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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-29
(45)【発行日】2024-03-08
(54)【発明の名称】流体検出システム及びモジュール
(51)【国際特許分類】
G01F 1/684 20060101AFI20240301BHJP
【ＦＩ】
G01F1/684 A
G01F1/684 B
【請求項の数】
16
(21)【出願番号】P 2020109986
(22)【出願日】2020-06-25
(65)【公開番号】P2022007192
(43)【公開日】2022-01-13
【審査請求日】2023-03-13
(73)【特許権者】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002527
【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】長坂 憲士朗
【審査官】羽飼 知佳
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第２０２０／００３３３７６（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特表２００８－５１１８３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１４８４４８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２００３－５３２０９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００５／１２１７１３（ＷＯ，Ａ２）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｆ １／６８－１／６９９
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
外部流路が連結される第１開口及び第２開口を有する内部流路を含む流路ユニットと、前記内部流路を流れる流体の流れを検出するセンサユニットと、
前記流路ユニットと前記センサユニットとを相互に固定するロック構造と、を備え、
前記センサユニットは、前記流路ユニットから分離可能に前記流路ユニットに取り付けられ、
前記ロック構造は、
前記センサユニットに設けられた第１引掛部と、
前記流路ユニットに設けられた第２引掛部と、を有し、
前記第１引掛部は、
前記センサユニットにおける前記流路ユニットとの対向面から突出した弾性片と、
前記弾性片の先端に設けられた爪部と、を有し、
前記第２引掛部は、
前記流路ユニットにおける側面と、前記流路ユニットにおける前記センサユニットとは反対側の裏面とで形成される角部であり、
前記ロック構造は、前記爪部が前記角部に引っ掛かることで、前記流路ユニットと前記センサユニットとを相互に固定し、
前記ロック構造が解除されることで、前記流路ユニットと前記センサユニットが相互に分離可能になる、
流体検出システム。
【請求項2】
前記センサユニットと前記流路ユニットとの間で相互に押付力を作用させる押付機構を備える、請求項１に記載の流体検出システム。
【請求項3】
前記押付機構は、前記押付力を調整可能に構成されている、請求項２に記載の流体検出システム。
【請求項4】
前記流路ユニットは、ガラス又はポリメタクリル酸メチル樹脂で形成されている、請求項１～３の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項5】
前記流路ユニットは、複数の層素材が積層された構造を有する、請求項１～４の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項6】
前記流路ユニットの表面に収容凹部が設けられ、前記収容凹部には、前記センサユニットの少なくとも一部が収容される、
請求項１～５の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項7】
前記センサユニットの前記少なくとも一部は、前記流体の流れを検出する回路部であり、前記収容凹部の平面視で、前記収容凹部は、前記内部流路の少なくとも一部に重なる、請求項６に記載の流体検出システム。
【請求項8】
前記流路ユニットには、前記収容凹部の内部から外側に伸びる溝部を有する、請求項６又は７に記載の流体検出システム。
【請求項9】
前記収容凹部は、前記センサユニットの前記少なくとも一部に嵌り合う形状である、請求項６～８の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項10】
前記流路ユニットと前記センサユニットとの隙間を埋める介在部材を備える、請求項１～９の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項11】
前記介在部材の熱伝導率は、空気の熱伝導率よりも高い、請求項１０に記載の流体検出システム。
【請求項12】
前記センサユニットは、熱式の流量計である、請求項１～１１の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項13】
前記流路ユニット及び前記センサユニットのうちの一方には、他方と対向する第１対向面に突部が設けられ、前記流路ユニット及び前記センサユニットのうちの他方には、前記一方と対向する第２対向面に、前記突部に嵌り合う嵌合部が設けられている、
請求項１～１２の何れか１項に記載の流体検出システム。
【請求項14】
前記突部は、前記第１対向面の面内の回転に対して非対称な配置で複数設けられ、前記嵌合部は、前記複数の突部に対応するように複数設けられている、
請求項１３に記載の流体検出システム。
【請求項15】
請求項１～１４の何れか１項に記載の流体検出システムの前記流路ユニットとして用いられるモジュール。
【請求項16】
請求項１～１４の何れか１項に記載の流体検出システムの前記センサユニットとして用いられるモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、一般に、流体検出システム及びモジュールに関する。より詳細には、本開示は、外部流路と連結される内部流路を流れる流体の流れを検出する流体検出システム、及び流体検出システムを構成する流路ユニット又はセンサユニットとして用いられるモジュールに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１に記載の液体用フローセンサ（流体検出システム）は、半導体モジュール（センサモジュール）と、パイプ（流路モジュール）とを備える。半導体モジュールは、温度センサ及び熱源を有する。半導体モジュールは、パイプの外面に糊状の硬化体によって固定されている。温度センサ及び熱源は、パイプの外面と熱的接触している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特表２００３－５３２０９９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の液体用のフローセンサでは、半導体モジュールは、硬化体によってパイプの外面に固定されている。このため、パイプ及び半導体モジュールの一方のみを交換できず、パイプ及び半導体モジュールの両方をまとめて交換する必要がある。
【0005】
