特許 7443142 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-26

(45)【発行日】2024-03-05

(54)【発明の名称】産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法

(51)【国際特許分類】

   B25J 13/08 20060101AFI20240227BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240227BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20240227BHJP

【ＦＩ】

B25J13/08 A

H01L21/68 A

B65G49/06 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020071211

(22)【出願日】2020-04-10

(65)【公開番号】P2021167045

(43)【公開日】2021-10-21

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】濱沖 孟

【審査官】岩▲崎▼ 優

(56)【参考文献】

【文献】特開平９－１６２２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－４０７３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２１７３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１１７８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００５／００４２２７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００ －２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７－２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記本体部に取り付けられる光学式の第１検知機構と、前記ハンドに取り付けられる２個の光学式の第２検知機構と、前記産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、
所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取るときの動作である受取り動作と、前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが前記本体部に近づくように前記アームが縮むときの動作である第１動作と、前記第１動作後に、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置に移動するまで前記アームが伸びるときの動作である第２動作と、前記受取り動作を行う前の動作である予備動作とを行い、
前記第１検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第１の受光部と、上下方向において前記第１の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第１の受光部に対向配置される第１の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記第２検知機構は、第２の受光部および第２の発光部と、上下方向において前記第２の受光部および前記第２の発光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部および前記第２の発光部に対向配置される回帰反射板とを有する回帰反射型の検知機構であるか、または、第２の受光部と、上下方向において前記第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときの前記ハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記産業用ロボットが前記第１動作を完了したときに、前記搬送対象物の左右方向の一端面は、前記第１の受光部と前記第１の発光部の間に配置され、
前記産業用ロボットが前記予備動作を行うときに、前記ハンドは、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動し、
２個の前記第２検知機構は、前記ハンドの、前記搬送対象物が載置される範囲である載置範囲よりも、前記アームと前記ハンドとの連結部側に配置されるとともに、前記産業用ロボットが前記予備動作を行うときに、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、
前記予備動作では、前記ハンドは、前記受取り部に置かれている前記搬送対象物が２個の前記第２検知機構によって検知される位置まで前後方向の一方側に移動するとともに、その後、２個の前記第２検知機構によって検知された前記搬送対象物よりも２個の前記第２検知機構が前記本体部側に配置される位置まで前後方向の他方側に移動し、
前記制御部は、
前記産業用ロボットが前記予備動作を行う際に、２個の前記第２検知機構のうちの一方の前記第２検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、２個の前記第２検知機構のうちの他方の前記第２検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、前記産業用ロボットが前記第１動作を行う際にまたは前記産業用ロボットが前記第１動作を完了した状態で、前記第１検知機構によって検知される前記搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、
前記産業用ロボットが前記受取り動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データとに基づいて、前記受取り位置に到達するときの前記ハンドの前後方向の位置および向きを補正し、かつ、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、前記第３位置データに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの左右方向の位置を補正するか、または、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記第２検知機構は、回帰反射型の検知機構であることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記ハンドとして、第１ハンドと第２ハンドとの２個の前記ハンドを備えるとともに、前記第１ハンドが連結される前記アームとしての第１アームと、前記第２ハンドが連結される前記アームとしての第２アームと、前記第１アームおよび前記第２アームが連結される１個の前記本体部とを備え、
前記第１ハンドには、２個の前記第２検知機構が取り付けられ、
前記第２ハンドには、２個の前記第２検知機構が取り付けられ、
前記第１ハンドに搭載される前記搬送対象物と前記第２ハンドに搭載される前記搬送対象物とは、上下方向でずれており、
前記第１アームが縮むときの前記第１動作を前記産業用ロボットが完了したときに前記第１ハンドに搭載される前記搬送対象物がその間に配置される前記第１の受光部および前記第１の発光部と、前記第２アームが縮むときの前記第１動作を前記産業用ロボットが完了したときに前記第２ハンドに搭載される前記搬送対象物がその間に配置される前記第１の受光部および前記第１の発光部とは、共通の前記第１の受光部および前記第１の発光部であることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記本体部に対して前記ハンドが一定方向に向いた状態で直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構と、前記本体部を回動させる回動機構と、左右方向に前記本体部を移動させる水平移動機構とを備え、
前記制御部は、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記アーム駆動機構と前記回動機構と前記水平移動機構とを制御して前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項5】

長方形状または正方形状に形成される搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記本体部に取り付けられる光学式の第１検知機構と、前記ハンドに取り付けられる２個の光学式の第２検知機構とを備えるとともに、
所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取るときの動作である受取り動作と、前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが前記本体部に近づくように前記アームが縮むときの動作である第１動作と、前記第１動作後に、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置に移動するまで前記アームが伸びるときの動作である第２動作と、前記受取り動作を行う前の動作である予備動作とを行い、
前記第１検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第１の受光部と、上下方向において前記第１の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第１の受光部に対向配置される第１の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記第２検知機構は、第２の受光部および第２の発光部と、上下方向において前記第２の受光部および前記第２の発光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部および前記第２の発光部に対向配置される回帰反射板とを有する回帰反射型の検知機構であるか、または、第２の受光部と、上下方向において前記第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記ハンドは、前記第１動作が行われるときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
前記第１動作が行われるときの前記ハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記第１動作が完了したときに、前記搬送対象物の左右方向の一端面は、前記第１の受光部と前記第１の発光部の間に配置され、
前記予備動作が行われるときに、前記ハンドは、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動し、
２個の前記第２検知機構は、前記ハンドの、前記搬送対象物が載置される範囲である載置範囲よりも、前記アームと前記ハンドとの連結部側に配置されるとともに、前記予備動作が行われるときに、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、
前記予備動作では、前記ハンドは、前記受取り部に置かれている前記搬送対象物が２個の前記第２検知機構によって検知される位置まで前後方向の一方側に移動するとともに、その後、２個の前記第２検知機構によって検知された前記搬送対象物よりも２個の前記第２検知機構が前記本体部側に配置される位置まで前後方向の他方側に移動する産業用ロボットの制御方法であって、
前記産業用ロボットが前記予備動作を行う際に、２個の前記第２検知機構のうちの一方の前記第２検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、２個の前記第２検知機構のうちの他方の前記第２検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、前記産業用ロボットが前記第１動作を行う際にまたは前記産業用ロボットが前記第１動作を完了した状態で、前記第１検知機構によって検知される前記搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、
前記産業用ロボットが前記受取り動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データとに基づいて、前記受取り位置に到達するときの前記ハンドの前後方向の位置および向きを補正し、かつ、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、前記第３位置データに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの左右方向の位置を補正するか、または、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。また、本発明は、かかる産業用ロボットの制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の長方形状のワークを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、収容カセットからワークを搬出して、所定の処理装置までワークを搬送する。この産業用ロボットは、ワークが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結される多関節アームと、多関節アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。また、この産業用ロボットは、多関節アームを伸縮させるアーム駆動機構と、基台を回動させる回動機構と、基台を水平方向に移動させる移動機構とを備えている。アーム駆動機構は、基台に対してハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させる。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、ハンドは、ワークが載置される２本の載置部を備えている。２本の載置部の先端側の上面には、アライメントセンサが取り付けられている。アライメントセンサは、拡散反射型の光学式センサ（光電センサ）である。アライメントセンサは、ワークの下面に向かって光を射出する発光部と、ワークの下面で反射された光を受光する受光部とを備えている。アームが伸縮するときに直線的に移動するハンドの移動方向を前後方向とすると、アライメントセンサは、収容カセットに収容されるワークの前後方向の一端面を検知する。

