特許 7441728 搬送ロボットおよび搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-21

(45)【発行日】2024-03-01

(54)【発明の名称】搬送ロボットおよび搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240222BHJP

   B25J 17/00 20060101ALI20240222BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J17/00 Z

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2020094537

(22)【出願日】2020-05-29

(65)【公開番号】P2021190558

(43)【公開日】2021-12-13

【審査請求日】2022-12-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000006622

【氏名又は名称】株式会社安川電機

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大仁 健輔

(72)【発明者】

【氏名】野口 忠隆

【審査官】三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－０２８４６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－３３６４１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２５９５９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０４８８１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２６０８５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ １７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を搬送するアーム部と、
前記アーム部を支持する本体部と、
前記本体部を取付対象に固定するフランジ部と
を備え、
前記フランジ部は、
前記本体部に固定される第１フランジと、
前記第１フランジに脱着可能であって前記取付対象に固定可能な第２フランジと
を備え、
前記第１フランジは、
外周側の上面に切り欠きが設けられており、
前記第２フランジは、
高さ方向の少なくとも一部が前記切り欠きに固定されること
を特徴とする搬送ロボット。

【請求項2】

前記取付対象は、
減圧雰囲気の搬送室における外壁であり、
前記フランジ部は、
前記第１フランジと前記第２フランジとの間に設けられる環状の第１シール部材と、
前記第２フランジと前記外壁との間に設けられる環状の第２シール部材と
を備え、
前記本体部は、
前記外壁の貫通孔から前記搬送室の室外へ突出し、
前記アーム部は、
前記搬送室の室内で前記基板を搬送すること
を特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。

【請求項3】

前記第１フランジおよび前記本体部は、
前記貫通孔よりも小さく、
前記第２フランジは、
前記貫通孔よりも大きいこと
を特徴とする請求項２に記載の搬送ロボット。

【請求項4】

前記第１シール部材の環状内側にあって、前記第２フランジ側から前記第２フランジを前記第１フランジへ締結する第１締結具
を備えることを特徴とする請求項２または３に記載の搬送ロボット。

【請求項5】

前記第１シール部材の環状外側にあって、前記第１フランジ側から前記第２フランジを前記第１フランジへ締結する第１締結具
を備えることを特徴とする請求項２または３に記載の搬送ロボット。

【請求項6】

前記第２シール部材の環状内側にあって、前記外壁側から前記第２フランジを前記外壁へ締結する第２締結具
を備えることを特徴とする請求項２～５のいずれか一つに記載の搬送ロボット。

【請求項7】

前記第２シール部材の環状外側にあって、前記第２フランジ側から前記第２フランジを前記外壁へ締結する第２締結具
を備えることを特徴とする請求項２～５のいずれか一つに記載の搬送ロボット。

【請求項8】

前記第１シール部材および前記第２シール部材は、
前記第１フランジおよび前記第２フランジの少なくとも一方に設けられる溝部に固定されること
を特徴とする請求項２～７のいずれか一つに記載の搬送ロボット。

【請求項9】

前記取付対象は、
前記外壁の１つである床壁であり、
前記第１フランジは、
上面に前記第１シール部材を固定する前記溝部を有し、
前記第２フランジは、
上面に前記第２シール部材を固定する前記溝部を有すること
を特徴とする請求項８に記載の搬送ロボット。

【請求項10】

前記第１シール部材および前記第２シール部材の少なくとも一方は、
Ｏリング形状のフッ素ゴムであること
を特徴とする請求項２～９のいずれか一つに記載の搬送ロボット。

【請求項11】

請求項１～１０のいずれか一つに記載の搬送ロボットと、
減圧雰囲気の搬送室と
を備えることを特徴とする搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

開示の実施形態は、搬送ロボットおよび搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、減圧雰囲気化された搬送室内に配置され、搬送室に連結された処理室に対して基板を搬送する搬送ロボットが知られている。