本開示は上記事由に鑑みたものであり、その目的は、流路ユニット及びセンサモジュールの一方を残して他方のみを交換可能な流体検出システム、及びその流体検出システムを構成する流路ユニット又はセンサユニットとして用いられるモジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係る流体検出システムは、流路ユニットと、センサユニットと、ロック構造と、を備える。前記流路ユニットは、外部流路が連結される第１開口及び第２開口を有する内部流路を含む。前記センサユニットは、前記内部流路を流れる流体の流れを検出する。前記ロック構造は、前記流路ユニットと前記センサユニットとを相互に固定する。前記センサユニットは、前記流路ユニットから分離可能に前記流路ユニットに取り付けられる。前記ロック構造は、第１引掛部と、第２引掛部と、を有する。前記第２引掛部は、前記センサユニットに設けられている。前記第２引掛部は、前記流路ユニットに設けられている。前記第１引掛部は、弾性片と、爪部と、を有する。前記弾性片は、前記センサユニットにおける前記流路ユニットとの対向面から突出する。前記爪部は、前記弾性片の先端に設けられている。前記第２引掛部は、角部である。前記角部は、前記流路ユニットにおける側面と、前記流路ユニットにおける前記センサユニットとは反対側の裏面とで形成される。前記ロック構造は、前記爪部が前記角部に引っ掛かることで、前記流路ユニットと前記センサユニットとを相互に固定する。前記ロック構造が解除されることで、前記流路ユニットと前記センサユニットが相互に分離可能になる。
【0007】
本開示の一態様に係るモジュールは、前記流体検出システムの前記流路ユニットとして用いられる。
【0008】
本開示の一態様に係るモジュールは、前記流体検出システムの前記センサユニットとして用いられる。
【発明の効果】
【0009】
本開示によれば、流路ユニット及びセンサモジュールの一方を残して他方のみを交換可能である。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
（１）第１実施形態
（１－１）構成説明
以下、本実施形態の流体検出システム１について、図面を参照しながら説明する。下記の実施形態等において参照する図は、模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比は、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
（１－１）構成説明
以下、本実施形態の流体検出システム１について、図面を参照しながら説明する。下記の実施形態等において参照する図は、模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比は、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【0012】
図１に示すように、本実施形態に係る流体検出システム１は、２つの外部流路Ｇ１，Ｇ２の間を中継し、２つの外部流路Ｇ１，Ｇ２を流れる流体の流れ（流速、流量又は向き）を検出する。外部流路Ｇ１，Ｇ２は、例えばチューブである。検出対象の流体は、本実施形態では液体を想定するが、気体又はゲルであってもよい。ゲルとは、液体と固体の中間で半固形の状態の物質である。
【0013】
本実施形態に係る流体検出システム１は、例えば熱式の流量計である。熱式の流量計では、１０ナノリットル／分から１０ミリリットル／分の範囲で流量を測定可能である。特に熱式の流量計では、１０ナノリットル／分から１００マイクロリットル／分までの微小流量範囲で測定可能である。
【0014】
【0015】
流路ユニット２は、内部流路２１を形成する部材である。内部流路２１の直径は、例えば５００μｍ（マイクロメートル）である。内部流路２１は、２つの外部流路Ｇ１，Ｇ２の間を中継する流路であり、内部流路２１には、検出対象の流体（すなわち外部流路Ｇ１，Ｇ２を流れる流体）が流れる。すなわち、流路ユニット２は、内部流路２１が２つの外部流路Ｇ１，Ｇ２の間を中継することで、２つの外部流路Ｇ１，Ｇ２を流れる流体が内部流路２１を流れる構造になっている。
【0016】
流路ユニット２は、例えば、剛性を有する部材で形成されている。この結果、内部流路２１は、剛性を有するバルク流路を形成する。剛性を有する部材は、例えばガラス又はＰＭＭＡ（Poly Methyl Methacrylate：ポリメタクリル酸メチル樹脂）であるが、ガラス及びＰＭＭＡに限定されない。
【0017】
流路ユニット２は、例えば、両端に開口（第１開口２２及び第２開口２３）を有する筒状である。より詳細には、流路ユニット２の断面視外形は、例えば多角形（例えば５つの外面を有する５角形）であり、内部流路２１の断面視内形は、例えば円形である（図４参照）。上記の断面視とは、流路ユニット２の長手方向に直交する断面である。
【0018】
内部流路２１は、流路ユニット２の内部の空洞（筒孔）によって構成されており、第１開口２２と第２開口２３を有する。第１開口２２及び第２開口２３にはそれぞれ、外部流路Ｇ１，Ｇ２の端部が連結される。内部流路２１の両端の直径は、内部流路２１において開口（第１開口２２及び第２開口２３）から一定距離奥に入った所から開口に向かって漸次大きくなっている（図１参照）。これにより、外部流路Ｇ１，Ｇ２が連結し易くなっている。
【0019】
流路ユニット２は、センサ部３を収容する収容凹部２４を有する。収容凹部２４は、流路ユニット２の外面（例えば５つの外面のうちの１つの外面）から内部流路２１に向かって窪んでいる。収容凹部２４は、内部流路２１と繋がらないように設けられている。収容凹部２４の平面視で、収容凹部２４は、内部流路２１における長手方向の少なくとも一部と重なるように配置されている。なお、収容凹部２４の平面視とは、収容凹部２４を収容凹部２４の底面２４ａに直交する方向から見た状態である。
【0020】
収容凹部２４は、センサ部３と嵌り合う形状である。センサ部３は、センサユニット６のうちの収容凹部２４と嵌り合う部分である。より詳細には、収容凹部２４の平面視形状は、センサ部３の平面視形状と略同形同大である。収容凹部２４の深さは、センサ部３の厚さ以上の深さである。図１の例では、収容凹部２４の深さは、センサ部３の厚さと同じ寸法である。すなわち、図１の例では、収容凹部２４の形状は、センサ部３の形状（例えば直方体状）と略同形同大の形状である。
【0021】
センサ部３は、内部流路２１を流れる流体の流れを検出する回路部である。なお、流体の流れを検出するとは、流体の流速、流量、及び向き（流れる方向）のうちの少なくとも１つを検出することである。センサ部３は、熱式流量計用のセンサ部である。センサ部３は、発熱部３１と、複数（例えば２つ）の温度センサ３２，３３と、基部３４とを有する。
【0022】
基部３４は、発熱部３１及び２つの温度センサ３２，３３を保持する部材である。基部３４は、例えば樹脂によって直方体状に形成されている。発熱部３１及び２つの温度センサ３２，３３は、基部３４の一面３ａ（収容凹部２４の底面２４ａとの対向面）に設けられている。図１の例では、発熱部３１及び２つの温度センサ３２，３３はそれぞれ、表面を基部３４から露出して基部３４の上記の一面３ａに埋め込まれている。２つの温度センサ３２，３３は内部流路２１の長手方向に沿って並んでおり、発熱部３１は２つの温度センサ３２，３３の間に配置されている。
【0023】
発熱部３１は、通電することで発熱するヒータである。発熱部３１は、発熱することで、内部流路２１を流れる流体を加熱する。２つの温度センサ３２，３３は、発熱部３１によって加熱された流体の温度を測定し、測定結果を外部の処理部に出力する。外部の処理部は、２つの温度センサ３２，３３の測定結果に基づいて、発熱部３１によって加熱された流体における熱の拡散を測定し、この測定結果に基づいて流体の流れ（流速、流量及び向きの少なくとも１つ）を検出する。なお、外部の処理部は、流体検出システム１の外部に配置されることを想定するが、流体検出システム１の内部（例えばセンサ部３の内部）に配置されてもよい。
【0024】
センサ部３は、流路ユニット２の収容凹部２４に収容されている。この収容状態で、センサ部３は、収容凹部２４に嵌り合っている。また、センサ部３の一面３ａ（発熱部３１及び２つの温度センサ３２，３３が設けられた面）は、収容凹部２４の底面２４ａに対向する。従って、発熱部３１及び温度センサ３２，３３は、内部流路２１の近く（すなわち内部流路２１を流れる液体の近く）に配置される。この結果、内部流路２１を流れる流体とセンサ部３との間で熱の伝達性が向上し、センサ部３によって内部流路２１を流れる流体の流れをより精度良く測定できる。
【0025】
