特許 7445496 フィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-28

(45)【発行日】2024-03-07

(54)【発明の名称】フィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具

(51)【国際特許分類】

   F01D 25/00 20060101AFI20240229BHJP

   F01D 5/20 20060101ALI20240229BHJP

   F01D 11/02 20060101ALI20240229BHJP

   G01B 11/00 20060101ALI20240229BHJP

【ＦＩ】

F01D25/00 V

F01D25/00 X

F01D5/20

F01D11/02

G01B11/00 B

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020065281

(22)【出願日】2020-03-31

(65)【公開番号】P2021161961

(43)【公開日】2021-10-11

【審査請求日】2022-12-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000006208

【氏名又は名称】三菱重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100162868

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 英輔

(74)【代理人】

【識別番号】100161702

【弁理士】

【氏名又は名称】橋本 宏之

(74)【代理人】

【識別番号】100189348

【弁理士】

【氏名又は名称】古都 智

(74)【代理人】

【識別番号】100196689

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 康一郎

(72)【発明者】

【氏名】水見 俊介

(72)【発明者】

【氏名】クロキ ラミレス ホセ

(72)【発明者】

【氏名】石橋 光司

(72)【発明者】

【氏名】小寺 寿一

(72)【発明者】

【氏名】熊谷 理

(72)【発明者】

【氏名】関原 傑

【審査官】藤原 弘

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１３２７０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１２０２２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－０８０００５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３００４７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０３０１６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６７０７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－０８６６５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第５９０８１４７（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２０１４－１３７２７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６７０７９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０１Ｄ ２５／００

Ｇ０１Ｂ １１／００

Ｇ０１Ｃ １５／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるとともに、前記軸線の延びる方向に配列された複数のシールフィンのうち、少なくとも１つの先端に、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面を有する冶具を取り付ける冶具取付工程と、
レーザーによって前記計測面を走査することで、前記軸線から前記計測面までの距離を取得する第一計測工程と、
前記計測面までの距離に、前記冶具の径方向の寸法を加算することで、前記軸線から前記シールフィンの先端までの距離を算出する第一算出工程と、
を含み、
前記冶具は、
前記軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びる前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟む保持部と、
該保持部の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面が形成された本体部と、
を有し、
前記保持部には、前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝が形成され、該溝では、径方向外側から内側に向かうに従って、前記軸線方向の寸法が次第に減少しているフィン先端位置の計測方法。

【請求項2】

レーザーによって前記シールフィン同士の間の底面を走査することで、前記軸線から前記底面までの距離を取得する第二計測工程と、
前記底面までの距離から、前記シールフィンの先端までの距離を減算することで、前記シールフィンの径方向における寸法を算出する第二算出工程と、
をさらに含む請求項１に記載のフィン先端位置の計測方法。

【請求項3】

前記第一計測工程では、径方向に対する前記冶具の傾き角度をさらに計測するとともに、該傾き角度に基づいて、前記軸線から前記計測面までの距離を補正する請求項１又は２に記載のフィン先端位置の計測方法。

【請求項4】

軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるとともに、前記軸線の延びる方向に配列された複数のシールフィンのうち、少なくとも１つの先端に取り付けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面を有する冶具と、
前記計測面をレーザーによって走査することで、前記軸線から前記計測面までの距離を取得する計測部と、
前記計測面までの距離に、前記冶具の径方向の寸法を加算することで、前記軸線から前記シールフィンの先端までの距離を算出する演算部と、
を備え、
前記冶具は、
前記軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるシールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟む保持部と、
該保持部の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面が形成された本体部と、
を有し、
前記保持部には、前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝が形成され、該溝では、径方向外側から内側に向かうに従って、前記軸線方向の寸法が次第に減少しているフィン先端位置の計測システム。

【請求項5】

前記計測部は、レーザーによって前記シールフィン同士の間の底面を走査することで、前記軸線から前記底面までの距離をさらに取得し、
前記演算部は、前記底面までの距離から、前記シールフィンの先端までの距離を減算することで、前記シールフィンの径方向における寸法をさらに算出する請求項４に記載のフィン先端位置の計測システム。

【請求項6】

前記計測部は、径方向に対する前記冶具の傾き角度をさらに計測するとともに、該傾き角度に基づいて、前記軸線から前記計測面までの距離を補正する請求項４又は５に記載のフィン先端位置の計測システム。