【0004】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、収容カセットに収容されたワークをハンドに搭載する前に、収容カセットに収容されるワークの前後方向の一端面をアライメントセンサによって検知するとともに、アライメントセンサの検知結果に基づいて、収容カセットに収容されるワークの前後方向の位置および向き（水平面内での傾き）を特定する。また、特定されたワークの前後方向の位置および向きに基づいて、予め教示されているハンドの前後方向の位置および向きを補正し、前後方向の位置および向きが補正されたハンドにワークを搭載する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－２７２５２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

近年、長方形状または正方形状の大型のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法（パネルレベルパッケージング（ＰＬＰ））が普及し始めており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで産業用ロボットが使用され始めている。ＰＬＰには、多数のチップが載置されたパネルの上面を樹脂でコーティング（封止）する工程等が含まれており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルには、大きな反りが生じやすい。

【0007】

また、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、収容カセットに置かれているワークの前後左右方向の位置（すなわち、水平方向の位置）および向きを適正な位置および向きに補正してから処理装置にワークを置くために、収容カセットからワークを搬出して処理装置にワークを搬入する動作を行うときに、ハンドの水平方向の位置および向きを補正することがある。この場合、たとえば、収容カセットから搬出されたワークの左右方向の位置を検知するためのセンサが基台に取り付けられている。

【0008】

また、この場合には、収容カセットに置かれているワークの前後方向の位置および向きを補正するため、収容カセットに置かれているワークをハンドに搭載する前に、アライメントセンサの検知結果に基づいてハンドの前後方向の位置および向きを補正してから、補正後のハンドにワークを搭載するとともに、ワークの左右方向の位置を補正するため、基台に取り付けられるセンサの検知結果に基づいて、ハンドに搭載されたワークを処理装置に搬入して置くときにハンドの左右方向の位置を補正している。

【0009】

本願発明者は、特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルのように大きな反りが生じている搬送対象物を、たとえば、収容カセットから搬出して処理装置に搬入する動作を行うときに、収容カセットに置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから処理装置に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを検討している。

【0010】

しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットのように、ハンドの載置部の上面に取り付けられるアライメントセンサが拡散反射型の光学式センサである場合には、搬送対象物に大きな反りが生じていると、アライメントセンサと搬送対象物の端面（前後方向の端面）との上下方向の距離が不安定になり、アライメントセンサから射出され搬送対象物の端面以外の箇所で反射された光がアライメントセンサに最初に入射するおそれがあることが本願発明者の検討によって明らかになった。すなわち、アライメントセンサが拡散反射型の光学式センサである場合には、搬送対象物に大きな反りが生じていると、アライメントセンサによって搬送対象物の前後方向の端面を適切に検知することができない場合が生じることが本願発明者の検討によって明らかになった。

【0011】

アライメントセンサによって搬送対象物の前後方向の端面を適切に検知することができないと、収容カセットに置かれている搬送対象物をハンドに搭載する前に、アライメントセンサの検知結果に基づいてハンドの前後方向の位置および向きを適切に補正することができなくなる。そのため、収容カセットに置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから処理装置に搬送対象物を置くことができなくなる。

【0012】

そこで、本発明の課題は、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【0013】

また、本発明の課題は、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能となる産業用ロボットの制御方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部に取り付けられる光学式の第１検知機構と、ハンドに取り付けられる２個の光学式の第２検知機構と、産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、所定の受取り部に置かれている搬送対象物をアームが伸びている状態でハンドに搭載して受け取るときのハンドの位置を受取り位置とし、アームが伸びている状態でハンドに搭載されている搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときのハンドの位置を引渡し位置とすると、受取り位置で搬送対象物を受け取るときの動作である受取り動作と、受取り位置で搬送対象物を受け取ったハンドが本体部に近づくようにアームが縮むときの動作である第１動作と、第１動作後に、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置に移動するまでアームが伸びるときの動作である第２動作と、受取り動作を行う前の動作である予備動作とを行い、第１検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第１の受光部と、上下方向において第１の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で第１の受光部に対向配置される第１の発光部とを有する透過型の検知機構であり、第２検知機構は、第２の受光部および第２の発光部と、上下方向において第２の受光部および第２の発光部との間に所定の間隔をあけた状態で第２の受光部および第２の発光部に対向配置される回帰反射板とを有する回帰反射型の検知機構であるか、または、第２の受光部と、上下方向において第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、ハンドは、産業用ロボットが第１動作を行うときに、本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、産業用ロボットが第１動作を行うときのハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、産業用ロボットが第１動作を完了したときに、搬送対象物の左右方向の一端面は、第１の受光部と第１の発光部の間に配置され、産業用ロボットが予備動作を行うときに、ハンドは、本体部に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動し、２個の第２検知機構は、ハンドの、搬送対象物が載置される範囲である載置範囲よりも、アームとハンドとの連結部側に配置されるとともに、産業用ロボットが予備動作を行うときに、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、予備動作では、ハンドは、受取り部に置かれている搬送対象物が２個の第２検知機構によって検知される位置まで前後方向の一方側に移動するとともに、その後、２個の第２検知機構によって検知された搬送対象物よりも２個の第２検知機構が本体部側に配置される位置まで前後方向の他方側に移動し、制御部は、産業用ロボットが予備動作を行う際に、２個の第２検知機構のうちの一方の第２検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、２個の第２検知機構のうちの他方の第２検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、産業用ロボットが第１動作を行う際にまたは産業用ロボットが第１動作を完了した状態で、第１検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、産業用ロボットが受取り動作を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置に到達するときのハンドの前後方向の位置および向きを補正し、かつ、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの左右方向の位置を補正するか、または、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする。

