特許 7438444 超音波映像装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-15

(45)【発行日】2024-02-26

(54)【発明の名称】超音波映像装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 29/06 20060101AFI20240216BHJP

【ＦＩ】

G01N29/06

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2023198836

(22)【出願日】2023-11-24

【審査請求日】2023-11-24

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000233044

【氏名又は名称】株式会社日立パワーソリューションズ

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 真治

(72)【発明者】

【氏名】北見 薫

(72)【発明者】

【氏名】冨樫 幸太

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 正一

【審査官】横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２１５１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３５１７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１０７３８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／００４３２８５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２９／００ － Ｇ０１Ｎ ２９／５２

Ｇ０１Ｂ １７／００ － Ｇ０１Ｂ １７／０８

Ｇ０１Ｈ １／００ － Ｇ０１Ｈ １７／００

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検体に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置であって、
水中において前記被検体を固定する試料台を備え、
前記試料台は、開口部を有し、
前記開口部の縁部には、前記被検体を把持する把持部材を備え、
前記開口部は、前記被検体より大きく構成され、前記把持部材によって前記被検体を把持することで前記被検体の外周部と前記開口部の縁部との間に気泡排出部が形成されることを特徴とする超音波映像装置。

【請求項2】

請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記気泡排出部は、前記把持部材の配設位置を除く位置に形成されることを特徴とする超音波映像装置。

【請求項3】

請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記把持部材は３個以上備え、かつ、当該把持部材が等間隔で前記開口部の縁部に配設されることを特徴とする超音波映像装置。

【請求項4】

請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記把持部材は、前記被検体の下側に配して前記被検体を載置する受け部材と、前記被検体の上側に配して前記被検体を押える押さえ部材と、によって構成されることを特徴とする超音波映像装置。

【請求項5】

請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記試料台は、試料台保持部に保持され、
前記試料台保持部は、前記試料台が浸水される水槽に固定されることを特徴とする超音波映像装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超音波映像装置に関する。

【背景技術】

【0002】

超音波は気体には伝わりにくい性質があるため、超音波映像装置では、一般に、水を超音波伝達用媒質として用い、被検体および超音波探触子を水浸させて検査が行われる。この際、被検体に気泡が付着すると、気泡付着部の被検体内部の検査が困難になるという問題がある。また、超音波検査後に検査結果で気泡が確認された場合には、気泡を除去した後に再検査を実施する必要があるという問題がある。これらの問題を解決するために、以下の発明が提案されている。

【0003】

例えば、特許文献１に示す超音波検査装置は、水を収容する水槽と、水槽内に配置され、被検体を載せる試料台と、上下方向に対向して配置され、被検体に向けて超音波を照射する第１超音波探触子および被検体を透過した超音波を受信する第２超音波探触子と、を有し、試料台の下面側に親水性被膜が形成されたものである。さらに、前記試料台の下面側には水を噴出する噴出部を有している。

【0004】

また、特許文献２に示す超音波検査装置は、超音波の照射及び受信を行う超音波探触子と、超音波による検査が行われる検査対象物（被検体）が載置される試料台と、試料台が浸漬される液体媒質（水）が貯留される水槽と、試料台に対して、液体媒質を吐出するノズルと、を有し、超音波探触子は検査範囲を移動し、ノズルは超音波探触子の移動に追従して移動するものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１４－２１５１５４号公報

【文献】特開２０１９－２１９２３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１及び２に記載の超音波検査装置は、被検体を載せる試料台の下面に残存する気泡に対し、液体を噴出することで気泡を排除するものである。この手法では、被検体を試料台に設置する際に被検体周囲に付着した細かい気泡を排出することが難しい。

【0007】

本発明は、前記した従来の課題を解決するものであり、試料台に搭載された被検体の周囲に付着した細かい気泡を簡易に排出できる超音波映像装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、被検体に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置であって、水中において前記被検体を固定する試料台を備え、前記試料台は、開口部を有し、前記開口部の縁部には、前記被検体を把持する把持部材を備え、前記開口部は、前記被検体より大きく構成され、前記把持部材によって前記被検体を把持することで前記被検体の外周部と前記開口部の縁部との間に気泡排出部が形成されることを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、試料台に搭載された被検体の周囲に付着した細かい気泡を簡易に排出できる超音波映像装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係る超音波映像装置を示す構成図である。

