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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-21
(45)【発行日】2024-03-01
(54)【発明の名称】固体撮像装置
(51)【国際特許分類】
H01L 27/146 20060101AFI20240222BHJP
H04N 25/70 20230101ALI20240222BHJP
H04N 25/77 20230101ALI20240222BHJP
【ＦＩ】
H01L27/146 E
H04N25/70
H04N25/77
【請求項の数】
14
(21)【出願番号】P 2020532305
(86)(22)【出願日】2019-07-16
(86)【国際出願番号】 JP2019027890
(87)【国際公開番号】W WO2020022119
(87)【国際公開日】2020-01-30
【審査請求日】2022-06-08
(31)【優先権主張番号】P 2018140218
(32)【優先日】2018-07-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】316005926
【氏名又は名称】ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001357
【氏名又は名称】弁理士法人つばさ国際特許事務所
(74)【代理人】
【氏名又は名称】山本 孝久
(74)【代理人】
【氏名又は名称】吉井 正明
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 友亮
【審査官】柴山 将隆
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－０８５４０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１４／１１２２７９（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１４／００２３６６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１５－１７７３２３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１５１７７１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２７／１４６
Ｈ０４Ｎ ２５／７０
Ｈ０４Ｎ ２５／７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の方向に沿って並置されると共に第１の方向とは異なる第２の方向に延びる境界線に対して線対称に配置された第１の撮像素子および第２の撮像素子、を含む撮像素子ブロックを有し、第１の撮像素子および第２の撮像素子の各々は、
第１電極、
第１電極と離間して配置された電荷蓄積用電極、
第１電極と接し、絶縁層を介して電荷蓄積用電極の上方に形成された光電変換部、並びに、
光電変換部上に形成された第２電極、
を備えており、
第１の撮像素子および第２の撮像素子の各々における第１電極及び電荷蓄積用電極は、層間絶縁層上に第２の方向に並ぶように設けられており、
第１の撮像素子および第２の撮像素子の各々における第１電極は、第２の方向に延びる第１の撮像素子と第２の撮像素子との境界線上の層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されており、
第１の撮像素子の第１電極と第２の撮像素子の第１電極とが第２の方向に延びる境界線に対して線対称に配置され、
第１の撮像素子の電荷蓄積用電極と第２の撮像素子の電荷蓄積用電極とが第２の方向に延びる境界線に対して線対称に配置され、
第１の撮像素子の光電変換部と第２の撮像素子の光電変換部とが共通化されており、
第１の撮像素子の第２電極と第２の撮像素子の第２電極とが共通化されている
固体撮像装置。
【請求項2】
撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれている請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項3】
第１の撮像素子と第２の撮像素子との間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項4】
第１の撮像素子と第２の撮像素子との間には、第２の方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項5】
撮像素子ブロックは、第１の撮像素子と第２の方向に隣接する第３の撮像素子と、第２の撮像素子と第２の方向に隣接する第４の撮像素子と、をさらに含み、第３の撮像素子と第４の撮像素子とは、第２の方向に延びる境界線に対して線対称に配置され、
第３の撮像素子および第４の撮像素子の各々は、
第１電極、
第１電極と離間して配置された電荷蓄積用電極、
第１電極と接し、絶縁層を介して電荷蓄積用電極の上方に形成された光電変換部、並びに、
光電変換部上に形成された第２電極、
を備えており、
第３の撮像素子および第４の撮像素子の各々における第１電極及び電荷蓄積用電極は、層間絶縁層上に第２の方向に並ぶように設けられており、
第３の撮像素子および第４の撮像素子の各々における第１電極は、第２の方向に延びる第３の撮像素子と第４の撮像素子との境界線上の層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されており、
第３の撮像素子の第１電極と第４の撮像素子の第１電極とが第２の方向に延びる境界線に対して線対称に配置され、
第３の撮像素子の電荷蓄積用電極と第４の撮像素子の電荷蓄積用電極とが第２の方向に延びる境界線に対して線対称に配置され、
第１の撮像素子の光電変換部と第２の撮像素子の光電変換部と第３の撮像素子の光電変換部と第４の撮像素子の光電変換部とが共通化されており、
第１の撮像素子の第２電極と第２の撮像素子の第２電極と第３の撮像素子の第２電極と第４の撮像素子の第２電極とが共通化されている
請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項6】
撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれている請求項５に記載の固体撮像装置。
【請求項7】
第１の撮像素子と第２の撮像素子との間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている請求項６に記載の固体撮像装置。
【請求項8】
第１の撮像素子と第２の撮像素子との間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている請求項５に記載の固体撮像装置。
【請求項9】
第１の撮像素子および第３の撮像素子は第１電極を共有し、第１の撮像素子および第３の撮像素子が共有する第１電極は層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されており、第２の撮像素子および第４の撮像素子は第１電極を共有し、第２の撮像素子および第４の撮像素子が共有する第１電極は層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている
請求項５に記載の固体撮像装置。
【請求項10】
第１の撮像素子および第２の撮像素子は第１電極を共有し、第１の撮像素子および第２の撮像素子が共有する第１電極は層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されており、第３の撮像素子および第４の撮像素子は第１電極を共有し、第３の撮像素子および第４の撮像素子が共有する第１電極は層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている
請求項５に記載の固体撮像装置。
【請求項11】
撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれて請求項９又は請求項１０に記載の固体撮像装置。
【請求項12】
第１の撮像素子と第２の撮像素子との間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている請求項１１に記載の固体撮像装置。
【請求項13】
第１の撮像素子と第２の撮像素子との間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている請求項９に記載の固体撮像装置。
【請求項14】
分離電極の電位は一定の値ＶESである請求項２に記載の記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【0002】
光電変換層に有機半導体材料を用いる撮像素子は、特定の色（波長帯）を光電変換することが可能である。そして、このような特徴を有するが故に、固体撮像装置における撮像素子として用いる場合、オンチップ・カラーフィルタ（ＯＣＣＦ）と撮像素子との組合せから副画素が成り、副画素が２次元配列されている、従来の固体撮像装置では不可能な、副画素を積層した構造（積層型撮像素子）を得ることが可能である（例えば、特開２０１７－１５７８１６号公報参照）。また、デモザイク処理を必要としないことから、偽色が発生しないといった利点がある。尚、以下の説明において、半導体基板の上あるいは上方に設けられた光電変換部を備えた撮像素子を、便宜上、『第１タイプの撮像素子』と呼び、第１タイプの撮像素子を構成する光電変換部を、便宜上、『第１タイプの光電変換部』と呼び、半導体基板内に設けられた撮像素子を、便宜上、『第２タイプの撮像素子』と呼び、第２タイプの撮像素子を構成する光電変換部を、便宜上、『第２タイプの光電変換部』と呼ぶ場合がある。
【0003】
図９に、特開２０１７－１５７８１６号公報に開示された積層型撮像素子（積層型固体撮像装置）の構造例を示す。図９に示す例では、半導体基板７０内に、第２タイプの撮像素子である第３撮像素子１５及び第２撮像素子１３を構成する第２タイプの光電変換部である第３光電変換部４３及び第２光電変換部４１が積層され、形成されている。また、半導体基板７０の上方（具体的には、第２撮像素子１３の上方）には、第１撮像素子を構成する第１タイプの光電変換部（便宜上、『第１光電変換部』と呼ぶ）が配置されている。ここで、第１光電変換部は、第１電極２１、有機材料から成る光電変換部２３、第２電極２２を備えており、第１タイプの撮像素子である第１撮像素子１１を構成する。また、第１電極２１と離間して電荷蓄積用電極２４が設けられており、電荷蓄積用電極２４の上方には、絶縁層８２を介して光電変換部２３が位置している。第２光電変換部４１及び第３光電変換部４３においては、吸収係数の違いにより、それぞれ、例えば、青色光及び赤色光が光電変換される。また、第１光電変換部においては、例えば、緑色光が光電変換される。
【0004】
第２光電変換部４１及び第３光電変換部４３において光電変換によって生成した電荷は、これらの第２光電変換部４１及び第３光電変換部４３に一旦蓄積された後、それぞれ、縦型トランジスタ（ゲート部４５を図示する）と転送トランジスタ（ゲート部４６を図示する）によって第２浮遊拡散層（Floating Diffusion）ＦＤ2及び第３浮遊拡散層ＦＤ3に転送され、更に、外部の読み出し回路（図示せず）に出力される。これらのトランジスタ及び浮遊拡散層ＦＤ2，ＦＤ3も半導体基板７０に形成されている。
【0005】
第１光電変換部において光電変換によって生成した電荷は、電荷蓄積時、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、光電変換部２３に蓄積される。電荷転送時、光電変換部２３に蓄積された電荷は、第１電極２１、コンタクトホール部６１、配線層６２を介して、半導体基板７０に形成された第１浮遊拡散層ＦＤ1に蓄積される。また、第１光電変換部は、コンタクトホール部６１、配線層６２を介して、電荷量を電圧に変換する増幅トランジスタのゲート部５２にも接続されている。そして、第１浮遊拡散層ＦＤ1は、リセット・トランジスタ（ゲート部５１を図示する）の一部を構成している。尚、その他の構成要素については、実施例１において説明する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１７－１５７８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
後に詳しく説明するが、第１撮像素子１１に入射する光の角度に依存して、隣接する第１撮像素子１１において、それぞれの第１撮像素子１１の光電変換部２３において生成した電荷の第１電極２１への移動状態に差異が生じるといった第１の問題点が発生し、その結果、得られる画像において画質低下が生じる虞がある。また、光電変換部２３に蓄積された電荷が、第１撮像素子１１の動作中に、隣接する第１撮像素子１１に移動する可能性が皆無とは云えないし、光電変換部２３に蓄積された電荷が、第１電極２１にスムースに転送されない可能性が皆無とは云えないといった第２の問題点が発生し、その結果、固体撮像装置の特性劣化へと繋がる。
【0008】
従って、本開示の第１の目的は、撮像素子に入射する光の角度に依存して、撮像素子に生成した電荷の第１電極への移動状態に差異が生じることの無い固体撮像装置を提供することにある。また、本開示の第２の目的は、撮像素子の動作中、隣接する撮像素子間における電荷の移動を確実に抑制することができ、しかも、光電変換部に蓄積された電荷が、第１電極にスムースに転送される構成、構造を有する撮像素子を備えた固体撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記の第１の目的を達成するための本開示の固体撮像装置は、複数の撮像素子から構成された撮像素子ブロックを、複数、有しており、
各撮像素子は、
第１電極、
第１電極と離間して配置された電荷蓄積用電極、
第１電極と接し、絶縁層を介して電荷蓄積用電極の上方に形成された光電変換部、並びに、
光電変換部上に形成された第２電極、
を備えており、
第１電極及び電荷蓄積用電極は、層間絶縁層上に設けられており、
第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている。
各撮像素子は、
第１電極、
第１電極と離間して配置された電荷蓄積用電極、
第１電極と接し、絶縁層を介して電荷蓄積用電極の上方に形成された光電変換部、並びに、
光電変換部上に形成された第２電極、
を備えており、
第１電極及び電荷蓄積用電極は、層間絶縁層上に設けられており、
第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、図面を参照して、実施例に基づき本開示を説明するが、本開示は実施例に限定されるものではなく、実施例における種々の数値や材料は例示である。尚、説明は、以下の順序で行う。
１．本開示の固体撮像装置、全般に関する説明
２．実施例１（本開示の固体撮像装置、第１構成の固体撮像装置）
３．実施例２（実施例１の変形）
４．実施例３（実施例１～実施例２の変形、第２構成の固体撮像装置）
５．実施例４（実施例１～実施例２の別の変形、第３構成の固体撮像装置）
６．実施例５（実施例１～実施例４の変形、上方分離電極）
７．実施例６（実施例１～実施例５の変形、表面照射型の固体撮像装置）
８．実施例７（実施例１～実施例６の変形）
９．実施例８（実施例１～実施例７、転送制御用電極）
１０．実施例９（実施例１～実施例８、電荷排出電極）
１１．その他
１．本開示の固体撮像装置、全般に関する説明
２．実施例１（本開示の固体撮像装置、第１構成の固体撮像装置）
３．実施例２（実施例１の変形）
４．実施例３（実施例１～実施例２の変形、第２構成の固体撮像装置）
５．実施例４（実施例１～実施例２の別の変形、第３構成の固体撮像装置）
６．実施例５（実施例１～実施例４の変形、上方分離電極）
７．実施例６（実施例１～実施例５の変形、表面照射型の固体撮像装置）
８．実施例７（実施例１～実施例６の変形）
９．実施例８（実施例１～実施例７、転送制御用電極）
１０．実施例９（実施例１～実施例８、電荷排出電極）
１１．その他
【0012】
〈本開示の固体撮像装置、全般に関する説明〉
本開示の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、第１の方向に沿ってＰ個、第１の方向とは異なる第２の方向に沿ってＱ個の、Ｐ×Ｑ個（但し、Ｐ≧２，Ｑ≧１）の撮像素子から構成されている形態とすることができる。
本開示の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、第１の方向に沿ってＰ個、第１の方向とは異なる第２の方向に沿ってＱ個の、Ｐ×Ｑ個（但し、Ｐ≧２，Ｑ≧１）の撮像素子から構成されている形態とすることができる。
【0013】
本開示の固体撮像装置の上記の好ましい形態においては、上記の第２の目的を達成するために、
Ｐ＝２，Ｑ＝１であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第１構成の固体撮像装置』と呼ぶ。２つの撮像素子において、第１電極は接続部を介して相互に繋がっている。そして、第１構成の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、連続した分離電極（便宜上、『第１分離電極』と呼ぶ場合がある）によって囲まれている構成とすることができ、更には、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極（第１分離電極）から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている構成とすることができる。第１分離電極と第２分離電極とは繋がっている。あるいは又、第１構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている構成とすることができる。
Ｐ＝２，Ｑ＝１であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第１構成の固体撮像装置』と呼ぶ。２つの撮像素子において、第１電極は接続部を介して相互に繋がっている。そして、第１構成の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、連続した分離電極（便宜上、『第１分離電極』と呼ぶ場合がある）によって囲まれている構成とすることができ、更には、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極（第１分離電極）から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている構成とすることができる。第１分離電極と第２分離電極とは繋がっている。あるいは又、第１構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている構成とすることができる。
【0014】
あるいは又、本開示の固体撮像装置の上記の好ましい形態においては、上記の第２の目的を達成するために、
Ｐ＝２，Ｑは２以上の自然数であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第２構成の固体撮像装置』と呼ぶ。Ｐ×Ｑ個の撮像素子において、第１電極は接続部を介して相互に繋がっている。そして、第２構成の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、連続した分離電極（第１分離電極）によって囲まれている構成とすることができ、更には、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極（第１分離電極）から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている構成とすることができる。第１分離電極と第２分離電極とは繋がっている。あるいは又、第２構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている構成とすることができる。
Ｐ＝２，Ｑは２以上の自然数であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第２構成の固体撮像装置』と呼ぶ。Ｐ×Ｑ個の撮像素子において、第１電極は接続部を介して相互に繋がっている。そして、第２構成の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、連続した分離電極（第１分離電極）によって囲まれている構成とすることができ、更には、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極（第１分離電極）から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている構成とすることができる。第１分離電極と第２分離電極とは繋がっている。あるいは又、第２構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている構成とすることができる。
【0015】
あるいは又、本開示の固体撮像装置の上記の好ましい形態においては、上記の第２の目的を達成するために、
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第２の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第３Ａ構成の固体撮像装置』と呼ぶ。あるいは又、本開示の固体撮像装置の上記の好ましい形態においては、上記の第２の目的を達成するために、
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第３Ｂ構成の固体撮像装置』と呼ぶ。２×２個の撮像素子において、第１電極は接続部を介して相互に繋がっている。そして、第３Ａ構成の固体撮像装置あるいは第３Ｂ構成の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、連続した分離電極（第１分離電極）によって囲まれている構成とすることができ、更には、第３Ａ構成の固体撮像装置あるいは第３Ｂ構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極（第１分離電極）から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている構成とすることができる。第１分離電極と第２分離電極とは繋がっている。あるいは又、第３Ａ構成の固体撮像装置あるいは第３Ｂ構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている構成とすることができる。
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第２の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第３Ａ構成の固体撮像装置』と呼ぶ。あるいは又、本開示の固体撮像装置の上記の好ましい形態においては、上記の第２の目的を達成するために、
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている構成とすることができる。ここで、このような構成の固体撮像装置を、便宜上、『第３Ｂ構成の固体撮像装置』と呼ぶ。２×２個の撮像素子において、第１電極は接続部を介して相互に繋がっている。そして、第３Ａ構成の固体撮像装置あるいは第３Ｂ構成の固体撮像装置において、撮像素子ブロックは、連続した分離電極（第１分離電極）によって囲まれている構成とすることができ、更には、第３Ａ構成の固体撮像装置あるいは第３Ｂ構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極（第１分離電極）から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている構成とすることができる。第１分離電極と第２分離電極とは繋がっている。あるいは又、第３Ａ構成の固体撮像装置あるいは第３Ｂ構成の固体撮像装置において、第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている構成とすることができる。
【0016】
更には、以上に説明した好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、撮像素子ブロックを構成する撮像素子と撮像素子との間を第２の方向に延びる境界線に対して、撮像素子は線対称に配置されている形態とすることができる。
【0017】
更には、以上に説明した好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、分離電極（第１分離電極）の電位は（第２分離電極が設けられている場合には第２分離電極の電位も）、一定の値ＶESである形態とすることができる。
【0018】
このように、１つの撮像素子ブロックを構成するＰ×Ｑ個の撮像素子において第１電極を共有化すれば、撮像素子が複数配列された画素領域における構成、構造を簡素化、微細化することができる。そして、撮像素子ブロックを構成する複数（具体的には、Ｐ×Ｑ個）の撮像素子は、共有された浮遊拡散層を備えている形態とすることができる。即ち、Ｐ×Ｑ個の撮像素子によって構成された１つの撮像素子ブロックに対して１つの浮遊拡散層が設けられている。また、各撮像素子ブロックは、制御部を有しており、制御部は、少なくとも浮遊拡散層及び増幅トランジスタから構成されており、共有された第１電極は、接続部を介して制御部に接続されている形態とすることができる。Ｐ×Ｑ個の撮像素子は、後述する第１タイプの撮像素子の複数から構成されていてもよいし、少なくとも１つの第１タイプの撮像素子と、１又は２以上の後述する第２タイプの撮像素子とから構成されていてもよい。
【0019】
本開示の固体撮像装置において、撮像素子ブロックが４個の撮像素子から構成され、これらの４つの撮像素子の第１電極が共有されている場合、４つの撮像素子に蓄積された電荷を、別々に、都合４回で読み出す読み出し方式を採用してもよいし、４つの撮像素子に蓄積された電荷を、同時に、都合１回で読み出す読み出し方式を採用してもよい。前者を、便宜上、『第１モードの読み出し方法』と呼び、後者を、便宜上、『第２モードの読み出し方法』と呼ぶ場合がある。第１モードの読み出し方法にあっては、固体撮像装置によって得られる画像の高精細化を図ることができる。第２モードの読み出し方法にあっては、感度の増加を図るために４つの撮像素子によって得られた信号が加算される。第１モードの読み出し方法と第２モードの読み出し方法との切替は、固体撮像装置に適切な切替手段を設けることで達成することができる。第１モードの読み出し方法にあっては、電荷転送期間のタイミングを適切に制御することで、Ｐ×Ｑ個（例えば、２×２個）の撮像素子が１つの浮遊拡散層を共有することが可能であり、撮像素子ブロックを構成するＰ×Ｑ個（例えば、２×２個）の撮像素子が１つの駆動回路に接続されている。但し、電荷蓄積用電極の制御は、撮像素子毎に行われる。
