特許 7435894 ポンプ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-13

(45)【発行日】2024-02-21

(54)【発明の名称】ポンプ装置

(51)【国際特許分類】

   F04B 43/04 20060101AFI20240214BHJP

   F04B 45/047 20060101ALI20240214BHJP

   F04B 53/08 20060101ALI20240214BHJP

   F04B 39/06 20060101ALI20240214BHJP

【ＦＩ】

F04B43/04 B

F04B45/047 C

F04B53/08 E

F04B39/06 A

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2023500911

(86)(22)【出願日】2022-02-17

(86)【国際出願番号】 JP2022006291

(87)【国際公開番号】W WO2022176932

(87)【国際公開日】2022-08-25

【審査請求日】2023-07-12

(31)【優先権主張番号】P 2021025858

(32)【優先日】2021-02-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000970

【氏名又は名称】弁理士法人 楓国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】川端 友徳

【審査官】大瀬 円

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／０３８５６５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平７－３０１１８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３３６６４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２０００６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｂ ４３／０４

Ｆ０４Ｂ ４５／０４７

Ｆ０４Ｂ ５３／０８

Ｆ０４Ｂ ３９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電素子の駆動によって振動する振動板が内部の空間に配置された筐体と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の一方主面と前記筐体によって囲まれた第１空間に連通する吸入口と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の他方主面と前記筐体によって囲まれた第２空間に連通する吐出口と、をそれぞれに備えた第１圧電ポンプおよび第２圧電ポンプと、
前記第１圧電ポンプの吐出口と前記第２圧電ポンプの吸入口とを連通させる接続管と、
を備え、
前記第１圧電ポンプと前記第２圧電ポンプとは、
前記第１圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面と、前記第２圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面とが対向するように、配置され、
前記第１圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、第１空間側の壁よりも高い熱伝導性を有し、
前記第２圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、第１空間側の壁よりも高い熱伝導性を有する、
ポンプ装置。

【請求項2】

前記第１圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、金属であり、
前記第１圧電ポンプの筐体における第１空間側の壁は、樹脂であり、
前記第２圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、金属であり、
前記第２圧電ポンプの筐体における第１空間側の壁は、樹脂である、
請求項１に記載のポンプ装置。

【請求項3】

圧電素子の駆動によって振動する振動板が内部の空間に配置された筐体と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の一方主面と前記筐体によって囲まれた第１空間に連通する吸入口と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の他方主面と前記筐体によって囲まれた第２空間に連通する吐出口と、をそれぞれに備えた第１圧電ポンプおよび第２圧電ポンプと、
前記第１圧電ポンプの吐出口と前記第２圧電ポンプの吸入口とを連通させる接続管と、
前記筐体よりも熱伝導性の高い熱伝導部材と、
を備え、
前記第１圧電ポンプと前記第２圧電ポンプとは、
前記第１圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面と、前記第２圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面とが対向するように、配置され、
前記熱伝導部材は、
前記第１圧電ポンプの第１空間側の外壁面と前記第２圧電ポンプの第１空間側の外壁面とによって挟持される、
ポンプ装置。

【請求項4】

圧電素子の駆動によって振動する振動板が内部の空間に配置された筐体と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の一方主面と前記筐体とによって囲まれた第１空間に連通する吸入口と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の他方主面と前記筐体とによって囲まれた第２空間に連通する吐出口と、をそれぞれに備えた第１圧電ポンプおよび第２圧電ポンプと、
前記第１圧電ポンプの吐出口と前記第２圧電ポンプの吸入口とを連通させる接続管と、
前記筐体よりも熱伝導性の高い熱伝導部材と、
を備え、
前記第１圧電ポンプと前記第２圧電ポンプとは、
前記第１圧電ポンプの筐体における第２空間側の外壁面と、前記第２圧電ポンプの筐体における第２空間側の外壁面とが対向するように、配置され、
前記熱伝導部材は、
前記第１圧電ポンプの第２空間側の外壁面と前記第２圧電ポンプの第２空間側の外壁面とによって挟持される、
ポンプ装置。