【図2】本発明の実施形態に係る超音波映像装置を示す斜視図である。

【図3】試料台を試料台保持部に取り付けた状態を示す斜視図である。

【図4】図３の試料台保持部から押さえ部材を取り外した状態を示す斜視図である。

【図5】図４の受け部材の拡大図である。

【図6】試料台保持部に試料台を保持させた状態を示す斜視図である。

【図7】ウェハが取り付けられた試料台を試料台保持部に取り付けた状態を示す上面図である。

【図8】ウェハを把持した試料台を試料台保持部に装着する途中の状態を示す上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されることなく、本発明の技術的な概念の中で種々の変形例や応用例もその範囲に含むものである。

【0012】

図１は、本発明の実施形態に係る超音波映像装置を示す構成図、図２は、本発明の実施形態に係る超音波映像装置を示す斜視図である。
図１に示すように、超音波映像装置１は、超音波伝達用媒質としての水Ｗ中において、超音波により非破壊で被検体内部を測定し、その被検体の探査映像を表示したり、内部欠陥の合否を判定したりするものである。

【0013】

超音波映像装置１は、水槽１０内に配置され、ウェハ２（被検体）を載せる試料台２０と、ウェハ２の上側に設けられる第一超音波探触子４０と、ウェハ２の下側に設けられる第二超音波探触子５０と、を備えて構成されている。第一超音波探触子４０と第二超音波探触子５０とは、上下方向（Ｚ方向）において対向する位置に配置される。なお、ウェハ２は、例えば、半導体集積回路の材料となる円形の薄板状のものである。

【0014】

第一超音波探触子４０は、ウェハ２に向けて超音波を照射するもの（照射用プローブ）である。第二超音波探触子５０は、ウェハ２を透過した超音波を受信するもの（受信用プローブ）である。なお、本実施形態とは逆に、第二超音波探触子５０を照射用プローブ、第一超音波探触子４０を受信用プローブとしてもよい。

【0015】

試料台２０は、水槽１０内において試料台保持部３０によって保持されて水平に配置されている。なお、水槽１０内の水は、純水に限定されるものではなく、水道水であってもよく、特に限定されるものではない。また、水槽１０の形状は、本実施形態のように矩形箱状に限定されるものではなく、例えば有底円筒形状であってもよい。また、試料台２０の構成と機能については、後に詳述する。

【0016】

第一超音波探触子４０および第二超音波探触子５０は、被検体であるウェハ２を間に挟んで上下に配置され、駆動装置（不図示）に接続された、Ｘ軸走査部６１、Ｙ軸走査部６２（図２参照）およびＺ軸走査部６３によって移動可能に構成されている。

【0017】

図２に示すように、Ｘ軸走査部６１は、水槽１０の上方に設けられ、第一超音波探触子４０および第二超音波探触子５０を共にＸ軸方向（左右方向）に動作させるものである。

【0018】

Ｙ軸走査部６２は、水槽１０の外側のＸ軸方向の両側方に一対となって設けられ、第一超音波探触子４０および第二超音波探触子５０を共にＹ軸方向（前後方向）に動作させるものである。

【0019】

Ｚ軸走査部６３は、スライダ６５を介してＸ軸走査部６１に取り付けられ、第一超音波探触子４０をＺ軸方向（上下方向）に動作させるものである。なお、第一超音波探触子４０は、プローブホルダ６４を介してＺ軸走査部６３に取り付けられている。

【0020】

スライダ６５には、第二超音波探触子５０が取り付けられたアーム６６が設けられている。アーム６６は、Ｚ軸方向の下方に向けて延び、Ｙ軸方向（水平方向）に向けて延びている。アーム６６の先端には、第一超音波探触子４０と対向する位置に第二超音波探触子５０が位置している。なお、第二超音波探触子５０は、Ｚ軸方向に動作しないようになっている。なお、本実施形態では、第二超音波探触子５０がＺ軸方向には固定された構成であるが、第二超音波探触子５０が第一超音波探触子４０と共にＺ軸方向（上下方向）に動作する構成であってもよい。