【0020】
本開示の固体撮像装置において、第１分離電極や第２分離電極は、絶縁層を介して光電変換部の領域に対向した領域に設けられている形態とすることができる。尚、これらの分離電極を、便宜上、『下方第１分離電極』、『下方第２分離電極』と呼ぶ場合があるし、これらを総称して、『下方分離電極』と呼ぶ場合がある。あるいは又、第１分離電極や第２分離電極は、光電変換部の上に、第２電極と離間して設けられている形態とすることができる。尚、これらの分離電極を、便宜上、『上方第１分離電極』、『上方第２分離電極』と呼ぶ場合があるし、これらを総称して、『上方分離電極』と呼ぶ場合がある。第３Ｂ構成の固体撮像装置において、第２分離電極が設けられている構成とする場合、第１分離電極や上方第２分離電極を、上方第１分離電極や上方第２分離電極から構成する必要がある。
【0021】
本開示の固体撮像装置において、下方第１分離電極は、第１電極及び電荷蓄積用電極と離間して配置され、電荷蓄積用電極を取り囲んでいる。一方、上方第１分離電極の正射影像は、第１電極及び電荷蓄積用電極の正射影像と離間して位置し、電荷蓄積用電極の正射影像を取り囲んでいる。場合によっては、上方第２分離電極の正射影像の一部と電荷蓄積用電極の正射影像の一部が重なっていてもよい。
【0022】
以下の説明において各種電極に印加される電位を表す符号を、以下の表１に示す。
【0023】
〈表１〉
電荷蓄積期間 電荷転送期間
第１電極 Ｖ11 Ｖ12
第２電極 Ｖ21 Ｖ22
電荷蓄積用電極 Ｖ31 Ｖ32
第１分離電極 ＶES ＶES
第２分離電極 ＶES ＶES
転送制御用電極 Ｖ41 Ｖ42
電荷排出電極 Ｖ51 Ｖ52
電荷蓄積期間 電荷転送期間
第１電極 Ｖ11 Ｖ12
第２電極 Ｖ21 Ｖ22
電荷蓄積用電極 Ｖ31 Ｖ32
第１分離電極 ＶES ＶES
第２分離電極 ＶES ＶES
転送制御用電極 Ｖ41 Ｖ42
電荷排出電極 Ｖ51 Ｖ52
【0024】
以上に説明した好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置は、半導体基板を更に備えており、光電変換部は、半導体基板の上方に配置されている形態とすることができる。尚、第１電極、電荷蓄積用電極、第２電極、各種分離電極や各種電極は、後述する駆動回路に接続されている。
【0025】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、電荷蓄積用電極の大きさは第１電極よりも大きい形態とすることができる。電荷蓄積用電極の面積をｓ1’、第１電極の面積をｓ1としたとき、限定するものではないが、
４≦ｓ1’／ｓ1
を満足することが好ましい。
４≦ｓ1’／ｓ1
を満足することが好ましい。
【0026】
光入射側に位置する第２電極は、上方分離電極が形成されている場合を除き、複数の撮像素子において共通化されていてもよい。即ち、第２電極を所謂ベタ電極とすることができる。光電変換部を構成する光電変換層は、複数の撮像素子において共通化することができる。即ち、複数の撮像素子において１層の光電変換層が形成されている形態とすることができる。
【0027】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、第１電極は、絶縁層に設けられた開口部内を延在し、光電変換部と接続されている形態とすることができる。あるいは又、光電変換部は、絶縁層に設けられた開口部内を延在し、第１電極と接続されている形態とすることができ、この場合、
第１電極の頂面の縁部は絶縁層で覆われており、
開口部の底面には第１電極が露出しており、
第１電極の頂面と接する絶縁層の面を第１面、電荷蓄積用電極と対向する光電変換部の部分と接する絶縁層の面を第２面としたとき、開口部の側面は、第１面から第２面に向かって広がる傾斜を有する形態とすることができ、更には、第１面から第２面に向かって広がる傾斜を有する開口部の側面は、電荷蓄積用電極側に位置する形態とすることができる。尚、光電変換部と第１電極との間に他の層が形成されている形態（例えば、光電変換部と第１電極との間に電荷蓄積に適した材料層が形成されている形態）を包含する。
第１電極の頂面の縁部は絶縁層で覆われており、
開口部の底面には第１電極が露出しており、
第１電極の頂面と接する絶縁層の面を第１面、電荷蓄積用電極と対向する光電変換部の部分と接する絶縁層の面を第２面としたとき、開口部の側面は、第１面から第２面に向かって広がる傾斜を有する形態とすることができ、更には、第１面から第２面に向かって広がる傾斜を有する開口部の側面は、電荷蓄積用電極側に位置する形態とすることができる。尚、光電変換部と第１電極との間に他の層が形成されている形態（例えば、光電変換部と第１電極との間に電荷蓄積に適した材料層が形成されている形態）を包含する。
【0028】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、
半導体基板に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、
第１電極及び電荷蓄積用電極は、駆動回路に接続されており、
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ31が印加され、光電変換部に電荷が蓄積され、
電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ32が印加され、光電変換部に蓄積された電荷が第１電極を経由して制御部に読み出される構成とすることができる。但し、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、
Ｖ31≧Ｖ11、且つ、Ｖ32＜Ｖ12
であり、第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合、
Ｖ31≦Ｖ11、且つ、Ｖ32＞Ｖ12
である。
半導体基板に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、
第１電極及び電荷蓄積用電極は、駆動回路に接続されており、
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ31が印加され、光電変換部に電荷が蓄積され、
電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ32が印加され、光電変換部に蓄積された電荷が第１電極を経由して制御部に読み出される構成とすることができる。但し、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、
Ｖ31≧Ｖ11、且つ、Ｖ32＜Ｖ12
であり、第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合、
Ｖ31≦Ｖ11、且つ、Ｖ32＞Ｖ12
である。
【0029】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置は、第１電極と電荷蓄積用電極との間に、第１電極及び電荷蓄積用電極と離間して配置され、且つ、絶縁層を介して光電変換部と対向して配置された転送制御用電極（電荷転送電極）を更に備えている形態とすることができる。尚、このような形態の本開示の固体撮像装置を、便宜上、『転送制御用電極を備えた本開示の固体撮像装置』と呼ぶ場合がある。そして、転送制御用電極を備えた本開示の固体撮像装置にあっては、電荷蓄積期間において、転送制御用電極に印加される電位をＶ41としたとき、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、Ｖ41≦Ｖ11，Ｖ31＜Ｖ41を満足するが好ましい。また、電荷転送期間において、転送制御用電極に印加される電位をＶ42としたとき、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、Ｖ32≦Ｖ42≦Ｖ12を満足するが好ましい。
【0030】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置にあっては、光電変換部に接続され、第１電極及び電荷蓄積用電極と離間して配置された電荷排出電極を更に備えている形態とすることができる。尚、このような形態の本開示の固体撮像装置を、便宜上、『電荷排出電極を備えた本開示の固体撮像装置』と呼ぶ。そして、電荷排出電極を備えた本開示の固体撮像装置において、電荷排出電極は、第１電極及び電荷蓄積用電極を取り囲むように（即ち、額縁状に）配置されている形態とすることができる。電荷排出電極は、複数の撮像素子において共有化（共通化）することができる。電荷排出電極を設ける場合、各種分離電極を上方分離電極から構成することが好ましい。そして、この場合、
光電変換部は、絶縁層に設けられた第２開口部内を延在し、電荷排出電極と接続されており、
電荷排出電極の頂面の縁部は絶縁層で覆われており、
第２開口部の底面には電荷排出電極が露出しており、
電荷排出電極の頂面と接する絶縁層の面を第３面、電荷蓄積用電極と対向する光電変換部の部分と接する絶縁層の面を第２面としたとき、第２開口部の側面は、第３面から第２面に向かって広がる傾斜を有する形態とすることができる。
光電変換部は、絶縁層に設けられた第２開口部内を延在し、電荷排出電極と接続されており、
電荷排出電極の頂面の縁部は絶縁層で覆われており、
第２開口部の底面には電荷排出電極が露出しており、
電荷排出電極の頂面と接する絶縁層の面を第３面、電荷蓄積用電極と対向する光電変換部の部分と接する絶縁層の面を第２面としたとき、第２開口部の側面は、第３面から第２面に向かって広がる傾斜を有する形態とすることができる。
【0031】
更には、電荷排出電極を備えた本開示の固体撮像装置にあっては、
半導体基板に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、
第１電極、電荷蓄積用電極及び電荷排出電極は、駆動回路に接続されており、
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ31が印加され、電荷排出電極に電位Ｖ51が印加され、光電変換部に電荷が蓄積され、
電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ32が印加され、電荷排出電極に電位Ｖ52が印加され、光電変換部に蓄積された電荷が第１電極を介して制御部に読み出される構成とすることができる。但し、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、
Ｖ51＞Ｖ11、且つ、Ｖ52＜Ｖ12
であり、第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合、
Ｖ51＜Ｖ11、且つ、Ｖ52＞Ｖ12
である。
半導体基板に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、
第１電極、電荷蓄積用電極及び電荷排出電極は、駆動回路に接続されており、
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ31が印加され、電荷排出電極に電位Ｖ51が印加され、光電変換部に電荷が蓄積され、
電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極に電位Ｖ32が印加され、電荷排出電極に電位Ｖ52が印加され、光電変換部に蓄積された電荷が第１電極を介して制御部に読み出される構成とすることができる。但し、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、
Ｖ51＞Ｖ11、且つ、Ｖ52＜Ｖ12
であり、第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合、
Ｖ51＜Ｖ11、且つ、Ｖ52＞Ｖ12
である。
【0032】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、電荷蓄積用電極は、複数の電荷蓄積用電極セグメントから構成されている形態とすることができる。尚、このような形態の本開示の固体撮像装置を、便宜上、『複数の電荷蓄積用電極セグメントを備えた本開示の固体撮像装置』と呼ぶ場合がある。電荷蓄積用電極セグメントの数は、２以上であればよい。そして、複数の電荷蓄積用電極セグメントを備えた本開示の固体撮像装置にあっては、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントのそれぞれに、異なる電位を加える場合、
第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、電荷転送期間において、第１電極に最も近い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第１番目の光電変換部セグメント）に印加される電位は、第１電極に最も遠い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第Ｎ番目の光電変換部セグメント）に印加される電位よりも高く、
第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合、電荷転送期間において、第１電極に最も近い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第１番目の光電変換部セグメント）に印加される電位は、第１電極に最も遠い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第Ｎ番目の光電変換部セグメント）に印加される電位よりも低い形態とすることができる。
第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合、電荷転送期間において、第１電極に最も近い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第１番目の光電変換部セグメント）に印加される電位は、第１電極に最も遠い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第Ｎ番目の光電変換部セグメント）に印加される電位よりも高く、
第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合、電荷転送期間において、第１電極に最も近い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第１番目の光電変換部セグメント）に印加される電位は、第１電極に最も遠い所に位置する電荷蓄積用電極セグメント（第Ｎ番目の光電変換部セグメント）に印加される電位よりも低い形態とすることができる。
【0033】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、
半導体基板には、制御部を構成する少なくとも浮遊拡散層及び増幅トランジスタが設けられており、
第１電極は、浮遊拡散層及び増幅トランジスタのゲート部に接続されている形態とすることができる。そして、この場合、更には、
半導体基板には、更に、制御部を構成するリセット・トランジスタ及び選択トランジスタが設けられており、
浮遊拡散層は、リセット・トランジスタの一方のソース／ドレイン領域に接続されており、
増幅トランジスタの一方のソース／ドレイン領域は、選択トランジスタの一方のソース／ドレイン領域に接続されており、選択トランジスタの他方のソース／ドレイン領域は信号線に接続されている形態とすることができる。
半導体基板には、制御部を構成する少なくとも浮遊拡散層及び増幅トランジスタが設けられており、
第１電極は、浮遊拡散層及び増幅トランジスタのゲート部に接続されている形態とすることができる。そして、この場合、更には、
半導体基板には、更に、制御部を構成するリセット・トランジスタ及び選択トランジスタが設けられており、
浮遊拡散層は、リセット・トランジスタの一方のソース／ドレイン領域に接続されており、
増幅トランジスタの一方のソース／ドレイン領域は、選択トランジスタの一方のソース／ドレイン領域に接続されており、選択トランジスタの他方のソース／ドレイン領域は信号線に接続されている形態とすることができる。
【0034】
あるいは又、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置の変形例として、以下に説明する第１構成～第６構成の撮像素子を挙げることができる。即ち、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置における第１構成～第６構成の撮像素子において、
光電変換部は、Ｎ個（但し、Ｎ≧２）の光電変換部セグメントから構成されており、
光電変換部を構成する光電変換層は、Ｎ個の光電変換層セグメントから構成されており、
絶縁層は、Ｎ個の絶縁層セグメントから構成されており、
第１構成～第３構成の撮像素子にあっては、電荷蓄積用電極は、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントから構成されており、
第４構成～第５構成の撮像素子にあっては、電荷蓄積用電極は、相互に離間されて配置された、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントから構成されており、
第ｎ番目（但し、ｎ＝１，２，３・・・Ｎ）の光電変換部セグメントは、第ｎ番目の電荷蓄積用電極セグメント、第ｎ番目の絶縁層セグメント及び第ｎ番目の光電変換層セグメントから構成されており、
ｎの値が大きい光電変換部セグメントほど、第１電極から離れて位置する。
光電変換部は、Ｎ個（但し、Ｎ≧２）の光電変換部セグメントから構成されており、
光電変換部を構成する光電変換層は、Ｎ個の光電変換層セグメントから構成されており、
絶縁層は、Ｎ個の絶縁層セグメントから構成されており、
第１構成～第３構成の撮像素子にあっては、電荷蓄積用電極は、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントから構成されており、
第４構成～第５構成の撮像素子にあっては、電荷蓄積用電極は、相互に離間されて配置された、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントから構成されており、
第ｎ番目（但し、ｎ＝１，２，３・・・Ｎ）の光電変換部セグメントは、第ｎ番目の電荷蓄積用電極セグメント、第ｎ番目の絶縁層セグメント及び第ｎ番目の光電変換層セグメントから構成されており、
ｎの値が大きい光電変換部セグメントほど、第１電極から離れて位置する。
【0035】
そして、第１構成の撮像素子にあっては、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、絶縁層セグメントの厚さが、漸次、変化している。また、第２構成の撮像素子にあっては、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、変化している。更には、第３構成の撮像素子にあっては、隣接する光電変換部セグメントにおいて、絶縁層セグメントを構成する材料が異なる。また、第４構成の撮像素子にあっては、隣接する光電変換部セグメントにおいて、電荷蓄積用電極セグメントを構成する材料が異なる。更には、第５構成の撮像素子にあっては、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、電荷蓄積用電極セグメントの面積が、漸次、小さくなっている。尚、面積は、連続的に小さくなっていてもよいし、階段状に小さくなっていてもよい。
【0036】
あるいは又、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置における第６構成の撮像素子において、電荷蓄積用電極と絶縁層と光電変換部の積層方向をＺ方向、第１電極から離れる方向をＸ方向としたとき、ＹＺ仮想平面で電荷蓄積用電極と絶縁層と光電変換部が積層された積層部分を切断したときの積層部分の断面積は、第１電極からの距離に依存して変化する。尚、断面積の変化は、連続的な変化であってもよいし、階段状の変化であってもよい。
【0037】
第１構成～第２構成の撮像素子において、Ｎ個の光電変換層セグメントは連続して設けられており、Ｎ個の絶縁層セグメントも連続して設けられており、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントも連続して設けられている。第３構成～第５構成の撮像素子において、Ｎ個の光電変換層セグメントは連続して設けられている。また、第４構成、第５構成の撮像素子において、Ｎ個の絶縁層セグメントは連続して設けられている一方、第３構成の撮像素子において、Ｎ個の絶縁層セグメントは、光電変換部セグメントのそれぞれに対応して設けられている。更には、第４構成～第５構成の撮像素子において、場合によっては、第３構成の撮像素子において、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントは、光電変換部セグメントのそれぞれに対応して設けられている。そして第１構成～第６構成の撮像素子にあっては、電荷蓄積用電極セグメントの全てに同じ電位が加えられる。あるいは又、第４構成～第５構成の撮像素子において、場合によっては、第３構成の撮像素子において、Ｎ個の電荷蓄積用電極セグメントのそれぞれに、異なる電位を加えてもよい。
【0038】
第１構成～第６構成の撮像素子、係る撮像素子を適用した本開示の固体撮像装置にあっては、絶縁層セグメントの厚さが規定され、あるいは又、光電変換層セグメントの厚さが規定され、あるいは又、絶縁層セグメントを構成する材料が異なり、あるいは又、電荷蓄積用電極セグメントを構成する材料が異なり、あるいは又、電荷蓄積用電極セグメントの面積が規定され、あるいは又、積層部分の断面積が規定されているので、一種の電荷転送勾配が形成され、光電変換によって生成した電荷を、一層容易に、且つ、確実に、第１電極へ転送することが可能となる。そして、その結果、残像の発生や電荷転送残しの発生を防止することができる。
【0039】
本開示の固体撮像装置の変形例として、上述した第１構成～第６構成の撮像素子を、複数、備えている固体撮像装置とすることができる。
【0040】
第１構成～第５構成の撮像素子にあっては、ｎの値が大きい光電変換部セグメントほど第１電極から離れて位置するが、第１電極から離れて位置するか否かは、Ｘ方向を基準として判断する。また、第６構成の撮像素子にあっては、第１電極から離れる方向をＸ方向としているが、『Ｘ方向』を以下のとおり、定義する。即ち、撮像素子あるいは積層型撮像素子が複数配列された画素領域は、２次元アレイ状に、即ち、Ｘ方向及びＹ方向に規則的に複数配列された画素から構成される。画素の平面形状を矩形とした場合、第１電極に最も近い辺が延びる方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。あるいは又、画素の平面形状を任意の形状とした場合、第１電極に最も近い線分や曲線が含まれる全体的な方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【0041】
以下、第１構成～第６構成の撮像素子に関して、第１電極の電位が第２電極の電位よりも高い場合についての説明を行うが、第１電極の電位が第２電極の電位よりも低い場合は、電位の高低を逆にすればよい。
【0042】
第１構成の撮像素子にあっては、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、絶縁層セグメントの厚さが、漸次、変化しているが、絶縁層セグメントの厚さは、漸次、厚くなっていってもよいし、薄くなっていってもよく、これによって、一種の電荷転送勾配が形成される。
【0043】
蓄積すべき電荷を電子とする場合、絶縁層セグメントの厚さが、漸次、厚くなる構成を採用すればよいし、蓄積すべき電荷を正孔とする場合、絶縁層セグメントの厚さが、漸次、薄くなる構成を採用すればよい。そして、これらの場合、電荷蓄積期間において、｜Ｖ31｜≧｜Ｖ11｜といった状態になると、第ｎ番目の光電変換部セグメントの方が、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントよりも、多くの電荷を蓄積することができるし、強い電界が加わり、第１番目の光電変換部セグメントから第１電極への電荷の流れを確実に防止することができる。そして、電荷転送期間において、｜Ｖ32｜＜｜Ｖ12｜といった状態になると、第１番目の光電変換部セグメントから第１電極への電荷の流れ、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントから第ｎ番目の光電変換部セグメントへの電荷の流れを、確実に確保することができる。
【0044】
第２構成の撮像素子にあっては、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、変化しているが、光電変換層セグメントの厚さは、漸次、厚くなっていってもよいし、薄くなっていってもよく、これによって、一種の電荷転送勾配が形成される。
【0045】
蓄積すべき電荷を電子とする場合、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、厚くなる構成を採用すればよいし、蓄積すべき電荷を正孔とする場合、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、薄くなる構成を採用すればよい。そして、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、厚くなる場合、電荷蓄積期間においてＶ31≧Ｖ11といった状態になると、また、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、薄くなる場合、電荷蓄積期間においてＶ31≦Ｖ11といった状態になると、第ｎ番目の光電変換部セグメントの方が、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントよりも強い電界が加わり、第１番目の光電変換部セグメントから第１電極への電荷の流れを確実に防止することができる。そして、電荷転送期間において、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、厚くなる場合、Ｖ32＜Ｖ12といった状態になると、また、光電変換層セグメントの厚さが、漸次、薄くなる場合、Ｖ32＞Ｖ12といった状態になると、第１番目の光電変換部セグメントから第１電極への電荷の流れ、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントから第ｎ番目の光電変換部セグメントへの電荷の流れを、確実に確保することができる。
