特許 7441734 転写装置および転写方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-21

(45)【発行日】2024-03-01

(54)【発明の名称】転写装置および転写方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240222BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240222BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/78 P

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020098963

(22)【出願日】2020-06-05

(65)【公開番号】P2021192418

(43)【公開日】2021-12-16

【審査請求日】2023-04-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－０７３８９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２０９０８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１５４１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７８２４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０６８３２６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを当該被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートを、前記被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断するシート切断手段と、
前記被着体の外縁からはみ出る大きさの第２接着シートを介して、当該第２接着シートの外縁からはみ出る大きさの第３接着シートを前記被着体の他方の面に貼付するシート貼付手段と、
前記内側シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記内側シートを剥離するシート剥離手段とを備え、
前記シート切断手段は、前記第２接着シートの外縁からはみ出る大きさに前記第１接着シートを切断し、
前記シート剥離手段は、前記被着体の外縁からはみ出た前記内側シートの内側シートはみ出し部が前記第２接着シートに接触しないように、前記第２接着シートの外縁からはみ出た前記第３接着シートの第３シートはみ出し部と、前記剥離用テープとで前記内側シートはみ出し部を挟み込み、当該剥離用テープを前記内側シートに押圧して貼付することを特徴とする転写装置。

【請求項2】

被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを当該被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートを、前記被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断するシート切断工程と、
前記被着体の外縁からはみ出る大きさの第２接着シートを介して、当該第２接着シートの外縁からはみ出る大きさの第３接着シートを前記被着体の他方の面に貼付するシート貼付工程と、
前記内側シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記内側シートを剥離するシート剥離工程とを実施し、
前記シート切断工程では、前記第２接着シートの外縁からはみ出る大きさに前記第１接着シートを切断し、
前記シート剥離工程では、前記被着体の外縁からはみ出た前記内側シートの内側シートはみ出し部が前記第２接着シートに接触しないように、前記第２接着シートの外縁からはみ出た前記第３接着シートの第３シートはみ出し部と、前記剥離用テープとで前記内側シートはみ出し部を挟み込み、当該剥離用テープを前記内側シートに押圧して貼付することを特徴とする転写方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、転写装置および転写方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付し、当該被着体から第１接着シートを剥離する転写装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－１６２８７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたような基板転写装置１（転写装置）では、粘着テープＴ１（第１接着シート）と粘着テープＴ２（第２接着シート）との接着を回避してウエハＷ（被着体）から第１接着シートを剥離するという目的を達成するために、はみ出している部分の長さが被着体の厚み以下になるように第１接着シートを精密に切断したり、被着体の外縁を損傷させないように当該被着体の外縁に沿って第１接着シートを精密に切断したりしなければならず、緻密な動作制御が要求され、装置が煩雑化するという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、装置が煩雑化することを防止することができる転写装置および転写方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、内側シートはみ出し部が第２接着シートに接触しないように、第３シートはみ出し部と剥離用テープとで内側シートはみ出し部を挟み込み、当該剥離用テープを内側シートに押圧して貼付するので、緻密な動作制御が不要となり、装置が煩雑化することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係る転写装置の説明図。

【図2】転写装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明の転写装置ＥＡは、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を当該被着体ＷＫの外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートＡＳ１を被着体ＷＫに貼付された内側シートＡＳ１Ａと、当該内側シートＡＳ１Ａの外側に位置する外側シートＡＳ１Ｂとに分断するシート切断手段１０と、第２フレーム部材としての第２リングフレームＲＦ２を被着体ＷＫの近傍に配置する移送手段２０と、被着体ＷＫの外縁からはみ出る大きさの第２接着シートＡＳ２を介して、当該第２接着シートＡＳ２の外縁からはみ出る大きさの第３接着シートＡＳ３を被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に貼付するシート貼付手段３０と、第３接着シートＡＳ３が貼付された被着体ＷＫを天地反転させる反転手段４０と、内側シートＡＳ１Ａに剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離するシート剥離手段５０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送手段６０の近傍に配置されている。
本実施形態では、転写装置ＥＡに供給される被着体ＷＫは、第１接着シートＡＳ１を介して第１フレーム部材としての第１リングフレームＲＦ１に支持され、第１一体物ＵＰ１を形成している。