【0021】

ウェハ２は、試料台２０に保持され、水槽１０内に溜められた水Ｗ中に配置される。また、第一超音波探触子４０は、ウェハ２のＺ軸方向の上側に配置され、第二超音波探触子５０は、ウェハ２のＺ軸方向の下側に配置される。

【0022】

ウェハ２が取り付けられた試料台２０は、該試料台２０を保持する試料台保持部３０に保持される。この試料台保持部３０は、水Ｗ中に位置し、脚部２２を介して水槽１０の底部に固定されている。また、試料台保持部３０と水槽１０の底面との間には、第二超音波探触子５０がＸ軸方向およびＹ軸方向に移動するためのスペースが形成されている。なお、脚部２２を試料台保持部３０の四隅に設けた場合を例に挙げて説明したが、試料台保持部３０を水槽１０に固定できる構成であれば本実施形態に限定されるものではない。

【0023】

図３は、試料台を試料台保持部に取り付けた状態を示す斜視図、図４は、図３の試料台保持部から押さえ部材を取り外した状態を示す斜視図、図５は、図４の受け部材の拡大図である。なお、図３ないし図５は、いずれも試料台２０にウェハ２が取り付けられていない状態を図示している。
図３および図４に示すように、試料台２０は、薄板に円形の開口部２１が形成されたものである。また、試料台２０の厚さは、ウェハ２を載せた場合に安定的に支持可能な剛性を確保できる厚さであり、例えば２～１０ｍｍ程度の厚さに設定される。また、試料台２０の材料としては、アルミニウム、ステンレス等の強度がある部材が好ましい。このような材料を使用することで、水Ｗ中で第一超音波探触子４０および第二超音波探触子５０（プローブ）が動く際の振動の影響を受けにくくすることができる。また、試料台２０の形状は、矩形状に限定されるものではなく、例えば楕円形状であってもよい。

【0024】

試料台２０は、開口部２１にウェハ２を保持するための受け部材７１が設けられている。また、試料台２０は、開口部２１の上面側の縁部にウェハ２を押さえるための押さえ部材７２が設けられている。この受け部材７１と押さえ部材７２とによってウェハ２の縁が挟み込まれることによって、ウェハ２が開口部２１内において保持される。開口部２１の縁部には、ウェハ２を安定して把持するように、３個の対となる受け部材７１および押さえ部材７２（以下、まとめて把持部材という。）を配設する。なお、把持部材は、少なくとも３個設けられていればウェハ２を安定して保持できるが、ウェハ２の大きさに合わせて２個以下であっても、４個以上であってもよい。

【0025】

また、押さえ部材７２は、開口部２１の縁に沿って細長く形成され、受け部材７１と上下方向に対向する位置に配置される。また、押さえ部材７２は、試料台２０の開口部２１の縁部にねじ固定されている。本実施形態では、押さえ部材７２の長手方向の両端において固定されている。

【0026】

試料台保持部３０は、試料台２０を保持するものであり、試料台２０の下側を押さえる試料台下側押さえ３１と、試料台２０の上側を押さえる試料台上側押さえ３２と、を備えて構成されている。このように、試料台保持部３０は、コの字状に形成され、試料台２０のＸ軸方向の両側が保持される。すなわち、試料台下側押さえ３１は、試料台２０のＸ軸方向の両側の縁に沿って配置される下側押さえ部３１ａと、下側押さえ部３１ａのＹ軸方向の一端（奥側の端部）同士を繋ぐ繋ぎ部３１ｂと、を有している。試料台上側押さえ３２は、試料台２０のＸ軸方向の両側の縁に沿って設けられるとともに、下側押さえ部３１ａに重ねて設けられる。また、試料台上側押さえ３２は、下側押さえ部３１ａ上にねじ固定されている。また、試料台保持部３０の繋ぎ部３１ｂの上面には、試料台２０の後端が当接して該試料台２０の挿入位置を決める位置決め部材３３が設けられている。

