特許 7446671 クリーンブース空気清浄度管理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-01

(45)【発行日】2024-03-11

(54)【発明の名称】クリーンブース空気清浄度管理システム

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20240304BHJP

   F24F 7/007 20060101ALI20240304BHJP

   F24F 11/74 20180101ALI20240304BHJP

   F24F 11/77 20180101ALI20240304BHJP

   B01L 1/00 20060101ALI20240304BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F7/007 B

F24F11/74

F24F11/77

B01L1/00 C

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2019194155

(22)【出願日】2019-10-25

(65)【公開番号】P2021067419

(43)【公開日】2021-04-30

【審査請求日】2022-09-21

(73)【特許権者】

【識別番号】591023479

【氏名又は名称】ダイダン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100108442

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 義孝

(72)【発明者】

【氏名】古川 悠

(72)【発明者】

【氏名】多田 光輝

【審査官】岩瀬 昌治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０９５１５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２７９１１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５９－０６９９１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０６１９４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－１０７０３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ７／０６

Ｆ２４Ｆ ７／００７

Ｆ２４Ｆ １１／７４

Ｆ２４Ｆ １１／７７

Ｂ０１Ｌ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、前記作業ブースに出入するために施設されて該作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、前記第１出入口につながって前記作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝ブースと、前記緩衝ブースに出入するために施設されて該緩衝ブースの内部の空気が流出する第２出入口と、清浄化された空気を前記作業ブースに給気し、前記作業ブースから前記第１出入口を通って前記緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに該緩衝ブースから前記第２出入口に向かって一方向へ流れる気流をそれらブースの内部に発生させる空調機とを有するクリーンブースの空気清浄度を管理するクリーンブース空気清浄度管理システムにおいて、
前記クリーンブース空気清浄度管理システムが、前記空調機から給気された空気の風量を所定の開口面積の前記第１出入口を通流する空気の風量と推定し、該空調機から給気された空気の風量を計測する第１計測手段と、前記第１計測手段によって計測された第１測定風量と予め設定された第１目標風量とを比較する目標値第１比較手段と、前記目標値第１比較手段によって前記第１測定風量と前記第１目標風量とを比較した結果、前記第１測定風量が前記第１目標風量以下である場合、前記空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、前記空調機に連結されたダクトの空気流量を調節可能なダンパーの開度を大きくすることで該空調機から前記作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる風量増加手段と、前記風量増加手段によって増加させた前記空調機の給気風量が最大風量になったか否かを判断し、又は、前記風量増加手段によって開度を大きくした前記ダンパーの開度が最大開度になったか否かを判断する判断手段と、前記判断手段によって給気風量が前記最大風量になったと判断し、又は、前記判断手段によって前記ダンパーの開度が最大開度になったと判断した場合、前記空調機の異常状態又は前記ダンパーの異常状態を示す信号である第１信号を出力する第１信号出力手段と、前記第１信号出力手段によって前記第１信号を出力した後、前記第１計測手段によって計測された第１測定風量と予め設定された第１設定下限風量とを比較する下限値第１比較手段と、前記下限値第１比較手段によって前記第１測定風量と前記第１設定下限風量とを比較した結果、前記第１測定風量が前記第１設定下限風量未満である場合、前記空調機の異常状態又は前記ダンパーの異常状態を示す信号である第２信号を出力する第２信号出力手段とを含み、
前記クリーンブース空気清浄度管理システムでは、前記判断手段において給気風量が前記最大風量になっていないと判断した場合、又は、前記判断手段においてダンパーの開度が前記最大開度になっていないと判断した場合、前記第１計測手段と前記目標値第１比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施し、前記第１測定風量が前記第１設定下限風量以上であって前記給気風量が前記最大風量になっていない場合、前記第１計測手段と前記目標値第１比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施することを特徴とするクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項2】

前記クリーンブース空気清浄度管理システムが、所定の開口面積の前記第２出入口を通流する空気の風量を計測する第２計測手段と、前記第２計測手段によって計測された第２測定風量と予め設定された第２目標風量とを比較する目標値第２比較手段とを含み、前記風量増加手段が、前記目標値第１比較手段によって前記第１測定風量と前記第１目標風量とを比較した結果、前記第１測定風量が前記第１目標風量以下である場合、及び／又は、前記目標値第２比較手段によって前記第２測定風量と前記第２目標風量とを比較した結果、前記第２測定風量が前記第２目標風量以下である場合、前記空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、前記ダンパーの開度を大きくすることで該空調機から前記作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる請求項１に記載のクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項3】

前記クリーンブース空気清浄度管理システムでは、前記目標値第１比較手段及び前記目標値第２比較手段において、前記第１測定風量が前記第１目標風量以下になっておらず、該第１測定風量が該第１目標風量を超過していると判断した場合と、前記第２測定風量が前記第２目標風量以下になっておらず、該第２測定風量が該第２目標風量を超過していると判断した場合とのうちの少なくとも一方である場合、前記第１及び第２計測手段と前記目標値第１及び第２比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施する請求項２に記載のクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項4】

前記クリーンブース空気清浄度管理システムが、前記第２計測手段によって計測された前記第２測定風量と予め設定された第２設定下限風量とを比較する下限値第２比較手段を含み、前記第２信号出力手段が、前記下限値第２比較手段によって前記第２測定風量と前記第２設定下限風量とを比較した結果、前記第２測定風量が前記第２設定下限風量未満である場合、前記第２信号を出力し、前記クリーンブース空気清浄度管理システムでは、前記第１測定風量が前記第１設定下限風量以上であり、かつ、前記第２測定風量が前記第２設定下限風量以上であって前記給気風量が前記最大風量になっていない場合、前記第１及び第２計測手段と前記目標値第１及び第２比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施する請求項３に記載のクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項5】

作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、前記作業ブースに出入するために施設されて該作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、前記第１出入口につながって前記作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝ブースと、前記緩衝ブースに出入するために施設されて該緩衝ブースの内部の空気が流出する第２出入口と、清浄化された空気を前記作業ブースに給気し、前記作業ブースから前記第１出入口を通って前記緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに該緩衝ブースから前記第２出入口に向かって一方向へ流れる気流をそれらブースの内部に発生させる空調機とを有するクリーンブースの空気清浄度を管理するクリーンブース空気清浄度管理システムにおいて、
前記クリーンブース空気清浄度管理システムが、所定の開口面積の前記第１出入口を通流する空気の開口面第１風速を計測する第１計測手段と、前記第１計測手段によって計測された開口面第１風速と予め設定された第１目標風速とを比較する目標値第１比較手段と、前記目標値第１比較手段によって前記開口面第１風速と前記第１目標風速とを比較した結果、前記開口面第１風速が前記第１目標風速以下である場合、前記空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、前記空調機に連結されたダクトの空気流量を調節可能なダンパーの開度を大きくすることで該空調機から前記作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる風量増加手段と、前記風量増加手段によって増加させた前記空調機の給気風量が最大風量になったか否かを判断し、又は、前記風量増加手段によって開度を大きくした前記ダンパーの開度が最大開度になったか否かを判断する判断手段と、前記判断手段によって給気風量が前記最大風量になったと判断し、又は、前記判断手段によって前記ダンパーの開度が最大開度になったと判断した場合、前記空調機の異常状態又は前記ダンパーの異常状態を示す信号である第１信号を出力する第１信号出力手段と、前記第１信号出力手段によって前記第１信号を出力した後、前記第１計測手段によって計測された開口面第１風速と予め設定された第１設定下限風速とを比較する下限値第１比較手段と、前記下限値第１比較手段によって前記開口面第１風速と前記第１設定下限風速とを比較した結果、前記開口面第１風速が前記第１設定下限風速未満である場合、前記空調機の異常状態又は前記ダンパーの異常状態を示す信号である第２信号を出力する第２信号出力手段とを含み、
前記クリーンブース空気清浄度管理システムでは、前記判断手段において給気風量が前記最大風量になっていないと判断した場合、又は、前記判断手段においてダンパーの開度が前記最大開度になっていないと判断した場合、前記第１計測手段と前記目標値第１比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施し、前記開口面第１風速が前記第１設定下限風速以上であって前記給気風量が前記最大風量になっていない場合、前記第１計測手段と前記目標値第１比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施することを特徴とするクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項6】

前記クリーンブース空気清浄度管理システムが、所定の開口面積の前記第２出入口を通流する空気の開口面第２風速を計測する第２計測手段と、前記第２計測手段によって計測された開口面第２風速と予め設定された第２目標風速とを比較する目標値第２比較手段とを含み、前記風量増加手段が、前記目標値第１比較手段によって前記開口面第１風速と前記第１目標風速とを比較した結果、前記開口面第１風速が前記第１目標風速以下である場合、及び／又は、前記目標値第２比較手段によって前記開口面第２風速と前記第２目標風速とを比較した結果、前記開口面第２風速が前記第２目標風速以下である場合、前記空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、前記ダンパーの開度を大きくすることで該空調機から前記作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる請求項５に記載のクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項7】

前記クリーンブース空気清浄度管理システムでは、前記目標値第１比較手段及び前記目標値第２比較手段において、前記開口面第１風速が前記第１目標風速以下になっておらず、該開口面第１風速が該第１目標風速を超過していると判断した場合と、前記開口面第２風速が前記第２目標風速以下になっておらず、該開口面第２風速が該第２目標風速を超過していると判断した場合とのうちの少なくとも一方である場合、前記第１及び第２計測手段と前記目標値第１及び第２比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施する請求項６に記載のクリーンブース空気清浄度管理システム。

【請求項8】

前記クリーンブース空気清浄度管理システムが、前記第２計測手段によって計測された開口面第２風速と予め設定された第２設定下限風速とを比較する下限値第２比較手段を含み、前記第２信号出力手段が、前記下限値第２比較手段によって前記開口面第２風速と前記第２設定下限風速とを比較した結果、前記開口面第２風速が前記第２設定下限風速未満である場合、前記第２信号を出力し、前記クリーンブース空気清浄度管理システムでは、前記開口面第１風速が前記第１設定下限風速以上であり、かつ、前記開口面第２風速が前記第２設定下限風速以上であって前記給気風量が最大風量になっていない場合、前記第１及び第２計測手段と前記目標値第１及び第２比較手段と前記風量増加手段とを継続して実施する請求項７に記載のクリーンブース空気清浄度管理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、作業ブースと緩衝ブースとを備えたクリーンブースの空気清浄度を管理するクリーンブース空気清浄度管理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

安全キャビネットを収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、作業ブースに出入するために施設されて作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、第１出入口につながって作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝ブースと、緩衝ブースに出入するために施設されて緩衝ブースの内部の空気が流出する第２出入口と、作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を有し、外部空気給気口から第１出入口に向かうとともに第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させるファンフィルターユニットと、安全キャビネットを通流した空気を作業ブースに還気する還気手段及び安全キャビネットを通流した空気を外部に排気する排気手段のうちの少なくとも還気手段とを備えたクリーンブースが開示されている（特許文献１参照）。