センサ部３の一面３ａと収容凹部２４の底面２４ａとの間には、介在部材７が設けられている。介在部材７は、センサ部３の一面３ａと収容凹部２４との底面との間に空気層が形成されることを抑制する。これにより、センサ部３の発熱部３１及び温度センサ３２，３３と流路ユニット２との間の熱の伝達性が向上する。介在部材７は、例えば、シリコーン樹脂のような柔らかい材料（例えば熱硬化性樹脂）である。また、介在部材７は、空気の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する材料である。介在部材７は、薄膜状にセンサ部３の一面３ａと収容凹部２４の底面２４ａとの間に塗布されている。なお、介在部材７は、無くてもよい。
【0026】
一対のケース４，５は、流路ユニット２を保護する部材である。一対のケース４，５によって流路ユニット２が保護されることで、流路ユニット２の耐圧性能が確保される。一対のケース４，５は、例えば樹脂で形成されている。一対のケース４，５は、流路ユニット２の外周の両側から挟み込むように流路ユニット２を内部に収容する。一対のケース４，５は、例えば、流路ユニット２の形状に対応して一方向に長い形状である。各ケース４，５は、例えば矩形の板状である。各ケース４，５は、それらの対向面を対向させるように相互に組み付けられる。
【0027】
各ケース４，５における互いに対向する対向面には、流路ユニット２における径方向の片側半分が収容される収容凹部４１，５１が設けられている。一方のケース４の対向面には、例えば断面三角形状の収容凹部４１が設けられており、他方のケース５の対向面には、例えば断面逆台形状の収容凹部５１が設けられている（図４参照）。なお、上記の断面は、流路ユニット２の長手方向に直交する断面である。
【0028】
各ケース４，５における長手方向の両端面には、例えば半円状の切欠部４２，５２が設けられている。各ケース４，５が組み付けられた状態で、各ケース４，５における互いに同じ側の切欠部４２，５２同士が連結して円形の開口を構成する。この両側の開口は、流路ユニット２の第１開口２２又は第２開口２３を外部に露出する。すなわち、上記の両側の開口は、流路ユニット２の第１開口２２又は第２開口２３に連結される外部流路Ｇ１，Ｇ２の通り道を構成する。
【0029】
一対のケース４，５は、相互に固定（ロック）するロック構造を有する。このロック構造は解除可能であり、ロック構造の解除によって、一対のケース４，５は分離可能である。ロック構造は、例えば、爪部と、この爪部と引っ掛かる引掛部とで構成されている。爪部は、一対のケース４，５のうちの一方に設けられ、引掛部は、一対のケースのうちの他方に設けられている。なお、ロック構造は、爪部及び引掛部の代わりに、一対のケース４，５を相互に締結するネジで構成されてもよいし、一対のケース４，５を結束する結束バンドであってもよい。
【0030】
本実施形態では、一方のケース４とセンサ部３とは、センサユニット６を構成している。ケース４は、センサ部３を支持する支持部１５としても機能している。以下、ケース４を支持部１５と記載する場合がある。なお、センサ部３は、ケース４（すなわち支持部１５）に接着剤などで固定されていてもよいし、固定されていなくてもよい。
【0031】
この流体検出システム１では、一対のケース４，５の内部に流路ユニット２及びセンサ部３が収容される。この収容状態で、ロック構造によって一対のケース４，５が相互に固定される。換言すれば、流路ユニット２とセンサユニット６（センサ部３及び一方のケース４）とが組み付けられる。この状態で、流路ユニット２は、各ケース４，５の収容凹部４１，５１に収容された状態で、各ケース４，５によって挟み込まれる。そして、センサ部３は、流路ユニット２の収容凹部２４に収容された状態で、流路ユニット２及びケース４によって挟み込まれる。すなわち、一対のケース４，５によって流路ユニット２が挟み込まれることで、流路ユニット２と一方のケース４とによってセンサ部３が挟み込まれる。これにより、センサ部３の一面３ａと収容凹部２４の底面２４ａとが相互に押し付けられる。この結果、センサ部３における発熱部３１及び温度センサ３２，３３と流路ユニット２との間の熱伝導率が向上し、内部流路２１を流れる流体の流れをより精度良く測定できる。
【0032】
また、ロック構造が解除されると、一対のケース４，５が相互に分離可能になる。これにより、流路ユニット２が一対のケース４，５から分離可能となり、センサ部３が流路ユニット２から分離可能となる。すなわち、流路ユニット２とセンサユニット６が相互に分離可能になる。
【0033】
（１－２）利用分野
流体検出システム１の利用分野について説明する。流体検出システム１は、半導体製造装置の塗布装置、噴霧装置及び洗浄装置に適用可能である。より詳細には、塗布装置及び噴霧装置では、例えば、液状材料を塗布又は噴霧するときの塗布量及び噴霧量を検出するために流体検出システム１を利用可能である。また、洗浄装置では、例えば、洗浄液の使用量を検出するために流体検出システム１を利用可能である。
流体検出システム１の利用分野について説明する。流体検出システム１は、半導体製造装置の塗布装置、噴霧装置及び洗浄装置に適用可能である。より詳細には、塗布装置及び噴霧装置では、例えば、液状材料を塗布又は噴霧するときの塗布量及び噴霧量を検出するために流体検出システム１を利用可能である。また、洗浄装置では、例えば、洗浄液の使用量を検出するために流体検出システム１を利用可能である。
【0034】
また、流体検出システム１は、化粧品及び創薬で使用される分注システムに適用可能である。より詳細には、例えば、液状試料を一定量ずつ小分けするときにその一定量を検出するために流体検出システム１を利用可能である。
【0035】
また、流体検出システム１は、電子部品の製造で使用されるディスペンシングマシンに適用可能である。より詳細には、例えば、電子部品の製造で用いられる液状材料を塗布するときにその塗布量を検出するために流体検出システム１を利用可能である。
【0036】
（１－３）主要な効果
以上、本実施形態に係る流体検出システムは、流路ユニット２と、センサユニット６とを備える。流路ユニット２は、外部流路Ｇ１，Ｇ２が連結される第１開口及び第２開口を有する内部流路２１を含む。センサユニット６は、内部流路２１を流れる流体の流れを検出する。センサユニット６は、流路ユニット２から分離可能に流路ユニット２に取り付けられる。
以上、本実施形態に係る流体検出システムは、流路ユニット２と、センサユニット６とを備える。流路ユニット２は、外部流路Ｇ１，Ｇ２が連結される第１開口及び第２開口を有する内部流路２１を含む。センサユニット６は、内部流路２１を流れる流体の流れを検出する。センサユニット６は、流路ユニット２から分離可能に流路ユニット２に取り付けられる。
【0037】
この構成によれば、流路ユニット２及びセンサユニット６のうちの一方を残して、他方のみを交換することができる。この結果、流路ユニット２を交換するとき、交換する必要の無いセンサユニット６を交換しないで済むため、無駄な費用が発生することを抑制できる。これにより、内部流路２１が細すぎて清掃できない場合でも、流路ユニット２のみを交換できるため、低コストで、内部流路２１を清潔に保つことができる。
【0038】
（２）第１実施形態の変形例
第１実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。第１実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に説明する変形例は、組み合わせて実施されてもよい。
第１実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。第１実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に説明する変形例は、組み合わせて実施されてもよい。
【0039】
また、流体検出システム１と同様の機能は、流体検出システム１の流路ユニット２として用いられるモジュール、又は、流体検出システム１のセンサユニット６として用いられるモジュールで具現化されてもよい。
【0040】
（２－１）変形例１
第１実施形態では、流体検出システム１は熱式の流量計である場合を例示する。ただし、流体検出システム１は、超音波式の流量計であってもよいし、電磁式の流量計であってもよいし、コリオリ式の流量計であってもよい。
第１実施形態では、流体検出システム１は熱式の流量計である場合を例示する。ただし、流体検出システム１は、超音波式の流量計であってもよいし、電磁式の流量計であってもよいし、コリオリ式の流量計であってもよい。