【請求項7】

軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるシールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟む保持部と、
該保持部の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面が形成された本体部と、
を有し、
前記保持部には、前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝が形成され、該溝では、径方向外側から内側に向かうに従って、前記軸線方向の寸法が次第に減少しているフィン先端位置の計測用冶具。

【請求項8】

前記計測面には、レーザーに対して他の部分と異なる反射態様を示す複数の検出部が形成されている請求項７に記載のフィン先端位置の計測用冶具。

【請求項9】

前記本体部の周方向における中央部は、前記軸線方向における寸法が周方向における両端部よりも小さい請求項７又は８に記載のフィン先端位置の計測用冶具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、フィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば蒸気タービンでは、回転体であるロータと、静止体であるノズルリングとの間に、蒸気の漏れをシールするためのシールフィンが設けられている。シールフィンは、経年使用に伴って摩耗したり倒れたりすることがある。その結果、シールフィンの先端とロータや翼環とのクリアランスが変化し、蒸気タービンの性能に影響が及ぶ可能性がある。このため、シールフィンの状態を定期的に検査する必要がある。また、未使用のシールフィンでもタービンの組立時にはクリアランスの調整が必要となる場合がある。このようなシールフィンのクリアランスを評価するための方法として、下記特許文献１に記載された技術が知られている。

【0003】

特許文献１に記載された評価方法では、車室を分解した状態で、シールフィンの周方向端部にレーザーを反射するリフレクタを取り付け、当該リフレクタにレーザーを照射する。これにより、鉛直方向及び水平方向におけるシールフィンのクリアランスが計測できるとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－１２０１６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記のようなリフレクタは、鋭利なシールフィンの先端に安定的に取り付けることが難しい。その結果、計測の精度が損なわれる虞がある。また、多数のリフレクタを都度配置し直して、計測対象の領域全体にかけて複数回の計測を行う必要があることから、作業時間が長期化する虞もある。

【0006】

本開示は上記課題を解決するためになされたものであって、容易かつ高精度に行うことが可能なフィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本開示に係るフィン先端位置の計測方法は、軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるとともに、前記軸線の延びる方向に配列された複数のシールフィンのうち、少なくとも１つの先端に、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面を有する冶具を取り付ける冶具取付工程と、レーザーによって前記計測面を走査することで、前記軸線から前記計測面までの距離を取得する第一計測工程と、前記計測面までの距離に、前記冶具の径方向の寸法を加算することで、前記軸線から前記シールフィンの先端までの距離を算出する第一算出工程と、を含み、前記冶具は、前記軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びる前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟む保持部と、該保持部の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面が形成された本体部と、を有し、前記保持部には、前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝が形成され、該溝では、径方向外側から内側に向かうに従って、前記軸線方向の寸法が次第に減少している。

【0008】

本開示に係るフィン先端位置の計測システムは、軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるとともに、前記軸線の延びる方向に配列された複数のシールフィンのうち、少なくとも１つの先端に取り付けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面を有する冶具と、前記計測面をレーザーによって走査することで、前記軸線から前記計測面までの距離を取得する計測部と、前記計測面までの距離に、前記冶具の径方向の寸法を加算することで、前記軸線から前記シールフィンの先端までの距離を算出する演算部と、を備え、前記冶具は、前記軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるシールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟む保持部と、該保持部の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面が形成された本体部と、を有し、前記保持部には、前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝が形成され、該溝では、径方向外側から内側に向かうに従って、前記軸線方向の寸法が次第に減少している。

【0009】

本開示に係るフィン先端位置の計測用冶具は、軸線に対する径方向に突出し、周方向に延びるシールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟む保持部と、該保持部の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線方向に広がる平坦状の計測面が形成された本体部と、を有し、前記保持部には、前記シールフィンの先端を前記軸線方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝が形成され、該溝では、径方向外側から内側に向かうに従って、前記軸線方向の寸法が次第に減少している。

【発明の効果】

【0010】

本開示のフィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具によれば、容易かつ高精度に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測システムの構成を示す図である。

【図2】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測用冶具の構成を示す側面図である。

【図3】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測用冶具の構成を示す上面図である。

【図4】図３のＩＶ－ＩＶ線における断面図である。

【図5】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測用冶具をシールフィンに取り付けた状態を示す説明図である。