【0015】

また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの制御方法は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部に取り付けられる光学式の第１検知機構と、ハンドに取り付けられる２個の光学式の第２検知機構とを備えるとともに、所定の受取り部に置かれている搬送対象物をアームが伸びている状態でハンドに搭載して受け取るときのハンドの位置を受取り位置とし、アームが伸びている状態でハンドに搭載されている搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときのハンドの位置を引渡し位置とすると、受取り位置で搬送対象物を受け取るときの動作である受取り動作と、受取り位置で搬送対象物を受け取ったハンドが本体部に近づくようにアームが縮むときの動作である第１動作と、第１動作後に、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置に移動するまでアームが伸びるときの動作である第２動作と、受取り動作を行う前の動作である予備動作とを行い、第１検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第１の受光部と、上下方向において第１の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で第１の受光部に対向配置される第１の発光部とを有する透過型の検知機構であり、第２検知機構は、第２の受光部および第２の発光部と、上下方向において第２の受光部および第２の発光部との間に所定の間隔をあけた状態で第２の受光部および第２の発光部に対向配置される回帰反射板とを有する回帰反射型の検知機構であるか、または、第２の受光部と、上下方向において第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、ハンドは、第１動作が行われるときに、本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、第１動作が行われるときのハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、第１動作が完了したときに、搬送対象物の左右方向の一端面は、第１の受光部と第１の発光部の間に配置され、予備動作が行われるときに、ハンドは、本体部に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動し、２個の第２検知機構は、ハンドの、搬送対象物が載置される範囲である載置範囲よりも、アームとハンドとの連結部側に配置されるとともに、予備動作が行われるときに、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、予備動作では、ハンドは、受取り部に置かれている搬送対象物が２個の第２検知機構によって検知される位置まで方向の一方側に移動するとともに、その後、２個の第２検知機構によって検知された搬送対象物よりも２個の第２検知機構が本体部側に配置される位置まで前後方向の他方側に移動する産業用ロボットの制御方法であって、産業用ロボットが予備動作を行う際に、２個の第２検知機構のうちの一方の第２検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、２個の第２検知機構のうちの他方の第２検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、産業用ロボットが第１動作を行う際にまたは産業用ロボットが第１動作を完了した状態で、第１検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、産業用ロボットが受取り動作を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置に到達するときのハンドの前後方向の位置および向きを補正し、かつ、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの左右方向の位置を補正するか、または、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする。

【0016】

本発明では、産業用ロボットが予備動作を行う際に、一方の第２検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、他方の第２検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、産業用ロボットが第１動作を行う際にまたは産業用ロボットが第１動作を完了した状態で、第１検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得しているが、第１検知機構は、透過型の検知機構であり、かつ、第２検知機構は、回帰反射型の検知機構または透過型の検知機構である。そのため、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、第１検知機構および第２検知機構によって、第１位置データ、第２位置データおよび第３位置データを適切に取得することが可能になる。

【0017】

また、本発明では、２個の第２検知機構は、産業用ロボットが予備動作を行うときに、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、予備動作では、ハンドは、受取り部に置かれている搬送対象物が２個の第２検知機構によって検知される位置まで前後方向の一方側に移動するとともに、その後、２個の第２検知機構によって検知された搬送対象物よりも２個の第２検知機構が本体部側に配置される位置まで前後方向の他方側に移動するため、適切な第１位置データおよび第２位置データに基づいて、受取り部に置かれている搬送対象物の前後方向の位置および向きを適切に特定することが可能になる。また、本発明では、産業用ロボットが第１動作を完了したときに、搬送対象物の左右方向の一端面は、産業用ロボットの本体部に取り付けられる第１検知機構の第１の受光部と第１の発光部の間に配置されるため、適切な第３位置データに基づいて、ハンドに搭載された搬送対象物の左右方向の位置を適切に特定することが可能になる。

【0018】

さらに、本発明では、産業用ロボットが受取り動作を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置に到達するときのハンドの前後方向の位置および向きを補正し、かつ、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの左右方向の位置を補正しているため、搬送対象物に大きな反りが生じていても、適切に特定された搬送対象物の前後方向の位置および向きに基づいて、受取り位置に到達するときのハンドの前後方向の位置および向きを適切に補正し、かつ、適切に特定された搬送対象物の左右方向の位置に基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの左右方向の位置を適切に補正することが可能になる。

【0019】

あるいは、本発明では、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正しているため、搬送対象物に大きな反りが生じていても、適切に特定された搬送対象物の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

【0020】

このように、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の前後方向の位置および向きを適切に特定することが可能になるとともに、ハンドに搭載された搬送対象物の左右方向の位置を適切に特定することが可能になる。また、本発明では、適切に特定された搬送対象物の前後方向の位置および向きに基づいて、受取り位置に到達するときのハンドの前後方向の位置および向きを適切に補正し、かつ、適切に特定された搬送対象物の左右方向の位置に基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの左右方向の位置を適切に補正することが可能になるか、あるいは、適切に特定された搬送対象物の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

【0021】

本発明において、第２検知機構は、回帰反射型の検知機構であることが好ましい。このように構成すると、上下方向において所定の間隔をあけた状態で第２の受光部および第２の発光部に対向配置されるのが回帰反射板であるため、第２検知機構が透過型の検知機構である場合と比較して、上下方向で第２検知機構を小型化することが可能になる。

【0022】

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、ハンドとして、第１ハンドと第２ハンドとの２個のハンドを備えるとともに、第１ハンドが連結されるアームとしての第１アームと、第２ハンドが連結されるアームとしての第２アームと、第１アームおよび第２アームが連結される１個の本体部とを備え、第１ハンドには、２個の第２検知機構が取り付けられ、第２ハンドには、２個の第２検知機構が取り付けられ、第１ハンドに搭載される搬送対象物と第２ハンドに搭載される搬送対象物とは、上下方向でずれており、第１アームが縮むときの第１動作を産業用ロボットが完了したときに第１ハンドに搭載される搬送対象物がその間に配置される第１の受光部および第１の発光部と、第２アームが縮むときの第１動作を産業用ロボットが完了したときに第２ハンドに搭載される搬送対象物がその間に配置される第１の受光部および第１の発光部とは、共通の第１の受光部および第１の発光部である。

【0023】

この場合には、第１ハンドと第２ハンドとの２個のハンドによって搬送対象物が搬送されても、共通の第１検知機構を用いて、第１ハンドに搭載される搬送対象物と第２ハンドに搭載される搬送対象物とを検知することが可能になるため、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。

【0024】

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、本体部に対してハンドが一定方向に向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構と、本体部を回動させる回動機構と、左右方向に本体部を移動させる水平移動機構とを備え、制御部は、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、アーム駆動機構と回動機構と水平移動機構とを制御してハンドの水平方向の位置および向きを補正する。

【発明の効果】

【0025】

以上のように、本発明では、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの背面図である。

【図3】図１に示す第２検知機構の構成を説明するための側面図である。

【図4】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。

【図5】図１に示す産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。

【図6】本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図7】図６に示す産業用ロボットの側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0028】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図３は、図１に示す検知機構２７の構成を説明するための側面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。

【0029】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネルである。搬送対象物２は、長方形または正方形の平板状に形成されている。ロボット１は、たとえば、複数枚の搬送対象物２が収容される収容カセット３から、搬送対象物２に対して所定の処理を行う処理装置４まで搬送対象物２を搬送する。