【0041】
（２－２）変形例２
第１実施形態では、流路ユニット２は筒状であり、一対のケース４，５は流路ユニット２の形状に合わせて一方向に長い形状である。ただし、流路ユニット２の形状は、平面視矩形の板状であってもよく、一対のケース４，５の各々の形状もそれぞれ、流路ユニット２の形状に合わせて平面視矩形の板状であってもよい。
第１実施形態では、流路ユニット２は筒状であり、一対のケース４，５は流路ユニット２の形状に合わせて一方向に長い形状である。ただし、流路ユニット２の形状は、平面視矩形の板状であってもよく、一対のケース４，５の各々の形状もそれぞれ、流路ユニット２の形状に合わせて平面視矩形の板状であってもよい。
【0042】
（２－３）変形例３
第１実施形態では、流路ユニット２の収容凹部２４は、センサユニット６の一部（センサ部３）を収容する構造である。ただし、流路ユニット２の収容凹部２４は、センサユニット６の少なくとも一部（センサ部３）を収容する構造であってもよい。
第１実施形態では、流路ユニット２の収容凹部２４は、センサユニット６の一部（センサ部３）を収容する構造である。ただし、流路ユニット２の収容凹部２４は、センサユニット６の少なくとも一部（センサ部３）を収容する構造であってもよい。
【0043】
（２－４）変形例４
図５に示すように、本変形例は、第１実施形態において、アクチュエータ１０及び圧力センサ１１を更に備える。本変形例は、圧力センサ１１によって流路ユニット２とセンサ部３との間に作用する押圧力を測定し、測定結果に応じて、アクチュエータ１０によって上記の押圧力を調整するように構成されている。
図５に示すように、本変形例は、第１実施形態において、アクチュエータ１０及び圧力センサ１１を更に備える。本変形例は、圧力センサ１１によって流路ユニット２とセンサ部３との間に作用する押圧力を測定し、測定結果に応じて、アクチュエータ１０によって上記の押圧力を調整するように構成されている。
【0044】
圧力センサ１１は、センサ部３と一方のケース４（支持部１５）との間に配置されている。圧力センサ１１は、流路ユニット２とセンサ部３との間に作用する押圧力（換言すれば、流路ユニット２がセンサ部３を押圧する押圧力Ｆ１）を測定する。
【0045】
アクチュエータ１０は、他方のケース５（より詳細には収容凹部５１の底面）と流路ユニット２との間に配置されている。アクチュエータ１０は、外部から供給される電流又は電圧によって伸縮する部材である。アクチュエータ１０は、他方のケース５の底面と流路ユニット２との間を拡大縮小する方向に伸縮する。アクチュエータ１０は、流路ユニット２の長手方向に均等に押圧力を発生させるため、流路ユニット２の長手方向に沿って複数配置されている。
【0046】
アクチュエータ１０は、例えば形状記憶合金で形成されている。より詳細には、アクチュエータ１０は、圧縮状態が元の形状として記憶されている。アクチュエータ１０は、圧縮状態から伸長された状態（伸長状態）で、他方のケース５と流路ユニット２との間に配置されている。アクチュエータ１０は、外部から通電されることで発熱し、伸長状態からその発熱の発熱量に応じた分だけ収縮する。すなわち、アクチュエータ１０の発熱量が大きいほど、アクチュエータ１０はより大きく収縮する。そして、発熱量が閾値熱量を超えると、アクチュエータ１０は元の形状の圧縮状態まで回復する。
【0047】
本変形例では、外部の処理部が、圧力センサ１１の測定結果に応じてアクチュエータ１０の伸長・収縮を制御する。より詳細には、外部の処理部は、圧力センサ１１の測定結果から、上記の押圧力が閾値以上であるか否かを判定する。そして、外部の処理部は、上記の押圧力が閾値以上の場合は、上記の押圧力が過度であると判定し、上記の押圧力が閾値以下になるまでアクチュエータ１０への通電量を増加させる。
【0048】
これにより、上記の押圧力は常に一定の値（閾値）となるように制御される。この結果、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の収容凹部２４の底面２４ａとの間の押圧力を常に一定の値（閾値）に確保することができる。すなわち、センサユニット６と流路ユニット２とが分離可能になると、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の底面２４ａとの接触を安定的に確保することが困難になる。また、センサユニット６と流路ユニット２とが過度な押圧力によって互いに変形・破損すると、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の底面２４ａとの接触を安定的に確保することが困難になる。しかし、本変形例によれば、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の底面２４ａとの間の接触を常に安定的に確保することができる。
【0049】
なお、上記の「センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の底面２４ａとの接触」とは、介在部材７が有る場合は、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の底面２４ａとが介在部材７を介して間接的に接触することであり、介在部材７が無い場合は、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２の底面２４ａとが直接接触することである。
【0050】
なお、本変形例では、他方のケース５、圧力センサ１１及びアクチュエータ１０は、センサユニット６と流路ユニット２との間で相互に押付力を作用させる押付機構８０を構成する。なお、ケース５は、センサユニット６との間で流路ユニット２を挟み込んでいる。
【0051】
また、アクチュエータ１０は、形状記憶合金の代わりに、電圧に応じて伸縮するピエゾ素子で形成されてもよい。形状記憶合金は、伸長のみ制御可能であるが、ピエゾ素子は伸長及び縮小の両方を制御可能である。
【0052】
（３）第２実施形態
（３－１）構成説明
第２実施形態に係る流体検出システム１について説明する。第１実施形態では、内部流路２１がバルク流路（すなわち堅い部材で形成された流路）である場合を例示するが、本実施形態では、内部流路２１がフィルム流路（すなわちフィルムで形成された流路）である場合を例示する。以下の説明では、第１実施形態の構成要素と対応する構成要素には同じ符号を付している。
（３－１）構成説明
第２実施形態に係る流体検出システム１について説明する。第１実施形態では、内部流路２１がバルク流路（すなわち堅い部材で形成された流路）である場合を例示するが、本実施形態では、内部流路２１がフィルム流路（すなわちフィルムで形成された流路）である場合を例示する。以下の説明では、第１実施形態の構成要素と対応する構成要素には同じ符号を付している。
【0053】
【0054】
流路ユニット２は、内部流路２１を構成する部材である。流路ユニット２は、可撓性を有する樹脂によってフィルム状（例えば平面視矩形のフィルム状）に形成されている。内部流路２１は、流路ユニット２の内部に形成されている。内部流路２１は、流路ユニット２の一方向（例えば長手方向）において、一端面から他端面まで例えば直線状に貫通するように形成されている。すなわち、内部流路２１は、流路ユニット２の両端面（上記の一端面及び他端面）に設けられた開口（第１開口２２及び第２開口２３）を有する。内部流路２１は、例えば、流路ユニット２の他方向（例えば短手方向）の中央に配置されている。流路ユニット２の上記の一方向及び上記の他方向は、流路ユニット２の平面視で（すなわち流路ユニット２の主面に直交する方向から見て）互いに直交する方向である。
【0055】
流路ユニット２は、複数の層素材２ａ（例えばフィルム状素材）が積層されて１枚のフィルム状に形成されている（図８参照）。これにより、流路ユニット２の内部に内部流路２１を精度良く形成することができる。流路ユニット２は、流路ユニット２の上記の他方向（短手方向）に沿って円弧状に湾曲している。流路ユニット２の上記の湾曲の頂点に内部流路２１が配置されている。
【0056】
