特許 7446765 コレット取外装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-01

(45)【発行日】2024-03-11

(54)【発明の名称】コレット取外装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/52 20060101AFI20240304BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240304BHJP

   H01L 21/60 20060101ALI20240304BHJP

【ＦＩ】

H01L21/52 F

H01L21/68 B

H01L21/60 311T

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2019192077

(22)【出願日】2019-10-21

(65)【公開番号】P2021068785

(43)【公開日】2021-04-30

【審査請求日】2022-09-06

(73)【特許権者】

【識別番号】519231500

【氏名又は名称】ハンファ精密機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001601

【氏名又は名称】弁理士法人英和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】川島 啓吾

【審査官】安田 雅彦

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－１４７３１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－２０６８４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－１３５０５５０（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】特開２０１４－０５６９７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－０１１０７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１３６７４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／５０－２１／５２

Ｈ０１Ｌ ２１／５８

Ｈ０１Ｌ ２１／６０－２１／６０７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７－２１／６８７

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

Ｂ２３Ｑ ３／０６－ ３／０８

Ｂ２３Ｂ ３１／００－３１／４２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置であって、
コレットを挿通可能な開口部と、この開口部へ突出可能な複数の可動爪と、前記開口部を含む固定ブロックと、この固定ブロックに回転可能に設けられた回転ブロックとを備え、
前記複数の可動爪は、前記固定ブロックの上面に設けた支点ピンを回転中心として回転可能であり、かつ前記複数の可動爪は案内溝を有し、この案内溝に前記回転ブロックの上面に設けた案内ピンが挿通され、
前記回転ブロックは案内溝を有し、この案内溝に前記支点ピンが挿通され、
前記回転ブロックを一方向に回転させることにより、前記複数の可動爪が前記支点ピンを回転中心として回転し、かつ前記支点ピンが前記回転ブロックの案内溝に沿って案内されると共に前記案内ピンが前記複数の可動爪の案内溝に沿って案内されることにより、前記複数の可動爪が前記開口部へ突出し、
更に、前記回転ブロックの前記一方向への回転を止めるためのストッパを前記回転ブロックとは別部材として備え、このストッパの位置を変更することにより、前記複数の可動爪の前記開口部への突出代の上限を変更する、コレット取外装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置に関する。

【背景技術】

【0002】

コレットは、ダイやフリップチップなどの半導体部品を基板上に搭載するときに使用される吸着治具である。このようなコレットは、コレットホルダの先端（下端）に着脱可能に保持して使用するが、使用に伴いコレットに塵が付着したりコレット自体に傷が付いたりすることから、定期的又は随時にコレットをコレットホルダから取り外して交換する必要がある。

【0003】

コレットをコレットホルダから取り外す技術としては、例えば特許文献１に開示されているように、複数の固定爪又は可動爪をコレットに係合させる技術が知られている。

【0004】

しかし、このように単に複数の固定爪又は可動爪をコレットに係合させるだけの技術では、コレットのサイズが変更になると、そのコレットのサイズに応じて固定爪又は可動爪の位置や形状などを変更する必要があり、同一の装置によってサイズの異なるコレットを取り外すことは困難であった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第６０８６６８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明が解決しようとする課題は、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことのできるコレット取外装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一観点によれば、次のコレット取外装置が提供される。
コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置であって、
コレットを挿通可能な開口部と、この開口部へ突出可能な複数の可動爪と、前記開口部を含む固定ブロックと、この固定ブロックに回転可能に設けられた回転ブロックとを備え、
前記複数の可動爪は、前記固定ブロックの上面に設けた支点ピンを回転中心として回転可能であり、かつ前記複数の可動爪は案内溝を有し、この案内溝に前記回転ブロックの上面に設けた案内ピンが挿通され、
前記回転ブロックは案内溝を有し、この案内溝に前記支点ピンが挿通され、
前記回転ブロックを一方向に回転させることにより、前記複数の可動爪が前記支点ピンを回転中心として回転し、かつ前記支点ピンが前記回転ブロックの案内溝に沿って案内されると共に前記案内ピンが前記複数の可動爪の案内溝に沿って案内されることにより、前記複数の可動爪が前記開口部へ突出し、
更に、前記回転ブロックの前記一方向への回転を止めるためのストッパを前記回転ブロックとは別部材として備え、このストッパの位置を変更することにより、前記複数の可動爪の前記開口部への突出代の上限を変更する、コレット取外装置。

【発明の効果】

【0008】

本発明のコレット取外装置によれば、可動爪の突出代の上限（以下、「可動爪の突出代の上限」のことを単に「可動爪の突出代」という。）が可変であることから、コレットのサイズに応じて可動爪の突出代を変更することで、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態であるコレット取外装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ断面図。

【図2】図１のコレット取外装置において、可動爪を開口部へ突出させた状態を示す平面図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

図１に、本発明の一実施形態であるコレット取外装置１００を示している。
このコレット取外装置１００は、固定ブロック１０と、固定ブロック１０に回転可能に設けられた回転ブロック２０と、固定ブロック１０に回転可能に軸支された複数（本実施形態では４つ）の可動爪３０とを備えている。