【0046】
第３構成の撮像素子にあっては、隣接する光電変換部セグメントにおいて、絶縁層セグメントを構成する材料が異なり、これによって、一種の電荷転送勾配が形成されるが、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、絶縁層セグメントを構成する材料の比誘電率の値が、漸次、小さくなることが好ましい。そして、このような構成を採用することで、電荷蓄積期間において、Ｖ31≧Ｖ11といった状態になると、第ｎ番目の光電変換部セグメントの方、が第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントよりも多くの電荷を蓄積することができる。そして、電荷転送期間において、Ｖ32＜Ｖ12といった状態になると、第１番目の光電変換部セグメントから第１電極への電荷の流れ、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントから第ｎ番目の光電変換部セグメントへの電荷の流れを、確実に確保することができる。
【0047】
第４構成の撮像素子にあっては、隣接する光電変換部セグメントにおいて、電荷蓄積用電極セグメントを構成する材料が異なり、これによって、一種の電荷転送勾配が形成されるが、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、絶縁層セグメントを構成する材料の仕事関数の値が、漸次、大きくなることが好ましい。そして、このような構成を採用することで、電圧（電位）の正負に依存すること無く、信号電荷転送に有利な電位勾配を形成することができる。
【0048】
第５構成の撮像素子にあっては、第１番目の光電変換部セグメントから第Ｎ番目の光電変換部セグメントに亙り、電荷蓄積用電極セグメントの面積が、漸次、小さくなっており、これによって、一種の電荷転送勾配が形成されるので、電荷蓄積期間において、Ｖ31≧Ｖ11といった状態になると、第ｎ番目の光電変換部セグメントの方が、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントよりも多くの電荷を蓄積することができる。そして、電荷転送期間において、Ｖ32＜Ｖ12といった状態になると、第１番目の光電変換部セグメントから第１電極への電荷の流れ、第（ｎ＋１）番目の光電変換部セグメントから第ｎ番目の光電変換部セグメントへの電荷の流れを、確実に確保することができる。
【0049】
第６構成の撮像素子において、積層部分の断面積は第１電極からの距離に依存して変化し、これによって、一種の電荷転送勾配が形成される。具体的には、積層部分の断面の厚さを一定とし、積層部分の断面の幅を第１電極から離れるほど狭くする構成を採用すれば、第５構成の撮像素子において説明したと同様に、電荷蓄積期間において、Ｖ31≧Ｖ11といった状態になると、第１電極に近い領域の方が、遠い領域よりも多くの電荷を蓄積することができる。従って、電荷転送期間において、Ｖ32＜Ｖ12といった状態になると、第１電極に近い領域から第１電極への電荷の流れ、遠い領域から近い領域への電荷の流れを、確実に確保することができる。一方、積層部分の断面の幅を一定とし、積層部分の断面の厚さ、具体的には、絶縁層セグメントの厚さを、漸次、厚くする構成を採用すれば、第１構成の撮像素子において説明したと同様に、電荷蓄積期間において、Ｖ31≧Ｖ11といった状態になると、第１電極に近い領域の方が、遠い領域よりも、多くの電荷を蓄積することができるし、強い電界が加わり、第１電極に近い領域から第１電極への電荷の流れを確実に防止することができる。そして、電荷転送期間において、Ｖ32＜Ｖ12といった状態になると、第１電極に近い領域から第１電極への電荷の流れ、遠い領域から近い領域への電荷の流れを、確実に確保することができる。また、光電変換層セグメントの厚さを、漸次、厚くする構成を採用すれば、第２構成の撮像素子において説明したと同様に、電荷蓄積期間において、Ｖ31≧Ｖ11といった状態になると、第１電極に近い領域の方が、遠い領域よりも強い電界が加わり、第１電極に近い領域から第１電極への電荷の流れを確実に防止することができる。そして、電荷転送期間において、Ｖ32＜Ｖ12といった状態になると、第１電極に近い領域から第１電極への電荷の流れ、遠い領域から近い領域への電荷の流れを、確実に確保することができる。
【0050】
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、第２電極側から光が入射し、第２電極よりの光入射側には遮光層が形成されている形態とすることができる。あるいは又、第２電極側から光が入射し、第１電極（場合によっては、第１電極及び転送制御用電極）には光が入射しない形態とすることができる。そして、この場合、第２電極よりの光入射側であって、第１電極（場合によっては、第１電極及び転送制御用電極）の上方には遮光層が形成されている形態とすることができるし、あるいは又、電荷蓄積用電極及び第２電極の上方にはオンチップ・マイクロ・レンズが設けられており、オンチップ・マイクロ・レンズに入射する光は、電荷蓄積用電極に集光される形態とすることができる。ここで、遮光層は、第２電極の光入射側の面よりも上方に配設されてもよいし、第２電極の光入射側の面の上に配設されてもよい。場合によっては、第２電極に遮光層が形成されていてもよい。遮光層を構成する材料として、クロム（Ｃｒ）や銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、光を通さない樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）を例示することができる。
【0051】
本開示の固体撮像装置として、具体的には、青色光（４２５ｎｍ乃至４９５ｎｍの光）を吸収する光電変換部（便宜上、『第１タイプの青色光用光電変換部』と呼ぶ）を備えた青色光に感度を有する撮像素子（便宜上、『第１タイプの青色光用撮像素子』と呼ぶ）、緑色光（４９５ｎｍ乃至５７０ｎｍの光）を吸収する光電変換部（便宜上、『第１タイプの緑色光用光電変換部』と呼ぶ）を備えた緑色光に感度を有する撮像素子（便宜上、『第１タイプの緑色光用撮像素子』と呼ぶ）、赤色光（６２０ｎｍ乃至７５０ｎｍの光）を吸収する光電変換部（便宜上、『第１タイプの赤色光用光電変換部』と呼ぶ）を備えた赤色光に感度を有する撮像素子（便宜上、『第１タイプの赤色光用撮像素子』と呼ぶ）を挙げることができる。また、電荷蓄積用電極を備えていない従来の撮像素子であって、青色光に感度を有する撮像素子を、便宜上、『第２タイプの青色光用撮像素子』と呼び、緑色光に感度を有する撮像素子を、便宜上、『第２タイプの緑色光用撮像素子』と呼び、赤色光に感度を有する撮像素子を、便宜上、『第２タイプの赤色光用撮像素子』と呼び、第２タイプの青色光用撮像素子を構成する光電変換部を、便宜上、『第２タイプの青色光用光電変換部』と呼び、第２タイプの緑色光用撮像素子を構成する光電変換部を、便宜上、『第２タイプの緑色光用光電変換部』と呼び、第２タイプの赤色光用撮像素子を構成する光電変換部を、便宜上、『第２タイプの赤色光用光電変換部』と呼ぶ。
【0052】
本開示における積層型撮像素子は、少なくとも本開示の固体撮像装置（光電変換素子）を１つ有するが、具体的には、例えば、
［Ａ］第１タイプの青色光用光電変換部、第１タイプの緑色光用光電変換部及び第１タイプの赤色光用光電変換部が、垂直方向に積層され、
第１タイプの青色光用撮像素子、第１タイプの緑色光用撮像素子及び第１タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
［Ｂ］第１タイプの青色光用光電変換部及び第１タイプの緑色光用光電変換部が、垂直方向に積層され、
これらの２層の第１タイプの光電変換部の下方に、第２タイプの赤色光用光電変換部が配置され、
第１タイプの青色光用撮像素子、第１タイプの緑色光用撮像素子及び第２タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
［Ｃ］第１タイプの緑色光用光電変換部の下方に、第２タイプの青色光用光電変換部及び第２タイプの赤色光用光電変換部が配置され、
第１タイプの緑色光用撮像素子、第２タイプの青色光用撮像素子及び第２タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
［Ｄ］第１タイプの青色光用光電変換部の下方に、第２タイプの緑色光用光電変換部及び第２タイプの赤色光用光電変換部が配置され、
第１タイプの青色光用撮像素子、第２タイプの緑色光用撮像素子及び第２タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
を挙げることができる。尚、これらの撮像素子の光電変換部の垂直方向における配置順は、光入射方向から青色光用光電変換部、緑色光用光電変換部、赤色光用光電変換部の順、あるいは、光入射方向から緑色光用光電変換部、青色光用光電変換部、赤色光用光電変換部の順であることが好ましい。これは、より短い波長の光がより入射表面側において効率良く吸収されるからである。赤色は３色の中では最も長い波長であるので、光入射面から見て赤色光用光電変換部を最下層に位置させることが好ましい。これらの撮像素子の積層構造によって、１つの画素が構成される。また、第１タイプの赤外線用光電変換部を備えていてもよい。ここで、第１タイプの赤外線用光電変換部の光電変換層は、例えば、有機系材料から構成され、第１タイプの撮像素子の積層構造の最下層であって、第２タイプの撮像素子よりも上に配置することが好ましい。あるいは又、第１タイプの光電変換部の下方に、第２タイプの赤外線用光電変換部を備えていてもよい。
［Ａ］第１タイプの青色光用光電変換部、第１タイプの緑色光用光電変換部及び第１タイプの赤色光用光電変換部が、垂直方向に積層され、
第１タイプの青色光用撮像素子、第１タイプの緑色光用撮像素子及び第１タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
［Ｂ］第１タイプの青色光用光電変換部及び第１タイプの緑色光用光電変換部が、垂直方向に積層され、
これらの２層の第１タイプの光電変換部の下方に、第２タイプの赤色光用光電変換部が配置され、
第１タイプの青色光用撮像素子、第１タイプの緑色光用撮像素子及び第２タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
［Ｃ］第１タイプの緑色光用光電変換部の下方に、第２タイプの青色光用光電変換部及び第２タイプの赤色光用光電変換部が配置され、
第１タイプの緑色光用撮像素子、第２タイプの青色光用撮像素子及び第２タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
［Ｄ］第１タイプの青色光用光電変換部の下方に、第２タイプの緑色光用光電変換部及び第２タイプの赤色光用光電変換部が配置され、
第１タイプの青色光用撮像素子、第２タイプの緑色光用撮像素子及び第２タイプの赤色光用撮像素子の制御部のそれぞれが、半導体基板に設けられた構成、構造
を挙げることができる。尚、これらの撮像素子の光電変換部の垂直方向における配置順は、光入射方向から青色光用光電変換部、緑色光用光電変換部、赤色光用光電変換部の順、あるいは、光入射方向から緑色光用光電変換部、青色光用光電変換部、赤色光用光電変換部の順であることが好ましい。これは、より短い波長の光がより入射表面側において効率良く吸収されるからである。赤色は３色の中では最も長い波長であるので、光入射面から見て赤色光用光電変換部を最下層に位置させることが好ましい。これらの撮像素子の積層構造によって、１つの画素が構成される。また、第１タイプの赤外線用光電変換部を備えていてもよい。ここで、第１タイプの赤外線用光電変換部の光電変換層は、例えば、有機系材料から構成され、第１タイプの撮像素子の積層構造の最下層であって、第２タイプの撮像素子よりも上に配置することが好ましい。あるいは又、第１タイプの光電変換部の下方に、第２タイプの赤外線用光電変換部を備えていてもよい。
【0053】
第１タイプの撮像素子にあっては、例えば、第１電極が、半導体基板の上に設けられた層間絶縁層上に形成されている。半導体基板に形成された撮像素子は、裏面照射型とすることもできるし、表面照射型とすることもできる。
【0054】
光電変換部を有機系材料から成る光電変換層から構成する場合、光電変換層を、
（１）ｐ型有機半導体から構成する。
（２）ｎ型有機半導体から構成する。
（３）ｐ型有機半導体層／ｎ型有機半導体層の積層構造から構成する。ｐ型有機半導体層／ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体との混合層（バルクヘテロ構造）／ｎ型有機半導体層の積層構造から構成する。ｐ型有機半導体層／ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体との混合層（バルクヘテロ構造）の積層構造から構成する。ｎ型有機半導体層／ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体との混合層（バルクヘテロ構造）の積層構造から構成する。
（４）ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体の混合（バルクヘテロ構造）から構成する。
の４態様のいずれかとすることができる。但し、積層順は任意に入れ替えた構成とすることができる。
（１）ｐ型有機半導体から構成する。
（２）ｎ型有機半導体から構成する。
（３）ｐ型有機半導体層／ｎ型有機半導体層の積層構造から構成する。ｐ型有機半導体層／ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体との混合層（バルクヘテロ構造）／ｎ型有機半導体層の積層構造から構成する。ｐ型有機半導体層／ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体との混合層（バルクヘテロ構造）の積層構造から構成する。ｎ型有機半導体層／ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体との混合層（バルクヘテロ構造）の積層構造から構成する。
（４）ｐ型有機半導体とｎ型有機半導体の混合（バルクヘテロ構造）から構成する。
の４態様のいずれかとすることができる。但し、積層順は任意に入れ替えた構成とすることができる。
【0055】
ｐ型有機半導体として、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、テトラセン誘導体、ペンタセン誘導体、キナクリドン誘導体、チオフェン誘導体、チエノチオフェン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、ベンゾチエノベンゾチオフェン誘導体、トリアリルアミン誘導体、カルバゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピセン誘導体、クリセン誘導体、フルオランテン誘導体、フタロシアニン誘導体、サブフタロシアニン誘導体、サブポルフィラジン誘導体、複素環化合物を配位子とする金属錯体、ポリチオフェン誘導体、ポリベンゾチアジアゾール誘導体、ポリフルオレン誘導体等を挙げることができる。ｎ型有機半導体として、フラーレン及びフラーレン誘導体〈例えば、Ｃ６０や、Ｃ７０，Ｃ７４等のフラーレン（高次フラーレン）、内包フラーレン等）又はフラーレン誘導体（例えば、フラーレンフッ化物やＰＣＢＭフラーレン化合物、フラーレン多量体等）〉、ｐ型有機半導体よりもＨＯＭＯ及びＬＵＭＯが大きい（深い）有機半導体、透明な無機金属酸化物を挙げることができる。ｎ型有機半導体として、具体的には、窒素原子、酸素原子、硫黄原子を含有する複素環化合物、例えば、ピリジン誘導体、ピラジン誘導体、ピリミジン誘導体、トリアジン誘導体、キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、イソキノリン誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、フェナントロリン誘導体、テトラゾール誘導体、ピラゾール誘導体、イミダゾール誘導体、チアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾトリアゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、カルバゾール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、サブポルフィラジン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリベンゾチアジアゾール誘導体、ポリフルオレン誘導体等を分子骨格の一部に有する有機分子、有機金属錯体やサブフタロシアニン誘導体を挙げることができる。フラーレン誘導体に含まれる基等として、ハロゲン原子；直鎖、分岐若しくは環状のアルキル基若しくはフェニル基；直鎖若しくは縮環した芳香族化合物を有する基；ハロゲン化物を有する基；パーシャルフルオロアルキル基；パーフルオロアルキル基；シリルアルキル基；シリルアルコキシ基；アリールシリル基；アリールスルファニル基；アルキルスルファニル基；アリールスルホニル基；アルキルスルホニル基；アリールスルフィド基；アルキルスルフィド基；アミノ基；アルキルアミノ基；アリールアミノ基；ヒドロキシ基；アルコキシ基；アシルアミノ基；アシルオキシ基；カルボニル基；カルボキシ基；カルボキソアミド基；カルボアルコキシ基；アシル基；スルホニル基；シアノ基；ニトロ基；カルコゲン化物を有する基；ホスフィン基；ホスホン基；これらの誘導体を挙げることができる。有機系材料から構成された光電変換層（『有機光電変換層』と呼ぶ場合がある）の厚さは、限定するものではないが、例えば、１×１０-8ｍ乃至５×１０-7ｍ、好ましくは２．５×１０-8ｍ乃至３×１０-7ｍ、より好ましくは２．５×１０-8ｍ乃至２×１０-7ｍ、一層好ましくは１×１０-7ｍ乃至１．８×１０-7ｍを例示することができる。尚、有機半導体は、ｐ型、ｎ型と分類されることが多いが、ｐ型とは正孔を輸送し易いという意味であり、ｎ型とは電子を輸送し易いという意味であり、無機半導体のように熱励起の多数キャリアとして正孔又は電子を有しているという解釈に限定されない。
【0056】
あるいは又、緑色光を光電変換する有機光電変換層を構成する材料として、例えば、ローダミン系色素、メラシアニン系色素、キナクリドン誘導体、サブフタロシアニン系色素（サブフタロシアニン誘導体）等を挙げることができるし、青色光を光電変換する有機光電変換層を構成する材料として、例えば、クマリン酸色素、トリス－８－ヒドリキシキノリアルミニウム（Ａｌｑ３）、メラシアニン系色素等を挙げることができるし、赤色光を光電変換する有機光電変換層を構成する材料として、例えば、フタロシアニン系色素、サブフタロシアニン系色素（サブフタロシアニン誘導体）を挙げることができる。
【0057】
あるいは又、光電変換層を構成する無機系材料として、結晶シリコン、アモルファスシリコン、微結晶シリコン、結晶セレン、アモルファスセレン、及び、カルコパライト系化合物であるＣＩＧＳ（ＣｕＩｎＧａＳｅ）、ＣＩＳ（ＣｕＩｎＳｅ2）、ＣｕＩｎＳ2、ＣｕＡｌＳ2、ＣｕＡｌＳｅ2、ＣｕＧａＳ2、ＣｕＧａＳｅ2、ＡｇＡｌＳ2、ＡｇＡｌＳｅ2、ＡｇＩｎＳ2、ＡｇＩｎＳｅ2、あるいは又、ＩＩＩ－Ｖ族化合物であるＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＡｌＧａＡｓ、ＩｎＧａＰ、ＡｌＧａＩｎＰ、ＩｎＧａＡｓＰ、更には、ＣｄＳｅ、ＣｄＳ、Ｉｎ2Ｓｅ3、Ｉｎ2Ｓ3、Ｂｉ2Ｓｅ3、Ｂｉ2Ｓ3、ＺｎＳｅ、ＺｎＳ、ＰｂＳｅ、ＰｂＳ等の化合物半導体を挙げることができる。加えて、これらの材料から成る量子ドットを光電変換層に使用することも可能である。
【0058】
あるいは又、光電変換部を、下層半導体層と、上層光電変換層の積層構造とすることができる。このように下層半導体層を設けることで、例えば、電荷蓄積時の再結合を防止することができる。また、光電変換部に蓄積した電荷の第１電極への電荷転送効率を増加させることができる。更には、光電変換部で生成された電荷を一時的に保持し、転送のタイミング等を制御することができる。また、暗電流の生成を抑制することができる。上層光電変換層を構成する材料は、上記の光電変換層を構成する各種材料から、適宜、選択すればよい。一方、下層半導体層を構成する材料として、バンドギャップエネルギーの値が大きく（例えば、３．０ｅＶ以上のバンドギャップエネルギーの値）、しかも、光電変換層を構成する材料よりも高い移動度を有する材料を用いることが好ましい。具体的には、酸化物半導体材料；遷移金属ダイカルコゲナイド；シリコンカーバイド；ダイヤモンド；グラフェン；カーボンナノチューブ；縮合多環炭化水素化合物や縮合複素環化合物等の有機半導体材料を挙げることができ、より具体的には、酸化物半導体材料として、インジウム酸化物、ガリウム酸化物、亜鉛酸化物、スズ酸化物や、これらの酸化物が少なくとも１種類含まれる材料、これらの材料にドーパントを添加した材料、具体的には、例えば、ＩＧＺＯ、ＩＴＺＯ、ＩＷＺＯ、ＩＷＯ、ＺＴＯ、ＩＴＯ－ＳｉＯX系材料、ＧＺＯ、ＩＧＯ、ＺｎＳｎＯ3、ＡｌＺｎＯ、ＧａＺｎＯ、ＩｎＺｎＯを挙げることができるし、また、ＣｕＩ、ＩｎＳｂＯ4、ＺｎＭｇＯ、ＣｕＩｎＯ2、ＭｇＩｎ2Ｏ4、ＣｄＯ等を含む材料を挙げることができるが、これらの材料に限定するものではない。あるいは又、下層半導体層を構成する材料として、蓄積すべき電荷が電子である場合、上層光電変換層を構成する材料のイオン化ポテンシャルよりも大きなイオン化ポテンシャルを有する材料を挙げることができるし、蓄積すべき電荷が正孔である場合、上層光電変換層を構成する材料の電子親和力よりも小さな電子親和力を有する材料を挙げることができる。あるいは又、下層半導体層を構成する材料における不純物濃度は１×１０18ｃｍ-3以下であることが好ましい。下層半導体層は、単層構成であってもよいし、多層構成であってもよい。また、電荷蓄積用電極の上方に位置する下層半導体層を構成する材料と、第１電極の上方に位置する下層半導体層を構成する材料とを、異ならせてもよい。
【0059】
本開示の固体撮像装置によって、単板式カラー固体撮像装置を構成することができる。
【0060】
積層型撮像素子を備えた本開示の固体撮像装置にあっては、ベイヤ配列の撮像素子を備えた固体撮像装置と異なり（即ち、カラーフィルタを用いて青色、緑色、赤色の分光を行うのではなく）、同一画素内で光の入射方向において、複数種の波長の光に対して感度を有する撮像素子を積層して１つの画素を構成するので、感度の向上及び単位体積当たりの画素密度の向上を図ることができる。また、有機系材料は吸収係数が高いため、有機光電変換層の膜厚を従来のＳｉ系光電変換層と比較して薄くすることができ、隣接画素からの光漏れや、光の入射角の制限が緩和される。更には、従来のＳｉ系撮像素子では３色の画素間で補間処理を行って色信号を作成するために偽色が生じるが、積層型撮像素子を備えた本開示の固体撮像装置にあっては、偽色の発生が抑えられる。有機光電変換層それ自体がカラーフィルタとしても機能するので、カラーフィルタを配設しなくとも色分離が可能である。
【0061】
一方、積層型撮像素子ではなく撮像素子を備えた本開示の固体撮像装置にあっては、カラーフィルタを用いることで、青色、緑色、赤色の分光特性への要求を緩和することができるし、また、高い量産性を有する。本開示の固体撮像装置における撮像素子の配列として、ベイヤ配列の他、インターライン配列、ＧストライプＲＢ市松配列、ＧストライプＲＢ完全市松配列、市松補色配列、ストライプ配列、斜めストライプ配列、原色色差配列、フィールド色差順次配列、フレーム色差順次配列、ＭＯＳ型配列、改良ＭＯＳ型配列、フレームインターリーブ配列、フィールドインターリーブ配列を挙げることができる。ここで、１つの撮像素子によって１つの画素（あるいは副画素）が構成される。
【0062】
本開示の固体撮像装置は、２次元アレイ状に規則的に複数配列された画素から構成される。画素領域は、通常、実際に光を受光し光電変換によって生成された信号電荷を増幅して駆動回路に読み出す有効画素領域と、黒レベルの基準になる光学的黒を出力するための黒基準画素領域とから構成されている。黒基準画素領域は、通常は、有効画素領域の外周部に配置されている。
【0063】
以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の固体撮像装置において、光が照射され、光電変換部で光電変換が生じ、正孔（ホール）と電子がキャリア分離される。そして、正孔が取り出される電極を陽極、電子が取り出される電極を陰極とする。第１電極が陽極を構成し、第２電極が陰極を構成する形態もあるし、逆に、第１電極が陰極を構成し、第２電極が陽極を構成する形態もある。
【0064】
積層型撮像素子を構成する場合、第１電極、電荷蓄積用電極、各種分離電極、転送制御用電極、電荷排出電極及び第２電極は透明導電材料から成る構成とすることができる。尚、第１電極、電荷蓄積用電極、各種分離電極、転送制御用電極及び電荷排出電極を総称して、『第１電極等』と呼ぶ場合がある。あるいは又、本開示の固体撮像装置が、例えばベイヤ配列のように平面に配される場合には、第２電極は透明導電材料から成り、第１電極や電荷蓄積用電極等は金属材料から成る構成とすることができ、この場合、具体的には、光入射側に位置する第２電極は透明導電材料から成り、第１電極等は、例えば、Ａｌ－Ｎｄ（アルミニウム及びネオジウムの合金）又はＡＳＣ（アルミニウム、サマリウム及び銅の合金）から成る構成とすることができる。尚、透明導電材料から成る電極を『透明電極』と呼ぶ場合がある。ここで、透明導電材料のバンドギャップエネルギーは、２．５ｅＶ以上、好ましくは３．１ｅＶ以上であることが望ましい。透明電極を構成する透明導電材料として、導電性のある金属酸化物を挙げることができ、具体的には、酸化インジウム、インジウム－錫酸化物（ＩＴＯ，Indium Tin Oxide，ＳｎドープのＩｎ2Ｏ3、結晶性ＩＴＯ及びアモルファスＩＴＯを含む）、酸化亜鉛にドーパントとしてインジウムを添加したインジウム－亜鉛酸化物（ＩＺＯ，Indium Zinc Oxide）、酸化ガリウムにドーパントとしてインジウムを添加したインジウム－ガリウム酸化物（ＩＧＯ）、酸化亜鉛にドーパントとしてインジウムとガリウムを添加したインジウム－ガリウム－亜鉛酸化物（ＩＧＺＯ，Ｉｎ－ＧａＺｎＯ4）、酸化亜鉛にドーパントとしてインジウムと錫を添加したインジウム－錫－亜鉛酸化物（ＩＴＺＯ）、ＩＦＯ（ＦドープのＩｎ2Ｏ3）、酸化錫（ＳｎＯ2）、ＡＴＯ（ＳｂドープのＳｎＯ2）、ＦＴＯ（ＦドープのＳｎＯ2）、酸化亜鉛（他元素をドープしたＺｎＯを含む）、酸化亜鉛にドーパントとしてアルミニウムを添加したアルミニウム－亜鉛酸化物（ＡＺＯ）、酸化亜鉛にドーパントとしてガリウムを添加したガリウム－亜鉛酸化物（ＧＺＯ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化チタンにドーパントとしてニオブを添加したニオブ－チタン酸化物(ＴＮＯ)、酸化アンチモン、スピネル型酸化物、ＹｂＦｅ2Ｏ4構造を有する酸化物を例示することができる。あるいは又、ガリウム酸化物、チタン酸化物、ニオブ酸化物、ニッケル酸化物等を母層とする透明電極を挙げることができる。透明電極の厚さとして、２×１０-8ｍ乃至２×１０-7ｍ、好ましくは３×１０-8ｍ乃至１×１０-7ｍを挙げることができる。第１電極が透明性を要求される場合、製造プロセスの簡素化といった観点から、他の電極も透明導電材料から構成することが好ましい。
