特許 7443151 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-26

(45)【発行日】2024-03-05

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240227BHJP

   B25J 9/02 20060101ALI20240227BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20240227BHJP

   B65G 47/91 20060101ALI20240227BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/02 A

B65G49/06 A

B65G47/91 A

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2020079940

(22)【出願日】2020-04-30

(65)【公開番号】P2021174951

(43)【公開日】2021-11-01

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 史朗

(72)【発明者】

【氏名】吉田 昇悟

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－３１１０８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１８６０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１７４６５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２６７５５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－３４２３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０２

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ６５Ｇ ４７／９１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬入されたワークを移動させる第１ロボットと、
前記第１ロボットにより移動された前記ワークが載置される第１載置部を備える第１排出機構と、
前記第１ロボットにより移動された前記ワークが載置され、第１方向に前記ワークを搬送するキャリッジと、
前記キャリッジにより搬送された前記ワークを移動させる第２ロボットと、
前記第２ロボットにより移動された前記ワークが載置される第２載置部を備える第２排出機構と、
を備え、
前記第２載置部は、前記第１載置部の前記第１方向の側に位置することを特徴とする搬送システム。

【請求項2】

請求項１に記載の搬送システムにおいて、
前記第１載置部および前記第２載置部は、前記第１方向に沿う方向に配置されていることを特徴とする搬送システム。

【請求項3】

請求項１または２に記載の搬送システムにおいて、
前記第１排出機構は、前記第１載置部にトレイを供給する第１トレイ供給機構を備え、
前記第２排出機構は、前記第２載置部にトレイを供給する第２トレイ供給機構を備え、
前記第１ロボットは、前記第１載置部に供給された前記トレイに前記ワークを載置し、
前記第２ロボットは、前記第２載置部に供給された前記トレイに前記ワークを載置することを特徴とする搬送システム。

【請求項4】

請求項３に記載の搬送システムにおいて、
前記第１載置部は、第１ロボットにより前記ワークが前記トレイに載置された後、前記トレイの厚み分、下方に移動し、
前記第１トレイ供給機構は、前記ワークが載置された前記トレイの上に、前記ワークが載置される前の別の前記トレイを積み重ねることを特徴とする搬送システム。

【請求項5】

請求項４に記載の搬送システムにおいて、
前記第２載置部は、第２ロボットにより前記ワークが前記トレイに載置された後、前記トレイの厚み分、下方に移動し、
前記第２トレイ供給機構は、前記ワークが載置された前記トレイの上に、前記ワークが載置される前の別の前記トレイを積み重ねることを特徴とする搬送システム。

【請求項6】

請求項４に記載の搬送システムにおいて、
前記第１排出機構は、前記トレイが予め設定された枚数積み重ねられた後、前記第１載置部から前記積み重ねられた前記トレイを排出する第１トレイ送出機構を備えることを特徴とする搬送システム。

【請求項7】

請求項５に記載の搬送システムにおいて、
前記第２排出機構は、前記トレイが予め設定された枚数積み重ねられた後、前記第２載置部から前記積み重ねられた前記トレイを排出する第２トレイ送出機構を備えることを特徴とする搬送システム。

【請求項8】

請求項６に記載の搬送システムにおいて、
前記第１トレイ送出機構は、前記第１トレイ供給機構の下方に位置し、前記第１トレイ供給機構と上下方向で重なることを特徴とする搬送システム。

【請求項9】

請求項７に記載の搬送システムにおいて、
前記第２トレイ送出機構は、前記第２トレイ供給機構の下方に位置し、前記第２トレイ供給機構と上下方向で重なることを特徴とする搬送システム。

【請求項10】

請求項１から９の何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記第１載置部が、前記第１方向に沿う方向に複数設けられていることを特徴とする搬送システム。

【請求項11】

請求項１０に記載の搬送システムにおいて、
前記ワークは、表示パネルであり、
前記表示パネルは、良品、不良品、および再検査品の何れかであり、
前記良品の表示パネルは、前記第１ロボットにより、前記複数の前記第１載置部のうち一部の第１載置部に載置され、
前記再検査品の表示パネルは、前記第１ロボットにより、前記複数の前記第１載置部のうち他の一部の第１載置部に載置され、
前記再検査品の表示パネルは、前記第２ロボットにより、前記第２載置部に載置されることを特徴とする搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークを搬送する搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

携帯機器等で使用される液晶表示装置の組立ラインに組み込まれる搬送システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送システムは、ワークを第１方向に搬送するシャトルロボットと、シャトルロボットの搬送方向と直交する第２方向に並び、トレイが載置される複数の載置部と、シャトルロボットで搬送されたワークをトレイに移動させる搬送ロボットとを備える。搬送ロボットは、ピックアンドプレース型のロボットであり、トレイ吸着部を備えるヘッドと、ヘッドを第２方向に移動させる第２方向駆動部と、第２方向駆動部を第１方向に移動させる第１方向駆動部とを備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００２－３１１０８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の搬送システムでは、搬送システムのメンテナンス性の向上のために、トレイが載置された複数の載置部の第２方向の間隔を大きくした場合や、載置部の数が増えることで載置部が配置されているエリアの第２方向の幅が大きくなった場合、搬送ロボットの第２方向駆動部も第２方向に大きくなり、搬送ロボットが大型化する。このため、載置部の間隔や数は制限され、載置部のレイアウトを自由に行えないという問題があった。

【0005】

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、載置部のレイアウトによって搬送ロボットが大型化することを抑制することのできる搬送システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本発明の搬送システムは、搬入されたワークを移動させる第１ロボットと、前記第１ロボットにより移動された前記ワークが載置される第１載置部を備える第１排出機構と、前記第１ロボットにより移動された前記ワークが載置され、第１方向に前記ワークを搬送するキャリッジと、前記キャリッジにより搬送された前記ワークを移動させる第２ロボットと、前記第２ロボットにより移動された前記ワークが載置される第２載置部を備える第２排出機構とを備え、前記第２載置部は、前記第１載置部の前記第１方向の側に位置することを特徴とする。

