｂは、図３に示すようにパネル２１ａの面の上部に限定して設けられる場合の他、図４に示すようにパネル２１ａの面の下部に限定して設けられてもよい。図示は省略したが、磁気シールド部２１ｂは、パネル２１ａの面の中間部に限定して設けられてもよい。図５に示すように、左部追加シールド体２１は、パネル２１ａと磁気シールド部２１ｂとの間に、導体かつ非磁性体としての例えばアルミニウム板２１ｃを有する積層構造であってもよい。これらの変形例は、後部追加シールド体２２及び右部追加シールド体２３にも同様に適用できる。
【0035】
本実施の形態のその他の点は、実施の形態１と同様である。本実施の形態によれば、実施の形態１の効果に加え、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３の面の一部であってシールド対象領域Ｓ２をカバーするのに必要な範囲に限定して磁気シールド部２１ｂ～２３ｂを設けるため、追加シールド体が全面的に磁気シールド体である場合と比較して材料及びコストを低減することができる。
【0036】
（実施の形態３）
図６は、本発明の実施の形態３に係る磁気シールドルーム１Ｃを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｃは、図２に示した実施の形態２のものと比較して、左部追加シールド体２１と後部追加シールド体２２とが互いに接触して磁気シールド部２１ｂ、２２ｂが互いに磁気的に結合し、後部追加シールド体２２と右部追加シールド体２３とが互いに接触して磁気シールド部２２ｂ、２３ｂが互いに磁気的に結合している点で相違し、その他の点で一致する。本実施の形態によれば、磁気シールド部２１ｂ～２３ｂが互いに磁気的に結合するため、磁気的に非結合である場合と比較してシールド性能を高めることができる。
図６は、本発明の実施の形態３に係る磁気シールドルーム１Ｃを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｃは、図２に示した実施の形態２のものと比較して、左部追加シールド体２１と後部追加シールド体２２とが互いに接触して磁気シールド部２１ｂ、２２ｂが互いに磁気的に結合し、後部追加シールド体２２と右部追加シールド体２３とが互いに接触して磁気シールド部２２ｂ、２３ｂが互いに磁気的に結合している点で相違し、その他の点で一致する。本実施の形態によれば、磁気シールド部２１ｂ～２３ｂが互いに磁気的に結合するため、磁気的に非結合である場合と比較してシールド性能を高めることができる。
【0037】
図７は、図６の変形例であり、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３を互いに機械的に連結した場合の左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３の平断面図である。図７の例では、断面Ｌ字状の磁性体である連結具２５により、左部追加シールド体２１と後部追加シールド体２２とが機械的に連結され、磁気シールド部２１ｂ、２２ｂが互いに磁気的に結合する。同様に、断面Ｌ字状の磁性体である連結具２６により、後部追加シールド体２２と右部追加シールド体２３とが機械的に連結され、磁気シールド部２２ｂ、２３ｂが互いに磁気的に結合する。
【0038】
図８は、左部追加シールド体２１及び後部追加シールド体２２の組合せ形態の変形例を示す平断面図である。図８の例では、左部追加シールド体２１は、パネル２１ａのシールド対象領域Ｓ２側にも磁気シールド部２１ｅを有する。後部追加シールド体２２は、パネル２２ａのシールド対象領域Ｓ２側にも磁気シールド部２２ｅを有する。後部追加シールド体２２は、左端部が前方に屈曲しており、その屈曲部の前端部に左部追加シールド体２１の後端部が嵌め込まれる。この状態で、磁気シールド部２１ｂ、２２ｂが互いに接触して磁気的に結合し、磁気シールド部２１ｅ、２２ｅが互いに接触して磁気的に結合する。磁気シールド部２１ｂ、２１ｅは、好ましくは磁気的に結合しない。同様に、磁気シールド部２２ｂ、２２ｅは、好ましくは磁気的に結合しない。右部追加シールド体２３は、左部追加シールド体２１と同構成であり、左部追加シールド体２１と同様に後部追加シールド体２２に組み合わされる。後部追加シールド体２２は、アルミ等の非磁性体からなる支柱２８に固定される。
【0039】
（実施の形態４）
図９は、本発明の実施の形態４に係る磁気シールドルーム１Ｄを正面右上方向から見た斜視図である。図９において、シールド対象領域Ｓ２の図示を省略している。磁気シールドルーム１Ｄは、図６に示す実施の形態３と比較して、図６の左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３が、それらを一体化した形状である断面コの字状の追加シールド体３０に替わった点で相違し、その他の点で一致する。追加シールド体３０は、非シールド体からなる断面コの字状の一体のパネル３０ａと、断面コの字状の一体の磁気シールド部３０ｂと、を有する。本実施の形態も、実施の形態３と同様の効果を奏することができる。