【0065】
あるいは又、透明性が不要である場合、正孔を取り出す電極としての機能を有する陽極を構成する導電材料として、高仕事関数（例えば、φ＝４．５ｅＶ～５．５ｅＶ）を有する導電材料から構成することが好ましく、具体的には、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、鉄（Ｆｅ）、イリジウム（Ｉｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、レニウム（Ｒｅ）、テルル（Ｔｅ）を例示することができる。一方、電子を取り出す電極としての機能を有する陰極を構成する導電材料として、低仕事関数（例えば、φ＝３．５ｅＶ～４．５ｅＶ）を有する導電材料から構成することが好ましく、具体的には、アルカリ金属（例えばＬｉ、Ｎａ、Ｋ等）及びそのフッ化物又は酸化物、アルカリ土類金属（例えばＭｇ、Ｃａ等）及びそのフッ化物又は酸化物、アルミニウム（Ａｌ）、亜鉛（Ｚｎ）、錫（Ｓｎ）、タリウム（Ｔｌ）、ナトリウム－カリウム合金、アルミニウム－リチウム合金、マグネシウム－銀合金、インジウム、イッテリビウム等の希土類金属、あるいは、これらの合金を挙げることができる。あるいは又、陽極や陰極を構成する材料として、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、インジウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、モリブデン（Ｍｏ）等の金属、あるいは、これらの金属元素を含む合金、これらの金属から成る導電性粒子、これらの金属を含む合金の導電性粒子、不純物を含有したポリシリコン、炭素系材料、酸化物半導体、カーボン・ナノ・チューブ、グラフェン等の導電性材料を挙げることができるし、これらの元素を含む層の積層構造とすることもできる。更には、陽極や陰極を構成する材料として、ポリ（３，４－エチレンジオキシチオフェン）／ポリスチレンスルホン酸［ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ］といった有機材料（導電性高分子）を挙げることもできる。また、これらの導電性材料をバインダー（高分子）に混合してペースト又はインクとしたものを硬化させ、電極として用いてもよい。
【0066】
第１電極等や第２電極（陽極や陰極）の成膜方法として、乾式法あるいは湿式法を用いることが可能である。乾式法として、物理的気相成長法（ＰＶＤ法）及び化学的気相成長法（ＣＶＤ法）を挙げることができる。ＰＶＤ法の原理を用いた成膜方法として、抵抗加熱あるいは高周波加熱を用いた真空蒸着法、ＥＢ（電子ビーム）蒸着法、各種スパッタリング法（マグネトロンスパッタリング法、ＲＦ－ＤＣ結合形バイアススパッタリング法、ＥＣＲスパッタリング法、対向ターゲットスパッタリング法、高周波スパッタリング法）、イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、分子線エピタキシー法、レーザー転写法を挙げることができる。また、ＣＶＤ法として、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、有機金属（ＭＯ）ＣＶＤ法、光ＣＶＤ法を挙げることができる。一方、湿式法として、電解メッキ法や無電解メッキ法、スピンコート法、インクジェット法、スプレーコート法、スタンプ法、マイクロコンタクトプリント法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法、ディップ法等の方法を挙げることができる。パターニング法として、シャドーマスク、レーザー転写、フォトリソグラフィー等の化学的エッチング、紫外線やレーザー等による物理的エッチング等を挙げることができる。第１電極等や第２電極の平坦化技術として、レーザー平坦化法、リフロー法、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法等を用いることができる。
【0067】
絶縁層や層間絶縁層、絶縁膜、層間絶縁膜を構成する材料として、酸化ケイ素系材料；窒化ケイ素（ＳｉＮY）；酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）等の金属酸化物高誘電絶縁材料に例示される無機系絶縁材料だけでなく、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）；ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）；ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）；ポリイミド；ポリカーボネート（ＰＣ）；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）；ポリスチレン；Ｎ－２（アミノエチル）３－アミノプロピルトリメトキシシラン（ＡＥＡＰＴＭＳ）、３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン（ＭＰＴＭＳ）、オクタデシルトリクロロシラン（ＯＴＳ）等のシラノール誘導体（シランカップリング剤）；ノボラック型フェノール樹脂；フッ素系樹脂；オクタデカンチオール、ドデシルイソシアネイト等の一端に制御電極と結合可能な官能基を有する直鎖炭化水素類にて例示される有機系絶縁材料（有機ポリマー）を挙げることができるし、これらの組み合わせを用いることもできる。尚、酸化ケイ素系材料として、酸化シリコン（ＳｉＯX）、ＢＰＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＡｓＳＧ、ＰｂＳＧ、酸化窒化シリコン（ＳｉＯＮ）、ＳＯＧ（スピンオングラス）、低誘電率材料（例えば、ポリアリールエーテル、シクロパーフルオロカーボンポリマー及びベンゾシクロブテン、環状フッ素樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、フッ化アリールエーテル、フッ化ポリイミド、アモルファスカーボン、有機ＳＯＧ）を例示することができる。
【0068】
制御部を構成する浮遊拡散層、増幅トランジスタ、リセット・トランジスタ及び選択トランジスタの構成、構造は、従来の浮遊拡散層、増幅トランジスタ、リセット・トランジスタ及び選択トランジスタの構成、構造と同様とすることができる。駆動回路も周知の構成、構造とすることができる。
【0069】
第１電極は、浮遊拡散層及び増幅トランジスタのゲート部に接続されているが、第１電極と浮遊拡散層及び増幅トランジスタのゲート部との接続のためにコンタクトホール部を形成すればよい。コンタクトホール部を構成する材料として、不純物がドーピングされたポリシリコンや、タングステン、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｕ、ＴｉＷ、ＴｉＮ、ＴｉＮＷ、ＷＳｉ2、ＭｏＳｉ2等の高融点金属や金属シリサイド、これらの材料から成る層の積層構造（例えば、Ｔｉ／ＴｉＮ／Ｗ）を例示することができる。
【0070】
有機光電変換層と第１電極との間に、第１キャリアブロッキング層を設けてもよいし、有機光電変換層と第２電極との間に、第２キャリアブロッキング層を設けてもよい。また、第１キャリアブロッキング層と第１電極との間に第１電荷注入層を設けてもよいし、第２キャリアブロッキング層と第２電極との間に第２電荷注入層を設けてもよい。例えば、電子注入層を構成する材料として、例えば、リチウム（Ｌｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）といったアルカリ金属及びそのフッ化物や酸化物、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）といったアルカリ土類金属及びそのフッ化物や酸化物を挙げることができる。
【0071】
各種有機層の成膜方法として、乾式成膜法及び湿式成膜法を挙げることができる。乾式成膜法として、抵抗加熱あるいは高周波加熱、電子ビーム加熱を用いた真空蒸着法、フラッシュ蒸着法、プラズマ蒸着法、ＥＢ蒸着法、各種スパッタリング法（２極スパッタリング法、直流スパッタリング法、直流マグネトロンスパッタリング法、高周波スパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、ＲＦ－ＤＣ結合形バイアススパッタリング法、ＥＣＲスパッタリング法、対向ターゲットスパッタリング法、高周波スパッタリング法、イオンビームスパッタリング法）、ＤＣ（Direct Current）法、ＲＦ法、多陰極法、活性化反応法、電界蒸着法、高周波イオンプレーティング法や反応性イオンプレーティング法等の各種イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、分子線エピタキシー法、レーザー転写法、分子線エピタキシー法（ＭＢＥ法）を挙げることができる。また、ＣＶＤ法として、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法、光ＣＶＤ法を挙げることができる。一方、湿式法として、具体的には、スピンコート法；浸漬法；キャスト法；マイクロコンタクトプリント法；ドロップキャスト法；スクリーン印刷法やインクジェット印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法、フレキソ印刷法といった各種印刷法；スタンプ法；スプレー法；エアドクタコーター法、ブレードコーター法、ロッドコーター法、ナイフコーター法、スクイズコーター法、リバースロールコーター法、トランスファーロールコーター法、グラビアコーター法、キスコーター法、キャストコーター法、スプレーコーター法、スリットオリフィスコーター法、カレンダーコーター法といった各種コーティング法を例示することができる。尚、塗布法においては、溶媒として、トルエン、クロロホルム、ヘキサン、エタノールといった無極性又は極性の低い有機溶媒を例示することができる。パターニング法として、シャドーマスク、レーザー転写、フォトリソグラフィー等の化学的エッチング、紫外線やレーザー等による物理的エッチング等を挙げることができる。各種有機層の平坦化技術として、レーザー平坦化法、リフロー法等を用いることができる。
【0072】
以上に説明した好ましい形態、構成を含む第１構成～第６構成の撮像素子の２種類あるいはそれ以上を、所望に応じて、適宜、組み合わせることができる。
【0073】
固体撮像装置には、前述したとおり、必要に応じて、オンチップ・マイクロ・レンズや遮光層を設けてもよいし、撮像素子を駆動するための駆動回路や配線が設けられている。必要に応じて、撮像素子への光の入射を制御するためのシャッターを配設してもよいし、固体撮像装置の目的に応じて光学カットフィルタを具備してもよい。
【0074】
例えば、固体撮像装置を読出し用集積回路（ＲＯＩＣ）と積層する場合、読出し用集積回路及び銅（Ｃｕ）から成る接続領域が形成された駆動用基板と、接続領域が形成された撮像素子とを、接続領域同士が接するように重ね合わせ、接続領域同士を接合することで、積層することができるし、接続領域同士をハンダバンプ等を用いて接合することもできる。
【0075】
また、本開示の固体撮像装置を駆動するための駆動方法にあっては、
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に電荷を蓄積しながら、第１電極における電荷を系外に排出し、その後、
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に蓄積された電荷を第１電極に転送し、転送完了後、順次、各撮像素子において第１電極に転送された電荷を読み出す、
各工程を繰り返す固体撮像装置の駆動方法とすることができる。
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に電荷を蓄積しながら、第１電極における電荷を系外に排出し、その後、
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に蓄積された電荷を第１電極に転送し、転送完了後、順次、各撮像素子において第１電極に転送された電荷を読み出す、
各工程を繰り返す固体撮像装置の駆動方法とすることができる。
【0076】
このような固体撮像装置の駆動方法にあっては、各撮像素子は、第２電極側から入射した光が第１電極には入射しない構造を有し、全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に電荷を蓄積しながら、第１電極における電荷を系外に排出するので、全撮像素子において同時に第１電極のリセットを確実に行うことができる。そして、その後、全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に蓄積された電荷を第１電極に転送し、転送完了後、順次、各撮像素子において第１電極に転送された電荷を読み出す。それ故、所謂グローバルシャッター機能を容易に実現することができる。
【実施例1】
【0077】
実施例１は、本開示の固体撮像装置、具体的には、第１構成の固体撮像装置に関する。実施例１の固体撮像装置における電荷蓄積用電極及び第１電極の配置状態を模式的に図１Ａに示す。また、実施例１の固体撮像装置の模式的な一部断面図を図９及び図１０Ａに示し、実施例１の撮像素子、積層型撮像素子の等価回路図を図１１及び図１２に示し、実施例１の撮像素子を構成する第１電極及び電荷蓄積用電極並びに制御部を構成するトランジスタの模式的な配置図を図１３に示す。更には、実施例１の撮像素子の動作時の各部位における電位の状態を模式的に図１４に示し、図１４の各部位を説明するための実施例１の撮像素子、積層型撮像素子の等価回路図を図１５Ａに示し、実施例１の固体撮像装置の概念図を図１６に示す。
【0078】
ここで、図９は、図１Ａに示す一点鎖線Ａ－Ｂ－Ｃに沿った模式的な一部断面図であり、図１０Ａは、図１Ａに示す一点鎖線Ａ－Ｂ－Ｄ－Ｅに沿った模式的な一部断面図である。また、後述する層間絶縁層より下方に位置する各種の撮像素子構成要素を、図面を簡素化するために、便宜上、纏めて、参照番号９１で示す場合がある。
【0079】
実施例１の固体撮像装置は、複数の撮像素子１１から構成された撮像素子ブロック１０を、複数、有しており、
各撮像素子１１は、
第１電極２１、
第１電極２１と離間して配置された電荷蓄積用電極２４、
第１電極２１と接し、絶縁層８２を介して電荷蓄積用電極２４の上方に形成された光電変換部２３、並びに、
光電変換部２３上に形成された第２電極２２、
を備えており、
第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４は、層間絶縁層８１上に設けられており、
撮像素子１１の第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されている。
各撮像素子１１は、
第１電極２１、
第１電極２１と離間して配置された電荷蓄積用電極２４、
第１電極２１と接し、絶縁層８２を介して電荷蓄積用電極２４の上方に形成された光電変換部２３、並びに、
光電変換部２３上に形成された第２電極２２、
を備えており、
第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４は、層間絶縁層８１上に設けられており、
撮像素子１１の第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されている。
【0080】
実施例１の固体撮像装置において、撮像素子ブロック１０は、第１の方向に沿ってＰ個、第１の方向とは異なる第２の方向に沿ってＱ個の、Ｐ×Ｑ個（但し、Ｐ≧２，Ｑ≧１）の撮像素子１１から構成されている。具体的には、実施例１の固体撮像装置にあっては、Ｐ＝２，Ｑ＝１である。即ち、撮像素子ブロック１０は、第１の方向に沿って並置された２つの第１撮像素子１１から構成されている。第１の方向に沿った２つの撮像素子１１のそれぞれを構成する第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されている。複数の撮像素子ブロック１０は、例えば、第１の方向及び第２の方向に２次元マトリクス状に配列されている。
【0081】
撮像素子ブロック１０を構成する撮像素子１１と撮像素子１１との間を第２の方向に延びる境界線ＢＬに対して、撮像素子１１は線対称に配置されている。また、図１Ａにおいては、１つの撮像素子ブロック１０を図示している。接続部６３は、第１電極２１に接続され、層間絶縁層８１内に設けられた接続孔６５、及び、接続孔６５から層間絶縁層８１内に設けられ、絶縁膜７５上を延びる配線部６４から構成されている。接続部６３は、コンタクトホール部６１に繋がっている。
【0082】
また、実施例１の固体撮像装置は、実施例１の撮像素子１１を少なくとも１つ有する積層型撮像素子を備えている。具体的には、実施例１の撮像素子１１の下方には、少なくとも１つの下方撮像素子１３，１５が設けられており、撮像素子１１が受光する光の波長と、下方撮像素子１３，１５が受光する光の波長とは、異なり、この場合、２つの下方撮像素子１３，１５が積層されている。
【0083】
光入射側に位置する第２電極２２は、後述する実施例５の撮像素子を除き、複数の撮像素子１１において共通化されている。即ち、第２電極２２は所謂ベタ電極とされている。光電変換部２３は、複数の撮像素子１１において共通化されている。即ち、複数の撮像素子１１において１層の光電変換部２３が形成されている。
【0084】
実施例１の積層型撮像素子は、実施例１の撮像素子１１を少なくとも１つ（具体的には、実施例１にあっては実施例１の撮像素子１１を１つ）、有する。
【0085】
更には、半導体基板に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、撮像素子ブロック１０を構成する２つの撮像素子１１における第１電極２１は、接続部６３（具体的には、接続孔６５及び配線部６４）、コンタクトホール部６１を介して駆動回路に接続されている。また、第２電極２２及び電荷蓄積用電極２４も駆動回路に接続されている。
【0086】
例えば、第１電極２１を正の電位とし、第２電極２２を負の電位とし、光電変換部２３において光電変換によって生成した電子が第１浮遊拡散層ＦＤ1に読み出される。他の実施例においても同様とする。第１電極２１を負の電位とし、第２電極２２を正の電位とし、光電変換部２３において光電変換に基づき生成した正孔が第１浮遊拡散層ＦＤ1に読み出される形態にあっては、以下の述べる電位の高低を逆にすればよい。
【0087】
また、実施例１の撮像素子１１は、
半導体基板７０に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、
第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４は、駆動回路に接続されており、
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加され、光電変換部２３に電荷が蓄積され、
電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加され、光電変換部２３に蓄積された電荷が第１電極２１を経由して制御部に読み出される。但し、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くしたので、
Ｖ31≧Ｖ11、且つ、Ｖ32＜Ｖ12
である。
半導体基板７０に設けられ、駆動回路を有する制御部を更に備えており、
第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４は、駆動回路に接続されており、
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加され、光電変換部２３に電荷が蓄積され、
電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加され、光電変換部２３に蓄積された電荷が第１電極２１を経由して制御部に読み出される。但し、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くしたので、
Ｖ31≧Ｖ11、且つ、Ｖ32＜Ｖ12
である。
【0088】
以下、図１４、図１５Ａを参照して、実施例１の電荷蓄積用電極を備えた積層型撮像素子（第１撮像素子）の動作を説明する。ここで、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くした。即ち、例えば、第１電極２１を正の電位とし、第２電極２２を負の電位とした。光電変換部２３において光電変換によって生成した電子が浮遊拡散層に読み出される。他の実施例においても同様とする。尚、第１電極２１を負の電位とし、第２電極２２を正の電位とし、光電変換部２３において光電変換に基づき生成した正孔が浮遊拡散層に読み出される形態にあっては、以下の述べる電位の高低を逆にすればよい。
【0089】
【0090】
ＰA ・・・・・電荷蓄積用電極２４あるいは転送制御用電極（電荷転送電極）２５と第１電極２１の中間に位置する領域と対向した光電変換部２３の領域の点ＰAにおける電位
ＰB ・・・・・電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域の点ＰBにおける電位
ＰC ・・・・・転送制御用電極（電荷転送電極）２５と対向した光電変換部２３の領域の点ＰCにおける電位
ＦＤ・・・・・第１浮遊拡散層ＦＤ1における電位
ＶOA・・・・・電荷蓄積用電極２４における電位
ＶOT ・・・・・転送制御用電極（電荷転送電極）２５における電位
ＲＳＴ・・・・リセット・トランジスタＴＲ１rstのゲート部５１における電位
ＶDD・・・・・電源の電位
ＶＳＬ1 ・・・信号線（データ出力線）ＶＳＬ1
ＴＲ１rst ・・リセット・トランジスタＴＲ１rst
ＴＲ１amp ・・増幅トランジスタＴＲ１amp
ＴＲ１sel ・・選択トランジスタＴＲ１sel
ＰB ・・・・・電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域の点ＰBにおける電位
ＰC ・・・・・転送制御用電極（電荷転送電極）２５と対向した光電変換部２３の領域の点ＰCにおける電位
ＦＤ・・・・・第１浮遊拡散層ＦＤ1における電位
ＶOA・・・・・電荷蓄積用電極２４における電位
ＶOT ・・・・・転送制御用電極（電荷転送電極）２５における電位
ＲＳＴ・・・・リセット・トランジスタＴＲ１rstのゲート部５１における電位
ＶDD・・・・・電源の電位
ＶＳＬ1 ・・・信号線（データ出力線）ＶＳＬ1
ＴＲ１rst ・・リセット・トランジスタＴＲ１rst
ＴＲ１amp ・・増幅トランジスタＴＲ１amp
ＴＲ１sel ・・選択トランジスタＴＲ１sel
【0091】
〈電荷蓄積期間〉
電荷蓄積期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加される。また、第２電極２２に電位Ｖ21が印加される。こうして、光電変換部２３に入射された光によって光電変換部２３において光電変換が生じ、光電変換部２３に電荷（電子である）が蓄積される。光電変換によって生成した正孔は、第２電極２２から配線ＶOUを介して駆動回路へと送出される。一方、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くしたので、即ち、例えば、第１電極２１に正の電位が印加され、第２電極２２に負の電位が印加されるとしたので、Ｖ31≧Ｖ11、好ましくは、Ｖ31＞Ｖ11とする。これによって、光電変換によって生成した電子は、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まる。即ち、光電変換部２３に電荷が蓄積される。Ｖ31＞Ｖ11であるが故に、光電変換部２３の内部に生成した電子が、第１電極２１に向かって移動することはない。光電変換の時間経過に伴い、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域における電位は、より負側の値となる。
電荷蓄積期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加される。また、第２電極２２に電位Ｖ21が印加される。こうして、光電変換部２３に入射された光によって光電変換部２３において光電変換が生じ、光電変換部２３に電荷（電子である）が蓄積される。光電変換によって生成した正孔は、第２電極２２から配線ＶOUを介して駆動回路へと送出される。一方、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くしたので、即ち、例えば、第１電極２１に正の電位が印加され、第２電極２２に負の電位が印加されるとしたので、Ｖ31≧Ｖ11、好ましくは、Ｖ31＞Ｖ11とする。これによって、光電変換によって生成した電子は、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まる。即ち、光電変換部２３に電荷が蓄積される。Ｖ31＞Ｖ11であるが故に、光電変換部２３の内部に生成した電子が、第１電極２１に向かって移動することはない。光電変換の時間経過に伴い、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域における電位は、より負側の値となる。
【0092】
電荷蓄積期間の後期において、リセット動作がなされる。これによって、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位がリセットされ、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位（ＶFD）は電源の電位ＶDDとなる。
【0093】
〈電荷転送期間〉