【0007】

本発明では、第２載置部は、第１載置部の前記第１方向の側に位置する。このように構成することで、キャリッジにより第１方向に搬送されたワークは、第２ロボットにより、第２載置部に載置される。したがって、第１ロボットは、第２載置部にワークを載置しないため、第１載置部と第２載置部との第１方向の間隔を大きくしても、第１ロボットを大型化する必要がない。よって、メンテナンス性を向上させるなどの目的で、第１載置部と第２載置部との第１方向の間隔を大きくしても、キャリッジによりワークが第１方向に搬送されるため、第１ロボットが大型化することを抑制できる。

【0008】

本発明において、前記第１載置部および前記第２載置部は、前記第１方向に沿う方向に
配置されている構成を採用することができる。

【0009】

本発明において、前記第１排出機構は、前記第１載置部にトレイを供給する第１トレイ供給機構を備え、前記第２排出機構は、前記第２載置部にトレイを供給する第２トレイ供給機構を備え、前記第１ロボットは、前記第１載置部に供給された前記トレイに前記ワークを載置し、前記第２ロボットは、前記第２載置部に供給された前記トレイに前記ワークを載置することが好ましい。このように構成することで、第１ロボットおよび第２ロボットは、各々、トレイにワークを収容することができる。

【0010】

本発明において、前記第１載置部は、第１ロボットにより前記ワークが前記トレイに載置された後、前記トレイの厚み分、下方に移動し、前記第１トレイ供給機構は、前記ワークが載置された前記トレイの上に、前記ワークが載置される前の別の前記トレイを積み重ねることが好ましい。このように構成すれば、トレイの高さを一定に保つことができるので、第１ロボットが高さ方向に大型化することを抑制することができる。

【0011】

本発明において、前記第２載置部は、第２ロボットにより前記ワークが前記トレイに載置された後、前記トレイの厚み分、下方に移動し、前記第２トレイ供給機構は、前記ワークが載置された前記トレイの上に、前記ワークが載置される前の別の前記トレイを積み重ねることが好ましい。このように構成すれば、トレイの高さを一定に保つことができるので、第２ロボットが高さ方向に大型化することを抑制することができる。

【0012】

本発明において、前記第１排出機構は、前記トレイが予め設定された枚数積み重ねられた後、前記第１載置部から前記積み重ねられた前記トレイを排出する第１トレイ送出機構を備える態様を採用することができる。この場合、本発明において、前記第１トレイ送出機構は、前記第１トレイ供給機構の下方に位置し、前記第１トレイ供給機構と上下方向で重なることが好ましい。このように構成すれば、第１排出機構の設置面積をコンパクトにすることができる。

【0013】

本発明において、前記第２排出機構は、前記トレイが予め設定された枚数積み重ねられた後、前記第２載置部から前記積み重ねられた前記トレイを排出する第２トレイ送出機構を備える態様を採用することができる。この場合、本発明において、前記第２トレイ送出機構は、前記第２トレイ供給機構の下方に位置し、前記第２トレイ供給機構と上下方向で重なることが好ましい。このように構成すれば、第２排出機構の設置面積をコンパクトにすることができる。

【0014】

本発明において、前記第１載置部が、前記第１方向に沿う方向に複数設けられている態様を採用することができる。この場合、本発明において、前記ワークは、表示パネルであり、前記表示パネルは、良品、不良品、および再検査品の何れかであり、前記良品の表示パネルは、前記第１ロボットにより、前記複数の前記第１載置部のうち一部の第１載置部に載置され、前記再検査品の表示パネルは、前記第１ロボットにより、前記複数の前記第１載置部のうち他の一部の第１載置部に載置され、前記再検査品の表示パネルは、前記第２ロボットにより、前記第２載置部に載置される態様を採用することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明の搬送システムでは、載置部のレイアウトを自由に行っても、第１ロボットの大型化を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の第１実施形態にかかる搬送システムの平面図である。

【図2】搬送システムの正面図である。

【図3】搬送システムの側面図である。

【図4】搬送システムの斜視図である。

【図5】分離機構の動きを説明する図である。

【図6】積上機構の動きを説明する図である。

【図7】第２実施形態にかかる搬送システムの正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（第１実施形態）
以下、図面を参照しながら、本発明の第１実施形態を説明する。以下の説明では、ワークが表示パネル１００である場合を中心に説明する。図１は、本発明の実施形態にかかる搬送システムの平面図である。図２は、搬送システムの正面図であり、図２（ａ）は、図１のＡ－Ａ方向から搬送システムを示す正面図であり、図２（ｂ）は、図１のＢ－Ｂ方向から搬送システムを示す正面図である。図３は、搬送システムの側面図であり、図３（ａ）は、図２（ａ）のＣ－Ｃ方向から搬送システムを示す側面図であり、図３（ｂ）は、図２（ａ）のＤ－Ｄ方向から搬送システムを示す側面図である。図４は、搬送システムの斜視図である。図５は、分離機構の動きを説明する図である。図６は、積上機構の動きを説明する図である。

【0018】

（搬送システムの全体構成）
本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。前工程で検査されたワークである表示パネル１００が搬入機構９によって搬入されると、搬送システム１は、搬入された表示パネル１００の検査結果に基づいて搬送する。表示パネル１００は、液晶パネルや有機ＥＬパネル等である。表示パネル１００は、矩形状に形成されている。本形態において、前工程は、表示パネル１００の点灯検査の工程であり、表示パネル１００は、点灯検査の検査結果に基づいて、良品、不良品、再検査品の何れかに分類される。

【0019】

図１～図４に示すように、搬送システム１は、搬入された表示パネル１００を移動させる第１ロボット２と、第１ロボット２により移動された表示パネル１００が載置される第１載置部３１を備える第１排出機構３Ａと、第１ロボット２により移動された表示パネル１００が載置され、第１方向に表示パネル１００を搬送するキャリッジ４と、キャリッジ４により搬送された表示パネル１００を移動させる第２ロボット５と、第２ロボット５により移動された表示パネル１００が載置される第２載置部３４を備える第２排出機構３Ｂとを備える。また、第１排出機構３Ａの第１載置部３１には、空のトレイ１０が載置されており、第１ロボット２は、空のトレイ１０に表示パネル１００を移動させる。同様に、第２排出機構３Ｂの第２載置部３４には、空のトレイ１０が載置されており、第２ロボット５は、空のトレイ１０に表示パネル１００を移動させる。本形態のトレイ１０は、略長方形の平板状に形成されている。トレイ１０の上面には、表示パネル１００が収容される凹部が形成されている。