【0003】

また、搬送室の気密性を確保するためのフランジを有する搬送ロボットを、搬送室に固定する技術が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２０－０１７６４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記した従来技術には、搬送ロボットのコストダウンを図る観点からは改善の余地がある。たとえば、搬送ロボットを取り付けるために搬送室の床面を貫通する取付孔のサイズや、搬送ロボットの取り付け方は搬送室の形状や仕様に依存する。

【0006】

したがって、搬送ロボットを、様々な搬送室に対応させようとすると搬送室の形状や仕様に応じてフランジの設計変更が必要となり、搬送ロボットの製造コストが上昇する。

【0007】

実施形態の一態様は、コストダウンを図ることができる搬送ロボットおよび搬送システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

実施形態の一態様に係る搬送ロボットは、アーム部と、本体部と、フランジ部とを備える。アーム部は、基板を搬送する。本体部は、前記アーム部を支持する。フランジ部は、前記本体部を取付対象に固定する。また、フランジ部は、第１フランジと、第２フランジとを備える。第１フランジは、前記本体部に固定される。第２フランジは、前記第１フランジに脱着可能であって前記取付対象に固定可能である。前記第１フランジは、外周側の上面に切り欠きが設けられており、前記第２フランジは、高さ方向の少なくとも一部が前記切り欠きに固定される。

【0009】

実施形態の一態様に係る搬送システムは、上記した搬送ロボットと、減圧雰囲気の搬送室とを備える。

【発明の効果】

【0010】

実施形態の一態様によれば、コストダウンを図ることができる搬送ロボットおよび搬送システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態に係る搬送システムの概要を示す側面模式図である。

【図2】図２は、搬送ロボットの斜視図である。

【図3】図３は、搬送ロボットの上面模式図である。

【図4A】図４Ａは、第１シール部材および第２シール部材の配置例を示す側面模式図である。

【図4B】図４Ｂは、第１シール部材および第２シール部材の配置例を示す上面模式図である。

【図5A】図５Ａは、第１締結具の配置例その１を示す側面模式図である。

【図5B】図５Ｂは、第１締結具の配置例その２を示す側面模式図である。

【図6A】図６Ａは、第２締結具の配置例その１を示す側面模式図である。

【図6B】図６Ｂは、第２締結具の配置例その２を示す側面模式図である。

【図7A】図７Ａは、第１フランジおよび第２フランジにおける溝部の配置例その１を示す側面模式図である。

【図7B】図７Ｂは、第１フランジおよび第２フランジにおける溝部の配置例その２を示す側面模式図である。

【図7C】図７Ｃは、第１フランジおよび第２フランジにおける溝部の配置例その３を示す側面模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送ロボットおよび搬送システムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

【0013】

また、以下に示す実施形態では、「直交」、あるいは「鉛直」といった表現を用いるが、厳密にこれらの状態を満たすことを要しない。すなわち、上記した各表現は、製造精度、設置精度、処理精度、検出精度などのずれを許容するものとする。

【0014】

まず、実施形態に係る搬送システム１の概要について図１を用いて説明する。図１は、実施形態に係る搬送システム１の概要を示す側面模式図である。なお、図１は、搬送システム１を側方からみた模式図に相当する。また、図１には、説明をわかりやすくするために、鉛直上向きを正方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を示している。かかる直交座標系は、以下の説明で用いる他の図面においても示す場合がある。

【0015】

図１に示すように、搬送システム１は、室内が減圧雰囲気の搬送室１００と、基板Ｗを搬送する搬送ロボット１０とを備える。また、搬送ロボット１０は、基板Ｗを搬送するアーム部２０と、アーム部２０を支持する本体部３０と、本体部３０を「取付対象」に固定するフランジ部４０とを備える。

【0016】

なお、図１では、搬送ロボット１０の取付対象が搬送室１００である場合を示したが、搬送ロボット１０の取付対象は搬送室１００に限られない。たとえば、取付対象を大気圧の部屋における床や壁などにすることとしてもよい。また、図１では、一例として、搬送ロボット１０の本体部３０が搬送室１００の外壁１０１の貫通孔１０１ｈから搬送室１００の室外へ突出し、アーム部２０が搬送室１００の室内で基板Ｗを搬送する場合を示した。しかしながら、これに限らず、搬送ロボット１０の全体を搬送室１００の室内に配置したり、搬送室１００の室外に配置したりすることとしてもよい。

