特許 7435528 インダクタ部品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-13

(45)【発行日】2024-02-21

(54)【発明の名称】インダクタ部品

(51)【国際特許分類】

   H01F 17/00 20060101AFI20240214BHJP

   H01F 17/04 20060101ALI20240214BHJP

【ＦＩ】

H01F17/00 D

H01F17/04 A

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021064357

(22)【出願日】2021-04-05

(65)【公開番号】P2022159897

(43)【公開日】2022-10-18

【審査請求日】2022-11-17

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100145403

【弁理士】

【氏名又は名称】山尾 憲人

(74)【代理人】

【識別番号】100132252

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 環

(74)【代理人】

【識別番号】100189555

【弁理士】

【氏名又は名称】徳山 英浩

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼橋 大輔

【審査官】久保田 昌晴

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０３４１７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２１６５１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－１８１１２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１３３３９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０１３９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１３９７８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｆ １７／００－１９／０８、２７／２８、３０／１０、３７／００

Ｈ０１Ｆ ４１／００

Ｈ０５Ｋ １／１１、１／１６、３／４０－３／４２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

素体と、前記素体内に設けられ、軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルと、を備え、
前記コイルは、前記軸方向に直交する平面に沿って巻回された第１コイル配線と、前記軸方向で前記第１コイル配線と隣り合い、前記軸方向に直交する平面に沿って巻回された第２コイル配線と、前記第１コイル配線と前記第２コイル配線とを接続するビア電極と、
を有し、
前記第１コイル配線は、アスペクト比が１．００を超える第１厚肉部と、前記第１コイル配線の端部であって、平均厚みが前記第１厚肉部の厚みよりも小さい第１薄肉部と、を有し、
前記第２コイル配線は、アスペクト比が１．００を超える第２厚肉部と、前記第２コイル配線の端部であって、平均厚みが前記第２厚肉部の厚みよりも小さい第２薄肉部と、を有し、
前記ビア電極は、中心軸が前記軸方向に対して傾斜するように前記第１薄肉部と前記第２薄肉部とを接続し、
前記第１薄肉部における前記ビア電極と接続される部分の厚みは、前記第１コイル配線の延伸する方向であって、前記第１コイル配線の前記端部とは反対側の端部から前記端部に向かう方向に沿って減少する、インダクタ部品。

【請求項2】

前記ビア電極の中心軸は、前記軸方向に平行な方向に延びる部分と、前記軸方向に直交する方向に延びる部分と、を交互に繰り返すことにより、前記軸方向に対して階段状に傾斜している、請求項１に記載のインダクタ部品。

【請求項3】

前記第１薄肉部における前記ビア電極と接続される部分の厚みは、連続的に減少する、請求項１に記載のインダクタ部品。

【請求項4】

前記第２薄肉部における前記ビア電極と接続される部分の厚みは、前記第２コイル配線の延伸する方向であって、前記第２コイル配線の前記端部とは反対側の端部から前記端部に向かう方向に沿って減少する、請求項１から３の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項5】

前記第２薄肉部における前記ビア電極と接続される部分の厚みは、連続的に減少する、請求項４に記載のインダクタ部品。

【請求項6】

前記素体の表面は、第１端面と、前記第１端面に対向する第２端面と、前記第１端面と前記第２端面の間に接続された底面と、前記底面に対向する天面とを有し、
前記第１端面と前記底面に渡って設けられた第１外部電極と、前記第２端面と前記底面に渡って設けられた第２外部電極と、を更に備え、
前記コイルは、前記軸方向が、前記第１端面、前記第２端面、前記底面および前記天面と平行になるように設けられ、
前記コイルの一端は、前記第１外部電極に接続され、前記コイルの他端は、前記第２外部電極に接続され、
前記ビア電極は、前記底面との距離が、前記底面と前記天面との距離の５０％以下となるように配置されている、請求項１から５の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項7】

前記第１厚肉部および前記第２厚肉部の少なくとも１つのアスペクト比は、１．０８以上２．５４以下である、請求項１から６の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項8】

前記第１薄肉部および前記第２薄肉部の少なくとも１つのアスペクト比は、１．００以下である、請求項１から７の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項9】

前記第１薄肉部は、前記第１コイル配線の前記端部側において、前記軸方向から見て、前記第２コイル配線の前記端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含み、
前記第２薄肉部は、前記第２コイル配線の前記端部側において、前記軸方向から見て、前記第１コイル配線の前記端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含む、請求項１から８の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項10】

前記第１厚肉部と前記第１薄肉部とは、隣接し且つ一体的に形成されている、請求項１から９の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項11】

前記第２厚肉部と前記第２薄肉部とは、隣接し且つ一体的に形成されている、請求項１から１０の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【請求項12】

前記ビア電極における前記第１薄肉部および前記第２薄肉部の各々に接続する端面の形状は、円形であり、前記端面の直径は、３０μｍ以上５０μｍ以下である、請求項１から１１の何れか一つに記載のインダクタ部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インダクタ部品に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、インダクタ部品としては、特開２０１９－５７５８１号公報（特許文献１）に記載されたものがある。このインダクタ部品は、素体と、素体内に設けられ、軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルと、を備える。コイルは、軸方向に直交する平面に沿って巻回された複数のコイル配線と、隣り合うコイル配線を接続するビア電極と、を有する。コイル配線のアスペクト比は、１．０以上である。コイル配線のアスペクト比は、（コイル配線の軸方向の厚み）／（コイル配線の幅）である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－５７５８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示のインダクタ部品では、ビア電極は、隣り合うコイル配線と軸方向に沿って接続されている。コイル配線のアスペクト比が大きいと、軸方向のコイル配線の厚みも大きくなる。ここで、コイル配線は、焼成時に収縮する。そのため、軸方向のコイル配線の厚みが大きい特許文献１のインダクタ部品では、焼成時に、コイル配線の軸方向の収縮量も大きくなり、ビア電極に軸方向の大きな応力が発生し、ビア電極がコイル配線から剥離する虞があった。