【図6】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測用冶具が傾いた状態でシールフィンに取り付けられている場合の計測の様子を示す説明図である。

【図7】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測方法のフローチャートである。

【図8】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測用冶具の変形例を示す側面図である。

【図9】本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測用冶具のさらなる変形例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（フィン先端位置の計測システムの構成）
以下、本開示の実施形態に係るフィン先端位置の計測システム１００（以下、単に「計測システム１００」と称する。）について、図１から図４を参照して説明する。図１に示すように、計測システム１００は、蒸気タービンのシールフィン９０の先端９０ｔの位置を計測するための装置である。シールフィン９０は、図示しない車室（ノズルリングの内周面）と、ロータの外周面との間の蒸気の漏れをシールするために設けられている。シールフィン９０は、軸線Ｏに対する径方向内側に突出し、周方向に延びている。また、シールフィン９０は、軸線Ｏ方向に複数配列されている。シールフィン９０は、車室側から先端９０ｔ側に向かうに従って、軸線Ｏ方向の寸法が次第に減少することで、三角形の断面形状を有している。なお、ロータの外周面に設けられたシールフィン（つまり、動翼側フィン）に後述する計測システム１００を適用することも可能である。

【0013】

計測システム１００は、冶具１（計測用冶具）と、計測部２と、演算部３と、を備えている。冶具１は、シールフィン９０の先端９０ｔに取り付けられる。計測部２は、冶具１に対してレーザーを照射する（走査する）ことで、軸線Ｏから冶具１の計測面１２Ｓ（後述）までの距離を計測する。
より具体的には、計測部２は、開放された状態の車室の近傍に配置されたレーザートラッカ、及び、任意の箇所に移動可能なラインスキャナとから構成されている。
レーザートラッカは全体座標系における仮想軸線の位置座標（上記軸線Ｏの座標）を予
め把握している。レーザートラッカは、任意の位置のラインスキャナの位置座標を検出可能とされている。
ラインスキャナは、当該ラインスキャナを基準とした座標系での冶具１の位置座標 (距離画像)を検出可能とされている。
そして、レーザートラッカは、全体座標系でのラインスキャナの位置座標、及び、ラインスキャナを基準とした座標系での冶具１の位置座標に基づいて、上記距離画像のデータ処理を行うことで仮想軸線から冶具１までの距離を取得する。より具体的には、ラインスキャナで計測した点群から、主として輝度情報をもとに冶具１の検出部Ｄ（後述）に対応する点群を抽出し、当該点群の各座標の重心位置を計算することで、冶具１としての位置座標を算出する。
演算部３は、この距離の値に、冶具１の径方向の寸法を加算することで、軸線Ｏからシールフィン９０の先端９０ｔまでの距離を算出する。

【0014】

（冶具の構成）
図２に示すように、冶具１は、保持部１０と、本体部１２と、クリップ部１３と、を有している。保持部１０には、シールフィン９０の先端９０ｔを軸線Ｏ方向の両側から挟むように、径方向内側に向かって凹む溝１０Ａが形成されている。また、図４に示すように、溝１０Ａは、冶具１の高さ方向（シールフィン９０に取り付けられた状態における径方向）の下方から上方に向かうに従って、軸線Ｏ方向の寸法が次第に減少している。冶具１は、溝１０Ａの底部がシールフィン９０の先端９０ｔに一致するように取り付けられる。

【0015】

図２に示すように、本体部１２は、保持部１０に一体に形成された板状をなしている。本体部１２における保持部１０とは反対側を向く面は、レーザーが照射される計測面１２Ｓとされている。計測面１２Ｓは平坦状をなしており、シールフィン９０の高さ方向を法線とする。計測面１２Ｓ上には、等間隔をあけて複数（３つ）の凹み（検出部Ｄ）が形成されている。検出部Ｄは、計測面１２Ｓよりも低い面粗さを呈するように研磨されている。これにより、検出部Ｄに照射されたレーザーは、計測面１２Ｓとは異なる反射態様（つまり、ノイズ成分がより小さい反射の態様）を示す。なお、他の例として、上記の凹みを形成せずに、鏡面状のステッカーを計測面１２Ｓに貼付することで検出部Ｄとすることも可能である。

