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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-26
(45)【発行日】2024-03-05
(54)【発明の名称】電磁波制御装置、電磁波制御方法、及び電磁波伝達装置
(51)【国際特許分類】
H01Q 15/24 20060101AFI20240227BHJP
G02B 26/00 20060101ALI20240227BHJP
H01P 1/165 20060101ALI20240227BHJP
【ＦＩ】
H01Q15/24
G02B26/00
H01P1/165
【請求項の数】
11
(21)【出願番号】P 2020030068
(22)【出願日】2020-02-26
(65)【公開番号】P2021136519
(43)【公開日】2021-09-13
【審査請求日】2023-01-20
(73)【特許権者】
【識別番号】503359821
【氏名又は名称】国立研究開発法人理化学研究所
(74)【代理人】
【識別番号】100097515
【弁理士】
【氏名又は名称】堀田 実
(74)【代理人】
【識別番号】100136700
【弁理士】
【氏名又は名称】野村 俊博
(72)【発明者】
【氏名】南出 泰亜
(72)【発明者】
【氏名】大野 誠吾
(72)【発明者】
【氏名】時実 悠
【審査官】佐藤 当秀
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１８／１７４９１６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１２－０４７９５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－３３３７５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００６／００６７６０４（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２００４－０７８１１６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０７－２２０９２３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－２３０７３０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｑ １５／２４
Ｇ０２Ｂ ２６／００
Ｈ０１Ｐ １／１６５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
電磁波が伝搬する導波路と、前記導波路に伝搬する前の電磁波の偏光状態を調整可能な偏光調整部と、
前記偏光調整部からの電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを備え、
前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記偏光調整部からの電磁波が通過する通過部が設けられ、
前記導波路は、前記結合器に関して前記偏光調整部と反対側において設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている、電磁波制御装置。
【請求項2】
前記導波路は、前記第１方向において、前記中心軸の位置から互いに反対側に延びている、請求項１に記載の電磁波制御装置。
【請求項3】
前記導電体構造は、前記通過部の中心軸に関して回転対称に形成されている、請求項１又は２に記載の電磁波制御装置。
【請求項4】
前記導電体構造は、前記通過部の中心軸を含む対称面に関して面対称に形成され、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、前記導波路は、前記対称面に直交するように延びている、請求項１～３のいずれか一項に記載の電磁波制御装置。
【請求項5】
前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、前記導波路の幅方向中央は、前記導波路を伝搬させる電磁波の対象波長と同程度の距離だけ、前記第２方向に前記中心軸からずれている、請求項１～４のいずれか一項に記載の電磁波制御装置。
【請求項6】
前記対象波長は、テラヘルツ波の波長である、請求項５に記載の電磁波制御装置。
【請求項7】
前記中心軸の方向における前記通過部と前記導波路との間隔は、前記対象波長程度である、請求項５又は６に記載の電磁波制御装置。
【請求項8】
前記通過部の前記中心軸の方向から見た場合に、前記第２方向において前記中心軸を挟むように、２つの前記導波路が設けられている、請求項１～７のいずれか一項に記載の電磁波制御装置。
【請求項9】
電磁波が伝搬する導波路と、入射した電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを設け、前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記結合器に入射した電磁波が通過する通過部が設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれており、前記結合器に入射する電磁波の偏光状態を調整することにより、前記導波路を伝搬する電磁波の位相を制御する、電磁波制御方法。
【請求項10】
電磁波が伝搬する導波路と、入射した電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを備え、
前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、入射した電磁波が通過する通過部が設けられ、
前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている、電磁波伝達装置。
【請求項11】
電磁波が伝搬する導波路と、前記導波路からの電磁波が伝達される結合器とを備え、
前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記導波路からの電磁波が通過する通過部が設けられ、