２つの連結部１２はそれぞれ、外部流路Ｇ１，Ｇ２の端部と内部流路２１の開口（第１開口２２及び第２開口２３）とを連結する筒状部材（例えばフェラル）である。連結部１２の一端部は、流路ユニット２の一方の開口（第１開口２２又は第２開口２３）に連結され、連結部１２の他端部は、外部流路（外部流路Ｇ１又は外部流路Ｇ２）の一端部が連結される。すなわち、本実施形態では、流路ユニット２の第１開口２２及び第２開口２３は、連結部１２を介して外部流路Ｇ１，Ｇ２と連結される。
【0057】
センサユニット６は、センサ部３と、支持部１５とを備える。
【0058】
センサ部３は、第１実施形態のセンサ部３と同じ構成である。支持部１５は、センサ部３を支持する部材である。支持部１５は、樹脂によって例えば平面視矩形の板状に形成されている。支持部１５は、センサ部３を収容する収容凹部１５ａを有する。収容凹部１５ａは、支持部１５の対向面１５ｂに凹状に形成されている。支持部１５の対向面１５ｂは、流路ユニット２と対向する面である。収容凹部１５ａは、例えば、支持部１５の対向面１５ｂの中央に形成されている。
【0059】
収容凹部１５ａの形状は、センサ部３と嵌り合う形状である。すなわち、収容凹部１５ａの平面視形状は、センサ部３の平面視形状と略同形同大であり、収容凹部１５ａの深さは、センサ部３の厚さと略同じ寸法である。センサ部３は、一面３ａ（発熱部３１及び温度センサ３２，３３が設けられた面）を収容凹部１５ａの開口側に向けて収容凹部１５ａ内に配置される。
【0060】
支持部１５の裏面には、磁性体１４（例えば鉄系の金属など）が配置されている。支持部１５の裏面は、支持部１５において対向面１５ｂと反対側の面である。磁性体１４は、磁石１３を支持部１５の対向面１５ｂに磁力で固定するための部材である。磁性体１４は、例えば矩形の板状であり、例えば接着剤で支持部１５の裏面に固定されている（図７参照）。
【0061】
センサユニット６の対向面１５ｂには、介在部材７を介して流路ユニット２が配置される。介在部材７は、第１実施形態の介在部材７と同じ部材である。介在部材７によってセンサユニット６と流路ユニット２とを取り付けることができる。また、介在部材７によって、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２との間に空気層が形成されることが抑制される。
【0062】
２つの磁石１３は、流路ユニット２をセンサユニット６に分離可能に取り付けるための部材である。２つの磁石１３は、磁性体１４との間で作用する磁力によって、センサユニット６の対向面１５ｂ側に固定される。このとき、２つの磁石１３は、センサユニット６との間で流路ユニット２を挟み込むようにして、センサユニット６の対向面１５ｂ側に固定される。２つの磁石１３は、例えば、流路ユニット２の上記の他方向（すなわち短手方向）の両縁部に配置される。
【0063】
より詳細には、流路ユニット２は、その湾曲の凸側がセンサユニット６の対向面１５ｂと対向するように、センサユニット６の対向面１５ｂ側に配置される（図９参照）。そして、流路ユニット２の短手方向の両縁部が、磁石１３とセンサユニット６との間で挟み込まれる。これにより、流路ユニット２の湾曲の頂点（すなわち内部流路２１が配置する部分）が、センサユニット６の短手方向の中央（センサ部３が配置する部分）に押し付けられる。これにより、センサ部３を内部流路２１に安定的に接近させて配置でき、且つ、センサ部３の一面３ａと流路ユニット２との間に空気層が形成されることを更に抑制できる。
【0064】
磁石１３は、磁性体１４との間で作用する磁力によって、センサユニット６に固定されているため、センサユニット６に対して着脱可能（分離可能）である。従って、磁石１３がセンサユニット６から取り外されることで、流路ユニット２は、センサユニットから取り外される。
【0065】
（３－２）主要な効果
本実施形態に係る流体検出システム１によれば、主要な効果として、第１実施形態の主要な効果と同じ効果を奏する。また、流路ユニット２がフィルム流路であるため、流路ユニット２の製造コストを低減できる。また、流路ユニット２がフィルム流路である場合、流路ユニット２は、特に流路ユニット２の材質が着色されない限り透明性を有するため、内部流路２１を流れる流体を外部から観察可能である。
本実施形態に係る流体検出システム１によれば、主要な効果として、第１実施形態の主要な効果と同じ効果を奏する。また、流路ユニット２がフィルム流路であるため、流路ユニット２の製造コストを低減できる。また、流路ユニット２がフィルム流路である場合、流路ユニット２は、特に流路ユニット２の材質が着色されない限り透明性を有するため、内部流路２１を流れる流体を外部から観察可能である。
【0066】
（４）他の実施形態
以下、第１実施形態及び第２実施形態と組み合わせて実施可能な他の実施形態について説明する。以下で説明する他の実施形態は、互いに組み合わせて実施可能である。以下の説明では、第１実施形態及び第２実施形態の構成と対応する構成には同じ符号を付して説明を省略し、第１実施形態及び第２実施形態の構成と異なる点を中心に説明する場合がある。
以下、第１実施形態及び第２実施形態と組み合わせて実施可能な他の実施形態について説明する。以下で説明する他の実施形態は、互いに組み合わせて実施可能である。以下の説明では、第１実施形態及び第２実施形態の構成と対応する構成には同じ符号を付して説明を省略し、第１実施形態及び第２実施形態の構成と異なる点を中心に説明する場合がある。
【0067】
（４－１）第３実施形態
図１０Ａ～図１２に示すように、本実施形態では、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６の平面視で、センサ部３の中心と内部流路２１の長手方向の中心とを一致させるための構造を例示する。
図１０Ａ～図１２に示すように、本実施形態では、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６の平面視で、センサ部３の中心と内部流路２１の長手方向の中心とを一致させるための構造を例示する。
【0068】
本実施形態に係る流体検出システム１は、少なくとも、センサユニット６と、流路ユニット２とを備える。
【0069】
図１０に示すように、本実施形態のセンサユニット６は、センサ部３と支持部１５とを備える。センサ部３は、第１実施形態のセンサ部３において、センサ部３の周囲の４つの側面が内側に傾斜している点が異なる以外は同じ構成である。本実施形態のセンサ部３は、例えば四角錐台形状である。支持部１５は、センサ部３を支持する部材であり、樹脂によって例えば平面視矩形の平板状に形成されている。センサ部３は、支持部１５の対向面１５ｂにおいて突出するように固定されている。
【0070】
図１１に示すように、本実施形態の流路ユニット２は、内部流路２１を構成する部材であり、例えば平面視矩形の平板状である。内部流路２１は、流路ユニット２において、一方向（例えば長手方向）に沿って一端面から他端面まで例えば直線状に貫通するように形成されている。流路ユニット２の対向面２ｂには、センサ部３を収容する収容凹部２４が設けられている。収容凹部２４は、センサ部３と嵌り合う形状（すなわちセンサ部３と略同形同大の形状（例えば四角錐台形状））である。収容凹部２４は、流路ユニット２の対向面２ｂに凹状に形成されている。流路ユニット２の平面視で（すなわち対向面２ｂに直交する方向から見て）、収容凹部２４の中心は、内部流路２１の長手方向の中心と重なっている。
【0071】
図１２に示すように、センサ部３と収容凹部２４とが嵌り合うように、流路ユニット２がセンサユニット６の対向面１５ｂに取り付けられる。この状態では、センサユニット６の平面視で（すなわち対向面１５ｂに直交する方向から見て）、センサ部３の中心と内部流路２１の長手方向の中心とは一致する。このように、センサ部３と流路ユニット２の収容凹部２４とが嵌り合う構造を採用することで、センサユニット６の平面視で、センサ部３の中心と内部流路２１の長手方向の中心とを自動的に一致させることができる。
【0072】
（４－２）第４実施形態
本実施形態では、図１３Ａ及び図１３Ｂに示すように、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２の収容凹部２４との間に異物（例えばゴミ又は埃）が入ることを抑制するための構造を例示する。