【0005】

そこで、本開示は、焼成時に発生するビア電極の応力を低減できるインダクタ部品を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するため、本開示の一態様であるインダクタ部品は、
素体と、前記素体内に設けられ、軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルと、を備え、
前記コイルは、前記軸方向に直交する平面に沿って巻回された第１コイル配線と、前記軸方向で前記第１コイル配線と隣り合い、前記軸方向に直交する平面に沿って巻回された第２コイル配線と、前記第１コイル配線と前記第２コイル配線とを接続するビア電極と、を有し、
前記第１コイル配線は、アスペクト比が１．００を超える第１厚肉部と、前記第１コイル配線の端部であって、平均厚みが前記第１厚肉部の厚みよりも小さい第１薄肉部と、
を有し、
前記第２コイル配線は、アスペクト比が１．００を超える第２厚肉部と、前記第２コイル配線の端部であって、平均厚みが前記第２厚肉部の厚みよりも小さい第２薄肉部と、を有し、
前記ビア電極は、前記第１薄肉部と前記第２薄肉部とを接続する。

【0007】

ここで、軸方向とは、コイルが巻回された螺旋の中心軸に平行な方向を指す。また、アスペクト比とは、（第１厚肉部の厚み）／（第１厚肉部の幅）である。第１厚肉部の厚みとは、第１厚肉部の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向の厚みを指す。第１厚肉部の幅とは、第１厚肉部の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向と直交する方向の寸法を指す。第２厚肉部のアスペクト比も同様に定義される。

【0008】

また、第１薄肉部の平均厚みとは、（第１薄肉部の断面積）／（第１薄肉部の断面における第１薄肉部の延伸する方向に沿った第１薄肉部の配線長）である。第１薄肉部の断面積とは、コイルの軸方向に平行な断面であって、コイルの軸方向から見てビア電極の中心を含み、且つ第１薄肉部が延伸する方向に平行な断面における面積を指す。第２薄肉部の平均厚みも同様に定義される。

【0009】

前記実施形態によれば、ビア電極が第１薄肉部と第２薄肉部とに接続されている。第１薄肉部および第２薄肉部は、平均厚みが、それぞれ第１厚肉部および第２厚肉部の厚みよりも小さいため、焼成時の軸方向の収縮量が小さくなる。このため、焼成時に発生するビア電極の応力を低減させることができる。

【0010】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記ビア電極の中心軸は、前記軸方向に対して傾斜している。

【0011】

ここで、ビア電極の中心軸とは、ビア電極が第１薄肉部から第２薄肉部に向かって延在する方向であって、ビア電極の中心を通る線を指す。

【0012】

前記実施形態によれば、ビア電極が傾斜しているため、焼成時にビア電極に発生する応力を傾斜方向に分散させることができる。

【0013】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記ビア電極の中心軸は、前記軸方向に平行な方向に延びる部分と、前記軸方向に直交する方向に延びる部分と、を交互に繰り返すことにより、前記軸方向に対して階段状に傾斜している。

【0014】

前記実施形態によれば、傾斜したビア電極を、フォトリソグラフィ工程を用いて容易に製造することができる。また、ビア電極が軸方向に対して傾斜していることにより、焼成時にビア電極に発生する応力を傾斜方向に分散させることができる。

【0015】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第１薄肉部の厚みは、前記第１薄肉部の延伸する方向であって、前記第１コイル配線の前記端部とは反対側の端部から前記端部に向かう方向に沿って減少する。

【0016】

ここで、第１薄肉部の厚みとは、第１薄肉部の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向の厚みを指す。また、第１薄肉部の厚みが減少するとは、第１薄肉部の厚みが段階的または連続的に減少することを指す。

【0017】

前記実施形態によれば、第１薄肉部の厚みが上記方向に沿って減少するため、焼成時にビア電極に発生する応力を分散させることができる。

【0018】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第１薄肉部の厚みは、連続的に減少する。

【0019】

前記実施形態によれば、焼成時にビア電極に発生する応力をより効果的に分散させることができる。

【0020】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第２薄肉部の厚みは、前記第２薄肉部の延伸する方向であって、前記第２コイル配線の前記端部とは反対側の端部から前記端部に向かう方向に沿って減少する。

【0021】

ここで、第２薄肉部の厚みとは、第２薄肉部の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向の厚みを指す。また、第２薄肉部の厚みが減少するとは、第２薄肉部の厚みが段階的または連続的に減少することを指す。

【0022】

前記実施形態によれば、第２薄肉部の厚みが上記方向に沿って減少するため、焼成時にビア電極に発生する応力を分散させることができる。

【0023】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第２薄肉部の厚みは、連続的に減少する。

【0024】

前記実施形態によれば、焼成時にビア電極に発生する応力をより効果的に分散させることができる。

【0025】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記素体の表面は、第１端面と、前記第１端面に対向する第２端面と、前記第１端面と前記第２端面の間に接続された底面と、前記底面に対向する天面とを有し、
前記第１端面と前記底面に渡って設けられた第１外部電極と、前記第２端面と前記底面に渡って設けられた第２外部電極と、を更に備え、
前記コイルは、前記軸方向が、前記第１端面、前記第２端面、前記底面および前記天面と平行になるように設けられ、
前記コイルの一端は、前記第１外部電極に接続され、前記コイルの他端は、前記第２外部電極に接続され、
前記ビア電極は、前記底面との距離が、前記底面と前記天面との距離の５０％以下となるように配置されている。

【0026】

前記実施形態によれば、ビア電極が前記底面と前記天面との距離の５０％以下となるように配置されているので、平均厚みが相対的に小さい第１薄肉部および第２薄肉部も前記底面と前記天面との距離の５０％以下の位置に存在する。これにより、第１外部電極および第２外部電極やインダクタ部品が実装される基板とビア電極との間の浮遊容量の影響を低減できる。これに対して、コイル配線が厚肉部のみから構成されている場合、上記浮遊容量の影響が大きくなる。

【0027】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第１厚肉部および前記第２厚肉部の少なくとも１つのアスペクト比は、１．０８以上２．５４以下である。

【0028】

前記実施形態によれば、Ｑ値を高くできる。

【0029】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第１薄肉部および前記第２薄肉部の少なくとも１つのアスペクト比は、１．００以下である。

【0030】

ここで、第１薄肉部のアスペクト比とは、（第１薄肉部の平均厚み）／（第１薄肉部の幅）である。第１薄肉部の幅とは、第１薄肉部の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向と直交する方向の寸法を指す。第２薄肉部のアスペクト比も同様に定義される。