【0003】

このクリーンブースは、建造物の内部の所定の箇所に施設される。クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から緩衝ブースを通って第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝ブースの内部に発生し、緩衝ブースを通流する空気が第１出入口から作業ブースの内部に逆流することなく、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝ブースに流出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－１００５９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

前記特許文献１に開示のクリーンブースは、それに利用されるファンフィルターユニットに設置されたエアフィルターに塵埃や微細な粒子が捕集されるが、ファンフィルターユニットの継続稼働によってエアフィルターが塵埃や微細な粒子によって次第に目詰まりし、エアフィルターの目詰まりによってエアフィルターの空気抵抗が次第に大きくなる。エアフィルターの空気抵抗が大きくなると、エアフィルターを空気がスムースに通流することができず、その結果、ファンフィルターユニットから給気される空気の給気風量や給気風速が低下する。

【0006】

ファンフィルターユニットから給気される空気の給気風量や給気風速が低下すると、クリーンブースを施設した建造物の内部に所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れ（外乱）がクリーンブースの第１出入口に作用した場合、空気が第１出入口から作業ブースの内部に向かって逆流し、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こす場合がある。コンタミネーションが起きると、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができない。

【0007】

本発明の目的は、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができるクリーンブース空気清浄度管理システムを提供することにある。本発明の他の目的は、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れ（外乱）が第１及び第２出入口に作用したとしても、作業ブースの内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができるクリーンブース空気清浄度管理システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記課題を解決するための本発明の前提は、作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、作業ブースに出入するために施設されて作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、第１出入口につながって作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝ブースと、緩衝ブースに出入するために施設されて緩衝ブースの内部の空気が流出する第２出入口と、清浄化された空気を作業ブースに給気し、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流をそれらブースの内部に発生させる空調機とを有するクリーンブースの空気清浄度を管理するクリーンブース空気清浄度管理システムである。

【0009】

前記前提における本発明の第１の特徴としては、クリーンブース空気清浄度管理システムが、空調機から給気された空気の風量を所定の開口面積の第１出入口を通流する空気の風量と推定し、空調機から給気された空気の風量を計測する第１計測手段と、第１計測手段によって計測された第１測定風量と予め設定された第１目標風量とを比較する目標値第１比較手段と、目標値第１比較手段によって第１測定風量と第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、空調機に連結されたダクトの空気流量を調節可能なダンパーの開度を大きくすることで空調機から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる風量増加手段と、風量増加手段によって増加させた空調機の給気風量が最大風量になったか否かを判断し、又は、風量増加手段によって開度を大きくしたダンパーの開度が最大開度になったか否かを判断する判断手段と、判断手段によって給気風量が最大風量になったと判断し、又は、判断手段によってダンパーの開度が最大開度になったと判断した場合、空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号である第１信号を出力する第１信号出力手段と、第１信号出力手段によって第１信号を出力した後、第１計測手段によって計測された第１測定風量と予め設定された第１設定下限風量とを比較する下限値第１比較手段と、下限値第１比較手段によって第１測定風量と第１設定下限風量とを比較した結果、第１測定風量が第１設定下限風量未満である場合、空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号である第２信号を出力する第２信号出力手段とを含み、クリーンブース空気清浄度管理システムでは、判断手段において給気風量が最大風量になっていないと判断した場合、又は、判断手段においてダンパーの開度が最大開度になっていないと判断した場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施し、第１測定風量が第１設定下限風量以上であって給気風量が前記最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施することにある。

【0010】

第１の特徴を有する本発明の一例としては、クリーンブース空気清浄度管理システムが、所定の開口面積の第２出入口を通流する空気の風量を計測する第２計測手段と、第２計測手段によって計測された第２測定風量と予め設定された第２目標風量とを比較する目標値第２比較手段とを含み、風量増加手段が、目標値第１比較手段によって第１測定風量と第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、及び／又は、目標値第２比較手段によって第２測定風量と第２目標風量とを比較した結果、第２測定風量が第２目標風量以下である場合、空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、ダンパーの開度を大きくすることで空調機から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる。

【0011】

第１の特徴を有する本発明の他の一例として、クリーンブース空気清浄度管理システムでは、目標値第１比較手段及び目標値第２比較手段において、第１測定風量が第１目標風量以下になっておらず、第１測定風量が第１目標風量を超過していると判断した場合と、第２測定風量が第２目標風量以下になっておらず、第２測定風量が第２目標風量を超過していると判断した場合とのうちの少なくとも一方である場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0012】

第１の特徴を有する本発明の他の一例としては、クリーンブース空気清浄度管理システムが、第２計測手段によって計測された第２測定風量と予め設定された第２設定下限風量とを比較する下限値第２比較手段を含み、第２信号出力手段が、下限値第２比較手段によって第２測定風量と第２設定下限風量とを比較した結果、第２測定風量が第２設定下限風量未満である場合、第２信号を出力し、クリーンブース空気清浄度管理システムでは、第１測定風量が第１設定下限風量以上であり、かつ、第２測定風量が第２設定下限風量以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0013】

前記前提における本発明の第２の特徴としては、クリーンブース空気清浄度管理システムが、所定の開口面積の第１出入口を通流する空気の開口面第１風速を計測する第１計測手段と、第１計測手段によって計測された開口面第１風速と予め設定された第１目標風速とを比較する目標値第１比較手段と、目標値第１比較手段によって開口面第１風速と第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、空調機に連結されたダクトの空気流量を調節可能なダンパーの開度を大きくすることで空調機から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる風量増加手段と、風量増加手段によって増加させた空調機の給気風量が最大風量になったか否かを判断し、又は、風量増加手段によって開度を大きくしたダンパーの開度が最大開度になったか否かを判断する判断手段と、判断手段によって給気風量が最大風量になったと判断し、又は、判断手段によってダンパーの開度が最大開度になったと判断した場合、空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号である第１信号を出力する第１信号出力手段と、第１信号出力手段によって第１信号を出力した後、第１計測手段によって計測された開口面第１風速と予め設定された第１設定下限風速とを比較する下限値第１比較手段と、下限値第１比較手段によって開口面第１風速と第１設定下限風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１設定下限風速未満である場合、空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号である第２信号を出力する第２信号出力手段とを含み、クリーンブース空気清浄度管理システムでは、判断手段において給気風量が前記最大風量になっていないと判断した場合、又は、判断手段においてダンパーの開度が最大開度になっていないと判断した場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施し、開口面第１風速が第１設定下限風速以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施することにある。

【0014】

第２の特徴を有する本発明の一例としては、クリーンブース空気清浄度管理システムが、所定の開口面積の第２出入口を通流する空気の開口面第２風速を計測する第２計測手段と、第２計測手段によって計測された開口面第２風速と予め設定された第２目標風速とを比較する目標値第２比較手段とを含み、風量増加手段が、目標値第１比較手段によって開口面第１風速と第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、及び／又は、目標値第２比較手段によって開口面第２風速と第２目標風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２目標風速以下である場合、空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、ダンパーの開度を大きくすることで空調機から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させる。

【0015】

第２の特徴を有する本発明の他の一例として、クリーンブース空気清浄度管理システムでは、目標値第１比較手段及び目標値第２比較手段において、開口面第１風速が第１目標風速以下になっておらず、開口面第１風速が第１目標風速を超過していると判断した場合と、開口面第２風速が第２目標風速以下になっておらず、開口面第２風速が第２目標風速を超過していると判断した場合とのうちの少なくとも一方である場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0016】

第２の特徴を有する本発明の他の一例としては、クリーンブース空気清浄度管理システムが、第２計測手段によって計測された開口面第２風速と予め設定された第２設定下限風速とを比較する下限値第２比較手段を含み、第２信号出力手段が、下限値第２比較手段によって開口面第２風速と第２設定下限風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２設定下限風速未満である場合、第２信号を出力し、クリーンブース空気清浄度管理システムでは、開口面第１風速が第１設定下限風速以上であり、かつ、開口面第２風速が第２設定下限風速以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【発明の効果】

【0017】

本発明に係るクリーンブース空気清浄度管理システムによれば、給気手段から給気された空気の風量と風速とのうちの少なくとも一方を計測し、計測した風量と風速とのうちの少なくとも一方と予め設定された第１目標値とを比較するとともに、風量と風速とのうちの少なくとも一方と第１目標値とを比較した結果、風量と風速とのうちの少なくとも一方が第１目標値以下である場合、給気手段から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させるから、第１目標値を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブースに給気され、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、風量と風速とのうちの少なくとも一方が第１目標値以下である場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が発生するように給気手段から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第１及び第２出入口に作用したとしても、作業ブースの内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0018】

所定の開口面積の第１出入口を通流する空気の風量を計測し、計測された第１測定風量と第１目標値である予め設定された第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、給気手段から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させるクリーンブース空気清浄度管理システムは、第１目標風量を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブースに給気されるから、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が発生するように給気手段から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第１及び第２出入口に作用したとしても、作業ブースの内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブースの内部の空気の清浄度を確実に維持することができる。

【0019】

所定の開口面積の第１出入口を通流する空気の開口面第１風速を計測し、計測された開口面第１風速と第１目標値である予め設定された第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、給気手段から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させるクリーンブース空気清浄度管理システムは、第１目標風速を超過する給気風速の空気が給気手段から常時作業ブースに給気されるから、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が発生するように給気手段から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第１及び第２出入口に作用したとしても、作業ブースの内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブースの内部の空気の清浄度を確実に維持することができる。

【0020】

増加させた給気手段の給気風量が最大風量になったか否かを判断し、給気風量が最大風量になったと判断した場合、所定の第１信号を出力するクリーンブース空気清浄度管理システムは、給気風量が最大風量になった場合、給気手段の給気風量をそれ以上増加させることができないから、第１信号を出力することで、風量や風速が第１設定値以下になった原因を除去するように注意を喚起することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、給気風量が最大風量になっていないと判断した場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0021】

第１信号を出力した後、計測した風量と風速とのうちの少なくとも一方と予め設定された第１下限値とを比較し、風量と風速とのうちの少なくとも一方と第１下限値とを比較した結果、風量と風速とのうちの少なくとも一方が第１下限値未満である場合、所定の第２信号を出力するクリーンブース空気清浄度管理システムは、風量と風速とのうちの少なくとも一方が第１下限値未満になった場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、風量や風速が第１下限値未満になった原因を除去するように再度注意を喚起することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、風量と風速とのうちの少なくとも一方が第１下限値以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0022】

計測された第１測定風量と第１下限値である予め設定された第１設定下限風量とを比較した結果、第１測定風量が第１設定下限風量未満である場合、第２信号を出力するクリーンブース空気清浄度管理システムは、第１測定風量が第１設定下限風量未満になった場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、第１測定風量が第１設定下限風量未満になった原因を除去するように再度注意を喚起することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、第１測定風量が第１設定下限風量以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0023】

計測された開口面第１風速と第１下限値である予め設定された第１設定下限風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１設定下限風速未満である場合、第２信号を出力するクリーンブース空気清浄度管理システムは、開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった原因を除去するように再度注意を喚起することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、開口面第１風速が第１設定下限風速以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0024】