【0020】

ここで、図において、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。キャリッジ４は、Ｙ軸に沿って延在する。Ｚ軸は鉛直軸である。Ｙ軸において、キャリッジ４が表示パネル１００を搬送する方向をＹ１方向とし、その反対をＹ２方向とする。Ｚ軸において、上方をＺ１方向とし、下方をＺ２方向とする。Ｘ軸において、一方をＸ１方向とし、その反対をＸ２方向とする。本形態において、Ｙ１方向は第１方向である。

【0021】

（搬入機構）
図１、図４に示すように、搬入機構９は、前工程で検査された表示パネル１００を、搬送システム１まで搬送する。搬入機構９は、表示パネル１００が載置されるステージ９１と、ステージ９１をＸ軸方向に搬送する搬送部９２とを備える。搬入機構９は、電動シリ
ンダなどからなる。搬入機構９は、Ｘ２方向の端部でステージ９１に載置された表示パネル１００を、Ｘ２方向の端部からＸ１方向の端部まで搬送する。ステージ９１には、２つの表示パネル１００が載置される。

【0022】

（第１ロボット）
図１、図４に示すように、第１ロボット２は、ピックアンドプレース型のロボットである。第１ロボット２は、表示パネル１００を保持する保持部２４をＺ軸方向に移動可能に支持するヘッド２１と、ヘッド２１をＹ軸方向に移動させるＹ軸搬送部２２と、Ｙ軸搬送部２２をＸ軸方向に移動させるＸ軸搬送部２３とを備える。保持部２４は、表示パネル１００を吸着することにより、表示パネル１００を保持する。保持部２４は、ステージ９１に載置された２つの表示パネル１００を同時に保持することが可能である。Ｙ軸搬送部２２およびＸ軸搬送部２３は、電動シリンダなどからなる。

【0023】

したがって、第１ロボット２は、保持部２４をＸ軸、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動させることが可能であるので、搬入機構９によって搬入された表示パネル１００を、第１載置部３１またはキャリッジ４のステージ４１に移動させることが可能である。第１ロボット２は、前工程で検査された表示パネル１００の検査結果に基づいて、表示パネル１００を、第１載置部３１またはキャリッジ４のステージ４１に移動させる。具体的には、第１ロボット２は、表示パネル１００が良品であれば、第１載置部３１Ａに表示パネル１００を移動させ、表示パネル１００が再検査品であれば、第１載置部３１Ｂに表示パネル１００を移動させ、表示パネル１００が不良品であれば、キャリッジ４のステージ４１に表示パネル１００を移動させる。

【0024】

（第１排出機構）
図１、図２（ａ）、図３に示すように、第１排出機構３Ａは、第１載置部３１と、第１載置部３１に空のトレイ１０を供給する第１トレイ供給機構３２と、第１載置部３１に載置されたトレイ１０を排出する第１トレイ送出機構３３とを備える。また、第１排出機構３Ａは、第１トレイ送出機構３３から排出されたトレイ１０を取り出すための台車６１と、第１トレイ供給機構３２に段積状態の空のトレイ１０を搬送するトレイ搬送部６２と、トレイ搬送部６２から第１トレイ供給機構３２に、空のトレイ１０を搬送する移動部６３とを備える。

【0025】

第１載置部３１は、トレイ１０が載置される２つの支持部３１１を備える。支持部３１１は、Ｙ軸方向に延びる基部３１５の両端からＸ１方向に延びている。第１載置部３１には、支持部３１１および基部３１５で囲まれた開口部３１３が設けられている。支持部３１１は、基部３１５を介して位置調整部３１２により、上下方向に移動する。位置調整部３１２は、電動シリンダなどからなり、支持部３１１に載置されたトレイ１０の段数に応じて、支持部３１１を上下方向に移動させる。本形態において、第１載置部３１は、第１方向に沿う方向に、２つ配置されている。２つの第１載置部３１は、一方が第１載置部３１Ａで、他方が第１載置部３１Ｂである。第１載置部３１Ａは、第１載置部３１ＢのＹ１方向の側に位置する。第１載置部３１Ａに載置されたトレイ１０には、良品の表示パネル１００が収容され、第１載置部３１Ｂに載置されたトレイ１０には、再検査品の表示パネル１００が収容される。

【0026】

第１トレイ供給機構３２は、積み重ねられたトレイ１０を保持するとともに、積み重ねられたトレイ１０から下段に配置されているトレイ１０を分離する分離機構３７と、分離したトレイ１０を搬送するステージ３８と、ステージ３８で搬送されたトレイ１０を支持部３１１に載置する積上機構３９とを備える。

【0027】

分離機構３７は、トレイ１０に対してＹ軸方向の両側に位置する一対の部分からなる。
分離機構３７は、最下段のトレイ１０が載置される第１爪部３７１と、最下段より一段上のトレイ１０を支持する第２爪部３７２と、段積状態のトレイ１０から最下段のトレイ１０を分離するための分離爪部３７３とを備える。また、分離機構３７は、トレイ１０の有無を検知するトレイ検出センサ３７４と、トレイストッパ３７５とを備える。

【0028】

第１爪部３７１は、Ｚ２方向の側から突出する爪部分３７１Ａを備える（図５参照）。第１爪部３７１は、シリンダ等により、上下方向に移動する。対向する第１爪部３７１のＹ軸方向の間隔は、トレイ１０のＹ軸方向の幅より僅かに狭い。すなわち、第１爪部３７１の爪部分３７１Ａは、トレイ１０のＹ軸方向の両端において、トレイ１０を支持する。