【0017】

ここで、搬送ロボット１０は、フランジ部４０を分割式としたので、製造コストの上昇を抑制しつつ、様々な形状や仕様の取付対象へ取り付けることができる。具体的には、フランジ部４０は、本体部３０に固定される第１フランジ４１と、第１フランジ４１に脱着可能な第２フランジ４２とを備える。また、第２フランジ４２は、取付対象（図１では搬送室１００の外壁１０１）に固定可能である。

【0018】

したがって、搬送ロボット１０によれば、第２フランジ４２の形状を変更するだけで、様々な形状や仕様の取付対象に取り付けることができる。つまり、第２フランジ４２は、フランジ部４０の形状を取付対象に適合させる「アダプタフランジ」であるということがいえる。

【0019】

なお、図１には、アーム部２０側が本体部３０側よりも縮径された円筒状の第１フランジ４１と、第１フランジ４１の縮径された外周部分に内周が嵌る中空円筒状の第２フランジ４２とを示した。そして、第１フランジ４１および第２フランジ４２のアーム部２０側の面が面一である場合を示した。

【0020】

しかしながら、これに限らず、第１フランジ４１を縮径させずに、第１フランジ４１のアーム部２０側の面に第２フランジ４２を設けることとしてもよい。また、第１フランジ４１および第２フランジ４２のアーム部２０側の面を揃えなくてもよい。

【0021】

なお、搬送ロボット１０は、減圧雰囲気の室内の気密性を保つシール部材を備えることとしてもよいが、この点については、図４Ａ等を用いて後述することとする。また、搬送ロボット１０は、フランジ部４０にシール部材を固定する溝部を備えることとしてもよいが、この点については、図７Ａ等を用いて後述することとする。

【0022】

また、図１では記載を省略しているが、一般的に搬送室１００の外側には、処理室やロードロック室が設けられる。ここで、処理室とは、減圧雰囲気にて基板Ｗに対する処理を行う部屋のことを指す。また、ロードロック室とは、大気圧と減圧雰囲気との間で内圧を変更可能な部屋であり、搬送室１００における基板Ｗの出入口に相当する。

【0023】

なお、処理室が基板Ｗに対して行う処理としては、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）などの成膜処理や、エッチング処理などがある。また、一般的に減圧雰囲気の環境を「真空」と呼ぶ場合もある。また、搬送ロボット１０は、搬送室１００の外壁１０１に設けられる開口を介して基板Ｗを処理室やロードロック室との間で搬送する。

【0024】

次に、搬送ロボット１０の構成例について図２を用いて説明する。図２は、搬送ロボット１０の斜視図である。なお、図２は、搬送ロボット１０を斜め上方からみた斜視図に相当する。また、図２には、いわゆる単腕の搬送ロボット１０を示したが、搬送ロボット１０を双腕としたり、３つ以上の腕を有する搬送ロボット１０としたりすることとしてもよい。

【0025】

すなわち、搬送ロボット１０が、第１フランジ４１および第２フランジ４２を有するフランジ部４０を備えてさえいれば、アーム部２０の構成は問わない。また、図２には、本体部３０およびフランジ部４０が円筒状である場合を示したが、直方体状など他の形状であってもよい。つまり、上面視における本体部３０およびフランジ部４０の形状は、矩形状であってもよく、多角形状であってもよい。また、円状であってもよく、楕円状であってもよい。

【0026】

図２に示すように、搬送ロボット１０のアーム部２０は、第１アーム１１と、第２アーム１２と、ハンド１３とを備える。また、アーム部２０は、スライド軸Ａ０に沿ってスライドする。なお、図２に示した場合では、アーム部２０は、Ｚ軸に沿って昇降する。