【0016】

また、図３に示すように、本体部１２の長手方向（シールフィン９０に取り付けられた状態における周方向）における中央部１２Ｃは、当該長手方向における端部１２ｔに比べて、短手方向（シールフィン９０に取り付けられた状態における軸線Ｏ方向）における寸法が小さい。言い換えれば、中央部１２Ｃには「くびれ」が形成されている。

【0017】

図２に示すように、クリップ部１３は、本体部１２の下面（計測面１２Ｓとは反対側を向く面）から下方に向かって突出する板状をなしている。クリップ部１３は、シールフィン９０を軸線Ｏ方向両側から弾性力によって挟持する。クリップ部１３は、周方向に間隔をあけて一対設けられている。

【0018】

（フィン先端位置の計測方法）
続いて、上記の計測システム１００を用いたフィン先端位置の計測方法について、図５から図７を参照して説明する。図７に示すように、この計測方法は、冶具取付工程Ｓ１と、第一計測工程Ｓ２と、第一算出工程Ｓ３と、第二計測工程Ｓ４と、第二算出工程Ｓ５と、を含む。

【0019】

図５に示すように、冶具取付工程Ｓ１では、上述の冶具１をシールフィン９０の先端９０ｔに取り付ける。具体的には、クリップ部１３によってシールフィン９０を軸線Ｏ方向両側から挟持させる。この時、溝１０Ａの底部は先端９０ｔに当接した状態となる。次いで、第一計測工程Ｓ２では、上述の計測部２から冶具１に向かってレーザーＬを照射する。これにより、図示しないロータの仮想中心線である軸線Ｏから検出部Ｄまでの距離Ｌｘが計測される。なお、図５中の破線Ｈは、軸線Ｏの高さ位置を模式的に示している。この第一計測工程Ｓ２では、３つの検出部Ｄに対してそれぞれ軸線Ｏからの距離が計測され、これら３つの計測値の平均値が上述の距離Ｌｘとして取得されることが望ましい。具体的には、後述するように冶具１の外形状が、中央部と両端部とで互いに異なっていることから、レーザーを走査して計測結果（反射像）を得る際には、３つの検出部Ｄのうち中央部に位置する検出部Ｄの位置が計測結果から判別され、これに基づいて他の２の検出部Ｄの位置も特定される。これら３つの計測結果から平均値が算出される。

【0020】

第一算出工程Ｓ３では、演算部３が、上述の距離Ｌｘに対して、予め得られている冶具１の径方向における寸法Ｌａを加算する。なお、寸法Ｌａは、検出部Ｄの底面から溝１０Ａの底部までの寸法を指す。上述のように溝１０Ａの底部はシールフィン９０の先端９０ｔに当接している。したがって、距離Ｌｘと寸法Ｌａを加算することで、軸線Ｏから先端９０ｔまでの距離が得られる。

【0021】

第二計測工程Ｓ４では、複数のシールフィン９０同士の間の底面９０ｂをレーザーによって走査することで、軸線Ｏから当該底面９０ｂまでの距離Ｌｙをさらに計測する。この時、レーザーは、本体部１２の中央部１２Ｃの側方から底面９０ｂに向かって照射される。つまり、中央部１２Ｃが上記のようにくびれていることから、レーザーの経路を妨げることなく、底面９０ｂに到達させることが可能である。より具体的には、上記のくびれが形成されていることによって、例えば冶具１の取り付け姿勢が軸線Ｏ方向に傾いている場合や、ラインスキャナが冶具１に正対しておらずに計測面１２Ｓにレーザーが斜めに照射されている場合、シールフィン９０同士の間隔が比較的に小さい場合であっても、底面９０ｂが冶具１の死角になってしまう可能性を低減することができる。

【0022】

第二算出工程Ｓ５では、軸線Ｏから底面９０ｂまでの距離Ｌｙから、シールフィン９０の先端９０ｔまでの距離Ｌｘ＋Ｌａを減算する。これにより、シールフィン９０の径方向における寸法が算出される。この寸法を、例えばシールフィン９０の設計値と比較することで、当該シールフィン９０の摩耗量が取得される。

【0023】

なお、図６に示すように、冶具１が径方向に対して傾いた状態で取り付けられる場合も考えられる。この場合、第一計測工程Ｓ２では、３つの検出部Ｄによる計測結果を比較することで、傾き角度θが計測される。次いで、第一算出工程Ｓ３では、演算部３は、上述の冶具１の径方向における寸法Ｌａの傾き角度θに対する余弦の値（Ｌｃ＝ｃｏｓθ）を算出する。さらに、演算部３は、このＬｃの値に上述の距離Ｌｘを加算することで、冶具１の傾きの影響が補正された値を算出する。