【0029】

第２爪部３７２は、Ｚ２方向の側から突出する爪部分３７２Ａを備える（図５参照）。第２爪部３７２は、シリンダ等により、上下方向およびＹ軸方向に移動する。具体的には、対向する第２爪部３７２は、トレイ１０のＹ軸方向の両端において、爪部分３７２Ａがトレイ１０を支持する間隔から、トレイ１０を支持しない間隔となるように移動する。

【0030】

分離爪部３７３は、Ｚ２方向の側から突出する爪部分３７３Ａを備える（図５参照）。分離爪部３７３は、シリンダ等により、上下方向およびＹ軸方向に移動する。具体的には、対向する分離爪部３７３は、トレイ１０のＹ軸方向の両端において、爪部分３７３Ａがトレイ１０を支持する間隔から、トレイ１０を支持しない間隔となるように移動する。

【0031】

トレイストッパ３７５は、分離機構３７のＸ１方向の側に位置する。トレイストッパ３７５は、仕切り板３７６と、仕切り板３７６をＹ軸方向に移動させるシリンダ３７７とを備える。仕切り板３７６は、金属製の板であり、分離機構３７に保持されたトレイ１０のＸ１方向の側の位置が規制する。シリンダ３７７は、分離機構３７のＹ１方向の側に位置する。

【0032】

ステージ３８は、移動機構３８１により、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に移動する。分離機構３７で分離された最下段のトレイ１０がステージ３８に載置されると、移動機構３８１は、ステージ３８をＸ２方向に移動させる。積上機構３９は、ステージ３８で搬送されたトレイ１０を支持部３１１に載置する。

【0033】

積上機構３９は、支持部３１１に対してＹ軸方向の両側に位置する一対の部分からなる。積上機構３９は、最下段のトレイ１０が載置される第１爪部３７１と、最下段より一段上のトレイ１０を支持する第２爪部３７２と、段積状態のトレイ１０から最下段のトレイ１０を分離するための分離爪部３７３とを備える。また、積上機構３９は、トレイ１０の有無を検知するトレイ検出センサ３９３を備える。

【0034】

第１爪部３９１は、Ｚ２方向の側から突出する爪部分３９１Ａを備える（図６参照）。第１爪部３９１は、シリンダ等により、Ｙ軸方向に移動する。具体的には、対向する第１爪部３９１は、支持部３１１に載置されたトレイ１０のＹ軸方向の両端において、爪部分３９１Ａがトレイ１０を支持する間隔から、トレイ１０を支持しない間隔となるように移動する。

【0035】

第２爪部３９２は、Ｚ２方向の側から突出する下爪部分３９２Ａと、Ｚ１方向の側から突出する上爪部分３９２Ｂを備える（図６参照）。第２爪部３９２は、シリンダ等により、上下方向およびＹ軸方向に移動する。具体的には、対向する第２爪部３９２は、支持部３１１に載置されたトレイ１０のＹ軸方向の両端において、下爪部分３９２Ａおよび上爪部分３９２Ｂがトレイ１０を支持する間隔から、トレイ１０を支持しない間隔となるように移動する。

【0036】

第１トレイ送出機構３３は、第１載置部３１に載置されたトレイ１０を台車６１に搬送する。第１トレイ送出機構３３は、第１トレイ供給機構３２の下方に位置し、第１載置部３１と上下方向で重なる。第１トレイ送出機構３３は、ベルトコンベア３３１で構成される。ベルトコンベア３３１は、Ｘ軸方向に延在する。図３（ａ）に示すように、ベルトコンベア３３１のＹ軸方向の幅は、支持部３１１のＹ軸方向の間隔より狭い。また、図２（ａ）に示すように、ベルトコンベア３３１のＸ２方向の側の端部は、基部３１５より、Ｘ１方向に位置する。したがって、支持部３１１が位置調整部３１２により上下方向に移動した際、ベルトコンベア３３１は開口部３１３を通過することが可能である。

【0037】

台車６１は、第１トレイ送出機構３３によって排出されたトレイ１０を、第１排出機構３Ａから取り出すために用いられる。台車６１は、ベルトコンベア６１１を備える。ベルトコンベア６１１の下方には、ベルトコンベア６１１を上下方向に移動させるリフト６１２が設けられている。リフト６１２は、ベルトコンベア６１１の高さが、ベルトコンベア３３１の高さと同じになるように、ベルトコンベア６１１を上下に移動させる。台車６１は、Ｘ２方向の端部に、第１トレイ送出機構３３と連結する連結部６１３を備える。台車６１でトレイ１０を取り出す場合を除いて、連結部６１３は第１トレイ送出機構３３と連結することにより、台車６１は固定されている。

【0038】

トレイ搬送部６２は、積み重ねられたトレイ１０をＸ２方向に搬送する。トレイ搬送部６２は、Ｘ軸方向に延在し、ローラコンベアなどからなる。トレイ搬送部６２のＹ軸方向の両端には、ローラ部６２１が設けられ、Ｙ軸方向の中央部分には、開口部６２２が設けられている。ローラ部６２１は不図示の駆動部により回転し、ローラ部６２１が回転することにより、トレイ１０は搬送される。トレイ搬送部６２は、下流のトレイストッパ６２３Ａと、上流のトレイストッパ６２３Ｂとを備える。トレイストッパ６２３Ａは、仕切り板６２４Ａと、仕切り板６２４ＡをＹ軸方向に移動させるシリンダ６２５Ａとを備える。トレイストッパ６２３Ｂは、仕切り板６２４Ｂと、仕切り板６２４ＢをＹ軸方向に移動させるシリンダ６２５Ｂとを備える。仕切り板６２４Ａおよび仕切り板６２４Ｂは、金属製の板であり、ローラ部６２１で搬送されるトレイ１０のＸ２方向への移動を規制する。シリンダ６２５Ａおよびシリンダ６２５Ｂは、ローラ部６２１のＹ２方向の側に位置する。