【0031】

前記実施形態によれば、焼成時にビア電極に発生する応力をより効果的に低減させることができる。

【0032】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第１薄肉部は、前記第１コイル配線の前記端部側において、前記軸方向から見て、前記第２コイル配線の前記端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含み、
前記第２薄肉部は、前記第２コイル配線の前記端部側において、前記軸方向から見て、前記第１コイル配線の前記端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含む。

【0033】

前記実施形態によれば、焼成時にビア電極に発生する応力をより効果的に低減させることができる。

【0034】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第１厚肉部と前記第１薄肉部とは、隣接し且つ一体的に形成されている。

【0035】

ここで、「一体的に形成されている」とは、２つの部材が連続的に形成され、且つ、界面が形成されていないことを指す。

【0036】

前記実施形態によれば、第１コイル配線の強度を高くできる。

【0037】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記第２厚肉部と前記第２薄肉部とは、隣接し且つ一体的に形成されている。

【0038】

前記実施形態によれば、第２コイル配線の強度を高くできる。

【0039】

好ましくは、インダクタ部品の一実施形態では、
前記ビア電極における前記第１薄肉部および前記第２薄肉部の各々に接続する端面の形状は、円形であり、前記端面の直径は、３０μｍ以上５０μｍ以下である。

【0040】

前記実施形態によれば、ビア電極と薄肉部との接続面積を確保できるので、接続信頼性を向上させることができる。

【発明の効果】

【0041】

本開示の一態様であるインダクタ部品によれば、焼成時に発生するビア電極の応力を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0042】

【図1】インダクタ部品の第１実施形態を示す底面側からみた透視斜視図である。

【図2】インダクタ部品の分解図である。

【図3】インダクタ部品の第１側面からみた透視側面図である。

【図4】インダクタ部品の底面側からみた透視底面図である。

【図5A】図３のＡ－Ａ断面であって、コイル配線の厚肉部の断面図である。

【図5B】図３のＢ－Ｂ断面であって、コイル配線の薄肉部の断面図である。

【図6】インダクタ部品の第２実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。

【図7】インダクタ部品の第３実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。

【図8】インダクタ部品の第４実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。

【図9】インダクタ部品の第４実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0043】

以下、本開示の一態様であるインダクタ部品を図示の実施の形態により詳細に説明する。なお、図面は一部模式的なものを含み、実際の寸法や比率を反映していない場合がある。

【0044】

（第１実施形態）
図１は、インダクタ部品の第１実施形態を示す底面側からみた透視斜視図である。図２は、インダクタ部品の分解図である。図３は、インダクタ部品の第１側面（すなわち、コイルの軸方向）からみた透視側面図である。図４は、インダクタ部品の底面側からみた透視底面図である。

【0045】

図１～図４に示すように、インダクタ部品１は、素体１０と、素体１０内に設けられ、軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイル２０と、素体１０に設けられコイル２０に電気的に接続された第１外部電極３０および第２外部電極４０とを有する。図１、図３および図４では、素体１０は、構造を容易に理解できるよう、透明に描かれているが、半透明や不透明であってもよい。

【0046】

インダクタ部品１は、第１、第２外部電極３０，４０を介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。インダクタ部品１は、例えば、高周波回路のインピーダンス整合用コイル（マッチングコイル）として用いられ、パソコン、ＤＶＤプレーヤー、デジカメ、ＴＶ、携帯電話、カーエレクトロニクス、医療用・産業用機械などの電子機器に用いられる。ただし、インダクタ部品１の用途はこれに限られず、例えば、同調回路、フィルタ回路や整流平滑回路などにも用いることもできる。

【0047】

素体１０は、略直方体状に形成されている。素体１０の表面は、互いに対向する第１端面１５および第２端面１６と、互いに対向する第１側面１３と第２側面１４と、第１端面１５と第２端面１６との間および第１側面１３と第２側面１４との間に接続された底面１７と、底面１７と対向する天面１８とを含む。なお、図示するように、Ｘ方向は、第１端面１５および第２端面１６に直交する方向であり、Ｙ方向は、第１側面１３および第２側面１４に直交する方向であり、Ｚ方向は、底面１７および天面１８に直交する方向であり、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向である。

【0048】

素体１０は、複数の絶縁層１１を積層して構成される。絶縁層１１は、例えば、硼珪酸ガラスを主成分とする材料や、フェライト、樹脂などの材料からなる。絶縁層１１の積層方向は、素体１０の第１、第２端面１５，１６および底面１７に、平行な方向（Ｙ方向）である。すなわち、絶縁層１１は、ＸＺ平面に広がった層状である。本願における「平行」とは、厳密な平行関係に限定されず、現実的なばらつきの範囲を考慮し、実質的な平行関係も含む。なお、素体１０は、焼成などによって、複数の絶縁層１１同士の界面が明確となっていない場合がある。

【0049】

第１外部電極３０および第２外部電極４０は、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕやこれらを主成分とする合金などの導電性材料から構成される。第１外部電極３０は、第１端面１５から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第１外部電極３０は、第１端面１５および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれている。第２外部電極４０は、第２端面１６から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第２外部電極４０は、第２端面１６および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれている。

【0050】

第１外部電極３０および第２外部電極４０は、素体１０（絶縁層１１）に埋め込まれた複数の第１外部電極導体層３３および第２外部電極導体層４３が積層された構成を有している。第１外部電極導体層３３は、第１端面１５および底面１７に沿って延在しており、第２外部電極導体層４３は、第２端面１６および底面１７に沿って延在している。以上の構成により、第１外部電極３０は、第１端面１５と底面１７に渡って設けられている。また、第２外部電極４０は、第２端面１６と底面１７に渡って設けられている。上述の構成により、素体１０内に外部電極３０，４０を埋め込むことができるため、素体１０に外部電極を外付けする構成に比べて、インダクタ部品の小型化を図ることができる。また、コイル２０と外部電極３０，４０を同一工程で形成することができ、コイル２０と外部電極３０，４０との間の位置関係のばらつきを低減することで、インダクタ部品１の電気的特性のばらつきを低減することができる。