【0024】

以上の各工程が、シールフィン９０における周方向の任意の位置で複数回繰り返される。これにより、シールフィン９０の全体にわたって先端９０ｔの位置が計測される。ここで、複数の冶具１を用意し、これら複数の冶具１を設置して同時に計測すれば、計測回数を減らすことができる。

【0025】

（作用効果）
上記方法、及び構成によれば、冶具１の計測面１２Ｓを当該冶具１の計測面１２Ｓの法線方向と概ね一致する方向からレーザーによって走査することで、まずロータの中心線である軸線Ｏから当該計測面１２Ｓ（検出部Ｄ）までの距離Ｌｘを計測する。次いで、当該検出部Ｄまでの距離に、冶具１の径方向の寸法Ｌａを加算することで、軸線Ｏからシールフィン９０の先端９０ｔまでの距離を算出する。ここで、上記のような計測面１２Ｓ（検出部Ｄ）を有する冶具１を用いない場合、鋭利なシールフィン９０の先端９０ｔにレーザーを正確に照射することは難しく、先端９０ｔを計測対象とすることは容易ではない。リフレクタをシールフィン９０の先端９０ｔに取り付けることで照射は可能になるが、計測したい鋭利なシールフィン９０の先端９０ｔの位置と、レーザーによって実際に計測される位置との相対位置関係を正確に設定、又は把握できるようにリフレクタを配置することは特に難しいため、精度の確保が困難であった。しかしながら、上記方法によれば、一定の面積を有し、シールフィン９０の高さ方向を法線とする計測面１２Ｓにレーザーを当該計測面１２Ｓの概ね法線方向から照射（走査）することで、ボルト等の車室構造によってレーザーが遮られることがなくなることに加えて、レーザーの照射位置を必要以上に考慮することなく、シールフィン９０の先端位置を確実に捉えることができ、計測したい位置と、実際の計測位置とのずれを容易かつ正確に補正することができる。また、上記方法では、検出部Ｄの反射性と、寸法Ｌａの精度さえ管理すれば、冶具１の他の部分の製作精度が比較的粗くても、十分に精度の高い計測を行うことができる。言い換えれば、従来のリフレクタと比較して、管理すべき寸法が少なく、製造コストを低く抑えることができる。このため、予め多数の冶具１を用意することが容易になる。その結果、一度に多数の冶具１を用いて計測を行うことが可能となり、計測回数の削減（つまり、計測時間の短縮）を実現することができる。

【0026】

さらに、上記方法、及び構成によれば、シールフィン９０同士の間の底面をレーザー走査することによって、軸線Ｏから底面までの距離を計測する。この距離から、シールフィン先端と軸線Ｏとの間の距離（Ｌｘ＋Ｌａ）を減算することで、シールフィン９０の径方向における寸法を算出することができる。この寸法を例えばシールフィン９０の設計値と比較することで、当該シールフィン９０の摩耗量を得ることができる。

【0027】

加えて、上記方法、及び構成によれば、冶具１が傾いた状態で取り付けられて、計測面１２Ｓの法線方向がシールフィン９０の高さ方向と正確に一致していない場合であっても、当該傾きの角度θに基づいて軸線Ｏから計測面１２Ｓ（検出部Ｄ）までの距離の実測値を補正することができる。つまり、冶具１をシールフィンに取り付けるに当たって、必要以上にその姿勢や角度を考慮することなく、容易に計測を行うことができる。

【0028】

また、上記の冶具１によれば、レーザーに対する反射態様が他の部分と異なる検出部Ｄが形成されていることから、レーザーによってより容易かつ高精度に検出部Ｄの位置を検出することができる。また、このような検出部Ｄが複数形成されていることから、複数の検出結果を平均することで、より高い精度のもとシールフィン９０の先端位置を計測することができる。

【0029】

さらに、上記の冶具１によれば、本体部１２の中央部１２Ｃの寸法が両端部１２ｔよりも小さいことから、レーザーを走査した際に、本体部１２の中央部１２Ｃの位置（つまり、複数の検出部Ｄのうち、中央に位置する１つ）を特定することができる。例えば仮に複数の検出部Ｄの一部が検出できなかった場合でも、残りの検出部Ｄのどれが検出できたか識別することができる。その結果、計測環境に多少の不具合があっても計測結果を得ることができ、当該データの信頼度を考慮することもできる。