【0039】

トレイ搬送部６２には、下流のトレイ検出センサ６２６Ａと、上流のトレイ検出センサ６２６Ｂが設けられている。トレイ検出センサ６２６Ａおよびトレイ検出センサ６２６Ｂは、フォトセンサなどからなり、トレイ１０の位置を検知する。

【0040】

移動部６３は、トレイ１０が載置されるステージ６３１と、ステージ６３１をＸ軸方向に移動させる駆動部６３２と、駆動部６３２を介してステージ６３１を上下方向に移動させるリフト６３３とを備える。ステージ６３１は、Ｘ軸方向の両端から上方に向かって突出するガイド部６３４を備える。ステージ６３１のＹ軸方向の幅は、対向する第１爪部３７１のＹ軸方向の幅およびトレイ搬送部６２の開口部６２２のＹ軸方向の幅より狭い。したがって、ステージ６３１は、対向する第１爪部３７１の間およびトレイ搬送部６２の開口部６２２を上下方向に通過することが可能な大きさである。

【0041】

ステージ６３１には、ガイド部６３４で位置決めされた状態で、トレイ１０が載置される。駆動部６３２は、分離機構３７とステージ６３１が上下方向に重なる位置から、トレイ搬送部６２の開口部６２２とステージ６３１が上下方向で重なる位置まで、ステージ６３１を移動させる。

【0042】

ここで、第１排出機構３Ａの動きについて説明する。まずは、トレイ搬送部６２から第１トレイ供給機構３２に段積状態のトレイ１０を搬送する動きについて説明する。トレイ搬送部６２には、段積状態のトレイ１０が２組搬入されている。この際、上流のシリンダ
６２５Ｂは、仕切り板６２４ＢをＹ１方向に移動させることにより、トレイ１０はＸ２方向への移動が規制されている。同様に、下流のシリンダ６２５Ａは、仕切り板６２４ＡをＹ１方向に移動させることにより、トレイ１０はＸ２方向への移動が規制されている。また、この状態において、ステージ６３１は、トレイ搬送部６２の開口部６２２の下方において、上下方向で重なった位置に位置する。

【0043】

分離機構３７にトレイ１０が載置されていない状態であると、シリンダ３７７は、仕切り板３７６をＹ１方向に移動させる。リフト６３３はステージ６３１を上方に移動させるとともに、下流のシリンダ６２５Ａが仕切り板６２４ＡをＹ２方向に移動させる。これにより、ステージ６３１はトレイ搬送部６２の開口部６２２を通過するため、ステージ６３１には段積状態のトレイ１０が載置される。そして、駆動部６３２は、ステージ６３１をＸ２方向に移動させ、分離機構３７と上下方向に重なると、ステージ６３１の移動を停止する。

【0044】

このとき、ステージ６３１は、後述するように、分離機構３７の第１爪部３７１より上方に位置する。そして、リフト６３３は、ステージ６３１を第１爪部３７１より下方の位置に移動させる。これにより、ステージ６３１に載置されていたトレイ１０は、第１爪部３７１に載置される。そして、シリンダ３７７は、仕切り板３７６をＹ２方向に移動させ、第１爪部３７１に載置されたトレイ１０のＸ１方向の側の位置を仕切り板３７６で規制する。

【0045】

ステージ６３１が初期状態の位置に位置すると、下流のシリンダ６２５Ａは、仕切り板６２４ＡをＹ１方向に移動させ、上流のシリンダ６２５Ｂは、仕切り板６２４ＢをＹ２方向に移動させる。そして、トレイ搬送部６２は、上流にあるトレイ１０の搬送を再開する。上流のトレイ検出センサ６２６Ｂがトレイ１０の通過を検出すると、上流のシリンダ６２５Ｂは、仕切り板６２４ＢをＹ１方向に移動させる。下流のトレイ検出センサ６２６Ａがトレイ１０の到達を検出すると、トレイ搬送部６２は、トレイ１０を搬送することを停止する。

【0046】

次に、第１トレイ供給機構３２の動きについて図５および図６を用いて説明する。なお、図５および図６は、Ｙ１方向の側の分離機構３７および積上機構３９を示している。

【0047】

分離機構３７の動きを説明する。図５（ａ）に示すように、ステージ６３１が分離機構３７の第１爪部３７１より上方に位置する際は、第１爪部３７１は、トレイ１０と上下方向で重なる位置に位置する。一方、第２爪部３７２および分離爪部３７３は、トレイ１０と上下方向で重ならない位置に退避している。

【0048】

図５（ｂ）に示すように、ステージ６３１が第１爪部３７１より下方に移動すると、トレイ１０は第１爪部３７１に載置される。図５（ｃ）に示すように、ステージ６３１が初期状態の位置に移動すると、第２爪部３７２および分離爪部３７３は、Ｙ２方向に移動する。具体的には、第２爪部３７２の爪部分３７２Ａおよび分離爪部３７３の爪部分３７３Ａが、最下段のトレイ１０および最下段のトレイ１０より一段上のトレイ１０の間に位置するように、第２爪部３７２および分離爪部３７３はＹ２方向に移動する。

【0049】

図５（ｄ）に示すように、第１爪部３７１および分離爪部３７３は、下方に移動する。この際、最下段のトレイ１０より一段上のトレイ１０は第２爪部３７２に支持されるため、最下段のトレイ１０は第１爪部３７１および分離爪部３７３によって、段積状態のトレイ１０から分離される。分離された最下段のトレイ１０は、ステージ３８に載置される。図５（ｅ）に示すように、分離爪部３７３がＹ１方向に移動すると、ステージ３８はトレイ１０を積上機構３９まで搬送する。

【0050】

図５（ｆ）に示すように、第１爪部３７１は上方に移動し、爪部分３７１Ａでトレイ１０を支持する。図５（ｇ）（ｈ）に示すように、分離爪部３７３はＹ１方向に移動した後、上方に移動する。そして、トレイ１０が無くなったことを、トレイ検出センサ３７４が検知するまで、分離機構３７は図５（ｃ）～（ｈ）の動作を繰り返す。