【0051】

コイル２０は、例えば、第１、第２外部電極３０，４０と同様の導電性材料から構成される。コイル２０は、絶縁層１１の積層方向（Ｙ方向）に沿って、螺旋状に巻回されている。コイル２０は、軸方向が、第１端面１５、第２端面１６、底面１７および天面１８と平行になるように設けられている。コイル２０の軸方向とは、コイル２０が巻回された螺旋の中心軸に平行な方向を指す。コイル２０の一端は、第１外部電極３０に接続され、コイル２０の他端は、第２外部電極４０に接続されている。なお、本実施形態では、コイル２０と第１、第２外部電極３０，４０とは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、コイルと外部電極とが異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していてもよい。

【0052】

コイル２０は、軸方向に直交する平面に沿って巻回された第１コイル配線２１と、軸方向で第１コイル配線２１と隣り合い、軸方向に直交する平面に沿って巻回された第２コイル配線２２と、第１コイル配線２１と第２コイル配線２２とを接続するビア電極２６と、を有する。第１コイル配線２１および第２コイル配線２２は、ビア電極２６を介して接続されることにより螺旋を構成している。第１コイル配線２１の一方側の端部（ビア電極２６が接続されている側とは逆側の端部）は、第２外部電極４０に接続している。第２コイル配線２２の一方側の端部（ビア電極２６が接続されている側とは逆側の端部）は、第１外部電極３０に接続している。

【0053】

第１コイル配線２１は、軸方向に直交する絶縁層１１の主面（ＸＺ平面）上に巻回されて形成される。第１コイル配線２１の巻回数は、１周未満であるが、１周以上であってもよい。図１の仮想線で示したように、第１コイル配線２１は、互いに面接触して軸方向に積層された３層のコイル導体層２１ａ，２１ｂ，２１ｃから構成されている。これにより、第１コイル配線２１のアスペクト比を高くできる。各コイル導体層２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、軸方向に直交する平面に沿って巻回されている。なお、本実施形態では、コイル導体層２１ａ，２１ｂ，２１ｃは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、各コイル導体層が異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していてもよい。また、第１コイル配線２１は、１層のコイル導体層から構成されていてもよいし、２層または４層以上のコイル導体層から構成されていてもよい。

【0054】

第１コイル配線２１は、アスペクト比が１．００を超える第１厚肉部２１１と、第１コイル配線２１の端部であって、平均厚みが第１厚肉部２１１の厚みよりも小さい第１薄肉部２１２と、を有する。

【0055】

第１厚肉部２１１は、第１コイル配線２１のうち、アスペクト比が１．００を超える部分である。具体的に述べると、本実施形態では、図１に示すように、第１厚肉部２１１は、コイル導体層２１ａと、コイル導体層２１ｂと、コイル導体層２１ｃのうち第１薄肉部２１２となる部分を除いた部分と、が軸方向に積層されて構成されている。第１厚肉部２１１のアスペクト比とは、（第１厚肉部２１１の厚み）／（第１厚肉部２１１の幅）である。

【0056】

図５Ａは、図３のＡ－Ａ断面であって、第１コイル配線の第１厚肉部の断面図である。図５Ａに示すように、上記「第１厚肉部２１１の厚み」とは、第１厚肉部２１１の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向（Ｙ方向）の寸法ｔを指す。上記「第１厚肉部２１１の幅」とは、第１厚肉部２１１の延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向と直交する方向の寸法ｗを指す。第１厚肉部２１１は、コイル２０の軸方向からみて、略円形に形成されているが、この形状に限定されない。第１厚肉部２１１の形状は、例えば、楕円形、長方形、その他の多角形などであってもよい。

【0057】

図５Ａでは、第１厚肉部２１１の断面は矩形状であるが、実際の第１厚肉部２１１では矩形状とならない場合がある。この場合であっても、第１厚肉部２１１のアスペクト比は、第１厚肉部２１１の断面積と第１厚肉部２１１の軸方向の最大厚みとから算出することができる。具体的には、上記厚みｔは、第１厚肉部２１１の軸方向の最大厚みとし、上記幅ｗは、第１厚肉部２１１の断面積を第１厚肉部２１１の最大厚みで割った値とすればよい。これにより、第１厚肉部２１１の内面や外面に凹凸が形成されていても、アスペクト比を容易に求めることができる。このように、第１厚肉部２１１の断面形状は、矩形に限らず、楕円形や多角形、これらを凹凸させた形状なども含む。後述する第２厚肉部２２１、第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２の各々における延伸する方向に直交する断面においても同様である。

【0058】

第１薄肉部２１２は、第１コイル配線２１のうち、平均厚みが第１厚肉部２１１の厚みよりも小さい部分である。図１～図４に示すように、第１薄肉部２１２は、軸方向からみて、第１厚肉部２１１から連続して、第１厚肉部２１１が延伸する方向に沿って延びている。本実施形態では、第１薄肉部２１２は、コイル導体層２１ｃのうち、第１コイル配線２１の端部（第２外部電極４０が接続されている側とは逆側の端部）を占める部分から構成されている。第１薄肉部２１２の平均厚み（ｔ_ａｖｅ）とは、（第１薄肉部２１２の断面積）／（第１薄肉部２１２の断面における第１薄肉部２１２の延伸する方向に沿った第１薄肉部２１２の配線長）である。

【0059】

図５Ｂは、図３のＢ－Ｂ断面であって、第１コイル配線の第１薄肉部の断面図である。図５Ｂに示すように、上記「第１薄肉部２１２の断面積」とは、コイルの軸方向（Ｙ方向）に平行な断面であって、コイルの軸方向から見てビア電極の中心を含み、且つ第１薄肉部２１２が延伸する方向に平行な断面における面積Ａを指す。上記「第１薄肉部２１２の断面における第１薄肉部２１２の延伸する方向に沿った第１薄肉部２１２の配線長」とは、図５Ｂに示した断面の横幅Ｌ３を指す。