所定の開口面積の第２出入口を通流する空気の風量を計測し、計測された第２測定風量と予め設定された第２目標風量とを比較し、第１測定風量と第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、及び／又は、第２測定風量と第２目標風量とを比較した結果、第２測定風量が第２目標風量以下である場合、給気手段から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させるクリーンブース空気清浄度管理システムは、第１目標風量及び／又は第２目標風量を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブースに給気されるから、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、及び／又は、第２測定風量が第２目標風量以下である場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が発生するように給気手段から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第1及び第２出入口に作用したとしても、作業ブースの内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0025】

計測された第２測定風量と予め設定された第２設定下限風量とを比較した結果、第２測定風量が第２設定下限風量未満である場合、第２信号を出力するクリーンブース空気清浄度管理システムは、第２測定風量が第２設定下限風量未満になった場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、第２測定風量が第２設定下限風量未満になった原因を除去するように再度注意を喚起することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、第１測定風量が第１設定下限風量以上であり、かつ、第２測定風量が第２設定下限風量以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0026】

所定の開口面積の第２出入口を通流する空気の開口面第２風速を計測し、開口面第１風速と予め設定された第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、及び／又は、開口面第２風速と予め設定された第２目標風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２目標風速以下である場合、給気手段から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させるクリーンブース空気清浄度管理システムは、第１目標風速及び／又は第２目標風速を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブースに給気されるから、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、及び／又は、開口面第２風速が第２目標風速以下である場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が発生するように給気手段から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第1及び第２出入口に作用したとしても、作業ブースの内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0027】

計測された開口面第２風速と予め設定された第２設定下限風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２設定下限風速未満である場合、第２信号を出力するクリーンブース空気清浄度管理システムは、開口面第２風速が第２設定下限風速未満になった場合、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、開口面第２風速が第２設定下限風速未満になった原因を除去するように再度注意を喚起することができる。クリーンブース空気清浄度管理システムは、開口面第１風速が第１設定下限風速以上であり、かつ、開口面第２風速が第２設定下限風速以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を作業ブースや緩衝ブースの内部に発生させることができ、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0028】

給気手段が空調機であり、風量増加手段が空調機から給気される空気の風量を増加させ、又は、空調機に連結されたダクトの空気流量を調節可能なダンパーの開度を大きくすることで空調機から給気される空気の風量を増加させるクリーンブース空気清浄度管理システムは、空調機に設置されたエアフィルターが塵埃や微細な粒子によって次第に目詰まりし、エアフィルターの目詰まりによってエアフィルターの空気抵抗が次第に大きくなり、空調機から給気される空気の給気風量や給気風速が低下したとしても、空調機から作業ブースに給気される空気の給気風量を増加させ、又は、空調機に連結されたダクトの空気流量を調節可能なダンパーの開度を大きくすることで空調機から給気される空気の風量を増加させることで、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気風量の空気が空調機から給気され、緩衝ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0029】

判断手段が空調機から給気される空気の給気風量が最大風量になったか否かを判断し、第１信号と第２信号とが空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号であるクリーンブース空気清浄度管理システムは、空調機から給気される空気の給気風量が最大風量になった場合、第１信号として空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号を出力し、又は、第２信号として空調機の異常状態又はダンパーの異常状態を示す信号を出力するから、例えば、エアフィルターの目詰まりによってエアフィルターの空気抵抗が次第に大きくなり、給気風量が最大風量になった場合、又は、第１測定風量が第１設定下限風量未満或いは開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった場合、空調機の異常又はダンパーの異常を示す第１信号及び第２信号に従ってエアフィルターを交換することで、空調機の給気風量不足を解消することができ、作業ブースから第１出入口を通って緩衝ブースに向かって一方向へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気風量の空気が空調機から給気され、作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の空気の清浄度を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】一例として示すクリーンブースの前方斜視図。

【図2】クリーンブースの上面図。

【図3】図２のクリーンブースの側面図。

【図4】一例として示すクリーンブースの前方斜視図。

【図5】他の一例として示すクリーンブースの上面図。

【図6】図５のクリーンブースの側面図。

【図7】他の一例として示すクリーンブースの上面図。

【図8】図７のクリーンブースの側面図。

【図9】他の一例として示すクリーンブースの上面図。

【図10】図９のクリーンブースの側面図。

【図11】クリーンブース空気清浄度管理システムにおいて行われる各手段の一例を示すフローチャート。

【図12】クリーンブース空気清浄度管理システムにおいて行われる各手段の他の一例を示すフローチャート。

【図13】クリーンブース空気清浄度管理システムにおいて行われる各手段の他の一例を示すフローチャート。

【図14】クリーンブース空気清浄度管理システムにおいて行われる各手段の他の一例を示すフローチャート。

【発明を実施するための形態】

【0031】

一例として示すクリーンブース１１Ａ，１１Ｃの前方斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係るクリーンブース空気清浄度管理システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。尚、図２は、クリーンブース１１Ａの上面図であり、図３は、図２のクリーンブース１１Ａの側面図である。

【0032】

図２，３では、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）、フィルターユニット２８、安全キャビネット３７、空気給気口３８、空調設備の空調空気給気口２５（エアーコンディショナーの空調空気給気口２５）、各ダクト１４～１６を模式的に示し、建造物の室１２及びクリーンブース１１Ａにおける空気の流れを矢印で示す。図２では、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３、フィルターユニット２８、各ダクト１４～１６の図示を省略している。図１では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示し、作業ブースと緩衝ブース２０とを区切る第１正面壁３２の図示を省略している。

【0033】

クリーンブース１１Ａ（クリーンブース１１Ｂ～１１Ｄを含む。）は、研究棟や実験棟、医療棟、製造工場等の建造物の室１２の室内（作業室内部）の所定の箇所に施設され、各種の実験や研究、開発、培養等の作業に利用され、その内部（作業ブース１７、緩衝ブース２０）が所定の清浄度の空気かつ陽圧になるように管理されている。図２では、１つのクリーンブース１１Ａを図示しているが、複数のクリーンブース１１Ａ（クリーンブース１１Ｂ～１１Ｄを含む。）が室１２の室内に施設される場合がある。

【0034】

クリーンブース１１Ａは、ファンフィルターユニット１３（空調機）又はパッケージエアコン１３（空調機）、還気ダクト１４（還気手段）、外気ダクト１５、給気ダクト１６、作業ブース１７、第１出入口１８、第２出入口１９、緩衝ブース２０（緩衝スペース）を有する。クリーンブース１１Ａでは、建造物の室１２の室内（内部）の天井パネル２１（天井面）がクリーンブース１１Ａ（作業ブース１７及び緩衝ブース２０）の天井２２（天井面）を形成し、室１２の室内の床スラブ２３（床面）がクリーンブース１１Ａ（作業ブース１７及び緩衝ブース２０）の床２４（床面）を形成している。

【0035】

建造物には、室１２の室内（内部）に空調空気を給気する空調設備（図示せず）が施設されている。室１２の室内のシステム天井２１（天井パネル２１）には、空調設備（エアーコンディショナー）によって生成された空調空気を室１２の室内に給気する空調空気給気口２５（吹き出し口）が設置されているとともに、図示はしていないが、その他の天井設備機器が設置されている（クリーンブース１１Ｂ～１１Ｄを設置した建造物の室１２も同様）。空調空気給気口２５は、給気ダクト４１によって連結されている。

【0036】

室１２の室内の側壁には、室内の空気を外部に排気する空気排気口２６（ガラリ）が設置されている。空気排気口２６（ガラリ）は、排気ダクト４２に連結されている。室１２の室内には、図示はしていないが、室１２の室内の室圧を計測する室圧センサー、室内の温度を計測する温度センサー、室内の湿度を計測する湿度センサーが設置されている（クリーンブース１１Ｂ～１１Ｄを設置した図５～図１０に示す建造物の室１２も同様）。室圧センサーや温度センサー、湿度センサーは、空調設備の制御装置に接続されている。空調空気給気口２５から室１２の室内（内部）に向かって所定風量の空調空気が給気されているとともに、空気排気口２６から所定風量の空気が室１２の室内から外部に排気され、空調設備（エアーコンディショナー）の制御装置によって室１２の室内が設定室圧及び設定温度並びに設定湿度に保持されている。

【0037】

ファンフィルターユニット１３（ＦＦＵ）又はパッケージエアコン１３（ＰＡＣ）は、建造物の室１２の室内のシステム天井２１の天井裏（天井空間）に設置されている。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の制御部には、コントローラ２７が接続されている。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３には、フィルターユニット２８が設置されている。ファンフィルターユニット１３には、還気ダクト１４（還気手段）が連結されているとともに、外気ダクト１５が連結され、パッケージエアコン１３には、還気ダクト１４（還気手段）が連結されている。還気ダクト１４は、室１２の室内の空気（還気）をファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入させ、外気ダクト１５は、外気をファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入させる。

【0038】

フィルターユニット２８（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３）は、給気ダクト１６によって後記する空気給気口３８に連結されている。フィルターユニット２８には、ＨＥＰＡフィルター（エアフィルター）が着脱可能に設置されている。フィルターユニット２８（ＨＥＰＡフィルター）は、そこを通流する空気に含まれる塵埃や微細な粒子を捕集し、空気を清浄化する。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３は、所定風量の清浄空気（フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルターによって清浄化された空気）を給気ダクト１６を介してクリーンブース１１Ａの内部（作業ブース１７の内部）に給気する。

【0039】

尚、ＨＥＰＡフィルターに捕集された塵埃や微細な粒子がＨＥＰＡフィルターに堆積し、ＨＥＰＡフィルターが次第に目詰まりする。ＨＥＰＡフィルターが目詰まりすると、ＨＥＰＡフィルターの空気抵抗が大きくなり、ＨＥＰＡフィルター（フィルターユニット２８）を通流する空気の風量（風速）が低下し、その結果、作業ブース１７に給気される清浄空気の風量（風速）が低下する。

【0040】

フィルターユニット２８（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３）と空気給気口３８との間に延びる給気ダクト１６には、風量センサー２９（流量センサー）が設置されている。風量センサー２９は、コントローラ２７に接続され、給気ダクト１６を通流する清浄空気の風量を計測し、計測した測定風量をコントローラ２７に送信する。

【0041】

コントローラ２７は、中央処理部とメモリとを有して独立したオペレーティングシステムによって動作するコンピュータであり、大容量記憶領域を内蔵し、タッチパネル（図示せず）を備えている。コントローラ２７の大容量記憶領域には、初期設定風量や初期設定風速、第１目標風量（第１目標値）、第１目標風速（第１目標値）、風量の増加量、ダンパーの旋回羽根の増加開度、最大風量、ダンパーの旋回羽根の最大開度、第１設定下限風量（第１下限値）、第１設定下限風速（第１下限値）、第２目標風量、第２設定下限風量、第２目標風速、第２設定下限風速が記憶（格納）されている。初期給気風量や初期給気風速、第１目標風量、第１目標風速、風量の増加量、ダンパーの増加開度、第１設定下限風量、第１設定下限風速、第２目標風量、第２設定下限風量、第２目標風速、第２設定下限風速は、コントローラ２７のタッチパネルにおいて任意に設定・変更することができる。