【0051】

積上機構３９の動きを説明する。図６（ａ）に示すように、ステージ３８により、トレイ１０が積上機構３９まで搬送されると、図６（ｂ）に示すように、第１爪部３９１がＹ２方向に移動する。具体的には、爪部分３９１Ａが、トレイ１０と上下方向で重なる位置まで移動する。図６（ｃ）に示すように、ステージ３８が下方に移動することにより、トレイ１０が第１爪部３９１の爪部分３９１Ａに載置される。

【0052】

図６（ｄ）に示すように、ステージ３８がＸ１方向に移動した後、第２爪部３９２がＹ２方向に移動する。具体的には、下爪部分３９２Ａおおよび上爪部分３９２Ｂが、トレイ１０と上下方向で重なる位置まで移動する。図６（ｅ）に示すように、第１爪部３９１がＹ１方向に移動すると、図６（ｆ）に示すように、第２爪部３９２は下方に移動する。これにより、表示パネル１００が載置された段済み状態のトレイ１０の上に、表示パネル１００が載置される前の空のトレイ１０が積み重ねられる。この際、上爪部分３９２Ｂがトレイ１０を上方より押さえつけるため、トレイ１０は段積状態のトレイ１０の最上段に確実に積み重ねられる。トレイ１０が積み重なった後、図６（ｇ）に示すように、第２爪部３９２はＹ１方向に移動するとともに上方に移動する。第２爪部３９２が移動した後、第１ロボット２により、表示パネル１００が最上段に空のトレイ１０に載置される。第１ロボット２により表示パネル１００トレイ１０に載置された後、支持部３１１はトレイの厚み分、下方に移動する。その後、トレイ検出センサ３９４により、予め設定された枚数のトレイ１０が支持部３１１に積み重ねられたことを検知するまで、積上機構３９は、図６（ａ）～（ｇ）の動作を繰り返す。

【0053】

上記の動作により、第１トレイ供給機構３２は、第１載置部３１において、表示パネル１００が載置されたトレイ１０の上に、表示パネル１００が載置される前の別のトレイ１０を積み重ねる。

【0054】

次に、第１トレイ送出機構３３の動作を説明する。支持部３１１に所定枚数のトレイ１０が積み重ねられた後、位置調整部３１２は支持部３１１をベルトコンベア３３１より下方まで移動させる。このとき、ベルトコンベア３３１が開口部３１３を通過することにより、支持部３１１に載置されていたトレイ１０は、ベルトコンベア３３１に載置される。ベルトコンベア３３１にトレイ１０が載置された後、ベルトコンベア３３１は、トレイ１０を台車６１まで搬送する。このとき、台車６１のベルトコンベア６１１は、第１トレイ送出機構３３のベルトコンベア３３１の動きに連動して、作動する。トレイ１０が台車６１に搬送された後、位置調整部３１２は支持部３１１を上方に移動させる。

【0055】

（キャリッジ）
図１、図４に示すように、キャリッジ４は、Ｙ軸方向に延在する。具体的には、キャリッジ４は、Ｙ方向において、第１載置部３１Ａおよび第２載置部３４との間隔より長く延在する。キャリッジ４は、表示パネル１００が載置されるステージ４１と、ステージ４１をＹ軸方向に搬送する搬送部４２とを備える。ステージ４１は、表示パネル１００が２枚載置可能な大きさである。搬送部４２は、電動シリンダなどからなる。第１ロボット２により、ステージ４１に不良品の表示パネル１００が載置されると、キャリッジ４は、Ｙ２方向の端部からＹ１方向の端部までステージ４１を搬送させる。ステージ４１には、２つの表示パネル１００が載置される。

【0056】

（第２ロボット）
図１、図４に示すように、第２ロボット５は、ピックアンドプレース型のロボットである。第２ロボット５は、表示パネル１００を保持する保持部５４をＺ軸方向に移動可能に支持するヘッド５１と、ヘッド５１をＹ軸方向に移動させるＹ軸搬送部５２と、Ｙ軸搬送部５２をＸ軸方向に移動させるＸ軸搬送部５３とを備える。保持部５４は、表示パネル１００を吸着することにより、表示パネル１００を保持する。保持部５４は、ステージ４１に載置された２つの表示パネル１００を同時に保持することが可能である。Ｙ軸搬送部５２およびＸ軸搬送部５３は、電動シリンダなどからなる。したがって、第２ロボット５は、保持部５４をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動させることが可能であるので、キャリッジ４によって搬入された不良品の表示パネル１００を、第２載置部３４に移動させることが可能である。

【0057】

（第２排出機構）
図１、図２（ｂ）に示すように、第２排出機構３Ｂは、第２載置部３４と、第２載置部３４に空のトレイ１０を供給する第２トレイ供給機構３５と、第２載置部３４に載置されたトレイ１０を排出する第２トレイ送出機構３６とを備える。第２トレイ供給機構３５によって、第２載置部３４に載置されたトレイ１０には、不良品の表示パネル１００が収容される。

【0058】

第２排出機構３Ｂの第２載置部３４は、第１排出機構３Ａの第１載置部３１と同一の構成である。第２排出機構３Ｂの第２トレイ供給機構３５は、第１排出機構３Ａの第１トレイ供給機構３２と同一の構成である。第２排出機構３Ｂの第２トレイ送出機構３６は、第１排出機構３Ａの第１トレイ送出機構３３と同一の構成である。したがって、第２排出機構３Ｂにおいて、第１排出機構３Ａと対応する構成については、同一の符号を付して説明を省略する場合がある。

【0059】

図１に示すように、第２載置部３４は、第１載置部３１のＹ１方向の側に位置する。また、第１載置部３１および第２載置部３４は、キャリッジ４の搬送方向である第１方向（Ｙ１方向）に沿った方向に配置されている。すなわち、第１載置部３１と第２載置部３４は、キャリッジ４に沿ってＹ軸方向に並んでいる。