【0060】

図１～図４に示すように、本実施形態では、第１薄肉部２１２は、軸方向からみて、第１厚肉部２１１から連続して延びて、先端は円弧状に形成されている。しかし、第１薄肉部２１２の形状は、これに限定されず、軸方向からみて、円形や矩形などの種々の形状を採用し得る。また、図４に示すように、第１薄肉部２１２の形状は、インダクタ部品１の底面側からみて四角形である。また、第１厚肉部２１１と第１薄肉部２１２とは、隣接し且つ一体的に形成されている。「一体的に形成されている」とは、２つの部材が連続的に形成され、且つ、界面が形成されていないことを指す。これにより、第１コイル配線２１の強度を高くできる。なお、第１厚肉部２１１と第１薄肉部２１２とは、別体で形成されてもよい。

【0061】

第２コイル配線２２は、第１コイル配線２１と同様の構成を有する。すなわち、第２コイル配線２２は、アスペクト比が１．００を超える第２厚肉部２２１と、第２コイル配線２２の端部であって、平均厚みが第２厚肉部２２１の厚みよりも小さい第２薄肉部２２２と、を有する。また、第２厚肉部２２１と第２薄肉部２２２とは、隣接し且つ一体的に形成されている。これにより、第２コイル配線２２の強度を高くできる。なお、第２厚肉部２２１と第２薄肉部２２２とは、別体で形成されてもよい。第２厚肉部２２１および第２薄肉部２２２の構成は、それぞれ第１厚肉部２１１および第１薄肉部２１２の構成と同じであるため、詳細な説明を省略する。

【0062】

ビア電極２６は、図４に示すように、軸方向の一端が第１薄肉部２１２における第２側面１４側の面Ｓ１に接続し、軸方向の他端が第２薄肉部２２２における第１側面１３側の面Ｓ２に接続している。これにより、ビア電極２６は、第１薄肉部２１２と第２薄肉部２２２とを接続する。本実施形態では、ビア電極２６は、円柱状である。しかし、ビア電極２６の形状は、これに限定されず、例えば、断面が楕円の柱体や断面が多角形の柱体などの他の形状であってもよい。

【0063】

前記実施形態によれば、第１コイル配線２１は、第１厚肉部２１１および第１薄肉部２１２を有し、第２コイル配線２２は、第２厚肉部２２１および第２薄肉部２２２を有する。ビア電極２６は、第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２のそれぞれに接続されている。第１薄肉部２１２の軸方向の平均厚みは、第１厚肉部２１１の軸方向の厚みよりも小さく、第２薄肉部２２２の軸方向の平均厚みは、第２厚肉部２２１の軸方向の厚みよりも小さい。そのため、第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２は、焼成時の軸方向の収縮量が、第１厚肉部２１１および第２厚肉部２２１よりも小さくなり、焼成時に発生するビア電極の応力を低減させることができる。従って、ビア電極２６が焼成時に第１コイル配線２１および第２コイル配線２２から剥離することを抑制できる。

【0064】

好ましくは、ビア電極２６は、図３に示すように、底面１７との距離Ｌ１が、底面１７と天面１８との距離Ｌ２との距離の５０％以下となるように配置される。距離Ｌ１は、軸方向からみたときのビア電極２６の中心と底面１７との距離を指す。

【0065】

上記構成によれば、ビア電極２６が底面１７と天面１８との距離の５０％以下となるように配置されているので、平均厚みが相対的に小さい第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２も底面１７と天面１８との距離の５０％以下の位置に存在する。すなわち、この場合、ビア電極２６と、それに接続される第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２は、インダクタ部品１の底面１７側に実装される基板（図示省略）と比較的近く、上記基板との浮遊容量が発生しやすい。しかし、第１厚肉部２１１および第２厚肉部２２１の厚みより小さい第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２によって、上記基板との対向面積が小さくなるため、上記浮遊容量の影響を低減できる。これに対して、第１コイル配線２１および第２コイル配線が、それぞれ第１厚肉部２１１および第２厚肉部２２１のみから構成されている場合、上記浮遊容量の影響が大きくなる。

【0066】

好ましくは、第１厚肉部２１１および第２厚肉部２２１の少なくとも１つのアスペクト比は、１．０８以上２．５４以下である。

【0067】

上記構成によれば、Ｑ値を高くできる。

【0068】

好ましくは、第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２の少なくとも１つのアスペクト比は、１．００以下である。第１薄肉部２１２のアスペクト比とは、（第１薄肉部２１２の平均厚み）／（第１薄肉部２１２の幅）である。第１薄肉部２１２の幅とは、第１薄肉部２１２の延伸する方向に直交する断面における軸方向と直交する方向の寸法を指す。なお、上述したように、本実施形態では、第１薄肉部２１２は、軸方向からみて、延伸する方向の先端が円弧状である。そのため、第１薄肉部２１２の幅は、第１薄肉部２１２の延伸する方向において一定ではない。この場合、上記「第１薄肉部２１２の延伸する方向に直交する断面」は、第１薄肉部２１２のうち第１厚肉部２１１と接続される部分における、第１薄肉部２１２の延伸する方向に直交する断面とすればよい。第２薄肉部２２２のアスペクト比も同様に定義される。

【0069】

上記構成によれば、焼成時にビア電極２６に発生する応力をより効果的に低減させることができる。

【0070】

好ましくは、第１薄肉部２１２は、第１コイル配線２１の端部側において、軸方向から見て、第２コイル配線２２の端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含み、第２薄肉部２２２は、第２コイル配線２２の端部側において、軸方向から見て、第１コイル配線２１の端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含む。図３を参照して具体的に説明すると、第１薄肉部２１２は、第１コイル配線２１の端部側において、第２コイル配線２２の端部側と重なる領域である斜線を付した領域の全てを含む。また、第２薄肉部２２２は、第２コイル配線２２の端部側において、第１コイル配線２１の端部側と重なる領域である斜線を付した領域の全てを含む。なお、図３では、説明のため便宜上斜線を付している。

【0071】

上記構成によれば、焼成時にビア電極２６に発生する応力をより効果的に低減させることができる。

【0072】

好ましくは、ビア電極２６における第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２の各々に接続する端面の形状は、円形であり、端面の直径は、３０μｍ以上５０μｍ以下である。

【0073】

上記構成によれば、ビア電極２６と第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２との接続面積を確保できるので、接続信頼性を向上させることができる。

【0074】

好ましくは、第１厚肉部２１１の厚みは、第１薄肉部２１２の平均厚みの２倍以上５倍以下であり、第２厚肉部２２１の厚みは、第２薄肉部２２２の平均厚みの２倍以上５倍以下である。