前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている、電磁波伝達装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、導波路を伝搬する電磁波の位相を制御する技術に関する。
【背景技術】
【0002】
光波、電波、両者の中間の周波数を有するテラヘルツ波などの電磁波を用いた通信は、情報化社会を支える核となる技術である。このような通信技術において、電磁波は、伝送線路や光ファイバーなどの導波路を伝搬して、ミキシング、変調、復調などの処理を受ける。その際に、導波路を伝搬する電磁波の位相制御は、精密な情報の伝送にとって必須の基礎技術である。このような位相制御は、例えば特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第５６６５１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来において、導波路を伝搬する電磁波の位相を動的に変化させるためには、位相変調器（例えば特許文献１の導波路型光変調器）を導波路に設ける必要がある。導波路に位相変調器を設けた構成は、寸法が増大し、また、製造プロセスが複雑化してしまう。例えば、非線形光学結晶を用いた位相変調器では、十分な位相差を得るには、装置が大型化してしまう。また、導波路に設ける位相変調器として半導体を用いた小型の位相変調器は、製造プロセスが複雑になり、その結果、高額になりやすく、微細な半導体構造であるために、静電気に対して脆弱になりやすい。
【0005】
そこで、本発明の目的は、導波路を伝搬する電磁波の位相を制御する場合に、導波路に位相変調器を設けなくても、導波路を伝搬する電磁波の位相を制御できるようにすることにある。
【0006】
また、本発明の目的は、導波路における電磁波の位相に応じた偏光状態で電磁波を伝達できる電磁波伝達装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一態様によると、電磁波制御装置は、
電磁波が伝搬する導波路と、
前記導波路に伝搬する前の電磁波の偏光状態を調整可能な偏光調整部と、
前記偏光調整部からの電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを備え、
前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記偏光調整部からの電磁波が通過する通過部が設けられ、
前記導波路は、前記結合器に関して前記偏光調整部と反対側において設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている。
電磁波が伝搬する導波路と、
前記導波路に伝搬する前の電磁波の偏光状態を調整可能な偏光調整部と、
前記偏光調整部からの電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを備え、
前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記偏光調整部からの電磁波が通過する通過部が設けられ、
前記導波路は、前記結合器に関して前記偏光調整部と反対側において設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている。
【0008】
また、本発明の一態様によると、電磁波制御方法では、
電磁波が伝搬する導波路と、入射した電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを設け、前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記結合器に入射した電磁波が通過する通過部が設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれており、
前記結合器に入射する電磁波の偏光状態を調整することにより、前記導波路を伝搬する電磁波の位相を制御する。
電磁波が伝搬する導波路と、入射した電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを設け、前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記結合器に入射した電磁波が通過する通過部が設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれており、
前記結合器に入射する電磁波の偏光状態を調整することにより、前記導波路を伝搬する電磁波の位相を制御する。
【0009】
また、本発明の別の態様によると、電磁波伝達装置は、電磁波が伝搬する導波路と、入射した電磁波を前記導波路に伝達する結合器とを備え、前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、入射した電磁波が通過する通過部が設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている。
更に、本発明の別の態様によると、電磁波伝達装置は、電磁波が伝搬する導波路と、前記導波路からの電磁波が伝達される結合器とを備え、前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記導波路からの電磁波が通過する通過部が設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている。
更に、本発明の別の態様によると、電磁波伝達装置は、電磁波が伝搬する導波路と、前記導波路からの電磁波が伝達される結合器とを備え、前記結合器は、導電材料で形成された導電体構造を有し、該導電体構造には、前記導波路からの電磁波が通過する通過部が設けられ、前記通過部の中心軸の方向から見た場合に、互いに直交する第１方向と第２方向のうち前記第１方向の一方側から他方側へ前記導波路は延びており、前記導波路の幅方向中央は、前記第２方向において前記中心軸から僅かにずれている。
【発明の効果】
【0010】
本発明の一態様によると、結合器から導波路へ伝達される前の電磁波の偏光状態を調整することで、導波路における電磁波の位相を制御できる。よって、導波路に位相変調器を設けなくても、導波路を伝搬する電磁波の位相を制御できる。
【0011】