【0027】

第１アーム１１は、第１旋回軸Ａ１まわりに旋回可能に基端側を本体部３０によって支持される。第２アーム１２は、第２旋回軸Ａ２まわりに旋回可能に基端側を第１アーム１１によって支持される。ハンド１３は、第３旋回軸Ａ３まわりに旋回可能に基端側を第２アーム１２によって支持される。なお、ハンド１３は、上面視において、先端側が二股に分かれたフォーク状であり、上面側で図１に示した基板Ｗを支持する。

【0028】

なお、第１フランジ４１は、本体部３０に固定されているため、搬送ロボット１０に対して着脱不可であるが、第２フランジ４２およびアーム部２０は着脱可能である。たとえば、図１に示した搬送室１００に搬送ロボット１０を取り付ける場合には、第１フランジ４１に第２フランジ４２を取り付けた搬送ロボット１０を搬送室１００に固定する。そして、搬送室１００に固定された本体部３０に対してアーム部２０を取り付ける。なお、図２には、スライド軸Ａ０と第１旋回軸Ａ１とが同軸である場合を示したが、両軸がシフトしていてもよい。

【0029】

次に、図１に示した搬送室１００における外壁１０１の貫通孔１０１ｈと、搬送ロボット１０における各構成要素との大小関係について図３を用いて説明する。図３は、搬送ロボット１０の上面模式図である。なお、図３は、搬送室１００の室内上方から搬送ロボット１０をみた図に相当する。

【0030】

図３に示すように、本体部３０の外径および第１フランジ４１の外径は、貫通孔１０１ｈの直径よりも小さい。一方、第２フランジ４２の外径は、貫通孔１０１ｈの直径よりも大きい。

【0031】

なお、上面視における本体部３０、第１フランジ４１、第２フランジ４２および貫通孔１０１ｈの形状が矩形状等である場合には、第１フランジ４１および本体部３０は、貫通孔１０１ｈを通過する程度に貫通孔１０１ｈよりも小さければよい。また、第２フランジ４２は、貫通孔１０１ｈを通過しない程度に貫通孔１０１ｈよりも大きければよい。

【0032】

ところで、図１に示した搬送室１００に搬送ロボット１０を固定する場合には、搬送室１００の室内側から貫通孔１０１ｈ経由で本体部３０を室外へ突出させ、第２フランジ４２を外壁１０１に当接させればよい。つまり、搬送ロボット１０は、第２フランジ４２を介して外壁１０１に支持されることになる。

【0033】

なお、図３には、第１フランジ４１の外径が貫通孔１０１ｈの直径よりも小さい場合を示したが、第１フランジ４１の外径を貫通孔１０１ｈの直径よりも大きくすることとしてもよい。つまり、搬送ロボット１０が第２フランジ４２を介して外壁１０１に支持されるのであれば、第１フランジ４１の外径を貫通孔１０１ｈの直径よりも大きくしても構わない。

【0034】

次に、搬送ロボット１０が、減圧雰囲気の室内の気密性を保つシール部材を備える場合について図４Ａおよび図４Ｂを用いて説明する。図４Ａは、第１シール部材４５および第２シール部材４６の配置例を示す側面模式図である。また、図４Ｂは、第１シール部材４５および第２シール部材４６の配置例を示す上面模式図である。なお、図４Ａおよび図４Ｂでは、搬送ロボット１０のアーム部２０（図２等参照）の記載を省略している。

【0035】

まず、側面視におけるシール部材の断面形状について説明する。図４Ａに示すように、第１シール部材４５は、第１フランジ４１と、第２フランジ４２との間に設けられ、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間から搬送室１００の室内に気体が入ることを防止する。

【0036】

つまり、第１シール部材４５は、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間の気密性を確保する。ここで、第１シール部材４５としては、Ｏリング形状のフッ素ゴムや、メタルＯリングを用いることができる。

【0037】

また、図４Ａに示したように、第２シール部材４６は、第２フランジ４２と、搬送ロボット１０の取付対象である搬送室１００の外壁１０１との間に設けられ、第２フランジ４２と外壁１０１との間から搬送室１００の室内に気体が入ることを防止する。