【0042】

クリーンブース１１Ａは、複数枚の側面パネル３０から作られている。側面パネル３０は、アルミフレーム又は鋼材フレームと、アルミフレームや鋼材フレームに嵌め込まれた透明なプラスチック板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）又は透明なガラス板とから作られ、その平面形状が四角形に成形されている。

【0043】

それら側面パネル３０は、建造物の室１２の床材２３（床面）と天井材２１（天井パネル２１）の天井面との間に設置されて上下方向へ延びている。側面パネル３０は、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第１正面壁３２と背面壁３３とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第１側面壁３４を形成している。更に、側面パネル３０は、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第２正面壁３５を形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第２側面壁３６を形成している。それら側面パネル３０は、その上端縁が天井材２１（天井パネル２１）の天井面に気密に連結され、その下端縁が室１２の床材２３の床面に気密に連結されている。

【0044】

側面パネル３０（後記する天面パネル３９を含む。）は、建造物の室１２の室内（内部）に容易に搬入することができ、室１２の室内において着脱可能であり、複数枚のそれら側面パネル３０を所定のマニュアル（手順）にしたがって室１２の室内に容易かつ迅速に取り付けることができる。側面パネル３０（天面パネル３９を含む。）は、室１２の室内から容易かつ迅速に取り外すことができ、複数枚の側面パネル３０に容易に分解することができるとともに、室１２の室内から容易に搬出することができる。

【0045】

クリーンブース１１Ａには、天井パネル２１（天井面）と側面パネル３０（第１正面壁３２、背面壁３３、第１側面壁３４）と床材２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の作業ブース１７が形成され、天井パネル２１（天井面）と側面パネル３０（第１正面壁３２、第２正面壁３５、第２側面壁３６）と床材２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の緩衝ブース２０（緩衝スペース）が形成されている。

【0046】

作業ブース１７は、所定容積の作業スペースを有し、各種の実験設備を収容可能である。作業ブース１７の内部には、安全キャビネット３７が収容されている。作業ブース１７には、安全キャビネット３７の他に、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバを収容することができ、細胞培養装置や遠心分離器、冷凍機等の各種の実験装置、机や棚、コンピュータ（サーバ）等を収容することができる。

【0047】

作業ブース１７の容積や床面積に特に制限はなく、作業ブース１７で行われる作業内容や収容する実験設備の大きさ、実験設備の数等によってその容積や床面積が決定される。第１出入口１８は、作業ブース１７に出入するために施設され、側面パネル３０によって形成された第１正面壁３２の間（第１正面壁３２の中央）に開口している。第１出入口１８は、その平面形状が縦方向へ長い四角形を呈し、作業者が通行可能な開口面積を有する。第１出入口１８からは、作業ブース１７の内部の清浄空気が流出する。

【0048】

クリーンブース１１Ａの第１出入口１８には、図示はしていないが、第１出入口１８を通流する空気の風速（開口面第１風速）を計測する超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置される場合がある。超音波三次元風速計又は赤外線センサーは、コントローラ２７に接続され、計測した第１出入口の風速（開口面第１風速）をコントローラ２７に送信する。

【0049】

緩衝ブース２０は、第１出入口１８と第２出入口１９との間に位置し、第１出入口１８から第２出入口１９に向かって前後方向（空気の流出方向）へ延びているとともに、第１出入口１８と第２出入口１９との間において横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びている。緩衝ブース２０には、作業ブース１７から流出した清浄空気が流入し、第１出入口１８から第２出入口１９に向かって緩衝ブース２０を通流する空気によって空気層が形成される。

【0050】

第２出入口１９は、緩衝ブース２０に出入するために施設され、側面パネル３０によって形成された第２正面壁３５の間（第２正面壁３５の中央）に開口している。第２出入口１９は、その平面形状が縦方向へ長い四角形を呈し、作業者が通行可能な開口面積を有する。第２出入口１９からは、緩衝ブース２０の内部の空気が流出する。第１出入口１８と第２出入口１９とは、同形同大であり、第２出入口１９は第１出入口１８に対向し、緩衝ブース２０を挟んで第１出入口１８と第２出入口１９とが前後方向（一方向）へ一列に並んだ状態で施設されている。尚、第１出入口１８と第２出入口１９とが異なる形状であってもよく、第１出入口１８と第２出入口１９とが異なる大きさ（面積）であってもよい。

【0051】

クリーンブース１１Ａの第２出入口１９には、図示はしていないが、第２出入口１９を通流する空気の風速（開口面第２風速）を計測する超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置される場合がある。超音波三次元風速計又は赤外線センサーは、コントローラ２７に接続され、計測した第２出入口の風速（開口面第２風速）をコントローラ２７に送信する。

【0052】

尚、クリーンブース１１Ａ（クリーンブース１１Ｂ～１１Ｄを含む。）では、第１出入口１８が第１正面壁３２の中央に開口し、第２出入口１９が第１正面壁３２を正面から見た緩衝ブース２０の左側の第２側面壁３６に開口し、又は、第２出入口１９が第１正面壁３２を正面から見た緩衝ブース２０の右側の第２側面壁３６に開口していてもよい。この場合、第２出入口１９が第１出入口１８に対して前後方向（一方向）へ一直線に対向せず、第２出入口１９が緩衝ブース２０を挟んで（緩衝ブース２０の介在下に）第１出入口１８に対して右側に直交し、又は、左側に直交し、第２出入口１９が第１出入口１８に対して右側又は左側に開口する。

【0053】

作業ブース１７の天井（建造物の室１２の室内の天井パネル２１）には、作業ブース１７に清浄空気を給気する空気給気口３８（空気吹き出し口）が設置されている。空気給気口３８は、作業ブース１７の略中央における天井パネル２１に設置されている。空気給気口３８には、フィルターユニット２８（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３）から延びる給気ダクト１６が連結されている。

【0054】

クリーンブース１１Ａでは、図２，３に矢印で示すように、還気ダクト１４から室１２の室内の空気がファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入するとともに、外気ダクト１５から外気が還気ダクト１４に流入する。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３から清浄空気（フィルターユニット２８（ＨＥＰＡフィルタ）によって塵埃や微細な粒子が捕集された清浄空気）が給気ダクト１６に流入し、所定風量（例えば、０．３～０．４ｍ／ｓ）の清浄空気が空気給気口３８から作業ブース１７の内部の床面に向かって給気される。

【0055】

作業ブース１７に流入した清浄空気は、作業ブース１７から第１出入口１８に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第１出入口１８を通って緩衝ブース２０の内部に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに、緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第２出入口１９から室１２の室内に流出する。第２出入口１９から室１２の室内に流出した空気は、還気ダクト１４に流入し、還気ダクト１４からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に再び流入する。

【0056】

クリーンブース１１Ａでは、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３から作業ブース１７の内部の床面に向かって所定風量の清浄空気を給気することで、作業ブース１７の内部気圧を陽圧に維持しつつ、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流をクリーンブース１１Ａの内部に発生させる。

【0057】

図４は、一例として示すクリーンブース１１Ｂ，１１Ｄの前方斜視図であり、図５は、他の一例として示すクリーンブース１１Ｂの上面図である。図６は、図５のクリーンブース１１Ｂの側面図である。図５，６では、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）、安全キャビネット３７、空気給気口３８、空調設備の空調空気給気口２５（エアーコンディショナーの空調空気給気口２５）、各ダクト１６，４１，４２を模式的に示し、室１２及びクリーンブース１１Ｂにおける空気の流れを矢印で示す。図５では、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３、各ダクト１６，４１，４２の図示を省略している。このクリーンブース１１Ｂが図２，３のクリーンブース１１Ａと異なるところは、建造物の室１２の天井材２１（天井パネル２１）を天井２２（天井面）として利用することなく、クリーンブース１１Ｂの天井２２が複数枚の天面パネル３９から作られている点にある。

【0058】

クリーンブース１１Ｂは、ファンフィルターユニット１３（空調機）又はパッケージエアコン１３（空調機）、作業ブース１７、第１出入口１８、第２出入口１９、緩衝ブース２０（緩衝スペース）を有する。クリーンブース１１Ｂは、複数枚の側面パネル３０と、複数枚の天面パネル３９とから作られている。クリーンブース１１Ｂでは、室１２の室内の床材２３（床面）がクリーンブース１１Ｂ（作業ブース１７及び緩衝ブース２９）の床２４（床面）を形成している。側面パネル３０や天面パネル３９は、クリーンブース１１Ａの側面パネル３０と同一である。

【0059】

複数枚の天面パネル３９は、それらが水平になった状態で横方向と前後方向とへ並び、クリーンブース１１Ｂの天井２２を形成している。天面パネル３９は、それらの両端縁及び両側縁が気密に連結されている。それら側面パネル３０は、建造物１２の床材２３（床面）と天面パネル３９との間に設置されて上下方向へ延びている。側面パネル３０は、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第１正面壁３２と背面壁３３とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第１側面壁３４を形成している。更に、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第２正面壁３５を形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ａの第２側面壁３６を形成している。それら側面パネル３０は、その上端縁が天面パネル３９の両端縁及び両側縁に気密に連結され、その下端縁が建造物１２の床材２３の床面に気密に連結されている。

【0060】

クリーンブース１１Ｂには、天面パネル３９（天井２２）と側面パネル３０（第１正面壁３２、背面壁３３、第１側面壁３４）と床材２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の作業ブース１７が形成され、天面パネル３９と側面パネル３０（第１正面壁３２、第２正面壁３５、第２側面壁３６）と床材２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の緩衝ブース２０（緩衝スペース）が形成されている。作業ブース１７の内部には、安全キャビネット３７が収容されている。第１出入口１８や第２出入口１９は、図１のクリーンブース１１Ａのそれらと同一である。

【0061】

クリーンブース１１Ｂの第１出入口１８及び第２出入口１９には、図示はしていないが、第１出入口１８及び第２出入口１９を通流する空気の風速（開口面第１風速及び開口面第２風速）を計測する超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置される場合がある。超音波三次元風速計又は赤外線センサーは、コントローラ２７に接続され、計測した第１出入口１８及び第２出入口１９の風速（開口面第１風速及び開口面第２風速）をコントローラ２７に送信する。

【0062】

ファンフィルターユニット１３（ＦＦＵ）又はパッケージエアコン１３（ＰＡＣ）は、クリーンブース１１Ｂの天面パネル３９（天井２２）の上に設置されている。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の制御部には、コントローラ２７が接続されている。コントローラ２７は、クリーンブース１１Ａのそれと同一である。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３には、ＨＥＰＡフィルター４０が着脱可能に設置され、作業ブース１７に清浄空気を吹き出す空気給気口３８が取り付けられている。空気給気口３８は、作業ブース１７の略中央における天面パネル３９に設置されている。

【0063】

ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の空気流入口には、風量センサー２９（流量センサー）が設置されている。風量センサー２９は、コントローラ２７に接続され、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風量を計測し、計測した測定風量をコントローラ２７に送信する。尚、風量センサー２９がファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の空気流出口（空気給気口３８）に設置され、風量センサー２９がファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３から流出する空気の風量を計測し、計測した測定風量をコントローラ２７に送信してもよい。