【0011】

シート切断手段１０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム１１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット１１と、ブラケット１２Ａを介して多関節ロボット１１の先端アーム１１Ａに支持される切断部材としての切断刃１２とを備え、第２接着シートＡＳ２の外縁からはみ出る大きさに第１接着シートＡＳ１を切断するようになっている。

【0012】

移送手段２０は、シート切断手段１０と共有する多関節ロボット１１と、フレーム２１を介して多関節ロボット１１の先端アーム１１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド２２（保持手段）とを備えている。

【0013】

シート貼付手段３０は、第３接着シートＡＳ３に第２接着シートＡＳ２が積層された積層シートＬＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２と、剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから積層シートＬＳを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、積層シートＬＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ３５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、転写装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ３５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ３６とを備えている。

【0014】

反転手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１と、その出力軸４１Ａに支持されたフレーム４２と、当該フレーム４２の左右両端にそれぞれ支持された前方に延びるアーム４３と、各アーム４３の前方に支持された駆動機器としての回動モータ４４と、その出力軸４４Ａにそれぞれ支持され、一対のチャックアーム４５Ａを有する駆動機器としてのチャックモータ４５（保持手段）とを備えている。

【0015】

シート剥離手段５０は、巻回された感熱接着性の剥離用テープＰＴを回転可能に支持するテープ支持手段５１と、テープ支持手段５１に支持された剥離用テープＰＴを当該テープ支持手段５１とで挟み込み、当該剥離用テープＰＴに繰出力を付与する繰出手段５２と、剥離用テープＰＴのリード端部を保持するリード保持手段５３と、リード保持手段５３が剥離用テープＰＴを保持することを補助する保持補助手段５４と、剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに押圧して貼付する剥離用テープ貼付手段５５と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段５６と、剥離用テープＰＴに張力を付与する張力付与手段５７とを備え、被着体ＷＫの外縁からはみ出た内側シートＡＳ１Ａの内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃが第２接着シートＡＳ２に接触しないように、第２接着シートＡＳ２の外縁からはみ出た第３接着シートＡＳ３の第３シートはみ出し部ＡＳ３Ａと、剥離用テープＰＴとで内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃを挟み込み、当該剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに押圧して貼付するようになっている。

【0016】

テープ支持手段５１は、軸５１Ａを中心に回動可能な回動アーム５１Ｂと、その自由端側に支持され、巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ５１Ｃと、支持ローラ５１Ｃを繰出手段５２方向に付勢する付勢手段としてのばね５１Ｄとを備えている。
繰出手段５２は、駆動機器としての回動モータ５２Ａと、その図示しない出力軸に支持され、支持ローラ５１Ｃに支持された剥離用テープＰＴに回転力を付与する繰出ローラ５２Ｂとを備えている。
リード保持手段５３は、駆動機器としての直動モータ５３Ａの出力軸５３Ｂに支持された収容手段５３Ｃと、収容手段５３Ｃの底面である吸着面５３Ｄに形成された吸引孔５３Ｅを介して吸着保持が可能な減圧ポンプや真空エジェクタ等の支持手段としての吸引手段５３Ｆ（保持手段）とを備えている。
保持補助手段５４は、駆動機器としての直動モータ５４Ａと、その出力軸５４Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面５３Ｄに当接させる補助ローラ５４Ｃとを備えている。
剥離用テープ貼付手段５５は、収容手段５３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ５５Ａと、そのスライダ５５Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに押圧する押圧部材５５Ｃと、押圧部材５５Ｃの内部に設けられたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段５５Ｄとを備えている。
切断手段５６は、収容手段５３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ５６Ａと、そのスライダ５６Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを切断可能な切断刃５６Ｃとを備えている。
張力付与手段５７は、駆動機器としてのリニアモータ５７Ａと、そのスライダ５７Ｂに支持された剥離ローラ５７Ｃとを備えている。