【0038】

つまり、第２シール部材４６は、第２フランジ４２と外壁１０１との間の気密性を確保する。ここで、第２シール部材４６としては、第１シール部材４５と同様の素材を用いることができる。なお、第１シール部材４５と第２シール部材４６とを異なる素材としてもよい。

【0039】

また、図４Ａに示したように、搬送ロボット１０の本体部３０は、搬送室１００における外壁１０１の貫通孔１０１ｈから搬送室１００の室外へ突出している。なお、図４Ａにおいて図示を省略したアーム部２０（図１参照）は、搬送室１００の室内で基板Ｗを搬送する。

【0040】

このように、搬送ロボット１０の一部が減圧雰囲気の搬送室１００の室内にあり、一部が室外にある場合には、搬送室１００の気密性を保つために、図４Ａに示したシール部材（第１シール部材４５および第２シール部材４６）を用いることが好ましい。

【0041】

次に、上面視におけるシール部材の形状について説明する。図４Ｂに示すように、第１シール部材４５および第２シール部材４６は、ともに環状である。なお、図４Ｂでは、各シール部材が環状に連続していることを示すために、本来なら第２フランジ４２の背後に隠れる第１シール部材４５および第２シール部材４６を実線で示している。また、図４Ｂでは、アーム部２０（図１参照）が接続されるシャフト等の本体部３０側の機構の図示を省略している。

【0042】

また、図４Ｂには、円環状の第１シール部材４５および第２シール部材４６を示したが、本体部３０やフランジ部４０の上面視の形状を矩形状等とする場合には、第１シール部材４５および第２シール部材４６を、矩形状の環状部材とすることとしてもよい。つまり、第１シール部材４５および第２シール部材４６は、環状となっていれば円環状であることを要しない。

【0043】

なお、図４Ｂでは、搬送ロボット１０における本体部３０の外形（周面）が第１シール部材４５の背後にある場合を示したが、第１シール部材４５の内径や外径と、本体部３０の外形との大小関係を限定するものではない。

【0044】

次に、第１フランジ４１と第２フランジ４２とを締結する締結具の配置例について図５Ａおよび図５Ｂを用いて説明する。図５Ａおよび図５Ｂは、第１締結具５１の配置例その１およびその２を示す側面模式図である。なお、本実施形態では、第１フランジ４１と第２フランジ４２とを締結する締結具のことを「第１締結具５１」と呼ぶこととする。

【0045】

図５Ａは、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する場合に対応しており、図５Ｂは、第１フランジ４１側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する場合に対応している。なお、図５Ａおよび図５Ｂでは、図１等に示した搬送室１００や、アーム部２０の記載を省略している。

【0046】

まず、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する場合について説明する。図５Ａに示すように、第１締結具５１は、第１シール部材４５の「環状内側」にあり、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する。ここで、「環状内側」とは、円環状である第１シール部材４５の内径側を指す。

【0047】

なお、第１締結具５１としては、たとえば、ボルトやネジを用いることができる。また、第２フランジ４２には第１締結具５１が貫通する貫通孔が、第１フランジ４１には第１締結具５１を貫通させずに締結する非貫通孔が、それぞれ設けられる。

【0048】

このように、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する場合には、第１締結具５１は、第１シール部材４５の環状内側に設けられる。このようにすることで、第２フランジ４２の貫通孔を経由して搬送室１００の室内と室外とが連通する事態を防止することができる。また、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間を通過する気体の流れは、第１シール部材４５で止めることができる。なお、第１フランジ４１の非貫通孔は、そもそも貫通していないので気体の流れは生じない。

【0049】

次に、第１フランジ４１側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する場合について説明する。図５Ｂに示すように、第１締結具５１は、第１シール部材４５の「環状外側」にあり、第１フランジ４１側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する。