図９は、本発明の実施の形態４に係る磁気シールドルーム１Ｄを正面右上方向から見た斜視図である。図９において、シールド対象領域Ｓ２の図示を省略している。磁気シールドルーム１Ｄは、図６に示す実施の形態３と比較して、図６の左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３が、それらを一体化した形状である断面コの字状の追加シールド体３０に替わった点で相違し、その他の点で一致する。追加シールド体３０は、非シールド体からなる断面コの字状の一体のパネル３０ａと、断面コの字状の一体の磁気シールド部３０ｂと、を有する。本実施の形態も、実施の形態３と同様の効果を奏することができる。
【0040】
（実施の形態５）
図１０は、本発明の実施の形態５に係る磁気シールドルーム１Ｅを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｅは、上方にノイズ磁場源３５が存在する環境下で使用される。磁気シールドルーム１Ｅは、図２に示した実施の形態２のものと比較して、後部追加シールド体２２が無くなり、上部追加シールド体２４が追加された点で相違し、その他の点で一致する。上部追加シールド体２４は、左部追加シールド体２１及び右部追加シールド体２３の上端部同士を渡すように配置される。上部追加シールド体２４は、非シールド体からなるパネル２４ａと、パネル２４ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面（上面）に設けられた磁気シールド部２４ｂと、を有する。磁気シールド部２４ｂは、パネル２４ａの上面の左右方向中間部に限定して設けられる。磁気シールド部２４ｂは、ノイズ磁場源３５とシールド対象領域Ｓ２との間に介在する。磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂは、互いに磁気的に結合してもよい。ノイズ磁場源３５は、例えば、エレベータ、エスカレータ、ハムノイズを発する電力供給線等である。磁性体である金属が動くようなものは全般的にノイズ磁場源となり得る。本実施の形態によれば、磁気シールド部２４ｂがノイズ磁場源３５とシールド対象領域Ｓ２との間に介在するため、シールド対象領域Ｓ２に対して効率的にシールド性能を高めることができる。
図１０は、本発明の実施の形態５に係る磁気シールドルーム１Ｅを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｅは、上方にノイズ磁場源３５が存在する環境下で使用される。磁気シールドルーム１Ｅは、図２に示した実施の形態２のものと比較して、後部追加シールド体２２が無くなり、上部追加シールド体２４が追加された点で相違し、その他の点で一致する。上部追加シールド体２４は、左部追加シールド体２１及び右部追加シールド体２３の上端部同士を渡すように配置される。上部追加シールド体２４は、非シールド体からなるパネル２４ａと、パネル２４ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面（上面）に設けられた磁気シールド部２４ｂと、を有する。磁気シールド部２４ｂは、パネル２４ａの上面の左右方向中間部に限定して設けられる。磁気シールド部２４ｂは、ノイズ磁場源３５とシールド対象領域Ｓ２との間に介在する。磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂは、互いに磁気的に結合してもよい。ノイズ磁場源３５は、例えば、エレベータ、エスカレータ、ハムノイズを発する電力供給線等である。磁性体である金属が動くようなものは全般的にノイズ磁場源となり得る。本実施の形態によれば、磁気シールド部２４ｂがノイズ磁場源３５とシールド対象領域Ｓ２との間に介在するため、シールド対象領域Ｓ２に対して効率的にシールド性能を高めることができる。
【0041】
（実施の形態６）
図１１は、本発明の実施の形態６に係る磁気シールドルーム１Ｆを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｆは、左上方にノイズ磁場源３５が存在する環境下で使用される。磁気シールドルーム１Ｆは、図６に示した実施の形態３のものと比較して、右部追加シールド体２３が無くなり、上部追加シールド体２４が追加された点で相違し、その他の点で一致する。上部追加シールド体２４は、左部追加シールド体２１及び後部追加シールド体２２の上端部同士を渡すように設けられる。上部追加シールド体２４は、パネル２４ａの上面に全面的に磁気シールド部２４ｂを有する。磁気シールド部２４ｂは、ノイズ磁場源３５とシールド対象領域Ｓ２との間に介在する。磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂは、互いに磁気的に結合してもよい。磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂは、ノイズ磁場源３５の発生する磁場（ノイズ磁場源３５からシールド対象領域Ｓ２に向かう磁場）に対して非垂直である。これにより、ノイズ磁場源３５の発生する磁場は、磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂに沿って流れやすくなり、磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂを貫通しにくくなる。その結果、シールド対象領域Ｓ２に対するシールド性能が高められる。ノイズ磁場源３５の発生する磁場に限らず、環境磁場の方向があらかじめ分かる場合は、環境磁場の方向に対して磁気シールド部を非垂直とすることで、シールド性能を高めることができる。
図１１は、本発明の実施の形態６に係る磁気シールドルーム１Ｆを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｆは、左上方にノイズ磁場源３５が存在する環境下で使用される。磁気シールドルーム１Ｆは、図６に示した実施の形態３のものと比較して、右部追加シールド体２３が無くなり、上部追加シールド体２４が追加された点で相違し、その他の点で一致する。上部追加シールド体２４は、左部追加シールド体２１及び後部追加シールド体２２の上端部同士を渡すように設けられる。上部追加シールド体２４は、パネル２４ａの上面に全面的に磁気シールド部２４ｂを有する。磁気シールド部２４ｂは、ノイズ磁場源３５とシールド対象領域Ｓ２との間に介在する。磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂは、互いに磁気的に結合してもよい。磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂは、ノイズ磁場源３５の発生する磁場（ノイズ磁場源３５からシールド対象領域Ｓ２に向かう磁場）に対して非垂直である。これにより、ノイズ磁場源３５の発生する磁場は、磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂに沿って流れやすくなり、磁気シールド部２１ｂ、２３ｂ、２４ｂを貫通しにくくなる。その結果、シールド対象領域Ｓ２に対するシールド性能が高められる。ノイズ磁場源３５の発生する磁場に限らず、環境磁場の方向があらかじめ分かる場合は、環境磁場の方向に対して磁気シールド部を非垂直とすることで、シールド性能を高めることができる。
【0042】
図１２（Ａ）～図１２（Ｂ）は、磁気シールド部２４ｂを磁場方向に対して非垂直とした例を示す概念図である。図１２（Ａ）は、図１１の構成に対応するものである。図１２（Ｂ）は、磁気シールド部２４ｂを湾曲面とすることで、中央部を除き全体的に磁気シールド部２４ｂを磁場方向に対して非垂直とした例である。図１２（Ｃ）は、磁場方向と非垂直な２つの磁気シールド部２４ｂを組み合わせた例である。いずれの例においても、磁場は磁気シールド部２４ｂに沿って流れやすくなり、シールド対象領域Ｓ２に向けて貫通しにくくなる。
【0043】
（実施の形態７）
図１３は、本発明の実施の形態７に係る磁気シールドルーム１Ｇを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｇは、右方にノイズ磁場源３５がある環境下で使用される。磁気シールドルーム１Ｇは、図６に示した実施の形態３のものと比較して、前部追加シールド体２７が追加された点で相違し、その他の点で一致する。前部追加シールド体２７は、非シールド体からなるパネル２７ａと、パネル２７ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面（前面）に設けられた磁気シールド部２７ｂと、を有する。磁気シールド部２７ｂは、パネル２７ａの前面の上部に限定して設けられる。磁気シールド部２７ｂは、磁気シールド部２１ｂ及び磁気シールド部２３ｂと互いに接触して磁気的に結合する。本実施の形態では、シールド対象領域Ｓ２の側方が全周に渡って磁気シールド部２１ｂ、２２ｂ、２３ｂ、２７ｂで囲まれる。本実施の形態によれば、前方からシールド対象領域Ｓ２に向かってくる磁場に対してもシールド性能を高めることができるため、実施の形態３と比較して全体のシールド性能が高められる。