【0030】

すなわち、ロボット１は、たとえば、収容カセット３から搬送対象物２を搬出するとともに、収容カセット３から搬出した搬送対象物２を処理装置４に搬入する。収容カセット３には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。本形態の収容カセット３は、ロボット１が搬送対象物２を受け取る受取り部であり、処理装置４は、ロボット１が搬送対象物２を引き渡す引渡し部である。

【0031】

なお、ロボット１は、処理装置４から収容カセット３まで搬送対象物２を搬送しても良い。すなわち、ロボット１は、処理装置４から搬送対象物２を搬出するとともに、処理装置４から搬出した搬送対象物２を収容カセット３に搬入しても良い。この場合には、処理装置４は、ロボット１が搬送対象物２を受け取る受取り部となり、収容カセット３は、ロボット１が搬送対象物２を引き渡す引渡し部となる。

【0032】

ロボット１は、搬送対象物２が搭載される２個のハンド５、６と、ハンド５が先端側に回動可能に連結されるアーム７と、ハンド６が先端側に連結されるアーム８と、アーム７、８の基端側が回動可能に連結される本体部９と、本体部９の下側部分が収容されるケース体１０と、本体部９およびケース体１０を水平方向に移動可能に支持するベース１１とを備えている。本形態のハンド５は、第１ハンドであり、ハンド６は、第２ハンドである。また、本形態のアーム７は、第１アームであり、アーム８は、第２アームである。

【0033】

ハンド５、６は、アーム７、８の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１４と、上面側に搬送対象物２が載置される直線状の複数のフォーク１５とを備えている。本形態のハンド５、６は、２本のフォーク１５を備えている。２本のフォーク１５は、ハンド基部１４から水平方向の同方向へ突出している。また、２本のフォーク１５は、間隔をあけた状態で互いに平行に配置されている。ハンド５のフォーク１５とハンド６のフォーク１５とは、同じ方向に突出している。

【0034】

ハンド５のフォーク１５とハンド６のフォーク１５とは、上下方向でずれている。すなわち、ハンド５に搭載される搬送対象物２とハンド６に搭載される搬送対象物２とは、上下方向でずれている。本形態では、ハンド５のフォーク１５がハンド６のフォーク１５よりも上側に配置されている。搬送対象物２は、フォーク１５の、基端側部分（根本側部分）を除いた範囲（部分）に載置される。すなわち、フォーク１５の、基端側部分を除いた範囲は、ハンド５、６の、搬送対象物２が載置される範囲である載置範囲１５ａとなっている。

【0035】

アーム７、８は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム７、８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１６の基端側は、本体部９に回動可能に連結されている。第１アーム部１６の先端側には、第２アーム部１７の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１７の先端側には、ハンド５、６が回動可能に連結されている。

【0036】

第１アーム部１６は、本体部９よりも上側に配置されている。第２アーム部１７は、第１アーム部１６よりも上側に配置されている。ハンド５、６は、第２アーム部１７よりも上側に配置されている。アーム７の第１アーム部１６の基端側とアーム８の第１アーム部１６の基端側とは、水平方向において互いに隣接した状態で本体部９に連結されている。また、アーム７とアーム８とは、互いに隣接した状態で配置されており、上下方向において同じ位置に配置されている。

【0037】

水平方向において、本体部９に対する第１アーム部１６の回動中心と第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心との距離と、第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心と第２アーム部１７に対するハンド５、６の回動中心との距離とは等しくなっている。アーム７、８は、ハンド５、６の先端（フォーク１５の先端）が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。アーム７、８の伸縮量が等しいときに、ハンド５のフォーク１５とハンド６のフォーク１５とは上下方向で重なっている。また、このときには、上下方向から見ると、アーム７とアーム８とは線対称に配置されている。

【0038】

本体部９は、ケース体１０に対して上下方向を回動の軸方向として回動可能になっている。また、本体部９は、ケース体１０に対して昇降可能になっている。ケース体１０は、ベース１１に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。以下の説明では、ベース１１に対するケース体１０の移動方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とし、左右方向と上下方向とに直交する図１等のＸ方向を「前後方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。

【0039】

本形態では、たとえば、複数の収容カセット３が左右方向に配列されている。また、たとえば、複数の収容カセット３は、前後方向においてロボット１の一方側に配置され、処理装置４は、前後方向においてロボット１の他方側に配置されている。たとえば、複数の収容カセット３は、ロボット１の前側に配置され、処理装置４は、ロボット１の後ろ側に配置されている。また、収容カセット３および処理装置４においてハンド５、６に搭載される搬送対象物２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。

【0040】

また、ロボット１は、アーム７を伸縮させるアーム駆動機構２０と、アーム８を伸縮させるアーム駆動機構２１と、本体部９を回動させる回動機構２２と、本体部９を昇降させる昇降機構２３と、ケース体１０と一緒に本体部９を水平方向に移動させる水平移動機構２４と、ロボット１を制御する制御部２５とを備えている。また、ロボット１は、ハンド５、６に搭載される搬送対象物２を検知するための検知機構２６と、収容カセット３に収容される搬送対象物２を検知するための検知機構２７とを備えている。本形態の検知機構２６は、第１検知機構であり、検知機構２７は、第２検知機構である。

【0041】

アーム駆動機構２０は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム７およびハンド５に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。アーム駆動機構２１は、アーム駆動機構２０と同様に、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム８およびハンド６に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。アーム駆動機構２０、２１は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構２０、２１のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0042】

回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向としてケース体１０に対して本体部９を回動させる。すなわち、回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として本体部９と一緒にアーム７、８を回動させる。回動機構２２は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構２２は、ケース体１０に収容されている。回動機構２２は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２２のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0043】

昇降機構２３は、ケース体１０に対して本体部９を昇降させる。すなわち、昇降機構２３は、本体部９と一緒にアーム７、８を昇降させる。また、昇降機構２３は、本体部９と一緒に回動機構２２を昇降させる。昇降機構２３は、ケース体１０に収容されている。昇降機構２３は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。昇降機構２３は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２３のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0044】

水平移動機構２４は、ベース１１に対してケース体１０を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構２４は、ケース体１０と一緒に本体部９およびアーム７、８を左右方向に直線的に移動させる。水平移動機構２４は、駆動源となるモータと、モータの動力をケース体１０に伝達する動力伝達機構とを備えている。水平移動機構２４は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、水平移動機構２４のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0045】

検知機構２６は、発光部３０と受光部３１とを有する光学式の検知機構（光電センサ）である。また、検知機構２６は、透過型の検知機構である。発光部３０は、上下方向において受光部３１との間に所定の間隔をあけた状態で受光部３１に対向配置されている。受光部３１は、ラインセンサである。受光部３１では、複数の受光素子が左右方向に一列で配列されている。本形態の発光部３０は、第１の発光部であり、受光部３１は、第１の受光部である。なお、発光部３０から射出される光の光軸は、上下方向と平行であっても良いし、上下方向に対してわずかに傾いていても良い。