【0075】

上記構成によれば、焼成時に発生するビア電極２６の応力をより低減しつつ、第１コイル配線、第２コイル配線の電気抵抗率の低下を抑制できる。

【0076】

（第２実施形態）
図６は、インダクタ部品の第２実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、ビア電極の形状が異なる。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

【0077】

図６に示すように、第２実施形態のインダクタ部品１Ａのビア電極２６Ａは、軸方向（Ｙ方向）に直交し且つビア電極２６Ａの中心軸Ｃ１の中点Ｍ１を通る方向から見て、中心軸Ｃ１が軸方向に対して傾斜している。ビア電極２６Ａの中心軸Ｃ１とは、ビア電極２６Ａが第１薄肉部２１２から第２薄肉部２２２に向かって延在する方向であって、ビア電極２６Ａの中心を通る線を指す。これに対して、第１実施形態のビア電極２６は、軸方向に直交し且つビア電極２６の中心軸の中点を通る方向から見て、中心軸が軸方向と平行である。なお、本実施形態では、ビア電極２６Ａにおいて、軸方向に直交し且つビア電極２６Ａの中心軸Ｃ１の中点Ｍ１を通る方向から見て、中心軸Ｃ１が軸方向に対して傾斜しているが、中心軸Ｃ１が軸方向に対して傾斜していれば、中心軸Ｃ１の傾斜方向は特に限定されず、何れかの方向から見て、中心軸Ｃ１が軸方向に対して傾斜していればよい。

【0078】

前記実施形態によれば、ビア電極２６Ａが傾斜しているため、焼成時にビア電極２６Ａに発生する応力を傾斜方向に分散させることができる。また、ビア電極２６Ａが傾斜しているため、ビア電極２６Ａと、第１薄肉部２１２および第２薄肉部２２２と、の接続面積を大きくできる。従って、ビア電極２６Ａが焼成時に第１コイル配線２１および第２コイル配線２２から剥離することを抑制できる。

【0079】

（第３実施形態）
図７は、インダクタ部品の第３実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。第３実施形態は、第１実施形態とは、ビア電極の形状が異なる。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

【0080】

図７に示すように、第３実施形態のインダクタ部品１Ｂのビア電極２６Ｂは、軸方向（Ｙ方向）に直交し且つビア電極２６Ｂの中心軸Ｃ２の中点Ｍ２を通る方向から見て、中心軸Ｃ２が、軸方向に平行な方向に延びる部分Ｃ２ａと、軸方向に直交する方向に延びる部分Ｃ２ｂと、を交互に繰り返すことにより、軸方向に対して階段状に傾斜している。なお、本実施形態では、ビア電極２６Ｂにおいて、軸方向に直交し且つビア電極２６Ｂの中心軸Ｃ２の中点Ｍ２を通る方向から見て、中心軸Ｃ２が軸方向に対して階段状に傾斜しているが、中心軸Ｃ２が軸方向に対して階段状に傾斜していれば、中心軸Ｃ２の傾斜方向は特に限定されず、何れかの方向から見て、中心軸Ｃ２が軸方向に対して階段状に傾斜していればよい。

【0081】

前記実施形態によれば、傾斜したビア電極を、フォトリソグラフィ工程を用いて容易に製造することができる。また、ビア電極２６Ｂが軸方向に対して傾斜するように延在していることにより、焼成時にビア電極２６Ｂに発生する応力を傾斜方向に分散させることができる。これにより、ビア電極２６Ｂが焼成時に第１コイル配線２１および第２コイル配線２２から剥離することを抑制できる。

【0082】

（第４実施形態）
図８および図９は、インダクタ部品の第４実施形態を示す底面側からみた透視底面図である。第４実施形態は、第２実施形態とは、第１薄肉部および第２薄肉部の形状が異なる。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第２実施形態と同じ構成であり、第２実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

【0083】

図８に示すように、第４実施形態のインダクタ部品１Ｃにおける第１薄肉部２１２Ａの厚みは、第１コイル配線２１Ａの延伸する方向であって、第２外部電極４０が接続されている側の第１コイル配線２１Ａの端部から、ビア電極２６Ａが接続している側の端部に向かう方向に沿って減少する。上記「第１薄肉部２１２Ａの厚み」とは、第１薄肉部２１２Ａの延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向の厚みを指す。本実施形態では、第１薄肉部２１２Ａの厚みは、連続的に減少する。すなわち、第１薄肉部２１２Ａは、軸方向において、ビア電極２６Ａが接続されている面とは反対側に位置する面に傾斜面Ｓ５を有する。換言すれば、第１薄肉部２１２Ａの形状は、インダクタ部品１Ｃの底面側からみて三角形である。

【0084】

また、第１薄肉部２１２Ａは、第１厚肉部２１１の延伸する方向の端面Ｓ３の一部に接続している。これにより、第１薄肉部２１２Ａの厚みがより減少し、焼成時の第１薄肉部２１２Ａの収縮量をより低減させることができる。

【0085】

また、図８に示すように、第４実施形態のインダクタ部品１Ｃにおける第２薄肉部２２２Ａの厚みは、第２コイル配線２２Ａの延伸する方向であって、第１外部電極３０が接続されている側の第２コイル配線２２Ａの端部から、ビア電極２６Ａが接続している側の端部に向かう方向に沿って減少する。上記「第２薄肉部２２２Ａの厚み」とは、第２薄肉部２２２Ａの延伸する方向に直交する断面におけるコイルの軸方向の厚みを指す。本実施形態では、第２薄肉部２２２Ａの厚みは、連続的に減少する。すなわち、第２薄肉部２２２Ａは、軸方向において、ビア電極２６Ａが接続されている面とは反対側に位置する面に傾斜面Ｓ６を有する。換言すれば、第２薄肉部２２２Ａの形状は、インダクタ部品１Ｃの底面側からみて三角形である。

【0086】

また、第２薄肉部２２２Ａは、第２厚肉部２２１の延伸する方向の端面Ｓ４の一部に接続している。これにより、第２薄肉部２２２Ａの厚みがより減少し、焼成時の第２薄肉部２２２Ａの収縮量をより低減させることができる。