【0064】

建造物の室１２のシステム天井２１（天井パネル２１）には、室内（内部）に空調空気を給気する空調設備（エアーコンディショナー）に給気ダクト４１よって連結された空調空気給気口２５が設置されている。室１２の室内の側壁には、室内の空気を外部に排気する空気排気口２６（ガラリ）が設置されている。空気排気口２６（ガラリ）は、排気ダクト４２に連結されている。

【0065】

クリーンブース１１Ｂを設置した建造物の室１２では、空調空気給気口２５から室１２の室内（内部）に向かって所定風量の空調空気が給気されているとともに、空気排気口２６から所定風量の空気が室１２の室内から外部に排気され、空調設備（エアーコンディショナー）の制御装置によって室１２の室内が設定室圧及び設定温度並びに設定湿度に保持されている。

【0066】

クリーンブース１１Ｂでは、図５，６に矢印で示すように、建造物の室１２の室内の空気が空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の空気給気口３８から所定風量（例えば、０．３～０．４ｍ／ｓ）の清浄空気（ＨＥＰＡフィルタ４０によって塵埃や微細な粒子が捕集された清浄空気）が作業ブース１７の内部の床面に向かって給気される。

【0067】

クリーンブース１１Ｂでは、作業ブース１７に流入した清浄空気が作業ブース１７から第１出入口１８に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第１出入口１８を通って緩衝ブース２０の内部に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに、緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第２出入口１９から室１２の室内に流出する。第２出入口１９から室１２の室内に流出した空気は、空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に再び流入する。

【0068】

クリーンブース１１Ｂでは、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３から作業ブース１７の内部の床面に向かって所定風量の清浄空気を給気することで、作業ブース１７の内部気圧を陽圧に維持しつつ、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流をクリーンブース１１Ｂの内部に発生させる。

【0069】

図７は、他の一例として示すクリーンブース１１Ｃの上面図であり、図８は、図７のクリーンブース１１Ｃの側面図である。図７，８では、エアハンドリングユニット４３（給気手段）、安全キャビネット３７、フィルターユニット２８、定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）、空気給気口３８、空調空気給気口２５（エアハンドリングユニット４３の空調空気給気口２５）、室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）、各ダクト１４，１６を模式的に示し、クリーンブース１１Ｃにおける空気の流れを矢印で示す。図７では、定風量装置４４ａ，４４ｂ、室圧制御ダンパー４５、ダクト１４，１６の図示を省略している。このクリーンブース１１Ｃが図２，３のクリーンブース１１Ａと異なるところは、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３ではなく、エアハンドリングユニット４３を利用している点、定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）及び室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）が使用されている点にある。

【0070】

クリーンブース１１Ｃは、エアハンドリングユニット４３（空調機）、還気ダクト１５（還気手段）、給気ダクト１６、作業ブース１７、第１出入口１８、第２出入口１９、緩衝ブース２０（緩衝スペース）を有する。クリーンブース１１Ｃは、複数枚の側面パネル３０から作られている。クリーンブース１１Ｃでは、建造物の室１２の室内（内部）の天井パネル２１がクリーンブース１１Ｃ（作業ブース１７及び緩衝ブース２０）の天井２２（天井面）を形成し、室１２の室内の床材２３（床面）がクリーンブース１１Ｃ（作業ブース１７及び緩衝ブース２０）の床２４（床面）を形成している。側面パネル３０は、クリーンブース１１Ａの側面パネル３０と同一である。

【0071】

それら側面パネル３０は、建造物の室１２の床材２３（床面）と天井材２１（天井パネル２１）の天井面との間に設置されて上下方向へ延びている。側面パネル３０は、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ｃの第１正面壁３２と背面壁３３とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ｃの第１側面壁３４を形成している。更に、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ｃの第２正面壁３５を形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ｃの第２側面壁３６を形成している。それら側面パネル３０は、その上端縁が天井材２１（天井パネル２１）の天井面に気密に連結され、その下端縁が建造物１２の床材２３の床面に気密に連結されている。

【0072】

クリーンブース１１Ｃには、天井材２１（天井面）と側面パネル３０（第１正面壁３２、背面壁３３、第１側面壁３４）と床材２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の作業ブース１７が形成され、天井材２１と側面パネル３０（第１正面壁３２、第２正面壁３５、第２側面壁３６）と床材２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の緩衝ブース２０（緩衝スペース）が形成されている。作業ブース１７の内部には、安全キャビネット３７が収容されている。第１出入口１８や第２出入口１９は、図１のクリーンブース１１Ａのそれらと同一である。

【0073】

クリーンブース１１Ｃの第１出入口１８及び第２出入口１９には、図示はしていないが、それら出入口１８，１９を通流する空気の風速（開口面第１風速及び開口面第２風速）を計測する超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置される場合がある。超音波三次元風速計又は赤外線センサーは、コントローラ２７に接続され、計測した第１出入口１８及び第２出入口１９の風速（開口面第１風速及び開口面第２風速）をコントローラ２７に送信する。

【0074】

エアハンドリングユニット４３（ＡＨＵ）は、建造物の室１２の室外（建造物の外部）に設置されている。エアハンドリングユニット４３には、ＨＥＰＡフィルターを備えたフィルターユニット２８が設置されている。エアハンドリングユニット４３は、外部熱源設備から供給される冷水や温水・蒸気等を利用して空調空気を生成する。フィルターユニット２８は、還気ダクト１４によってエアハンドリングユニット４３に連結されている。室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）は、還気ダクト１４によってエアハンドリングユニット４３に連結されているとともに、室１２の室内に設置された空気還気口３１に還気ダクト１４によって連結されている。室圧制御ダンパー４５には、室１２の室内から延びる還気ダクト１４が連結されている。エアハンドリングユニット４３の制御部や室圧制御ダンパー４５の制御部は、コントローラ２７に接続されている。コントローラ２７は、クリーンブース１１Ａのそれと同一である。

【0075】

それら定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）は、建造物の室１２の室内の天井材２１の天井裏（天井空間）に設置されている。それら定風量装置４４ａ，４４ｂは、給気ダクト１６によってエアハンドリングユニット４３（フィルターユニット２８）に連結されている。それら定風量装置４４ａ，４４ｂの制御部は、コントローラ２７に接続されている。建造物の室１２の室内の天井材２１（天井パネル２１）には、エアハンドリングユニット４３によって生成された空調空気を室１２の室内に給気する空調空気給気口２５（吹き出し口）が設置されている。空調空気給気口２５は、一方の定風量装置４４ａに給気ダクト１６によって連結されている。

【0076】

作業ブース１７の天井２２（室１２の室内の天井パネル２１）には、作業ブース１７に清浄空気を給気する空気給気口３８（空気吹き出し口）が設置されている。空気給気口３８は、作業ブース１７の略中央における天井パネル２１に設置されている。空気給気口３８は、他方の定風量装置４４ｂに給気ダクト１６によって連結されている。

【0077】

フィルターユニット２８（エアハンドリングユニット４３）と定風量装置４４ｂとの間に延びる給気ダクト１６には、風量センサー２９（流量センサー）が設置されている。風量センサー２９は、コントローラ２７に接続され、給気ダクト１６を通流する清浄空気の風量を計測し、計測した測定風量をコントローラ２７に送信する。クリーンブース１１Ｃを設置した建造物の室１２では、空調空気給気口２５から室１２の室内（内部）に向かって所定風量の空調空気が給気され、室圧制御ダンパー４５の旋回羽根の開度が調節されることで室１２の室内が設定室圧に保持されているとともに、エアハンドリングユニット４３によって室１２の室内が設定温度及び設定湿度に保持されている。

【0078】

クリーンブース１１Ｃでは、図７，８に矢印で示すように、エアハンドリングユニット４３において生成された空調空気がフィルターユニット２８を通流して清浄空気（フィルタユニット２８（ＨＥＰＡフィルタ）によって塵埃や微細な粒子が捕集された清浄空気）となり、清浄空気が給気ダクト１６を通ってそれら定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）に流入する。それら定風量装置４４ａ，４４ｂを通流した所定風量（例えば、０．３～０．４ｍ／ｓ）の清浄空気は、空調空気給気口２５から室１２の室内に給気されるとともに、空気給気口３８から作業ブース１７の内部の床面に向かって給気される。

【0079】

クリーンブース１１Ｃでは、作業ブース１７に流入した清浄空気が作業ブース１７から第１出入口１８に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第１出入口１８を通って緩衝ブース２０の内部に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに、緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第２出入口１９から室１２の室内に流出する。第２出入口１９から室１２の室内に流出した空気は、空気還気口３１から還気ダクト１４を通って室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）に流入し、室圧制御ダンパー４５から還気ダクト１４を通ってエアハンドリングユニット４３に再び流入する。

【0080】

クリーンブース１１Ｃでは、エアハンドリングユニット４３から作業ブース１７の内部の床面に向かって所定風量の清浄空気を給気することで、作業ブース１７の内部気圧を陽圧に維持しつつ、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流をクリーンブース１１Ｃの内部に発生させる。

【0081】

図９は、他の一例として示すクリーンブース１１Ｄの上面図であり、図１０は、図９のクリーンブース１１Ｄの側面図である。図９，１０では、エアハンドリングユニット４３（給気手段）、安全キャビネット３７、フィルターユニット２８、定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）、空気給気口３８、空調空気給気口２５（エアハンドリングユニット４３の空調空気給気口２５）、室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）、各ダクト１４，１６を模式的に示し、クリーンブース１１Ｄにおける空気の流れを矢印で示す。図９では、定風量装置４４ａ，４４ｂ、室圧制御ダンパー４５、ダクト１４，１６の図示を省略している。

【0082】

このクリーンブース１１Ｄが図２，３のクリーンブース１１Ａと異なるところは、建造物の室１２の天井材２１を天井２２（天井面）として利用することなく、クリーンブース１１Ｄの天井２２が天面パネル３９から作られている点、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３ではなく、エアハンドリングユニット４３を利用している点、定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）及び室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）が使用されている点にある。

【0083】

クリーンブース１１Ｄは、エアハンドリングユニット４３（空調機）、還気ダクト１４（還気手段）、給気ダクト１６作業ブース１７、第１出入口１８、第２出入口１９、緩衝ブース２０（緩衝スペース）を有する。クリーンブース１１Ｄは、複数枚の側面パネル３０と、複数枚の天面パネル３９とから作られている。側面パネル３０や天面パネル３９は、クリーンブース１１Ａの側面パネル３０と同一である。

【0084】

複数枚の天面パネル３９は、それらが水平になった状態で横方向と前後方向とへ並び、クリーンブース１１Ｄの天井２２を形成している。天面パネル３９は、それらパネル３９の両端縁及び両側縁が気密に連結されている。それら側面パネル３０は、建造物の室１２の床材２３（床面）と天面パネル３９との間に設置されて上下方向へ延びている。側面パネル３０は、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ｄの第１正面壁３２と背面壁３３とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ｄの第１側面壁３４を形成している。更に、横方向へ連結されてクリーンブース１１Ｄの第２正面壁３５を形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１１Ｄの第２側面壁３６を形成している。それら側面パネル３０は、その上端縁が天面パネル３９の両端縁及び両側縁に気密に連結され、その下端縁が建造物１２の床スラブ２３の床面に気密に連結されている。