【0046】

検知機構２６は、本体部９に取り付けられている。具体的には、本体部９に固定されるセンサ固定部材３２に検知機構２６が固定されており、検知機構２６は、センサ固定部材３２を介して本体部９に取り付けられている。検知機構２６は、ケース体１０に対して本体部９と一緒に回動するとともに昇降する。また、検知機構２６は、本体部９と一緒に左右方向に移動する。検知機構２６は、制御部２５に電気的に接続されている。

【0047】

検知機構２７は、発光部３４と受光部３５とを有する光学式の検知機構（光電センサ）である。また、検知機構２７は、回帰反射板３６（図３参照）を有する回帰反射型の検知機構である。回帰反射板３６は、上下方向において発光部３４および受光部３５との間に所定の間隔をあけた状態で発光部３４および受光部３５に対向配置されている。たとえば、回帰反射板３６は、上下方向において発光部３４および受光部３５との間に所定の間隔をあけた状態で発光部３４および受光部３５の上側に配置されている。本形態の発光部３４は、第２の発光部であり、受光部３５は、第２の受光部である。

【0048】

検知機構２７は、ハンド５、６に取り付けられている。本形態では、ハンド５に２個の検知機構２７が取り付けられ、ハンド６に２個の検知機構２７が取り付けられている。すなわち、ロボット１は、４個の検知機構２７を備えている。ハンド５に取り付けられる２個の検知機構２７は、ハンド５と一緒に移動し、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構２７は、ハンド６と一緒に移動する。検知機構２７は、制御部２５に電気的に接続されている。

【0049】

また、検知機構２７は、フォーク１５に取り付けられている。具体的には、ハンド５の２本のフォーク１５のそれぞれに検知機構２７が取り付けられ、ハンド６の２本のフォーク１５のそれぞれに検知機構２７が取り付けられている。検知機構２７は、フォーク１５の基端側部分の上面側に取り付けられており、載置範囲１５ａよりもハンド基部１４側に配置されている。すなわち、検知機構２７は、載置範囲１５ａよりもアーム７、８とハンド５、６との連結部側に配置されている。

【0050】

上述のように、ロボット１は、収容カセット３から処理装置４まで搬送対象物２を搬送する。また、上述のように、アーム７、８は、ハンド５、６の先端が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。本形態では、ロボット１が収容カセット３から搬送対象物２を受け取るとき、および、ロボット１が処理装置４に搬送対象物２を引き渡すときに、アーム７、８は伸びている状態となっている。

【0051】

収容カセット３に置かれている搬送対象物２をアーム７が伸びている状態でハンド５に搭載して受け取るときのハンド５の位置（図１参照）を受取り位置５Ａとし、アーム７が伸びている状態でハンド５に搭載されている搬送対象物２を処理装置４に引き渡すときのハンド５の位置を引渡し位置５Ｂとすると、ロボット１は、受取り位置５Ａで搬送対象物２を受け取ったハンド５が本体部９に近づくようにアーム７が縮むときの動作である第１動作Ｍ１１と、第１動作Ｍ１１の後に、搬送対象物２が搭載されたハンド５が引渡し位置５Ｂに移動するまでアーム７が伸びるときの動作である第２動作Ｍ１２とを行う。第１動作Ｍ１１が完了した状態では、ハンド５に搭載される搬送対象物２、ハンド５およびアーム７を含めた本体部９の回動半径（旋回半径）が最小になる。

【0052】

同様に、収容カセット３に置かれている搬送対象物２をアーム８が伸びている状態でハンド６に搭載して受け取るときのハンド６の位置を受取り位置６Ａとし、アーム８が伸びている状態でハンド６に搭載されている搬送対象物２を処理装置４に引き渡すときのハンド６の位置を引渡し位置６Ｂとすると、ロボット１は、受取り位置６Ａで搬送対象物２を受け取ったハンド６が本体部９に近づくようにアーム８が縮むときの動作である第１動作Ｍ２１と、第１動作Ｍ２１の後に、搬送対象物２が搭載されたハンド６が引渡し位置６Ｂに移動するまでアーム８が伸びるときの動作である第２動作Ｍ２２とを行う。第１動作Ｍ２１が完了した状態では、ハンド６に搭載される搬送対象物２、ハンド６およびアーム８を含めた本体部９の回動半径が最小になる。

【0053】

上述のように、アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させ、アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。すなわち、ハンド５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、ハンド６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動する。また、ハンド５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、ハンド６は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動する。

【0054】

本形態では、収容カセット３がロボット１の前側に配置され、かつ、処理装置４がロボット１の後ろ側に配置されているため、ハンド５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うとき、および、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときに、前後方向に直線的に移動する。また、ハンド６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うとき、および、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときに、前後方向に直線的に移動する。

【0055】

具体的には、ハンド５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、フォーク１５の先端が前側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動し、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときに、フォーク１５の先端が後ろ側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動する。また、ハンド６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、フォーク１５の先端が前側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動し、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときに、フォーク１５の先端が後ろ側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動する。

【0056】

検知機構２６は、受取り位置５Ａに配置されるハンド５に搭載された搬送対象物２の後端よりも後ろ側に配置されている。ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときには、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、検知機構２６の発光部３０と受光部３１との間を通る。ロボット１が第１動作Ｍ１１を完了したときには、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１の間に配置されている（図５（Ｃ）参照）。すなわち、検知機構２６は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を完了したときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が発光部３０と受光部３１との間に配置される位置に配置されている。なお、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときにも、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１との間を通る。

【0057】

同様に、検知機構２６は、受取り位置６Ａに配置されるハンド６に搭載された搬送対象物２の後端よりも後ろ側に配置されている。ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときには、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１との間を通る。ロボット１が第１動作Ｍ２１を完了したときには、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１の間に配置されている（図１参照）。すなわち、検知機構２６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を完了したときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が発光部３０と受光部３１との間に配置される位置に配置されている。なお、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときにも、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１との間を通る。

【0058】

このように、本形態では、アーム７が縮むときの第１動作Ｍ１１をロボット１が完了したときにハンド５に搭載される搬送対象物２がその間に配置される受光部３１および発光部３０と、アーム８が縮むときの第１動作Ｍ２１をロボット１が完了したときにハンド６に搭載される搬送対象物２がその間に配置される受光部３１および発光部３０とが共通になっている。すなわち、アーム７が縮むときの第１動作Ｍ１１をロボット１が完了したときにハンド５に搭載される搬送対象物２、および、アーム８が縮むときの第１動作Ｍ２１をロボット１が完了したときにハンド６に搭載される搬送対象物２は、同じ受光部３１と発光部３０との間に配置されている。

【0059】

また、上述のように、受光部３１は、複数の受光素子が左右方向に一列で配列されるラインセンサであるため、第１動作Ｍ１１をロボット１が完了した状態では、検知機構２６によって、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することが可能になっている。同様に、第１動作Ｍ２１をロボット１が完了した状態では、検知機構２６によって、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することが可能になっている。