図１３は、本発明の実施の形態７に係る磁気シールドルーム１Ｇを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｇは、右方にノイズ磁場源３５がある環境下で使用される。磁気シールドルーム１Ｇは、図６に示した実施の形態３のものと比較して、前部追加シールド体２７が追加された点で相違し、その他の点で一致する。前部追加シールド体２７は、非シールド体からなるパネル２７ａと、パネル２７ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面（前面）に設けられた磁気シールド部２７ｂと、を有する。磁気シールド部２７ｂは、パネル２７ａの前面の上部に限定して設けられる。磁気シールド部２７ｂは、磁気シールド部２１ｂ及び磁気シールド部２３ｂと互いに接触して磁気的に結合する。本実施の形態では、シールド対象領域Ｓ２の側方が全周に渡って磁気シールド部２１ｂ、２２ｂ、２３ｂ、２７ｂで囲まれる。本実施の形態によれば、前方からシールド対象領域Ｓ２に向かってくる磁場に対してもシールド性能を高めることができるため、実施の形態３と比較して全体のシールド性能が高められる。
【0044】
（実施の形態８）
図１４は、本発明の実施の形態８に係る磁気シールドルーム１Ｈを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｈは、図１３に示した実施の形態７のものと比較して、シールド対象領域Ｓ２を囲む追加シールド体が、第１追加シールド体３１及び第２追加シールド体３２に替わった点で相違し、その他の点で一致する。第１追加シールド体３１及び第２追加シールド体３２は、共に円弧面状ないし楕円弧面状であり、両者を合わせて円筒側面状ないし楕円筒側面状となる。第１追加シールド体３１は、非シールド体からなるパネル３１ａと、パネル３１ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面の上部に限定して設けられた磁気シールド部３１ｂと、を有する。第２追加シールド体３２は、非シールド体からなるパネル３２ａと、パネル３１ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面の上部に限定して設けられた磁気シールド部３２ｂと、を有する。磁気シールド部３１ｂ、３２ｂは、互いに接触して磁気的に結合し、シールド対象領域Ｓ２を円筒状に囲む。本実施の形態も、実施の形態７と同様の効果を奏することができる。
図１４は、本発明の実施の形態８に係る磁気シールドルーム１Ｈを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｈは、図１３に示した実施の形態７のものと比較して、シールド対象領域Ｓ２を囲む追加シールド体が、第１追加シールド体３１及び第２追加シールド体３２に替わった点で相違し、その他の点で一致する。第１追加シールド体３１及び第２追加シールド体３２は、共に円弧面状ないし楕円弧面状であり、両者を合わせて円筒側面状ないし楕円筒側面状となる。第１追加シールド体３１は、非シールド体からなるパネル３１ａと、パネル３１ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面の上部に限定して設けられた磁気シールド部３１ｂと、を有する。第２追加シールド体３２は、非シールド体からなるパネル３２ａと、パネル３１ａのシールド対象領域Ｓ２とは反対側の面の上部に限定して設けられた磁気シールド部３２ｂと、を有する。磁気シールド部３１ｂ、３２ｂは、互いに接触して磁気的に結合し、シールド対象領域Ｓ２を円筒状に囲む。本実施の形態も、実施の形態７と同様の効果を奏することができる。
【0045】
（実施の形態９）
図１５は、本発明の実施の形態９に係る磁気シールドルーム１Ｊを正面右上方向から見た斜視図である。図１５において、シールド対象領域Ｓ２の図示を省略している。磁気シールドルーム１Ｊは、図６に示した実施の形態３のものと比較して、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３が、それぞれＬ字状の固定具４１、４２、４３により下部シールド体１３に固定された点で相違し、その他の点で一致する。固定具４１、４２、４３は、非磁性体であるとよい。本実施の形態によれば、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３の揺れを抑制し、揺れにより位置が適切ではなくなることによるシールド性能の低下や磁場ノイズの発生を抑制できる。追加シールド体を上部シールド体１１、側周部シールド体１２、及び下部シールド体１３のいずれかに機械的に固定することは、本実施の形態に限らず、全ての実施の形態に適用できる。