【0085】

クリーンブース１１Ｄには、天面パネル３９（天井２２）と側面パネル３０（第１正面壁３２、背面壁３３、第１側面壁３４）と床スラブ２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の作業ブース１７が形成され、天面パネル３９と側面パネル３０（第１正面壁３２、第２正面壁３５、第２側面壁３６）と床スラブ２３（床面）とに囲繞された所定容積及び所定の床面積の緩衝ブース２０（緩衝スペース）が形成されている。作業ブース１７の内部には、安全キャビネット３７が収容されている。第１出入口１８や第２出入口１９は、図１のクリーンブース１１Ａのそれらと同一である。

【0086】

クリーンブース１１Ｄの第１出入口１８及び第２出入口１９には、図示はしていないが、第１出入口１８及び第２出入口１９を通流する空気の風速（開口面第１風速及び開口面第２風速）を計測する超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置される場合がある。超音波三次元風速計又は赤外線センサーは、コントローラ２７に接続され、計測した第１出入口１８及び第２出入口１９の風速（開口面第１風速及び開口面第２風速）をコントローラ２７に送信する。

【0087】

エアハンドリングユニット４３（ＡＨＵ）や室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）は、クリーンブース１１Ｃを設置した建造物のそれらと同一である。エアハンドリングユニット４３には、ＨＥＰＡフィルターを備えたフィルターユニット２８が設置されている。フィルターユニット２８は、給気ダクト１６によってエアハンドリングユニット４３に連結されている。エアハンドリングユニット４３の制御部や室圧制御ダンパー４５の制御部は、コントローラ２７に接続されている。コントローラ２７は、クリーンブース１１Ａのそれと同一である。

【0088】

一方の定風量装置４４ａ（ＣＡＶ）は、建造物の室１２の天井材２１の天井裏（天井空間）に設置され、他方の定風量装置４４ｂ（ＣＡＶ）は、クリーンブース１１Ｄの天面パネル３９（天井２２）の上に設置されている。それら定風量装置４４ａ，４４ｂは、給気ダクト１６によってエアハンドリングユニット４３（フィルターユニット２８）に連結されている。それら定風量装置４４ａ，４４ｂの制御部は、コントローラ２７に接続されている。

【0089】

建造物の室１２の室内の天井材２１（天井パネル２１）には、エアハンドリングユニット４３によって生成された空調空気を室１２の室内に給気する空調空気給気口２５（吹き出し口）が設置されている。空調空気給気口２５は、一方の定風量装置４４ａに給気ダクト１６によって連結されている。作業ブース１７の天面パネル３９には、作業ブース１７に清浄空気を給気する空気給気口３８（空気吹き出し口）が設置されている。空気給気口３８は、作業ブース１７の略中央における天面パネル３９に設置され、他方の定風量装置４４ｂに給気ダクト１６によって連結されている。

【0090】

フィルターユニット２８（エアハンドリングユニット４３）と定風量装置４４ｂとの間に延びる給気ダクト１６には、風量センサー２９（流量センサー）が設置されている。風量センサー２９は、コントローラ２７に接続され、給気ダクト１６を通流する清浄空気の風量を計測し、計測した測定風量をコントローラ２７に送信する。クリーンブース１１Ｄを設置した建造物では、空調空気給気口２５から建造物の室１２の室内（内部）に向かって所定風量の空調空気が給気され、室圧制御ダンパー４５の旋回羽根の開度が調節されることで室１２の室内が設定室圧に保持されているとともに、エアハンドリングユニット４３によって室１２の室内が設定温度並びに設定湿度に保持されている。

【0091】

クリーンブース１１Ｄでは、図９，１０に矢印で示すように、エアハンドリングユニット４３において生成された空調空気がフィルターユニット２８を通流して清浄空気（フィルターユニット２８（ＨＥＰＡフィルタ）によって塵埃や微細な粒子が捕集された清浄空気）となり、清浄空気が給気ダクト１６を通ってそれら定風量装置４４ａ，４４ｂ（ＣＡＶ）に流入する。それら定風量装置４４ａ，４４ｂを通流した所定風量（例えば、０．３～０．４ｍ／ｓ）の清浄空気（空調空気）は、空調空気給気口２５から建造物の室１２の室内に給気されるとともに、空気給気口３８から作業ブース１７の内部の床面に向かって給気される。

【0092】

クリーンブース１１Ｄでは、作業ブース１７に流入した清浄空気が作業ブース１７から第１出入口１８に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第１出入口１８を通って緩衝ブース２０の内部に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに、緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れ、第２出入口１９から建造物１２の室内に流出する。第２出入口１９から建造物１２の室内に流出した空気は、空気還気口３１から還気ダクト１４を通って室圧制御ダンパー４５（ＰＣＤ）に流入し、室圧制御ダンパー４５から還気ダクト１４を通ってエアハンドリングユニット４３に再び流入する。

【0093】

クリーンブース１１Ｄでは、エアハンドリングユニット４３から作業ブース１７の内部の床面に向かって所定風量の清浄空気を給気することで、作業ブース１７の内部気圧を陽圧に維持しつつ、作業ブース１７から第１出入口１７を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流をクリーンブース１１Ｄの内部に発生させる。

【0094】

図１１は、クリーンブース空気清浄度管理システム１０において行われる各手段の一例を示すフローチャートである。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物の室１２では、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が起動し、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される（Ｓ－１）。エアハンドリングユニット４３に連結された定風量装置４４ｂの旋回羽根の開度が初期設定開度で運転され、エアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される。

【0095】

クリーンブース１１Ａ，１１Ｂを設置した建造物では、建造物に設置された空調設備が起動する。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物の室１２では、初期設定風量の空調空気が空調空気給気口２５から室１２の室内に給気されているとともに、初期設定風量の清浄空気が空気給気口３８から作業ブース１７の内部に給気されている。

【0096】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、所定の開口面積の第１出入口を通流する空気の第１測定風量（給気ダクト１４を通流する清浄空気の風量又は空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風量）が風量センサー２９によって計測される（第１計測手段）（Ｓ－２）。

【0097】

風量センサー２９によって計測された第１測定風量は、風量センサー２９からコントローラ２７に送信される。なお、給気ダクト１４を通流する清浄空気の風量や空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風量を第１出入口１８を通流する空気の風量と推定する。コントローラ２７は、第１計測手段によって計測した第１測定風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１目標風量（第１目標値）とを比較し、第１測定風量が第１目標風量以下であるか否かを判断する（目標値第１比較手段）（Ｓ－３）。

【0098】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７の内部に給気される清浄空気の給気風量が低下し、目標値第１比較手段によって第１測定風量と第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる（風量増加手段）（Ｓ－４）。

【0099】

コントローラ２７は、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の制御部に風量増加信号（出力増加信号）を送信する。風量増加信号には、コントローラ２７の大容量記憶領域に記憶されたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３において増加させる風量の増加量が含まれる。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の制御部は、コントローラ２７から送信された風量増加信号（出力増加信号）に従ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量（出力）を増加させる。尚、風量増加手段において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量（出力）を手動で増加させることもできる。

【0100】

コントローラ２７は、定風量装置４４ｂ（ＣＡＶ）の制御部にダンパーの旋回羽根の開度を増加させる開度増加信号を送信する。開度増加信号には、コントローラ２７の大容量記憶領域に記憶された定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の増加開度が含まれる。定風量装置４４ｂの制御部は、コントローラ２７から送信された開度増加信号に従って定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度を増加させる（大きくする）。旋回羽根の開度を増加させることによってエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７に給気される清浄空気の給気風量が増加する。尚、風量増加手段において、定風量装置４４ｂのダンパー（ＣＡＶに限定されない）の旋回羽根の開度を手動で増加させることもできる。

【0101】

コントローラ２７は、ステップ３（Ｓ－３）の目標値第１比較手段において、第１測定風量が第１目標風量以下になっておらず、第１測定風量が第１目標風量を超過していると判断した場合、ステップ２（Ｓ－２）に戻り、ステップ２（Ｓ－２）からの手順を繰り返し、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0102】

次に、コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）最大風量とを比較し、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－５）。又は、コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の最大開度とを比較し、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－５）。

【0103】

コントローラは、ステップ５（Ｓ－５）において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったと判断した場合、フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルター４０（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３に設置されたＨＥＰＡフィルター４０）の交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第１信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第１信号出力手段）（Ｓ－６）。

【0104】

尚、第１信号出力手段では、ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージがスピーカーから音声として出力されてもよい（以下の第１信号も同様）。クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージ（第１信号）を出力することで、フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルター４０（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３に設置されたＨＥＰＡフィルター４０）の交換の必要性を作業者に知らせる。

【0105】

コントローラは、ステップ５（Ｓ－５）の判断手段において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量（出力）が最大風量になっていないと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になっていないと判断した場合、ステップ２（Ｓ－２）に戻り、ステップ２（Ｓ－２）からの手順を繰り返し、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0106】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－７）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風量が初期定風量に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ１（Ｓ－１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される（Ｓ－１）。

【0107】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換が行われない場合、コントローラは、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を示す信号（第１信号）を出力した後、第１計測手段によって計測した第１測定風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１設定下限風量（第１下限値）とを比較し、第１測定風量が第１設定下限風量未満であるか否かを判断する（下限値第１比較手段）（Ｓ－８）。

【0108】

コントローラは、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から給気される清浄空気の給気風量が極端に低下し、下限値第１比較手段によって第１測定風量と第１設定下限風量とを比較した結果、第１測定風量が第１設定下限風量未満である場合、フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルター４０（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３に設置されたＨＥＰＡフィルター４０）の交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第２信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第２信号出力手段）（Ｓ－９）。

【0109】

尚、第２信号出力手段では、ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージがスピーカーから音声として出力されてもよい（以下の第２信号も同様）。クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージ（第２信号）を出力することで、フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルター４０（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３に設置されたＨＥＰＡフィルター４０）の交換の必要性を作業者に知らせる。

【0110】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－１０）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風量が初期定風量に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ１（Ｓ－１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される（Ｓ－１）。尚、第２信号出力手段によって第２信号が出力された後、ＨＥＰＡフィルター４０の交換が行われない場合、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３の運転が停止され（Ｓ－１１）、クリーンブース空気清浄度管理システム１０の各手段が終了する。

【0111】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることで、第１目標風量を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブース１７に給気されるから、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース２０の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース２０の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0112】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が発生するようにファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第１及び第２出入口１８，１９に作用したとしても、作業ブース１７の内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブース１７の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を確実に維持することができる。