また、本発明の別の態様によると、導波路を伝搬して来た電磁波が、通過部を通過して結合部から導波路と反対側へ伝達するようにした場合には、導波路での位相に応じた偏光状態で電磁波が結合器から伝達（例えば空中へ放射）される。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明の第１実施形態による電磁波制御装置の構成を示す図である。
【図3】結合器と導波路の斜視図である。
【図5】導波路におけるＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２の位相差を示す複素平面である。
【図6A】偏光方向がｘ軸方向である電磁波が導波路に伝達された場合の電場分布を示す。
【図6B】偏光方向がｙ軸方向である電磁波が導波路に伝達された場合の電場分布を示す。
【図6C】偏光方向がｙ軸方向から１１度回転した方向である電磁波が導波路に伝達された場合の電場分布を示す。
【図8】本発明の第２実施形態による電磁波制御装置を示す。
【図9】本発明の第３実施形態による電磁波制御装置を示す。
【図10A】結合器の別の構成例を示す。
【図10B】結合器の別の構成例を示す。
【図11】変更例による電磁波制御装置を示す。
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【0014】
（第１実施形態）
＜電磁波制御装置の構成＞
図１は、本発明の第１実施形態による電磁波制御装置１０の構成を模式的に示す図である。電磁波制御装置１０は、偏光調整部３と結合器５と導波路７を備える。電磁波制御装置１０において、電磁波は、偏光調整部３を通過して結合器５に入射し、結合器５により導波路７に伝達（結合）されて、導波路７を伝搬する。電磁波制御装置１０は、空間を伝搬する電磁波の偏光状態（例えば偏光方向）を制御することにより、導波路７を伝搬する電磁波の位相を制御する。電磁波制御装置１０は、この位相制御を、制御対象の電磁波が導波路７に伝わる前に偏光調整部３において行う。なお、図１及び他の各図において、ｘとｙとｚは、直交座標系における互いに直交するｘ軸とｙ軸とｚ軸（以下で単にｘ軸とｙ軸とｚ軸という）を示す。
＜電磁波制御装置の構成＞
図１は、本発明の第１実施形態による電磁波制御装置１０の構成を模式的に示す図である。電磁波制御装置１０は、偏光調整部３と結合器５と導波路７を備える。電磁波制御装置１０において、電磁波は、偏光調整部３を通過して結合器５に入射し、結合器５により導波路７に伝達（結合）されて、導波路７を伝搬する。電磁波制御装置１０は、空間を伝搬する電磁波の偏光状態（例えば偏光方向）を制御することにより、導波路７を伝搬する電磁波の位相を制御する。電磁波制御装置１０は、この位相制御を、制御対象の電磁波が導波路７に伝わる前に偏光調整部３において行う。なお、図１及び他の各図において、ｘとｙとｚは、直交座標系における互いに直交するｘ軸とｙ軸とｚ軸（以下で単にｘ軸とｙ軸とｚ軸という）を示す。
【0015】
＜偏光調整部の構成＞
偏光調整部３は、空間に配置され、通過する電磁波の偏光状態を調整可能である。ここで、偏光状態は、直線偏光の電磁波の偏光方向であってよい。この場合、偏光調整部３は、電磁波の偏光方向を変えることができるように構成されている。偏光調整部３は、制御部２に制御されることにより、通過する電磁波の偏光状態を調整する。例えば、制御部２は、偏光調整部３による電磁波の偏光方向の変更量を制御する。なお、本明細書では、電磁波の電場ベクトルが振動する方向を、偏光方向という。
偏光調整部３は、空間に配置され、通過する電磁波の偏光状態を調整可能である。ここで、偏光状態は、直線偏光の電磁波の偏光方向であってよい。この場合、偏光調整部３は、電磁波の偏光方向を変えることができるように構成されている。偏光調整部３は、制御部２に制御されることにより、通過する電磁波の偏光状態を調整する。例えば、制御部２は、偏光調整部３による電磁波の偏光方向の変更量を制御する。なお、本明細書では、電磁波の電場ベクトルが振動する方向を、偏光方向という。
【0016】
一例では、図１に示すように、偏光調整部３は、結合器５へ入射する電磁波が伝搬する空間に配置された１／２波長板３ａと、１／２波長板３ａの光軸Ｃ０を中心に１／２波長板３ａを回転させる駆動装置３ｂとを備える。１／２波長板３ａは、通過する直線偏光の電磁波の偏光方向を、当該電磁波の伝搬方向を向く軸回りに回転させる。偏光方向の当該回転の量は、駆動装置３ｂにより調整された１／２波長板３ａの回転方向位置に応じた量となる。なお、光軸Ｃ０は、結合器５における後述の通過部５ａの中心軸Ｃ１と同軸であってよい。
【0017】
１／２波長板３ａは、例えば、外周面にギアが形成された枠３ｃの内周面に取り付けられている。当該ギアには、駆動ギア３ｄが噛み合っている。駆動ギア３ｄは、駆動装置３ｂとしてのステッピングモータに駆動される。ステッピングモータ３ｂは、制御部２から入力される制御信号としてのパルスの数に応じた量だけ駆動ギア３ｄを回転させることにより、１／２波長板３ａを回転させる。
【0018】
なお、偏光調整部３は、上述の例に限定されず、通過する電磁波の偏光状態（例えば直線偏光の電磁波の偏光方向）を調整できる他の構成（例えば公知である任意の構成）を有するものであってもよい。
【0019】
＜結合器の構成＞
結合器５には、偏光調整部３を通過した電磁波が入射する。結合器５は、偏光調整部３からの電磁波を導波路７へ伝達（結合）する。結合器５は、導電材料で形成された導電体構造である。導電体構造５はアンテナとして機能してよい。導電体構造５には、偏光調整部３からの電磁波が通過する通過部５ａが設けられている。通過部５ａは、その一部又は全体が導電体構造５により区画される。通過部５ａは、導電体構造５を貫通する貫通孔であってよい。貫通孔５ａは細孔であってよい。通過部５ａは、円柱形状であってよい。なお、通過部５ａは、電磁波を透過させる材料で形成されたものであってもよい。
結合器５には、偏光調整部３を通過した電磁波が入射する。結合器５は、偏光調整部３からの電磁波を導波路７へ伝達（結合）する。結合器５は、導電材料で形成された導電体構造である。導電体構造５はアンテナとして機能してよい。導電体構造５には、偏光調整部３からの電磁波が通過する通過部５ａが設けられている。通過部５ａは、その一部又は全体が導電体構造５により区画される。通過部５ａは、導電体構造５を貫通する貫通孔であってよい。貫通孔５ａは細孔であってよい。通過部５ａは、円柱形状であってよい。なお、通過部５ａは、電磁波を透過させる材料で形成されたものであってもよい。