【0027】

図５に示すように、受け部材７１は、開口部２１の周壁面２１ａから径方向内側に向けて突出して形成されている。また、受け部材７１は、台形状に形成され、内径側の先端にウェハ２の外周が当接する当接部７１ａが形成されている。また、受け部材７１には、当接部７１ａの下端に径方向内側に突出してウェハ２を支持する支持部７１ｂが形成されている。支持部７１ｂは、つば形状であり、ウェハ２の縁部の下面に当接して支持するようになっている。このように３つの受け部材７１を設けることによって開口部２１に対するウェハ２の位置決めが行われ、ウェハ２の外周と開口部２１の周壁面２１ａとの間に隙間Ｓ（図１参照）が形成される。

【0028】

図６は、試料台保持部に試料台を保持させた状態を示す斜視図である。なお、図６では、試料台保持部３０のＸ軸方向の一方をＹ軸方向の手前側から見た状態を図示している。
図６に示すように、試料台２０は、Ｙ軸方向の両端を除く部分が凹状に切り欠かれ、Ｙ軸方向の両端に、試料台保持部３０によって保持される被保持部２０ａ，２０ａが形成されている。

【0029】

試料台上側押さえ３２は、Ｙ軸方向の両端を除く部分が凹状に切り欠かれ、Ｙ軸方向の両端に前記被保持部２０ａに重なるように配置される押さえ部３２ａが形成されている。この押さえ部３２ａの内側には、試料台２０の被保持部２０ａがスライド可能に案内される切欠き３２ｂが形成されている。すなわち、被保持部２０ａは、Ｙ軸方向の手前側から挿入され、スライドしながら試料台保持部３０の所定の位置まで挿入されるようになっている。なお、本実施形態では、Ｘ軸方向の一方のみを図示して説明したが、他方についても同様に構成されている。

【0030】

図７は、ウェハが取り付けられた試料台を試料台保持部に取り付けた状態を示す上面図である。
図７に示すように、開口部２１の直径Ｒ１は、ウェハ２の直径Ｒ２より大きく形成されている。これにより、試料台２０に形成され開口部２１の（縁部）とウェハ２の外周との間に気泡を排除するための隙間Ｓ（気泡排出部）が形成されるようになっている。この隙間Ｓは、開口部２１の軸方向（紙面に対して垂直方向）に貫通して形成される円弧形状の孔である。なお、受け部材７１が設けられる位置と押さえ部材７２が設けられる位置は、上下方向（Ｚ軸方向）に貫通する孔が塞がれている。つまり、開口部２１は、ウェハ２を把持することで把持部材の配置位置を除くウェハ２の外周部に隙間Ｓを有している。隙間Ｓが大きいほど気泡の排除が容易になる一方、ウェハ２を保持するために、把持部材を大きめに構成する必要がある。

【0031】

また、ウェハ２は、受け部材７１の当接部７１ａ（図５参照）に当接することで、開口部２１内においてウェハ２の位置決めが行われ、開口部２１とウェハ２との間に隙間Ｓを確実に確保することができる。なお、隙間Ｓの寸法（開口部２１の縁部とウェハ２の外周部との間の半径方向の距離）は、効果を損なわない範囲にて、目的等に応じて適宜設定される。

【0032】

また、ウェハ２は、押さえ部材７２によって押さえられることで、ウェハ２が開口部２１から脱落しないようになっている。この押さえ部材７２は、周方向に延びて形成される細長い板形状であり、径方向の内側にウェハ２の外周の曲率に沿った形状の湾曲部７２ａが形成されている。これにより、ウェハ２と押さえ部材７２とがＺ軸方向（紙面に対して垂直方向）において重なる領域を減らすことができ、ウェハ２の検査範囲を広げることができる。

【0033】

なお、受け部材７１および押さえ部材７２の材質は、ウェハ２を傷つけないものであれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、アクリルなどの樹脂部材を挙げることができる。また、図示していないが、押さえ部材７２をネジ固定する際のねじ穴をウェハ２（被検体）の方向に長い長孔とすることで、押さえ部材７２が長孔の範囲で移動可能となるので、ウェハ２を設置する際の作業が容易になる。