【0011】

可動爪３０は具体的には、固定ブロック１０の上面に設けた支点ピン１１に軸支されており、この支点ピン１１を回転中心として回転可能である。また、可動爪３０は案内溝３１を有しており、この案内溝３１に、回転ブロック２０の上面に設けた案内ピン２１が挿通されている。このような構成により、図１（ａ）の状態から回転ブロック２０を時計回り方向に回転させると、可動爪３０も時計回り方向に回転し、図２に示すように、可動爪３０が開口部４０へ突出した状態となる。また、図２の状態から回転ブロック２０を反時計回り方向に回転させると、可動爪３０も反時計回り方向に回転し、図１（ａ）に示すように、可動爪３０が開口部４０へ突出しない状態となる。

【0012】

なお、本実施形態において開口部４０は回転ブロック２０に含まれている。また、開口部４０はコレットＣを挿通可能な大きさを有している。そして、図２に示すように可動爪３０を開口部４０へ突出させることにより、可動爪３０がコレットＣに係合する。

【0013】

本実施形態において回転ブロック２０は案内溝２２を有しており、この案内溝２２に支点ピン１１が挿通されている。

【0014】

本実施形態においてコレット取外装置１００は、カバープレート５０を更に備えている。このカバープレート５０はリング状であり、固定ブロック１０及び回転ブロック２０の上面を覆うように設けられている。また、カバープレート５０は案内溝５１を有しており、この案内溝５１に案内ピン２１が挿通されている。
なお、図１（ａ）及び図２では、カバープレート５０を取り外した状態を示しており、案内溝５１のみを破線で示している。

【0015】

本実施形態においてコレット取外装置１００は、回転ブロック２０を回転させるためのアクチュエータとしてエアシリンダ６０を更に備えている。このエアシリンダ６０は、そのシリンダロッド６１の先端が接続治具６２を介して回転ブロック２０に接続されている。そして、シリンダロッド６１を前進させると回転ブロック２０は、図１（ａ）において時計回り方向に回転する。一方、シリンダロッド６１を後退させると回転ブロック２０は、反時計回り方向に回転する。

【0016】

本実施形態においてコレット取外装置１００は、２つのストッパ７１，７２を更に備えている。このうちストッパ７１は、回転ブロック２０の時計回り方向の回転、すなわち可動爪３０を開口部４０へ突出させる方向の回転を止める。具体的には、図２に示すように回転ブロック２０に設けた当接ピン２３がストッパ７１に当接することで、可動爪３０を開口部４０へ突出させる方向の回転ブロック２０の回転を止める。したがって、このストッパ７１の位置を変更することにより、可動爪３０の開口部４０への突出代を変更することができる。
一方、ストッパ７２は、回転ブロック２０の反時計回り方向の回転、すなわち可動爪３０を開口部４０へ突出させない方向の回転を止める。

【0017】

本実施形態においてコレット取外装置１００は、回転ブロック２０が原点位置（図１の位置）に位置することを検出するためのセンサとしてドグセンサ８０を更に備えている。このドグセンサ８０は、固定ブロック１０側に設けた発光部８１及び受光部８２と、回転ブロック２０側に設けた遮光プレート８３とを有する。そして遮光プレート８３は、回転ブロック２０が原点位置に位置するときに発光部８１と受光部８２との間に位置し、発光部８１から受光部８２へ向けた光を遮る。これにより、回転ブロック２０が原点位置に位置することを検出することができる。

【0018】

次に、このコレット取外装置１００によってコレットをコレットホルダから取り外す方法について、図１及び図２を参照しつつ説明する。なお、図１及び図２においてコレットホルダは図示を省略している。

【0019】

まず、図１に示すように、コレットホルダに保持されたコレットＳを開口部４０へ挿通可能とするために、回転ブロック２０を原点位置に位置させる。具体的には、エアシリンダ６０のシリンダロッド６１を後退させて、回転ブロック２０に設けた当接ピン２３がストッパ７２に当接する状態とする。この原点位置では、可動爪３０は開口部４０へ突出していないので、コレットホルダに保持されたコレットＳを開口部４０へ挿通することができる。なお、回転ブロック２０が原点位置に位置することは、上述のとおりドグセンサ８０によって確認することができる。

【0020】

ドグセンサ８０によって、回転ブロック２０が原点位置に位置することを確認した後、コレットホルダに保持されたコレットＳを開口部４０へ挿通する。そして、エアシリンダ６０のシリンダロッド６１を前進させて、回転ブロック２０に設けた当接ピン２３がストッパ７１に当接する状態とする。そうすると、図２に示すように、可動爪３０が開口部４０へ突出し、コレットＳと係合可能な状態となる。この状態でコレットホルダを上昇させると可動爪３０がコレットＳの上面に係合し、更にコレットホルダを上昇させると、コレットＳがコレットホルダから外れ、開口部４０の下方に設置された廃コレット収納ボックス（図示省略）へ落下する。

【0021】

このようにコレット取外装置１００においては、可動爪３０を開口部４０へ突出させてコレットに係合させることにより、コレットをコレットホルダから取り外すが、可動爪３０の開口部４０への突出代は、上述のとおりストッパ７１の位置を変更することにより可変である。したがって、コレットのサイズに合わせて、可動爪３０の開口部４０への突出代を変更することで、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことができる。

【符号の説明】

【0023】

１００ コレット取外装置
１０ 固定ブロック
１１ 支点ピン
２０ 回転ブロック
２１ 案内ピン
２２ 案内溝
２３ 当接ピン
３０ 可動爪
３１ 案内溝
４０ 開口部
５０ カバープレート
５１ 案内溝
６０ エアシリンダ
６１ シリンダロッド
７１，７２ ストッパ
８０ ドグセンサ
８１ 発光部
８２ 受光部
８３ 遮光プレート
Ｃ コレット

【図1】

【図2】