リセット動作の完了後、電荷の読み出しを行う。即ち、電荷転送期間が開始される。電荷転送期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加される。また、第２電極２２に電位Ｖ22が印加される。ここで、Ｖ32＜Ｖ12とする。こうして、撮像素子１１の光電変換部２３に蓄積された電荷が、読み出される。即ち、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まっていた電子は、第１電極２１、更には、第１浮遊拡散層ＦＤ1へと読み出される。云い換えれば、光電変換部２３に蓄積された電荷は制御部に読み出される。
リセット動作の完了後、電荷の読み出しを行う。即ち、電荷転送期間が開始される。電荷転送期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加される。また、第２電極２２に電位Ｖ22が印加される。ここで、Ｖ32＜Ｖ12とする。こうして、撮像素子１１の光電変換部２３に蓄積された電荷が、読み出される。即ち、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まっていた電子は、第１電極２１、更には、第１浮遊拡散層ＦＤ1へと読み出される。云い換えれば、光電変換部２３に蓄積された電荷は制御部に読み出される。
【0094】
以上で、電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作が完了する。
【0095】
第１浮遊拡散層ＦＤ1へ電子が読み出された後の増幅トランジスタＴＲ１amp、選択トランジスタＴＲ１selの動作は、従来のこれらのトランジスタの動作と同じである。第２撮像素子１３、第３撮像素子１５の電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作は、従来の電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作と同様である。第１浮遊拡散層ＦＤ1のリセットノイズは、従来と同様に、相関２重サンプリング（ＣＤＳ，Correlated Double Sampling）処理によって除去することができる。
【0096】
実施例１の固体撮像装置にあっては、半導体基板（より具体的には、シリコン半導体層）７０が更に備えられており、光電変換部は、半導体基板７０の上方に配置されている。また、半導体基板７０に設けられ、第１電極２１や第２電極２２、電荷蓄積用電極２４が接続された駆動回路を有する制御部を更に備えている。ここで、半導体基板７０における光入射面を上方とし、半導体基板７０の反対側を下方とする。半導体基板７０の下方には複数の配線から成る配線層６２が設けられている。
【0097】
半導体基板７０には、制御部を構成する少なくとも浮遊拡散層ＦＤ1及び増幅トランジスタＴＲ１ampが設けられており、第１電極２１は、浮遊拡散層ＦＤ1及び増幅トランジスタＴＲ１ampのゲート部に接続されている。半導体基板７０には、更に、制御部を構成するリセット・トランジスタＴＲ１rst及び選択トランジスタＴＲ１selが設けられている。浮遊拡散層ＦＤ1は、リセット・トランジスタＴＲ１rstの一方のソース／ドレイン領域に接続されており、増幅トランジスタＴＲ１ampの他方のソース／ドレイン領域は、選択トランジスタＴＲ１selの一方のソース／ドレイン領域に接続されており、選択トランジスタＴＲ１selの他方のソース／ドレイン領域は信号線ＶＳＬ1に接続されている。これらの増幅トランジスタＴＲ１amp、リセット・トランジスタＴＲ１rst及び選択トランジスタＴＲ１selは、駆動回路を構成する。
【0098】
図示した例では、２つの撮像素子１１に対して１つの浮遊拡散層ＦＤ1等が設けられている状態を示しているが、後述する実施例では、４つの撮像素子１１に対して浮遊拡散層ＦＤ1等が共有されている。
【0099】
具体的には、実施例１の撮像素子、積層型撮像素子は、裏面照射型の撮像素子、積層型撮像素子であり、緑色光を吸収する第１タイプの緑色光用光電変換部を備えた緑色光に感度を有する第１タイプの実施例１の緑色光用撮像素子（以下、『第１撮像素子』と呼ぶ）、青色光を吸収する第２タイプの青色光用光電変換部を備えた青色光に感度を有する第２タイプの従来の青色光用撮像素子（以下、『第２撮像素子』と呼ぶ）、赤色光を吸収する第２タイプの赤色光用光電変換部を備えた赤色光に感度を有する第２タイプの従来の赤色光用撮像素子（以下、『第３撮像素子』と呼ぶ）の３つの撮像素子１１，１３，１５が積層された構造を有する。ここで赤色光用撮像素子（第３撮像素子）１５及び青色光用撮像素子（第２撮像素子）１３は、半導体基板７０内に設けられており、第２撮像素子１３の方が、第３撮像素子１５よりも光入射側に位置する。また、緑色光用撮像素子（第１撮像素子）１１は、青色光用撮像素子（第２撮像素子）１３の上方に設けられている。第１撮像素子１１、第２撮像素子１３及び第３撮像素子１５の積層構造によって、１画素が構成される。カラーフィルタは設けられていない。
【0100】
第１撮像素子１１にあっては、層間絶縁層８１内には接続部６３（具体的には、接続孔６５及び配線部６４）が形成されており、層間絶縁層８１上に、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４が、離間して形成されている。層間絶縁層８１及び電荷蓄積用電極２４は、絶縁層８２によって覆われている。絶縁層８２上には光電変換部２３が形成され、光電変換部２３上には第２電極２２が形成されている。第２電極２２を含む全面には、保護層８３が形成されており、保護層８３上にオンチップ・マイクロ・レンズ９０が設けられている。第１電極２１、電荷蓄積用電極２４及び第２電極２２は、例えば、ＩＴＯ（仕事関数：約４．４ｅＶ）から成る透明電極から構成されている。光電変換部２３は光電変換層から構成されており、少なくとも緑色光に感度を有する周知の有機光電変換材料（例えば、ローダミン系色素、メラシアニン系色素、キナクリドン等の有機系材料）を含む層から構成されている。また、光電変換部２３は、更に、電荷蓄積に適した材料層を含む構成であってもよい。即ち、光電変換部２３と第１電極２１との間に（例えば、接続部分６８内に）、更に、電荷蓄積に適した材料層が形成されていてもよい。層間絶縁層８１や絶縁層８２、保護層８３は、周知の絶縁材料（例えば、ＳｉＯ2やＳｉＮ）から構成されている。光電変換部２３と第１電極２１とは、絶縁層８２に設けられた接続部分６８によって接続されている。接続部分６８内には、光電変換部２３が延在している。即ち、光電変換部２３は、絶縁層８２に設けられた開口部８４内を延在し、第１電極２１と接続されている。
【0101】
電荷蓄積用電極２４は駆動回路に接続されている。具体的には、電荷蓄積用電極２４は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部分６７、パッド部６６及び配線ＶOAを介して、駆動回路を構成する垂直駆動回路１１２に接続されている。
【0102】
電荷蓄積用電極２４の大きさは第１電極２１よりも大きい。電荷蓄積用電極２４の面積をｓ1’、第１電極２１の面積をｓ1としたとき、限定するものではないが、
４≦ｓ1’／ｓ1
を満足することが好ましく、実施例１あるいは後述する各種実施例の撮像素子にあっては、限定するものではないが、例えば、
ｓ1’／ｓ1＝８
とした。
４≦ｓ1’／ｓ1
を満足することが好ましく、実施例１あるいは後述する各種実施例の撮像素子にあっては、限定するものではないが、例えば、
ｓ1’／ｓ1＝８
とした。
【0103】
半導体基板７０の第１面（おもて面）７０Ａの側には素子分離領域７１が形成され、また、半導体基板７０の第１面７０Ａには酸化膜７２が形成されている。更には、半導体基板７０の第１面側には、第１撮像素子１１の制御部を構成するリセット・トランジスタＴＲ１rst、増幅トランジスタＴＲ１amp及び選択トランジスタＴＲ１selが設けられ、更に、第１浮遊拡散層ＦＤ1が設けられている。
【0104】
リセット・トランジスタＴＲ１rstは、ゲート部５１、チャネル形成領域５１Ａ、及び、ソース／ドレイン領域５１Ｂ，５１Ｃから構成されている。リセット・トランジスタＴＲ１rstのゲート部５１はリセット線ＲＳＴ1に接続され、リセット・トランジスタＴＲ１rstの一方のソース／ドレイン領域５１Ｃは、第１浮遊拡散層ＦＤ1を兼ねており、他方のソース／ドレイン領域５１Ｂは、電源ＶDDに接続されている。
【0105】
第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３（接続孔６５、配線部６４）、半導体基板７０及び層間絶縁膜７６に形成されたコンタクトホール部６１、層間絶縁膜７６に形成された配線層６２を介して、リセット・トランジスタＴＲ１rstの一方のソース／ドレイン領域５１Ｃ（第１浮遊拡散層ＦＤ1）に接続されている。
【0106】
増幅トランジスタＴＲ１ampは、ゲート部５２、チャネル形成領域５２Ａ、及び、ソース／ドレイン領域５２Ｂ，５２Ｃから構成されている。ゲート部５２は配線層６２を介して、第１電極２１及びリセット・トランジスタＴＲ１rstの一方のソース／ドレイン領域５１Ｃ（第１浮遊拡散層ＦＤ1）に接続されている。また、一方のソース／ドレイン領域５２Ｂは、電源ＶDDに接続されている。
【0107】
選択トランジスタＴＲ１selは、ゲート部５３、チャネル形成領域５３Ａ、及び、ソース／ドレイン領域５３Ｂ，５３Ｃから構成されている。ゲート部５３は、選択線ＳＥＬ1に接続されている。また、一方のソース／ドレイン領域５３Ｂは、増幅トランジスタＴＲ１ampを構成する他方のソース／ドレイン領域５２Ｃと、領域を共有しており、他方のソース／ドレイン領域５３Ｃは、信号線（データ出力線）ＶＳＬ1（１１７）に接続されている。
【0108】
第２撮像素子１３は、半導体基板７０に設けられたｎ型半導体領域（第２光電変換部）４１を光電変換層として備えている。縦型トランジスタから成る転送トランジスタＴＲ２trsのゲート部４５が、ｎ型半導体領域４１まで延びており、且つ、転送ゲート線ＴＧ2に接続されている。また、転送トランジスタＴＲ２trsのゲート部４５の近傍の半導体基板７０の領域４５Ｃには、第２浮遊拡散層ＦＤ2が設けられている。ｎ型半導体領域４１に蓄積された電荷は、ゲート部４５に沿って形成される転送チャネルを介して第２浮遊拡散層ＦＤ2に読み出される。
【0109】
第２撮像素子１３にあっては、更に、半導体基板７０の第１面側に、第２撮像素子１３の制御部を構成するリセット・トランジスタＴＲ２rst、増幅トランジスタＴＲ２amp及び選択トランジスタＴＲ２selが設けられている。
【0110】
リセット・トランジスタＴＲ２rstは、ゲート部、チャネル形成領域、及び、ソース／ドレイン領域から構成されている。リセット・トランジスタＴＲ２rstのゲート部はリセット線ＲＳＴ2に接続され、リセット・トランジスタＴＲ２rstの一方のソース／ドレイン領域は電源ＶDDに接続され、他方のソース／ドレイン領域は、第２浮遊拡散層ＦＤ2を兼ねている。
【0111】
増幅トランジスタＴＲ２ampは、ゲート部、チャネル形成領域、及び、ソース／ドレイン領域から構成されている。ゲート部は、リセット・トランジスタＴＲ２rstの他方のソース／ドレイン領域（第２浮遊拡散層ＦＤ2）に接続されている。また、一方のソース／ドレイン領域は、電源ＶDDに接続されている。
【0112】
選択トランジスタＴＲ２selは、ゲート部、チャネル形成領域、及び、ソース／ドレイン領域から構成されている。ゲート部は、選択線ＳＥＬ2に接続されている。また、一方のソース／ドレイン領域は、増幅トランジスタＴＲ２ampを構成する他方のソース／ドレイン領域と、領域を共有しており、他方のソース／ドレイン領域は、信号線（データ出力線）ＶＳＬ2に接続されている。
【0113】
第３撮像素子１５は、半導体基板７０に設けられたｎ型半導体領域（第３光電変換部）４３を光電変換層として備えている。転送トランジスタＴＲ３trsのゲート部４６は転送ゲート線ＴＧ3に接続されている。また、転送トランジスタＴＲ３trsのゲート部４６の近傍の半導体基板７０の領域４６Ｃには、第３浮遊拡散層ＦＤ3が設けられている。ｎ型半導体領域４３に蓄積された電荷は、ゲート部４６に沿って形成される転送チャネル４６Ａを介して第３浮遊拡散層ＦＤ3に読み出される。
【0114】
第３撮像素子１５にあっては、更に、半導体基板７０の第１面側に、第３撮像素子１５の制御部を構成するリセット・トランジスタＴＲ３rst、増幅トランジスタＴＲ３amp及び選択トランジスタＴＲ３selが設けられている。
【0115】
リセット・トランジスタＴＲ３rstは、ゲート部、チャネル形成領域、及び、ソース／ドレイン領域から構成されている。リセット・トランジスタＴＲ３rstのゲート部はリセット線ＲＳＴ3に接続され、リセット・トランジスタＴＲ３rstの一方のソース／ドレイン領域は電源ＶDDに接続され、他方のソース／ドレイン領域は、第３浮遊拡散層ＦＤ3を兼ねている。
【0116】
増幅トランジスタＴＲ３ampは、ゲート部、チャネル形成領域、及び、ソース／ドレイン領域から構成されている。ゲート部は、リセット・トランジスタＴＲ３rstの他方のソース／ドレイン領域（第３浮遊拡散層ＦＤ3）に接続されている。また、一方のソース／ドレイン領域は、電源ＶDDに接続されている。
【0117】
選択トランジスタＴＲ３selは、ゲート部、チャネル形成領域、及び、ソース／ドレイン領域から構成されている。ゲート部は、選択線ＳＥＬ3に接続されている。また、一方のソース／ドレイン領域は、増幅トランジスタＴＲ３ampを構成する他方のソース／ドレイン領域と、領域を共有しており、他方のソース／ドレイン領域は、信号線（データ出力線）ＶＳＬ3に接続されている。
【0118】
リセット線ＲＳＴ1，ＲＳＴ2，ＲＳＴ3、選択線ＳＥＬ1，ＳＥＬ2，ＳＥＬ3、転送ゲート線ＴＧ2，ＴＧ3は、駆動回路を構成する垂直駆動回路１１２に接続され、信号線（データ出力線）ＶＳＬ1，ＶＳＬ2，ＶＳＬ3は、駆動回路を構成するカラム信号処理回路１１３に接続されている。
【0119】
ｎ型半導体領域４３と半導体基板７０の表面７０Ａとの間にはｐ+層４４が設けられており、暗電流発生を抑制している。ｎ型半導体領域４１とｎ型半導体領域４３との間には、ｐ+層４２が形成されており、更には、ｎ型半導体領域４３の側面の一部はｐ+層４２によって囲まれている。半導体基板７０の裏面７０Ｂの側には、ｐ+層７３が形成されており、ｐ+層７３から半導体基板７０の内部のコンタクトホール部６１を形成すべき部分には、ＨｆＯ2膜７４及び絶縁膜７５が形成されている。層間絶縁膜７６には、複数の層に亙り配線が形成されているが、図示は省略した。
【0120】
ＨｆＯ2膜７４は、負の固定電荷を有する膜であり、このような膜を設けることによって、暗電流の発生を抑制することができる。尚、ＨｆＯ2膜の代わりに、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）膜、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）膜、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）膜、酸化チタン（ＴｉＯ2）膜、酸化ランタン（Ｌａ2Ｏ3）膜、酸化プラセオジム（Ｐｒ2Ｏ3）膜、酸化セリウム（ＣｅＯ2）膜、酸化ネオジム（Ｎｄ2Ｏ3）膜、酸化プロメチウム（Ｐｍ2Ｏ3）膜、酸化サマリウム（Ｓｍ2Ｏ3）膜、酸化ユウロピウム（Ｅｕ2Ｏ3）膜、酸化ガドリニウム（（Ｇｄ2Ｏ3）膜、酸化テルビウム（Ｔｂ2Ｏ3）膜、酸化ジスプロシウム（Ｄｙ2Ｏ3）膜、酸化ホルミウム（Ｈｏ2Ｏ3）膜、酸化ツリウム（Ｔｍ2Ｏ3）膜、酸化イッテルビウム（Ｙｂ2Ｏ3）膜、酸化ルテチウム（Ｌｕ2Ｏ3）膜、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3）膜、窒化ハフニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸窒化ハフニウム膜、酸窒化アルミニウム膜を用いることもできる。これらの膜の成膜方法として、例えば、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法、ＡＬＤ法が挙げることができる。
【0121】
図１６に、実施例１の固体撮像装置の概念図を示す。実施例１の固体撮像装置１００は、積層型撮像素子１０１が２次元アレイ状に配列された撮像領域１１１、並びに、その駆動回路（周辺回路）としての垂直駆動回路１１２、カラム信号処理回路１１３、水平駆動回路１１４、出力回路１１５及び駆動制御回路１１６等から構成されている。尚、これらの回路は周知の回路から構成することができるし、また、他の回路構成（例えば、従来のＣＣＤ型固体撮像装置やＣＭＯＳ型固体撮像装置にて用いられる各種の回路）を用いて構成することができることは云うまでもない。尚、図１６において、積層型撮像素子１０１における参照番号「１０１」の表示は、１行のみとした。
【0122】
駆動制御回路１１６は、垂直同期信号、水平同期信号及びマスター・クロックに基づいて、垂直駆動回路１１２、カラム信号処理回路１１３及び水平駆動回路１１４の動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成する。そして、生成されたクロック信号や制御信号は、垂直駆動回路１１２、カラム信号処理回路１１３及び水平駆動回路１１４に入力される。
【0123】
垂直駆動回路１１２は、例えば、シフトレジスタによって構成され、撮像領域１１１の各積層型撮像素子１０１を行単位で順次垂直方向に選択走査する。そして、各積層型撮像素子１０１における受光量に応じて生成した電流（信号）に基づく画素信号（画像信号）は、信号線（データ出力線）１１７，ＶＳＬを介してカラム信号処理回路１１３に送られる。
【0124】
カラム信号処理回路１１３は、例えば、積層型撮像素子１０１の列毎に配置されており、１行分の積層型撮像素子１０１から出力される画像信号を撮像素子毎に黒基準画素（図示しないが、有効画素領域の周囲に形成される）からの信号によって、ノイズ除去や信号増幅の信号処理を行う。カラム信号処理回路１１３の出力段には、水平選択スイッチ（図示せず）が水平信号線１１８との間に接続されて設けられる。
【0125】
水平駆動回路１１４は、例えばシフトレジスタによって構成され、水平走査パルスを順次出力することによって、カラム信号処理回路１１３の各々を順次選択し、カラム信号処理回路１１３の各々から信号を水平信号線１１８に出力する。
【0126】
出力回路１１５は、カラム信号処理回路１１３の各々から水平信号線１１８を介して順次供給される信号に対して、信号処理を行って出力する。
【0127】
実施例１の撮像素子、積層型撮像素子の変形例（実施例１の変形例１）の等価回路図を図１７に示し、第１電極及び電荷蓄積用電極並びに制御部を構成するトランジスタの模式的な配置図を図１８に示すように、リセット・トランジスタＴＲ１rstの他方のソース／ドレイン領域５１Ｂを、電源ＶDDに接続する代わりに、接地してもよい。
【0128】
実施例１の撮像素子、積層型撮像素子は、例えば、以下の方法で作製することができる。即ち、先ず、ＳＯＩ基板を準備する。そして、ＳＯＩ基板の表面に第１シリコン層をエピタキシャル成長法に基づき形成し、この第１シリコン層に、ｐ+層７３、ｎ型半導体領域４１を形成する。次いで、第１シリコン層上に第２シリコン層をエピタキシャル成長法に基づき形成し、この第２シリコン層に、素子分離領域７１、酸化膜７２、ｐ+層４２、ｎ型半導体領域４３、ｐ+層４４を形成する。また、第２シリコン層に、撮像素子の制御部を構成する各種トランジスタ等を形成し、更にその上に、配線層６２や層間絶縁膜７６、各種配線を形成した後、層間絶縁膜７６と支持基板（図示せず）とを貼り合わせる。その後、ＳＯＩ基板を除去して第１シリコン層を露出させる。尚、第２シリコン層の表面が半導体基板７０の表面７０Ａに該当し、第１シリコン層の表面が半導体基板７０の裏面７０Ｂに該当する。また、第１シリコン層と第２シリコン層を纏めて半導体基板７０と表現している。次いで、半導体基板７０の裏面７０Ｂの側に、コンタクトホール部６１を形成するための開口部を形成し、ＨｆＯ2膜７４、絶縁膜７５及びコンタクトホール部６１を形成し、更に、配線部６４、パッド部６６、層間絶縁層８１、接続孔６５、接続部分６７、第１電極２１、電荷蓄積用電極２４、絶縁層８２を形成する。次に、接続部分６８を開口し、光電変換部２３、第２電極２２、保護層８３及びオンチップ・マイクロ・レンズ９０を形成する。以上によって、実施例１の固体撮像装置を得ることができる。
【0129】
あるいは又、実施例１の撮像素子１１（並置された２つの撮像素子１１を図示する）の変形例の模式的な一部断面図を図１０Ｂに示すが、光電変換部２３を、下層半導体層２３DNと、上層光電変換層２３UPの積層構造とすることができる。上層光電変換層２３UPは、複数の撮像素子１１において共通化されている。即ち、複数の撮像素子１１において１層の上層光電変換層２３UPが形成されている。一方、下層半導体層２３DNは各撮像素子１１に設けられている。このように下層半導体層２３DNを設けることで、例えば、電荷蓄積時の再結合を防止することができる。また、光電変換部２３に蓄積した電荷の第１電極２１への電荷転送効率を増加させることができる。更には、光電変換部２３で生成された電荷を一時的に保持し、転送のタイミング等を制御することができる。また、暗電流の生成を抑制することができる。上層光電変換層２３UPを構成する材料は、光電変換部２３を構成する各種材料から、適宜、選択すればよい。一方、下層半導体層２３DNを構成する材料として、バンドギャップエネルギーの値が大きく（例えば、３．０ｅＶ以上のバンドギャップエネルギーの値）、しかも、上層光電変換層２３UPを構成する材料よりも高い移動度を有する材料を用いることが好ましく、具体的には、例えば、ＩＧＺＯ等の酸化物半導体材料を挙げることができる。あるいは又、下層半導体層２３DNを構成する材料として、蓄積すべき電荷が電子である場合、上層光電変換層２３UPを構成する材料のイオン化ポテンシャルよりも大きなイオン化ポテンシャルを有する材料を挙げることができる。あるいは又、下層半導体層を構成する材料における不純物濃度は１×１０18ｃｍ-3以下であることが好ましい。尚、この実施例１の変形例２の構成、構造は、他の実施例に適用することができる。
【0130】
実施例１の固体撮像装置の撮像素子ブロックにおいて、複数の第１電極が層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されているので、撮像素子を構成する第１電極、電荷蓄積用電極及び光電変換部の配置状態を、撮像素子ブロックの撮像素子において、入射する光に対して同じ配置状態とすることができる結果、撮像素子に入射する光の角度に依存して撮像素子に生成した電荷の第１電極への移動状態に差異が生じることが無い。
【0131】
しかも、実施例１あるいは後述する実施例２～実施例９の撮像素子にあっては、第１電極と離間して配置され、且つ、絶縁層を介して光電変換部と対向して配置された電荷蓄積用電極が備えられているので、光電変換部に光が照射され、光電変換部において光電変換されるとき、光電変換部と絶縁層と電荷蓄積用電極とによって一種のキャパシタが形成され、光電変換部に電荷を蓄えることができる。それ故、露光開始時、電荷蓄積部を完全空乏化し、電荷を消去することが可能となる。その結果、ｋＴＣノイズが大きくなり、ランダムノイズが悪化し、撮像画質の低下をもたらすといった現象の発生を抑制することができる。しかも、全画素を一斉にリセットすることができるので、所謂グローバルシャッター機能を実現することができる。
【実施例2】
【0132】
実施例２は、実施例１の変形である。電荷蓄積用電極、第１電極及び分離電極（第１分離電極）の配置状態を模式的に図１Ｂに示し、模式的な一部断面図を図１９Ａに示す。尚、図１９Ａは、図１Ｂに示す一点鎖線Ａ－Ｂ－Ｃ－Ｄに沿った模式的な一部断面図である。実施例２の固体撮像装置において、撮像素子ブロック１０は、連続した分離電極（第１分離電極２８）によって囲まれている。更には、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１、第１分離電極２８及び第２分離電極２９の配置状態を模式的に図２Ａに示すように、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１の間には、第１分離電極２８から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極２９が設けられている構成とすることができる。第１分離電極２８と第２分離電極２９とは繋がっている。第２分離電極２９を設けることで、撮像素子ブロック１０内において、撮像素子１１での光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子に流入することを確実に抑制することができる。あるいは又、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１及び第２分離電極２９の配置状態を模式的に図２Ｂに示すように、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１の間には、第２の方向に沿って延びる第２分離電極２９が設けられている構成とすることができる。尚、この場合、第１分離電極２８は設けられていない。以下の説明において、第１分離電極２８及び第２分離電極２９を、総称して、『分離電極２７』と呼ぶ場合がある。
【0133】
【0134】
ここで、第１分離電極２８は、隣接する撮像素子ブロック１０を構成する隣接する撮像素子１１の間に位置する光電変換部２３の領域に絶縁層８２を介して対向する領域に設けられている。第１分離電極２８は、下方第１分離電極である。第１分離電極２８は、第１電極２１あるいは電荷蓄積用電極２４と同じレベルに形成されているが、異なるレベルに形成されていてもよい。また、第２分離電極２９は、撮像素子ブロック１０内において、撮像素子ブロック１０を構成する隣接する撮像素子１１の間に位置する光電変換部２３の領域に絶縁層８２を介して対向する領域に設けられている。即ち、第２分離電極２９も、下方第２分離電極である。第２分離電極２９も、第１電極２１あるいは電荷蓄積用電極２４と同じレベルに形成されているが、異なるレベルに形成されていてもよい。より具体的には、分離電極２７は、光電変換部２３の領域２３’に絶縁層８２を介して対向する領域（絶縁層の領域８２’）に形成されている。云い換えれば、隣接する撮像素子１１のそれぞれを構成する電荷蓄積用電極２４と電荷蓄積用電極２４とによって挟まれた領域における絶縁層８２の部分８２’の下に、分離電極２７が形成されている。分離電極２７は、電荷蓄積用電極２４と離間して設けられている。あるいは又、云い換えれば、分離電極２７は、電荷蓄積用電極２４と離間して設けられており、分離電極２７は絶縁層８２を介して、光電変換部２３の領域２３’と対向して配置されている。以下に説明する実施例３～実施例４においても、同様とすることができる。