【0034】

また、試料台上側押さえ３２の押さえ部３２ａには、試料台２０を保持するための板ばね８０が設けられている。試料台２０の被保持部２０ａ（図６参照）が押さえ部３２ａの位置に挿入されることで、板ばね８０によって被保持部２０ａが保持される。これによって、試料台２０が試料台保持部３０に安定して保持される。なお、本実施形態では、板ばね８０が試料台２０の四隅に設けた場合を例に挙げて説明したが、試料台２０を保持できる構成であれば、手前側の２箇所であってもよく、奥側の２箇所であってもよく、板ばね８０の個数や位置は限定されない。

【0035】

図８は、ウェハを把持した試料台を試料台保持部に装着する途中の状態を示す上面図である。
図８に示すように、ウェハ２を試料台２０に保持させた後、試料台２０を試料台保持部３０のＹ軸方向の手前側に水平に配置し、試料台保持部３０の手前側から奥側の被保持部２０ａを挿入してＹ軸方向の奥側に向けてスライドさせる。これにより、被保持部２０ａは、下側押さえ部３１ａと手前側の押さえ部３２ａとの間をＹ軸方向の奥側に向けて案内されながら挿入される。そして、被保持部２０ａが押さえ部３２ａを通過した後、奥側の被保持部２０ａがＹ軸方向の奥側の下側押さえ部３１ａと押さえ部３２ａとの間に到達するとともに、Ｙ軸方向告の手前側の被保持部２０ａが手前側の押さえ部３２ａに到達する。この状態から試料台２０をさらに奥側にスライドさせて押し込むことで、四隅のすべての被保持部２０ａが下側押さえ部３１ａと押さえ部３２ａとの間に挿入され、それぞれ板ばね８０によって被保持部２０ａが保持される。

【0036】

次に、ウェハ２を試料台２０に設置する手順から試料台２０を試料台保持部３０に設置する手順までを示す。
まず、ウェハ２を試料台２０の開口部２１に載置する。これにより、ウェハ２の縁部が受け部材７１に支持され、ウェハ２の外周面が当接部７１ａに当接することで、ウェハ２の外周と開口部２１との間に隙間Ｓが形成された状態でウェハ２が開口部２１に位置決めされる（図５、図７参照）。そして、開口部２１の縁部に押さえ部材７２がウェハ２の縁に重なるように配置して、ねじを用いて押さえ部材７２を試料台２０に固定する。このようにして、ウェハ２を把持部材（受け部材７１と押さえ部材７２）によって試料台２０に固定する。

【0037】

そして、ウェハ２を固定した試料台２０を水槽１０の水Ｗ中に浸し、試料台２０を傾斜等させてウェハ２の下面に滞った気泡を排除する。なお、前記の手順でも排除できずに残った気泡が確認された場合には、気泡が確認された箇所に水流をブローすることで気泡を排除する。とりわけ、ウェハ２と開口部２１との間に滞った細かい気泡は、水流により隙間Ｓ（気泡排出部）を通して排除する。なお、隙間Ｓが狭い方が、ブローした際の水流は速くなり、隙間Ｓが広い方がブローした際の水流は遅くなる。

【0038】

そして、ウェハ２が把持された試料台２０を試料台保持部３０の手前側において水平にした状態で、試料台保持部３０の手前側からスライドして嵌め込むことで、試料台２０を試料台保持部３０に固定する。なお、試料台保持部３０は、水槽１０内に固定されている（図２参照）。

【0039】

このように、水槽１０の外で試料台２０にウェハ２を固定してから、試料台２０を水Ｗ中に入れて、試料台保持部３０にスライドしてはめ込んで固定することができるので、ウェハ２を固定する際の作業性が向上する。

【0040】

次に、超音波映像装置１の動作および作用について説明する。
水Ｗ中に検査対象となるウェハ２（被検体）が投入されると、ウェハ２の内部の検査のために、第一超音波探触子４０および第二超音波探触子５０が、試料台２０に対して水平移動してウェハ２上を走査する。なお、検査前は、第一超音波探触子４０が第二超音波探触子５０に対して上方に離れて退避しており、ウェハ２が所定の位置に配置されると、第一超音波探触子４０を原点位置から焦点位置まで下降させる。