【0030】

（その他の実施形態）
以上、本開示の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、冶具１の変形例として、図８に示す構成を採ることも可能である。同図の例では、冶具１ｂでは、保持部１４の形状が上記実施形態とは異なっている。また、冶具１ｂは、上述のクリップ部１３を有していない。保持部１４の端縁は、シールフィン９０の先端の湾曲形状に合わせて、湾曲している。なお、図８の例では、車室の内周側に設けられるシールフィン９０に対応するように、保持部１４は、下方に凸となる湾曲形状を有している。一方で、ロータの外周面に設けられるシールフィンに適用する場合には、図９に示すように、保持部１４は、上方に凸となる湾曲形状を有していることが望ましい。このような構成によれば、冶具１ｂをより一層簡素化することができるため、冶具１ｂの製造コストを削減することができる。

【0031】

＜付記＞
各実施形態に記載のフィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具は、例えば以下のように把握される。

【0032】

（１）第１の態様に係るフィン先端位置の計測方法は、軸線Ｏに対する径方向に突出し、周方向に延びるとともに、前記軸線Ｏの延びる方向に配列された複数のシールフィン９０のうち、少なくとも１つの先端９０ｔに、周方向及び前記軸線Ｏ方向に広がる平坦状の計測面１２Ｓを有する冶具１を取り付ける冶具取付工程Ｓ１と、レーザーによって前記計測面１２Ｓを走査することで、前記軸線Ｏから前記計測面１２Ｓまでの距離Ｌｘを計測する第一計測工程Ｓ２と、前記計測面１２Ｓまでの距離Ｌｘに、前記冶具１の径方向の寸法Ｌａを加算することで、前記軸線Ｏから前記シールフィン９０の先端９０ｔまでの距離を算出する第一算出工程Ｓ３と、を含む。

【0033】

上記方法によれば、一定の面積を有する計測面１２Ｓにレーザーを照射（走査）することで、レーザーの照射位置を必要以上に考慮することなく、シールフィン９０の先端位置を容易に得ることができる。

【0034】

（２）第２の態様に係るフィン先端位置の計測方法は、レーザーによって前記シールフィン９０同士の間の底面９０ｂを走査することで、前記軸線Ｏから前記底面９０ｂまでの距離Ｌｙを計測する第二計測工程Ｓ４と、前記底面９０ｂまでの距離Ｌｙから、前記シールフィン９０の先端９０ｔまでの距離Ｌｘ＋Ｌａを減算することで、前記シールフィン９０の径方向における寸法を算出する第二算出工程Ｓ５と、をさらに含む。

【0035】

上記方法によれば、シールフィン９０同士の間の底面９０ｂをレーザー走査することによって、軸線Ｏから底面９０ｂまでの距離Ｌｙを計測する。この距離Ｌｙから、シールフィン先端と軸線Ｏとの間の距離Ｌｘ＋Ｌａを減算することで、シールフィン９０の径方向における寸法を算出することができる。

【0036】

（３）第３の態様に係るフィン先端位置の計測方法において、前記第一計測工程Ｓ２では、径方向に対する前記冶具１の傾き角度θをさらに計測するとともに、該傾き角度θに基づいて、前記軸線Ｏから前記計測面１２Ｓまでの距離を補正する。

【0037】

上記方法によれば、冶具１が傾いた状態で取り付けられている場合であっても、当該傾きの角度θに基づいて軸線Ｏから計測面１２Ｓまでの距離の実測値を補正することができる。

【0038】

（４）第４の態様に係るフィン先端位置の計測システム１００は、軸線Ｏに対する径方向に突出し、周方向に延びるとともに、前記軸線Ｏの延びる方向に配列された複数のシールフィン９０のうち、少なくとも１つの先端９０ｔに取り付けられ、周方向及び前記軸線Ｏ方向に広がる平坦状の計測面１２Ｓを有する冶具１と、前記計測面１２Ｓをレーザーによって走査することで、前記軸線Ｏから前記計測面１２Ｓまでの距離Ｌｘを計測する計測部２と、前記計測面１２Ｓまでの距離Ｌｘに、前記冶具１の径方向の寸法Ｌａを加算することで、前記軸線Ｏから前記シールフィン９０の先端９０ｔまでの距離を算出する演算部３と、を備える。