【0017】

被着体搬送手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、リニアモータ６１の第１スライダ６１Ａに支持された第１支持テーブル６２と、リニアモータ６１の第２スライダ６１Ｂに支持された第２支持テーブル６３とを備えている。
第１支持テーブル６２には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた内側支持面６２Ａ（保持手段）と、内側支持面６２Ａの外側に形成され、上方から見下した平面視において環状とされた凹溝６２Ｂと、凹溝６２Ｂの外側に形成され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた外側支持面６２Ｃ（保持手段）とが設けられている。
第２支持テーブル６３には、その上面に減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた保持部６３Ａ（保持手段）と、保持部６３Ａの内側で平面視環状に設けられ、内側シートＡＳ１Ａにおける被着体ＷＫからはみ出した内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃを、保持部６３Ａの吸着保持力よりも強い吸着保持力で保持する強保持部６３Ｂ（保持手段）とが設けられている。

【0018】

次に、転写装置ＥＡの動作について説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置された転写装置ＥＡに対し、当該転写装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳおよび剥離用テープＰＴをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート剥離手段５０が吸引手段５３Ｆを駆動し、吸着面５３Ｄでの剥離用テープＰＴの吸着保持を開始するとともに、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の積層シートＬＳの繰出方向先端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ３５Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように第１支持テーブル６２上に第１一体物ＵＰ１を載置すると、被着体搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、内側、外側支持面６２Ａ、６２Ｃでの第１一体物ＵＰ１の吸着保持を開始する。

【0019】

その後、シート切断手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの外縁から所定間隔離れた位置で切断刃１２を第１接着シートＡＳ１に突き刺し、当該切断刃１２を凹溝６２Ｂに沿って１周させた後、切断刃１２を初期位置に復帰させる。これにより、第１接着シートＡＳ１が内側シートＡＳ１Ａと外側シートＡＳ１Ｂとに分断される。次に、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、先端アーム１１Ａで保持していた切断刃１２を切り離して当該先端アーム１１Ａで吸着パッド２２を保持した後、当該吸着パッド２２を第１リングフレームＲＦ１の上面に当接させ、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド２２での第１リングフレームＲＦ１の吸着保持を開始する。そして、被着体搬送手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、外側支持面６２Ｃでの第１一体物ＵＰ１の吸着保持を解除すると、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、外側シートＡＳ１Ｂが貼付された第１リングフレームＲＦ１を図示しない所定の回収位置に搬送した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド２２での第１リングフレームＲＦ１の吸着保持を解除する。次いで、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、フレームストッカ部ＳＴに集積されている最上部の第２リングフレームＲＦ２の上面に吸着パッド２２を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド２２での第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を開始する。その後、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、第２リングフレームＲＦ２を外側支持面６２Ｃ上に載置すると、被着体搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、外側支持面６２Ｃでの第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を開始する。次に、移送手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド２２での第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を解除した後、多関節ロボット１１を駆動し、吸着パッド２２を初期位置に復帰させ、先端アーム１１Ａで保持していた吸着パッド２２を切り離して当該先端アーム１１Ａで切断刃１２を保持する。

【0020】

そして、被着体搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第１支持テーブル６２を右方へ移動させ、第１支持テーブル６２がシート貼付手段３０に対する所定の位置に到達すると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、第１支持テーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、積層シートＬＳが剥離シートＲＬから剥離され、図１中二点鎖線で示すように、第３接着シートＡＳ３が第２リングフレームＲＦ２の上面に、第２接着シートＡＳ２が被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に押圧ローラ３４によって押圧されて貼付される。次いで、先頭の積層シートＬＳ全体が第２リングフレームＲＦ２および被着体ＷＫに貼付されて第２一体物ＵＰ２が形成され、当該先頭の積層シートＬＳに続く次の積層シートＬＳの繰出方向先端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止する。

【0021】

その後も第１支持テーブル６２の右方への移動が続行され、図１中二点鎖線で示すように、当該第１支持テーブル６２が反転手段４０の直下に到達すると、被着体搬送手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止する。その後、反転手段４０が直動モータ４１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、フレーム４２を下降させた後、各チャックモータ４５を駆動し、各チャックアーム４５Ａで第２リングフレームＲＦ２を把持する。次に、被着体搬送手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側、外側支持面６２Ａ、６２Ｃでの第２一体物ＵＰ２の吸着保持を解除すると、反転手段４０が直動モータ４１および回動モータ４４を駆動し、第２一体物ＵＰ２を所定高さにまで持ち上げた後、当該第２一体物ＵＰ２を天地反転させる。そして、被着体搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第１支持テーブル６２を初期位置に復帰させるとともに、第２支持テーブル６３を反転手段４０の直下に移動させた後、反転手段４０が直動モータ４１を駆動し、第２接着シートＡＳ２が第２支持テーブル６３側となるようにして、第２一体物ＵＰ２を第２支持テーブル６３上に載置する。次いで、被着体搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、保持部６３Ａおよび強保持部６３Ｂでの第２一体物ＵＰ２の吸着保持を開始すると、反転手段４０が直動モータ４１およびチャックモータ４５を駆動し、フレーム４２およびチャックアーム４５Ａを初期位置に復帰させる。