【請求項5】

前記第１圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、第１空間側の壁よりも高い熱伝導性を有し、
前記第２圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、第１空間側の壁よりも高い熱伝導性を有する、
請求項４に記載のポンプ装置。

【請求項6】

前記第１圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、金属であり、
前記第１圧電ポンプの筐体における第１空間側の壁は、樹脂であり、
前記第２圧電ポンプの筐体における第２空間側の壁は、金属であり、
前記第２圧電ポンプの筐体における第１空間側の壁は、樹脂である、
請求項５に記載のポンプ装置。

【請求項7】

前記熱伝導部材は、金属板である、
請求項３乃至請求項６のいずれかに記載のポンプ装置。

【請求項8】

前記熱伝導部材の面積は、前記第１圧電ポンプにおける前記熱伝導部材側の外壁面の面積、および、前記第２圧電ポンプにおける前記熱伝導部材側の外壁面の面積よりも大きい、
請求項３乃至請求項７のいずれかに記載のポンプ装置。

【請求項9】

前記熱伝導部材は、
前記第２圧電ポンプの吐出口から吐出される流体が当たる形状である、
請求項３乃至請求項８のいずれかに記載のポンプ装置。

【請求項10】

圧電素子の駆動によって振動する振動板が内部の空間に配置された筐体と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の一方主面と前記筐体によって囲まれた第１空間に連通する吸入口と、前記筐体の内部の空間における前記振動板の他方主面と前記筐体によって囲まれた第２空間に連通する吐出口と、をそれぞれに備えた第１圧電ポンプおよび第２圧電ポンプと、
前記第１圧電ポンプの吐出口と前記第２圧電ポンプの吸入口とを連通させる接続管と、
を備え、
前記第１圧電ポンプと前記第２圧電ポンプとは、
前記第１圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面と、前記第２圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面とが対向するように、配置され、
前記接続管は、前記筐体よりも熱伝導性が高い、
ポンプ装置。

【請求項11】

前記接続管は、金属である、
請求項１０に記載のポンプ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数のポンプを接続したポンプ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、薬液等の液体を噴霧するネブライザが記載されている。特許文献１に記載のネブライザは、噴霧のための駆動部として、超音波振動子を備える。

【0003】

このようなネブライザに対して、駆動部として、圧電ポンプを採用することが可能である。そして、所定の噴霧性能を実現するため、複数の圧電ポンプを用いることがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－７６２４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、圧電ポンプは、駆動時に発熱するので、放熱機構を用いることが好ましい。特に、ネブライザ等の圧電ポンプを装着する装置を小型化する場合、複数の圧電ポンプの配置領域を省スペースにすることが望ましい。

【0006】

したがって、本発明の目的は、複数の圧電ポンプを省スペースに配置しながら、複数の圧電ポンプを効果的に放熱する構成を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

この発明のポンプ装置は、第１圧電ポンプ、第２圧電ポンプ、および、接続管を備える。第１圧電ポンプおよび第２圧電ポンプは、圧電素子の駆動によって振動する振動板が内部の空間に配置された筐体と、筐体の内部の空間における振動板の一方主面と筐体によって囲まれた第１空間に連通する吸入口と、筐体の内部の空間における振動板の他方主面と筐体とによって囲まれた第２空間に連通する吐出口と、をそれぞれに備える。接続管は、第１圧電ポンプの吐出口と第２圧電ポンプの吸入口とを連通させる。

【0008】

第１圧電ポンプと第２圧電ポンプとは、第１圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面と、第２圧電ポンプの筐体における第１空間側の外壁面とが対向するように、配置される。

【0009】

この構成では、第１圧電ポンプと第２圧電ポンプとを、その筐体同士が近接するように配置しても、第１圧電ポンプの筐体と第２圧電ポンプの筐体における高温側の部分が対向せず、離間される。したがって、第１圧電ポンプの筐体からの熱と第２圧電ポンプの筐体からの熱とは、放散され易い。