【0020】
通過部５ａから導波路７に伝達（結合）させる対象とする電磁波の波長を、以下において対象波長という。本明細書において、結合器５に入射して結合器５により導波路７に伝達され導波路７を伝搬する電磁波は、対象波長を有する電磁波である。
【0021】
通過部５ａの中心軸Ｃ１に直交する平面による通過部５ａの断面における各方向の寸法（例えば円柱形状の通過部５ａの直径）は、対象波長程度であってよい。当該寸法は、一例では、対象波長以下又は対象波長の数倍（例えば２倍又は３倍）以下であって対象波長の数分の一（例えば対象波長の１／２、１／５、又は１／８）以上であってよい。一例では、対象波長は、テラヘルツ波の波長である。テラヘルツ波の波長は、３０μｍ以上であって３ｍｍ以下の範囲内の波長である。すなわち、テラヘルツ波の周波数は、０．１ＴＨｚ以上であって１００ＴＨｚ程度以下の範囲内の周波数である。なお、対象波長は、どのような電磁波（例えば光波又は電波）の波長であってもよい。
【0022】
図２は、図１のＩＩ－ＩＩ矢視図であり、結合器５を示す。図３は、結合器５と導波路７の斜視図である。図３では、偏光調整部３の図示を省略している。通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向から見て、中心軸Ｃ１は、導電体構造５の中心に位置してよい。導電体構造５は、通過部５ａの中心軸Ｃ１を含む対称面Ｐｓ（以下で単に対称面Ｐｓという）に関して面対称に形成されている。対称面Ｐｓは、図２では、破線で示されており、この図の紙面と直交し、かつ、この図の左右方向（ｘ軸方向）と直交する。
【0023】
偏光調整部３からの電磁波を結合器５により導波路７へ伝達ことができる程度に、結合器５と導波路７とは互いに近接している。より詳しくは、通過部５ａと導波路７との三次元的距離（すなわち図１の三次元のｘｙｚ座標系における距離）は、電磁波を伝達できる範囲内の距離（例えば対象波長程度）である。したがって、中心軸Ｃ１の方向における、通過部５ａ（導波路７側の貫通孔５ａの開口）と導波路７（貫通孔５ａ側の端面）との間隔も、電磁波の対象波長と同程度であり、一例では、対象波長以下又は対象波長の数倍（例えば２倍又は３倍）以下であって対象波長の数分の一（例えば対象波長の１／２、１／５、又は１／８）以上であってよい。結合器５と導波路７との間には空間又は絶縁体が存在していてよい。
【0024】
結合器５としての導電体構造は、導波路７と反対側から入射して来た対象波長の電磁波が、共鳴した状態で通過部５ａを通過するように構成されてよい。また、偏光調整部３から結合器５へ入射する電磁波の偏光状態（例えば直線偏光である当該電磁波の偏光方向）が変わっても、導電体構造５から導波路７への電磁波の伝達効率（結合効率）が、あまり変わらないように導電体構造５が構成されていてよい。また、偏光調整部３から導電体構造５へ入射する電磁波の偏光状態（例えば直線偏光である当該電磁波の偏光方向）が、結合器５（通過）を通過する時に変化しないように導電体構造５が構成されていてよい。
【0025】
このような導波路７は、通過部５ａの中心軸Ｃ１に関して回転対称性（例えば３回以上の回転対称性）を有するように構成されていてよい。導電体構造５は、図１と図２のように、例えばブルズアイ（Bull’s eye）構造であってよい。
【0026】
ブルズアイ構造５は、板状の導電体構造（例えば金属板）であり、当該導電体構造５の表面（例えば導波路７と反対側の表面）に、同心円状の複数の溝５ｂが回折格子として形成されている。図１～図３において、ブルズアイ構造５は、円板状の金属板に同心円状の複数の溝５ｂが中心軸Ｃ１の方向に貫通したものであってもよい。ブルズアイ構造５では、電磁波の対象波長において、上記回折格子での共鳴により通過部５ａを通過する対象波長の電磁波の透過特性が向上する。
【0027】
＜導波路＞
図４は、図１のＩＶ－ＩＶ矢視図であり、導波路７を示す。導波路７には、結合器５から伝達された電磁波が伝搬する。すなわち、導波路７には、結合器５の通過部５ａを通過した電磁波が伝搬する。導波路７は、対象波長を有する電磁波を伝搬させるように構成されている。導波路７は、結合器５に関して偏光調整部３と反対側において、ｘ軸方向における一方側から他方側へ（例えば細長く）延びている。導波路７は、通過部５ａの中心軸Ｃ１を含む対称面Ｐｓに直交するように延びていてよい。
図４は、図１のＩＶ－ＩＶ矢視図であり、導波路７を示す。導波路７には、結合器５から伝達された電磁波が伝搬する。すなわち、導波路７には、結合器５の通過部５ａを通過した電磁波が伝搬する。導波路７は、対象波長を有する電磁波を伝搬させるように構成されている。導波路７は、結合器５に関して偏光調整部３と反対側において、ｘ軸方向における一方側から他方側へ（例えば細長く）延びている。導波路７は、通過部５ａの中心軸Ｃ１を含む対称面Ｐｓに直交するように延びていてよい。
【0028】
結合器５から導波路７へ電磁波を伝達するには、結合器５と導波路７が存在することにより、局所的な電場の分布が必要である。これについて、導波路７において、通過部５ａと対向する位置に局所的な電場が、通過部５ａからの電磁波により発生する。この場合、結合器５と導波路７との位置関係の対称性を崩すこと等により、結合器５の入射面に入射する電磁波の偏光方向に拘わらず、結合器５から導波路７へ伝達される電磁波が同じ導波モードで導波路７を伝搬するように、結合器５と導波路７が構成されて互いに対して配置されている。
【0029】
通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向（図４の例ではｚ軸方向）から見た場合に、互いに直交する方向を第１方向と第２方向とする。図２の例では、第１方向は、ｘ軸方向であり、第２方向は、ｙ軸方向である。本実施形態によると、第１方向の一方側から他方側（例えば第１方向に）へ導波路７は延びている、導波路７の幅方向中央（ｙ軸方向の中央）は、第２方向（図４では正のｙ軸方向）において、中心軸Ｃ１から僅かにずれている。このずれの量は、対象波長と同程度（例えば対象波長の１／２又は１／５程度）の距離であり、一例では、対象波長以下又は対象波長の数倍（例えば２倍又は３倍）以下であって対象波長の数分の一（例えば対象波長の１／２、１／５、又は１／８）以上であってよい。中心軸Ｃ１の方向から見た場合に、図４のように、導波路７と通過部５ａとは、部分的に重なっていてよい。
【0030】