【0060】

また、ロボット１は、受取り位置５Ａで搬送対象物２を受け取るときの動作である受取り動作Ｍ１３と、受取り動作Ｍ１３を行う前の動作である予備動作Ｍ１４とを行う。同様に、ロボット１は、受取り位置６Ａで搬送対象物２を受け取るときの動作である受取り動作Ｍ２３と、受取り動作Ｍ２３を行う前の動作である予備動作Ｍ２４とを行う。受取り動作Ｍ１３は、第１動作Ｍ１１の前に行われ、受取り動作Ｍ２３は、第１動作Ｍ２１の前に行われる。

【0061】

ロボット１が受取り動作Ｍ１３を行うときには、ハンド５は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の下側にフォーク１５の載置範囲１５ａが配置されるまで前側に直線的に移動した後、上昇して、搬送対象物２を受け取る。ロボット１が受取り動作Ｍ２３を行うときには、ハンド６は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の下側にフォーク１５の載置範囲１５ａが配置されるまで前側に直線的に移動した後、上昇して、搬送対象物２を受け取る。

【0062】

ロボット１が予備動作Ｍ１４を行うときには、ハンド５は、本体部９に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動する。すなわち、ロボット１が予備動作Ｍ１４を行うときには、ハンド５が本体部９に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動するようにアーム７が伸縮する。具体的には、ロボット１が予備動作Ｍ１４を行うときに、ハンド５は、フォーク１５の先端が前側を向いた状態で前後方向に直線的に移動する。ロボット１が予備動作Ｍ１４を行うときには、ハンド５の２本のフォーク１５の長手方向と前後方向とが一致しており、ハンド５に取り付けられる２個の検知機構２７は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。

【0063】

予備動作Ｍ１４では、ハンド５は、収容カセット３に置かれている搬送対象物２が、ハンド５に取り付けられる２個の検知機構２７によって検知される位置まで前側に移動する（図３（Ｂ）、図５（Ｂ）参照）。また、予備動作Ｍ１４では、ハンド５は、その後、２個の検知機構２７によって検知された搬送対象物２よりも２個の検知機構２７が本体部９側に配置される位置まで後ろ側に移動する。すなわち、ハンド５は、２個の検知機構２７によって検知された搬送対象物２の後端よりも２個の検知機構２７が後ろ側に配置される位置まで後ろ側に移動する（図５（Ａ）参照）。

【0064】

同様に、ロボット１が予備動作Ｍ２４を行うときには、ハンド６は、フォーク１５の先端が前側を向いた状態で前後方向に直線的に移動する。すなわち、ロボット１が予備動作Ｍ２４を行うときには、ハンド６が本体部９に対して一定方向を向いた状態で前後方向に直線的に移動するようにアーム８が伸縮する。ロボット１が予備動作Ｍ２４を行うときには、ハンド６の２本のフォーク１５の長手方向と前後方向とが一致しており、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構２７は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。予備動作Ｍ２４では、ハンド６は、収容カセット３に置かれている搬送対象物２が、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構２７によって検知される位置まで前側に移動するとともに、その後、２個の検知機構２７によって検知された搬送対象物２の後端よりも２個の検知機構２７が後ろ側に配置される位置まで後ろ側に移動する。

【0065】

なお、ロボット１は、第１動作Ｍ１１と第２動作Ｍ１２との間に、本体部９を回動させる回動動作を行う。このときには、アーム８も縮んでいる。また、ロボット１は、第１動作Ｍ２１と第２動作Ｍ２２との間に、本体部９を回動させる回動動作を行う。このときには、アーム７も縮んでいる。また、ロボット１は、必要に応じて、第１動作Ｍ１１と第２動作Ｍ１２との間、および、第１動作Ｍ２１と第２動作Ｍ２２との間に、本体部９の昇降動作や本体部９の左右方向への移動動作を行う。また、ロボット１は、必要に応じて、第１動作Ｍ１１、Ｍ２１の際に、本体部９の昇降動作や本体部９の左右方向への移動動作を行ったり、第２動作Ｍ１２、Ｍ２２の際に、本体部９の昇降動作や本体部９の左右方向への移動動作を行ったりする。

【0066】

（産業用ロボットの制御方法）
図５は、図１に示すロボット１の動作を説明するための平面図である。なお、図５（Ａ）、（Ｂ）では、ハンド６の図示を省略している。

【0067】

制御部２５は、予備動作Ｍ１４を行う際に、２個の検知機構２７のうちの一方の検知機構２７が搬送対象物２を検知したとき（具体的には、前側に移動するハンド５に取り付けられた一方の検知機構２７が、収容カセット３に収容される搬送対象物２の後端を検知したとき（すなわち、一方の検知機構２７が搬送対象物２を最初に検知したとき））のハンド５の前後方向の位置のデータである第１位置データと、２個の検知機構２７のうちの他方の検知機構２７が搬送対象物２を検知したとき（具体的には、前側に移動するハンド５に取り付けられた他方の検知機構２７が、収容カセット３に収容される搬送対象物２の後端を検知したとき（すなわち、他方の検知機構２７が搬送対象物２を最初に検知したとき））のハンド５の前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得する（図５（Ｂ）参照）。

【0068】

制御部２５は、第１位置データおよび第２位置データに基づいて、収容カセット３に収容される搬送対象物２の前後方向の位置および向き（搬送対象物２の水平面内での傾き）を特定する。また、制御部２５は、特定された搬送対象物２の前後方向の位置および向きと、ロボット１に予め教示された搬送対象物２の前後方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が受取り動作Ｍ１３を行う際に、この比較結果に基づいて、受取り位置５Ａに到達するときのハンド５の前後方向の位置および向きを補正する。

【0069】

すなわち、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ１３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置５Ａに到達するときのハンド５の前後方向の位置および向きを補正する。具体的には、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ１３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、アーム駆動機構２０と回動機構２２とを制御して（または、アーム駆動機構２０と回動機構２２と水平移動機構２４とを制御して）受取り位置５Ａに到達するときのハンド５の前後方向の位置および向きを補正する。

【0070】

また、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ１３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、ハンド５に搭載される搬送対象物２の前後方向の位置が適切な位置になるとともに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の向きが適切な向きになるように、受取り位置５Ａに到達するときのハンド５の前後方向の位置および向きを補正する。ハンド５には、前後方向および向きが補正された搬送対象物２が搭載される。

【0071】

また、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を完了した状態で（図５（Ｃ）参照）、検知機構２６によって検知される、ハンド５に搭載された搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得する。このときには、たとえば、図５（Ｃ）に示すように、ハンド６が受取り位置６Ａに配置される位置までアーム８が伸びており、ロボット１は、収容カセット３から搬送対象物２を受け取っている。また、このときには、ハンド６に搬送対象物２が搭載されていない状態でアーム８が縮んでいても良い。