【発明の効果】

【0010】

この発明によれば、複数の圧電ポンプを省スペースに配置しながら、効果的に放熱できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、第１の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【図2】図２は、第１の実施形態に係る圧電ポンプの分解斜視図である。

【図3】図３は、第１の実施形態に係る圧電ポンプにおける流体の流れを示す側断面の概略図である。

【図4】図４は、第２の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【図5】図５は、第３の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【図6】図６は、第４の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【図7】図７は、第５の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係るポンプ装置について、図を参照して説明する。図１は、第１の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。なお、本実施形態を含む各実施形態に示す図は、ポンプ装置の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載している。

【0013】

図１に示すように、ポンプ装置１は、圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、および、接続管８０を備える。圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂは、同じ構成を備える。圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとは、接続管８０によって、流体の流れに対して直列に接続される。圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとの組が、本発明の「第１圧電ポンプ」と「第２圧電ポンプ」の組に対応する。

【0014】

（圧電ポンプの構成例）
図２は、第１の実施形態に係る圧電ポンプの分解斜視図である。図３は、第１の実施形態に係る圧電ポンプにおける流体の流れを示す側断面の概略図である。なお、図２、図３では、圧電ポンプ１０Ａ、１０Ｂに代えて、圧電ポンプ１０として説明する。

【0015】

圧電ポンプ１０は、ポンプ本体２０、ベース筐体３０、および、蓋部材４０を備える。ベース筐体３０と蓋部材４０とによって、本発明の「筐体」が構成される。

【0016】

ポンプ本体２０は、振動板２１１、枠体２１２、支持部２１３、および、圧電素子２２を備える。振動板２１１は、平面視して円形である。枠体２１２は、振動板２１１の外周縁を囲む形状であり、振動板２１１の外周縁から離間する位置に配置される。支持部２１３は、振動板２１１と枠体２１２との間に配置される。支持部２１３は、梁形状であり、枠体２１２に対して振動板２１１を振動可能に支持する。

【0017】

圧電素子２２は、円板状の圧電体と駆動用電極とを備える。圧電素子２２は、振動板２１１における一方主面に設置される。圧電素子２２には、駆動信号印加電極２５１および駆動信号印加電極２５２によって、駆動信号が印加される。

【0018】

ベース筐体３０は、主部材３１、吸入側ノズル３２１、吐出側ノズル３２２、および、端子載置部３５を備える。主部材３１、吸入側ノズル３２１、吐出側ノズル３２２、および、端子載置部３５は、例えば、絶縁性の樹脂材料によって一体成型されている。

【0019】

主部材３１は、底壁３１１と側壁３１２とを備える。主部材３１は、底壁３１１と側壁３１２とによって囲まれる凹部３３を備える。凹部３３は、平面視した中央の凹部３３３、その外周に配置される凹部３３２、さらにその外周に配置され、側壁３１２の内縁に接する凹部３３１からなる。凹部３３３は、凹部３３２よりも深く、凹部３３２は、凹部３３１よりも深い。

【0020】

吸入側ノズル３２１および吐出側ノズル３２２は、主部材３１の側壁３１２の外面に取り付けられている。吸入側ノズル３２１に設けられた吸入口３２１０は、側壁３１２を厚み方向に貫通する貫通孔を通じて、主部材３１の凹部３３３に連通する。吐出側ノズル３２２に設けられた吐出口３２２０は、側壁３１２を厚み方向に貫通する貫通孔を通じて、凹部３３２に連通する。

【0021】

端子載置部３５は、主部材３１の側壁３１２の外面における吸入側ノズル３２１および吐出側ノズル３２２が接続される位置と異なる位置に配置される。端子載置部３５は、主部材３１の側壁３１２から外方に突出する形状である。端子載置部３５には、駆動信号印加電極２５１および駆動信号印加電極２５２の一方端が載置される。この駆動信号印加電極２５１および駆動信号印加電極２５２における端子載置部３５に載置される部分が、外部からの駆動信号の供給部となる。