【0050】

ここで、「環状外側」とは、円環状である第１シール部材４５の外径側を指す。なお、第２フランジ４２には第１締結具５１を貫通させずに締結する非貫通孔が、第１フランジ４１には第１締結具５１を貫通させる貫通孔が、それぞれ設けられる。

【0051】

このように、第１フランジ４１側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する場合には、第１締結具５１は、第１シール部材４５の環状外側に設けられる。このようにすることで、第１フランジ４１の貫通孔を経由して搬送室１００の室内と室外とが連通する事態を防止することができる。また、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間を通過する気体の流れは、第１シール部材４５で止めることができる。なお、第２フランジ４２の非貫通孔は、そもそも貫通していないので気体の流れは生じない。

【0052】

また、図５Ａおよび図５Ｂに示したように、第１フランジ４１や第２フランジ４２の端面にザグリ等を設けることで、第１締結具５１の頭部が第１フランジ４１や第２フランジ４２の端面から突出しないようにしている。なお、第１締結具５１の頭部が第１フランジ４１や第２フランジ４２の端面から突出するようにしてもよい。

【0053】

また、第１締結具５１は、上面視における第１フランジ４１や第２フランジ４２の同一円周上に、たとえば、等間隔で複数設けられる。たとえば、中心角の６０度ごとに６つの第１締結具５１を設けることとしてもよいし、９０度ごとに４つの第１締結具５１を設けることとしてもよい。

【0054】

次に、第２フランジ４２と、取付対象である搬送室１００の外壁１０１とを締結する締結具の配置例について図６Ａおよび図６Ｂを用いて説明する。図６Ａおよび図６Ｂは、第２締結具５２の配置例その１およびその２を示す側面模式図である。なお、本実施形態では、第２フランジ４２と取付対象とを締結する締結具のことを「第２締結具５２」と呼ぶこととする。

【0055】

図６Ａは、外壁１０１側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する場合に対応しており、図６Ｂは、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する場合に対応している。なお、図６Ａおよび図６Ｂでは、図１等に示したアーム部２０の記載を省略している。また、図６Ａおよび図６Ｂでは、図５Ａに示した第１締結具５１の配置との組み合わせを示しているが、図５Ｂに示した第１締結具５１の配置と組み合わせることとしてもよい。

【0056】

まず、外壁１０１側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する場合について説明する。図６Ａに示すように、第２締結具５２は、第２シール部材４６の「環状内側」にあり、外壁１０１側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する。ここで、「環状内側」とは、円環状である第２シール部材４６の内径側を指す。

【0057】

なお、第２締結具５２としては、第１締結具５１と同様に、ボルトやネジを用いることができる。また、外壁１０１には第２締結具５２が貫通する貫通孔が、第２フランジ４２には第２締結具５２を貫通させずに締結する非貫通孔が、それぞれ設けられる。

【0058】

このように、外壁１０１側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する場合には、第２締結具５２は、第２シール部材４６の環状内側に設けられる。このようにすることで、外壁１０１の貫通孔を経由して搬送室１００の室内と室外とが連通する事態を防止することができる。また、第２フランジ４２と外壁１０１との間を通過する気体の流れは、第２シール部材４６で止めることができる。なお、第２フランジ４２の非貫通孔は、そもそも貫通していないので気体の流れは生じない。

【0059】

次に、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する場合について説明する。図６Ｂに示すように、第２締結具５２は、第２シール部材４６の「環状外側」にあり、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する。

【0060】

ここで、「環状外側」とは、円環状である第２シール部材４６の外径側を指す。なお、第２フランジ４２には第２締結具５２を貫通させる貫通孔が、外壁１０１には第２締結具５２を貫通させずに締結する非貫通孔が、それぞれ設けられる。

【0061】

このように、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する場合には、第２締結具５２は、第２シール部材４６の環状外側に設けられる。このようにすることで、第２フランジ４２の貫通孔を経由して搬送室１００の室内と室外とが連通する事態を防止することができる。また、第２フランジ４２と外壁１０１との間を通過する気体の流れは、第２シール部材４６で止めることができる。なお、外壁１０１の非貫通孔は、貫通していないのでそもそも気体の流れは生じない。