【0041】

超音波映像装置１は、ウェハ２（被検体）の各部の音響インピーダンスによりウェハ２を透過した後の超音波の強弱が異なる性質を利用して、受信した超音波の強弱を画像化する。これにより、ウェハ２内部の状態を非破壊で検査することができる。

【0042】

次に、超音波映像装置１の運用方法について説明する。
本実施形態の気泡排出機構を有する超音波映像装置１において所望の効果が得られるようにするためには、超音波映像装置１を本運用する前段階においてテスト運用を行う。
このテスト運用では、試料台２０に設ける開口部２１の面積および形状を、検査対象となる被検体（ウェハ２）の面積および形状に応じて設定する。つまり、被検体（ウェハ２）を把持部材（受け部材７１および押さえ部材７２）によって把持した際に、被検体（ウェハ２）と開口部２１との間に気泡を排出できる十分な大きさの隙間Ｓ（気泡排出部）が形成されるように開口部２１の面積および形状を設定する。このテスト運用を経ることで、本運用においても気泡が被検体（ウェハ２）の周囲に留まるのを防ぐことが可能となり、運用効率の向上が可能となる。

【0043】

以上説明したように、本実施形態の超音波映像装置１は、ウェハ２に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置１であって、水Ｗ中においてウェハ２を固定する試料台２０を備える。試料台２０は、開口部２１を有し、開口部２１の縁部には、ウェハ２を把持する把持部材（受け部材７１および押さえ部材７２）を備える。開口部２１は、ウェハ２より大きく構成され、把持部材によってウェハ２を把持することでウェハ２の外周部と開口部２１の縁部との間に隙間Ｓ（気泡排出部）が形成される。これによれば、試料台２０に搭載されたウェハ２の周囲に付着した細かい気泡を隙間Ｓから簡易に排出できる。

【0044】

また、本実施形態では、隙間Ｓ（気泡排出部）が把持部材の配設位置を除く位置に形成される。これによれば、ウェハ２を安定して把持できるように把持部材を構成できる。

【0045】

また、本実施形態は、把持部材（受け部材７１および押さえ部材７２）は３個以上備え、かつ、当該把持部材が等間隔で開口部２１の縁部に配設されている。これによれば、ウェハ２を試料台２０に安定して保持できる。

【0046】

また、本実施形態は、把持部材は、ウェハ２の下側に配してウェハ２を載置する受け部材７１と、ウェハ２の上側に配してウェハ２を押える押さえ部材７２と、によって構成される。これによれば、ウェハ２の縁で上下で押さえることで、ウェハ２を試料台２０に安定して保持できる。

【0047】

また、本実施形態は、試料台２０は、試料台保持部３０に保持され、試料台保持部３０は、試料台２０が浸水される水槽１０に固定される。これによれば、ウェハ２を水槽１０の外側に試料台２０に固定するので、ウェハ２を水槽１０内で固定する場合に比べて作業性が向上する。

【0048】

本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば、本実施形態では、円形の開口部２１の場合を例に挙げて説明したが、円形に限定されるものではなく、開口部の把持部材の部分を除いた形状が外側に膨らむ形状とし、開口部とウェハ２の外周との隙間が本実施形態よりも大きくなるような形状にしてもよい。

【符号の説明】

【0049】

１ 超音波映像装置
２ ウェハ（被検体）
１０ 水槽
２０ 試料台
２１ 開口部
３０ 試料台保持部
４０ 第一超音波探触子
５０ 第二超音波探触子
７１ 受け部材
７２ 押さえ部材
Ｓ 隙間（気泡排出部）
Ｗ 水

【要約】

【課題】試料台に搭載されたウェハの周囲に付着した細かい気泡を簡易に排出できる超音波映像装置を提供する。
【解決手段】ウェハ２に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置１であって、水Ｗ中においてウェハ２を固定する試料台２０を備え、試料台２０は、開口部２１を有し、開口部２１の縁部には、ウェハ２を把持する把持部材を備え、開口部２１は、ウェハ２より大きく構成され、把持部材によってウェハ２を把持することでウェハ２の外周部と開口部２１の縁部との間に気泡排出部である隙間Ｓが形成される。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】