発明の名称 学習装置、検査装置、アライメント装置および学習方法
出願人 株式会社SCREENホールディングス (識別番号 207551)
特許公開件数ランキング 60 位(412件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 70 位(315件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7445057
公報発行日 2024年3月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7445057
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