【0060】

本形態では、第２排出機構３Ｂは、第２トレイ送出機構３６から排出されたトレイ１０を取り出すための台車６１を備えていない。このため、作業員によって、第２トレイ送出機構３６からトレイ１０が取り出される。具体的には、支持部３１１に所定枚数のトレイ１０が積み重ねられた後、位置調整部３１２は支持部３１１をベルトコンベア３３１より下方まで移動させる。このとき、支持部３１１に載置されていたトレイ１０は、ベルトコンベア３３１に載置される。ベルトコンベア３３１にトレイ１０が載置された後、ベルトコンベア３３１は、ベルトコンベア３３１のＸ１方向の側の端部まで、トレイ１０を搬送する。ベルトコンベア３３１のＸ１方向の側の端部までトレイ１０が搬送された後、位置調整部３１２は支持部３１１を上方に移動させる。そして、作業員によって、トレイ１０が第２トレイ送出機構３６からトレイ１０が取り出される。

【0061】

本形態では、第２排出機構３Ｂは、第２トレイ供給機構３５に段積状態の空のトレイ１０を搬送するトレイ搬送部６２と、トレイ搬送部６２から第２トレイ供給機構３５に、空のトレイ１０を搬送する移動部６３とを備えていない。このため、第２トレイ供給機構３５には、作業員によってトレイ１０が搬送される。作業員によって、トレイ１０が第２トレイ供給機構３５に搬送されると、トレイ１０が無くなったことをトレイ検出センサ３７４が検知するまで、分離機構３７は、図５（ｃ）～（ｈ）の動作を繰り返す。そして、積上機構３９は、図６の動作を繰り返す。なお、第２排出機構３Ｂにおいて、図６（ｇ）の動作は、第２爪部３９２が移動した後、第１ロボット２により、表示パネル１００が最上
段に空のトレイ１０に載置される。上記の動作により、第２トレイ供給機構３５は、第２載置部３４において、表示パネル１００が載置されたトレイ１０の上に、表示パネル１００が載置される前の別のトレイ１０を積み重ねる。

【0062】

（本形態の主な作用効果）
本形態の搬送システム１は、搬入された表示パネル１００を移動させる第１ロボット２と、第１ロボット２により移動された表示パネル１００が載置される第１載置部３１を備える第１排出機構３Ａと、第１ロボット２により移動された表示パネル１００が載置され、第１方向（Ｙ１方向）に表示パネル１００を搬送するキャリッジ４と、キャリッジ４により搬送された表示パネル１００を移動させる第２ロボット５と、第２ロボット５により移動された表示パネル１００が載置される第２載置部３４を備える第２排出機構３Ｂとを備える。また、本形態の搬送システム１において、第２載置部３４は、第１載置部３１の第１方向の側に位置する。このように構成することで、キャリッジ４により第１方向に搬送された表示パネル１００は、第２ロボット５により、第２載置部に載置される。したがって、第１ロボット２は、第２載置部３４に表示パネル１００を載置しないため、第１載置部３１と第２載置部３４との第１方向の間隔を大きくしても、第１ロボット２を大型化する必要がない。よって、メンテナンス性を向上させるなどの目的で、第１載置部３１と第２載置部３４との第１方向の間隔を大きくしても、キャリッジ４により表示パネル１００が第１方向に搬送されるため、第１ロボット２が大型化することを抑制できる等、載置部のレイアウトによって搬送ロボットが大型化することを抑制することができる。

【0063】

本形態では、第１排出機構３Ａは、第１載置部３１にトレイ１０を供給する第１トレイ供給機構３２を備え、第２排出機構３Ｂは、第２載置部３４にトレイを供給する第２トレイ供給機構３５を備え、第１ロボット２は、第１載置部３１に供給されたトレイ１０に表示パネル１００を載置し、第２ロボット５は、第２載置部３４に供給されたトレイ１０に表示パネル１００を載置する。このように構成することで、第１ロボット２および第２ロボット５は、各々、トレイ１０に表示パネル１００を収容することができる。

【0064】

本形態では、第１載置部３１は、第１ロボット２により表示パネル１００がトレイ１０に載置された後、トレイ１０の厚み分、下方に移動し、第１トレイ供給機構３２は、表示パネル１００が載置されたトレイ１０の上に、表示パネル１００が載置される前の別のトレイ１０を積み重ねる。このように構成すれば、トレイ１０の高さを一定に保つことができるので、第１ロボット２が高さ方向に大型化することを抑制することができる。

【0065】

本形態では、第２載置部３４は、第２ロボット５により表示パネル１００がトレイ１０に載置された後、トレイ１０の厚み分、下方に移動し、第２トレイ供給機構３５は、表示パネル１００が載置されたトレイ１０の上に、表示パネル１００が載置される前の別のトレイ１０を積み重ねる。このように構成すれば、トレイ１０の高さを一定に保つことができるので、第２ロボット５が高さ方向に大型化することを抑制することができる。

【0066】

本形態では、第１排出機構３Ａは、トレイ１０が予め設定された枚数積み重ねられた後、第１載置部３１から積み重ねられたトレイ１０を排出する第１トレイ送出機構３３を備える。第１トレイ送出機構３３は、第１トレイ供給機構３２の下方に位置し、第１トレイ供給機構３２と上下方向で重なる。このように構成すれば、第１排出機構３Ａの設置面積をコンパクトにすることができる。

【0067】

本形態では、第２排出機構３Ｂは、トレイ１０が予め設定された枚数積み重ねられた後、第２載置部３４から積み重ねられたトレイ１０を排出する第２トレイ送出機構３６を備える。第２トレイ送出機構３６は、第２トレイ供給機構３５の下方に位置し、第２トレイ供給機構３５と上下方向で重なる。このように構成すれば、第２排出機構３Ｂの設置面積
をコンパクトにすることができる。

【0068】

（第２実施形態）
図７を参照して、本発明の第２実施形態に係る搬送システム１について説明する。第２実施形態では、第１実施形態と同様の構成には第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。