本実施形態では、図１３Ａ及び図１３Ｂに示すように、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２の収容凹部２４との間に異物（例えばゴミ又は埃）が入ることを抑制するための構造を例示する。
【0073】
【0074】
粘着性フィルム２７は、流路ユニット２とセンサユニット６との隙間を埋める部材である。粘着性フィルム２７は、空気の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する。粘着性フィルム２７は、表面に再剥離性の粘着力を有するフィルムである。再剥離性とは、粘着性フィルム２７を付着及び剥離を繰り返して使用できることである。本実施形態の粘着性フィルム２７は、更に伸縮性を有するフィルムである。粘着性フィルム２７は、流路ユニット２の収容凹部２４の平面視形状よりも大きい寸法の平面視形状（例えば矩形状）である。粘着性フィルム２７は、収容凹部２４の開口面を覆うように、流路ユニット２の対向面２ｂに接着されている。なお、粘着性フィルム２７と流路ユニット２との間の粘着性は、再剥離性は無くてもよい。
【0075】
そして、センサ部３が粘着性フィルム２７の上から収容凹部２４の内部に押し込まれて収容凹部２４に収容されるように、流路ユニット２をセンサユニット６の対向面１５ｂに取り付ける。このとき、粘着性フィルム２７は、伸びながらセンサ部３の表面及び収容凹部２４の内部の表面に再剥離性の粘着力で付着する。これにより、粘着性フィルム２７がセンサ部３と収容凹部２４との隙間を埋める。この結果、粘着性フィルム２７によって、センサ部３と収容凹部２４との間に異物（例えばゴミ又は埃）が入ることが抑制される。
【0076】
本実施形態では、粘着性フィルム２７は、センサユニット６とは再剥離性の粘着力で付着される。このため、流路ユニット２が交換されるときに、センサユニット６に粘着性フィルム２７の残りカスが付着することを抑制できる。この結果、センサユニット６の繰り返し使用性を向上させることができる。
【0077】
（４－３）第５実施形態
図１４Ａ～図１４Ｃに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２の収容凹部２４との間に入った気泡を外部に抜くための構造を例示する。
図１４Ａ～図１４Ｃに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２の収容凹部２４との間に入った気泡を外部に抜くための構造を例示する。
【0078】
本実施形態に係る流体検出システム１は、第４実施形態と同じ構成である。ただし、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２の対向面２ｂには、溝部２８が設けられている。溝部２８は、流路ユニット２の対向面２ｂに凹状に設けられている。溝部２８は、収容凹部２４の内部から外側に延びている。より詳細には、溝部２８は、収容凹部２４の内部から粘着性フィルム２７の外側まで延びている。溝部２８は、収容凹部２４の底面から側面を通って流路ユニット２の対向面２ｂに延びている。溝部２８は、一例として、流路ユニット２の平面視で（すなわち対向面２ｂに直交する方向から見て）、内部流路２１に直交する方向の両側に延びている。本実施形態のセンサユニット６は、第４実施形態のセンサユニット６（すなわち第３実施形態のセンサユニット６（図１０Ａ及び図１０Ｂ参照））と同じである。
【0079】
図１４Ｃに示すように、本実施形態では、センサ部３が粘着性フィルム２７の上から収容凹部２４の内部に押し込まれて収容凹部２４に収容されるように、流路ユニット２がセンサユニット６の対向面１５ｂに取り付けられる。このとき、収容凹部２４と粘着性フィルム２７との間に気泡が入る場合がある。この場合、その気泡は、流路ユニット２の溝部２８を通って収容凹部２４の外部に抜ける。
【0080】
本実施形態では、センサユニット６と流路ユニット２との間に粘着性フィルム２７が設けられる場合を例示するが、粘着性フィルム２７は無くてもよい。この場合は、収容凹部２４とセンサ部３との間に入った気泡が溝部２８を通って外部に抜ける。
【0081】
【0082】
本実施形態に係る流体検出システム１は、第３実施形態と同じ構成である。ただし、第３実施形態では、センサ部３と収容凹部２４は互いに嵌り合う形状であるが、本実施形態では、センサ部３と収容凹部２４との間に隙間が有ってもよい。以下、第３実施形態と異なる点を中心に説明する。
【0083】
図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、本実施形態では、センサユニット６の支持部１５の対向面１５ｂには、複数の突部５５が設けられており、流路ユニット２の対向面２ｂには、複数の突部５５と嵌り合う複数の嵌合部５６が設けられている。
【0084】
突部５５は、例えばピン状の突起であり、嵌合部５６は、突部５５と嵌り合う凹部又は貫通孔である。複数の突部５５は、支持部１５の対向面１５ｂの面内において（換言すれば対向面１５ｂに直交する仮想軸回りの回転に対して）回転非対称な配置で設けられている。複数の嵌合部５６は、複数の突部５５に対応するように設けられている。具体的には、複数の嵌合部５６は、複数の突部５５の配置と対応する配置であって、流路ユニット２の対向面２ｂの面内において回転非対称な配置で設けられている。
【0085】
ここで、上記の「回転非対称な配置」とは、回転が３６０度の整数倍の場合だけ、回転前の配置と回転後の配置が一致する配置である。図１５Ａ及び図１５Ｂの例では、複数の突部５５及び複数の嵌合部５６はそれぞれ、２等辺３角形の３つの頂点の配置で設けられている。
【0086】
図１５Ｃに示すように、流路ユニット２がセンサユニット６に取り付けられると、複数の突部５５と複数の嵌合部５６とが嵌り合う。これにより、センサ部３が収容凹部２４内の規定位置に配置される。これにより、センサユニット６と流路ユニット２とが相互に位置決めされる。すなわち、センサユニット６の平面視で、内部流路２１の長手方向及び幅方向において、センサ部３と内部流路２１との相対位置が位置決めされる。特に、センサユニット６の対向面１５ｂの面内での流路ユニット２の向きを間違えることを抑制できる。
【0087】
なお、突部５５は、流路ユニット２の対向面２ｂに設けられ、嵌合部５６は、センサユニット６の対向面１５ｂに設けられてもよい。
【0088】
（４－５）第７実施形態
図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６と流路ユニット２とを相互に固定するロック構造５８を例示する。また、本実施形態では、内部流路２１回りのセンサ部３の傾きを抑制する構造を例示する。
図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がバルク流路である場合において、センサユニット６と流路ユニット２とを相互に固定するロック構造５８を例示する。また、本実施形態では、内部流路２１回りのセンサ部３の傾きを抑制する構造を例示する。
【0089】
【0090】
ロック構造５８は、センサユニット６に設けられた複数（例えば２つ）の第１引掛部５６１と、流路ユニット２に設けられた複数（例えば２つ）の第２引掛部５６２とを有する。複数の第２引掛部５６２は、複数の第１引掛部５６１が引っ掛かる部分である。
【0091】
複数の第１引掛部５６１はそれぞれ、弾性片５６１ａと爪部５６１ｂとを有する。弾性片５６１ａは、センサユニット６の支持部１５の対向面１５ｂにおける一方向の両縁から対向面１５ｂに直交する方向に突出している。弾性片５６１ａは、支持部１５の外周側に弾性的に傾倒可能に突出している。爪部５６１ｂは、弾性片５６１ａの先端において弾性片５６１ａの内側面の側に突出している。複数の第２引掛部５６２はそれぞれ、流路ユニット２における裏面と側面とで構成される角部によって構成されている。すなわち、第１引掛部５６１の爪部５６１ｂは、流路ユニット２の上記の角部５６２に引っ掛かる（図１６Ｂ参照）。
【0092】