【0135】
そして、分離電極（第１分離電極２８）の電位は（第２分離電極２９が設けられている場合には第２分離電極２９の電位も）、一定の値ＶESである。分離電極２７も駆動回路に接続されている。具体的には、分離電極２７は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部分２７Ａ、パッド部２７Ｂ及び配線（図示せず）を介して、駆動回路を構成する垂直駆動回路１１２に接続されている。以下に説明する実施例３～実施例４においても、同様とすることができる。
【0136】
第１撮像素子１１にあっては、層間絶縁層８１上に、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４が、離間して形成されている。また、層間絶縁層８１上に、分離電極２７が、電荷蓄積用電極２４と離間して形成されている。層間絶縁層８１、電荷蓄積用電極２４及び分離電極２７は、絶縁層８２によって覆われている。絶縁層８２上には光電変換部２３が形成され、光電変換部２３上には第２電極２２が形成されている。第２電極２２を含む全面には、保護層８３が形成されており、保護層８３上にオンチップ・マイクロ・レンズ９０が設けられている。第１電極２１、電荷蓄積用電極２４、分離電極２７及び第２電極２２は、例えば、ＩＴＯ（仕事関数：約４．４ｅＶ）から成る透明電極から構成されている。以下に説明する実施例３～実施例４においても、同様とすることができる。
【0137】
以下、実施例２の固体撮像装置の動作の説明を行う。
【0138】
〈電荷蓄積期間〉
具体的には、電荷蓄積期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加され、分離電極２７に電位ＶESが印加される。また、第２電極２２に電位Ｖ21が印加される。こうして、光電変換部２３に電荷（電子である）が蓄積される。光電変換によって生成した電子は、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まる。即ち、光電変換部２３に電荷が蓄積される。Ｖ31＞Ｖ11であるが故に、光電変換部２３の内部に生成した電子が、第１電極２１に向かって移動することはない。また、電荷蓄積用電極２４の電位Ｖ31は、分離電極２７の電位ＶESよりも高いので、光電変換部２３の内部に生成した電子が、分離電極２７に向かって移動することもない。即ち、光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子１１に流れ込むことを抑制することができる。光電変換の時間経過に伴い、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域における電位は、より負側の値となる。電荷蓄積期間の後期において、リセット動作がなされる。これによって、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位がリセットされ、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位（ＶFD）は電源の電位ＶDDとなる。
具体的には、電荷蓄積期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加され、分離電極２７に電位ＶESが印加される。また、第２電極２２に電位Ｖ21が印加される。こうして、光電変換部２３に電荷（電子である）が蓄積される。光電変換によって生成した電子は、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まる。即ち、光電変換部２３に電荷が蓄積される。Ｖ31＞Ｖ11であるが故に、光電変換部２３の内部に生成した電子が、第１電極２１に向かって移動することはない。また、電荷蓄積用電極２４の電位Ｖ31は、分離電極２７の電位ＶESよりも高いので、光電変換部２３の内部に生成した電子が、分離電極２７に向かって移動することもない。即ち、光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子１１に流れ込むことを抑制することができる。光電変換の時間経過に伴い、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域における電位は、より負側の値となる。電荷蓄積期間の後期において、リセット動作がなされる。これによって、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位がリセットされ、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位（ＶFD）は電源の電位ＶDDとなる。
【0139】
〈電荷転送期間〉
リセット動作の完了後、電荷転送期間が開始される。電荷転送期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加される。また、分離電極２７に電位ＶESが印加されている。電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まっていた電子は、第１電極２１、更には、第１浮遊拡散層ＦＤ1へと読み出される。云い換えれば、光電変換部２３に蓄積された電荷は制御部に読み出される。分離電極２７の電位は、第１電極２１の電位よりも低く、電荷蓄積用電極２４の電位よりも低い。即ち、
ＶES＜Ｖ32＜Ｖ12
である。従って、光電変換部２３の内部に生成した電子は、第１電極２１へと流れ、分離電極２７に向かって移動することがない。即ち、光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子１１に流れ込むことを抑制することができる。
リセット動作の完了後、電荷転送期間が開始される。電荷転送期間においては、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加される。また、分離電極２７に電位ＶESが印加されている。電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まっていた電子は、第１電極２１、更には、第１浮遊拡散層ＦＤ1へと読み出される。云い換えれば、光電変換部２３に蓄積された電荷は制御部に読み出される。分離電極２７の電位は、第１電極２１の電位よりも低く、電荷蓄積用電極２４の電位よりも低い。即ち、
ＶES＜Ｖ32＜Ｖ12
である。従って、光電変換部２３の内部に生成した電子は、第１電極２１へと流れ、分離電極２７に向かって移動することがない。即ち、光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子１１に流れ込むことを抑制することができる。
【0140】
以上で、電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作が完了する。
【0141】
実施例２にあっては、分離電極２７が設けられているので、光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子１１に流れ込むことを確実に抑制することができる。
【0142】
実施例２の撮像素子１１（並置された２つの撮像素子１１を図示する）の変形例の模式的な一部断面図を図１９Ｂに示すように、図１０Ｂに示した実施例１の固体撮像装置の変形例と同様に、光電変換部２３を、下層半導体層２３DNと、上層光電変換層２３UPの積層構造とすることができる。
【実施例3】
【0143】
実施例３は、実施例１～実施例２の変形であるが、第２構成の固体撮像装置に関する。電荷蓄積用電極２４及び第１電極２１の配置状態を模式的に図３Ａに示すように、実施例３の固体撮像装置において、Ｐ＝２，Ｑは２以上の自然数である。図示した例では、Ｑ＝２であるが、これに限定するものではない。そして、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１のそれぞれを構成する第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されている。接続部６３は、コンタクトホール部６１に繋がっている。Ｐ×Ｑ個の撮像素子１１において、第１電極２１は接続部６３を介して相互に繋がっている。あるいは又、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１及び分離電極（第１分離電極）２８の配置状態を模式的に図３Ｂに示すように、実施例３の固体撮像装置の変形例において、撮像素子ブロック１０は、連続した分離電極（第１分離電極）２８によって囲まれている。更には、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１、第１分離電極２８及び第２分離電極２９の配置状態を模式的に図４Ａに示すように、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１の間には、第１分離電極２８から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極２９が設けられている構成とすることができる。第１分離電極２８と第２分離電極２９とは繋がっている。第２分離電極２９を設けることで、撮像素子ブロック１０内において隣接する撮像素子１１での光電変換によって生成した電荷の流入を確実に抑制することができる。あるいは又、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１及び第２分離電極２９の配置状態を模式的に図４Ｂに示すように、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１の間には、第２の方向に沿って延びる第２分離電極２９が設けられている構成とすることができる。尚、この場合、第１分離電極２８は設けられていない。
【0144】
実施例３の固体撮像装置の動作は、実施例１及び実施例２において説明した固体撮像装置の動作と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。
【実施例4】
【0145】
実施例４も、実施例１～実施例２の変形であるが、第３Ａ構成の固体撮像装置及び第３Ｂ構成の固体撮像装置に関する。電荷蓄積用電極２４及び第１電極２１の配置状態を模式的に図５Ａに示すように、実施例４の固体撮像装置において、Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、第２の方向に沿った２つの撮像素子１１を構成する第１電極２１は共有されており、共有された第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されている。あるいは又、電荷蓄積用電極２４及び第１電極２１の配置状態を模式的に図７Ａに示すように、Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１を構成する第１電極２１は共有されており、共有された第１電極２１は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されている。接続部６３は、コンタクトホール部６１に繋がっている。２×２個の撮像素子１１において、第１電極２１は接続部６３を介して相互に繋がっている。但し、この第３Ｂ構成の固体撮像装置にあっては、Ｑの値を２以上の自然数（例えば、Ｑ＝４）とすることもできる。
【0146】
あるいは又、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１及び分離電極（第１分離電極）２８の配置状態を模式的に図５Ｂ、図７Ｂに示すように、実施例４の固体撮像装置の変形例において、撮像素子ブロック１０は、連続した分離電極（第１分離電極）２８によって囲まれている。更には、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１、第１分離電極２８及び第２分離電極２９の配置状態を模式的に図６Ａに示すように、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１の間には、第１分離電極２８から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極２９が設けられている構成とすることができる。第１分離電極２８と第２分離電極２９とは繋がっている。第２分離電極２９を設けることで、撮像素子ブロック１０内において隣接する撮像素子１１での光電変換によって生成した電荷の流入を確実に抑制することができる。あるいは又、電荷蓄積用電極２４、第１電極２１及び第２分離電極２９の配置状態を模式的に図６Ｂに示すように、第１の方向に沿った２つの撮像素子１１の間には、第２の方向に沿って延びる第２分離電極２９が設けられている構成とすることができる。尚、この場合、第１分離電極２８は設けられていない。図６Ａ及び図６Ｂに示す第２分離電極２９の構造を、図７Ｂに示す固体撮像装置に適用することができる。
【0147】
実施例４の固体撮像装置の動作は、実施例１及び実施例２において説明した固体撮像装置の動作と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。
【0148】
【0149】
【0150】
一方、従来の固体撮像装置において、例えば、１つの撮像素子ブロックを４つの撮像素子から構成し、４つの撮像素子によって１つの第１電極２１’を共有する場合を想定する。この場合には、図８Ｂに示すように、４つの撮像素子のそれぞれを構成する電荷蓄積用電極２４’のコーナー部が集まる領域に第１電極２１’を設ける必要がある。そして、４つの撮像素子の間に、本開示における第２分離電極２９に相当する第２分離電極２９’を設けた場合、第２分離電極２９’と第１電極２１’とが接触しないように、第２分離電極２９’を第１電極２１’から離間して設ける必要がある。即ち、第２分離電極２９’には、必然的に端部２９”が形成される。このように端部２９”が形成された第２分離電極２９’、電荷蓄積用電極２４及び第１電極２１’によって生成される電位は、第２分離電極２９’の端部２９”の存在によって複雑な電位勾配を有することになる。従って、光電変換によって光電変換部２３において生成し、光電変換部２３に蓄積された電荷が、電荷転送時、光電変換部２３から第１電極２１’に適切に、確実に流れ込まない状態が生じ得る。具体的には、例えば、第２分離電極２９’の端部２９”の存在によって、光電変換部２３において蓄積される電荷の量が減少したり、電荷転送時、電荷が隣接する撮像素子の第１電極２１’へと流れ込んでしまうといった問題が生じ得る。その結果、固体撮像装置の信頼性低下が生じる虞があるし、分解能が低下する虞もある。
【0151】
然るに、本開示の固体撮像装置にあっては、第２分離電極２９に端部は存在しないので、第２分離電極２９、電荷蓄積用電極２４及び第１電極２１によって生成される電位は、複雑な電位勾配になることが無く、光電変換によって生成した電荷を、光電変換部２３から第１電極２１へと適切に、確実に流すことができる。従って、固体撮像装置の信頼性低下、分解能低下の発生を抑制することができる。
【0152】
また、第１電極２１’及び電荷蓄積用電極２４’に着目したとき、第１の問題点を説明するための従来の固体撮像装置の第１電極等の配置状態を模式的に図４３に示すが、図４３の左斜め上方から光が入射した場合を想定する。ここで、各電荷蓄積用電極２４’1，２４’2，２４’3，２４’4の上方に位置する光電変換部の領域「Ａ」，「Ｂ」，「Ｂ」，「Ｃ」について考察すると、電荷蓄積期間にあっては、領域「Ａ」において生成した電荷の一部は、領域「Ａ」が第１電極２１’に隣接しているが故に、第１電極２１’に流れ込む。一方、領域「Ｂ」、領域「Ｃ」において生成した電荷は、領域「Ｂ」、領域「Ｃ」が第１電極２１’に隣接していないが故に、第１電極２１’に流れ込み難い。以上の結果として、電荷蓄積用電極２４’1を有する撮像素子の信号出力は、電荷蓄積用電極２４’2，２４’2，２４’4を有する撮像素子の信号出力よりも低下する虞がある。即ち、光の入射状態に依存して各撮像素子において生成される信号出力に不均一な状態が生じ得る。
【0153】
一方、例えば、図３Ａ、図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂに示した実施例３の固体撮像装置にあっては、図３Ａ、図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂの左斜め上方から光が入射した場合であっても、４つの撮像素子において、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４に入射する光の入射方向は同じであるが故に、光の入射状態に依存して４つ撮像素子において生成される信号出力に不均一な状態が生じ難いことは、図３Ａ、図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂからも明らかであろう。他の実施例においても、光の入射状態に対して撮像素子を構成する電荷蓄積用電極２４及び第１電極２１の配置が同じである複数の撮像素子にあっては、生成される信号出力に不均一な状態が生じ難いことは同様である。以上のとおり、１つの撮像素子ブロックにおいて、複数の第１電極２１が層間絶縁層８１内に設けられた接続部６３に接続されており、第１電極２１、光電変換部２３及び電荷蓄積用電極２４の配置状態を、入射する光に対して同じ配置状態とすることができる結果、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４に入射する光の入射方向を同じとすることができ、撮像素子に入射する光の角度に依存して撮像素子に生成される信号出力に不均一な状態が生じることを、出来る限り、抑制することができる。
【実施例5】
【0154】
実施例５は、実施例１～実施例４の変形であり、下方分離電極の代わりに、上方分離電極２７’（上方第１分離電極、又は、上方第１分離電極及び上方第２分離電極、又は、上方第２分離電極）が設けられている。実施例５の撮像素子（並置された２つの撮像素子）の一部分の模式的な断面図を図２０に示す。実施例５の撮像素子において、隣接する撮像素子の間に位置する光電変換部２３の領域２３Aの上には、第２電極２２が形成される代わりに、上方分離電極２７’が形成されている。上方分離電極２７’は、第２電極２２と離間して設けられている。云い換えれば、第２電極２２は撮像素子毎に設けられており、上方分離電極２７’は、第２電極２２の少なくとも一部を取り囲んで、第２電極２２と離間して、光電変換部２３の領域－Ａの上に設けられている。上方分離電極２７’は、第２電極２２と同じレベルに形成されている。
【0155】
また、実施例５の撮像素子（並置された２つの撮像素子）の一部分の模式的な断面図を図２１Ａに示すように、第２電極２２が複数に分割され、各分割された第２電極２２に個別に異なる電位を印加してもよい。更には、図２１Ｂに示すように、分割された第２電極２２と第２電極２２との間に上方分離電極２７’が設けられていてもよい。
【0156】
第２電極２２及び上方分離電極２７’は、光電変換部２３の上に第２電極２２及び上方分離電極２７’を構成する材料層を成膜した後、この材料層をパターニングすることで得ることができる。第２電極２２、上方分離電極２７’のそれぞれは、別々に配線（図示せず）に接続されており、これらの配線は駆動回路に接続されている。第２電極２２に接続された配線は、複数の撮像素子において共通化されている。上方分離電極２７’に接続された配線も、複数の撮像素子において共通化されている。
【0157】
実施例５の撮像素子にあっては、電荷蓄積期間において、駆動回路から、第２電極２２に電位Ｖ21が印加され、上方分離電極２７’に電位ＶESが印加され、光電変換部２３に電荷が蓄積され、電荷転送期間において、駆動回路から、第２電極２２に電位Ｖ22が印加され、上方分離電極２７’に電位ＶESが印加され、光電変換部２３に蓄積された電荷が第１電極２１を経由して制御部に読み出される。ここで、第１電極２１の電位が第２電極２２の電位よりも高いとしたので、
Ｖ21≧ＶES、且つ、Ｖ22≧ＶES
である。
Ｖ21≧ＶES、且つ、Ｖ22≧ＶES
である。
【0158】
以上のとおり、実施例５の撮像素子にあっては、隣接する撮像素子の間に位置する光電変換部の領域の上には、第２電極が形成される代わりに、上方分離電極が形成されているが故に、光電変換によって生成した電荷が隣接する撮像素子に流れ込むことを上方分離電極によって抑制することができるので、撮影された映像（画像）に品質劣化が生じることが無い。
【0159】
実施例５の撮像素子（並置された２つの撮像素子）の変形例の一部分の模式的な断面図を図２２Ａに示す。この変形例において、第２電極２２は撮像素子毎に設けられており、上方分離電極２７’は、第２電極２２の少なくとも一部を取り囲んで、第２電極２２と離間して設けられており、上方分離電極２７’の下方には、電荷蓄積用電極２４の一部が存在する。第２電極２２は、電荷蓄積用電極２４の上方に、電荷蓄積用電極２４より小さい大きさで設けられている。また、図２２Ｂに示す例では、加えて、上方分離電極２７’の下方には、下方分離電極２７が設けられている。第２電極２２の大きさは、図２２Ａに示した変形例よりも小さい。即ち、上方分離電極２７’と対向する第２電極２２の領域は、図２２Ａに示した変形例における上方分離電極２７’と対向する第２電極２２の領域よりも、第１電極２１側に位置する。電荷蓄積用電極２４は、下方分離電極２７によって囲まれている。
【実施例6】
【0160】
実施例６は、実施例１～実施例５の変形である。図２３に模式的な一部断面図を示す実施例６の固体撮像装置は、表面照射型の固体撮像装置である。具体的には、緑色光を吸収する第１タイプの緑色光用光電変換部を備えた緑色光に感度を有する第１タイプの実施例１の緑色光用撮像素子（第１撮像素子）、青色光を吸収する第２タイプの青色光用光電変換部を備えた青色光に感度を有する第２タイプの従来の青色光用撮像素子（第２撮像素子）、赤色光を吸収する第２タイプの赤色光用光電変換部を備えた赤色光に感度を有する第２タイプの従来の赤色光用撮像素子（第３撮像素子）の３つの撮像素子が積層された構造を有する。ここで、赤色光用撮像素子（第３撮像素子）及び青色光用撮像素子（第２撮像素子）は半導体基板７０内に設けられており、第２撮像素子の方が第３撮像素子よりも光入射側に位置する。また、緑色光用撮像素子（第１撮像素子）は、青色光用撮像素子（第２撮像素子）の上方に設けられている。
【0161】
半導体基板７０の表面７０Ａ側には、実施例１と同様に制御部を構成する各種トランジスタが設けられている。これらのトランジスタは、実質的に実施例１において説明したトランジスタと同様の構成、構造とすることができる。また、半導体基板７０には、第２撮像素子、第３撮像素子が設けられているが、これらの撮像素子も、実質的に実施例１において説明した第２撮像素子、第３撮像素子と同様の構成、構造とすることができる。
【0162】
半導体基板７０の表面７０Ａの上方には層間絶縁層８１が形成されており、層間絶縁層８１内に、実施例１～実施例５の固体撮像装置撮像素子と同様に、第１電極２１、光電変換部２３及び第２電極２２、並びに、必要に応じて、分離電極２７，２７’が設けられている。
【0163】
このように、表面照射型である点を除き、実施例６の固体撮像装置の構成、構造は、実施例１～実施例５の固体撮像装置の構成、構造と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。
【実施例7】
【0164】
実施例７は、実施例１～実施例６の変形である。
【0165】
図２４に模式的な一部断面図を示す実施例７の固体撮像装置は、裏面照射型の固体撮像装置であり、第１タイプの実施例１の第１撮像素子、及び、第２タイプの第２撮像素子の２つの撮像素子が積層された構造を有する。また、図２５に模式的な一部断面図を示す実施例７の固体撮像装置の変形例は、表面照射型の固体撮像装置であり、第１タイプの実施例１の第１撮像素子、及び、第２タイプの第２撮像素子の２つの撮像素子が積層された構造を有する。ここで、第１撮像素子は原色の光を吸収し、第２撮像素子は補色の光を吸収する。あるいは又、第１撮像素子は白色光を吸収し、第２撮像素子は赤外線を吸収する。
【0166】
図２６に模式的な一部断面図を示す実施例７の撮像素子の変形例は、裏面照射型の固体撮像装置であり、第１タイプの実施例１の第１撮像素子から構成されている。また、図２７に模式的な一部断面図を示す実施例７の固体撮像装置の変形例は、表面照射型の固体撮像装置であり、第１タイプの実施例１の第１撮像素子から構成されている。ここで、第１撮像素子は、赤色光を吸収する撮像素子、緑色光を吸収する撮像素子、青色光を吸収する撮像素子の３種類の撮像素子から構成されている。複数のこれらの撮像素子の配置として、ベイヤ配列を挙げることができる。各撮像素子の光入射側には、必要に応じて、青色、緑色、赤色の分光を行うためのカラーフィルタ層が配設されている。
【0167】
以上の点を除き、実施例７の固体撮像装置の構成、構造は、実施例１～実施例５の固体撮像装置の構成、構造と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。尚、半導体基板７０の表面７０Ａの上方には層間絶縁層８１が形成されており、層間絶縁層８１内に、実施例１～実施例５の固体撮像装置撮像素子と同様に、第１電極２１、光電変換部２３及び第２電極２２、並びに、必要に応じて、分離電極２７，２７’が設けられている。
【0168】
第１タイプの実施例１の撮像素子を１つ、設ける代わりに、２つ、積層する形態（即ち、光電変換部を２つ、積層し、半導体基板に２つの光電変換部の制御部を設ける形態）、あるいは又、３つ、積層する形態（即ち、光電変換部を３つ、積層し、半導体基板に３つの光電変換部の制御部を設ける形態）とすることもできる。第１タイプの撮像素子と第２タイプの撮像素子の積層構造例を、以下の表に例示する。
【0169】
【実施例8】
【0170】
実施例８は、実施例１～実施例７の変形であり、本開示の転送制御用電極（電荷転送電極）を備えた固体撮像装置に関する。実施例８の固体撮像装置の一部分の模式的な一部断面図を図２８に示し、実施例８の固体撮像装置の等価回路図を図２９及び図３０に示し、実施例８の固体撮像装置の撮像素子を構成する第１電極、転送制御用電極及び電荷蓄積用電極並びに制御部を構成するトランジスタの模式的な配置図を図３１に示し、実施例８の撮像素子の動作時の各部位における電位の状態を模式的に図３２及び図３３に示し、実施例８の撮像素子の各部位を説明するための等価回路図を図１５Ｂに示す。
【0171】