【0069】

第１実施形態では、第１載置部３１は、第１方向に沿う方向に、第１載置部３１Ａおよび第１載置部３１Ｂとして、２つ配置されていたが、本形態では、第１載置部３１は１つ配置される構成である。また、第１実施形態では、第２載置部３４は１つ配置されていたが、本形態では、第２載置部３４は、２つ配置される構成である。２つの第２載置部３４は、一方が第２載置部３４Ａで、他方が第２載置部３４Ｂである。第２載置部３４Ａは、第１排出機構３Ａの第１載置部３１のＹ２方向の側に位置し、第２載置部３４Ｂは、第１排出機構３Ａの第１載置部３１のＹ１方向の側に位置する。

【0070】

本形態では、キャリッジ４は、第１キャリッジ４Ａおよび第２キャリッジ４Ｂとして、２つ配置されている。第１キャリッジ４Ａおよび第２キャリッジ４Ｂは、Ｙ軸方向に延在する。また、第２ロボット５は、第２ロボット５Ａと第２ロボット５Ｂとして、２つ配置されている。第２ロボット５Ａは、第１キャリッジ４Ａで搬送された表示パネル１００を、第２載置部３４Ａに移動させる。第２ロボット５Ｂは、第２キャリッジ４Ｂで搬送された表示パネル１００を、第２載置部３４Ｂに移動させる。

【0071】

本形態では、第１載置部３１に載置されたトレイ１０には、第１ロボット２により、良品の表示パネル１００が収容される。第２載置部３４Ａに載置されたトレイ１０には、第２ロボット５Ａにより、再検査品の表示パネル１００が収容される。第２載置部３４Ｂに載置されたトレイ１０には、第２ロボット５Ｂにより、不良品の表示パネル１００が収容される。

【0072】

本形態において、第１キャリッジ４Ａは、表示パネル１００が載置されるステージ４１ＡをＹ２方向に搬送する。したがって、第１キャリッジ４Ａにおける第１方向は、Ｙ２方向である。図７に示すように、第２載置部３４Ａは、第１載置部３１のＹ２方向の側に位置する。第１載置部３１および第２載置部３４Ａは、第１キャリッジ４Ａの搬送方向である第１方向（Ｙ２方向）に沿った方向に配置されている。すなわち、第１載置部３１および第２載置部３４Ａは、第１キャリッジ４Ａに沿ってＹ軸方向に並んでいる。

【0073】

本形態において、第２キャリッジ４Ｂは、表示パネル１００が載置されるステージ４１ＢをＹ１方向に搬送する。したがって、第２キャリッジ４Ｂにおける第１方向は、Ｙ１方向である。図７に示すように、第２載置部３４Ｂは、第１載置部３１のＹ１方向の側に位置する。第１載置部３１および第２載置部３４Ｂは、第２キャリッジ４Ｂの搬送方向である第１方向（Ｙ１方向）に沿った方向に配置されている。すなわち、第１載置部３１および第２載置部３４Ｂは、第２キャリッジ４Ｂに沿ってＹ軸方向に並んでいる。

【0074】

本形態では、第１キャリッジ４Ａにより表示パネル１００がＹ２方向（第１キャリッジ４Ａの第１方向）に搬送されるため、第１載置部３１と第２載置部３４ＡとのＹ２方向の間隔を大きくすることができる。同様に、第２キャリッジ４Ｂにより表示パネル１００がＹ１方向（第２キャリッジ４Ｂの第１方向）に搬送されるため、第１載置部３１と第２載置部３４ＢとのＹ１方向の間隔を大きくすることができる。このため、メンテナンス性を向上させるなどの目的で、第１載置部３１と第２載置部３４との第１方向に沿った方向の間隔を大きくしても、キャリッジ４により表示パネル１００が第１方向に搬送されるため、第１ロボット２が大型化することを抑制できる等、載置部のレイアウトによって搬送ロ
ボットが大型化することを抑制することができる。

【0075】

（他の実施形態）
第２実施形態では、第１載置部３１は１つ配置されていたが、２つ以上配置される構成であってもよい。また、第２載置部３４Ａは、第１載置部３１のＹ２方向の側に位置し、第２載置部３４Ｂは、第１載置部３１のＹ１方向の側に位置していたが、第２載置部３４Ａおよび第２載置部３４Ｂは、第１載置部３１の同じ側に位置してもよい。この場合は、キャリッジ４および第２ロボット５は、それぞれ１つでよい。

【符号の説明】

【0076】

１…搬送システム、２…第１ロボット、３Ａ…第１排出機構、３Ｂ…第２排出機構、４…キャリッジ、４Ａ…第１キャリッジ、４Ｂ…第２キャリッジ、５、５Ａ、５Ｂ…第２ロボット、９…搬入機構、１０…トレイ、２１…ヘッド、２２…Ｙ軸搬送部、２３…Ｘ軸搬送部、３１、３１Ａ、３１Ｂ…第１載置部、３２…第１トレイ供給機構、３３…第１トレイ送出機構、３４、３４Ａ、３４Ｂ…第２載置部、３５…第２トレイ供給機構、３６…第２トレイ送出機構、３７…分離機構、３８…ステージ、３９…積上機構、４１…ステージ、４２…搬送部、５１…ヘッド、５２…Ｙ軸搬送部、５３…Ｘ軸搬送部、５４…保持部、６１…台車、６２…トレイ搬送部、６３…移動部、９１…ステージ、９２…搬送部、１００…表示パネル、３１１…支持部、３１２…位置調整部、３１３…開口部、３３１…ベルトコンベア、３７１…第１爪部、３７１Ａ…爪部分、３７２…第２爪部、３７２Ａ…爪部分、３７３…分離爪部、３７３Ａ…爪部分、３７４…トレイ検出センサ、３８１…移動機構、３９１…第１爪部、３９１Ａ…爪部分、３９２…第２爪部、３９２Ａ…下爪部分、３９２Ｂ…上爪部分、６１１…ベルトコンベア、６１２…リフト、６１３…連結部、６２１…ローラ部、６２２…開口部、６２３Ａ、６２３Ｂ…トレイストッパ、６２４Ａ、６２４Ｂ…仕切り板、６２５Ａ、６２５Ｂ…シリンダ、６２６Ａ、６２６Ｂ…トレイ検出センサ、６３１…ステージ、６３２…駆動部、６３３…リフト、６３４…ガイド部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】