【0062】

なお、図６Ａおよび図６Ｂでは、第２締結具５２を模式的に示した点については図５Ａおよび図５Ｂと同様である。また、上面視の第１フランジ４１や第２フランジ４２における第２締結具５２の配置についても、図５Ａおよび図５Ｂを用いて説明した内容と同様である。

【0063】

次に、図６Ａに示した第１シール部材４５および第２シール部材４６を固定する溝部を、第１フランジ４１や第２フランジ４２に設ける場合について図７Ａ～図７Ｃを用いて説明する。図７Ａ～図７Ｃは、第１フランジ４１および第２フランジ４２における溝部の配置例その１～その３を示す側面模式図である。

【0064】

なお、図７Ａは、図６Ａに示した第１シール部材４５および第２シール部材４６に対応する溝部の配置例である。また、図７Ｂおよび図７Ｃは、第１フランジ４１および第２フランジ４２の配置変更を含めた溝部の配置に関するバリエーションである。

【0065】

図７Ａに示すように、第１シール部材４５は、第１フランジ４１に設けられる溝部４１ｇに固定される。また、第２シール部材４６は、第２フランジ４２に設けられる溝部４２ｇに固定される。ここで、溝部４１ｇおよび溝部４２ｇは、断面視において表面側が底面側よりも狭まった台形状であり、第１シール部材４５や第２シール部材４６を押し込むことで、各シール部材を第１フランジ４１および第２フランジ４２が保持することができる。したがって、搬送ロボット１０の組立作業や設置作業の効率性を向上させることができる。

【0066】

図７Ａに示したように、第１シール部材４５および第２シール部材４６は、第１締結具５１や第２締結具５２によって第１フランジ４１、第２フランジ４２および外壁１０１が締結されることで、各溝部（溝部４１ｇおよび溝部４２ｇ）の形状にならって変形する。そして、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間の気密性、第２フランジ４２と外壁１０１との間の気密性をそれぞれ保持する。

【0067】

なお、第２シール部材４６は、搬送室１００の外壁１０１によってではなく、第２フランジ４２の溝部４２ｇによって保持されるので、搬送室１００の仕様に左右されずに第２フランジ４２と外壁１０１との間の気密性を確保することができる。

【0068】

次に、第１フランジ４１および第２フランジ４２の配置変更を含めた溝部の配置に関するバリエーションについて説明する。図７Ｂに示したのは、第１フランジ４１と、外壁１０１との間に第２フランジ４２を配置した場合である。具体的には、図７Ａに示した場合とは異なり、第２フランジ４２は、第１フランジ４１の下面側に配置される。また、第２フランジ４２は、搬送室１００の床壁に対応する外壁１０１の室内面１０１ｓｉに当接する。

【0069】

この場合、図７Ｂに示したように、第１シール部材４５に対応する溝部および第２シール部材４６に対応する溝部の双方を第２フランジ４２に設けることができる。具体的には、第２フランジ４２の上面側には、第１シール部材４５に対応する溝部４２ｇ１が、下面側には、第２シール部材４６に対応する溝部４２ｇ２が、それぞれ設けられている。

【0070】

ここで、図７Ｂに示した場合では、第１締結具５１は、第１シール部材４５の環状外側にあり、第１フランジ４１側から第２フランジ４２を第１フランジ４１へ締結する。つまり、第１締結具５１と第１シール部材４５との位置関係は、図５Ｂに示した場合と同様であるが、第１締結具５１の向きが逆向きとなっている。

【0071】

このように、第１フランジ４１の貫通孔を経由して搬送室１００の室内と室外とが連通する事態を防止することができる点は、図７Ａに示した場合と同様である。また、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間を通過する気体の流れは、第１シール部材４５で止めることができる。なお、外壁１０１の貫通孔を経由する気体の流れが第２シール部材４６で止められる点は、図７Ａに示した場合と同様である。