実施例８の固体撮像装置にあっては、第１電極２１と電荷蓄積用電極２４との間に、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４と離間して配置され、且つ、絶縁層８２を介して光電変換部２３と対向して配置された転送制御用電極（電荷転送電極）２５を更に備えている。転送制御用電極２５は、層間絶縁層８１内に設けられた接続部分２５Ｂ、パッド部２５Ａ及び配線ＶOTを介して、駆動回路を構成する画素駆動回路に接続されている。
【0172】
【0173】
電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加され、転送制御用電極２５に電位Ｖ41が印加される。光電変換部２３に入射された光によって光電変換部２３において光電変換が生じる。光電変換によって生成した正孔は、第２電極２２から配線ＶOUを介して駆動回路へと送出される。一方、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くしたので、即ち、例えば、第１電極２１に正の電位が印加され、第２電極２２に負の電位が印加されるとしたので、Ｖ31＞Ｖ41（例えば、Ｖ31＞Ｖ11＞Ｖ41、又は、Ｖ11＞Ｖ31＞Ｖ41）とする。これによって、光電変換によって生成した電子は、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まる。即ち、光電変換部２３に電荷が蓄積される。Ｖ31＞Ｖ41であるが故に、光電変換部２３の内部に生成した電子が、第１電極２１に向かって移動することを確実に防止することができる。光電変換の時間経過に伴い、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域における電位は、より負側の値となる。
【0174】
電荷蓄積期間の後期において、リセット動作がなされる。これによって、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位がリセットされ、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位は電源の電位ＶDDとなる。
【0175】
リセット動作の完了後、電荷の読み出しを行う。即ち、電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加され、転送制御用電極２５に電位Ｖ42が印加される。ここで、Ｖ32≦Ｖ42≦Ｖ12（好ましくは、Ｖ32＜Ｖ42＜Ｖ12）とする。これによって、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まっていた電子は、第１電極２１、更には、第１浮遊拡散層ＦＤ1へと確実に読み出される。即ち、光電変換部２３に蓄積された電荷が制御部に読み出される。
【0176】
以上で、電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作が完了する。
【0177】
第１浮遊拡散層ＦＤ1へ電子が読み出された後の増幅トランジスタＴＲ１amp、選択トランジスタＴＲ１selの動作は、従来のこれらのトランジスタの動作と同じである。また、例えば、第２撮像素子、第３撮像素子の電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作は、従来の電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作と同様である。
【0178】
実施例８の撮像素子の変形例を構成する第１電極及び電荷蓄積用電極並びに制御部を構成するトランジスタの模式的な配置図を図３４に示すように、リセット・トランジスタＴＲ１rstの他方のソース／ドレイン領域５１Ｂを、電源ＶDDに接続する代わりに、接地してもよい。
【0179】
また、第１電極２１に最も近い位置から電荷蓄積用電極２４に向けて、複数の転送制御用電極を設けてもよい。
【実施例9】
【0180】
実施例９は、実施例１～実施例８の変形であり、本開示の電荷排出電極を備えた撮像素子等に関する。実施例９の撮像素子の一部分の模式的な一部断面図を図３５に示す。
【0181】
実施例９の撮像素子にあっては、接続部分２６Ａを介して光電変換部２３に接続され、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４と離間して配置された電荷排出電極２６を更に備えている。ここで、電荷排出電極２６は、第１電極２１及び電荷蓄積用電極２４を取り囲むように（即ち、額縁状に）配置されている。電荷排出電極２６は、駆動回路を構成する画素駆動回路に接続されている。接続部分２６Ａ内には、光電変換部２３が延在している。即ち、光電変換部２３は、絶縁層８２に設けられた第２開口部８５内を延在し、電荷排出電極２６と接続されている。電荷排出電極２６は、複数の撮像素子において共有化（共通化）されている。電荷排出電極２６は、例えば、光電変換部２３のフローティングディフュージョンやオーバーフロードレインとして用いることができる。電荷排出電極２６と下方分離電極２７を同時に設けることが困難な場合には、上方分離電極２７’を設ければよい。
【0182】
実施例９にあっては、電荷蓄積期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ11が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ31が印加され、電荷排出電極２６に電位Ｖ51が印加され、光電変換部２３に電荷が蓄積される。光電変換部２３に入射された光によって光電変換部２３において光電変換が生じる。光電変換によって生成した正孔は、第２電極２２から配線ＶOUを介して駆動回路へと送出される。一方、第１電極２１の電位を第２電極２２の電位よりも高くしたので、即ち、例えば、第１電極２１に正の電位が印加され、第２電極２２に負の電位が印加されるとしたので、Ｖ51＞Ｖ11（例えば、Ｖ31＞Ｖ51＞Ｖ11）とする。これによって、光電変換によって生成した電子は、電荷蓄積用電極２４に引き付けられ、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まり、第１電極２１に向かって移動することを確実に防止することができる。但し、電荷蓄積用電極２４による引き付けが充分ではなく、あるいは又、光電変換部２３に蓄積しきれなかった電子（所謂オーバーフローした電子）は、電荷排出電極２６を経由して、駆動回路に送出される。
【0183】
電荷蓄積期間の後期において、リセット動作がなされる。これによって、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位がリセットされ、第１浮遊拡散層ＦＤ1の電位は電源の電位ＶDDとなる。
【0184】
リセット動作の完了後、電荷の読み出しを行う。即ち、電荷転送期間において、駆動回路から、第１電極２１に電位Ｖ12が印加され、電荷蓄積用電極２４に電位Ｖ32が印加され、電荷排出電極２６に電位Ｖ52が印加される。ここで、Ｖ52＜Ｖ12（例えば、Ｖ52＜Ｖ32＜Ｖ12）とする。これによって、電荷蓄積用電極２４と対向した光電変換部２３の領域に止まっていた電子は、第１電極２１、更には、第１浮遊拡散層ＦＤ1へと確実に読み出される。即ち、光電変換部２３に蓄積された電荷が制御部に読み出される。
【0185】
以上で、電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作が完了する。
【0186】
第１浮遊拡散層ＦＤ1へ電子が読み出された後の増幅トランジスタＴＲ１amp、選択トランジスタＴＲ１selの動作は、従来のこれらのトランジスタの動作と同じである。また、例えば、第２撮像素子、第３撮像素子の電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作は、従来の電荷蓄積、リセット動作、電荷転送といった一連の動作と同様である。
【0187】
実施例９にあっては、所謂オーバーフローした電子は電荷排出電極２６を経由して駆動回路に送出されるので、隣接画素の電荷蓄積部への漏れ込みを抑制することができ、ブルーミングの発生を抑えることができる。そして、これにより、撮像素子の撮像性能を向上させることができる。
【0188】
以上、本開示を好ましい実施例に基づき説明したが、本開示はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例にて説明した固体撮像装置の構造や構成、製造条件、製造方法、使用した材料は例示であり、適宜変更することができる。各実施例において説明した撮像素子を、適宜、組み合わせることができる。
【0189】
場合によっては、前述したとおり、浮遊拡散層ＦＤ2，ＦＤ3，４５Ｃ，４６Ｃを共有化することもできる。
【0190】
また、図３６に、例えば、実施例１において説明した固体撮像装置の変形例を示すように、第２電極２２の側から光が入射し、第２電極２２よりの光入射側には遮光層９２が形成されている構成とすることもできる。尚、光電変換部よりも光入射側に設けられた各種配線を遮光層として機能させることもできる。
【0191】
尚、図３６に示した例では、遮光層９２は、第２電極２２の上方に形成されているが、即ち、第２電極２２よりの光入射側であって、第１電極２１の上方に遮光層９２が形成されているが、図３７に示すように、第２電極２２の光入射側の面の上に配設されてもよい。また、場合によっては、図３８に示すように、第２電極２２に遮光層９２が形成されていてもよい。
【0192】
あるいは又、第２電極２２側から光が入射し、第１電極２１には光が入射しない構造とすることもできる。具体的には、図３６に示したように、第２電極２２よりの光入射側であって、第１電極２１の上方には遮光層９２が形成されている。あるいは又、図４０に示すように、電荷蓄積用電極２４及び第２電極２２の上方にはオンチップ・マイクロ・レンズ９０が設けられており、オンチップ・マイクロ・レンズ９０に入射する光は、電荷蓄積用電極２４に集光され、第１電極２１には到達しない構造とすることもできる。尚、実施例１１において説明したように、転送制御用電極２５が設けられている場合、第１電極２１及び転送制御用電極２５には光が入射しない形態とすることができ、具体的には、図３９に図示するように、第１電極２１及び転送制御用電極２５の上方には遮光層９２が形成されている構造とすることもできる。あるいは又、オンチップ・マイクロ・レンズ９０に入射する光は、第１電極２１あるいは第１電極２１及び転送制御用電極２５には到達しない構造とすることもできる。
【0193】
これらの構成、構造を採用することで、あるいは又、電荷蓄積用電極２４の上方に位置する光電変換部２３の部分のみに光が入射するように遮光層９２を設け、あるいは又、オンチップ・マイクロ・レンズ９０を設計することで、第１電極２１の上方（あるいは、第１電極２１及び転送制御用電極２５の上方）に位置する光電変換部２３の部分は光電変換に寄与しなくなるので、全画素をより確実に一斉にリセットすることができ、グローバルシャッター機能を一層容易に実現することができる。即ち、これらの構成、構造を有する撮像素子を、複数、備えた固体撮像装置の駆動方法にあっては、
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部２３に電荷を蓄積しながら、第１電極２１における電荷を系外に排出し、その後、
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部２３に蓄積された電荷を第１電極２１に転送し、転送完了後、順次、各撮像素子において第１電極２１に転送された電荷を読み出す、
各工程を繰り返す。
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部２３に電荷を蓄積しながら、第１電極２１における電荷を系外に排出し、その後、
全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部２３に蓄積された電荷を第１電極２１に転送し、転送完了後、順次、各撮像素子において第１電極２１に転送された電荷を読み出す、
各工程を繰り返す。
【0194】
このような固体撮像装置の駆動方法にあっては、各撮像素子は、第２電極側から入射した光が第１電極には入射しない構造を有し、全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に電荷を蓄積しながら、第１電極における電荷を系外に排出するので、全撮像素子において同時に第１電極のリセットを確実に行うことができる。そして、その後、全ての撮像素子において、一斉に、光電変換部に蓄積された電荷を第１電極に転送し、転送完了後、順次、各撮像素子において第１電極に転送された電荷を読み出す。それ故、所謂グローバルシャッター機能を容易に実現することができる。
【0195】
実施例においては、電子を信号電荷としており、半導体基板に形成された光電変換部の導電型をｎ型としたが、正孔を信号電荷とする固体撮像装置にも適用できる。この場合には、各半導体領域を逆の導電型の半導体領域で構成すればよく、半導体基板に形成された光電変換部の導電型はｐ型とすればよい。
【0196】
また、実施例にあっては、入射光量に応じた信号電荷を物理量として検知する単位画素が行列状に配置されて成るＣＭＯＳ型固体撮像装置に適用した場合を例に挙げて説明したが、ＣＭＯＳ型固体撮像装置への適用に限られるものではなく、ＣＣＤ型固体撮像装置に適用することもできる。後者の場合、信号電荷は、ＣＣＤ型構造の垂直転送レジスタによって垂直方向に転送され、水平転送レジスタによって水平方向に転送され、増幅されることにより画素信号（画像信号）が出力される。また、画素が２次元マトリクス状に形成され、画素列毎にカラム信号処理回路を配置して成るカラム方式の固体撮像装置全般に限定するものでもない。更には、場合によっては、選択トランジスタを省略することもできる。
【0197】
更には、本開示の固体撮像装置は、可視光の入射光量の分布を検知して画像として撮像する固体撮像装置への適用に限らず、赤外線やＸ線、あるいは、粒子等の入射量の分布を画像として撮像する固体撮像装置にも適用可能である。また、広義には、圧力や静電容量等、他の物理量の分布を検知して画像として撮像する指紋検出センサ等の固体撮像装置（物理量分布検知装置）全般に対して適用可能である。
【0198】
更には、撮像領域の各単位画素を行単位で順に走査して各単位画素から画素信号を読み出す固体撮像装置に限られるものではない。画素単位で任意の画素を選択して、選択画素から画素単位で画素信号を読み出すＸ－Ｙアドレス型の固体撮像装置に対しても適用可能である。固体撮像装置はワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像領域と、駆動回路又は光学系とを纏めてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
【0199】
また、固体撮像装置への適用に限られるものではなく、撮像装置にも適用可能である。ここで、撮像装置とは、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、携帯電話機等の撮像機能を有する電子機器を指す。電子機器に搭載されるモジュール状の形態、即ち、カメラモジュールを撮像装置とする場合もある。
【0200】
本開示の固体撮像装置から構成された固体撮像装置２０１を電子機器（カメラ）２００に用いた例を、図４１に概念図として示す。電子機器２００は、固体撮像装置２０１、光学レンズ２１０、シャッタ装置２１１、駆動回路２１２、及び、信号処理回路２１３を有する。光学レンズ２１０は、被写体からの像光（入射光）を固体撮像装置２０１の撮像面上に結像させる。これにより固体撮像装置２０１内に、一定期間、信号電荷が蓄積される。シャッタ装置２１１は、固体撮像装置２０１への光照射期間及び遮光期間を制御する。駆動回路２１２は、固体撮像装置２０１の転送動作等及びシャッタ装置２１１のシャッタ動作を制御する駆動信号を供給する。駆動回路２１２から供給される駆動信号（タイミング信号）により、固体撮像装置２０１の信号転送を行う。信号処理回路２１３は、各種の信号処理を行う。信号処理が行われた映像信号は、メモリ等の記憶媒体に記憶され、あるいは、モニタに出力される。このような電子機器２００では、固体撮像装置２０１における画素サイズの微細化及び転送効率の向上を達成することができるので、画素特性の向上が図られた電子機器２００を得ることができる。固体撮像装置２０１を適用できる電子機器２００としては、カメラに限られるものではなく、デジタルスチルカメラ、携帯電話機等のモバイル機器向けカメラモジュール等の撮像装置に適用可能である。
【0201】
実施例３の固体撮像装置あるいは実施例４の固体撮像装置において、Ｐ＝２，Ｑ＝２とするとき、以下に説明する駆動方法を採用することができる。即ち、図４２に模式図を示すように、１つの撮像素子ブロックを構成する４つの撮像素子１１2p+1,2q+1，１１2p+1,2q+2，１１2p+2,2q+1，１１2p+2,2q+2（但し、ｐは０又は正の整数、ｑは０又は正の整数）を想定する。ここで、撮像素子１１2p+1,2q+1の電荷蓄積用電極２４は、第（２ｑ＋１）番目の水平駆動線Ｌ2q+1に接続されている。撮像素子１１2p+1,2q+2の電荷蓄積用電極２４は、第（２ｑ＋２）番目の水平駆動線Ｌ2q+2に接続されている。撮像素子１１2p+2,2q+1の電荷蓄積用電極２４は、第（２ｑ）番目の水平駆動線Ｌ2qに接続されている。撮像素子１１2p+2,2q+2の電荷蓄積用電極２４は、第（２ｑ＋３）番目の水平駆動線Ｌ2q+3に接続されている。
【0202】
このような構成とすることで、通常、１つの撮像素子ブロックを構成する４つの撮像素子における電荷蓄積用電極を駆動するための水平駆動線が、４本、必要とされるところを、２本で済ますことができる。そして、４本の水平駆動線Ｌ2q，Ｌ2q+1，Ｌ2q+2，Ｌ2q+3を、適宜、駆動することで、撮像素子１１2p+1,2q+1，１１2p+1,2q+2，１１2p+2,2q+1，１１2p+2,2q+2における電荷を読み出すことができる。
【0203】
本開示に係る技術（本技術）は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
【0204】
図４４は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
【0205】
車両制御システム１２０００は、通信ネットワーク１２００１を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図４４に示した例では、車両制御システム１２０００は、駆動系制御ユニット１２０１０、ボディ系制御ユニット１２０２０、車外情報検出ユニット１２０３０、車内情報検出ユニット１２０４０、及び統合制御ユニット１２０５０を備える。また、統合制御ユニット１２０５０の機能構成として、マイクロコンピュータ１２０５１、音声画像出力部１２０５２、及び車載ネットワークＩ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）１２０５３が図示されている。
【0206】
駆動系制御ユニット１２０１０は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット１２０１０は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
【0207】
ボディ系制御ユニット１２０２０は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット１２０２０は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット１２０２０には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット１２０２０は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
【0208】
車外情報検出ユニット１２０３０は、車両制御システム１２０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット１２０３０には、撮像部１２０３１が接続される。車外情報検出ユニット１２０３０は、撮像部１２０３１に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット１２０３０は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
【0209】
撮像部１２０３１は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部１２０３１は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部１２０３１が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
【0210】
車内情報検出ユニット１２０４０は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット１２０４０には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部１２０４１が接続される。運転者状態検出部１２０４１は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット１２０４０は、運転者状態検出部１２０４１から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
【0211】
マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット１２０１０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｄｒｉｖｅｒ Ａｓｓｉｓｔａｎｃｅ Ｓｙｓｔｅｍ）の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
【0212】
また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
【0213】
また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット１２０２０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
【0214】
音声画像出力部１２０５２は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図４４の例では、出力装置として、オーディオスピーカ１２０６１、表示部１２０６２及びインストルメントパネル１２０６３が例示されている。表示部１２０６２は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
【0215】
図４５は、撮像部１２０３１の設置位置の例を示す図である。
【0216】
図４５では、車両１２１００は、撮像部１２０３１として、撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５を有する。
【0217】
撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５は、例えば、車両１２１００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部１２１０１及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部１２１０５は、主として車両１２１００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部１２１０２，１２１０３は、主として車両１２１００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部１２１０４は、主として車両１２１００の後方の画像を取得する。撮像部１２１０１及び１２１０５で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
【0218】
なお、図４５には、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲１２１１１は、フロントノーズに設けられた撮像部１２１０１の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１２，１２１１３は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部１２１０２，１２１０３の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１４は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部１２１０４の撮像範囲を示す。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両１２１００を上方から見た俯瞰画像が得られる。
【0219】
撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
【0220】
例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を基に、撮像範囲１２１１１ないし１２１１４内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化（車両１２１００に対する相対速度）を求めることにより、特に車両１２１００の進行路上にある最も近い立体物で、車両１２１００と略同じ方向に所定の速度（例えば、０ｋｍ／ｈ以上）で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ１２０５１は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御（追従停止制御も含む）や自動加速制御（追従発進制御も含む）等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
【0221】
例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、２輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両１２１００の周辺の障害物を、車両１２１００のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ１２０５１は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ１２０６１や表示部１２０６２を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット１２０１０を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