【0022】

その後、被着体搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第２支持テーブル６３を右方向に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの左端部が押圧部材５５Ｃの直下に位置すると、リニアモータ６１の駆動を停止する。次に、シート剥離手段５０が直動モータ５４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ５４Ｃを収容手段５３Ｃの下方から退避させた後、回動モータ５２Ａおよび直動モータ５３Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しながら収容手段５３Ｃを内側シートＡＳ１Ａの直上所定位置まで下降させる。そして、シート剥離手段５０がリニアモータ５５Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、押圧部材５５Ｃを下降させ、内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃが第２接着シートＡＳ２に接触しないように、第３シートはみ出し部ＡＳ３Ａと剥離用テープＰＴとで内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃを挟み込んだ後、加熱手段５５Ｄを駆動し、剥離用テープＰＴを加熱して当該剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに接着させる。

【0023】

次いで、シート剥離手段５０が吸引手段５３Ｆの駆動を停止し、吸着面５３Ｄでの剥離用テープＰＴの吸着保持を解除した後、直動モータ５３Ａおよびリニアモータ５５Ａを駆動し、収容手段５３Ｃおよび押圧部材５５Ｃを初期位置に復帰させる。その後、シート剥離手段５０がリニアモータ５７Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、剥離ローラ５７Ｃを右方向に移動させ、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離する。この際、第２支持テーブル６３に強保持部６３Ｂが設けられていることで、内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃと第３シートはみ出し部ＡＳ３Ａとが接着していたとしても、第３接着シートＡＳ３が内側シートＡＳ１Ａと共に起き上がり、被着体ＷＫを持ち上げて破損させることはない。次に、被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａ全体が剥離され第３一体物ＵＰ３が形成されると、シート剥離手段５０がリニアモータ５７Ａの駆動を停止した後、直動モータ５４Ａおよび吸引手段５３Ｆを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、補助ローラ５４Ｃを初期位置に復帰させるとともに、吸着面５３Ｄでの剥離用テープＰＴの吸着保持を開始する。そして、シート剥離手段５０がリニアモータ５６Ａを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、切断刃５６Ｃを昇降させて剥離用テープＰＴを切断し、作業者または図示しない移送手段が内側シートＡＳ１Ａを回収すると、シート剥離手段５０がリニアモータ５７Ａを駆動し、剥離ローラ５７Ｃを初期位置に復帰させる。次いで、被着体搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第２支持テーブル６３を初期位置に復帰させて図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持部６３Ａおよび強保持部６３Ｂでの第３一体物ＵＰ３の吸着保持を解除すると、作業者または図示しない搬送手段が第２支持テーブル６３上の第３一体物ＵＰ３を次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0024】

以上のような実施形態によれば、内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃが第２接着シートＡＳ２に接触しないように、第３シートはみ出し部ＡＳ３Ａと剥離用テープＰＴとで内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃを挟み込み、当該剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに押圧して貼付するので、緻密な動作制御が不要となり、装置が煩雑化することを防止することができる。

【0025】

本発明における手段及び工程は、それら手段及び工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート貼付手段は、被着体の外縁からはみ出る大きさの第２接着シートを介して、当該第２接着シートの外縁からはみ出る大きさの第３接着シートを前記被着体の他方の面に貼付可能なものであれば、どんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0026】

シート切断手段１０は、第１接着シートＡＳ１の貼付面側から当該第１接着シートＡＳ１を切断してもよいし、第１接着シートＡＳ１の非貼付面側から当該第１接着シートＡＳ１を切断してもよいし、切断刃１２を移動させる駆動機器（上記の実施形態では多関節ロボット１１）を、移送手段２０で吸着パッド２２を移動させる駆動機器と共有させることなく、他の駆動機器で切断刃１２を移動させてもよいし、切断刃１２が多関節ロボット１１に対して着脱できなくてもよいし、ブラケット１２Ａを介することなく多関節ロボット１１が直接切断刃１２を支持する構成でもよい。