【0113】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）の給気風量が最大風量になった場合、又は、定風量装置４４ｂの旋回羽根の開度が最大開度になった場合（エアハンドリングユニット４３（給気手段）からの給気風量が最大風量になった場合）、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３の給気風量をそれ以上増加させることができないから、第１信号を出力することで、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を行うように（風量や風速が第１設定値以下になった原因を除去するように）注意を喚起することができる。

【0114】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になっていないと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂの旋回羽根の開度が最大開度になっていないと判断した場合（エアハンドリングユニット４３（給気手段）からの給気風量が最大風量になっていないと判断した場合）、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0115】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１設定下限風量未満になった場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を行うように（第１測定風量が第１設定下限風量未満になった原因を除去するように）注意を喚起することができる。

【0116】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１設定下限風量以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0117】

図１２は、クリーンブース空気清浄度管理システム１０において行われる各手段の他の一例を示すフローチャートである。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物１２では、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が起動し、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される（Ｓ－１１）。エアハンドリングユニット４３に連結された定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度で運転され、エアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される。

【0118】

クリーンブース１０Ａ，１０Ｂを設置した建造物では、建造物に設置された空調設備が起動する。クリーンブース１０Ａ～１０Ｄを設置した建造物の室１２では、初期設定風速の空調空気が空調空気給気口２５から室１２の室内に給気されているとともに、初期設定風速の清浄空気が空気給気口３８から作業ブース１７の内部に給気されている。

【0119】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速（給気ダクト１４を通流する清浄空気の風速又は空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風速）が計測される（第１計測手段）（Ｓ－１２）。

【0120】

尚、コントローラ２７は、風量センサー２９が測定した給気風量（第１測定風量）を第１出入口１８の開口面積で除すことで、給気ダクト１４を通流する清浄空気の風速（所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速）や空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風速（所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速）を算出する。又は、第１出入口１８に超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置された場合、超音波三次元風速計や赤外線センサーが第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速を計測し、計測した開口面第１風速がコントローラ２７に送信される。コントローラ２７は、第１計測手段によって計測した開口面第１風速と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１目標風速（第１目標値）とを比較し、開口面第１風速が第１目標風速以下であるか否かを判断する（目標値第１比較手段）（Ｓ－１３）。

【0121】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７の内部に給気される清浄空気の給気風速（第１及び第２出入口１８，１９を通流する空気の風速）が低下し、目標値第１比較手段によって開口面第１風速と第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる（風量増加手段）（Ｓ－１４）。

【0122】

ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる手段（手順）は、図１１に示すクリーンブース空気清浄度管理システム１０において説明したそれと同一である。コントローラ２７は、ステップ１３（Ｓ－１３）の目標値第１比較手段において、開口面第１風速が第１目標風速以下になっておらず、開口面第１風速が第１目標風速を超過していると判断した場合、ステップ１２（Ｓ－１２）に戻り、ステップ１２（Ｓ－１２）からの手順を繰り返し、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0123】

コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）最大風量とを比較し、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－１５）。又は、コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の最大開度とを比較し、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－１５）。

【0124】

コントローラ２７は、ステップ５（Ｓ－５）において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったと判断した場合、ＨＥＰＡフィルターの交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第１信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第１信号出力手段）（Ｓ－１６）。

【0125】

コントローラ２７は、ステップ１５（Ｓ－１５）の判断手段において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量（出力）が最大風量になっていないと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になっていないと判断した場合、ステップ１２（Ｓ－１２）に戻り、ステップ１２（Ｓ－１２）からの手順を繰り返し、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0126】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－１７）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風速が初期定風速に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ１１（Ｓ－１１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される（Ｓ－１１）。

【0127】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換が行われない場合、コントローラ２７は、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を示す信号（第１信号）を出力した後、第１計測手段によって計測した開口面第１風速と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１設定下限風速（第１下限値）とを比較し、開口面第１風速が第１設定下限風速未満であるか否かを判断する（下限値第１比較手段）（Ｓ－１８）。

【0128】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から給気される清浄空気の給気風速が極端に低下し、下限値第１比較手段によって開口面第１風速と第１設定下限風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１設定下限風量未満である場合、ＨＥＰＡフィルターの交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第２信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第２信号出力手段）（Ｓ－１９）。

【0129】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－２０）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風速が初期定風速に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ１１（Ｓ－１１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される（Ｓ－１１）。尚、第２信号出力手段によって第２信号が出力された後、ＨＥＰＡフィルター４０の交換が行われない場合、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３の運転が停止され（Ｓ－２１）、クリーンブース空気清浄度管理システム１０の各手段が終了する。

【0130】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることで、第１目標風速を超過する給気風速の空気が給気手段から常時作業ブース１７に給気されるから、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0131】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が発生するようにファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第１及び第２出入口１８，１９に作用したとしても、作業ブース１７の内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブース１７の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を確実に維持することができる。

【0132】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった場合、作業ブース１７から第１出入口１６を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を行うように（開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった原因を除去するように）注意を喚起することができる。

【0133】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１設定下限風速以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１計測手段と目標値第１比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0134】

尚、クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、目標値第１比較手段において、第１測定風量と第１目標風量（第１目標値）とを比較するとともに、開口面第１風速と第１目標風速（第１目標値）とを比較し、第１測定風量が第１目標風量以下である場合と開口面第１風速が第１目標風速以下である場合とのうちの少なくとも一方の状態（いずれかの状態又は両方の状態）になったときに、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることもできる。

【0135】

図１３は、クリーンブース空気清浄度管理システム１０において行われる各手段の他の一例を示すフローチャートである。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物１２では、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が起動し、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される（Ｓ－２１）。エアハンドリングユニット４３に連結された定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度で運転され、エアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される。

【0136】

クリーンブース１１Ａ，１１Ｂを設置した建造物では、建造物に設置された空調設備が起動する。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物の室１２では、初期設定風量の空調空気が空調空気給気口２５から室１２の室内に給気されているとともに、初期設定風量の清浄空気が空気給気口３８から作業ブース１７の内部に給気されている。

【0137】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の第１測定風量（給気ダクト１４を通流する清浄空気の風量又は空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風量）が風量センサー２９によって計測され（第１計測手段）、所定の開口面積の第２出入口１９を通流する空気の第２測定風量（給気ダクト１４を通流する清浄空気の風量又は空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風量）が風量センサー２９によって計測される（第２計測手段）（Ｓ－２２）。

【0138】

風量センサー２９によって計測された第１測定風量及び第２測定風量は、風量センサー２９からコントローラ２７に送信される。なお、給気ダクト１４を通流する清浄空気の風量や空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風量を第１出入口１８を通流する空気の風量及び第２出入口１９を通流する空気の風量と推定する。

【0139】

コントローラ２７は、第１計測手段によって計測した第１測定風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１目標風量（第１目標値）とを比較し、第１測定風量が第１目標風量以下であるか否かを判断するとともに（目標値第１比較手段）、第２計測手段によって計測した第２測定風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第２目標風量（第２目標値）とを比較し、第２測定風量が第２目標風量以下であるか否かを判断する（目標値第２比較手段）（Ｓ－２３）。

【0140】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７の内部に給気される清浄空気の給気風量が低下し、目標値第１比較手段によって第１測定風量と第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、目標値第２比較手段によって第２測定風量と第２目標風量とを比較した結果、第２測定風量が第２目標風量以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる（風量増加手段）（Ｓ－２４）。ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる手段（手順）は、図１１に示すクリーンブース空気清浄度管理システム１０において説明したそれと同一である。

【0141】

尚、クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、目標値第１比較手段において、第１測定風量と第１目標風量（第１目標値）とを比較するとともに、目標値第２比較手段において、第２測定風量と第２目標風量（第２目標値）とを比較し、第１測定風量が第１目標風量以下である場合と第２測定風量が第２目標風量以下である場合とのうちの少なくとも一方の状態（いずれかの状態又は両方の状態）になったときに、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることもできる。

【0142】

コントローラ２７は、ステップ２３（Ｓ－２３）の目標値第１比較手段及び目標値第２比較手段において、第１測定風量が第１目標風量以下になっておらず、第１測定風量が第１目標風量を超過していると判断した場合と、第２測定風量が第２目標風量以下になっておらず、第２測定風量が第２目標風量を超過していると判断した場合とのうちの少なくとも一方（いずれかの場合又は両方の場合）である場合、ステップ２２（Ｓ－２２）に戻り、ステップ２２（Ｓ－２２）からの手順を繰り返し、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0143】

次に、コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）最大風量とを比較し、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－２５）。又は、コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の最大開度とを比較し、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－２５）。

【0144】

コントローラ２７は、ステップ２５（Ｓ－２５）において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったと判断した場合、フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルター４０（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３に設置されたＨＥＰＡフィルター４０）の交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第１信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第１信号出力手段）（Ｓ－２６）。

【0145】

コントローラ２７は、ステップ２５（Ｓ－２５）の判断手段において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量（出力）が最大風量になっていないと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になっていないと判断した場合、ステップ２２（Ｓ－２２）に戻り、ステップ２２（Ｓ－２２）からの手順を繰り返し、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0146】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－２７）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風量が初期定風量に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ２１（Ｓ－２１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される（Ｓ－２１）。

【0147】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換が行われない場合、コントローラ２７は、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を示す信号（第１信号）を出力した後、第１計測手段によって計測した第１測定風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１設定下限風量（第１下限値）とを比較し、第１測定風量が第１設定下限風量未満であるか否かを判断するとともに（下限値第１比較手段）、第２計測手段によって計測した第２測定風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第２設定下限風量（第２下限値）とを比較し、第２測定風量が第２１設定下限風量未満であるか否かを判断する（下限値第２比較手段）（Ｓ－２８）。

【0148】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から給気される清浄空気の給気風量が極端に低下し、下限値第１比較手段によって第１測定風量と第１設定下限風量とを比較した結果、第１測定風量が第１設定下限風量未満である場合、下限値第２比較手段によって第２測定風量と第２設定下限風量とを比較した結果、第２測定風量が第２設定下限風量未満である場合、フィルターユニット２８のＨＥＰＡフィルター４０（ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３に設置されたＨＥＰＡフィルター４０）の交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第２信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第２信号出力手段）（Ｓ－２９）。

【0149】

尚、クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、下限値第１比較手段において、第１測定風量と第１設定下限風量とを比較するとともに、下限値第２比較手段において、第２測定風量と第２設定下限風量とを比較し、第１測定風量が第１設定下限風量未満である場合と第２測定風量が第２設定下限風量未満である場合とのうちの少なくとも一方の状態（いずれかの状態又は両方の状態）になったときに、第２信号をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）することもできる。

【0150】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－３０）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風量が初期定風量に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ２１（Ｓ－２１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風量で運転される（Ｓ－２１）。尚、第２信号出力手段によって第２信号が出力された後、ＨＥＰＡフィルター４０の交換が行われない場合、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３の運転が停止され（Ｓ－３１）、クリーンブース空気清浄度管理システム１０の各手段が終了する。