また、導波路７は、第１方向（図４では正負のｘ軸方向）において、通過部５ａ又は中心軸Ｃ１の位置から（例えば細長く）延びている。本実施形態では、導波路７は、第１方向において、通過部５ａ又中心軸Ｃ１の位置から互いに反対側に延びている。導波路７は、第１方向に直線状に延びていてよい。このような導波路７は、通過部５ａからの電磁波を、通過部５ａの位置から互いに反対側（図１の正負のｘ軸方向）に伝搬させる。
【0031】
導波路７は、一例では、ストリップライン７（マイクロストリップライン）であってよい。ストリップライン７は、例えば、図１と図３のように、裏面（図１の下側の面）に導体箔（図示せず）が形成された誘電体基板６の表面に形成された線状の導体箔であってよい。別の例では、ストリップライン７は、裏面と表面に導体箔を形成した誘電体基板の内部に形成した線状の導体箔であってもよい。なお、誘電体基板（例えば図１の誘電体基板６）には、中心軸Ｃ１と同軸であり円柱形の貫通孔（例えば図１の誘電体基板６）が形成されており、この貫通孔の直径は、例えば通過部５ａ（貫通孔５ａ）の直径と同じである。
【0032】
（導波路における位相）
図１～図４を参照して、結合器５により導波路７へ結合した電磁波の位相について説明する。導波路７において結合器５から電磁波が伝達される位置を基準位置Ｐｒ（後述の図６Ａなどを参照）という。すなわち、基準位置Ｐｒは、ｘ軸方向の位置であって、導波路７が対称面Ｐｓと交差する位置である。また、ｘ軸方向において、通過部５ａ（基準位置Ｐｒ）から同じ距離にある導波路７上の出力ポートをＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とする。
図１～図４を参照して、結合器５により導波路７へ結合した電磁波の位相について説明する。導波路７において結合器５から電磁波が伝達される位置を基準位置Ｐｒ（後述の図６Ａなどを参照）という。すなわち、基準位置Ｐｒは、ｘ軸方向の位置であって、導波路７が対称面Ｐｓと交差する位置である。また、ｘ軸方向において、通過部５ａ（基準位置Ｐｒ）から同じ距離にある導波路７上の出力ポートをＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とする。
【0033】
対称面Ｐｓと平行な第１の偏向方向（図１のｙ軸方向）に直線偏光した電磁波が結合器５から導波路７に伝達された場合、導波路７において正のｘ軸方向へ伝搬する当該電磁波の位相と、導波路７において負のｘ軸方向へ伝搬する当該電磁波の位相とは、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２では同じになる。この状態｜ａ＞は、次の式（１）で表される。式（１）において、ａは、結合係数であり、複素数ａ＝Ａｅｉαで表すことができる。Ａとαは実数である。ωは電磁波の電場の角振動数であり、Ｅｐｏｒｔ１とＥｐｏｒｔ２は、それぞれＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２の電場を示す（以下同様）。
【0034】
【数1】
【0035】
一方、対称面Ｐｓと直交する第２の偏向方向（図１のｘ軸方向）に直線偏光した電磁波が結合器５から導波路７に伝達された場合、導波路７において正のｘ軸方向へ伝搬する電磁波の位相と、導波路７において負のｘ軸方向へ伝搬する電磁波の位相とは、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２では逆になる。この状態｜ｂ＞は、次の式（２）で表される。式（２）において、ｂは、結合係数であり、複素数ｂ＝Ｂｅｉβで表すことができる。Ｂとβは実数である。
【0036】
【数2】
【0037】
ここで、結合器５へ入射する電磁波の偏光方向が、中心軸Ｃ１の方向に見た場合に、角度θだけ回転した状態｜Ｓ＞は、次の式（３）のように｜ａ＞と｜ｂ＞の線形結合で表すことができる。
【0038】
【数3】
【0039】
式（３）は、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで、電磁波の位相が異なることを表わしている。このことは、図５のように図示される。ｔａｎθは、偏光調整部３が電磁波の偏光方向を回転させることにより任意の実数をとることができるので、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２との間で、－π≦φ≦πの範囲の位相差φを偏光方向の回転により付与できる。偏光方向の回転により、どれぐらい滑らかに位相差φが変化するかはαとβの値に依存し、導波路７と結合器５との距離及び結合効率や、対象波長などによって定まる。これらの値を適切に設定することでβ－α＝π／２を達成できる。これにより、偏光方向の回転による位相差φの変化を更に滑らかにすることができる。この場合、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２との間で電磁波の強度の差が無くなる。
【0040】
更に、β－α＝π／２のときに、結合器５に入射する電磁波の偏光成分について、偏光調整部３に１／４波長板を使うなどしてｘ軸方向とｙ軸方向とで位相差±π／２だけずれた楕円偏光状態または円偏光状態で、電磁波が結合器５により導波路７に伝達させられたとすると、次の式（４）が与えられる。
【0041】
【数4】
【0042】
ここで、偏光調整部３においてｘ軸方向、ｙ軸方向の偏光成分を調整してｘ軸方向とｙ軸方向の強度をｔａｎθ＝Ａ／Ｂとなるように設定することにより、次の式（５）が成り立つ。
【0043】
【数5】
【0044】
したがって、結合器５から導波路７への入射時の電磁波の偏光状態によっては、Ｐｏｒｔ１にだけ、若しくは、Ｐｏｒｔ２にだけ電磁波を伝搬させることができる。
【0045】
（シミュレーション）
一例では、貫通孔５ａの直径を１００μｍとし、導波路７としてのストリップライン７の幅と厚みをそれぞれ５０μｍと１０μｍとする。このストリップライン７を、ブルズアイ構造５における表面（すなわち、ストリップライン７側の貫通孔５ａの開口）からｚ軸方向に３５μｍずらした位置に設ける。また、ストリップライン７の幅方向中央を、貫通孔５ａの中心軸Ｃ１から正のｙ軸方向に５０μｍずらした。ブルズアイ構造５は、厚みが６０μｍの基板であり、同心円状の複数の溝５ｂのピッチ（周期）が２００μｍであり、溝５ｂの深さが２０μｍであるとする。このようなブルズアイ構造５が、入射してくる電磁波としての２ＴＨｚのテラヘルツ波を導波路７に伝達することを想定する。