【0027】

移送手段２０は、吸着パッド２２を移動させる駆動機器（上記の実施形態では多関節ロボット１１）を、シート切断手段１０で切断刃１２を移動させる駆動機器と共有させることなく、他の駆動機器で吸着パッド２２を移動させてもよいし、吸着パッド２２が多関節ロボット１１に対して着脱できなくてもよいし、フレーム２１を介することなく多関節ロボット１１が直接切吸着パッド２２を支持する構成でもよいし、第１リングフレームＲＦ１および外側シートＡＳ１Ｂのうち少なくとも一方を第１支持テーブル６２上から除去しなくてもよいし、外側シートＡＳ１Ｂまたは外側シートＡＳ１Ｂが貼付された第１リングフレームＲＦ１を他の装置や人手等で所定の回収位置に搬送したり、第２リングフレームＲＦ２を他の装置や人手等で第１支持テーブル６２上に載置したりする場合や、第２リングフレームＲＦ２を第１支持テーブル６２上に載置しない場合、本発明の転写装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0028】

シート貼付手段３０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が積層シートＬＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を積層シートＬＳとしてもよいし、帯状接着シート基材を被着体ＷＫに貼付する構成でもよいし、積層シートＬＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ３５Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ３１やガイドローラ３２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で積層シートＬＳを保持し、当該保持部材で保持した積層シートを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成の押圧手段を採用してもよいし、剥離シートＲＬをファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、第１支持テーブル６２を移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動して被着体ＷＫに積層シートＬＳを貼付してもよいし、剥離シートＲＬが仮着されていない積層シートＬＳを繰り出して被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付し、第３接着シートを第１支持テーブル６２に貼付する構成としたり、第３接着シートＡＳ３を何にも貼付しない構成としたりしてもよいし、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付する第１のシート貼付手段と、当該第２シート貼付手段で被着体ＷＫに貼付された第２接着シートＡＳ２に第３接着シートＡＳ３を貼付する第２のシート貼付手段とを備えた構成でもよい。

【0029】

反転手段４０は、第２一体物ＵＰ２における第２リングフレームＲＦ２、第２接着シートＡＳ２、第３接着シートＡＳ３、内側シートＡＳ１Ａおよび被着体ＷＫのうち少なくとも１つを保持し、当該第２一体物ＵＰ２を天地反転させる構成としてもよいし、第２一体物ＵＰ２を上昇させることなく、例えば、第１支持テーブル６２を第２一体物ＵＰ２の下方から退避させておき、当該第２一体物ＵＰ２を天地反転させてもよいし、第１支持テーブル６２または第２支持テーブル６３に支持されている構成としてもよいし、回動モータ４４を１体または３体以上としてもよいし、チャックモータ４５を１体または３体以上としてもよいし、シート貼付手段３０で第２一体物ＵＰ２が形成された状態のまま、例えば、第１支持テーブル６２に支持された第２一体物ＵＰ２の下方から、シート剥離手段５０が内側シートＡＳ１Ａを剥離できる構成である場合、本発明の転写装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0030】