【0039】

上記構成によれば、一定の面積を有する計測面１２Ｓにレーザーを照射（走査）することで、レーザーの照射位置を必要以上に考慮することなく、シールフィン９０の先端位置を容易に得ることができる。

【0040】

（５）第５の態様に係るフィン先端位置の計測システム１００では、前記計測部２は、レーザーによって前記シールフィン９０同士の間の底面９０ｂを走査することで、前記軸線Ｏから前記底面９０ｂまでの距離Ｌｙをさらに計測し、前記演算部３は、前記底面９０ｂまでの距離Ｌｙから、前記シールフィン９０の先端９０ｔまでの距離Ｌｘ＋Ｌａを減算することで、前記シールフィン９０の径方向における寸法をさらに算出する。

【0041】

上記構成によれば、計測部２が、シールフィン９０同士の間の底面９０ｂをレーザー走査することによって、軸線Ｏから底面９０ｂまでの距離Ｌｙを計測する。演算部３では、この距離Ｌｙから、シールフィン先端と軸線Ｏとの間の距離Ｌｘ＋Ｌａを減算することで、シールフィン９０の径方向における寸法を算出することができる。

【0042】

（６）第６の態様に係るフィン先端位置の計測システムでは、前記計測部２は、径方向に対する前記冶具１の傾き角度θをさらに計測するとともに、該傾き角度θに基づいて、前記軸線Ｏから前記計測面１２Ｓまでの距離を補正する。

【0043】

上記構成によれば、冶具１が傾いた状態で取り付けられている場合であっても、当該傾きの角度θに基づいて軸線Ｏから計測面１２Ｓまでの距離の実測値を補正することができる。

【0044】

（７）第７の態様に係るフィン先端位置の計測用冶具（冶具１）は、軸線Ｏに対する径方向に突出し、周方向に延びるシールフィン９０の先端９０ｔを前記軸線Ｏ方向の両側から挟む保持部１０と、該保持部１０の径方向内側に設けられ、周方向及び前記軸線Ｏ方向に広がる平坦状の計測面１２Ｓが形成された本体部１２と、を有する。

【0045】

上記構成によれば、保持部１０によってシールフィン９０の先端９０ｔを挟むように配置することで、冶具１を当該先端９０ｔに対して容易かつ安定的に保持することができる。さらに、本体部１２に一定の面積を有する平坦状の計測面１２Ｓが形成されている。これにより、レーザーの照射精度を必要以上に考慮することなく、より容易かつ高精度にシールフィン９０の先端位置を計測することができる。

【0046】

（８）第８の態様に係るフィン先端位置の計測用冶具（冶具１）では、前記計測面１２Ｓには、レーザーに対して他の部分と異なる反射態様を示す複数の検出部Ｄが形成されている。

【0047】

上記構成によれば、レーザーに対する反射態様が他の部分と異なる検出部Ｄが形成されていることから、レーザーによってより容易かつ高精度に検出部Ｄの位置を検出することができる。また、このような検出部Ｄが複数形成されていることから、複数の検出結果を平均することで、より高い精度のもとシールフィン９０の先端位置を計測することができる。

【0048】

（９）第９の態様に係るフィン先端位置の計測用冶具（冶具１）では、前記本体部１２の周方向における中央部１２Ｃは、前記軸線Ｏ方向における寸法が周方向における両端部１２ｔよりも小さい。

【0049】

上記構成によれば、本体部１２の中央部１２Ｃの寸法が両端部１２ｔよりも小さいことから、レーザーを走査した際に、中央部１２Ｃの位置（つまり、複数の検出部Ｄのうち、中央に位置する１つ）を特定することができる。また、レーザーの経路を妨げることなく、当該レーザーを底面９０ｂに到達させることができる。

【符号の説明】

【0050】

１００ 計測システム
１，１ｂ 冶具
２ 計測部
３ 演算部
１０，１４ 保持部
１０Ａ 溝
１２ 本体部
１２Ｃ 中央部
１２Ｓ 計測面
１２ｔ 端部
１３ クリップ部
９０ シールフィン
９０ｂ 底面
９０ｔ 先端
Ｄ 検出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】