このように、流路ユニット２がセンサユニット６に取り付けられたときに、複数の第１引掛部５６１が複数の第２引掛部５６２に引っ掛かることで、センサユニット６と流路ユニット２とが相互に固定（ロック）される。そして、複数の第１引掛部５６１の弾性片５６１ａが外側に弾性的に傾倒されることでロックが解除される。これにより、流路ユニット２とセンサユニット６とが分離可能になる。
【0093】
クッション材５７は、内部流路２１回りのセンサ部３の傾きを抑制する部材である。なお、内部流路２１回りのセンサ部３の傾きとは、内部流路２１回りにおいて、センサ部３と収容凹部２４との嵌り合いがずれることで生じる傾きである。クッション材５７は、圧縮反発可能な部材であり、例えばゴム弾性部材又はウレタン材（例えばスポンジ材）である。図１６Ａの例では、断面三角形状に形成されている。クッション材５７は、例えば、センサユニット６の対向面１５ｂに設けられている。より詳細には、クッション材５７は、対向面１５ｂに均等に分布するように配置されている。これにより、センサユニット６の対向面１５と流路ユニット２の対向面２ｂとの間の押圧力が、対向面１５に渡って均等に掛かるようになる。なお、クッション材５７は、センサユニット６の対向面１５ｂに配置される代わりに、流路ユニット２の対向面２ｂに配置されてもよい。
【0094】
本実施形態では、流路ユニット２がセンサユニット６に取り付けられたとき、クッション材５７は、流路ユニット２の対向面２ｂとセンサユニット６の対向面１５ｂとの間に挟まれて弾性的に圧縮される（図１６Ｂ参照）。そして、この弾性圧縮時の反発力によって、流路ユニット２の対向面２ｂとセンサユニット６の対向面１５ｂとが互いに平行に維持される。すなわち、内部流路２１回りのセンサ部３の傾きが抑制される。これにより、センサ部３の検出精度が向上する。
【0095】
なお、本実施形態では、粘着性フィルム２７が原因でセンサ部３が内部流路２１回りに傾くことを想定するが、センサ部３が内部流路２１回りに傾く原因を粘着性フィルム２７に限定しない。粘着性フィルム２７以外の原因で、センサ部３が内部流路２１回りに傾いてもよい。また、本実施形態では、粘着性フィルム２７を備える場合を例示するが、粘着性フィルム２７は無くてもよい。
【0096】
（４－６）第８実施形態
本実施形態では、流路ユニット２がフィルム流路である場合において、センサユニット６と流路ユニット２とを相互に位置決めする構造を例示する。
本実施形態では、流路ユニット２がフィルム流路である場合において、センサユニット６と流路ユニット２とを相互に位置決めする構造を例示する。
【0097】
本実施形態に係る流体検出システム１は、第２実施形態と同じ構成である。ただし、１７Ａ及び図１７Ｂに示すように、本実施形態では、センサユニット６の支持部１５の対向面１５ｂには、複数の突部６０が設けられており、流路ユニット２の対向面２ｂには、複数の突部６０と嵌り合う複数の嵌合部６１が設けられている。
【0098】
突部６０は、例えばピン状の突起であり、嵌合部６１は、突部６０と嵌り合う貫通孔である。複数の突部６０は、支持部１５の対向面１５ｂの面内において（換言すれば対向面１５ｂに直交する仮想軸回りの回転に対して）回転非対称な配置で設けられている。複数の嵌合部６１は、複数の突部６０に対応するように設けられている。具体的には、複数の嵌合部６１は、複数の突部６０の配置と対応する配置であって、流路ユニット２の対向面２ｂの面内において回転非対称な配置で設けられている。
【0099】
ここで、上記の「回転非対称な配置」とは、回転が３６０度の整数倍の場合だけ、回転前の配置と回転後の配置が一致する配置である。図１７Ａ及び図１７Ｂの例では、複数の突部６０及び複数の嵌合部６１はそれぞれ、２等辺３角形の３つの頂点の配置で設けられている。
【0100】
図１７Ｃに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がセンサユニット６に取り付けられると、複数の突部６０と複数の嵌合部６１とが嵌り合う。これにより、センサユニット６の対向面１５ｂでの流路ユニット２の位置が位置決めされる。すなわち、センサユニット６の平面視で、内部流路２１の長手方向及び幅方向において、センサ部３と内部流路２１との相対位置が位置決めされる。特に、センサユニット６の対向面１５ｂの面内での流路ユニット２の向きを間違えることを抑制できる。
【0101】
なお、突部６０は、流路ユニット２の対向面２ｂに設けられ、嵌合部６１は、センサユニット６の対向面１５ｂに設けられてもよい。
【0102】
（４－７）第９実施形態
図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がフィルム流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２との間に異物（例えばゴミ又は埃）が入ることを抑制するための構造を例示する。
図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がフィルム流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２との間に異物（例えばゴミ又は埃）が入ることを抑制するための構造を例示する。
【0103】
本実施形態に係る流体検出システム１は、第８実施形態において、粘着性フィルム２７を備える。粘着性フィルム２７は、流路ユニット２とセンサユニット６との隙間を埋める部材である。粘着性フィルム２７は、空気の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する。粘着性フィルム２７は、表面に再剥離性の粘着力を有するフィルムである。粘着性フィルム２７は、センサ部３の平面視形状よりも大きい寸法の平面視形状（例えば矩形状）であり、流路ユニット２の対向面２ｂに接着されている（図１８Ａ参照）。なお、粘着性フィルム２７と流路ユニット２との間の粘着性は、再剥離性は無くてもよい。
【0104】
そして、流路ユニット２がセンサユニット６の対向面１５ｂに取り付けられると、粘着性フィルム２７は、センサユニット６の対向面１５ｂ及びセンサ部３の表面に再剥離性の粘着力で付着する。これにより、粘着性フィルム２７がセンサ部３と流路ユニット２との隙間を埋める。この結果、粘着性フィルム２７によって、センサ部３と流路ユニット２との間に異物（例えばゴミ又は埃）が入ることが抑制される。
【0105】
本実施形態では、粘着性フィルム２７は、センサユニット６とは再剥離性の粘着力で付着される。そのため、流路ユニット２が交換されるときに、センサユニット６に粘着性フィルム２７の残りカスが付着することを防止できる。この結果、センサユニット６の繰り返し使用性を向上させることができる。
【0106】
（４－８）第１０実施形態
図１９Ａ及び図１９Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がフィルム流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２との間に入った気泡を外部に抜くための構造を例示する。
図１９Ａ及び図１９Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がフィルム流路である場合において、センサユニット６のセンサ部３と流路ユニット２との間に入った気泡を外部に抜くための構造を例示する。
【0107】
図１９Ａに示すように、本実施形態に係る流体検出システム１は、第９実施形態と同じ構成である。ただし、本実施形態では、センサユニット６の対向面１５ｂには、溝部７０が設けられている。溝部７０は、センサユニット６の対向面１５ｂに凹状に設けられており、収容凹部１５ａから収容凹部１５ａの外周に延びている。より詳細には、溝部７０は、流路ユニット２がセンサユニット６に取り付けられたときに、粘着性フィルム２７の外側まで延びるように設けられている。溝部７０は、流路ユニット２がセンサユニット６に取り付けられた状態で、流路ユニット２の平面視で、内部流路２１に直交する方向の両側に延びるように設けられている（図１９Ｂ参照）。本実施形態の流路ユニット２は、第９実施形態の流路ユニット２（図１８Ａ参照）と同じである。
【0108】