シート剥離手段５０は、内側シートＡＳ１Ａにおける内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃの外縁部よりも被着体ＷＫに近付いた位置で、第３シートはみ出し部ＡＳ３Ａと剥離用テープＰＴとで内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃを挟み込んでもよいし、枚葉の剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに貼付する構成でもよいし、支持ローラ５１Ｃを繰出手段５２方向に付勢することなく、繰出ローラ５２Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラを採用し、当該剥離用テープＰＴを繰り出してもよいし、繰出手段５２の駆動、リニアモータ６１の駆動およびリニアモータ５７Ａの駆動のうち、少なくとも１つの駆動で、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離してもよいし、収容手段５３Ｃを内側シートＡＳ１Ａの直上所定位置まで下降させた際、吸着面５３Ｄで吸着保持している剥離用テープＰＴのリード端部を内側シートＡＳ１Ａに当接させてもよいし、収容手段５３Ｃがなくてもよいし、保持補助手段５４を採用せずに、内側シートＡＳ１Ａ剥離後の剥離用テープＰＴをリード保持手段５３のみで保持する構成としてもよいし、保持補助手段５４が補助ローラ５４Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で剥離用テープＰＴを吸着面５３Ｄに当接させる構成を採用してもよいし、加熱手段５５Ｄを採用することなく、または、加熱手段５５Ｄを採用して感圧接着性の剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに貼付する構成でもよいし、押圧部材５５Ｃの代わりに、気体を吹き付けて剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに貼付する構成を採用してもよいし、剥離用テープ貼付手段５５および切断手段５６の少なくとも一方が収容手段５３Ｃに収容されていなくてもよいし、剥離用テープＰＴを切断しなくてもよいし、切断手段５６を採用せずに他の装置や人手で剥離用テープＰＴを切断してもよいし、リニアモータ５７Ａおよび剥離ローラ５７Ｃを採用することなく、例えば、テープ支持手段５１、繰出手段５２、リード保持手段５３等の剥離用テープ保持部材を移動させずにまたは移動させつつ、第２支持テーブル６３を移動させたり、第２支持テーブル６３移動させずに剥離用テープ保持部材を移動させたり、第２一体物ＵＰ２を支持した他の装置を剥離用テープ保持部材に対して相対移動させたりすることで、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離してもよいし、第３接着シートＡＳ３から内側シートＡＳ１Ａを強制的に剥離する強制剥離手段を備えていてもよく、このような強制剥離手段は、例えば、剥離時に振動を付与して剥離したり、内側シートはみ出し部ＡＳ１Ｃを吸着保持して剥離したり、エアやヘラ等で引き剥がしたりするもの等が例示できる。

【0031】

被着体搬送手段６０は、第１支持テーブル６２を移動させる駆動機器と、第２支持テーブル６３を移動させる駆動機器とが別々でもよいし、第２支持テーブル６３を採用することなく、第１支持テーブル６２が第２支持テーブル６３と同等の動作を行うようにしてもよいし、第１支持テーブル６２および第２支持テーブル６３の少なくとも一方を前後方向に移動させる駆動機器を採用し、各手段の作業領域内で被着体ＷＫを左右方向にも移動できるようにしてもよいし、第１支持テーブル６２に形成された凹溝６２Ｂの平面視形状が三角や四角等の多角形の環状、円環状、楕円環状等どのような環状形状でもよいし、第１支持テーブル６２に凹溝６２Ｂが形成されていなくてもよいし、内側支持面６２Ａおよび外側支持面６２Ｃに保持力を付与する系統を１系統としたり、それらに保持力を付与する系統をそれぞれ１系統ずつ設けて計２系統としたりしてもよいし、保持部６３Ａおよび強保持部６３Ｂに保持力を付与する系統を１系統としたり、それらに保持力を付与する系統をそれぞれに１系統ずつ設けて計２系統としたりしてもよいし、内側シートＡＳ１Ａにおける被着体ＷＫが貼付されていない領域に対応した一部または全部（環状）に強保持部６３Ｂが形成されていてもよいし、本発明の転写装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明の転写装置ＥＡに備わっていていない場合、他の装置で被着体ＷＫを搬送してもよいし、被着体ＷＫを搬送することなく、シート貼付手段３０やシート剥離手段５０等の他の手段が移動してもよいし、本発明の転写装置ＥＡに備わっている場合、被着体ＷＫを搬送し、且つ、シート貼付手段３０やシート剥離手段５０等の他の手段を移動させてもよい。

【0032】

転写装置ＥＡに供給される被着体ＷＫは、第１リングフレームＲＦ１に支持されることなく、第１接着シートＡＳ１のみが貼付されていてもよい。
第１、第２フレーム部材は、環状の第１、第２リングフレームＲＦ１、ＲＦ２以外に、例えば、環状でない部材でもよい。

【0033】

本発明における第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３および剥離用テープＰＴは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３が採用された場合は、当該第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３および剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0034】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0035】

ＥＡ…転写装置
１０…シート切断手段
３０…シート貼付手段
５０…シート剥離手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ１Ａ…内側シート
ＡＳ１Ｂ…外側シート
ＡＳ１Ｃ…内側シートはみ出し部
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ３…第３接着シート
ＡＳ３Ａ…第３シートはみ出し部
ＰＴ…剥離用テープ
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面

【図1】

【図2】