【0022】

蓋部材４０は、平板であり、例えば、金属からなる。蓋部材４０の外形形状は、ベース筐体３０の側壁３１２の内側の形状、すなわち、凹部３３１の外形形状と略同じである。なお、蓋部材４０は、ベース筐体３０よりも熱伝導率が高ければ、金属以外の材料であってもよい。また、蓋部材４０の熱伝導率がベース筐体３０の熱伝導率よりも高ければ、蓋部材４０の全てが金属で、ベース筐体３０の全てが樹脂でなくてもよい。例えば、蓋部材４０とベース筐体３０とがそれぞれに金属部と樹脂部とを備えていても、蓋部材４０の熱伝導率がベース筐体３０の熱伝導率よりも高ければよい。ただし、蓋部材４０は、全てが金属であることによって、放熱効率がより向上し、有効である。

【0023】

ポンプ本体２０は、ベース筐体３０の凹部３３２に嵌め込まれる。この際、枠体２１２が凹部３３２の表面に当接し、振動板２１１および支持部２１３は、凹部３３２に当接しない。すなわち、振動板２１１および支持部２１３と凹部３３１の表面との間には、図３に示すように、吸引側空間１０１が形成される。吸引側空間１０１が、本発明の「第１空間」に対応する。

【0024】

蓋部材４０は、ベース筐体３０の凹部３３１にはめ込まれる。この際、凹部３３２の高さが調整されていることによって、蓋部材４０とポンプ本体２０の振動板２１１および支持部２１３との間には、図３に示すように、吐出側空間１０２が形成される。吐出側空間１０２が、本発明の「第２空間」に対応する。

【0025】

このような構成によって、ポンプ本体２０は、振動板２１１が振動可能な状態で、筐体の内部空間内に配置される。そして、筐体における吸引側空間１０１側の外壁面が吸入側外壁面１３０となり、吐出側空間１０２側の外壁面が吐出側外壁面１４０となる。

【0026】

このような構成の圧電ポンプ１０に対して、駆動信号印加電極２５１および駆動信号印加電極２５２によって駆動信号が印加されることで、圧電素子２２の圧電体がひずみ、振動板２１１がベンディング振動する。このベンディング振動によって、主として吸引側空間１０１の圧力分布が変化する。

【0027】

これにより、図３の太矢印に示すように、流体（例えば、空気）は、吸入側ノズル３２１の吸入口３２１０から、吸引側空間１０１に流入する。吸引側空間１０１に流入した流体は、支持部２１３の間の連通口１０３を通じて、吐出側空間１０２に搬送される。吐出側空間１０２に搬送された流体は、吐出側ノズル３２２の吐出口３２２０に搬出され、外部に吐出される。

【0028】

この際、圧電素子２２の駆動によって、圧電素子２２が発熱し、筐体の内部空間の温度が上昇する。特に、流体の搬送方向の下流側となる吐出側空間１０２の温度は大きく上昇し易い。

【0029】

（圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂの構成）
図１に示すように、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとは、接続管８０によって接続される。より具体的には、圧電ポンプ１０Ａの吐出側ノズル３２２Ａと、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側ノズル３２１Ｂとは、接続管８０によって接続される。圧電ポンプ１０Ａの吐出側ノズル３２２Ａの吐出口と、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側ノズル３２１Ｂの吸入口とは、接続管８０の空洞を通じて連通する。

【0030】

この構成において、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂを駆動する。これにより、圧電ポンプ１０Ａの吸入側ノズル３２１Ａの吸入口から流体が、圧電ポンプ１０Ａに吸入される。圧電ポンプ１０Ａは、吸入された流体を、圧電ポンプ１０Ａの吐出側ノズル３２２Ａの吐出口から接続管８０に吐出する。接続管８０に吐出された流体は、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側ノズル３２１Ｂの吸入口から、圧電ポンプ１０Ｂに吸入される。圧電ポンプ１０Ｂは、吸入された流体を、圧電ポンプ１０Ｂの吐出側ノズル３２２Ｂの吐出口から外部に吐出する。