一例では、貫通孔５ａの直径を１００μｍとし、導波路７としてのストリップライン７の幅と厚みをそれぞれ５０μｍと１０μｍとする。このストリップライン７を、ブルズアイ構造５における表面（すなわち、ストリップライン７側の貫通孔５ａの開口）からｚ軸方向に３５μｍずらした位置に設ける。また、ストリップライン７の幅方向中央を、貫通孔５ａの中心軸Ｃ１から正のｙ軸方向に５０μｍずらした。ブルズアイ構造５は、厚みが６０μｍの基板であり、同心円状の複数の溝５ｂのピッチ（周期）が２００μｍであり、溝５ｂの深さが２０μｍであるとする。このようなブルズアイ構造５が、入射してくる電磁波としての２ＴＨｚのテラヘルツ波を導波路７に伝達することを想定する。
【0046】
【0047】
図６Ａ～図６Ｃは、ストリップライン７を、ｚ軸方向と平行な方向から見た図であり、特定の時点におけるｚ方向における電場を表わしている。図６Ａ～図６Ｃにおいて、ストリップライン７の左右方向中央は、結合器５から電磁波が伝達される基準位置Ｐｒ（ｘ軸方向における中心軸Ｃ１の位置）である。図６Ａ～図６Ｃにおいて、斜線部分は、電場が正のｚ方向に最も強くなっている領域を示し、網目部分は、電場が負のｚ方向に最も強くなっている領域を示す。図６Ａ～図６Ｃから、電磁波は最低次の導波モード（ｙ方向に節がない導波モード）で伝搬することが分かる。
【0048】
図６Ａは、偏光方向（電場の振動方向）がｘ軸方向である電磁波が結合器５からストリップライン７に伝達された場合を示し、図６Ｂは、偏光方向（電場の振動方向）がｙ軸方向である電磁波が結合器５からストリップライン７に伝達された場合を示す。
【0049】
ｘ軸方向に直線偏光した電磁波が結合器５からストリップライン７に入射した場合には、図６Ａに示されるように、電場の分布が、基準位置Ｐｒを含むｙｚ平面（上述の対称面Ｐｓ）に関して反対称になっている。すなわち、正負のｘ軸方向において基準位置Ｐｒから同じ距離の位置では、正のｘ軸方向に伝搬する電磁波と、負のｘ軸方向に伝搬する電磁波とで、その位相が互いに逆になっている。例えば、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで電磁波の位相が互いに逆になっている。
【0050】
一方、ｙ軸方向に直線偏光した電磁波が結合器５からストリップライン７に入射した場合には、図６Ｂに示されるように、電場の分布が、基準位置Ｐｒを含むｙｚ平面（上述の対称面Ｐｓ）に関して対称になっている。すなわち、正負のｘ軸方向において基準位置Ｐｒから同じ距離の位置では、正のｘ軸方向に伝搬する電磁波と、負のｘ軸方向に伝搬する電磁波とで、その位相が同じになっている。例えば、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで電磁波の位相が同じになっている。
【0051】
【0052】
図６Ｃは、図６Ｂの場合から、偏光方向がｙ軸方向から１１度だけ回転した電磁波が結合器５からストリップライン７に伝達された場合を示す。この場合には、図６Ｃのように、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで、電磁波の位相差は９０度になっている。すなわち、上述のβ－α＝π／２が成り立っている状態が図６Ｃに示されている。
【0053】
【0054】
図６Ｃのように、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで電磁波の位相差を９０度に調整可能である。このようにＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで電磁波の位相差を９０度となる状態において、すなわち、結合器５からストリップライン７に伝達される電磁波の偏光方向がβ－α＝π／２を満たす方向である状態（図６Ｃの例では、θ＝１１度の状態）において、当該状態を生じさせている第１の電磁波に対して、同じ対象波長を有し且つ結合器５での電磁波伝搬方向における位相が９０度異なる第２の電磁波を、結合器５からストリップライン７に更に伝達すると、図７Ａ又は図７Ｂの結果が得られる。このような第１及び第２の電磁波は、例えば、互いに９０度の位相差を持つ左右回りの楕円偏光の電磁波を重ね合わせることで実現されてよいが、これに限定されない。
【0055】
図７Ａと図７Ｂは、ストリップライン７を、ｚ軸方向と平行な方向から見た図であり、特定の時点におけるｚ方向における電場を表わしている。図７Ａと図７Ｂにおいて、ストリップライン７の左右方向中央は、結合器５から電磁波が伝達される基準位置Ｐｒである。図７Ａと図７Ｂにおいて、斜線部分は、ｚ方向に振動する電場の強さ（絶対値）が所定値よりも大きくなっている領域を示す。
【0056】
図６Ｃの状態を得ている特定時点の第１の電磁波に対して、第２の電磁波の位相を当該特定時点に対して９０度遅らせた場合には、図７Ａの結果が得られる。これにより、図７Ａのように、基準位置Ｐｒから負のｘ軸方向には電磁波が伝搬するが、基準位置Ｐｒから正のｘ軸方向には電磁波は伝搬しない。すなわち、上述の第１及び第２の電磁波が正のｘ軸方向にストリップライン７を伝搬する時に打消し合うが、負のｘ軸方向にストリップライン７を伝搬する時に強め合う。
【0057】
一方、図６Ｃの状態を得ている特定時点の第１の電磁波に対して、第２の電磁波の位相を当該特定時点に対して９０度早めた場合には、図７Ｂの結果が得られる。これにより、図７Ｂのように、基準位置Ｐｒから正のｘ軸方向には電磁波が伝搬するが、基準位置Ｐｒから負のｘ軸方向には電磁波は伝搬しない。すなわち、上述の第１及び第２の電磁波が負のｘ軸方向にストリップライン７を伝搬する時に打消し合うが、正のｘ軸方向にストリップライン７を伝搬する時に強め合う。
【0058】
このように、第１及び第２の電磁波を上述のように結合器５に入射させて結合器５から導波路７へ伝達させることにより、１方向（正又は負のｘ軸方向）にのみ電磁波を伝搬させることができる。
【0059】
【0060】
（第１実施形態の効果）