図１９Ｂに示すように、本実施形態では、流路ユニット２がセンサユニット６の対向面１５ｂに取り付けられたとき、センサ部３の表面と粘着性フィルム２７との間に気泡が入る場合がある。この場合、その気泡は、センサユニット６の溝部７０を通って外部に抜ける。
【0109】
本実施形態では、センサユニット６と流路ユニット２との間に粘着性フィルム２７が設けられる場合を例示するが、粘着性フィルム２７は無くてもよい。この場合は、流路ユニット２とセンサ部３との間に入った気泡が溝部７０を通って外部に抜ける。
【0110】
（５）態様
以上説明した実施形態及び変形例から明らかなように以下の態様を取り得る。
以上説明した実施形態及び変形例から明らかなように以下の態様を取り得る。
【0111】
第１の態様の流体検出システム（１）は、流路ユニット（２）と、センサユニット（６）と、を備える。流路ユニット（２）は、外部流路（Ｇ１，Ｇ２）が連結される第１開口（２２）及び第２開口（２３）を有する内部流路（２１）を含む。センサユニット（６）は、内部流路（２１）を流れる流体の流れを検出する。センサユニット（６）は、流路ユニット（２）から分離可能に流路ユニット（２）に取り付けられる。
【0112】
この構成によれば、流路ユニット（２）及びセンサユニット（６）のうちの一方を残して、他方のみを交換することができる。
【0113】
第２の態様の流体検出システム（１）は、第１の態様において、センサユニット（６）と流路ユニット（２）との間で相互に押付力を作用させる押付機構（８０）を備える。
【0114】
この構成によれば、センサユニット（６）と流路ユニット（２）を相互に安定的に接触させることができる。
【0115】
第３の態様の流体検出システム（１）では、第２の態様において、押付機構（８０）は、押付力を調整可能に構成されている。
【0116】
この構成によれば、センサユニット（６）と流路ユニット（２）との間の押圧力を調整することができる。
【0117】
第４の態様の流体検出システム（１）では、第１～３の態様の何れか１つにおいて、流路ユニット（２）は、ガラス又はポリメタクリル酸メチル樹脂で形成されている。
【0118】
この構成によれば、耐薬品性を向上させることができる。
【0119】
第５の態様の流体検出システム（１）では、第１～４の態様の何れか１つにおいて、流路ユニット（２）は、複数の層素材（２ａ）が積層された構造を有する。
【0120】
この構成によれば、流路ユニット（２）内に内部流路（２１）を制度よく造ることができる。
【0121】
第６の態様の流体検出システム（１）では、第１～５の態様の何れか１つにおいて、流路ユニット（２）の表面に収容凹部（２４）が設けられる。収容凹部（２４）には、センサユニット（６）の少なくとも一部（例えばセンサ部（３））が収容される。
【0122】
この構成によれば、センサユニット（６）の上記のすくなくとも一部を流路ユニット（２）に接近させて配置することができる。また、流路ユニット（２）の裏表を間違えることを防止できる。
【0123】
第７の態様の流体検出システム（１）では、第６の態様において、センサユニット（６）の上記の少なくとも一部は、流体の流れを検出する回路部（３）である。収容凹部（２４）の平面視で、収容凹部（２４）は、内部流路（２１）の少なくとも一部に重なる。
【0124】
この構成によれば、センサユニット（６）の回路部（３）を流路ユニット（２）に接近させて配置することができる。
【0125】
第８の態様の流体検出システム（１）では、第６又は第７の態様において、流路ユニット（２）には、収容凹部（２４）の内部から外側に伸びる溝部（２８）を有する。
【0126】
この構成によれば、溝部（２８）によって、流路ユニット（２）の収容凹部（２４）とセンサユニット（６）の上記の少なくとも一部（例えばセンサ部（３））との間に溜まる気泡を外部に抜くことができる。
【0127】
第９の態様の流体検出システム（１）では、第６～第８の態様の何れか１つにおいて、収容凹部（２４）は、センサユニット（６）の上記の少なくとも一部（センサ部（３））に嵌り合う形状である。
【0128】
この構成によれば、センサユニット（６）の上記の少なくとも一部（センサ部（３））と収容凹部（２４）との間に空気層が形成されることを抑制できる。また、センサユニット（６）と流路ユニット（２）とを相互に位置決めすることができる。
【0129】
第１０の態様の流体検出システム（１）は、第１～第９の態様の何れか１つにおいて、流路ユニット（２）とセンサユニット（６）との隙間を埋める介在部材（７，２７）を備える。
【0130】
この構成によれば、介在部材（７，２７）によって、流路ユニット（２）とセンサユニット（６）との隙間に空気層が形成されることを抑制できる。
【0131】
第１１の態様の流体検出システム（１）では、第１０の態様において、介在部材（７，２７）の熱伝導率は、空気の熱伝導率よりも高い。
【0132】
この構成によれば、介在部材（７，２７）によって、センサユニット（６）のセンサ部（３）と流路ユニット（２）との間の熱伝導率を向上させることができる。これにより、センサユニット（６）が熱式の流量計である場合に、測定精度を向上させることができる。
【0133】
第１２の態様の流体検出システム（１）では、第１～第１１の態様の何れか１つにおいて、センサユニット（６）は、熱式の流量計である。
【0134】
この構成によれば、本発明の流体検出システム（１）を熱式の流量計に適用可能である。
【0135】
第１３の態様の流体検出システム（１）では、第１～第１２の態様の何れか１つにおいて、流路ユニット（２）及びセンサユニット（６）のうちの一方には、他方と対向する第１対向面に突部（５５；６０）が設けられる。流路ユニット（２）及びセンサユニット（６）のうちの他方には、一方と対向する第２対向面に、突部（５５；６０）に嵌り合う嵌合部（５６；６１）が設けられている。
【0136】
この構成によれば、突部（５５；６０）と嵌合部（５６；６１）との嵌り合いによって、センサユニット（６）と流路ユニット（２）を相互に位置決めすることができる。
【0137】
第１４の態様の流体検出システム（１）では、第１３の態様において、突部（５５；６０）は、上記の第１対向面の面内の回転に対して非対称な配置で複数設けられる。嵌合部（５６；６１）は、複数の突部（５５；６０）に対応するように複数設けられている。
【0138】
この構成によれば、センサユニット（６）の対向面の面内での流路ユニット（２）の向きを間違えることを抑制できる。
【0139】
第１５の態様の流体検出システム（１）では、第１～第１４の態様の何れか１つにおいて、流路ユニット（２）とセンサユニット（６）とを相互に固定するロック構造（５８）を有する。ロック構造（５８）が解除されることで、流路ユニット（２）とセンサユニット（６）が相互に分離可能になる。
【0140】
この構成によれば、ロック構造（５８）によって、流路ユニット（２）とセンサユニット（６）とを相互に分離可能に固定することができる。
【0141】
第１６の態様のモジュールは、第１～第１５の態様の何れか１つの流体検出システム（１）の流路ユニット（２）として用いられる。
【0142】
この構成によれば、流体検出システム（１）の流路ユニット（２）として用いられるモジュールを提供できる。
【0143】
第１７の態様のモジュールは、第１～第１５の態様の何れか１つの流体検出システム（１）のセンサユニット（６）として用いられる。
【0144】
この構成によれば、流体検出システム（１）のセンサユニット（６）として用いられるモジュールを提供できる。
【符号の説明】
【0145】
１ 流体検出システム
２ 流路ユニット
２ａ 層素材
３ センサ部（回路部）
６ センサユニット
７ 介在部材
２１ 内部流路
２４ 収容凹部
２７ 再剥離性の粘着性フィルム（介在部材）
２８ 溝部
５５，６０ 突部
５６，６１ 嵌合部
５８ ロック構造
Ｇ１，Ｇ２ 外部流路
２ 流路ユニット
２ａ 層素材
３ センサ部（回路部）
６ センサユニット
７ 介在部材
２１ 内部流路
２４ 収容凹部
２７ 再剥離性の粘着性フィルム（介在部材）
２８ 溝部
５５，６０ 突部
５６，６１ 嵌合部
５８ ロック構造
Ｇ１，Ｇ２ 外部流路
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】