【0072】

制御部２５は、第３位置データに基づいて、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の位置を特定する。また、制御部２５は、特定された搬送対象物２の左右方向の位置と、ロボット１に予め教示された搬送対象物２の左右方向の位置とを比較するとともに、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、この比較結果に基づいて、引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の左右方向の位置を補正する。

【0073】

すなわち、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の左右方向の位置を補正する。具体的には、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、第３位置データに基づいて、水平移動機構２４を制御して引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の左右方向の位置を補正する。また、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、第３位置データに基づいて、処理装置４に置かれる搬送対象物２の左右方向の位置が適切な位置になるように、引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の左右方向の位置を補正する。

【0074】

同様に、制御部２５は、予備動作Ｍ２４を行う際に、２個の検知機構２７のうちの一方の検知機構２７が搬送対象物２を検知したとき（具体的には、前側に移動するハンド６に取り付けられた一方の検知機構２７が、収容カセット３に収容される搬送対象物２の後端を検知したとき）のハンド６の前後方向の位置のデータである第１位置データと、２個の検知機構２７のうちの他方の検知機構２７が搬送対象物２を検知したとき（具体的には、前側に移動するハンド６に取り付けられた他方の検知機構２７が、収容カセット３に収容される搬送対象物２の後端を検知したとき）のハンド６の前後方向の位置のデータである第２位置データとを取得する。

【0075】

制御部２５は、第１位置データおよび第２位置データに基づいて、収容カセット３に収容される搬送対象物２の前後方向の位置および向きを特定する。また、制御部２５は、特定された搬送対象物２の前後方向の位置および向きと、ロボット１に予め教示された搬送対象物２の前後方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が受取り動作Ｍ２３を行う際に、この比較結果に基づいて、受取り位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。

【0076】

すなわち、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ２３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。具体的には、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ２３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、アーム駆動機構２１と回動機構２２とを制御して（または、アーム駆動機構２１と回動機構２２と水平移動機構２４とを制御して）受取り位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。

【0077】

また、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ２３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、ハンド６に搭載される搬送対象物２の前後方向の位置が適切な位置になるとともに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の向きが適切な向きになるように、受取り位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。ハンド６には、前後方向および向きが補正された搬送対象物２が搭載される。

【0078】

また、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を完了した状態で、検知機構２６によって検知される、ハンド６に搭載された搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データを取得する。このときには、たとえば、ハンド５が受取り位置５Ａに配置される位置までアーム７が伸びており、ロボット１は、収容カセット３から搬送対象物２を受け取っている。また、このときには、ハンド５に搬送対象物２が搭載されていない状態でアーム７が縮んでいても良い。

【0079】

制御部２５は、第３位置データに基づいて、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の位置を特定する。また、制御部２５は、特定された搬送対象物２の左右方向の位置と、ロボット１に予め教示された搬送対象物２の左右方向の位置とを比較するとともに、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、この比較結果に基づいて、引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。

【0080】

すなわち、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。具体的には、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、第３位置データに基づいて、水平移動機構２４を制御して引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。また、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、第３位置データに基づいて、処理装置４に置かれる搬送対象物２の左右方向の位置が適切な位置になるように、引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。

【0081】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、制御部２５は、ロボット１が予備動作Ｍ１４、Ｍ２４を行う際に、検知機構２７を用いて第１位置データと第２位置データとを取得するとともに、ロボット１が第１動作Ｍ１１、Ｍ２１を完了した状態で、検知機構２６を用いて第３位置データを取得しているが、検知機構２６は、透過型の検知機構であり、かつ、検知機構２７は、回帰反射型の検知機構である。そのため、本形態では、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、検知機構２６、２７によって、第１位置データ、第２位置データおよび第３位置データを適切に取得することが可能になる。

【0082】

また、本形態では、２個の検知機構２７は、ロボット１が予備動作Ｍ１４、Ｍ２４を行うときに、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、予備動作Ｍ１４、Ｍ２４では、ハンド５、６は、収容カセット３に置かれている搬送対象物２が２個の検知機構２７によって検知される位置まで前側に移動するとともに、その後、２個の検知機構２７によって検知された搬送対象物２よりも２個の検知機構２７が後ろ側に配置される位置まで後ろに移動するため、適切な第１位置データおよび第２位置データに基づいて、収容カセット３に置かれている搬送対象物２の前後方向の位置および向きを適切に特定することが可能になる。また、本形態では、ロボット１が第１動作Ｍ１１、Ｍ２１を完了したときに、搬送対象物２の左右方向の一端面は、ロボット１の本体部９に取り付けられる検知機構２６の受光部３１と発光部３０の間に配置されているため、適切な第３位置データに基づいて、ハンド５、６に搭載された搬送対象物２の左右方向の位置を適切に特定することが可能になる。

【0083】

さらに、本形態では、ロボット１が受取り動作Ｍ１３、Ｍ２３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置５Ａ、６Ａに到達するときのハンド５、６の前後方向の位置および向きを補正し、かつ、ロボット１が第２動作Ｍ１２、Ｍ２２を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド２の左右方向の位置を補正しているため、適切に特定された搬送対象物２の前後方向の位置および向きに基づいて、受取り位置５Ａ、６Ａに到達するときのハンド５、６の前後方向の位置および向きを適切に補正し、かつ、適切に特定された搬送対象物２の左右方向の位置に基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の左右方向の位置を適切に補正することが可能になる。

【0084】

このように、本形態では、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３に置かれている搬送対象物２の前後方向の位置および向きを適切に特定することが可能になるとともに、ハンド５、６に搭載された搬送対象物２の左右方向の位置を適切に特定することが可能になる。また、本形態では、適切に特定された搬送対象物２の前後方向の位置および向きに基づいて、受取り位置５Ａ、６Ａに到達するときのハンド５、６の前後方向の位置および向きを適切に補正し、かつ、適切に特定された搬送対象物２の左右方向の位置に基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の左右方向の位置を適切に補正することが可能になる。したがって、本形態では、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３に置かれている搬送対象物２の水平方向の位置および向きを適切に補正してから処理装置５に搬送対象物２を置くために、ハンド５、６の水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

【0085】

本形態では、アーム７が縮むときの第１動作Ｍ１１をロボット１が完了したときにハンド５に搭載される搬送対象物２がその間に配置される受光部３１および発光部３０と、アーム８が縮むときの第１動作Ｍ２１をロボット１が完了したときにハンド６に搭載される搬送対象物２がその間に配置される受光部３１および発光部３０とが共通になっている。そのため、本形態では、２個のハンド５、６によって搬送対象物２が搬送されても、共通の検知機構２６を用いて、ハンド５に搭載される搬送対象物２とハンド６に搭載される搬送対象物２とを検知することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。

【0086】

（産業用ロボットの変形例）
図６は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図７は、図６に示す産業用ロボット１の側面図である。なお、図６、図７では、上述した形態と同様の構成には、同一の符号を付している。