【0031】

このような構成によって、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとによって流体が搬送されるので、圧電ポンプ１０Ａまたは圧電ポンプ１０Ｂを単体で用いるよりも、大きな流量および圧力を実現できる。

【0032】

（圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとの配置態様）
図３を参照し、図１に示すように、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂは、圧電ポンプ１０Ａの吸入側外壁面１３０Ａと、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側外壁面１３０Ｂとが対向するように、配置される。より具体的には、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとは、圧電ポンプ１０Ａの吸入側外壁面１３０Ａと、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側外壁面１３０Ｂとが対向、近接し、且つ、互いに略平行になるように、配置される。

【0033】

言い換えれば、圧電ポンプ１０Ａは、吐出側外壁面１４０Ａが圧電ポンプ１０Ｂ側と反対側を向くように配置される。圧電ポンプ１０Ｂは、吐出側外壁面１４０Ｂが圧電ポンプ１０Ａ側と反対側を向くように配置される。

【0034】

上述のように、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂは、吐出側空間１０２の温度が上昇し易い。したがって、上述のような圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとの配置を用いることによって、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂが近接対向する場合であっても、それぞれの温度上昇し易い箇所が、対向、近接することを防止できる。また、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂの温度上昇し易い箇所の外壁面（吐出側外壁面１４０Ａ、１４０Ｂ）は、ポンプ装置１（圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、および、接続管８０からなる構造体）における外方に露出する。

【0035】

これにより、ポンプ装置１は、熱が籠りにくく、効果的な放熱を実現できる。さらに、この構成では、蓋部材４０が金属であるので、圧電ポンプ１０Ａ、１０Ｂの吐出側空間１０２の熱は、蓋部材４０を通じて、吐出側外壁面に効果的に伝搬される。したがって、吐出側空間１０２の熱は、より効果的に外部に放熱される。

【0036】

また、この構成では、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとが、互いの吐出側ノズルと吸入側ノズルとが向かい合うように配置されていない。したがって、ポンプ装置１として一方向に大幅に長い形状とならず、空間的にまとまった形状となり、ポンプ装置１を省スペース化できる。空間的にまとまった形状とは、直交三方向の寸法の差が小さいことを意味する。

【0037】

さらに、上述の構成では、接続管８０が金属である。これにより、接続管８０においても放熱できる。したがって、ポンプ装置１は、さらに効果的に放熱できる。

【0038】

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係るポンプ装置について、図を参照して説明する。図４は、第２の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【0039】

図４に示すように、第２の実施形態に係るポンプ装置１Ａは、第１の実施形態に係るポンプ装置１に対して、熱伝導部材７０を追加した点で異なる。ポンプ装置１Ａの他の構成は、ポンプ装置１と同様であり同様の箇所の説明は、省略する。

【0040】

ポンプ装置１Ａは、熱伝導部材７０を備える。熱伝導部材７０は、例えば、金属板である。熱伝導部材７０は、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとの間に配置される。より具体的には、熱伝導部材７０は、圧電ポンプ１０Ａの吸入側外壁面１３０Ａと、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側外壁面１３０Ｂとに挟持される。

【0041】

このような構成によって、圧電ポンプ１０Ａは、吸入側外壁面１３０Ａから熱伝導部材７０を通じて、放熱できる。同様に、圧電ポンプ１０Ｂは、吸入側外壁面１３０Ｂから熱伝導部材７０を通じて、放熱できる。

【0042】

したがって、圧電ポンプ１０Ａは、さらに効果的に放熱できる。

【0043】

なお、熱伝導部材７０の平面面積は、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂを平面視した面積よりも大きいことが好ましい。そして、平面視において、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂは、熱伝導部材７０に重なることが好ましい。これにより、圧電ポンプ１０Ｂは、さらに効果的に放熱できる。

【0044】

また、熱伝導部材７０の熱伝導率は、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂの熱伝導率よりも高ければ、金属に限るものではない。なお、ここでの圧電ポンプ１０Ａ、１０Ｂの熱伝導率とは、熱伝導部材７０が対面するベース筐体３０の熱伝導率である。