【0087】

前記実施形態によれば、第１薄肉部２１２Ａの厚みが、第１コイル配線２１Ａの延伸する方向であって、第２外部電極４０が接続されている側の第１コイル配線２１Ａの端部から、ビア電極２６Ａが接続している側の端部に向かう方向に沿って減少するため、焼成時にビア電極２６Ａに発生する応力を分散させることができる。特に、第１薄肉部２１２Ａの厚みが連続的に減少することにより、焼成時にビア電極２６Ａに発生する応力をより効果的に分散させることができる。また、第２薄肉部２２２Ａの厚みが、第２コイル配線２２Ａの延伸する方向であって、第１外部電極３０が接続されている側の第２コイル配線２２Ａの端部から、ビア電極２６Ａが接続している側の端部に向かう方向に沿って減少するため、焼成時にビア電極２６Ａに発生する応力を分散させることができる。特に、第２薄肉部２２２Ａの厚みが連続的に減少することにより、焼成時にビア電極２６Ａに発生する応力をより効果的に分散させることができる。

【0088】

また、図９に示すように、第１薄肉部２１２Ａは、第１厚肉部２１１の延伸する方向の端面Ｓ３の全面に接続してもよい。これにより、焼成時に第１厚肉部２１１と第１薄肉部２１２Ａとの間の応力差が小さくなり、第１厚肉部２１１と第１薄肉部２１２Ａとの間の割れなどの損傷を抑制できる。同様に、第２薄肉部２２２Ａは、第２厚肉部２２１の延伸する方向の端面Ｓ４の全面に接続してもよい。これにより、焼成時に第２厚肉部２２１と第２薄肉部２２２Ａとの間の応力差が小さくなり、第２厚肉部２２１と第２薄肉部２２２Ａとの間の割れなどの損傷を抑制できる。なお、図９に曲線の仮想線（二点鎖線）で示すように、印刷積層工程において、第１薄肉部２１２Ａの一部および第２薄肉部２２２Ａの一部が、それぞれ第１厚肉部２１１の一部および第２厚肉部２２１の一部に重なってもよい。

【0089】

なお、本開示は上述の実施形態に限定されず、本開示の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第１から第４実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。

【0090】

前記実施形態では、コイルの軸は、素体の側面に直交しているが、素体の端面に直交してもよく、または、素体の底面に直交してもよい。

【0091】

前記実施形態では、コイルは、第１コイル配線および第２コイル配線の２つのコイル配線を有していたが、コイル配線の個数はこれに限定されず、３つ以上であってもよい。

【0092】

前記実施形態では、第１、第２外部電極は、Ｌ字形状であるが、例えば５面電極であってもよい。つまり、第１外部電極は、第１端面全面と、第１側面、第２側面、底面および天面のそれぞれの一部とに設けられ、第２外部電極は、第２端面全面と、第１側面、第２側面、底面および天面のそれぞれの一部とに設けられてもよい。または、第１外部電極および第２外部電極は、それぞれ、底面の一部に設けられてもよい。

【0093】

前記実施形態では、第１薄肉部は、第１コイル配線の端部側において、軸方向から見て、第２コイル配線の端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含み、第２薄肉部は、第２コイル配線の端部側において、軸方向から見て、第１コイル配線の端部側と重なる全領域に相当する部分を少なくとも含む。しかし、第１薄肉部は、第１コイル配線の端部側において、軸方向から見て、第２コイル配線の端部側と重なる領域に相当する部分の一部を含んでもよい。また、第２薄肉部は、第２コイル配線の端部側において、軸方向から見て、第１コイル配線の端部側と重なる領域に相当する部分の一部を含んでもよい。または、第１コイル配線の第１薄肉部は、軸方向からみて、第２コイル配線の第２薄肉部と重ならなくてもよい。

【0094】

前記実施形態では、第１薄肉部および第２薄肉部に接続されたビア電極は、底面と天面との距離の５０％以下となるように配置されているが、第１薄肉部および第２薄肉部に接続されていない他のビア電極が存在する場合、他のビア電極は、底面と天面との距離の５０％を超えるように配置されてもよい。また、第１薄肉部および第２薄肉部に接続されたビア電極が、底面と天面との距離の５０％を超えるように配置されてもよい。これにより、設計自由度が増す。

【0095】

前記第４実施形態では、第１薄肉部２１２Ａおよび第２薄肉部２２２Ａの厚みが、連続的に減少するが、段階的に減少してもよい。また、第１薄肉部２１２Ａおよび第２薄肉部２２２Ａのいずれか一方のみの厚みが減少してもよい。

【0096】

（実施例）
以下、インダクタ部品１の製造方法の実施例を説明する。

【0097】

まず、硼珪酸ガラスを主成分とする絶縁ペーストをスクリーン印刷によりキャリアフィルム等の基材上に塗布することを繰り返して、絶縁層を形成する。この絶縁層は、コイル導体層よりも外側に位置する外層用絶縁層となる。なお、基材は任意の工程にて絶縁層から剥がされ、インダクタ部品の状態では残らない。

【0098】

その後、絶縁層上に感光性導電ペースト層を塗布形成し、フォトリソグラフィ工程により、コイル導体層及び外部電極導体層を形成する。具体的には、絶縁層上にＡｇを金属主成分とする感光性導電ペーストをスクリーン印刷により塗布して、感光性導電ペースト層を形成する。さらに、感光性導電ペースト層にフォトマスクを介して紫外線等を照射し、アルカリ溶液等で現像する。これによりコイル導体層および外部電極導体層が絶縁層上に形成される。この時、フォトマスクによりコイル導体層および外部電極導体層は所望のパターンに描くことができる。

【0099】

そして、絶縁層上に感光性絶縁ペースト層を塗布形成し、フォトリソグラフィ工程により、開口及びビアホールが設けられた絶縁層を形成する。具体的には、絶縁層上に感光性絶縁ペーストをスクリーン印刷により塗布して感光性絶縁ペースト層を形成する。さらに、感光性絶縁ペースト層にフォトマスクを介して紫外線等を照射し、アルカリ溶液等で現像する。この時、フォトマスクにより外部電極導体層の上方に開口を、コイル導体層の端部にビアホールを、それぞれ設けるよう、感光性絶縁ペースト層をパターニングする。なお、図６、図８および図９に示した傾斜したビア電極２６Ａを形成する場合、ビアホールは、例えばレーザー加工やドリル加工などを用いて形成すればよい。