【0072】

図７Ｂに示したように、各溝部を第２フランジ４２のみに設けることとしてもよい。つまり、第１シール部材４５および第２シール部材４６が、第１フランジ４１および第２フランジ４２の少なくとも一方に設けられる溝部に固定されることとしてもよい。これにより、第１フランジ４１および第２フランジ４２の少なくとも一方の加工作業を削減することができ、搬送ロボット１０全体としてのコストダウンを図ることができる。

【0073】

図７Ｃに示したのは、第２フランジ４２を外壁１０１の室外面１０１ｓｏに配置した場合である。なお、第１フランジ４１と第２フランジ４２との位置関係は図７Ａに示した場合と同様である。

【0074】

この場合、図７Ｃに示したように、第１シール部材４５に対応する溝部４１ｇを第１フランジ４１の上面側に、また、第２シール部材４６に対応する溝部４２ｇについても第２フランジ４２の上面側に、それぞれ設けることができる。

【0075】

つまり、搬送ロボット１０の取付対象は、搬送室１００の外壁１０１の１つである床壁であり、第１フランジ４１は、上面に第１シール部材４５を固定する溝部４１ｇを有する。また、第２フランジ４２は、上面に第２シール部材４６を固定する溝部４２ｇを有する。

【0076】

このように、各溝部を第１フランジ４１および第２フランジ４２の上面にそれぞれ設けることで、第１シール部材４５や第２シール部材４６がより脱落しにくいので、搬送ロボット１０の組立作業や設置作業の効率性をさらに向上させることができる。

【0077】

ここで、図７Ｃに示した場合では、第２締結具５２は、第２シール部材４６の環状外側にあり、第２フランジ４２側から第２フランジ４２を外壁１０１へ締結する。つまり、第２締結具５２と第２シール部材４６との位置関係は、図７Ａに示した場合とは内外が逆になっている。また、第２締結具５２の向きは、第２フランジ４２から外壁１０１へ向かっているので、図７Ａに示した場合と逆向きとなっている。なお、両図面では、いずれもＺ軸正方向を向いているので図面上の向きは同じである。

【0078】

このように、第２フランジ４２の貫通孔を経由して搬送室１００の室内と室外とが連通する事態を防止することができる。また、第１フランジ４１と第２フランジ４２との間を通過する気体の流れは、第１シール部材４５で止めることができ、第２フランジ４２と外壁１０１との間を通過する気体の流れは、第２シール部材４６で止めることができる。

【0079】

上述してきたように、実施形態に係る搬送ロボット１０は、アーム部２０と、本体部３０と、フランジ部４０とを備える。アーム部２０は、基板Ｗを搬送する。本体部３０は、アーム部２０を支持する。フランジ部４０は、本体部３０を取付対象に固定する。また、フランジ部４０は、第１フランジ４１と、第２フランジ４２とを備える。第１フランジ４１は、本体部３０に固定される。第２フランジ４２は、第１フランジ４１に脱着可能であって取付対象に固定可能である。

【0080】

このように、実施形態に係る搬送ロボットでは、フランジ部を分割式とし、取付対象の形状や仕様に合わせる場合には、第２フランジの設計変更のみで対応可能とした。したがって、非分割式のフランジ部とする場合よりも小さなコストで、様々な形状や仕様の取付対象に取り付けることができる搬送ロボットとすることができる。

【0081】

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0082】

１ 搬送システム
１０ 搬送ロボット
１１ 第１アーム
１２ 第２アーム
１３ ハンド
２０ アーム部
３０ 本体部
４０ フランジ部
４１ 第１フランジ
４１ｇ 溝部
４２ 第２フランジ
４２ｇ 溝部
４５ 第１シール部材
４６ 第２シール部材
５１ 第１締結具
５２ 第２締結具
１００ 搬送室
１０１ 外壁
１０１ｓｉ 室内面
１０１ｓｏ 室外面
１０１ｈ 貫通孔
Ａ０ スライド軸
Ａ１ 第１旋回軸
Ａ２ 第２旋回軸
Ａ３ 第３旋回軸
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】

【図7C】