【0087】

上述した形態では、アーム７とアーム８とは、上下方向において同じ位置に配置されており、水平方向において互いに隣接しているが、図６、図７に示すように、アーム７とアーム８とが上下方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。この場合には、本体部９は、アーム７、８の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート５７と、アームサポート５７を昇降可能に支持する支持フレーム５８と、本体部９の下端部分を構成する旋回フレーム５９とを備えている。

【0088】

図７に示すように、アーム７の基端側は、アームサポート５７の上端側に回動可能に連結され、アーム８の基端側は、アームサポート５７の下端側に回動可能に連結されている。支持フレーム５８は、アームサポート５７を介してハンド５、６およびアーム７、８を昇降可能に保持している。支持フレーム５８の下端は、旋回フレーム５９に固定されている。旋回フレーム５９は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように基台６０に連結されている。基台６０は、ベース１１に対して左右方向に直線的に移動可能となっている。

【0089】

アーム駆動機構２０は、アームサポート５７に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。すなわち、アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。アーム駆動機構２１は、アームサポート５７に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。すなわち、アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。

【0090】

回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として基台６０に対して旋回フレーム５９を回動させる。すなわち、回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として基台６０に対して本体部９を回動させる。昇降機構２３は、支持フレーム５８に対してアームサポート５７を昇降させる。水平移動機構２４は、ベース１１に対して基台６０を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構２４は、基台６０と一緒に本体部９を左右方向に直線的に移動させる。

【0091】

検知機構２６は、本体部９のアームサポート５７に取り付けられている。具体的には、アームサポート５７に固定されるセンサ固定部材（図示省略）に検知機構２６が固定されており、検知機構２６は、センサ固定部材を介して本体部９に取り付けられている。検知機構２６は、受取り位置５Ａ、６Ａに配置されるハンド５、６に搭載された搬送対象物２の後端よりも後ろ側に配置されている。ロボット１が第１動作Ｍ１１を完了したときには、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１の間に配置され、ロボット１が第１動作Ｍ２１を完了したときには、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、発光部３０と受光部３１の間に配置されている。

【0092】

（産業用ロボットの制御方法の変形例）
上述した形態では、制御部２５は、ロボット１が受取り動作Ｍ１３、Ｍ２３を行う際に、第１位置データと第２位置データとに基づいて、受取り位置５Ａ、５Ｂに到達するときのハンド５、６の前後方向の位置および向きを補正し、かつ、ロボット１が第２動作Ｍ１２、Ｍ２２を行う際に、第３位置データに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の左右方向の位置を補正しているが、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２、Ｍ２２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の前後左右方向の位置（水平方向の位置）および向きを補正しても良い。

【0093】

具体的には、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２、Ｍ２２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、アーム駆動機構２０、２１と回動機構２２と水平移動機構２４とを制御して引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の水平方向の位置および向きを補正しても良い。この場合には、ロボット１が受取り動作Ｍ１３を行う際に、予め教示された受取り位置５Ａにハンド５が移動して、収容カセット３に置かれているままの状態（位置および向き）の搬送対象物２がハンド５に搭載される。同様に、ロボット１が受取り動作Ｍ２３を行う際に、予め教示された受取り位置６Ａにハンド６が移動して、収容カセット３に置かれているままの状態の搬送対象物２がハンド６に搭載される。

【0094】

この場合であっても、上述した形態と同様に、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、適切に特定された搬送対象物２の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３に置かれている搬送対象物２の水平方向の位置および向きを適切に補正してから処理装置５に搬送対象物２を置くために、ハンド５、６の水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

【0095】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0096】

上述した形態において、検知機構２７は、透過型の検知機構であっても良い。この場合には、発光部３４は、上下方向において受光部３５との間に所定の間隔をあけた状態で受光部３５に対向配置されている。ただし、検知機構２７が回帰反射型の検知機構である場合には、発光部３４および受光部３５と、回帰反射板３６とが上下方向において所定の間隔をあけた状態で対向配置されているため、検知機構２７が透過型の検知機構である場合と比較して（すなわち、発光部３４と受光部３５とが上下方向において所定の間隔をあけた状態で対向配置されている場合と比較して）、上下方向で検知機構２７を小型化することが可能になる。

【0097】

上述した形態では、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を完了した状態で、検知機構２６を用いて第３位置データを取得しているが、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行う際に、検知機構２６を用いて第３位置データを取得しても良い。同様に、上述した形態では、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を完了した状態で、検知機構２６を用いて第３位置データを取得しているが、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行う際に、検知機構２６を用いて第３位置データを取得しても良い。

【0098】

上述した形態において、ロボット１は、本体部９に取り付けられる２個の検知機構２６を備えていても良い。この場合には、２個の検知機構２６は、たとえば、上下方向で重なっている。また、この場合には、２個の検知機構２６のうちの一方の検知機構２６は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が発光部３０と受光部３１との間を通る位置に配置され、他方の検知機構２６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が発光部３０と受光部３１との間を通る位置に配置されている。

【0099】

上述した形態において、受光部３１は、複数の受光素子が二次元的に配列されるエリアセンサであっても良い。この場合であっても、検知機構２６によって、ハンド５、６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することは可能である。

【0100】

上述した形態において、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数は１個であっても良い。たとえば、ロボット１は、１個のハンド５と１本のアーム７のみを備えていても良い。この場合には、たとえば、ロボット１は、アーム駆動機構２０に代えて、本体部９に対して第１アーム部１６を回動させる第１アーム部駆動機構と、第１アーム部１６に対して第２アーム部１７を回動させる第２アーム部駆動機構と、第２アーム部１７に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構とを備えていても良い。また、この場合には、ロボット１は、たとえば、回動機構２２および水平移動機構２４を備えていなくても良い。

【0101】

また、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数が１個である場合には、アーム７が備えるアーム部の数は、３個以上であっても良い。たとえば、特開２０１９－１７６０２９号公報に記載されているように、アーム７が備えるアーム部の数は、３個であっても良い。この場合には、ロボット１は、たとえば、回動機構２２および水平移動機構２４を備えていなくても良い。

【0102】

上述した形態において、ハンド５、６が備えるフォーク１５の数は、３本以上であっても良い。また、上述した形態において、収容カセット３および処理装置４がロボット１の前側に配置されていても良い。さらに、上述した形態において、搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネル以外のものであっても良い。

【符号の説明】

【0103】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 搬送対象物
３ 収容カセット（受取り部）
４ 処理装置（引渡し部）
５ ハンド（第１ハンド）
６ ハンド（第２ハンド）
７ アーム（第１アーム）
８ アーム（第２アーム）
９ 本体部
１５ａ 載置範囲
２０、２１ アーム駆動機構
２２ 回動機構
２４ 水平移動機構
２５ 制御部
２６ 検知機構（第１検知機構）
２７ 検知機構（第２検知機構）
３０ 発光部（第１の発光部）
３１ 受光部（第１の受光部）
３４ 発光部（第２の発光部）
３５ 受光部（第２の受光部）
３６ 回帰反射板
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】