【0100】

その後、開口及びビアホールが設けられた絶縁層上に感光性導電ペースト層を塗布形成し、フォトリソグラフィ工程により、コイル導体層及び外部電極導体層を形成する。具体的には、開口及びビアホールを埋めるように絶縁層上にＡｇを金属主成分とする感光性導電ペーストをスクリーン印刷により塗布して、感光性導電ペースト層を形成する。さらに、感光性導電ペースト層にフォトマスクを介して紫外線等を照射し、アルカリ溶液等で現像する。これにより、開口を介して下層側の外部電極導体層に接続された外部電極導体層と、ビアホールを介して下層側のコイル導体層と接続されたコイル導体層とが絶縁層上に形成される。なお、図７に示した階段状のビア電極２６Ｂを形成する場合、ビアホールが設けられた絶縁層を形成する工程と、ビアホールを介して下層側のコイル導体層と接続されたコイル導体層を形成する工程と、をコイルの軸方向に直交する方向でビアホールの位置をずらしながら繰り返せばよい。

【0101】

上記のような絶縁層とコイル導体層及び外部電極導体層を形成する工程を繰り返すことにより、複数の絶縁層上に形成されたコイル導体層からなるコイル及び複数の絶縁層上に形成された外部電極導体層からなる外部電極が形成される。さらに、コイル及び外部電極が形成された絶縁層上に、絶縁ペーストをスクリーン印刷により塗布することを繰り返して、絶縁層を形成する。この絶縁層は、コイル導体層よりも外側に位置する外層用絶縁層となる。なお、以上の工程において絶縁層上にコイル及び外部電極の組を行列状に形成すれば、マザー積層体を得ることができる。

【0102】

その後、ダイシング等によりマザー積層体を複数の未焼成の積層体にカットする。マザー積層体のカット工程では、カットにより形成されるカット面において外部電極をマザー積層体から露出させる。この際、一定量以上のカットずれが生じると、上記工程で形成されたコイル導体層の外周縁が端面または底面に出現する。

【0103】

そして、未焼成の積層体を所定条件で焼成しコイルおよび外部電極を含む素体を得る。この素体に対してバレル加工を施して適切な外形サイズに研磨するとともに、外部電極が積層体から露出している部分に、２μｍ～１０μｍの厚さを有するＮｉめっき及び２μｍ～１０μｍの厚さを有するＳｎめっきを施す。以上の工程を経て、０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍのインダクタ部品が完成する。

【0104】

なお、導体パターンの形成工法は、上記に限定されるものではなく、例えば、導体パターン形状に開口したスクリーン版による導体ペーストの印刷積層工法でも良いし、スパッタ法や蒸着法、箔の圧着等により形成した導体膜をエッチングによりパターン形成する方法であっても良いし、セミアディティブ法のようにネガパターンを形成してめっき膜により導体パターンを形成した後、不要部を除去する方法であっても良い。さらに、導体パターンを多段形成することにより高アスペクトすることで、高周波での抵抗による損失を低減することができる。より具体的には、上記導体パターンの形成を繰り返すプロセスであっても良いし、セミアディティブプロセスで形成した配線を繰り返し重ねるプロセスであっても良いし、積み重ねの一部をセミアディティブプロセスで形成し、その他はめっき成長させた膜をエッチングで形成するプロセスであっても良いし、セミアディティブプロセスで形成した配線をさらにめっきで成長させ高アスペクト化するプロセスを組み合わせても良い。

【0105】

また、導体材料は上記のようなＡｇペーストに限定されるものではなく、スパッタ法や蒸着法、箔の圧着、めっき等により形成されるＡｇ，Ｃｕ，Ａｕといった良導体のものであれば良い。また、絶縁層ならびに開口、ビアホールの形成方法は上記に限定されるものではなく、絶縁材料シートの圧着やスピンコート、スプレー塗布後、レーザーやドリル加工によって開口される方法でも良い。

【0106】

また、絶縁材料は上記のようなガラス、セラミックス材料に限定されるものではなく、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリマー樹脂のような有機材料でも良いし、ガラスエポキシ樹脂のような複合材料でも良いが、誘電率、誘電損失の小さいものが望ましい。

【0107】

また、インダクタ部品のサイズは上記に限定されるものではない。また、外部電極の形成方法について、カットにより露出させた外部導体にめっき加工を施す方法に限定されるものではなく、カット後にさらに導体ペーストのディップやスパッタ法等によって外部電極を形成し、その上にめっき加工を施す方法でもよい。

【符号の説明】

【0108】

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ インダクタ部品
１０ 素体
１１ 絶縁層
１３ 第１側面
１４ 第２側面
１５ 第１端面
１６ 第２端面
１７ 底面
１８ 天面
２０，２０Ａ コイル
２１，２１Ａ 第１コイル配線
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ コイル導体層
２２，２２Ａ 第２コイル配線
２６，２６Ａ，２６Ｂ ビア電極
３０ 第１外部電極
３３ 第１外部電極導体層
４０ 第２外部電極
４３ 第２外部電極導体層
２１１ 第１厚肉部
２１２，２１２Ａ 第１薄肉部
２２１ 第２厚肉部
２２２，２２２Ａ 第２薄肉部
Ａ 第１薄肉部の断面積
Ｌ１ ビア電極と底面との距離
Ｌ２ 底面と天面との距離
Ｌ３ 第１薄肉部の配線長
Ｃ１，Ｃ２ ビア電極の中心軸
Ｃ２ａ 中心軸において軸方向に平行な方向に延びる部分
Ｃ２ｂ 中心軸において軸方向に直交する方向に延びる部分
Ｍ１，Ｍ２ 中心軸の中点
Ｓ１，Ｓ２ 第１薄肉部の面
Ｓ３ 第１厚肉部の端面
Ｓ４ 第２厚肉部の端面
Ｓ５ 第１薄肉部の傾斜面
Ｓ６ 第２薄肉部の傾斜面
ｔ 第１厚肉部の厚み
ｔ_ｒｅｖ 第１薄肉部の平均厚み
ｗ 第１厚肉部の幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】