本実施形態によると、通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向から見た場合に、導波路７の幅方向中央は、結合器５の通過部５ａの中心軸Ｃ１から僅かにずれている。この構成により、通過部５ａから導波路７へ伝達（結合）されて導波路７を伝搬する電磁波の位相は、通過部５ａから導波路７へ伝達される時の電磁波の偏光状態に応じて変化する。したがって、結合器５に入射する前の段階において、電磁波の偏光状態を調整することにより、導波路７における電磁波の位相を制御することができる。このように、結合器５と導波路７へ伝搬する前の電磁波の偏光状態を調整することで、導波路７における電磁波の位相を制御できる。よって、導波路７に位相変調器を設けなくても、導波路７を伝搬する電磁波の位相を制御できる。
本実施形態によると、通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向から見た場合に、導波路７の幅方向中央は、結合器５の通過部５ａの中心軸Ｃ１から僅かにずれている。この構成により、通過部５ａから導波路７へ伝達（結合）されて導波路７を伝搬する電磁波の位相は、通過部５ａから導波路７へ伝達される時の電磁波の偏光状態に応じて変化する。したがって、結合器５に入射する前の段階において、電磁波の偏光状態を調整することにより、導波路７における電磁波の位相を制御することができる。このように、結合器５と導波路７へ伝搬する前の電磁波の偏光状態を調整することで、導波路７における電磁波の位相を制御できる。よって、導波路７に位相変調器を設けなくても、導波路７を伝搬する電磁波の位相を制御できる。
【0061】
本実施形態による電磁波制御装置１０において、結合器５と導波路７を合わせた構造をフィルム状の微小な構造に形成することができる。例えば、結合器５と導波路７を合わせた構造は、ｘ軸方向とｙ軸方向の各々における寸法を１０ｍｍ程度にすることができ、ｚ軸方向の寸法を５μｍ程度以上数十μｍ程度（例えば３０μｍ）以下にすることができる。このような場合、図１において、結合器５と導波路７は、この図と違って偏光調整部３に対して微小な構造となってよい。このような結合器５と導波路７は、例えばメタマテリアルにより作製されたものであってもよい。
【0062】
電磁波制御装置１０は、空中を伝搬する電磁波を導波路７へ伝達させ、導波路７における当該電磁波の位相を制御することに用いることができる。例えば、導波路７を伝搬する信号（電磁波）を用いてミキシング、変調、復調などの処理を行うことに、電磁波制御装置１０を適用可能である。すなわち、空中を伝達して来た電磁波を、偏光調整部３と結合器５を介して受信して導波路７へ伝達させ、導波路７を伝搬する当該電磁波（信号）を用いてミキシング、変調、復調、同期検波などの処理を行うことができる。この時、当該信号の位相の調整が必要となるが、この位相の調整は、偏光調整部３により、通過する電磁波の偏光状態を調整することにより行うことができる。
【0063】
一例では、電磁波制御装置１０は、ロックインアンプにおける同期検波回路に適用可能である。この場合、参照信号として空中を伝搬する電磁波を、偏光調整部３と結合器５を介し導波路７へ伝達し、導波路７へ伝達した当該参照信号を（例えば方形波に調整した後）、導波路７とは異なる経路からの測定信号に乗算することにより、参照信号と同期した成分のみを有する測定信号を得ることができる。この場合、偏光調整部３により参照信号の偏光状態を調整することにより、導波路７における参照信号の位相を適切な位相に制御できる。
【0064】
【0065】
第２実施形態によると、通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向から見た場合に、第２方向（図８ではｙ軸方向）において中心軸Ｃ１を挟むように、２つの導波路７が設けられている。すなわち、第１の導波路７の幅方向中央は、中心軸Ｃ１から正のｙ軸方向にずれており、第２の導波路７の幅方向中央は、中心軸Ｃ１から負のｙ軸方向にずれている。第１および第２の導波路７の各幅方向中央が、このように中心軸Ｃ１からｙ軸方向にずれている距離は、上述と同じである。図８の例では、第１および第２の導波路７は、中心軸Ｃ１を含み対称面Ｐｓと直交する平面に関して互いに面対称に形成されていてよい。
【0066】
図８のように、第１の導波路７において基準位置Ｐｒ（この図の対称面Ｐｓ）から同じ距離にある出力ポートをそれぞれＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とし、第２の導波路７において基準位置Ｐｒ（この図の対称面Ｐｓ）から同じ距離にある出力ポートをそれぞれＰｏｒｔ３とＰｏｒｔ４とする。
【0067】
この場合、ｘ軸方向に直線偏光した電磁波が結合器５から導波路７に入射した場合には、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで電磁波の位相が互いに逆になり、Ｐｏｒｔ３とＰｏｒｔ４とで電磁波の位相が互いに逆になるが、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ３とで電磁波の位相が同じになり、Ｐｏｒｔ２とＰｏｒｔ４とで電磁波の位相が同じになる。
【0068】
一方、ｙ軸方向に直線偏光した電磁波が結合器５から導波路７に入射した場合には、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２とで電磁波の位相が同じになり、Ｐｏｒｔ３とＰｏｒｔ４とで電磁波の位相が同じになるが、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ３とで電磁波の位相が互いに逆になり、Ｐｏｒｔ２とＰｏｒｔ４とで電磁波の位相が互いに逆になる。
【0069】
【0070】
第３実施形態では、第１および第２の導波路７は、対称面Ｐｓと直交しているが、ｘ軸方向に対称面Ｐｓから離れた領域における両導波路７同士のｙ軸方向間隔は、対称面Ｐｓとその近傍における両導波路７同士のｙ軸方向間隔よりも大きくなっている。
【0071】
第３実施形態において、ｘ軸方向に直線偏光した電磁波が結合器５から導波路７に入射した場合におけるＰｏｒｔ１～Ｐｏｒｔ４での電磁波の位相関係は、第２実施形態の場合と同じである。第３実施形態において、ｙ軸方向に直線偏光した電磁波が結合器５から導波路７に入射した場合におけるＰｏｒｔ１～Ｐｏｒｔ４での電磁波の位相関係も、第２実施形態の場合と同じである。
【0072】