【0222】
撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ１２０５１が、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部１２０５２は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部１２０６２を制御する。また、音声画像出力部１２０５２は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部１２０６２を制御してもよい。
【0223】
また、例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
【0224】
図４６は、本開示に係る技術（本技術）が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
【0225】
図４６では、術者（医師）１１１３１が、内視鏡手術システム１１０００を用いて、患者ベッド１１１３３上の患者１１１３２に手術を行っている様子が図示されている。図示するように、内視鏡手術システム１１０００は、内視鏡１１１００と、気腹チューブ１１１１１やエネルギー処置具１１１１２等の、その他の術具１１１１０と、内視鏡１１１００を支持する支持アーム装置１１１２０と、内視鏡下手術のための各種の装置が搭載されたカート１１２００と、から構成される。
【0226】
内視鏡１１１００は、先端から所定の長さの領域が患者１１１３２の体腔内に挿入される鏡筒１１１０１と、鏡筒１１１０１の基端に接続されるカメラヘッド１１１０２と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒１１１０１を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡１１１００を図示しているが、内視鏡１１１００は、軟性の鏡筒を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。
【0227】
鏡筒１１１０１の先端には、対物レンズが嵌め込まれた開口部が設けられている。内視鏡１１１００には光源装置１１２０３が接続されており、当該光源装置１１２０３によって生成された光が、鏡筒１１１０１の内部に延設されるライトガイドによって当該鏡筒の先端まで導光され、対物レンズを介して患者１１１３２の体腔内の観察対象に向かって照射される。なお、内視鏡１１１００は、直視鏡であってもよいし、斜視鏡又は側視鏡であってもよい。
【0228】
カメラヘッド１１１０２の内部には光学系及び撮像素子が設けられており、観察対象からの反射光（観察光）は当該光学系によって当該撮像素子に集光される。当該撮像素子によって観察光が光電変換され、観察光に対応する電気信号、すなわち観察像に対応する画像信号が生成される。当該画像信号は、ＲＡＷデータとしてカメラコントロールユニット（ＣＣＵ： Ｃａｍｅｒａ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）１１２０１に送信される。
【0229】
ＣＣＵ１１２０１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）やＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等によって構成され、内視鏡１１１００及び表示装置１１２０２の動作を統括的に制御する。さらに、ＣＣＵ１１２０１は、カメラヘッド１１１０２から画像信号を受け取り、その画像信号に対して、例えば現像処理（デモザイク処理）等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。
【0230】
表示装置１１２０２は、ＣＣＵ１１２０１からの制御により、当該ＣＣＵ１１２０１によって画像処理が施された画像信号に基づく画像を表示する。
【0231】
光源装置１１２０３は、例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）等の光源から構成され、術部等を撮影する際の照射光を内視鏡１１１００に供給する。
【0232】
入力装置１１２０４は、内視鏡手術システム１１０００に対する入力インタフェースである。ユーザは、入力装置１１２０４を介して、内視鏡手術システム１１０００に対して各種の情報の入力や指示入力を行うことができる。例えば、ユーザは、内視鏡１１１００による撮像条件（照射光の種類、倍率及び焦点距離等）を変更する旨の指示等を入力する。
【0233】
処置具制御装置１１２０５は、組織の焼灼、切開又は血管の封止等のためのエネルギー処置具１１１１２の駆動を制御する。気腹装置１１２０６は、内視鏡１１１００による視野の確保及び術者の作業空間の確保の目的で、患者１１１３２の体腔を膨らめるために、気腹チューブ１１１１１を介して当該体腔内にガスを送り込む。レコーダ１１２０７は、手術に関する各種の情報を記録可能な装置である。プリンタ１１２０８は、手術に関する各種の情報を、テキスト、画像又はグラフ等各種の形式で印刷可能な装置である。
【0234】
なお、内視鏡１１１００に術部を撮影する際の照射光を供給する光源装置１１２０３は、例えばＬＥＤ、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成することができる。ＲＧＢレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色（各波長）の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置１１２０３において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、ＲＧＢレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド１１１０２の撮像素子の駆動を制御することにより、ＲＧＢそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にカラーフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。
【0235】
また、光源装置１１２０３は、出力する光の強度を所定の時間ごとに変更するようにその駆動が制御されてもよい。その光の強度の変更のタイミングに同期してカメラヘッド１１１０２の撮像素子の駆動を制御して時分割で画像を取得し、その画像を合成することにより、いわゆる黒つぶれ及び白とびのない高ダイナミックレンジの画像を生成することができる。
【0236】
また、光源装置１１２０３は、特殊光観察に対応した所定の波長帯域の光を供給可能に構成されてもよい。特殊光観察では、例えば、体組織における光の吸収の波長依存性を利用して、通常の観察時における照射光（すなわち、白色光）に比べて狭帯域の光を照射することにより、粘膜表層の血管等の所定の組織を高コントラストで撮影する、いわゆる狭帯域光観察（Ｎａｒｒｏｗ Ｂａｎｄ Ｉｍａｇｉｎｇ）が行われる。あるいは、特殊光観察では、励起光を照射することにより発生する蛍光により画像を得る蛍光観察が行われてもよい。蛍光観察では、体組織に励起光を照射し当該体組織からの蛍光を観察すること（自家蛍光観察）、又はインドシアニングリーン（ＩＣＧ）等の試薬を体組織に局注するとともに当該体組織にその試薬の蛍光波長に対応した励起光を照射し蛍光像を得ること等を行うことができる。光源装置１１２０３は、このような特殊光観察に対応した狭帯域光及び／又は励起光を供給可能に構成され得る。
【0237】
【0238】
カメラヘッド１１１０２は、レンズユニット１１４０１と、撮像部１１４０２と、駆動部１１４０３と、通信部１１４０４と、カメラヘッド制御部１１４０５と、を有する。ＣＣＵ１１２０１は、通信部１１４１１と、画像処理部１１４１２と、制御部１１４１３と、を有する。カメラヘッド１１１０２とＣＣＵ１１２０１とは、伝送ケーブル１１４００によって互いに通信可能に接続されている。
【0239】
レンズユニット１１４０１は、鏡筒１１１０１との接続部に設けられる光学系である。鏡筒１１１０１の先端から取り込まれた観察光は、カメラヘッド１１１０２まで導光され、当該レンズユニット１１４０１に入射する。レンズユニット１１４０１は、ズームレンズ及びフォーカスレンズを含む複数のレンズが組み合わされて構成される。
【0240】
撮像部１１４０２は、撮像素子で構成される。撮像部１１４０２を構成する撮像素子は、１つ（いわゆる単板式）であってもよいし、複数（いわゆる多板式）であってもよい。撮像部１１４０２が多板式で構成される場合には、例えば各撮像素子によってＲＧＢそれぞれに対応する画像信号が生成され、それらが合成されることによりカラー画像が得られてもよい。あるいは、撮像部１１４０２は、３Ｄ（Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ）表示に対応する右目用及び左目用の画像信号をそれぞれ取得するための１対の撮像素子を有するように構成されてもよい。３Ｄ表示が行われることにより、術者１１１３１は術部における生体組織の奥行きをより正確に把握することが可能になる。なお、撮像部１１４０２が多板式で構成される場合には、各撮像素子に対応して、レンズユニット１１４０１も複数系統設けられ得る。
【0241】
また、撮像部１１４０２は、必ずしもカメラヘッド１１１０２に設けられなくてもよい。例えば、撮像部１１４０２は、鏡筒１１１０１の内部に、対物レンズの直後に設けられてもよい。
【0242】
駆動部１１４０３は、アクチュエータによって構成され、カメラヘッド制御部１１４０５からの制御により、レンズユニット１１４０１のズームレンズ及びフォーカスレンズを光軸に沿って所定の距離だけ移動させる。これにより、撮像部１１４０２による撮像画像の倍率及び焦点が適宜調整され得る。
【0243】
通信部１１４０４は、ＣＣＵ１１２０１との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部１１４０４は、撮像部１１４０２から得た画像信号をＲＡＷデータとして伝送ケーブル１１４００を介してＣＣＵ１１２０１に送信する。
【0244】
また、通信部１１４０４は、ＣＣＵ１１２０１から、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を受信し、カメラヘッド制御部１１４０５に供給する。当該制御信号には、例えば、撮像画像のフレームレートを指定する旨の情報、撮像時の露出値を指定する旨の情報、並びに／又は撮像画像の倍率及び焦点を指定する旨の情報等、撮像条件に関する情報が含まれる。
【0245】
なお、上記のフレームレートや露出値、倍率、焦点等の撮像条件は、ユーザによって適宜指定されてもよいし、取得された画像信号に基づいてＣＣＵ１１２０１の制御部１１４１３によって自動的に設定されてもよい。後者の場合には、いわゆるＡＥ（Ａｕｔｏ Ｅｘｐｏｓｕｒｅ）機能、ＡＦ（Ａｕｔｏ Ｆｏｃｕｓ）機能及びＡＷＢ（Ａｕｔｏ Ｗｈｉｔｅ Ｂａｌａｎｃｅ）機能が内視鏡１１１００に搭載されていることになる。
【0246】
カメラヘッド制御部１１４０５は、通信部１１４０４を介して受信したＣＣＵ１１２０１からの制御信号に基づいて、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御する。
【0247】
通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２から、伝送ケーブル１１４００を介して送信される画像信号を受信する。
【0248】
また、通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２に対して、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を送信する。画像信号や制御信号は、電気通信や光通信等によって送信することができる。
【0249】
画像処理部１１４１２は、カメラヘッド１１１０２から送信されたＲＡＷデータである画像信号に対して各種の画像処理を施す。
【0250】
制御部１１４１３は、内視鏡１１１００による術部等の撮像、及び、術部等の撮像により得られる撮像画像の表示に関する各種の制御を行う。例えば、制御部１１４１３は、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を生成する。
【0251】
また、制御部１１４１３は、画像処理部１１４１２によって画像処理が施された画像信号に基づいて、術部等が映った撮像画像を表示装置１１２０２に表示させる。この際、制御部１１４１３は、各種の画像認識技術を用いて撮像画像内における各種の物体を認識してもよい。例えば、制御部１１４１３は、撮像画像に含まれる物体のエッジの形状や色等を検出することにより、鉗子等の術具、特定の生体部位、出血、エネルギー処置具１１１１２の使用時のミスト等を認識することができる。制御部１１４１３は、表示装置１１２０２に撮像画像を表示させる際に、その認識結果を用いて、各種の手術支援情報を当該術部の画像に重畳表示させてもよい。手術支援情報が重畳表示され、術者１１１３１に提示されることにより、術者１１１３１の負担を軽減することや、術者１１１３１が確実に手術を進めることが可能になる。
【0252】
カメラヘッド１１１０２及びＣＣＵ１１２０１を接続する伝送ケーブル１１４００は、電気信号の通信に対応した電気信号ケーブル、光通信に対応した光ファイバ、又はこれらの複合ケーブルである。
【0253】
ここで、図示する例では、伝送ケーブル１１４００を用いて有線で通信が行われていたが、カメラヘッド１１１０２とＣＣＵ１１２０１との間の通信は無線で行われてもよい。
【0254】
なお、ここでは、一例として内視鏡手術システムについて説明したが、本開示に係る技術は、その他、例えば、顕微鏡手術システム等に適用されてもよい。
【0255】
尚、本開示は、以下のような構成を取ることもできる。
［Ａ０１］《固体撮像装置》
複数の撮像素子から構成された撮像素子ブロックを、複数、有しており、
各撮像素子は、
第１電極、
第１電極と離間して配置された電荷蓄積用電極、
第１電極と接し、絶縁層を介して電荷蓄積用電極の上方に形成された光電変換部、並びに、
光電変換部上に形成された第２電極、
を備えており、
第１電極及び電荷蓄積用電極は、層間絶縁層上に設けられており、
第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている固体撮像装置。
［Ａ０２］撮像素子ブロックは、第１の方向に沿ってＰ個、第１の方向とは異なる第２の方向に沿ってＱ個の、Ｐ×Ｑ個（但し、Ｐ≧２，Ｑ≧１）の撮像素子から構成されている［Ａ０１］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０３］《第１構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑ＝１であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０４］撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれている［Ａ０３］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０５］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている［Ａ０４］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０６］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている［Ａ０３］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０７］《第２構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑは２以上の自然数であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０８］撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれている［Ａ０７］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０９］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている［Ａ０８］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１０］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている［Ａ０７］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１１］《第３Ａ構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第２の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１２］《第３Ａ構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１３］撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれて［Ａ１１］又は［Ａ１２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１４］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている［Ａ１３］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１５］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている［Ａ１１］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１６］撮像素子ブロックを構成する撮像素子と撮像素子との間を第２の方向に延びる境界線に対して、撮像素子は線対称に配置されている［Ａ０１］乃至［Ａ１５］のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
［Ａ１７］分離電極の電位は一定の値ＶESである［Ａ０４］乃至［Ａ１６］のいずれか１項に記載の記載の固体撮像装置。
［Ａ０１］《固体撮像装置》
複数の撮像素子から構成された撮像素子ブロックを、複数、有しており、
各撮像素子は、
第１電極、
第１電極と離間して配置された電荷蓄積用電極、
第１電極と接し、絶縁層を介して電荷蓄積用電極の上方に形成された光電変換部、並びに、
光電変換部上に形成された第２電極、
を備えており、
第１電極及び電荷蓄積用電極は、層間絶縁層上に設けられており、
第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている固体撮像装置。
［Ａ０２］撮像素子ブロックは、第１の方向に沿ってＰ個、第１の方向とは異なる第２の方向に沿ってＱ個の、Ｐ×Ｑ個（但し、Ｐ≧２，Ｑ≧１）の撮像素子から構成されている［Ａ０１］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０３］《第１構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑ＝１であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０４］撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれている［Ａ０３］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０５］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている［Ａ０４］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０６］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている［Ａ０３］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０７］《第２構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑは２以上の自然数であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子のそれぞれを構成する第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０８］撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれている［Ａ０７］に記載の固体撮像装置。
［Ａ０９］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている［Ａ０８］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１０］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている［Ａ０７］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１１］《第３Ａ構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第２の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１２］《第３Ａ構成の固体撮像装置》
Ｐ＝２，Ｑ＝２であり、
第１の方向に沿った２つの撮像素子を構成する第１電極は共有されており、
共有された第１電極は、層間絶縁層内に設けられた接続部に接続されている［Ａ０２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１３］撮像素子ブロックは、連続した分離電極によって囲まれて［Ａ１１］又は［Ａ１２］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１４］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、分離電極から第２の方向に沿って延びる連続した第２分離電極が設けられている［Ａ１３］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１５］第１の方向に沿った２つの撮像素子の間には、第２方向に沿って延びる第２分離電極が設けられている［Ａ１１］に記載の固体撮像装置。
［Ａ１６］撮像素子ブロックを構成する撮像素子と撮像素子との間を第２の方向に延びる境界線に対して、撮像素子は線対称に配置されている［Ａ０１］乃至［Ａ１５］のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
［Ａ１７］分離電極の電位は一定の値ＶESである［Ａ０４］乃至［Ａ１６］のいずれか１項に記載の記載の固体撮像装置。
【符号の説明】
【0256】
１０・・・撮像素子ブロック、２１・・・第１電極、２２・・・第２電極、２３・・・光電変換部、２３UP・・・上層光電変換層、２３DN・・・下層半導体層、２４・・・電荷蓄積用電極、２５・・・転送制御用電極（電荷転送電極）、２５Ａ，２６Ａ・・・接続部分、２６・・・電荷排出電極、２７・・・分離電極（下方分離電極）、２７’・・・上方分離電極、２８・・・第１分離電極（下方第１分離電極）、２９・・・第２分離電極（上方第２分離電極）、４１・・・第２撮像素子を構成するｎ型半導体領域（第２光電変換部）、４３・・・第３撮像素子を構成するｎ型半導体領域（第３光電変換部）、４２，４４，７３・・・ｐ+層、ＦＤ1，ＦＤ2，ＦＤ3，４５Ｃ，４６Ｃ・・・浮遊拡散層、ＴＲ１amp・・・増幅トランジスタ、ＴＲ１rst・・・リセット・トランジスタ、ＴＲ１sel・・・選択トランジスタ、５１・・・リセット・トランジスタＴＲ１rstのゲート部、５１Ａ・・・リセット・トランジスタＴＲ１rstのチャネル形成領域、５１Ｂ，５１Ｃ・・・リセット・トランジスタＴＲ１rstのソース／ドレイン領域、５２・・・増幅トランジスタＴＲ１ampのゲート部、５２Ａ・・・増幅トランジスタＴＲ１ampチャネル形成領域、５２Ｂ，５２Ｃ・・・増幅トランジスタＴＲ１ampのソース／ドレイン領域、５３・・・選択トランジスタＴＲ１selのゲート部、５３Ａ・・・選択トランジスタＴＲ１selのチャネル形成領域、５３Ｂ，５３Ｃ・・・選択トランジスタＴＲ１selのソース／ドレイン領域、ＴＲ２trs・・・転送トランジスタ、４５・・・転送トランジスタのゲート部、ＴＲ２rst・・・リセット・トランジスタ、ＴＲ２amp・・・増幅トランジスタ、ＴＲ２sel・・・選択トランジスタ、ＴＲ３trs・・・転送トランジスタ、４６・・・転送トランジスタのゲート部、ＴＲ３rst・・・リセット・トランジスタ、ＴＲ３amp・・・増幅トランジスタ、ＴＲ３sel・・・選択トランジスタ、ＶDD・・・電源、ＲＳＴ1，ＲＳＴ2，ＲＳＴ3・・・リセット線、ＳＥＬ1，ＳＥＬ2，ＳＥＬ3・・・選択線、１１７，ＶＳＬ1，ＶＳＬ2，ＶＳＬ3・・・信号線、ＴＧ2，ＴＧ3・・・転送ゲート線、ＶOA，ＶOB，ＶOT，ＶOU・・・配線、６１・・・コンタクトホール部、６２・・・配線層、６３・・・接続部、６４・・・配線層、６５・・・接続孔、６６・・・パッド部、６７，６８・・・接続部分、７０・・・半導体基板、７０Ａ・・・半導体基板の第１面（おもて面）、７０Ｂ・・・半導体基板の第２面（裏面）、７１・・・素子分離領域、７２・・・絶縁材料膜、７４・・・ＨｆＯ2膜、７５・・・絶縁膜、７６・・・層間絶縁膜、８１・・・層間絶縁層、８２・・・絶縁層、８３・・・保護層、８４・・・開口部、８５・・・第２開口部、９０・・・オンチップ・マイクロ・レンズ、９１・・・層間絶縁層より下方に位置する各種の撮像素子構成要素、９２・・・遮光層、１００・・・固体撮像装置、１０１・・・積層型撮像素子、１１１・・・撮像領域、１１２・・・垂直駆動回路、１１３・・・カラム信号処理回路、１１４・・・水平駆動回路、１１５・・・出力回路、１１６・・・駆動制御回路、１１８・・・水平信号線、２００・・・電子機器（カメラ）、２０１・・・固体撮像装置、２１０・・・光学レンズ、２１１・・・シャッタ装置、２１２・・・駆動回路、２１３・・・信号処理回路
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】