図１５は、本発明の実施の形態９に係る磁気シールドルーム１Ｊを正面右上方向から見た斜視図である。図１５において、シールド対象領域Ｓ２の図示を省略している。磁気シールドルーム１Ｊは、図６に示した実施の形態３のものと比較して、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３が、それぞれＬ字状の固定具４１、４２、４３により下部シールド体１３に固定された点で相違し、その他の点で一致する。固定具４１、４２、４３は、非磁性体であるとよい。本実施の形態によれば、左部追加シールド体２１、後部追加シールド体２２、及び右部追加シールド体２３の揺れを抑制し、揺れにより位置が適切ではなくなることによるシールド性能の低下や磁場ノイズの発生を抑制できる。追加シールド体を上部シールド体１１、側周部シールド体１２、及び下部シールド体１３のいずれかに機械的に固定することは、本実施の形態に限らず、全ての実施の形態に適用できる。
【0046】
（実施の形態１０）
図１６は、本発明の実施の形態１０に係る磁気シールドルーム１Ｋを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｋは、図２に示した実施の形態と比較して、外部追加シールド体４５～４７が追加された点で相違し、その他の点で一致する。外部追加シールド体４５は、左側の側周部シールド体１２の外面（左面）の高さ方向中間部に限定して設けられる。外部追加シールド体４６は、後側の側周部シールド体１２の外面（背面）の高さ方向中間部に限定して設けられる。外部追加シールド体４７は、右側の側周部シールド体１２の外面（右面）の高さ方向中間部に限定して設けられる。外部追加シールド体４５～４７のいずれか１つ又は２つのみが設けられてもよい。本実施の形態によれば、実施の形態２と比較して更にシールド性能を高めることができる。外部追加シールド体を設けることは、本実施の形態に限らず、全ての実施の形態に適用できる。
図１６は、本発明の実施の形態１０に係る磁気シールドルーム１Ｋを正面右上方向から見た斜視図である。磁気シールドルーム１Ｋは、図２に示した実施の形態と比較して、外部追加シールド体４５～４７が追加された点で相違し、その他の点で一致する。外部追加シールド体４５は、左側の側周部シールド体１２の外面（左面）の高さ方向中間部に限定して設けられる。外部追加シールド体４６は、後側の側周部シールド体１２の外面（背面）の高さ方向中間部に限定して設けられる。外部追加シールド体４７は、右側の側周部シールド体１２の外面（右面）の高さ方向中間部に限定して設けられる。外部追加シールド体４５～４７のいずれか１つ又は２つのみが設けられてもよい。本実施の形態によれば、実施の形態２と比較して更にシールド性能を高めることができる。外部追加シールド体を設けることは、本実施の形態に限らず、全ての実施の形態に適用できる。
【0047】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、容易にかつ低コストでシールド性能を高めることの可能な磁気シールドルームを
【0048】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。本発明の磁気シールドルームの外観は、直方体形状に限定されず、円筒形状等の他の形状であってもよい。
【符号の説明】
【0049】
１Ａ～１Ｈ、１Ｊ、１Ｋ 磁気シールドルーム、
１１ 上部シールド体、１２ 側周部シールド体、１３ 下部シールド体、
２１ 左部追加シールド体、２１ａ パネル、２１ｂ 磁気シールド部、
２２ 後部追加シールド体、２２ａ パネル、２２ｂ 磁気シールド部、
２３ 右部追加シールド体、２３ａ パネル、２３ｂ 磁気シールド部、
２４ 上部追加シールド体、２４ａ パネル、２４ｂ 磁気シールド部、
２５、２６ 連結具、
２７ 前部追加シールド体、２７ａ パネル、２７ｂ 磁気シールド部、
２８ 支柱、
３０ 追加シールド体、３０ａ パネル、３０ｂ 磁気シールド部、
３１ 第１追加シールド体、３１ａ パネル、３１ｂ 磁気シールド部、
３２ 第２追加シールド体、３２ａ パネル、３２ｂ 磁気シールド部、
３５ ノイズ磁場源、４１～４３ 固定具、４５～４７ 外部追加シールド体、
７５ キャスター（脚部）、Ｓ１ 内部空間、Ｓ２ シールド対象領域
１１ 上部シールド体、１２ 側周部シールド体、１３ 下部シールド体、
２１ 左部追加シールド体、２１ａ パネル、２１ｂ 磁気シールド部、
２２ 後部追加シールド体、２２ａ パネル、２２ｂ 磁気シールド部、
２３ 右部追加シールド体、２３ａ パネル、２３ｂ 磁気シールド部、
２４ 上部追加シールド体、２４ａ パネル、２４ｂ 磁気シールド部、
２５、２６ 連結具、
２７ 前部追加シールド体、２７ａ パネル、２７ｂ 磁気シールド部、
２８ 支柱、
３０ 追加シールド体、３０ａ パネル、３０ｂ 磁気シールド部、
３１ 第１追加シールド体、３１ａ パネル、３１ｂ 磁気シールド部、
３２ 第２追加シールド体、３２ａ パネル、３２ｂ 磁気シールド部、
３５ ノイズ磁場源、４１～４３ 固定具、４５～４７ 外部追加シールド体、
７５ キャスター（脚部）、Ｓ１ 内部空間、Ｓ２ シールド対象領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