【0045】

また、図４の構成では、熱伝導部材７０が圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂに直接接ししているが、間接的に接していたり、隙間等があってもよい。間接的に接する場合、例えば、熱伝導性を有するグリースや接着剤を用いればよい。

【0046】

また、熱伝導部材７０は、圧電ポンプ１０Ｂの吐出側ノズル３２２Ｂから吐出される流体がその表面を通過するような形状、配置とするとよい。これにより、熱伝導部材７０は、ポンプ装置１Ａから吐出された流体によっても放熱される。

【0047】

［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態に係るポンプ装置について、図を参照して説明する。図５は、第３の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【0048】

図５に示すように、第３の実施形態に係るポンプ装置１Ｂは、第２の実施形態に係るポンプ装置１Ａに対して、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂの配置において異なる。ポンプ装置１Ｂの他の構成は、ポンプ装置１Ａと同様であり同様の箇所の説明は、省略する。

【0049】

ポンプ装置１Ｂでは、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとは、圧電ポンプ１０Ａの吐出側外壁面１４０Ａと、圧電ポンプ１０Ｂの吐出側外壁面１４０Ｂとが対向、近接し、且つ、互いに略平行になるように、配置される。

【0050】

熱伝導部材７０は、吐出側外壁面１４０Ａと吐出側外壁面１４０Ｂとに挟持される。

【0051】

このような構成によって、ポンプ装置１Ｂは、吐出側外壁面１４０Ａからの熱、および、吐出側外壁面１４０Ｂからの熱を、熱伝導部材７０を通じて、外部に効果的に放熱できる。

【0052】

［第４の実施形態］
本発明の第４の実施形態に係るポンプ装置について、図を参照して説明する。図６は、第４の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【0053】

図６に示すように、第４の実施形態に係るポンプ装置１Ｃは、第１の実施形態に係るポンプ装置１に対して、圧電ポンプ１０Ａおよび圧電ポンプ１０Ｂの配置において異なる。ポンプ装置１Ｃの他の構成は、ポンプ装置１と同様であり同様の箇所の説明は、省略する。

【0054】

ポンプ装置１Ｃでは、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとが平行に配置されておらず、所定の角度をなすように配置される。例えば、図６に示すように、圧電ポンプ１０Ａの吸入側外壁面１３０Ａと圧電ポンプ１０Ｂの吸入側外壁面１３０Ｂとは、９０°よりも小さな角度を成す。

【0055】

このような構成であっても、ポンプ装置１Ｃは、効果的に放熱できる。

【0056】

［第５の実施形態］
本発明の第５の実施形態に係るポンプ装置について、図を参照して説明する。図７は、第５の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す側面図である。

【0057】

図７に示すように、第５の実施形態に係るポンプ装置１Ｄは、３個の圧電ポンプを用いる点で、第１の実施形態に係るポンプ装置１および第３の実施形態に係るポンプ装置１Ｂと異なる。ポンプ装置１Ｄの他の構成は、ポンプ装置１、１Ｂと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

【0058】

ポンプ装置１Ｄは、圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、圧電ポンプ１０Ｃ、接続管８１、接続管８２、および、熱伝導部材７０を備える。圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、および、圧電ポンプ１０Ｃは、同じ構成を備える。

【0059】

圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとは、圧電ポンプ１０Ａの吸入側外壁面１３０Ａと圧電ポンプ１０Ｂの吸入側外壁面１３０Ｂとが対向、近接するように配置される。圧電ポンプ１０Ｂと圧電ポンプ１０Ｃとは、圧電ポンプ１０Ｂの吐出側外壁面１４０Ｂと圧電ポンプ１０Ｃの吐出側外壁面１４０Ｃとが対向、近接するように配置される。圧電ポンプ１０Ａは、吐出側外壁面１４０Ａが外方に露出する。圧電ポンプ１０Ｃは、吸入側外壁面１３０Ｃが外方に露出する。