本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の技術的思想の範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、本発明の実施形態による電磁波制御装置１０は、上述した複数の事項の全て有していなくてもよく、上述した複数の事項のうち一部のみを有していてもよい。
【0073】
また、以下の変更例１～３のいずれかを採用してもよいし、変更例１～３の２つ以上を任意に組み合わせて採用してもよい。この場合、以下で述べない点は、上述と同じであってよい。
【0074】
（変更例１）
結合器５としての導電体構造は、通過部５ａの中心軸Ｃ１に関して回転対称性を有する他の構造であってもよい。例えば、図１０Ａ又は図１０Ｂのように導電体構造５が形成されてもよい。図１０Ａ又は図１０Ｂは、通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向に見た導電体構造５を示す。図１０Ａ又は図１０Ｂのように、導電体構造５は、導体材料により形成された複数の導体部５ｃを有している。これらの各図において、複数の導体部５ｃは、中心軸Ｃ１に関して互いに回転対称に形成されている。なお、例えば、複数の導体部５ｃは、電磁波を透過する材質の支持体（例えば基板）上に形成されていてよい。なお、図１０Ａ又は図１０Ｂは、導電体構造５はメタマテリアルにより作製されたものであってもよい。
結合器５としての導電体構造は、通過部５ａの中心軸Ｃ１に関して回転対称性を有する他の構造であってもよい。例えば、図１０Ａ又は図１０Ｂのように導電体構造５が形成されてもよい。図１０Ａ又は図１０Ｂは、通過部５ａの中心軸Ｃ１の方向に見た導電体構造５を示す。図１０Ａ又は図１０Ｂのように、導電体構造５は、導体材料により形成された複数の導体部５ｃを有している。これらの各図において、複数の導体部５ｃは、中心軸Ｃ１に関して互いに回転対称に形成されている。なお、例えば、複数の導体部５ｃは、電磁波を透過する材質の支持体（例えば基板）上に形成されていてよい。なお、図１０Ａ又は図１０Ｂは、導電体構造５はメタマテリアルにより作製されたものであってもよい。
【0075】
（変更例２）
電磁波制御装置１０は、上述した結合器５と導波路７を備える構造を、電磁波伝達装置として製造又は利用してもよい。この場合、電磁波伝達装置は、偏光調整部３を有していなくてよい。例えば、導波路７のＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２から基準位置Ｐｒに伝搬して来た電磁波が、通過部５ａを通過して結合部５から導波路７と反対側へ放射されてもよい。この場合、電磁波伝達装置は、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２での位相に応じた偏光状態で電磁波を結合器７から伝達（例えば空中へ放射）する。例えば、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２に入射する電磁波の位相を適宜の手段で調整することで、結合器７から放射される電磁波の偏光状態（例えば直線偏光である電磁波の偏光方向）を制御できる。あるいは、結合器７から放射される電磁波の偏光状態（例えば直線偏光である電磁波の偏光方向）からＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２での位相（例えば両者の位相差）を推定してもよい。
電磁波制御装置１０は、上述した結合器５と導波路７を備える構造を、電磁波伝達装置として製造又は利用してもよい。この場合、電磁波伝達装置は、偏光調整部３を有していなくてよい。例えば、導波路７のＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２から基準位置Ｐｒに伝搬して来た電磁波が、通過部５ａを通過して結合部５から導波路７と反対側へ放射されてもよい。この場合、電磁波伝達装置は、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２での位相に応じた偏光状態で電磁波を結合器７から伝達（例えば空中へ放射）する。例えば、Ｐｏｒｔ１とＰｏｒｔ２に入射する電磁波の位相を適宜の手段で調整することで、結合器７から放射される電磁波の偏光状態（例えば直線偏光である電磁波の偏光方向）を制御できる。あるいは、結合器７から放射される電磁波の偏光状態（例えば直線偏光である電磁波の偏光方向）からＰｏｒｔ１とＰｏｒｔ２での位相（例えば両者の位相差）を推定してもよい。
【0076】
（変更例３）
導波路７は、第１方向（ｘ軸方向）において通過部５ａと同じ位置（例えば基準位置Ｐｒ）又はその近傍から、正負のｘ軸方向のうち一方の側にのみ延びていてもよい。図１１は、図４に対応する図であるが、本変更例３よる電磁波制御装置１０を示す。変更例３では、例えば図１１のように、２つの導波路７が、第１方向（ｘ軸方向）において通過部５ａと同じ位置又はその近傍から、正負のｘ軸方向のうち一方側（図１１では正のｘ軸方向）にのみ延びていてよい。この場合、他の構成は、上述した第２実施形態又は第３実施形態の場合と同じであってよい。
導波路７は、第１方向（ｘ軸方向）において通過部５ａと同じ位置（例えば基準位置Ｐｒ）又はその近傍から、正負のｘ軸方向のうち一方の側にのみ延びていてもよい。図１１は、図４に対応する図であるが、本変更例３よる電磁波制御装置１０を示す。変更例３では、例えば図１１のように、２つの導波路７が、第１方向（ｘ軸方向）において通過部５ａと同じ位置又はその近傍から、正負のｘ軸方向のうち一方側（図１１では正のｘ軸方向）にのみ延びていてよい。この場合、他の構成は、上述した第２実施形態又は第３実施形態の場合と同じであってよい。
【符号の説明】
【0077】
２ 制御部、３ 偏光調整部、３ａ １／２波長板、３ｂ 駆動装置、３ｃ 枠、
３ｄ 駆動ギア、５ 結合器（導電体構造、ブルズアイ構造）、５ａ 通過部（貫通孔）、５ｂ 溝、５ｃ 導体部、６ 誘電体基板、６ａ 貫通孔、７ 導波路（ストリップライン）、１０ 電磁波制御装置、Ｃ０ 光軸、Ｃ１ 中心軸、Ｐｓ 対称面、Ｐｒ 基準位置
３ｄ 駆動ギア、５ 結合器（導電体構造、ブルズアイ構造）、５ａ 通過部（貫通孔）、５ｂ 溝、５ｃ 導体部、６ 誘電体基板、６ａ 貫通孔、７ 導波路（ストリップライン）、１０ 電磁波制御装置、Ｃ０ 光軸、Ｃ１ 中心軸、Ｐｓ 対称面、Ｐｒ 基準位置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図11】