【0151】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量と第１目標風量とを比較した結果、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、及び／又は、第２測定風量と第２目標風量とを比較した結果、第２測定風量が第２目標風量以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることで、第１目標風量及び／又は第２目標風量を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブース１７に給気されるから、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0152】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１目標風量以下である場合、及び／又は、第２測定風量が第２目標風量以下である場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が発生するようにファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第1及び第２出入口１８，１９に作用したとしても、作業ブース１７の内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブース１７の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0153】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１設定下限風量未満になった場合、及び／又は、第２測定風量が第２設定下限風量未満になった場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を行うように（第１測定風量が第１設定下限風量未満になった原因や第２測定風量が第２設定下限風量未満になった原因を除去するように）注意を喚起することができる。

【0154】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、第１測定風量が第１設定下限風量以上であり、かつ、第２測定風量が第２設定下限風量以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0155】

図１４は、クリーンブース空気清浄度管理システム１０において行われる各手段の他の一例を示すフローチャートである。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物１２では、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が起動し、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される（Ｓ－３１）。エアハンドリングユニット４３に連結された定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度で運転され、エアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される。

【0156】

クリーンブース１１Ａ，１１Ｂを設置した建造物では、建造物に設置された空調設備が起動する。クリーンブース１１Ａ～１１Ｄを設置した建造物の室１２では、初期設定風速の空調空気が空調空気給気口２５から室１２の室内に給気されているとともに、初期設定風速の清浄空気が空気給気口３８から作業ブース１７の内部に給気されている。

【0157】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速（給気ダクト１４を通流する清浄空気の風速又は空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風速）が計測され（第１計測手段）、所定の開口面積の第２出入口１９を通流する空気の開口面第２風速（給気ダクト１４を通流する清浄空気の風速又は空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風速）が計測される（第２計測手段）（Ｓ－３２）。

【0158】

尚、コントローラ２７は、風量センサー２９が測定した給気風量（第１測定風量）を第１出入口１８の開口面積で除すことで、給気ダクト１４を通流する清浄空気の風速（所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速）や空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風速（所定の開口面積の第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速）を算出する。更に、風量センサー２９が測定した給気風量（第２測定風量）を第２出入口１９の開口面積で除すことで、給気ダクト１４を通流する清浄空気の風速（所定の開口面積の第２出入口１９を通流する空気の開口面第２風速）や空気流入口からファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３に流入する空気の風速（所定の開口面積の第２出入口１９を通流する空気の開口面第２風速）を算出する。

【0159】

又は、第１出入口１８に超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置された場合、超音波三次元風速計や赤外線センサーが第１出入口１８を通流する空気の開口面第１風速を計測し、計測した開口面第１風速がコントローラ２７に送信され、第２出入口１９に超音波三次元風速計又は赤外線センサーが設置された場合、超音波三次元風速計や赤外線センサーが第２出入口１９を通流する空気の開口面第２風速を計測し、計測した開口面第２風速がコントローラ２７に送信される。

【0160】

コントローラ２７は、第１計測手段によって計測した開口面第１風速と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１目標風速（第１目標値）とを比較し、開口面第１風速が第１目標風速以下であるか否かを判断するとともに（目標値第１比較手段）、第２計測手段によって計測した開口面第２風速と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第２目標風速（第２目標値）とを比較し、開口面第２風速が第２目標風速以下であるか否かを判断する（目標値第２比較手段）（Ｓ－３３）。

【0161】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７の内部に給気される清浄空気の給気風速（第１及び第２出入口１８，１９を通流する空気の風速）が低下し、目標値第１比較手段によって開口面第１風速と第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、目標値第２比較手段によって開口面第２風速と第２目標風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２目標風速以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる（風量増加手段）（Ｓ－３４）。

【0162】

ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させる手段（手順）は、図１１に示すクリーンブース空気清浄度管理システム１０において説明したそれと同一である。コントローラ２７は、ステップ３３（Ｓ－３３）の目標値第１比較手段及び目標値第２比較手段において、開口面第１風速が第１目標風速以下になっておらず、開口面第１風速が第１目標風速を超過していると判断した場合、開口面第２風速が第２目標風速以下になっておらず、開口面第２風速が第２目標風速を超過していると判断した場合、ステップ３２（Ｓ－３２）に戻り、ステップ３２（Ｓ－３２）からの手順を繰り返し、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0163】

尚、クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、目標値第１比較手段において、開口面第１風速と第１目標風速（第１目標値）とを比較するとともに、目標値第２比較手段において、開口面第２風速と第２目標風速（第２目標値）とを比較し、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合と開口面第２風速が第２目標風速以下である場合とのうちの少なくとも一方の状態（いずれかの状態又は両方の状態）になったときに、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることもできる。

【0164】

コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）最大風量とを比較し、風量増加手段によって増加させたファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－３５）。又は、コントローラ２７は、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の最大開度とを比較し、風量増加手段によって増加させた定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったか否かを判断する（判断手段）（Ｓ－３５）。

【0165】

コントローラ２７は、ステップ３５（Ｓ－３５）において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量が最大風量になったと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になったと判断した場合、ＨＥＰＡフィルターの交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第１信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第１信号出力手段）（Ｓ－３６）。

【0166】

コントローラ２７は、ステップ３５（Ｓ－３５）の判断手段において、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の給気風量（出力）が最大風量になっていないと判断した場合、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が最大開度になっていないと判断した場合、ステップ３２（Ｓ－３２）に戻り、ステップ３２（Ｓ－３２）からの手順を繰り返し、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施する。

【0167】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－３７）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風速が初期定風速に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ３１（Ｓ－３１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される（Ｓ－３１）。

【0168】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換が行われない場合、コントローラは、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を示す信号（第１信号）を出力した後、第１計測手段によって計測した開口面第１風速と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第１設定下限風速（第１下限値）とを比較し、開口面第１風速が第１設定下限風速未満であるか否かを判断するとともに（下限値第１比較手段）、第２計測手段によって計測した開口面第２風速と大容量記憶領域に記憶した（予め設定された）第２設定下限風速（第２下限値）とを比較し、開口面第２風速が第２設定下限風速未満であるか否かを判断する（下限値第２比較手段）（Ｓ－３８）。

【0169】

コントローラ２７は、所定の原因（例えば、ＨＥＰＡフィルター４０の目詰まり）によってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３から給気される清浄空気の給気風速が極端に低下し、下限値第１比較手段によって開口面第１風速と第１設定下限風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１設定下限風量未満である場合、下限値第２比較手段によって開口面第２風速と第２設定下限風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２設定下限風量未満である場合、ＨＥＰＡフィルターの交換を示すメッセージ（給気手段の異常状態示す信号又はダンパーの異常状態を示す信号）（第２信号）をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）する（第２信号出力手段）（Ｓ－３９）。

【0170】

尚、クリーンブース空気清浄度管理システム１０では、下限値第１比較手段において、開口面第１風速と第１設定下限風速とを比較するとともに、下限値第２比較手段において、開口面第２風速と第２設定下限風速とを比較し、開口面第１風速が第１設定下限風速未満である場合と開口面第２風速が第２設定下限風速未満である場合とのうちの少なくとも一方の状態（いずれかの状態又は両方の状態）になったときに、第２信号をコントローラ２７のタッチパネルに出力（表示）することもできる。

【0171】

ＨＥＰＡフィルター４０（エアフィルター）の交換を示すメッセージに従って、ＨＥＰＡフィルター４０が交換される（Ｓ－４０）。ＨＥＰＡフィルター４０が交換された後、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３の風速が初期定風速に戻され、又は、定風量装置４４ｂのダンパーの旋回羽根の開度が初期設定開度に戻され、ステップ３１（Ｓ－３１）に戻ってファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３が初期設定風速で運転される（Ｓ－３１）。尚、第２信号出力手段によって第２信号が出力された後、ＨＥＰＡフィルター４０の交換が行われない場合、ファンフィルターユニット１３又はパッケージエアコン１３或いはエアハンドリングユニット４３の運転が停止され（Ｓ－４１）、クリーンブース空気清浄度管理システム１０の各手段が終了する。

【0172】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速と予め設定された第１目標風速とを比較した結果、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、及び／又は、開口面第２風速と予め設定された第２目標風速とを比較した結果、開口面第２風速が第２目標風速以下である場合、ファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から作業ブース１７に給気される空気の給気風量を増加させることで、第１目標風速及び／又は第２目標風速を超過する給気風量の空気が給気手段から常時作業ブース１７に給気されるから、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0173】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１目標風速以下である場合、及び／又は、開口面第２風速が第２目標風速以下である場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブースから第２出入口に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が発生するようにファンフィルターユニット１３（給気手段）又はパッケージエアコン１３（給気手段）或いはエアハンドリングユニット４３（給気手段）から給気する空気の給気風量が増加（調節）されるから、所定の原因によって気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第1及び第２出入口１８，１９に作用したとしても、作業ブース１７の内部への空気の流入を防ぐことができ、汚染された空気が作業ブース１７の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを引き起こすことはなく、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【0174】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった場合、及び／又は、開口面第２風速が第２設定下限風速未満になった場合、作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を発生させることが不可能になるから、第２信号を出力することで、ＨＥＰＡフィルター４０の交換を行うように（開口面第１風速が第１設定下限風速未満になった原因や開口面第２風速が第２設定下限風速未満になった原因を除去するように）注意を喚起することができる。

【0175】

クリーンブース空気清浄度管理システム１０は、開口面第１風速が第１設定下限風速以上であり、かつ、開口面第２風速が第２設定下限風速以上であって給気風量が最大風量になっていない場合、第１及び第２計測手段と目標値第１及び第２比較手段と風量増加手段とを継続して実施するから、それら手段によって作業ブース１７から第１出入口１８を通って緩衝ブース２０に向かって前後方向（一方向）へ流れるとともに緩衝ブース２０から第２出入口１９に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流を作業ブース１７や緩衝ブース２０の内部に発生させることができ、作業ブース１７の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、作業ブース１７の内部の空気の清浄度を維持することができる。

【符号の説明】

【0176】

１０ クリーンブース空気清浄度管理システム
１１Ａ クリーンブース
１１Ｂ クリーンブース
１１Ｃ クリーンブース
１１Ｄ クリーンブース
１２ 建造物の室
１３ ファンフィルターユニット（ＦＦＵ）
１３ パッケージエアコン（ＰＡＣ）
１４ 還気ダクト
１５ 外気ダクト
１６ 給気ダクト
１７ 作業ブース
１８ 第１出入口
１９ 第２出入口
２０ 緩衝ブース
２１ 天井パネル
２２ 天井
２３ 床スラブ
２４ 床
２５ 空調空気給気口
２６ 空気排気口
２７ コントローラ
２８ フィルターユニット
２９ 風量センサー
３０ 側面パネル
３１ 空気還気口
３２ 第１正面壁
３３ 背面壁
３４ 第１側面壁
３５ 第２正面壁
３６ 第２側面壁
３７ 安全キャビネット
３８ 空気給気口
３９ 天面パネル
４０ ＨＥＰＡフィルター
４１ 給気ダクト
４２ 排気ダクト
４３ エアハンドリングユニット（ＡＨＵ）
４４ａ，ｂ 定風量装置（ＣＡＶ）
４５ 室圧制御ダンパー（ＰＣＤ）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】