【0060】

圧電ポンプ１０Ａの吐出側ノズル３２２Ａと、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側ノズル３２１Ｂとは、接続管８１によって、接続、連通される。圧電ポンプ１０Ｂの吐出側ノズル３２２Ｂと、圧電ポンプ１０Ｃの吸入側ノズル３２１Ｃとは、接続管８２によって、接続、連通される。

【0061】

熱伝導部材７０は、圧電ポンプ１０Ｂの吐出側外壁面１４０Ｂと圧電ポンプ１０Ｃの吐出側外壁面１４０Ｃとに挟持される。

【0062】

この構成において、圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、および、圧電ポンプ１０Ｃを駆動する。これにより、圧電ポンプ１０Ａの吸入側ノズル３２１Ａの吸入口から流体が、圧電ポンプ１０Ａに吸入される。圧電ポンプ１０Ａは、吸入された流体を、圧電ポンプ１０Ａの吐出側ノズル３２２Ａの吐出口から接続管８１に吐出する。

【0063】

接続管８１に吐出された流体は、圧電ポンプ１０Ｂの吸入側ノズル３２１Ｂの吸入口から、圧電ポンプ１０Ｂに吸入される。圧電ポンプ１０Ｂは、吸入された流体を、圧電ポンプ１０Ｂの吐出側ノズル３２２Ｂの吐出口から接続管８２に吐出する。

【0064】

接続管８２に吐出された流体は、圧電ポンプ１０Ｃの吸入側ノズル３２１Ｃの吸入口から、圧電ポンプ１０Ｃに吸入される。圧電ポンプ１０Ｃは、吸入された流体を、圧電ポンプ１０Ｃの吐出側ノズル３２２Ｃの吐出口から外部に吐出する。

【0065】

このような構成によって、圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、および、圧電ポンプ１０Ｃによって流体が搬送されるので、さらに大きな流量を実現できる。

【0066】

また、圧電ポンプ１０Ａ、圧電ポンプ１０Ｂ、および、圧電ポンプ１０Ｃが上述の配置態様であることで、ポンプ装置１Ｄとして一方向に大幅に長い形状とならず、空間的にまとまった形状となり、ポンプ装置１Ｄを省スペース化できる。

【0067】

また、上述の配置態様によって、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとでは、吐出側外壁面１４０Ａと吐出側外壁面１４０Ｂとが近接、対向しない。さらに、圧電ポンプ１０Ｂと圧電ポンプ１０Ｃとでは、吐出側外壁面１４０Ｂと吐出側外壁面１４０Ｃとが近接、対向するが、熱伝導部材７０を挟持する。

【0068】

これにより、ポンプ装置１Ｄは、３個の圧電ポンプ１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃを備える構成であっても、効果的に放熱できる。

【0069】

なお、ポンプ装置１Ｄにおいて、圧電ポンプ１０Ａと圧電ポンプ１０Ｂとの間にも、熱伝導部材７０を配置してもよい。

【0070】

また、この構成を適用することで、圧電ポンプの個数が４個以上であっても、ポンプ装置は、効果的な放熱を実現できる。

【0071】

なお、上述の各実施形態の構成は、適宜組合せが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。

【符号の説明】

【0072】

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ：ポンプ装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ：圧電ポンプ
２０：ポンプ本体
２２：圧電素子
３０：ベース筐体
３１：主部材
３３：凹部
３５：端子載置部
４０：蓋部材
７０：熱伝導部材
８０、８１、８２：接続管
１０１：吸引側空間
１０２：吐出側空間
１０３：連通口
１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ：吸入側外壁面
１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４０Ｃ：吐出側外壁面
２１１：振動板
２１２：枠体
２１３：支持部
２５１、２５２：駆動信号印加電極
３１１：底壁
３１２：側壁
３２１、３２１Ａ、３２１Ｂ、３２１Ｃ：吸入側ノズル
３２２、３２２Ａ、３２２Ｂ、３２２Ｃ：吐出側ノズル
３３１、３３２、３３３：凹部
３２１０：吸入口
３２２０：吐出口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】